JP2003115373A - Microwave generating equipment - Google Patents

Microwave generating equipment

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JP2003115373A
JP2003115373A JP2001309611A JP2001309611A JP2003115373A JP 2003115373 A JP2003115373 A JP 2003115373A JP 2001309611 A JP2001309611 A JP 2001309611A JP 2001309611 A JP2001309611 A JP 2001309611A JP 2003115373 A JP2003115373 A JP 2003115373A
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magnetron
magnetrons
anode current
power
power supply
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Kazuho Sakamoto
和穂 坂本
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To drive two or more magnetrons simultaneously while maintaining desired balance with one high-voltage power supply. SOLUTION: By providing an operating characteristic variable type magnetron 2, which can change the operating characteristic by a standard magnetron 1 and an operating characteristic variable means 2-1, the anode current detection means 5 and 6 of each magnetrons, and the operating characteristic variable control means to compare the output signal of each the anode current detection means 5 and 6, and to control the operating characteristic variable means (coil for magnetic field adjustment) 2-1 based on this result, two or more magnetrons can be driven steady with sufficient balance. Moreover, by starting it gradually, stable starting can be done.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マグネトロンを駆
動してマイクロ波を発生させる装置で、特に複数のマグ
ネトロンを同時に1個の高電圧電源によって駆動する方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for driving a magnetron to generate a microwave, and more particularly to a method for driving a plurality of magnetrons simultaneously by using one high voltage power source.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のマイクロ波発生装置とし
ては、例えば8図や9図に記載されているようなものが
あった。8図は、従来のマイクロ波発生装置で2個のマ
グネトロンを駆動するためのものである。
2. Description of the Related Art Heretofore, as a microwave generator of this type, there has been one as shown in FIGS. 8 and 9, for example. FIG. 8 is for driving two magnetrons with a conventional microwave generator.

【0003】8図のマイクロ波発生装置は、マグネトロ
ンそれぞれに専用の電源が必要であり、マグネトロンが
2個で有れば電源も2個必要であった。すなわち電源を
構成する高圧トランス7、高圧コンデンサ8、高圧ダイ
オード9もそれぞれ2個必要であった。これらの部品
は、高圧で大きな電力を扱うため、サイズ、重量の面で
もコスト負担が大きくなった。
The microwave generator shown in FIG. 8 requires a dedicated power source for each magnetron, and two power sources if two magnetrons are required. That is, two high-voltage transformers 7, a high-voltage capacitor 8 and a high-voltage diode 9 which constitute the power supply were required. Since these parts handle a large amount of electric power at high voltage, the cost burden becomes large in terms of size and weight.

【0004】また、9図は、マグネトロンを駆動するた
めの電源としてインバーター電源方式を採用したもので
ある。すなわち、商用電源を、整流回路14、平滑回路
を構成するチョーク13と平滑コンデンサ12、および
高周波発振のための共振コンデンサ11、共振をコント
ロールし入力信号15に基づいてスイッチング動作する
スイッチング素子10と、これを駆動するインバータ電
源制御回路16かうら成る。これらも、従来であれば、
マグネトロンの個数と同じ個数が必要となり、高価でか
つ容積も大きくなった。
Further, FIG. 9 employs an inverter power supply system as a power supply for driving the magnetron. That is, a commercial power supply includes a rectifier circuit 14, a choke 13 and a smoothing capacitor 12 that form a smoothing circuit, a resonant capacitor 11 for high-frequency oscillation, a switching element 10 that controls resonance and performs switching operation based on an input signal 15. The inverter power supply control circuit 16 for driving this is provided. If these are also conventional,
The same number as the number of magnetrons was required, which was expensive and large in volume.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで、1個の電源に
複数個のマグネトロンを接続し駆動する手段が必要とな
る。
Therefore, a means for connecting and driving a plurality of magnetrons to one power supply is required.

