JP2003528276A - 熱的に作動するマイクロ弁アセンブリ - Google Patents

熱的に作動するマイクロ弁アセンブリ

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Abstract

(57)【要約】 流体循環路内の流体流れを制御するマイクロ弁装置１０を提供する。マイクロ弁装置１０は内部に空洞４２を画定した本体１２を備える。本体１２はさらに空洞４２に連通するようにした第１パイロット口２０及び第２パイロット口２２を持つ。本体１２は空洞４２に連通するようにした第１の一次口２８及び第２の一次口３０を持つ。各口は指定の流体源に接続するようにしてある。本体１２に支えたパイロット弁３６は第１及び第２のパイロット口２０、２２を開閉するように空洞４２内に可動なように配置してある。アクチュエータ３８はパイロット弁３６を動かすようにこのパイロット弁３６に作動的に結合してある。マイクロ弁はパイロット弁３６により制御される流体によって位置決めされる。このマイクロ弁は第１端部４０ａ及び第２端部４０ｂを持つ滑り弁４０である。滑り弁４０は第１の位置及び第２の位置の間で動くように空洞４２内に可動なように配置してある。滑り弁４０の第１端部４０ａは、第１パイロット口２０及び第２パイロット口２２を開くと第１パイロット口２０及び第２パイロット口２２に連通する。滑り弁４０の第２端部４０ｂは第１の一次口２８に絶えず連通する。第１及び第２の位置の間で動くと、滑り弁４０は、各一次口２８、３０間の流体流れを可変的に制限するように第２一次口３０を少くとも部分的に開閉する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、一般に半導体電気機械装置（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｅｌｅ
ｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｄｅｖｉｃｅ）、ことにパイロット弁を持つマ
イクロ弁装置（ｍｉｃｒｏｖａｌｖｅ ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＭＥＭＳ（マイクロ電気機械システム）はμｍ範囲の寸法を特徴とする物理的
に小形部類のシステムである。これ等のシステムは電気的部品及び機械的部品の
両方を持つ。ミクロ機械加工（ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）とは一般に、Ｍ
ＥＭＳデバイスの三次元構造及び可動部品の生産を意味するものと考えられる。
ＭＥＭＳは本来、修正集積回路（コンピュータ・チップ）製造技術（たとえば化
学的エッチング）と材料（たとえばシリコン半導体材料）とを使いこれ等の極め
て小形の機械的装置をミクロ機械加工するようにしている。今日では利用できる
比較的多くのミクロ機械加工法及び材料がある。この説明に使う「マイクロ弁」
という用語は、μｍ範囲の寸法を特徴とする弁を意味し、定義上ミクロ機械加工
により少なくとも一部を画定する弁である。この説明で使う「マイクロ弁装置」
という用語は、マイクロ弁を備え又その他の部品を備えてもよい装置を意味する
。マイクロ弁以外の部品をマイクロ弁装置に設ける場合にはこれ等の他の部品は
ミクロ機械加工した部品又は標準寸法の（比較的大きい）部品でよい。
【０００３】 種種のマイクロ弁装置は流体循環路内の流体流れ（ｆｌｕｉｄ ｆｌｏｗ）を
制御するように提案されている。典型的なマクロ弁装置は、本体に可動なように
支えられアクチュエータに作動的に結合して閉位置及び全開位置の間で動く変位
部材又は弁を備える。閉位置に在るときはこの弁は、第２流体口に流体が連通す
る状態になる第１の流体口を塞ぎ又は閉じることにより各流体口間に流体が流れ
ないようにする。弁が閉じた位置から開いた位置に動くときは、流体は各流体口
間に次第に増大して流れる。
【０００４】 典型的な弁は、本体に一端部を弾性的に支えたビームから成る。操作時にはア
クチュエータはビームに協働するばね力に打勝つために十分な力を生じなければ
ならない。一般にビームを曲げ又は変位させるのにアクチュエータに必要な出力
は、ビームの所要変位が増すに伴って増大する。
【０００５】 ビームに協働するばね力に打勝つのに十分な力を生ずるほかに、アクチュエー
タは、ビームの所期の変位に対抗してビームに作用する流体流れ力に打勝つこと
のできる力を生じなければならない。これ等の流体流れ力は一般に、各流体口を
通る流量（ｆｌｏｗ ｒａｔｅ）の増大に伴って増す。
【０００６】 このようにしてアクチュエータの出力要求従ってアクチュエータの寸法とアク
チュエータを駆動するのに必要な動力とは一般に、ビームの変位要求が増すに伴
いそして／又は各流体口を通る流量割合要求が増すに伴い増さなければならない
。
【０００７】 従って比較的大きい流量を制御することのできるそして／又は比較的密実で低
動力のアクチュエータにより比較的大きい変位を生ずることのできる変位部材を
持つマイクロ弁装置が必要である。
【０００８】 本発明は流体循環路の流体流れを制御するマイクロ弁装置に関する。マイクロ
弁装置は内部に空洞を画定した本体を備える。この本体はさらに、空洞に流体の
連通する第１及び第２のパイロット口を持つ。本体は又、空洞に流体の連通する
第１及び第２の一次口を持つ。好適な実施例ではパイロット口の１つと一次口の
１つとは共通の流体源に連通している。本体により支えたパイロット弁は、第１
及び第２のパイロット口を開閉するように空洞内に可動なように配置してある。
アクチュエータは、パイロット弁を動かすようにパイロット弁に作動的に結合し
てある。マイクロ弁は、パイロット弁により制御される流体により位置決めする
。このマイクロ弁は、第１端部及び第２端部を持つ滑り弁である。この滑り弁は
第１位置及び第２位置の間で動くように空洞内に可動なように配置してある。滑
り弁の第１端部は、第１及び第２のパイロット口が開いているときは第１及び第
２のパイロット口に流体が連通している。滑り弁の第２端部は第１主要口に絶え
ず連通している。第１及び第２の位置の間で動くときは、滑り弁は各一次口間の
流量の可変の拘束のために第２一次口を少なくとも部分的に塞ぎ又開く。
【０００９】 作動時にはアクチュエータによりパイロット弁の位置を制御する。次にパイロ
ット弁の位置により滑り弁の第１端部に作用する流体圧力を制御する。滑り弁の
各端部に作用する各流体力間の差異により滑り弁の位置を制御する。次いで滑り
弁の位置により各一次口間の流体流量の程度を制御する。
【００１０】 パイロット弁を作動するのに必要な力は比較的弱い。従ってアクチュエータは
所要動力が比較的低いので比較的密実にできる。さらに主要口間の滑り弁の変位
及び流量割合は、滑り弁の各端部に作用する流体源の流体圧力に伴う流体力の差
を比較的大きくできるので極めて大きくすることができる。
【００１１】 本発明のその他の種種の目的及び利点は添付図面による好適な実施例について
の以下の説明から当業者には明らかである。
【００１２】
【実施例】
流体循環路内の流体流量を制御する第１の実施例によるマイクロ弁装置１０を
図１Ａに示してある。マイクロ弁装置１０は本体１２を備える。本体１２は図２
及び３に明らかなようにそれぞれ第１、第２及び第３のプレート（ｐｌａｔｅ）
１４、１６、１８を備える。第２プレート１６は第１及び第３のプレート１４、
１８にその間に取付けてある。各プレート１４、１６、１８は、シリコンのよう
な半導体材料から作るのがよい。或は各プレート１４、１６、１８は、ガラス、
セラミック、アルミニウム又は類似物のようなその他任意適当な材料から作れば
よい。各プレート１４、１６、１８の材料についての説明は又後述のマイクロ弁
装置の別の各実施例にも適用できる。
【００１３】 本説明に使う「流体源」という用語は或る量の流体を意味するだけであるのは
もちろんである。流体源は、作動ポンプの放出圧力のような比較的「高い圧力」
でよい。この場合流体は流体源から問題の区域に流れるようになる。或は、流体
は、作動ポンプの吸引圧のような比較的「低い圧力」である。この場合流体は問
題区域から流体源に流れるようになる。この適用例に使われる「平らでない」と
いう用語は、流体流れ、力又はその他の用語主題はプレート１４、１６、１８に
より定まる互いに平行な平面に直交して作用する著しい成分を持つ。この適用例
に使われるその他の用語は、上方、下方、上部、下部、上、下等を含む。これ等
の用語はこの適用例では、第２プレート１６に直交し第１プレート１４に向かう
方向を「下方」と定義し、第２プレート１６に直交し第３プレート１８に向かう
方向を「上方」と定義する。この規約は、説明を容易にするためであり実際の使
用の際にこの説明で述べる装置の配置方向を限定するものではなく又各請求項に
限定するものでもない。「内方」及び「外方」という用語は、このアセンブリ（
一般に弁）により定まる縦方向軸線に対するこの部品の相対近接度に関して定義
する。内方部品は外方部品より軸線に対し相対的に一層近い。
【００１４】 この説明では弁に対しては「閉じる」と称し、又は口は「覆う」又は「塞ぐ」
と称する。これ等の用語は、弁又は口を通る流量が本マイクロ弁装置を使用しな
ければならない各適用例で残留漏れ流量が比較的不充分になるように充分低減さ
れることを意味するのはもちろんである。
【００１５】 図１Ａ、１Ｂ及び２に示すように第１プレート１４は第１パイロット口２０及
び第２パイロット口２２を画定する。第１パイロット口２０は、「低圧」流体媒
体又は源（図示してない）と「高圧」流体媒体又は源（図示してない）との一方
に接続するようにしてある。第２パイロット口２２は「低圧」流体源と「高圧」
流体源との他方に接続するようにしてある。第１プレート１４は又第１排出口２
４及び第２排出口２６を画定する。各排出口２４、２６は共通の流体源（図示し
てない）に接続するようにしある。
【００１６】 又図３に示すように第１プレート１４はさらに、第１の一次口２８及び第２一
次口３０を画定する。一次口２８、３０はそれぞれ互いに異なる各流体源（図示
してない）に接続するようにしてある。
【００１７】 又図２に示すように第３プレート１８は、第１パイロット口２０に開口する第
１パイロット口２０’と第２パイロット口２２に対向する第２のパイロット口２
２’とを画定する。各パイロット口２０’、２２’は、それぞれ第１及び第２の
パイロット口２０、２２に協働する各流体源に接続するようにしてある。第３プ
レート１８は又、第１排出口２４に対向する第１排出口２４’と第２排出口２６
に対向する第２排出口２６’とを画定する。各排出口２４’、２６’は、各排出
口２４、２６に協働する流体源に接続するようにしてある。
【００１８】 図３に示すように第３プレート１８はさらに第１一次口２８に対向する第１一
次口２８’と第２一次口３０に対向する第２一次口３０’とを画定する。各一次
口２８’、３０’はそれぞれ一次口２８、３０に協働する流体源に接続するよう
にしてある。対向する口を設ける目的は後述する。
【００１９】 さらに第３プレート１８は、第３プレート１８に画定した対応する穴内に配置
した１対の電気接点（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｃｏｎｔａｃｔ）３２ａ、３２ｂ
を備える。電気コンタクト３２ａ、３２ｂは、第２プレート１６に接触し、各コ
ンタクト３２ａ、３２ｂ間に電流を生ずるように適当な電源（図示してない）に
接続するようにしてある。各電気コンタクト３２ａ、３２ｂははんだ接合部とし
て例示したがワイヤ・リード線又は類似物でもよい。さらに電気コンタクト３２
ａ、３２ｂの一方又は両方を第１プレート１４に位置させればよいのは明らかで
ある。
【００２０】 図１Ａ及び１Ｂに示すように第２プレート１６は、次の主部品すなわち固定部
分３４と、各パイロット口２０、２０’、２２、２２’を全開、全閉するように
固定部分３４により支えたパイロット弁３６として画定した第１のマイクロ弁と
、パイロット弁３６を動かすアクチュエータ３８と、第１一次口２８、２８’及
び第２一次口３０、３０’の間の流体流量を制御する滑り弁４０として画定した
第２のマイクロ弁とを備える。これ等の部品は第２プレート１６の他の部品と共
に後述する。
【００２１】 マイクロ弁装置１０は、第１及び／又は第３のプレート１４、１８とパイロッ
ト弁３６、アクチュエータ３８及び滑り弁（ｓｌｉｄｅｒ ｖａｌｖｅ）４０を
備えた第２プレート１６の各運動部品との間にすきま（図示してない）を持つ。
これ等のすきまは、可動部品３６、３８、４０を薄くすることによりそして／又
は可動部品３６、３８、４０に隣接して第１及び第３のプレート１４、１８にく
ぼみを画定することにより画定する。各パイロット口２０、２０’、２２、２２
’とパイロット弁３６との間に各パイロット口２０、２０’、２２、２２’のす
ぐまわりに画定したすきまの寸法は、各パイロット口２０、２０’、２２、２２
’をパイロット弁３６により塞いだときに流体をパイロット弁３６を過ぎて漏れ
ないように適当に制限するのに十分なだけ小さい。これ等のすきまは寸法が約１
μがよい。同様に滑り弁４０と各協働口２４、２４’、２６、２６’、２８、２
８’、３０、３０’との間に各協働口２４、２４’、２６、２６’、２８、２８
’、３０、３０’のすぐまわりに画定したすきまの寸法は、協働する口２４、２
４’、２６、２６’、２８、２８’、３０、３０’を滑り弁４０により塞いだと
きに流体を滑り弁４０を過ぎて漏れないように適当に制限するのに十分なだけ小
さい。これ等のすきまも又寸法が約１μであるのがよい。第１及び第３のプレー
ト１４、１８及び可動部品３６、３８、４０の間の全部の他の区域のすきまのす
きま寸法は、各可動部品３６、３８、４０の自由な運動を生ずるのに充分なだけ
大きい。これ等のすきまは寸法が約１０μがよい。
【００２２】 固定部分３４は、空洞４２を画定し第１及び第３のプレート１４、１６により
固定して取付けてある。
【００２３】 パイロット弁３６は、細長いたわみ性ビーム３６ａにより固定部分３４に柔軟
に取付けた端部を持つ縦方向に細長いビームとして画定したマイクロ弁である。
たわみ性ビーム３６ａは、第１、第２及び第３のプレート１４、１６、１８によ
り画定した弁本体の空洞４２内にパイロット弁３６を取付けるヒンジとして作用
する。たわみ性ビーム３６ａは、幅の減小した縦方向に延びるパイロット弁３６
ａの延長部分を画定する。パイロット弁３６は、第１位置及び第２位置の間で枢
動運動するように空洞４２内に可動なように配置してある。たわみ性ビーム３６
ａはパイロット弁３６が動く際に湾曲する。パイロット弁３６が枢動する際に、
パイロット弁３６は、このパイロット弁３６が沿って動く平面を画定する。パイ
ロット弁３６は一様な厚さを持つのがよい。パイロット弁３６の運動面内でパイ
ロット弁３６は第１の横方向幅を画定する。たわみ性ビーム３６ａは前記第１横
方向幅より狭い第２の横方向幅を画定する。第１の位置ではパイロット弁３６は
