JP2002533202A - Capacity gas mixing equipment - Google Patents

Capacity gas mixing equipment

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JP2002533202A
JP2002533202A JP2000590463A JP2000590463A JP2002533202A JP 2002533202 A JP2002533202 A JP 2002533202A JP 2000590463 A JP2000590463 A JP 2000590463A JP 2000590463 A JP2000590463 A JP 2000590463A JP 2002533202 A JP2002533202 A JP 2002533202A
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chamber
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chambers
storage tank
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Japanese (ja)
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スミス,アラン,ジョセフ,ヒッリング
Original Assignee
ウイリアム エー.クック オーストラリア ピティワイ、リミティド.
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    • F17C2265/02Mixing fluids
    • F17C2265/025Mixing fluids different fluids

Abstract

(57)【要約】 【課題】 2種類以上のガスを所定の比率で正確に混合し、得られた混合ガスを間欠的に又は要求次第で或いは連続的に配送することができるガス混合装置を提供する。 【解決手段】 本願発明のガス混合装置は、(a)少なくとも2個のチャンバはその容量が等しくない複数個のガスチャンバと、(b)圧力供給源から各ガスチャンバへのガスの流量を制御するための調整手段(40,41;69,70,71)と、 (c)前記チャンバからのガスを貯留しておくための貯留タンク(46,73)と、(d)前記チャンバから前記貯留タンクへのガスの移送を制御するための手段(47,48;69,70,71)とからなる。 (57) [Problem] To provide a gas mixing device capable of accurately mixing two or more types of gases at a predetermined ratio and delivering the obtained mixed gas intermittently, on demand, or continuously. provide. SOLUTION: The gas mixing device of the present invention controls (a) a plurality of gas chambers in which at least two chambers have unequal capacities, and (b) a flow rate of gas from a pressure supply source to each gas chamber. (C) a storage tank (46, 73) for storing gas from the chamber; and (d) a storage tank from the chamber. Means (47, 48; 69, 70, 71) for controlling the transfer of gas to the tank.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
本発明はガス混合装置に関する。更に詳細には、本発明は特定の比率で複数の
ガスを混合する装置に関する。
The present invention relates to a gas mixing device. More specifically, the present invention relates to an apparatus for mixing a plurality of gases in a specific ratio.
【0002】[0002]
【従来の技術】[Prior art]
2種類以上のガスの混合物からなる正確に混合されたガス供給材料を配送する
ことができる装置が求められている。
There is a need for an apparatus that can deliver a precisely mixed gas feed comprising a mixture of two or more gases.
【0003】 正確に混合されたガス混合物は、ほ乳類の胚の培養、ヒト、動物、細菌及び植
物の細胞の培養、及び特定の細胞系統又は遺伝学的に工作された細胞の培養にお
ける雰囲気のような用途について使用できる。
[0003] Precisely mixed gas mixtures are used in cultures of mammalian embryos, in culture of human, animal, bacterial and plant cells, and in cultures of certain cell lines or genetically engineered cells. It can be used for various applications.
【0004】 このガス混合物はまた、有機及び無機緩衝液のpH値及びポリペプチド、タン
パク質及びホルモンを生成するためのバイオリアクターにおいて使用する媒体の
pH値を正確に維持するためにも使用できる。このガス混合物はまた、化学レー
ザにおける燃料源及び工業的酸化処理及び発酵処理における燃料源としても使用
できる。
This gas mixture can also be used to precisely maintain the pH of organic and inorganic buffers and the pH of the media used in bioreactors for producing polypeptides, proteins and hormones. This gas mixture can also be used as a fuel source in chemical lasers and in industrial oxidation and fermentation processes.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]
2種類以上のガスの混合を正確に制御することが求められている全ての事例及
びガス混合物の配送を間欠的に又は要求次第で或いは連続的に行うことが求めら
れている全ての事例において使用することができるガス混合装置の開発が切望さ
れている。
Used in all cases where precise control of the mixing of two or more gases is required and in all cases where the delivery of the gas mixture is required intermittently or on demand or continuously The development of a gas mixing device that can do this is eagerly desired.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]
本発明によれば、成分ガス及び各成分の濃度をユーザが調整することができ、
かつ、規定することができる、正確に混合されたガス源が提供される。このよう
な装置におけるガス混合物は、全ての特定用途において、間欠的に、又は要求次
第で、或いは連続的に使用することができ、このような装置により供給可能な使
用量がゼロから最大値であることができる。
According to the present invention, the user can adjust the concentration of the component gas and each component,
And a precisely mixed gas source is provided that can be defined. The gas mixture in such a device can be used intermittently, on demand or continuously in all specific applications, and the amount of use that can be supplied by such a device is from zero to a maximum. There can be.
【0007】 本発明の或る実施態様では、本発明のガス混合装置は、複数のガスチャンバ(
これらのガスチャンバのうちの少なくとも2個は容量が等しくないものである)
と、圧力供給源から各ガスチャンバへのガスの流れを制御する調整手段と、チャ
ンバからのガスを蓄えておくための貯留タンクと、チャンバから貯留タンクへの
ガスの移送を制御する手段とからなる。本発明の装置は、各チャンバに接続され
た圧力調整ガス供給管と、各チャンバから混合ガス貯留タンクへの排出管とを有
する。
In one embodiment of the present invention, the gas mixing device of the present invention comprises a plurality of gas chambers (
At least two of these gas chambers are unequal in volume)
Adjusting means for controlling the flow of gas from the pressure supply source to each gas chamber, a storage tank for storing gas from the chamber, and means for controlling transfer of gas from the chamber to the storage tank. Become. The apparatus of the present invention has a pressure adjusting gas supply pipe connected to each chamber, and a discharge pipe from each chamber to the mixed gas storage tank.
【0008】 各チャンバへの圧力調整ガス供給管は全て同じ圧力及び同じ温度であり、その
ため、ベルヌーイの定理により、ガスの容量を規定することができる。
[0008] The pressure regulating gas supply pipes to each chamber are all at the same pressure and the same temperature, so that the volume of gas can be defined by Bernoulli's theorem.
【0009】 各チャンバの排出管は逆止弁を有することが好ましい。この逆止弁は、貯留タ
ンクから任意の各チャンバへのガスの逆流を防止する機能を果たす。
Preferably, the exhaust pipe of each chamber has a check valve. This check valve functions to prevent backflow of gas from the storage tank to any of the chambers.
【0010】 各排出管は、各排出管中のガスの流量を調節するための可変オリフィス絞り弁
も有する。絞り弁を使用することにより、各チャンバからのガス流量を比例して
減衰させることができ、そのため、各チャンバから貯留タンクに移すのに要する
時間は概ね等しい。これにより、チャンバからの移送の全サイクルにわたって、
比例的混合が可能になる。その結果、単一のサイクル内の一時的なピークは除去
され、それにより、一層正確な混合と、システムを満たすのに必要なガスの量を
低減させることができる。
[0010] Each outlet tube also has a variable orifice throttle valve for adjusting the flow rate of gas in each outlet tube. By using a throttle valve, the gas flow from each chamber can be proportionally attenuated, so that the time required to transfer from each chamber to the storage tank is approximately equal. This ensures that the entire transfer cycle from the chamber
Proportional mixing becomes possible. As a result, transient peaks within a single cycle are eliminated, thereby allowing for more accurate mixing and reducing the amount of gas required to fill the system.
