JP2003168968A - 電子装置 - Google Patents
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Abstract
良好に行なえる電子装置を提供する。 【解決手段】 信号に応じて伝送路に電流を供給する差
動回路を含むカレントスイッチ型のドライバ(16)を
有する電子装置(11;10)において、前記信号を前
記差動回路に伝える信号配線(70、71)を伝送路構
造とした。
Description
されるディジタル信号を伝送路に送出する伝送回路を具
備する電子装置に関し、より詳細にはGHz帯及びそれ
以上の帯域で高速伝送を行なうための技術に関する。
を動作させるためのクロック周波数は2GHzに達す
る。その一方で、ICチップと信号をやり取りする伝送
路(バスとも言う)の周波数は最高でも500MHz程
度に過ぎず、信号をやり取りするためのバンド幅がIC
チップの動作周波数に比べ極めて低い。よって、ICチ
ップと信号をやり取りするためのI/Oバンド幅が不足
しているのが現状である。このため、ロジックチップや
メモリチップなどのICチップにキャッシュメモリを設
け、ICチップ内部での高速信号処理を保証するととも
に、伝送路上のバンド幅不足に対応している。
シュメモリをICチップに搭載することで大きなチップ
面積が必要となるだけでなく、キャッシュメモリのアド
レス計算が余分に必要となり、アーキテクチャも複雑に
なる。仮に、ICチップの動作クロックと整合したI/
Oバンド幅の確保ができれば、キャッシュメモリが不用
でアーキテクチャの単純なシステムとなる。ICチップ
のI/Oは本質的に、チップ内部の処理ビット数と同じ
であることがディジタルシステムの基本である。従っ
て、バンド幅を整合させるには、ICチップの動作クロ
ックとI/Oに接続される伝送路のクロック(バスクロ
ックと言う)が同じ周波数でなければならない。今後、
GHz帯へ突入する時代にあって、チップ間を接続する
信号伝送の改善は急務である。GHz帯の信号伝送は、
GHz帯で動作可能な伝送路を提供するのみでは実現で
きない。伝送路に接続されるドライバやレシーバなどの
電子部品を含むシステム全体が高速信号を伝送できる構
成となっている必要がある。
決し、GHz帯及びこれを超える帯域の高速伝送を良好
に行なえる電子装置を提供することを目的とする。
伝送路に電流を供給する差動回路を含むカレントスイッ
チ型のドライバを有する電子装置において、前記信号を
前記差動回路に伝える信号配線を伝送路構造としたこと
を特徴とする電子装置である。信号配線を伝送路構造と
したため、寄生インダクタンスと寄生キャパシタンスを
無視できるほど小さくできる。よって、GHz帯及びこ
れを超える帯域の高速伝送を良好に行なえるようにな
る。
体、ICチップをパッケージ化したもの、ICチップや
パッケージ化された電子装置を配線基板上に搭載して伝
送路で接続した電子装置を含むものである。
よる電子装置を示す図であって、(A)は電子装置のレ
イアウトを示す平面図、(B)は図(A)のレイアウト
の模式的な断面図である。また、図2は図1に示す電子
装置の回路図である。説明の都合上、まず図2の回路図
を説明する。
基板10を有する。配線基板10上には、ICチップ1
1、12及び13が設けられている。ICチップ11〜
13は例えば、ベアチップ又は外部接続用の端子を有す
るパッケージされた電子部品である。電子部品も電子装
置であり、本発明の電子装置は図1に示すシステム的な
構成のみならず、ICチップ11〜13等の個々の電子
部品も含む。ICチップ11は伝送路14の一端に接続
されており、内部にドライバ16を有する。ICチップ
12は分岐伝送路15を介して伝送路14に接続されて
おり、内部に差動アンプで構成されるレシーバ17を有
する。同様に、ICチップ13は分岐伝送路16を介し
て伝送路14に接続されており、内部に差動アンプで構
成されるレシーバ18を有する。伝送路14の他端に
は、終端抵抗RTで構成された終端回路が接続されてい
る。終端抵抗RTは、伝送路14の両端、つまり伝送路
14を構成する2つのペア配線を接続する。
4を駆動して信号を送出する。ICチップ12、13の
レシーバ17及び18は伝送路14上の信号を受信す
る。
両端に接続されている。ドライバ16、伝送路14及び
終端抵抗RTでループが形成されている。ドライバ16
は、カレントスイッチ型であり、電圧調整抵抗RE1に
常に一定の電流を流す機能を有する。ドライバ16は、
2つのnチャネルMOS(nMOS)トランジスタ1
9、20、バラクタ21、22及び2つの抵抗RE1、
RE2を有する。トランジスタ19と20は差動回路を
構成する。バラクタ21と22は、入力信号Vin、/
Vinに応答して容量が変化する容量性素子であり、上
記差動回路との間で電荷の授受を行い、差動回路のスイ
ッチング動作を高速にする。
4及び終端抵抗RTでループを形成する。このループに
おいて、分岐伝送路15、16を含め、伝送路14はい
かなる場所でもコモングランドに接続されておらず、独
立したグランド線として機能する。これにより、グラン
ドレベルが他方の信号レベルと相補的にスイングする。
よって、差動アンプのレシーバ17、18に有効な最大
振幅を与えることができる。
れ、ICチップ11の内部回路(図示を省略する)から
供給される入力信号/Vin及びVinを受取る。入力
信号/Vin及びVinは相補信号である。トランジス
タ19と20のドレインは、抵抗RE1を介して高電位
側の電源電圧Vddに接続されている。抵抗RE1は、
電源Vddからみて一定の電流の値を決める電流制御用
の抵抗である。トランジスタ20のソースは、伝送路1
4を構成する2つの伝送線の一方に接続されている。ト
ランジスタ19のソースは、抵抗RE2を介して伝送路
14の他方の伝送線に接続されている。抵抗RE2は、
終端抵抗として機能する。バラクタ21と22はトラン
