JP2003098100A - Surface defect examining device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば写真用フィ
ルム等のウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラ
インに設置される表面欠陥検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus installed in a production line for processing a web such as a photographic film while continuously conveying it.
【0002】[0002]
【従来の技術】写真用フィルム等のウェブを連続して搬
送しながら加工する工程においては、ウェブの表面を検
査して、傷や異物付着等の表面欠陥が検知された場合に
は、この表面欠陥の箇所を後の断裁・包装工程において
除去する必要がある。したがって、ウェブの表面欠陥の
大きさ・種類等の情報とともに、表面欠陥の生じた位置
の情報を正確に検知、記録する必要がある。この表面欠
陥の検査を行う装置としては、一般に、光学的にウェブ
の表面欠陥を検知する装置が知られている。この装置
は、ウェブに白色光やレーザー光を照射し、その透過光
や反射光を受光し、ウェブの正常部位と欠陥部の相違を
出力信号から検出することにより、ウェブの表面欠陥を
検査する装置である。そして、前記出力信号の中からウ
ェブの表面欠陥相当の信号を検出することにより、ウェ
ブの表面欠陥が検知される。2. Description of the Related Art In the process of continuously transporting a web such as a photographic film, when the surface of the web is inspected and a surface defect such as a scratch or adhesion of foreign matter is detected, the surface of the web is detected. It is necessary to remove the defective portion in the subsequent cutting / packaging process. Therefore, it is necessary to accurately detect and record the information on the position where the surface defect occurs together with the information on the size and type of the surface defect of the web. As a device for inspecting this surface defect, a device for optically detecting the surface defect of the web is generally known. This device inspects the surface defects of the web by irradiating the web with white light or laser light, receiving the transmitted light or reflected light, and detecting the difference between the normal part and the defective part of the web from the output signal. It is a device. Then, the surface defect of the web is detected by detecting a signal corresponding to the surface defect of the web from the output signals.
【0003】ところで、前記出力信号には、表面欠陥相
当の信号以外の、ウェブの表面の粗度や色合いのムラ等
に起因する、いわゆる地合ノイズの信号が含まれてお
り、通常は、表面欠陥相当の信号を検知する際の阻害と
なるノイズとして、電気的に除去したり抑制する処理を
加えている。By the way, the output signal includes a signal of so-called background noise, which is caused by the roughness of the surface of the web or the unevenness of the hue, in addition to the signal corresponding to the surface defect. As noise that obstructs detection of a signal corresponding to a defect, a process of electrically removing or suppressing the noise is added.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】一方、生産加工設備の
異常や条件の変動や、製品品質上問題とならない程度の
ウェブの表面の僅かな歪等の表面状態は、前記地合ノイ
ズ相当の信号の発生頻度や発生の特徴に顕著に現れる場
合がある。つまり、生産加工設備の異常や条件の変化
を、専用の装置を設置することなく、表面欠陥装置の地
合ノイズ相当の信号を検出・分析することにより捉える
ことができれば、容易かつ安価にウェブの生産工程にフ
ィードバックすることが可能となる。すなわち、前記地
合ノイズ相当の信号とウェブの表面状態や生産条件等と
の相関関係を把握することができれば、ウェブの生産性
を容易かつ安価に向上させることが可能となる。On the other hand, surface conditions such as abnormalities in production and processing equipment, fluctuations in conditions, and slight distortions on the surface of the web to the extent that they do not pose a problem in product quality indicate a signal equivalent to the formation noise. Occasionally, the occurrence frequency and characteristics of occurrence may be noticeable. In other words, if it is possible to detect abnormalities and changes in conditions of production processing equipment by detecting and analyzing signals equivalent to formation noise of surface defect equipment without installing a dedicated device, it is easy and cheap for web It is possible to feed back to the production process. That is, if the correlation between the signal corresponding to the background noise and the surface condition of the web, the production conditions, etc. can be grasped, the productivity of the web can be improved easily and inexpensively.
【0005】本発明は、前記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、通常地合ノイズとして排除されるべき
地合ノイズ相当の信号を検出するとともに、この地合ノ
イズ相当の信号の量や周波数等の特徴を分析することが
可能となる表面欠陥検査装置を提供することである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and detects a signal corresponding to background noise that should be eliminated as normal background noise, and the amount of the signal corresponding to background noise. An object of the present invention is to provide a surface defect inspection apparatus capable of analyzing characteristics such as frequency and frequency.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項1記載の表面欠陥検出装置は、例えば図1
に示すように、ウェブの表面欠陥を検査するために、投
光部からウェブに向けて投光される光の透過光もしくは
反射光を受光部において受光するとともに、この受光部
からの出力信号によって表面欠陥を検知する表面欠陥検
査装置において、前記出力信号の中からウェブの表面欠
陥相当の信号を検出するための表面欠陥信号検出手段
と、前記出力信号の中から地合ノイズ相当の信号を検出
するための地合ノイズ信号検出手段と、を備えているこ
とを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, the surface defect detecting apparatus according to claim 1 has a structure as shown in FIG.
As shown in, in order to inspect the surface defects of the web, the transmitted light or the reflected light of the light projected from the light projecting portion toward the web is received by the light receiving portion, and the output signal from this light receiving portion is used. In a surface defect inspection apparatus for detecting a surface defect, a surface defect signal detecting means for detecting a signal corresponding to a surface defect of a web from the output signal, and a signal equivalent to formation noise from the output signal is detected. And a formation noise signal detecting means for performing the operation.
【0007】請求項1記載の発明によれば、前記表面欠
陥信号検出手段によって、前記出力信号の中からウェブ
の表面欠陥相当の信号が検出されるため、この信号か
ら、表面欠陥の大きさ・種類等とともに表面欠陥の生じ
た位置や発生時刻を検知することが可能となる。According to the first aspect of the present invention, the surface defect signal detecting means detects a signal corresponding to the surface defect of the web from the output signal. It is possible to detect the position where the surface defect occurs and the time when the surface defect occurs as well as the type.
【0008】また、請求項1記載の発明によれば、前記
地合ノイズ信号検出手段によって、前記出力信号の中か
ら地合ノイズ相当の信号が検出される。ところで、生産
加工設備の異常や条件の変動や、製品品質上問題となら
ない程度のウェブの表面の僅かな歪等の表面状態は、前
記地合ノイズ相当の信号の発生頻度や発生の特徴に顕著
に現れる場合がある。つまり、生産加工設備の異常や条
件の変化を、専用の装置を設置することなく、表面欠陥
装置の地合ノイズ相当の信号を検出・分析することによ
り捉えることができれば、容易かつ安価にウェブの生産
工程にフィードバックすることが可能となる。すなわ
ち、前記地合ノイズ相当の信号を分析することが可能と
なり、これにより、容易かつ安価に生産工程にフィード
バックしたり、早期に適切な工程アクションを行ったり
することが可能となる。According to the invention of claim 1, the formation noise signal detecting means detects a signal corresponding to the formation noise from the output signals. By the way, surface conditions such as abnormalities in production and processing equipment, fluctuations in conditions, and slight distortions on the surface of the web to the extent that they do not pose a problem in product quality are remarkable in the frequency and characteristics of occurrence of signals corresponding to the background noise. May appear in. In other words, if it is possible to detect abnormalities and changes in conditions of production processing equipment by detecting and analyzing signals equivalent to formation noise of surface defect equipment without installing a dedicated device, it is easy and cheap for web It is possible to feed back to the production process. That is, it is possible to analyze a signal corresponding to the background noise, and thereby, it is possible to easily and inexpensively feed back to the production process and take an appropriate process action early.
