JP2003017261A - Manufacturing method and device of electroluminescent element - Google Patents

Manufacturing method and device of electroluminescent element

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JP2003017261A
JP2003017261A JP2001201543A JP2001201543A JP2003017261A JP 2003017261 A JP2003017261 A JP 2003017261A JP 2001201543 A JP2001201543 A JP 2001201543A JP 2001201543 A JP2001201543 A JP 2001201543A JP 2003017261 A JP2003017261 A JP 2003017261A
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ink
layer
manufacturing
predetermined pattern
light emitting
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Application number
JP2001201543A
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Japanese (ja)
Inventor
Teiichiro Nishimura
貞一郎 西村
Masao Nishiguchi
昌男 西口
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method and device of an electroluminescent element in which the constituting layer in the emission region that is almost impossible of patterning is formed uniformly and in high quality membrane and the patterning is performed in a wide viscosity range and in wide selections of use of solvent, and which can be implemented in a short time. SOLUTION: In the manufacturing method of an electroluminescent element in which a hole transport layer 4 and an electron transport luminous layer 5 are provided as a layer having a light-emitting region between a transparent picture element electrode 2 and a negative electrode 10, at least the electron transport luminous layer 5 is formed in a prescribed pattern by the transfer of its constituting material by the letterpress reverse-offset method.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、自発光型
の薄型平面ディスプレイ等として好適な電界発光素子の
製造方法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an electroluminescent element suitable as, for example, a self-luminous thin flat display.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、軽量で且つ高効率のフラットパネ
ルディスプレイの研究及び開発が、コンピューターやテ
レビジョンの画面表示用として盛んに行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, research and development of a lightweight and highly efficient flat panel display have been actively carried out for a screen display of a computer or a television.

【0003】その一つとして、ブラウン管(CRT)
は、輝度が高く、色再現性が良いために、現在最もポピ
ュラーなディスプレイとして使用されているが、重量が
比較的重く、又場所を取り且つ消費電力が高いという問
題がある。
One of them is a cathode ray tube (CRT).
Is currently used as the most popular display because of its high brightness and good color reproducibility, but it has a problem that it is relatively heavy, takes up space, and consumes high power.

【0004】そのために、軽量で、薄型のディスプレイ
として、今日、液晶ディスプレイが商品化され、普及し
始めているが、液晶ディスプレイ特有の欠点として、視
野角が狭く、そして高速画素信号に対して十分な応答性
能が得られない等の問題がある。特にディスプレイの大
画面化に関しては、製造が困難であり、またコストが高
い等の問題もある。
Therefore, as a lightweight and thin display, a liquid crystal display has been commercialized and is becoming popular nowadays. However, the drawbacks peculiar to the liquid crystal display are that the viewing angle is narrow and that it is sufficient for high-speed pixel signals. There is a problem that response performance cannot be obtained. In particular, there is a problem in that it is difficult to manufacture and the cost is high for increasing the screen size of the display.

【0005】これに代わり得るものとして、発光ダイオ
ードを用いたディスプレイがあるが、やはり製造コスト
が高く、また一つの基板上に発光ダイオードのマトリク
ス構造を形成することが難しいという問題がある。
As an alternative to this, there is a display using a light emitting diode, but there are still problems that the manufacturing cost is high and it is difficult to form a matrix structure of the light emitting diode on one substrate.

【0006】これらの諸問題を解決する可能性があるフ
ラットパネルディスプレイとして、最近注目されている
のが、有機発光材料を用いた有機電界発光素子(有機E
L素子)である。即ち、有機電界発光素子は、発光材料
として有機化合物を用いることにより、自発光であって
応答速度が高速であり、更に視野角依存性がないフラッ
トパネルディスプレイを実現するものとして期待されて
いる。
As a flat panel display capable of solving these problems, attention has recently been paid to an organic electroluminescent device (organic EL device) using an organic light emitting material.
L element). That is, the organic electroluminescent device is expected to realize a flat panel display that is self-luminous, has a high response speed, and has no viewing angle dependency by using an organic compound as a light emitting material.

【0007】近年、有機化合物を構成材料とする電場発
光デバイスについて報告がなされた(Applied Physics
Letters,51,p.913(1987))。この報告では、C.W.T
angらは、有機発光層及び電荷輸送層を積層した構造
の電場発光デバイスを開示している。
In recent years, reports have been made on electroluminescent devices using organic compounds as constituent materials (Applied Physics
Letters, 51, p. 913 (1987)). In this report, C.I. W. T
ang et al. disclose an electroluminescent device having a structure in which an organic light emitting layer and a charge transport layer are laminated.

【0008】そして、発光材料として高い発光効率と電
子輸送性を合わせ持つトリス(8−キノリノール)アル
ミニウム錯体(以下、Alq3と称す。)を用いて、優
れた電場発光デバイスを得ている。また、有機発光層を
形成するAlq3にクマリン誘導体やDCM1(Eastman
Chemicals社製)等の蛍光色素をドープした素子を作製
し、色素の適切な選択により発光色が変わることを報告
するとともに、発光効率も非ドープのものに比べ、上昇
することを開示している(Journal of Applied Physic
s,65,p.3610(1989))。
An excellent electroluminescent device is obtained by using a tris (8-quinolinol) aluminum complex (hereinafter referred to as Alq 3 ) having both high luminous efficiency and electron transporting property as a light emitting material. In addition, Coumarin derivative and DCM1 (Eastman) are added to Alq 3 forming the organic light emitting layer.
(Chemicals Co., Ltd.) was manufactured with a device doped with a fluorescent dye, and it was reported that the emission color was changed by proper selection of the dye, and it was also disclosed that the luminous efficiency was increased as compared with the undoped one. (Journal of Applied Physic
s, 65, p. 3610 (1989)).

【0009】この研究に続いて、多くの研究開発がなさ
れ、新しい機能材料として、蛍光発光性のキレート金属
錯体や電子輸送性有機分子や正孔輸送性有機分子が開発
されるとともに、カラー化に向けての種々の検討がなさ
れている。
Following this research, many researches and developments have been carried out, and as a new functional material, fluorescent chelating metal complexes, electron-transporting organic molecules and hole-transporting organic molecules have been developed and used for colorization. Various studies have been made toward this.

【0010】図8に、従来の有機電界発光素子の一例を
示す。
FIG. 8 shows an example of a conventional organic electroluminescent device.

【0011】この有機電界発光(EL)素子73Aは、
透明のガラス基板51上に、ITO(Indium Tin Oxid
e)透明画素電極(陽極)52、ホール輸送層54、発
光層75、電子輸送層55及び陰極62を、例えば、真
空蒸着法等で順次成膜したものである。
This organic electroluminescence (EL) element 73A is
ITO (Indium Tin Oxid) is placed on the transparent glass substrate 51.
e) The transparent pixel electrode (anode) 52, the hole transport layer 54, the light emitting layer 75, the electron transport layer 55, and the cathode 62 are sequentially formed by, for example, a vacuum vapor deposition method or the like.

