JP2003287267A - ファンフィルタユニット監視制御システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のクリーンルームにまたがる所定多数の
ファンフィルタユニットの運転制御の指示や運転状況の
監視を行うことが出来るファンフィルタユニット監視制
御システムを得る。 【解決手段】 クリーンルームとしての工場全体を所定
数のゾーンに区分し、各ゾーンの天井部にファン本体１
２とファン本体１２を制御し運転を継続させるプログラ
ムを備えたＦＦＵコントローラ１１とで構成して夫々任
意多数台数配設したＦＦＵ１と、所定数のゾーン単位で
独立してＦＦＵ１との間で所定ポーリング速度の制御指
示を送り監視データを受け取るゾーンコントローラ２
と、中央監視室側に操作キーボード３１とモニター３２
を備え各ゾーンコントローラ２単位でＦＦＵ１の運転状
態及び故障状態を監視しかつファンの発／停制御を行う
中央監視制御部３と、中央監視制御部３と各ゾーンコン
トローラ２との間をネットワーク４を介して接続し所定
ポーリング速度のデータ送受信によりデータ整理を行う
統括コントローラ５とで構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は複数のクリーンルー
ムにまたがる所定多数のファンフィルタユニット（以
下、ＦＦＵと記す）の運転制御の指示や運転状況の監視
を行うファンフィルタユニット監視制御システムに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の一般的なファンフィルタユニット
監視制御システムは、半導体製造装置等におけるクリー
ンルームにおいて天井部には高性能フィルタとファンが
一体化され垂直気流を発生する多数個のＦＦＵが配置さ
れており、これらのＦＦＵの運転制御の指示や運転状況
の監視を行うものであり、例えば天井部にて複数台のＦ
ＦＵをグループ化し、各グループごとにグループ内のＦ
ＦＵの制御監視を行うグループコントローラを設け、夫
々のグループコントローラとホストコンピュータの間を
ネットワーク配線にて接続し、各グループコントローラ
は空調機械室に設置され各グループ内の夫々のＦＦＵと
の間を入出力配線によって接続されており、ホストコン
ピュータは作業環境の要求に応じたグループ単位のＦＦ
Ｕの運転制御の指示や運転状況の監視を各グループコン
トローラに対して指令し、各グループコントローラでは
受信したＦＦＵ制御監視指令に基づきグループ内の夫々
のＦＦＵを運転制御監視する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし従来の一般的な
ファンフィルタユニット監視制御システムでは、数百台
のＦＦＵに対する中央よりの遠隔個別制御は、グループ
コントローラと夫々のＦＦＵとの間を配線により接続せ
ねばならず、また中央側の処理点数能力の点からも実現
が困難であり、消費電力も大きくなるという問題があ
り、また、半導体製造はレイアウトの変更が多く、それ
に応じてＦＦＵの台数増減、配置変更の要求が多いが、
その都度入出力制御点や配線の変更など多大の工数と材
料の追加や交換等が必要で対応困難であった。

【０００４】この問題を改善するものとして、特開平１
１−２３０５９２号公報に示すごとく、ＦＦＵの運転状
態及び故障状態を監視しかつファンの発／停制御を行う
監視制御手段と、監視制御手段との間をネットワークで
接続する為のネットワークインタフェース、通信処理と
プログラム処理を行う処理部、増幅部、ＤＣ電源部、入
出力端子を搭載した基盤をケースに収納した制御ノード
と、各制御ノードに直流電圧を供給する共通なソースＤ
Ｃ電源と、ＦＦＵに設けられ、制御ノードから始動／停
止の運転を行う主電源回路及び制御ノードが運転及び故
障の状態信号をネットワーク信号として取り出すための
状態監視回路を有するユニット制御ボックスとを備え、
制御ノードのケースを各ＦＦＵ本体に取付け、制御ノー
ドとユニット制御ボックスとをコネクタ接続するものと
し、また、ＦＦＵの運転状態及び故障状態を監視しかつ
運転の発／停を少なくとも各ＦＦＵ毎に監視制御手段へ
指示する手段を構成するモニタを備え、モニタはクリー
ンルームの天井部に設備されたＦＦＵの配置を画面表示
するとともに、画面上で特定のＦＦＵを選択することに
より運転の発／停を指示するものとし、更に、モニタは
ＦＦＵの運転状態及び故障状態を異なる色で表示するも
のとし、監視制御手段にて各ＦＦＵの制御ノードを直接
制御するので、ＦＦＵ単体の個別制御や、グループ単位
のグループ制御が出来、グループ制御するためのグルー
プコントローラが不要となり、また、ＦＦＵの制御配線
工事費を低減出来るファンフィルタユニット監視制御装
置がある。

