JP2003344446A - 静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法 - Google Patents
静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法Info
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ガラス板に形成した導通用電極に
より検出用電極とシリコン板とを同電位とし、マス部の
付着を防止し、大量生産を容易とすることを目的とす
る。 【解決手段】 本発明による静電型加速度センサのシリ
コン板とガラス板の陽極接合方法は、ガラス板(7又は8)
と導通する導通用電極(31)を用い、この導通用電極(31)
に接合した治工具板(32)とシリコン板(4)間に電圧を印
加して検出用電極(5又は6)とシリコン板(4)とを同電位
として陽極接合を行う方法である。
より検出用電極とシリコン板とを同電位とし、マス部の
付着を防止し、大量生産を容易とすることを目的とす
る。 【解決手段】 本発明による静電型加速度センサのシリ
コン板とガラス板の陽極接合方法は、ガラス板(7又は8)
と導通する導通用電極(31)を用い、この導通用電極(31)
に接合した治工具板(32)とシリコン板(4)間に電圧を印
加して検出用電極(5又は6)とシリコン板(4)とを同電位
として陽極接合を行う方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電型加速度セン
サのシリコン板とガラス板の陽極接合方法に関し、特
に、ガラス板に形成したスルーホールを介して両面に設
けた導通用電極によってマス部と対向するガラス板の検
出用電極をシリコン板と同電位とし、陽極接合時のマス
部と検出電極との付着を防止する構成を１枚のウェハー
の一部に設け、１枚のウェハーに多数形成された各マス
部を有する加速度センサを同時にかつ容易に形成し、ま
た、前述のようにガラスにスルーホールを形成せずに、
ガラス上の検出用電極と導通する導通部を用いてマス部
とガラスを導通電位とする構成を１枚のウェハー上の一
部に設け、１枚のウェハーに多数形成されたマス部を有
する加速度センサを同時にかつ容易に形成するための新
規な改良に関する。
サのシリコン板とガラス板の陽極接合方法に関し、特
に、ガラス板に形成したスルーホールを介して両面に設
けた導通用電極によってマス部と対向するガラス板の検
出用電極をシリコン板と同電位とし、陽極接合時のマス
部と検出電極との付着を防止する構成を１枚のウェハー
の一部に設け、１枚のウェハーに多数形成された各マス
部を有する加速度センサを同時にかつ容易に形成し、ま
た、前述のようにガラスにスルーホールを形成せずに、
ガラス上の検出用電極と導通する導通部を用いてマス部
とガラスを導通電位とする構成を１枚のウェハー上の一
部に設け、１枚のウェハーに多数形成されたマス部を有
する加速度センサを同時にかつ容易に形成するための新
規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の静電型加
速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法とし
ては、一般に、図４及び図５で示される構成が採用され
ていた。すなわち、図４及び図５において符号１で示さ
れるものは加速度センサ又は傾斜センサ等からなる静電
型加速度センサであり、この静電型加速度センサ１はヒ
ンジ部２を介してアイランド形状のマス部３を作動自在
に有するシリコン板４と、このシリコン板４の両面に陽
極接合により接合され検出用電極５、６を有する第１、
第２ガラス板７、８とから構成されている。
速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法とし
ては、一般に、図４及び図５で示される構成が採用され
ていた。すなわち、図４及び図５において符号１で示さ
れるものは加速度センサ又は傾斜センサ等からなる静電
型加速度センサであり、この静電型加速度センサ１はヒ
ンジ部２を介してアイランド形状のマス部３を作動自在
に有するシリコン板４と、このシリコン板４の両面に陽
極接合により接合され検出用電極５、６を有する第１、
第２ガラス板７、８とから構成されている。
【０００３】前記シリコン板４に対して各ガラス板７、
８を陽極接合する場合は、図４に示されるように、第１
ガラス板７の上面にステンレス等からなる板状の治工具
１０を載置させ、この治工具１０とシリコン板４との間
に４００〜１０００ＶＤＣの電源２０を印加すると共に
治工具全体を３００〜４００℃に上昇させ、同時に各ガ
ラス板７、８に形成され各検出用電極５、６に対応する
貫通孔２１、２２を介して導通棒２３を接触させてシリ
コン板４と検出用電極５、６とを同電位として、マス部
３がガラス板との静電引力によって曲がってガラス板に
付着してしまうことを防止するようにしていた。
８を陽極接合する場合は、図４に示されるように、第１
ガラス板７の上面にステンレス等からなる板状の治工具
１０を載置させ、この治工具１０とシリコン板４との間
に４００〜１０００ＶＤＣの電源２０を印加すると共に
