JP2002353694A - Part suction device, part mounter and part mounting method - Google Patents

Part suction device, part mounter and part mounting method

Info

Publication number
JP2002353694A
JP2002353694A JP2001281214A JP2001281214A JP2002353694A JP 2002353694 A JP2002353694 A JP 2002353694A JP 2001281214 A JP2001281214 A JP 2001281214A JP 2001281214 A JP2001281214 A JP 2001281214A JP 2002353694 A JP2002353694 A JP 2002353694A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
nozzle
suction
mounting
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001281214A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Okamoto
健二 岡本
Akira Kabeshita
朗 壁下
Hideo Sakon
英雄 左近
Yoichi Makino
洋一 牧野
健 ▲高▼野
Takeshi Takano
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2000283650 external-priority
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001281214A priority Critical patent/JP2002353694A/en
Publication of JP2002353694A publication Critical patent/JP2002353694A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a part suction device, a part mounter and a part mounting method by which a plurality of part suction nozzles can be vertically and individually elevated and be made rotatable around the respective axes. SOLUTION: This part suction device is provided with a suction nozzle 10 to suck and hold a part 20, a nozzle rotating device 25 to hold the suction nozzle 10 and rotate it, and a nozzle elevating device 26 that is arranged above the nozzle rotating device 25 and is connected with the suction nozzle 10, and moves vertically the suction nozzle 10 along the axial direction of the suction nozzle 10. A plurality of suction nozzles 10 are individually and vertically elevated, and are rotated around the respective axes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板などの回路形
成体に装着すべき部品を吸着保持するとともに、上記回
路形成体に上記部品を装着する前にその部品の装着姿勢
角度まで上記部品を回転させる部品吸着装置、及び、上
記部品吸着装置を備える部品実装装置、及び、基板など
の回路形成体に装着すべき部品を吸着保持するととも
に、上記回路形成体に上記部品を装着する前にその部品
の装着姿勢角度まで上記部品を回転させる部品実装方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for adsorbing and holding a component to be mounted on a circuit forming body such as a substrate, and mounting the component to a mounting posture angle of the component before mounting the component on the circuit forming body. A component suction device to be rotated, and a component mounting device including the component suction device, and a component to be mounted on a circuit formed body such as a substrate, which is held by suction, and before mounting the component on the circuit formed body, The present invention relates to a component mounting method for rotating the above component to a component mounting posture angle.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の部品吸着装置は種々の構
造のものが知られている。例えば、図22に示すよう
に、部品吸着装置として例えば10本のノズル304を
有して一斉に回転可能かつ選択的に昇降可能とする実装
ヘッド307を部品実装装置に備えたものがある。この
実装ヘッド307は、部品供給装置側に移動させられ
て、部品供給装置の各パーツカセットの部品供給位置か
ら部品を吸着保持したのち、認識装置に移動し、吸着保
持された各部品の姿勢を認識したのち、上記部品を装着
すべき基板まで移動し、認識結果に基いて上記基板の装
着すべき位置で各部品を装着するようにしている。
2. Description of the Related Art Heretofore, there have been known various kinds of component suction apparatuses of this type. For example, as shown in FIG. 22, there is a component mounting apparatus provided with a mounting head 307 having, for example, ten nozzles 304 and capable of simultaneously rotating and selectively moving up and down, as shown in FIG. The mounting head 307 is moved to the component supply device side to suck and hold the component from the component supply position of each of the component cassettes of the component supply device, and then moves to the recognition device to change the posture of the sucked and held component. After the recognition, the component is moved to a board on which the component is to be mounted, and each component is mounted at a position where the board is to be mounted based on the recognition result.

【0003】ここで、上記実装ヘッド307において
は、各ノズル304をその軸回りに回転させて部品の回
転姿勢を調整するとき、1つの回転動作用モータ311
を駆動して10本のノズル304,…,304を一斉に
同一角度回転させるようにしている。また、部品吸着及
び装着を行うときには、バルブの切り換えに基くシリン
ダ310の駆動により、10本のノズル304,…,3
04のうち所定のノズル304のみを選択的に所定量だ
け下降させて他のノズルより下方に突出させたのち、上
下動用モータ312の駆動により実装ヘッド307全体
を下降させるようにしている。
Here, in the mounting head 307, when rotating each nozzle 304 about its axis to adjust the rotational attitude of the component, one rotating operation motor 311 is used.
Are driven so that the ten nozzles 304,..., 304 are simultaneously rotated by the same angle. Further, when performing component suction and mounting, the ten nozzles 304,..., 3 are driven by driving the cylinder 310 based on the switching of the valve.
04, only a predetermined nozzle 304 is selectively lowered by a predetermined amount to protrude below other nozzles, and then the entire mounting head 307 is lowered by driving the vertical movement motor 312.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造のものでは、実装タクトをさらに短縮させたい場合に
は、個々のノズル毎に回転させたいという要望がある。
すなわち、部品認識後に装着前にノズルを回転させると
き、次に装着すべき部品を保持しているノズルの補正角
度まで一斉に全てのノズルを回転させ、当該ノズルでの
装着後、次に装着すべき部品を保持しているノズルの補
正角度まで一斉に全てのノズルを回転させ、当該ノズル
での装着を行う必要があり、個々のノズル毎に、一旦、
回転補正後でしか装着動作が行えず、全てのノズルを同
じタイミングでそれぞれの所望の角度まで回転させるこ
とができなかった。
However, with the above structure, there is a demand for rotating each nozzle in order to further reduce the mounting tact.
That is, when the nozzles are rotated before mounting after component recognition, all nozzles are rotated all at once until the correction angle of the nozzle holding the component to be mounted next, and after mounting with the nozzle, the next mounting is performed. It is necessary to rotate all the nozzles at the same time to the correction angle of the nozzle holding the part to be mounted, and perform mounting with the nozzle, and once for each individual nozzle,
The mounting operation can be performed only after the rotation correction, and all the nozzles cannot be rotated to the respective desired angles at the same timing.

【0005】従って、本発明の目的は、上記問題を解決
することにあって、複数の部品吸着ノズルを個別に昇降
及び各軸回りに回転可能な部品吸着装置を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and to provide a component suction device capable of individually moving a plurality of component suction nozzles up and down and rotating around each axis.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下のように構成する。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

【0007】本発明の第1態様によれば、回路形成体に
装着すべき部品を吸着する部品吸着装置であって、上記
部品を吸着保持する吸着ノズルと、上記吸着ノズルを保
持しかつ上記吸着ノズルを回転させるノズル回転装置
と、上記ノズル回転装置よりも上方に配置されて上記吸
着ノズルに連結されて上記吸着ノズルを上記吸着ノズル
の軸方向沿いに上下動させるノズル昇降装置とを備える
ようにしたことを特徴とする部品吸着装置を提供する。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a component sucking apparatus for sucking a component to be mounted on a circuit forming body, and a suction nozzle for sucking and holding the component, and a suction nozzle for holding and holding the suction nozzle. A nozzle rotating device for rotating the nozzle, and a nozzle lifting device arranged above the nozzle rotating device and connected to the suction nozzle to move the suction nozzle up and down along the axial direction of the suction nozzle. The present invention provides a component suction device characterized by the following.

【0008】本発明の第2態様によれば、上記ノズル昇
降装置は、上記ノズル回転装置を上記吸着ノズルの上記
軸方向沿いに昇降させる昇降用リニアモータより構成さ
れ、上記昇降用リニアモータを駆動して上記ノズル回転
装置を昇降させることにより、上記吸着ノズルを上記吸
着ノズルの上記軸方向沿いに上下動させるようにした第
1の態様に記載の部品吸着装置を提供する。
According to a second aspect of the present invention, the nozzle elevating device includes an elevating linear motor that elevates the nozzle rotating device along the axial direction of the suction nozzle, and drives the elevating linear motor. The component suction device according to the first aspect, wherein the suction nozzle is moved up and down along the axial direction of the suction nozzle by raising and lowering the nozzle rotating device.

【0009】本発明の第3態様によれば、上記昇降用リ
ニアモータの機構構成材に固定された磁気回路構成部材
に対してコイルが上下方向に移動可能に構成され、上記
コイルを支持する支持部材に上記ノズル回転装置が固定
されている第1〜3のいずれか1つの態様に記載の部品
吸着装置を提供する。
According to the third aspect of the present invention, the coil is configured to be vertically movable with respect to the magnetic circuit component fixed to the mechanism component of the elevating linear motor, and the support for supporting the coil is provided. The component suction device according to any one of the first to third aspects, in which the nozzle rotating device is fixed to a member.

【0010】本発明の第4態様によれば、第1〜3のい
ずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を複数個有する
実装ヘッドとを備え、上記複数の部品吸着装置の上記ノ
ズル回転装置はそれぞれ個別に独立して駆動され、か
つ、上記複数の部品吸着装置の上記ノズル昇降装置はそ
れぞれ個別に独立して駆動されるようにした部品実装装
置を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a mounting head having a plurality of component suction devices according to any one of the first to third aspects, wherein the nozzle rotating device of the plurality of component suction devices is provided. Are mounted individually and independently, and the nozzle elevating devices of the plurality of component suction devices are individually and independently driven.