ジスタで構成されている。バラクタ21のドレインとソ
ースは抵抗RE1の一端に接続され、ゲートは入力信号
Vinを受ける。バラクタ22のドレインとソースは抵
抗RE1の一端に接続され、ゲートは入力信号/Vin
を受ける。抵抗RE2の一端は、低電位側の電源電圧V
ss(例えばグランド)に接続されている。
カレントスイッチ型のドライバを用いる。第2に、バラ
クタ21と22を用いている。第3に、ICチップ16
の内部回路から供給されるドライバ16の入力信号Vi
n、/Vinを伝送する信号配線を伝送路構造とする。
第3の特徴に関し、好ましくは、電源配線など、ドライ
バ16に関与する信号配線も伝送路構造とする。
n、/Vinの変化時に起こる伝送路14上の電圧降下
を軽減することを意図している。上記第2の特徴は主と
して、トランジスタ19と20のpn接合容量の影響を
軽減又は実質的に消去することを意図している。上記第
3の特徴は主として、トランジスタ19と20の寄生キ
ャパシタを軽減又は実質的に消去することを意図してい
る。本発明は、上記第1及び第2の特徴を省略した電子
回路、つまり第3の特徴だけを有する電子回路を含む。
この構成でも、GHz帯のディジタル信号を少ない波形
の歪みで伝送することができる。好ましくは、電子回路
は上記第1から第3の特徴を具備する。上記第3の特徴
は、第1及び第2の特徴と相俟って、GHz帯のディジ
タル信号をより少ない波形の歪みで伝送することができ
る。
を追って説明する。
2に示すトランジスタ19と20からなるカレントスイ
ッチ型のドライバを用いる。このドライバを用いる理由
は次の通りである。
ィジタル信号を伝送路14に送出する。このような信号
出力のためには、スイッチと電源が必要である。電流の
流れていない状態から瞬時に大量の電流が流れる状態に
なれば、その電流遷移勾配di/dtは急峻になり、v
=Ls(di/dt)の電圧降下が起こる。なお、Ls
は回路中の寄生インダクタンスを示す。この電圧降下が
起こると、電源Vddが瞬時にこのv分だけ低下する
(Vdd−v)。これを防ぐためには、回路中の寄生イ
ンダクタンスLsを零としなければならないが、現実に
は到底不可能である。GHz帯の信号伝送における信号
の立ち上がり時間trは75ps以下であり、寄生イン
ダクタンスLsは問題である。
伝送路に電流を供給する差動回路を含むカレントスイッ
チ型のドライバを構成する。好ましくは、このドライバ
をできるだけ少ない数のトランジスタ(図2では、2つ
のトランジスタ)で構成する。
21と22を除去した回路構成のシミュレーションモデ
ル回路を示す。図3中、L1は、寄生インダクタンス
で、2nHに設定した。電源電圧VddはDC=2Vに
設定した。トランジスタ19はスイッチと、pn接合容
量に主に起因した寄生キャパシタC3で図示してある。
入力信号Vin、/Vinの立ち上がり時間(状態遷移
時間)ttranを75psに設定し、寄生キャパシタ
C3を10fFに設定した。トランジスタ20はスイッ
チと、pn接合容量に主に起因した寄生キャパシタC1
で図示してある。トランジスタ20の寄生キャパシタC
1を10fFに設定した。トランジスタ19、20のオ
ン・オフ時間を1nsに設定した。
の長さに相当する遅延時間TDを1nsに設定した。ま
た、伝送路14の特性インピーダンスを28Ωに設定し
た。更に、伝送路14の電圧を0.6Vに設定した。図
3中、単位のない数値は抵抗値を示す。電流制御用の抵
抗RE1を65Ωとして図示してあるが、これは抵抗R
E1本来の値を50Ωとし、更にトランジスタ19と2
0のオン抵抗を15Ωとした合計値である。抵抗RE2
と終端抵抗RTは28Ωに設定した。
ル回路のシミュレーション結果を示す。図中、横軸は時
間、縦軸は電流又は電圧を示す。電流Iは電源Vddか
ら流れ出る電流である。電圧V1、V2及びV3はそれ
ぞれ図3に示すノードの電圧である。図4に示すよう
に、数GHzの入力信号の立ち上がりに対し、電流I及
び電源電圧V1は若干変動変動するが、伝送路14の入
力端の電圧V2はすばやく立ち上がり、また伝送路14
の出力端の電圧V3は電V2圧の立ち上って1.0ns
後にすばやく立ちあがっている。
に示す電流Iと電源電圧V1の変動を抑制する機能を持
つ。電流I及び電源電圧V1は、トランジスタ19、2
0の入力信号の変化時のpn接合の影響で変動する。以
下、バラクタ21、22を使用する上記第2の特徴につ
いて説明する。
それぞれnチャネルMOSトランジスタで構成され、そ
れぞれ反転信号Vin、/Vinが与えられている。ト
ランジスタ19、20のpn接合容量をチャージするの
に必要な電荷は、入力信号Vin、/Vinに同期して
バラクタ21、22から放出される。このため、電源V
ddの負荷が実質的に無くなる。換言すれば、バラクタ
21、22はトランジスタ19、20のpn接合容量に
相当するpn接合容量を持っている。つまり、トランジ
スタ19、20から電荷が放出される時、バラクタ2
1、22は電荷を必要とする。放出された電荷は、バラ
クタ21、22のpn接合容量に蓄積される。
を示す図であり、バラクタ21、22の機能を図示して
ある。pチャネルの半導体基板24上にドライバ16を
含むICチップ11の回路が形成されている。半導体基
板24にはトレンチ・アイソレーション25が形成さ
れ、図の左側にトランジスタ19とバラクタ21が形成
され、右側にトランジスタ20とバラクタ22が形成さ
れている。トランジスタ19は、nチャネルの拡散領域
26、27及び半導体基板24上に形成された絶縁層上
に設けられたゲート19を有する。バラクタ21は、n
チャネルの拡散領域29、30及び半導体基板24上に
形成された絶縁層上に設けられたゲート31を有する。
トランジスタ19とバラクタ21とは、p+拡散領域3
2で電気的に絶縁されている。トランジスタ20は、n
チャネルの拡散領域33、34及び半導体基板24上に