【0006】しかしながら、複数のマグネトロンを1個
の電源で並列接続した場合に、各マグネトロンの特性に
差があるため、各マグネトロン間に流れる電流に差が生
じてしまって、バランスがとれなくなる。特にマグネト
ロンの動作特性の特殊性として、ある所定の電圧まで電
流が流れずに、ある所定の電圧をこえると急に電流が流
れ出し、かつ少しの電圧の変化に対して電流は大きく変
化する。この特性のために、各マグネトロンに流れる電
流の差は大きく生じ、バランスは大きく崩れてしまう。
However, when a plurality of magnetrons are connected in parallel by one power source, there is a difference in the characteristics of each magnetron, so that a difference occurs in the currents flowing between the magnetrons, which makes the balance unbalanced. In particular, as a peculiarity of the operating characteristics of the magnetron, the current does not flow up to a certain predetermined voltage, but when the current exceeds a certain predetermined voltage, the current suddenly flows out, and the current greatly changes with a slight voltage change. Due to this characteristic, a large difference occurs between the currents flowing through the magnetrons, and the balance is greatly lost.

【0007】本発明は、このような個々のマグネトロン
の特性バラツキによるバランスの崩れる課題を解決する
もので、各マグネトロンが一定のバランスを保ちながら
安定して動作するマイクロ波発生装置を提供することを
目的とする。
The present invention solves the problem of the imbalance in balance due to the characteristic variations of the individual magnetrons, and provides a microwave generator that operates stably while maintaining a constant balance between the magnetrons. To aim.

【0008】また、起動時において各マグネトロンのバ
ランスを保ちながら安定して所望の電力まで立ち上げる
ことを目的とする。
Another object of the present invention is to stably start up to a desired electric power while maintaining the balance of each magnetron at the time of starting.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために、本発明のマイクロ波発生装置は、複数個のマ
グネトロンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給
しかつ供給電力量を制御することができる高電圧電源
と、マグネトロンの動作特性を変化できる動作特性可変
手段と、各マグネトロンのアノード電流の検出手段と、
複数個のマグネトロンの中から1個を標準マグネトロン
として設け、アノード電流の検出手段により検出された
標準マグネトロンのアノード電流信号と他のマグネトロ
ンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電
流信号を比較しその結果に基づいてマグネトロンの動作
特性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備え
た物である。
In order to solve the above-mentioned conventional problems, the microwave generator of the present invention supplies a plurality of magnetrons and high-voltage power to these magnetrons and controls the supplied power amount. A high-voltage power supply capable of changing the operating characteristics of the magnetron, a means for changing the operating characteristics of the magnetron, and a detecting means of the anode current of each magnetron,
One of the plurality of magnetrons is provided as a standard magnetron, and the anode current signal of the standard magnetron detected by the anode current detecting means is compared with the anode current signal detected by the anode current detecting means of another magnetron. The operation characteristic changing control means for controlling the operation characteristic changing means of the magnetron based on the result is provided.

【0010】また、起動時においては、一挙に所望の電
力まで立ち上げずに、一旦低い電力で立ち上げ各マグネ
トロンのバランスをとった後所望の電力まで立ち上げる
構成としたものである。
Further, at the time of start-up, the power is not raised to the desired power all at once, but is raised once with a low power to balance each magnetron and then to the desired power.

【0011】また、もうひとつの手段として、立ち上げ
時に各マグネトロンのバランスのとれる早さよりも遅く
徐々に立ち上げるものである。
As another means, the magnetrons are gradually started at a slower speed than the speed at which each magnetron is balanced.