【０００５】しかし、一台の監視制御手段で直接制御出
来るＦＦＵの制御ノードの台数は前記発明にも記してあ
るごとく数百台が限度であり、最近は規模が大きくな
り、一つの工場におけるクリーンルーム数が増し、製造
ライン数も多くなり、１万台程度のＦＦＵの制御が要求
される場合があるが、この要求に対応するためには数十
組のファンフィルタユニット監視制御装置が必要とな
り、更に全体を総合して監視制御するためには数十台の
監視制御手段を統括するホストコンピュータが必要にな
り、また、各ＦＦＵはユニット制御ボックスの他にネッ
トワークインタフェース、通信処理とプログラム処理を
行う処理部、増幅部、ＤＣ電源部、入出力端子を搭載し
た基盤をケースに収納した大掛かりで高価な制御ノード
を備えなければならず、ファンフィルタユニット監視制
御装置数が多く、別途ホストコンピュータの増設が必要
で、各ＦＦＵも部品数が多く必要であり、設置場所も広
くなり、高コストとなるという問題があった。また、更
に工場全体のＦＦＵを制御するには、ライン単位のゾー
ンの他に、例えばクリーンルーム別に複数のゾーンの制
御や、特定のゾーン（例えばライン）の制御や、更にグ
ループ（電源系統、施設グループ）別の制御のごとく異
なるゾーンにまたがる制御が要求されることがあるが、
一つのファンフィルタユニット監視制御装置にて一つの
ゾーンを制御しているので全体制御やグループ制御は困
難である。

【０００６】また、クリーンルームの天井に多数個設置
されるＦＦＵをいくつかのグループに区分して、夫々の
グループを制御するものとして、例えば特許第３０６２
４５６号公報に示すごとく、夫々のグループを各マルチ
コントロールユニットで制御し、各マルチコントロール
ユニットはリレーコントロールユニットを介して一つの
ホストコントロールユニットで統合制御される半導体装
置の製造用クリーンルームのファンフィルタユニット駆
動制御システムであって、ＦＦＵはファンの回転による
空気の流れによって作動するスイッチング部と、その作
動により例えばファンが正常に回転しているときは青ラ
ンプ、正常に回転していないときは赤ランプを点灯する
表示部とを備え、この表示部をマルチコントロールユニ
ットで監視し、このマルチコントロールユニットをリレ
ーコントロールユニットを介してホストコントロールユ
ニットのモニタで監視し、全体のオン／オフの状態を統
合して感知出来るものとし、グループ化してマルチコン
トロールユニットによるグループ単位のグループ制御
や、ホストコントロールユニットによる全体の一括制御
が行なえるものがあるが、異なるグループにまたがる個
別のＦＦＵ単位のフレキシブルな決め細かい制御は困難
であり、また、一つのホストコントロールユニットで多
数の各マルチコントロールユニットを制御するドキュメ
ントは示されていず、別のクリーンルームも含むような
多数のゾーンに対するゾーン制御は配慮されていなず、
前記のごとく数百台の制御が限度と推定される。

【０００７】本発明の目的は、規模が大きく、一つの工
場におけるクリーンルーム数が増し、ライン数も多くな
り、数千台乃至数万台程度のＦＦＵの制御が要求される
場合にも対応出来るよう、全体の一括制御や、クリーン
ルームをゾーン化してゾーン単位のゾーン制御が行なえ
るとともに、ＦＦＵ単体の個別制御や、異なるゾーンに
またがるＦＦＵをグループ化したグループ別のグループ
制御のごとく、個別のＦＦＵ単位のフレキシブルな決め
細かい制御が出来るファンフィルタユニット監視制御シ
ステムを提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明はクリーンルームの天井部に配設した多数
のＦＦＵを監視制御して運転させ垂直気流を発生しクリ
ーンルーム内部で発生する埃など異物を取り除き高清浄
度を維持するファンフィルタユニット監視制御システム
において、前記クリーンルームは工場全体を所定数のゾ
ーンに区分されているものとし、夫々のゾーンの天井部
に高性能フィルタとファンとモータが一体化されたファ
ン本体とこのファン本体を制御し運転を継続させるプロ
グラムを備えたＦＦＵコントローラとで構成して夫々任
意多数台数配設したＦＦＵと、所定数のゾーン単位で独
立してこれら任意多数台数のＦＦＵとの間で所定ポーリ
ング速度の制御指示を送り監視データを受け取るゾーン
コントローラと、中央監視室側に中央監視者用の操作キ
ーボードとモニターを備え各ゾーンコントローラ単位で
夫々のＦＦＵの運転状態及び故障状態を監視しかつファ
ンの発／停制御を行う中央監視制御部と、この中央監視
制御部と前記ゾーン単位で独立している各ゾーンコント
ローラとの間をネットワークを介して接続し所定ポーリ
ング速度のデータ送受信によりデータ整理を行う統括コ
ントローラとで構成したものであり、通常は各ゾーンコ
ントローラはゾーン単位で任意多数台数のＦＦＵとの間
で所定ポーリング速度の制御指示を送り監視データを受
け取り、独立して各ゾーン内のＦＦＵの運転を継続して
おり、中央監視者は中央監視制御部にて統括コントロー
ラを介して任意多数台数のＦＦＵに対する各種登録や制
御指示を行うと共に、各ゾーンコントローラ単位で夫々
のＦＦＵの運転状態及び故障状態を監視することが出
来、システム全体では任意数Ｎ×所定数Ｍ（１００〜千
数百台×１〜数十ゾーン＝１００〜十数万台）のＦＦＵ
に対する各種登録や制御指示を行ってファンの発／停制
御を行い、かつ運転状態及び故障状態を監視することが
出来る。