、第２パイロット口２２、２２’を塞ぎ又は実質的に閉じ第１パイロット口２０
、２０’を開き又は全開する。第１パイロット口２０、２０’を開くことにより
、パイロット弁３６は第１パイロット口２０、２０’とパイロット弁３６及び滑
り弁４０を連結する流体通路４７との間は流体を連通させる。第２の位置ではパ
イロット弁３６は、第２パイロット口２２、２２’を開き又は全開し第１パイロ
ット口２０、２０’を塞ぎ又は実質的に閉じる。第２パイロット口２２、２２’
を開くことにより、パイロット弁３６は第２パイロット口２２、２２’及び流体
通路４７間を連通させる。なお詳しく後述するように使用中にパイロット弁３６
は「高圧」流体を流体通路４７内に選択的に差向け流体通路４７から「高圧」を
選択的に逃がし滑り弁４０の位置決めを行う。
【００２４】 アクチュエータ３８はパイロット弁３６に連結部材（ｃｏｎｎｅｃｔｉｎｇ
ｍｅｍｂｅｒ）３６ｂを介し作動的に結合されパイロット弁３６を第１及び第２
の位置の間で動かすようにしてある。連結部材３６ｂはパイロット弁３６の運動
面内で第３の横方向幅を定める細長いたわみ性ビームを画定する。第３横方向幅
はパイロット弁３６の横方向幅より狭い。
【００２５】 アクチュエータ３８は多重対の互いに対抗するリブ４４ａ、４４ｂを備える。
各リブ４４ａ、４４ｂは第１端部及び第２端部を持つ。各リブ４４ａ、４４ｂは
直線形で長手に沿い一様な横断面を持つように示してあるが、各リブ４４ａ、４
４ｂは特定の適用例に対し適当であれば湾曲させ傾斜させ又は一様でない横断面
を持つようにしてもよいのはもちろんである。各リブ４４ａ、４４ｂの第１端部
はそれぞれ電気コンタクト３２ａ、３２ｂに隣接して固定部分３４に取付けてあ
る。各リブ４４ａ、４４ｂの第２端部はそれぞれスパイン（ｓｐｉｎｅ）４６に
すみ部で取付けてある。
【００２６】 各対のリブ４４ａ、４４ｂは一般に、スパイン４６に頂部を持つ山形状部材を
画定するように相互に或る角度を挟んでいる。電気接点コンタクト３２ａ、３２
ｂを電気的に付勢すると、各電気コンタクト３２ａ、３２ｂ間にリブ４４ａ、４
４ｂを経て電流が流れ出る。又各リブ４４ａ、４４ｂは熱膨張する。各リブ４４
ａ、４４ｂが膨張すると、各リブ４４ａ、４４ｂは伸長し、スパイン４６を変位
させる。従って各リブ４４ａ、４４ｂは適当な熱膨張係数を持つ導体材料又は半
導体材料たとえばシリコンから画定するのがよい。さらに各リブ４４ａ、４４ｂ
、スパイン４６及び固定部分３４を一体に画定するのがよい。リブ４４ａ、４４
ｂを経て供給する電流量を調整することにより各リブ４４ａ、４４ｂの膨張量を
調整することによって、スパイン４６の変位量を制御する。リブ４４ａ、４４ｂ
の個数と各リブ４４ａ、４４ｂ及びスパイン４６間に挟む角度との組合せにより
、スパイン４６に加わる力とスパイン４６により生ずる変位量とを与えられた供
給電流に対し定めることができる。
【００２７】 連結部材３６ｂは、たわみ性ビーム３６ａと同じパイロット弁縦方向端部にパ
イロット弁３６の被支持端部から間隔を置いた点でたわみ性ビーム３６ａにより
固定してある。連結部材３６ｂはたわみ性ビーム３６ａに平行に延びている。し
かし図１Ａ及び１Ｂから明らかなように連結部材３６ｂはわずかにＬ字形で、た
わみ性ビーム３６ａにより画定されるヒンジに対しアクチュエータ３８により生
成する力線の片寄りを増し、パイロット弁３６を動かすようにアクチュエータ３
８により生ずるトルクを増す。パイロット弁３６及びスパイン４６は一体に画定
するのがよい。適切にはたわみ性ビーム３６ａ及び連結部材３６ｂの各端部には
末広がりの根元部を画定され端部における応力集中を最少にする。このことは図
１Ａ及び１Ｂには示してないが、図５Ａ及び５Ｂ（後述する）ではそれぞれ端部
においてたわみ性ビーム１３６ｃは末広がりの根元部（ｄｉｖｅｒｇｅｎｔ ｒ
ｏｏｔ）１３６ｄを持ち又連結部材（ｃｏｎｎｅｃｔｉｎｇ ｍｅｍｂｅｒ）１
３６ｅは末広がりの根元部１３６ｆを持つ。固定リブ３７は連結部材３６ｂ及び
たわみ性ビーム３６ａ間に部分的に延びる。たわみ性ビーム３６ａ、リブ３７及
び連結部材３６ｂは互いに協働して第１のみぞ穴３７ａを画定する。このように
してみぞ穴が作りやすくなり、又固定リブ３７は、たわみ性ビーム３６ａ及び連
結部材３６ｂの第２及び第３の幅と実質的に同じ第４の横方向幅を定める。みぞ
穴３７ａは、パイロット弁３６からみぞ穴３７ａに向かい斜めに平面を見たとき
に大体において「Ｕ字形」の部分で定める。みぞ穴３７ａはアクチュエータのリ
ブ４４ａに向かって延びるのが好適であり、リブ４４ａの１つと隣接固定部分３
４との間に画定したみぞ穴３７ｂに連通する。このようにしてみぞ穴３７ｂ及び
みぞ穴３７ａの製造が容易になる。
【００２８】 変位したときにスパイン４６はパイロット弁３６に力を加え、この力によりパ
イロット弁３６ａの被支持端部のまわりにモーメントを生ずる。このモーメント
によりパイロット弁３６をこのパイロット弁３６の被支持端部のまわりに第１の
方向に弾性的に曲げ、この曲げによりパイロット弁３６を第１位置から第２位置
に動かす。電気コンタクト３２ａ、３２ｂの通電を切るときはリブ４４ａ、４４
ｂは冷えて収縮する。各リブ４４ａ、４４ｂの収縮によりスパイン４６を各リブ
４４ａ、４４ｂの膨張に基づくスパイン４６の変位の方向とは反対の方向に変位
させる。リブ４４ａ、４４ｂの収縮に基づくスパイン４６の変位によりパイロッ
ト弁３６をパイロット弁３６の被支持端部のまわりに第２の方向に湾曲させ、パ
イロット弁３６を第２位置から第１位置に動かす。
【００２９】 パイロット弁３６の代りに、各流体口を開閉することのできる任意適当なマイ
クロ弁を使ってもよいのは明らかである。さらにアクチュエータ３８は、その代
りにパイロット弁３６又は適当な別のマイクロ弁を作動するのに適当な任意の手
段を使ってもよい。実際上パイロット弁３６及びアクチュエータ３８は微細加工
ＭＥＭＳ装置を必要としない。ただし通常改良された構造及びその他の考慮が有
利であるのは明らかである。パイロット弁３６及びアクチュエータ３８に関する
説明は、マイクロ弁装置の種種の実施例にも適用できる。
【００３０】 図４に示すように滑り弁４０は、１対の互いに対向する端部４０ａ、４０ｂと
１対の互いに対向する縦方向に延びる側部４０ｃ、４０ｄとを持つ大体において
扁平なＴ字型部材として画定したマイクロ弁である。滑り弁４０は、第１の全開
位置（図１Ａに示してある）と第２の閉じた位置（図１Ｂに示してある）との間
で動くように空洞４２内に配置してある。若干の適用例で滑り弁４０は図４に示
すように中間位置又は付勢位置に位置してもよいのは明らかである。滑り弁４０
の中間位置は、滑り弁４０の全開位置及び閉位置の間の位置であり、固定位置３
４に対し滑り弁４０の「組付けた」状態に一致する。「組付けた」という用語の
使用はなお詳しく後述する。使用中に滑り弁４０は、対向する対のパイロット口
２０、２０’、２２、２２’の１つに協働する流体圧力と一次口２８、２８’、
３０、３０’及び排出口２４、２４’、２６、２６’の流体圧力とが実質的に等
しいときは中間位置を占める。このような条件の適用例は後述する。
【００３１】 滑り弁４０は、中間部分５２により相互に連結した第１部分４８及び第２部分
５０を備える。第１、第２及び中間の部分４８、５０、５２は一体に画定するの
がよい。滑り弁４０を全開位置に位置させるときは、第１一次口２８、２８’は
図１Ａに示すように第２一次口３０、３０’に連通する。従って流体は一次口２
８、２８’、３０、３０’に協働する各流体源間で流されることができる。滑り
弁４０を閉位置にするときは、第２部分５０は図１Ｂに示すように第２一次口３
０、３０’を塞ぐ。第２一次口３０、３０’を塞ぐと、滑り弁４０は第１一次口
２８、２８’及び第２一次口３０、３０’間の連通を実質的に遮断する。従って
一次口２８、２８’、３０、３０’に協働する各流体源間の流体の流れを有効に
防ぐ。滑り弁４０を中間位置にすると、第２部分５０は図４に示すように第２一
次口３０、３０’を開くことにより各一次口２８、２８’、３０、３０’に協働
する流体源間に流体を流す。従って全開位置から閉位置に動くときは、第１部分
４８は排出口２４、２４’、２６、２６’を次第に塞ぐと共に、第２部分は第２
一次口３０、３０’を次第に塞ぐ。閉位置から全開位置に動くと、第１部分４８
は排出口２４、２４’、２６、２６’を次第に開くと共に第２部分は第２一次口
３０、３０’を次第に開く。
【００３２】 パイロット弁３６及びパイロット口２０、２０’、２２、２２’間と、滑り弁
４０と一次口２８、２８’、３０、３０’及び排出口２４、２４’、２６、２６
’との間の近似的関係を考慮して、それぞれ口２０’、２２’、２４’、２６’
、２８’、３０’に対向して口２０、２２、２４、２６、２８、３０を設ける目
的は、なお一層明らかである。とくに複数対の互いに対向する口は、パイロット
弁３６及び滑り弁４０の上下の面に作用する流体力をつり合わせる手段を画定す
る。これ等の力をつり合わせることによってパイロット弁３６も滑り弁４０も、
第１プレート１４又は第３プレート１８に接触するようにはこれ等の流体力によ
って付勢されない。これ等の流体力は通常弁３６、４０の動きを妨げる。
【００３３】 図４に示すように滑り弁４０の第１部分４８は、第１の面５４と第１面５４に
対向する第２の面５６とを備える。滑り弁４０の第２部分５０は、第１面５８と
第１面５８に対向する第２面６０とを備える。第１部分４８の第１面５４は、滑
り弁４０の端部４０ａであり通路４７を介しパイロット口２０、２０’、２２、
２２’に連通する。第２部分５０の第２面６０は端部４０ａの反対側の端部４０
ｂである。第１部分４８の第２面５６と第２部分５０の第１面５８とは互いに対
向する。中間部分５２は、第１部分４８の第２面５６と第２部分５０の第１面５
８とを実質的に互いに等しい横方向部分に分割する。滑り弁４０は一般に一様な
厚さを持つ。このようにして滑り弁４０の種種の面５４、５６、５８、６０の各
表面積の比較は、種種の面５４、５６、５８、６０の長さの比較によって行う。
第１部分４８の第１面５４及び第２面５６はそれぞれ第２部分５０の第１面５８
及び第２面６０の表面積より大きい表面積を持つように示してあるが、第１部分
４８の第１面５４及び第２面５６はそれぞれ第２部分５６の第１面５８及び第２
面６０の表面積に対し等しいか又は一層小さい。
【００３４】 第１のパッド又は内側パッド６２ａ、６２ｂは第１部分４８の第２面５６から
延びる。各内側パッド６２ａ、６２ｂの一方は中間部分５２の各側部の一方に直
接隣接する。第２のパッドすなわち外側パッド６４ａ、６４ｂも又第１部分４８
の第２面５６から延びている。外側パッド６４ａ、６４ｂは外方横方向でそれぞ
れ内側パッド６２ａ、６２ｂから間隔を隔てる。各パッド６２ａ、６２ｂ、６４
ａ、６４ｂ及び第１部分４８は一体に画定するのがよい。各パッド６２ａ、６２
ｂ、６４ａ、６４ｂの目的は後述する。
【００３５】 内側及び外側のパッド６２ａ、６４ａの間にはポケット６６ａを画定してある
。ポケット６６ａは、滑り弁４０が閉位置にあるときは第１排出口２４、２４’
にわずかに重なる。このようにしてポケット６６ａは第１排出口２４、２４’に
絶えず流通した状態に保つ。内側パッド６２ｂ及び外側パッド６４ｂも又同様に
内側及び外側のパッド６２ｂ、６４ｂ間にポケット６６ｂを画定する。ポケット
６６ｂ及び第２排出口２６、２６’は、ポケット６６ｂを排出口２６、２６’に
絶えず連通するように配置してある。ポケット６６ａ、６６ｂ及び協働する排出
口２４、２４’、２６、２６’の間を連通状態に保つ目的は後述する。
【００３６】 第１部分４８の側部４０ｃに段６８ａを画定してある。同様に段６８ｂは第１
部分４８の側部４０ｄに画定してある。各段６８ａ、６８ｂは第１部分４８を広
い部分及び狭い部分に分割する。広い部分は第１面５４に隣接し、狭い部分は第
２面５６に隣接する。段６８ａ、６８ｂの目的は後述する。
【００３７】 第２部分５０は、第１面５８から延びる第３のパッド７０ａ、７０ｂを備える
。各第３パッド７０ａ、７０ｂは第２部分５０の側部の各一方に直接隣接する。
各パッド７０ａ、７０ｂ及び第２部分５０は一体に画定するのがよい。パッド７
０ａ、７０ｂの目的は後述する。
【００３８】 第２プレート１６は又、滑り弁４０及び固定部分３４を相互に連結するばね７
２を備える。ばね７２は滑り弁４０を中間位置（図４に示してある）に向かい付
勢する。さらにばね７２は補助アセンブリとして作用する。とくにばね７２は、
第２プレート１６を第１及び／又は第３のプレート１４、１８に接合する間に滑
り弁４０を固定部分３４に保持する手段を画定する。ばね７２は、第１部分４８
の第１面５４と第１面５４に対向する固定部分３４の部分との間を接続するのが
よい。或はばね７２は、滑り弁４０及び固定部分３４の間に任意所望の配置でた
とえば第２部分５０の第２面６０と第２面６０に対向する固定部分３４の部分と
の間に接続してもよい。ばね７２は引張りばねとして示してあるが圧縮ばねとし
て画定してもよい。ばね７２、滑り弁４０及び固定部分３４は一体に画定するの
がよい。ばね７２、滑り弁４０及び固定部分３４を一体に画定するときは、ばね
７２は図４に示すように中間の付勢された又は「組付けられた」位置では弛緩状
態にある。従って中間位置から変位すると、ばね７２は滑り弁を付勢し中間位置
に戻す（図４に示してある）。或はばね７２を滑り弁及び／又は固定部分とは別
個に画定する場合には、ばね７２は滑り弁４０を全開位置（図１Ａに示してある
）、閉位置（図１Ｂに示してある）又は全開位置及び閉位置の間の任意の位置に
付勢するのに使う。ばね７２を補助アセンブリだけに使う適用例ではばね７２の
代りに非ばね状部材又は滑り弁４０及び固定部分３４間に接続した取りはずしで
きるつなぎ部材（図示してない）を使ってもよい。つなぎ部材は、第２プレート
１６を第１及び第３のプレート１４、１８に取付けた後滑り弁４０又は固定部分
３４から所定の方式でつなぎ部材を切離す切欠き又はその他の適当な前もって応
力を加えた構造を備えるのがよい。
【００３９】 第２プレート１６はさらに、固定部分３４に取付けられ滑り弁４０の周辺の少
なくとも一部分を囲むスリーブ７４を備える。スリーブ７４及び固定部分３４は
一体に画定するのがよい。滑り弁４０が中間位置（図４に示してある）にあると
きは、スリーブ７４及び側部４０ｃの間に大体において一様な通路７５ａが画定
される。同様に滑り弁４０が中間位置にあるときは、スリーブ７４及び側部４０
ｄの間に大体において一様な通路７５ｂが画定される。通路７５ａ、７５ｂによ
り、滑り弁４０及びスリーブ７４間にすきまを設けることにより全開位置及び閉
位置間で滑り弁４０を動かすことができる。滑り弁４０及びスリーブ７４間にす
きまを設けると、滑り弁４０が全開位置から閉位置に向かい動くとき又滑り弁４
０が閉位置から全開及び閉の位置間の全開位置に向かい動くときに通路７５によ
り各端部４０ａ、４０ｂ間が連通することができる。若干の適用例では各通路を
通る流体流れは、通路７５ａ、７５ｂを通る流量が特定の流量を越える場合は望