【0009】前記ウェブには、例えば、写真用フィルム
等の感光材料の生産工程において形成されるウェブがあ
る。The web includes, for example, a web formed in the process of producing a photosensitive material such as a photographic film.
【0010】前記表面欠陥検査装置とは、光学的にウェ
ブの表面欠陥を検査する装置である。すなわち、投光部
からウェブに光を投光するとともに、この光の透過光や
反射光を受光部において受光し、ウェブの正常部位と欠
陥部との相違を出力信号から検出することにより、ウェ
ブの表面欠陥を検査する装置である。The surface defect inspection device is a device for optically inspecting the surface defect of the web. That is, by projecting light from the light projecting unit onto the web, and receiving transmitted light or reflected light of this light at the light receiving unit and detecting the difference between the normal portion and the defective portion of the web from the output signal, This is an apparatus for inspecting surface defects of.
【0011】投光部からウェブに向けて投光される光に
は、例えば、レーザー光、あるいはハロゲンランプによ
る白色光源を使用する。As the light projected from the light projecting portion toward the web, for example, a laser light or a white light source such as a halogen lamp is used.
【0012】前記受光部としては、例えば、CCD(C
harge Coupled Device)ラインセ
ンサがある。このCCDラインセンサの画素の並びとウ
ェブの巾手方向を略一致させて配置することにより、ウ
ェブの表面状態を映像信号として、巾手方向に1ライン
スキャン毎に取り込むことができる。As the light receiving portion, for example, a CCD (C
There is a charge coupled device line sensor. By arranging the pixels of the CCD line sensor and the width direction of the web so as to substantially coincide with each other, the surface state of the web can be captured as a video signal for each line scan in the width direction.
【0013】前記表面欠陥信号検出手段や前記地合ノイ
ズ信号検出手段としては、例えば、CPU(Centr
al Processing Unit)を利用したハ
ードウェア、ソフトウェア処理で実現できる。As the surface defect signal detecting means and the formation noise signal detecting means, for example, a CPU (Center)
It can be realized by hardware and software processing using al processing unit).
【0014】なお、前記したような光学的な表面欠陥検
知装置において検出される地合ノイズ相当の信号の原因
としては、ウェブの表面の粗度や色合い等のムラの他、
例えば、塗布工程における塗布層内の素材の不均一性、
支持体や塗布層の屈折率や分子的な配向状態等の変化、
乾燥条件や乾燥履歴がウェブの表面や塗布層の物理的な
変化に影響して生じる光学的な歪み、等がある。The cause of the signal corresponding to background noise detected by the optical surface defect detection device as described above is not only unevenness such as roughness and color tone of the web surface,
For example, non-uniformity of the material in the coating layer in the coating process,
Changes in the refractive index and molecular orientation of the support and coating layer,
There are optical distortions and the like caused by the drying conditions and the drying history affecting the physical changes of the surface of the web and the coating layer.
【0015】さらに前記したような、表面のムラや物性
変化、を引き起こす原因となる生産加工設備の異常や条
件変化としては、例えば、塗布液の不完全な攪拌作業、
塗布マシンへの老廃物等の付着、乾燥工程におけるウェ
ブの長手や巾手方向での温度分布のミスマッチ、ウェブ
のロット間での僅かな物性の相違、等がある。Further, as the above-mentioned abnormalities in production processing equipment and changes in conditions that cause unevenness of the surface and changes in physical properties, for example, incomplete stirring of the coating liquid,
There are adherence of waste materials to the coating machine, mismatch of temperature distribution in the lengthwise direction and width direction of the web in the drying process, and slight difference in physical properties between web lots.
【0016】請求項2記載の発明は、例えば図2に示す
ように、請求項1記載の表面欠陥検査装置において、前
記表面欠陥信号検出手段は、ウェブの表面欠陥相当の信
号を抽出するための表面欠陥信号抽出閾値を設定するこ
とで表面欠陥相当の信号を検出し、前記地合ノイズ信号
検出手段は、地合ノイズ相当の信号を検知するための地
合ノイズ信号検知閾値を設定することで地合ノイズ相当
の信号を検出することを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, for example, as shown in FIG. 2, in the surface defect inspection apparatus according to the first aspect, the surface defect signal detecting means extracts a signal corresponding to a surface defect of the web. By detecting the signal corresponding to the surface defect by setting the surface defect signal extraction threshold, the formation noise signal detection means, by setting the formation noise signal detection threshold for detecting the signal corresponding to the formation noise The feature is that a signal corresponding to formation noise is detected.
【0017】請求項2記載の発明によれば、ウェブの表
面欠陥相当の信号が前記表面欠陥信号抽出閾値によって
抽出されることにより検出される。すなわち、ウェブの
表面欠陥相当の信号を前記表面欠陥信号抽出閾値によっ
て抽出することにより、ウェブの表面欠陥相当の信号を
確実に検出することが可能となる。According to the second aspect of the present invention, the signal corresponding to the surface defect of the web is detected by being extracted by the surface defect signal extraction threshold value. That is, by extracting the signal corresponding to the surface defect of the web by the surface defect signal extraction threshold value, the signal corresponding to the surface defect of the web can be reliably detected.
【0018】また、請求項2記載の発明によれば、地合
ノイズ相当の信号が前記地合ノイズ信号検知閾値によっ
て検知されることにより検出される。すなわち、地合ノ
イズ相当の信号を前記地合ノイズ信号検知閾値によって
検知することにより、地合ノイズ相当の信号を確実に検
出することが可能となる。According to the second aspect of the present invention, a signal corresponding to formation noise is detected by being detected by the formation noise signal detection threshold value. That is, by detecting the signal corresponding to the formation noise with the formation noise signal detection threshold value, the signal corresponding to the formation noise can be reliably detected.
【0019】なお、前記地合ノイズ信号検知閾値として
は、例えば、地合ノイズ相当の信号の振幅の略平均値を
設定したり、あるいはこの略平均値に所定の係数を乗じ
た値を設定したりすればよい。さらに、前記地合ノイズ
信号検知閾値は、状況に応じて複数備えられてもよい。As the formation noise signal detection threshold, for example, a substantially average value of the amplitude of the signal corresponding to the formation noise is set, or a value obtained by multiplying the substantially average value by a predetermined coefficient is set. You can do it. Further, a plurality of formation noise signal detection thresholds may be provided depending on the situation.
【0020】請求項3記載の発明は、例えば図3に示す
ように、請求項2記載の表面欠陥検査装置において、前
記地合ノイズ信号検出手段は、前記地合ノイズ信号検知
閾値を地合ノイズ相当の信号の振幅の略平均値に設定
し、この地合ノイズ信号検知閾値を地合ノイズ相当の信
号が一定期間にクロスした回数をカウントすることを特
徴としている。According to a third aspect of the present invention, for example, as shown in FIG. 3, in the surface defect inspection apparatus according to the second aspect, the formation noise signal detecting means sets the formation noise signal detection threshold to the formation noise. It is characterized in that it is set to a substantially average value of the amplitude of the corresponding signal, and the number of times the signal corresponding to the forming noise crosses this forming noise signal detection threshold value in a certain period.
