JP2003323816A - Conductor composition - Google Patents

Conductor composition

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JP2003323816A
JP2003323816A JP2002129663A JP2002129663A JP2003323816A JP 2003323816 A JP2003323816 A JP 2003323816A JP 2002129663 A JP2002129663 A JP 2002129663A JP 2002129663 A JP2002129663 A JP 2002129663A JP 2003323816 A JP2003323816 A JP 2003323816A
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conductor composition
metal powder
organic vehicle
resin
solvent
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JP2002129663A
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Japanese (ja)
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Shigekazu Onozumi
重和 小野住
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Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
Original Assignee
Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductor composition which is approximate in heat shrinking behavior to an LTCC green sheet, can lessen deformation or warpage of a circuit substrate in simultaneous calcination to the minimum, has sufficient adhesion to the substrate and can be used in both inner layer and surface layer electrodes. <P>SOLUTION: The conductor composition is obtained by adding metal powder containing Ag or Ag and one or both of Pd and Pt and an organic vehicle, and optionally at least one of glass frit and a metal oxide and besides a solvent- resistant resin having solvent resistance to a solvent used in the organic vehicle and thermally decomposed in a temperature range of 200-700°C. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、低温焼成セラミッ
クスにより作製される多層回路基板や積層電子部品にお
いて、内層あるいは表層電極の同時焼成に用いる導体組
成物に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductor composition used for simultaneous firing of inner layer or surface layer electrodes in a multilayer circuit board or laminated electronic component made of low temperature fired ceramics.

【0002】[0002]

【従来の技術】低温焼成セラミックス(以下「LTC
C]と略称する)は、多層化が容易であることやコンデ
ンサや抵抗などを同時形成できることから、高周波回路
基板や高周波部品、スーパーコンピューターなどの回路
基板として実用化され、需要が伸びつつある。
2. Description of the Related Art Low temperature firing ceramics (hereinafter referred to as "LTC
(C) is abbreviated as a multi-layer structure and capacitors and resistors can be formed at the same time. Therefore, it has been put to practical use as a circuit board for high-frequency circuit boards, high-frequency components, supercomputers, etc., and its demand is growing.

【0003】このようなLTCCは、旧来のアルミナ多
層基板に比較して、800〜1000℃程度のより低い
温度で焼成が可能なため、モリブデン(Mo)やタング
ステン(W)に代えて、抵抗率の低いAg系導体を内層
電極及び表層電極に使用することができるようになっ
た。
Since such LTCC can be fired at a lower temperature of about 800 to 1000 ° C. as compared with the conventional alumina multilayer substrate, it has a resistivity instead of molybdenum (Mo) or tungsten (W). It has become possible to use Ag-based conductors having a low value for the inner layer electrode and the surface layer electrode.

【0004】また、LTCCにより作製される回路基板
の表層電極は、後工程でメッキ処理等が施されるため、
それらの工程に応じて必要な特性が要求されると共に、
表層電極として基板との十分な密着性を有する必要があ
るため、一般的に内層電極とは異なるペースト等の導体
組成物を使用して形成されていた。
Further, since the surface layer electrode of the circuit board manufactured by LTCC is subjected to a plating process or the like in a later process,
The required characteristics are required according to those processes,
Since the surface layer electrode needs to have sufficient adhesion to the substrate, it is generally formed by using a conductor composition such as a paste different from that of the inner layer electrode.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般的
にLTCCグリーンシートは600〜900℃の間に大
きな収縮開始温度があるのに対し、Agを主たる成分と
するペースト等の導体組成物は通常400〜600℃で
大きく収縮し、600〜900℃の範囲においてはあま
り焼結は進行せず、収縮が少ない。従って、この両者の
熱収縮挙動の相違により、LTCCグリーンシートとA
gを主たる成分とするペースト等の導体組成物の同時焼
成においては、回路基板の変形や反りが生じ、寸法精度
が得られないことがある。
However, in general, LTCC green sheets have a large shrinkage onset temperature in the range of 600 to 900 ° C., whereas a conductor composition such as a paste containing Ag as a main component is usually 400 It shrinks largely at 600 ° C, and in the range of 600 ° C to 900 ° C, sintering does not proceed so much and shrinkage is small. Therefore, due to the difference in the heat shrinkage behavior between the two, LTCC green sheet and A
When a conductor composition such as a paste containing g as a main component is co-fired, the circuit board may be deformed or warped, and dimensional accuracy may not be obtained.

