JP2002370200A - Method of manufacturing miniature valve mechanism - Google Patents

Method of manufacturing miniature valve mechanism

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JP2002370200A
JP2002370200A JP2001177020A JP2001177020A JP2002370200A JP 2002370200 A JP2002370200 A JP 2002370200A JP 2001177020 A JP2001177020 A JP 2001177020A JP 2001177020 A JP2001177020 A JP 2001177020A JP 2002370200 A JP2002370200 A JP 2002370200A
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Takanori Anazawa
Atsushi Teramae
敦司 寺前
孝典 穴澤
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Kawamura Inst Of Chem Res
財団法人川村理化学研究所
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a diaphragm type miniature valve mechanism for efficiently forming a diaphragm by being adhered to the other member by incorporating a very thin, flexible, and handling difficult thin film into the miniature valve mechanism as a diaphragm film. SOLUTION: This manufacturing method of the diaphragm type miniature valve mechanism is characterized in that a diaphragm forming material composed of a liquid resin composition is developed on a liquid surface, a thin film-like member formed by solidifying this material is sandwiched and adhered between two members having a defective part in a part of a surface or having the defective part by penetrating through the member, the thin film-like member is formed as the diaphragm, and the respective defective parts are formed as a cavity partitioned by the diaphragm.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、微小なダイヤフラム型バルブ、即ち、ダイヤフラムで仕切られた空洞の一方側の圧力を変化させることによりダイヤフラムを変形させ、空洞の他方側を通過する流体流量を調節する、微小バルブ機構を製造する方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is very small diaphragm type valve, i.e., to deform the diaphragm by varying the pressure on one side of the cavity partitioned by a diaphragm, the fluid flow rate through the other side of the cavity adjusting relates to a method for producing a micro-valve mechanism.

【0002】詳しくは、液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液面上に展開し、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有する、又は部材を貫通する欠損部を有する2つ板状部材で挟まれた形状に積層接着されてダイヤフラムを構成する、微小バルブ機構の製造方法に関する。 [0002] Specifically, a diaphragm forming material comprising a liquid resin composition to expand on the liquid surface, the thin film-like member which is formed by solidifying it, has a cut portion in a part of the surface, or member It is laminated and bonded to a pinched shape in two plate-shaped member having a cut portion extending through the constituting diaphragm, a method of manufacturing a micro-valve mechanism.

【0003】本発明の製造方法により作られる微小バルブ機構は、部材中に微小な流路、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構などの構造が形成された微小ケミカルデバイスと組み合わせて使用されるか、或いは該ケミカルデバイスの一部として形成される。 [0003] microvalves mechanism made by the process of the present invention, a microscopic flow passage in the member, the reaction vessel, the electrophoresis column, are used in combination with a micro chemical device structure, such as is formed membrane separation mechanism or, or it is formed as part of the chemical devices.

【0004】更に詳しくは、化学、生化学などの微小反応デバイス(マイクロ・リアクター);集積型DNA分析デバイス、微小電気泳動デバイス、微小クロマトグラフィーデバイスなどの微小分析デバイス、質量スペクトルや液体クロマトグラフィーなどの分析試料調製用微小デバイス、抽出、膜分離、透析などの物理化学的処理デバイスとして有用な微小バルブ機構の一部として、或いはこれらと連結して使用される。 [0004] More specifically, chemical, micro reaction device (micro-reactor), such biochemical; integrated DNA analysis devices, micro-electrophoresis device, microanalysis devices such as micro-chromatographic device, mass spectrum and liquid chromatography, etc. analysis sample preparation micro device, extraction, membrane separation, as part of the useful microvalves mechanism as physicochemical treatment devices such as dialysis, or used in conjunction with these.

【0005】 [0005]

【従来の技術】「サイエンス(SCIENCE)」誌(第288巻、113頁、2000年)には、全体がシリコンゴムで形成され、液体流路と、該流路とダイヤフラムを隔てて形成された加圧用空隙部を有する微小バルブ機構が記載されている。 BACKGROUND OF THE INVENTION "Science (SCIENCE)" magazine (No. 288, pp. 113 pp., 2000), the entirety is formed of silicon rubber, a liquid flow path, is formed at a flow path and the diaphragm microvalves mechanism having a pressurizing air gap is described. そして、加圧用空隙部に圧縮空気を導入し、シリコンゴム製ダイヤフラムを変形させて流路側に押し出すことによって流路断面積を変化させ、液体の流量調節を行う方法が記載されている。 Then, by introducing compressed air into the pressurization air gap, by changing the flow passage cross-sectional area by extruding the flow path side by deforming the silicone rubber diaphragm, a method of performing a flow control of the liquid is described.

【0006】しかしながら、この微小バルブ機構は剛性の低い柔軟素材で構成されているため、耐圧性が低いものであった。 However, the small valve mechanism because it is composed of a lower flexible material rigidity, had low pressure resistance. また、この微小バルブ機構は疎水性の素材で構成されており、蛋白や酵素などの生化学物質を吸着し易く、生化学分野での使用に制約があった。 Further, the micro valve mechanism is composed of a hydrophobic material, easy to adsorb biochemical substances such as proteins and enzymes, there are restrictions on the use in biochemistry. 更に、この微小バルブ機構は、製造に時間を要し、生産性の低いものであった。 In addition, the micro valve mechanism takes time to manufacture, was of low productivity.

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようとする課題は、ダイヤフラム膜として、非常に薄く柔軟で取り扱いにくい薄膜を、微小なバルブ機構に組み込み、 An object of the present invention [0005] to solve is as diaphragm membrane, a hard film to handle very thin and flexible, built in small valve mechanism,
他の部材と接着して効率良くダイヤフラムを形成する、 Efficiently formed diaphragm by bonding with other members,
ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法を提供することにある。 It is to provide a method of manufacturing a diaphragm type micro valve mechanism.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題を解決する方法について鋭意検討した結果、微小バルブ機構の構成要素である変形可能なダイヤフラムを、液面展開法により形成した薄膜を、微小なダイヤフラム部分の形状に加工することなく、薄膜のまま、他の2つの部材間に挟んで接着、積層することにより、容易にダイヤフラム型の微小バルブ機構が形成し得ること、また、液面展開する素材として、鎖状重合体の溶液やエネルギー線硬化性樹脂組成物を使用することにより、より有利に課題を解決できることを見いだし、本発明を完成するに至った。 Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies and as a result how to solve the problems described above, the deformable diaphragm is a component of the micro valve mechanism, a thin film formed by the liquid surface expansion method , without processing the shape of the small diaphragm portion, while the film, adhesive sandwiched between two other members, by laminating, readily be diaphragm type micro valve mechanism may form, also, the liquid as the material for the surface extending, by using a chain polymer solutions and energy ray-curable resin composition, found that can solve the problem more advantageously, the present invention has been completed.

【0009】即ち、本発明は、液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、 Accordingly, the present invention is a diaphragm-forming material comprising a liquid resin composition is spread on the liquid surface, the thin film-like member which is formed by solidifying it, has a cut portion in a part of the surface or, alternatively the cut portion through the member by bonding sandwiched between the two members, forms the diaphragm the thin film-like member, that each cut portion formed with a cavity partitioned by the diaphragm and wherein,
ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法を提供する。 To provide a method of manufacturing a diaphragm type micro valve mechanism.

【0010】 [0010]

【発明の実施の形態】本発明は、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法に関する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a diaphragm type micro valve mechanism. 本発明で言うダイヤフラム型の微小バルブ機構とは、ダイヤフラムで仕切られた空洞の一方の側の圧力を変化させることによりダイヤフラムを変形させ、空洞の他方側を流れる流体流量を調節する、微小バルブ機構を意味する。 The diaphragm type micro valve mechanism in the present invention, by deforming the diaphragm by varying the pressure on one side of the cavity separated by a diaphragm to regulate the fluid flow rate through the other side of the cavity, the micro valve mechanism It means.

【0011】本発明の微小バルブ機構の外形、即ちダイヤフラムが固定される部材の外形、は特に限定する必要はなく、用途目的に応じた形状を採りうる。 [0011] contour of microvalves mechanism of the present invention, i.e., the outer shape of the member which the diaphragm is fixed, is not critical and may take the shape according to the intended use. 部材の外形としては、例えば、シート状(フィルム状、リボン状などを含む。以下同じ)、板状、塗膜状、棒状、チューブ状、その他複雑な形状の成型物などであり得る、シート状、板状又は棒状であることが特に好ましい。 The outer shape of the member, for example, a sheet-like (film-like, and the like ribbon. Hereinafter the same), plate-like, coating, rod, tubular, which may be like other moldings of complex shape, sheet it is particularly preferably a plate-like or rod.

【0012】部材は複数の同じ、又は異なる素材の複合体として構成されていても良い。 [0012] member may be configured as a composite of a plurality of same or different materials. なお、以下、説明の簡略化のため、「板状」に「シート状」も含めることとする。 In the following, for simplification of explanation, and also include "sheet" to "plate". 本発明の微小バルブ機構が板状である場合には、その厚みは任意であるが、好ましくは20μm〜20mm If the micro valve mechanism of the present invention is a plate-like, although its thickness is optional, preferably 20μm~20mm
であり、更に好ましくは100μm〜2000μmである。 , And still more preferably 100Myuemu~2000myuemu. 厚みが過小であると製造が困難となり、過大であると微小バルブ機構としてのメリットが低下する。 Thickness becomes difficult to manufacture to be too small, as is excessive benefits as microvalves mechanism decreases.

【0013】本発明の製造方法で製造される微小バルブ機構は、表面に凹状の欠損部又は部材を貫通する欠損部(欠損部A)を有する部材(部材A)の欠損部A形成面と、これとは別の、表面に凹状の欠損部又は部材を貫通する欠損部(欠損部B)を有する部材(部材B)の欠損部B形成面が、ダイヤフラムを構成する薄膜状の部材(部材C)を挟んで互いに接着されることにより、欠損部Aと部材Cとで空洞(空洞A)が形成され、また欠損部Bと部材Cとで空洞(空洞B)が形成され、空洞Aと空洞Bとが部材Cから成るダイヤフラムを挟んで相対する位置に設置された形状に形成され、空洞Aには流入口(流入口A)と流出口(流出口A)が設けられ、空洞B [0013] microvalves mechanism produced by the production method of the present invention, a defective portion A forming surface of the member (member A) having defects extending through the concave defect or member (defect A) on the surface, separate from this, defective part B forming surface of the member (member B) having a defect extending through the concave defect or members (defect B) on the surface, a thin film-like member constituting the diaphragm (member C by being bonded to each other across a), a cavity (cavity a) is formed by the cut portion a and the member C, also the cavity (cavities B) is formed by the cut portion B and the member C, the cavity a and the cavity B and is formed in the installed configuration in opposite positions across the diaphragm consisting of member C, the cavity a inlet (inlet a) and the outlet (outlet a) is provided, the cavity B
には接続口(接続口B)が設けられた構造である。 The is a structure connecting port (connection port B) is provided.

【0014】或いは、空洞(A)には流路が接続されずに、直接、微小バルブ機構の外部に開口していても良いが、この場合には、流路A及び流路Bが本バルブ機構外に設けられたものと見なせるため、以下、本微小バルブ機構は流路A及び流路Bを本微小バルブ機構内に有する場合について説明する。 [0014] Alternatively, without being connected flow path to the cavity (A), directly, or may be open to the outside of the micro valve mechanism but, in this case, is the flow path A and the flow path B valve because regarded as being provided outside mechanism, hereinafter, the micro-valve mechanism will be described with the flow path a and the channel B in the micro-valve mechanism.

【0015】本発明の微小バルブ機構のバルブ構造、即ち、空洞A、空洞B、ダイヤフラム、流入口A、流出口A、流入口Bの相対位置や形状については、流路Bを経て制御される空洞Bの圧力変化や体積変化により、ダイヤフラムを変形させて空洞Aの空隙寸法を変化させ、流路Aを流れる流体の流量を調節することができる構造であれば任意である。 The valve structure of the micro valve mechanism of the present invention, i.e., the cavity A, the cavity B, the diaphragm, the inlet port A, the outlet A, the relative position and shape of the inlet port B is controlled via the flow path B the pressure change and volume change of the cavity B, to deform the diaphragm by varying the pore size of the cavity a by an optional, if the structure capable of adjusting the flow rate of the fluid flowing through the flow path a.

【0016】部材Aの外形は特に限定する必要はなく、 The outer member A is not critical,
用途目的に応じた形状を採りうる。 It can take the shape according to the application purpose. 部材Aの形状としては、上述のダイヤフラムが固定される部材の形状に関する記述と同様である。 The shape of the member A, the same as the description of the shape of the member above the diaphragm is fixed. 部材Aは複数の同じ又は異なる素材の複合体、例えば積層体で構成されていても良い。 Member A is a composite of a plurality of identical or different materials, for example may be constituted of a laminate.

【0017】部材Aの厚みは任意であるが、好ましくは10μm〜10mmであり、更に好ましくは50μm〜 [0017] The thickness of the member A is arbitrary, preferably 10Myuemu~10mm, more preferably 50μm~
1mmである。 It is 1mm. 厚みが過小であると製造が困難となり、 Production as the thickness is too small, it becomes difficult,
過大であると耐圧が低下すると共に、微小バルブ機構としてのメリットが低下する。 And it is too large with the breakdown voltage is lowered to decrease the benefits of a small valve mechanism. 部材Bについても、その形状、寸法は部材Aと同様である。 For even member B, its shape, size is the same as member A.

【0018】欠損部A、欠損部Bの形状、寸法については、それぞれ空洞A、空洞Bを目的の寸法にすべく設計できる。 The defect A, the shape of the defect portion B, for dimensions, may each designed to cavity A, the cavity B to the dimensions of the object. 通常、欠損部A、欠損部Bの形状、寸法はそれぞれ空洞A、空洞Bと実質的に同じとなる。 Normally, defect A, the shape of the defect portion B, the dimensions cavity A, respectively, cavity B is substantially the same.

【0019】空洞A、空洞Bは、部材Aと部材Bとの接着面に垂直な方向から見た形状は任意であるが、縦/横比が1に近いことが好ましく、円、楕円、矩形(角の丸められた矩形を含む。以下同じ)であることが好ましい。 [0019] cavity A, the cavity B, the shape viewed from a direction perpendicular to the bonding surface of the member A and the member B are arbitrary, vertical / horizontal ratio is preferably close to 1, circle, ellipse, rectangle it is preferably (including rectangle with rounded corners. hereinafter the same). 空洞A、空洞Bの直径は、共に、部材Aと部材Bとの接着面に垂直な方向から見て、好ましくは1μm〜1 Cavity A, the diameter of the cavity B, both seen from the direction perpendicular to the bonding surface of the member A and the member B, preferably 1μm~1
000μm、更に好ましくは5μm〜500μmである。 000Myuemu, more preferably from 5Myuemu~500myuemu. ここで言う直径は、空洞の形状が円以外のものである場合には、同一面積の円に換算した直径を言う。 Diameter referred to herein is the case where the shape of the cavity is other than circle, say a diameter in terms of circle having the same area. 空洞A、空洞Bの直径は同じである必要はないが、互いに近いか、同じであることが好ましい。 Need not be the diameter of the cavity A, cavity B equal or close to each other, preferably the same.