【0021】請求項3記載の発明によれば、前記地合ノ
イズ信号検知閾値は、地合ノイズ相当の信号の振幅の略
平均値に設定され、この地合ノイズ信号検知閾値を地合
ノイズ相当の信号が一定期間にクロスした回数がカウン
トされる。このカウント値によって、地合ノイズ相当の
信号の一つの大きな特徴である、地合ノイズの周期や周
波数を求めることが可能となる。According to the third aspect of the present invention, the formation noise signal detection threshold is set to a substantially average value of the amplitude of the signal corresponding to formation noise, and the formation noise signal detection threshold is set to the formation noise. The number of times the signal of crosses in a certain period is counted. With this count value, it becomes possible to obtain the period or frequency of formation noise, which is one of the major characteristics of the signal corresponding to formation noise.
【0022】請求項4記載の発明は、請求項1〜3のい
ずれかに記載の表面欠陥検査装置において、前記出力信
号の振幅実効値を算出し、地合ノイズ相当の信号を検出
することを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in the surface defect inspection apparatus according to any of the first to third aspects, the amplitude effective value of the output signal is calculated and a signal corresponding to background noise is detected. It has a feature.
【0023】請求項4記載の発明によれば、前記検出手
段により検出信号の振幅実効値が算出される。ところ
で、一般に表面欠陥相当の信号は離散的に検出されるた
め、この振幅実効値によって表面欠陥相当の信号はほと
んど無視できるレベルに平滑化されるので、一定期間内
での地合ノイズ相当の信号のトータルの平均値に相当す
る強度を把握することが可能となる。したがって、算出
される振幅実効値の大小によって、例えば、ウェブの塗
布加工工程における温度変化等が生じている区間の長短
を推測したり、塗布層内の素材の不均一性を推測したり
することが可能となる。According to the invention of claim 4, the detection means calculates the effective amplitude value of the detection signal. By the way, since signals corresponding to surface defects are generally detected discretely, the signals corresponding to surface defects are smoothed to a level that can be almost ignored by the amplitude effective value. It is possible to grasp the intensity corresponding to the total average value of. Therefore, depending on the magnitude of the calculated amplitude effective value, for example, it is possible to estimate the length of the section where the temperature change occurs in the web coating process, or to estimate the non-uniformity of the material in the coating layer. Is possible.
【0024】なお、実効値とは、信号波形の瞬時値の2
乗平均の和の平行根で表され、RMS(Root Me
an Square)とも呼ばれる。また、前記のよう
に定義付けられる実効値でなくても、類似もしくは近似
した計算方法で算出される値やRMS−DCコンバータ
ーと呼ばれるICによって電気回路を構成して得られる
値によって、地合ノイズ相当の信号のトータルの平均値
に相当する強度を把握することが可能であることは勿論
である。The effective value is 2 of the instantaneous value of the signal waveform.
It is represented by the parallel root of the sum of the root mean squares, and RMS (Root Me
It is also called an Square. Moreover, even if the effective value is not defined as described above, the formation noise may be calculated by a value calculated by a similar or approximate calculation method or a value obtained by configuring an electric circuit by an IC called an RMS-DC converter. Of course, it is possible to grasp the intensity corresponding to the total average value of the corresponding signals.
【0025】請求項5記載の発明は、請求項1〜4のい
ずれかに記載の表面欠陥検査装置において、前記地合ノ
イズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信号、あるい
は、この信号から算出される様々な値を、予め想定され
た、地合ノイズ相当の信号、あるいは、この信号から算
出される様々な値と比較することを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, in the surface defect inspection apparatus according to any of the first to fourth aspects, the formation noise signal detecting means is a signal corresponding to the formation noise, or is calculated from this signal. It is characterized in that various values that are set are compared with a signal that corresponds to a formation noise, which is assumed in advance, or various values that are calculated from this signal.
【0026】請求項5記載の発明によれば、前記地合ノ
イズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信号、あるい
は、この信号から算出される様々な値を、予め想定され
た、地合ノイズ相当の信号、あるいは、この信号から算
出される様々な値と比較するため、地合ノイズ相当の信
号の変動を、より確実に捉えることが可能となる。According to the fifth aspect of the present invention, the formation noise signal detecting means uses a signal equivalent to the formation noise, or various values calculated from this signal, which are estimated in advance. Since it is compared with a corresponding signal or various values calculated from this signal, it is possible to more reliably capture the fluctuation of the signal corresponding to formation noise.
【0027】なお、予め想定される地合ノイズ相当の信
号は、例えば、同一ウェブの異なった区間で検出される
地合ノイズ相当の信号であってもよいし、異なった時間
に加工されるウェブから検出される地合ノイズ相当の信
号であってもよい。また、地合ノイズ相当の信号から算
出される様々な値、とは、例えば、前記したような、振
幅の略平均値や実効値がある。The signal corresponding to the background noise that is assumed in advance may be, for example, a signal corresponding to the background noise detected in different sections of the same web, or a web processed at different times. It may be a signal corresponding to the formation noise detected from. Further, the various values calculated from the signal corresponding to the formation noise include, for example, the approximately average value of the amplitude and the effective value as described above.
【0028】請求項6記載の発明は、請求項1〜5のい
ずれかに記載の表面欠陥検査装置において、前記地合ノ
イズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信号、あるい
は、この信号から算出される様々な値の、ウェブの長手
方向における一定距離毎の変化率を算出することを特徴
としている。According to a sixth aspect of the present invention, in the surface defect inspection apparatus according to any of the first to fifth aspects, the formation noise signal detecting means is a signal corresponding to the formation noise, or is calculated from this signal. It is characterized in that the rate of change of each of the various values obtained is calculated for each constant distance in the longitudinal direction of the web.
【0029】請求項6記載の発明によれば、地合ノイズ
相当の信号、あるいは、この信号から算出される様々な
値の、ウェブの長手方向における一定距離毎の変化率が
算出される。これにより、例えば、連続する加工工程に
おける生産加工設備の異常箇所や条件の変動箇所、例え
ば、加工機械の条件変動が発生した箇所や温度変化が発
生している箇所等を、より確実に捉えることが可能とな
る。さらに前記変化率を捉えることにより、これらの条
件変動の発生の程度、支障等の推定が可能となる。According to the sixth aspect of the present invention, the rate of change of a signal corresponding to formation noise or various values calculated from this signal at constant distances in the longitudinal direction of the web is calculated. As a result, for example, it is possible to more reliably capture abnormal locations of production processing equipment in continuous processing steps and locations where conditions change, such as locations where processing machine conditions have changed or where temperature changes have occurred. Is possible. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like.
【0030】請求項7記載の発明は、請求項1〜6のい
ずれかに記載の表面欠陥検査装置において、前記地合ノ
イズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信号、あるい
は、この信号から算出される様々な値の、ウェブの長手
方向における一定時間毎の変化率を算出することを特徴
としている。According to a seventh aspect of the present invention, in the surface defect inspection apparatus according to any of the first to sixth aspects, the formation noise signal detecting means is a signal corresponding to the formation noise, or is calculated from this signal. It is characterized in that the rate of change of the various values obtained in the longitudinal direction of the web is calculated at regular time intervals.
【0031】請求項7記載の発明によれば、地合ノイズ
相当の信号、あるいは、この信号から算出される様々な
値の、ウェブの長手方向における一定時間毎の変化率が
算出される。これにより、例えば、連続する加工工程に
おける生産加工設備の異常箇所や条件の変動箇所、例え
ば、加工機械の条件変動が発生した箇所や温度変化が発
生している箇所等を、より確実に捉えることが可能とな
る。さらに前記変化率を捉えることにより、これらの条
件変動の発生の程度、支障等の推定が可能となる。According to the seventh aspect of the present invention, the rate of change of the signal corresponding to formation noise or various values calculated from this signal in the longitudinal direction of the web at constant time intervals is calculated. As a result, for example, it is possible to more reliably capture abnormal locations of production processing equipment in continuous processing steps and locations where conditions change, such as locations where processing machine conditions have changed or where temperature changes have occurred. Is possible. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like.