ましくない。この種の適用例に関しては各通路７５ａ、７５ｂがパイロット口２
０、２０’、２２、２２’及び協働する排出口２４、２４’、２６、２６’間と
一次口２８、２８’、３０、３０’及び協働する排出口２４、２４’、２６、２
６’間との流量を適当に制限するのに十分な小さい寸法にするのがよい。一般に
端部４０ａ及び排出口２４、２４’、２６、２６’間の通路７５ａ、７５ｂの有
効な限定が排出口２４、２４’、２６、２６’の有効な限定より大きいことは望
ましい。同様に端部４０ｂ及び排出口２４、２４’、２６、２６’の間の通路７
５ａ、７５ｂの有効な限定は排出口２４、２４’、２６、２６’の有効な限定よ
り大きいことが望ましい。すなわち一般に通路７５ａ、７５ｂを通り排出口２４
、２４’、２６、２６’に流れる流体の流量は排出口２４、２４’、２６、２６
’を流れる流体の流量より一層制限するのがよい。
【００４０】 スリーブ７４はそれぞれ滑り弁４０の段６８ａ、６８ｂに隣接して１対の段７
９ａ、７９ｂを備える。各段７９ａ、７９ｂは空洞４２の比較的広い部分と空洞
４２の比較的狭い部分との間に画定される。滑り弁４０の第１部分４８の広い部
分は、滑り弁４０が全開位置（図１Ａに示してある）と中間位置（図４に示して
ある）とに在るときに空洞４２の広い部分内に配置される。滑り弁４０の第１部
分４８の広い部分は、滑り弁４０が閉位置（図１Ｂに示してある）に在るときは
空洞４２の狭い部分内に配置される。スリーブ７４の段７９ａ、７９ｂと滑り弁
４０の第１部分４８の段６８ａ、６８ｂとは互いに協働して、滑り弁４０が全開
位置及び中間位置から閉位置に動くときに第１部分４８の側部とスリーブ７４と
の間のすきまを減らす。第１部分４８の側部とスリーブ７４との間のすきまを減
らすことにより、パイロット口２０、２０’、２２、２２’と排出口２４、２４
’、２６、２６’との間に通路７５ａ、７５ｂを経て流れる流体の流量が著しく
制限される。スリーブ７４の段７９ａ、７９ｂと滑り弁４０の第１部分４８の段
６８ａ、６８ｂとは滑り弁４０の縦方向軸線に対してわずかに傾斜するのがよい
。この傾斜段構造により、滑り弁４０が全開位置及び中間位置から閉位置に向か
い動く際に第１部分４８の広い部分と空洞４２の狭い部分との整合とこの狭い部
分への流入とが容易になる。
【００４１】 段６８ａ、６８ｂ、７９ａ、７９ｂは、滑り弁４０の第１部分４８の各側部４
０ｃ、４０ｄ間のすきまを有効に減らすことが望ましい。このことは、通常公知
のシリコン・チップ・エッチング技術（ｓｉｌｉｃｏｎ ｃｈｉｐ ｅｔｃｈｉ
ｎｇ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ）によっては極めて得にくい。
【００４２】 スリーブ７４はさらに、滑り弁４０の動きを制限する互いに対向する受け座７
６ａ、７６ｂを備える。受け座７６ａは、スリーブ７４から滑り弁４０の第１部
分４８及び第２部分５０の間に側部４０ｃに向かって延びる。同様に受け座７０
ｂはスリーブ７４から滑り弁４０の第１部分４８及び第２部分５０の間に側部４
０ｄに向かって延びる。各受け座７６ａ、７６ｂはそれぞれ第１面７８ａ、７８
ｂとそれぞれ第２面８０ａ、８０ｂとを備える。滑り弁４０が閉位置に在るとき
は各内側パッド６２ａ、６２ｂ及び各外側パッド６４ａ、６４ｂは協働する受け
座７６ａ、７６ｂの第１面７８ａ、７８ｂに衝合する。受け座７６ａ、７６ｂに
衝合することにより、内側パッド６２ａ、６２ｂ及び外側パッド６４ａ、６４ｂ
により滑り弁４０を中間位置及び全開位置から動くときに閉位置を越えて動かな
いようにする。さらに受け座７６ａ、７６ｂ及び内側パッド６２ａ、６２ｂ間の
衝合によりさらに、通路７５ａ、７５ｂによる第１一次口２８、２８’及び排出
口２４、２４’、２６、２６’間の流体流量を制限する。さらに受け座７６ａ、
７６ｂ及び外側パッド６４ａ、６４ｂ間の衝合により通路７５ａ、７５ｂによる
パイロット口２０、２０’、２２、２２’及び排出口２４、２４’、２６、２６
’間の流体流量に付加的制限を加える。
【００４３】 各第３パッド７０ａ、７０ｂは滑り弁４０が全開位置に在るときに協働する第
２面８０ａ、８０ｂに衝合する。受け座７６ａ、７６ｂに衝合することにより、
第３パッド７０ａ、７０ｂによって中間位置及び閉位置から動くときに滑り弁４
０が全開位置をこえては動かないようにする。さらに受け座７６ａ、７６ｂ及び
第３パッド７０ａ、７０ｂ間の衝合によりさらに、通路７５ａ、７５ｂによって
一次口２８、２８’、３０、３０’及び排出口２４、２４’、２６、２６’間の
流体流量を制限する。
【００４４】 与えられた各対のパッド６２ａ、６２ｂ、パッド６４ａ、６４ｂ及びパッド７
０ａ、７０ｂにより得られる流体流量を制限する機能は、与えられた対のパッド
６２ａ、６２ｂ、パッド６４ａ、６４ｂ又はパッド７０ａ、７０ｂを省くとおそ
らくあまり有効ではないが、なお得られるのは明らかである。
【００４５】 滑り弁４０の位置は一部は、滑り弁４０の各面５４、５６、５８、６０に作用
する流体力の正味力の方向によって定まる。すなわち第１部分４８の第１面５４
と第２部分５０の第１面５８とに作用する各流体力の和が第１部分４８の第２面
５８と第２部分５０の第２面６０とに作用する各流体力の和より小さい場合には
、滑り弁４０に作用する流体力の正味の作用により滑り弁４０を全開位置に向か
って付勢する。これに反し、第１面５４、５８に作用する各流体力の和が第２面
５６、６０に作用する各流体力の和より大きい場合には、滑り弁４０に作用する
流体力の作用により滑り弁４０を閉位置に向かい付勢する。さらに第１面５４、
５８に作用する各力の和が第２面５６、６０に作用する力の和に実質的に等しい
ときは、各面５４、５６、５８、６０に作用する流体力は滑り弁４０を変位させ
る作用を持たない。
【００４６】 滑り弁４０の位置を定める際の他の要因は、滑り弁４０に作用するばね７２の
力である。第２面５６、６０に作用する力の和に対し等しい第１面５４、５８に
作用する各力の和を持つ条件を備えた適用例では、ばね７２は滑り弁４０を中間
位置に付勢する。各面５４、５６、５８、６０の流体力の正味作用がばね７２の
力より著しく大きい適用例ではばね７２の力は無視できると考えられる。
【００４７】 与えられた面５４、５６、５８、６０に作用する流体力は、与えられた面５４
、５６、５８、６０の表面積とこの与えられた面に作用する流体圧力との関数で
ある。与えられた面５４、５６、５８、６０に作用する流体圧力は、協働する流
体源の流体圧力と、協働する口２０、２０’、２２、２２’、２４、２４’、２
６、２６’、２８、２８’、３０、３０’の寸法と、流体源及び協働する口２０
、２０’、２２、２２’２４、２４’２６、２６’２８、２８’、３０、３０’
の間の流路の有効絞りと、口２０、２０’、２２、２２’、２４、２４’、２６
、２６’、２８、２８’、３０、３０’及び与えられた面５４、５６、５８、６
０の間の流路の有効絞りと、流体粘度とその他の既知の要因とを含む多くの要因
に依存する。
【００４８】 各面５４、５６、５８、６０に作用する各力に影響する要因は、パイロット弁
３６の位置と通路４７の合計の加圧または減圧とによって滑り弁４０の位置決め
を制御する。
【００４９】 マイクロ弁装置１０は通常開いた弁として又は通常閉じた弁として構成してあ
る。通常開いた弁として滑り弁４０は、アクチュエータ３８を付勢したときは閉
じた位置に向かって動きアクチュエータ３８を消勢したときは開く。通常閉じた
弁として滑り弁４０は、アクチュエータ３８を付勢するときは開きアクチュエー
タ３８を消勢するときは閉じる。マイクロ弁装置１０を通常開いた弁として又は
通常閉じた弁として構成するかどうかは各口２０、２０’、２２、２２’、２４
、２４’、２６、２６’２８、２８’３０、３０’に協働する流体源の流体圧力
とばね７２のばね力とに依存する。マイクロ弁装置１０は、なるべくは第１パイ
ロット口２０、２０’を「低圧」流体源に接続することにより、又第２パイロッ
ト口２２、２２’を「高圧」流体源に接続することにより図１Ａに示すように通
常開いた弁として構成する。さらに通常開いた弁として、第１パイロット口２０
、２０’に協働する流体源は第１一次口２８、２８’及び排出口２４、２４’、
２６、２６’に協働する流体源の液体圧力より高くない流体圧力を持ち、第１一
次口２８、２８’及び排出口２４、２４’、２６、２６’に協働する流体源は第
２パイロット口２２、２２’に協働する流体源の流体圧力より高くない流体圧力
を持ち、そして第２一次口３０、３０’に協働する流体源は第１一次口２８、２
８’に協働する流体源の流体圧力より高くない流体圧力を持つのがよい。他方で
はマイクロ弁装置１０は、なるべくはパイロット口２０、２０’を「高圧」流体
源に接続することにより又第２パイロット口２２、２２’を「低圧」流体源に接
続することにより通常閉じた弁（図示してない）として構成してある。さらに通
常閉じた弁として、第１一次口２８、２８’及び排出口２４、２４’、２６、２
６’に協働する流体源は第１パイロット口２０、２０’に協働する流体源の流体
圧力より高くない流体圧力を持ち、第２パイロット口２２、２２’に協働する流
体源は第１一次口２８、２８’に協働する流体源の流体圧力より高くない液体圧
力を持ち、そして第２一次口３０、３０’に協働する流体源は第１一次口２８、
２８’に協働する流体源の流体圧力より高くない流体圧力を持つのがよい。
【００５０】 マイクロ弁装置１０は、本説明に参照した１９９８年９月３日付米国特許願０
９／１４８，０２６号明細書に記載された製法のような適当なＭＥＭＳ製法を使
って作る。
【００５１】 本体１２は３枚以上又は３枚以下の互いに隣接するプレートから画定されるの
は明らかである。これ等の実施例に関しては空洞４２は１枚又は複数枚の隣接す
るプレートに画定した空洞又はくぼみにより画定する。
【００５２】 又第２プレート１６の部品は一体に画定するのがよいが第２プレート１６の部
品のうち任意の部品又はその全部は各別に画定し接合され又は通常協働する部品
又は各部品に適当に取付ければよい。
【００５３】 作動時にはマイクロ弁１０を通常開いた弁として構成するときは、滑り弁４０
はアクチュエータ３８を付勢するときは全開位置又は中間位置から閉位置に動く
。さらに通常開いた弁として構成すると滑り弁４０は、アクチュエータ３８を消
勢したときに閉位置から全開位置又は中間位置に動く。とくにアクチュエータ３
８を付勢するときはリブ４４ａ、４４ｂを経て電流が流れる。リブ４４ａ、４４
ｂを通る電流の流れによりリブ４４ａ、４４ｂを熱により膨張させ伸長させる。
リブ４４ａ、４４ｂの伸長によりスパイン４６を図１Ａに示した位置から図１Ｂ
に示した位置に変位させる。
【００５４】 スパイン４６の変位により次いでパイロット弁３６を図１Ａ及び１Ｂに示すよ
うにその第１位置から第２位置に動かす。第１位置から第２位置に動く際にパイ
ロット弁３６は第１パイロット口２０、２０’を次第に塞ぐが、これと同時にパ
イロット弁３６は第２パイロット口２２、２２’を次第に開くことにより通路４
７内の流体の圧力を高める。第２位置では第２パイロット口２２、２２’に協働
する「高圧」流体源は通路４７を介して第１部分４８の第１面５４に連通した状
態になる。従って各面５４、５６、５８、６０に作用する力の正味力により滑り
弁４０を全開位置又は中間位置から閉位置に動かす。
【００５５】 滑り弁４０が閉位置に向かい動くのに伴い、滑り弁４０の第１部分４８の段付
き部分はスリーブ７４の段付き部分に重なり、第１部分４８及びスリーブ７４間
のすきまを減小させる。第１部分４８及びスリーブ７４間のすきまを減小させる
ことにより、第１面５４に作用する「高圧」流体は、通路７５ａ、７５ｂを経て
排出口２４、２４’、２６、２６’に協働する「低圧」流体源に流れないように
さらに制限される。又滑り弁４０が閉位置に向かい動くに伴い、滑り弁４０の第
２部分５０が第２一次口３０、３０’を次第に塞ぐ。
【００５６】 閉位置に達すると、内側及び外側のパッド６２ａ、６２ｂ、６４ａ、６４ｂは
対応する受け座７６ａ、７６ｂの第１面７８ａ、７８ｂに衝合することにより滑
り弁４０の前進を制限する。さらに外側パッド６４及び受け座７６ａ間の衝合に
より滑り弁４０の第１面５４に作用する「高圧」流体が「低圧」流体源に通路７
５ａ及び第１排出口２４、２４’に流れないように制限する。同様に外側パッド
６４ｂ及び受け座７６ｂ間の衝合により滑り弁４０の第１面５４に作用する「高
圧」流体を「低圧」流体源に通路７５ｂ及び第２排出口２６、２６’を介して流
れないように制限する。さらに内側パッド６２ａ及び受け座７６ａ間の衝合によ
り、「高圧」流体減から第１一次口２８、２８’を経て「低圧」流体源から第１
一次口２８、２８’を経て「低圧」流体源に通路７５ａ及び第１排出口２４、２
４’を介する流体の流れを制限する。同様に内側パッド６２ｂ及び受け座７６ｂ
間の衝合により、「高圧」流体源から第１一次口２８、２８’を経て「低圧」流
体源に通路７５ｂ及び第２排出口２６、２６’を介して流れる流体の流れを制限
する。最後に閉位置に在るときは、滑り弁４０の第２部分５０は第２一次口３０
、３０’を十分に塞ぐ。第２一次口３０、３０’を塞ぐことにより、滑り弁４０
は「高圧」流体源から第１一次口２８、２８’を経て「低圧」流体源に第２一次
口３０、３０’を経て流体が流れないように有効に阻止する。
【００５７】 アクチュエータ３８を消勢すると、リブ４４ａ、４４ｂを経て流れる電流が停
止し、リブ４４ａ、４４ｂが冷却し収縮縮小が生ずる。リブ４４ａ、４４ｂの収
縮により、パイロット弁３６を第２位置から第１位置に動かすようにしてスパイ
ン４６を変位させる。第２位置から第１位置に動く際にパイロット弁３６が第２
パイロット口２２、２２’を次第に塞ぎこれと同時にパイロット弁３６が第１パ
イロット口２０、２０’を次第に開き通路４７内の流体の圧力を下げる。パイロ
ット弁３６が第１位置に達すると、第１パイロット口２０、２０’に協働する「
低圧」流体源は、第２パイロット口２２、２２’に協働する「高圧」流体源の代
りに通路４７を介し第１部分４８の第１面５４に連通する状態になる。従って各
面５４、５６、５８、６０に作用する各力の正味力により滑り弁４０を閉位置か
ら全開位置又は中間位置に動かす。
【００５８】 滑り弁４０が閉位置から動くに伴い、滑り弁４０の第２部分５０は第２一次口
３０、３０’を次第に開く。第２一次口３０、３０’が開くに伴い、「高圧」流
体源から第１一次口２８、２８’を経て「低圧」流体源に第２一次口３０、３０
’を経て流れる流体を次第に増す。
【００５９】 全開位置に達すると、第３パッド７０ａ、７０ｂが対応する受け座７６ａ、７
６ｂの第２面８０ａ、８０ｂに衝合することにより滑り弁４０がさらには前進し
ないようにする。なお第３パッド７０ａ及び受け座７６ａ間の衝合により、「高
圧」流体源から第１一次口２８、２８’を経て「低圧」流体源に通路７５ａ及び
第１排出口２４、２４’を介して流れる流体流量を制限する。なお第３パッド７
０ｂ及び受け座７６ｂ間の衝合によりさらに「高圧」流体源から第１一次口２８