【0020】部材Aと部材Bとの接着面に垂直な方向から見た空洞A、空洞Bの深さ(表面からの奥行きき寸法)はそれぞれ、好ましくは0(但し接着されていないこと)〜1000μm、更に好ましくは5〜500μm The member A and the cavity A as seen from a direction perpendicular to the bonding surface of the member B, (depth-out dimension from the surface) the depth of the cavity B, respectively, preferably 0 (but not bonded) - 1000μm, more preferably 5~500μm
である。 It is. 空洞がこれらの寸法より大きい場合には、微小バルブ機構としてのメリットが小さくなるので好ましくない。 If the cavity is greater than these dimensions, since the benefits of a small valve mechanism decreases undesirably. 空洞Aは、最大高さ/最大幅の比が1以下であることが好ましい。 Cavity A is preferably the ratio of the maximum height / maximum width is 1 or less. この比が1を超えると、バルブを完全に閉とすること、即ち、空洞Aの間隙をゼロとすることが困難となる。 If this ratio exceeds 1, it is completely closed the valve, i.e., it is difficult to the gap of the cavity A zero.

【0021】バルブが常時閉のタイプである場合で、流入口から流入する流体によってこの間隙が押し開かれる場合には、この比はゼロ(但し接着されていないこと) [0021] In case the valve is a type of closed at all times, if the gap is pushed open by the fluid flowing from the inflow port, (that it is not however bond) This ratio is zero
であって良い。 It may be in. それ以外の場合には、この比は0.05 Otherwise, the ratio is 0.05
〜1であることが好ましく、0.1〜0.5であることが更に好ましい。 It is preferably to 1, more preferably 0.1 to 0.5. 空洞Bの該比は任意である。 The ratio of the cavity B is arbitrary. 例えば1 For example, 1
000であっても良いし、逆にゼロ(但し接着されていないこと)であっても良い。 May be a 000, may be zero (but not bonded) reversed.

【0022】空洞A及び空洞Bの高さは一定である必要はなく、該空洞内の場所によって異なっていても良い。 [0022] rather than the height of the cavity A and the cavity B must be constant, or may be different depending on the location of the air sinus.
空洞Aは、高さの低い部分即ち空隙の狭い部分を有していることが完全閉としやすく好ましい。 Cavity A is preferably easily and completely closed, which has a lower portion or narrow portion of the gap height.

【0023】部材Aと部材Bとの接着面に垂直な方向から見た空洞A及び空洞Bは、同一の形状である必要はないが、ほぼ同一の形状であることが好ましい。 The members A and B with the cavity A and cavity B as viewed from a direction perpendicular to the bonding surface of the need not be identical in shape, it is preferably substantially the same shape. 空洞A及び空洞Bは、ダイヤフラムを隔てて互いに相対する位置に設けられるが、相対位置がずれていても良く、空洞部の重なりがあれば良い。 Cavity A and the cavity B is provided in a position facing each other with the diaphragm may be relative position deviated, or if there is an overlap of the cavity. しかし、相対位置は完全に一致していることが好ましい。 However, it is preferred that the relative positions match exactly.

【0024】流路Aは流量調節すべき流体を流通させる流路であり、空洞Aをその途上に有すれば、その寸法形状は任意である。 The flow path A is a fluid flow path for circulating should flow regulation, if you have a cavity A on the developing, the dimensions are arbitrary. しかしながら、流路Aと空洞Aとの接続部、即ち、流入口A及び/又は流出口Aは、空洞の直径と同じであっても良いが、その少なくとも一方は空洞の直径より小さいことが好ましい。 However, the connection portion of the flow path A and the cavity A, i.e., the inlet A and / or outlet A may be the same as the diameter of the cavity, but is preferably at least one is smaller than the diameter of the cavity . 流路Aは本発明の微小バルブ機構の外部に連絡していても良いし、外部に連絡しておらず、本デバイス内の他の構造に連絡していても良い。 It passage A may be in contact to the outside of the micro valve mechanism of the present invention, not to contact the outside, may be in contact to other structures within the device.

【0025】接続口Bはそこを通じて空洞Bの圧力や体積を調節し、ダイヤフラムを変形させてバルブの開閉を行うものである。 The connection port B is there through the pressure was adjusted and the volume of the cavity B, and to deform the diaphragm is intended for opening and closing the valve. 流路Bに通す流体は任意であり、液体であっても気体であっても良い。 Fluid through the flow path B is optional, and may be a gas and a liquid. 圧力の変化は、加圧であっても減圧であっても良い。 Change in pressure may be reduced pressure even pressure. 流路Bは本微小バルブ機構の外部に開口しいていても良いし、外部に開口しておらず、本デバイス内の他の機構、例えば気体発生部や気体吸収部などに連絡していても良い。 It passage B may optionally have open to the outside of the micro valve mechanism, not open to the outside, other mechanisms within the device, even if contact in, for example, a gas generator and the gas-absorbing unit good. 流路Bや接続部B The channel B and the connection B
の直径は任意である。 The diameter is optional.

【0026】本発明の製造方法で製造される微小バルブ機構の好ましい形状は、流入口A、流出口Aの少なくとも一方が、空洞Aにおけるダイヤフラムの対向面に形成されており、空洞部Bが加圧されることにより変形したダイヤフラムが、流入口A及び/又は流出口Aをその全周に渡って閉じることが出来る構造を有するものである。 A preferred shape of the micro valve mechanism produced by the production method of the present invention, the inlet port A, at least one outlet A is formed in the facing surfaces of the diaphragm in the cavity A, cavity B is pressurized diaphragm deformed by being pressed is one having an inlet a and / or outlet a close it can over its entire periphery structure. ダイヤフラムは、流入口A、流出口Aの一方または両方を塞いで良い。 Diaphragm, the inlet A, or blocking one or both of the outlet A.

【0027】従って、変形したダイヤフラムで塞がれるべき流入口A及び/又は流出口Aの直径は、空洞Aの直径より小である必要がある。 [0027] Therefore, the diameter of the inlet port A to be closed by the deformed diaphragm and / or outlet A is required to be smaller than the diameter of the cavity A. このような流入口A及び/ Such inlet A and /
又は流出口Aは、欠損部Aの中から部材Aに穿たれた孔として流路Aを形成することで得ることが出来る。 Or outlet A can be obtained by forming the flow path A as the hole drilled in the member A from the defect A. このような構造においては、空洞Aの高さは均一であるか、 In such a structure, the height of the cavity A is uniform,
或いはダイヤフラムで塞がれるべき周部分が高くなっている構造が好ましい。 Or structure to the peripheral portion is closed by the diaphragm is higher is preferred.

【0028】上記に於いて、ダイヤフラムによって塞がれない方の流入口Aまたは流出口Aは、流路Aが、部材Aの欠損部A形成面に形成された欠損部Aに連絡した溝(溝A)と、部材Cとでもって形成されたものであることが好ましい。 [0028] In the above, the inlet port A or the outlet A of the direction that is not blocked by the diaphragm, the flow path A is contacted to the defect A formed into the defect A forming surface of the member A groove ( a groove a), it is preferably formed with at the member C. 即ち、該流入口A又は流出口Aの周の一部が部材Cでもって構成されている。 That is, the peripheral part of the fluid inlet A or outlet A is constituted with a member C.

【0029】本発明の製造方法により製造される微小バルブ機構の、ダイヤフラム以外の部材、例えば部材A、 The microvalves mechanism produced by the production method of the present invention, other than the diaphragm member, for example member A,
部材Bはそれぞれ任意の素材で形成されていてよく、これ等が同じ素材で形成されていても異なる素材で形成されていても良い。 Each member B may be formed of any material, which like may be formed with or different materials be formed of the same material. 例えば、ガラス、水晶等の結晶、ステンレススチール等の金属、シリコンなどの半導体、セラミック、炭素、有機重合体(ポリジメチルシロキサンのように、無機元素を含有するものであっても良い。以下単に「重合体」と称する)などであり得る。 For example, glass, quartz crystal or the like, a metal such as stainless steel, a semiconductor such as silicon, ceramics, as carbon, organic polymer (polydimethylsiloxane, be those containing inorganic elements may be. Hereinafter simply " and the like is referred to as a polymer ").

【0030】これらの中で、多くの用途に於いて、成形性、接着性、価格、生産性などの点で重合体が好ましい。 [0030] Among these, in the many applications, moldability, adhesion, cost, polymers are preferred in terms of productivity. 重合体は、単独重合体であっても、共重合体であっても良く、また、熱可塑性重合体であっても、熱硬化性重合体であっても良い。 Polymer may be a homopolymer, may be a copolymer may also be a thermoplastic polymer may be a thermoset polymer. 生産性の面から、重合体は熱可塑性重合体又はエネルギー線硬化性組成物の固化物であることが好ましい。 From the viewpoint of productivity, it is preferred polymers are solidified product of a thermoplastic polymer or an energy ray-curable composition.

【0031】部材に硬度や強度の高い素材を用いることで、耐圧性や強度を高くすることが出来るが、硬度の低い素材を使用する場合や、厚みを薄くする場合には、支持体上に形成することも好ましい。 [0031] By using a high hardness and strength materials to members, although it is possible to increase the pressure resistance and strength, and when using a low material hardness, when reducing the thickness comprises a support form it is preferable to. 特に部材Bは、部材Bに設けられた流路Bや空洞Bを加圧することによってバルブを開閉する機構上、耐圧性の高い素材を使用したり、耐圧性の高い構造とすることが好ましい。 Particularly member B is on mechanisms to open and close the valve by pressurizing the flow passage B and the cavity B provided in member B, or using high pressure resistance material, it is preferable that the high pressure resistance structure. 部材Aや部材Bを形成する素材は、好ましくは引張弾性率が10 Material forming the member A and member B are preferably tensile modulus 10
0MPa以上、更に好ましくは500MPa以上、最も好ましく1GPaのものである。 0MPa or more, more preferably at least 500 MPa, is of the most preferred 1 GPa. 引張弾性率の上限は、 The upper limit of the tensile modulus of elasticity,
自ずと限界はあろうが高いことそれ自身による不都合はないため上限を設けることを要しない。 Naturally they need not be, but would limit an upper limit because it is not disadvantageous due to the high possible itself. 例えば100G For example 100G
Paや500GPaであり得る。 It may be a Pa and 500GPa.

【0032】部材Aや部材Bに使用できる重合体としては、後述の部材Cに使用できる重合体として例示したものの中から、選択して使用することが出来る。 Examples of the polymers which can be used for member A or member B, and among those exemplified as the polymer that can be used for member C will be described later, can be selected and used. 部材Aや部材Bに使用できる重合体はまた、エネルギー線硬化性組成物の固化物であることも好ましい。 Polymers can be used in member A and the member B is also preferably a solid of the energy ray curable composition. エネルギー線硬化性組成物は、強度や硬度を増すために架橋重合体となるものが好ましい。 Energy ray-curable composition is preferably one comprising a cross-linked polymer to increase strength and hardness. エネルギー線硬化性組成物についても、好ましい引張弾性率が異なること以外は、後述の部材Cの場合と同様である。 For even energy ray-curable composition, except that the preferred tensile modulus is different, is similar to that of the member C will be described later. エネルギー線硬化性組成物に含有されるエネルギー線硬化性化合物も部材Cに使用できるエネルギー線硬化性化合物として例示したものの中から、選択して使用することが出来る。 From those energy ray-curable compound contained in the energy ray-curable composition also exemplified as the energy ray-curable compound which can be used for members C, may be selected and used.

【0033】部材Aや部材Bに、欠損部、溝、流入口、 [0033] member A or member B, defect, grooves, inlet,
流出口などの構造を設ける方法は任意であり、例えば、 Method of providing a structure, such as the outlet is arbitrary, for example,
フォトリソグラフ;射出成形;熱プレス;溶剤キャスト;ドリル;エッチング;レーザー穿孔、サンドブラストなどの方法で形成する方法や、これらの方法で形成した、表裏を貫通する欠損部を有する薄膜状の部材や塗膜層を他の部材と積層接着する方法などを採ることが出来る。 Photolithographic; injection molding; hot press; solvent casting; drill; etching; laser drilling, and a method of forming by a method such as sand blasting, formed by these methods, a thin film-like member and a coating having a defect extending through the front and back a method of laminating bonding the layer with other members can take.

【0034】これらの中で、フォトリソグラフ法で欠損部が形成された層を作製し、これを他の層と積層することにより、表面に形成された凹状の欠損部と成す方法が好ましい。 [0034] Among these, to produce a layer defect is formed by photolithography, by laminating it with another layer, a method of forming a cut portion of the concave formed on the surface is preferred. 即ち、エネルギー線硬化性組成物を基材上に塗布して塗膜状の賦形物とし、欠損部と成す部分以外の部分にエネルギー線をに照射して固化させ、非照射部分の未固化のエネルギー線硬化性組成物を洗浄などの任意の方法で除去することにより、素材の欠損部を有する塗膜(即ち、基材上に形成された層状の部材)を形成し、 That is, an energy ray curable composition is coated onto a substrate and a coating film-like excipients was solidified by irradiating an energy beam to a portion other than the portion formed with the cut portion, unsolidified unirradiated portions the is removed by any method such as energy ray-curable composition is washed, to form a coating film having a cut portion of the material (i.e., a layered member that is formed on a substrate),
これを他の層と積層接着する方法である。 This is a method of laminating adhesive with other layer.

【0035】部材A及び/又は部材Bを完全に形成してから、部材Cと積層接着しても良いし、部材A及び/又は部材Bが不完全に形成された前駆体の状態で部材Cと積層・接着し、その後に部材A及び/又は部材Bを完全に成形しても良い。 [0035] The member A and / or member B after completely formed, may be laminated and bonded with a member C, member C in the state of the member A and / or member B is imperfectly formed precursor and laminated and bonded may be completely molded thereafter member a and / or member B. 例えば、部材Aが複数の層の積層体である場合、部材Cに部材Aを構成する層の1つを積層・接着した後に、部材Aの他の層を積層・接着しても良い。 For example, if member A is a laminate of a plurality of layers, after stacking and bonding one of the layers constituting the member A to the member C, or may be laminated and adhered to another layer of the member A. また、部材Aと部材Bの間に部材Cを挟んだ状態に積層・接着する順序も任意であり、任意の順序で順次接着しても良いし、部材A、部材B、部材Cを一度に接着しても良い。 The order of laminating and bonding in a state of sandwiching the member C between the members A and B is also arbitrary, and may be sequentially bonded in any order, member A, member B, the member C at one time it may be bonded.

