JP2003112109A - フィルムの製造方法およびコーティング装置 - Google Patents
フィルムの製造方法およびコーティング装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 異物混入の極めて少ない優れた品質の塗膜が
形成されたフィルム製品を製造できるようにする。 【解決手段】 連続的にフィルムを製造するフィルム製
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布するインラインコーティング工程を有するフィルム
の製造方法であって、塗液を、塵埃含有量が米国連邦規
格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９）にて
クラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で塗布すること
を特徴とするフィルムの製造方法およびコーティング装
置。
形成されたフィルム製品を製造できるようにする。 【解決手段】 連続的にフィルムを製造するフィルム製
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布するインラインコーティング工程を有するフィルム
の製造方法であって、塗液を、塵埃含有量が米国連邦規
格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９）にて
クラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で塗布すること
を特徴とするフィルムの製造方法およびコーティング装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムの製造方
法およびコーティング装置に関し、とくに、連続的にフ
ィルムを製造するフィルム製造工程中の一部で走行中の
フィルムに連続的に異物混入のない清浄な状態で塗液を
塗布することが可能なインラインコーティング工程を有
するフィルムの製造方法およびコーティング装置に関す
る。
法およびコーティング装置に関し、とくに、連続的にフ
ィルムを製造するフィルム製造工程中の一部で走行中の
フィルムに連続的に異物混入のない清浄な状態で塗液を
塗布することが可能なインラインコーティング工程を有
するフィルムの製造方法およびコーティング装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】連続的にフィルムを製造するフィルム製
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布する、いわゆるインラインコーティングが知られて
いる。このインラインコーティング工程においては、通
常、フィルム製造工程中に、塗液塗布装置（以下、コー
ターと言うこともある。）を設け、フィルム製造工程と
同じ雰囲気中で塗液が塗布されている。塗布された塗液
は、続いて乾燥工程で乾燥され、フィルムの表面上に所
定の乾燥塗膜が形成される。フィルム製造工程の雰囲気
は、通常、外気とは遮断され、クラス１０，０００〜１
００，０００程度の比較的清浄な雰囲気に保たれてお
り、このような雰囲気中でインラインコーティングが行
われている。
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布する、いわゆるインラインコーティングが知られて
いる。このインラインコーティング工程においては、通
常、フィルム製造工程中に、塗液塗布装置（以下、コー
ターと言うこともある。）を設け、フィルム製造工程と
同じ雰囲気中で塗液が塗布されている。塗布された塗液
は、続いて乾燥工程で乾燥され、フィルムの表面上に所
定の乾燥塗膜が形成される。フィルム製造工程の雰囲気
は、通常、外気とは遮断され、クラス１０，０００〜１
００，０００程度の比較的清浄な雰囲気に保たれてお
り、このような雰囲気中でインラインコーティングが行
われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、塗膜
を有するフィルムへの品質要求が高まり、比較的清浄な
雰囲気中で塗液が塗布されるインラインコーティングに
より製造されたフィルムと言えども、より異物混入のよ
り少ない、より厳しい品質が要求されるようになってき
た。すなわち、フィルム製造工程の雰囲気は、一般に比
較的清浄な雰囲気に保たれているものの、多かれ少なか
れ空気中には塵埃が浮遊しているため、その塵埃が異物
としてフィルムに塗布される塗液中に混入したり、塗布
された塗液に乾燥完了前に付着したりすると、その分品
質を低下させることとなっている。
を有するフィルムへの品質要求が高まり、比較的清浄な
雰囲気中で塗液が塗布されるインラインコーティングに
より製造されたフィルムと言えども、より異物混入のよ
り少ない、より厳しい品質が要求されるようになってき
た。すなわち、フィルム製造工程の雰囲気は、一般に比
較的清浄な雰囲気に保たれているものの、多かれ少なか
れ空気中には塵埃が浮遊しているため、その塵埃が異物
としてフィルムに塗布される塗液中に混入したり、塗布
された塗液に乾燥完了前に付着したりすると、その分品
質を低下させることとなっている。
【０００４】本発明の課題は、上記のような近年の要求
に応えるべく、異物混入の極めて少ない優れた品質の塗
膜が形成されたフィルム製品を製造できるようにするこ
とにある。
に応えるべく、異物混入の極めて少ない優れた品質の塗