【0011】 本発明の好ましい実施態様では、各ガスの所要容量を選択できるために、特定
の容量のガスチャンバは容量を変動させることができる。可変容量チャンバは、
ピストンを有するシリンダーであることができる。ガスチャンバの所定の容量を
変化させるために、ピストンはシリンダー内で動かすことができる。各チャンバ
の容量を変更することにより、最終混合物内の各ガスの割合を変化させることが
できる。
In a preferred embodiment of the present invention, the specific volume of the gas chamber can be varied since the required volume of each gas can be selected. The variable volume chamber is
It can be a cylinder with a piston. The piston can be moved within the cylinder to change the predetermined volume of the gas chamber. By changing the volume of each chamber, the proportion of each gas in the final mixture can be changed.
【0012】 或る好ましい実施態様では、ガスチャンバへの送入弁及び送出弁は、単一の三
方弁からなることができる。この三方弁は、この弁から延びる3本のガス管を有
する。この三方弁への3本のガス管のうちの一本目は圧力調整ガス供給管であり
、2本目はチャンバからの入口管と出口管との併用管であり、3本目は混合ガス
貯留タンクへの管である。各シリンダ用の弁は手作業で、電気的に又はマイクロ
プロセッサで制御することができ、それにより、ガスを可変容量チャンバへ送入
し、次いで、可変容量チャンバから混合チャンバへ必要に応じて放出させること
ができる。
In a preferred embodiment, the inlet and outlet valves to the gas chamber can consist of a single three-way valve. The three-way valve has three gas pipes extending from the valve. The first of the three gas pipes to the three-way valve is a pressure adjusting gas supply pipe, the second is a combined pipe of an inlet pipe and an outlet pipe from the chamber, and the third is a mixed gas storage tank. Tube. The valves for each cylinder can be controlled manually, electrically or by a microprocessor, thereby delivering gas to the variable volume chamber and then discharging from the variable volume chamber to the mixing chamber as needed. Can be done.
【0013】 2個、3個又はこれ以上の個数の加圧ガス供給源を同数の可変容量チャンバへ
配設することもできる。各供給管からの供給管においてコントロールレギュレー
タ及びマッチドレギュレータを使用し、各チャンバに供給されるガスの圧力が各
事例において正確に同一であることを確保することが好ましい。
[0013] Two, three or more pressurized gas supplies may be provided in the same number of variable volume chambers. It is preferable to use a control regulator and a matched regulator in the supply line from each supply line to ensure that the pressure of the gas supplied to each chamber is exactly the same in each case.
【0014】 本発明による装置は、供給管及び排出管の容量をチャンバの各容量の一部とし
て考慮に入れることができる。そのため、チャンバの正確な既知容量が使用され
る。
The device according to the invention allows the volume of the supply and discharge tubes to be taken into account as part of each volume of the chamber. Thus, the exact known volume of the chamber is used.
【0015】 本発明の更に別の実施態様では、本発明は容量ガス混合装置を提供するもので
あり、この装置は、複数の所定容量ガスチャンバと、圧力調整ガス供給源を有し
、各チャンバは該チャンバに付随された三方弁を有し、この三方弁は、この三方
弁から延びる3本のガス管を有する。一本目のガス管は三方弁から圧力調整ガス
供給源へ延びており、2本目のガス管は三方弁から各チャンバへ延びており、3
本目のガス管は三方弁からマニホールドと混合ガス管へ延びている。この混合ガ
ス管は、マニホールドから混合ガス貯留タンクへ延びている。3本目の各ガス管
は逆止弁と可変オリフィス絞り弁を有する。
[0015] In yet another embodiment of the present invention, the present invention provides a volumetric gas mixing device, comprising a plurality of predetermined volumetric gas chambers, a pressure regulating gas supply, Has a three-way valve associated with the chamber, the three-way valve having three gas lines extending from the three-way valve. A first gas pipe extends from the three-way valve to the pressure regulating gas supply source, and a second gas pipe extends from the three-way valve to each chamber.
The first gas pipe extends from the three-way valve to the manifold and the mixed gas pipe. The mixed gas pipe extends from the manifold to a mixed gas storage tank. Each third gas line has a check valve and a variable orifice throttle valve.
【0016】 本発明の好ましい実施態様では、所定容量のガスチャンバはピストンを有する
シリンダーであることができる。ガスチャンバの所定容量を変化させるために、
このピストンはシリンダー内で動かすことができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the gas chamber having a predetermined volume can be a cylinder having a piston. To change the predetermined volume of the gas chamber,
This piston can be moved in a cylinder.
【0017】 混合ガス貯留タンクは、混合ガスの入口に隣接して、その内部に邪魔板を有す
ることができる。これにより、ガスが貯留タンク内に入ったときに、ガスの混合
が起こる。
The mixed gas storage tank may have a baffle therein adjacent to the mixed gas inlet. This causes gas mixing when the gas enters the storage tank.
【0018】 混合ガス貯留タンクは、混合ガス圧力調整器を具備した送出管を有することも
できる。
[0018] The mixed gas storage tank may also have a delivery pipe equipped with a mixed gas pressure regulator.
【0019】 混合ガス貯留タンクは、圧力安全弁も有することができる。The mixed gas storage tank can also have a pressure relief valve.
【0020】 ガスが混合ガス貯留タンクから使用されるに応じて、三方弁が開いて加圧ガス
供給源から新たな充填ガスの供給を開始させるために、コンピュータ又はマイク
ロプロセッサ制御系を配設することもできる。各チャンバ内で圧力が平衡に達し
たら、マニホールド及び混合ガス貯留タンクに対して三方弁が開き、貯留タンク
を再充填する。
As the gas is used from the mixed gas storage tank, a computer or microprocessor control system is provided to open the three-way valve and start supplying new fill gas from the pressurized gas supply. You can also. When the pressure reaches equilibrium in each chamber, a three-way valve opens for the manifold and the mixed gas storage tank and refills the storage tank.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
図1は、2種類のガスを混合するための本発明のガス混合装置の第一の実施態
様を示す構成図である。図示されているように、このガス混合装置は、混合すべ
き異なる種類のガスのためのガス供給シリンダー1及び2を備えている。このシ
リンダーは第一の圧力調整器3及び4をそれぞれ有する。供給管6及び7がシリ
ンダー1及び2から延びており、また、供給管7から、サイドタップ8が圧力コ
ントロールレギュレータ10へ延びている。圧力コントロールレギュレータは管
11へ設定圧力を付与する。すなわち、供給管6及び7における各調整器12及
び13により供給される圧力を設定する。従って、チャンバ供給管15及び16
内の圧力は同じ公称圧力に設定することが好ましい。圧力調整器12及び13は
、各管における供給圧力の変動に拘わらず、概ね同じ圧力のガスを供給するため
に、整合させることが好ましい。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a gas mixing device of the present invention for mixing two types of gases. As shown, the gas mixing device comprises gas supply cylinders 1 and 2 for different types of gases to be mixed. This cylinder has first pressure regulators 3 and 4, respectively. Feed pipes 6 and 7 extend from the cylinders 1 and 2, and from the feed pipe 7 side taps 8 extend to a pressure control regulator 10. The pressure control regulator applies a set pressure to the pipe 11. That is, the pressure supplied by the regulators 12 and 13 in the supply pipes 6 and 7 is set. Therefore, the chamber supply pipes 15 and 16
Is preferably set to the same nominal pressure. The pressure regulators 12 and 13 are preferably matched to supply gas at approximately the same pressure, regardless of supply pressure variations in each tube.