【0036】部材Cは、厚みがダイヤフラムの厚み、即ち、0.1〜500μm 、好ましくは1〜200μ The member C has a thickness of the diaphragm thickness, i.e., 0.1 to 500 [mu] m, preferably 1~200μ
m、更に好ましくは5〜100μmの範囲にある薄膜状の部材である。 m, more preferably a thin film-like member in a range of 5 to 100 [mu] m. 勿論、ダイヤフラムの厚みを厚くする場合には弾性率の低い素材を使用する必要があり、「引張弾性率×ダイヤフラムの厚み」の値が、10〜5000 Of course, in the case of increasing the thickness of the diaphragm must use a low modulus material, the value of "thickness of the tensile elastic modulus × diaphragm", 10 to 5000
0Pa・mの範囲にあることが好ましく、100〜50 It is preferably in the range of 0 Pa · m, 100 to 50
00Pa・mの範囲にあることが更に好ましい。 It is more preferably in the range of 00Pa · m.

【0037】部材Cの厚みは均一である必要はなく、厚みにムラや傾斜があって良い。 The thickness of the member C need not be uniform, there may be uneven or inclined in the thickness. ダイヤフラムの直径や素材の硬度にもよるが、これより小さいと、製造が困難となったり、開状態を維持することが困難と成りがちであり、また、この範囲を超えると、開閉が困難となる。 Depending on the hardness of the diaphragm diameter and material, the smaller than this, or is difficult to manufacture, tend to be difficult to maintain the open state, When it exceeds this range, difficult opening and closing Become.

【0038】部材Cの素材は、ダイヤフラムとして機能する程度の柔軟性を備えた素材であり、且つ何らかの方法で液面展開法により薄膜状に賦形できれば任意であるが、重合体又は重合性化合物であることが好ましい。 The member C material, a material having a flexibility enough to function as a diaphragm, and is arbitrary if shaped into a thin film by the liquid surface expansion method in some way, a polymer or a polymerizable compound it is preferable that. 部材Cを形成する素材は、引張弾性率が0.1MPa〜1 Material forming the member C has a tensile modulus 0.1MPa~1
0GPa、好ましくは10MPa〜7GPaの範囲にあるものである。 0 GPa, preferably not those in the range of 10MPa~7GPa.

【0039】部材Cを構成する素材は、JIS K−7 The material constituting the member C is, JIS K-7
127により測定された破断伸び率が、好ましくは5% The measured elongation at break by 127, preferably 5%
以上、更に好ましくは10%以上のものである。 Or more, more preferably at least 10%. 破断伸びの上限は、自ずと限界はあろうが、高いことそれ自身による不都合は無いため上限を設けることを要せず、例えば、800%でありうる。 The upper limit of the elongation at break is will naturally limit, without requiring that an upper limit for no inconvenience due to the high possible itself, for example, be a 800%. 本発明においては、JIS In the present invention, JIS
K−7127による引張試験で5〜10%という低い破断伸び率を示す素材であっても、本発明の使用方法に於いては破壊しにくく、上記試験による破断伸び率以上の変形を与えても破壊することなく使用可能である。 Even material showing a low breaking elongation of 5-10% in a tensile test according to K-7127, at the use of the present invention hardly destroyed even give deformation than breaking elongation according to the test It can be used without destroying.

【0040】部材Cを形成する重合体は、単独重合体であっても、共重合体であっても良く、また熱可塑性重合体であっても、熱硬化性重合体であっても、後架橋性の重合体であっても良い。 The polymer forming the member C may be a homopolymer, or a copolymer may also be a thermoplastic polymer, be a thermosetting polymer, after it may be a cross-linkable polymer. 生産性の面から、重合体は熱可塑性重合体又はエネルギー線硬化性組成物の固化物であることが好ましい。 From the viewpoint of productivity, it is preferred polymers are solidified product of a thermoplastic polymer or an energy ray-curable composition. ダイヤフラムの塑性変形を抑制し、 Suppressing plastic deformation of the diaphragm,
バルブの耐久性を増すためには、部材Cを形成する素材がエネルギー線硬化性組成物の固化物である場合には、 To increase the durability of the valve, when the material forming the member C is solidified product of the energy ray-curable composition,
該固化物は架橋重合体であることが好ましい。 It is preferred solid compound is a crosslinked polymer.

【0041】部材Cに使用できる熱可塑性重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリ−α−メチルスチレン、ポリスチレン/マレイン酸共重合体、ポリスチレン/アクリロニトリル共重合体の如きスチレン系重合体; [0041] The thermoplastic polymer that can be used for member C, for example, polystyrene, polymethyl -α- methyl styrene, polystyrene / maleic acid copolymers, polystyrene / acrylonitrile copolymers such as styrene-based polymers;
ポルスルホン、ポリエーテルスルホンの如きポリスルホン系重合体;ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリルの如き(メタ)アクリル系重合体;ポリマレイミド系重合体;酢酸セルロース、メチルセルロースの如きセルロース系重合体; Polysulfone, such as polysulfone-based polymer of the polyether sulfone; polymethyl methacrylate, such as polyacrylonitrile (meth) acrylic polymer; polymaleimide polymer; cellulose acetate, such as cellulosic polymers methylcellulose;

【0042】ビスフェノールA系ポリカーボネート、ビスフェノールF系ポリカーボネート、ビスフェノールZ [0042] Bisphenol A-based polycarbonate, bisphenol-F-based polycarbonate, bisphenol Z
系ポリカーボネートの如きポリカーボネート系重合体; Such polycarbonate polymer systems polycarbonates;
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−4−メチルペンテン−1の如きポリオレフィン系重合体;塩化ビニル、 Polyethylene, polypropylene, polyolefins such as polymers of poly-4-methylpentene-1, vinyl chloride,
塩化ビニリデンの如き塩素含有重合体;ポリウレタン系重合体;ポリアミド系重合体;フッ素系重合体;ポリ− Chlorine-containing polymers such as vinylidene chloride; polyurethane polymer; polyamide polymer; fluoropolymer, poly -
2,6−ジメチルフェニレンオキサイドの如きポリエーテル系又はポリチオエーテル系重合体;ポリエチレンテレフタレート、ポリアリレートの如きポリエステル系重合体などが挙げられる。 2,6 such polyether-dimethyl phenylene oxide-based or polythioether polymer, polyethylene terephthalate, such as polyester-based polymer of the polyarylate and the like.

【0043】これらの中で、接着性が良好な点などから、スチレン系重合体、(メタ)アクリル系重合体、ポリカーボネート系重合体、ポリスルホン系重合体、ポリエステル系重合体が好ましい。 [0043] From such Among these, the viewpoint of good adhesion, styrenic polymer, (meth) acrylic polymer, a polycarbonate polymer, a polysulfone-based polymer, polyester-based polymers are preferred.

【0044】部材Cに使用できる熱硬化性重合体としては、例えば、ポリウレタン系重合体;ポリアミド系重合体;ポリイミド系重合体;エポキシ樹脂;(メタ)アクリル系重合体;ポリマレイミド系重合体、などが挙げられる。 [0044] The thermosetting polymers that can be used for member C, for example, polyurethane-based polymer; polyamide polymer; polyimide polymer, epoxy resins, (meth) acrylic polymer; polymaleimide polymer, and the like. 上に例示した重合体で、単独では、部材Cとして好ましい引張弾性率の範囲から外れるものであっても、 In exemplified polymers above, alone, even those outside the scope of the preferred tensile modulus as members C,
可塑剤の使用や共重合などにより使用することが出来る。 It may be used such as by use or copolymerization of the plasticizer.

【0045】部材Cに使用することができる重合体はまた、エネルギー線硬化性樹脂組成物の固化物であることも好ましい。 The polymer can be used for the member C is also preferably a solid of the energy ray curable resin composition. エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必須成分としてエネルギー線硬化性化合物を含有するものであり、エネルギー線硬化性化合物単独でもよく、複数種のエネルギー線硬化性化合物の混合物でもよい。 Energy ray curable resin composition is one containing the energy ray-curable compound as an essential component may be a single energy ray-curable compound may be a mixture of a plurality of types of energy ray-curable compound. エネルギー線硬化性樹脂組成物は、強度や硬度を増すために架橋重合体となるものが好ましい。 Energy ray curable resin composition is preferably one comprising a cross-linked polymer to increase strength and hardness. エネルギー線硬化性化合物はエネルギー線重合開始剤の非存在下で固化可能なものの他、エネルギー線重合開始剤の存在下でのみエネルギー線により重合するものも使用することができる。 Energy ray-curable compound may be further capable solidify in the absence of an energy ray polymerization initiator, also used as the polymerization by energy ray only in the presence of an energy ray polymerization initiator.

【0046】エネルギー線硬化性化合物としては、重合性の炭素−炭素二重結合を有する物が好ましく、中でも、反応性の高い(メタ)アクリル系化合物やビニルエーテル類、また光重合開始剤の不存在下でも固化するマレイミド系化合物が好ましい。 [0046] The energy ray-curable compound, polymerizable carbon - preferably those having a carbon double bond, among others, absence of highly reactive (meth) acrylic compounds and vinyl ethers, also photopolymerization initiator maleimide compounds also solidified under is preferable. 部材Aや部材Bに使用できるエネルギー線硬化性化合物としては、後述の、部材Cに使用できるとして例示した化合物の中から選択して使用することが出来る。 The energy ray-curable compound which can be used for member A or member B, it is possible to use selected from among the compounds exemplified as usable described later, the member C.

【0047】ダイヤフラムは、異なる素材で構成された積層体などの複合体であっても良い。 [0047] The diaphragm may be a complex, such as a multilayer structure that comprises a different material. この場合には、該複合体の引張弾性率と厚みが上記範囲にあるものである。 In this case, in which the tensile modulus and the thickness of the complex is in the above range. このような複合体としては、例えば、エネルギー線硬化性組成物の固化物と熱可塑性重合体との積層体であることも好ましく、熱可塑性重合体や熱硬化性重合体で形成されたダイヤフラムの部材A側に、低吸着性のエネルギー線硬化性組成物の固化物層が接着(コート)されたものであることが更に好ましい。 Such complexes include, for example, solid of the energy ray-curable composition and it is also preferably a laminate of a thermoplastic polymer, a diaphragm formed of a thermoplastic polymer or thermosetting polymer the member a side, and further preferably solidified layer of low adsorptivity of the energy ray-curable composition is one which is adhered (applied).

【0048】該複合体と成しうる素材は引張弾性率が小さな重合体であることが好ましく、シリコンゴム;ネオプレン系、クロロプレン系、ニロリル系、ブタジエン系などのゴム;ポリウレタン、ポリエステルエラストマー、ポリアミドエラストマーなどのエラストマー;エチレン−酢酸ビニル共重合体などの柔軟な熱可塑性樹脂であることが好ましい。 [0048] Preferably the material has a tensile modulus that can form a complex is small polymer, silicone rubber; neoprene based, chloroprene, Niroriru system, rubbers such as butadiene; polyurethane, polyester elastomer, polyamide elastomer it is preferably a flexible thermoplastic resin such as vinyl acetate copolymer - ethylene; elastomers such.

【0049】ダイヤフラムの素材として使用するエネルギー線硬化性組成物は、必須成分としてエネルギー線硬化性化合物を含有するものであり、エネルギー線硬化性化合物単独でもよく、複数種のエネルギー線硬化性化合物の混合物でもよい。 The energy ray-curable composition used as a diaphragm material, which contains the energy ray-curable compound as an essential component may be a single energy ray-curable compound, of a plurality of types of energy ray-curable compound it may be a mixture. ダイヤフラムの素材として、このようなエネルギー線硬化性樹脂組成物の固化物を使用することは、厚みの薄いダイヤフラムを形成することが容易であること、薄いダイヤフラムを他の部材と接着することが容易となること、本発明の好ましい形態に於いて、ダイヤフラムを部材Aや部材Bに形成された欠損部や溝を閉塞させることなくこれらの部材と接着することが容易となること、ダイヤフラムの柔軟度の制御が容易であること、及び、これらを高い生産性で実施できること、といった利点を有する。 As the diaphragm material, thus it is to use a solid of such energy ray-curable resin composition, it is easy to form a thin diaphragm thicknesses, easy to bond a thin diaphragm with other members to become, in the preferred embodiment of the present invention, it becomes easy to adhere to these members without closing the defect and grooves formed a diaphragm member a or member B, flexibility of the diaphragm that the control of it is easy, and can be practiced with them with high productivity, has an advantage.

【0050】エネルギー線硬化性樹脂組成物の固化物は鎖状重合体であっても架橋重合体であっても良いが、繰り返し耐久性や長期耐久性が必要な場合には、塑性変形を抑制できることから、架橋重合体であることが好ましい。 The solid of the energy ray-curable resin composition may be a crosslinked polymer be linear polymers but, when repeating durability and long-term durability is required, suppress plastic deformation because it can, it is preferably a crosslinked polymer. エネルギー線硬化性樹脂組成物の固化物を架橋重合体とするためには、エネルギー線硬化性組成物中に、付加重合性化合物の場合には重合性官能基が2以上であるような、或いは、縮重合性化合物の場合には重合性官能基が3以上であるような(以後、このような官能基を有することを「多官能」と称する)モノマー及び/又はオリゴマーを含有させることで実施できる。 To the solidified material of the energy ray-curable resin composition and the crosslinked polymer is present in the energy ray-curable composition, in the case of the addition polymerizable compound such as a polymerizable functional group is 2 or more, or , such as in the case of condensation-polymerizable compound is a polymerizable functional group is 3 or more (hereinafter, to have such a functional group is referred to as a "multifunctional") carried by the inclusion of monomers and / or oligomers it can.

【0051】エネルギー線硬化性組成物は、引張弾性率の調節や接着性の改良などを目的として、単官能のモノマー及び/又はオリゴマーの混合物とすることも好ましい。 The energy ray-curable composition, for the purpose such as tensile regulatory and improved adhesion of the elastic modulus, it is also preferable that a mixture of monofunctional monomer and / or oligomer. ダイヤフラムの素材として使用するエネルギー線硬化性樹脂組成物を構成するエネルギー線硬化性化合物は、ラジカル重合性、アニオン重合性、カチオン重合性等任意のものであってよい。 Energy ray-curable compound constituting the radiation-curable resin composition for use as a diaphragm material, radically polymerizable, anionic polymerizable, may be any cationically polymerizable like. エネルギー線硬化性化合物は、重合開始剤の非存在下で重合するものに限らず、重合開始剤の存在下でのみエネルギー線により重合するものも使用することができる。 Energy ray-curable compound is not limited to the polymerization in the absence of a polymerization initiator, it can also be used which only polymerization by energy ray in the presence of a polymerization initiator.

【0052】そのようなエネルギー線硬化性化合物としては、重合性の炭素−炭素二重結合を有するものが好ましく、中でも、反応性の高い(メタ)アクリル系化合物やビニルエーテル類、また光重合開始剤の不存在下でも固化するマレイミド系化合物が好ましい。 [0052] Such energy ray-curable compound, polymerizable carbon - preferably has a carbon double bond, among others, high reactivity (meth) acrylic compounds and vinyl ethers, also photopolymerization initiator maleimide compound which solidifies in the absence of preferred.