【0012】これによって各マグネおトロンに流れるア
ノード電流間のバランスが保たれることで安定した動作
や起動が可能となる。また、その結果として1個の電源
により複数個のマグネトロンの駆動が可能となる。
As a result, the balance between the anode currents flowing in the respective magnetrons is maintained, and stable operation and startup are possible. Further, as a result, a plurality of magnetrons can be driven by one power source.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、マイク
ロ波を発生する複数のマグネトロンと、これらのマグネ
トロンに高圧電力を供給する高電圧電源と、前記マグネ
トロンの動作特性を変化できる動作特性可変手段と、個
々のマグネトロンのアノード電流の検出手段と、各マグ
ネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノ
ード電流信号とを比較しその結果に基づいて前記動作特
性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備えた
ことにより、マグネトロンの動作特性の特殊性や個々の
動作特性のバラツキによって生じるアノード電流のバラ
ンスの崩れが生じずに、安定して起動や動作ができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 is a plurality of magnetrons that generate microwaves, a high voltage power supply that supplies high voltage power to these magnetrons, and operating characteristics that can change the operating characteristics of the magnetrons. Operation characteristic variable control for comparing the operation characteristic varying means with the varying means, the anode current detecting means of each magnetron, and the anode current signal detected by the anode current detecting means of each magnetron, and controlling the operation characteristic varying means based on the result. By providing the means, it is possible to stably start up and operate without losing the balance of the anode current caused by the peculiarity of the operating characteristics of the magnetron and the variation of the individual operating characteristics.

【0014】請求項2に記載の発明は、マイクロ波を発
生する複数個のマグネトロンと、これらのマグネトロン
に高圧電力を供給しかつ供給電力量を制御することがで
きる高電圧電源と、マグネトロンの動作特性を変化でき
る動作特性可変手段と、各マグネトロンのアノード電流
検出手段と、複数個のマグネトロンの中から標準マグネ
トロンを1個設け、標準マグネトロンのアノード電流検
出手段によって検出された標準マグネトロンのアノード
電流信号と他のマグネトロンのアノード電流検出手段に
より検出されたアノード電流信号を比較しその結果に基
づいてマグネトロンの動作特性可変手段を制御する動作
特性可変制御手段を備えたものである。
According to a second aspect of the present invention, a plurality of magnetrons for generating microwaves, a high voltage power source capable of supplying high voltage power to these magnetrons and controlling the amount of power supplied thereto, and operation of the magnetrons. The operating characteristic variable means capable of changing the characteristics, the anode current detecting means of each magnetron, and one standard magnetron among a plurality of magnetrons are provided, and the anode current signal of the standard magnetron detected by the anode current detecting means of the standard magnetron is provided. And an anode current signal detected by the anode current detecting means of another magnetron, and based on the result, the operating characteristic variable control means for controlling the operating characteristic varying means of the magnetron is provided.

【0015】これによって、マグネトロンの動作特性の
特殊性や個々の動作特性のバラツキによって生じるアノ
ード電流のバランスの崩れが生じずに、安定して起動や
動作ができる。
As a result, the start-up and operation of the magnetron can be stably performed without causing the balance of the anode current to be lost due to the peculiarity of the operation characteristics of the magnetron and the variation of the individual operation characteristics.

【0016】請求項3に記載の発明は、特に、マイクロ
波発生装置の供給電力量を制御できる高電圧電源は、コ
ンデンサやスイッチング素子等により構成されるインバ
ータ電源により実現できる。
According to the third aspect of the present invention, in particular, the high voltage power source capable of controlling the amount of power supplied to the microwave generator can be realized by an inverter power source composed of a capacitor, a switching element and the like.

【0017】請求項4に記載の発明は、特に、マイクロ
波発生装置の供給電力を制御できる高電圧電源によっ
て、起動時において所望の入力電力よりも低い電力で一
旦起動し、各マグネトロンのアノード電流のバランスが
とれた後に所望の入力電力に上げる構成としたものであ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, in particular, a high voltage power source capable of controlling the power supplied to the microwave generator is used to temporarily start at a power lower than a desired input power at the time of startup, and the anode current of each magnetron is started. It is configured so that the input power is increased to a desired value after being balanced.