【0006】すなわち、表層電極用のペースト等の導体
組成物がLTCCグリーンシートと個別に焼成される場
合には、回路基板の変形や反りが問題にならないため、
従来の96%アルミナ基板等の厚膜配線基板に使用され
てきたペースト等の導体組成物が適用できることが多
い。しかし、表層電極用のペースト等の導体組成物がL
TCCグリーンシートと同時焼成される場合は、前述の
ように回路基板の変形や反りが発生するため、そのまま
使用することは難しく、回路基板の変形や反りの発生を
抑えつつ、基板との十分な密着性を有するようLTCC
の種類に応じて導体組成物を設計する必要があった。
That is, when the conductor composition such as the paste for the surface layer electrode is fired separately from the LTCC green sheet, the deformation or warpage of the circuit board does not become a problem.
In many cases, a conductor composition such as a paste which has been used for a thick film wiring board such as a conventional 96% alumina board can be applied. However, if the conductor composition such as the paste for the surface electrode is L
When co-fired with the TCC green sheet, the circuit board may be deformed or warped as described above, and thus it is difficult to use as it is. LTCC for adhesion
It was necessary to design the conductor composition according to the type of.

【0007】[0007]

【発明の目的】本発明は、従来の導体組成物における上
記課題に鑑みてなされたものであって、LTCCグリー
ンシートと較べて熱収縮挙動が近似し、同時焼成におけ
る回路基板の変形や反りを最小限に抑えることができる
と共に、基板と十分な密着性を有し、内層及び表層電極
のどちらにも使用することができる導体組成物を提供す
ることを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems in the conventional conductor composition, and the thermal contraction behavior is similar to that of the LTCC green sheet, and the deformation and warpage of the circuit board during co-firing are prevented. It is an object of the present invention to provide a conductor composition which can be minimized and has sufficient adhesion to a substrate and can be used for both the inner layer and surface layer electrodes.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる導体組成
物は、導電性の金属粉末と、有機ビヒクルと、該有機ビ
ヒクルに使用される有機溶剤に対して耐溶剤性をもち、
かつ200〜700℃で熱分解する樹脂からなる導体組
成物であって、前記金属粉末がAg、あるいはAgと、
Pd及びPtの一方もしくは両方の金属を含有する構
成、あるいは必要に応じて、ガラスフリット及び金属酸
化物の少なくとも一方をさらに含有する構成としてお
り、導体組成物におけるこのような構成を上記課題を解
決するための手段としたことを特徴としている。
The conductor composition according to the present invention has solvent resistance to a conductive metal powder, an organic vehicle, and an organic solvent used for the organic vehicle,
And a conductor composition composed of a resin that thermally decomposes at 200 to 700 ° C., wherein the metal powder is Ag or Ag.
The composition containing one or both metals of Pd and Pt, or the composition further containing at least one of a glass frit and a metal oxide, if necessary, solves the above problem in the conductor composition. It is characterized in that it is a means for doing.