【０００９】前記所定数のゾーン単位で独立して設けら
れたゾーンコントローラの内部レジスタは、ＦＦＵ情
報、グループ情報、ゾーンー括情報、異常情報レジス
タ、制御用レジスタ等から構成されており、ＦＦＵ情報
は任意多数台数分のＦＦＵ情報からなっており、１台の
ＦＦＵ毎に画面アドレス、ロケーションＮｏ、ＬＡＮ／
ＦＦＵＮｏ、グループＮｏ（異なるゾーンにまたがるＦ
ＦＵをグループ化したグループ）／制御／速度、個別速
度、通信異常カウント、モータ異常カウント、ゾーンＮ
ｏ、異常送信等を格納しており、これら任意多数台数の
ＦＦＵ毎にグループＮｏ、ゾーンＮｏ（クリーンルーム
をゾーン化したゾーン単位）を持ち管理しているので、
他のゾーンコントローラにに関係なくグループＮｏやゾ
ーンＮｏを登録出来、またそれにより全体の一括制御
や、クリーンルームをゾーン化してゾーン単位のゾーン
制御が行なえるとともに、ＦＦＵ単体の個別制御や、異
なるゾーンにまたがるＦＦＵをグループ化したグループ
別のグループ制御のごとく、個別のＦＦＵ単位のフレキ
シブルな決め細かい制御を可能とした。

【００１０】前記中央監視制御部のプログラムは中央監
視室側のオペレータよりモニターデータ要求した場合
は、統括コントローラへデータ要求し、要求データを受
信すると画面表示し、制御指令した場合は、統括コント
ローラへ制御通知し、受信ＯＫの通知で終了し、ＦＦＵ
のデータ登録した場合は、統括コントローラへデータ送
信し、データ受信すると画面表示し、ＦＦＵの削除指令
した場合は、統括コントローラへ削除ＦＦＵを通知し、
受信ＯＫの通知で終了し、一方、中央監視制御部におけ
るアラーム表示の処理は、以上の正常の処理とは別に常
時平行して監視しており、統括コントローラよりアラー
ムデータが送られた場合は、データ受信すると、受信完
了通知し、アラーム履歴に表示して終了しするものとし
た。

【００１１】前記統括コントローラのプログラムは中央
監視制御部よりモニター要求有の場合は、該当ゾーンコ
ントローラへデータ要求し、データ受信し、中央監視制
御部へデータを送信しスタートへ戻り、制御指令有の場
合は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、受信ＯＫ
有の通知で終了し、ＦＦＵ登録データ有の場合は、該当
ゾーンコントローラへ制御通知し、受信ＯＫ有の通知を
うけ、中央監視制御部へ受信完了送信をして終了し、Ｆ
ＦＵ削除指令有りの場合は、該当ゾーンコントローラへ
制御通知し、受信ＯＫ有の通知をうけ、中央監視制御部
へ受信完了送信をして終了し、一方、統括コントローラ
よりクレーラーム表示の処理も、以上の正常の処理とは
別に常時平行して監視しており、ＦＦＵよりアラームデ
ータ有の場合は、該当ゾーンコントローラへデータ受信
通知し、中央監視制御部へアラームデータ送信し、デー
タ受信有の通知をうけて終了するものとした。統括コン
トローラを加えることにより中央制御監視部にてゾーン
コントローラの制御がスムーズになり、統括コントロー
ラは各ゾーンが独立してゾーンコントローラにより多数
のＦＦＵを監視制御出来るようにする作用をする。

【００１２】前記中央監視制御部は中央監視者用の操作
キーボードとモニターを備え、モニターは各ゾーン単位
でクリーンルームの天井部に配設されたＦＦＵの配置を
示すと共に、夫々のＦＦＵの登録や登録削除を行うため
の登録画面や、ＦＦＵの制御指示を行うための個別制御
画面や、グループ制御を行うためのグループ画面や、ゾ
ーン制御を行うためのゾーン画面や、アラームが発生し
た場合に当該ＦＦＵの情報を表示するアラーム表示画面
を表示するものとし、ＦＦＵの運転状態及び故障状態を
監視しかつファンの発／停制御を行うことが出来るもの
とした。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施例を図１〜図
１１により説明する。図１は本発明の一実施例を施した
ファンフィルタユニット監視制御システムの全体構成を
示す系統図であり、図２は同ファンフィルタユニット監
視制御システムのゾーンコントローラの内部レジスタの
構成図であり、図３はファンフィルタユニット監視制御
システムの中央制御監視部の制御フロー図であり、図４
は同じく統括コントローラの制御フロー図であり、図５
は同じくゾーンコントローラの制御フロー図であり、図
６は同じくＦＦＵコントローラの制御フロー図であり、
図７は同ファンフィルタ監視制御システムのデータの流
れを示すフロー図であり、図８は同ファンフィルタ監視
制御システムの中央制御監視部のモニターにおけるＦＦ
Ｕ登録／個別制御画面であり、図９は同じくグループ画
面であり、図１０は同じくゾーン画面であり、図１１は
同ファンフィルタ監視制御システム構成機器の故障状況
を示す故障状況表である。