【0022】 第一の圧力チャンバ20はシリンダー1からのガスのために備えられ、第二の
圧力チャンバ22はシリンダー2からのガスのために備えられている。圧力チャ
ンバ20はピストン24を有する。このピストンはシリンダー25内で動かすこ
とができ、それにより、領域26の容量を、好ましくは目盛27の援助によって
、正確に設定することもできる。供給管15の弁28が、領域26内の圧力を供
給圧力と平衡させるのに十分な長さの期間にわたって開かれた後、弁28を閉じ
る。ピストン24を所定の位置に設定し、そして、充填及び送出中はピストンを
動かさない。
A first pressure chamber 20 is provided for gas from cylinder 1 and a second pressure chamber 22 is provided for gas from cylinder 2. The pressure chamber 20 has a piston 24. This piston can be moved in the cylinder 25, so that the volume of the area 26 can also be set precisely, preferably with the aid of the scale 27. After the valve 28 of the supply line 15 has been opened for a period of time sufficient to equilibrate the pressure in the region 26 with the supply pressure, the valve 28 is closed. The piston 24 is set in place and the piston is not moved during filling and delivery.
【0023】 チャンバ22でも同様にして、領域33の容量を目盛付きピストン30により
設定する。ピストン30はシリンダー31内の所定の距離の位置に配置される。
チャンバ22内の圧力が管16からの供給圧力と平衡になったら、弁34を閉じ
る。前記と同様に、ピストン30を所定の位置に設定し、そして、充填及び送出
中はピストンを動かさない。
Similarly, in the chamber 22, the volume of the region 33 is set by the graduated piston 30. The piston 30 is disposed at a predetermined distance inside the cylinder 31.
When the pressure in chamber 22 equilibrates with the supply pressure from tube 16, valve 34 is closed. As before, the piston 30 is set in place and the piston is not moved during filling and delivery.
【0024】 両方のチャンバが所定の圧力にまで充填されたら、弁40及び41を開き、送
出管42及び43から混合マニホールド44へガスを供給し、その後、管45を
経て、貯留又は混合チャンバ或いは貯留タンク46へ供給する。ガスが各チャン
バ領域26及び33へ逆流できなくするため、逆止弁47及び48を管42及び
43にそれぞれ配設する。必要に応じて弁50からガスを供給するために、貯留
チャンバ26から供給管49が配設されている。混合チャンバ46は圧力安全弁
51と送出圧力調整器52を有する。この装置により、チャンバ20及び22の
容量を変化させることにより、所定の組成の加圧ガスを供給することができる。
Once both chambers have been filled to a predetermined pressure, valves 40 and 41 are opened and gas is supplied from delivery pipes 42 and 43 to mixing manifold 44 and then via pipe 45 to a storage or mixing chamber or It is supplied to the storage tank 46. Check valves 47 and 48 are disposed in tubes 42 and 43, respectively, to prevent gas from flowing back into each chamber region 26 and 33. A supply pipe 49 is provided from the storage chamber 26 to supply gas from the valve 50 as needed. The mixing chamber 46 has a pressure relief valve 51 and a delivery pressure regulator 52. This apparatus can supply a pressurized gas having a predetermined composition by changing the capacity of the chambers 20 and 22.
【0025】 図2は本発明の別の実施態様を示す。この実施態様では、3個の加圧ガス供給
源60,61及び62が存在する。加圧ガス供給源60,61及び62は、マッ
チドレギュレータ63,64及び65を経て、各三方弁69,70及び71を介
して各チャンバ66,67及び68へガスを供給する。このため、各チャンバに
供給されるガスの圧力は他のチャンバに供給されるガスの圧力と同一である。
FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, there are three sources of pressurized gas 60, 61 and 62. The pressurized gas supply sources 60, 61 and 62 supply gas to the respective chambers 66, 67 and 68 via the respective three-way valves 69, 70 and 71 via the matched regulators 63, 64 and 65. For this reason, the pressure of the gas supplied to each chamber is the same as the pressure of the gas supplied to the other chambers.
【0026】 ピストン66a,67a及び68aが各シリンダー66,67及び68内に配
置されており、最終混合物中の各ガスの所定の容量が選択されたら、このピスト
ンはその後のステップでは動かされない。
Once a piston 66a, 67a and 68a is located in each cylinder 66, 67 and 68 and a predetermined volume of each gas in the final mixture has been selected, the piston is not moved in subsequent steps.
【0027】 チャンバ66,67及び68が充填され、圧力が供給圧力と各チャンバ内で平
衡に達したら、三方弁69,70及び71を動かし、ガスを各供給管88,89
及び90から逆止弁78,79及び80を介して、マニホールド72へ流し、更
に、貯留又は混合チャンバ或いは貯留タンク73へ流し込む。ガス圧力が所定値
を下回ったら、タンク73内の圧力変換器75が記録し、そして、その場合、マ
イクロプロセッサ76が各弁69,70及び71を開く指令を出し、追加ガスを
各チャンバ66,67及び68に供給し、貯留チャンバを再び満たす。
Once the chambers 66, 67 and 68 have been filled and the pressure has reached equilibrium within each chamber with the supply pressure, the three-way valves 69, 70 and 71 are actuated to allow gas to flow into each supply pipe 88, 89.
And 90 through check valves 78, 79 and 80 to the manifold 72 and further to the storage or mixing chamber or storage tank 73. If the gas pressure falls below a predetermined value, the pressure transducer 75 in the tank 73 will record, and in that case, the microprocessor 76 will issue a command to open each valve 69, 70 and 71 and allow additional gas to be added to each chamber 66, Feed to 67 and 68 and refill the storage chamber.
【0028】 本発明の第二の実施態様による装置の好ましい方法による操作は次の通りであ
る。
The operation of the device according to the preferred embodiment of the second embodiment of the invention is as follows.
【0029】 ベース又は純粋ガスは調整ガスボンベから装置に供給されるか、又は空気が使
用される場合には、洗浄され、濾過された清浄な調整供給源をコンプレッサから
得ることができる。各供給ガスの配送圧力は公称圧力と同一値に設定することが
好ましい。一例として、この配送圧力は1500kPaで有る。
The base or pure gas can be supplied to the apparatus from a conditioned gas cylinder or, if air is used, a clean, filtered and clean conditioned source can be obtained from the compressor. The delivery pressure of each supply gas is preferably set to the same value as the nominal pressure. As an example, this delivery pressure is 1500 kPa.