【0032】請求項8記載の発明は、例えば図1に示す
ように、請求項1〜7のいずれかに記載の表面欠陥検査
装置において、投光部からウェブに向けて投光される光
として白色光源を用いるとともに、受光部としてCCD
(Charge Coupled Device)ライ
ンセンサを用いることを特徴としている。The invention according to claim 8 is, for example, as shown in FIG. 1, in the surface defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7, as the light projected from the light projecting portion toward the web. A white light source is used and a CCD is used as a light receiving unit.
A feature is that a (Charge Coupled Device) line sensor is used.
【0033】請求項8記載の発明によれば、前記表面欠
陥検査装置には、投光部からウェブに向けて投光される
光としてハロゲンランプ等による白色光源が用いられる
とともに、受光部としてCCDラインセンサが用いられ
る。白色光源を用いることにより、ウェブの材質、厚さ
等の影響を受けにくくするとともに、装置を安価に構成
することができる。According to the invention of claim 8, a white light source such as a halogen lamp is used as the light projected from the light projecting portion toward the web in the surface defect inspection device, and a CCD is used as the light receiving portion. A line sensor is used. By using the white light source, it is possible to reduce the influence of the material and thickness of the web and to make the device inexpensive.
【0034】また、CCDラインセンサは、画素が多数
配列された構造で、一つ一つの画素が受光した光強度を
記憶できるため、強度と受光パターンの広がりやその特
徴を同時に検知することができ、表面欠陥の検出のみな
らず、その特徴抽出が可能となる。なお、CCDを2次
元配列させたCCDカメラでも同等の構成を実現できる
ことは勿論である。Further, since the CCD line sensor has a structure in which a large number of pixels are arranged and can store the light intensity received by each pixel, the intensity and the spread of the light receiving pattern and its characteristics can be detected at the same time. It is possible not only to detect surface defects but also to extract their features. Needless to say, a CCD camera in which CCDs are arranged two-dimensionally can also realize the same configuration.
【0035】[0035]
【発明の実施の形態】図1において、符号1は本発明に
係る表面欠陥検査装置を示す。表面検査欠陥装置1は、
図1に示すように、PET(ポリエチレンテレフタレー
ト)等の支持体を連続して搬送しながら感光層を塗布す
る生産ラインに設置される。前記表面欠陥検査装置1に
よって、ウェブaである支持体および感光層等に生じた
傷、気泡、異物付着物等の表面欠陥を検出して排除する
ために、ウェブaの表面欠陥の検査が行われる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a surface defect inspection apparatus according to the present invention. The surface inspection defect device 1 is
As shown in FIG. 1, it is installed in a production line for coating a photosensitive layer while continuously conveying a support such as PET (polyethylene terephthalate). The surface defect inspection apparatus 1 inspects the surface defects of the web a in order to detect and eliminate surface defects such as scratches, bubbles, and foreign matter deposits generated on the support and the photosensitive layer that are the web a. Be seen.
【0036】前記表面欠陥検査装置1は、ウェブaの表
面に、ハロゲンランプb等の白色照明光を投光する投光
部3、この投光部3から投光され、ウェブaを透過した
白色照明光bを受光するとともに、ウェブaの表面欠陥
を検知するために、所定のアナログ信号を出力する受光
部としてのCCDラインセンサ4、このCCDラインセ
ンサ4からのアナログ信号をデジタル信号に変換する、
図示しないA/D変換器、前記表面欠陥の巾手や長手の
位置を検知するための手段、および、この手段を構成す
る機器からの出力信号を検知するとともに相互に関連付
けて結合するCPU等を利用したモジュール2、これら
の情報を記録する、図示しないディスク記録媒体、モジ
ュール2から出力される情報を表示する、図示しないモ
ニタやプリンタ、等から概略構成されている。The surface defect inspection apparatus 1 has a light projecting section 3 for projecting white illumination light such as a halogen lamp b on the surface of the web a, and a white color projected from the light projecting section 3 and transmitted through the web a. In order to detect the surface defect of the web a while receiving the illumination light b, a CCD line sensor 4 as a light receiving portion that outputs a predetermined analog signal, and converts the analog signal from this CCD line sensor 4 into a digital signal. ,
An A / D converter (not shown), means for detecting the position of the width and the length of the surface defect, and a CPU etc. for detecting output signals from the devices constituting this means and connecting them in association with each other The module 2 that is used, a disk recording medium (not shown) that records these pieces of information, a monitor and a printer (not shown) that displays information output from the module 2, and the like are roughly configured.
【0037】以下に表面欠陥検査装置1によるウェブa
の表面欠陥の検査工程を説明する。Below, the web a by the surface defect inspection apparatus 1 is used.
The process of inspecting the surface defects will be described.
【0038】この表面欠陥検査装置1によるウェブaの
表面の検査は、ウェブaを断裁する前の工程で、連続し
て搬送されるウェブaの表面にハロゲンランプbによる
白色照明光を照射して、この透過光の光量変化から表面
欠陥を検知するとともに、この表面欠陥の位置情報を検
知することにより行われる。The surface of the web a is inspected by the surface defect inspection apparatus 1 by irradiating the surface of the web a, which is continuously conveyed, with white illumination light from the halogen lamp b in a step before cutting the web a. This is performed by detecting the surface defect from the change in the amount of transmitted light and detecting the position information of the surface defect.
【0039】先ず、透過光を受光する受光部であるCC
Dラインセンサ4は、透過光を受光しながら、この透過
光を電子情報、すなわち、画素毎の受光量強度に置換さ
れ、映像信号としてカメラから出力される。すなわち、
透過光量の変化が生じた場合には、その変化がアナログ
信号の形状や強度の変化として検出される。First, CC which is a light receiving portion for receiving transmitted light
While receiving the transmitted light, the D line sensor 4 replaces the transmitted light with electronic information, that is, the received light intensity of each pixel, and outputs the image signal as a video signal from the camera. That is,
When a change in the amount of transmitted light occurs, the change is detected as a change in the shape or intensity of the analog signal.
【0040】次に、CCDラインセンサ4から出力され
た映像信号を、図示しないA/D変換器によって、図2
に示す波形6の基となるデジタル信号に変換する。変換
されたデジタル信号に所定のフィルター処理、例えば、
微分処理や高周波ノイズ成分を除去する処理を施し、図
2に示す波形7の基となる、特徴が抽出されたデジタル
信号となるようにする。Next, the video signal output from the CCD line sensor 4 is processed by an A / D converter not shown in FIG.
It is converted into a digital signal which is the basis of the waveform 6 shown in FIG. Predetermined filtering on the converted digital signal, for example,
A differentiating process or a process of removing a high frequency noise component is performed so as to obtain a digital signal from which a characteristic, which is the basis of the waveform 7 shown in FIG. 2, is extracted.
【0041】なお、前記A/D変換器としては、平均的
な地合ノイズ相当の信号を2ビット以上分解できる機能
を有するものである。通常、予め発生が予測される地合
ノイズレベルをA/D変換してデータとして扱う必要は
ないが、地合ノイズ相当の信号を検知・利用する本発明
では、欠陥検出と同一のA/D変換出力データを利用す
る場合は、地合ノイズをも十分分解できるA/D変換器
が必要になるということである。The A / D converter has a function of decomposing a signal corresponding to an average background noise by 2 bits or more. Normally, it is not necessary to A / D convert the formation noise level predicted to occur in advance and handle it as data, but in the present invention that detects and utilizes a signal equivalent to formation noise, the same A / D as for defect detection is used. This means that if the converted output data is used, an A / D converter that can sufficiently decompose background noise is required.