【0053】エネルギー線硬化性化合物として好ましく使用することができる架橋重合性の(メタ)アクリル系モノマーとしては、例えば、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、2,2'−ビス(4−(メタ)アクリロイルオキシポリエチレンオキシフェニル)プロパン、 [0053] As the crosslinking polymerizable (meth) acrylic monomer which can be preferably used as the energy ray-curable compound, for example, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6 hexanediol di (meth) acrylate, 1,8-octanediol di (meth) acrylate, 2,2'-bis (4- (meth) acryloyloxy polyethyleneoxy) propane,

【0054】2,2'−ビス(4−(メタ)アクリロイルオキシポリプロピレンオキシフェニル)プロパン、ヒドロキシジピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、ビス(アクロキシエチル)ヒドロキシエチルイソシアヌレート、N−メチレンビスアクリルアミドの如き2 [0054] 2,2'-bis (4- (meth) acryloyloxy polypropyleneoxy) propane, hydroxydicarboxylic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl diacrylate, bis (acroxyethyl) hydroxy isocyanurate, such as N- methylenebisacrylamide 2
官能モノマー; Functional monomer;

【0055】トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクロキシエチル)イソシアヌレート、 [0055] trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, tris (acroxyethyl) isocyanurate,
カプロラクトン変性トリス(アクロキシエチル)イソシアヌレートの如き3官能モノマー;ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレートの如き4官能モノマー; Caprolactone-modified tris (acroxyethyl) such as isocyanurate trifunctional monomer; such tetrafunctional monomer of pentaerythritol tetra (meth) acrylate;
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートの如き6官能モノマーなどが挙げられる。 Such as 6-functional monomer such as dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.

【0056】また、エネルギー線硬化性化合物として、 [0056] Further, as the energy ray-curable compound,
重合性オリゴマー(プレポリマーとの呼ばれる)を用いることもでき、例えば、重量平均分子量が500〜50 Can also be used polymerizable oligomers (referred to the prepolymer), for example, a weight average molecular weight of 500 to
000のものが挙げられる。 Include those of 000. そのような重合性オリゴマーしては、例えば、エポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸エステル、ポリエーテル樹脂の(メタ)アクリル酸エステル、ポリブタジエン樹脂の(メタ)アクリル酸エステル、分子末端に(メタ)アクリロイル基を有するポリウレタン樹脂などが挙げられる。 It is like that polymerizable oligomer, for example, (meth) acrylic acid esters of epoxy resins, (meth) acrylic acid ester of polyether resin, (meth) acrylic acid ester of polybutadiene resin, the molecular end (meth) acryloyl and polyurethane resin having a group.

【0057】マレイミド系の架橋重合性のエネルギー線硬化性化合物としては、例えば、4,4'−メチレンビス(N−フェニルマレイミド)、2,3−ビス(2, [0057] As the crosslinking polymerizable radiation curable compound of maleimide, for example, 4,4'-methylenebis (N- phenylmaleimide), 2,3-bis (2,
4,5−トリメチル−3−チエニル)マレイミド、1, 4,5-trimethyl-3-thienyl) maleimide, 1,
2−ビスマレイミドエタン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、トリエチレングリコールビスマレイミド、N, 2-bismaleimide ethane, 1,6-bismaleimidohexane, triethylene glycol bismaleimide, N,
N'−m−フェニレンジマレイミド、m−トリレンジマレイミド、N,N'−1,4−フェニレンジマレイミド、 N'-m-phenylene maleimide, m- tolylene maleimide, N, N'-1,4-phenylene maleimide,

【0058】N,N'−ジフェニルメタンジマレイミド、N,N'−ジフェニルエーテルジマレイミド、N, [0058] N, N'- diphenyl methane maleimide, N, N'- diphenyl ether maleimide, N,
N'−ジフェニルスルホンジマレイミド、1,4−ビス(マレイミドエチル)−1,4−ジアゾニアビシクロ− N'- diphenylsulfone maleimide, 1,4-bis (maleimido ethyl) -1,4-diazoniabicyclo cyclo -
[2,2,2]オクタンジクロリド、4,4'−イソプロピリデンジフェニル=ジシアナート・N,N'−(メチレンジ−p−フェニレン)ジマレイミドの如き2官能マレイミド;N−(9−アクリジニル)マレイミドの如きマレイミド基とマレイミド基以外の重合性官能基とを有するマレイミドなどが挙げられる。 [2,2,2] octane dichloride, 4,4'-isopropylidene diphenyl dicyanate · N, N '- (methylenedi -p- phenylene) such bifunctional maleimides dimaleimide; N-(9-acridinyl), such as maleimide maleimide having a polymerizable functional group other than the maleimide group and a maleimide group.

【0059】マレイミド系の架橋重合性オリゴマーとしては、例えば、ポリテトラメチレングリコールマレイミドカプリエート、ポリテトラメチレングリコールマレイミドアセテートの如きポリテトラメチレングリコールマレイミドアルキレートなどが挙げられる。 [0059] As the maleimide-based crosslinking polymerizable oligomer, for example, polytetramethylene glycol maleimide Capri oleate, etc. such as polytetramethylene glycol maleimide alkylate polytetramethylene glycol maleimide acetate.

【0060】マレイミド系のモノマーやオリゴマーは、 [0060] maleimide-based monomer or oligomer,
これら同士、及び/又はビニルモノマー、ビニルエーテル類、アクリル系モノマーの如き重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物と共重合させることもできる。 These together, and / or vinyl monomers, vinyl ethers, such as polymerizable carbon acrylic monomers - can be copolymerized with a compound having a carbon-carbon double bond.

【0061】これらの化合物は、単独で用いることもでき、2種類以上を混合して用いることもできる。 [0061] These compounds can also be used alone or may be used as a mixture of two or more. 上に例示した化合物の中にも、単独ではその固化物が指定の引張弾性率の範囲から外れるものもあるが、他の共重合性化合物、例えば単官能(メタ)アクリル系モノマーなどの単官能モノマーや、可塑剤などの非反応性化合物を混合使用することにより、指定範囲の引張弾性率と成して、それらを使用することができる。 Also Among the compounds exemplified above, although alone also those whose solidified material is out of the specified range of the tensile elastic modulus, other copolymerizable compounds, for example monofunctional such as monofunctional (meth) acrylic monomer and monomers by mixing using a non-reactive compound such as a plasticizer, forms a tensile modulus in the specified range, it is possible to use them.

【0062】エネルギー線硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、光重合開始剤を添加することもできる。 [0062] The energy ray-curable resin composition, if necessary, it is also possible to add a photopolymerization initiator. 光重合開始剤は、使用するエネルギー線に対して活性であり、エネルギー線硬化性化合物を重合させることが可能なものであれば、特に制限はなく、例えば、ラジカル重合開始剤、アニオン重合開始剤、カチオン重合開始剤であって良い。 Photoinitiators are active against energy ray to be used, as long as it can be polymerized with an energy ray-curable compound is not particularly limited, for example, a radical polymerization initiator, an anionic polymerization initiator , it may be a cationic polymerization initiator. 光重合開始剤は多官能或いは単官能のマレイミド化合物であって良い。 The photopolymerization initiator may be a maleimide compound of the multifunctional or monofunctional.

【0063】エネルギー線としては、紫外線、可視光線、赤外線の如き光線;エックス線、ガンマ線の如き電離放射線;電子線、イオンビーム、ベータ線、重粒子線の如き粒子線が挙げられる。 [0063] As the energy rays, ultraviolet rays, visible light, infrared such rays; X-rays, such as ionizing radiation of gamma rays; e-beam, ion beam, beta radiation, include such particle beam heavy ion.

【0064】また、エネルギー線硬化性樹脂組成物は、 [0064] The energy ray-curable resin composition,
溶剤、改質剤、着色剤など、その他の成分を含有していても良い。 Solvent, modifying agent, a coloring agent, may contain other components. エネルギー線硬化性樹脂組成物に含有させることができる改質剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、ノニオン系などの界面活性剤;ポリビニルピロリドンの如き親水性重合体などの親水化剤;引張弾性率を調節するための可塑剤などが挙げられる。 The modifier can be included in the energy ray-curable resin composition, for example, anionic, cationic, surfactants such as nonionic, hydrophilic agents such as such as a hydrophilic polymer polyvinylpyrrolidone; Tensile and plasticizers for adjusting the modulus of elasticity can be cited. エネルギー線硬化性樹脂組成物に含有させることができる着色剤としては、例えば、任意の染料や顔料、蛍光性の染料や顔料、紫外線吸収剤が挙げられる。 The colorant may be contained in the radiation-curable resin composition, for example, any of dyes and pigments, fluorescent dyes and pigments, ultraviolet absorbers.

【0065】本発明の主題は、部材Cを形成する方法として、液体状の樹脂組成物からなる部材C形成材料を液面に展開し固化させて形成するところにある。 [0065] The subject of the present invention is a method of forming the member C, at the formation by solidifying expand member C forming material comprising a liquid resin composition on the liquid surface. 部材C形成材料は固化させることにより部材Cの素材となる材料であり、且つ液面展開が可能なものであれば任意である。 Member C forming material is a material which is a member C material by solidifying, is arbitrary as long as it can be and the liquid level expansion. 液面展開方法や固化方法はそれぞれの素材に応じた方法を採ることが出来る。 Liquid level development method and solidifying methods may be employed a method in accordance with the respective material.

【0066】例えば、部材C形成材料として液体状のエネルギー線硬化性樹脂組成物を使用し、液面に展開した該組成物にエネルギー線照射して固化させる方法、部材C形成材料として熱可塑性重合体の溶液を使用し、液面に展開した該溶液から溶剤を揮発させる方法、部材C形成材料として未固化の熱硬化性重合体の溶液を使用し、 [0066] For example, using a liquid radiation-curable resin composition as member C forming material, a method for solidifying by irradiating energy beam to the composition obtained by developing the liquid surface, the thermoplastic heavy as member C forming material using a solution of polymer, a method of volatilizing the solvent from the solution obtained by developing the liquid surface, using a solution of a thermosetting polymer unsolidified as member C forming material,
液面に展開した該溶液から溶剤を揮発させ、その後、加熱重合させる方法、等であり得る。 The solvent is volatilized from the solution developed in the liquid surface, then, a method of heat polymerization, may be equal. 部材C形成材料の固化は、完全な固化であっても良いし、他の部材の欠損部や溝を閉塞しない程度まで流動性を喪失した不完全な固化であっても良い。 Solidification of the member C forming material may be a complete solidification, may be incomplete solidification that have lost the fluid to the extent that it does not occlude the defect or grooves of the other member.

【0067】このような液面展開法で部材Cを形成することにより、非常に薄くて柔軟な薄膜状の部材Cの形成が容易であり、しかも非常に薄くて柔軟な薄膜状の部材Cを部材Aや部材Bの上に積層させる操作が容易になる。 [0067] By forming the member C in such a liquid level development method, a very thin easily formed flexible membrane-like member C, yet very thin flexible thin film member C operation for stacking on top of member a and member B can be facilitated.

【0068】液体状の部材C形成材料を展開する液体は任意であり、例えば、水(水溶液を含む。以下同様)、 [0068] Liquid to deploy a liquid member C forming material is arbitrary, for example, water (including aqueous solutions. Hereinafter the same),
シリコンオイル、水銀、ハロゲン化ナフタレン等を挙げることができるが、水が好ましい。 Silicone oil, mercury, there may be mentioned halogenated naphthalene, water is preferred. 液体状の部材C形成材料の比重が1より大である場合や、部材C形成材料が親水性化合物を含有する場合などには、展開用液体は食塩、臭化カリウムなどの塩の水溶液であることが好ましい。 And if the specific gravity of the liquid member C forming material is greater than 1, the like if the member C forming material containing a hydrophilic compound, deployment liquid salt is an aqueous solution of a salt such as potassium bromide it is preferable.

【0069】液体状の部材C形成材料を液面上に展開させる方法は任意であり、ラングミュア膜や高分子薄膜の製造方法として公知の方法が利用できる。 [0069] The method of deploying a liquid member C forming material on the liquid surface is arbitrary, known methods can be used as a method for producing a Langmuir film and a polymer film. 例えば、液面に接して又は液面上の適当な高さに設置されたノズルから滴下または流下する方法、液面下に設置されたノズルから吐出する方法、これらを液面の面積を変化させながら行う方法、などを採りうる。 For example, a method of dropping or flowing down from the nozzle installed in the appropriate height on contact with the liquid surface, or liquid surface, a method of ejecting from a nozzle disposed below the liquid surface, by changing the area of ​​the liquid surface how to do while, it can take, and the like.

【0070】液面上に展開された部材C形成材料の厚みは、展開する液面の面積と部材C形成材料の供給量との関係や、溶剤を用いる場合にはその揮発性でも決定されるが、多くの場合、部材C形成材料の粘度に大きく依存し、高粘度であるほど厚くなる。 [0070] The thickness of the member C forming material that is deployed on the liquid surface, the relationship and the supply amount of the area and the member C forming material of the liquid surface to expand, is determined in its volatility in the case of using a solvent but often highly dependent on the viscosity of the member C forming material, the thicker the more is a high viscosity. 本発明で使用する部材C形成材料の粘度は0.5〜10000mPa・sが好ましく、2〜5000mPa・sが更に好ましい。 The viscosity of the member C forming material used in the present invention is preferably 0.5~10000mPa · s, more preferably 2~5000mPa · s.

【0071】部材C形成材料がエネルギー線硬化性組成物のように液体である場合には、溶剤を添加せずに使用することも可能であるし、その粘度が目的とする粘度より高い場合には、溶剤を添加して粘度を調節することも出来る。 [0071] When member C forming material is a liquid, as the energy ray-curable composition, it is also possible to use without adding a solvent, if its viscosity is higher than the viscosity of interest You can also adjust the viscosity by adding a solvent. 部材C形成材料が熱可塑性重合体のように固定である場合には、溶液濃度を調節することで粘度を調節することが出来る。 When member C forming material is fixed as the thermoplastic polymer, it is possible to adjust the viscosity by adjusting the solution concentration.

【0072】液面状に形成された部材Cを部材Aや部材Bの上に密着させる操作も、ラングミュア膜の製造方法として公知の方法が利用できる。 [0072] Operation of adhering onto the member C formed on the liquid surface member A or member B also, known methods can be utilized as a method for producing a Langmuir film. 例えば、下からすくい上げる方法、積層すべき他の部材を液中から液面にほぼ垂直の角度で液面上へ上昇させて液面の部材Cその表面に付着させる方法、上から密着させる方法、積層すべき他の部材を液上から液面にほぼ垂直の角度で液中に押し込み、液面の部材Cその表面に付着させる方法、等を採ることが出来る。 For example, Method, a method of attaching to the member C the surface of the substantially increased vertical angle to the liquid surface on the liquid surface from the liquid to other parts to be stacked with the liquid surface, to closely contact from above scoop up from the bottom, other members to be laminated pushed into the liquid in the substantially perpendicular angle to the liquid surface from the liquid, a method of attaching to the member C the surface of the liquid surface, or the like can be adopted.