【0030】 送入ガスは高圧ホースにより本発明のガス混合装置に接続される。装置に入れ
られると、送入ガスは、一連の圧力マッチドレギュレータ63,64及び65に
より再び圧力調整される。これら各調整器の送出圧力は概ね等しくなければなら
ない。従って、別の制御調整器77からのガス圧力により制御することができる
。嵩調整器の公称設定圧力は例えば、800kPaである。
The incoming gas is connected to the gas mixing device of the present invention by a high pressure hose. Once in the system, the incoming gas is re-pressured by a series of pressure matched regulators 63, 64 and 65. The delivery pressure of each of these regulators must be approximately equal. Therefore, it can be controlled by the gas pressure from another control regulator 77. The nominal set pressure of the bulk adjuster is, for example, 800 kPa.
【0031】 送入ガスは次いで、送入ソレノイド動作弁69,70及び71を通して計量マ
ニホールドへ送入される。計量マニホールドは、調整可能なピストンを備えた一
連の異なるサイズのチャンバ66,67及び68である。ピストンはガスタイプ
のオーリングを備えている。各チャンバの容量は最終混合物中で必要とされるガ
スの比率に調整される。送入ソレノイド動作弁が駆動されたら、チャンバは高圧
送入ガスに接続される。送入ソレノイド動作弁は、圧力が送入圧力と等しく(例
えば、前記のように800kPa)なるまでの十分な時間にわたって駆動状態に
維持される。その後、送入ソレノイド動作弁の駆動を停止させ、これらのデフォ
ルト位置に戻す。これにより、チャンバ内のガスを低圧力の貯留タンク73へ流
入させることができる。各単一チャンバから流出するガスは、各チェックバルブ
又は逆止弁78,79及び80を通過し、次いで、貯留タンク73内の邪魔板8
1に衝突する。邪魔板は流入ガスに乱流を起こし、流入ガスを混合させるために
存在する。送入ソレノイド動作弁の動作はマイクロプロセッサ76により制御さ
れ、貯留タンク内の圧力変換器75からフィードバックシステムに応じて変化す
る。貯留タンク内の圧力を監視する。貯留タンク内の圧力は、動作圧力(例えば
、320kPa)に維持される。ガスが貯留タンクから使用され、そして、圧力
が例えば、300kPaまで低下すると、本発明の装置は貯留タンクへの追加的
ガス注入動作を循環する。これにより、貯留タンク内の圧力は300kPaより
も高い値にまで増大する。ガスが貯留タンクから引き出され、そして、圧力が再
び300kPa以下に低下するまで、本発明の装置はガスを貯留タンクへ追加す
るための再循環を開始しない。ガスが注入されると、貯留タンク内の圧力は増大
し、そして、300kPa超の平衡点に達する。この高平衡点において、各チャ
ンバ内のガスの完全な消耗が抑制される。貯留タンク内の混合ガスとチャンバ内
の純粋ガスとの逆流混合は起こることができない。なぜなら、逆止弁が装備され
ており、この逆流混合を阻止するからである。ガスが貯留タンクから送出され、
圧力が300kPaまで低下するに応じて、300kPaにおいてシステムが再
度循環するまで、各チャンバから追加の純粋ガスが貯留タンクへ排出される。貯
留タンクへのガスの注入プロセスは、同じ初期圧力において常に、ユーザにより
設定された容量によりガスの比率を確実に維持する。
The incoming gas is then delivered to the metering manifold through the inlet solenoid operated valves 69, 70 and 71. The metering manifold is a series of different sized chambers 66, 67 and 68 with adjustable pistons. The piston has a gas type O-ring. The volume of each chamber is adjusted to the proportion of gas required in the final mixture. When the inlet solenoid operated valve is activated, the chamber is connected to the high pressure inlet gas. The inlet solenoid operated valve is maintained energized for a sufficient time until the pressure is equal to the inlet pressure (eg, 800 kPa as described above). Thereafter, the drive of the feed solenoid operated valve is stopped, and the position is returned to these default positions. This allows the gas in the chamber to flow into the low-pressure storage tank 73. The gas flowing out of each single chamber passes through each check valve or check valve 78, 79 and 80 and then the baffle 8 in the storage tank 73.
Collide with 1. The baffles are present to cause turbulence in the incoming gas and to mix the incoming gas. The operation of the inlet solenoid operated valve is controlled by a microprocessor 76 and varies from a pressure transducer 75 in the storage tank in response to a feedback system. Monitor the pressure in the storage tank. The pressure in the storage tank is maintained at the operating pressure (for example, 320 kPa). When gas is used from the storage tank and the pressure drops to, for example, 300 kPa, the apparatus of the present invention cycles an additional gas injection operation into the storage tank. Thereby, the pressure in the storage tank increases to a value higher than 300 kPa. The apparatus of the present invention does not initiate recirculation to add gas to the storage tank until gas is withdrawn from the storage tank and the pressure drops again below 300 kPa. As the gas is injected, the pressure in the storage tank increases and reaches an equilibrium point above 300 kPa. At this high equilibrium point, complete exhaustion of gas in each chamber is suppressed. Backflow mixing of the mixed gas in the storage tank with the pure gas in the chamber cannot occur. This is because a check valve is provided to prevent this backflow mixing. Gas is pumped out of the storage tank,
As the pressure drops to 300 kPa, additional pure gas from each chamber is discharged to the storage tank until the system circulates again at 300 kPa. The process of injecting gas into the storage tank ensures that, at the same initial pressure, the proportion of gas is always maintained with the volume set by the user.
【0032】 本発明の装置が作動させられると、必要な混合ガスが配送されることを確保す
るために、マイクロプロセッサの制御下で十分なサイクルが実施される。スター
トアップサイクル中に、送出ソレノイド動作弁82は駆動され、これにより、生
成された混合ガスは大気中に吐出させるか、又はこの混合ガスが有毒な場合には
、排煙フード中に吐出させることができる。スタートアップサイクルの終了時点
で、送出ソレノイド動作弁82は駆動停止され、これにより、貯留タンク内の圧
力を動作圧力にまで増大させることができる。この装置は、ガスが貯留タンクか
ら一掃されるまで、再循環されない。
When the apparatus of the present invention is operated, sufficient cycles are performed under the control of a microprocessor to ensure that the required gas mixture is delivered. During the start-up cycle, the delivery solenoid operated valve 82 is actuated so that the resulting gas mixture can be discharged to the atmosphere or, if this gas mixture is toxic, to a smoke hood. it can. At the end of the start-up cycle, the delivery solenoid operated valve 82 is deactivated, which allows the pressure in the storage tank to increase to the operating pressure. The device is not recirculated until gas has been purged from the storage tank.
【0033】 貯留タンクの必要な容量は、貯留タンクへ送出するチャンバの全容量に応じて
変化する。貯留タンクの容量は、貯留タンクへ送出するチャンバの全容量の20
倍超であることが好ましい。これにより、最終混合ガスの精度は低下しない。
The required volume of the storage tank will vary depending on the total volume of the chamber delivered to the storage tank. The capacity of the storage tank is 20 times the total volume of the chamber to be delivered to the storage tank.