【0011】本発明の第5態様によれば、第1〜3のい
ずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を複数個有する
実装ヘッドとを備え、上記複数の部品吸着装置の上記吸
着ノズルによりそれぞれ吸着保持された部品を、それぞ
れの部品の装着姿勢角度まで上記ノズル回転装置の駆動
により回転させたのち、上記吸着ノズルに吸着保持され
かつ各装着姿勢角度まで回転させられたそれぞれの部品
の姿勢の認識を行ったのち、認識結果を基に姿勢を補正
し、その後、それぞれの部品を上記回路形成体に装着す
るように動作制御するメインコントローラを備えるよう
にした部品実装装置を提供する。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a mounting head having a plurality of component suction devices according to any one of the first to third aspects, wherein the mounting nozzle is provided by the suction nozzle of the plurality of component suction devices. After the components held by suction are rotated by the driving of the nozzle rotating device to the mounting posture angles of the respective components, the postures of the components sucked and held by the suction nozzle and rotated to the mounting posture angles, respectively. And a component mounting apparatus that includes a main controller that controls the operation so that each component is mounted on the circuit forming body after correcting the posture based on the recognition result.

【0012】本発明の第6態様によれば、上記メインコ
ントローラは、上記吸着ノズルによりそれぞれ吸着保持
された部品を、それぞれの部品の装着姿勢角度まで上記
ノズル回転装置の駆動により同時的に回転させるように
制御する第4の態様に記載の部品実装装置を提供する。
According to a sixth aspect of the present invention, the main controller simultaneously rotates the components suction-held by the suction nozzles by driving the nozzle rotating device up to the mounting posture angle of each component. The component mounting apparatus according to the fourth aspect of the present invention.

【0013】本発明の第7態様によれば、第1〜3のい
ずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を複数個有する
実装ヘッドと、上記複数の部品吸着装置の上記吸着ノズ
ルによりそれぞれ吸着保持された部品をそれぞれの部品
の装着姿勢角度まで上記ノズル回転装置の駆動により同
時的に回転させたのち、各装着姿勢角度まで回転させら
れたそれぞれの部品を上記回路形成体に装着するように
動作制御するメインコントローラを備えるようにした部
品実装装置を提供する。
According to a seventh aspect of the present invention, a mounting head having a plurality of the component suction devices according to any one of the first to third aspects and the suction nozzles of the plurality of component suction devices respectively. After simultaneously rotating the held components to the mounting posture angles of the respective components by driving the nozzle rotating device, the respective components rotated to the respective mounting posture angles are mounted on the circuit forming body. Provided is a component mounting apparatus having a main controller for controlling operation.

【0014】本発明の第8態様によれば、第1〜3のい
ずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を複数個有する
実装ヘッドと、上記複数の部品吸着装置の上記吸着ノズ
ルにより部品を吸着保持した直後に、各部品吸着装置の
上記ノズル回転装置の駆動により、それぞれの部品をそ
れぞれの装着姿勢角度まで個別に独立して回転させたの
ち、各装着姿勢角度まで回転させられたそれぞれの部品
を上記回路形成体に装着するように動作制御するメイン
コントローラを備えるようにした部品実装装置を提供す
る。
According to an eighth aspect of the present invention, a mounting head having a plurality of component suction devices according to any one of the first to third aspects, and a component being picked up by the suction nozzles of the plurality of component suction devices. Immediately after sucking and holding, by driving the above-mentioned nozzle rotating device of each component sucking device, each component is individually and independently rotated to its mounting posture angle, and then each of the components rotated to each mounting posture angle Provided is a component mounting apparatus including a main controller that controls an operation of mounting a component on the circuit forming body.

【0015】本発明の第9態様によれば、回路形成体に
装着すべき部品を複数の吸着ノズルで吸着保持したのち
上記回路形成体に上記吸着保持された部品を装着する部
品実装方法であって、上記吸着ノズルによりそれぞれ吸
着保持されたそれぞれの部品を、その部品の装着姿勢角
度まで個別にかつ独立して回転させ、その後、上記吸着
ノズルに吸着保持されかつ各装着姿勢角度まで回転させ
られたそれぞれの部品の姿勢の認識を行い、その後、認
識結果を基に姿勢を補正し、その後、それぞれの部品を
上記回路形成体に装着するようにした部品実装方法を提
供する。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a component mounting method for mounting a component to be mounted on a circuit forming body by suction using a plurality of suction nozzles, and then mounting the component held by suction on the circuit forming body. Then, the components respectively sucked and held by the suction nozzle are individually and independently rotated to the mounting posture angle of the component, and thereafter, the components are sucked and held by the suction nozzle and rotated to each mounting posture angle. In addition, the present invention provides a component mounting method in which the orientation of each component is recognized, the orientation is corrected based on the recognition result, and then each component is mounted on the circuit forming body.

【0016】本発明の第10態様によれば、上記吸着ノ
ズルによりそれぞれ吸着保持されたそれぞれの部品を、
その部品の装着姿勢角度まで個別にかつ独立して回転さ
せるとき、上記複数の吸着ノズルによりそれぞれ吸着保
持された部品を、それぞれの部品の上記装着姿勢角度ま
で同時的に回転させるようにした第9の態様に記載の部
品実装方法を提供する。
According to a tenth aspect of the present invention, each part sucked and held by the suction nozzle is
When individually and independently rotating up to the mounting posture angle of the component, the ninth configuration is such that the components sucked and held by the plurality of suction nozzles are simultaneously rotated to the mounting posture angle of each component. The component mounting method according to the aspect is provided.

【0017】本発明の第11態様によれば、上記吸着ノ
ズルによりそれぞれ吸着保持されたそれぞれの部品を、
その部品の装着姿勢角度まで個別にかつ独立して回転さ
せるとき、上記吸着ノズルにより部品を吸着保持した直
後に、それぞれの部品をそれぞれの装着姿勢角度まで個
別に独立して回転させるようにした第9の態様に記載の
部品実装方法を提供する。
According to an eleventh aspect of the present invention, each of the components sucked and held by the suction nozzle is
When individually and independently rotating up to the mounting posture angle of the component, immediately after the component is sucked and held by the suction nozzle, each component is individually and independently rotated up to its mounting posture angle. A component mounting method according to a ninth aspect is provided.

【0018】本発明の第12態様によれば、第1〜3の
いずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を複数個有す
る実装ヘッドと、部品実装装置本体に配置されて部品実
装動作を制御するメインコントローラと、上記実装ヘッ
ドに配置されかつ上記メインコントローラと接続されて
上記メインコントローラとの間で駆動制御に関する情報
をシリアル接続による1対1の非同期通信を行うヘッド
コントローラと、上記実装ヘッドに配置されかつ上記ヘ
ッドコントローラに接続されて上記ヘッドコントローラ
との間で駆動制御に関する情報をシリアル接続による1
対多の同期通信が行われて、上記ヘッドコントローラよ
り得られた駆動制御に関する情報を基に上記各部品吸着
装置の上記ノズル昇降装置とを駆動制御する複数のサー
ボドライバとを備えるようにした部品実装装置を提供す
る。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a mounting head having a plurality of the component suction devices according to any one of the first to third aspects, and a component mounting operation which is arranged in a component mounting device main body and controls the component mounting operation. A head controller arranged on the mounting head, connected to the main controller, and performing one-to-one asynchronous communication by serial connection of information on drive control with the main controller; The information related to the drive control with the head controller is arranged and connected to the head controller by serial connection.
A component that is provided with a plurality of servo drivers that perform drive control of the nozzle elevating device of each of the component suction devices based on information related to drive control obtained by the head controller, where many-to-many synchronous communication is performed. Provide a mounting device.

【0019】本発明の第13態様によれば、上記複数の
サーボドライバは個々に異なるアドレスを有しており、
上記駆動制御に関する情報は、上記サーボドライバのア
ドレスと、上記ノズル昇降装置又は上記ノズル回転装置
の駆動量の情報とを含む駆動量情報と、上記駆動量情報
とは異なるタイミングで通信される動作開始信号とより
構成され、上記アドレスを有する上記サーボドライバで
上記駆動制御に関する情報が受取られたのち、上記動作
開始信号を受取ると、上記サーボドライバは、上記駆動
量情報に基き上記ノズル昇降装置又は上記ノズル回転装
置が駆動されるように制御する第12の態様に記載の部
品実装装置を提供する。
According to a thirteenth aspect of the present invention, the plurality of servo drivers individually have different addresses,
The information related to the drive control includes drive amount information including an address of the servo driver, drive amount information of the nozzle elevating device or the nozzle rotating device, and an operation start that is communicated at a timing different from the drive amount information. After receiving the operation start signal after the servo driver having the address, the servo driver, based on the drive amount information, the nozzle elevating device or the A component mounting apparatus according to a twelfth aspect, wherein control is performed to drive the nozzle rotating device.

