JP2003170383A - Compliance unit - Google Patents

Compliance unit

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JP2003170383A
JP2003170383A JP2001371669A JP2001371669A JP2003170383A JP 2003170383 A JP2003170383 A JP 2003170383A JP 2001371669 A JP2001371669 A JP 2001371669A JP 2001371669 A JP2001371669 A JP 2001371669A JP 2003170383 A JP2003170383 A JP 2003170383A
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藤 太 平 佐
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compliance unit capable of surely and accurately storing the displacement of the position of a body relative to a table. <P>SOLUTION: A compliance mechanism 3 having a compliance function with respect to X and Y axis directions and θ rotating direction is installed between the body 1 and the table 2. A plurality of cylinders 12A and 12B are installed in the body 1, and the tips of pistons 14A and 14B therefor are opposed to a swing plate 5 connected to the table 2 housed in the body 1. Concave moving arresting parts 19A and 19B coming into contact with the swing plate 5 on the center axis of the pistons are installed at the tips of the pistons 14A and 14B. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、製品組立ロボット
等に取付けて、結合すべきワーク相互間の位置ずれや寸
法公差等を吸収する場合などに使用されるコンプライア
ンスユニットに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a compliance unit which is attached to a product assembling robot or the like and absorbs positional deviations and dimensional tolerances between works to be joined.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、産業用ロボットによる製品の自
動組立作業等において、コンプライアンスユニットを使
用してワーク相互間の位置的誤差を吸収する場合には、
ロボットアーム(またはワークチャック手段)に取付け
られるボディに対して、ワークチャック手段(またはロ
ボットアーム)に取付けられるテーブルが、ボディとテ
ーブルの中心軸線に対して直交し且つ互いに直交するX
軸方向とY軸方向、及び上記中心軸線の周りのθ回転方
向の3方向の自由度を有しているものを要求されること
が多い。上記コンプライアンスユニットにおいては、作
業を行う毎に毎回その誤差を吸収するタイプが今まで主
流であったが、近年、最初の作業で位置的誤差を記憶し
て次の作業に生かすタイプも市場のニーズに適合するも
のとなっている。
2. Description of the Related Art For example, in the automatic assembly work of products by an industrial robot, etc., when a compliance unit is used to absorb a positional error between works,
With respect to the body attached to the robot arm (or the work chuck means), the table attached to the work chuck means (or the robot arm) is orthogonal to the center axis of the body and the table and is also orthogonal to each other.
It is often required to have three degrees of freedom in the axial direction, the Y-axis direction, and the θ rotation direction around the central axis. In the compliance unit, the type that absorbs the error every time the work is performed has been the mainstream until now, but in recent years, the type that stores the positional error in the first work and uses it in the next work needs the market. Is adapted to.

【0003】このような位置的誤差を記憶するタイプの
ものにおいては、上記ボディに1つのシリンダを設け、
このシリンダのピストンにより上記テーブルの中央部分
を押圧させることにより、ボディとテーブルとの相対的
な位置を固定することができる構成とし、これにより、
位置的誤差の吸収により生じたボディとテーブルとの間
の相互の位置ずれを記憶させるのが通常である。しかし
ながら、この種のコンプライアンスユニットにおいて
は、通常、ピストンとテーブルとの接触は、平坦な面同
士で行われることが前提となっているので、これらピス
トンとテーブルの各当接面を高精度で面接触するように
しなければ、図6に仮定的に示すように、ピストンPの
先端周縁上の1点Aでの接触になってしまう可能性が
ある。なお、図6中、bは鋼球、gはそれを保持するガ
イド、tはテーブルを示している。この場合、ピストン
Pが回転可能であり、しかも、ピストンPの先端のテー
ブルtとの接触点Aが、該ピストンPの中心軸線から
離れているため、テーブルtに作用する外力によってピ
ストンPが容易に回転し、テーブルtの確実且つ安定的
な固定が図れないことが考えられる。これは、ピストン
が複数存在する場合も同様であり、いずれにしても、ボ
ディとテーブルとの相対的な位置を正確に記憶させるこ
とができない。
In the type of storing such positional error, one cylinder is provided in the body,
By pressing the central portion of the table by the piston of this cylinder, the relative position between the body and the table can be fixed, and by this,
It is usual to store the mutual positional deviation between the body and the table caused by absorption of the positional error. However, in this type of compliance unit, since it is generally assumed that the piston and the table are brought into contact with each other between flat surfaces, the contact surfaces of the piston and the table are highly accurately surface-contacted. If the contact is not made, the contact may be made at one point A 0 on the peripheral edge of the tip of the piston P, as hypothetically shown in FIG. In FIG. 6, b is a steel ball, g is a guide for holding it, and t is a table. In this case, the piston P is rotatable and the contact point A 0 of the tip of the piston P with the table t is away from the central axis of the piston P, so that the external force acting on the table t causes the piston P to move. It is conceivable that the table t rotates easily and the table t cannot be reliably and stably fixed. This is also the case when there are a plurality of pistons, and in any case, the relative position between the body and the table cannot be accurately stored.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、上記X軸、Y軸及びθ方向の3自由度のコンプライ
アンス機能を備えたコンプライアンスユニットにおい
て、ボディとテーブルとの相対的な位置ずれを確実且つ
正確に記憶させることができるものを提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The technical problem of the present invention is to provide a compliance unit having a three-degree-of-freedom compliance function in the X-axis, Y-axis, and θ directions, in which relative displacement between the body and the table is caused. The object is to provide a device capable of surely and accurately storing.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のコンプライアンスユニットは、相互に接合
したボディとテーブルとの間に、それらの中心軸線に対
して直交し且つ互いに直交するX及びY軸方向と、上記
中心軸線の周りのθ回転方向とについてのコンプライア
ンス機能を発揮するコンプライアンス機構を介在させ、
上記ボディに複数のシリンダを設けて、それらのピスト
ンの先端を、上記テーブルと一体的に結合されて上記コ
ンプライアンス機構によりボディ内を移動する揺動板に
対向させ、それらのピストンの先端に、各ピストンの中
心軸線上において該揺動板に接する凸曲面状の移動拘束
部を設けたことを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the compliance unit of the present invention includes a body and a table, which are joined to each other, having X and X orthogonal to their central axes and orthogonal to each other. A compliance mechanism that exerts a compliance function in the Y-axis direction and in the θ rotation direction around the central axis is interposed,
The body is provided with a plurality of cylinders, and the tips of the pistons are opposed to a swing plate that is integrally coupled to the table and moves in the body by the compliance mechanism. It is characterized in that a convex curved movement restraint portion which is in contact with the swing plate on the central axis of the piston is provided.

