JP2003031525A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JP2003031525A JP2003031525A JP2001210545A JP2001210545A JP2003031525A JP 2003031525 A JP2003031525 A JP 2003031525A JP 2001210545 A JP2001210545 A JP 2001210545A JP 2001210545 A JP2001210545 A JP 2001210545A JP 2003031525 A JP2003031525 A JP 2003031525A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 瞬時停電／停電や、圧縮エアの圧力が低下し
た場合であっても、確実にエアスピンドルの破損を防止
する。 【解決手段】 商用電源に瞬時停電／停電が発生したこ
とを検出器３が検出すると、自動的に無停電電源装置２
が生成したバックアップ用電源に切り替わるとともに、
半導体ウエハを搭載するステージの駆動機構を停止さ
せ、エアスピンドル６を上方に移動させて安全な場所ま
で移動させ、半導体ウエハを保護する。無停電電源装置
２のバックアップ用電源が供給されたスピンドルインバ
ータ７は、エアスピンドル６を強制的に停止させる。ま
た、工場側圧縮エアの圧力が低下したことを圧力センサ
４が検出すると、予備エアタンク５は、工場側圧縮エア
から該予備エアタンク５の圧縮エアに切り換え、エアス
ピンドル６に供給する。
た場合であっても、確実にエアスピンドルの破損を防止
する。 【解決手段】 商用電源に瞬時停電／停電が発生したこ
とを検出器３が検出すると、自動的に無停電電源装置２
が生成したバックアップ用電源に切り替わるとともに、
半導体ウエハを搭載するステージの駆動機構を停止さ
せ、エアスピンドル６を上方に移動させて安全な場所ま
で移動させ、半導体ウエハを保護する。無停電電源装置
２のバックアップ用電源が供給されたスピンドルインバ
ータ７は、エアスピンドル６を強制的に停止させる。ま
た、工場側圧縮エアの圧力が低下したことを圧力センサ
４が検出すると、予備エアタンク５は、工場側圧縮エア
から該予備エアタンク５の圧縮エアに切り換え、エアス
ピンドル６に供給する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
技術に関し、特に、ダイシング装置のエアスピンドルの
破損防止に適用して有効な技術に関するものである。
技術に関し、特に、ダイシング装置のエアスピンドルの
破損防止に適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハを切削し、個々の半導体チ
ップに分割するダイシング装置においては、切り刃であ
るダイシングブレードの回転駆動機構としてエアスピン
ドルが広く知られている。
ップに分割するダイシング装置においては、切り刃であ
るダイシングブレードの回転駆動機構としてエアスピン
ドルが広く知られている。
【０００３】また、ダイシング装置には、瞬時停電、あ
るいは停電の対策として無停電電源装置（ＵＰＳ：Ｕｎ
ｉｎｔｅｒｒｕｐｔａｂｌｅ Ｐｏｗｅｒ Ｓｕｐｐｌ
ｙ）が設けられており、瞬時停電や停電等が発生した際
には、半導体ウエハを搭載するステージやエアスピンド
ルの駆動機構に電源を供給して安全な場所までそれぞれ
を移動させ、半導体ウエハを保護している。
るいは停電の対策として無停電電源装置（ＵＰＳ：Ｕｎ
ｉｎｔｅｒｒｕｐｔａｂｌｅ Ｐｏｗｅｒ Ｓｕｐｐｌ
ｙ）が設けられており、瞬時停電や停電等が発生した際
には、半導体ウエハを搭載するステージやエアスピンド
ルの駆動機構に電源を供給して安全な場所までそれぞれ
を移動させ、半導体ウエハを保護している。
【０００４】なお、この種のダイシング装置について詳
しく述べてある例としては、平成１３年２月２６日、株
式会社プレスジャーナル発行、Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒＦＰＤ Ｗｏｒｌｄ（編）、「２００１年度版 最
新半導体組立／パッケージング技術」Ｐ６３〜Ｐ６６が
あり、この文献には、メモリにおけるバーンインテスト
技術についてが記載されている。
しく述べてある例としては、平成１３年２月２６日、株
式会社プレスジャーナル発行、Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒＦＰＤ Ｗｏｒｌｄ（編）、「２００１年度版 最
新半導体組立／パッケージング技術」Ｐ６３〜Ｐ６６が
あり、この文献には、メモリにおけるバーンインテスト
技術についてが記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なダイシング装置における瞬時停電／停電対策の技術で
は、次のような問題点があることが本発明者により見い
出された。
なダイシング装置における瞬時停電／停電対策の技術で
は、次のような問題点があることが本発明者により見い
出された。
