JP2003301253A - コーティング方法 - Google Patents
コーティング方法Info
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- JP2003301253A JP2003301253A JP2002111289A JP2002111289A JP2003301253A JP 2003301253 A JP2003301253 A JP 2003301253A JP 2002111289 A JP2002111289 A JP 2002111289A JP 2002111289 A JP2002111289 A JP 2002111289A JP 2003301253 A JP2003301253 A JP 2003301253A
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- JP
- Japan
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- coating method
- fluorine
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- target
- film
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性などの硬度性と離型性との双方の性
質を向上させることができるコーティング方法を提供す
る。 【解決手段】 ターゲット１をチャンバ１００内の陰極
チャック１０１に載置すると共に、対象ワーク２を別の
陰極チャック１０２に吸着させる。次に、チャンバ１０
０内を真空にした後、アルゴンガス１１０をチャンバ１
００内に充填する。しかる後、電源１０３を駆動して、
陰極チャック１０１，１０２と陽極のチャンバ１００と
の間に電圧を印加して、アルゴンガス１１０をプラズマ
放電させる。すると、プラズマ放電で発生したアルゴン
陽イオンやラジカルが陰極チャック１０１側に向かっ
て、ターゲット１に衝突する。この結果、ターゲット１
の表面からフッ素やアルミニウムが蒸発して対象ワーク
２の表面に吸着され、フッ素を含むアルミニウムの膜２
０が対象ワーク２の表面に成膜される。
質を向上させることができるコーティング方法を提供す
る。 【解決手段】 ターゲット１をチャンバ１００内の陰極
チャック１０１に載置すると共に、対象ワーク２を別の
陰極チャック１０２に吸着させる。次に、チャンバ１０
０内を真空にした後、アルゴンガス１１０をチャンバ１
００内に充填する。しかる後、電源１０３を駆動して、
陰極チャック１０１，１０２と陽極のチャンバ１００と
の間に電圧を印加して、アルゴンガス１１０をプラズマ
放電させる。すると、プラズマ放電で発生したアルゴン
陽イオンやラジカルが陰極チャック１０１側に向かっ
て、ターゲット１に衝突する。この結果、ターゲット１
の表面からフッ素やアルミニウムが蒸発して対象ワーク
２の表面に吸着され、フッ素を含むアルミニウムの膜２
０が対象ワーク２の表面に成膜される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、単体の金属や合
金及び非金属の固形物などのワークの表面をコーティン
グするためのコーティング方法に関するものである。
金及び非金属の固形物などのワークの表面をコーティン
グするためのコーティング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】単体の金属や合金等の耐摩耗性，耐溶着
性，抵摩擦係数化，及び離型性を向上させるために、こ
れらの金属の表面に、コーティングを施すのが一般的で
ある。従来、この種のコーティング方法では、ＰＶＤ法
（物理的気相成長法），ＣＶＤ法（化学的気相成長法）
ＤＬＣ法（ダイヤモンド・ライク・カーボン法）を用い
て、金属の表面に、ＴiＮ（窒化チタン）膜，ＣrＮ（窒
化クロム）膜，ＴiＣＮ（炭窒化チタン）膜，ＴiＡlＮ
（ティアイエイエルエヌ）膜，ＤＬＣ膜等の硬化皮膜を
形成する技術がとられている。また、熱処理後の皮膜を
形成する方法として、浸炭・窒化処理の技術が採用され
ている。
性，抵摩擦係数化，及び離型性を向上させるために、こ
れらの金属の表面に、コーティングを施すのが一般的で
ある。従来、この種のコーティング方法では、ＰＶＤ法
（物理的気相成長法），ＣＶＤ法（化学的気相成長法）
ＤＬＣ法（ダイヤモンド・ライク・カーボン法）を用い
て、金属の表面に、ＴiＮ（窒化チタン）膜，ＣrＮ（窒
化クロム）膜，ＴiＣＮ（炭窒化チタン）膜，ＴiＡlＮ
（ティアイエイエルエヌ）膜，ＤＬＣ膜等の硬化皮膜を
形成する技術がとられている。また、熱処理後の皮膜を