【0006】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、ボディに複数のシリンダを設けて、それらシリン
ダの各ピストンの先端に凸曲面状の移動拘束部を設けた
ことにより、上記テーブルを複数点で拘束することがで
きるため、従来のようなピストンとテーブルとを面接触
させる場合の弊害を伴うことなく、テーブルを確実に固
定することができ、これにより、ボディとテーブルとの
相対的な位置を安定的に固定して、その位置位置関係を
正確に記憶させることができる。
In the compliance unit having the above construction, the body is provided with a plurality of cylinders, and the movement restraining portions having a convex curved surface are provided at the tips of the pistons of the cylinders to restrain the table at a plurality of points. Therefore, the table can be securely fixed without any adverse effect when the piston and the table are brought into surface contact with each other as in the conventional case, and thereby the relative position between the body and the table can be stabilized. It can be fixed and the positional relationship can be accurately stored.

【0007】本発明においては、上記ボディにおけるテ
ーブル側に、表裏両面が平行平面をなす環状のベース板
を固定し、該ベース板の表裏両面を、それぞれ鋼球を保
持したリテーナを介して、上記テーブル及びそれと一体
的に結合した揺動板で挟持させることにより、コンプラ
イアンス機構を構成したものとすることができる。ま
た、上記各ピストンの両端周囲を、ガイドに保持された
多数の鋼球によって支持させ、ピストンの軸線の傾動を
抑止したものとすることができる。この場合、上記移動
拘束部を、上記各ピストンの外周面の先端側の周りに環
状に配設して転がり接触させた鋼球と、上記ピストンと
鋼球との接点の高さにおける該ピストンの中心軸線上の
一点を中心とする球面状に形成することが望ましい。
In the present invention, an annular base plate whose front and back surfaces are parallel to each other is fixed to the table side of the body, and both front and back surfaces of the base plate are retained by retainers holding steel balls. The compliance mechanism can be configured by being sandwiched by the table and the swing plate integrally connected to the table. Further, the periphery of both ends of each piston may be supported by a large number of steel balls held by guides to prevent tilting of the piston axis. In this case, the movement restraint portion is arranged in a ring shape around the tip end side of the outer peripheral surface of each piston, and the steel ball rollingly brought into contact with the piston and the piston at the height of the contact point between the piston and the steel ball. It is desirable to form a spherical surface centered on a point on the central axis.

【0008】さらに、本発明においては、上記ボディと
テーブルとの間に、コンプライアンス機構によって生じ
たそれら相互の位置ずれを原点位置に復帰させる原点復
帰機構を備えたものとすることができ、この場合、上記
原点復帰機構が、上記ボディまたはテーブルの何れか一
方に設けられた鋼球と、その他方と一緒に変位するよう
に設けられたボール受けと、上記鋼球を該ボール受けに
圧嵌させる弾性手段との複数対で構成されたものとする
ことができ、または、上記ボディ及びテーブルと一緒に
変位するように設けられ、相互に磁気的に吸引すること
より上記ボディとテーブルとを原点位置に引き戻す吸着
部材とで構成されたものとすることができる。
Further, according to the present invention, an origin returning mechanism may be provided between the body and the table for returning the mutual positional deviation caused by the compliance mechanism to the origin position. In this case, , The origin return mechanism is a steel ball provided on either the body or the table, a ball receiver provided so as to be displaced together with the other, and the steel ball is press-fitted onto the ball receiver. It may be composed of a plurality of pairs with elastic means, or it is provided so as to be displaced together with the body and the table, and the body and the table are placed at the origin position by magnetically attracting each other. The suction member may be configured to be pulled back to.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図1乃至図3は本発明のコンプラ
イアンスユニットの第1実施例を示すもので、この実施
例のコンプライアンスユニットは、ロボットアーム、ま
たはエアチャックのようなワークチャック手段の何れか
一方に取付けるためのボディ1と、他方に取付けるテー
ブル2とが相互に接合されたものである。そして、上記
ボディ1とテーブル2との間に、これらのボディ1及び
テーブル2の中心軸線Lに対して直交し且つ互いに直交
するX及びY軸方向と、上記中心軸線Lの周りのθ回転
方向とについてのコンプライアンス機能を発揮するコン
プライアンス機構3が介在されている。
1 to 3 show a first embodiment of a compliance unit of the present invention, which is a robot arm or a work chuck means such as an air chuck. A body 1 for mounting on one side and a table 2 for mounting on the other side are joined to each other. Then, between the body 1 and the table 2, X and Y axis directions orthogonal to the central axis L of the body 1 and the table 2 and orthogonal to each other, and a θ rotation direction around the central axis L. A compliance mechanism 3 that exerts a compliance function for and is interposed.