【０００６】すなわち、無停電電源装置の電源は、エア
スピンドルを回転させるインバータには供給されていな
いので、瞬時停電などの際には該エアスピンドルがフリ
ーラン状態となり、このフリーラン状態でエア圧力が低
下するとスピンドル内のシャフト軸が焼き付けなどを起
こして破損してしまうという問題がある。
スピンドルを回転させるインバータには供給されていな
いので、瞬時停電などの際には該エアスピンドルがフリ
ーラン状態となり、このフリーラン状態でエア圧力が低
下するとスピンドル内のシャフト軸が焼き付けなどを起
こして破損してしまうという問題がある。
【０００７】また、無停電電源装置は、ダイシング装置
に供給される三相交流波形のうち、ある一相の波形の瞬
時停電／停電を検出しているだけであるので、他の相に
瞬時停電が発生した場合、瞬時停電が検出されずにその
まま稼働してしまい、同様にエア圧力が何らかの原因で
低下してしまうとエアスピンドル内のシャフト軸が焼き
付けなどを起こして破損してしまうことになる。
に供給される三相交流波形のうち、ある一相の波形の瞬
時停電／停電を検出しているだけであるので、他の相に
瞬時停電が発生した場合、瞬時停電が検出されずにその
まま稼働してしまい、同様にエア圧力が何らかの原因で
低下してしまうとエアスピンドル内のシャフト軸が焼き
付けなどを起こして破損してしまうことになる。
【０００８】本発明の目的は、瞬時停電／停電などの発
生時、ならびにエアスピンドルに供給する圧縮エアの圧
力低下時において、確実にエアスピンドルの破損を防止
することにより、製造コストを大幅に削減することので
きる半導体装置の製造方法を提供することにある。
生時、ならびにエアスピンドルに供給する圧縮エアの圧
力低下時において、確実にエアスピンドルの破損を防止
することにより、製造コストを大幅に削減することので
きる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１１】すなわち、本発明の半導体装置の製造方法
は、エアスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出
する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンク
と、該エアスピンドルの回転制御を行う回転制御部とを
備え、圧力検出部がエアスピンドルに供給されている圧
縮エアの圧力低下を検出した際に、エアスピンドルに供
給する圧縮エアを予備エアタンクに蓄積された圧縮エア
に切り換えて該エアスピンドルに供給するとともに、回
転制御部が、エアスピンドルを強制的に停止させるダイ
シング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする工程
を有するものである。
は、エアスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出
する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンク
と、該エアスピンドルの回転制御を行う回転制御部とを
備え、圧力検出部がエアスピンドルに供給されている圧
縮エアの圧力低下を検出した際に、エアスピンドルに供
給する圧縮エアを予備エアタンクに蓄積された圧縮エア
に切り換えて該エアスピンドルに供給するとともに、回
転制御部が、エアスピンドルを強制的に停止させるダイ
シング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする工程
を有するものである。
【００１２】また、本発明の半導体装置の製造方法は、
商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検出部
と、該電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際に、バ
ックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エアスピ
ンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧力検出
部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、該エアスピ
ンドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、電源検出
部が、商用電源の瞬時停電／停電を検出した際に、無停
電電源部がバックアップ用電源を回転制御部に供給する
とともに、該回転制御部がエアスピンドルを強制的に停
止させるダイシング装置を用いて半導体ウエハをダイシ
ングする工程を有するものである。
商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検出部
と、該電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際に、バ
ックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エアスピ
ンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧力検出
部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、該エアスピ
ンドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、電源検出
部が、商用電源の瞬時停電／停電を検出した際に、無停
電電源部がバックアップ用電源を回転制御部に供給する
とともに、該回転制御部がエアスピンドルを強制的に停
止させるダイシング装置を用いて半導体ウエハをダイシ
ングする工程を有するものである。
【００１３】さらに、本発明の半導体装置の製造方法
は、商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検
出部と、前記電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際
に、バックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エ
アスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧
力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、エア
スピンドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、電源
検出部が、商用電源の瞬時停電／停電を検出した際に、
無停電電源部がバックアップ用電源を回転制御部に供給
するとともに、該回転制御部が、エアスピンドルを強制
的に停止させ、かつ圧力検出部がエアスピンドルに供給
されている圧縮エアの圧力低下を検出した際には、エア
スピンドルに供給する圧縮エアを予備エアタンクに蓄積
された圧縮エアに切り換えてエアスピンドルに供給する
ダイシング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする
工程を有するものである。
は、商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検
出部と、前記電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際
に、バックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エ
アスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧
力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、エア
スピンドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、電源
検出部が、商用電源の瞬時停電／停電を検出した際に、
無停電電源部がバックアップ用電源を回転制御部に供給
するとともに、該回転制御部が、エアスピンドルを強制
的に停止させ、かつ圧力検出部がエアスピンドルに供給
されている圧縮エアの圧力低下を検出した際には、エア
スピンドルに供給する圧縮エアを予備エアタンクに蓄積
された圧縮エアに切り換えてエアスピンドルに供給する
ダイシング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする
工程を有するものである。
【００１４】また、本発明の半導体装置の製造方法は、
商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検出部
と、該電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際に、バ
ックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エアスピ
ンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧力検出
部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、エアスピン
ドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、圧力検出部
がエアスピンドルに供給されている圧縮エアの圧力低下
を検出した際には、エアスピンドルに供給する圧縮エア
を予備エアタンクに蓄積された圧縮エアに切り換えて該
エアスピンドルに供給するとともに、回転制御部が、エ
アスピンドルを強制的に停止させるダイシング装置を用
いて半導体ウエハをダイシングする工程を有するもので
ある。
商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出する電源検出部
と、該電源検出部が瞬時停電／停電を検出した際に、バ
ックアップ用電源を供給する無停電電源部と、エアスピ
ンドルに供給される圧縮エアの圧力を検出する圧力検出
部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタンクと、エアスピン