、２８’を経て「低圧」流体源に通路７５ｂ及び第２排出口２６、２６’を介し
て流れる流体流量を制限する。
【００６０】 通常閉じた弁として構成したマイクロ弁装置１０は前記した通常開いた弁とし
て構成したマイクロ弁装置１０に比べて、通常閉じた滑り弁４０がアクチュエー
タ３８を付勢すると開きアクチュエータ３８を消勢すると閉じることを除いて実
質的に同じ作用をする。
【００６１】 流体循環路内の流体流れを制御する第２実施例によるマイクロ弁装置１１０を
図５Ａに示してある。マイクロ弁装置１１０は、このような類似の１００のシリ
ーズ（１００’ｓ ｓｅｒｉｅｓ）［ｃｅｎｔｅｎｎｉａｌ］代及び１０のシリ
ーズ（１０’ｓ ｓｅｒｉｅｓ）［ｎｏｎｃｅｎｔｅｎｎｉａｌ］代（非１００
代）の数字が類似の特徴を示すからマイクロ弁装置１０に対し構造及び機能が同
様である。たとえばマイクロ弁装置１１０は、マイクロ弁装置１０の本体１２に
対し構造及び機能が大体において同様である本体１１２を持つ。１００代の参照
数字を使うこの第２の実施例及び後続の実施例の図は指示された特徴を備えてい
る。これ等の特徴は参照数字の表わす形状でとくにことわらない限り、マイクロ
弁装置１０の対応する非１０代の数字を付してマイクロ弁装置１０について述べ
た部品に構造及び機能が大体において同様である。
【００６２】 マイクロ弁装置１１０及びマイクロ弁装置１０の間の主要な違いは、パイロッ
ト弁３６及び滑り弁４０が第３プレート１８に画定した口２０’、２２’、２４
’、２６’、２８’、３０’の必要をなくすように修正してあることである。さ
らにばね７２は、滑り弁４０を全開位置及び閉位置間に動くときに横方向に動か
す際にばね７２が持つ影響を減らすように修正してある。
【００６３】 本体１１２は図６に示すように第１プレート１１４及び第３プレート１１８間
に第２プレート１１６を設け取付けてある。
【００６４】 図５Ａ及び５Ｂに示すように第１プレート１１４は第１パイロット口１２０及
び第２パイロット口１２２を画定してある。第１プレート１１４は又第１の排出
口１２４及び第２の排出口１２６を画定してある。図６に示すように第１プレー
ト１１４はさらに第１の一次口（ｐｒｉｍａｒｙ ｐｏｒｔ）１２８及び第２一
次口１３０を画定する。或は口１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、１３
０のうちの任意のもの又は全部を第３プレート１１８に画定してもよい。
【００６５】 図７に示すように第３プレート１１８は一次トラフ（ｐｒｉｍａｒｙ ｔｒｏ
ｕｇｈ）１８２ａを画定してある。一次トラフ１８２ａは図６に明らかなように
第２の一次口１３０に整合する。第３プレート１１８は又第１排出トラフ１８２
ｂ及び第２の排出トラフ１８２ｃを画定する。第１及び第２の排出トラフ１８２
ｂ、１８２ｃはそれぞれ第１及び第２の排出口１２４、１２６に一次トラフ１８
２ａ及び第２一次口１３０間に図６に示したのと同様にして整合する。さらに第
３プレート１１８は第１パイロット・トラフ１８２ｄ及び第２パイロット・トラ
フ１８２ｅを画定する。第１及び第２のパイロット・トラフ１８２ｄ、１８２ｅ
はそれぞれ第１及び第２のパイロット口１２０、１２２に対し一次トラフ１８２
ａ及び第２一次口１３０間の整合と同様にして整合する。各トラフ１８２ａ〜１
８２ｅは後述のように画定する。
【００６６】 図５Ａ、５Ｂ、６に示すように第２プレート１１６は空洞を画定する。「Ｔ字
形」パイロット弁１３６は、第１位置（図５Ａに示してある）及び第２位置（図
５Ｂに示してある）間で動くように空洞１４２内に配置してある。パイロット弁
１３６は、第２プレート１１６の固定部分１３４に取付けた細長いビーム１３６
ａを備える。閉塞部分１３２ｂは、ビーム１３６ａの互いに対向する側部から延
びる２部分から画定するのがよい。閉塞部分１３２ｂの各部分はビーム１３６ａ
の各側部に対し約９０°の角度を挟んで延びるのがよい。或は閉塞部分１３２ｂ
の各部分はビーム１３６ａの各側部から任意適当な角度を挟んで延びてもよい。
閉塞部分１３６ｂはビーム１３６ａと実質的に同じ平面にあるのがよい。閉塞部
分１３６ｂは、パイロット弁１３６が第１及び第２の位置の間に動くときに第１
パイロット口１２０及び第２パイロット口１２２を交互に開閉する。閉塞部分１
３６ｂは、各パイロット口１２０、1２２間で一層大きい距離を隔てるがこのこ
とは若干の適用例では望ましいことである。
【００６７】 図５Ａ、５Ｂに示すように閉塞部分１３６は、パイロット弁１３６の上下面間
に延びる第１のパイロット・ダクト１８４ａを画定する。第１パイロット・ダク
ト１８４ａは第１パイロット口１２０及び第１パイロット・トラフ１８２ｄに継
続して連通する（図７に示してある）。このようにして第１パイロット・ダクト
１８４ａは、パイロット弁１３６がどのような位置にあってもパイロット弁１３
６により第１パイロット口１２０及び第１パイロット・トラフ１８２ｄ間の連通
を保持する。閉塞部分１３６ｂは又、パイロット弁１３６の上下面間に延びる第
２のパイロット・ダクト１８４ｂを画定する。第１パイロット・ダクト１８４ａ
、第１パイロット口１２０及び第１パイロット・トラフ１８２ｄ間の配置と同様
に、第２パイロット・ダクト１８４ｂは第２パイロット口１２２及び第２パイロ
ット・トラフ１８２ｅに継続して連通する（図７に示してある）。
【００６８】 閉塞部分１３６ｂはさらに１対の第１パイロット通気口１８６ａ及び１対の第
２パイロット口１８６ｂを画定してある。各パイロット通気口１８６ａ、１８６
ｂはパイロット弁１３６の上下面間に延びる。第１パイロット通気口１８６ａは
、第１パイロット・ダクト１８４ａに隣接し又閉塞部分１３６ｂの互いに対向す
る縁部である。パイロット通気口１８４ａ、１８４ｂの目的は後述する。
【００６９】 第２プレート１１６はさらに、対向端部１４０ａ、１４０ｂ及び対向側部１４
０ｃ、１４０ｄを持つ滑り弁１４０を備える。滑り弁１４０は、第１全開位置及
び第２閉位置の間に動くようにスリーブ１７４内に配置してある。スリーブ１７
４は固定部分１３４と一体に画定するのがよい。図５Ａ及び５Ｂはそれぞれ滑り
弁１４０を全開位置及び閉位置で示す。滑り弁４０（図４参照）の場合と同様に
滑り弁１４０も又図８に示すように、全開位置及び閉位置の間の位置である中間
位置又は付勢位置に位置する。
【００７０】 図８に示すように滑り弁１４０は、中間部分１５２により相互に接続した第１
部分１４８及び第２部分１５０を備える。第２部分１５０は、滑り弁１４０の上
下の面間に延びる複数の一次ダクト１８８を画定する。各一次ダクト１８８は、
第２一次口１３０及び一次トラフ１８２ａに継続的に連通している（図６及び７
に示してある）。このようにして一次ダクト１８８は、滑り弁１３６がどのよう
な位置に在っても第２一次口１３０及び一次トラフ１８２ａ間の連通を滑り弁１
３６を経て保持する。
【００７１】 第１部分１４８は、滑り弁１４０の上下面間に延び第１排出口１２４及び第１
排出トラフ１８２ｂ間を継続的連通状態にする第１排出ダクト１９０ａを画定す
る（図７に示してある）。第１部分１４８は又、滑り弁１４０の上下面間に延び
第２排出口１２６及び第２排出トラフ１８２ｃ間を継続的な連通状態にする第２
の排出ダクト１９０ｂを画定する（図７に示してある）。このようにして排出ダ
クト１９０ａ、１９０ｂは、滑り弁１４０がどのような位置に位置してもそれぞ
れ排出口１２４、１２６及び各排出ダクト１８２ｂ、１８２ｃ間の連通を滑り弁
１４０を経て保持する。
【００７２】 第１部分１４８はさらに、滑り弁１４０の上下面間に延びる複数の通気口１９
２を画定する。通気口１９２は端部１４０ａ及び側部１４０ｃ、１４０ｄの各縁
部に沿い配分してある。
【００７３】 ダクト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８は、各口１２０、１
２２、１２４、１２６、１３０にそしてこれ等の口から流れる流体によって各弁
１３６、１４０に作用する流体圧力をつりあわせる手段を画定する。とくに各ダ
クト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８により、各口１２０、１
２２、１２４、１２６、１３０及び協働するトラフ１８２ｄ、１８２ｅ、１８２
ｂ、１８２ｃ、１８２ａの間にそれぞれ十分非制限的に流体を流して、特定のダ
クト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８の区域における各弁１３
６、１４０の上面及び下面に作用する流体圧力間の差が各弁１３６、１４０を第
１プレート１１４又は第３プレート１１８に向って動いて接触し各弁１３０、１
４０の所期の動きに干渉することがないようにする。
【００７４】 さらに協働トラフ１８２ｄ、１８２ｅ、１８２ｂ、１８２ｃ、１８２ａにぞれ
ぞれ組合うダクト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８は、各口１
２０、１２２、１２４、１２６、１３０の前後に受ける差動圧力に対し各口１２
０、１２２、１２４、１２６、１３０を通る流体流量を増大することができる。
とくに与えられた差動圧力に対し与えられた口１２０、１２２、１２４、１２６
、１３０を通る流体流量は、各弁１３６、１４０により開いた与えられた口１２
０、１２２、１２４、１２６、１３０の面積の相関的要因である。各弁１３６、
１４０が各弁１３６、１４０により与えられた口１２０、１２２、１２４、１２
６、１３０を部分的に覆う位置に在るときは、与えられた口１２０、１２２、１
２４、１２６、１３０の開かれた面積は、各弁１３６、１４０により塞がれない
与えられた口１２０、１２２、１２４、１２６、１３０の面積と各ダクト１８４
ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８に連通する与えられた口１２０、１
２２、１２４、１２６、１３０の面積とに等しい。しかし各ダクト１８４ａ、１
８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８とそれぞれ協働するトラフ１８２ｄ、１８
２ｅ、１８２ｂ、１８２ｃ、１８２ａとが設けてない場合には、与えられた口１
２０、１２２、１２４、１２６、１３０の塞がれない面積は各弁１３６、１４０
により塞がれない面積に限定される。このようにして各ダクト１８４ａ、１８４
ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８及びそれぞれ協働するトラフ１８２ｄ、１８２
ｅ、１８２ｂ、１８２ｃ、１８２ａは、各弁１３６、１４０がこれ等の各弁によ
り各口を部分的に塞ぐ位置に在るときに与えられた口１２０、１２２、１２４、
１２６、１３０の塞がれない面積を増す。すなわち与えられた口１２０、１２２
、１２４、１２６、１３０の前後の与えられた差動圧力を各弁１３６、１４０が
各口を部分的に塞ぐときに増すことにより、与えられた口１２０、１２２、１２
４、１２６、１３０の前後の与えられた差動圧力に対する流量が増す。図６はそ
れぞれ各ダクト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ及び協働するトラフ１
８２ｄ、１８２ｅ、１８２ｂ、１８２ｃを持つ他の口１２０、１２２、１２４、
１２６の流体流路に類似の、一次口１３０を通る流体流路を示す。滑り弁１４０
が図６に示すように一次口１３０を部分的に塞ぐときは流路ｆ２により示すよう
に一次口１３０の塞がれない部分を通り一次口１３０に流体を流通させることが
できる。さらにダクト１８８及びトラフ１８２により流路ｆ２によって示すよう
にダクト１８８に連通する一次口１３０の一部を経て一次口１３０を通り流体を
流通させることができる。
【００７５】 パイロット・ダクト１８４ａ、１８４ｂ及び排出ダクト１９０ａ、１９０ｂは
円形として示され一次ダクト１８８は大体において長方形として示してあるが、
各ダクト１８４ａ、１８４ｂ、１９０ａ、１９０ｂ、１８８は任意適当な形状で
よいのは明らかである。各パイロット・ダクト１８４ａ、１８４ｂと各排出ダク
ト１９０ａ、１９０ｂとの代りに複数の同様な形状のダクトを使ってもよいのは
明らかである。さらに一次ダクト１８８は個数が図示のように４個のダクト１８
８により少なくても多くてもよい。
【００７６】 通気口１８６ａ、１８６ｂ、１９２は、第１プレート１１４及び弁１３６、１
４０の間で各弁１３６、１４０を過ぎて漏れる流体によって又第３プレート１１
８及び弁１３６、１４０の間で各弁１３６、１４０を過ぎて漏れる流体によって
各弁１３６、１４０に作用する流体圧力をつりあわせる手段を画定する。とくに
通気口１８６ａ、１８６ｂ、１９２は、各弁１３６、１４０と第１及び第３のプ
レート１１４、１８８との間で各弁１３６、１４０を過ぎる流体の流れを遮断し
この遮断された流体を十分に非制限的に各弁１３６、１４０を経て流すように作
られ、特定の通気口１８６ａ、１８６ｂ、１９２の区域で各弁１３６、１４０の
上下の面に作用する流体圧力間の差によっては各弁１３６、１４０をこれ等の各
弁１３０、１４０の所期の動きに干渉するようには第１プレート１１４又は第３
プレート１１８に向って動かし接触させないようにする。
【００７７】 通気口１８６ａ、１８６ｂ、１９２は大体において長方形として示してあるが
、これ等の通気口１８６ａ、１８６ｂ、１９２は任意適当な形状でよいのは明ら
かである。又各通気口の場所及び個数がマイクロ弁装置１１０を利用する特定の
適用例に従って変るのは明らかである。
【００７８】 図５Ａ及び５Ｂに示すように第２プレート１１６はさらに、パイロット弁１３
８の動きを制御するアクチュエータ１３８を備える。アクチュエータ１３８は、
パイロット弁１３６に取付けた細長いスパイン１４６を備える。アクチュエータ
１３８はさらに多重対の互いに対向する第１リブ１４４ａ及び第２リブ１４４ｂ
を備える。各第１リブ１４４ａはスパイン１４６の第１側部に取付けた第１端部
と、固定部分１３４にとくに複数の第１リブ１４４ａを取付けた固定体１３４ａ
に取付けた第２端部とを持つ。第１リブ１４４ａと同様に各第２リブ１４４ｂは
、スパイン１４６の第２側部に取付けた第１端部と固定部分１３４から画定した
固定体１３４ｂに取付けた第２端部とを持つ。前記したマイクロ弁装置１０と同
様に各リブ１４４ａ、１４４ｂは熱的に膨張収縮するようにしてある。電気コン
タクト１３２ａ、１３２ｂは、リブ１４４ａ、１４４ｂに熱的に膨張伸長させる
ために、リブ１４４ａ、１４４ｂを経て流れる電流を供給するように電源に接続
するようにしてある。リブ１４４ａ、１４４ｂの各端部は、これ等の端部を一層
たわみやすくすることによってリブ１４４ａ、１４４ｂの膨張及び収縮により生
ずるリブ１４４ａ、１４４ｂに作用する応力を低減するようにテーパを付けてあ
る。各リブ１４４ａ、１４４ｂの中間区分は各端部より比較的広くして剛性を保
持して、熱による伸長中に各リブ１４４ａ、１４４ｂの受ける圧縮荷重のもとで