【0010】上記テーブル2は、ワークチャック等に取
付けるための円板状のテーブル本体4と、上記テーブル
本体4より小径の円板状の揺動板5と、これらテーブル
本体4及び揺動板5の中央部に介在させたスペーサ6と
を備えている。なお、この実施例では、上記テーブル本
体4及び揺動板5とを、スペーサ6の中心軸線を貫通す
るピン2aによって相互に位置決めし、それらを一体的
にボルト2bより一体的に結合している。
The table 2 has a disk-shaped table body 4 for mounting on a work chuck or the like, a disk-shaped oscillating plate 5 having a diameter smaller than that of the table body 4, and the table body 4 and the oscillating plate 5. And a spacer 6 interposed in the central part of the. In this embodiment, the table body 4 and the oscillating plate 5 are mutually positioned by a pin 2a penetrating the central axis of the spacer 6, and they are integrally connected by a bolt 2b. .

【0011】上記ボディ1は、ロボットアーム等に取付
けるための円柱状をした第1ボディ部7と、ボディ1に
おけるテーブル2側(第1ボディ部7の下端側)に設け
られた円筒状の第2ボディ部8とを有している。上記第
2ボディ部8は、上記テーブル2の揺動板5の上面側
を、上記第1ボディ7に内蔵した後述するシリンダ12
A,12Bの各ピストン14A,14Bの先端と対向す
る位置に保持した状態で、揺動板5及びスペーサ6をそ
の中空部内において移動可能に収容するものである。
The body 1 has a cylindrical first body portion 7 for attaching to a robot arm and the like, and a cylindrical first body portion 7 provided on the table 2 side (the lower end side of the first body portion 7) of the body 1. It has two body parts 8. The second body portion 8 has a cylinder 12 (described later) in which the upper surface side of the swing plate 5 of the table 2 is built in the first body 7.
The oscillating plate 5 and the spacer 6 are movably accommodated in the hollow portion of the A and 12B pistons 14 </ b> A and 14 </ b> B while being held at positions facing the tips of the pistons 14 </ b> A and 14 </ b> B.

【0012】上記コンプライアンス機構3は、上記第2
ボディ部8に固定的取付けられ、上記テーブル本体4と
第2ボディ部8に収容された上記揺動板5との間、即ち
スペーサ6の中腹部分に位置するように配設された、表
裏両面が平行平面をなす環状のベース板9と、該ベース
板9の表裏面側にそれぞれ配設された複数の鋼球10、
及びそれらの鋼球10を回転自在に保持する円環状のリ
テーナ11とを備えている。上記ベース板9は、その内
径が上記揺動板5の外径よりも小さく形成されていて、
上記鋼球10及びリテーナ11を介して上記揺動板5及
びテーブル本体4とで挟持された態様となっている。上
記鋼球10は、上記ベース板9の表裏各面、上記揺動板
5の下面側、及びテーブル本体4の上面側とにそれぞれ
転がり接触しており、これらの鋼球10の介在によって
ベース板9と揺動板5及びテーブル本体4とがX及びY
軸、並びにボディ1とテーブル2の中心軸線Lの周りの
θ回転方向に相対的に変位できるようになっている。こ
の結果、ワーク等の位置的誤差が吸収されることとな
る。
The compliance mechanism 3 includes the second
Both front and back surfaces fixedly attached to the body portion 8 and arranged so as to be located between the table body 4 and the swing plate 5 accommodated in the second body portion 8, that is, in the middle portion of the spacer 6. An annular base plate 9 forming a parallel plane, and a plurality of steel balls 10 respectively arranged on the front and back sides of the base plate 9,
And an annular retainer 11 that rotatably holds the steel balls 10. The base plate 9 has an inner diameter smaller than the outer diameter of the swing plate 5,
It is a mode in which it is sandwiched between the rocking plate 5 and the table body 4 via the steel ball 10 and the retainer 11. The steel balls 10 are in rolling contact with the front and back surfaces of the base plate 9, the lower surface side of the rocking plate 5 and the upper surface side of the table body 4, respectively. 9 and the rocking plate 5 and the table body 4 are X and Y.
The shaft and the body 1 and the table 2 can be relatively displaced in the θ rotation direction around the central axis L. As a result, the positional error of the work or the like is absorbed.