【0020】本発明の第14態様によれば、上記複数の
部品吸着装置のそれぞれの上記吸着ノズルにより部品を
吸着保持したのち、部品認識を開始する前に、上記それ
ぞれの上記ノズル昇降装置を駆動して上記吸着ノズルを
昇降させて各部品の底面を揃えるようにした第4〜8の
いずれか1つの態様に記載の部品実装装置を提供する。
According to a fourteenth aspect of the present invention, after the components are sucked and held by the suction nozzles of the plurality of component suction devices, the respective nozzle elevating devices are driven before starting component recognition. Then, the suction nozzle is raised and lowered to provide the component mounting apparatus according to any one of the fourth to eighth aspects, in which the bottom surfaces of the components are aligned.

【0021】本発明の第15態様によれば、回路形成体
に装着すべき部品を吸着する部品吸着装置であって、上
下方向に移動可能にかつ軸回りに回転可能な駆動軸と、
上記駆動軸の先端に相対回転不可かつ上下方向に相対移
動不可に取り付けられて上記部品を吸着保持可能な吸着
ノズルと、上記駆動軸の上部に上下方向に相対移動可能
にかつ相対回転不可に連結されて上記駆動軸を軸回りに
回転させるθ回転駆動モータと、上記駆動軸に上下方向
に相対移動不可にかつ相対回転可能に連結する第1連結
部を有しかつ上記第1連結部を上下方向に駆動して上記
駆動軸を上下方向に駆動する上下方向駆動装置と、を備
えるようにしたことを特徴とする部品吸着装置を提供す
る。
According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided a component sucking apparatus for sucking a component to be mounted on a circuit forming body, comprising: a drive shaft movable vertically and rotatable around an axis;
A suction nozzle that is attached to the tip of the drive shaft so as to be relatively non-rotatable and relatively non-movable in the vertical direction, and is connected to the upper portion of the drive shaft so as to be relatively movable in the vertical direction and non-rotatable to the upper part of the drive shaft A rotation drive motor that rotates the drive shaft about its axis, and a first connection portion that is connected to the drive shaft so as to be relatively non-movable and relatively rotatable in the vertical direction, and that the first connection portion is vertically And a vertical drive device for driving the drive shaft in the vertical direction by driving in the vertical direction.

【0022】本発明の第16態様によれば、上記駆動軸
を複数備え、各駆動軸に対して上記上下方向駆動装置と
上記θ回転駆動モータとをそれぞれ備えるとともに、上
記上下方向駆動装置と上記θ回転駆動モータの配置ピッ
チが上記吸着ノズルの配置ピッチと同一であり、かつ、
上記吸着ノズルにより吸着保持される上記部品を供給す
る部品供給装置の複数の部品供給部の配置ピッチと同一
である第15の態様に記載の部品吸着装置を提供する。
According to a sixteenth aspect of the present invention, a plurality of the drive shafts are provided, and the drive shaft and the θ-rotation drive motor are provided for each drive shaft. The arrangement pitch of the θ rotation drive motor is the same as the arrangement pitch of the suction nozzles, and
A component suction device according to a fifteenth aspect, wherein the component pitch of a plurality of component supply units of the component supply device that supplies the component sucked and held by the suction nozzle is the same.

【0023】本発明の第17態様によれば、上記上下方
向駆動装置は、リニアモータである第15又は16の態
様に記載の部品吸着装置を提供する。
According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided the component suction apparatus according to the fifteenth or sixteenth aspect, wherein the vertical driving device is a linear motor.

【0024】本発明の第18態様によれば、上記θ回転
駆動モータは、ブラシレスモータである第15〜17の
いずれか1つの態様に記載の部品吸着装置を提供する。
According to an eighteenth aspect of the present invention, there is provided the component suction apparatus according to any one of the fifteenth to seventeenth aspects, wherein the θ rotation drive motor is a brushless motor.

【0025】本発明の第19態様によれば、上記ノズル
の吸引動作を制御する吸引制御バルブをさらに備えた第
15〜18のいずれか1つの態様に記載の部品吸着装置
を提供する。
According to a nineteenth aspect of the present invention, there is provided the component suction apparatus according to any one of the fifteenth to eighteenth aspects, further comprising a suction control valve for controlling a suction operation of the nozzle.

【0026】本発明の第20態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、軸心方向に回転自在に支持され周方向に
複数極に着磁されたロータと、ティース巻線部にコイル
が巻回されたティース先端を上記ロータの外周に対向し
て配置したステータとを有し、ステータの回転磁界に伴
ってロータが回転するブラシレスモータにおいて、上記
ステータの各ティース先端の形状を、ロータの外周に沿
う円弧面に形成し、各ティース巻線部を互いに平行に形
成したブラシレスモータである第18の態様に記載の部
品吸着装置を提供する。
According to a twentieth aspect of the present invention, in the brushless motor, the rotor is rotatably supported in the axial direction and is magnetized to a plurality of poles in the circumferential direction, and the coil is wound around the teeth winding portion. And a stator in which the tips of the teeth are arranged so as to face the outer periphery of the rotor. In the brushless motor in which the rotor rotates with the rotating magnetic field of the stator, the shape of the tips of the teeth of the stator extends along the outer periphery of the rotor. The component suction device according to the eighteenth aspect is a brushless motor that is formed in an arc surface and each tooth winding portion is formed in parallel with each other.

【0027】本発明の第21態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、ステータを、ティース先端のロータの外
周に対向する円弧面のスロットピッチを対称に形成した
第20の態様に記載の部品吸着装置を提供する。
[0027] According to a twenty-first aspect of the present invention, in the brushless motor, the component suction apparatus according to the twentieth aspect, wherein the stator is formed such that the slot pitch of the arc surface facing the outer periphery of the rotor at the tip of the teeth is symmetrical. I will provide a.

【0028】本発明の第22態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、ステータを、ロータの軸心方向に沿って
厚みを有し、上記ロータの端面に沿う形状が上記軸心の
回りの0度と180度を結ぶ方向の第1の長さよりも9
0度と270度を結ぶ方向の第2の長さが長い扁平型に
形成した第20又は21の態様に記載の部品吸着装置を
提供する。
According to a twenty-second aspect of the present invention, in the brushless motor, the stator has a thickness along the axial direction of the rotor, and the shape along the end face of the rotor is 0 degree around the axial center. 9 greater than the first length in the direction connecting
A component suction device according to the twentieth or twenty-first aspect, wherein the component suction device is formed in a flat shape having a long second length in a direction connecting 0 degrees and 270 degrees.

【0029】本発明の第23態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、扁平型のステータを、軸心の回りの上記
0度と180度を結ぶ方向を境に当接する第1,第2の
ステータブロックで構成した第22の態様に記載の部品
吸着装置を提供する。
According to a twenty-third aspect of the present invention, in the brushless motor, the first and second stators contact the flat type stator in a direction connecting the above-mentioned 0 degrees and 180 degrees around an axis. A component suction device according to a twenty-second aspect configured by blocks.

【0030】本発明の第24態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、第1のステータブロックと第2のステー
タブロックの各ステータブロックを、ティース巻線部の
基端部で磁路を形成するように接合した複数のティース
ブロックで構成した第23の態様に記載の部品吸着装置
を提供する。
According to a twenty-fourth aspect of the present invention, in the brushless motor, each of the first and second stator blocks forms a magnetic path at the base end of the tooth winding. The component suction device according to the twenty-third aspect, comprising a plurality of teeth blocks joined to the component suction device.

【0031】本発明の第25態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、扁平型の上記ステータを、単一のステー
タブロックで構成した第24の態様に記載の部品吸着装
置を提供する。
According to a twenty-fifth aspect of the present invention, there is provided the component suction apparatus according to the twenty-fourth aspect, wherein the brushless motor comprises the flat stator having a single stator block.

【0032】本発明の第26態様によれば、上記ブラシ
レスモータは、扁平型のステータを、上記第1の長さの
方向と交差する側面に、ティース巻線部となる溝を上記
厚み方向に沿って形成し、この溝に巻回されたコイルの
最外周面が上記側面と面一または上記側面よりも内側に
位置する第24の態様に記載の部品吸着装置を提供す
る。
According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the brushless motor, the flat stator is formed by forming a groove serving as a tooth winding portion on the side surface intersecting the first length direction in the thickness direction. A component suction device according to a twenty-fourth aspect, wherein the outermost peripheral surface of the coil formed along the groove and wound around the groove is flush with the side surface or located inside the side surface.