治工具全体を３００〜４００℃に上昇させ、同時に各ガ
ラス板７、８に形成され各検出用電極５、６に対応する
貫通孔２１、２２を介して導通棒２３を接触させてシリ
コン板４と検出用電極５、６とを同電位として、マス部
３がガラス板との静電引力によって曲がってガラス板に
付着してしまうことを防止するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電型加速度セ
ンサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法は、以上の
ように構成されていたため、次のような課題が存在して
いた。すなわち、静電型加速度センサのガラス板に穴を
あけて針等の電極棒によって電極に電位を与えた後、こ
の穴をなくす処理をしなければならず、大量生産時の大
きい障害となっていた。
ンサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法は、以上の
ように構成されていたため、次のような課題が存在して
いた。すなわち、静電型加速度センサのガラス板に穴を
あけて針等の電極棒によって電極に電位を与えた後、こ
の穴をなくす処理をしなければならず、大量生産時の大
きい障害となっていた。
【０００５】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ガラス板に形成したスルー
ホールを介し、または、スルーホールを介さず両面に設
けた導通用電極によってマス部と対向するガラス板の検
出用電極をシリコン板と同電位とし、陽極接合時のマス
部と検出電極との付着を防止する構成を１枚のウェハー
の一部に設け、１枚のウェハーに多数形成された各マス
部を有する加速度センサを同時にかつ容易に形成するよ
うにした静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の
陽極接合方法を提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、ガラス板に形成したスルー
ホールを介し、または、スルーホールを介さず両面に設
けた導通用電極によってマス部と対向するガラス板の検
出用電極をシリコン板と同電位とし、陽極接合時のマス
部と検出電極との付着を防止する構成を１枚のウェハー
の一部に設け、１枚のウェハーに多数形成された各マス
部を有する加速度センサを同時にかつ容易に形成するよ
うにした静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の
陽極接合方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による静電型加速
度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法は、ヒ
ンジ部を介して作動するマス部を一体に有するシリコン
板の両面に検出用電極を有する第１、第２ガラス板を陽
極接合するようにした静電型加速度センサのシリコン板
とガラス板の陽極接合方法において、前記各ガラス板の
いずれかに形成されたスルーホールを介して前記ガラス
板の両面に形成され前記検出用電極と導通する導通用電
極を用い、前記導通用電極に接合した治工具板と前記シ
リコン板間に電圧を印加することにより前記検出用電極
と前記シリコン板とを同電位とした状態で前記陽極接合
を行う方法であり、また、前記マス部はウェハーからな
る前記シリコン板に多数形成されると共に、前記各マス
部によって各々静電型加速度センサを形成し、前記陽極
接合完了後は前記導通用電極が形成された前記ガラス板
を切断除去する方法であり、また、前記治工具板はステ
ンレスよりなると共に前記導通用電極に対応して凹部が
形成され、前記凹部内に前記導通用電極が位置して導通
用電極と治工具板とが導通する方法であり、また、ヒン
ジ部を介して作動するマス部を一体に有するシリコン板
の両面に検出用電極を有する第１、第２ガラス板を陽極
接合するようにした静電型加速度センサのシリコン板と
ガラス板の陽極接合方法において、前記各ガラス板に形
成され前記各検出用電極と導通する導通部を用い、前記
各検出用電極と前記シリコン板とを同電位とした状態で
前記陽極接合を行う方法である。
度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法は、ヒ
ンジ部を介して作動するマス部を一体に有するシリコン
板の両面に検出用電極を有する第１、第２ガラス板を陽
極接合するようにした静電型加速度センサのシリコン板
とガラス板の陽極接合方法において、前記各ガラス板の
いずれかに形成されたスルーホールを介して前記ガラス
板の両面に形成され前記検出用電極と導通する導通用電
極を用い、前記導通用電極に接合した治工具板と前記シ
リコン板間に電圧を印加することにより前記検出用電極
と前記シリコン板とを同電位とした状態で前記陽極接合
を行う方法であり、また、前記マス部はウェハーからな
る前記シリコン板に多数形成されると共に、前記各マス
部によって各々静電型加速度センサを形成し、前記陽極
接合完了後は前記導通用電極が形成された前記ガラス板
を切断除去する方法であり、また、前記治工具板はステ