【0009】また、本発明に係わる導体組成物の好適形
態においては、有機ビヒクルに使用される有機溶剤に対
して耐溶剤性をもち、かつ200〜700℃で熱分解す
る前記樹脂の含有量が金属粉末の合算量の0.6〜3
5.4%である構成とし、さらに他の好適形態として
は、当該導体組成物が低温焼成セラミックスにより作製
される多層回路基板又は積層電子部品の同時焼成用電極
形成に用いられるものであることを特徴としている。な
お、本明細書における百分率の数値は、すべて質量比を
意味する。
In a preferred embodiment of the conductor composition according to the present invention, the content of the resin having solvent resistance to the organic solvent used for the organic vehicle and thermally decomposing at 200 to 700 ° C. 0.6 to 3 of the total amount of metal powder
5.4%, and in a further preferred embodiment, the conductor composition is used for forming electrodes for simultaneous firing of a multilayer circuit board or a laminated electronic component made of low temperature firing ceramics. It has a feature. In addition, all the numerical values of the percentage in this specification mean a mass ratio.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の導体組成物につい
て詳細に説明する。なお、本明細書において、百分率の
数値や成分組成比については、特記しない限りすべて質
量比を意味する。本発明に係わる導体組成物は、金属粉
末及び有機ビヒクルに加えて、有機ビヒクルに使用され
た有機溶剤に対して耐溶剤性をもち、しかも200〜7
00℃の温度範囲で熱分解する樹脂を含んでおり、当該
樹脂は、LTCCグリーンシートとの同時焼成におい
て、形成するAg厚膜中で介在物として働くため、Ag
粒子の焼結による膜の収縮及び緻密化が進行し難くな
る。そして、樹脂の熱分解後においても、LTCCグリ
ーンシートのガラス成分が軟化流動を開始する温度域ま
では、Ag厚膜の緻密化が急激に進行するようなことが
なく、図1に模式的に示すように、Ag厚膜はポーラス
な状態が維持されることになる。LTCCグリーンシー
トのガラス成分が軟化流動し、収縮を開始した後は、A
g焼成膜中にガラス成分が吸い上げられ、Ag厚膜中に
LTCCグリーンシートのガラス成分が浸入するため、
ガラス成分を介したAgの移動が促進され、Agの焼結
が加速的に進行し、Ag厚膜が緻密化される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The conductor composition of the present invention will be described in detail below. In this specification, all numerical values of percentages and component composition ratios mean mass ratios unless otherwise specified. The conductor composition according to the present invention, in addition to the metal powder and the organic vehicle, has solvent resistance to the organic solvent used for the organic vehicle, and more than 200 to 7
The resin contains a resin that thermally decomposes in the temperature range of 00 ° C. The resin acts as an inclusion in the Ag thick film to be formed during co-firing with the LTCC green sheet.
The shrinkage and densification of the film due to the sintering of the particles are difficult to proceed. Further, even after the thermal decomposition of the resin, the densification of the Ag thick film does not rapidly proceed until the temperature range in which the glass component of the LTCC green sheet begins to soften and flow, and thus the pattern is schematically shown in FIG. As shown, the Ag thick film is maintained in a porous state. After the glass component of the LTCC green sheet softens and flows and starts shrinking, A
Since the glass component is sucked up into the baked film and the glass component of the LTCC green sheet penetrates into the Ag thick film,
The migration of Ag through the glass component is promoted, the sintering of Ag progresses at an accelerated rate, and the Ag thick film is densified.

【0011】このような作用により、LTCCグリーン
シートとAg厚膜の熱収縮挙動が近接したものとなり、
同時焼成においても回路基板の変形や反りが最小限に抑
えられることになる。また、Ag厚膜中にガラス成分が
効率よく浸入することにより、同時焼成後に基板との密
着性が向上する。
Due to such an action, the heat shrinkage behaviors of the LTCC green sheet and the Ag thick film become close to each other,
Even in the co-firing, the deformation and warpage of the circuit board can be minimized. Further, the glass component is efficiently infiltrated into the Ag thick film, so that the adhesion with the substrate is improved after the co-firing.