形成する方法として、浸炭・窒化処理の技術が採用され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のコーティング方法では、次のような問題があ
る。すなわち、硬化皮膜を金属等の表面に形成すること
から、金属等の表面の硬度を上げることができ、この結
果、金属等の耐摩耗性，耐溶着性，摩擦係数等を向上さ
せる点で非常に優れている。しかしながら、従来のコー
ティング方法は、離型性について非常に劣っており、こ
の技術を使用した場合における金属等の寿命は短い。と
ころで、離型性に優れたコーティング方法としてテフロ
ン（登録商標）コーティングという技術がある。しか
し、このコーティング方法は、離型性に優れている反
面、耐摩耗性等の硬度性に劣っており、このコーティン
グ方法を使用した金属等の寿命は非常に短い。
た従来のコーティング方法では、次のような問題があ
る。すなわち、硬化皮膜を金属等の表面に形成すること
から、金属等の表面の硬度を上げることができ、この結
果、金属等の耐摩耗性，耐溶着性，摩擦係数等を向上さ
せる点で非常に優れている。しかしながら、従来のコー
ティング方法は、離型性について非常に劣っており、こ
の技術を使用した場合における金属等の寿命は短い。と
ころで、離型性に優れたコーティング方法としてテフロ
ン（登録商標）コーティングという技術がある。しか
し、このコーティング方法は、離型性に優れている反
面、耐摩耗性等の硬度性に劣っており、このコーティン
グ方法を使用した金属等の寿命は非常に短い。
【０００４】この発明は上述した課題を解決するために
なされたもので、金属や合金及び非金属の固形物などに
関する耐摩耗性などの硬度性と離型性との双方の性質を
向上させることができるコーティング方法を提供するこ
とを目的とするものである。
なされたもので、金属や合金及び非金属の固形物などに
関する耐摩耗性などの硬度性と離型性との双方の性質を
向上させることができるコーティング方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、母部材をイオン衝撃又は加熱に
より蒸発させる物理的気相成長法を用いて、対象ワーク
に成膜するコーティング方法において、母部材として、
単体の金属又は合金とフッ素とを化学結合して得られた
物質を用いた構成してある。
に、請求項１の発明は、母部材をイオン衝撃又は加熱に
より蒸発させる物理的気相成長法を用いて、対象ワーク
に成膜するコーティング方法において、母部材として、
単体の金属又は合金とフッ素とを化学結合して得られた
物質を用いた構成してある。
【０００６】母部材は、フッ素が化学結合している物質
ならば任意であるが、好例として、請求項２の発明は、
請求項１に記載のコーティング方法において、母部材
は、三フッ化アルミニウム，フッ化リチウム，二フッ化
カルシウム，又は二フッ化マグネシウムのいずれかであ
る構成とした。
ならば任意であるが、好例として、請求項２の発明は、
請求項１に記載のコーティング方法において、母部材
は、三フッ化アルミニウム，フッ化リチウム，二フッ化
カルシウム，又は二フッ化マグネシウムのいずれかであ
る構成とした。
【０００７】また、母部材として、固体と気体が分離し
たものを用いても、成膜可能である。そこで、請求項３
の発明は、母部材をイオン衝撃又は加熱により蒸発させ
る物理的気相成長法を用いて、対象ワークを成膜するコ
ーティング方法において、母部材として、単体の金属又
は合金と、雰気ガスとしてフッ素ガスとを用いた構成と
した。
たものを用いても、成膜可能である。そこで、請求項３
の発明は、母部材をイオン衝撃又は加熱により蒸発させ
る物理的気相成長法を用いて、対象ワークを成膜するコ
ーティング方法において、母部材として、単体の金属又
は合金と、雰気ガスとしてフッ素ガスとを用いた構成と
した。
【０００８】また、熱処理を用いて、フッ素を対象ワー
クにコーティングする技術も考えられる。そこで、請求
項４の発明は、減圧下の炉内に対象ワークを収納し、フ
ッ素ガスの雰囲気下で炉内を加熱することにより、対象
ワークにフッ素を浸透させてコーティングする構成し
た。
クにコーティングする技術も考えられる。そこで、請求
項４の発明は、減圧下の炉内に対象ワークを収納し、フ
ッ素ガスの雰囲気下で炉内を加熱することにより、対象
ワークにフッ素を浸透させてコーティングする構成し
た。
【０００９】さらに、フッ素の浸透するために、電着法
も考えられる。そこで請求項５の発明は、電着液中に対
象ワークとフッ素を含む金属又はフッ素を含む合金を入
れ、対象ワーク側を陽極とすると共に、上記金属又は合
金側を陰極として通電することにより、上記ワークの表
面を塗膜する構成とした。
も考えられる。そこで請求項５の発明は、電着液中に対
象ワークとフッ素を含む金属又はフッ素を含む合金を入