【0018】請求項5に記載の発明は、特に、マイクロ
波発生装置の供給電力を制御できる高電圧電源によっ
て、起動時において所望の入力電力に立ち上げる早さ
を、各マグネトロンのアノード電流のバランスがとれる
早さよりも遅くする構成としたもので、安定した起動が
可能となる。
According to a fifth aspect of the present invention, in particular, the high voltage power supply capable of controlling the power supply of the microwave generator controls the speed of raising the input power to a desired input power at the time of starting, and balances the anode currents of the magnetrons. With a configuration that is slower than the speed at which it can be taken, stable startup is possible.

【0019】[0019]

【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】(実施例1)図1は、本発明の実施例にお
けるマイクロ波発生装置の回路構成図を示すものであ
る。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a microwave generator according to an embodiment of the present invention.

【0021】図1において、7はマグネトロンに高圧電
力を供給するための高圧トランスであり、その出力電圧
を高圧コンデンサ8と高圧ダイオード9により倍電圧整
流回路を構成し、マグネトロンに高圧電力を供給してい
る。そして商用電源を整流するダイオードブリッジ1
4、その整流された電力を平滑するチョーク13および
平滑コンデンサ12を備え、共振コンデンサ11と高圧
トランス7で共振回路を構成し、スイッチング素子10
のON−OFF動作によって高周波電力に変換するイン
バータ電源を構成している。そして入力電流検知回路1
5の信号を基にインバータ電源制御回路16によってス
イッチング素子10のON−OFFをコントロールして
いる。これによって入力電流の大きさを自由にコントロ
ールできるものである。マグネトロンは標準マグネトロ
ン1および動作特性可変式マグネトロン2の2個が並列
に接続されている。そして、5は動作特性可変式マグネ
トロン2のアノード電流の検出手段、6は標準マグネト
ロン1のアノード電流の検出手段である。4はこれら2
個のアノード電流検出手段5および6の信号を比較しそ
の差を電圧として出力するアノード電流信号差検知増幅
回路、3はアノード電流信号差検知増幅回路4の電圧に
応じて動作特性可変式マグネトロン2の磁界調整用コイ
ル2−1の電流を制御するコイル電流コントロール手段
である。アノード電流信号差検知増幅回路4とコイル電
流コントロール手段3は動作特性可変制御手段を構成し
ている。
In FIG. 1, 7 is a high-voltage transformer for supplying high-voltage power to the magnetron. The output voltage of the high-voltage capacitor 8 and the high-voltage diode 9 constitute a voltage doubler rectifier circuit to supply high-voltage power to the magnetron. ing. And diode bridge 1 which rectifies commercial power
4, a choke 13 for smoothing the rectified power and a smoothing capacitor 12 are provided, and the resonance circuit is constituted by the resonance capacitor 11 and the high voltage transformer 7, and the switching element 10
Inverter power supply for converting to high-frequency power by the ON-OFF operation of is constructed. And input current detection circuit 1
Based on the signal of 5, the inverter power supply control circuit 16 controls ON / OFF of the switching element 10. This allows the magnitude of the input current to be freely controlled. The standard magnetron 1 and the variable operating characteristic type magnetron 2 are connected in parallel. Reference numeral 5 is an anode current detecting means of the variable operation characteristic magnetron 2, and 6 is an anode current detecting means of the standard magnetron 1. 4 is these 2
An anode current signal difference detecting / amplifying circuit 3 for comparing the signals of the individual anode current detecting means 5 and 6 and outputting the difference as a voltage, a magnetron 2 having a variable operating characteristic according to the voltage of the anode current signal difference detecting / amplifying circuit 4. It is a coil current control means for controlling the current of the magnetic field adjusting coil 2-1. The anode current signal difference detection / amplification circuit 4 and the coil current control means 3 constitute operation characteristic variable control means.