膜が形成されたフィルム製品を製造できるようにするこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るフィルムの製造方法は、連続的にフィ
ルムを製造するフィルム製造工程中の一部で、走行中の
フィルムに連続的に塗液を塗布するインラインコーティ
ング工程を有するフィルムの製造方法であって、塗液
を、塵埃含有量が米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔ
ａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，０００以下の清
浄な雰囲気中で塗布することを特徴とする方法からな
る。
に、本発明に係るフィルムの製造方法は、連続的にフィ
ルムを製造するフィルム製造工程中の一部で、走行中の
フィルムに連続的に塗液を塗布するインラインコーティ
ング工程を有するフィルムの製造方法であって、塗液
を、塵埃含有量が米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔ
ａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，０００以下の清
浄な雰囲気中で塗布することを特徴とする方法からな
る。
【０００６】上記米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔ
ａｎｄａｒｄ ２０９）は、工業用クリーンルーム等の
清浄度分類に関する規格として、世界中で利用されてい
る規格であり、クラス１，０００とは、粒径０．５μｍ
の基準粒子の数が１立方フィート当たり１，０００個以
下の清浄度を意味している。クラス１００とは、粒径
０．５μｍの基準粒子の数が１立方フィート当たり１０
０個以下の清浄度を意味している。
ａｎｄａｒｄ ２０９）は、工業用クリーンルーム等の
清浄度分類に関する規格として、世界中で利用されてい
る規格であり、クラス１，０００とは、粒径０．５μｍ
の基準粒子の数が１立方フィート当たり１，０００個以
下の清浄度を意味している。クラス１００とは、粒径
０．５μｍの基準粒子の数が１立方フィート当たり１０
０個以下の清浄度を意味している。
【０００７】製造されたフィルムに塗液の塗布のみを行
うオフラインコーティング工程においては、装置自体を
このような清浄な雰囲気を有するクリーンルーム中に設
置すればよい。しかし、インラインコーティング工程
は、通常の場合、フィルムの押出から、延伸、巻取にい
たるフィルム製造工程の一部として設けられるものであ
り、このようなフィルムの製造装置全体をクリーンルー
ム内に設置することは、現実的でない。本発明は、この
ような場合に、フィルムの製造装置全体を高度に清浄な
雰囲気下におかなくても、フィルムに塗液を塗布する工
程の周辺のみを高度に清浄な雰囲気下におけば、フィル
ムの品質を大きく向上させることができることを見出し
たものである。
うオフラインコーティング工程においては、装置自体を
このような清浄な雰囲気を有するクリーンルーム中に設
置すればよい。しかし、インラインコーティング工程
は、通常の場合、フィルムの押出から、延伸、巻取にい
たるフィルム製造工程の一部として設けられるものであ
り、このようなフィルムの製造装置全体をクリーンルー
ム内に設置することは、現実的でない。本発明は、この
ような場合に、フィルムの製造装置全体を高度に清浄な
雰囲気下におかなくても、フィルムに塗液を塗布する工
程の周辺のみを高度に清浄な雰囲気下におけば、フィル
ムの品質を大きく向上させることができることを見出し
たものである。
【０００８】このインラインコーティング工程において
は、塗液の塗布工程と乾燥工程の間においてもフィルム
をクラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で搬送するこ
とが好ましい。すなわち、清浄な雰囲気中で塗液を塗布
した後、乾燥工程に至るまでの搬送工程においても、ク
ラス１，０００以下の清浄な雰囲気に保たれることが好
ましく、これによって、より確実に、異物混入が少ない
状態にて乾燥に供され、乾燥後の塗膜を備えた製品中へ
の異物量が抑えられる。
は、塗液の塗布工程と乾燥工程の間においてもフィルム
をクラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で搬送するこ
とが好ましい。すなわち、清浄な雰囲気中で塗液を塗布
した後、乾燥工程に至るまでの搬送工程においても、ク
ラス１，０００以下の清浄な雰囲気に保たれることが好
ましく、これによって、より確実に、異物混入が少ない
状態にて乾燥に供され、乾燥後の塗膜を備えた製品中へ
の異物量が抑えられる。
【０００９】雰囲気の清浄度としては、より好ましくは
クラス１００以下である。このような極めて清浄な雰囲
気とされることにより、異物混入量は極めて少ない量に
抑えられる。
クラス１００以下である。このような極めて清浄な雰囲
気とされることにより、異物混入量は極めて少ない量に
抑えられる。
【００１０】清浄な雰囲気を形成するためには、清浄な
空気を一方向流れで供給することが好ましい。乱れた流
れは、塵埃を巻き上げるおそれがあるとともに、塗液の
塗布や塗布された乾燥前の塗膜に悪影響を及ぼすおそれ
があるので、好ましくない。一方向流れとしては、ダウ
ンフロー（上方から下方への流れ）や、水平方向のいず
れか一方向への流れを採用することができる。
空気を一方向流れで供給することが好ましい。乱れた流
れは、塵埃を巻き上げるおそれがあるとともに、塗液の