【0073】本発明の好ましい態様の一つは、部材C形成材料としてエネルギー線硬化性樹脂組成物を用い、液面上に展開された該組成物にエネルギー線を照射する方法である。 A preferred embodiment one of the [0073] present invention, using an energy ray-curable resin composition as member C forming material, a method of irradiating energy rays to the composition developed on the liquid surface. 部材C形成材料としてエネルギー線硬化性樹脂組成物を使用することは、部材Aや部材Bとの接着が容易であること、部材Cの柔軟度の制御が容易であること、及び、これらを高い生産性で実施できること、といった利点を有する。 The use of radiation-curable resin composition as member C forming material is bonded to the member A and member B is easy, it is the control of the flexibility of the member C is easy, and a high them It can be implemented in productivity of advantage.

【0074】エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必要に応じて溶剤を添加して粘度調節し、液面に展開する。 [0074] energy ray-curable resin composition, by adding a solvent to adjust viscosity as necessary, to expand the liquid surface. 溶剤除去方法は任意であり、揮発、展開液への吸収などであり得る。 Solvent removal method is arbitrary, volatilization, and the like absorbed into the developing liquid. 溶剤を除去する工程は、液面展開後、エネルギー線照射後、他の部材と接着後などの任意の工程の段階であって良いし、これらの段階にまたがっていても良いし、これらの工程中に行っても良いが、液面展開後で、エネルギー線照射前であることが好ましい。 Step of removing the solvent after the liquid level expansion, after energy ray irradiation, may be stages of any process, such as after bonding with other members, may be provided across these stages, these steps may be performed during but after the liquid level expansion, it is preferable that before the energy beam irradiation.

【0075】液面に展開されたエネルギー線硬化性樹脂組成物にエネルギー線をを照射して固化させ、部材Cと成す。 [0075] The energy ray energy ray curable resin composition which is deployed on the liquid surface is solidified by irradiation with, form a member C. 照射は、エネルギー線硬化性樹脂組成物が硬化するに十分な線量を照射し、ほぼ完全に固化させても良いし、不十分な線量を照射し、不完全に固化した部材Cとしても良い。 Irradiation, irradiated with sufficient dose to the energy ray-curable resin composition is cured, it may also be substantially completely solidified, irradiated with insufficient dose may be member C was incompletely solidified. ほぼ完全に固化させる場合には、形成された部材Cを、接着剤を用いて他の部材と接着することも出来るし、或いは接着剤を用いずに半硬化状態或いは半乾燥状態の他の部材と接着することが出来る。 In case of substantially complete solidification, the formed member C, to it is also possible to bond with other members using an adhesive, or a semi-cured state without using an adhesive or other member of the semi-dry state it can be adhered to.

【0076】不十分な線量を照射し、半硬化状態の部材Cは、他の部材に積層し、その状態で再度エネルギー線を照射して、接着剤無しに他の部材と接着することが出来る。 [0076] irradiated with insufficient dose, member C in a semi-cured state, laminating the other member, is irradiated again energy ray in this state, it can be bonded to another member without adhesive . この時、他の部材がエネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物で形成されている場合には、該硬化物もまた半硬化物であることが、接着が強固となるため好ましい。 At this time, when the other member is formed with a cured product of the radiation-curable resin composition, it is preferable because the adhesive becomes stronger cured product is also a semi-cured product. 半硬化状態の部材Cを形成するには、完全硬化するには不十分な線量だけエネルギー線を照射する方法が好ましい。 To form the member C in a semi-cured state, the method of irradiating the energy beam only insufficient doses to complete curing is preferred. 十分な線量の照射によっても固化しないエネルギー線硬化性樹脂組成物の使用は、その後の接着と完全硬化が困難であるため好ましくない。 Using sufficient doses energy ray curable resin composition which does not solidify even by irradiation is not preferable because it is difficult to subsequent adhesive and complete cure.

【0077】これらの中で、部材Cを半硬化状態で形成し、任意の素材で形成された部材Aと部材Bとの間に挟んだ状態でエネルギー線を再照射して接着する方法が好ましい。 [0077] Among these, form a member C in half-cured state, it is the preferred method of bonding and re-irradiating the energy ray in a state sandwiched between any material members A and B formed by . また、部材Cを完全硬化状態又は半硬化状態で形成し、エネルギー線硬化性樹脂組成物の半硬化物で形成された部材Aと部材Bとの間に挟んだ状態でエネルギー線を再照射して接着する方法が好ましい。 Further, the member C is formed in a completely cured or semi-cured state, re-irradiated with energy rays in a state sandwiched between the member A and the member B which is formed of a semi-cured product of the radiation-curable resin composition method of bonding Te is preferred. 上記いずれの場合も、再照射するエネルギー線は、最初の照射に用いたものと異なっていても良い。 The above both cases, re-radiation energy beam may be different from that used in the first irradiation.

【0078】本発明の好ましい他の態様は、部材C形成材料として熱可塑性重合体の溶液を用い、液面に展開した該溶液から溶剤を除去して固化させる方法である。 [0078] Other preferred embodiments of the present invention, a solution of a thermoplastic polymer used as the member C forming material, a method for solidifying and removing the solvent from the solution obtained by developing the liquid surface. ここで言う熱可塑性重合体とは、架橋重合体でない重合体を言い、直鎖状重合体、枝分かれ重合体、面状重合体を含む。 Here, the thermoplastic polymer to say, refers to a polymer not cross-linked polymer comprises linear polymers, branched polymers, planar polymer. 従って、軟化温度が分解温度より高く、熱可塑性を示さないものも含む。 Therefore, including those softening temperature higher than the decomposition temperature, it does not exhibit thermoplastic. 勿論、本方法で使用できる熱可塑性重合体は、溶剤に可溶なものである。 Of course, thermoplastic polymer that can be used in this method are those soluble in a solvent. 溶剤除去方法は任意であり、揮発、展開液への吸収などであり得る。 Solvent removal method is arbitrary, volatilization, and the like absorbed into the developing liquid.

【0079】使用する溶剤は何らかかの方法で除去し、 [0079] solvent used is removed by any suspension of the way,
重合体を固化させることが可能であれば任意であるが、 Optionally if it is possible to solidify the polymer,
揮発性溶剤であることが好ましい。 It is preferably a volatile solvent. 揮発性溶剤は沸点が150℃以下であることが好ましく、100℃以下であることが更に好ましい。 Volatile solvent preferably has a boiling point at 0.99 ° C. or less, and more preferably 100 ° C. or less.

【0080】展開液に水を使用する場合に好ましい溶剤としては、例えば、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフランの如きエーテル系溶剤;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、シクロヘキサンの如き炭化水素系溶剤;アセトン、2−ブタノンの如きケトン系溶剤;酢酸エチル、酢酸ブチルの如きエステル系溶剤;フッ素系溶剤などを挙げることができる。 [0080] Preferred solvents when water is used in the developing solution, for example, diethyl ether, dibutyl ether, such as ether solvent tetrahydrofuran; hexane, heptane, octane, toluene, cyclohexane such hydrocarbon solvents; acetone, 2-butanone, such as ketone solvents, ethyl acetate, such as ester solvents butyl acetate and fluorine-based solvents can be exemplified.

【0081】液面に展開された熱可塑性重合体溶液は溶剤を除去して固化させ、部材Cと成す。 [0081] Thermoplastic polymer solution developed in the liquid level is allowed to solidify by removal of the solvent, it forms the member C. 溶剤の除去(乾燥)方法は、揮発、展開液への吸収など任意である。 Removal of the solvent (drying) process is volatilization, is any such absorption into the developing liquid. 溶剤を除去する工程は、他の部材(即ち部材A及び/又は部材B)への積層時には少なくとも流動性を喪失し、他の部材に形成された欠損部を閉塞しない程度に乾燥していることが必要であるが、完全に乾燥させるのは、その後の工程であっても良いし、これらの段階にまたがっていても良いし、これらの工程と同時に行っても良い。 Step of removing the solvent, at the time of lamination to other members (i.e. members A and / or member B) lost at least a fluidity, be dry enough not to occlude the defect formed on the other member While it is necessary, to completely dry can be a subsequent step, may also be across these stages may be performed these steps at the same time.

【0082】他の部材と積層する時点までに、ほぼ完全に乾燥させる場合には、形成された部材Cを、接着剤を用いて他の部材と接着することも出来るし、或いは接着剤を用いずに、熱可塑性重合体で形成された半乾燥状態の他の部材と接着することが出来る。 [0082] By the time of laminating with another member, the case of almost completely dry, the formed member C, to it is also possible to bond with other members using an adhesive, or using an adhesive not to, can be bonded to the other member of the semi-dry state of being formed of a thermoplastic polymer. 或いは又、エネルギー線硬化性樹脂組成物の半硬化物で形成された他の部材と積層して、エネルギー線を照射することにより接着出来る。 Alternatively, laminated with other member that is formed of a semi-cured product of the radiation-curable resin composition can adhere by irradiating an energy beam.

【0083】半乾燥状態の部材Cは、他の部材に積層し、その状態で乾燥して、接着剤無しに他の部材と接着することが出来る。 [0083] member C of the semi-dry state, laminated on the other member, and dried in this state, can be bonded to another member without adhesive. この場合には、他の部材は熱可塑性重合体で形成されていることが、接着が強固となるため好ましい。 In this case, the other member that is formed of a thermoplastic polymer is preferable because the adhesive becomes firm. この時、他の部材もまた溶剤を吸収した半乾燥状態であることも、接着が強固になり好ましい。 At this time, it is also, the adhesive is preferably becomes stronger a semi-dry state of absorbing also the solvent other members. この場合の乾燥方法は、静置、加熱乾燥、熱風乾燥、真空乾燥などであり得るが。 Drying method in this case is allowed to stand, heat drying, hot air drying, and the like vacuum drying. 真空乾燥が生産性が高く好ましい。 Vacuum drying is preferred for high productivity.

【0084】本態様で用いる熱可塑性重合体は、エネルギー線や水分などによって架橋する架橋性残基を有することも好ましい。 Thermoplastic polymers used in the [0084] This embodiment is also preferably has a crosslinkable residues cross-linked by such energy rays and moisture. これらの中で、部材Cを半乾燥で形成し、任意の素材で形成された部材Aと部材Bとの間に挟んだ状態で完全に乾燥して接着する方法が好ましい。 Among these, to form a member C in half drying is the preferred method of adhering completely dry state sandwiched between any material members A and B formed by. また、部材Cを完全乾燥又は半乾燥状態で形成し、エネルギー線硬化性樹脂組成物の半硬化物で形成された部材A Further, the member C is formed in a completely dry or semi-dry state, members being formed of a semi-cured product of the radiation-curable resin composition A
と部材Bとの間に挟んだ状態でエネルギー線を再照射して接着する方法も好ましい。 Preferred method of bonding and re-irradiating the energy ray in a state sandwiched between the member B.

【0085】更に、部材Cを完全乾燥又は半乾燥状態で形成し、熱可塑性重合体の半乾燥物(又は溶剤含浸物) [0085] Further, the member C is formed in a completely dry or semi-dry state, semi-dry product of a thermoplastic polymer (or solvent impregnation)
で形成された部材Aと部材Bとの間に挟んだ状態で完全乾燥して接着する方法が好ましい。 Is the preferred method to completely dried adhesive in a state sandwiched between the in formed member A and the member B.

【0086】本態様と同様にして、熱硬化性の重合体原料を液面展開し、その後、熱固化させる方法も可能であるが、エネルギー線硬化性組成物を用いる第1の方法や、熱可塑性重合体を用いる本態様が、生産性が高く好ましい。 [0086] In analogy to the present embodiment, a thermosetting polymer material and the liquid level deployment, then, a method for thermal curing is also possible, and a first method of using an energy ray-curable composition, heat the present embodiment using the thermoplastic polymer is preferable because of high productivity.

【0087】 [0087]

【実施例】以下、実施例及び比較例を用いて、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例の範囲に限定されるものではない。 EXAMPLES below with reference to examples and comparative examples, the present invention will be described in detail, the present invention is not limited to the scope of these examples. なお、以下の実施例において、「部」は特に断りがない限り「重量部」を表わす。 In the following examples, represent "parts" unless otherwise specified, "parts by weight".

【0088】<粘度の測定>山一電機株式会社製のVM [0088] <Measurement of viscosity> Yamaichi Electronics VM Co., Ltd.
−100A型振動式粘度計を用い、室温(24±1℃) Using -100A vibratory viscometer, room temperature (24 ± 1 ℃)
にて測定した。 It was measured by.

【0089】<引張弾性率及び破断伸び率の測定> 〔測定試料の調製〕引張り試験用試料は、幅10mm、 [0089] <Tensile modulus and elongation at break measurements> [Preparation of measurement sample] Tensile test specimen has a width 10 mm,
長さ100mmの短冊型に切断して作製し、24±1 Prepared by cutting into a strip-shaped length 100 mm, 24 ± 1
℃、湿度55±5%の室内に16時間以上静置した。 ° C., and allowed to stand over 16 hours in a room of humidity 55 ± 5%.

【0090】〔測定〕引張試験器として東洋精機製作所製の「ストログラフV1−C」を用い、24±1℃、湿度55±5%雰囲気中で、掴み具間距離80mm、引張速度20mm/分で測定した。 [0090] [Measurement] Tensile Toyo Seiki Seisakusho of using "STROGRAPH V1-C" as the tester, 24 ± 1 ° C., a humidity of 55 ± 5% atmosphere, grip distance 80 mm, pulling rate of 20 mm / min in was measured.

【0091】<エネルギー線硬化性組成物の調製>実施例で使用するエネルギー線硬化性組成物の調製方法を以下に示した。 [0091] The process for the preparation of the energy ray-curable composition used in Example <Preparation of the energy ray-curable composition> shown below. 〔エネルギー線硬化性組成物[e1]の調製〕「ユニディックV4263」(大日本インキ化学工業株式会社製の3官能ウレタンアクリレートオリゴマー)10部、 Preparation of radiation curable compositions [e1]] "UNIDIC V4263" (produced by Dainippon Ink & Chemicals, trifunctional urethane acrylate oligomer, Ltd.) 10 parts,
「R−684」(日本化薬株式会社製のジシクロペンタニルジアクリレート)を70部、「N−177E」〔第一工業製薬株式会社製のノニルフェノキシポリエチレングリコール(n=17)アクリレート〕を20部、紫外線重合開始剤として「イルガキュアー184」(チバガイギー社製の1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン)5部、及び重合遅延剤として2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(関東化学株式会社製)を0.1部を混合して、エネルギー線硬化性組成物[e "R-684" (Nippon Kayaku Co., Ltd. of dicyclopentanyl diacrylate) 70 parts, the "N-177E" [Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. of nonyl phenoxy polyethylene glycol (n = 17) acrylate] 20 parts of "Irgacure 184" as the ultraviolet polymerization initiator (manufactured by Ciba-Geigy of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone), 5 parts, and as a polymerization retarder 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (Kanto Chemical stock company Ltd.) were mixed with 0.1 parts of an energy ray-curable composition [e
1]を調製した。 1] was prepared.