Preferably, it is more than twice. Thereby, the accuracy of the final mixed gas does not decrease.
【0034】 本発明のこの実施態様の装置は、下記の理由によりその精度を維持することが
できる。 (a)ガスは設定圧力で容量により計量しながら供給される。 (b)ガスは同じ初期圧力でのみ混合される。 (c)混合ガスと純粋ガスとの逆流混合を阻止するために逆止弁が使用されてお
り、これにより、未知量の変動が取り除かれる。 (d)貯留タンク容量は全送入チャンバの総容量の少なくとも20倍であること
が好ましい。
The device of this embodiment of the present invention can maintain its accuracy for the following reasons. (a) The gas is supplied at a set pressure while being metered by volume. (b) The gases are mixed only at the same initial pressure. (c) A non-return valve is used to prevent back-flow mixing of the gas mixture with the pure gas, thereby eliminating unknown variables. (d) Preferably, the storage tank capacity is at least 20 times the total capacity of all inlet chambers.
【0035】 送入弁28は、図1及び図2の実施態様で述べたように、調整器12,13の
一部として構成することができ、従って、前記のように、一方弁として構成する
ことができ、あるいは、例えば、供給管6及び7内に挿入することもできる。
The inlet valve 28 can be configured as part of the regulators 12, 13, as described in the embodiment of FIGS. 1 and 2, and thus, as described above, is configured as a one-way valve. Alternatively, for example, they can be inserted into the supply tubes 6 and 7.
【0036】 同様にして、送出弁は一方弁47及び48の一部として構成することができ、
あるいは、マニホールドに対する入口であることもできる。
Similarly, the delivery valve can be configured as part of one-way valves 47 and 48,
Alternatively, it can be an inlet to a manifold.
【0037】 管15及び16に印加される圧力は同じ大きさであることが好ましいが、大幅
に異なることもできる。しかし、必要なガス混合を達成するために、チャンバ2
2及び25の容量の再校正が必要となる。
The pressure applied to the tubes 15 and 16 is preferably of the same magnitude, but can vary significantly. However, to achieve the required gas mixing, chamber 2
Recalibration of 2 and 25 volumes is required.
【0038】 弁69,70及び71は便宜上、三方弁と呼ばれているが、これらの弁は二方
弁であると思料することもできる。しかし、既知の構造の二方弁は実際的ではな
い。
Although the valves 69, 70 and 71 are referred to for convenience as three-way valves, these valves can also be considered as two-way valves. However, two-way valves of known construction are not practical.
【0039】 本発明の3番目の実施態様を図3に示す。この実施態様では、図2における部
材と同じ機能を果たす部材は同じ参照符号が付されており、従って、図2の実施
態様について説明した通りである。
FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, members performing the same functions as the members in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and are therefore as described for the embodiment of FIG.
【0040】 3番目の実施態様では、マニホールド72への各供給管88,89及び90は
逆止弁78,79及び80と可変オリフィス絞り弁85,86及び87を有する
。逆止弁は、貯留タンクから何れかのチャンバへのガスの逆流を禁止する機能を
果たす。絞り弁の使用により、各チャンバからのガスの流れを比例的に低下させ
ることができ、そのため、貯留タンクへガスを送出するために各チャンバが要す
る時間は概ね同一となる。これにより、チャンバからの送出の全サイクル中の比
例的混合が可能である。その結果、単一のサイクル内の一時的な濃度ピークが除
去され、これにより一層正確な混合が得られ、システムに注入するのに必要なガ
ス量が低下される。
In a third embodiment, each supply pipe 88, 89 and 90 to the manifold 72 has a check valve 78, 79 and 80 and a variable orifice throttle valve 85, 86 and 87. The check valve serves to inhibit backflow of gas from the storage tank to any chamber. By using a throttle valve, the flow of gas from each chamber can be proportionally reduced, so that the time required for each chamber to deliver gas to the storage tank is approximately the same. This allows for proportional mixing during the entire cycle of delivery from the chamber. As a result, temporary concentration peaks within a single cycle are eliminated, which results in more accurate mixing and reduces the amount of gas required to inject into the system.
【0041】 可変オリフィス絞り弁85,86及び87におけるオリフィス直径は125〜
725ミクロンの範囲内であるが、本発明はこれらの直径に限定されない。要す
るに、各チャンバの容量が小さければ小さいほど、オリフィスの直径も小さくな
る。
The orifice diameter at the variable orifice throttle valves 85, 86 and 87 is 125 to
Although within the range of 725 microns, the invention is not limited to these diameters. In short, the smaller the volume of each chamber, the smaller the diameter of the orifice.
【0042】 要するに、チャンバからの送出に関する本願明細書の説明は、ガスがチャンバ
から完全に除去されるものと解釈すべきではなく、チャンバ内の圧力が送出貯留
タンク内の圧力と同一であるような時点まで、ガスがチャンバから出て行くもの
と解釈すべきである。
In short, the description herein with respect to delivery from the chamber should not be construed that gas is completely removed from the chamber, as the pressure in the chamber is the same as the pressure in the delivery storage tank. Until that point, the gas should be interpreted as leaving the chamber.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】 本発明によるガス混合装置の第一の実施態様を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a gas mixing device according to the present invention.
【図2】 本発明による別の実施態様を示す構成図である。FIG. 2 is a block diagram showing another embodiment according to the present invention.
【図3】 本発明による更に別の実施態様を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing still another embodiment according to the present invention.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,SD,SL,SZ,TZ,UG,ZW ),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU, TJ,TM),AE,AL,AM,AT,AU,AZ, BA,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,C U,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB,GD ,GE,GH,GM,HR,HU,ID,IL,IN, IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC,L K,LR,LS,LT,LU,LV,MD,MG,MK ,MN,MW,MX,NO,NZ,PL,PT,RO, RU,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ,T M,TR,TT,UA,UG,US,UZ,VN,YU ,ZA,ZW (71)出願人 クック インコーポレイティド COOK INCORPORATED アメリカ合衆国、47402 インディアナ ブルーミントン サウス カレー パイク 925 (72)発明者 スミス,アラン,ジョセフ,ヒッリング オーストラリア キュエルディ 4122、ウ イシャート デラバン ストリート 59 Fターム(参考) 3J071 AA02 BB14 CC11 DD26 EE02 FF03 4G035 AB01 AE02 AE13 4G037 BA02 BB23 EA10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (81) Designated country EP (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE ), OA (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG), AP (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW), EA (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM), AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN , IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW (71) Applicant Cook Incorporated COOK INCORPORATED 47402 Indiana Bloomington South Curry Pike, United States 925 (72) Inventor Smith, Alan, Joseph, Hilling Australia Cuerdi 4122, Wishart Delavan Street 59 F-term (reference) 3J071 AA02 BB14 CC11 DD26 EE02 FF03 4G035 AB01 AE02 BB23 EA10

Claims (27)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 (a)複数個のガスチャンバと、該チャンバのうちの少なくと
    も2個のチャンバはその容量が等しくない、 (b)圧力供給源から各ガスチャンバへのガスの流量を制御するための調整手段
    (40,41;69,70,71)と、 (c)前記チャンバからのガスを貯留しておくための貯留タンク(46,73)
    と、 (d)前記チャンバから前記貯留タンクへのガスの移送を制御するための手段(
    47,48;69,70,71)とからなる、 ことを特徴とするガス混合装置。
    (A) a plurality of gas chambers and at least two of the chambers have unequal capacities; and (b) controlling a flow rate of gas from a pressure source to each gas chamber. Adjusting means (40, 41; 69, 70, 71) for storing; (c) storage tanks (46, 73) for storing gas from the chamber.