れ、対象ワーク側を陽極とすると共に、上記金属又は合
金側を陰極として通電することにより、上記ワークの表
面を塗膜する構成とした。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。 （第１実施例）図１は、この発明の第１実施形態に係る
コーティング方法を示す概略図であり、図２は、コーテ
ィング状態を示すワークの一部断面図である。図１に示
す装置はＰＶＤ法の１つであるプラズマスパッタリング
を実行可能な装置であり、周知のものである。この実施
形態のコーティング方法においては、まず、母部材であ
るターゲット１をチャンバ１００内の陰極チャック１０
１に載置すると共に、対象ワーク２を陰極チャック１０
２に吸着させる。これら陰極チャック１０１，１０２は
直流（又は高周波）の電源１０３の負極側に接続され、
チャンバ１００が電源１０３の正極側に接続されてい
る。ターゲット１としては、アルミニウムとフッ素とを
化学結合させて得た三フッ化アルミニウム（ＡｌＦ3）
を用いた。
いて図面を参照して説明する。 （第１実施例）図１は、この発明の第１実施形態に係る
コーティング方法を示す概略図であり、図２は、コーテ
ィング状態を示すワークの一部断面図である。図１に示
す装置はＰＶＤ法の１つであるプラズマスパッタリング
を実行可能な装置であり、周知のものである。この実施
形態のコーティング方法においては、まず、母部材であ
るターゲット１をチャンバ１００内の陰極チャック１０
１に載置すると共に、対象ワーク２を陰極チャック１０
２に吸着させる。これら陰極チャック１０１，１０２は
直流（又は高周波）の電源１０３の負極側に接続され、
チャンバ１００が電源１０３の正極側に接続されてい
る。ターゲット１としては、アルミニウムとフッ素とを
化学結合させて得た三フッ化アルミニウム（ＡｌＦ3）
を用いた。
【００１１】次に、チャンバ１００内を真空にした後、
アルゴンガス１１０をチャンバ１００内に充填する。こ
のアルゴンガス１１０のチャンバ１００内圧力は、例え
ば、１０のマイナス２乗Ｔｏｒｒ〜１０のマイナス４乗
Ｔｏｒｒの範囲内の圧力に設定する。しかる後、電源１
０３を駆動して、陰極チャック１０１，１０２と陽極の
チャンバ１００との間に４００Ｖ〜６００Ｖの範囲内の
電圧を印加して、アルゴンガス１１０をプラズマ放電さ
せる。
アルゴンガス１１０をチャンバ１００内に充填する。こ
のアルゴンガス１１０のチャンバ１００内圧力は、例え
ば、１０のマイナス２乗Ｔｏｒｒ〜１０のマイナス４乗
Ｔｏｒｒの範囲内の圧力に設定する。しかる後、電源１
０３を駆動して、陰極チャック１０１，１０２と陽極の
チャンバ１００との間に４００Ｖ〜６００Ｖの範囲内の
電圧を印加して、アルゴンガス１１０をプラズマ放電さ
せる。
【００１２】すると、プラズマ放電で発生したアルゴン
陽イオンやラジカルが陰極チャック１０１側に向かい、
ターゲット１に衝突する。この衝撃により、三フッ化ア
ルミニウムで構成されるターゲット１の表面からフッ素
やアルミニウムが蒸発し、上方の対象ワーク２の表面に
吸着される。このようなプラズマ放電を５分〜１２０分
程継続させると、図２に示すように、フッ素を含むアル
ミニウムの膜２０が対象ワーク２の表面に成膜される。
膜２０が所望厚さに達した時点で、プラズマ放電を停止
すると共に、チャンバ１００内に充満しているガスを排
気した後、ターゲット１をチャンバ１００から取り出す
ことで、コーティング方法の全工程を完了する。
陽イオンやラジカルが陰極チャック１０１側に向かい、
ターゲット１に衝突する。この衝撃により、三フッ化ア
ルミニウムで構成されるターゲット１の表面からフッ素
やアルミニウムが蒸発し、上方の対象ワーク２の表面に
吸着される。このようなプラズマ放電を５分〜１２０分
程継続させると、図２に示すように、フッ素を含むアル
ミニウムの膜２０が対象ワーク２の表面に成膜される。
膜２０が所望厚さに達した時点で、プラズマ放電を停止
すると共に、チャンバ１００内に充満しているガスを排
気した後、ターゲット１をチャンバ１００から取り出す
ことで、コーティング方法の全工程を完了する。
【００１３】上記のように、対象ワーク２は、スパッタ
リングにより成膜され、アルミニウムの膜２０でコーテ
ィングされているので、その表面硬度が大きい。しか
も、膜２０にフッ素が含まれているので、離型性にも優
れている。このように、この実施形態のコーティング方
法によれば、高い表面硬度と優れた離型性との双方を兼
ね備えた対象ワーク２を製造することができるという優
れた効果がある。
リングにより成膜され、アルミニウムの膜２０でコーテ
ィングされているので、その表面硬度が大きい。しか
も、膜２０にフッ素が含まれているので、離型性にも優
れている。このように、この実施形態のコーティング方