【0092】〔エネルギー線硬化性組成物[e2]の調製〕「ユニディックV4263」20部、「サートマーC2000」(ソマール社製のω−テトラデカンジオールジアクリレート及びω−ペンタデカンジオールジアクリレートを主成分とするジアクリレート混合物)60 [0092] [energy ray-curable composition [e2] Preparation] "UNIDIC V4263" 20 parts of a main component "Sartomer C2000" (SOMAR Corp. ω- tetradecanediol diacrylate and ω- pentadecane diacrylate diacrylate mixture) 60
部、「ニューフロンティアHDDA」(第一工業製薬株式会社製の1,6−ヘキサンジオールジアクリレート) Part, "New Frontier HDDA" (Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. of 1,6-hexane diol diacrylate)
20部、「イルガキュアー184」5部、及び2,4− 20 parts of "Irgacure 184", 5 parts, and 2,4
ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(関東化学社製)0.1部を混合して、エネルギー線硬化性組成物[e2]を調製した。 Diphenyl-4-methyl-1-pentene (produced by Kanto Chemical Co., Inc.) were mixed with 0.1 parts of the energy ray-curable composition [e2] was prepared.

【0093】〔エネルギー線硬化性樹脂組成物[e3] [0093] [energy ray-curable resin composition [e3]
の調製〕架橋重合性のエネルギー線硬化性化合物として、「ユニディックV4263」40部及び「サートマーC2000」40部、両親媒性の重合性化合物として「N−177E」)を20部、重合遅延剤として2,4 As for Preparation] crosslinked polymer of the energy ray-curable compound, "UNIDIC V4263" 40 parts of "Sartomer C2000" 40 parts, 20 parts of "N-177E") as amphipathic polymerizable compound, a polymerization retarder as 2,4
−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(関東化学社製)を0.5部、及び光重合開始剤として「イルガキュアー184」を5部、を均一に混合してエネルギー線硬化性組成物[e3]を調製した。 - 0.5 parts of diphenyl-4-methyl-1-pentene (made by Kanto Chemical Co., Inc.), and as a photopolymerization initiator "Irgacure 184" 5 parts, are uniformly mixed to the energy ray-curable composition [ e3] was prepared.

【0094】<エネルギー線の照射>エネルギー線として紫外線を使用した。 [0094] was used ultraviolet rays as the energy rays <irradiation of the energy ray>. ウシオ電機株式会社製のマルチライト200型光源ユニットを用いて、窒素雰囲気中で、 Ushio using a multi-light 200 type light source unit Co., Ltd., in a nitrogen atmosphere,
365nmにおける強度が50mW/cm の紫外線を照射した。 Intensity at 365nm was irradiated with ultraviolet rays of 50 mW / cm 2.

【0095】<実施例1> 〔部材Aの作製〕ポリスチレン(大日本インキ化学工業株式会社製の「ディックスチレンXC−520」。以下、[p1]と称する)からなる10cm×10cm× [0095] <Example 1> Preparation of member A] polystyrene (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. of "DICSTYRENE XC-520". Hereinafter, referred to as [p1]) 10cm × 10cm × consisting
3mmの平板を使用した支持体A(1)に、127μm The support A (1) using a 3mm flat plate, 127 [mu] m
のバーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物[e Energy ray-curable composition using a bar coater [e
1]を塗布し、紫外線を1秒間照射して、厚さ約97μ 1] was applied, ultraviolet was irradiated for 1 sec, thickness of about 97μ
mの流動性を喪失した半硬化状態の樹脂層A1(2)を形成した。 To form an m resin layer in a semi-cured state that has lost the fluidity of the A1 (2).

【0096】この樹脂層A1(2)の上に更に、50μ [0096] Further on this resin layer A1 (2), 50μ
mのバーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物[e1]を塗布して樹脂層A2(3)となるべき塗膜を賦形し、窒素雰囲気中で、フォトマスクを使用して、図1の凹状の欠損部A(4)及び溝A(5)と成す部分以外の部分に、上記と同じ紫外線を1秒間照射して照射部分の塗膜を半硬化した樹脂層A2(3)となし、未照射部分の未硬化のエネルギー線硬化性組成物[e1]を洗瓶から噴出させた蒸留水の水流にて洗浄除去して、樹脂層A2(3)の欠損部として凹状の欠損部A(4)及び溝A(5)を形成した。 Energy ray-curable composition using a bar coater m [e1] and the applied shape the paint film to become the resin layer A2 (3), in a nitrogen atmosphere, using a photomask, Fig. 1 of the defect a (4) and the groove a (5) and forms other than the portion part of the concave, the resin layer was semi-cured coating film of the irradiated portion is irradiated with the same UV as the 1 sec A2 (3) ungated , washed removed energy ray-curable composition of the uncured unirradiated portions [e1] at flow of distilled water is ejected from the wash bottle, concave defect a as missing portion of the resin layer A2 (3) (4) and a groove a (5).

【0097】以上の操作により、エネルギー線硬化性組成物[e1]の硬化物で構成された、図1に示したパターン形状の、直径100μm、深さ28μmの円筒形の凹状の欠損部A(4)、流入口A(6)にて凹状の欠損部A(4)と接続された、幅50μm、深さ28μm、 [0097] By the above operation, which is composed of a cured product of the energy ray-curable composition [e1], the pattern shape shown in FIG. 1, the diameter 100 [mu] m, the cylindrical depth 28μm recessed defect A ( 4) at the inlet port a (6) connected to the concave defect a (4), width 50 [mu] m, depth 28 .mu.m,
長さ15mmの、底の角が丸まった矩形の断面形状を有する溝A(5)を有する、樹脂層A1(2)と樹脂層A Length 15 mm, with grooves A (5) having a rectangular cross-sectional shape corners rounded bottom, the resin layer A1 (2) and the resin layer A
2(3)の積層体から成る、厚さ約127μmのシート状の部材Aを支持体A(1)上に作製した。 A laminate of 2 (3), to prepare a sheet-like member A having a thickness of approximately 127μm on the support A (1).

【0098】次いで、凹状の欠損部A(4)の中心部において支持体A(1)及び樹脂層A1(2)を貫通する直径0.3mmの孔を穿つことによって流出口A [0098] Then, the outlet A by drilling a concave defect A (4) diameter 0.3mm of holes through the support A (1) and the resin layer A1 (2) at the center of
(7)、流路A2(5'−2)及び接続口2(9)を形成し、また、溝A(5)の他端部において支持体A (7), the channel A2 to form a (5'-2) and connection port 2 (9), The support A at the other end of the groove A (5)
(1)と部材Aを貫通する直径0.3mmの穴を穿って流路A3(5'−3)及び接続口1(8)を形成した。 (1) a channel A3 (5'-3) with drilled holes with a diameter of 0.3mm extending through the member A and the formation of the connection port 1 (8).

【0099】〔部材Bの作製〕別途、部材Aと同様にして、支持体A(1)、樹脂層A1(2)、樹脂層A2 [0099] Preparation of member B] separately, in the same manner as member A, the support A (1), the resin layer A1 (2), a resin layer A2
(3)、凹状の欠損部A(4)、空洞A(4')、溝A (3) a concave defect A (4), the cavity A (4 '), the groove A
(5)、流路A1(5'−1)、流路A3(5'− (5), the channel A1 (5'-1), the flow path A3 (5'-
3)、流入口A(6)、接続口1(8)に相当する部分がそれぞれ、支持体B(11)、樹脂層B1(12)、 3), the inlet port A (6), each portion corresponding to the connection port 1 (8), a support B (11), the resin layer B1 (12),
樹脂層B2(13)、凹状の欠損部B(14)、空洞B Resin layer B2 (13), recessed defect B (14), cavity B
(14')、溝B(15)、流路B1(15'−1)、 (14 '), the groove B (15), the channel B1 (15'-1),
流路B2(15'−2)、流入出口B(16)、接続口3(17)であること、及び 、流路A2(15'− Passage B2 (15'-2), the inflow outlet B (16), it is connecting port 3 (17), and, the channel A2 (15'-
2)、流出口A(7)、接続口2(9)に相当する構造が設けられていないこと以外は支持体A(1)−部材A 2), the outlet A (7), connection port 2 (except that the corresponding structure is not provided in 9) support A (1) - member A
複合体と同様の構造と同寸法の各部構造を有する、支持体B(11)−部材B複合体を作製し、図2、図3に示された部分を残して支持体B(11)−部材B複合体の周囲部分を切り落とし、2.5cm×5cmの寸法とした。 With each unit structure having the same structure with the same dimensions and complex support B (11) - to produce a member B complex, 2, support B to leave the parts shown in FIG. 3 (11) - cut off the peripheral portion of the member B complex was the size of 2.5 cm × 5 cm.

【0100】〔部材Cの形成〕エネルギー線硬化性組成物[e2](粘度4900mPa・s)を飽和食塩水の水面上に滴下し、紫外線を3秒間照射して硬化させ、厚み約30μmの半硬化状態の部材C(10)とした。 [0100] Formation of the member C] energy ray-curable composition [e2] the (viscosity 4900mPa · s) was dropped onto the water surface of the brine, ultraviolet cured by irradiation for 3 seconds, a thickness of about 30μm half of was member of cured C (10).

【0101】〔部材A、B、及びCの接着〕この部材C [0102] [members A, B, and C adhesion] This member C
(10)の上から、支持体A(1)−部材A複合体を液面に垂直に液面下に押し込み、部材Aの欠損部A形成面に部材Cを積層し水洗、乾燥した。 From the top of the (10), the support A (1) - member A push under perpendicular to the liquid surface the complex to the liquid surface, the member C is laminated washing into the defect A forming surface of the member A, and dried. 部材Aの側面及び支持体Aに付着した部材Cを切除して、部材Aの欠損部A And excised member C attached to the side surface and the support A of the member A, defects A member A
形成面の上に部材C(10)の層が1層積層した状態とし、ヘアドライヤーの熱風にて部材Cに含有される残余の溶剤を揮発除去し、部材Cの上に支持体B(11)− A state in which the layers are stacked one layer of member C on the forming surface (10), the residual solvent contained in the member C was volatilized and removed by hair dryer hot air, the support B on the member C (11 ) -
部材B複合体の部材B側を、溝A(5)と溝B(15) The member B side of the member B complex, groove A (5) and groove B (15)
が重ならない向きにして、凹状の欠損部A(4)と凹状の欠損部B(14)の位置を合わせて積層し、密着させた状態で、紫外線を60秒間照射して部材A、部材B、 In the direction do not overlap, laminated by aligning the recessed defect A (4) and concave cut portion B (14), in a state of being in close contact, member by irradiating ultraviolet rays for 60 seconds A, member B ,
部材C(10)の全てを完全に硬化させると共にこれらの部材を互いに接着し、凹状の欠損部A(4)と部材C All member C (10) together with the completely curing adhere to these members to each other, a member C concave defect A (4)
(10)とで空洞A(4')が、溝A(5)と部材C (10) the de cavity A (4 ') is a groove A (5) and the member C
(10)とで毛細管状の流路A1(5'−1)が、凹状の欠損部B(14)と部材C(14)とで空洞B(1 Capillary flow path out with (10) A1 is (5'-1), out with recessed cut portion B (14) members and C (14) cavity B (1
4')が、溝B(15)と部材C(10)とで流路(1 4 ') are de-groove B (15) members and C (10) channel (1
5'−1)がそれぞれ形成された、図2及び図3に示した構造の微小バルブ機構[#1]を得た。 5'-1) are formed respectively, to obtain a micro-valve mechanism having the structure shown in FIGS. 2 and 3 [# 1].

【0102】〔部材A、B及びCの素材の引張特性〕別途、塗工支持体としてポリプロピレン二軸延伸シート(二村化学社製の「FOR」、厚さ30μm 、片面コロナ処理);以下、「OPPシート」と略称する)を使用し、この上にエネルギー線硬化性組成物を塗布し、紫外線を60秒間照射して完全に硬化させた後塗工支持体を剥離し、厚み各95μmの、エネルギー線硬化性組成物の硬化物シートを作製した。 [0102] [members A, B and C of the tensile properties of the material] Separately, polypropylene biaxially oriented sheet as a coating support ( "FOR" Futamura Chemical Co., thickness 30 [mu] m, one side corona treated), hereinafter " using the abbreviated as OPP sheet "), an energy ray curable composition is coated thereon, peeling the coating support after completely cured by irradiation with ultraviolet rays for 60 seconds, each thickness 95 .mu.m, the cured sheet of an energy ray-curable composition was prepared. このシートの引張特性を測定した結果、エネルギー線硬化性組成物(e1)硬化物は引張弾性率1160(MPa)、破断伸び率76 Result of measuring the tensile properties of the sheet, the energy ray-curable composition (e1) the cured product tensile modulus 1160 (MPa), elongation at break 76
(%)、エネルギー線硬化性組成物(e2)硬化物は引張弾性率が265(MPa)、破断伸び率が8.0 (%), The energy ray-curable composition (e2) the cured product tensile modulus 265 (MPa), elongation at break 8.0
(%)であった。 (%)Met.

【0103】一方、紫外線照射時間を3秒としたこと以外は上と同様にして作製した半硬化物シートは、エネルギー線硬化性組成物(e1)の半硬化物は引張弾性率約130(MPa)、破断伸び率が約3(%)、エネルギー線硬化性組成物(e2)の半硬化物は引張弾性率が約30(MPa)、破断伸び率が約3(%)であった。 [0103] On the other hand, semi-cured product sheet except that the ultraviolet irradiation time 3 seconds was produced in the same manner as above, the semi-cured product tensile modulus of about 130 (MPa of the energy ray-curable composition (e1) ), elongation at break of about 3%, the energy ray-curable composition (e2) of the semi-cured product tensile modulus of about 30 (MPa), elongation at break of about 3%.

【0104】〔流路の開閉試験〕接続口1(8)からマイクロシリンジを用いて蒸留水を流路に注入したところ、水は流路A3(5'−3)、流路A1(5'− [0104] was injected from [the flow path opening and closing Test] connection port 1 (8) in the flow path of distilled water using a micro-syringe, water flow path A3 (5'-3), the channel A1 (5 ' -
1)、流入口(6)、空洞A(4')、流出口(7)及び流路A2(5'−2)を通って接続口2(9)から流出した。 1), inlet (6), the cavity A (4 '), outflow port (7) and the flow path A2 (5'-2) through the outflow from the connecting port 2 (9). 次に、接続口3(17)から0.3MPa(ゲージ圧)の圧縮空気を導入したところ、水の流通が遮断され、常圧に戻すと水は再び流通した。 Then, was introduced compressed air 0.3MPa from the connecting port 3 (17) (gauge pressure), the flow of water is shut off, water was circulated again and back to normal pressure. この試験を10 This test 10
回繰り返したが、すべて同様の結果であった。 It was repeated times, but were all similar results.