の座屈を防ぐ。
【００７９】 マイクロ弁装置１１０を適当に作る強反応性イオン・エッチング法のような多
くの製法で、図５に例示したリブ１４４ａの隣接リブのように相互に近接した各
部品間のすきまの一様な幅を保持することが有用である。次の２つのパラグラフ
で述べることをどのようにして行うかの説明はマイクロ弁装置１１０のリブ１４
４ｂにも同様に適用でき、他の微細加工構造にも同様な原理を適当に使えばよい
。
【００８０】 各リブ１４４ａは、比較的広い中間区分である第１の部分を持つ。各リブは１
４４ａの各隣接面はその間に与えられた一定の幅を持つみぞ穴又はすきま１４４
ｃを持つ。各リブ１４４ａの第２部分すなわちこれ等のリブを固定部分１３４ａ
に取付ける部分では、各リブ１４４ａの隣接面は、各リブ１４４ａの各端部の持
つテーパによって、第１部分の各隣接面の幅より大きい距離だけを互いに間隔を
隔てる。互いに隣接する第２部分間のすきまの一様な幅を保持するようにリブ１
４４ａの縦方向に互いに隣接する第２部分間に延長体１４４ｄを挿入する。第２
のすきま（みぞ穴）１４４ｅは各延長体１４４ｄと各リブ１４４ａのうちの隣接
リブとの間に画定する。すきま１４４ｅは、すきま１４４ｃと同じ幅を持ち、隣
接リブ１４４ａの第２部分がその最大幅に達する点に隣接するすきま１４４ｃに
合致する。第３すきま１４４ｆは、各延長体１４４ｄとすきま１４４ｃに隣接す
るリブ１４４ａに縦方向に隣接するリブ１４４ａとの間に画定する。すきま１４
４fは、各すきま１４４c、１４４ｅと同じ幅を持ち、隣接リブ１４４ａの第２部
分が最大幅に達する点に隣接するすきま１４４ｃ、１４４ｅに合致する。延長体
１４４ｄの形状がリブ１４４ａのその各側の隣接形状により定まるのは明らかで
ある。
【００８１】 リブ１４４ａの第３部分すなわち各リブがスパイン１４６に付着する部分では
、各リブ１４４ａの隣接面は、各リブ１４４ａの端部のテーパによって第１部分
の隣接面間の幅より大きい距離だけ互いに距離を隔てる。各隣接第２部分間のす
きまの一様な幅を保持するように、各リブ１４４ａの縦方向に隣接する第３部分
間に付加的延長体１４４ｄを挿入する。各延長体１４４ｄと各リブ１４４ａのう
ちの隣接リブとの間に第４のすきま（みぞ穴）１４４ｇを画定する。すきま１４
４ｇは、すきま１４４ｃと同じ幅を持ち、隣接リブ１４４ａの第３部分がその最
大幅に達する点に隣接するすきま１４４ｃに合致する。各延長体１４４ｄとすき
ま１４４ｇに隣接するリブ１４４ａに縦方向に隣接するリブ１４４ａとの間にす
きま１４４ｈを画定する。すきま１４４ｈは、すきま１４４ｃ、１４４ｇと同じ
幅を持ち、隣接リブ１４４ａの第３部分がその最大幅に達する点に隣接するすき
ま１４４ｃ、１４４ｇに合致する。
【００８２】 マイクロ弁装置１１０は、その内面及び外面間に著しい差動圧力を受ける。本
発明によれば従ってマイクロ弁装置１１０の構造は大きい内部室の壁面の互いに
間隔を置いた部分間に延びる１個又は複数個の圧力補強部材を備える。たとえば
アクチュエータ１３８は選定した各第１リブ１４４ａ間に挿入した第１圧力補強
部材１９１ａを備える。第１圧力補強部材１９１ａは、固定部分に取付けた固定
端部とスパイン１４６の第１側部に隣接する自由端部とを持つ。第１圧力補強部
材１９１ａは又、第１プレート１１４に取付けた下面と第３プレート１１８に取
付けた上面とを持つ。アクチュエータ１３８は又、選定した第２リブ１４４ｂ間
に挿入した第２圧力補強部材１９１ｂを備える。第２圧力補強部材１９１ｂは、
固定部分に取付けた固定端部とスパイン１４６の第２側部に隣接する自由端部と
を持つ。第１圧力補強部材１９１ａは又、第１プレート１１４に取付けた下面と
第３プレート１１８に取付けた上面とを持つ。圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂ
はそれぞれ、圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂの下面及び上面間の寸法でリム１
４４ａ、１４４ｂの高さに対し一様でわずかに大きい寸法に対応する高さを持つ
。圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂは、各リブ１４４ａ、１４４ｂのすぐ近くで
連続的には支えてない第１及び第２のプレート１１４、１１８の表面積を減らす
ことにより第２プレート１１６と第１及び第３のプレート１１４、１１８との間
の接続部を補強する。圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂ、リブ１４４ａ、１４４
ｂ、スパイン１４６及び固定部分１３４は一体に画定するのがよい。特定の適用
例によって、それぞれ付加的に選定したリブ１４４ａ、１４４ｂ間に挿入した付
加的な圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂを備えることによりマイクロ弁装置１１
０の各圧力補強部材間の距離を減らすことが望ましいのは明らかである。
【００８３】 圧力補強部材１９１a、１９１ｂは固定部分１３４から画定した固定体１３４
ａ、１３４ｂから延びる各圧力補強用の「半島状部材（ｐｅｎｉｎｓｕｌａｓ）
」の形で図５Ａ及び５Ｂに示してある。図５Ｃ及び５Ｄは圧力補強部材の別の実
施例を示す。図５Cでは半島状部材形でなくてアクチュエータ１３８の各リブ間
に配置した圧力補強部材１９１ａ’、１９１ｂ’は、固定部分１３４に接続して
ない圧力補強柱の形にしてある。圧力補強部材１９１ａ’、１９１ｂ’はリブ１
４４ａ、１４４ｂのうち選定したリブ間に配置してある。図５Ｄはアクチュエー
タ３８の別の実施例を示す。縦方向に細長い穴１９１cはスパイン４６を貫いて
画定してある。圧力補強柱１９１ｄは、第１プレート１４及び第３プレート１８
に固定され穴１９１ｃを貫いて延びている。穴１９１cは、任意の穴１９１ｃの
縦方向端部がスパイン４６の運動範囲にわたり貫いて延びる圧力補強柱１９１ｄ
に当たらないだけ十分に縦方向に細長くするのがよい。
【００８４】 図８に示すように第１部分１４８の側部１４０ｃには１対の段１６８ａ、１６
８ａ’を画定してある。同様に第１部分１４８の側部１４０ｄには１対の段１６
８ｂ、１６８ｂ’を画定してある。各段１６８ａ、１６８ａ’、１６８ｂ、１６
８ｂ’は、第１及び第２の広い部分１４８ａ、１４８ｂ間で第１部分１４８を第
１の広い部分１４８ａ、第２の広い部分１４８ｂ及び狭い部分１４８ｃに分割す
る。
【００８５】 スリーブ１７４はそれぞれ段１６８ａ、１６８ａ’に隣接しこれ等の各段に補
形的な段１８０ａ、１８０ａ’を画定する。同様にスリーブ１７４はそれぞれ段
１６８ｂ、１６８ｂ’に隣接しこれ等の各段に補形的な段１８０ｂ、１８０ｂ’
を画定する。スリーブ１７４の各段１８０ａ、１８０ａ’、１８０ｂ、１８０ｂ
’は、第１及び第２の広い部分１７４ａ、１７４ｂ間でスリーブ１７４を第１の
広い部分１７４ａ、第２の広い部分１７４ｂ及び狭い部分１７４ｃに分割する。
滑り弁１４０が中間位置に在るとき（図８に示してある）、滑り弁４０の狭い部
分１４８ｃはスリーブ１７４の狭い部分１７４ｃ内に配置され、滑り弁４０の第
１の広い部分１４８ａはスリーブ１７４の第１の広い部分１７４ａ内に配置され
、そして滑り弁４０の第２の広い部分１４８ｂは滑り弁１７４の第２の広い部分
１７４ｂ内に配置される。中間位置では側部１４０ｃ及びスリーブ１７４の間に
一様なすきますなわち通路１７５ａが画定される。同様に中間位置では側部１４
０ｄ及びスリーブ１７４の間に一様なすきますなわち通路１７５ｂが画定される
。滑り弁１４０が図５Ａに示した全開位置に動くと、滑り弁１４０の第２の広い
部分１４８ｂはスリーブ１７４の狭い部分１７４ｃ内に部分的に配置される。滑
り弁１４０が図５Ｂに示した閉位置に動くと、滑り弁１４０の第１の広い部分１
４８ａはスリーブ１７４の狭い部分１７４ｃに部分的に配置される。スリーブ１
７４の段１８０ａ、１８０ａ’、１８０ｂ、１８０ｂ’と滑り弁４０の段１６８
ａ、１６８ａ’、１６８ｂ、１６８ｂ’とは、滑り弁４０が図８に示した中間位
置から閉位置又は全開位置に向かって動くときは第１位置１４８及びスリーブ７
４の間のすきまを減らすことにより、互いに協働して通路１７５ａ、１７５ｂを
通る流体流量を著しく制限する。
【００８６】 図５Ａ、５Ｂ及び８に示すように第２プレート１１６は又滑り弁１４０の端部
１４０ａと固定部分１３４とを相互に接続するばね１７２を備える。ばね１７２
は図８に示した中間位置に滑り弁１４０を付勢する。ばね１７２は固定部分１３
４から延びる第１の細長いアーム１７２ａを備える。一様な幅を持つように示し
てあるが、第１アーム１７２ａは平面図で大体において砂時計の形状を持つよう
に幅を定めた「くびれ」部を持つのがよい。シム（挟み金）１７２ｂは第１アー
ム１７２から滑り弁１４０に向かって延びる。ばね１７２が図８に示すように弛
緩状態又は「組付け」位置にあるときは第１アーム１７２ａ及びシム１７２ｂ間
に直角を挟む。シム１７２ａは大体において一様な幅及び厚さを持つのがよい。
第２の細長いアーム１７２ｃはシム１７２ｂから固定部分１３４に取付けた第１
アーム１７２ａの端部に向かって延びる。ばね１７２が「組付け」位置にあると
きは第２アーム１７２ｃ、及びシム１７２ｂの間に直角を挟む。さらにばね１７
２が「組付け」位置にあるときは第１アーム１７２の及び第２アーム１７２ｃの
間にすきまが画定される。第２アーム１７２ｃは大体において一様な幅及び厚さ
を持つのがよい。第３の細長いアーム１７２ｄは第２アーム１７２ｃと滑り弁１
４０の端部１４０ａとを相互に接続する。第３アーム１７２ｄ及び第２アーム１
７２ｃ間と第３アーム１７２ｄ及び端部１４０ａ間とは、ばね１７２が「組付け
」位置にあるときに直角を挟む。第３アームは大体において一様な幅及び厚さを
持つのがよい。シム１７２ｂは第１及び第２のアーム１７２ａ、１７２ｃに比べ
て比較的剛性が高い。第１アーム１７２ａ及び第２アーム１７２ｃの長さ及び幅
は、滑り弁１４０が全開位置及び閉位置の間で動くときに第３アーム１７２ｄ従
って滑り弁１４０をこの滑り弁の縦方向軸線に沿って動かすように第１アーム１
７２ａ及び第２アーム１７２ｃが湾曲するように寸法を定めてもある。すなわち
第１アーム１７２ａ及び第２アーム１７２ｃは、滑り弁１４０が全開位置及び閉
位置の間で動くときに第３アーム１７２ｃが滑り弁１４０の端部１４０ａに対し
実質的に直交する関係を保持する。
【００８７】 マイクロ弁装置１０に関し述べたのと同様にしてマイクロ弁装置１１０は通常
開いた弁として又は通常閉じた弁として構成すればよい。
【００８８】 流体循環路内の流体流量を制御する第３の実施例によるマイクロ弁装置２１０
を図９Ａに示してある。マイクロ弁装置２１０はマイクロ弁装置１０、１１０に
比べ構造及び機能が同様である。このようにして２００代、１００代及び１０代
の参照数字は同様な構造を示す。マイクロ弁装置２１０及びマイクロ弁装置１０
の間の主要な違いは、マイクロ弁装置１０の滑り弁４０に変型を行ったことであ
る。滑り弁４０に変型を行うことにより、一次口２８、３０の配向も又修正して
ある。さらに第３プレート１８に画定した口２０’、２２’、２４’、２６’、
２８’、３０’は除いてある。
【００８９】 マイクロ弁装置の２１０は本体２１２を備える。本体２１２は第１プレート２
１４及び第３プレート２１８間に取付けた第２プレート２１６を備える。
【００９０】 第１プレート２１４は第１一次口２２８及び第２一次口２３０を画定する。第
１プレート２１４は又は１対のチャネル２９４を画定する。或は、一次口２２８
、２３０及びチャネル２９４のうち任意のもの又は全部は第３プレート２１８に
画定してもよい。チャネル２９４の目的は後述する。
【００９１】 第２プレート２１６は、互いに対向する端部２４０ａ、２４０ｂ及び互いに対
向する側部２４０ｃ、２４０ｄを持つ滑り弁２４０を備える。滑り弁２４０は、
第１の全開位置及び第２の閉位置の間で動くようにスリーブ２７４に配置してあ
る。図９Ａ及び９Ｂは滑り弁１４０をそれぞれ全開位置及び閉位置で示す。滑り
弁４０（図４参照）の場合と同様に滑り弁２４０も又中間位置又は付勢された位
置にある。
【００９２】 図１０は図９Ａに示した滑り弁２４０の拡大図である。滑り弁２４０は、マイ
クロ弁装置２１０の固定部分２３４をなるべくは一体に画定したスリーブ２７２
内に配置してある。滑り弁２４０は、中間部分２５２により相互に接続した第１
部分２４８及び第２部分２５０を備える。第１部分２４８は、第１面２５４と第
１面２５４に対向する第２面２５６を持つ。第２部分２５０は第１面２５８と第
１面２５８に対向する第２面２６０とを持つ。第１部分２４８の第１面２５４と
第２部分２５０の第２面２６０とはそれぞれ滑り弁２４０の各端部２４０ａ、２
４０ｂにある。第１部分２４８の第２面２３６と第２部分の２５０の第１面２５
８とは相互に対向する。中間部分２５２はこれを貫いて中央部に配置された穴２
９６を画定する。
【００９３】 滑り弁２４０は第１一次口２２８に整合し、全開位置及び閉位置の間に動くと
きは第２部分２５０が第１一次口２２８の一定の面積を覆うようにしてある。さ
らに全開位置及び閉位置の間に動くときは、第１一次口２２８の変化する部分が
第２部分２５０の第２面２６０に絶えず連通しそして第１一次口２２８の別の変
化する部分が穴２９６に絶えず連通した状態になる。滑り弁２４０が全開位置又
は全開位置に近い位置に在るときは、第２一次口２３０も又穴２９６に連通する
状態になる。両方の口２２８、２３０を穴２９６に連通した状態にすることにに
より、第１一次口２２８及び第２一次口２３０の間に流体を流す。滑り弁２４０
が閉位置に在るときは、第２一次口２３０は第１部分２４８により全部覆われる
。第２一次口２３０を全閉にすることにより第１一次口２２８及び第２一次口２
３0間の流体流量を有効に阻止する。
【００９４】 滑り弁２４０はチャネル２９４に整合し各チャネル２９４の1つが滑り弁１４
０の各側部２４０ｃ、２４０ｄの一方に隣接するようにする。
【００９５】 滑り弁２４０はチャネル２９４に整合し各チャネル２９４の１つが滑り弁１４
０の各側部２４０ｃ、２４０ｄの一方に隣接するようにする。各チャネル２９４
は、第２部分２５０の第１面２５６の対応部分を穴２９６に絶えず連通した状態
にする。チャネル２９４は、与えられたチャネル２９４を通る流体流量に対する
有効な制限がチャネル２９４及び第１面２５６の間の領域でスリーブ２７４の境
界面と滑り弁２４０の協働する側部２４０ｃ、２４０ｄとの間の流体流量に対す
る有効な制限より小さくなるように寸法を定めてある。滑り弁２４０が全開位置
及び閉位置の間で動くときは、チャネル２９４を通る流体流量がスリーブ２７４
と第２部分２５０の第１面２５６との流体流量の変化に適応するようにする。或
はチャネル２９４は滑り弁２４０に画定してもよい。
【００９６】 マイクロ弁装置１０に関して述べたのと同様にしてマイクロ弁装置２１０は通
常開いた弁又は通常閉じた弁として構成してある。