    (D) means for controlling the transfer of gas from the chamber to the storage tank (
    47, 48; 69, 70, 71).
  2. 【請求項2】 前記ガスチャンバの容量は調節可能である、 ことを特徴とする請求項1に記載のガス混合装置。2. The gas mixing device according to claim 1, wherein the capacity of the gas chamber is adjustable.
  3. 【請求項3】 前記調整手段(40,41;69,70,71)は同様なガ
    ス圧力でガスを供給する機能を果たす、 ことを特徴とする請求項1又は2に記載のガス混合装置。
    3. The gas mixing apparatus according to claim 1, wherein the adjusting means (40, 41; 69, 70, 71) has a function of supplying a gas at a similar gas pressure.
  4. 【請求項4】 前記チャンバ(20,22;66,67,68)及び/又は
    前記移送手段へガスを供給する各管(15,16)の途中に逆止弁(47,48
    ;78,79,80)を配設する、 ことを特徴とする請求項1,2又は3に記載のガス混合装置。
    4. A non-return valve (47, 48) in the chamber (20, 22; 66, 67, 68) and / or each pipe (15, 16) for supplying gas to the transfer means.
    78, 79, 80) is arranged, The gas mixing device according to claim 1, 2, or 3.
  5. 【請求項5】 (a)所定の容量を有する複数個のガスチャンバ(20,22
    ;66,67,68)と、 (b)前記各チャンバへの圧力調整済ガス供給管(15,16)と、 (c)前記各チャンバへの前記ガス供給管の送入弁(40,41;69,70,
    71)と、 (d)前記混合ガス貯留タンク(46,73)への前記各チャンバの送出管(4
    2,42;88,89,90)と、 (e)前記各送出管の送出弁(47,48;69,70,71)とからなる、 ことを特徴とするガス混合装置。
    (A) a plurality of gas chambers (20, 22) having a predetermined capacity;
    66, 67, 68); (b) pressure-adjusted gas supply pipes (15, 16) to the respective chambers; and (c) inlet valves (40, 41) for the gas supply pipes to the respective chambers. 69, 70,
    (D) delivery pipes (4) of the respective chambers to the mixed gas storage tanks (46, 73);
    2, 42; 88, 89, 90), and (e) delivery valves (47, 48; 69, 70, 71) of the delivery pipes.
  6. 【請求項6】 前記各チャンバへの圧力調整済ガス供給管(15,16)の
    圧力は同一圧力である、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    6. The gas mixing device according to claim 5, wherein the pressures of the gas supply pipes (15, 16) whose pressure has been adjusted to each of the chambers are the same.
  7. 【請求項7】 前記各チャンバの送出管(42,43)は逆止弁(47,4
    8;78,79,80)を有する、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    7. A delivery pipe (42, 43) of each said chamber is provided with a check valve (47, 4).
    8; 78, 79, 80), wherein the gas mixing device according to claim 5, characterized in that:
  8. 【請求項8】 前記各チャンバの送出管(42,43)は、前記各送出管内
    のガスの流量を調整するための、可変オリフィス絞り弁(85,86,87)を
    有する、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    8. The delivery pipe (42, 43) of each of the chambers has a variable orifice throttle valve (85, 86, 87) for adjusting the flow rate of gas in each of the delivery pipes. The gas mixing device according to claim 5, wherein
  9. 【請求項9】 前記所定の容量のガスチャンバは、各ガスの必要容量を選択
    できるようにするため、その容量を変化させることができる、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    9. The gas mixing apparatus according to claim 5, wherein the predetermined volume of the gas chamber can be changed in order to select a required volume of each gas. .
  10. 【請求項10】 前記所定の容量のガスチャンバは、ピストン(24,30
    ;66a,67a,68a)を有するシリンダー(25,31)であり、前記ガ
    スチャンバの前記所定容量を変化させるために、前記ピストンは前記シリンダー
    内で動かすことができる、 ことを特徴とする請求項9に記載のガス混合装置。
    10. A gas chamber having a predetermined volume is provided with a piston (24, 30).
    66a, 67a, 68a), wherein said piston is movable within said cylinder to change said predetermined volume of said gas chamber. 10. The gas mixing device according to 9.
  11. 【請求項11】 前記ガスチャンバへの前記送入弁及び送出弁は単一の三方
    弁(69,70,71)からなり、前記三方弁からは3本のガス管が延びており
    、前記三方弁への1本目のガス管は圧力調整済ガス供給管であり、2本目の管は
    前記チャンバからの送入管と送出管の併用管であり、3本目の管は混合ガス貯留
    タンク(73)への管であり、前記三方弁(69,70,71)は、前記チャン
    バへの前記圧力調整済ガス供給管又は前記混合ガス貯留タンク(73)の何れか
    を開放することができる、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    11. The inlet valve and the outlet valve to the gas chamber comprise a single three-way valve (69, 70, 71), and three gas pipes extend from the three-way valve. The first gas pipe to the valve is a pressure-adjusted gas supply pipe, the second pipe is a combined pipe of the inlet pipe and the outlet pipe from the chamber, and the third pipe is a mixed gas storage tank (73). And the three-way valve (69, 70, 71) can open either the pressure-adjusted gas supply pipe to the chamber or the mixed gas storage tank (73). The gas mixing device according to claim 5, wherein:
  12. 【請求項12】 前記各シリンダーの弁(28,34,40,41)は手作
    業で制御され、その結果、ガスをチャンバへ送入することができ、その後、前記
    チャンバから必要に応じて前記混合ガス貯留タンク(46)へ送出させることが
    できる、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    12. The valve (28, 34, 40, 41) of each cylinder is controlled manually so that gas can be pumped into the chamber and then out of the chamber as required. The gas mixing device according to claim 5, wherein the gas mixing device can be sent to a mixed gas storage tank (46).
  13. 【請求項13】 前記各シリンダーの弁(28,34,40,41)は電気
    的に又はマイクロプロセッサで制御され、その結果、ガスをチャンバへ送入する
    ことができ、その後、前記チャンバから必要に応じて前記混合ガス貯留タンク(
    73)へ送出させることができる、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    13. The valve (28, 34, 40, 41) of each said cylinder is controlled electronically or by a microprocessor so that gas can be pumped into the chamber and then the required According to the mixed gas storage tank (
    73. The gas mixing device according to claim 5, wherein the gas mixing device can be sent to the gas mixing device.
  14. 【請求項14】 前記各シリンダーの三方弁(69,70,71)は電気的
    に又はマイクロプロセッサで制御され、その結果、ガスをチャンバへ送入するこ
    とができ、その後、前記チャンバから必要に応じて前記混合ガス貯留タンク(7
    3)へ送出させることができる、 ことを特徴とする請求項11に記載のガス混合装置。
    14. The three-way valve (69, 70, 71) of each of said cylinders is controlled electrically or by a microprocessor so that gas can be pumped into the chamber and then required from said chamber. The mixed gas storage tank (7
    The gas mixing device according to claim 11, wherein the gas mixing device can be sent to 3).