形成された絶縁層上に設けられたゲート35を有する。
バラクタ22は、nチャネルの拡散領域36、37及び
半導体基板24上に形成された絶縁層上に設けられたゲ
ート38を有する。トランジスタ20とバラクタ22と
は、p+拡散領域39で電気的に絶縁されている。
Vddに接続されている。同様に、拡散領域34、3
6、37及び39は電源Vddに接続されている。拡散
領域27は図2に示す抵抗RE2に接続され、拡散領域
33は図2に示す伝送路14に接続されている。
ナスに変化し、反転(相補)信号である入力信号/Vi
nがマイナスからプラスに変化する様子を示す。入力信
号Vin、/Vinが遷移すると、各トランジスタのゲ
ート19下(チャネル)又はこの近傍で不用になったホ
ールと電子が結合する。例えば、トランジスタ19のチ
ャネルのホールと、バラクタ21のチャネルの電子とが
結合する。入力電圧Vin、/Vinが逆に変化する
と、電子とホールの関係が図5に示す関係とは逆にな
る。バラクタ21、22は可変容量なので、ポールと電
子のポンプアップとポンプダウンを積極的に行なうの
で、電源VddやグランドVssに影響を与えることが
ない。
のpn接合容量は実質的に消去されたと言える。
レーションモデル回路を示す。図3に示すシミュレーシ
ョンモデル回路との相違は、図3に示されるトランジス
タ19と20の寄生キャパシタC3、C1がバラクタ2
1、22の作用で消去されていることである。
ル回路のシミュレーション結果を示す。図4と比較する
と、図7に示す電流I及び電源電圧V1共に、波形の歪
みはほとんど無く、非常に安定している。また、電圧V
3もほぼ理想的な波形をしており、図2に示す回路構成
のドライバ16が高速ドライバとしての性能を有するこ
とが分る。
電流Iは一定となり、寄生インダクタンスやpn接合容
量に起因する問題点はほぼ解消できた。しかしながら、
ドライバに接続する配線に寄生する寄生キャパシタの存
在を考慮していない。10fF程度の小さな寄生キャパ
シタであっても、GHz帯の信号伝送には大きな影響を
与える。この問題点に着目したのは、前述した第3の特
徴である。第3の特徴は、入力信号Vin、/Vinを
伝送する信号配線を伝送路構造とする。好ましくは、電
源配線など、ドライバ16に関与する信号配線も伝送路
構造とする。
スL0とキャパシタンスC0を持つが、電磁界が外部に
漏れないという条件のもとで考えると、配線上でL0と
C0は同時に存在するため、インピーダンスZ=jωL
0+(jωC)−1ではなく、この2乗平均
抵抗となる。即ち、キャパシタンスとインダクタンスは
実質的に存在しない。この端的な例が同軸ケーブルであ
る。配線ならばストリップ線路(マイクロストリップ線
路などを含む)、コプレーナ線路、スタックト・ペア線
路などがある。このような伝送路構成は、数十GHzに
絶える線路であり、寄生インダクタンスと寄生キャパシ
タンスは無視できるほど小さくできる。
イバ16の第3の特徴を説明する。
バラクタ21、22のレイアウトを示している。トラン
ジスタ19とバラクタ22は図の横方向に隣り合い、ト
ランジスタ20とバラクタ21は図の横方向に隣り合っ
ている。図の縦方向にはバラクタ21とトランジスタ1
9が隣り合い、トランジスタ20とバラクタ22が隣り
合っている。
71が設けられている。信号配線70、71はコプレナ
ー配線構造をもつ配線であって、それぞれ入力信号Vi
n、/Vin(“/”は反転信号を意味する)を伝送す
る。信号配線70と71は、所定の距離だけ離間して同
じ層レベルで隣り合っている。信号配線70はトランジ
スタ20とバラクタ21のゲートの近傍に延びている。
信号配線70はトランジスタ20のゲート45の近傍に
まで延びており、これに接続されている。また、信号配
線70はバラクタ21のゲート57の近傍を通り、これ
に接続されている。同様に、信号配線71はトランジス
タ19とバラクタ22のゲートの近傍に延びている。信
号配線71はトランジスタ19のゲート54の近傍を通
り、これに接続されている。また、信号配線71はバラ
クタ22のゲート62の近傍にまで延びており、これに
接続されている。
9、20やバラクタ21、22に関係するその他の配線
にも適用されている。例えば、Vddの電源配線55と
Vssの電源配線56はコプレナー配線構造を有し、ト
ランジスタ19とバラクタ21の上を通っている。ま
た、Vddの電源配線43とVssの電源配線44はコ
プレナー配線構造を有し、トランジスタ20とバラクタ
22の上を通っている。電源配線43、44、55、5
6は信号配線70、71が設けられている配線レベルよ
りも高い層レベルに位置している。また、図示していな
いが、クロックを伝達するクロック線も伝送路構造を持
つことが好ましい。
構造を示す断面図である。層構造を分かり易くするため
に、図1(B)は図1(A)の平面を一本の直線ではな
く、屈曲した線に沿って断面を見た様子を示している。
0と41が形成されている。半導体基板24上には絶縁
層65が形成されており、ゲート45やプラグ67、6
8が形成されている。絶縁層65は便宜上、一体に図示
されているが、実際にはゲート酸化膜やその上に設けら
れた絶縁層などのように、いくつかの絶縁層を含むもの
である。絶縁層65上には絶縁層66が形成されてい
る。この絶縁層66も便宜上、一体に図示されている
が、実際には複数の絶縁層を含むものである。絶縁層6
6内にも受けられたビア47を介して、プラグ67と抵
抗層42とが電気的に接続されている。抵抗層42は、
図2の抵抗RE1を形成する。抵抗層42は、pn接合
容量を誘発する原因となる拡散抵抗ではなく、モリブデ
ンやタングステンなどの金属膜抵抗が好ましい。
電源配線43に接続されている。電源配線43は電源配
線44とともに、コプレナー配線構造を有する。また、
電源配線43と44の隣には、コプレナー配線構造の電
源配線73と74(図1(A)には図示なし)が設けら