【００１４】ファンフィルタユニット監視制御システム
は例えば半導体製造工場において、クリーンルームを製
造ラインや製造フロア等、所定数Ｍ（例えばＭ＝１〜数
十間の所定数）のゾーン（クリーンルームをゾーン化し
たゾーン単位）に分割して、夫々のゾーンを管理単位と
して監視制御するものとし、図１において、高性能フィ
ルタとファンとモータが一体化されたファン本体１２と
このファン本体１２を制御し運転を継続させるプログラ
ムを備えたＦＦＵコントローラ（以下、ＦＦＵＣと記
す）１１とで構成されたＦＦＵ１はクリーンルームの天
井部に多数配設されて、垂直気流を発生しクリーンルー
ム内部で発生する埃など異物を取り除き高清浄度を維持
するものであり、クリーンルーム側の前記所定数Ｍのゾ
ーン単位に、夫々任意多数Ｎ（例えばＮ＝１００〜千数
百間の任意数）台数の前記ＦＦＵ１との間で所定ポーリ
ング速度（例えば３０〜１００ｍｓｅｃ間の所定ポーリ
ング速度）の制御指示を送り監視データを受け取るゾー
ンコントローラ（以下、ＺＣと記す）２と（従ってＺＣ
の全台数はＭ＝１〜数十間の設定数となる）、中央監視
室側で中央監視者用の操作キーボード３１とモニター３
２を備え各ＺＣ２単位で夫々のＦＦＵ１の運転状態及び
故障状態を監視しかつファンの発／停制御を行う中央監
視制御部（以下、ＭＭＩと記す）３と、このＭＭＩ３と
各ＺＣ２との間をネットワーク４を介して接続し所定ポ
ーリング速度（３０〜１００ｍｓｅｃ）のデータ送受信
によりデータ整理を行う統括コントローラ（以下、ＭＣ
と記す）５とで構成されている。従って、システム全体
では任意数Ｎ×所定数Ｍ（１００〜千数百台×１〜数十
ゾーン≒１００〜十数万台）のＦＦＵ１の運転状態及び
故障状態を監視しかつファンの発／停制御を行うことが
出来ることになる。

【００１５】前記ＺＣ２の内部レジスタの構成を示す図
２において、ＺＣ２の内部レジスタは、所定（例えば一
万数千）レジスター数のＦＦＵ情報Ａ、所定（例えば数
百）レジスター数のグループ情報Ｂ、所定（例えば数
百）レジスター数のゾーン一括情報Ｃ、所定（例えば数
千）レジスター数の異常情報レジスタ、所定（例えば数
千）レジスター数の制御用レジスタ等から構成されてお
り、ＦＦＵ情報Ａは千数百台分のＦＦＵ情報からなって
おり、１台のＦＦＵ１毎に１６レジスターのメモリエリ
アを使用し、画面アドレス、ロケーションＮｏ（画面上
ＸＹ座標）、ＬＡＮ／ＦＦＵＮｏ、グループＮｏ／制御
／速度、個別速度、通信異常カウント、モータ異常カウ
ント、ゾーンＮｏ、異常送信等を格納しており、ＦＦＵ
１毎にグループＮｏ、ゾーンＮｏを持ち管理しているの
で、ＺＣ２に関係なくグループＮｏやゾーンＮｏを登録
出来、またそれにより全体の一括制御や、クリーンルー
ムをゾーン化してゾーン単位のゾーン制御が行なえると
ともに、ＦＦＵ１単体の個別制御や、異なるゾーンにま
たがるＦＦＵ１をグループ化したグループ別のグループ
制御のごとく、個別のＦＦＵ１単位のフレキシブルな決
め細かい制御が可能となっている。

【００１６】前記ＭＭＩ３の制御フローを示す図３にお
いて、ＭＭＩ３は中央監視室側のオペレータよりモニタ
ーデータ要求有の場合は、ＭＣ５へデータ要求をし、Ｍ
Ｃ５よりデータ受信をし、データを画面表示しスタート
へ戻り、オペレータよりモニターデータ要求でなく、制
御指令有の場合は、ＭＣ５へ制御通知をし、ＭＣ５より
受信ＯＫ有の通知で終了し、制御指令無しの場合も同じ
く、オペレータよりＦＦＵ登録データ有の場合は、ＭＣ
５へデータ送信をし、ＭＣ５よりデータ受信をし、デー
タを画面表示し、ＦＦＵ登録データ無しの場合も同じ
く、オペレータよりＦＦＵ削除指令有の場合は、ＭＣ５
へ削除ＦＦＵ通知をし、ＭＣ５より受信ＯＫ有の通知で
終了し、ＦＦＵ削除指令無しの場合も同じく終了する。
一方、ＭＭＩ３におけるアラーム表示の処理は、以上の
正常の処理とは別に常時平行して監視しており、ＭＣ５
よりアラームデータ有の場合は、ＭＣ５よりデータ受信
をすると、ＭＣ５へ受信完了通知をし、アラーム履歴に
表示して終了し、ＭＣ５よりアラームデータ無しの場合
はそのまま終了する。