【0012】このとき、基板との密着性をさらに高める
観点から、必要に応じてガラスフリット及び金属酸化物
の両者あるいは一方を添加することができる。ガラスフ
リットとしては、ホウケイ酸ガラス、リンケイ酸ガラス
などを使用することができ、特に限定されない。また、
金属酸化物としては、酸化ビスマス(Bi)、酸
化銅(CuO)などを使用することができるが、特に
限定されない。これらガラスフリット及び金属酸化物を
添加する場合には、導電性金属粉末の合計量に対して
0.2〜3.0%程度とすることが望ましいが、この場
合も特に限定されない。
At this time, from the viewpoint of further improving the adhesion to the substrate, glass frit and / or metal oxide may be added, if necessary. As the glass frit, borosilicate glass, phosphosilicate glass, or the like can be used and is not particularly limited. Also,
As the metal oxide, bismuth oxide (Bi 2 O 3 ), copper oxide (Cu 2 O) and the like can be used, but the metal oxide is not particularly limited. When the glass frit and the metal oxide are added, it is desirable that the content is about 0.2 to 3.0% with respect to the total amount of the conductive metal powder, but this is not particularly limited.

【0013】また、有機ビヒクルに使用される有機溶剤
に対して耐溶剤性をもち、かつ200〜700℃で熱分
解する上記樹脂の含有量としては、導電性金属粉末の合
算量に対して0.6〜35.4%の範囲で含有すること
が好ましい。すなわち、添加量が0.6%未満の場合
は、添加効果が乏しい一方、添加量が35.4%を超え
た場合には、同時焼成時に浸入したLTCCグリーンシ
ートのガラス成分がAg焼成膜表面を覆うことから、後
工程でAg焼成膜にメッキを形成する場合に、メッキの
付着性が悪くなるため好ましくない。
The content of the above-mentioned resin having solvent resistance to the organic solvent used for the organic vehicle and thermally decomposing at 200 to 700 ° C. is 0 with respect to the total amount of the conductive metal powder. It is preferably contained in the range of 0.6 to 35.4%. That is, if the addition amount is less than 0.6%, the effect of addition is poor, while if the addition amount exceeds 35.4%, the glass component of the LTCC green sheet that has penetrated during co-firing is the Ag fired film surface. This is not preferable because the adhesion of the plating deteriorates when the Ag fired film is plated in a later step.

【0014】そして、上記耐溶剤樹脂のサイズとして
は、その平均粒径が0.5〜15.0μmのものを使用
することがペースト製造の容易さやペーストをスクリー
ン印刷する上で好ましいが、その形状、粒径は必ずしも
上記範囲内にのみに限定されるものではない。なお、焼
結された電極内にボイドが局所的に発生することによ
り、断線の原因になることを回避するためには、形成さ
れる乾燥時の膜厚に対して1/2以下の粒径であること
が望ましい。
As the size of the above solvent resistant resin, it is preferable to use one having an average particle size of 0.5 to 15.0 μm for ease of paste production and screen printing of the paste, but its shape. The particle size is not necessarily limited to the above range. In order to avoid the occurrence of disconnection due to the local generation of voids in the sintered electrode, the grain size of 1/2 or less of the dry film thickness is formed. Is desirable.

【0015】このような有機ビヒクルに使用される有機
溶剤に対して耐溶剤性をもち、しかも200〜700℃
で熱分解する樹脂としては、種々の有機溶媒と組み合わ
せた場合の耐溶剤性の一例を表1に示すように、高架橋
アクリル粉末や結晶性セルロース粉末、高架橋ポリスチ
レン粉末、ポリエチレン粉末などを使用することができ
る。すなわち、表1に示すように、これらの樹脂粉末
は、有機ビヒクルに使用されるテルピオネール、メンタ
ノールおよび2,2,4−トリメチル−3−ヒドロキシ
ペンチルイソブチレートなどの有機溶媒に対して耐溶媒
性を有することが確認されている。
It has solvent resistance to the organic solvent used in such an organic vehicle and has a temperature of 200 to 700 ° C.
As the resin that is thermally decomposed by, use of highly crosslinked acrylic powder, crystalline cellulose powder, highly crosslinked polystyrene powder, polyethylene powder, etc. as shown in Table 1 as an example of solvent resistance when combined with various organic solvents. You can That is, as shown in Table 1, these resin powders are resistant to organic solvents such as terpionell, mentanol and 2,2,4-trimethyl-3-hydroxypentylisobutyrate used in organic vehicles. It has been confirmed that it has sex.