れている。絶縁層66上には、コプレナー配線構造の電
源配線75(他方の電源配線は、電源配線75の裏に隠
れている)が設けられている。
タクト配線69に接続されている。コンタクト配線69
は、伝送路14の一方の配線に図示するように接続され
ている。伝送路14は、抵抗層42と同じ層レベルに設
けられている。
いるが、この様子は図1(B)には現れない。信号配線
70と71は、ゲート45よりも高い層レベル、つまり
伝送路14や抵抗層42等が形成された層レベルにあ
る。ゲート45と信号配線70とは、絶縁層65内に設
けられたビア(図1には現れない)で電気的に接続され
ている。
伝送路構造としたため、寄生インダクタンスと寄生キャ
パシタンスは無視できるほど小さく抑えることができ
る。これにより、数十GHzの信号を良好に伝送するこ
とができる。
のうち、未だ説明していない部分を以下に説明する。伝
送路14の他方の線路は、コンタクト46を介してVs
sの電源配線44に接続されているとともに、伝送路4
9及びコンタクト53を介してVssの電源配線56に
接続されている。トランジスタ19の2つの拡散領域は
それぞれ、抵抗層50と52を介して、電源配線55
(Vdd)と電源配線56(Vss)に接続されてい
る。抵抗層50は、前述した電流制御用の抵抗RE 1を
形成する。抵抗層52は、前述した終端抵抗に相当する
抵抗RE2を形成する。抵抗層50はビア51を介して
Vddの電源配線55に接続され、抵抗層52はVss
のビア53を介して電源配線56に接続されている。
トする配線58を有する。配線58は、Vddの電源配
線59にコンタクトしている。バラクタ22は、2つの
拡散層にコンタクトする配線63を有する。配線63
は、Vddの電源配線43にコンタクトしている。
や、抵抗層42、50、52、及び伝送路49がコプレ
ナー伝送線構造になっていないが、これらの長さは極め
て短いので、寄生キャパシタンスと寄生インダクタンス
は無視できる程度の大きさである。
距離関係を説明する。
る面間の距離dとの関係について説明する。この伝送路
のインピーダンスZ0は、次の式(1)の通り計算でき
る。
比誘電率、ε0は真空中の比誘電率である。
てはめて、フリンジファクタK(K C:キャパシタンス
に起因するフランジファクタ、KL:インダクタンスに
起因するフランジファクタ)を計算すると次の通りであ
る。
場合には、式1にKを挿入すればよい。
同一サイズなので、KC=KLとなる。
に大きいときは電磁界のフリンジ的な広がりが無視でき
ないため、式(1)に従い、厚比率みが大きくなるにつ
れてフリンジ効果が大きくなる。その大きくなる度合い
は対向面距離の関数となる。ペア線路のリンクが強くな
れば、フリンジ効果は小さくなり、t/d=10となる
とεr=4.5でK=1.14となり、式(1)にほぼ近く
なる。
(1)ではt/d=3.56となりフリンジ効果を無視
できない。
d=2.5が得られる。Z0=75Ωでは、式(1)か
らt/d=2.37、式(2)ではK=2、t/d=
1.2が得られる。K=2は対向面電磁界エネルギと、
フリンジ電磁界エネルギが同じである条件となり、クロ
ストークに関係する電磁界広がりが大きいことを意味す
る。クロストークを防止するため、カップリングの強
さ、すなわち特性インピーダンスを50Ω以下に設定す
ることが一般的となっていること、t/dはチップ上の
配線間の切りこみ深さ、すなわちアスペクトレイショそ
のものである。以上から、50Ωより少し大きな特性イ
ンピーダンスのところであるアスペクト比=1.5以上
(t/w≧1.5)を規定することが好ましい。
との関係を示す。t/w≧1.5を満足すれば、フラン
ジファクタKは2を下回る値となる。
クト比を1.5以上して対向面積を増やすことでVdd
とVssのカップリングを強くし、電磁界の外部への漏
れを小さくすることができる。なお、電源配線43と4
4との間の上記規定は、他の電源配線ペアは勿論のこ
と、信号配線70と71との関係についても同様に当て
はまる。
しい。hは抵抗層42と電源配線43との間の距離であ
る。これは、対向面電磁界のフリンジができるだけ層に
渡って交差しないようにする、つまりクロストークを避
けるためである。
1.5)であることが好ましい。sは、隣接する配線と
の間隔である。この関係もフリンジの影響をできるだけ
避けるためである。
ることが好ましい。ドライバのみならず、後述するレシ
ーバや、数GHzのクロック周波数で動作するLSIの
論理やメモリトランジスタの結線などは全て、伝送路構
造であることが好ましい。また、システム内の各ICチ
ップ内の全ての配線で上記各条件を実現することが好ま
しい。
ぎがほとんどない理想に近いカレントスイッチ型のドラ
イバ回路16を実現することができる。
に示すように、定電流Iは約21mAであり、この電流
が電源Vddから常時流れ出ている。電圧を0.6Vと
すると、13mWと大きな電力を消費する。64ビット
アドレスデータ線は制御信号を含め200ビット以上の
線路が必要で、トータル2.6Wの大電力を消費する。
抵抗RE1を増大させ、0.3Vの振幅としてもI=1
0.5mAで1.3Wの電力消費となる。しかし、前述
したように、理想に近いほぼ完全な信号がドライバ16
を通るから、0.3V以下の振幅でも十分な信号源とし
て働くことになる。
している。つまり、分岐伝送路15、16を介して伝送
路14にICチップ12と13が接続されている。実際
には、もう少し多い数のICチップが接続される場合が
多い。
合のシミュレーションモデル回路を示す。8つのICチ
ップ内のレシーバは差動アンプで構成されている。レシ
ーバの信号を差動アンプを構成するトランジスタのゲー
トで受けることから、1分岐当り0.2pFの容量があ
ると仮定した。これは、前述した第1ないし第3の特徴
を具備するドライバ16はほとんど配線容量を持たない
ため、十分過ぎる程の大きな容量である。つまり、0.