【0033】本発明の第27態様によれば、上記リニア
モータは、固定側の筒型の外ヨークの内側に複数の枠型
コイルを設け、上記枠型コイルを貫いて少なくとも一端
に磁気連通部が形成された複数のティースを有する内ヨ
ークを設け、各ティースの両面にそれぞれ上記枠型コイ
ルとの対向面が単一極で隣接するティースが別極性にな
るようマグネットを設け、上記マグネットのうちの特定
のマグネットから放射された磁束が、外ヨークを介して
隣接するティースに流れ上記磁気連通部を通過して上記
特定のマグネットが設けられているティースを流れて上
記特定のマグネットに環流するよう構成し、上記枠型コ
イルに通電して上記マグネットと内ヨークからなる可動
側がティースの長手方向に移動する第17の態様に記載
の部品吸着装置を提供する。
According to a twenty-seventh aspect of the present invention, in the linear motor, a plurality of frame-shaped coils are provided inside the fixed-side cylindrical outer yoke, and the magnetic communication portion is provided at at least one end through the frame-shaped coil. An inner yoke having a plurality of teeth formed is provided, and a magnet is provided on both surfaces of each tooth such that the surface facing the frame type coil has a single pole and the adjacent teeth have different polarities. The magnetic flux radiated from the specific magnet flows through the outer yoke to the adjacent teeth, passes through the magnetic communication portion, flows through the teeth provided with the specific magnet, and recirculates to the specific magnet. The component suction device according to the seventeenth aspect, wherein the movable side including the magnet and the inner yoke moves in the longitudinal direction of the teeth by energizing the frame-shaped coil. Subjected to.

【0034】本発明の第28態様によれば、上記リニア
モータは、内ヨークが、U字型である第27の態様に記
載の部品吸着装置を提供する。
According to a twenty-eighth aspect of the present invention, there is provided the component suction device according to the twenty-seventh aspect, wherein the inner yoke is U-shaped.

【0035】本発明の第29態様によれば、上記リニア
モータは、枠型コイルの開口面の形状が、マグネットと
の対向辺の長さが渡り区間の長さに比べて長い矩形であ
る第27の態様に記載の部品吸着装置を提供する。
According to a twenty-ninth aspect of the present invention, in the above linear motor, the shape of the opening surface of the frame-shaped coil is a rectangle in which the length of the side facing the magnet is longer than the length of the cross section. A component suction device according to a twenty-seventh aspect is provided.

【0036】本発明の第30態様によれば、上記リニア
モータは、少なくとも一端に磁気連通部が形成された複
数のティースを有する内ヨークを設け、複数のティース
の外側を取り巻く外ヨークを設け、外ヨークの内側に
は、それぞれティースとの対向面が単一極で、隣接する
ティースとの対向面とは別極性になるようティースの両
面に対向してマグネットを設け、内ヨークの各ティース
にコイルを巻装し、上記マグネットのうちの特定のマグ
ネットから放射された磁束が、外ヨークを介して隣接す
るティースに流れ上記磁気連通部を通過して上記特定の
マグネットに対向しているティースを流れて上記特定の
マグネットに環流するよう構成し、上記コイルに通電し
て上記マグネットと外ヨークからなる可動側がティース
の長手方向に移動する第28の態様に記載の部品吸着装
置を提供する。
According to a thirtieth aspect of the present invention, the linear motor includes an inner yoke having a plurality of teeth having a magnetic communication portion formed at at least one end, and an outer yoke surrounding the outer sides of the plurality of teeth. On the inside of the outer yoke, magnets are provided on both sides of the teeth so that the surface facing the teeth is a single pole, and the opposite side of the teeth has a different polarity from the surface facing the adjacent teeth. A coil is wound, and a magnetic flux radiated from a specific magnet among the magnets flows to an adjacent tooth via an outer yoke, passes through the magnetic communication portion, and faces a tooth facing the specific magnet. The movable side composed of the magnet and the outer yoke is moved in the longitudinal direction of the teeth by energizing the coil and flowing back to the specific magnet. Providing component suction device according to the twenty-eighth aspect.

【0037】本発明の第31態様によれば、上記リニア
モータは、ティースの形状を、マグネットとの対向辺の
長さがこの対向辺をつなぐ接続辺の長さに比べて長い矩
形である第30の態様に記載の部品吸着装置を提供す
る。
According to a thirty-first aspect of the present invention, in the above linear motor, the teeth have a rectangular shape in which the length of the side facing the magnet is longer than the length of the connection side connecting the opposite sides. According to a thirtieth aspect, there is provided a component suction device.

【0038】[0038]

【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる実施の形
態を図面に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0039】本発明の第1実施形態にかかる部品吸着装
置15は、図1に示すように、回路形成体、例えば、基
板2に装着すべき部品20を吸着する部品吸着装置であ
って、上記部品20を吸着保持する吸着ノズル10と、
上記吸着ノズル10を保持しかつ上記吸着ノズル10を
回転させるノズル回転装置25と、上記ノズル回転装置
25よりも上方に配置されて上記吸着ノズル10に連結
されて上記吸着ノズル10を上記吸着ノズル10の軸方
向沿いに上下動させるノズル昇降装置26とを備えるよ
うにしている。
As shown in FIG. 1, the component suction device 15 according to the first embodiment of the present invention is a component suction device that suctions a component 20 to be mounted on a circuit forming body, for example, the substrate 2. A suction nozzle 10 for sucking and holding the component 20;
A nozzle rotating device 25 that holds the suction nozzle 10 and rotates the suction nozzle 10; and a nozzle rotating device 25 that is disposed above the nozzle rotating device 25 and is connected to the suction nozzle 10 to connect the suction nozzle 10 to the suction nozzle 10. And a nozzle elevating device 26 that moves up and down along the axial direction.

【0040】ここで、回路形成体とは、樹脂基板、紙−
フェノール基板、セラミック基板、ガラス・エポキシ
(ガラエポ)基板、フィルム基板などの回路基板、単層
基板若しくは多層基板などの回路基板、部品、筐体、又
は、フレームなど、回路が形成されている対象物を意味
する。また、部品とは、電子部品、機械部品、光学部品
などを含む。
Here, the circuit forming body is a resin substrate, paper-
Circuit board such as phenolic board, ceramic board, glass epoxy (glass epoxy) board, film board, circuit board such as single-layer board or multilayer board, component, housing, or object such as frame, etc. Means Further, the component includes an electronic component, a mechanical component, an optical component, and the like.

【0041】上記部品吸着装置15,…,15を10個
備える実装ヘッド4を2セット有して部品実装動作を行
う部品実装装置の全体概略斜視図及び実装ヘッド4の斜
視図を図2及び図3に示す。この部品実装装置は、図2
の斜め左下向きに配置された前側実装部MU1と、斜め
右上向きに配置された後側実装部MU2との2つの実装
部が配置されており、各実装部では各基板に対して独立
して部品吸着、認識、装着などの部品実装動作が行える
ようになっている。なお、部品実装動作とは、例えば、
部品吸着、部品搬送、部品認識、及び、部品装着動作な
どを意味する。
A general perspective view of a component mounting apparatus having two sets of mounting heads 4 having ten component suction devices 15,... 15 and performing a component mounting operation, and a perspective view of the mounting head 4 are shown in FIGS. 3 is shown. This component mounting apparatus is shown in FIG.
And a rear mounting portion MU2 disposed diagonally to the upper right and a rear mounting portion MU2 disposed diagonally to the upper right. Each mounting portion is independent of each substrate. Component mounting operations such as component suction, recognition, and mounting can be performed. The component mounting operation is, for example,
It means component suction, component transport, component recognition, component mounting operation, and the like.