【0012】そして、この有機電界発光(EL)素子7
3Aにおいては、陽極であるITO透明画素電極52と
陰極62との間に直流電圧74を印加すると、ITO透
明画素電極52から注入されたキャリアとしてのホール
(正孔)がホール輸送層54を経て移動し、一方、陰極
62から注入された電子が電子輸送層55を経て夫々移
動し、発光層75において、それら電子−正孔対の再結
合が生じ、そこから所定波長の発光76が生じ、これを
透明ガラス基板51の側から観察できる。
Then, the organic electroluminescence (EL) device 7
In 3A, when a DC voltage 74 is applied between the ITO transparent pixel electrode 52 which is an anode and the cathode 62, holes as carriers injected from the ITO transparent pixel electrode 52 pass through the hole transport layer 54. On the other hand, the electrons injected from the cathode 62 move through the electron transport layer 55, respectively, and recombination of these electron-hole pairs occurs in the light emitting layer 75, and light emission 76 of a predetermined wavelength occurs from there. This can be observed from the transparent glass substrate 51 side.

【0013】また、図9に、従来の別の有機電界発光素
子73Bを示すが、この有機電界発光素子73Bでは、
電子輸送層55Aが発光層を兼ねている。
FIG. 9 shows another conventional organic electroluminescent element 73B. In this organic electroluminescent element 73B,
The electron transport layer 55A also serves as a light emitting layer.

【0014】そして、この構造は、具体的には図10に
示す積層構造に構成される。即ち、ITO透明画素電極
(陽極)52を設けたガラス基板51上にホール輸送層
54を形成し、この上に電子輸送性発光層55Aを形成
し、この上には電子の注入性を高めるカルシウム(C
a)層63をアルミニウム(Al)層60との間に設け
る。
Then, this structure is specifically constructed as a laminated structure shown in FIG. That is, a hole transporting layer 54 is formed on a glass substrate 51 provided with an ITO transparent pixel electrode (anode) 52, an electron transporting light emitting layer 55A is formed on the hole transporting layer 54, and calcium which enhances electron injecting property is formed on the hole transporting layer 55A. (C
The a) layer 63 is provided between the a) layer 63 and the aluminum (Al) layer 60.

【0015】このような有機電界発光(EL)素子73
Bの層構造として、ホール輸送層54の材料にポリ
(3,4)−エチレンジオキシチオフェン(以下、PE
DOTと略す。)を用い、電子輸送性発光層55Aにポ
リ(2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキシロキシ)
−1,4−フェニレンビニレン)(以下、MEH−PP
Vと略す。)を用い、この上には電子の注入性を高める
カルシウム(Ca)層63及びアルミニウム(Al)層
60からなる陰極62が設けられている。
Such an organic electroluminescence (EL) device 73
In the layer structure of B, the material of the hole transport layer 54 is poly (3,4) -ethylenedioxythiophene (hereinafter, PE).
Abbreviated as DOT. ), Poly (2-methoxy-5- (2′-ethylhexyloxy)) is used for the electron-transporting light-emitting layer 55A.
-1,4-phenylene vinylene) (hereinafter MEH-PP
Abbreviated as V. ) Is used, and a cathode 62 composed of a calcium (Ca) layer 63 and an aluminum (Al) layer 60 for improving the electron injection property is provided thereon.

【0016】図11には、図10の有機電界発光素子7
3Bを用いた平面ディスプレイの構成例を示す。
FIG. 11 shows the organic electroluminescent device 7 of FIG.
The structural example of the flat display using 3B is shown.

【0017】図示の如く、電子輸送層55Aとホール輸
送層54とからなる有機積層構造が陰極62と陽極52
の間に所定パターンに配される。陰極62及び陽極52
は、互いに交差するストライプ状に設けられ、夫々、輝
度信号回路84及びシフトレジスタ内蔵の制御回路85
により選択されて信号電圧が印加される。これにより、
選択された陰極62及び陽極52が交差する位置(画
素)で有機積層構造が発光する。
As shown in the figure, an organic laminated structure composed of an electron transport layer 55A and a hole transport layer 54 has a cathode 62 and an anode 52.
Are arranged in a predetermined pattern. Cathode 62 and anode 52
Are provided in stripes intersecting with each other, and the luminance signal circuit 84 and the shift register built-in control circuit 85 are respectively provided.
And the signal voltage is applied. This allows
The organic laminated structure emits light at the position (pixel) where the selected cathode 62 and anode 52 intersect.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】これまでの有機電界発
光素子の作製においては、主に真空蒸着法によって電子
輸送性発光層などの有機発光層や電極を形成している。
In the conventional fabrication of organic electroluminescent elements, the organic light emitting layer such as the electron transporting light emitting layer and the electrode are mainly formed by the vacuum deposition method.

【0019】しかしながら、現在の有機電界発光素子を
用いたディスプレイは、サイズが大きくなると、蒸着斑
などが生じるため、生産が困難である。しかも、有機E
L材料は成膜後のパターニングが不可能とされている。
However, the display using the current organic electroluminescence device is difficult to produce because the size of the display causes vapor spots and the like. Moreover, organic E
It is said that the L material cannot be patterned after the film formation.

【0020】これを解決する方法として、高分子EL材
料を用いたデバイス作製方法が注目されている。例えば
特開平10−153967号公報に記載されているイン
クジェットプリンティング技術による高分子ELデバイ
ス作製方法が知られている。
As a method of solving this, a device manufacturing method using a polymer EL material has been attracting attention. For example, a method for producing a polymer EL device by an inkjet printing technique described in JP-A-10-153967 is known.

【0021】ところが、このインクジェットプリンティ
ング方式による高分子有機ELデバイス作製方法は、ま
ず、粘度の低い材料しか扱えないことと、液滴吐出型で
あるという特徴から、ブラックレジスト(樹脂)で囲い
を設けないとパターンを形成できない。即ち、ブラック
レジスト上に付着した低粘度のインクをレジストと共に
除去することによって、それ以外の部分にインクを所定
パターンに残すことになる。
However, in the method for producing a polymer organic EL device by the ink jet printing method, first, since it is possible to handle only a material having a low viscosity and it is a droplet discharge type, an enclosure is provided with a black resist (resin). Without it, the pattern cannot be formed. That is, by removing the low-viscosity ink adhering to the black resist together with the resist, the ink is left in a predetermined pattern on the other portions.