2pFの8分岐は、0.1pFの16分岐や0.05p
Fの32分岐に相当し、これらの容量値は設計可能な現
実的な値である。
示す。図10の横軸及び縦軸は、図4や図7と同じであ
る。電流Iの揺らぎと電圧V1、V2及びV3の揺らぎ
が発生しているが、実用上はほとんど問題にならないレ
ベルである。図示を省略するが、0.1pFの16分岐
や0.05pFの32分岐では、より平滑で良好な波形
が得られることが確認できている。
ルで2pF以内に収めれば、ドライバ16はGHz帯の
信号伝送を有効に行なえる。
ーバ17、18について図11を参照して説明する。
及びその周辺回路を示す回路図である。レシーバ17
は、2つのpMOSトランジスタ78、79及び3つの
nMOSトランジスタ80、81、82から構成されて
いる。トランジスタ78、79のソースは電源Vddに
接続され、ドレインはトランジスタ80、81のドレイ
ンにそれぞれ接続されている。トランジスタ78、79
のゲートは相互に接続されるとともに、トランジスタ8
0のドレインに接続されている。トランジスタ80と8
1のゲートは、分岐伝送路15に接続されている。トラ
ンジスタ82のドレインはトランジスタ80、81のソ
ースに接続され、ソースは電源Vssに接続されてい
る。トランジスタ82のゲートは、pMOSトランジス
タ84とnMOSトランジスタ85で構成される電流設
定部83の出力に接続されている。トランジスタ84の
ソースは電源Vddに接続され、ゲートは電源Vssに
接続され、ドレインはトランジスタ85のドレイン及び
トランジスタ82のゲートに接続されている。トランジ
スタ85のソースは電源Vssに接続されている。トラ
ンジスタ81のドレインは、図示を省略するICチップ
12の内部回路に接続されている。
された信号は、トランジスタ80、81のゲートに入
る。トランジスタ80と81の電位差に応じて、トラン
ジスタ80、81の一方がオンし、他方がオフする。従
って、トランジスタ78と80の回路か又はトランジス
タ79と81の回路のどちらか一方に電流が流れる。こ
の電流は、電源Vddから見て定電流である。トランジ
スタ82はこの定電流を制御する。
ンドに一切接続されていないので、伝送路14上ではグ
ランドレベルが信号と相補的にスイングする。分岐伝送
路15、16もコモングランドに接続されていない。よ
って、トランジスタ80と81のゲートに十分な電位差
を与えることができる。この際、図9、図10のシミュ
レーションで明らかなように、波形の乱れは実質的に問
題を生じることのない程度のものである。従って、信号
の伝送及び受信は極めて信頼性の高いものとなる。
バ16と同様に、伝送路構成とすることが好ましい。
がシステム全体に与える影響について説明する。ICチ
ップ12内の絶縁層の比誘電率を3とすると、電磁波伝
送速度は1.73×108[m/s]となり、分岐伝送
路15の長さを100μmとした場合の伝送遅れは0.
578psとなる。伝送路14のパルス立ち上がり時間
を75psと設定すると、分岐伝送路15の往復で生じ
る遅れは0.578×2=1.156psであり、75
psの間に65回往復可能な時間である。この間に信号
の立ち上がりは安定領域に達する。従って、立ち上がり
中の波形の乱れはあるものの、立ち上がった後は安定し
た波形が分岐伝送路15を伝搬する。結論として、10
0μm程度の長さの分岐伝送路15は、その存在を実質
的に無視できる。
ージ上のパッドからパッケージ内のパッドまでのICチ
ップ12内部の配線(以下、パッケージ配線という)を考
える。パッケージ配線の周囲にある絶縁体の比誘電率を
4.5とすると、パッケージ配線の電磁波伝送速度は
1.41×108[m/s]となり、1mmの配線長の遅
れは7.1psとなる。75psの信号の立ち上がり動
作中に5.3回往復可能である。通常(3回の反射往
復)/(立ち上がり時間)以上で設計可能であり、5.