【0042】次に、前記のようにフィルター処理された
デジタル信号に対して、予め設定された、表面欠陥相当
の信号を検出するための閾値である表面欠陥信号抽出コ
ンパレータ8や、図3(a)にも示す、地合ノイズ相当
の信号を検知するための閾値である地合ノイズ信号検知
コンパレータ9の値と比較する。この比較作業はモジュ
ール2によって行われ、表面欠陥相当の信号7aである
か否か、あるいは、地合ノイズ相当の信号であるか否
か、が判定される。ここで、表面欠陥信号抽出コンパレ
ータ8や地合ノイズ信号検知コンパレータ9は、実験的
・経験的に設定されたものであっても、理論式によって
導き出されたものであってもよい。なお、表面欠陥信号
抽出コンパレータ8、地合ノイズ信号検知コンパレータ
9各々の前に、前記フィルター等の回路を設けて各々の
得たい特徴信号を抽出しやすい前処理を行ってもよい。Next, with respect to the digital signal filtered as described above, a surface defect signal extraction comparator 8 which is a preset threshold value for detecting a signal corresponding to a surface defect, and FIG. The value of the formation noise signal detection comparator 9, which is a threshold value for detecting a signal corresponding to the formation noise, which is also shown in FIG. This comparison operation is performed by the module 2 and it is determined whether the signal is a signal 7a corresponding to a surface defect or a signal corresponding to formation noise. Here, the surface defect signal extraction comparator 8 and the formation noise signal detection comparator 9 may be experimentally / empirically set or may be derived by a theoretical formula. A circuit such as the filter may be provided in front of each of the surface defect signal extraction comparator 8 and the formation noise signal detection comparator 9 to perform preprocessing for easily extracting a desired feature signal of each.
【0043】なお、地合ノイズ信号検知コンパレータ9
の値との比較方法であるが、例えば、図3(b)に示す
ように、一定期間を示す所定の測定ゲート10を設定す
るとともに、図3(c)に示すように、地合ノイズ信号
検知コンパレータ9を前記測定ゲート10内でクロスし
た地合ノイズ相当の信号の回数をカウントする。このカ
ウント値によって、地合ノイズ相当の信号の一つの大き
な特徴である、周期や周波数を求めることが可能とな
る。The formation noise signal detection comparator 9
As shown in FIG. 3 (b), a predetermined measurement gate 10 indicating a certain period is set, and as shown in FIG. 3 (c), the formation noise signal is compared. The number of times the detection comparator 9 crosses in the measurement gate 10 the number of signals corresponding to background noise is counted. With this count value, it is possible to obtain the period and frequency, which are one of the major features of the signal corresponding to background noise.
【0044】以下に、地合ノイズ相当の信号の他の有効
な分析方法を示す。Another effective analysis method of the signal corresponding to background noise will be described below.
【0045】例えば、モジュール2によって出力信号の
振幅実効値を算出してもい。なお、実効値とは、信号波
形の瞬時値の2乗平均の和の平行根で表され、RMS
(Root Mean Square)とも呼ばれる。
一般に表面欠陥相当の信号は離散的に検出されるため、
この振幅実効値によって表面欠陥相当の信号はほとんど
無視できるレベルに平滑化されるので、一定期間内での
地合ノイズ相当の信号のトータルの平均値に相当する強
度を把握することが可能となる。For example, the module 2 may calculate the effective amplitude value of the output signal. The RMS value is expressed as the parallel root of the sum of the root mean square of the instantaneous values of the signal waveform, and RMS
It is also called (Root Mean Square).
In general, signals corresponding to surface defects are detected discretely,
Since the signal corresponding to the surface defect is smoothed to a level that can be almost ignored by the effective value of the amplitude, it is possible to grasp the intensity corresponding to the total average value of the signals corresponding to formation noise within a certain period. .
【0046】また、地合ノイズ相当の信号、あるいは、
この信号から算出される様々な値を、予め想定してお
き、検出される地合ノイズ相当の信号、あるいは、この
信号から算出される様々な値とモジュール2によって比
較する作業も有効である。予め想定される地合ノイズ相
当の信号は、例えば、同一ウェブの異なった区間で検出
される地合ノイズ相当の信号であってもよいし、異なっ
た時間に加工されるウェブから検出される地合ノイズ相
当の信号であってもよい。A signal equivalent to background noise, or
It is also effective to assume various values calculated from this signal in advance and compare the detected signal corresponding to background noise or various values calculated from this signal by the module 2. The signal corresponding to the ground noise assumed in advance may be, for example, a signal corresponding to the ground noise detected in different sections of the same web, or a signal detected from the webs processed at different times. It may be a signal corresponding to combined noise.
【0047】さらに、地合ノイズ相当の信号、あるい
は、この信号から算出される様々な値の、ウェブの長手
方向における一定距離もしくは一定時間毎の変化率を算
出してもよい。これにより、例えば、連続する加工工程
における生産加工設備の異常箇所や条件の変動箇所、例
えば、加工機械の条件変動が発生した箇所や温度変化が
発生している箇所等を、より確実に捉えることが可能と
なる。さらに前記変化率を捉えることにより、これらの
条件変動の発生の程度、支障等の推定が可能となる。な
お、ウェブの生産条件に応じて、一定距離毎にあるいは
一定時間毎にウェブの長手方向における変化率を算出し
て工程監視を行えばよいが、両者を組み合わせてもよい
ことは勿論である。Further, the rate of change of a signal corresponding to background noise or various values calculated from this signal at a constant distance or at a constant time in the longitudinal direction of the web may be calculated. As a result, for example, it is possible to more reliably capture abnormal locations of production processing equipment in continuous processing steps and locations where conditions change, such as locations where processing machine conditions have changed or where temperature changes have occurred. Is possible. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like. The rate of change in the longitudinal direction of the web may be calculated at regular intervals or at regular intervals depending on the web production conditions to monitor the process, but it is of course possible to combine the two.
【0048】そして、モジュール2によって、表面欠陥
を検知する信号7aであると判定された場合、もしく
は、地合ノイズ相当の信号の変動を検知するために所定
時間等ごとに、モジュール2は、その時点における、表
面欠陥の位置や時刻を相互に関連付けて結合した状態で
図示しないディスク記録媒体に記録する。When the module 2 determines that the signal 7a is a signal for detecting a surface defect, or at every predetermined time or the like in order to detect a change in a signal corresponding to background noise, the module 2 outputs the signal. The position and time of the surface defect at the time point are recorded in a disc recording medium (not shown) in a state of being associated with each other and associated with each other.
【0049】さらにモジュール2は、表面欠陥を表す情
報をリアルタイムで図示しないモニタに出力するととと
もに、連続搬送されるウェブaの一巻が終了するごと
に、あるいは所定時間ごとに、データベース化してモニ
タに出力したり、図示しないディスク記録媒体に保存し
たり、必要に応じて図示しないプリンタに出力したりす
る。Further, the module 2 outputs the information indicating the surface defect to a monitor (not shown) in real time and, at the end of one roll of the continuously conveyed web a, or at every predetermined time, creates a database in the monitor. The data is output, stored in a disk recording medium (not shown), or output to a printer (not shown) as needed.