【0022】また、特開平10−153967号公報に
記載されているように、インクジェットのヘッドの関係
から、インク材料は水溶性であるか、或いはアルコール
及びグリコール系の溶剤に可溶であることが望ましいと
されていることから、限られた溶剤しか用いることがで
きない。しかも、インクジェットは、単位画面に対する
インク噴出時間が決まっているため、大型の画面になれ
ばなるほど、時間がかかることになる。
Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-153967, the ink material is water-soluble or soluble in alcohol- and glycol-based solvents because of the ink jet head. Because of their desirability, only limited solvents can be used. In addition, since the ink jetting time for a unit screen is fixed in an inkjet, the larger the screen, the longer the time.

【0023】本発明の目的は、パターニングが不可能と
される発光領域の構成層を均一かつ高膜質にパターン化
して形成することができる上に、そのパターン化を幅広
い粘度範囲及び広範囲の溶剤の選択使用下で行える短時
間に実施可能な電界発光素子の製造方法及びその装置を
提供することにある。
The object of the present invention is to form a uniform and high-quality patterned constituent layer of a light-emitting region where patterning is impossible, and to perform the patterning in a wide viscosity range and a wide range of solvents. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an electroluminescent device and a device for the same, which can be carried out in a short time under selective use.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、第一の
電極と第二の電極との間に、発光領域を有する層が設け
られた電界発光素子の製造方法において、前記層のうち
少なくとも一層を、その構成材料の凸版反転オフセット
法による転写で所定パターンに形成することを特徴とす
る、電界発光素子の製造方法(以下、本発明の製造方法
と称する。)に係るものである。
That is, the present invention provides a method for manufacturing an electroluminescent element, wherein a layer having a light emitting region is provided between a first electrode and a second electrode, The present invention relates to a method for manufacturing an electroluminescence device (hereinafter, referred to as a manufacturing method of the present invention), which comprises forming at least one layer into a predetermined pattern by transferring the constituent material by a letterpress inversion offset method.

【0025】本発明はまた、第一の電極と第二の電極と
の間に、発光領域を有する層が設けられた電界発光素子
を製造する際に用いられ、前記層のうち少なくとも一層
を、その構成材料の凸版反転オフセット法による転写で
所定パターンに形成するための転写手段を具備する、電
界発光素子の製造装置(以下、本発明の製造装置と称す
る。)も提供するものである。
The present invention is also used for manufacturing an electroluminescent device in which a layer having a light emitting region is provided between a first electrode and a second electrode, and at least one of the layers is The present invention also provides an electroluminescent device manufacturing apparatus (hereinafter, referred to as the manufacturing apparatus of the present invention) including a transfer unit for forming a predetermined pattern by transferring the constituent material by a letterpress inversion offset method.

【0026】本発明の製造方法及びその装置によれば、
発光領域を有する層のうち少なくとも一層を、その構成
材料の凸版反転オフセット法による転写で所定パターン
に形成しているので、パターニングができないとされる
材料でも、これを均一かつ高膜質の所定パターンに形成
及び配列することができ、また構成材料を幅広い粘度範
囲で転写でき、用いる溶剤も広範囲に選択して使用で
き、しかも各パターンの迅速な転写が可能であるために
時間短縮が可能となり、大画面でも、また複数色の材料
のパターニングにも十分に対応した高発光効率、高発光
強度の電界発光素子を提供することができる。
According to the manufacturing method and the apparatus thereof of the present invention,
Since at least one of the layers having a light emitting region is formed into a predetermined pattern by transfer of the constituent material by the letterpress inversion offset method, even a material that cannot be patterned can be formed into a uniform and high-quality predetermined pattern. It can be formed and arrayed, the constituent materials can be transferred in a wide range of viscosities, the solvent used can be selected and used in a wide range, and the rapid transfer of each pattern enables the time to be shortened. It is possible to provide an electroluminescent device having high light emission efficiency and high light emission intensity which is sufficiently compatible with patterning of materials of a plurality of colors on a screen.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】本発明の製造方法及びその装置に
おいては、前記構成材料の溶液又は分散液からなるイン
クの転写後に溶剤を除去することにより、前記所定パタ
ーンの層を形成するのが望ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the manufacturing method and the apparatus therefor of the present invention, it is desirable to form the layer having the predetermined pattern by removing the solvent after transferring the ink comprising the solution or dispersion liquid of the constituent materials. .

【0028】この場合、前記構成材料の溶液又は分散液
からなるインクを調製した後、インク剥離性処理面上に
塗布し、この塗布面に対し所定パターンのガラス等の凸
版を押圧して、この凸版の凸部分に前記インクを転写除
去し、更に前記塗布面に残った前記インクをガラス等の
基板上に前記所定パターンに転写してよい。
In this case, after an ink composed of a solution or dispersion of the constituent materials is prepared, it is applied on the ink releasable treated surface, and a relief plate made of glass or the like having a predetermined pattern is pressed against the applied surface, The ink may be transferred and removed on the convex portion of the letterpress, and the ink remaining on the coating surface may be transferred to the predetermined pattern on a substrate such as glass.

【0029】また、有機発光材料(例えばMEH−PP
V等の高分子発光材料、アントラセン、フタロシアニン
等の低分子発光材料)又はその前駆体を水又は有機溶媒
(例えばシクロヘキサノン、テトラヒドロフラン(TH
F)、キシレン、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジ
メチルスルホキシド(DMSO)、アセトニトリル等)
に溶解又は分散させて前記インクを調製した後、前記転
写によって発光層を形成してよい。
Further, an organic light emitting material (for example, MEH-PP) is used.
Polymer light-emitting materials such as V, low-molecular light-emitting materials such as anthracene and phthalocyanine) or precursors thereof are added to water or an organic solvent (for example, cyclohexanone, tetrahydrofuran (TH
F), xylene, dimethylformamide (DMF), dimethylsulfoxide (DMSO), acetonitrile, etc.)
After preparing the ink by dissolving or dispersing it in the above, a light emitting layer may be formed by the transfer.

【0030】また、MEH−PPV等の高分子発光材料
又はその前駆体と、PEDOT等の有機材料又はその前
駆体とを水又は有機溶媒(シクロヘキサノン、テトラヒ
ドロフラン(THF)、キシレン、ジメチルホルムアミ
ド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ア
セトニトリル等)に溶解又は分散させて前記インクを調
製した後、前記転写により、前記高分子発光材料と前記
有機材料との複合層(積層構造)を形成してよい。
Further, a polymer light emitting material such as MEH-PPV or a precursor thereof and an organic material such as PEDOT or a precursor thereof are mixed with water or an organic solvent (cyclohexanone, tetrahydrofuran (THF), xylene, dimethylformamide (DMF). After preparing or preparing the ink by dissolving or dispersing it in dimethylsulfoxide (DMSO), acetonitrile or the like), a composite layer (laminated structure) of the polymer light emitting material and the organic material may be formed by the transfer.