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】また、導電性の金属粉末としては、Agに
加えてPtあるいはPdのうちの少なくとも1種の金属
を含有させることも望ましい。これは、Ag単独の場合
よりも耐ハンダ性の面で良好になるためであり、用途に
応じて耐ハンダ性を加味する必要がある場合に添加する
ことができる。PtやPdを添加する場合、金属粉末全
体に占めるPtの含有量として0.5〜3.0%、Pd
の含有量として5.0〜30.0%程度、Agの含有量
としては65.0%以上であることが望ましいが、特に
限定されない。なお、金属粉末中にPtやPdを添加す
るには、すべてを粉末の状態で混合しても良いし、A
g、Pt、Pdの全部あるいは一部をあらかじめ合金化
した上で粉末化したものを使用するようにしても良い。
It is also preferable that the conductive metal powder contains at least one metal selected from Pt and Pd in addition to Ag. This is because the solder resistance is better than that of Ag alone, and can be added when it is necessary to add solder resistance depending on the application. When Pt or Pd is added, the content of Pt in the whole metal powder is 0.5 to 3.0%, Pd
The content of Ag is preferably about 5.0 to 30.0%, and the content of Ag is preferably 65.0% or more, but is not particularly limited. In addition, in order to add Pt and Pd to the metal powder, all of them may be mixed in a powder state.
Alternatively, all or part of g, Pt, and Pd may be alloyed in advance and then powdered.

【0018】また、金属粉末中にPtやPdを含有しな
い場合には、金属粉末全体に占めるAgの含有量を9
0.0%以上とすることが望ましい。
When the metal powder does not contain Pt or Pd, the content of Ag in the whole metal powder is 9%.
It is desirable to set it to 0.0% or more.

【0019】金属粉末としてAgを使用する場合には、
その平均粒径を0.5〜15.0μmとすることが、ペ
ースト製造の容易さや、当該ペーストをスクリーン印刷
する上で好ましいが、その形状、粒径については必ずし
も上記範囲のみに限定されるものではない。また、Ag
に加えてPdやPtを使用する場合には、これらの平均
粒径を0.1〜10.0μmとすることが好ましいが、
同様に必ずしもこの範囲内のみに限定されるものではな
い。
When Ag is used as the metal powder,
It is preferable that the average particle size is 0.5 to 15.0 μm for ease of paste production and screen printing of the paste, but the shape and particle size are not necessarily limited to the above range. is not. Also, Ag
When Pd or Pt is used in addition to the above, the average particle diameter of these is preferably 0.1 to 10.0 μm,
Similarly, it is not necessarily limited to this range.

【0020】本発明に係わる導体組成物に用いられるビ
ヒクルの種類についても、特に限定されるものではな
く、例えばエチルセルロースをテルピネオールやメンタ
ノールなどの有機溶媒に溶解させたものなど、一般的な
導電性ペーストに用いられるものが使用可能である。ま
た、感光性化合物を含有する有機成分を使用し、感光性
導電ペーストとすることも可能である。なお、有機ビヒ
クルの含有量としては、当該導電組成物全体の7.0〜
60.0%程度とすることが望ましいが、特に限定され
ない。
The type of vehicle used in the conductor composition according to the present invention is not particularly limited, and a general conductive paste such as one prepared by dissolving ethyl cellulose in an organic solvent such as terpineol or menthanol. What is used for can be used. It is also possible to use an organic component containing a photosensitive compound to prepare a photosensitive conductive paste. The content of the organic vehicle is 7.0 to 10% of the total amount of the conductive composition.
It is desirable to set it to about 60.0%, but it is not particularly limited.