【0042】図2において、1は回路基板2−0(位置
に関係なく基板を指す場合には参照番号2により示し、
特定の位置の基板は参照番号2−0,2−1,2−2,
2−3のように示す。)を搬入するローダー、11は回
路基板2−3を搬出するアンローダーである。3は各実
装部に配置されかつローダー1から搬入される回路基板
2を搬送保持する回路形成体保持装置の一例としての基
板搬送保持装置、4は各実装部に配置されかつ上記部品
吸着装置15,…,15を有して部品20を吸着保持す
る部品吸着ノズル10を交換可能に複数本例えば10本
装着した実装ヘッド、5は各実装部に配置されかつ実装
ヘッド4を部品実装作業領域内の直交する2方向である
XY方向の所定位置に位置決めするXYロボット、7は
各実装部の各部品実装作業領域において部品供給装置8
Aの近傍に配置され、かつ、複数の種類の部品20に適
した複数の種類のノズル10を収納して必要に応じて実
装ヘッド4に装着されたノズル10と交換するノズルス
テーションである。8A,8Bは各部品実装作業領域の
作業者に対する手前側すなわち前側の端部と奥側すなわ
ち後側の端部とにそれぞれ配置され、かつ、上記基板2
に実装すべき部品20を例えばキャリアテープの部品収
納用凹部内に1つずつ収納して部品供給位置89に1つ
ずつ部品20を供給する複数の部品供給カセット80を
複数個有するパーツカセット型式の部品供給装置、8C
は各部品供給装置8Bの近傍に配置され、かつ、上記基
板2に実装すべき部品をトレー状に収納保持されたトレ
ー部品を収納するトレー型式の部品供給装置、9は各部
品供給装置8Aの近傍の部品実装作業領域中央に近い側
に配置され、かつ、各実装ヘッド4のノズル10が吸着
した部品20の吸着姿勢を撮像する2次元又は3次元の
認識カメラである。
In FIG. 2, reference numeral 1 denotes a circuit board 2-0.
The substrates at specific positions are designated by reference numerals 2-0, 2-1, 2-2,
Shown as 2-3. ), And 11 is an unloader that unloads the circuit board 2-3. Reference numeral 3 denotes a board transfer and holding device as an example of a circuit formed body holding device for transferring and holding a circuit board 2 loaded from the loader 1 and disposed in each mounting portion, and 4 denotes a component suction device 15 provided in each mounting portion. ,..., 15, mounting heads 5 for replacing a plurality of, for example, ten, component suction nozzles 10 for sucking and holding the component 20 are arranged in each mounting section, and the mounting head 4 is placed in the component mounting work area. An XY robot 7 positioned at a predetermined position in the XY directions, which are two orthogonal directions, is a component supply device 8 in each component mounting work area of each mounting section.
A nozzle station that is disposed near A and accommodates a plurality of types of nozzles 10 suitable for a plurality of types of components 20 and replaces the nozzles with the nozzles 10 mounted on the mounting head 4 as necessary. 8A and 8B are disposed on the front side, that is, the front end and the back side, that is, the rear end of the component mounting work area with respect to the worker, respectively.
A part cassette type having a plurality of component supply cassettes 80 for accommodating the components 20 to be mounted on the carrier tape one by one in the component accommodating recesses of the carrier tape and supplying the components 20 one by one to the component supply position 89, for example. Parts supply device, 8C
Is a tray-type component supply device that is arranged near each component supply device 8B and stores tray components in which components to be mounted on the board 2 are stored and held in a tray shape. Reference numeral 9 denotes each component supply device 8A. This is a two-dimensional or three-dimensional recognition camera that is arranged on the side near the center of the nearby component mounting work area and captures the suction attitude of the component 20 that is sucked by the nozzle 10 of each mounting head 4.

【0043】上記XYロボット5は、以下のように構成
されている。XYロボット5の2本のY軸駆動部6a,
6aが実装装置基台16上の各実装部の各部品実装作業
領域200の前後端縁に固定配置され、これらの2本の
Y軸駆動部6a,6aにまたがって2本のX軸駆動部6
b,6cがY軸方向に独立的に移動可能にかつ衝突回避
可能に配置されて、さらに、X軸駆動部6bには部品実
装作業領域内の手前側半分の実装領域内を移動する実装
ヘッド4がX軸方向に移動可能に配置されるとともに、
X軸駆動部6cには部品実装作業領域内の奥側半分の実
装領域内を移動する実装ヘッド4がX軸方向に移動可能
に配置されている。各Y軸駆動部6a及び各X軸駆動部
6b,6cは、XYロボット用モータ6y,6xと、モ
ータ6y,6xにより正逆回転駆動されるボールネジ
と、ボールネジに移動させられるべき部材が螺合され
て、モータ6y,6xの正逆回転駆動によりボールネジ
が正逆回転して移動させられるべき部材が進退可能とし
て、各駆動部を構成している。モータ6y,6xは、後
記するメインコントローラ1000により制御されるX
Yロボット用コントローラ1010により駆動制御され
る。
The XY robot 5 is configured as follows. Two Y-axis driving units 6a of the XY robot 5,
6a are fixedly arranged at the front and rear edges of each component mounting work area 200 of each mounting section on the mounting device base 16, and two X-axis driving sections astride these two Y-axis driving sections 6a, 6a. 6
b, 6c are arranged so as to be independently movable in the Y-axis direction and to avoid collision, and furthermore, the X-axis drive unit 6b has a mounting head that moves in a front half mounting area in the component mounting work area. 4 is arranged so as to be movable in the X-axis direction,
The mounting head 4 that moves in the mounting area in the rear half of the component mounting work area is arranged in the X-axis driving unit 6c so as to be movable in the X-axis direction. Each of the Y-axis drive units 6a and each of the X-axis drive units 6b and 6c are screwed together with motors 6y and 6x for XY robots, ball screws driven forward and reverse by the motors 6y and 6x, and members to be moved to the ball screws. Then, the members to be moved by the forward / reverse rotation of the ball screw by the forward / reverse rotation drive of the motors 6y and 6x can advance and retreat, thereby constituting each drive unit. The motors 6y and 6x are controlled by a main controller 1000 to be described later.
The drive is controlled by the Y robot controller 1010.

【0044】また、図4に示すように、上記基板搬入搬
出、部品保持、部品認識、部品装着動作などを制御する
メインコントローラ1000が備えられ、部品供給装置
8A,8B、部品供給カセット80、実装ヘッド4、認
識カメラ9、基板搬送保持装置3、XYロボット5、メ
モリ910、ローダ1、アンローダ11などが接続され
ている。メモリ910には、どの部品をどの位置にどの
順番で装着するかなどの実装プログラムを示すNCデー
タ、どの部品をどの部品供給部材に配列するかなどの配
列プログラム又配列した配列情報、各部品の形状や高さ
などに関する部品情報の部品ライブラリ、各基板の形状
などに関する基板情報、その他、部品吸着ノズルの形状
や各基板搬送保持装置3の基板搬送位置の情報などが記
憶されている。
As shown in FIG. 4, there is provided a main controller 1000 for controlling the above-mentioned substrate loading / unloading, component holding, component recognition, component mounting operation, etc., component supply devices 8A and 8B, component supply cassette 80, mounting The head 4, the recognition camera 9, the substrate transfer and holding device 3, the XY robot 5, the memory 910, the loader 1, the unloader 11, and the like are connected. The memory 910 includes NC data indicating a mounting program such as which component is to be mounted in which position and in which order, an array program such as which component is to be arranged in which component supply member, and array information of each component. A component library of component information related to the shape and height, board information related to the shape of each board, and other information such as the shape of the component suction nozzle and the board transfer position of each board transfer holding device 3 are stored.

【0045】上記部品実装装置の基本的な動作として
は、メインコントローラ1000の制御の下に、前側及
び後側の基板搬送保持装置3,3を駆動して中央側に移
動させてローダー1とアンローダー11とに対して前側
及び後側の基板搬送保持装置3,3を一直線に接続する
ように並べたのち、ローダー1から回路基板2−2を搬
入して前側基板搬送保持装置3を介して後側の基板搬送
保持装置3に搬入するとともに、ローダー1から回路基
板2−1を前側の基板搬送保持装置3に搬入し、それぞ
れの基板2−1,2−2を前側及び後側の基板搬送保持
装置3,3で保持したのち、前側及び後側の基板搬送保
持装置3,3のそれぞれの駆動により図2に示すように
上記中央側の基板搬入搬出位置から部品供給装置8Aに
近い所定の装着位置まで移動する。
The basic operation of the component mounting apparatus is as follows. Under the control of the main controller 1000, the front and rear substrate transfer and holding apparatuses 3 and 3 are driven to move to the center side, and the loader 1 and the unloader 1 are unloaded. After arranging the front and rear substrate transfer holding devices 3 and 3 so as to be connected to the loader 11 in a straight line, the circuit board 2-2 is loaded from the loader 1 and passed through the front substrate transfer and holding device 3. The circuit board 2-1 is loaded into the front substrate transfer and holding device 3 from the loader 1 while the substrate 2-1 is loaded into the rear substrate transfer and holding device 3, and the substrates 2-1 and 2-2 are transferred to the front and rear substrates. After being held by the transfer holding devices 3, 3, by driving the front and rear substrate transfer holding devices 3, respectively, a predetermined position close to the component supply device 8 </ b> A from the substrate loading / unloading position on the center side as shown in FIG. Mounting position In moving.

【0046】次いで、メインコントローラ1000の制
御の下に、各XYロボット5の駆動に基く各実装ヘッド
4により、10本の吸着ノズル10,…,10は例えば
各10個の部品供給カセット80の各々の部品供給位置
89上方の吸着準備位置に移動する。
Next, under the control of the main controller 1000, each of the ten suction nozzles 10,..., 10 is driven by each of the mounting heads 4 based on the driving of each of the XY robots 5, for example, each of ten component supply cassettes 80. Is moved to the suction preparation position above the component supply position 89.

【0047】次いで、各10本の吸着ノズル10,…,
10が同時的に吸着準備位置から各々対応する部品供給
位置89に向けて下降して10個の部品供給位置89,
…,89にそれぞれ位置した10個の部品20,…,2
0を一括して同時的に又は個々に吸着保持したのち、再
び、吸着準備位置まで上昇する。
Next, ten suction nozzles 10,...
10 are simultaneously lowered from the suction preparation position toward the corresponding component supply positions 89, and the ten component supply positions 89,
, 89, 10 parts 20, ..., 2 respectively
After simultaneously and individually adsorbing and holding all 0's, the ascent is again raised to the adsorption preparation position.