【0031】また、ホール輸送層上に前記インクを前記
所定パターンに転写した後に、前記溶剤を除去して電子
輸送性発光層を形成したり、前記インクを前記所定パタ
ーンに転写した後に、前記溶剤を除去して、単色又は複
数色用の層を形成してよい。
Further, after transferring the ink to the predetermined pattern on the hole transport layer, the solvent is removed to form an electron transporting light emitting layer, or after transferring the ink to the predetermined pattern, the solvent is removed. May be removed to form a single-color or multi-color layer.

【0032】例えば、ガラス等の基板上に少なくとも画
素毎にパターニングされた電極上に前記層を前記所定パ
ターンに形成したり、ガラス等の基板上に少なくとも画
素毎にパターニングされた電極上に、少なくとも赤、緑
及び青の三種類の発光色の各インクを各色毎に転写し
て、各色の発光層を前記所定パターンに形成する。
For example, the layer is formed in the predetermined pattern on an electrode patterned at least for each pixel on a substrate made of glass or at least on an electrode patterned at least for each pixel on a substrate made of glass. Inks of three kinds of luminescent colors of red, green and blue are transferred for each color to form a luminescent layer of each color in the predetermined pattern.

【0033】また、前記インクを転写して、前記発光層
又は前記複合層又は前記電子輸送性発光層又は前記層を
形成するための前記転写手段が、前記構成材料の溶液又
は分散液からなるインクを塗布するインキ剥離性処理面
を有するインク塗布・転写手段と、このインク塗布面に
対し押圧される所定パターンの凸版とを有し、この凸版
の凸部分に前記インクを転写除去した後に、前記インク
塗布面に残った前記インクを所定パターンに転写するよ
うに構成されるのがよい。
Further, the transfer means for transferring the ink to form the light emitting layer, the composite layer, the electron transporting light emitting layer or the layer is an ink composed of a solution or dispersion of the constituent materials. An ink coating / transferring means having an ink releasable treated surface for coating with, and a relief plate of a predetermined pattern pressed against the ink application surface, and after transferring and removing the ink to the convex portion of the relief plate, It is preferable that the ink remaining on the ink application surface is transferred to a predetermined pattern.

【0034】この場合、前記インク塗布・転写手段がロ
ール状に形成され、この回転によって前記インクの前記
凸版への転写除去と前記所定パターンの転写とが行われ
てよい。
In this case, the ink applying / transferring means may be formed in a roll shape, and by this rotation, the transfer removal of the ink to the relief printing plate and the transfer of the predetermined pattern may be performed.

【0035】次に、本発明の好ましい実施の形態を図面
参照下に具体的に説明する。
Next, preferred embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

【0036】まず、図2及び図3に、本実施の形態によ
る有機電界発光(EL)素子の作製プロセスを例示す
る。
First, FIGS. 2 and 3 exemplify a manufacturing process of the organic electroluminescence (EL) device according to the present embodiment.

【0037】まず、図2(1)に示すように、疎水性表
面を有する透明のガラス基板1は、基板洗浄工程におい
て、フィッシャー(Fisher)社製の洗浄剤を用い
て超音波洗浄した後、超純水で数回洗浄する洗浄工程を
2回行う。その後、アセトン及びイソプロピルアルコー
ルで洗浄後、クリーンオーブンで乾燥させ、更に、紫外
線−オゾン(UV−ozone)を照射した後及び/又
は前にITO透明画素電極(陽極)2を真空蒸着等及び
パターニングによって形成する。
First, as shown in FIG. 2A, the transparent glass substrate 1 having a hydrophobic surface is ultrasonically cleaned using a cleaning agent manufactured by Fisher in a substrate cleaning process, and then, The washing step of washing several times with ultrapure water is performed twice. Then, after washing with acetone and isopropyl alcohol, it is dried in a clean oven, and further, before and / or before irradiation with ultraviolet-ozone (UV-ozone), the ITO transparent pixel electrode (anode) 2 is subjected to vacuum deposition or the like and patterning. Form.

【0038】このITO透明画素電極2は、例えば図7
(1)に示すように画素部37を構成する例えば70×
200nmの島状の独立したパターンであってよく、ま
た図7(2)、(3)に示すように各パターン間が絶縁
物14で絶縁分離されていてよい。或いは、この画素電
極はストライブ状であってもよい。
This ITO transparent pixel electrode 2 is shown in FIG.
As shown in (1), the pixel portion 37 is formed, for example, 70 ×
It may be an island-shaped independent pattern of 200 nm, and each pattern may be insulated and separated by an insulator 14 as shown in FIGS. 7 (2) and 7 (3). Alternatively, the pixel electrode may have a stripe shape.

【0039】次に、大気状態で条件をコントロールし
て、図2(2)に示すように、図5に示す分子構造のホ
ール輸送性のPEDOTの水溶液4aをマイクロシリン
ジ3で滴下し、例えば2sec、600rpm及び58
sec、3000rpmでスピンコートを行う。
Next, as shown in FIG. 2 (2), the hole transporting aqueous solution 4a of PEDOT having the molecular structure shown in FIG. 5 is dropped by a microsyringe 3 under controlled atmospheric conditions, for example, 2 sec. , 600 rpm and 58
sec, spin coating is performed at 3000 rpm.

【0040】次に、図2(3)に示すように、これをホ
ットプレート上に載せて焼成処理を行い、ホール輸送
(PEDOT)層4を形成する。なお、この焼成処理
は、大気状態又は減圧状態の処理槽内において、焼成温
度又は減圧度をコントロールしながら例えば120℃で
10分間行う。
Next, as shown in FIG. 2C, this is placed on a hot plate and baked to form a hole transport (PEDOT) layer 4. In addition, this firing treatment is performed, for example, at 120 ° C. for 10 minutes while controlling the firing temperature or the degree of reduced pressure in a treatment tank in an atmospheric state or a reduced pressure state.

【0041】次に、大気状態で条件をコントロールし
て、図3(4)に示すように、図4(1)、(2)又は
(3)に示す分子構造の電子輸送性ポリマーであるME
H−PPV、CN−PPV又はPPVの有機系溶液から
なるインク5bを、ホール輸送層4上に凸版反転オフセ
ット法により所定パターンに転写する。
Next, by controlling the conditions in the atmospheric condition, as shown in FIG. 3 (4), ME which is an electron transporting polymer having the molecular structure shown in FIG. 4 (1), (2) or (3).
The ink 5b made of an organic solution of H-PPV, CN-PPV or PPV is transferred onto the hole transport layer 4 in a predetermined pattern by the letterpress inversion offset method.

【0042】次に、これを例えば70℃で2時間、焼成
して膜形成し、その後に例えば70℃の真空オーブンで
溶媒を蒸発除去し、図3(5)に示すように電子輸送性
発光層5を形成する。
Next, this is baked at, for example, 70 ° C. for 2 hours to form a film, after which the solvent is removed by evaporation in a vacuum oven at, for example, 70 ° C., and electron-transporting light emission is performed as shown in FIG. 3 (5). Form layer 5.