【0105】また、同じ微小バルブを10個作製し、試験に供したところ、流路からの液の漏洩が生じるものやダイヤフラムの破損を生じたものは1つもなく、全て上記と同じ結果が得られ、歩留まりは100%であった。 [0105] Also, the same microvalve produced 10 pieces, were subjected to the test, resulting that the fracture of one or diaphragm leakage occurs of the liquid from the flow channel 1 Tsumonaku, the same result as all above is, the yield was 100%.

【0106】<実施例2> 〔部材Aの作製〕ポリスチレン[p1]からなる10c [0106] <Example 2> Preparation of member A] 10c consisting of polystyrene [p1]
m×10cm×3mmの平板を使用した支持体A(3 Support A (3 using m × 10 cm × 3 mm flat plate
1)に、127μmのバーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物[e1]を塗布し、窒素雰囲気中で紫外線を1秒間照射して、流動性を喪失した半硬化状態の樹脂層A1(32)を形成した。 1), the energy ray-curable composition [e1] was coated using a bar coater of 127 [mu] m, the ultraviolet in a nitrogen atmosphere by irradiation for 1 second, the resin layer in a semi-cured state that has lost flowability A1 (32 ) was formed.

【0107】この樹脂層A1(32)の上に更に、50 [0107] Further on this resin layer A1 (32), 50
μmのバーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物[e1]を塗布し、窒素雰囲気中で、フォトマスクを使用して、図4と図5に示された流路A2(35'−2) Energy ray-curable composition [e1] was coated using a bar coater [mu] m, in a nitrogen atmosphere, using a photomask, Fig. 4 a flow path shown in FIG. 5 A2 (35'-2)
と成すべき部分以外の部分に、上記と同じ紫外線を1秒間照射して照射部分の塗膜を半硬化した樹脂層A2(3 And the portion other than the portion to be made, the resin layer was semi-cured coating film of the irradiated portion is irradiated with the same UV as the 1 sec A2 (3
3)となし、未照射部分の未硬化のエネルギー線硬化性組成物[e1]を洗瓶から噴出させた蒸留水の水流にて洗浄除去し、樹脂層A2(33)の欠損部として、流路A2(35'−2)と成る溝A(35'−2)を形成した。 3) ungated, uncured energy ray-curable composition of the unirradiated portions [e1] were washed off with water distilled water jetted from the wash bottle, as missing portion of the resin layer A2 (33), flow road A2 was formed (35 '-2) and a groove a (35'-2). その後、該溝Aの一端において、支持体A(3 Then, at one end of the groove A, the support A (3
1)、樹脂層A1(32)及び樹脂層A2(33)に直径0.3mmの孔を穿ち、流路A3(35'−3)及び接続口1(38)を形成した。 1), the resin layer A1 (32) and the resin layer A2 (33) bored diameter holes 0.3 mm, the channel A3 (35 '-3) and to form a connection port 1 (38).

【0108】次いで、塗工支持体(図示せず)としてO [0108] Then, O as coating support (not shown)
PPフィルムを10cm×10cmに切断して使用し、 Use by cutting a PP film in 10 cm × 10 cm,
このコロナ処理面側に、50μmのバーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物[e2]を塗布し、窒素雰囲気中で、図4と図5に示れた流入口A(37)及び流路A4(35'−4)と成る部分以外の部分に上記と同じ紫外線を3秒間照射して、照射部分の塗膜を半硬化した樹脂層A3(39)となし、未照射部分の未硬化のエネルギー線硬化性組成物[e1]を洗から噴出させたエタノール流にて洗浄除去し、直径70μmの円筒状の流入口A(37)及び流路A4(35'−4)となる、樹脂層A3(39)の穴状の欠損部を形成した。 This corona-treated surface side, energy ray-curable composition [e2] was coated with a 50μm bar coater, in a nitrogen atmosphere, 4 an inlet A (37) shown the 5 and the flow path A4 (35'-4) and was irradiated for 3 seconds with the same ultraviolet radiation above a portion other than the portion consisting of the irradiated part coating the semi-cured resin layer A3 (39) ungated, uncured unirradiated portion energy ray-curable composition [e1] were washed off with ethanol stream jetted from the washing, a cylindrical inlet a diameter 70 [mu] m (37) and the flow path A4 (35'-4), the resin layer It was formed hole-shaped defect portion of A3 (39).

【0109】この樹脂層A3(39)を、流入口A(3 [0109] The resin layer A3 (39), the inlet port A (3
7)が流路A2(35'−2)と成るべき溝(35'− Groove 7) is to be a flow path A2 (35'-2) (35'-
2)の一端と連絡する位置に合わせて、部材Aに積層し、密着させた状態で紫外線を3秒間照射して樹脂層A In accordance with the one end communicates with the position of 2) was laminated to the member A, irradiating the resin layer A 3 seconds with ultraviolet rays while being in close contact
3(39)を固化させ、塗工支持体(図示せず)を剥離して、樹脂層A2(33)に樹脂層A3(39)を接着した。 3 (39) to solidify and then peeling the coating support (not shown), adhered to the resin layer A2 (33) Resin layer A3 (the 39).

【0110】続いて、流入口A(37)及び流路A(3 [0110] Then, the inlet port A (37) and the flow path A (3
5'−4)の代わりに、空洞A(34')及び流路A1 Instead of 5'-4), the cavity A (34 ') and the flow path A1
(35'−1)と成るべき樹脂欠損部が形成されたこと以外は樹脂層A3と同様にして、樹脂層A4(40)を塗工支持体(図示せず)上に形成し、流入口A(37) Except that (35'-1) and the resin cut portion to be a formed in the same manner as the resin layer A3, to form a resin layer A4 (40) on the coating support (not shown), the inlet A (37)
が空洞A(34')と成るべき欠損部A(34')の中心に置かれるように位置を合わせて、積層・接着した。 There Align to be placed in the center of the cavity A (34 ') and made to cut portion A (34'), it was laminated and bonded.
その後、流路A1(35'−1)と成るべき溝(35' Thereafter, the channel A1 (35'-1) and made to grooves (35 '
−1)の他端において、支持体A(31)、樹脂層A1 At the other end of -1), the support A (31), the resin layer A1
(32)、樹脂層A2(33)、樹脂層A3(39)及び樹脂層A4(40)を貫通する直径0.3mmの孔を穿ち、流路A5(35'−5)及び接続口2(41)を形成した。 (32), a resin layer A2 (33), a resin layer A3 (39) and the resin layer A4 bored a hole diameter 0.3mm extending through the (40), the flow path A5 (35 '-5) and connection port 2 ( 41) was formed.

【0111】以上の操作により、エネルギー線硬化性組成物[e1]の硬化物で構成された4層の樹脂層から成る、厚みが約180μmである部材Aを、支持体A(3 [0111] By the above operation, consisting of four layers resin layer composed of a cured product of the energy ray-curable composition [e1], a member A and a thickness of about 180 [mu] m, the support A (3
1)の上に形成した。 It was formed on top of the 1).

【0112】〔部材Bの作製と接着〕実施例1と同様にして、空洞B(54')となる欠損部B(54')、流路B1(55'−1)となる溝B(55'−1)、流入出口B(56)、流路B2(55'−2)、及び接続口3(57)が形成された、厚み各95μmの樹脂層B1 [0112] Similarly Preparation of member B and the adhesion] Example 1, cavity B (54 ') become defective part B (54'), the groove B (55 functioning as a flow path B1 (55'-1) '-1), the inflow outlet B (56), the channel B2 (55'-2), and a connection port 3 (57) is formed, the resin layer of the thickness 95 .mu.m B1
(52)と厚みが約28μmの樹脂層B2(53)から成る部材Bを支持体B(51)上に作製した。 (52) and thickness to produce a member B composed of a resin layer of about 28 .mu.m B2 (53) on the support B (51).

【0113】〔部材Cの作製と接着〕ダイヤフラム形成材料として、エネルギー線硬化性組成物[e2]の代わりにエネルギー線硬化性組成物[e3]の10重量%の2−ブタノン溶液(粘度1050mPa・s)を使用したこと、展開液の上から滴下する代わりに内径1mmのステンレスパイプを用いて液面直下に吐出したこと、及び紫外線照射に先立ち、室温、僅かな気流下で10分間、溶剤を蒸発させたこと以外は実施例1と同様にして、厚み約7μmの部材C(42)を作製し、これを4 [0113] As Preparation and adhesion member C] diaphragm forming material, energy ray-curable composition [e2] 2-butanone solution (viscosity of 10% by weight of the energy ray curable composition [e3] 1050mPa · instead of s) that was used, it was discharged immediately below the liquid surface using a stainless steel pipe having an inner diameter of 1mm instead of dropping from the top of the developing liquid, and prior to UV irradiation at room temperature, a slight under a stream of air for 10 minutes, the solvent except that the evaporation in the same manner as in example 1, to produce a thickness of about 7μm member C (42), 4 it
0℃で10分間真空乾燥した後に、部材Aと部材Bの間に挟持積層した状態で紫外線照射して接着し、図4と5 After vacuum drying for 10 minutes at 0 ° C., bonded and ultraviolet radiation in a state of sandwiched laminated between a member A and a member B, fig. 4 and 5
に示された空洞B(54')、流路B1(55'− The indicated cavities B (54 '), the channel B1 (55'-
1)、流入出口B(56)を形成すると共に、支持体A 1), to form the inflow outlet B (56), the support A
(31)−部材A−部材C(42)−部材B−支持体B (31) - member A- member C (42) - member B- support B
(51)が積層、接着された微小バルブ機構[#2]を作製した。 (51) was produced laminated, glued microvalves mechanism [# 2].

【0114】〔部材Cの素材の引張特性〕実施例1と同様にして測定したエネルギー線硬化性組成物[e3]硬化物の引張特性は引張弾性率が220(MPa)、破断伸び率が7.5(%)であった。 [0114] [member C of the material tensile properties] Example 1 and the energy ray-curable composition were measured as [e3] Tensile properties of the cured product tensile modulus 220 (MPa), elongation at break 7 It was .5 (%). 一方、紫外線照射時間を3秒としたこと以外は上と同様にして作製した半硬化物シートは引張弾性率が約25(MPa)、破断伸び率が約3(%)であった。 On the other hand, the semi-cured material sheet tensile modulus of about 25 except that the ultraviolet irradiation time 3 seconds was produced in the same manner as above (MPa), elongation at break of about 3%.

【0115】〔流路の開閉試験〕接続口1(38)からマイクロシリンジを用いて蒸留水を流路に注入したところ、水は流路A3(35'−3)、流路A2(35'− [0115] was injected from [the flow path opening and closing Test] connection port 1 (38) in the flow path of distilled water using a micro-syringe, water flow path A3 (35 '-3), the channel A2 (35' -
2)、流路A4(35'−4)、流入口A(37)、空洞A(34')、流出口A(36)、流路A5(35' 2), the channel A4 (35'-4), the inlet port A (37), the cavity A (34 '), the outlet A (36), the flow path A5 (35'
−5)及び流路A1(35'−1)を通って接続口1 -5) and the flow path A1 (35 '-1) through the connection port 1
(41)から流出した。 Flowing out of the (41). 次に、接続口3(57)に0. Then, the connection port 3 (57) 0.
3MPa(ゲージ圧)の圧縮空気を導入したところ、水の流通が遮断され、常圧に戻すと水は再び流通した。 3MPa was introduced compressed air (gauge pressure), the flow of water is shut off, water was circulated again and back to normal pressure. この試験を10回繰り返したが、すべて同様の結果であった。 The test was repeated 10 times, but were all similar results.

【0116】また、同じ微小バルブを10個作製し、試験に供したところ、流路からの液の漏洩が生じるものやダイヤフラムの破損を生じたものは1つもなく、全て上記と同じ結果が得られ、歩留まりは100%であった。 [0116] Also, the same microvalve produced 10 pieces, were subjected to the test, resulting that the fracture of one or diaphragm leakage occurs of the liquid from the flow channel 1 Tsumonaku, the same result as all above is, the yield was 100%.

【0117】<実施例3>部材Cを、熱可塑性ポリウレタン(大日本インキ化学工業株式会社製、パンデックスT−5205)の10%テトラヒドロフラン(東京化成株式会社製)溶液(粘度1420mpa・s)を水面直下に吐出し、紫外線照射の代わりに、弱い気流下、25 [0117] The <Example 3> member C, the thermoplastic polyurethane (Dainippon Ink, Pandex T-5205) 10% in tetrahydrofuran (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) solution (viscosity 1420mpa · s) discharging the water directly below, in place of ultraviolet irradiation, weak under a stream of 25
℃、30分の乾燥を行って作製したこと以外は、実施1 ° C., except that produced by performing drying of 30 minutes, conducted 1
と同様にして、ダイヤフラムを構成する部材Cの素材が、厚み約10μmの熱可塑性ポリウレタンであること以外は微小バルブ機構(#1)と同様の微小バルブ機構(#3)を製造した。 In the same manner as, member C of the material constituting the diaphragm, except that the thickness of a thermoplastic polyurethane of approximately 10μm were prepared microvalves mechanism (# 1) and similar microvalves mechanism (# 3).

【0118】〔部材Cの素材の引張特性〕別途、溶剤キャスト法と45℃2時間の真空乾燥で、厚み約100μ [0118] [member C tensile properties of the material] Separately, in a vacuum drying the solvent casting and 45 ° C. 2 h, a thickness of about 100μ
mの熱可塑性ポリウレタン(大日本インキ化学工業株式会社製、パンデックスT−5205)シートを作製して引張特性を測定した結果、引張弾性率約12(MP m Thermoplastic polyurethane (Dainippon Ink, Pandex T-5205) of results of measurement of tensile properties and produce a sheet, a tensile modulus of about 12 (MP
a)、破断伸び率約800(%)であった。 a), it was the elongation at break of about 800 (%).

【0119】〔流路の開閉試験〕微小バルブ機構(# [0119] [closing test of the channel] microvalves mechanism (#
3)を用いて実施例1と同様の試験を行い、実施例1と同様の結果を得た。 The same tests as in Example 1 using 3), there were obtained similar results to those in Example 1. また、同じ微小バルブを10個作製し、試験に供したところ、流路からの液の漏洩が生じるものやダイヤフラムの破損を生じたものは1つもなく、 Further, the same microvalve produced 10 pieces, were subjected to the test, which resulted in damage to the objects or diaphragm leakage occurs of the liquid from the flow channel 1 Tsumonaku,
全て上記と同じ結果が得られ、歩留まりは100%であった。 The same results were obtained with all the yield was 100%.