【0050】本実施の形態によれば、以下のような効果
を得ることができる。According to this embodiment, the following effects can be obtained.
【0051】前記表面欠陥信号検出手段によって、前
記出力信号の中からウェブaの表面欠陥相当の信号が検
出されるため、この信号から、表面欠陥の大きさ・種類
等とともに表面欠陥の生じた位置や発生時刻を検知する
ことが可能となる。Since the signal corresponding to the surface defect of the web a is detected from the output signal by the surface defect signal detecting means, the position and position of the surface defect as well as the size and type of the surface defect are detected from this signal. It is possible to detect the occurrence time and the occurrence time.
【0052】また、前記地合ノイズ信号検出手段によっ
て、前記出力信号の中から地合ノイズ相当の信号が検出
される。ところで、生産加工設備の異常や条件の変動
や、製品品質上問題とならない程度のウェブaの表面の
僅かな歪等の表面状態は、前記地合ノイズ相当の信号の
発生頻度や発生の特徴に顕著に現れる場合がある。つま
り、生産加工設備の異常や条件の変動と、製品品質上問
題とならない程度のウェブの表面の僅かな歪等の表面状
態との因果関係を、専用の装置を設置することなく、前
記地合ノイズ相当の信号を検出・分析することにより捉
えることが可能となる。すなわち、前記地合ノイズ相当
の信号を分析することが可能となり、これにより、容易
かつ安価に生産工程にフィードバックしたり、早期に適
切な工程アクションを行ったりすることが可能となる。Further, the formation noise signal detecting means detects a signal corresponding to formation noise from the output signals. By the way, surface conditions such as abnormalities in production and processing equipment, fluctuations in conditions, and slight distortions on the surface of the web a to the extent that they do not pose a problem in product quality are characteristic of the frequency and occurrence of signals corresponding to the background noise. It may appear noticeably. In other words, the causal relationship between abnormalities in production processing equipment and changes in conditions, and surface conditions such as slight distortion of the surface of the web that does not pose a problem in product quality, without installing a dedicated device, It becomes possible to catch by detecting and analyzing a signal equivalent to noise. That is, it is possible to analyze a signal corresponding to the background noise, and thereby, it is possible to easily and inexpensively feed back to the production process and take an appropriate process action early.
【0053】ウェブaの表面欠陥相当の信号が前記表
面欠陥信号抽出コンパレータ8によって抽出されること
により検出される。すなわち、ウェブaの表面欠陥相当
の信号を前記表面欠陥信号抽出コンパレータ8によって
抽出することにより、ウェブaの表面欠陥相当の信号を
確実に検出することが可能となる。A signal corresponding to the surface defect of the web a is detected by being extracted by the surface defect signal extraction comparator 8. That is, by extracting the signal corresponding to the surface defect of the web a by the surface defect signal extraction comparator 8, it becomes possible to reliably detect the signal corresponding to the surface defect of the web a.
【0054】また、地合ノイズ相当の信号が前記地合ノ
イズ信号検知コンパレータ9によって検知されることに
より検出される。すなわち、地合ノイズ相当の信号を前
記地合ノイズ信号検知コンパレータ9によって検知する
ことにより、地合ノイズ相当の信号を確実に検出するこ
とが可能となる。A signal corresponding to formation noise is detected by the formation noise signal detection comparator 9 and is detected. That is, by detecting the signal corresponding to the formation noise by the formation noise signal detection comparator 9, it is possible to reliably detect the signal corresponding to the formation noise.
【0055】前記地合ノイズ信号検知コンパレータ9
は、地合ノイズ相当の信号の振幅の略平均値に設定さ
れ、この地合ノイズ信号検知コンパレータ9を一定期間
にクロスした地合ノイズ相当の信号の回数がカウントさ
れる。このカウント値によって、地合ノイズ相当の信号
の一つの大きな特徴である、周期や周波数を求めること
が可能となる。Formation noise signal detection comparator 9
Is set to a substantially average value of the amplitude of the signal corresponding to the formation noise, and the number of times the signal corresponding to the formation noise crossing the formation noise signal detection comparator 9 in a certain period is counted. With this count value, it is possible to obtain the period and frequency, which are one of the major features of the signal corresponding to background noise.
【0056】モジュール2によって検出信号の振幅実
効値が算出されるが、一般に表面欠陥相当の信号は離散
的に検出されるため、この振幅実効値によって表面欠陥
相当の信号はほとんど無視できるレベルに平滑化される
ので、一定期間内での地合ノイズ相当の信号のトータル
の平均値に相当する強度を把握することが可能となる。
したがって、算出される振幅実効値の大小によって、例
えば、ウェブaの加工工程における温度変化等が生じて
いる区間の長短を推測したり、塗布層内の素材の不均一
性を推測したりすることが可能となる。The module 2 calculates the effective amplitude value of the detection signal. Generally, since the signal corresponding to the surface defect is detected discretely, the signal corresponding to the surface defect is smoothed to a level that can be almost ignored by this effective amplitude value. Therefore, it is possible to grasp the intensity corresponding to the total average value of signals corresponding to formation noise within a certain period.
Therefore, depending on the magnitude of the calculated amplitude effective value, for example, it is possible to estimate the length of a section in which a temperature change occurs in the processing step of the web a, or to estimate the nonuniformity of the material in the coating layer. Is possible.
【0057】前記地合ノイズ信号検出手段は、地合ノ
イズ相当の信号、あるいは、この信号から算出される様
々な値を、予め想定された、地合ノイズ相当の信号、あ
るいは、この信号から算出される様々な値と比較するた
め、地合ノイズ相当の信号の変動を、より確実に捉える
ことが可能となる。The formation noise signal detecting means calculates a signal corresponding to formation noise or various values calculated from this signal from a signal corresponding to formation noise, which is assumed in advance, or from this signal. Since it is compared with various values, it is possible to more reliably capture the fluctuation of the signal corresponding to formation noise.
【0058】地合ノイズ相当の信号、あるいは、この
信号から算出される様々な値の、ウェブaの長手方向の
走行距離もしくは一定時間における変化率が算出するこ
とによって、例えば、連続する加工工程における生産加
工設備の異常箇所や条件の変動箇所、例えば、加工機械
の条件変動が発生した箇所や温度変化が発生している箇
所等を、より確実に捉えることが可能となる。さらに前
記変化率を捉えることにより、これらの条件変動の発生
の程度、支障等の推定が可能となる。By calculating the change rate of the signal corresponding to the formation noise, or various values calculated from this signal, in the running distance of the web a in the longitudinal direction or in a fixed time, for example, in continuous processing steps. It is possible to more reliably capture an abnormal location of the production processing equipment or a location where the conditions change, for example, a location where the condition of the processing machine has changed or a location where the temperature has changed. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like.
【0059】前記表面欠陥検知装置1は、投光部3か
らウェブaに向けて投光される光として白色光源である
ハロゲンランプbが用いられるとともに、受光部として
CCDラインセンサ4が用いられる。ここで、白色光源
を用いることにより、ウェブの材質、厚さ等の影響を受
けにくくするとともに、装置を安価に構成することがで
きる。In the surface defect detecting device 1, a halogen lamp b which is a white light source is used as the light projected from the light projecting section 3 toward the web a, and a CCD line sensor 4 is used as the light receiving section. Here, by using the white light source, it is possible to reduce the influence of the material and thickness of the web and to make the apparatus inexpensive.