3回は十分に実用的な値である。分岐伝送路15の存在
は実質的に無視できるので、パッケージ配線の長さを主
として、分岐伝送路の長さを設計することが好ましい。
一般に、上記5.3回をまるめて、(6×(分岐長さの
トータルな遅延時間))<(波形の立ち上がり時間)の
条件を満足すれば、分岐配線の影響は実質的に問題ない
ものとなる。この条件は、上記特定の値に基づき算出し
たものであるが、実際には現実的な様々な実施の態様で
満足されるものである。上記条件をより一般的に記述す
ると、分岐伝送路15は、伝送路14上の信号の波形の
立ち上がり時間が当該分岐伝送路15を所定回数往復し
た場合に生じる遅延時間のn倍(上記の例ではn=6)
よりも大なる条件を満足する長さを有する。
する。
10はプリント配線基板などの配線基板86上にICチ
ップ11〜13や伝送路14を搭載したものである。
図13は図12中のA−A線断面図である。また、図1
4は、パッケージ化されたICチップ11とその周辺の
斜視図である。図12では、図2に示すICチップ13
の図示を省略してある。
クト・ペア配線141、142、143を有する。前述
したように、ICチップ11〜13内で好ましい伝送路
構造はコプレナー線路であったが、アスペクト比の大き
い縦長の断面構造はパッケージや配線基板上で形成する
のは難しい。よって、伝送路14をスタックト・ペア線
路で構成している。
層(比誘電率εr)91の内部に、スタックト・ペア配
線141、142、143やVssの電源配線89やV
ddの電源配線90を具備する。電源配線89、90は
チップの外部端子間を接続するものである。スタックト
・ペア配線141、142、143は、Vssの電源配
線89やVddの電源配線90の上部に位置している。
図12に示すICチップのパッド87はレシーバ1
61、162、163の各々に対して2つのパッド87
を有し、一方のパッドがスタックト・ペア配線141、
142、143の上側の配線に接続され、他方のパッド
87が下側の配線に接続される。図14にこの接続の様
子を示す。この接続は、フリップチップ接続である。つ
まり、上側の配線は、絶縁層91上に設けられた接続領
域93を介してICチップ11のパッド87に接続す
る。下側の配線は、絶縁層91から露出する接続領域9
2を介してICチップ11のパッド87に接続する。な
お、絶縁層91は簡略化するために一体的に図示されて
いるが、各種の配線基板がそうであるように、複数の絶
縁層からなる。
られた接続領域に接続され、フリップチップ接続でIC
チップ11に接続されている。
れている。ICチップ12は、スタックト・ペア配線1
41、142、143上を跨るように設けられている。
レシーバ17毎(図12では、レシーバ171のみを実
線で示す)に設けられたパッド88と、伝送路14に接
続される接続領域とをフリップチップ接続する。接続領
域が設けられている位置は、ICチップ11のパッド8
7位置から等しい距離にある。各スタックト・ペア配線
141、142、143は、線路特性インピーダンスに
整合する終端抵抗RT1、RT2、RT3で終端されて
いる。
・ペア配線間の距離、tはスタックト・ペア配線の厚
み、wはスタックト・ペア配線の上側配線の幅、sはス
タックト・ペア配線と隣り合うスタックト・ペア配線と
の間の距離、h1はスタックト・ペア配線の上側配線と
絶縁層91の露出面との間の距離、h2はスタックト・
ペア配線の下側配線と電源配線89との間の距離を示
す。好ましくは、スタックト・ペア配線の下側配線の幅
は、上側配線の幅wの1.2〜1.5倍程度であること
が好ましい。これは、上下配線の位置ずれや、電磁界が
下層に漏れるのを防止するためである。また、隣接する
スタックト・ペア配線とのクロストークを防止するため
に、w≦sであることが好ましい。同様な観点から、
(d+t)≦s/2、d≦h1、d≦2h2であること
が好ましい。
クト・ペア配線を採用しているため、以下の要件を満足
する必要がある。第1に、パッド87や88のピッチの
2倍のピッチでスタックト・ペア配線141、142、
143を配置し、パッド87や88はスタックト・ペア
配線141、142、143が延びる方向に直交する方
向に直線状に配列される。ここでパッド87、88がI
Cチップ自体に設けられている場合には、チップ面積の
縮小化に伴い、パッド87、88の配列ピッチが狭くな
り、スタックト・ペア配線141、142、143を好
適に配置できなくなる可能性がある。
とパッケージ上のパッドとを接続する中間配線を設ける
ことが好ましい。この中間配線を模式的に示すと、図1
5に示すようになる。説明を分かり易くするために、図
15では伝送線14がコプレナー配線であるかのように
図示してある。ICチップ12のパッケージ92の中央
付近に、パッド88が一列配列されている。チップ91
にはパッド89が一列配列されている。パッド89のピ
ッチはパッド88のピッチよりも小さい。パッド88と
89を中間配線90が接続する。ICチップ13も同様
に構成されている。
同様に、中間配線97を採用している。ICチップ11
のパッケージ94の一辺に一列配列されたパッド87
と、チップ95上に一列配列されたパッド96とは、中
間配線97で接続されている。
も、高速信号系では全ての線路に渡って特性インピーダ
ンスが同一であること、および等長配線であることが求
められる。
る。今、スタックト・ペア配線の幅w(図13参照)を
200μm、比誘電率εrを4.5とする。この値をス
タックト・ペア配線の特性インピーダンスの近似式(前
述した式(2))を代入すると、2つの配線間の距離d
はd=39μmとなる(dは図13参照)。なお、この
近似式は次の通りである。
路構成であり、特性インピーダンスの不整合はない。並
行等長配線の場合、パッドピッチはw/2=100μm
となり、現在の技術でも設計可能である。h2の厚みを
プリント配線板プリプレーグの標準である60μmにす
れば、理想的な層構造となる。
のピッチに従って設計する必要がある。このピッチを5
0μmとすると、パッケージ上のスタックト・ペア配線
の幅wは100μmとなる。上記式(3)より、d=1
9.5μmとなる。
Ωの特性インピーダンスが得られる。
中間配線を図16に示すような配置とする。その他の中
間配線も同様な配置とする。
平面図である。各中間配線90はスタックト・ペア線路
で構成されている。また、各中間配線90は同一の線路
長を有する。つまり、中間配線90はファンアウト構造
を有する。同一の線路長とするために、各中間配線90
は外側に広がるように緩やかにカーブしている。配線長
は、この広がりの程度を調節することで任意に決められ
る。カーブしているので、ミアンダーパターンのような
折れ曲がりが無く、スムースな伝送が可能であり、また
隣接配線間距離も比較的広く取れるため、クロストーク
に対しても有利である。更に、パッケージ上のパッド8
8とチップ91上のパッドを独立に設計することができ
る。
弧に設計するためのモデルを示す図である。このモデル
は、円弧ABを一定にして弦ABを変数にするためのモ
デルである。弦AB=l1は最外端パッド間の直線距離
である。これを変数とし円弧ABを一定とする半径OP
を見出す関係式を検討する。いま、線分PC=r1・h
1、OC=h1とすると、(l1・2)2=r1 2・h
1 2が得られ、θ1/2=tan−1(l1/2h1)