【0013】また、上記コンプライアンス機構3は、そ
のコンプライアンス機能によって生じたボディ1とテー
ブル2との相互の位置ずれを原点位置に戻すための原点
復帰機構を有している。この原点復帰機構は、図2に示
すように、上記第1ボディ部7の下端側に設けられた復
帰用の一対の鋼球22,22と、上記テーブル2の揺動
板5の上面側に該揺動板5と一体に変位するように設け
られた一対のボール受け23,23と、第1ボディ部7
に設けられた、上記鋼球22,22を個別にボール受け
23,23に押圧するための弾性手段としての一対のば
ね24,24とを備えている。上記鋼球22,22及び
ばね24,24は、上記第1ボディ部7に、上記シリン
ダ12A,12Bと干渉しないように配設され、また、
鋼球22,22は上記揺動板5に対向するように第1ボ
ディ部7の端面から突出可能な状態で設けられている。
一方、上記各ボール受け23,23は、上記揺動板5の
上面に各鋼球22,22と対応する位置に設けられてい
て、各ボール受け23,23は円錐状の受け面23a,
23aをそれぞれ有し、この受け面23a,23aの中
心に上記鋼球22,22を圧嵌させることによりボディ
1とテーブル2の相互の位置ずれを原点に復帰させるよ
うになっている。
Further, the compliance mechanism 3 has an origin returning mechanism for returning the positional displacement between the body 1 and the table 2 caused by the compliance function to the origin position. As shown in FIG. 2, the origin returning mechanism includes a pair of returning steel balls 22, 22 provided on the lower end side of the first body portion 7 and an upper surface side of the swing plate 5 of the table 2. A pair of ball receivers 23, 23 provided so as to be displaced integrally with the swing plate 5, and a first body portion 7.
, A pair of springs 24, 24 as elastic means for individually pressing the steel balls 22, 22 against the ball receivers 23, 23. The steel balls 22, 22 and the springs 24, 24 are arranged in the first body portion 7 so as not to interfere with the cylinders 12A, 12B, and
The steel balls 22, 22 are provided so as to be able to project from the end surface of the first body portion 7 so as to face the swing plate 5.
On the other hand, the ball receivers 23, 23 are provided on the upper surface of the rocking plate 5 at positions corresponding to the steel balls 22, 22, and the ball receivers 23, 23 have a conical receiving surface 23a,
23a, respectively, and the steel balls 22, 22 are press-fitted to the centers of the receiving surfaces 23a, 23a so that the positional displacement between the body 1 and the table 2 is returned to the origin.

【0014】上記ボディ1の第1ボディ部7には、内部
に2つのシリンダ12,12が配設されていて、上記コ
ンプライアンス機構3によってボディ1とテーブル2と
が相対的に変位した場合に、テーブル2をその変位位置
に固定して、ワークの位置的誤差を記憶させるのに使用
されるものである。上記シリンダ12A,12Bは、そ
れぞれ第1ボディ部に設けられたシリンダ孔13A,1
3Bと、該シリンダ孔13A,13B内に摺動自在に嵌
挿されたピストン14A,14Bと、上記シリンダ孔1
3A,13Bの上端側を気密に閉塞するヘッドカバー1
5A,15Bと、これらヘッドカバー15A,15Bと
上記ピストン14A,14Bとの間の圧力室16A,1
6B内への圧縮流体の供給に供する給排ポート17とを
備えていて、上記給排ポート17から圧縮流体を圧力室
16A,16B内に供給することにより、上記ピストン
14A,14Bの先端を揺動板5の方向に駆動するよう
になっている。なお、各シリンダ12A,12Bの圧力
室16A,16Bは、流通路18を通じて相互に連通し
ていて、一方のシリンダ12Bはこの流通路18を介し
て圧縮流体の給排を行う構成となっている。
Two cylinders 12, 12 are provided inside the first body portion 7 of the body 1, and when the body 1 and the table 2 are relatively displaced by the compliance mechanism 3, It is used to fix the table 2 in its displaced position and store the positional error of the work. The cylinders 12A and 12B are cylinder holes 13A and 1A provided in the first body portion, respectively.
3B, pistons 14A and 14B slidably fitted in the cylinder holes 13A and 13B, and the cylinder hole 1
Head cover 1 for hermetically closing the upper ends of 3A and 13B
5A, 15B and pressure chambers 16A, 1 between the head covers 15A, 15B and the pistons 14A, 14B.
6B is provided with a supply / exhaust port 17 for supplying compressed fluid, and by supplying the compressed fluid from the supply / exhaust port 17 into the pressure chambers 16A, 16B, the tips of the pistons 14A, 14B are shaken. It is adapted to be driven in the direction of the moving plate 5. The pressure chambers 16A and 16B of the cylinders 12A and 12B communicate with each other through a flow passage 18, and one cylinder 12B is configured to supply and discharge the compressed fluid through the flow passage 18. .

【0015】上記ピストン14A,14Bは、その先端
側に、中心軸線上の一点に向かって緩やかに先細る凸曲
面状球面状の移動拘束部19A,19Bを備えていて、
各ピストン14A,14Bが前進した場合に、各移動拘
束部19A,19Bがそれぞれの頂部で上記テーブル2
の揺動板5の上面側を上記ベース板9に押し付け、揺動
板5の移動を拘束するようになっている。
The pistons 14A, 14B are provided with, on their tip ends, movement restraining portions 19A, 19B in the shape of a convex curved surface that are tapered toward a point on the center axis,
When the pistons 14A and 14B move forward, the movement restraint portions 19A and 19B are mounted on the table 2 at the tops thereof.
The upper surface side of the rocking plate 5 is pressed against the base plate 9 to restrain the movement of the rocking plate 5.