【００９７】 流体循環路内の流体流量を制御する第４実施例によるマイクロ弁装置３１０を
図１１Ａに示してある。マイクロ装置３１０はマイクロ弁装置２１０に対し構造
及び機能が同様である。３００代及び２００代の参照数字と同様な数字は同様な
構造を示す。マイクロ弁装置３１０及びマイクロ弁装置２１０間の主要な違いは
、マイクロ弁装置２１０の一次口２２８、２２６の配向に変型を行ってあること
である。さらに排出口２２４、２２６は除いてある。
【００９８】 マイクロ弁装置３１０は本体３１２を備える。本体３１２は第１プレート３１
４及び第３プレート３１８の間にこれ等のプレートに取付けた第２のプレート３
１６を備える。
【００９９】 第１プレート３１４は第１一次口３２８及び第２一次口３３０を画定する。第
１プレート３１４は又、第１一次口３２８に隣接する１対の第１チャネル３９４
ａと第２一次口３３０に隣接する１対の第２チャネル３９４ｂとを画定する。或
は一次口３２８、３３０及び／又はチャネル３９４ａ、３９４ｂは第３プレート
３１８に画定してもよい。
【０１００】 第２プレート３１６は、互いに対向する端部３４０ａ、３４０ｂと互いに対向
する側部３４０ｃ、３４０ｄとを備える。滑り弁３４０は通常第１の閉位置及び
第２の全開位置の間で動くようにスリーブ３７４に可動なように配置してある。
図１１Ａ及び１１Ｂはそれぞれ滑り弁３４０を閉位置及び全開位置で示す。
【０１０１】 図１２は図１１Ａに示した滑り弁３４０の拡大図である。滑り弁３４０は、中
間部分３５２により互いに接続した第１部分３４８及び第２部分３５０を備える
。第１部分３４８は第１面３５４と第１面３５４に対向する第２面３５６とを持
つ。第２部分３５０は第１面３５８と第１面３５８に対向する第２面３６０とを
持つ。第１部分３４８の第１面３５４と第２部分３５０の第２面３６０とは滑り
弁３４０の互いに対向する端部にある。第１部分３４８の第１面３５６と第２部
分３５０の第１面３５８とは相互に対向する。中間部分３５２は中央に配置した
貫通穴３９６を画定する。
【０１０２】 滑り弁３４０は第２一次口３３０と整合し第２一次口３３０が穴３９６に絶え
ず連通するようにする。滑り弁３４０は第１一次口３２８に整合し第１一次口３
２８の変化する部分が第２部分３５０の第２面３６０に絶えず連通するようにす
る。さらに滑り弁３４０が閉位置に在るとき（図１１Ａ及び１２）第２部分３５
０は、第２面３６０に連通したままになっている第１一次口３２８の部分３２８
ａを除いて第１一次口３２８を塞ぐ。このようにして流体は第１一次口３２８、
３３０間に流れないように有効に防止される。滑り弁３４０が全開位置（図１１
Ｂ）に動くときは第２部分３５０は第２部分３５０の第１端部３５８に隣接する
第１一次口３２８の増大する部分を開く。第２部分３５０により開かれる第１一
次口３２８の部分は穴３９６に連通した状態になる。第１一次口３２８の増大す
る部分を穴３９６に連通した状態にすることにより、各一次口３２８、３３０間
に流れる流体を増大させる。
【０１０３】 滑り弁３４０は第１チャネル３９４ａに整合し第１チャネル３９４ａの１つが
側部３４０ｃ及びスリーブ３７４により画定した通路３７５ａに連通した状態に
なるようにする。他の流体チャネル３９４ａは、側部３４０ｄ及びスリーブ３７
４により画定した通路３７５ａに連通する。各第１チャネル３９４ａは第１面３
５８の一部分を穴３９６に絶えず連通した状態にする。滑り弁３４０は第２チャ
ネル３９４ｂに整合し第２チャネル３９４ｂの一方が通路３７５ａに連通し他方
の第２チャネル３９４ｂが通路３７５ｂに連通するようにする。各第２チャネル
３９４ｂは第１部分３４８の第２面３５６の一部分を穴３９６に絶えず連通させ
る。通路３７５ａ、３７５ｂ及び一次口３３０間にチャネル３９４ｂを経て流体
を流すことにより、マイクロ弁装置２１０の排出口２２４、２２６が除かれる。
各チャネル３９４ａ、３９４ｂはチャネル３９４ａ、３９４ｂを通る流体流量の
有効な制限がスリーブ３７４と滑り弁３４０の協働する側部３４０ｃ、３４０ｄ
との間の流体流量の有効な制限より小さくなるように寸法を定める。
【０１０４】 マイクロ弁装置１０に関して述べたのと同様にマイクロ弁装置３１０は通常開
いた弁として又は通常閉じた弁として構成できる。
【０１０５】 流体循環路内の流体流量を制御する第５の実施例によるマイクロ弁装置４１０
は図１３Ａに示してある。マイクロ弁装置４１０はマイクロ弁装置３１０に対し
構造及び機能が同様である。このようにして４００代及び３００代の参照数字は
同様な構造を示す。マイクロ弁装置４１０及びマイクロ弁装置３１０間の主要な
違いは、滑り弁３４０が「２口」弁から「３口」弁に第３の一次口を加えること
により変えられていることである。
【０１０６】 マイクロ弁装置４１０は本体４１２を備える。本体４１２は、第１プレート４
１４及び第３プレート４１８の間にこれ等のプレートに取付けた第２のプレート
４１６を備える。
【０１０７】 第１プレート４１４は第１パイロット口４２０及び第２パイロット口４２２を
画定する。第１プレート４１４はさらに第１一次口４２８、第２一次口４３０及
び第３一次口４９８を画定する。或は第３プレート４１８に任意の個数の口４２
０、４２２、４２８、４３０、４９８を画定してもよい。第１パイロット口４２
０は、「低圧」流体源（図示してない）に接続するようにしてある。第２パイロ
ット口４２２は「高圧」流体源（図示してない）に接続するようにしてある。各
一次口４２８、４３０、４９８の１つは３個の互いに異なる各流体源（図示して
ない）の１つに接続するようにしてある。第３一次口４９８に協働する流体源は
、第２一次口４３０に協働する流体源の流体圧力より高い流体圧力を持つ。第１
一次口４２８に協働する流体源は第２一次口４３０に協働する流体源の流体圧力
より高い流体圧力を持つのがよい。或は第１一次口４２８に協働する流体源は第
２一次口４３０に協働する流体源の流体圧力より低い流体圧力を持つ。
【０１０８】 図１３Ａ及び１３Ｂに示すように第２プレートを４１６は、空洞４４２を画定
する固定部分４３４を備える。パイロット弁４３６は、固定部分４３４から延び
、固定位置（図１３Ａに示してある）と第２位置（図１３Ｂに示してある）との
間で動くように空洞４４２内に可動なように配置してある。第１位置ではパイロ
ット弁４３６は第２パイロット口４２２を塞ぎ、通路４４７と第２パイロット口
に協働する高圧源との間の流体の連通を有効に遮断する。さらに第１位置にある
ときは、パイロット弁４３６は第１パイロット口４２０を開く。第１パイロット
口４２０を開くときは、通路４４７と第１パイロット口４２０に協働する低圧力
源との間に流体を流し、通路４４７内の流体圧力を低減させる。第２位置に動く
ときは、パイロット弁４３６は第２パイロット口４２２を次第に開き第１パイロ
ット口４２０を次第に塞ぎ通路４４７内の流体圧力を増大させる。第２位置では
パイロット弁４４６は第２パイロット口４２０を全開し第１パイロット口４２２
を実質的に閉じ通路４４７内の流体圧力を第２パイロット口４２２に協働する高
圧源の流体圧力に近づける。
【０１０９】 アクチュエータ４３８は第１及び第２位置の間でパイロット弁４３６を動かす
ようにパイロット弁４３６に作動的に結合してある。アクチュエータ４３８はア
クチュエータ３８と同様に中央スパイン４４を作動するように山形状部材に配置
した少なくとも１対のリブ４４ａ、４４ｂから画定してある。複数対のリブ４４
４ａ及び４４４ｂの間に圧力補強部材４９１ａ、４９１ｂをそれぞれ周期的に挿
入してある。圧力補強部材４９１ａ、４９１ｂは前記したマイクロ弁装置１１０
の圧力補強部材１９１ａ、１９１ｂに対し構造及び機能が同様である。
【０１１０】 アクチュエータ４３８は、２位置作動モード又は比例作動モードにおけるパイ
ロット弁４３６の動きを制御するようにして制御すればよい。パイロット弁４３
６が２位置作動モードで作動するときは、パイロット弁４３６は、オン−オフ弁
として作用し第１及び第２の位置間で動くときに転移状態になる。パイロット弁
４３６が比例作動モートで作動するときは、パイロット弁４３６は第１及び第２
の位置間の任意の位置に保持される。
【０１１１】 第２プレート４１６はさらに、互いに対向する端部４４０ａ、４４０ｂ及び互
いに対向する側部４４０ｃ、４４０ｄを持つ滑り弁４４０を備える。滑り弁４４
０は、第１位置（図１３Ａに示してある）及び第２位置（図１３Ｂに示してある
）間で動くように空洞４４２の一部分を画定するスリーブ４７４内に可動なよう
に配置してある。前記したようにパイロット弁４３６が比例作動モードで作動す
るときは、滑り弁４４０は又第１及び第２の位置の任意の位置で中間の閉位置を
含む任意の位置に在る。この中間閉位置では口４２８は滑り弁４４０（図示して
ない）により有効に塞がれる。滑り弁４４０の種種の位置についてはさらに後述
する。
【０１１２】 図１４は図１３Ａに示した第１位置で例示した滑り弁４４０の拡大図である。
滑り弁４４０は、中間部分４５２により相互に接続した第１部分４４８及び第２
部分４５０を備える。中間部分４５２は中央部に位置する貫通穴４９６を画定し
てある。第１部分４４８は、中間部分４５２より広く第１面４５４と第１面４５
４に対向する第２面４５６とを持つ。第１部分４４８の第１面４５４は滑り弁４
４０の端部４４０ａに在る。滑り弁４４０の端部４４０ａは、パイロット弁４３
６が第１位置（図１３Ａに示してある）に在るときに第１パイロット口４２０に
連通した状態になる。滑り弁４４０の端部４４０ａは、パイロット弁４３６が第
２位置（図１３Ｂに示してある）に在るときにパイロット口４２２に連通した状
態になる。滑り弁４４０の端部４４０ａは、パイロット弁４３６が第１位置から
第２位置に動くと第１パイロット４２０との連通を減少し第２パイロット口４２
２との連通を増大する。これに反して滑り弁４４０の端部４４０ａは、パイロッ
ト弁４３６が第２位置から第１位置に動くと、第１パイロット口４２０との連通
を増大し第２パイロット口４２２との連通を減少する。
【０１１３】 第２部分４５０は、滑り弁４４０の端部４４０ｂを画定する角形のＵ字面４６
０を持つ。第２部分４５０は、中間部分４５２から延びる閉塞部分４５０ａを備
える。閉塞部分４５０ａは中間部分４５２とほぼ同じ幅を持つ。１対の縦方向延
長部分４５０ｂは、中間部分４５２から遠ざかる向きに閉塞部分４５０ａから延
びる。各延長部分４５０ｂの外縁部は閉塞部分４５０ａの側縁部に整合しスリー
ブ４７４の内壁と各側部４４０ｃ、４４０ｄとの間に画定したすきまの長さにわ
たって延びて、これ等のすきまを通る漏れ径路により画定される制限部を広げる
。すなわち延長部分４５０ｂは第２部分４５０の面４６０と第１部分４４８の第
２面４５６との間の流体流れに関するヘッド損失を増し各面４６０、４５６に作
用する流体間の差動圧力を増大する。若干の適用例では延長部分４５０ｂは適当
な差動圧力が通常保持される場合には除いてよいのは明らかである。
【０１１４】 滑り弁４４０は第２一次口４３０に整合し第２一次口４３０を穴４９６に絶え
ず連通した状態にする。滑り弁４４０は第３一次口４９８に整合し第３一次口４
９８が第２部分４５０の面４６０に絶えず連通した状態にする。滑り弁４４０が
中間位置に在るときは、閉塞部分４５０ａは第１一次口４２８を完全に覆い有効
に塞ぐ。第１一次口４２８を完全に覆うことにより、滑り弁４４０は一次口４２
８、４３０、４９８の任意の口の間の流体流れを有効に防ぐ。滑り弁４４０が中
間位置から第１位置に動くときは、閉塞部分４５０ａが第２部分４５０の面４６
０に隣接する第１一次口４２８の増大部分を開く。第２部分４５０の面４６０に
隣接する第１一次口４２８の部分を次第に開くことにより、滑り弁４４０は第１
一次口４２８を第３一次口４９８との連通を増大させこれ等の間の流体流量の増
大を生じさせる。滑り弁４４０が中間位置から第２位置に動くときは、閉塞部分
４５０ａは穴４９６に隣接する第１一次口４２８の増大部分を開く。穴４９６に
隣接する第１一次口４２８の部分を次第に開くことによって、滑り弁４４０は第
１一次口４２８を第２一次口４３０との連通状態を増大しこれ等の間の流体流量
を増す。
【０１１５】 第２プレート４１６はさらに、滑り弁４４０の固定部分４３４及び端部４４０
を相互に隣接する引張りばね４７２を備える。
【０１１６】 使用中にパイロット弁４３６を第１位置に動かすときは、通路４４７内の圧力
が低下し滑り弁４４０の面４５４に作用する圧力が低下する。次いで第３一次口
４９８に保持される比較的高い圧力により、滑り弁４４０は図１３Ａに示した第
１位置に動くように付勢される。パイロット弁４３６を第２位置に動かすと、通
路４４７内の圧力が増大し滑り弁４４０の面４５４に作用する圧力を増す。面４
５４の比較的大きい面積に作用する増大圧力の力は、面４６０の比較的小さい面
積に作用する圧力により生ずる力に打勝ち滑り弁４４０を第２位置に動かす。さ
らにパイロット弁４３６が比例作動モードで作動すると、滑り弁４４０は、第１
面４５４に作用する流体力が面４５６、４６０に作用する流体力とばね４７２の
力との正味力につり合うことによってこの弁４４０の第１及び第２の位置の間の
位置に動かされ保持される。
【０１１７】 マイクロ弁装置１０に関して述べたのと同様にしてマイクロ弁装置４１０は第
１位置又は第２位置のいずれかに通常位置するように構成すればよい。
【０１１８】 マイクロ弁装置１０、１１０、２１０、３１０、４１０は車両用アンチ−ロッ
ク・ブレーキ・システム（ａｎｔｉ−ｌｏｃｋ ｂｒａｋｅ ｓｙｓｔｅｍ）を
含む種種の流体制御用に使用できる。
【０１１９】 本発明のマイクロ弁装置を備える車両ブレーキ・システム用の第１の実施例に
よるブレーキ・システム５００を図１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃに示してある。ブレ
ーキ・システム５００は、普通のマスタ・シリンダ５０４及び普通の車輪ブレー
キ５０６間にこれ等のマスタ・シリンダ５０４及び車輪ブレーキ５０６間の流体
流量を制御するように連通した状態に接続したマイクロ弁ユニット５０２を備え
る。車輪ブレーキ５０６に又このブレーキから流体を送るように、普通のポンプ
５０８をマイクロ弁ユニット５０２及びマスタ・シリンダ５０４に連通した状態
に接続する。
【０１２０】 ブレーキ・システム５００は図示のようにアンチ−ロック（鎖錠防止）ブレー
キ・システム（ＡＢＳ）機能を生ずるように構成してある。他のブレーキ・シス
テムに付加的部品を設けてもよいのはもちろんである。このような部品は、指定
されたブレーキ・システムにより生ずる特定の性能要求及び／又は機能に従って
異なる連通構造に設けてもよい。
【０１２１】 マイクロ弁ユニット５０２は、マスタ・シリンダ５０４及び車輪ブレーキ５０
６間の流体流量を制御するように通常開いた弁として構成したマイクロ弁装置１
０を備える。マイクロ弁ユニット５０２はさらに、車輪ブレーキ５０６からポン
プ５０８への流体流量を制御するマイクロ弁装置１０’を備える。マイクロ弁装