ンレスよりなると共に前記導通用電極に対応して凹部が
形成され、前記凹部内に前記導通用電極が位置して導通
用電極と治工具板とが導通する方法であり、また、ヒン
ジ部を介して作動するマス部を一体に有するシリコン板
の両面に検出用電極を有する第１、第２ガラス板を陽極
接合するようにした静電型加速度センサのシリコン板と
ガラス板の陽極接合方法において、前記各ガラス板に形
成され前記各検出用電極と導通する導通部を用い、前記
各検出用電極と前記シリコン板とを同電位とした状態で
前記陽極接合を行う方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による静
電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方
法の好適な実施の形態について説明する。尚、従来例と
同一又は同等部分には同一符号を用いて説明する。ま
た、静電型加速度センサ１としては図３の構成と同一で
あるため、図３の構成を援用し、重複説明を省略するも
のとする。図１は図３における第１ガラス板７とシリコ
ン板４とを周知の陽極接合する場合の要部の構成を示し
ている。図１の加速度計又は傾斜計等を構成する静電型
加速度センサ１のシリコン板４（ウェハーよりなる）に
は多数の前記加速度センサ１を構成するためのマス部３
が形成されている（図１ではスルーホールを用いた場合
の１個のみが示されている）。
電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方
法の好適な実施の形態について説明する。尚、従来例と
同一又は同等部分には同一符号を用いて説明する。ま
た、静電型加速度センサ１としては図３の構成と同一で
あるため、図３の構成を援用し、重複説明を省略するも
のとする。図１は図３における第１ガラス板７とシリコ
ン板４とを周知の陽極接合する場合の要部の構成を示し
ている。図１の加速度計又は傾斜計等を構成する静電型
加速度センサ１のシリコン板４（ウェハーよりなる）に
は多数の前記加速度センサ１を構成するためのマス部３
が形成されている（図１ではスルーホールを用いた場合
の１個のみが示されている）。
【０００８】前記シリコン板４の両面には第１、第２ガ
ラス板７、８が配設され、この第１ガラス板７には複数
のスルーホール３０が形成され、このスルーホール３０
を介して第１ガラス板７の両面には導通用電極３１が形
成されている。前記第１ガラス板７の裏面には、前記マ
ス部３と対向するように検出用電極５が形成され、この
検出用電極５は前記導通用電極３１と導通接続されてい
る。尚、第２ガラス板８にも、マス部３に対向して検出
用電極６が形成されている。
ラス板７、８が配設され、この第１ガラス板７には複数
のスルーホール３０が形成され、このスルーホール３０
を介して第１ガラス板７の両面には導通用電極３１が形
成されている。前記第１ガラス板７の裏面には、前記マ
ス部３と対向するように検出用電極５が形成され、この
検出用電極５は前記導通用電極３１と導通接続されてい
る。尚、第２ガラス板８にも、マス部３に対向して検出
用電極６が形成されている。
【０００９】前記第１ガラス板７上には、ステンレス等
の導体からなる治工具板３２が載置され、この治工具板
３２の裏面に形成された凹部３３の深さは、第１ガラス
板７の導通用電極３１の厚さとほぼ等しく形成され、こ
の導通用電極３１が凹部３３内に収まって互いに導通す
るように構成されている。従って、治工具板３２と導通
用電極３１及び検出用電極５は互いに導通するように構
成されている。
の導体からなる治工具板３２が載置され、この治工具板
３２の裏面に形成された凹部３３の深さは、第１ガラス
板７の導通用電極３１の厚さとほぼ等しく形成され、こ
の導通用電極３１が凹部３３内に収まって互いに導通す
るように構成されている。従って、治工具板３２と導通
用電極３１及び検出用電極５は互いに導通するように構
成されている。
【００１０】前記シリコン板４と治工具板３２との間に
は、例えば、４００〜１０００Ｖの直流電圧からなる電
源２０が接続され、シリコン板４と第１ガラス板７及び
治工具板３２とを積層させた状態では、シリコン板４と
検出用電極５とは互いに同電位に保たれるように構成さ
れている。従って、図１の治工具板３２を載置する構成
を大型のウェハーからなり多数のマス部３を有するシリ
コン板４の一部に形成し、後述の陽極接合処理を完了し
て静電型加速度センサ１を製作した後は、この部分５０
を切断除去する。
は、例えば、４００〜１０００Ｖの直流電圧からなる電
源２０が接続され、シリコン板４と第１ガラス板７及び
治工具板３２とを積層させた状態では、シリコン板４と
検出用電極５とは互いに同電位に保たれるように構成さ
れている。従って、図１の治工具板３２を載置する構成
を大型のウェハーからなり多数のマス部３を有するシリ
コン板４の一部に形成し、後述の陽極接合処理を完了し
て静電型加速度センサ１を製作した後は、この部分５０
を切断除去する。
【００１１】次に、実際に陽極接合処理する場合につい
て説明する。尚、図２の陽極接合処理は従来周知の方法
である。図２のように、第１、第２真空ポンプ６０、６
１に接続された第１、第２弁６０ａ、６１ａが接続され
た基台７０上に第２ガラス板８、シリコン板４及びダミ