【0016】また、上記ピストン14A,14Bの各外
周面は、上下両端側が他の部分よりも小径に形成されて
いて、その小径部分に、環状に配列された複数の鋼球2
0A,20Bと、それらの鋼球20A,20Bを各ピス
トン14A,14Bの小径部分の外周面に常に接触し且
つ回転自在なように保持する円環状のガイド21A,2
1Bとがそれぞれ配設されている。上記鋼球20A,2
0Bは、各ピストン14A,14Bの小径部分の外周
面、及びガイド部材21A,21Bの内周面と常に転が
り接触していて、これにより、各ピストン14A,14
Bのそれぞれの軸線が傾動することを抑止して、各ピス
トン14A,14B先端の移動拘束部19A,19Bが
動いて揺動板5を一定位置で固定できなくなるのを防止
している。
Further, the outer peripheral surfaces of the pistons 14A and 14B are formed such that the upper and lower ends thereof have a smaller diameter than the other portions, and a plurality of steel balls 2 arranged in an annular shape in the smaller diameter portion.
0A, 20B and annular guides 21A, 2 for keeping the steel balls 20A, 20B in contact with the outer peripheral surfaces of the small diameter portions of the pistons 14A, 14B so as to be freely rotatable.
1B and 1B, respectively. Steel balls 20A, 2 above
0B is constantly in rolling contact with the outer peripheral surfaces of the small diameter portions of the pistons 14A, 14B and the inner peripheral surfaces of the guide members 21A, 21B.
The respective axes of B are prevented from tilting to prevent the movement restraining portions 19A and 19B at the tips of the pistons 14A and 14B from moving to prevent the swing plate 5 from being fixed at a fixed position.

【0017】ここで、上記ピストン14Aの移動拘束部
19Aは、図4に示すように、上記ピストン14Aの先
端側の周りに配設させた鋼球20Aと、該ピストン14
Aの外周面との接点の高さにおける該ピストンの中心軸
線上の一点Oを中心とし、先端が揺動板5に接する半
径Rの球面状に形成するのが望ましい。通常、揺動板
5から水平方向の外力が作用した場合における上記ピス
トン14Aの回転力(モーメント)Tは、上記点O
と接点Aとの間にずれ幅sが生じた場合に発生し、
テーブル2に外力Fが作用した場合には、 T=F で表されるが、図4の場合には、点Oが揺動板5と移
動拘束部19Aとの接点Aの鉛直方向に常に位置し、
点Oと接点Aとのずれ幅sが0になるため、回転
力Tは0となる。したがって、たとえピストン14A
の中心軸線が揺動板5上の鉛直線に対してαだけ傾い
た状態で接し、且つ揺動板5に外力Fが作用した場合
であってもピストン14Aにその回転方向のモーメント
が生じることはなく、これにより、ピストン14Aがシ
リンダ孔13A内で回転することが防止されるため、揺
動板5を確実に且つ安定的に固定してその位置を正しく
記憶することができる。また、上記ピストン14Bの移
動拘束部19Bも上記移動拘束部19Aと同様の構成と
なっていて、同様の作用、効果を発揮するため、説明は
省略する。なお、図6に示すものの場合、回転力T
は、上記点Oと接点Aとの間にずれ幅sが生
じ、テーブルtに外力Fが作用した場合には、ピスト
ンPの直径をd、点Oとテーブルtとの距離をh、ピ
ストンPのテーブルtに対する傾きをαとすると、上
記点Oと接点Aとの間にずれ幅sがs=(1/
2d−htanα)で表されるため、 T=F{(1/2)d−htanα} の式で表される。この場合、sが0になる可能性は設
計上きわめて乏しいため、ピストンPには回転力T
作用することになる。
Here, the movement restraining portion 19A of the piston 14A, as shown in FIG. 4, is a steel ball 20A arranged around the tip side of the piston 14A, and the piston 14A.
It is desirable to form a spherical surface having a radius R 1 whose tip is in contact with the oscillating plate 5 with a point O 1 on the central axis of the piston at the height of the contact point with the outer peripheral surface of A as the center. Normally, the rotational force (moment) T 1 of the piston 14A when an external force in the horizontal direction acts from the oscillating plate 5 is the point O 1
Occurs when a deviation width s 1 occurs between the contact point A 1 and the contact point A 1 ,
When the external force F 1 is applied to the table 2, it is expressed as T 1 = F 1 s 1 , but in the case of FIG. 4, the point O 1 is the contact point A between the oscillating plate 5 and the movement restraining portion 19A. Always located in the vertical direction of 1 ,
Since the shift width s 1 between the point O 1 and the contact point A 1 becomes 0, the rotational force T 1 becomes 0. Therefore, even if the piston 14A
Even when the central axis of the contacting member is in contact with the vertical line on the oscillating plate 5 by α 1 and the external force F 1 is applied to the oscillating plate 5, the piston 14A receives a moment in the rotational direction. Since this does not occur, the piston 14A is prevented from rotating in the cylinder hole 13A, so that the rocking plate 5 can be reliably and stably fixed and its position can be correctly stored. Further, the movement restraining portion 19B of the piston 14B has the same structure as the movement restraining portion 19A and exhibits the same action and effect, and therefore the description thereof will be omitted. In the case of the one shown in FIG. 6, the rotational force T
0 is a deviation width s 0 between the point O 0 and the contact point A 0, and when the external force F 0 acts on the table t, the diameter of the piston P is d and the point O 0 and the table t are distance h, when the inclination with respect to the table t of the piston P and alpha 0, the width s 0 misalignment between the point O 0 and the contact a 0 is s 0 = (1 /
2 d-htan α), it is expressed by the formula T 0 = F 0 {(1/2) d-htan α}. In this case, since the possibility that s 0 becomes 0 is extremely poor in design, the rotational force T 0 acts on the piston P.