【0043】ここで、PPV又はその誘導体のインク5
bの転写は、図1に示す凸版反転オフセット法で行うの
がよい。
Here, the ink 5 of PPV or its derivative is used.
The transfer of b is preferably performed by the relief inversion offset method shown in FIG.

【0044】即ち、図1(1)に示すように、インク剥
離性処理を施した、例えばシリコン樹脂20を周面に一
体に設けたロール21に対し、ワイヤバー(図示せず)
等によりインク5aを所定厚(例えば100nm)に塗
布した後、図1(2)に示すように、ロール21をガラ
ス製の凸版22(ガラスマスク)上で相対的に転動させ
ながら、その凸部先端部に接するインクを5cとしてロ
ール21の表面から除去する。これは、シリコン樹脂2
0による剥離作用により容易かつ高精度に行える。凸版
22の凸部は、形成すべき電子輸送性発光層とは逆パタ
ーンに予め加工されている。
That is, as shown in FIG. 1 (1), a wire bar (not shown) is provided for a roll 21 which has been subjected to an ink peeling treatment and which is integrally provided with, for example, a silicone resin 20 on its peripheral surface.
After applying the ink 5a with a predetermined thickness (for example, 100 nm) by the above method, as shown in FIG. 1 (2), the roll 21 is relatively rolled on the relief plate 22 (glass mask) made of glass, The ink in contact with the leading end of the roll is removed as 5c from the surface of the roll 21. This is silicone resin 2
The peeling action by 0 makes it possible to perform easily and with high accuracy. The convex portion of the relief plate 22 is preliminarily processed into a pattern opposite to the electron transporting light emitting layer to be formed.

【0045】こうして、ロール21上に必要なインクパ
ターン5bを残した後、図1(3)に示すように、有機
電界発光素子のガラス基板1上に接してロール21を相
対的に転動させ、ロール21上の残ったインク5bを基
板1上に所定パターンに転写し、上記した焼成、乾燥処
理を行う。この転写は、ロール21のシリコン樹脂20
の剥離作用によって容易かつ高精度に行える。こうして
形成された電子輸送性発光層5は、図6に示す如き単色
パターンは勿論、上記凸版反転オフセット法を順次行う
ことによって図7に示す如きフルカラー用のパターン5
R(赤色用)、5G(緑色用)、5B(青色用)をそれ
ぞれ形成することができる。
In this way, after the necessary ink pattern 5b is left on the roll 21, as shown in FIG. 1 (3), the roll 21 is relatively rolled while being in contact with the glass substrate 1 of the organic electroluminescent device. The ink 5b remaining on the roll 21 is transferred onto the substrate 1 in a predetermined pattern, and the above-described baking and drying processes are performed. This transfer is performed by the silicon resin 20 of the roll 21.
Can be easily and highly accurately performed by the peeling action of. The electron-transporting light-emitting layer 5 thus formed is not limited to the monochrome pattern shown in FIG. 6, but the full-color pattern 5 shown in FIG. 7 can be obtained by sequentially performing the relief inversion offset method.
R (for red), 5G (for green), and 5B (for blue) can be formed, respectively.

【0046】次に、図3(6)に示すように、真空蒸着
等及びパターニングによって、電子輸送性発光層5上に
カルシウム(Ca)層13を例えば5000nm厚に形
成し、このカルシウム(Ca)層13上に主電極として
のアルミニウム(Al)層10を例えば10,000n
m厚に形成し、このアルミニウム(Al)層10上に保
護及びボンディング性向上のためのAu−Ge層9を例
えば10,000nm厚に形成し、陰極を形成する。
Next, as shown in FIG. 3 (6), a calcium (Ca) layer 13 having a thickness of 5000 nm, for example, is formed on the electron-transporting light-emitting layer 5 by vacuum evaporation or the like and patterning. An aluminum (Al) layer 10 serving as a main electrode is formed on the layer 13 by, for example, 10,000 n.
Then, an Au—Ge layer 9 for protection and improving the bonding property is formed on the aluminum (Al) layer 10 to a thickness of, for example, 10,000 nm to form a cathode.

【0047】次に、図3(7)に示すように、Au−G
e層9上から対向基板8を被せ、更に側部をエポキシ樹
脂等によって封止し、有機電界発光素子15を完成す
る。
Next, as shown in FIG. 3 (7), Au-G
The counter substrate 8 is covered on the e layer 9 and the side portions are further sealed with an epoxy resin or the like to complete the organic electroluminescence device 15.

【0048】本実施の形態による有機電界発光素子15
の製造方法及びその装置によれば、発光領域を有する層
のうち少なくとも一層、即ち電子輸送性発光層5を、そ
の構成材料の凸版反転オフセット法による転写で所定パ
ターンに形成しているので、パターニングができないと
される材料でも、これを均一かつ高膜質の所定パターン
に形成及び配列することができる。
Organic electroluminescent device 15 according to the present embodiment
According to the manufacturing method and the apparatus thereof, at least one of the layers having a light emitting region, that is, the electron transporting light emitting layer 5 is formed in a predetermined pattern by transfer of the constituent material by the letterpress inversion offset method. Even a material that cannot be processed can be formed and arranged in a predetermined pattern having a uniform and high film quality.

【0049】また、構成材料を幅広い粘度範囲で転写で
き、溶剤も広範囲に選択して使用できる。
Further, the constituent materials can be transferred in a wide range of viscosities, and a wide range of solvents can be selected and used.

【0050】しかも、各パターンの迅速な転写が可能で
あるために時間短縮が可能となり、大画面でも、また複
数色の材料のパターニングにも十分に対応した高発光
率、高発光強度の電界発光素子を提供することができ
る。
Moreover, since each pattern can be transferred quickly, the time can be shortened, and the electroluminescence of high emission rate and high emission intensity can be achieved even on a large screen and for patterning materials of a plurality of colors. An element can be provided.

【0051】上記の凸版反転オフセット法は特に、ロー
ル21のシリコン樹脂20上にインク5aを塗布し、こ
れをガラス製の凸版22による不要インク5cの除去、
及びこれに続くインク5bの転写をシリコン樹脂20か
らそれぞれ行うために、各インクの分離によって発生す
るいわゆる糸ひき現象がなく、転写インクのムラが生じ
ず、目的とするパターンが容易かつ高精度に得られる。
In the letterpress inversion offset method described above, in particular, the ink 5a is applied on the silicon resin 20 of the roll 21, and the unnecessary ink 5c is removed by the letterpress 22 made of glass.
Also, since the subsequent transfer of the ink 5b is performed from the silicon resin 20, there is no so-called stringing phenomenon that occurs due to the separation of each ink, unevenness of the transferred ink does not occur, and the target pattern is easily and highly accurately. can get.