【0048】次いで、各XYロボット5の駆動により、
吸着準備位置から各認識カメラ9に向けて移動し、各1
0本の吸着ノズル10,…,10が対応する各々の認識
カメラ9の上方を移動しながら各認識カメラ9により1
0個の部品20,…,20の位置や姿勢や形状などを認
識する。
Next, by driving each XY robot 5,
Move from the suction preparation position toward each recognition camera 9, and
Each of the zero suction nozzles 10,..., 10 moves above the corresponding recognition camera 9 while one of the suction nozzles 10,.
Recognize the position, posture, shape, etc. of the zero components 20,.

【0049】次いで、認識完了後、認識結果に基づき、
メインコントローラ1000の制御の下に、10個の部
品20,…,20の各々の姿勢又は位置補正を必要に応
じて各実装ヘッド4のXY方向の駆動制御(XYロボッ
ト用コントローラ1010によるXYロボット用モータ
6y,6xの駆動制御)又は各ノズル10のθ回転駆動
制御(サーボドライバ1002によるθ軸モータ25m
の駆動制御)することによって行ったのち、基板2の所
定の装着位置にそれぞれ装着する。
Next, after the recognition is completed, based on the recognition result,
Under the control of the main controller 1000, the posture or position of each of the ten parts 20,..., 20 is corrected as needed, by controlling the drive of each mounting head 4 in the XY directions (for the XY robot by the XY robot controller 1010). Drive control of the motors 6y and 6x) or θ rotation drive control of each nozzle 10 (θ-axis motor 25m by the servo driver 1002)
After that, mounting is performed at predetermined mounting positions on the substrate 2.

【0050】一方、上記各部品吸着装置15は、吸着ノ
ズル10のノズル回転装置25とノズル昇降装置26を
同一ユニットで構成しており、詳しくは、以下のように
構成されている。
On the other hand, each of the component suction devices 15 has the same unit as the nozzle rotating device 25 of the suction nozzle 10 and the nozzle elevating device 26, and is configured in detail as follows.

【0051】まず、上記ノズル昇降装置26は、図5
(A)に示すように、上記ノズル回転装置25を上記吸
着ノズル10の軸方向沿いに昇降させる昇降用リニアモ
ータ32より構成され、上記昇降用リニアモータ32を
駆動して上記ノズル回転装置25を昇降させることによ
り、上記吸着ノズル10を上記吸着ノズル10の上記軸
方向沿いに上下動させるようにしている。
First, the nozzle elevating device 26 shown in FIG.
As shown in (A), the nozzle rotating device 25 is constituted by an elevating linear motor 32 for elevating and lowering the nozzle rotating device 25 along the axial direction of the suction nozzle 10. By moving up and down, the suction nozzle 10 is moved up and down along the axial direction of the suction nozzle 10.

【0052】具体的には、上記ノズル昇降装置26は、
図5(A)に示すように、アルミ合金等の板状の機構構
成材26bの表面に、四角枠状に鉄と磁石から構成され
る磁気回路構成部材26aが固定され、磁気回路構成部
材26a内で昇降可能に可動のリニアモータ用コイル2
6cが配置されている。可動のリニアモータ用コイル2
6cは、機構構成材26bの表面において、リニアガイ
ド26g,26gにより昇降方向に直線的に案内される
一対の支持部材26s,26sの上部に挟み込まれて固
定されて支持されている。これらの一対の支持部材26
s,26sの下部には、θ軸モータ25mが両側から挟
み込まれて固定支持されている。ここで、θ軸モータ2
5mの中心線をリニアモータ32の発生推力中心へ配置
するようにして、上下動作時に不要なモーメントの発生
を防止し、上下動作による振れを防止するのが好まし
い。よって、磁気回路構成部材26aとリニアモータ用
コイル26cとにより昇降用リニアモータ32が構成さ
れており、リニアモータ用コイル26cに対して電流が
供給されることにより、リニアモータ用コイル26cが
磁気回路構成部材26a内でリニアガイド26g,26
gにより案内されつつ昇降し、リニアモータ用コイル2
6cと一対の支持部材26s,26sにより連結された
θ軸モータ25mが リニアモータ用コイル26cと一
体的に昇降する。なお、26dは昇降用リニアモータ3
2のカバーである。また、リニアモータ用コイル26c
又は支持部材26sの昇降量を検出する昇降量検出セン
サを備えて、検出した昇降量を、昇降用リニアモータ3
2を駆動制御する後記するサーボドライバ1002にフ
ィードバックするようにしている。
Specifically, the nozzle elevating device 26 is
As shown in FIG. 5 (A), a magnetic circuit component 26a composed of iron and a magnet is fixed on a surface of a plate-like mechanism component 26b made of aluminum alloy or the like. Linear motor coil 2 movable up and down inside
6c is arranged. Movable linear motor coil 2
6c is fixedly supported by being sandwiched between upper portions of a pair of support members 26s, 26s linearly guided in the ascending and descending directions by linear guides 26g, 26g on the surface of the mechanism component 26b. These pair of support members 26
Under the s and 26s, a θ-axis motor 25m is sandwiched from both sides and fixedly supported. Here, the θ-axis motor 2
It is preferable that the center line of 5 m is arranged at the center of the thrust generated by the linear motor 32 to prevent generation of an unnecessary moment during the up-down operation and to prevent vibration due to the up-down operation. Therefore, the elevating linear motor 32 is constituted by the magnetic circuit constituting member 26a and the linear motor coil 26c, and when a current is supplied to the linear motor coil 26c, the linear motor coil 26c is connected to the magnetic circuit 26c. The linear guides 26g and 26g in the constituent member 26a
The linear motor coil 2 moves up and down while being guided by g.
The θ-axis motor 25m connected to the linear motor coil 26c moves up and down integrally with the linear motor coil 26c. 26d is a linear motor 3 for elevating and lowering.
2 cover. Also, the linear motor coil 26c
Alternatively, an elevating / lowering amount detecting sensor for detecting the amount of elevating / lowering of the support member 26s is provided, and the detected amount of elevating is detected by the
2 is fed back to a servo driver 1002, which will be described later, for controlling the driving of the servo driver 100.

【0053】また、上記ノズル回転装置25は、図5
(B)に示すように、上下のベアリング25b,25b
により回転自在に吸着ノズル10を支持し、吸着ノズル
10の上端にはエンコーダ25eを備えて、エンコーダ
25eにより吸着ノズル10の回転方向の原点位置に対
する現在位置を検出して、検出した現在位置を、θ軸モ
ータ25mを駆動制御するサーボドライバ1002にフ
ィードバックするようにしている。吸着ノズル10の中
央部の外周には円筒磁石25rが固定され、上記ノズル
回転装置25のケーシング25cにはステータ25sが
固定されて、円筒磁石25rとステータ25sとにより
θ軸モータ25mが構成されている。吸着ノズル10の
上部にはパッキン25aにより挟まれた吸引排気室25
dが形成されて、吸引排気室25dには吸着ノズル10
の上端開口10cが常時連通して、吸引排気室25dを
介して給排気通路25pに連結されている。そして、給
排気通路25pに接続された、真空ポンプ及び圧縮空気
供給装置などより構成される給排気装置50の駆動によ
り、吸着ノズル10の回転位置に関係なく、必要時に、
すなわち、例えば図16に示すバルブ90の開閉動作及
び吸引又は排気(ブロー)の切り換え動作により、吸着
ノズル10の吸引又は排気(ブロー)動作を行うことが
できるようにしている。
Further, the nozzle rotating device 25 shown in FIG.
As shown in (B), the upper and lower bearings 25b, 25b
The suction nozzle 10 is rotatably supported by, and an encoder 25e is provided at the upper end of the suction nozzle 10. The encoder 25e detects the current position with respect to the origin position in the rotation direction of the suction nozzle 10, and detects the detected current position. Feedback is provided to a servo driver 1002 that drives and controls the θ-axis motor 25m. A cylindrical magnet 25r is fixed to an outer periphery of a central portion of the suction nozzle 10, a stator 25s is fixed to a casing 25c of the nozzle rotating device 25, and a θ-axis motor 25m is configured by the cylindrical magnet 25r and the stator 25s. I have. Above the suction nozzle 10, a suction / exhaust chamber 25 sandwiched between packings 25a is provided.
d is formed, and the suction nozzle 10 is provided in the suction and exhaust chamber 25d.
The upper end opening 10c is always in communication and is connected to the supply / exhaust passage 25p via the suction / exhaust chamber 25d. Then, by driving the supply / exhaust device 50 including a vacuum pump and a compressed air supply device connected to the supply / exhaust passage 25p, regardless of the rotational position of the suction nozzle 10,
That is, for example, the suction or exhaust (blow) operation of the suction nozzle 10 can be performed by the opening / closing operation of the valve 90 and the switching operation of the suction or exhaust (blow) shown in FIG.

【0054】次に、上記10個の部品吸着装置15,
…,15の動作の様々な例を説明する。まず、10本の
ノズル10,…,10で、1つのノズル毎に下降して部
品吸着を行う場合について説明する。
Next, the ten component suction devices 15,
, 15 will be described. First, a description will be given of a case in which the ten nozzles 10,...