【0021】[0021]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいてさらに具体
的に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定され
るものではない。
EXAMPLES The present invention will be described below in more detail based on examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0022】(実施例1〜15)平均粒径2.4μmの
Ag粉末と、平均粒径0.5μmのPt粉末と、耐溶剤
樹脂としての平均粒径5.0μmの高架橋アクリル粉末
(分解温度:280〜380℃)と、同じく耐溶剤樹脂
として平均粒径14.0μmの結晶性セルロース粉末
(分解温度:200〜660℃)と、B−SiO
−Al系ガラスフリットと、メンタノールにエ
チルセルロースを溶解した有機ビヒクルを表2に示す比
率でそれぞれ調合し、3本ロールミルで混練して、本発
明に係わる導電組成物に相当する都合15種類の導電ペ
ーストを準備した。
Examples 1 to 15 Ag powder having an average particle size of 2.4 μm, Pt powder having an average particle size of 0.5 μm, and highly crosslinked acrylic powder having an average particle size of 5.0 μm as a solvent-resistant resin (decomposition temperature : 280 to 380 ° C.), a crystalline cellulose powder having an average particle size of 14.0 μm (decomposition temperature: 200 to 660 ° C.) as a solvent resistant resin, and B 2 O 3 —SiO 2.
2- Al 2 O 3 -based glass frit and an organic vehicle in which ethyl cellulose was dissolved in menthanol were prepared at the ratios shown in Table 2, and were kneaded with a three-roll mill to obtain a conductive composition according to the present invention. Different types of conductive paste were prepared.

【0023】(比較例1)高架橋アクリル粉末や結晶性
セルロース粉末などの耐溶剤樹脂粉末を混合することな
く、Ag粉末と有機ビヒクルのみを同様に混練すること
により、比較例1に係わる導電ペーストを準備した。
Comparative Example 1 The conductive paste according to Comparative Example 1 was obtained by similarly kneading only Ag powder and organic vehicle without mixing solvent resistant resin powder such as highly crosslinked acrylic powder and crystalline cellulose powder. Got ready.

【0024】そして、これら実施例及び比較例に係わる
伝導ペーストをAl粉末とCaO−Al
−SiO系ガラスを主たる成分とする収縮開
始温度730℃のLTCCグリーンシート(厚さ:0.
31mm)上に、ライン幅200μmのライン状パター
ンと、5mm×5mm及び2mm×2mmのパッド状パ
ターンをスクリーン印刷したのち、コンベア炉中におい
て890℃で焼成することにより、膜厚:10〜14μ
mのAg電極をLTCC上に形成した。
Then, the conductive pastes according to these examples and comparative examples were prepared by using Al 2 O 3 powder and CaO-Al 2 O 3-.
LTCC green sheet (thickness: 0..0) having a contraction start temperature of 730 ° C., which contains B 2 O 3 —SiO 2 glass as a main component.
31 mm), a line-shaped pattern having a line width of 200 μm and a pad-shaped pattern of 5 mm × 5 mm and 2 mm × 2 mm are screen-printed, and then baked at 890 ° C. in a conveyor furnace to give a film thickness of 10 to 14 μm.
m Ag electrode was formed on the LTCC.

【0025】次に、形成された5mm×5mmパッド状
パターン部のAg電極部の基板変形量(基板反り量)を
測定した。また、2mm×2mmパッド状パターン部に
直径0.6mmの軟銅線をハンダ付し、ピールテストに
より密着強度を測定した。測定結果を表2に併せて示
す。
Next, the substrate deformation amount (substrate warpage amount) of the Ag electrode portion of the formed 5 mm × 5 mm pad-shaped pattern portion was measured. Further, an annealed copper wire having a diameter of 0.6 mm was soldered to the 2 mm × 2 mm pad-shaped pattern portion, and the adhesion strength was measured by a peel test. The measurement results are also shown in Table 2.