から、円弧AB=r1θ1[ラジアン]が得られる。これ
らの式からh1を適当に決めると、r1が求まる。円弧
AB=r1θ1を一定として、次以降のパッド間距離l
xに対してhxとrxを求めることができる。
良い。電磁界的に複雑な伝送特性とならない形状であれ
ば良い。
することとしても良い。図18は、この実施の形態を示
す図である。スタックト・ペア線路の伝送路141〜1
44は対応するパッド87に接続されている。パッド8
7は、べたのグランド100上に設けられている。マイ
クロストリップ線路で形成される中間配線101は、パ
ッド87とチップ96上のパッドとを接続する。
線路は、グランドに対して電界が広がり、単位長さ当り
のキャパシタンスCoが増大する特性を持つ。そのた
め、インピーダンス
すれば、線幅wを小さくできることになる。マイクロス
トリップ線路の特性インピーダンスの近似式は次の通り
である。ただし、記号の定義は図13を参照して説明し
た通りである。
となる。配線の厚みt=25μmの補正は、経験的に2
5μmを幅wから減算すれば良い。補正後の幅wはw=
145μmとなる。スタックト・ペア配線w=200μ
mに対して同じペア線間スペースd=39μmで、マイ
クロストリップ線路にするとw=145μmまで微細化
が可能となる。チップ上のパッド90のピッチが50μ
m、中間配線101の幅wが100μmの設計に対して
145μmの幅wは十分とは言えないが、パッド96の
付近で中間配線101を絞り込むことで対応できる。絞
り込む配線長は分岐配線長と同じ考えでよく、(6×
(絞り込み長さのトータルな遅延時間))<(波形の立
ち上がり時間)の条件を満足すればよい。
〜144とストリップ線路101との組み合わせで、ペ
ア線路間距離dを一定にして線路の幅wを変えることが
できる。このような配線は、パッケージを使用すること
なく、チップを直接配線基板上に接続する構成に好適に
適用できる。
バスの端に接続されている。本発明は、ドライバ16が
伝送路14の途中に設けられている構成も含む。
した構成要素と同一のものには同一の参照番号を付して
ある。トライバ16は、分岐伝送路15を介して伝送路
14の途中に接続されている。ドライバ16が出力する
信号は分岐伝送路15を通り、伝送路14を両方向に伝
搬する。同じ特性インピーダンスであるため、エネルギ
保存の法則から、信号電圧は1/2となる。図の右方向
に流れる信号は終端抵抗(図19での図示を省略してあ
る)で吸収され、消滅する。左へ流れた信号はレシーバ
17に入力する。レシーバ17を構成するトランジスタ
81のゲートは10fF以下の容量なので、解放端とみ
なされ、信号エネルギは全反射する。このため、信号電
圧は2倍に見え、レシーバ17は正規の電圧で差動す
る。全反射したエネルギは再び右に戻って行く。送信分
岐点に到達したとき、ドライバ16がまだ作動中ならば
飽和出力電流を流している。このため、外部からみると
ハイインピーダンスとなり、戻り信号エネルギはドライ
バ16に影響を与えることなく右に進んで終端抵抗で消
滅する。送信分岐点に戻ったとき、ドライバ16が既に
送信を終えているならば、他の動作していない分岐点と
同じハイインピーダンスとなっているため、問題はな
い。
ドライバ17と電流設定部83を有し、ICチップ12
や13がドライバ16を具備している場合も含む。つま
り、1ビットのバスが信号を両方向に伝送する(換言す
れば、送受信兼用)構成である。
0に示す。ICチップ11はドライバ16に加え、レシ
ーバ117と電流設定部118を具備する。レシーバ1
17と電流設定部118の回路構成は、図11に示すレ
シーバ17と電流設定部83の回路構成と同一である。
レシーバ117と伝送路14とは、pMOSトランジス
タ120、121を介して接続されている。トランジス
タ120、121のゲートは入力信号Vinで制御され
る。
イバ127を有するICチップ12が接続されている。
同様に、レシーバ18とドライバ128を有するICチ
ップ13が伝送路14の途中に接続されている。
体的に説明した。本発明は、前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、様々な実施の態様を含む。例えば、
本発明はMOSトランジスタに代えてバイポーラトラン
ジスタで構成した実施の態様を含む。
する。
供給する差動回路を含むカレントスイッチ型のドライバ
を有する電子装置において、前記信号を前記差動回路に
伝える信号配線を伝送路構造としたことを特徴とする電
子装置。
線構造を有することを特徴とする付記1記載の電子装
置。
線構造を有し、前記差動回路を構成するトランジスタの
制御電極の近傍まで延びていることを特徴とする付記1
記載の電子装置。
対になったコプレナー配線構造を有し、前記電子装置は
2本の線路間の距離の1.5倍又はこれを超える距離だ
け隔てた位置に別の配線を具備することを特徴とする付
記1記載の電子装置。
構造を有する電源配線を具備することを特徴とする付記
1ないし4のいずれか一項記載の電子装置。
対になったコプレナー配線構造を有し、その上位の層と
して、2本の線路が対になったコプレナー配線構造の電
源配線を有することを特徴とする付記1記載の電子装
置。
化する素子を前記差動回路に接続し、当該差動回路との
間で電荷の授受を行なうことを特徴とする付記1ないし
6のいずれか一項記載の電子装置。
接続する電子部品を具備し、該電子部品と前記伝送路と
をコプレナー配線構造以外の伝送路構造の配線で接続す
ることを特徴とする付記1ないし7のいずれか一項記載
の電子装置。
接続する電子部品を具備し、該電子部品と前記伝送路と
をスタックトペア配線構造の配線で接続することを特徴
とする付記1ないし7のいずれか一項記載の電子装置。
に接続する電子部品を具備し、該電子部品内のチップ上
の端子と前記伝送路に接続するための外部端子との間
を、伝送路構造を有する配線で接続したことを特徴とす
る付記1ないし9のいずれか一項記載の電子装置。
に接続する電子部品を具備し、該電子部品内のチップ上
の端子と前記伝送路に接続するための外部端子との間
を、スタックトペア配線構造の配線で接続したことを特
徴とする付記1ないし9のいずれか一項記載の電子装
置。
に接続する電子部品を具備し、該電子部品内のチップ上
の端子と前記伝送路に接続するための外部端子との間
を、ストリップ配線構造の配線で接続したことを特徴と
する付記1ないし9のいずれか一項記載の電子装置。
伝送路に接続するための外部端子とを接続する配線は、
等しい長さの複数の信号線を有することを特徴とする付
記10ないし12のいずれか一項記載の電子装置。
伝送路に接続するための外部端子とを接続する配線は、
等しい長さでかつ円弧状の信号線を有することを特徴と
する付記10ないし12のいずれか一項記載の電子装
置。
するスタックトペア配線構造の信号線と、スタックトペ
ア配線構造の電源配線とを具備することを特徴とする付
記1ないし14のいずれか一項記載の電子装置。
を接続する電源配線であり、前記信号線の下部に配置さ
れていることを特徴とする付記15記載の電子装置。
路を有することを特徴とする付記1ないし16記載の電
子装置。
に接続する電子部品を具備し、前記伝送路と電子部品を
接続する分岐伝送路は、伝送路上の信号の波形の立ち上
がり時間が当該分岐伝送路を所定回数往復した場合に生
じる遅延時間のn倍よりも大なる条件を満足する長さで