【００１７】前記ＭＣ５の制御フローを示す図４におい
て、ＭＣ５はＭＭＩ３よりモニター要求有の場合は、該
当ＺＣ２へデータ要求をし、該当ＺＣ２よりデータ受信
をし、ＭＭＩ３へデータを送信しスタートへ戻り、ＭＭ
Ｉ３よりモニターデータ要求でなく、制御指令有の場合
は、該当ＺＣ２へ制御通知をし、該当ＺＣ２より受信Ｏ
Ｋ有の通知で終了し、制御指令無しの場合も同じく、Ｍ
ＭＩ３よりＦＦＵ登録データ有の場合は、該当ＺＣ２へ
制御通知をし、該当ＺＣ２より受信ＯＫ有の通知をう
け、ＭＭＩ３へ受信完了送信をして終了し、ＦＦＵ登録
データ無しの場合も同じく、ＭＭＩ３よりＦＦＵ削除指
令有りの場合は、該当ＺＣ２へ制御通知をし、該当ＺＣ
２より受信ＯＫ有の通知をうけ、ＭＭＩ３へ受信完了送
信をして終了し、ＦＦＵ削除指令無しの場合はそのまま
終了する。一方、ＭＣ５におけるアラーム表示の処理
も、以上の正常の処理とは別に常時平行して監視してお
り、ＦＦＵ１よりアラームデータ有の場合は、該当ＺＣ
２へデータ受信通知をし、ＭＭＩ３へアラームデータ送
信をし、ＭＭＩ３よりデータ受信有の通知をうけて終了
し、ＦＦＵ１よりアラームデータ無しの場合はそのまま
終了する。従って、ＭＣ５を加えることによりＭＭＩ３
にてＺＣ２の制御がスムーズになり、ＭＣ５は各ゾーン
が独立してＺＣ２により多数のＦＦＵ１を監視制御する
ことが出来る。

【００１８】前記ＺＣ２のフローを示す図５において、
所定台数Ｍ（１〜数十台）の例えば６３台のＺＣ２は各
々他のＺＣ２と同期を取ることなく、該当ＺＣ２独自に
フロー図に示すプログラム処理を行うものであり、ＭＣ
５を介して受けたＭＭＩ３からのデータに、該当ＺＣ２
に登録したＦＦＵＮｏ有であれば受け取り、該当グルー
プの制御有であれば制御エリアへ指示書き込みし、グル
ープの制御無しであれば制御エリアのデータ削除を行
い、該当ゾーンの制御有であれば制御エリアへ指示書き
込みし、ゾーンの制御無しであれば制御エリアのデータ
削除を行い、一括制御有であれば制御エリアへ指示書き
込みし、一括制御無しであれば制御エリアのデータ削除
を行い、該当個別制御有であれば制御エリアへ指示書き
込みし、個別制御無しであれば制御エリアのデータ削除
を行い、制御ゾーン指示有であり、かつ、アラームのＦ
ＦＵ有であればＭＣ５へ通知し、アラームのＦＦＵ有、
無とも該当ＦＦＵ１へ運転指令オンとし、ＦＦＵデータ
用カウンター更新して終了し、制御ゾーン指示無しであ
っても、そのまま、ＦＦＵデータ用カウンター更新して
終了する。従って、優先順位はアラームが最優先であ
り、制御データでは個別制御、一括制御、ゾーン制御、
グループ制御の順となる。

【００１９】前記ＦＦＵＣ１１の制御フロー図を示す図
６において、任意数Ｎ×所定数Ｍ（１００〜千数百台×
１〜数十ゾーン≒１００〜十数万台）の各ＦＦＵＣ１１
は各々他のＦＦＵＣ１１と同期を取ることなく、常時モ
ータへ運転指令を出してモータは回転を続けているもの
であり、ＺＣ２より運転指令有であれば、モータへ運転
指令を出し、ＦＦＵＣ１２より運転ＯＫの場合はＺＣ２
へ運転ＯＫの通知をし、運転ＯＫでない場合はＺＣ２へ
アラーム通知をする。また、運転指令有でなくＺＣ２よ
り運転停止指令有の場合のみモーターへ停止指令を出
し、運転停止指令有でなければそのまま終了し、スター
トに戻る。従って、全てのＦＦＵ１はＺＣ２より停止指
令有以外は運転し続ける。

【００２０】以上の構成により、図７に示すごとく、
《登録》は中央監視室側でＭＭＩ３のモニター３２の
「登録／個別制御画面」（図８）を呼出し、「ＦＦＵの
登録」は登録／個別制御画面を見ながら操作キーボード
３１にて設定した希望のＦＦＵＮｏ（例えば７−５１
２）の登録データがＭＭＩ３からＭＣ５を介して該当Ｚ
Ｃ２（例えばＺＣ２−２）へデータ転送され、該当ＺＣ
２の内部レジスタに格納され、該当ＺＣ２はＭＣ５へ受
信完了を通知し、ＭＣ５は受信完了通知を受けてＭＭＩ
３へＦＦＵ表示を返信する。「ＦＦＵの削除」は同じく
登録／個別制御画面を見ながら操作キーボード３１にて
設定した希望のＦＦＵ１の削除指示がＭＭＩ３からＭＣ
５を介して該当ＺＣ２（例えばＺＣ２−２）へ指示転送
され、該当ＺＣ２の内部レジスタが消去され、該当ＺＣ
２はＭＣ５へ受信完了を通知し、ＭＣ５は受信完了通知
を受けてＭＭＩ３へＦＦＵ表示削除を返信する。