  15. 【請求項15】 2個以上の加圧ガス供給源(1,2;60,61,62)
    と同数のチャンバ(20,22;66,67,68)からなる、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    15. Two or more pressurized gas supply sources (1, 2; 60, 61, 62)
    The gas mixing device according to claim 5, comprising the same number of chambers as (20, 22; 66, 67, 68).
  16. 【請求項16】 各圧力調整済ガス供給管の途中に、圧力コントロールレギ
    ュレータ(77)と圧力マッチドレギュレータ(63,64,65)を更に有す
    る、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    16. The gas mixture according to claim 5, further comprising a pressure control regulator (77) and a pressure matched regulator (63, 64, 65) in the middle of each pressure-adjusted gas supply pipe. apparatus.
  17. 【請求項17】 混合ガスの入口に隣接して、前記混合ガス貯留タンク(7
    3)内に邪魔板(81)を更に有する、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    17. A mixed gas storage tank (7) adjacent to an inlet of a mixed gas.
    The gas mixing device according to claim 5, further comprising a baffle plate (3) in 3).
  18. 【請求項18】 前記混合ガス貯留タンク(46,73)からの送出管の途
    中に混合ガス圧力調整器(52,82)を更に有する、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    18. The gas mixing apparatus according to claim 5, further comprising a mixed gas pressure regulator (52, 82) in a delivery pipe from the mixed gas storage tank (46, 73). .
  19. 【請求項19】 前記混合ガス貯留タンク(46,73)は圧力安全弁(5
    1)を有する、 ことを特徴とする請求項5に記載のガス混合装置。
    19. The mixed gas storage tank (46, 73) includes a pressure relief valve (5).
    The gas mixing device according to claim 5, wherein 1) is provided.
  20. 【請求項20】 (a)複数個の所定容量のガスチャンバ(66,67,68
    )と、 (b)圧力調整済供給源(60,61,62)とを有し、 前記各チャンバは、各チャンバに付属された三方弁(69,70,71)を有
    し、該三方弁からは三本のガス管が延びており、前記三方弁からの1本目の管は
    前記圧力調整済供給源(60,61,62)へ延びており、前記三方弁からの2
    本目の管は前記各チャンバ(66,67,68)へ延びており、前記三方弁から
    の3本目の管(88,89,90)はマニホールド(72)へ延びており、前記
    各三方弁は、前記チャンバへの前記圧力調整済ガス供給管又はマニホールド(7
    2)及び該マニホールドから混合ガス貯留タンク(73)へ延びる混合ガス管の
    何れかを開放することができ、各3本目の管は逆止弁(78,79,80)と可
    変オリフィス絞り弁(85,86,87)を有する、 ことを特徴とするガス混合装置。
    20. (a) A plurality of gas chambers (66, 67, 68) having a predetermined capacity.
    ) And (b) a pressure regulated supply (60, 61, 62), wherein each of the chambers has a three-way valve (69, 70, 71) associated with each chamber. From the three-way valve, the first from the three-way valve extends to the pressure-regulated supply (60, 61, 62) and the second from the three-way valve.
    A third tube (88, 89, 90) from the three-way valve extends to the manifold (72), and a third tube extends to each of the chambers (66, 67, 68). , The pressure-adjusted gas supply pipe or the manifold (7) to the chamber.
    2) and any of the mixed gas pipes extending from the manifold to the mixed gas storage tank (73) can be opened, each third pipe having a check valve (78, 79, 80) and a variable orifice throttle valve ( 85, 86, 87), wherein the gas mixing device.
  21. 【請求項21】 前記所定容量のガスチャンバ(66,67,68)は、ピ
    ストン(66a,67a,68a)を有するシリンダーからなり、前記ガスチャ
    ンバの前記所定容量を変化させるために、前記ピストンは前記シリンダー内で動
    かすことができる、 ことを特徴とする請求項20に記載のガス混合装置。
    21. The predetermined volume gas chamber (66, 67, 68) comprises a cylinder having a piston (66a, 67a, 68a), and the piston is changed to change the predetermined volume of the gas chamber. The gas mixing device according to claim 20, wherein the gas mixing device can be moved in the cylinder.
  22. 【請求項22】 (a)複数個の所定容量のガスチャンバ(66,67,68
    )と、 (b)圧力調整済供給源(60,61,62)とを有し、 前記各チャンバは、各チャンバに付属された三方弁(69,70,71)を有
    し、該三方弁からは三本のガス管が延びており、前記三方弁からの1本目の管は
    前記圧力調整済供給源(60,61,62)へ延びており、前記三方弁からの2
    本目の管は前記各チャンバ(66,67,68)へ延びており、前記三方弁から
    の3本目の管(88,89,90)はマニホールド(72)へ延びており、前記
    各三方弁は、前記チャンバへの前記圧力調整済ガス供給管又はマニホールド(7
    2)及び該マニホールドから混合ガス貯留タンク(73)へ延びる混合ガス管の
    何れかを開放することができ、各3本目の管は逆止弁(78,79,80)を有
    する、 ことを特徴とするガス混合装置。
    22. (a) A plurality of gas chambers (66, 67, 68) having a predetermined capacity.
    ) And (b) a pressure regulated supply (60, 61, 62), wherein each of the chambers has a three-way valve (69, 70, 71) associated with each chamber. From the three-way valve, the first from the three-way valve extends to the pressure-regulated supply (60, 61, 62) and the second from the three-way valve.
    A third tube (88, 89, 90) from the three-way valve extends to the manifold (72), and a third tube extends to each of the chambers (66, 67, 68). , The pressure-adjusted gas supply pipe or the manifold (7) to the chamber.
    2) and any one of the mixed gas pipes extending from the manifold to the mixed gas storage tank (73) can be opened, and each third pipe has a check valve (78, 79, 80). Gas mixing device.
  23. 【請求項23】 前記所定容量のガスチャンバ(66,67,68)は、ピ
    ストン(66a,67a,68a)を有するシリンダーからなり、前記ガスチャ
    ンバの前記所定容量を変化させるために、前記ピストンは前記シリンダー内で動
    かすことができる、 ことを特徴とする請求項22に記載のガス混合装置。
    23. The gas chamber (66, 67, 68) having a predetermined volume comprises a cylinder having a piston (66a, 67a, 68a). In order to change the predetermined volume of the gas chamber, the piston is provided. 23. The gas mixing device according to claim 22, wherein the gas mixing device can be moved in the cylinder.