ー又は第１ガラス板７を載置し、さらに最上位置におも
り７１を載置させた状態で穴７２を介して第２真空ポン
プ６１で吸引することによりシリコン板４が吸引されて
位置決めされる。
て説明する。尚、図２の陽極接合処理は従来周知の方法
である。図２のように、第１、第２真空ポンプ６０、６
１に接続された第１、第２弁６０ａ、６１ａが接続され
た基台７０上に第２ガラス板８、シリコン板４及びダミ
ー又は第１ガラス板７を載置し、さらに最上位置におも
り７１を載置させた状態で穴７２を介して第２真空ポン
プ６１で吸引することによりシリコン板４が吸引されて
位置決めされる。
【００１２】前述の位置決め完了後、基台７０ごと図示
しない陽極接合装置内へ移送し、陽極接合を行う。ま
た、シリコン板４と各ガラス板７、８を同時に陽極接合
する場合もあるが、第２ガラス板８と第１ガラス板７と
を各々１枚ずつ接合させることもできる。尚、図２の第
２ガラス板８の裏面に形成されたスルーホール７３は位
置決め用に用いられる。また、前述の図２の陽極接合に
よる工程においては、図１で説明したように、検出用電
極５とシリコン板４とが同電位に保たれ、各マス部３と
検出用電極５、６との付着が防止されている。尚、ガラ
ス板７に形成された多数の検出用電極５は全てパターン
で接続されており、マス部３も多数シリコン板４に形成
されている。
しない陽極接合装置内へ移送し、陽極接合を行う。ま
た、シリコン板４と各ガラス板７、８を同時に陽極接合
する場合もあるが、第２ガラス板８と第１ガラス板７と
を各々１枚ずつ接合させることもできる。尚、図２の第
２ガラス板８の裏面に形成されたスルーホール７３は位
置決め用に用いられる。また、前述の図２の陽極接合に
よる工程においては、図１で説明したように、検出用電
極５とシリコン板４とが同電位に保たれ、各マス部３と
検出用電極５、６との付着が防止されている。尚、ガラ
ス板７に形成された多数の検出用電極５は全てパターン
で接続されており、マス部３も多数シリコン板４に形成
されている。
【００１３】次に、図３で示される構成は、本発明の他
の形態を示す構成図であり、前述のようにスルーホール
３０を形成することなく、各ガラス板７、８に前記検出
用電極５、６に導通するパターンからなる導通部１００
が形成されている。前記各導通部１００は、各ガラス板
７、８の面に沿って延設され、図３では図示していない
が、点線にて示されるように電源２０の負極に接続さ
れ、シリコン板４に正極が接続されている。尚、この図
３で示す点線にて示す導通部１００は実際には各ガラス
板７、８に形成されているが、点線にて省略して示して
いる。また、実際の陽極接合時には図２で示されるよう
に、おもり７１を用いて圧接されてその接合作業が行わ
れる。また、図３の構成は１枚のウェハー上の一部に形
成され、１枚のウェハーに多数形成されたマス部３を有
する加速度センサ１を多数個同時に得ることができる。
の形態を示す構成図であり、前述のようにスルーホール
３０を形成することなく、各ガラス板７、８に前記検出
用電極５、６に導通するパターンからなる導通部１００
が形成されている。前記各導通部１００は、各ガラス板
７、８の面に沿って延設され、図３では図示していない
が、点線にて示されるように電源２０の負極に接続さ
れ、シリコン板４に正極が接続されている。尚、この図
３で示す点線にて示す導通部１００は実際には各ガラス
板７、８に形成されているが、点線にて省略して示して
いる。また、実際の陽極接合時には図２で示されるよう
に、おもり７１を用いて圧接されてその接合作業が行わ
れる。また、図３の構成は１枚のウェハー上の一部に形
成され、１枚のウェハーに多数形成されたマス部３を有
する加速度センサ１を多数個同時に得ることができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明による静電型加速度センサのシリ
コン板とガラス板の陽極接合方法は、以上のように構成
されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、ガラス板に形成した導通用電極と治工具板を
用いて検出用電極とシリコン板の同電位化を行っている
ため、従来よりも構造が簡単で歩留まりが向上できる。
また、シリコン板及びガラス板の一部のみに電圧を印加
するパターンの構成を作るだけで他の全ての検出用電極
に電圧を供給して全てのマス部の曲折による検出用電極
への付着を防止することができ、量産を安定的に行うこ
とができる。
コン板とガラス板の陽極接合方法は、以上のように構成
されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、ガラス板に形成した導通用電極と治工具板を
用いて検出用電極とシリコン板の同電位化を行っている
ため、従来よりも構造が簡単で歩留まりが向上できる。
また、シリコン板及びガラス板の一部のみに電圧を印加
するパターンの構成を作るだけで他の全ての検出用電極
に電圧を供給して全てのマス部の曲折による検出用電極
への付着を防止することができ、量産を安定的に行うこ
とができる。
【図１】本発明による陽極接合方法を示す構成図であ
る。
る。
【図２】図１のセンサの陽極接合を示す構成図である。