塗布や塗布された乾燥前の塗膜に悪影響を及ぼすおそれ
があるので、好ましくない。一方向流れとしては、ダウ
ンフロー（上方から下方への流れ）や、水平方向のいず
れか一方向への流れを採用することができる。
【００１１】本発明に係るコーティング装置は、連続的
にフィルムを製造するフィルム製造工程中の一部で、走
行中のフィルムに連続的に塗液を塗布するコーティング
装置であって、コーティング部を囲むチャンバーと、該
チャンバー内に塵埃含有量が米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒ
ａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，００
０以下の清浄な空気を供給する手段とを有することを特
徴とするものからなる。
にフィルムを製造するフィルム製造工程中の一部で、走
行中のフィルムに連続的に塗液を塗布するコーティング
装置であって、コーティング部を囲むチャンバーと、該
チャンバー内に塵埃含有量が米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒ
ａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，００
０以下の清浄な空気を供給する手段とを有することを特
徴とするものからなる。
【００１２】このコーティング装置においては、塗液の
塗布装置と乾燥装置の間のフィルム搬送部にも、クラス
１，０００以下の清浄な空気を供給する手段が設けられ
ていることが好ましい。
塗布装置と乾燥装置の間のフィルム搬送部にも、クラス
１，０００以下の清浄な空気を供給する手段が設けられ
ていることが好ましい。
【００１３】このようなクラス１，０００以下の清浄な
空気、好ましくはクラス１００以下の清浄な空気は、た
とえば、ＨＥＰＡフィルターを使用することにより達成
可能であり、より清浄な空気を得るためには、たとえ
ば、ＵＬＰＡフィルターを使用することができる。ＨＥ
ＰＡ（High-Efficiency Particulate Air ）フィルター
とは、０．３μｍ以上の粒子を９９．９７％以上カット
できる高性能空気フィルターのことである。ＵＬＰＡ
（Ultra Low Penetration Air ）フィルターとは、０．
１５μｍ以上の粒子を９９．９９９５％以上カットでき
る超高性能空気フィルターのことである。
空気、好ましくはクラス１００以下の清浄な空気は、た
とえば、ＨＥＰＡフィルターを使用することにより達成
可能であり、より清浄な空気を得るためには、たとえ
ば、ＵＬＰＡフィルターを使用することができる。ＨＥ
ＰＡ（High-Efficiency Particulate Air ）フィルター
とは、０．３μｍ以上の粒子を９９．９７％以上カット
できる高性能空気フィルターのことである。ＵＬＰＡ
（Ultra Low Penetration Air ）フィルターとは、０．
１５μｍ以上の粒子を９９．９９９５％以上カットでき
る超高性能空気フィルターのことである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発
明の一実施態様に係るコーティング装置を示している。
図１において、１は、連続的に製膜される樹脂フィルム
を示しており、本実施態様では、縦延伸機２により長手
方向に延伸された後、テンター３により幅方向に延伸さ
れ、二軸延伸フィルムとして製造される。このテンター
３は、乾燥機（ドライヤー）も兼ねている。
形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発
明の一実施態様に係るコーティング装置を示している。
図１において、１は、連続的に製膜される樹脂フィルム
を示しており、本実施態様では、縦延伸機２により長手
方向に延伸された後、テンター３により幅方向に延伸さ
れ、二軸延伸フィルムとして製造される。このテンター
３は、乾燥機（ドライヤー）も兼ねている。
【００１５】上記縦延伸機２とテンター３との間に、つ
まり、一軸延伸後二軸延伸前の位置に、コーティング装
置としてのインラインコーター４が設けられており、走
行中のフィルムの表面に連続的に塗液５が塗布される。
塗布された塗液は、テンター３通過中にテンター３内で
乾燥され、所定厚みの塗膜に形成される。塗液５は、コ
ーターヘッド６を用いて塗布される。コーターヘッド６
の形式は特に限定されず、メタリングバー方式のものや
グラビアロール方式のもの、ダイコータ方式のもの等、
いずれのものでもよい。また、本実施態様では、一軸延
伸後二軸延伸前の位置にインラインコーター４を設けた
が、他の位置に設けることも可能である。さらに、延伸
方式として同時二軸延伸を行う場合には、たとえば同時
二軸延伸機の前に設けることもできる。
まり、一軸延伸後二軸延伸前の位置に、コーティング装
置としてのインラインコーター４が設けられており、走
行中のフィルムの表面に連続的に塗液５が塗布される。
塗布された塗液は、テンター３通過中にテンター３内で
乾燥され、所定厚みの塗膜に形成される。塗液５は、コ
ーターヘッド６を用いて塗布される。コーターヘッド６
の形式は特に限定されず、メタリングバー方式のものや
グラビアロール方式のもの、ダイコータ方式のもの等、
いずれのものでもよい。また、本実施態様では、一軸延
伸後二軸延伸前の位置にインラインコーター４を設けた
が、他の位置に設けることも可能である。さらに、延伸
方式として同時二軸延伸を行う場合には、たとえば同時