【0022】図2に動作特性可変式マグネトロン2の構
造を示す。環状のアノードブッロク2−3に複数のベイ
ン2−2が放射状に取り付けられ発振空間を形成してい
る。2−4は磁極で2−5は磁石であり、発振空間に磁
界をかけている。2−6はアンテナであり発振空間で発
生するマイクロ波エネルギーを放射するものである。2
−8はカソードで直熱化型でヒーターより構成され2−
7のカソード端子よりカソード加熱用電流を供給してい
る。2−1は磁界調整用コイルであり、磁石2−5との
合成により発振空間にかかる磁界強度を調整するもの
で、その電流によって磁界の強弱調整をするものであ
る。また、この磁界の強度の変化は動作特性可変式マグ
ネトロン2の動作特性の電圧の変化になる。すなわち磁
界が強ければ動作電圧は高く、磁界が弱ければ動作電圧
は低くなる。
FIG. 2 shows the structure of the magnetron 2 with variable operating characteristics. A plurality of vanes 2-2 are radially attached to the annular anode block 2-3 to form an oscillation space. Reference numeral 2-4 is a magnetic pole and 2-5 is a magnet, which applies a magnetic field to the oscillation space. Reference numeral 2-6 is an antenna that radiates microwave energy generated in the oscillation space. Two
-8 is a cathode which is a direct heating type and is composed of a heater 2-
A cathode heating current is supplied from the cathode terminal 7. 2-1 is a magnetic field adjusting coil, which adjusts the magnetic field strength applied to the oscillation space by combining with the magnet 2-5, and the strength of the magnetic field is adjusted by the current. Further, the change in the strength of the magnetic field results in the change in the voltage of the operation characteristic of the operation characteristic variable magnetron 2. That is, when the magnetic field is strong, the operating voltage is high, and when the magnetic field is weak, the operating voltage is low.

【0023】以上のように構成されたマイクロ波発生装
置について、以下にその動作、作用を説明する。
The operation and action of the microwave generator configured as described above will be described below.

【0024】まず図4(a)に、マグネトロンの動作特
性を示す。縦軸に電圧、横軸に電流を示す。電圧が発振
開始電圧Vsを越えると急に電流が流れ出し、電圧の変
化に対して電流は大きく変化する。また発振空間にかか
る磁界が強ければ動作電圧が高く、弱ければ低くなる。
一般にマグネトロンは個々に磁石の磁界強度のバラツキ
で動作電圧にバラツキがある。
First, FIG. 4A shows the operating characteristics of the magnetron. The vertical axis represents voltage and the horizontal axis represents current. When the voltage exceeds the oscillation start voltage Vs, a current suddenly starts to flow, and the current changes greatly with the change in voltage. If the magnetic field applied to the oscillation space is strong, the operating voltage is high, and if it is weak, the operating voltage is low.
Generally, magnetrons have variations in operating voltage due to variations in magnetic field strength of magnets.

【0025】そこで本発明の実施例におけるマイクロ波
発生装置のように、2個のマグネトロンを動作させる場
合、個々のマグネトロン間の動作特性には差が生じる。
図4(b)は標準マグネトロン1の動作特性M1に対し
て動作特性可変式マグネトロン2の動作特性M2が低い
場合であり、動作電圧Voに対して標準マグネトロン1
のアノード電流Ia1が小さく、動作特性可変式マグネ
トロン2のアノード電流Ia2が大きくなり両者間には
大きな差が生じてバランスが崩れてしまう。図4(c)
は各マグネトロンの動作特性が逆の場合でIa1とIa
2の大小が逆になっており大きくバランスを崩してしま
った場合を示す。
Therefore, when the two magnetrons are operated as in the microwave generator in the embodiment of the present invention, there is a difference in the operating characteristics between the individual magnetrons.
FIG. 4B shows a case where the operating characteristic M2 of the variable operating characteristic magnetron 2 is lower than the operating characteristic M1 of the standard magnetron 1, and the standard magnetron 1 with respect to the operating voltage Vo.
The anode current Ia1 is small and the anode current Ia2 of the variable operation characteristic magnetron 2 is large, so that a large difference occurs between the two and the balance is lost. Figure 4 (c)
Is Ia1 and Ia when the operating characteristics of each magnetron are opposite.
It shows the case where the magnitude of 2 is reversed and the balance is greatly lost.