置１０’は、通常閉じた弁として構成したことを除いてマイクロ弁装置５１０と
同じである。
【０１２２】 マイクロ弁装置１１０、２１０、３１０のうち通常開いた弁として構成された
任意のマイクロ弁装置をマイクロ弁ユニット５０２のマイクロ弁装置１０の代り
に使ってもよいのは明らかである。同様に、通常閉じた弁として構成したマイク
ロ弁装置１１０、２１０、３１０のうち任意のマイクロ弁装置をマイクロ弁ユニ
ット５０２のマイクロ弁装置１０’の代りに使ってもよい。
【０１２３】 マイクロ弁装置１０の第１パイロット口２０、２０’とマイクロ弁装置１０’
の第２パイロット口２２、２２’とはそれぞれ、導管５１０を介しポンプ５０８
の入口に連通した状態に接続してある。ポンプ５０８の入口に接続した導管５１
０は「低圧」流体源として作用する。
【０１２４】 マイクロ弁装置１０の第２パイロット口２２、２２’とマイクロ弁装置１０’
の第１パイロット口２２、２２’とはそれぞれ導管５１２に連通した状態に接
続してある。導管５１２はマスタ・シリンダ５０４とポンプ５０８の送出側又は
出口とに連通した状態に接続してある。このようにして制動中に導管５１２はマ
イクロ弁装置１０、１０’の滑り弁４０の第１部分４８の第１面５４に対して「
高圧」流体源として作用する。
【０１２５】 マイクロ弁装置１０の第１一次口２８、２８’は又導管５１２に接続してある
。このようにして制動中に導管５１２は、協働する滑り弁４０の第２部分５０の
第２面６０に対して「高圧」流体源として作用する。マイクロ弁装置１０の第２
一次口３０、３０’は導管５１４を介し車輪ブレーキ５０６に接続してある。マ
イクロ弁装置１０の滑り弁４０が全開位置に在り導管５１２の圧力が導管５１４
内の流体圧力より高いときは、マスタ・シリンダ５０４から車輪ブレーキ５０６
に流体が流れる。マイクロ弁装置１０の滑り弁４０が全開位置に在り導管５１２
内の流体の圧力が導管５１４内の流体の圧力より低いときは、ブレーキ５０６か
らマスタ・シリンダ５０４に流体が流れる。マイクロ弁装置１０の滑り弁４０が
閉位置に在るときは、マスタ・シリンダ５０４及び車輪ブレーキ５０６の間の流
体の流れは実質的に妨げられる。
【０１２６】 マイクロ弁装置１０’の第１一次口２８、２８’は導管５１６を介し車輪ブレ
ーキ５０６に接続してある。このようにして制動中に導管５１６は、協働する滑
り弁４０の第２部分５０の第２面６０に対して「高圧」流体源として作用する。
マイクロ弁装置１０’の第２一次口３０、３０’は導管５１０を介しポンプの入
口に接続してある。マイクロ弁装置１０’の滑り弁４０が開位置に在るときは、
車輪ブレーキ５０６からポンプ５０８の入口への流体の流れは実質的に妨げられ
る。
【０１２７】 線図的には示してないが、両マイクロ弁装置１０、１０’の排出口２４、２４
’、２６、２６’は導管５１０を介しポンプ５０８の入口に接続してある。この
ようにして非制動作動中に滑り弁４０の各面５４、５６、５８、６０に作用する
流体の圧力は一般に互いに等しい。従って非制動作動中に滑り弁４０は中間位置
にばね７２により付勢する。
【０１２８】 ブレーキ・システム５００は、非ＡＢＳ制動（基本制動）中及びＡＢＳ「適用
モード」制動中の作動モードである正常モードとＡＢＳ作動の保持モードとＡＢ
Ｓ作動の減衰モードとから成る３種の作動モードの１つで作動する。
【０１２９】 図１５Ａは正常モードにおけるブレーキ・システム５００を示す。正常モード
中は、マイクロ弁装置１０のアクチュエータ３８は消勢される。従って協働する
パイロット弁３６は第１位置に在る。マイクロ弁装置１０のパイロット弁３６を
第１位置に位置させることにより協働する滑り弁４０の第１面５４は「低圧」導
管５１０に対し連通状態になる。制動作動中にマイクロ弁装置の滑り弁４０は、
協働する第２面６０に作用する導管５１２の「高圧」流体により全開位置に付勢
される。他方では、導管５１２内の流体の圧力が導管５１０内の流体の圧力に実
質的に等しい非制動作動中に、マイクロ弁装置１０の滑り弁４０は協働するばね
７２により中間位置に付勢される。マイクロ弁装置１０の滑り弁４０を全開位置
又は中間位置に位置させると、マスタ・シリンダ５０４及び車輪ブレーキ５０６
の間に流体が流れる。
【０１３０】 又正常モード中にマイクロ弁装置１０’のアクチュエータ３８は消勢される。
従って協働するパイロット弁３６は第１位置になる。マイクロ弁装置１０’のパ
イロット弁３６を第１位置に位置させることにより、協働する滑り弁４０の第１
面５４は導管５１２に連通するようになる。導管５１２が「高圧」流体源として
作用する間にマイクロ弁装置１０’の滑り弁４０はマイクロ弁装置１０’の滑り
弁４０の第１面５４に作用する「高圧」流体により閉位置に付勢される。マイク
ロ弁装置１０’の滑り弁４０を閉位置に位置させると、流体は車輪ブレーキ５０
６からポンプ５０８の入口に流れないように有効に妨げられる。他方では導管５
１６内の流体の圧力が導管５１０内の流体の圧力に実質的に等しい非制動作動中
に、マイクロ弁装置１０’の滑り弁４０は協働するばね７２により中間位置に付
勢される。
【０１３１】 図１５ＢはＡＢＳ作動の保持モードにおけるブレーキ・システム５００を示す
。ＡＢＳ作動の保持モード中に、マイクロ弁装置１０’のアクチュエータ３８は
消勢されたままになり、導管５１２は「高圧」流体源として作用する。前記した
ようにマイクロ弁装置１０’のアクチュエータ３８を消勢し導管５１２が「高圧
」流体源として作用するときは、協働する滑り弁４０は閉位置になる。このよう
にして流体は車輪ブレーキ５０６からポンプ５０８の入口に流れないように有効
に妨げられる。
【０１３２】 又ＡＢＳ作動の保持モード中にマイクロ弁装置１０のアクチュエータ３８は付
勢され導管５１２は「高圧」流体源として作用する。マイクロ弁装置１０のパイ
ロット弁３６を第２位置に位置させることにより、協働する滑り弁４０の第１面
５４が「高圧」導管５１２に連通した状態になる。協働する滑り弁４０の第１面
５４に作用する導管５１２の「高圧」流体は次いで協働する滑り弁４０を開位置
に動かす。マイクロ弁装置１０の滑り弁４０を開位置に位置させると、導管５１
２及び車輪ブレーキ５０６間に流体を流れないように有効に防ぐ。すなわちＡＢ
Ｓ作動の保持モードでは、マイクロ弁装置１０、１０’の滑り弁４０は閉位置に
なる。マイクロ弁装置１０、１０’ の滑り弁４０を閉じると、車輪ブレーキ５
０６はブレーキ・システム５００の残りの部分から隔離され車輪ブレーキ５０６
の流体圧力を実質的に一定に保持するようにする。
【０１３３】 図１５ＣはＡＢＳ作動の減衰モードにおけるブレーキ・システム５００を示す
。減衰モード中にマイクロ弁装置１０のアクチュエータ３８は付勢され導管５１
２は「高圧」流体として作用する。マイクロ弁装置１０の滑り弁４０を閉位置に
すると、導管５１２及び車輪ブレーキ５０６の間に流体が流れないように有効に
防止される。
【０１３４】 又ＡＢＳ作動の減衰モード中にマイクロ弁装置１０’のアクチュエータ３８が
付勢される。次いで協働するパイロット弁３８が第２位置になる。マイクロ弁装
置１０’のパイロット弁３６を第２位置にすることにより、協働する滑り弁４０
の第１面５４が「高圧」導管５１２に連通するようになる。次いで導管５１２の
「高圧」流体はマイクロ弁装置１０の滑り弁４０を付勢し全開位置に動かす。マ
イクロ弁装置１０’の滑り弁４０が全開位置になると、流体は車輪ブレーキ５０
６からポンプ５０８の入口に流れる。
【０１３５】 本発明の第２実施例による車両用ブレーキ・システム６００を図１６Ａ及び１
６Ｂに示してある。ブレーキ・システム６００は構造及び機能がブレーキ・シス
テム５００と同様である。このようにして６００代及び５００代の同様な参照数
字を付勢した部品はそれぞれ同様な構造を示す。ブレーキ・システム６００は２
位置弁として構成したマイクロ弁装置４１０を備える。マイクロ弁装置４１０は
、マスタ・シリンダ６０４及び車輪ブレーキ６０６間の流体流量を制御するよう
に普通のマスタ・シリンダ６０４及び普通の車輪ブレーキ６０６に連通した状態
に接続してある。普通のポンプ６０８は、車輪ブレーキ６０６に又この車輪ブレ
ーキから流体を送るようにマイクロ弁装置４１０及びマスタ・シリンダ６０４に
連通した状態に接続してある。
【０１３６】 ブレーキ・システム６００は図示のようにアンチ−ロック・ブレーキ・システ
ム（ＡＢＳ）機能を生ずるように構成してある。他のブレーキ・システムは付加
的部品を備えてもよいのはもちろんである。このような部品は、指示されたブレ
ーキ・システムにより生ずる特定の性能要求及び／又は機能に従って互いに異な
る連通状態になる。
【０１３７】 第１パイロット４２０は導管６１０を介しポンプ６０８の入口に連通した状態
に接続される。ポンプ６０８の入口に接続した導管６１０は「低圧」流体源とし
て作用する。
【０１３８】 第２のパイロット口４２２は導管６１２に連通した状態に接続してある。導管
６１２はマスタ・シリンダ６０４とポンプ６０８の放出側すなわち出口に連通し
た状態に接続してある。このようにして制動作動中に導管６１２は、滑り弁４４
０の第１部分４４８の第１面４５４に対して「高圧」流体源として作用する。
【０１３９】 第３の一次口４９８は又導管５１２に接続してある。このようにして制動作動中
に導管６１２は、滑り弁４４０の第２部分４５０の面４６０に対して「高圧」流
体源として作用する。第２一次口４３０は導管６１４を介し車輪ブレーキ6０６
に接続してある。第１一次口４２８は導管６１0に接続してある。
【０１４０】 滑り弁４４０が第1位置にあり、導管６１２内の流体の圧力が導管６１４内の
流体の圧力より高いときは、マスタ・シリンダ６０４から車輪ブレーキ６０６に
流体が流れる。滑り弁４４０が第１位置に在り導管６１２内の流体の圧力が導管
６１４内の流体の圧力より低いときは、車輪ブレーキ６０６からマスタ・シリン
ダ６０４に流体が流れる。滑り弁４４０が第２位置に在るときは車輪ブレーキ６
０６と、ポンプ６０８の入口との間に流体が流れる。
【０１４１】 ブレーキ・システム６００は正常モード及び減衰モードから成る２つの作動モ
ードの一方のモードで作動する。正常モードは非ＡＢＳ制動（基本制動）［ｎｏ
ｎ−ＡＢＳ ｂｒａｋｉｎｇ （ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎ ｂｒａｋｉｎｇ）］中
とＡＢＳ「適用モード」（ａｐｐｌｙ ｍｏｄｅ）制動中との作動モードである
。減衰モードはＡＢＳ作動中の作動モードである。
【０１４２】 図１６Ａは正常モードにおけるブレーキ・システム６００を示す。正常モード
中はアクチュエータ４３８は消勢される。従って協働するパイロット弁４３６は
第１位置になる。協働するパイロット弁４３６を第１位置にすることにより、協
働する滑り弁４４０の第１面４５４は「低圧」導管５１０に連通した状態になる
。制動作動中に滑り弁４４０は滑り弁４４０の面４６０に作用する導管６１２の
「高圧」流体により第１位置に付勢される。他方で導管６１２内の流体の圧力が
導管６１０内の流体の圧力に実質的に等しい非制動作動中に、滑り弁４０がばね
４７２により中間位置に付勢される。中間位置は第１位置にほぼ近い位置を示す
。滑り弁４４０を全開位置又は中間位置にすると、マスタ・シリンダ６０４及び
車輪ブレーキ６０６間に流体が流れる。
【０１４３】 図１６ＢはＡＢＳ作動の減衰モードにおけるブレーキ・システム６００を示す
。減衰モード中にアクチュエータ４３８は付勢され、導管６１２は「高圧」流体
源として作用する。次いでパイロット弁４３６は第２位置に位置する。パイロッ
ト弁４３６を第２位置に位置させることにより滑り弁４４０の第１面４５４を「
高圧」導管６１２に連通した状態にする。滑り弁４４０の第１面４５４に作用す
る導管６１２の「高圧」流体は滑り弁４４０を第２位置に付勢する。滑り弁４４
０を第２位置に位置させると、車輪ブレーキ６０６からポンプ６０８の入口に流
体を流す。
【０１４４】 本発明の第３の実施例による車両用ブレーキ・システム７００を図１７に示し
てある。ブレーキ・システム７００はブレーキ・システム６００に構造及び機能
が同様である。このようにして７００代及び６００代の類似の参照数字は同様な
構造を示す。ブレーキ・システム７００及びブレーキ・システム６００の間の主
要な違いは、マイクロ弁装置４１０を比例弁として構成したことである。このよ
うにしてアクチュエータによりパイロット弁４３６をこのパイロット弁の第１位
置及び第２位置に間の各位置に動かして保持する。パイロット弁４３６を第１位
置及び第２位置間の位置に位置させることにより、滑り弁４４０の第１面４５４
に作用する流体が各パイロット口４２０、４２２に協働する各流体源の圧力間の
弁による圧力を持つようにする。次いで滑り弁４４０に作用する正味力により、
滑り弁４４０をこの滑り弁の第１位置及び第２位置間の各位置に動かす。滑り弁
４４０の第１位置及び第２位間の位置に、第１口４２８を閉塞部分４５０ａによ
り完全に覆う中間位置が含まれる。滑り弁４４０が中間位置に在るときは、車輪
ブレーキ７０６はブレーキ・システム７００の残りの部分から隔離され車輪ブレ
ーキ５０６への又はこのブレーキからの流体の流れを実質的に妨げる。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】 本発明によるマイクロ弁装置の第１実施例を第１位置にして一部を切欠いて示
す平面図である。
【図１Ｂ】 図１Ａのマイクロ弁装置を第２の位置で示す図１Ａと同様な平面図である。
【図２】 図１Ａの２−２線に沿う断面図である。
【図３】 図１Ａの３−３線に沿う断面図である。
【図４】 図１Ａ及び１Ｂのマイクロ弁装置の滑り弁の拡大平面図である。
【図５Ａ】 本マイクロ弁装置の第２の実施例を第１位置にして一部を切欠いて示す平面図
である。
【図５Ｂ】 図５Ａのマイクロ弁装置を第２の位置で示す図５Ａと同様な平面図である。
【図５Ｃ】 図５Ａ及び５Ｂに示したマイクロ弁装置のアクチュエータの１実施例を圧力補
強部材と共に示す平面図である。
【図５Ｄ】 図１Ａ及び１Ｂに示したアクチュエータの別の実施例の平面図である。
【図６】 図５Ａの６−６線に沿う拡大断面図である。
【図７】 図５Ａ及び５Ｂに示したマイクロ弁装置の第３プレートの下面を示す斜視図で
ある。
【図８】 図５Ａ及び５Ｂに示したマイクロ弁装置の滑り弁を中間位置にして示す拡大平
面図である。
【図９Ａ】 本発明の第３実施例によるマイクロ弁装置を第１位置で一部を切欠いて示す平
面図である。
【図９Ｂ】 図９Ａのマイクロ弁装置を第２位置にして示す図９Ａと同様な平面図である。
【図１０】 図９Ａ及び９Ｂのマイクロ弁装置の第１位置における滑り弁の拡大平面図であ
る。
【図１１Ａ】 本発明の第４実施例によるマイクロ弁装置を第１位置にして示す平面図である
。
【図１１Ｂ】 図１１Ａのマイクロ弁装置を第２位置にして示す、図１１Ａと同様な平面図で
ある。
【図１２】 図１１Ａ及び１１Ｂのマイクロ弁装置の滑り弁を第１位置にして示す拡大平面
図である。