【0026】[0026]

【表2】 [Table 2]

【0027】表1の結果から明らかなように、有機ビヒ
クルに使用する有機溶剤に対して耐溶剤性をもち、かつ
200〜700℃で熱分解する樹脂を含む本発明に係わ
る導体組成物は、このような耐溶剤樹脂を含有しない比
較例1の導体組成物の場合に較べて、基板変形量が小さ
く、しかも密着強度にも優れていることが確認された。
ただし、導電性金属粉末の含有量の合計に対して上記樹
脂の比率が0.3%の導体組成物(実施例1)において
は、基板変形を抑制する効果が少なく、また密着強度も
比較的低いことが判明した。また、当該樹脂の比率が金
属粉末含有量に対して44.3%および59.9%の導
体組成物(実施例10および11)においては、基板変
形量は小さいもののスクリーン印刷に適する粘性を付与
することが難しく、しかも同時焼成時に浸入したLTC
Cグリーンシートのガラス成分がAg焼成膜表面を覆っ
ていることが確認され、後工程でAg焼成膜にメッキを
形成する場合にメッキの付着性が悪くなることが予測さ
れる。
As is clear from the results shown in Table 1, the conductor composition according to the present invention containing a resin having solvent resistance to the organic solvent used for the organic vehicle and thermally decomposing at 200 to 700 ° C. It was confirmed that the amount of substrate deformation was small and the adhesion strength was excellent as compared with the case of the conductor composition of Comparative Example 1 containing no such solvent resistant resin.
However, in the conductor composition (Example 1) in which the ratio of the above resin is 0.3% with respect to the total content of the conductive metal powder, the effect of suppressing the substrate deformation is small, and the adhesion strength is relatively high. Turned out to be low. Further, in the conductor compositions (Examples 10 and 11) in which the ratio of the resin is 44.3% and 59.9% with respect to the metal powder content, the substrate deformation amount is small, but a viscosity suitable for screen printing is imparted. It is difficult to do this, and moreover, LTC penetrated during co-firing
It was confirmed that the glass component of the C green sheet covered the surface of the Ag fired film, and it is predicted that the adhesion of the plating would deteriorate when the Ag fired film was plated in a later step.

【0028】図2は、上記実施例の代表例として実施例
5に係わる導体組成物を用いた場合の各焼成温度におけ
る焼成膜表面のSEM(走査型電子顕微鏡)像を耐溶剤
樹脂を添加していない比較例1の導体組成物を用いた場
合と比較して示したものであるが、高架橋アクリル樹脂
粉末を添加した実施例5においては、700〜900℃
においてAg焼成膜が急激に緻密化していることが確認
できるのに対し、このような樹脂を添加していない比較
例の場合には、700℃(LTCCの収縮開始前)にお
いて緻密化がほぼ完了していることが認められる。
FIG. 2 is a SEM (scanning electron microscope) image of the surface of the fired film at each firing temperature in the case where the conductor composition according to the fifth embodiment is used as a representative example of the above-mentioned examples, in which a solvent resistant resin is added. Although not shown in comparison with the case of using the conductor composition of Comparative Example 1 which is not used, in Example 5 in which the highly crosslinked acrylic resin powder was added, 700 to 900 ° C.
It can be confirmed that the Ag fired film is rapidly densified in Comparative Example 1. However, in the case of the comparative example in which such a resin is not added, the densification is almost completed at 700 ° C. (before the start of LTCC shrinkage). It is recognized that they are doing.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明に係わ
る導体組成物は、Ag、あるいはAgと共にPd及びP
tの一方もしくは両方を含有する金属粉末と、有機ビヒ
クルと、必要に応じてガラスフリット及び金属酸化物の
少なくとも一方に加えて、有機ビヒクルに使用された有
機溶剤に対して耐溶剤性をもち、しかも200〜700
℃の温度範囲で熱分解する樹脂からなるものであるか
ら、当該導体組成物を用いることによって、同時焼成に
おける回路基板の基板変形や反りを最小限に抑えことが
できると共に、基板との十分な密着性を有しているの
で、内層電極形成及び表層電極形成のどちらにも適用す
ることが可能となる。これにより、LTCCによる回路
基板製造時あるいは積層電子部品の製造において、高い
寸法精度が得られ、また電極形成用材料の種類が少なく
なるため材料管理の負荷を低減することができるという
極めて優れた効果がもたらされる。
As described above, the conductor composition according to the present invention contains Ag, or Pd and P together with Ag.
In addition to at least one of a metal powder containing one or both of t, an organic vehicle, and optionally a glass frit and a metal oxide, and having solvent resistance to the organic solvent used in the organic vehicle, Moreover, 200-700
Since it is made of a resin that thermally decomposes in the temperature range of ℃, by using the conductor composition, it is possible to minimize the substrate deformation and warpage of the circuit board during co-firing, and it is possible to obtain a sufficient substrate Since it has adhesiveness, it can be applied to both formation of the inner layer electrode and formation of the surface layer electrode. As a result, it is possible to obtain high dimensional accuracy in the production of a circuit board by LTCC or in the production of a laminated electronic component, and it is possible to reduce the load of material management because the number of types of electrode forming materials is reduced, which is an extremely excellent effect. Is brought about.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】耐溶剤樹脂を添加した場合と添加しない場合に
ついて各焼成温度における焼成膜断面を比較して示す模
式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross section of a fired film at each firing temperature in a case where a solvent resistant resin is added and a case where a solvent resistant resin is not added.