ドルの回転制御を行う回転制御部とを備え、圧力検出部
がエアスピンドルに供給されている圧縮エアの圧力低下
を検出した際には、エアスピンドルに供給する圧縮エア
を予備エアタンクに蓄積された圧縮エアに切り換えて該
エアスピンドルに供給するとともに、回転制御部が、エ
アスピンドルを強制的に停止させるダイシング装置を用
いて半導体ウエハをダイシングする工程を有するもので
ある。
【００１５】以上のことにより、瞬時停電／停電などの
発生時、および圧縮エアの低下があっても、エアスピン
ドルの破損などを確実に防止することができる。
発生時、および圧縮エアの低下があっても、エアスピン
ドルの破損などを確実に防止することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の一実施の形態によるダイ
シング装置の説明図、図２は、図１のダイシング装置に
おいて商用電源に瞬時停電／停電が発生した際の動作フ
ローチャート、図３は、図１のダイシング装置において
商用電源に瞬時停電／停電が発生し、かつ工場側圧縮エ
アの圧力が低下した際の動作フローチャート、図４は、
図１のダイシング装置において工場側圧縮エアの圧力が
低下した際の動作フローチャートである。
シング装置の説明図、図２は、図１のダイシング装置に
おいて商用電源に瞬時停電／停電が発生した際の動作フ
ローチャート、図３は、図１のダイシング装置において
商用電源に瞬時停電／停電が発生し、かつ工場側圧縮エ
アの圧力が低下した際の動作フローチャート、図４は、
図１のダイシング装置において工場側圧縮エアの圧力が
低下した際の動作フローチャートである。
【００１８】本実施の形態において、ダイシング装置１
は、半導体ウエハを賽の目状に切削し、個々の半導体チ
ップに分割する。このダイシング装置１には、無停電電
源装置（無停電電源部）２、検出器（電源検出部）３、
圧力センサ（圧力検出部）４、予備エアタンク５、エア
スピンドル６、ならびにスピンドルインバータ（回転制
御部）７などが備えられている。
は、半導体ウエハを賽の目状に切削し、個々の半導体チ
ップに分割する。このダイシング装置１には、無停電電
源装置（無停電電源部）２、検出器（電源検出部）３、
圧力センサ（圧力検出部）４、予備エアタンク５、エア
スピンドル６、ならびにスピンドルインバータ（回転制
御部）７などが備えられている。
【００１９】また、無停電電源装置２は、検出器が瞬時
停電、あるいは停電を検出した際に商用電源に代わり電
源を供給する。無停電電源装置２が生成したバックアッ
プ用電源は、ダイシング装置１に設けられた半導体ウエ
ハを搭載するステージ、エアスピンドル６の駆動機構、
およびスピンドルインバータ７に供給されるように接続
されている。
停電、あるいは停電を検出した際に商用電源に代わり電
源を供給する。無停電電源装置２が生成したバックアッ
プ用電源は、ダイシング装置１に設けられた半導体ウエ
ハを搭載するステージ、エアスピンドル６の駆動機構、
およびスピンドルインバータ７に供給されるように接続
されている。
【００２０】さらに、検出器３は、ダイシング装置１に
供給される商用電源（ここでは、三相交流電源）におけ
る各相の瞬時停電／停電を検出する。瞬時停電は、落
雷、事故、あるいは電力工事などによって発生する非常
に短時間の電力供給の停止である。
供給される商用電源（ここでは、三相交流電源）におけ
る各相の瞬時停電／停電を検出する。瞬時停電は、落
雷、事故、あるいは電力工事などによって発生する非常
に短時間の電力供給の停止である。
【００２１】圧力センサ４は、製造工場に設けられたコ
ンプレッサなどによって圧縮された工場側圧縮エアの圧
力をモニタし、そのモニタ結果を予備エアタンク５、な
らびにスピンドルインバータ７に出力する。
ンプレッサなどによって圧縮された工場側圧縮エアの圧
力をモニタし、そのモニタ結果を予備エアタンク５、な
らびにスピンドルインバータ７に出力する。
【００２２】予備エアタンク５は圧縮エアを蓄えてお
り、圧力センサ４によってモニタされた工場側圧縮エア
が予め設定された圧力よりも低くなった場合に該エアス
ピンドル６に蓄えた圧縮エアをある時間だけ供給する。
り、圧力センサ４によってモニタされた工場側圧縮エア
が予め設定された圧力よりも低くなった場合に該エアス
ピンドル６に蓄えた圧縮エアをある時間だけ供給する。
【００２３】エアスピンドル６は、圧縮エアによって軸
を浮かせて高速で、かつ高精度に回転させる回転軸であ
り、該エアスピンドル６の先端部には半導体ウエハを切
削するブレードがフランジなどのホルダを介して取り付
けられている。
を浮かせて高速で、かつ高精度に回転させる回転軸であ
り、該エアスピンドル６の先端部には半導体ウエハを切
削するブレードがフランジなどのホルダを介して取り付
けられている。
【００２４】スピンドルインバータ７は、供給された商
用電源をインバータ制御によりエアスピンドル用電源を
生成し、エアスピンドル６の回転を制御する。
用電源をインバータ制御によりエアスピンドル用電源を
生成し、エアスピンドル６の回転を制御する。
【００２５】次に、本実施の形態の作用について、図
１、ならびに図２、図３のダイシング装置１におけるフ