【００２１】また、《個別制御》は同じく中央監視室側
でＭＭＩ３のモニター３２の登録／個別制御画面を見な
がら操作キーボード３１にて設定した希望のＦＦＵ１の
制御データがＭＭＩ３からＭＣ５を介して該当ＺＣ２
（例えばＺＣ２−１）へデータ転送され、該当ＺＣ２か
ら希望のＦＦＵＮｏ（例えば１−１２７８）へ速度指示
を行い、該当ＺＣ２はＭＣ５へ受信完了を通知する。
《一括制御》は中央監視室側で操作キーボード３１にて
一括制御を設定すると、一括制御データがＭＭＩ３から
ＭＣ５を介して全ＺＣ２（所定台数Ｍ、例えば６３台の
全て）へ所定のポーリング速度（３０〜１００ｍｓｅ
ｃ）にて逐次データ転送され、各ＺＣ２から全てのＦＦ
Ｕ１へ速度指示を行い、各ＺＣ２はＭＣ５へ受信完了を
通知する。

【００２２】一方、《グループ、又はゾーン制御》は中
央監視室側でＭＭＩ３のモニター３２の「グループ制御
画面」（図９）、又はゾーン制御画面」（図１０）を呼
出し、グループ、又はゾーン制御画面を見ながら操作キ
ーボード３１にて設定した希望のグループ、又はゾーン
制御データをＭＭＩ３からＭＣ５を介して全てのＺＣ２
へ所定のポーリング速度（３０〜１００ｍｓｅｃ）にて
逐次データ転送され、各ＺＣ２から該当グループ又は、
ゾーンに属する全てのＦＦＵ１へ速度指示を行い、各Ｚ
Ｃ２はＭＣ５へ受信完了を通知する。また、《アラーム
表示》はＦＦＵ１でアラームが発生した場合に、当該Ｆ
ＦＵ１が属するＺＣ２からアラームＦＦＵ情報が常時ポ
ーリングしているＭＣ５を介してＭＭＩ３へ送られ、モ
ニター３２のアラーム表示画面が優先的に表示されて、
中央監視室側で監視出来る。

【００２３】ファンフィルタユニット監視制御システム
構成機器の故障状況を示す図１１において、ＭＭＩ３が
故障した場合は、ＦＦＵ１は運転継続し、ＭＭＩ３にプ
ログラムをインストールして復旧可能である。ＭＣ５が
故障した場合も、ＦＦＵ１は運転継続し、ＭＣ５にプロ
グラムをインストールして復旧可能である。何れかのＺ
Ｃ２が故障した場合も、ＦＦＵ１は運転継続し、該当Ｚ
Ｃ２にプログラムをインストールして復旧可能である。
何れかのＦＦＵ１が故障した場合は、故障したＦＦＵ１
のみ停止し、故障したＦＦＵ１と同じアドレスのＦＦＵ
１と交換して復旧可能である。各ＺＣ〜ＦＦＵ間の通信
ケーブルが故障した場合は、ＦＦＵ１は運転継続し、故
障した通信ケーブルを交換して復旧可能である。従って
本システムは障害に強く、何れかの機器が故障しても、
故障したＦＦＵ１以外は、他の機器が故障してもＦＦＵ
１が停止することはなく、また、ＭＭＩ３、ＭＣ５、各
ＺＣ２、各ＦＦＵ１共、それぞれ独立したプログラムメ
モリを持っているので、障害が発生しても、障害発生前
の状況を継続する。

【００２４】

【発明の効果】本発明は、クリーンルームは工場全体を
所定数のゾーンに区分されているものとし、ゾーンの天
井部にファン本体ファン本体を制御し運転を継続させる
プログラムを備えたＦＦＵコントローラとで構成して夫
々任意多数台数配設したＦＦＵと、所定数のゾーン単位
で独立してＦＦＵとの間で所定ポーリング速度の制御指
示を送り監視データを受け取るゾーンコントローラと、
中央監視室側に操作キーボードとモニターを備え各ゾー
ンコントローラ単位でＦＦＵの運転状態及び故障状態を
監視しかつファンの発／停制御を行う中央監視制御部
と、中央監視制御部と各ゾーンコントローラとの間をネ
ットワークを介して接続し所定ポーリング速度のデータ
送受信によりデータ整理を行う統括コントローラとで構
成したから、通常は各ゾーンコントローラはゾーン単位
で任意多数台数のＦＦＵとの間で所定ポーリング速度の
制御指示を送り監視データを受け取り、独立して各ゾー
ン内のＦＦＵの運転を継続しており、中央監視制御部に
て統括コントローラを介してＦＦＵに対する各種登録や
制御指示を行うと共に、各ゾーンコントローラ単位で夫
々のＦＦＵの運転状態及び故障状態を監視することが出
来、システム全体では任意数Ｎ×所定数ＭのＦＦＵに対
する各種登録や制御指示を行ってファンの発／停制御を
行い、かつ運転状態及び故障状態を監視することが出来
るファンフィルタユニット監視制御システムが提供出来
る。

【００２５】また、前記所定数のゾーン単位で独立して
設けられたゾーンコントローラの内部レジスタは、ＦＦ
Ｕ情報、グループ情報、ゾーン一括情報、異常情報レジ
スタ、制御用レジスタ等から構成されており、ＦＦＵ情
報は任意多数台数分のＦＦＵ情報からなっており、１台
のＦＦＵ毎に画面アドレス、ロケーションＮｏ、ＬＡＮ
／ＦＦＵＮｏ、グループＮｏ／制御／速度、個別速度、
通信異常カウント、モータ異常カウント、ゾーンＮｏ、
異常送信等を格納しており、任意多数台数のＦＦＵ毎に
グループＮｏ、ゾーンＮｏを持ち管理しているので、他
のゾーンコントローラにに関係なくグループＮｏやゾー
ンＮｏを登録出来、またそれにより全体の一括制御や、
クリーンルームをゾーン化してゾーン単位のゾーン制御
が行なえるとともに、ＦＦＵ単体の個別制御や、異なる
ゾーンにまたがるＦＦＵをグループ化したグループ別の
グループ制御のごとく、個別のＦＦＵ単位のフレキシブ
ルな決め細かい制御が出来るファンフィルタユニット監
視制御システムが提供出来る。