【0052】この場合、凸版22がガラス製であって不
要インク5cの除去が容易であると共に、必要なインク
5bを有機系のホール輸送層4上に容易に転写でき、そ
の転写インクはパターンくずれなしに密着性良好に転写
できる。仮にホール輸送層4を設けない素子構造の場合
でも、転写の下地がITOやガラス基板であることか
ら、不要インク5cの剥離除去と必要インク5bの剥離
転写とは同程度に行え、それぞれの剥離条件を制御し易
くなる。
In this case, since the relief plate 22 is made of glass, the unnecessary ink 5c can be easily removed, and the necessary ink 5b can be easily transferred onto the organic hole transport layer 4, and the transferred ink has a pattern collapse. It is possible to transfer with good adhesion without using. Even in the case of the element structure in which the hole transport layer 4 is not provided, since the base of the transfer is ITO or the glass substrate, the peeling removal of the unnecessary ink 5c and the peeling transfer of the necessary ink 5b can be performed at the same level, and each peeling is performed. It becomes easier to control the conditions.

【0053】しかも、凸版22の使用によってシリコン
樹脂20からの不要インク5cの除去が容易となる上
に、シリコン樹脂20からほぼ平坦面上への必要インク
5bの剥離転写が容易となり、転写インクの表面性も良
好となり、均一で膜質の良い層を形成することができ
る。凸版22自体も、エッチングにより高精度に加工で
き、特に凸部の低い(即ち、インク層の薄い)パターン
にとって好適なものに加工できることから、厚さの薄い
インクの転写を必要とする有機電界発光素子用として有
利となる。
Moreover, the use of the relief plate 22 facilitates the removal of the unnecessary ink 5c from the silicone resin 20, and facilitates the peeling transfer of the required ink 5b from the silicone resin 20 to a substantially flat surface, thus eliminating the transfer ink. The surface property is also improved, and a uniform layer having a good film quality can be formed. The relief plate 22 itself can also be processed with high accuracy by etching, and can be processed into a pattern particularly suitable for a pattern having a low projection (that is, a thin ink layer), and thus organic electroluminescence that requires transfer of a thin ink. It is advantageous for devices.

【0054】[0054]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.

【0055】<有機電界発光素子の作製>まず、UV−
オゾン照射して図7に示したように、ITO透明画素電
極2をパターン形成した。これを必要に応じてUV−オ
ゾン処理した後、ガラス基板上にPEDOTを600r
pm、2sec、及び3000rpm、58secでス
ピンコートした。このスピンコート終了後、ホットプレ
ートを用いて120℃で10分間焼成し、ホール輸送層
を全面に形成した。
<Production of Organic Electroluminescent Device> First, UV-
By irradiating with ozone, the ITO transparent pixel electrode 2 was patterned as shown in FIG. After UV-ozone treatment of this as needed, 600 r of PEDOT was formed on the glass substrate.
Spin coating was performed at pm for 2 seconds, and 3000 rpm for 58 seconds. After completion of this spin coating, it was baked at 120 ° C. for 10 minutes using a hot plate to form a hole transport layer on the entire surface.

【0056】次に、この焼成終了後、図1に示したよう
な凸版反転オフセット方式によりホール輸送層上に電子
輸送性発光材料を所定パターンに印刷し、電子輸送性発
光層を所定パターンに形成した。発光材料としては、以
下の材料を使用した。印刷終了後、70℃で2時間焼成
することによって膜形成を行い、その後、70℃の真空
オーブンで溶媒を除去した。
Next, after completion of the firing, the electron transporting light emitting material is printed in a predetermined pattern on the hole transporting layer by a relief inversion offset method as shown in FIG. 1 to form the electron transporting light emitting layer in a predetermined pattern. did. The following materials were used as the light emitting material. After completion of printing, a film was formed by baking at 70 ° C. for 2 hours, and then the solvent was removed in a vacuum oven at 70 ° C.

【0057】[0057]

【化1】 [Chemical 1]

【0058】次に、カルシウム(Ca)を500Å厚
に、アルミニウム(Al)を1000Å厚に、Au−G
eを1000Å厚に順次真空蒸着した後にパターニング
し、陰極を形成した。その後、エポキシ樹脂を使用して
封止を行い、図3(7)に示したような有機電界発光素
子を作製した。
Next, calcium (Ca) is made to have a thickness of 500 Å, aluminum (Al) is made to have a thickness of 1000 Å, and Au-G.
e was vacuum-deposited to a thickness of 1000Å in sequence and then patterned to form a cathode. After that, sealing was performed using an epoxy resin to fabricate an organic electroluminescent device as shown in FIG. 3 (7).

【0059】<発光特性の評価>この有機電界発光素子
について、各色の発光効率(cd/A)及び発光強度
(cd/m2)を測定し、その結果を下記表1〜3に示
す。これらの表には、比較としてPPV又はその誘導体
をスピンコート法で全面に形成した時の、発光効率及び
発光強度の測定値も示す。
<Evaluation of Luminescent Properties> Luminous efficiency (cd / A) and luminous intensity (cd / m 2 ) of each color were measured for this organic electroluminescent device, and the results are shown in Tables 1 to 3 below. These tables also show measured values of luminous efficiency and luminous intensity when PPV or a derivative thereof was formed on the entire surface by spin coating for comparison.

【0060】[0060]

【表1】 [Table 1]

【0061】この有機電界発光素子を作製後、窒素雰囲
気下に1カ月間放置したが、素子劣化は観察されなかっ
た。また、初期輝度100cd/m2で電流値を一定に
通電して連続発光し、強制劣化させた際、輝度が半減す
るまで1300時間であった。
After manufacturing this organic electroluminescent device, it was left in a nitrogen atmosphere for one month, but no device deterioration was observed. In addition, when the initial luminance was 100 cd / m 2 and a constant current was applied to continuously emit light to forcibly degrade the luminance, it was 1300 hours until the luminance decreased to half.

【0062】[0062]

【表2】 [Table 2]

【0063】この有機電界発光素子を作製後、窒素雰囲
気下に1カ月間放置したが、素子劣化は観察されなかっ
た。また、初期輝度100cd/m2で電流値を一定に
通電して連続発光し、強制劣化させた際、輝度が半減す
るまで1210時間であった。
After manufacturing this organic electroluminescent device, it was left in a nitrogen atmosphere for one month, but no device deterioration was observed. In addition, when the initial luminance was 100 cd / m 2 and the current value was constantly energized to continuously emit light and forcibly deteriorated, it was 1210 hours until the luminance decreased to half.

【表3】 [Table 3]

【0064】この有機電界発光素子を作製後、窒素雰囲
気下に1カ月間放置したが、素子劣化は観察されなかっ
た。また、初期輝度100cd/m2で電流値を一定に
通電して連続発光し、強制劣化させた際、輝度が半減す
るまで1450時間であった。
After manufacturing this organic electroluminescent device, it was left in a nitrogen atmosphere for one month, but no device deterioration was observed. In addition, when the initial luminance was 100 cd / m 2 and the current value was constantly energized to continuously emit light and forcibly deteriorated, it was 1450 hours until the luminance decreased to half.