二軸延伸機の前に設けることもできる。
【００１６】インラインコーター４は、チャンバー７に
よって囲まれており、その内部は、フィルム通過口以
外、外部雰囲気に対して遮断（シール）されている。こ
のチャンバー７内に、清浄な空気（クリーンエア）８
が、ダウンフローにて低速度で供給される。したがっ
て、チャンバー７内には清浄な雰囲気が形成され、その
清浄な雰囲気中で塗液が塗布されることになる。クリー
ンエア８の流れとしては、ダウンフロー以外、水平方向
の一方向流れとしてもよい。
よって囲まれており、その内部は、フィルム通過口以
外、外部雰囲気に対して遮断（シール）されている。こ
のチャンバー７内に、清浄な空気（クリーンエア）８
が、ダウンフローにて低速度で供給される。したがっ
て、チャンバー７内には清浄な雰囲気が形成され、その
清浄な雰囲気中で塗液が塗布されることになる。クリー
ンエア８の流れとしては、ダウンフロー以外、水平方向
の一方向流れとしてもよい。
【００１７】クリーンエア８は、本実施態様では、ＨＥ
ＰＡフィルター９により清浄化した空気として供給さ
れ、その清浄度は、米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓ
ｔａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，０００以下、
好ましくはクラス１００以下にまで高められている。Ｈ
ＥＰＡフィルター９の代わりにＵＬＰＡフィルターを使
用し、より清浄度を高めることも可能である。
ＰＡフィルター９により清浄化した空気として供給さ
れ、その清浄度は、米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓ
ｔａｎｄａｒｄ ２０９）にてクラス１，０００以下、
好ましくはクラス１００以下にまで高められている。Ｈ
ＥＰＡフィルター９の代わりにＵＬＰＡフィルターを使
用し、より清浄度を高めることも可能である。
【００１８】さらに本実施態様では、インラインコータ
ー４とテンター３との間のフィルム搬送部に対しても、
ＨＥＰＡフィルター１０を通したクリーンエア１１が、
ダウンフローにて低速度でフィルム１の未乾燥塗布面１
２と反対側の面に向けて供給されるようになっており、
この搬送部における雰囲気の清浄度もクラス１，０００
以下、好ましくはクラス１００以下にまで高められてい
る。
ー４とテンター３との間のフィルム搬送部に対しても、
ＨＥＰＡフィルター１０を通したクリーンエア１１が、
ダウンフローにて低速度でフィルム１の未乾燥塗布面１
２と反対側の面に向けて供給されるようになっており、
この搬送部における雰囲気の清浄度もクラス１，０００
以下、好ましくはクラス１００以下にまで高められてい
る。
【００１９】このように構成されたインラインコーティ
ング装置においては、クラス１，０００以下の清浄な雰
囲気中で塗液が塗布されるので、塗布工程で混入する異
物は極めて少量に抑えられる。さらに、塗布後乾燥工程
に至るまでの搬送工程においても、クラス１，０００以
下の清浄な雰囲気中でフィルム１が搬送され、未乾燥の
塗液が曝されるのは清浄な雰囲気に限られるので、この
工程でも異物の混入は極めて少量に抑えられる。その結
果、異物混入の極めて少ない、優れた品質の塗膜が形成
されることになる。
ング装置においては、クラス１，０００以下の清浄な雰
囲気中で塗液が塗布されるので、塗布工程で混入する異
物は極めて少量に抑えられる。さらに、塗布後乾燥工程
に至るまでの搬送工程においても、クラス１，０００以
下の清浄な雰囲気中でフィルム１が搬送され、未乾燥の
塗液が曝されるのは清浄な雰囲気に限られるので、この
工程でも異物の混入は極めて少量に抑えられる。その結
果、異物混入の極めて少ない、優れた品質の塗膜が形成
されることになる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のフィルム
の製造方法およびコーティング装置によれば、清浄度の
極めて高い雰囲気中で塗液を塗布するようにしたので、
異物混入の極めて少ない優れた品質の塗膜が形成された
フィルム製品を得ることができる。
の製造方法およびコーティング装置によれば、清浄度の
極めて高い雰囲気中で塗液を塗布するようにしたので、
異物混入の極めて少ない優れた品質の塗膜が形成された
フィルム製品を得ることができる。
【図１】本発明の一実施態様に係るコーティング装置を
適用したフィルム製造装置の概略構成図である。
適用したフィルム製造装置の概略構成図である。
１ フィルム
２ 縦延伸機
３ テンター（ドライヤー）
４ インラインコーター
５ 塗液
６ コーターヘッド
７ チャンバー
８、１１ クリーンエア
９、１０ ＨＥＰＡフィルター
１２ 未乾燥塗布面
Claims (8)
- 【請求項１】 連続的にフィルムを製造するフィルム製
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布するインラインコーティング工程を有するフィルム
の製造方法であって、塗液を、塵埃含有量が米国連邦規
格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９）にて
クラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で塗布すること
を特徴とするフィルムの製造方法。 - 【請求項２】 塗液の塗布工程と乾燥工程の間において
もフィルムをクラス１，０００以下の清浄な雰囲気中で