【0060】また、CCDラインセンサ4は、画素が多
数配列された構造で、一つ一つの画素が受光した光強度
を記憶できるため、強度と受光パターンの広がりやその
特徴を同時に検知することができ、表面欠陥の検出のみ
ならず、その特徴抽出が可能となる。Further, since the CCD line sensor 4 has a structure in which a large number of pixels are arranged and can store the light intensity received by each pixel, it is possible to simultaneously detect the intensity and the spread of the light receiving pattern and its characteristics. Therefore, not only the surface defect can be detected, but also its feature can be extracted.
【0061】前記したように、本実施の形態において
は、地合ノイズ相当の信号を検出して分析を行うため
に、地合ノイズ相当の信号を検出するためのA/D変換
器を用いるとともに、検出された地合ノイズ相当の信号
から、前記地合ノイズ信号変動検知コンパレータ9を用
いて、地合ノイズ相当の信号の周波数や周期を調べた
り、検出信号の振幅実効値を算出して地合ノイズ相当の
信号の量を調べたり、さらに、地合ノイズ相当の信号の
ウェブaの長手方向における変化率を調べたりしている
が、これらはそれぞれ独立に行われてもよいし、平行処
理されることによって総合的に地合ノイズ相当の信号の
特徴が分析されてもよい。As described above, in the present embodiment, the A / D converter for detecting the signal corresponding to the formation noise is used in order to detect and analyze the signal corresponding to the formation noise. From the detected signal corresponding to ground noise, the frequency and period of the signal corresponding to ground noise are checked by using the ground noise signal fluctuation detection comparator 9, or the effective amplitude value of the detected signal is calculated to calculate the ground value. The amount of the signal corresponding to the combined noise is checked, and the rate of change of the signal corresponding to the combined noise in the longitudinal direction of the web a is checked. These may be performed independently or in parallel processing. By doing so, the characteristics of the signal corresponding to formation noise may be analyzed comprehensively.
【0062】[0062]
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、前記表面
欠陥信号検出手段によって、前記出力信号の中からウェ
ブの表面欠陥相当の信号が検出されるため、この信号か
ら、表面欠陥の大きさ・種類等とともに表面欠陥の生じ
た位置や発生時刻を検知することが可能となる。また、
前記地合ノイズ相当の信号を分析することが可能とな
り、これにより、容易かつ安価に生産工程にフィードバ
ックしたり、早期に適切な工程アクションを行ったりす
ることが可能となる。According to the first aspect of the present invention, the surface defect signal detecting means detects a signal corresponding to the surface defect of the web from the output signals. It is possible to detect the position and time of occurrence of the surface defect as well as the type and type. Also,
It is possible to analyze the signal corresponding to the formation noise, and thereby, it is possible to easily and inexpensively feed back to the production process and take an appropriate process action early.
【0063】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明と同様の効果が得られることは勿論のこと、ウ
ェブの表面欠陥相当の信号を前記表面欠陥信号抽出閾値
によって抽出することにより、ウェブの表面欠陥相当の
信号を確実に検出することが可能となる。また、地合ノ
イズ相当の信号を前記地合ノイズ信号検知閾値によって
検知することにより、地合ノイズ相当の信号を確実に検
出することが可能となる。According to the second aspect of the invention, the same effect as that of the first aspect of the invention can be obtained, and the signal corresponding to the surface defect of the web is extracted by the surface defect signal extraction threshold value. This makes it possible to reliably detect a signal corresponding to a web surface defect. Further, by detecting the signal corresponding to the formation noise by the formation noise signal detection threshold value, it becomes possible to reliably detect the signal corresponding to the formation noise.
【0064】請求項3記載の発明によれば、請求項1記
載の発明と同様の効果が得られることは勿論のこと、地
合ノイズ信号検知閾値を一定期間にクロスした地合ノイ
ズ相当の信号の回数をカウントすることによって、地合
ノイズ相当の信号の一つの大きな特徴である、地合ノイ
ズの周期や周波数を求めることが可能となる。According to the invention described in claim 3, not only the same effect as that of the invention described in claim 1 can be obtained, but also the signal corresponding to the formation noise which crosses the formation noise signal detection threshold in a certain period. By counting the number of times, it is possible to obtain the period and frequency of formation noise, which is one of the major features of the signal corresponding to formation noise.
【0065】請求項4記載の発明によれば、請求項1〜
3のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られること
は勿論のこと、算出される振幅実効値の大小によって、
例えば、ウェブの加工工程における温度変化等が生じて
いる区間の長短を推測したり、塗布層内の素材の不均一
性を推測したりすることが可能となる。According to the invention of claim 4,
It goes without saying that the same effect as that of the invention described in any one of 3) can be obtained, and depending on the magnitude of the calculated amplitude effective value,
For example, it is possible to estimate the length of a section in which a temperature change or the like occurs in the web processing step, or to estimate the nonuniformity of the material in the coating layer.
【0066】請求項5記載の発明によれば、請求項1〜
4のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られること
は勿論のこと、地合ノイズ相当の信号の変動を、より確
実に捉えることが可能となる。According to the invention described in claim 5,
It is of course possible to obtain the same effect as that of the invention described in any one of 4 above, and it is possible to more reliably capture the fluctuation of the signal corresponding to the formation noise.
【0067】請求項6記載の発明によれば、請求項1〜
5のいずれかに記載と同様の効果が得られることは勿論
のこと、例えば、連続する加工工程における生産加工設
備の異常箇所や条件の変動箇所、例えば、加工機械の条
件変動が発生した箇所や温度変化が発生している箇所等
を、より確実に捉えることが可能となる。さらに前記変
化率を捉えることにより、これらの条件変動の発生の程
度、支障等の推定が可能となる。According to the invention of claim 6,
Of course, the same effect as described in any one of 5 can be obtained, for example, an abnormal part of the production processing equipment in a continuous processing step or a changed part of the condition, for example, a place where the condition change of the processing machine occurs or It is possible to more reliably capture the place where the temperature change occurs. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like.
【0068】請求項7記載の発明によれば、請求項1〜
6のいずれかに記載と同様の効果が得られることは勿論
のこと、例えば、連続する加工工程における生産加工設
備の異常箇所や条件の変動箇所、例えば、加工機械の条
件変動が発生した箇所や温度変化が発生している箇所等
を、より確実に捉えることが可能となる。さらに前記変
化率を捉えることにより、これらの条件変動の発生の程
度、支障等の推定が可能となる。According to the invention of claim 7, claims 1 to
Of course, the same effect as described in any one of 6 is obtained, and, for example, an abnormal location of a production processing facility in a continuous machining process or a location where conditions change, such as a location where a condition change of a processing machine occurs, It is possible to more reliably capture the place where the temperature change occurs. Further, by grasping the rate of change, it is possible to estimate the degree of occurrence of these condition variations, obstacles, and the like.
【0069】請求項8記載の発明によれば、請求項1〜
7のいずれかに記載と同様の効果が得られることは勿論
のこと、白色光源を用いることによって、ウェブの材
質、厚さ等の影響を受けにくくするとともに、装置を安
価に構成することができる。また、CCDラインセンサ
を用いることによって、強度と受光パターンの広がりや
その特徴を同時に検知することができ、表面欠陥の検出
のみならず、その特徴抽出が可能となる。According to the invention described in claim 8, claims 1 to
Of course, the same effect as described in any one of 7 is obtained, and by using a white light source, it is possible to reduce the influence of the material and thickness of the web and to configure the device at low cost. . Further, by using the CCD line sensor, it is possible to detect the intensity and the spread of the light-receiving pattern and the characteristics thereof at the same time, and it is possible to detect not only the surface defects but also the characteristics thereof.