【図３】本発明の他の形態を示す構成図である。
【図４】従来及び本発明に適用する静電型加速度センサ
の分解斜視図である。
の分解斜視図である。
【図５】従来の陽極接合を示す構成図である。
１ 静電型加速度センサ
２ ヒンジ部
３ マス部
４ シリコン板
５、６ 検出用電極
７、８ ガラス板
３０ スルーホール
３１ 導通用電極
３２ 治工具板
３３ 凹部
Claims (4)
- 【請求項１】 ヒンジ部(2)を介して作動するマス部(3)
を一体に有するシリコン板(4)の両面に検出用電極(5、
6)を有する第１、第２ガラス板(7、8)を陽極接合するよ
うにした静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の
陽極接合方法において、前記各ガラス板(7、8)のいずれ
かに形成されたスルーホール(30)を介して前記ガラス板
(7又は8)の両面に形成され前記検出用電極(5又は6)と導
通する導通用電極(31)を用い、前記導通用電極(31)に接
合した治工具板(32)と前記シリコン板(4)間に電圧を印
加することにより前記検出用電極(5又は6)と前記シリコ
ン板(4)とを同電位とした状態で前記陽極接合を行うこ
とを特徴とする静電型加速度センサのシリコン板とガラ
ス板の陽極接合方法。 - 【請求項２】 前記マス部(3)はウェハーからなる前記
シリコン板(4)に多数形成されると共に、前記各マス部
(3)によって各々静電型加速度センサ(1)を形成し、前記
陽極接合完了後は前記導通用電極(31)が形成された前記
ガラス板(7又は8)を切断除去することを特徴とする請求
項１記載の静電型加速度センサのシリコン板とガラス板
の陽極接合方法。 - 【請求項３】 前記治工具板(32)はステンレスよりなる
と共に前記導通用電極(31)に対応して凹部(33)が形成さ
れ、前記凹部(33)内に前記導通用電極(31)が位置して導
通用電極(31)と治工具板(32)とが導通することを特徴と
する請求項１又は２記載の静電型加速度センサのシリコ
ン板とガラス板の陽極接合方法。 - 【請求項４】 ヒンジ部(2)を介して作動するマス部(3)
を一体に有するシリコン板(4)の両面に検出用電極(5、
6)を有する第１、第２ガラス板(7、8)を陽極接合するよ
うにした静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の
陽極接合方法において、前記各ガラス板(7、8)に形成さ
れ前記各検出用電極(5、6)と導通する導通部(100)を用
い、前記各検出用電極(5、6)と前記シリコン板(4)とを
同電位とした状態で前記陽極接合を行うことを特徴とす
る静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接
合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002159610A JP2003344446A (ja) | 2002-05-31 | 2002-05-31 | 静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003344446A true JP2003344446A (ja) | 2003-12-03 |
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ID=29773955
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| JP2002159610A Withdrawn JP2003344446A (ja) | 2002-05-31 | 2002-05-31 | 静電型加速度センサのシリコン板とガラス板の陽極接合方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003344446A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089497A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 力学量検出センサおよびその製造方法 |
| CN100498256C (zh) * | 2005-01-14 | 2009-06-10 | 松下电工株式会社 | 静电电容式半导体物理量传感器及其制造方法 |
-
2002
- 2002-05-31 JP JP2002159610A patent/JP2003344446A/ja not_active Withdrawn
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| CN100498256C (zh) * | 2005-01-14 | 2009-06-10 | 松下电工株式会社 | 静电电容式半导体物理量传感器及其制造方法 |
| JP2008089497A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 力学量検出センサおよびその製造方法 |
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