【0018】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、図ワーク相互間の位置的誤差を吸収した際に、コ
ンプライアンス機構3によってボディ1とテーブル2と
の間に相対的な位置ずれが生じるが、このとき、シリン
ダ12A,12Bに圧縮流体を供給してピストン14
A,14Bを駆動させて揺動板5の移動を拘束すること
によりその位置のずれを記憶する。この場合、ボディ1
における第1ボディ部7に一対のシリンダ12A,12
Bを設け、それらシリンダ12A,12Bの各ピストン
14A,14Bの中心軸線の傾動を抑制すると共に、そ
れらのピストン14A,14Bの先端に凸曲面状の移動
拘束部19A,19Bを設けて、該ピストン14A,1
4Bの中心軸線上において揺動板5に圧接するようにし
ているので、揺動板5からピストン14A,14Bの移
動拘束部19A,19Bに対しX−Y方向の何れの方向
に力が作用してもピストンが傾動しないばかりでなく、
ピストン14A,14Bがその中心軸線の周りで回転す
ることもなく、そして、テーブル2の揺動板5を複数点
で押圧して該テーブル2の動きを拘束することができる
ため、従来のようなピストンとテーブルとを面接触させ
る場合の弊害を伴うことなく、テーブル2を確実に固定
することができ、これにより、ボディ1とテーブル2と
の相対的な位置を安定的に固定して、その位置位置関係
を正確に記憶させることができる。
In the compliance unit having the above configuration, when the positional error between the workpieces is absorbed, the compliance mechanism 3 causes relative displacement between the body 1 and the table 2. At this time, Compressed fluid is supplied to the cylinders 12A and 12B to provide the piston 14
The displacement of the position is memorized by driving A and 14B to restrain the movement of the oscillating plate 5. In this case, body 1
The pair of cylinders 12A, 12
B is provided, the tilting of the central axis of each piston 14A, 14B of the cylinders 12A, 12B is suppressed, and convex curved movement restraining portions 19A, 19B are provided at the tips of the pistons 14A, 14B. 14A, 1
Since the oscillating plate 5 is pressed against the oscillating plate 5 on the central axis of 4B, a force is applied from the oscillating plate 5 to the movement restraining portions 19A and 19B of the pistons 14A and 14B in any of the XY directions. But not only does the piston not tilt,
Since the pistons 14A and 14B do not rotate around their central axes and the swing plate 5 of the table 2 can be pressed at a plurality of points to restrain the movement of the table 2, it is possible to prevent the movement of the table 2 from the conventional one. The table 2 can be securely fixed without any adverse effect in the case where the piston and the table are brought into surface contact with each other, whereby the relative positions of the body 1 and the table 2 are stably fixed, and The positional relationship can be accurately stored.

【0019】上記実施例のおいては、シリンダを2つ設
けたものとしているが、2つに限らず3つ以上であって
もよい。また、この実施例では、ピストン14A,14
Bの外周面における上下両端側に鋼球20A,20B、
及びこれら鋼球20A,20Bを保持するガイド21
A,21Bを配設して、各ピストン14A,14Bの軸
線が傾動するのを抑止するようにしているが、これらの
鋼球20A,20B及びガイド21A,21Bは、ピス
トンがシリンダ孔内を傾動することなく摺動可能である
ときには必ずしも設ける必要はない。
Although two cylinders are provided in the above embodiment, the number of cylinders is not limited to two and may be three or more. Also, in this embodiment, the pistons 14A, 14A
Steel balls 20A, 20B are provided on both upper and lower ends of the outer peripheral surface of B,
And a guide 21 for holding these steel balls 20A, 20B
A and 21B are arranged to prevent the axial lines of the pistons 14A and 14B from tilting. However, in these steel balls 20A and 20B and guides 21A and 21B, the pistons tilt within the cylinder holes. It is not always necessary to provide it when it can slide without performing.

【0020】上記実施例においては、原点復帰機構にお
いて、鋼球22をばね24の弾性力によってボール受け
面23に圧嵌しているが、鋼球22をボール受け面23
に圧嵌させる手段としては、ばね以外の各種弾性手段、
あるいは圧縮流体による作用力等、各種手段を用いるこ
とができる。
In the above embodiment, the steel ball 22 is press-fitted onto the ball receiving surface 23 by the elastic force of the spring 24 in the origin returning mechanism.
As a means for press-fitting to, various elastic means other than springs,
Alternatively, various means such as an acting force of a compressed fluid can be used.