搬送する、請求項１に記載のフィルムの製造方法。 - 【請求項３】 清浄な雰囲気がクラス１００以下の雰囲
気である、請求項１または２に記載のフィルムの製造方
法。 - 【請求項４】 清浄な雰囲気を形成する清浄な空気を一
方向流れで供給する、請求項１〜３のいずれかに記載の
フィルムの製造方法。 - 【請求項５】 連続的にフィルムを製造するフィルム製
造工程中の一部で、走行中のフィルムに連続的に塗液を
塗布するコーティング装置であって、コーティング部を
囲むチャンバーと、該チャンバー内に塵埃含有量が米国
連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０
９）にてクラス１，０００以下の清浄な空気を供給する
手段とを有することを特徴とするコーティング装置。 - 【請求項６】 塗液の塗布装置と乾燥装置の間のフィル
ム搬送部にも、クラス１，０００以下の清浄な空気を供
給する手段が設けられている、請求項５に記載のコーテ
ィング装置。 - 【請求項７】 清浄な空気を供給する手段がＨＥＰＡフ
ィルターを備えている、請求項５または６に記載のコー
ティング装置。 - 【請求項８】 清浄な空気を供給する手段がＵＬＰＡフ
ィルターを備えている、請求項５または６に記載のコー
ティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001305058A JP2003112109A (ja) | 2001-10-01 | 2001-10-01 | フィルムの製造方法およびコーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001305058A JP2003112109A (ja) | 2001-10-01 | 2001-10-01 | フィルムの製造方法およびコーティング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003112109A true JP2003112109A (ja) | 2003-04-15 |
Family
ID=19124904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001305058A Pending JP2003112109A (ja) | 2001-10-01 | 2001-10-01 | フィルムの製造方法およびコーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003112109A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007530254A (ja) * | 2004-03-26 | 2007-11-01 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | コーティング方法および装置 |
| US7918038B2 (en) | 2000-09-24 | 2011-04-05 | 3M Innovative Properties Company | Vapor collection method and apparatus |
| US7918039B2 (en) | 2000-09-24 | 2011-04-05 | 3M Innovative Properties Company | Coating process and apparatus |
| JP2015085221A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 日本ゼオン株式会社 | 光学部材の製造方法 |
| JP2019029282A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 株式会社日本製鋼所 | Ｌｉｂ用セパレータ製造システム |
-
2001
- 2001-10-01 JP JP2001305058A patent/JP2003112109A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7918039B2 (en) | 2000-09-24 | 2011-04-05 | 3M Innovative Properties Company | Coating process and apparatus |
| US7971370B2 (en) | 2000-09-24 | 2011-07-05 | 3M Innovative Properties Company | Vapor collection method and apparatus |
| JP2007530254A (ja) * | 2004-03-26 | 2007-11-01 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | コーティング方法および装置 |
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| JP2019029282A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 株式会社日本製鋼所 | Ｌｉｂ用セパレータ製造システム |
| CN111033800A (zh) * | 2017-08-02 | 2020-04-17 | 株式会社日本制钢所 | 多层膜的制造方法 |
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