【0026】そこで図4(d)の様に標準マグネトロン
1のアノード電流Ia1と動作特性可変式マグネトロン
2のアノード電流Ia2を比較し、Ia2>Ia1なら
ば磁界調整用コイル2−1によって磁界を強くし動作電
圧を高くして標準マグネトロン1の動作特性に一致する
様にする。そうすることでIa1とIa2が等しくなり
バランスのとれた安定した動作となる。また逆にIa2
<Ia1ならば磁界調整用コイル2−1によって磁界を
弱くし動作電圧を低くすることでIa2=Ia1となり
バランスのとれた安定した動作にすることができる。
Therefore, as shown in FIG. 4 (d), the anode current Ia1 of the standard magnetron 1 and the anode current Ia2 of the variable operation characteristic magnetron 2 are compared. Then, the operating voltage is raised to match the operating characteristics of the standard magnetron 1. By doing so, Ia1 and Ia2 become equal, and a balanced and stable operation is achieved. Conversely, Ia2
If <Ia1, by weakening the magnetic field by the magnetic field adjusting coil 2-1 and lowering the operating voltage, Ia2 = Ia1 and a balanced and stable operation can be performed.

【0027】図3に、本発明を実現するための制御系の
仕組みを示す。図3の6は標準マグネトロン1のアノー
ド電流検出手段でその回路構成手段を示す。5は動作特
性可変式マグネトロン2のアノード電流検出手段でその
回路構成を示す。どちらのアノード電流検出手段も信号
を電圧で出力する。4はそれぞれのマグネトロンのアノ
ード電流検出信号を比較し、その差に応じた出力信号を
出すアノード電流信号差検知増幅回路である。3はアノ
ード電流信号差検知増幅回路4の信号に対応して磁界調
整用コイル2−1に流す電流値の大きさと極性をコント
ロールするコイル電流コントロール手段である。以上の
構成で、各マグネトロンのアノード電流Ia1、Ia2
の差を検出し、その差がなくなる様に磁界調整用コイル
2−1の電流をコントロールする。その結果、2個のマ
グネトロンはバランスを保ちながら安定した動作が可能
となる。また、アノード電流信号差検知増幅回路4とコ
イル電流コントロール手段3とで動作特性可変制御手段
を構成している。
FIG. 3 shows a mechanism of a control system for realizing the present invention. Reference numeral 6 in FIG. 3 denotes an anode current detection means of the standard magnetron 1 and shows a circuit configuration means thereof. Reference numeral 5 denotes an anode current detecting means of the magnetron 2 having a variable operating characteristic, the circuit configuration of which is shown. Both anode current detection means output a signal as a voltage. Reference numeral 4 denotes an anode current signal difference detection / amplification circuit that compares the anode current detection signals of the respective magnetrons and outputs an output signal according to the difference. Reference numeral 3 is a coil current control means for controlling the magnitude and polarity of the current value flowing in the magnetic field adjusting coil 2-1 in response to the signal from the anode current signal difference detection / amplification circuit 4. With the above configuration, the anode currents Ia1 and Ia2 of each magnetron
Is detected and the current of the magnetic field adjusting coil 2-1 is controlled so that the difference is eliminated. As a result, the two magnetrons can operate stably while maintaining balance. Further, the anode current signal difference detection / amplification circuit 4 and the coil current control means 3 constitute operation characteristic variable control means.

【0028】図5、図6、図7には、起動時における各
マグネトロンのアノード電流の立ち上がり状態を示す。
FIGS. 5, 6, and 7 show the rising state of the anode current of each magnetron at the time of startup.