【図1】本発明に係る表面欠陥検査装置の構成を模式的
に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a surface defect inspection apparatus according to the present invention.
【図2】CCDラインセンサから出力される出力信号か
ら、表面欠陥情報および地合ノイズ変動情報を抽出して
いる状況を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a situation in which surface defect information and background noise fluctuation information are extracted from an output signal output from a CCD line sensor.
【図3】検出信号の処理工程を示す図であり、(a)は
波形および地合ノイズ信号検知コンパレータを示す図、
(b)は測定ゲートを示す図、(c)は、カウントされ
たカウント値のグラフを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a detection signal processing step, FIG. 3A is a diagram showing a waveform and a formation noise signal detection comparator;
(B) is a figure which shows a measurement gate, (c) is a figure which shows the graph of the counted count value.
1 表面欠陥検査装置
2 モジュール(表面欠陥信号検出手段、地合ノイ
ズ信号検出手段)
3 投光部
4 CCDラインセンサ(受光部)
8 表面欠陥信号抽出コンパレータ(表面欠陥信号
検出手段)
9 地合ノイズ信号検知コンパレータ(地合ノイズ
信号検出手段)
a ウェブ(ウェブ)
b ハロゲンランプ(白色光源)1 Surface Defect Inspection Device 2 Module (Surface Defect Signal Detection Means, Formation Noise Signal Detection Means) 3 Light Emitting Unit 4 CCD Line Sensor (Light Reception Unit) 8 Surface Defect Signal Extraction Comparator (Surface Defect Signal Detection Means) 9 Formation Noise Signal detection comparator (ground noise signal detection means) a web (web) b halogen lamp (white light source)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 幸登 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内 (72)発明者 別所 邦洋 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内 Fターム(参考) 2G051 AA41 AB07 CA04 CB01 CB02 EA11 EB01 EC01 EC04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Koto Nakamura Konica Stock, 1 Sakura-cho, Hino City, Tokyo In the company (72) Inventor Bessho Kunihiro Konica Stock, 1 Sakura-cho, Hino City, Tokyo In the company F term (reference) 2G051 AA41 AB07 CA04 CB01 CB02 EA11 EB01 EC01 EC04
Claims (8)
部からウェブに向けて投光される光の透過光もしくは反
射光を受光部において受光するとともに、この受光部か
らの出力信号によって表面欠陥を検知する表面欠陥検査
装置において、 前記出力信号の中からウェブの表面欠陥相当の信号を検
出するための表面欠陥信号検出手段と、 前記出力信号の中から地合ノイズ相当の信号を検出する
ための地合ノイズ信号検出手段と、を備えていることを
特徴とする表面欠陥検査装置。1. A light receiving portion receives transmitted light or reflected light of light projected from a light projecting portion toward the web in order to inspect a surface defect of the web, and an output signal from the light receiving portion is used. In a surface defect inspection apparatus for detecting a surface defect, a surface defect signal detecting means for detecting a signal corresponding to a surface defect of a web from the output signal, and a signal equivalent to formation noise from the output signal is detected. Forming noise signal detecting means for carrying out the above.
て、 前記表面欠陥信号検出手段は、ウェブの表面欠陥相当の
信号を抽出するための表面欠陥信号抽出閾値を設定する
ことで表面欠陥相当の信号を検出し、 前記地合ノイズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信号
を検知するための地合ノイズ信号検知閾値を設定するこ
とで地合ノイズ相当の信号を検出することを特徴とする
表面欠陥検査装置。2. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the surface defect signal detecting means sets a surface defect signal extraction threshold value for extracting a signal corresponding to a surface defect of the web, thereby determining the surface defect signal. The formation noise signal detecting means detects a signal, and detects a signal corresponding to formation noise by setting a formation noise signal detection threshold value for detecting a signal corresponding to formation noise. Surface defect inspection device.
て、 前記地合ノイズ信号検出手段は、前記地合ノイズ信号検
知閾値を地合ノイズ相当の信号の振幅の略平均値に設定
し、この地合ノイズ信号検知閾値を地合ノイズ相当の信
号が一定期間にクロスした回数をカウントすることを特
徴とする表面欠陥装置。3. The surface defect inspection apparatus according to claim 2, wherein the formation noise signal detection means sets the formation noise signal detection threshold to a substantially average value of the amplitude of a signal corresponding to formation noise. A surface defect device characterized by counting the number of times a signal corresponding to formation noise crosses a formation noise signal detection threshold in a certain period.
検査装置において、 前記出力信号の振幅実効値を算出し、地合ノイズ相当の
信号を検出することを特徴とする表面欠陥検査装置。4. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein an effective amplitude value of the output signal is calculated and a signal corresponding to formation noise is detected. apparatus.
検査装置において、 前記地合ノイズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信
号、あるいは、この信号から算出される様々な値を、予
め想定された、地合ノイズ相当の信号、あるいは、この
信号から算出される様々な値と比較することを特徴とす
る表面欠陥検査装置。5. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the formation noise signal detecting means outputs a signal corresponding to formation noise or various values calculated from this signal. A surface defect inspection apparatus characterized by comparing with a signal corresponding to formation noise, which is assumed in advance, or various values calculated from this signal.
検査装置において、 前記地合ノイズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信
号、あるいは、この信号から算出される様々な値の、ウ
ェブの長手方向における一定距離毎の変化率を算出する
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。6. The surface defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the formation noise signal detecting means is a signal corresponding to formation noise, or of various values calculated from this signal. A surface defect inspection apparatus characterized by calculating a change rate for each constant distance in the longitudinal direction of the web.
検査装置において、 前記地合ノイズ信号検出手段は、地合ノイズ相当の信
号、あるいは、この信号から算出される様々な値の、ウ
ェブの長手方向における一定時間毎の変化率を算出する
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。7. The surface defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the formation noise signal detecting means has a signal corresponding to formation noise or various values calculated from this signal. A surface defect inspection apparatus, which calculates a rate of change in a longitudinal direction of a web at regular time intervals.
検査装置において、 投光部からウェブに向けて投光される光として白色光源
を用いるとともに、 受光部としてCCD(Charge Coupled
Device)ラインセンサを用いることを特徴とする
表面欠陥検査装置。8. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein a white light source is used as the light projected from the light projecting section toward the web, and a CCD (Charge Coupled) is used as the light receiving section.
A device for inspecting a surface defect, which uses a line sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001292015A JP2003098100A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Surface defect examining device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001292015A JP2003098100A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Surface defect examining device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003098100A true JP2003098100A (en) | 2003-04-03 |
Family
ID=19114061
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2001292015A Pending JP2003098100A (en) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | Surface defect examining device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003098100A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005249633A (en) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Toppan Printing Co Ltd | Inspection method of streaky defect in cyclic pattern |
JP2019510981A (en) * | 2016-04-05 | 2019-04-18 | フラマトムFramatome | Method for detecting defects on surfaces by multidirectional illumination and related devices |
-
2001
- 2001-09-25 JP JP2001292015A patent/JP2003098100A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005249633A (en) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Toppan Printing Co Ltd | Inspection method of streaky defect in cyclic pattern |
JP2019510981A (en) * | 2016-04-05 | 2019-04-18 | フラマトムFramatome | Method for detecting defects on surfaces by multidirectional illumination and related devices |
JP7078543B2 (en) | 2016-04-05 | 2022-05-31 | フラマトム | Methods for detecting surface defects with multi-directional lighting and related devices |
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