【００２６】また、前記中央監視制御部のプログラムは
モニターデータ要求した場合は、統括コントローラへデ
ータ要求し、要求データを受信すると画面表示し、制御
指令した場合は、統括コントローラへ制御通知し、受信
ＯＫの通知で終了し、ＦＦＵのデータ登録した場合は、
統括コントローラへデータ送信し、データ受信すると画
面表示し、ＦＦＵの削除指令した場合は、統括コントロ
ーラへ削除ＦＦＵを通知し、受信ＯＫの通知で終了し、
一方、中央監視制御部におけるアラーム表示の処理は、
以上の正常の処理とは別に常時平行して監視しており、
統括コントローラよりアラームデータが送られた場合
は、データ受信すると、受信完了通知し、アラーム履歴
に表示して終了するものとしたから、中央監視室側での
登録制御や監視をするのに便利なファンフィルタユニッ
ト監視制御システムが提供出来る。

【００２７】また、前記統括コントローラのプログラム
は中央監視制御部よりモニター要求有の場合は、該当ゾ
ーンコントローラへデータ要求し、データ受信し、中央
監視制御部へデータを送信しスタートへ戻り、制御指令
有の場合は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、受
信ＯＫ有の通知で終了し、ＦＦＵ登録データ有の場合
は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、受信ＯＫ有
の通知をうけ、中央監視制御部へ受信完了送信をして終
了し、ＦＦＵ削除指令有りの場合は、該当ゾーンコント
ローラへ制御通知し、受信ＯＫ有の通知をうけ、中央監
視制御部へ受信完了送信をして終了し、一方、統括コン
トローラよりクレーラーム表示の処理も、以上の正常の
処理とは別に常時平行して監視しており、ＦＦＵよりア
ラームデータ有の場合は、該当ゾーンコントローラへデ
ータ受信通知し、中央監視制御部へアラームデータ送信
し、データ受信有の通知をうけて終了するものとしたか
ら、統括コントローラを加えることにより中央制御監視
部にてゾーンコントローラの制御がスムーズになり、統
括コントローラは各ゾーンが独立してゾーンコントロー
ラにより多数のＦＦＵを監視制御することが出来るファ
ンフィルタユニット監視制御システムが提供出来る。

【００２８】前記中央監視制御部は中央監視者用の操作
キーボードとモニターを備え、モニターは各ゾーン単位
でクリーンルームの天井部に配設されたＦＦＵの配置を
示すと共に、夫々のＦＦＵの登録や登録削除を行うため
の登録画面や、ＦＦＵの制御指示を行うための個別制御
画面や、グループ制御を行うためのグループ画面や、ゾ
ーン制御を行うためのゾーン画面や、アラームが発生し
た場合に当該ＦＦＵの情報を表示するアラーム表示画面
を表示するものとし、ＦＦＵの運転状態及び故障状態を
監視しかつファンの発／停制御を行うことが出来るもの
としたから中央監視室側での登録制御や監視をするのに
便利なファンフィルタユニット監視制御システムが提供
出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すファンフィルタユニッ
ト監視制御システムの全体構成を示す系統図である。