法によれば、高い表面硬度と優れた離型性との双方を兼
ね備えた対象ワーク２を製造することができるという優
れた効果がある。
【００１４】（第２実施形態）図３は、この発明の第２
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、ＰＶＤ法のプラズ
マスパッタリングを用いる点で上記第１実施形態と同様
であるが、フッ素ガスとフッ素が含まれていない金属と
をターゲットとした点が上記第１実施形態と異なる。具
体的には、図３に示すように、第１のターゲットして単
体のアルミニウム金属１−１を陰極チャック１０１に載
置すると共に、第２のターゲットしてのフッ素ガス１−
２をチャンバ１００内に１０のマイナス２乗Ｔｏｒｒ〜
１０のマイナス４乗Ｔｏｒｒの範囲内の圧力で充填す
る。かかる状態で、アルゴンガス１１０をプラズマ放電
することで、アルミニウムが蒸発すると共にフッ素ガス
がイオン化されて、対象ワーク２の表面に吸着されるの
で、上記第１実施形態で示した膜２０と同様の膜が対象
ワーク２の表面に成膜される。その他の構成，作用及び
効果は上記第１実施形態と同様であるので、その記載は
省略する。
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、ＰＶＤ法のプラズ
マスパッタリングを用いる点で上記第１実施形態と同様
であるが、フッ素ガスとフッ素が含まれていない金属と
をターゲットとした点が上記第１実施形態と異なる。具
体的には、図３に示すように、第１のターゲットして単
体のアルミニウム金属１−１を陰極チャック１０１に載
置すると共に、第２のターゲットしてのフッ素ガス１−
２をチャンバ１００内に１０のマイナス２乗Ｔｏｒｒ〜
１０のマイナス４乗Ｔｏｒｒの範囲内の圧力で充填す
る。かかる状態で、アルゴンガス１１０をプラズマ放電
することで、アルミニウムが蒸発すると共にフッ素ガス
がイオン化されて、対象ワーク２の表面に吸着されるの
で、上記第１実施形態で示した膜２０と同様の膜が対象
ワーク２の表面に成膜される。その他の構成，作用及び
効果は上記第１実施形態と同様であるので、その記載は
省略する。
【００１５】（第３実施形態）図４は、この発明の第３
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、ＰＶＤ法でなく、
窒化処理と同様の熱処理によって対象ワークをコーティ
ングする点が、上記第１及び第２実施形態と異なる。図
４において、符号１０４は電気炉であり、その内部に電
熱器１０５を有している。この実施形態では、電気炉１
０４内に対象ワーク２を収納し、フッ素ガスをこの電気
炉１０４内に充填しながら、電熱器１０５によって炉内
温度を例えば４５０℃〜８００℃に加熱する。このよう
に、電気炉１０４内を加熱しながら、フッ素ガス１−２
を電気炉１０４内に１０分間〜５０時間ほど流し続ける
と、高温化されたフッ素ガスが対象ワーク２内の元素と
結びついて、固いフッ素化合物を対象ワーク２表面に形
成する。上記のようにしてコーティングされた対象ワー
ク２は、硬いフッ化物により、高い硬度を保持する。さ
らに、フッ化物の作用により、離型性に優れている。し
たがって、この実施形態のコーティング方法も上記第１
及び第２実施形態のコーティング方法と同様に、硬度性
と離型性とに優れたワークを作り出すことができる。
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、ＰＶＤ法でなく、
窒化処理と同様の熱処理によって対象ワークをコーティ
ングする点が、上記第１及び第２実施形態と異なる。図
４において、符号１０４は電気炉であり、その内部に電
熱器１０５を有している。この実施形態では、電気炉１
０４内に対象ワーク２を収納し、フッ素ガスをこの電気
炉１０４内に充填しながら、電熱器１０５によって炉内
温度を例えば４５０℃〜８００℃に加熱する。このよう
に、電気炉１０４内を加熱しながら、フッ素ガス１−２
を電気炉１０４内に１０分間〜５０時間ほど流し続ける
と、高温化されたフッ素ガスが対象ワーク２内の元素と
結びついて、固いフッ素化合物を対象ワーク２表面に形
成する。上記のようにしてコーティングされた対象ワー
ク２は、硬いフッ化物により、高い硬度を保持する。さ
らに、フッ化物の作用により、離型性に優れている。し
たがって、この実施形態のコーティング方法も上記第１
及び第２実施形態のコーティング方法と同様に、硬度性
と離型性とに優れたワークを作り出すことができる。
【００１６】（第４実施形態）図５は、この発明の第４
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、電着法により、対
象ワークをコーティングする点が上記第１〜第３実施形
態と異なる。図５において、符号１０７が電着液であ