【図１３Ａ】 本発明の第５実施例によるマイクロ弁装置を第１位置にして示す拡大平面図で
ある。
【図１３Ｂ】 図１３Ａのマイクロ弁装置を第２位置にして示す図１３Ａと同様な平面図であ
る。
【図１４】 図１３Ａ及び１３Ｂのマイクロ弁装置の滑り弁を第１位置にして示す拡大平面
図である。
【図１５Ａ】 正常な作動モードで示した本発明による通常開いたマイクロ弁装置及び通常閉
じたマイクロ弁装置を持つマイクロ弁ユニットを備えた第１実施例による車両ブ
レーキ・システムの概略図である。
【図１５Ｂ】 図１５Ａのブレーキ・システムを減衰作動モードで示す概略図である。
【図１５Ｃ】 図１５Ａ及び１５Ｂに示したブレーキ・システムを保持作動モードで示す図１
５Ａ及び１５Ｂと同様な概略図である。
【図１６Ａ】 正常な作動モードで示した２位置制御弁として構成した図１３Ａ及び１３Ｂに
示したマイクロ弁装置を備えた第２実施例による車両ブレーキ・システムの概略
図である。
【図１６Ｂ】 図１６Ａに示した車両ブレーキ・システムを減衰作動モードで示す図１６Ａと
同様な概略図である。
【図１７Ａ】 比例制御弁として構成した、図１３Ａ及び１３Ｂに示したマイクロ弁装置を備
えた第３実施例による車両ブレーキ・システムの概略図である。
【図１７Ｂ】 保持作動モードにおける車両ブレーキ・システムを示す以外は、図１７Ａに類
似の概略図である。
【図１７Ｃ】 減衰作動モードにおける車両ブレーキ・システムを示す以外は、図１７Ａ及び
図１７Ｂに類似の概略図である。
【符号の説明】
１０ マイクロ弁装置 １２ 本体 ２０、２２ パイロット口 ２８、３０ 一次口 ３６ パイロット弁 ３８ アクチュエータ ４０ マイクロ弁（滑り弁） ４０ａ 第１端部 ４０ｂ 第２端部 １９１ａ、１９１ｂ 圧力補強部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１５Ｃ 5/00 Ｆ１５Ｃ 5/00 // Ｆ１６Ｋ 7/00 Ｆ１６Ｋ 7/00 Ｚ Ｇ０５Ｄ 7/06 Ｇ０５Ｄ 7/06 Ｚ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ， ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，Ｊ Ｐ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ， ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，Ｒ Ｏ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ， ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 フラ，イー，ネルスン アメリカ合衆国ミシガン州48158、マンチ ェスタ、シャラン・ヴァリ・ロウド 17750番 (72)発明者 ハニカット，ハリ，エイ アメリカ合衆国ミシガン州48105、アン・ アーバ、フォークストウン・コート 1325 番 Ｆターム(参考） 3D046 BB28 LL23 LL37 LL50 3H002 BA01 BB05 BC02 BD02 3H056 AA05 BB01 CA06 CE01 DD02 GG14 5H307 AA14 BB01 BB05 DD11 EE01 HH14 【要約の続き】 第２端部４０ｂは第１の一次口２８に絶えず連通する。 第１及び第２の位置の間で動くと、滑り弁４０は、各一 次口２８、３０間の流体流れを可変的に制限するように 第２一次口３０を少くとも部分的に開閉する。

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 室の固定壁を画定する本体を備えたマイクロ弁アクチュエー
    タにおいて、前記室にマイクロ弁を位置決めするための作動部材を設け、さらに
    前記本体が、前記室の前記固定壁の互いに間隔を置いた２つの部分の間に延びる
    圧力補強部材を画定するようにして成るマイクロ弁アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 前記本体を、前記室用の圧力境界の一部を画定する第１及び
    第２の層を含む少なくとも３つの層で構成し、前記室に前記マイクロ弁アクチュ
    エータにより作動されるマイクロ弁に連通する流体を入れ、前記本体にさらに前
    記第１及び第２の層の間に配置され、これ等の層に接着した第３の層を設け、こ
    の第３の層が、前記第１及び第２の層の間に前記室の周辺圧力境界を画定し、前
    記圧力補強部材が、前記周辺圧力境界から間隔を置いて前記第１の層の一部分を
    前記第２の層の一部分に固定する圧力補強柱により構成した請求項１のマイクロ
    弁アクチュエータ。
  3. 【請求項３】 前記圧力補強柱を、前記の第１、第２及び第３の層のうちの
    １つで形成した請求項２のマイクロ弁アクチュエータ。
  4. 【請求項４】 前記本体を、前記室用の圧力境界の互いに間隔を置いた壁部
    分を画定する第１及び第２の層を含む少なくとも３つの層により構成し、前記室
    に、前記マイクロ弁アクチュエータによって作動されるマイクロ弁に通ずる流体
    を入れ、前記本体にさらに、前記第１の層と前記第２の層との間に配置され、こ
    れ等の層に接着した第３の層を設け、この第３の層が、前記第１の層と前記第２
    の層との間に前記室の周辺圧力境界を画定し、前記作動部材に、共通の中央スパ
    インに固定した複数の山形状部材を画定する互いに間隔を置いた複数対のリブを
    設け、前記第３の層が、複数のリブを取付けた固定体を画定し、前記圧力補強部
    材を、前記固定体から隣接する対の前記山形状部材の互いに間隔を置いた２つの
    リブの間の領域に延びる圧力・補強半島状部材形により構成し、前記第１の層の
    一部分を前記第２の層の一部分に固定するように、前記圧力補強部材を、前記第
    １及び第２の層に接着した請求項１のマイクロ弁アクチュエータ。
  5. 【請求項５】 弁本体と、 可動な弁部材と、 この可動な弁部材を前記弁本体内に取付けるためのヒンジとを包含し、前記ヒ
    ンジを、前記弁部材を前記弁本体に接続する細長いたわみ性ビームにより構成す
    ることにより、このたわみ性ビームを、前記弁部材が前記弁本体に対して動く際
    に湾曲するのに適するようにして成るマイクロ弁。
  6. 【請求項６】 前記弁部材が、縦方向に細長く、前記ヒンジが、幅を狭めた
    大体において縦方向に延びる前記弁部材の延長部分を画定した請求項５のマイク
    ロ弁。
  7. 【請求項７】 前記弁部材が、平面内で動き、この平面内で第１の横方向幅
    を画定し、前記ヒンジの前記たわみ性ビームが、前記平面内で前記第１の横方向
    幅より狭い第２の横方向幅を画定した請求項５のマイクロ弁。
  8. 【請求項８】 前記ヒンジの前記たわみ性ビームが、その一端部に末広がり
    の根元部を画定した請求項７のマイクロ弁。
  9. 【請求項９】 さらに、前記弁部材を前記弁本体に対して選択的に動かすア
    クチュエータを備え、このアクチュエータに、前記弁部材及びこのアクチュエー
    タを作動的に結合する連結部材を設け、この連結部材が、前記平面内に前記第１
    の横方向幅より狭い第３の横方向幅を画定する細長いたわみ性ビームから成る請
    求項７のマイクロ弁。
  10. 【請求項１０】 前記弁部材が、縦方向に細長く、前記ヒンジが、前記弁部
    材の縦方向端部に固定したこの弁部材の幅を狭くした大体において縦方向に延び
    る延長部分を形成し、前記連結部材を、前記弁部材の前記端部に固定した請求項
    ９のマイクロ弁。
  11. 【請求項１１】 前記連結部材が、前記ヒンジのたわみ性ビームに大体にお
    いて平行に延びている請求項１０のマイクロ弁。
  12. 【請求項１２】 前記連結部材を大体においてＬ字形にした請求項１１のマ
    イクロ弁。
  13. 【請求項１３】 前記弁本体が、前記連結部材と前記ヒンジとの間に部分的
    に延びるリブを画定し、前記ヒンジと、前記リブと前記連結部材とが、互いに協
    働して大体においてＵ字形の部分を持つ第１のみぞ穴を画定するようにした請求
    項１２のマイクロ弁。
  14. 【請求項１４】 前記アクチュエータが、前記弁本体と、共通の中央スパイ
    ンとの間に山形状の構造内に固定した１対の伸長できるリブにを備え、前記アク
    チュエータの前記伸長できるリブの一方が、前記本体と協働して、この本体との
    間に前記第１のみぞ穴のＵ字形部分に連通する第２のみぞ穴を画定するようにし
    た請求項１３のマイクロ弁。
  15. 【請求項１５】 前記リブが、前記平面内で前記第２及び第３の横方向幅に
    実質的に等しい第４の横方向幅を画定した請求項１３のマイクロ弁。
  16. 【請求項１６】 前記ヒンジの前記たわみ性ビームの端部と、前記連結部材
    の前記たわみ性ビームの端部との少なくとも一方が、末広がりの根元部を画定し
    た請求項１４のマイクロ弁。
  17. 【請求項１７】 室の固定壁を画定する本体と、 マイクロ弁を位置決めするように前記室内に配置された作動部材と、 を備えたマイクロ弁アクチュエータにおいて、 前記作動部材に、 可動なスパインと、 それぞれ第１部分及び第２部分を持つ複数対の伸長できるリブと、 を設け、 これ等の各対の伸長できるリブを、前記本体と前記スパインとの間に固定し、
    前記各対のリブを前記スパインの互いに対向する側部に配置し、前記各対のリブ
    を前記スパインに沿い縦方向に互いに間隔を置いて、前記リブのうちの１つのリ
    ブの第１部分と、縦方向に隣接するリブの第１部分とが、これ等の部分間に第１
    のすきま距離を持つ第１のすきまを画定し、そして前記作動部材に、 前記リブのうちの１つのリブの前記第２部分と前記の縦方向に隣接するリブの
    前記第２部分との間に挿入した延長本体を設け、 この延長本体と、前記リブのうちの１つのリブの前記第２部分とが、前記延長
    本体と、前記リブのうちの前記１つのリブの前記第２部分との間に前記第１すき
    ま距離に等しい第２すきま距離を持つ第２のすきまを画定し、 前記延長本体と、前記縦方向に隣接するリブの前記第２部分とが、前記延長本
    体と縦方向に隣接するリブとの間に前記第１すきま距離に等しい第３すきま距離
    を持つ第３のすきまを画定して成る、 マイクロ弁アクチュエータ。
  18. 【請求項１８】 前記各リブの前記各第１部分が第１の幅を画定し、前記各
    リブの前記各第２部分が、前記第１の幅より狭い第２の幅を画定した請求項１７
    のマイクロ弁アクチュエータ。
  19. 【請求項１９】 前記延長本体が、前記スパインの大体において横方向に延
    びる部分である請求項１７のマイクロ弁アクチュエータ。
  20. 【請求項２０】 前記延長本体が、前記弁本体の大体において横方向に延び
    る部分である請求項１７のマイクロ弁アクチュエータ。
  21. 【請求項２１】 前記延長本体が、前記スパインの大体において横方向に延
    びる部分であり、 前記各リブが、さらに第３部分を画定し、 前記弁本体が、前記各リブのうちの前記１つのリブの前記第３部分と、前記縦
    方向に隣接するリブの前記第３部分との間に挿入した第２の延長本体を画定し、
    この第２の延長本体が、前記弁本体の大体において横方向に延びる部分であり、 前記第２の延長本体と、前記各リブのうちの前記１つのリブの前記第３部分と
    が、前記第２延長の本体と、前記各リブのうちの前記１つのリブの前記第３部分
    との間に前記第１すきま距離に等しい第４すきま距離を持つ第４のすきまを画定
    し、 前記第２の延長本体と、前記縦方向に隣接するリブの前記第３部分とが、前記
    第２の延長本体と、縦方向に隣接するリブとの間に、前記第１すきま距離に等し
    い第５すきま距離を持つ第５のすきまを画定した 請求項１７のマイクロ弁アクチュエータ。
  22. 【請求項２２】 室を画定するプレート弁本体と、 前記プレート弁本体を流通する流体の流れを制御するように、前記室内で可動
    なプレート弁部材と、 を備え、 前記プレート弁部材が、1対の互いに対向する面と、これ等の面を貫通するダ
    クトとを画定し、 前記ダクトが、このダクトの領域内で、前記対向する面に作用する流体圧力を
    等しくするように、前記対向する面間に流体連通を生じさせるようにして成るマ
    イクロ弁。
  23. 【請求項２３】 前記プレート弁本体がさらに、前記室内への口と、この口
    に対向して前記室に連通するトラフとを画定し、 前記プレート弁部材が、前記口と前記室との間の流体の連通を実質的に塞ぐ位
    置と、前記口と前記室との間の流体の連通が存在する位置との間で、前記口に対
    し移動可能であり、前記プレート弁部材を貫く前記通路が、前記口と前記トラフ
    との間の流体の連通を生じさせるダクトである、 請求項２２のマイクロ弁。
  24. 【請求項２４】 室を画定するプレート弁本体と、 このプレート弁本体を流通する流体の流れを制御するように前記室内でピボッ
    トのまわりに可動なプレート弁部材と、 を備え、 前記プレート弁部材が、1対の互いに対向する面と、第1の貫通ダクトであって
    、この第1の貫通ダクトの領域で前記互いに対向する面に作用する流体圧力を互
    いに等しくするように前記互いに対向する面間に流体の連通を生じさせる第１の
    貫通ダクトと、第２の貫通ダクトであって、この第２の貫通ダクトの領域で前記
    互いに対向する面に作用する各流体圧力を互いに等しくするように前記互いに対
    向する面間に流体の連通を生じさせる第２の貫通ダクトとを画定し、前記第１の
    貫通ダクトと前記第２の貫通ダクトとを前記ピボットから等距離にして成る、 マイクロ弁。
  25. 【請求項２５】 前記弁本体がさらに、高圧流体源に連結されるのに適する
    、前記室に連通する第１の口と、低圧溜めに連結するのに適する、前記室に連通
    する第２の口とを画定し、前記プレート弁部材が、前記第１の貫通ダクトが前記
    第１の口に流体連通すると共に前記第２の貫通ダクトが前記第２の口に流体連通
    する位置に移動可能である請求項２４のマイクロ弁。
  26. 【請求項２６】 前記プレート弁部材がＴ字形であり、このプレート弁部材
    が、前記ピボットに連結した主軸と、クロス部材とを備え、このクロス部材が、
    前記第１の貫通ダクトを画定する第１の端部部分と、前記第２の貫通ダクトを画
    定する第２の端部部分と、前記主軸に固定した、前記第１及び第２の端部部分間
    の中間部分とを備えた請求項２５のマイクロ弁。
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