ローチャートを用いて説明する。
１、ならびに図２、図３のダイシング装置１におけるフ
ローチャートを用いて説明する。
【００２６】まず、商用電源に瞬時停電／停電が発生し
た際のダイシング装置１の動作について図２のフローチ
ャートを用いて説明する。
た際のダイシング装置１の動作について図２のフローチ
ャートを用いて説明する。
【００２７】たとえば、商用電源のいずれかの相に瞬時
停電／停電が発生したことを検出器３が検出すると（ス
テップＳ１０１）、ダイシング装置１に供給される電源
が、自動的に無停電電源装置２が生成したバックアップ
用電源に切り替わるとともに（ステップＳ１０２）、半
導体ウエハを搭載するステージの駆動機構を停止させ
（ステップＳ１０３）、エアスピンドル６を上方に移動
させることによって安全な場所まで移動させ、半導体ウ
エハを保護する。
停電／停電が発生したことを検出器３が検出すると（ス
テップＳ１０１）、ダイシング装置１に供給される電源
が、自動的に無停電電源装置２が生成したバックアップ
用電源に切り替わるとともに（ステップＳ１０２）、半
導体ウエハを搭載するステージの駆動機構を停止させ
（ステップＳ１０３）、エアスピンドル６を上方に移動
させることによって安全な場所まで移動させ、半導体ウ
エハを保護する。
【００２８】そして、無停電電源装置２のバックアップ
用電源が供給されたスピンドルインバータ７は、エアス
ピンドル６を強制的に停止させ、該エアスピンドル６が
フリーラン状態となることを防止する（ステップＳ１０
４）。スピンドルインバータ７は、通常約５５０００ｒ
ｐｍ程度の回転数で回転するエアスピンドル６を約１５
秒程度で停止させる。
用電源が供給されたスピンドルインバータ７は、エアス
ピンドル６を強制的に停止させ、該エアスピンドル６が
フリーラン状態となることを防止する（ステップＳ１０
４）。スピンドルインバータ７は、通常約５５０００ｒ
ｐｍ程度の回転数で回転するエアスピンドル６を約１５
秒程度で停止させる。
【００２９】ここで、ステップＳ１０１〜Ｓ１０４のい
ずれかの処理において、工場側圧縮エアの圧力が低下し
た際における予備エアタンク５の動作について説明す
る。
ずれかの処理において、工場側圧縮エアの圧力が低下し
た際における予備エアタンク５の動作について説明す
る。
【００３０】予備エアタンク５は、工場側圧縮エアの圧
力が低下したことを検出すると（ステップＳ２０１）、
工場側圧縮エアから予備エアタンク５に蓄積された圧縮
エアに切り換え（ステップＳ２０２）、該予備エアタン
ク５の圧縮エアをエアスピンドル６に供給する（ステッ
プＳ２０３）。この予備エアタンク５から供給される圧
縮エアによって、エアスピンドル６には、約４０秒程度
の間、圧縮エアが供給される。
力が低下したことを検出すると（ステップＳ２０１）、
工場側圧縮エアから予備エアタンク５に蓄積された圧縮
エアに切り換え（ステップＳ２０２）、該予備エアタン
ク５の圧縮エアをエアスピンドル６に供給する（ステッ
プＳ２０３）。この予備エアタンク５から供給される圧
縮エアによって、エアスピンドル６には、約４０秒程度
の間、圧縮エアが供給される。
【００３１】これらステップＳ２０１〜Ｓ２０３の処理
は、検出器３が瞬時停電／停電を検出した際やエアスピ
ンドル６の強制停止中だけでなく、瞬時停電／停電によ
って該エアスピンドル６が完全に強制停止された後であ
っても行われる。
は、検出器３が瞬時停電／停電を検出した際やエアスピ
ンドル６の強制停止中だけでなく、瞬時停電／停電によ
って該エアスピンドル６が完全に強制停止された後であ
っても行われる。
【００３２】これによって、商用電源の瞬時停電／停
電、および工場側圧縮エアの圧力低下が発生した場合で
も、エアスピンドル６の破損などを確実に防止すること
ができる。
電、および工場側圧縮エアの圧力低下が発生した場合で
も、エアスピンドル６の破損などを確実に防止すること
ができる。
【００３３】さらに、工場側圧縮エアの圧力が低下した
場合について、図４のフローチャートを用いて説明す
る。
場合について、図４のフローチャートを用いて説明す
る。
【００３４】圧力センサ４によってモニタされている工
場側圧縮エアの圧力がコンプレッサの故障などによって
低下すると、予備エアタンク５、およびスピンドルイン
バータ７は、圧縮エアの圧力低下をそれぞれ検出する
（ステップＳ３０１）。
場側圧縮エアの圧力がコンプレッサの故障などによって
低下すると、予備エアタンク５、およびスピンドルイン
バータ７は、圧縮エアの圧力低下をそれぞれ検出する
（ステップＳ３０１）。
【００３５】そして、予備エアタンク５は、圧縮エアの
供給を工場側圧縮エアから予備エアタンク５に蓄積され
た圧縮エアに切り換えてエアスピンドル６に供給する
（ステップＳ３０２）。この予備エアタンク５から供給
される圧縮エアによって、エアスピンドル６には、約４
０秒程度の間、圧縮エアが供給される。
供給を工場側圧縮エアから予備エアタンク５に蓄積され
た圧縮エアに切り換えてエアスピンドル６に供給する
（ステップＳ３０２）。この予備エアタンク５から供給
される圧縮エアによって、エアスピンドル６には、約４
０秒程度の間、圧縮エアが供給される。