【0021】また、原点復帰機構は、上記実施例の構成
のものに限らず、図5に示す第2実施例のように、磁石
の磁気吸着力を利用した構成であっても良い。即ち、上
記第1実施例の鋼球22、ボール受け23、ばね24に
代えて、第1ボディ部7に一対のボディ側磁石25A,
25Bを、それらの磁性が相互に逆になるように配し
て、それぞれ磁性材料からなるホルダー27A,27B
を介して非磁性材料からなる固定ピン28A,28Bに
より取付けると共に、テーブル2の揺動板5の上面側に
おける該ボディ側磁石25A,25Bと対向する位置
に、そのボディ側磁石25A,25Bの先端側の磁極と
逆極性の磁極を先端に持つテーブル側磁石26A,26
Bを、同様に、それぞれ磁性材料からなるホルダー30
A,30Bを介して非磁性材料からなる固定ピン31
A,31Bにより取付けている。従って、このテーブル
側磁石26A,26Bは、テーブル2と一緒に変位する
ことになる。この場合、第1ボディ部7の上面板を形成
して上記固定ピン28A,28Bを立設しているカバー
32及び上記固定ピン31A,31Bを立設しているテ
ーブル2の揺動板5は、それぞれ磁性材料により形成さ
れる。上記構成を有する第2実施例の原点復帰機構で
は、対向する一対の磁石25Aと26A、及び他方の一
対の磁石25Bと26B、並びに磁性材料からなる上記
カバー32及び揺動板5を通して磁力線が閉じられ、対
向する磁石同士が磁気的に強く吸引されて揺動板5が原
点位置に復帰する動作を行い、この結果、ピストンによ
る揺動板5の拘束が解除されたときにはボディ1とテー
ブル2との相互の位置ずれは原点位置に復帰されること
となる。上記第2実施例の原点復帰機構では、複数対の
磁石26A,26B及び26A,26Bを通る磁力線が
1つの閉ループを形成するようにしているが、かかる構
造に限ることなく、相互に磁気的に吸引することにより
ボディとテーブルを原点位置に引き戻す磁石等の吸着部
材を用いることができる。なお、図5の第2実施例にお
いては、原点復帰機構に係る構成以外が基本的に前記第
1実施例と同じであるため、主要部に同じ符号を付し、
それらの説明は省略する。
Further, the origin returning mechanism is not limited to the structure of the above-mentioned embodiment, but may be a structure utilizing the magnetic attraction force of the magnet as in the second embodiment shown in FIG. That is, instead of the steel ball 22, the ball receiver 23, and the spring 24 of the first embodiment, a pair of body side magnets 25A,
25B are arranged so that their magnetisms are opposite to each other, and holders 27A and 27B made of magnetic materials, respectively.
Via the fixing pins 28A and 28B made of a non-magnetic material, and at the positions facing the body side magnets 25A and 25B on the upper surface side of the swing plate 5 of the table 2, the tips of the body side magnets 25A and 25B. Table-side magnets 26A, 26 having magnetic poles of opposite polarities to the magnetic poles on the side
Similarly, B is a holder 30 made of a magnetic material.
Fixing pin 31 made of a non-magnetic material through A and 30B
It is attached by A and 31B. Therefore, the table-side magnets 26A and 26B are displaced together with the table 2. In this case, the cover 32 on which the upper plate of the first body portion 7 is formed and the fixing pins 28A and 28B are erected, and the swing plate 5 of the table 2 on which the fixing pins 31A and 31B are erected are , Each formed of a magnetic material. In the origin return mechanism of the second embodiment having the above configuration, the magnetic force lines are closed through the pair of magnets 25A and 26A facing each other, the other pair of magnets 25B and 26B, and the cover 32 and the oscillating plate 5 made of a magnetic material. Then, the opposing magnets are strongly attracted to each other magnetically, and the swing plate 5 returns to the original position. As a result, when the restraint of the swing plate 5 by the piston is released, the body 1 and the table 2 are The mutual positional deviation of is returned to the origin position. In the return-to-origin mechanism of the second embodiment described above, the lines of magnetic force passing through the plurality of pairs of magnets 26A, 26B and 26A, 26B form one closed loop. It is possible to use an attracting member such as a magnet that pulls back the body and the table to the original position by suction. Note that, in the second embodiment of FIG. 5, except for the configuration related to the origin return mechanism, it is basically the same as the first embodiment, so the same reference numerals are given to the main parts,
Descriptions thereof are omitted.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上に詳述した本発明のコンプライアン
スユニットによれば、ボディに複数のシリンダを設け
て、それらシリンダの各ピストンの先端に凹曲面状の移
動拘束部を設けたことにより、上記テーブルを複数点で
拘束することができるため、従来のようなピストンとテ
ーブルとを面接触させる場合の弊害を伴うことなくテー
ブルを確実に固定し、これにより、ボディとテーブルと
の相対的な位置を安定的に固定して、その位置関係を正
確に記憶させることができる。
According to the compliance unit of the present invention described in detail above, a plurality of cylinders are provided in the body, and a concave curved movement restraining portion is provided at the tip of each piston of the cylinders. Since the table can be restrained at multiple points, the table can be securely fixed without the adverse effects of the conventional surface contact between the piston and table, and the relative position of the body and table Can be stably fixed, and its positional relationship can be accurately stored.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のコンプライアンスユニットの断面図
(図3のA−A位置)である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of the compliance unit of the present invention (position AA in FIG. 3).

【図2】本発明のコンプライアンスユニットの、図1と
は異なる位置(図3のB−B位置)での断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the compliance unit of the present invention at a position different from that in FIG. 1 (position BB in FIG. 3).

【図3】本発明のコンプライアンスユニットの第1ボデ
ィ部の底面図である。
FIG. 3 is a bottom view of the first body portion of the compliance unit of the present invention.

【図4】本発明のコンプライアンスユニットのピストン
における移動拘束部の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view of a movement restraint portion in the piston of the compliance unit of the present invention.