【0055】ここでは、代表的に、図3を参照しなが
ら、第1部品吸着装置15−1と第2部品吸着装置15
−2について述べる。上記第1部品吸着装置15−1の
上記吸着ノズル10−1により上記部品供給装置8A又
は8Bからの部品供給及び上記吸着ノズル10−1によ
る部品吸着保持動作を行ったのち、上記吸着ノズル10
−1をθ軸モータ25mにより上記軸例えば上下方向沿
いのθ軸回りに回転させて装着姿勢角度まで回転させる
部品回転動作を行う。一方、上記第2部品吸着装置15
−2の上記吸着ノズル10−2により上記部品供給装置
8A又は8Bからの部品供給及び上記吸着ノズル10−
2による部品吸着保持動作を行ったのち、上記吸着ノズ
ル10−2をθ軸モータ25mにより回転させて装着姿
勢角度まで回転させる回転動作を行い、かつ、上記第1
部品吸着装置15−1の上記吸着ノズル10−1による
上記部品回転動作を開始するとき上記第2部品吸着装置
15−2の上記吸着ノズル10−2による部品吸着保持
動作を開始するようにする。このようにすれば、1つの
ノズル10で吸引動作しているときに、他のノズル10
では装着姿勢角度までの回転動作を行うことができ、全
ての部品の吸引動作後に全て部品の装着姿勢角度までの
回転動作を行う場合と比較して、実装時間を大幅に削減
することができる。
Here, typically, the first component suction device 15-1 and the second component suction device 15 will be described with reference to FIG.
-2 will be described. After performing the component supply from the component supply device 8A or 8B by the suction nozzle 10-1 of the first component suction device 15-1 and the component suction holding operation by the suction nozzle 10-1, the suction nozzle 10-1
-1 is rotated by the θ-axis motor 25m around the above-mentioned axis, for example, the θ-axis along the up-down direction, and the component is rotated to the mounting posture angle. On the other hand, the second component suction device 15
-2 from the component supply device 8A or 8B by the suction nozzle 10-2 and the suction nozzle 10-
After performing the component suction holding operation by the second rotation operation, the rotation operation of rotating the suction nozzle 10-2 by the θ-axis motor 25m to the mounting posture angle is performed, and
When the component rotation operation by the suction nozzle 10-1 of the component suction device 15-1 is started, the component suction holding operation by the suction nozzle 10-2 of the second component suction device 15-2 is started. In this way, when one nozzle 10 is performing a suction operation, another nozzle 10
In this case, the rotation operation can be performed up to the mounting posture angle, and the mounting time can be greatly reduced as compared with the case where the rotation operation is performed up to the mounting posture angle of all the components after the suction operation of all the components.

【0056】また、別の例としては、10本のノズル1
0,…,10で一括して10個の部品20,…,20を
同時に吸着し、部品認識し、部品装着動作することもで
きる。以下に、これについて、図6及び図7を参照しな
がら、詳しく説明する。なお、図6において、Mは移
動、Sはスキャン動作、Dは下降、Uは上昇、Cは補
正、Rは原点、CSは部品吸着、CSOFFは部品吸着
解除、Bはブロー、CPは認識処理動作である。
As another example, ten nozzles 1
., 20 can be simultaneously picked up at 0,..., 10, and the components can be recognized and the components can be mounted. Hereinafter, this will be described in detail with reference to FIGS. In FIG. 6, M is movement, S is scanning operation, D is down, U is up, C is correction, R is origin, CS is component suction, CSOFF is component suction release, B is blow, and CP is recognition processing. Operation.

【0057】参考として、従来の動作を、まず、説明す
る。
For reference, the conventional operation will be described first.

【0058】従来では、図22及び図8及び図9に示す
ように、実装ヘッド307がX軸方向及びY軸方向又は
X軸方向又はY軸方向に所定の10個の部品供給カセッ
トの部品供給位置の上方まで移動し(図9のステップS
41)、上下動用モータ312の駆動により10本のノ
ズル304,…,304を一斉に初期位置である移動可
能高さ位置から部品吸着可能高さ位置まで下降させて1
0個の部品供給カセットの部品供給位置に位置する10
個の部品を10本のノズル304,…,304で吸着保
持する(図9のステップS42)。その後、上下動用モ
ータ312の駆動により10本のノズル304,…,3
04を一斉に部品吸着可能高さ位置から移動可能高さ位
置まで上昇させる、すなわち、高さ方向の原点位置まで
復帰させる(図9のステップS43)。なお、図8にお
いて、Mは移動、Sはスキャン動作、Dは下降、Uは上
昇、Cは補正、Rは原点、CSは部品吸着、CSOFF
は部品吸着解除、Bはブロー、SLは選択、CPは認識
処理動作である。
Conventionally, as shown in FIG. 22, FIG. 8 and FIG. 9, the mounting head 307 is configured to supply components in predetermined ten component supply cassettes in the X-axis direction and the Y-axis direction or in the X-axis direction or the Y-axis direction. (Step S in FIG. 9)
41), the ten nozzles 304,..., 304 are simultaneously moved down from the movable height position, which is the initial position, to the component adsorbable height position by driving the motor 312 for 1
10 located at the component supply position of 0 component supply cassettes
Each of the components is sucked and held by the ten nozzles 304,..., 304 (step S42 in FIG. 9). After that, the ten nozzles 304,.
04 are simultaneously raised from the component adsorbable height position to the movable height position, that is, returned to the origin position in the height direction (step S43 in FIG. 9). In FIG. 8, M is movement, S is scanning operation, D is down, U is up, C is correction, R is origin, CS is component suction, CSOFF.
Is a component suction release, B is a blow, SL is a selection, and CP is a recognition processing operation.

【0059】次いで、ヘッドがX軸方向に認識位置まで
移動し(図9のステップS44)、上下動用モータ31
2の駆動により10本のノズル304,…,304を一
斉に移動可能高さ位置から部品認識可能高さ位置まで下
降させたのち(図9のステップS45)、認識カメラの
上方を一方向に直線的に移動して、10本のノズル30
4,…,304により吸着保持された10個の部品の認
識動作を行う(図9のステップS46)。その後、上下
動用モータ312の駆動により10本のノズル304,
…,304を一斉に部品認識可能高さ位置から移動可能
高さ位置まで上昇させる、すなわち、高さ方向の原点位
置まで復帰させる(図9のステップS47)。
Then, the head moves to the recognition position in the X-axis direction (step S44 in FIG. 9), and the motor 31 for vertical movement moves.
After the ten nozzles 304,..., 304 are simultaneously moved down from the movable height position to the component-recognizable height position by the drive of step 2 (step S45 in FIG. 9), the upper part of the recognition camera is linearly moved in one direction. Moving to 10 nozzles 30
The operation of recognizing the ten components sucked and held by 4,..., 304 is performed (step S46 in FIG. 9). After that, the ten nozzles 304,
.., 304 are simultaneously raised from the component recognizable height position to the movable height position, that is, returned to the origin position in the height direction (step S47 in FIG. 9).

【0060】次いで、実装ヘッド307が例えば1番目
のノズル304に保持された部品の部品装着位置まで移
動したのち(図9のステップS48)、上記認識結果に
基き、回転動作用モータ311の駆動により1番目のノ
ズル304をその軸回りに回転方向の原点位置から装着
姿勢角度と補正角度との合計位置まで回転させて保持さ
れた部品の姿勢角度を補正し(図9のステップS4
9)、上下動用モータ312の駆動により1番目のノズ
ル304のみをシリンダ310で選択して移動可能高さ
位置から部品装着可能高さ位置まで下降させて基板に、
1番目のノズル304に保持された部品を装着する(図
9のステップS50)。その後、上下動用モータ312
の駆動により1番目のノズル304のみを部品装着可能
高さ位置から移動可能高さ位置まで上昇させる。次い
で、回転動作用モータ311の駆動により1番目のノズ
ル304をその軸回りに回転方向の原点位置まで回転さ
せる。
Next, after the mounting head 307 has moved to, for example, the component mounting position of the component held by the first nozzle 304 (step S48 in FIG. 9), based on the recognition result, the rotation operation motor 311 is driven. The first nozzle 304 is rotated about its axis from the origin position in the rotation direction to the total position of the mounting posture angle and the correction angle to correct the posture angle of the held component (step S4 in FIG. 9).
9) By driving the vertical movement motor 312, only the first nozzle 304 is selected by the cylinder 310, and is lowered from the movable height position to the component mountable height position to the substrate;
The component held by the first nozzle 304 is mounted (Step S50 in FIG. 9). Then, the vertical movement motor 312
Drives only the first nozzle 304 from the component mounting height position to the movable height position. Next, the first nozzle 304 is rotated around its axis to the origin position in the rotation direction by driving the rotation motor 311.