【００３６】同時に、スピンドルインバータ７は、エア
スピンドル６を強制的に停止させる（ステップＳ３０
３）。スピンドルインバータ７は、前述したように強制
停止の制御によって約５５０００ｒｐｍ程度の回転数で
回転するエアスピンドル６を約１５秒程度で停止させ
る。
スピンドル６を強制的に停止させる（ステップＳ３０
３）。スピンドルインバータ７は、前述したように強制
停止の制御によって約５５０００ｒｐｍ程度の回転数で
回転するエアスピンドル６を約１５秒程度で停止させ
る。
【００３７】よって、エアスピンドル６を、予備エアタ
ンク５から圧縮エアが供給されている間に、確実に停止
することが可能となる。
ンク５から圧縮エアが供給されている間に、確実に停止
することが可能となる。
【００３８】それにより、本実施の形態においては、瞬
時停電／停電などの発生時、ならびに工場側圧縮エアが
低下した場合に、エアスピンドル６の破損などを確実に
防止することができる。
時停電／停電などの発生時、ならびに工場側圧縮エアが
低下した場合に、エアスピンドル６の破損などを確実に
防止することができる。
【００３９】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。
【００４０】たとえば、前記実施の形態においては、ダ
イシング装置が、工場側圧縮エアの圧力低下、および商
用電源の瞬時停電／停電の両方に対応した構成について
記載したが、工場側圧縮エアの圧力低下が発生した場合
にだけ、エアスピンドルの破損を防止するような構成と
してもよい。
イシング装置が、工場側圧縮エアの圧力低下、および商
用電源の瞬時停電／停電の両方に対応した構成について
記載したが、工場側圧縮エアの圧力低下が発生した場合
にだけ、エアスピンドルの破損を防止するような構成と
してもよい。
【００４１】この場合には、前記実施の形態に示したダ
イシング装置から、無停電電源装置、および商用電源の
瞬時停電／停電を検出する検出器を除いた構成となり、
商用電源の瞬時停電／停電の発生によるエアスピンドル
の破損防止には対応できないが、ダイシング装置の構成
を簡単にでき、低コスト化することができる。
イシング装置から、無停電電源装置、および商用電源の
瞬時停電／停電を検出する検出器を除いた構成となり、
商用電源の瞬時停電／停電の発生によるエアスピンドル
の破損防止には対応できないが、ダイシング装置の構成
を簡単にでき、低コスト化することができる。
【００４２】
【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００４３】（１）瞬時停電／停電などの発生時、なら
びにエアスピンドルに供給されている圧縮エアの低下時
に、該エアスピンドルの破損などを確実に防止すること
ができる。
びにエアスピンドルに供給されている圧縮エアの低下時
に、該エアスピンドルの破損などを確実に防止すること
ができる。
【００４４】（２）上記（１）により、エアスピンドル
の交換費用、交換工数などを低減することができるの
で、半導体装置製造のコストを大幅に削減することがで
きる。
の交換費用、交換工数などを低減することができるの
で、半導体装置製造のコストを大幅に削減することがで
きる。
【図１】本発明の一実施の形態によるダイシング装置の
説明図である。
説明図である。
【図２】図１のダイシング装置において商用電源に瞬時
停電／停電が発生した際の動作フローチャートである。
停電／停電が発生した際の動作フローチャートである。
【図３】図１のダイシング装置において商用電源に瞬時
停電／停電が発生し、かつ工場側圧縮エアの圧力が低下
した際の動作フローチャートである。
停電／停電が発生し、かつ工場側圧縮エアの圧力が低下
した際の動作フローチャートである。
【図４】図１のダイシング装置において工場側圧縮エア
の圧力が低下した際の動作フローチャートである。
の圧力が低下した際の動作フローチャートである。
１ ダイシング装置
２ 無停電電源装置（無停電電源部）
３ 検出器（電源検出部）
４ 圧力センサ（圧力検出部）
５ 予備エアタンク
６ エアスピンドル
７ スピンドルインバータ（回転制御部）
Claims (4)
- 【請求項１】 エアスピンドルに供給される圧縮エアの
圧力を検出する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エ
アタンクと、前記エアスピンドルの回転制御を行う回転
制御部とを備え、前記圧力検出部が前記エアスピンドル
に供給されている圧縮エアの圧力低下を検出した際に、
前記エアスピンドルに供給する圧縮エアを予備エアタン
クに蓄積された圧縮エアに切り換えて前記エアスピンド
ルに供給するとともに、前記回転制御部が、前記エアス
ピンドルを強制的に停止させるダイシング装置を用いて
半導体ウエハをダイシングする工程を有することを特徴
とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項２】 商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出
する電源検出部と、前記電源検出部が瞬時停電／停電を