り、この電着液１０７中に、フッ素を含む金属１−３と
対象ワーク２とを入れて、互いに対向させる。そして、
対象ワーク２を陽極とすると共に金属１−３を陰極とし
て、通電する。すると、金属１−３からフッ素陰イオン
が析出し、電着液１０７中を電気泳動して、対象ワーク
２の表面に付着する。この結果、対象ワーク２の表面に
フッ素による硬い膜が塗膜されるので、対象ワーク２の
表面の硬度と耐摩耗性が向上し、しかも、フッ素の作用
により、離型性も向上する。
実施形態に係るコーティング方法を示す概略図である。
この実施形態のコーティング方法は、電着法により、対
象ワークをコーティングする点が上記第１〜第３実施形
態と異なる。図５において、符号１０７が電着液であ
り、この電着液１０７中に、フッ素を含む金属１−３と
対象ワーク２とを入れて、互いに対向させる。そして、
対象ワーク２を陽極とすると共に金属１−３を陰極とし
て、通電する。すると、金属１−３からフッ素陰イオン
が析出し、電着液１０７中を電気泳動して、対象ワーク
２の表面に付着する。この結果、対象ワーク２の表面に
フッ素による硬い膜が塗膜されるので、対象ワーク２の
表面の硬度と耐摩耗性が向上し、しかも、フッ素の作用
により、離型性も向上する。
【００１７】なお、この発明上記実施形態に限定される
ものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の変
更が可能である。例えば、上記第１及び第２実施形態で
は、ＰＶＤ法として、プラズマスパッタリングを用いた
が、イオンプレーティングや真空蒸着などのＰＶＤ法を
用いることによっても、上記実施形態と同様の成膜が可
能である。また、上記第１実施形態では、ターゲット１
として、三フッ化アルミニウムを用いたが、リチウム，
カルシウム，マグネシウムなどの金属単体又は合金にフ
ッ素を化学結合して得たフッ化リチウム（ＬiＦ），二
フッ化カルシウム（ＣaＦ2），又はにフッ化マグネシウ
ム（ＭgＦ2）のいずれかをターゲット１として用いて
も、上記実施形態と同様の成膜が可能である。さらに、
上記第３実施形態では、窒化処理と同様の熱処理によっ
てコーティングを行ったが、これに限らず、浸炭処理と
同様の熱処理によっても硬度性と離型性とに優れたワー
クを作り出すことができることは勿論である。
ものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の変
更が可能である。例えば、上記第１及び第２実施形態で
は、ＰＶＤ法として、プラズマスパッタリングを用いた
が、イオンプレーティングや真空蒸着などのＰＶＤ法を
用いることによっても、上記実施形態と同様の成膜が可
能である。また、上記第１実施形態では、ターゲット１
として、三フッ化アルミニウムを用いたが、リチウム，
カルシウム，マグネシウムなどの金属単体又は合金にフ
ッ素を化学結合して得たフッ化リチウム（ＬiＦ），二
フッ化カルシウム（ＣaＦ2），又はにフッ化マグネシウ
ム（ＭgＦ2）のいずれかをターゲット１として用いて
も、上記実施形態と同様の成膜が可能である。さらに、
上記第３実施形態では、窒化処理と同様の熱処理によっ
てコーティングを行ったが、これに限らず、浸炭処理と
同様の熱処理によっても硬度性と離型性とに優れたワー
クを作り出すことができることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、この発明の
コーティング方法によれば、フッ素を用いて対象ワーク
のコーティングを行う構成であるので、対象ワーク表面
の硬度性を高めつつ、フッ素による離型性の向上を図る
ことができるという優れた効果がある。
コーティング方法によれば、フッ素を用いて対象ワーク
のコーティングを行う構成であるので、対象ワーク表面
の硬度性を高めつつ、フッ素による離型性の向上を図る
ことができるという優れた効果がある。
【図１】この発明の第１実施形態に係るコーティング方
法を示す概略図である。
法を示す概略図である。
【図２】コーティング状態を示すワークの一部断面図で
ある。
ある。
【図３】この発明の第２実施形態に係るコーティング方
法を示す概略図である。
法を示す概略図である。
【図４】この発明の第３実施形態に係るコーティング方
法を示す概略図である。
法を示す概略図である。
【図５】この発明の第４実施形態に係るコーティング方
法を示す概略図である。
法を示す概略図である。
１…ターゲット、 ２…対象ワーク、 ２０…膜、 １
００…チャンバ、 １０１…陰極チャック、 １０２…
陰極チャック、 １０３…電源、 １１０…アルゴンガ
ス。
００…チャンバ、 １０１…陰極チャック、 １０２…
陰極チャック、 １０３…電源、 １１０…アルゴンガ
ス。