【0029】図5は横軸に経過時間t、縦軸にアノード
電流値Iを示し、標準マグネトロン1のアノード電流I
a1と動作特性可変式マグネトロン2のアノード電流I
a2の起動時における立ち上がり状態を示す。いきな
り、所望電力で立ち上げた場合に各アノード電流値はす
ぐにバランスがとれなく時間遅れがあるため、片方の電
流が大きくなり過ぎ、過大電流となる現象が発生し、不
安定発振になる。
FIG. 5 shows the elapsed time t on the horizontal axis and the anode current value I on the vertical axis. The anode current I of the standard magnetron 1 is shown.
a1 and anode current I of variable operating characteristic magnetron 2
The rising state at the time of starting of a2 is shown. Suddenly, when the power is started up with the desired power, the respective anode current values are not immediately balanced and there is a time delay, so that one of the currents becomes too large and an excessive current occurs, resulting in unstable oscillation.

【0030】この現象を防ぎ安定して立ち上げる手段を
図6、図7に示す。
Means for preventing this phenomenon and starting up stably are shown in FIGS.

【0031】図6は、起動時において一旦、所望の電流
値より低い電流値で立ち上げ、両方のバランスがとれて
から所望の電流値に上げる。これにより、片方に過大な
電流が流れるのを防ぐことができる。
In FIG. 6, at the time of start-up, the current value is once raised at a current value lower than the desired current value, and after both are balanced, the current value is raised to the desired current value. This can prevent an excessive current from flowing to one side.

【0032】図7は、起動時において、一挙に立ち上げ
るのでなく徐々に立ち上げていく手段であり、バランス
がとれる早さよりも遅い早さで立ち上げていく手段であ
る。
FIG. 7 is a means for gradually starting up rather than all at the time of startup, and is a means for starting up at a slower speed than a balanced speed.

【0033】どちらの手段においても起動時の立ち上が
りは過大電流を防ぎ安定した起動ができる。
With either means, rising at the time of start-up prevents an excessive current and enables stable start-up.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上のように、請求項1〜5に記載の発
明によれば、1個の高電圧電源に複数個のマグネトロン
をバランス良く駆動することができる。
As described above, according to the invention described in claims 1 to 5, it is possible to drive a plurality of magnetrons with a good balance in one high voltage power source.

【0035】また、起動時に安定した立ち上げができ
る。
Also, stable startup can be performed at the time of startup.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1におけるマイクロ波発生装置
の回路構成図
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a microwave generator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例1のマイクロ波発生装置におけ
る動作特性可変式マグネトロンの断面構造図
FIG. 2 is a cross-sectional structure diagram of a magnetron having a variable operation characteristic in the microwave generator according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明のマイクロ波発生装置を実現するための
制御系の仕組みを示す図
FIG. 3 is a diagram showing a mechanism of a control system for realizing the microwave generator of the present invention.

【図4】本発明のマイクロ波発生装置におけるマグネト
ロンの動作を示す動作特性図
FIG. 4 is an operation characteristic diagram showing the operation of the magnetron in the microwave generator of the present invention.

【図5】起動時のアノード電流の変化を示す図FIG. 5 is a diagram showing changes in anode current at startup.

【図6】本発明のマイクロ波発生装置におけるアノード
電流の変化を示す図
FIG. 6 is a diagram showing changes in anode current in the microwave generator of the present invention.

【図7】本発明のマイクロ波発生装置におけるアノード
電流の変化を示す図
FIG. 7 is a diagram showing changes in anode current in the microwave generator of the present invention.

【図8】従来のマイクロ波発生装置の回路構成図FIG. 8 is a circuit configuration diagram of a conventional microwave generator.