【0065】上記の各表に示す結果によれば、本発明の
実施例の有機電界発光素子は、発光層のパターン化が容
易である上に、スピンコート法を用いる場合に匹敵する
発光効率や発光強度を有し、良好な発光特性を示した。
そして、これは、上記の各色の発光層を共通基板上にそ
れぞれ形成して、フルカラー表示用の有機電界発光素子
を作製するのに有利であった。
According to the results shown in the above tables, the organic electroluminescent devices of the examples of the present invention are easy to pattern the light emitting layer and have a luminous efficiency comparable to that of the spin coating method. It had a luminescence intensity and showed good luminescence characteristics.
Then, this was advantageous for forming the above-described light emitting layers of the respective colors on the common substrate to manufacture an organic electroluminescent element for full-color display.

【0066】以上に述べた本発明の実施の形態及び実施
例は、本発明の技術的思想に基づいて更に変形が可能で
ある。
The embodiments and examples of the present invention described above can be further modified based on the technical idea of the present invention.

【0067】例えば、上述の有機電界発光素子におい
て、凸版反転オフセット法で転写する発光材料は、PP
V又はその誘導体のみならず、他の有機又は高分子発光
材料であってよく、例えば上述のPEDOTからなるホ
ール輸送層も同様の凸版反転オフセット法で所定パター
ンに形成してもよい。
For example, in the above-mentioned organic electroluminescence device, the luminescent material transferred by the relief inversion offset method is PP
Not only V or its derivative, but also other organic or polymer light emitting materials may be used. For example, the hole transport layer made of PEDOT described above may be formed in a predetermined pattern by the same relief inversion offset method.

【0068】また、上述の凸版反転オフセット法に用い
る各部材の形状、構造、操作方法等は種々に変更してよ
い。
The shape, structure, operating method, etc. of each member used in the above-mentioned relief inversion offset method may be variously changed.

【0069】また、上述した素子は例えば表示素子用の
ものであるが、他の種々の構造からなっていてもよく、
また表示素子以外でも、電界発光による発光光を信号光
として受光する光通信手段としての素子であってもよ
い。
Further, although the above-mentioned element is for a display element, for example, it may have various other structures.
Further, other than the display element, it may be an element as an optical communication means for receiving the light emitted by electroluminescence as the signal light.

【0070】[0070]

【発明の作用効果】本発明の製造方法及びその装置によ
れば、発光領域を有する層のうち少なくとも一層を、そ
の構成材料の凸版反転オフセット法による転写で所定パ
ターンに形成しているので、パターニングができないと
される材料でも、これを均一かつ高膜質の所定パターン
に形成及び配列することができ、また構成材料を幅広い
粘度範囲で転写でき、溶剤も広範囲に選択して使用で
き、しかも各パターンの迅速な転写が可能であるために
時間短縮が可能となり、大画面でも、また複数色の材料
のパターニングにも十分に対応した高発光効率、高発光
強度の電界発光素子を提供することができる。
According to the manufacturing method and the apparatus thereof of the present invention, at least one of the layers having the light emitting region is formed into a predetermined pattern by transferring the constituent material thereof by the letterpress inversion offset method. It is possible to form and arrange even a material that cannot be processed into a predetermined pattern of uniform and high film quality, transfer the constituent materials in a wide range of viscosity, and use a wide range of solvents to select. It is possible to provide a high luminous efficiency and high luminous intensity electroluminescence device that can be used for a large screen and is sufficiently compatible with patterning of materials of a plurality of colors. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に基づく有機電界発光素子の作製に用い
る凸版反転オフセット法を工程順に説明するための断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining a letterpress inversion offset method used for manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention in the order of steps.

【図2】同、有機電界発光素子の作製工程を順次示す断
面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the steps of manufacturing the organic electroluminescent device in the same order.

【図3】同、有機電界発光素子の作製工程を順次示す断
面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the steps of manufacturing the organic electroluminescent element in the same order.

【図4】同、有機電界発光素子の発光材料であるMEH
−PPV、CN−PPV及びPPVの分子構造図であ
る。
[FIG. 4] Similarly, MEH which is a light emitting material of an organic electroluminescence device.
It is a molecular structure figure of -PPV, CN-PPV, and PPV.

【図5】同、PEDOTの分子構造図である。FIG. 5 is a molecular structure diagram of PEDOT.

【図6】同、電子輸送性発光層のパターン図である。FIG. 6 is a pattern diagram of the same electron-transporting light-emitting layer.

【図7】同、画素部の平面図(1)とそのA−A線断面
図(2)、(3)である。
FIG. 7 is a plan view (1) of the pixel section and sectional views (2) and (3) taken along the line AA of the same.

【図8】従来例における有機電界発光素子の一例を示す
概略断面図である。
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an example of an organic electroluminescent element in a conventional example.

【図9】同、有機電界発光素子の他の一例を示す概略断
面図である。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing another example of the organic electroluminescent element.

【図10】同、有機電界発光素子の構成例を示す断面図
である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a configuration example of the same organic electroluminescent element.

【図11】同、有機電界発光素子を用いた平面ディスプ
レイの構成例を示す概略図である。
FIG. 11 is a schematic view showing a configuration example of a flat display using the same organic electroluminescent element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、8…ガラス基板、2…ITO透明画素電極(陽
極)、3…マイクロシリンジ、4…ホール輸送層、5…
電子輸送性発光層、5a…有機EL材料用のインク、5
b…必要インク、5c…不要インク、7…エポキシ樹
脂、9…Au−Ge層、10…アルミニウム(Al)
層、13…カルシウム(Ca)層、14…絶縁層、15
…有機電界発光素子、20…剥離性処理面(シリコン樹
脂)、21…ロール、22…凸版(ガラスマスク)、3
7…画素部
1, 8 ... Glass substrate, 2 ... ITO transparent pixel electrode (anode), 3 ... Microsyringe, 4 ... Hole transport layer, 5 ...
Electron-transporting light-emitting layer, 5a ... Ink for organic EL material, 5
b ... Necessary ink, 5c ... Unwanted ink, 7 ... Epoxy resin, 9 ... Au-Ge layer, 10 ... Aluminum (Al)
Layer, 13 ... Calcium (Ca) layer, 14 ... Insulating layer, 15
... organic electroluminescent device, 20 ... Releasable treated surface (silicon resin), 21 ... Roll, 22 ... Letterpress (glass mask), 3
7 ... Pixel part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3K007 AB02 AB03 AB04 AB11 AB18 BA06 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 3K007 AB02 AB03 AB04 AB11 AB18                       BA06 CA01 CB01 DA01 DB03                       EB00 FA01