あることを特徴とする付記1ないし17のいずれか一項
記載の電子装置。
ら信号を受信するレシーバを有することを特徴とする付
記1ないし18のいずれか一項記載の電子装置。
GHz帯及びこれを超える帯域の高速伝送を良好に行な
える電子装置を提供することができる。
である。
除去した回路構成のシミュレーションモデル回路を示す
図である。
ュレーション結果を示す図である。
る。
デル回路を示す回路図である。
ュレーション結果を示す図である。
ランジファクタKとの関係を示すグラフである。
ーションモデル回路を示す回路図である。
る。
びその周辺回路を示す回路図である。
辺の斜視図である。
である。
る。
モデルを示す図である。
た実施の形態を示す図である。
成を示す図である。
ップを含むシステムを示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 信号に応じて伝送路に電流を供給する差
動回路を含むカレントスイッチ型のドライバを有する電
子装置において、 前記信号を前記差動回路に伝える信号配線を伝送路構造
としたことを特徴とする電子装置。 - 【請求項2】 前記信号配線はコプレナー配線構造を有
することを特徴とする請求項1記載の電子装置。 - 【請求項3】 前記信号配線はコプレナー配線構造を有
し、前記差動回路を構成するトランジスタの制御電極の
近傍まで延びていることを特徴とする請求項1記載の電
子装置。 - 【請求項4】 前記信号配線は2本の線路が対になった
コプレナー配線構造を有し、前記電子装置は2本の線路
間の距離の1.5倍又はこれを超える距離だけ隔てた位
置に別の配線を具備することを特徴とする請求項1記載
の電子装置。 - 【請求項5】 前記電子装置は更に、伝送路構造を有す
る電源配線を具備することを特徴とする請求項1ないし
4のいずれか一項記載の電子装置。 - 【請求項6】 前記信号配線は2本の線路が対になった
コプレナー配線構造を有し、その上位の層として、2本
の線路が対になったコプレナー配線構造の電源配線を有
することを特徴とする請求項1記載の電子装置。 - 【請求項7】 前記信号に応答して容量が変化する素子
を前記差動回路に接続し、当該差動回路との間で電荷の
授受を行なうことを特徴とする請求項1ないし6のいず
れか一項記載の電子装置。 - 【請求項8】 前記電子装置は前記伝送路に接続する電
子部品を具備し、該電子部品と前記伝送路とをコプレナ
ー配線構造以外の伝送路構造の配線で接続することを特
徴とする請求項1ないし7のいずれか一項記載の電子装
置。 - 【請求項9】 前記電子装置は前記伝送路に接続する電
子部品を具備し、該電子部品と前記伝送路とをスタック
トペア配線構造の配線で接続することを特徴とする請求
項1ないし7のいずれか一項記載の電子装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001369358A JP3721124B6 (ja) | 2001-12-03 | 電子装置 | |
DE10256119.2A DE10256119B4 (de) | 2001-12-03 | 2002-11-29 | Elektronische Vorrichtung |
TW091134960A TW595101B (en) | 2001-12-03 | 2002-12-02 | Electronic device |
US10/307,521 US6812742B2 (en) | 2001-12-03 | 2002-12-02 | Electronic device |
CNB021548927A CN1265456C (zh) | 2001-12-03 | 2002-12-03 | 电子器件 |
KR1020020076292A KR100980358B1 (ko) | 2001-12-03 | 2002-12-03 | 전자 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001369358A JP3721124B6 (ja) | 2001-12-03 | 電子装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003168968A true JP2003168968A (ja) | 2003-06-13 |
JP3721124B2 JP3721124B2 (ja) | 2005-11-30 |
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---|---|---|---|---|
JP2006100797A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-04-13 | Tokyo Institute Of Technology | 伝送線路 |
JP2010087615A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Kyocera Corp | 差動伝送用接続構造体 |
JP2015216362A (ja) * | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 富士通株式会社 | 差動ビアを含む回路及びその形成方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006100797A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-04-13 | Tokyo Institute Of Technology | 伝送線路 |
JP4621917B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2011-02-02 | 国立大学法人東京工業大学 | 伝送線路 |
JP2010087615A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Kyocera Corp | 差動伝送用接続構造体 |
JP2015216362A (ja) * | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 富士通株式会社 | 差動ビアを含む回路及びその形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10256119B4 (de) | 2016-08-04 |
DE10256119A1 (de) | 2003-08-07 |
TW200301039A (en) | 2003-06-16 |
KR100980358B1 (ko) | 2010-09-06 |
US20030132821A1 (en) | 2003-07-17 |
JP3721124B2 (ja) | 2005-11-30 |
CN1265456C (zh) | 2006-07-19 |
US6812742B2 (en) | 2004-11-02 |
CN1424759A (zh) | 2003-06-18 |
TW595101B (en) | 2004-06-21 |
KR20030045645A (ko) | 2003-06-11 |
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