【図9】従来のマイクロ波発生装置の回路構成図FIG. 9 is a circuit configuration diagram of a conventional microwave generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 標準マグネトロン 2 動作特性可変式マグネトロン 2−1 磁界調整用コイル 3 コイル電流コントロール手段 4 アノード電流差検知増幅回路 5 動作特性可変式マグネトロンのアノード電流検出手
段 6 標準マグネトロンのアノード電流検出手段 7 高圧トランス 10 スイッチング素子 11 共振コンデンサ 16 インバータ電源制御回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Standard magnetron 2 Variable operation characteristic magnetron 2-1 Magnetic field adjustment coil 3 Coil current control means 4 Anode current difference detection / amplification circuit 5 Operating characteristic variable magnetron anode current detection means 6 Standard magnetron anode current detection means 7 High voltage transformer 10 Switching Element 11 Resonant Capacitor 16 Inverter Power Supply Control Circuit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マイクロ波を発生する複数のマグネトロ
ンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電
圧電源と、前記マグネトロンの動作特性を変化できる動
作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流
の検出手段と、各マグネトロンのアノード電流検出手段
により検出されたアノード電流信号とを比較しその結果
に基づいて前記動作特性可変手段を制御する動作特性可
変制御手段とを備えたマイクロ波発生装置。
1. A plurality of magnetrons for generating microwaves, a high voltage power supply for supplying high voltage power to these magnetrons, operating characteristic changing means for changing the operating characteristics of the magnetrons, and an anode current of each magnetron. A microwave generator comprising: a detection means and an operation characteristic variable control means for comparing the anode current signal detected by the anode current detection means of each magnetron and controlling the operation characteristic variable means based on the result.
【請求項2】 マイクロ波を発生する複数のマグネトロ
ンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電
圧電源と、前記マグネトロンの動作特性を変化できる動
作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流
の検出手段と、複数のマグネトロンの中から標準マグネ
トロンを1個設け該アノード電流検出手段により検出さ
れた標準マグネトロンのアノード電流信号と、他のマグ
ネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノ
ード電流信号とを比較しその結果に基づいて前記動作特
性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備え、
高電圧電源は供給電力量を制御することを特徴としたマ
イクロ波発生装置。
2. A plurality of magnetrons for generating microwaves, a high voltage power supply for supplying high voltage power to these magnetrons, operating characteristic changing means for changing the operating characteristics of the magnetrons, and anode currents of the individual magnetrons. The detecting means and one standard magnetron among a plurality of magnetrons are provided, and an anode current signal of the standard magnetron detected by the anode current detecting means and an anode current signal detected by the anode current detecting means of another magnetron are provided. And an operating characteristic variable control means for controlling the operating characteristic varying means based on the result of comparison,
A microwave generator characterized in that the high-voltage power supply controls the amount of power supplied.
【請求項3】 供給電力量を制御することができる高電
圧電源は、商用電源の整流された直流電力や電池等の直
流電圧をスイッチング素子やコンデンサ等より構成され
るインバータ電源で実現する請求項1または2に記載の
マイクロ波発生装置。
3. The high-voltage power supply capable of controlling the amount of supplied power is realized by an inverter power supply configured by a rectified DC power of a commercial power supply or a DC voltage of a battery or the like by a switching element, a capacitor or the like. 1. The microwave generator according to 1 or 2.
【請求項4】 起動時において所定の入力電力よりも低
い電力で一旦起動し、各マグネトロンのアノード電流の
バランスがとれた後に所定の入力電力に上げる構成とし
た請求項1または2に記載のマイクロ波発生装置。
4. The micro according to claim 1, wherein at the time of start-up, the power is once started at a power lower than a predetermined input power, and then the anode current of each magnetron is balanced, and then the power is raised to a predetermined input power. Wave generator.
【請求項5】 起動時において、所定の入力電力に立ち
上げる早さは、各マグネトロンのアノード電流のバラン
スがとれる早さよりも遅くする構成とした請求項1また
は2に記載のマイクロ波発生装置。
5. The microwave generator according to claim 1 or 2, wherein the startup speed to a predetermined input power at startup is slower than the speed at which the anode current of each magnetron is balanced.
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JP2007273189A (en) * 2006-03-30 2007-10-18 Tokyo Electron Ltd Plasma treatment device, substrate treatment system and electrical power switching method

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