【図2】耐溶剤樹脂を添加した本発明実施例と添加しな
い比較例について各焼成温度における焼成膜表面の状態
を示す走査型電子顕微鏡写真である。
FIG. 2 is a scanning electron micrograph showing the state of the surface of a fired film at each firing temperature for Examples of the present invention to which a solvent resistant resin was added and Comparative Examples not added.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電性の金属粉末と、有機ビヒクルと、
該有機ビヒクルに使用される有機溶剤に対して耐溶剤性
をもち、かつ200〜700℃で熱分解する樹脂からな
る導体組成物であって、前記金属粉末が銀(Ag)、あ
るいは銀(Ag)と、パラジウム(Pd)及び白金(P
t)の一方もしくは両方の金属を含有することを特徴と
する導体組成物。
1. A conductive metal powder, an organic vehicle,
A conductor composition comprising a resin having solvent resistance to an organic solvent used for the organic vehicle and thermally decomposing at 200 to 700 ° C., wherein the metal powder is silver (Ag) or silver (Ag). ), Palladium (Pd) and platinum (P
t) A conductor composition containing one or both metals.
【請求項2】 導電性の金属粉末と、有機ビヒクルと、
ガラスフリット及び金属酸化物の一方もしくは両者と、
前記有機ビヒクルに使用される有機溶剤に対して耐溶剤
性をもち、かつ200〜700℃で熱分解する樹脂から
なる導体組成物であって、前記金属粉末が銀(Ag)、
あるいは銀(Ag)と、パラジウム(Pd)及び白金
(Pt)の一方もしくは両方の金属を含有することを特
徴とする導体組成物。
2. A conductive metal powder, an organic vehicle,
One or both of glass frit and metal oxide,
A conductor composition comprising a resin having solvent resistance to an organic solvent used for the organic vehicle and thermally decomposing at 200 to 700 ° C., wherein the metal powder is silver (Ag),
Alternatively, a conductor composition containing silver (Ag) and one or both metals of palladium (Pd) and platinum (Pt).
【請求項3】 前記樹脂の含有量が金属粉末の合算量の
0.6〜35.4%であることを特徴とする請求項1又
は2に記載の導体組成物。
3. The conductor composition according to claim 1, wherein the content of the resin is 0.6 to 35.4% of the total amount of the metal powder.
【請求項4】 低温焼成セラミックスにより作製される
多層回路基板又は積層電子部品の同時焼成用電極形成に
用いられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1
つの項に記載の導体組成物。
4. A multi-layer circuit board made of low-temperature fired ceramics or a laminated electronic component, which is used for forming an electrode for simultaneous firing.
The conductor composition according to one item.
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