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4D075 BB85Y BB89Y CA02 CA07
CA09 DA06 DB01 EB01 EB16
4K029 BA42 BC00 BC02 CA02 CA04
CA06 DC05
Claims (5)
- 【請求項１】 母部材をイオン衝撃又は加熱により蒸発
させる物理的気相成長法を用いて、対象ワークに成膜す
るコーティング方法において、 上記母部材として、単体の金属又は合金とフッ素とを化
学結合して得られた物質を用いた、 ことを特徴とするコーティング方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のコーティング方法にお
いて、 上記母部材は、三フッ化アルミニウム，フッ化リチウ
ム，二フッ化カルシウム，又は二フッ化マグネシウムの
いずれかである、 ことを特徴とするコーティング方法。 - 【請求項３】 母部材をイオン衝撃又は加熱により蒸発
させる物理的気相成長法を用いて、対象ワークを成膜す
るコーティング方法において、 上記母部材として、単体の金属又は合金と、雰気ガスと
してフッ素ガスとを用いた、 ことを特徴とするコーティング方法。 - 【請求項４】 減圧下の炉内に対象ワークを収納し、フ
ッ素ガスの雰囲気下で炉内を加熱することにより、対象
ワークに上記フッ素を浸透させてコーティングする、 ことを特徴とするコーティング方法。 - 【請求項５】 電着液中に対象ワークとフッ素を含む金
属又はフッ素を含む合金を入れ、対象ワーク側を陽極と
すると共に、上記金属又は合金側を陰極として通電する
ことにより、上記ワークの表面を塗膜する、 ことを特徴とするコーティング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002111289A JP2003301253A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | コーティング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002111289A JP2003301253A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | コーティング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003301253A true JP2003301253A (ja) | 2003-10-24 |
Family
ID=29394161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002111289A Pending JP2003301253A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | コーティング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2003301253A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006131936A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Nobuhiko Onuki | 引っ掛け治具及び金属回収方法 |
| WO2014145671A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Cap Technologies, Llc | Metal deposition process using electroplasma |
-
2002
- 2002-04-12 JP JP2002111289A patent/JP2003301253A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006131936A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Nobuhiko Onuki | 引っ掛け治具及び金属回収方法 |
| JP4714454B2 (ja) * | 2004-11-04 | 2011-06-29 | 信彦 大貫 | 引っ掛け治具及び金属回収方法 |
| WO2014145671A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Cap Technologies, Llc | Metal deposition process using electroplasma |
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