  24. 【請求項24】 (a)所定の容量を有する複数個のガスチャンバ(20,2
    2;66,67,68)と、 (b)前記各チャンバへの圧力調整済ガス供給管(15,16)と、 (c)前記各チャンバへの前記ガス供給管の送入弁(40,41;69,70,
    71)と、 (d)前記混合ガス貯留タンク(46,73)への前記各チャンバの送出管(4
    2,42)と、 (e)前記各送出管の送出弁(47,48;69,70,71)とを有するガス
    混合装置において所定の比率の混合物を供給する方法において、 (i)各チャンバ(20,22;66,67,68)を所定の圧力の各ガスで満
    たすために、前記各送入弁(40,41;69,70,71)を開放するステッ
    プと、 (ii)各送入弁(40,41;69,70,71)を閉鎖するステップと、 (iii)ガスを各チャンバから前記混合ガス貯留タンク(46,73)へ移すた
    めに、前記各送出弁(47,48;69,70,71)を開放するステップと、 (iv)前記混合ガス貯留タンク(46,73)から所定比率のガス混合物を引き
    出すステップとからなる、 ことを特徴とするガス混合物供給方法。
    24. (a) A plurality of gas chambers (20, 2) having a predetermined capacity.
    2; 66, 67, 68); (b) pressure-adjusted gas supply pipes (15, 16) to the respective chambers; and (c) inlet valves (40, 40) for the gas supply pipes to the respective chambers. 41; 69, 70,
    (D) delivery pipes (4) of the respective chambers to the mixed gas storage tanks (46, 73);
    2, 42) and (e) a gas mixing apparatus having a delivery valve (47, 48; 69, 70, 71) of each delivery pipe to supply a mixture at a predetermined ratio. Opening each of said inlet valves (40, 41; 69, 70, 71) to fill (20, 22; 66, 67, 68) with each gas at a predetermined pressure; Closing the inlet valves (40, 41; 69, 70, 71); and (iii) transferring each of the delivery valves (47, 48) to transfer gas from each chamber to the mixed gas storage tank (46, 73). 69, 70, 71); and (iv) withdrawing a predetermined ratio of the gas mixture from the mixed gas storage tanks (46, 73).
  25. 【請求項25】 ガスが前記混合ガス貯留タンク(46,73)から引き出
    されるのに応じて、前記各送入弁(40,41;69,70,71)を加圧ガス
    供給源(1,2;60,61,62)に対して自動的に開放し、そして、前記各
    チャンバ(20,22;66,67,68)内の圧力が平衡に達したら、前記送
    入弁(40,41;69,70,71)を閉鎖し、かつ、前記混合ガス貯留タン
    ク(46,73)を再充填するために混合ガス貯留タンクに対して前記送出弁(
    47,48;69,70,71)を自動的に開放するために、マイクロプロセッ
    サ制御(76)を使用するステップを更に有する、 ことを特徴とする請求項24に記載の方法。
    25. Each of the inlet valves (40, 41; 69, 70, 71) is connected to a pressurized gas supply source (1, 1) as gas is withdrawn from the mixed gas storage tank (46, 73). 2; 60, 61, 62), and when the pressure in each of the chambers (20, 22; 66, 67, 68) reaches equilibrium, the inlet valves (40, 41). 69, 70, 71) and the delivery valve (5) to the mixed gas storage tank to refill the mixed gas storage tank (46, 73).
    27. The method of claim 24, further comprising using a microprocessor control (76) to automatically open 47,48; 69,70,71).
  26. 【請求項26】 (a)複数個の所定容量のガスチャンバ(66,67,68
    )と、 (b)圧力調整済供給源(60,61,62)とを有し、 前記各チャンバは、各チャンバに付属された三方弁(69,70,71)を有
    し、該三方弁からは三本のガス管が延びており、前記三方弁からの1本目の管は
    前記圧力調整済供給源(60,61,62)へ延びており、前記三方弁からの2
    本目の管は前記各チャンバ(66,67,68)へ延びており、前記三方弁から
    の3本目の管(88,89,90)はマニホールド(72)へ延びており、前記
    各三方弁は、前記チャンバへの前記圧力調整済ガス供給管又はマニホールド(7
    2)及び該マニホールドから混合ガス貯留タンク(73)へ延びる混合ガス管の
    何れかを開放することができ、各3本目の管は逆止弁(78,79,80)を有
    するガス混合装置において所定の比率の混合物を供給する方法において、 (i)前記各チャンバを所定の圧力の各ガスで満たすために、前記各三方弁(6
    9,70,71)を開放するステップと、 (ii)各三方弁(69,70,71)を閉鎖するステップと、 (iii)ガスを各チャンバから前記混合ガス貯留タンク(73)へ移すために、
    前記各三方弁(69,70,71)を開放するステップと、 (iv)前記混合ガス貯留タンク(73)から所定比率のガス混合物を引き出すス
    テップとからなる、 ことを特徴とするガス混合物供給方法。
    26. (a) A plurality of gas chambers (66, 67, 68) having a predetermined capacity.
    ) And (b) a pressure regulated supply (60, 61, 62), wherein each of the chambers has a three-way valve (69, 70, 71) associated with each chamber. From the three-way valve, the first from the three-way valve extends to the pressure-regulated supply (60, 61, 62) and the second from the three-way valve.
    A third tube (88, 89, 90) from the three-way valve extends to the manifold (72), and a third tube extends to each of the chambers (66, 67, 68). , The pressure-adjusted gas supply pipe or the manifold (7) to the chamber.
    2) and any of the mixed gas pipes extending from the manifold to the mixed gas storage tank (73) can be opened, and each third pipe can be opened in a gas mixing device having a check valve (78, 79, 80). In the method of supplying a mixture at a predetermined ratio, (i) the three-way valve (6) is used to fill each chamber with each gas at a predetermined pressure.
    9, 70, 71); (ii) closing each three-way valve (69, 70, 71); and (iii) transferring gas from each chamber to the mixed gas storage tank (73). To
    Opening the three-way valves (69, 70, 71); and (iv) extracting a gas mixture at a predetermined ratio from the mixed gas storage tank (73). .
  27. 【請求項27】 ガスが前記混合ガス貯留タンク(73)から引き出される
    のに応じて、前記各三方弁(69,70,71)を加圧ガス供給源(60,61
    ,62)に対して自動的に開放し、そして、前記各チャンバ(66,67,68
    )内の圧力が平衡に達したら、前記三方弁(69,70,71)を閉鎖し、かつ
    、前記混合ガス貯留タンク(73)を再充填するために混合ガス貯留タンクに対
    して前記三方弁(69,70,71)を自動的に開放するために、マイクロプロ
    セッサ制御(76)を使用するステップを更に有する、 ことを特徴とする請求項26に記載の方法。
    27. Each of the three-way valves (69, 70, 71) is connected to a pressurized gas supply source (60, 61) as gas is withdrawn from the mixed gas storage tank (73).
    , 62) and automatically open the chambers (66, 67, 68).
    When the pressure in the tank reaches equilibrium, the three-way valve (69, 70, 71) is closed, and the three-way valve is closed with respect to the mixed gas storage tank to refill the mixed gas storage tank (73). The method of claim 26, further comprising using a microprocessor control (76) to automatically release (69, 70, 71).
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