検出した際に、バックアップ用電源を供給する無停電電
源部と、エアスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を
検出する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタン
クと、前記エアスピンドルの回転制御を行う回転制御部
とを備え、前記電源検出部が、商用電源の瞬時停電／停
電を検出した際に、前記無停電電源部がバックアップ用
電源を前記回転制御部に供給するとともに、前記回転制
御部が、前記エアスピンドルを強制的に停止させるダイ
シング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする工程
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項３】 商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出
する電源検出部と、前記電源検出部が瞬時停電／停電を
検出した際に、バックアップ用電源を供給する無停電電
源部と、エアスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を
検出する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタン
クと、前記エアスピンドルの回転制御を行う回転制御部
とを備え、前記電源検出部が、商用電源の瞬時停電／停
電を検出した際に、前記無停電電源部がバックアップ用
電源を前記回転制御部に供給するとともに、前記回転制
御部が、前記エアスピンドルを強制的に停止させ、かつ
前記圧力検出部が前記エアスピンドルに供給されている
圧縮エアの圧力低下を検出した際には、前記エアスピン
ドルに供給する圧縮エアを予備エアタンクに蓄積された
圧縮エアに切り換えて前記エアスピンドルに供給するダ
イシング装置を用いて半導体ウエハをダイシングする工
程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項４】 商用電源の各相の瞬時停電／停電を検出
する電源検出部と、前記電源検出部が瞬時停電／停電を
検出した際に、バックアップ用電源を供給する無停電電
源部と、エアスピンドルに供給される圧縮エアの圧力を
検出する圧力検出部と、圧縮エアを蓄えた予備エアタン
クと、前記エアスピンドルの回転制御を行う回転制御部
とを備え、前記圧力検出部が前記エアスピンドルに供給
されている圧縮エアの圧力低下を検出した際には、前記
エアスピンドルに供給する圧縮エアを予備エアタンクに
蓄積された圧縮エアに切り換えて前記エアスピンドルに
供給するとともに、前記回転制御部が、前記エアスピン
ドルを強制的に停止させるダイシング装置を用いて半導
体ウエハをダイシングする工程を有することを特徴とす
る半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001210545A JP2003031525A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001210545A JP2003031525A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003031525A true JP2003031525A (ja) | 2003-01-31 |
Family
ID=19046002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001210545A Pending JP2003031525A (ja) | 2001-07-11 | 2001-07-11 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003031525A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100728282B1 (ko) * | 2006-08-21 | 2007-06-13 | 두산인프라코어 주식회사 | 복합가공 터닝센터의 툴 클램프 확인 장치 및 그 방법 |
| JP2011054847A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2001
- 2001-07-11 JP JP2001210545A patent/JP2003031525A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100728282B1 (ko) * | 2006-08-21 | 2007-06-13 | 두산인프라코어 주식회사 | 복합가공 터닝센터의 툴 클램프 확인 장치 및 그 방법 |
| JP2011054847A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060915 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061215 |