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第一の電極と第二の電極との間に、発光
領域を有する層が設けられた電界発光素子の製造方法に
おいて、前記層のうち少なくとも一層を、その構成材料
の凸版反転オフセット法による転写で所定パターンに形
成することを特徴とする、電界発光素子の製造方法。
1. A method of manufacturing an electroluminescent device comprising a layer having a light emitting region provided between a first electrode and a second electrode, wherein at least one of the layers is a letterpress inversion of its constituent material. A method for manufacturing an electroluminescent device, which comprises forming a predetermined pattern by transfer by an offset method.
【請求項2】 前記構成材料の溶液又は分散液からなる
インクの前記転写後に溶剤を除去し、前記所定パターン
の層を形成する、請求項1に記載した電界発光素子の製
造方法。
2. The method for manufacturing an electroluminescent element according to claim 1, wherein the solvent is removed after the transfer of the ink composed of the solution or dispersion liquid of the constituent materials to form the layer having the predetermined pattern.
【請求項3】 前記構成材料の溶液又は分散液からなる
インクを調製した後、インク剥離性処理面上に塗布し、
この塗布面に対し所定パターンの凸版を押圧して、この
凸版の凸部分に前記インクを転写除去し、更に前記塗布
面に残った前記インクを前記所定パターンに転写する、
請求項2に記載した電界発光素子の製造方法。
3. An ink comprising a solution or dispersion of the constituent materials is prepared and then applied on the ink releasable treated surface,
Pressing a relief plate of a predetermined pattern against the application surface, transferring and removing the ink to the convex portion of the relief plate, and further transferring the ink remaining on the application surface to the predetermined pattern,
The method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 2.
【請求項4】 有機発光材料又はその前駆体を水又は有
機溶媒に溶解又は分散させて前記インクを調製した後、
前記転写によって発光層を形成する、請求項2に記載し
た電界発光素子の製造方法。
4. An organic light emitting material or a precursor thereof is dissolved or dispersed in water or an organic solvent to prepare the ink,
The method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 2, wherein a light emitting layer is formed by the transfer.
【請求項5】 高分子発光材料又はその前駆体と、有機
材料又はその前駆体とを水又は有機溶媒に溶解又は分散
させて前記インクを調製した後、前記転写により、前記
高分子発光材料と前記有機材料との複合層を形成する、
請求項2に記載した電界発光素子の製造方法。
5. A polymer light emitting material or a precursor thereof and an organic material or a precursor thereof are dissolved or dispersed in water or an organic solvent to prepare the ink, and then by the transfer, the polymer light emitting material and the polymer light emitting material are prepared. Forming a composite layer with the organic material,
The method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 2.
【請求項6】 ホール輸送層上に前記インクを前記所定
パターンに転写した後に、前記溶剤を除去して電子輸送
性発光層を形成する、請求項2に記載した電界発光素子
の製造方法。
6. The method of manufacturing an electroluminescent device according to claim 2, wherein the electron transporting light emitting layer is formed by removing the solvent after transferring the ink to the predetermined pattern on the hole transporting layer.
【請求項7】 前記インクを前記所定パターンに転写し
た後に、前記溶剤を除去して単色又は複数色用の層を形
成する、請求項2に記載した電界発光素子の製造方法。
7. The method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 2, wherein after the ink is transferred to the predetermined pattern, the solvent is removed to form a layer for a single color or a plurality of colors.
【請求項8】 基板上に少なくとも画素毎にパターニン
グされた電極上に前記層を前記所定パターンに形成す
る、請求項7に記載した電界発光素子の製造方法。
8. The method for manufacturing an electroluminescence device according to claim 7, wherein the layer is formed in the predetermined pattern on an electrode patterned on at least each pixel on a substrate.
【請求項9】 基板上に少なくとも画素毎にパターニン
グされた電極上に、少なくとも赤、緑及び青の三種類の
発光色の各インクを各色毎に転写して、各色の発光層を
前記所定パターンに形成する、請求項7に記載した電界
発光素子の製造方法。
9. Ink of at least three types of emission colors of red, green and blue is transferred for each color onto an electrode patterned on a substrate at least for each pixel, and the emission layer of each color is formed into the predetermined pattern. The method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 7, wherein the electroluminescent device is formed according to claim 1.
【請求項10】 第一の電極と第二の電極との間に、発
光領域を有する層が設けられた電界発光素子を製造する
際に用いられ、前記層のうち少なくとも一層を、その構
成材料の凸版反転オフセット法による転写で所定パター
ンに形成するための転写手段を具備する、電界発光素子
の製造装置。
10. Used in manufacturing an electroluminescent device in which a layer having a light emitting region is provided between a first electrode and a second electrode, and at least one of the layers is made of a constituent material thereof. An apparatus for manufacturing an electroluminescence device, comprising a transfer means for forming a predetermined pattern by transfer by the letterpress inversion offset method.
【請求項11】 前記構成材料の溶液又は分散液からな
るインクが前記転写手段によって転写される、請求項1
0に記載した電界発光素子の製造装置。
11. The ink comprising a solution or dispersion of the constituent materials is transferred by the transfer means.
The manufacturing apparatus of the electroluminescent element as described in 0.
【請求項12】 前記転写手段が、前記構成材料の溶液
又は分散液からなるインクを塗布するインク剥離性処理
面を有するインク塗布・転写手段と、このインク塗布面
に対し押圧される所定パターンの凸版とを有し、この凸
版の凸部分に前記インクを転写除去した後に、前記イン
ク塗布面に残った前記インクを前記所定パターンに転写
するように構成された、請求項11に記載した電界発光
素子の製造装置。
12. The transfer means comprises an ink applying / transfer means having an ink releasable treatment surface for applying ink made of a solution or dispersion of the constituent material, and a predetermined pattern pressed against the ink applying surface. 12. The electroluminescence according to claim 11, further comprising a relief plate, which is configured to transfer the ink onto the convex portion of the relief plate and then transfer the ink remaining on the ink application surface to the predetermined pattern. Device manufacturing equipment.
【請求項13】 前記インク塗布・転写手段がロール状
に形成され、この回転によって前記インクの前記凸版へ
の転写除去と前記所定パターンの転写とが行われる、請
求項12に記載した電界発光素子の製造装置。
13. The electroluminescent device according to claim 12, wherein the ink applying / transferring unit is formed in a roll shape, and the rotation removes and transfers the ink to the relief plate and transfers the predetermined pattern. Manufacturing equipment.
【請求項14】 請求項4〜9のいずれか1項に記載し
た前記発光層又は前記複合層又は電子輸送性発光層又は
前記層を形成するのに用いられる、請求項10に記載し
た電界発光素子の製造装置。
14. The electroluminescent device according to claim 10, which is used for forming the light emitting layer, the composite layer, the electron transporting light emitting layer, or the layer according to claim 4. Device manufacturing equipment.
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