【0120】<実施例4> 〔部材(A)の作製〕ポリスチレン[p1]からなる2.5cm×5cm×厚さ3mmの平板状の基材(1)を、電気式熱風トーチで加熱して表面を軟化させ、180℃に熱したガラス製の鋳型(図示せず)に押しつけて冷却した後、剥離し、基材(1)表面に、幅30μm 、深さ3 [0120] <Example 4> [member (A) Preparation] Polystyrene [p1] consisting 2.5 cm × 5 cm × 3mm thick plate-shaped base material of (1), and heated in an electric hot-air torch the surface to be softened, after cooling against the 180 ° C. to-heated glass molds (not shown), the peeled substrate (1) surface, width 30 [mu] m, depth 3
0μm 、長さ30mmの溝であって、断面が概矩形の溝(2)、溝の途上に設けられた直径90μm 、深さ30 0 .mu.m, a groove length 30 mm, cross section approximate rectangular groove (2), the diameter 90μm provided on the way of the groove, the depth 30
μm の円筒形の欠損部(3)を形成し、更に溝(2)の両端部において直径0.5mmのキリ孔を穿つことにより、流入口(4)と流出口(5)を形成して、複数の素材と層から成る代わりに単一素材で形成されていること以外は図1に示した形状の部材[A−4]を作製した。 Forming a cylindrical defect of μm and (3), further by drilling a drilled hole of 0.5mm diameter at both ends of the groove (2), to form an inlet (4) and the outlet (5) , except that it is formed of a single material, instead of consisting of a plurality of materials and layers to produce a member [a-4] of the shape shown in FIG.

【0121】〔部材(B)の作製〕上記と同様に、部材[A−4]と同様の構造の部材「B−4]を作製した。 [0121] Similar to the above [Preparation of member (B)] to produce a member member of [A-4] the same structure "B-4].

【0122】〔部材(C)の作製と接着〕液面展開後の乾燥が無風下、25℃、5分の半乾燥であること、実施例3と同様にして部材[C−4]を作製し、エネルギー線を照射しなかったこと、ヘアドライヤーによる部材C [0122] [members Preparation and adhesion (C)] drying under windless after the liquid level development, 25 ° C., it is semi-dry 5 minutes, producing a member [C-4] in the same manner as in Example 3 and, it was not irradiated with energy rays, member by a hair dryer C
の乾燥を行わなかったこと、積層した部材A−4、B− Drying it was not performed, the members A-4 was laminated, B-
4、C−4の接着を、バネ式クランプを用いて密着させた状態で45℃、5時間の真空乾燥により行ったこと以外は実施例3と同様にして、部材[A−4]−部材[C 4, the adhesion of C-4, 45 ° C. while being in close contact with the spring clamp, except that carried out by vacuum drying for 5 hours in the same manner as in Example 3, member [A-4] - member [C
−4]−部材[B−4]が積層接着された微小バルブ機構[#4]を得た。 -4] - was obtained member [B-4] is laminated glued microvalves mechanism [# 4].

【0123】〔流路の開閉試験〕実施例3と同様にして試験を行い、同様の結果を得た。 [0123] were tested in the same manner as in Example 3 [closing test of the channel], with similar results. しかしながら、同じ微小バルブを10個作製したところ、流路からの液の漏洩が生じるものやダイヤフラムの破損を生じたものが5個有り、歩留まりは50%であった。 However, the same micro-valves were manufactured 10, which resulted in damage to the objects or diaphragm leakage occurs of the liquid from the flow passage there five, yield was 50%.

【0124】<実施例5> 〔部材(A)の作製〕実施例4と全く同様にして作製した部材[A−4]を用いた。 [0124] Using <Example 5> member was produced in the same manner as in Example 4 [member Production of (A)] [A-4]. 〔部材(B)の作製〕実施例4と全く同様にして作製した部材[B−4]を用いた。 Using [member Production of (B)] member was produced in the same manner as in Example 4 [B-4].

【0125】〔部材(C)の作製と接着〕実施例2と同様にしてエネルギー線硬化性組成物(e3)の半硬化物から成る部材[C−2]を作製し、部材[A−2]の代わりに部材[A−4]を用いたこと、及び部材[B− [0125] to produce a member made of semi-cured product of [member Production and adhesion (C) In the same manner as in Example 2 energy ray-curable composition (e3) [C-2], member [A-2 for the use of members [a-4] in place of, and member [B-
2]の代わりに部材[B−4]を用いたこ以外は実施例2と同様にして、部材[A−4]−部材[C−2]−部材[B−4]が積層接着された、微小バルブ機構[# Except this with member [B-4] in place of 2] in the same manner as in Example 2, member [A-4] - member [C-2] - member [B-4] are laminated and adhered, micro-valve mechanism [#
5]を得た。 5] was obtained.

【0126】〔流路の開閉試験〕実施例4と同様にして試験を行い、同様の結果を得た。 [0126] were tested in the same manner as in [closing test of the channel] Example 4 with similar results. しかしながら、同じ微小バルブを10個作製したところ、流路からの液の漏洩が生じるものやダイヤフラムの破損を生じたものが2個有り、歩留まりは80%であった。 However, the same minute where the valve was manufactured 10, which resulted in leakage occurs ones and diaphragm breakage of the liquid from the flow passage there two, yield was 80%.

【0127】 [0127]

【発明の効果】本発明は、微小バルブ機構のダイヤフラムと成すべき、薄くて柔軟な薄膜を容易に製造すると共に、取扱性の悪い該薄膜を、更に微小なダイヤフラム形状に加工することなく、そのまま作業性良く他の部材と積層、接着することの出来る、生産性に優れたダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法を提供する。 According to the present invention, to be done with the diaphragm of the micro valve mechanism, thereby easily producing a flexible thin film thin, the handling properties poor thin film, without processing further small diaphragm shape, as it is stacked with good workability other member, capable of adhering, to provide a production method excellent diaphragm type micro valve mechanism in productivity.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】実施例1及び実施例3で作製した微小バルブ機構の部材A及び部材Bに形成されたパターンの平面図の模式図である。 1 is a schematic diagram of a plan view of the pattern formed on the member A and the member B microvalves mechanism produced in Example 1 and Example 3.

【図2】実施例1及び実施例3で作製した微小バルブ機構の平面図の模式図である。 2 is a schematic diagram of a plan view of the micro valve mechanism produced in Example 1 and Example 3.

【図3】実施例1及び実施例3で作製した微小バルブ機構の立面図の模式図である。 3 is a schematic diagram of the elevation of the micro valve mechanism produced in Example 1 and Example 3.

【図4】実施例2で作製した微小バルブ機構の平面図の模式図である。 4 is a schematic diagram of a plan view of the micro valve mechanism produced in Example 2.

【図5】実施例2で作製した微小バルブ機構の立面図の模式図である。 5 is a schematic diagram of the elevation of the micro valve mechanism produced in Example 2.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 :支持体A 2 :樹脂層A1 3 :樹脂層A2 4 :凹状の欠損部A 4' :空洞A 5 :溝A;樹脂層A1の欠損部 5'−1 :流路A1;樹脂層A2の欠損部 5'−2 :流路A2;支持体A及び樹脂層A1を貫通して穿たれた孔 5'−3 :流路A3;支持体A、樹枝層A1及び樹枝層A2を貫通して穿たれた孔 6 :流入口A 7 :流出口A 8 :接続口1 9 :接続口2 10 :部材C 11 :支持体B 12 :樹脂層B1 13 :樹脂層B2 14 :往生の欠損部B;樹脂層B1の欠損部 14' :空洞B 15 :溝B;樹脂層B1の欠損部 15'−1 :流路B1;樹脂層B1の欠損部 15'−2 :流路B2;支持体B、樹枝層B1、及び樹枝層B2を貫通して穿たれた孔 16 :流入出口B 17 :接続口3 31 :支持体A 32 :樹脂層A1 1: support A 2: resin layer A1 3: the resin layer A2 4: recessed defect A 4 ': cavity A 5: Groove A; defect 5'-1 of the resin layer A1: passage A1; resin layer A2 the defect 5'-2: the flow path A2; holes bored through the support a and the resin layer A1 5'-3: passage A3; through the support member a, Kiedaso A1 and Kiedaso A2 drilled Te pore 6: inflow port a 7: outlet a 8: connection opening 1 9: connection port 2 10: member C 11: support B 12: resin layer B1 13: resin layer B2 14: death of defect B; defect 14 of the resin layer B1 ': the cavity B 15: groove B; defect of the resin layer B1 15'-1: passage B1; defect of the resin layer B1 15'-2: the passage B2; support B, Kiedaso B1, and Kiedaso B2 a through bored pore 16: inflow outlet B 17: connecting port 3 31: support a 32: resin layer A1 3 :樹脂層A2 34' :空洞A、欠損部A 35'−1 :流路A1;樹脂層A4の欠損部;溝 35'−2 :流路A2;樹脂層A2の欠損部;溝 35'−3 :流路A3;支持体A、樹脂層A1及び樹脂層A2を貫通して穿たれた孔 35'−4 :流路A4;樹脂層A3の孔状の欠損部 35'−5 :流路A5;支持体A、樹脂層A1、樹脂層A2、樹脂層A3及び樹脂層A4を貫通して穿たれた孔 36 :流出口A 37 :流入口A 38 :接続口1 39 :樹脂層A3 40 :樹脂層A4 41 :接続口2 42 :部材C 51 :支持体B 52 :樹脂層B1 53 :樹脂層B2 54' :空洞B;欠損部B 55'−1 :流路B1;樹脂層B2の欠損部 55'−2 :流路B2;支持体B及び樹脂層B1を貫通して穿たれた孔 56 :流入出口B 57 :接続 3: the resin layer A2 34 ': the cavity A, defects A 35'-1: the flow path A1; defect of the resin layer A4; grooves 35'-2:; defect of the resin layer A2; passage A2 groove 35' -3: passage A3; support a, the resin layer A1 and the hole bored resin layer A2 through 35'-4: passage A4; hole-shaped defect portion of the resin layer A3 35'-5: flow road A5; support a, the resin layer A1, the resin layer A2, a resin layer A3 and the resin layer A4 of the through bored pore 36: outlet a 37: inlet port a 38: connection opening 1 39: resin layer A3 40: resin layer A4 41: connecting port 2 42: member C 51: support B 52: resin layer B1 53: resin layer B2 54 ': cavity B; defect B 55'-1: passage B1; resin layer B2 of defect 55 '-2: the passage B2; support B and the resin layer B1 a through bored pore 56: inflow outlet B 57: connection 3

Claims (9)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法。 1. A diaphragm-forming material comprising a liquid resin composition is spread on the liquid surface, the thin film-like member which is formed by solidifying it, or having a defect in a part of the surface or member through having a defect and by adhering sandwiched between the two members, forms the diaphragm the thin film-like member, and wherein the forming a cavity partitioned each defect by the diaphragm the method of manufacturing a diaphragm type micro valve mechanism.
  2. 【請求項2】 ダイヤフラムの厚みが0.1〜500μ 2. A diaphragm thickness 0.1~500μ
    mである、請求項1に記載の微小バルブ機構の製造方法。 It is m, the manufacturing method of the micro valve mechanism according to claim 1.
  3. 【請求項3】 ダイヤフラムが、引張り弾性率が0.1 3. A diaphragm, tensile modulus 0.1
    MPa〜10GPaの範囲にある素材で形成されたものである、請求項1又は2に記載の微小バルブ機構の製造方法。 And it is formed of a material that is in the range of MPa~10GPa, manufacturing method for a micro valve mechanism according to claim 1 or 2.
  4. 【請求項4】 ダイヤフラムが、「引張弾性率×ダイヤフラムの厚み」の値が10〜50000Pa・mの範囲にある、請求項1、2、又は3に記載の微小バルブ機構の製造方法。 4. A diaphragm, the value of "tensile thickness of the elastic modulus × diaphragm" is in the range of 10~50000Pa · m, the manufacturing method of the micro valve mechanism according to claim 1, 2, or 3.
  5. 【請求項5】 ダイヤフラム形成材料が、エネルギー線硬化性樹脂組成物であり、該形成材料の固化が、エネルギー線照射によるものである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の微小バルブ機構の製造方法。 5. A diaphragm-forming material is a radiation-curable resin composition, solidification of the formed material is due to the energy beam irradiation, the micro valve according to claim 1 method of manufacturing the mechanism.
  6. 【請求項6】 ダイヤフラム形成材料が、エネルギー線硬化性樹脂組成物であり、形成材料の固化が、エネルギー線の不十分な線量の照射による半硬化であり、薄膜状の部材と欠損部を有する部材との接着が、半硬化状態の薄膜状の部材と欠損部を有する部材とを積層した状態でエネルギー線を照射して薄膜状の部材を完全に固化させると共に接着する方法で行われる、請求項5に記載の微小バルブ機構の製造方法。 6. The diaphragm-forming material is a radiation-curable resin composition, solidification of the formed material is a semi-cured by irradiation with insufficient dose of the energy ray, has a cut portion and a thin film-like member adhesion to the member is performed by a method of bonding together by irradiation with energy ray to completely solidify the film-like member in a state in which by laminating a member having a cut portion and a thin film-like member in a semi-cured state, wherein manufacturing method for a micro valve mechanism according to claim 5.
  7. 【請求項7】 ダイヤフラム形成材料が、熱可塑性重合体の溶液であり、該形成材料の固化が、溶剤除去により行われる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の微小バルブ機構の製造方法。 7. A diaphragm-forming material is a solution of a thermoplastic polymer, solidification of the forming material is carried out by solvent removal, the production of micro-valve arrangement according to any one of claims 1 to 4 Method.
  8. 【請求項8】 ダイヤフラム形成材料が、熱可塑性重合体の溶液であり、薄膜状の部材の形成材料の固化が、不十分な溶剤除去による半乾燥であり、薄膜状の部材と欠損部を有する部材との接着が、これらを積層した状態で溶剤を完全に除去して薄膜状の部材を完全に乾燥させると共に接着する方法である請求項7に記載の微小バルブ機構の製造方法。 8. diaphragm forming material, a solution of a thermoplastic polymer, solidifying the material for forming the thin-film member is a semi-dry due to insufficient solvent removal, has a cut portion and a thin film-like member adhesion to the member, a manufacturing method of the micro valve mechanism according to claim 7 is a method of bonding causes them to completely dry completely removing the thin film-like member solvents stacked state.
  9. 【請求項9】 薄膜状の部材と欠損部を有する部材との接着が、欠損部を有する部材をエネルギー線硬化性樹脂組成物の半硬化物で形成し、これを薄膜状の部材と積層した状態でエネルギー線を照射して該半硬化物を完全に硬化させると共に接着する方法である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の微小バルブ機構の製造方法。 9. The adhesive of the member having a thin film-like member and the defect is a member having a cut portion is formed in a semi-cured product of the radiation-curable resin composition, which was laminated with a thin film-like member state is a method for bonding together to completely cure the semi-cured by irradiating an energy beam, the manufacturing method for a micro valve mechanism according to any one of claims 1-8.
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