【図２】同ファンフィルタユニット監視制御システムの
ゾーンコントローラの内部レジスタの構成図である。

【図３】ファンフィルタユニット監視制御システムの中
央制御監視部の制御フロー図である。

【図４】同じく統括コントローラの制御フロー図であ
る。

【図５】同じくゾーンコントローラのの制御フロー図で
ある。

【図６】同じくＦＦＵコントローラの制御フロー図であ
る。

【図７】同ファンフィルタユニット監視制御システムの
データの流れを示すフロー図である。

【図８】同ファンフィルタユニット監視制御システムの
中央制御監視部のモニターにおけるＦＦＵ登録／個別制
御画面である。

【図９】同じくグループ画面である。

【図１０】同じくゾーン画面である。

【図１１】同ファンフィルタユニット監視制御システム
構成機器の故障状況を示す故障状況表である。

【符号の説明】

１ ファンフィルタユニット（ＦＦＵ） １１ ＦＦＵコントローラ（ＦＦＵＣ） １２ ファン本体 ２ ゾーンコントローラ（ＺＣ） ３ 中央監視制御部（ＭＭＩ） ３１ 操作キーボード ３２ モニター ４ ネットワーク ５ 統括コントローラ（ＭＣ）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの天井部に配設した多数
   のファンフィルタユニットを監視制御して運転させ垂直
   気流を発生しクリーンルーム内部で発生する埃など異物
   を取り除き高清浄度を維持するファンフィルタユニット
   監視制御システムにおいて、前記クリーンルームは工場
   全体を所定数のゾーンに区分されているものとし、夫々
   のゾーンの天井部に高性能フィルタとファンとモータが
   一体化されたファン本体とこのファン本体を制御し運転
   を継続させるプログラムを備えたファンフィルタユニッ
   トコントローラとで構成して夫々任意多数台数配設した
   前記ファンフィルタユニットと、所定数のゾーン単位で
   独立してこれら任意多数台数のファンフィルタユニット
   との間で所定ポーリング速度の制御指示を送り監視デー
   タを受け取るゾーンコントローラと、中央監視室側に中
   央監視者用の操作キーボードとモニターを備え各ゾーン
   コントローラ単位で夫々のファンフィルタユニットの運
   転状態及び故障状態を監視しかつファンの発／停制御を
   行う中央監視制御部と、この中央監視制御部と前記ゾー
   ン単位で独立している各ゾーンコントローラとの間をネ
   ットワークを介して接続し所定ポーリング速度のデータ
   送受信によりデータ整理を行う統括コントローラとで構
   成したことを特徴とするファンフィルタユニット監視制
   御システム。
2. 【請求項２】 前記所定数のゾーン単位で独立して設け
   られたゾーンコントローラの内部レジスタは、ファンフ
   ィルタユニット情報、グループ情報、ゾーン一括情報、
   異常情報レジスタ、制御用レジスタ等から構成されてお
   り、ファンフィルタユニット情報は前記任意多数台数分
   のファンフィルタユニット情報からなっており、１台の
   ファンフィルタユニット毎に画面アドレス、ロケーショ
   ンＮｏ、ＬＡＮ／ファンフィルタユニットＮｏ、グルー
   プＮｏ／制御／速度、個別速度、通信異常カウント、モ
   ータ異常カウント、ゾーンＮｏ、異常送信等を格納して
   おり、これら任意多数台数のファンフィルタユニット毎
   にグループＮｏ、ゾーンＮｏを持ち管理しているので、
   他のゾーンコントローラにに関係なくグループＮｏやゾ
   ーンＮｏを登録出来、またそれにより全体の一括制御
   や、クリーンルームをゾーン化してゾーン単位のゾーン
   制御が行なえるとともに、ＦＦＵ単体の個別制御や、異
   なるゾーンにまたがるＦＦＵをグループ化したグループ
   別のグループ制御のごとく、個別のＦＦＵ単位のフレキ
   シブルな決め細かい制御を可能とした請求項１記載のフ
   ァンフィルタユニット監視制御システム。
3. 【請求項３】 前記中央監視制御部のプログラムは中央
   監視室側のオペレータよりモニターデータ要求した場合
   は、統括コントローラへデータ要求し、要求データを受
   信すると画面表示し、制御指令した場合は、統括コント
   ローラへ制御通知し、受信ＯＫの通知で終了し、ファン
   フィルタユニットのデータ登録した場合は、統括コント
   ローラへデータ送信し、データ受信すると画面表示し、
   ファンフィルタユニットの削除指令した場合は、統括コ
   ントローラへ削除ファンフィルタユニットを通知し、受
   信ＯＫの通知で終了し、一方、中央監視制御部における
   アラーム表示の処理は、以上の正常の処理とは別に常時
   平行して監視しており、統括コントローラよりアラーム
   データが送られた場合は、データ受信すると、受信完了
   通知し、アラーム履歴に表示して終了しするものとした
   請求項１又は２記載のファンフィルタユニット監視制御
   システム。
4. 【請求項４】 前記統括コントローラのプログラムは中
   央監視制御部よりモニター要求有の場合は、該当ゾーン
   コントローラへデータ要求し、データ受信し、中央監視
   制御部へデータを送信しスタートへ戻り、制御指令有の
   場合は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、受信Ｏ
   Ｋ有の通知で終了し、ファンフィルタユニット登録デー
   タ有の場合は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、
   受信ＯＫ有の通知をうけ、中央監視制御部へ受信完了送
   信をして終了し、ファンフィルタユニット削除指令有り
   の場合は、該当ゾーンコントローラへ制御通知し、受信
   ＯＫ有の通知をうけ、中央監視制御部へ受信完了送信を
   して終了し、一方、統括コントローラよりクレーラーム
   表示の処理も、以上の正常の処理とは別に常時平行して
   監視しており、ファンフィルタユニットよりアラームデ
   ータ有の場合は、該当ゾーンコントローラへデータ受信
   通知し、中央監視制御部へアラームデータ送信し、デー
   タ受信有の通知をうけて終了するものとした請求項１、
   ２又は３記載のファンフィルタユニット監視制御システ
   ム。
5. 【請求項５】 前記中央監視制御部は中央監視者用の操
   作キーボードとモニターを備え、モニターは各ゾーン単
   位でクリーンルームの天井部に配設されたファンフィル
   タユニットの配置を示すと共に、夫々のファンフィルタ
   ユニットの登録や登録削除を行うための登録画面や、フ
   ァンフィルタユニットの制御指示を行うための個別制御
   画面や、グループ制御を行うためのグループ画面や、ゾ
   ーン制御を行うためのゾーン画面や、アラームが発生し
   た場合に当該ファンフィルタユニットの情報を表示する
   アラーム表示画面を表示するものとし、ファンフィルタ
   ユニットの運転状態及び故障状態を監視しかつファンの
   発／停制御を行うことが出来るものとした請求項１、
   ２、３、４又は５記載のファンフィルタユニット監視制
   御システム。