【図5】図2と異なる原点復帰機構を備えた第2実施例
を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a second embodiment having an origin returning mechanism different from that of FIG.

【図6】ピストンの先端を平面とした場合の説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram when the tip of the piston is flat.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボディ 2 テーブル 3 コンプライアンス機構 4 テーブル本体 5 揺動板 9 ベース板 10 鋼球 11 リテーナ 12A,12B シリンダ 14A,14B ピストン 19A,19B 移動拘束部 20A,20B 鋼球 21A,21B ガイド 22 鋼球 23 ボール受け 25A,25B ボディ側磁石 26A,25B テーブル側磁石 1 body 2 tables 3 Compliance Organization 4 table body 5 rocking plate 9 base plate 10 steel balls 11 retainer 12A, 12B cylinder 14A, 14B piston 19A, 19B Movement restraint part 20A, 20B steel balls 21A, 21B guide 22 steel balls 23 ball receiver 25A, 25B Body side magnet 26A, 25B Table side magnet

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】相互に接合したボディとテーブルとの間
に、それらの中心軸線に対して直交し且つ互いに直交す
るX及びY軸方向と、上記中心軸線の周りのθ回転方向
とについてのコンプライアンス機能を発揮するコンプラ
イアンス機構を介在させ、 上記ボディに複数のシリンダを設けて、それらのピスト
ンの先端を、上記テーブルと一体的に結合されて上記コ
ンプライアンス機構によりボディ内を移動する揺動板に
対向させ、 それらのピストンの先端に、各ピストンの中心軸線上に
おいて該揺動板に接する凸曲面状の移動拘束部を設け
た、ことを特徴とするコンプライアンスユニット。
1. A compliance between a body and a table joined to each other with respect to X and Y axis directions that are orthogonal to their central axes and orthogonal to each other, and a θ rotation direction around the central axes. A plurality of cylinders are provided on the body with a compliance mechanism intervening, and the tips of the pistons are opposed to a swing plate that is integrally connected to the table and moves in the body by the compliance mechanism. The compliance unit is characterized in that a convex curved movement restraint portion that is in contact with the oscillating plate on the central axis of each piston is provided at the tip of each piston.
【請求項2】上記ボディにおけるテーブル側に、表裏両
面が平行平面をなす環状のベース板を固定し、該ベース
板の表裏両面を、それぞれ鋼球を保持したリテーナを介
して、上記テーブル及びそれと一体的に結合した揺動板
で挟持させることにより、コンプライアンス機構を構成
した、ことを特徴とする請求項1に記載のコンプライア
ンスユニット。
2. An annular base plate having front and back surfaces parallel to each other is fixed to the table side of the body, and the front and back surfaces of the base plate are connected to the table and the table through retainers respectively holding steel balls. The compliance unit according to claim 1, wherein the compliance mechanism is configured by being sandwiched by rocking plates that are integrally coupled.
【請求項3】上記各ピストンの両端周囲を、ガイドに保
持された多数の鋼球によって支持させ、ピストンの軸線
の傾動を抑止した、ことを特徴とする請求項1または2
に記載のコンプライアンスユニット。
3. A plurality of steel balls held by guides around the both ends of each piston to prevent tilting of the axis of the piston.
Compliance unit described in.
【請求項4】上記移動拘束部を、上記各ピストンの外周
面の先端側の周りに環状に配設して転がり接触させた鋼
球と、上記ピストンと鋼球との接点の高さにおける該ピ
ストンの中心軸線上の一点を中心とする球面状に形成し
たことを特徴とする請求項3に記載のコンプライアンス
ユニット。
4. A steel ball placed in rolling contact with the movement restraint portion around the tip end side of the outer peripheral surface of each piston, and at the height of the contact point between the piston and the steel ball. The compliance unit according to claim 3, wherein the compliance unit is formed in a spherical shape centered on a point on the central axis of the piston.
【請求項5】上記ボディとテーブルとの間に、コンプラ
イアンス機構によって生じたそれら相互の位置ずれを原
点位置に復帰させる原点復帰機構を備えた、ことを特徴
とする請求項1ないし4のいずれかに記載のコンプライ
アンスユニット。
5. An origin returning mechanism is provided between the body and the table for returning the mutual positional deviation caused by the compliance mechanism to the origin position. Compliance unit described in.
【請求項6】上記原点復帰機構が、上記ボディまたはテ
ーブルの何れか一方に設けられた鋼球と、その他方と一
緒に変位するように設けられたボール受けと、上記鋼球
を該ボール受けに圧嵌させる弾性手段との複数対で構成
された、ことを特徴とする請求項5に記載のコンプライ
アンスユニット。
6. The origin return mechanism, a steel ball provided on either the body or the table, a ball receiver provided so as to be displaced together with the other, and the steel ball The compliance unit according to claim 5, wherein the compliance unit comprises a plurality of pairs of elastic means to be press-fitted to the.
【請求項7】上記原点復帰機構が、上記ボディ及びテー
ブルと一緒に変位するように設けられ、相互に磁気的に
吸引することより上記ボディとテーブルとを原点位置に
引き戻す吸着部材とで構成された、ことを特徴とする請
求項5に記載のコンプライアンスユニット。
7. The origin returning mechanism is provided so as to be displaced together with the body and the table, and is constituted by a suction member for returning the body and the table to the origin position by magnetically attracting each other. The compliance unit according to claim 5, wherein
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