【0061】次いで、実装ヘッド307に保持した全て
の部品の装着が終了していない場合(図9のステップS
51)には、次の実装動作に移る。
Next, when all components held by the mounting head 307 have not been mounted (step S in FIG. 9).
In 51), the next mounting operation is performed.

【0062】次の実装動作においては、実装ヘッド30
7が例えば2番目のノズル304に保持された部品の部
品装着位置まで移動したのち(図9のステップS4
8)、上記認識結果に基き、回転動作用モータ311の
駆動により2番目のノズル304をその軸回りに回転方
向の原点位置から装着姿勢角度と補正角度との合計位置
まで回転させて保持された部品の姿勢角度を補正し(図
9のステップS49)、上下動用モータ312の駆動に
より2番目のノズル304のみをシリンダ310で選択
して移動可能高さ位置から部品装着可能高さ位置まで下
降させて基板に、2番目のノズル304に保持された部
品を装着する(図9のステップS50)。その後、上下
動用モータ312の駆動により2番目のノズル304の
みを部品装着可能高さ位置から移動可能高さ位置まで上
昇させる。次いで、回転動作用モータ311の駆動によ
り2番目のノズルをその軸回りに回転方向の原点位置ま
で回転させる。
In the next mounting operation, the mounting head 30
7 moves to the component mounting position of the component held by the second nozzle 304 (step S4 in FIG. 9).
8) Based on the recognition result, the second nozzle 304 is rotated around its axis from the origin position in the rotation direction to the total position of the mounting posture angle and the correction angle by the driving of the rotation motor 311 and held. The posture angle of the component is corrected (step S49 in FIG. 9), and only the second nozzle 304 is selected by the cylinder 310 by driving the up / down motor 312 and lowered from the movable height position to the component mountable height position. Then, the component held by the second nozzle 304 is mounted on the substrate (Step S50 in FIG. 9). Then, only the second nozzle 304 is raised from the component mounting height position to the movable height position by driving the vertical movement motor 312. Next, the second nozzle is rotated around its axis to the origin position in the rotation direction by driving the rotation motor 311.

【0063】以後、同様に、3番目から10番目のノズ
ル304,…,304に保持された部品の基板への装着
を次々に行ったのち(図9のステップS48〜S5
1)、次の部品吸着動作のために、実装ヘッド307が
X軸方向及びY軸方向又はX軸方向又はY軸方向に所定
の10個の部品供給カセットの部品供給位置の上方まで
移動して(図9のステップS41)、以後、図9のステ
ップS41〜S51の上記部品吸着、認識位置への移
動、部品認識、部品装着位置への移動、部品の姿勢角度
の補正、部品装着動作を繰り返すようにしている。
Thereafter, similarly, the components held by the third to tenth nozzles 304,..., 304 are mounted on the board one after another (steps S48 to S5 in FIG. 9).
1) For the next component suction operation, the mounting head 307 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction, or the X-axis direction or the Y-axis direction, to a position above the component supply position of the predetermined ten component supply cassettes. (Step S41 in FIG. 9) After that, the above-described component suction, movement to the recognition position, component recognition, movement to the component mounting position, correction of the component posture angle, and component mounting operation in steps S41 to S51 in FIG. 9 are repeated. Like that.

【0064】すなわち、従来では、部品認識後、次に部
品を装着する1つのノズル304のみ回転させて位置補
正を行ったのち基板への装着動作を行うため、認識(図
9のステップS46)した後の各ノズル304において
は、回転位置補正(図9のステップS49)、部品装着
(図9のステップS50)の2つの動作を必ず行う必要
があった。
That is, in the prior art, after the component recognition, the position is corrected by rotating only one nozzle 304 for mounting the component next, and then the mounting operation on the substrate is performed. Therefore, the recognition is performed (step S46 in FIG. 9). In each of the subsequent nozzles 304, two operations, that is, rotational position correction (step S49 in FIG. 9) and component mounting (step S50 in FIG. 9) must be performed without fail.

【0065】これに対して、上記第1実施形態では、図
13及び図7に示すように、XYロボット5のXYロボ
ット用モータ6y,6xの駆動により実装ヘッド4がX
軸方向及びY軸方向又はX軸方向又はY軸方向に所定の
10個の部品供給カセット80,…,80の部品供給位
置89,…,89の上方まで移動し(図7のステップS
1)、上記ノズル昇降装置26の昇降用リニアモータ3
2の駆動により10本のノズル10,…,10を一斉に
初期位置である移動可能高さ位置から部品吸着可能高さ
位置まで下降させて10個の部品供給カセットの部品供
給位置に位置する10個の部品20,…,20を一斉に
10本のノズル10,…,10で吸着保持する(図7の
ステップS2)。その後、上記ノズル昇降装置26の駆
動により10本のノズル10,…,10を一斉に部品吸
着可能高さ位置から移動可能高さ位置まで上昇させる、
すなわち、高さ方向の原点位置まで復帰させる(図7の
ステップS3)。
On the other hand, in the first embodiment, as shown in FIGS. 13 and 7, the mounting head 4 is moved by driving the XY robot motors 6y and 6x of the XY robot 5.
In the axial direction and the Y-axis direction, the X-axis direction, or the Y-axis direction, the cassette is moved to above the component supply positions 89,..., 89 of the predetermined ten component supply cassettes 80,.
1), the linear motor 3 for elevating the nozzle elevating device 26
.., 10 are simultaneously lowered from the initial movable position, which is the movable height position, to the component suctionable height position, and are positioned at the component supply position of the ten component supply cassettes. , 20 are simultaneously sucked and held by ten nozzles 10,..., 10 (step S2 in FIG. 7). Then, the ten nozzles 10,..., 10 are simultaneously raised from the component adsorbable height position to the movable height position by driving the nozzle elevating device 26.
That is, it is returned to the origin position in the height direction (step S3 in FIG. 7).

【0066】次いで、XYロボット5の駆動により実装
ヘッド4がX軸方向に認識位置まで移動しながら(図7
のステップS4)、上記ノズル回転装置25の駆動によ
り各ノズル10をそれぞれの軸回りに回転方向の原点位
置から装着姿勢角度まで回転させて各ノズル10に保持
された部品20を装着姿勢とする(図7のステップS
5)。
Next, the mounting head 4 is moved to the recognition position in the X-axis direction by the driving of the XY robot 5 (FIG. 7).
Step S4), the nozzles 10 are rotated around the respective axes from the origin position in the rotation direction to the mounting posture angle by driving the nozzle rotating device 25, and the components 20 held by the nozzles 10 are set to the mounting posture ( Step S in FIG.
5).

【0067】次いで、上記ノズル昇降装置26の駆動に
より10本のノズル10,…,10を一斉に移動可能高
さ位置から部品認識可能高さ位置まで下降させたのち
(図7のステップS6)、認識カメラ9の上方を一方向
に直線的に移動して、10本のノズル10,…,10に
より吸着保持された10個の部品20,…,20の認識
動作を行う(図7のステップS7)。その後、上記ノズ
ル昇降装置26の駆動により10本のノズル10,…,
10を一斉に部品認識可能高さ位置から移動可能高さ位
置まで上昇させる、すなわち、高さ方向の原点位置まで
復帰させる(図7のステップS8)。
Next, the ten nozzles 10,..., 10 are simultaneously lowered from the movable height position to the component recognizable height position by driving the nozzle elevating device 26 (step S6 in FIG. 7). Moving linearly in one direction above the recognition camera 9, the recognition operation of the ten parts 20,..., 20 sucked and held by the ten nozzles 10,. ). Then, the ten nozzles 10,...
10 are simultaneously raised from the component recognizable height position to the movable height position, that is, returned to the origin position in the height direction (step S8 in FIG. 7).

【0068】次いで、XYロボット5の駆動により実装
ヘッド4が例えば1番目のノズル10に保持された部品
20の部品装着位置まで移動しながら(図7のステップ
S9)、同時的に、上記認識結果に基き、上記ノズル回
転装置25の駆動により各ノズル10をそれぞれの軸回
りに装着姿勢角度から補正位置まで回転させて各ノズル
10に保持された部品20の姿勢角度を補正する(図7
のステップS10)。よって、実装ヘッド4が、1番目
のノズル10に保持された部品20の部品装着位置に位
置したときには、全てのノズル10,…,10での姿勢
角度の補正が完了した状態となっている。このとき、全
てノズル10,…,10についての姿勢角度の補正を行
ってもよいが、より高い精度の装着を行う場合には、装
着直前のノズル10についての補正のみを行う。
Next, while the mounting head 4 is moved to, for example, the component mounting position of the component 20 held by the first nozzle 10 by driving the XY robot 5 (step S9 in FIG. 7), the recognition result is simultaneously obtained. 7, the nozzles 10 are rotated around the respective axes from the mounting attitude angle to the correction position by driving the nozzle rotation device 25 to correct the attitude angle of the component 20 held by each nozzle 10 (FIG. 7).
Step S10). Therefore, when the mounting head 4 is located at the component mounting position of the component 20 held by the first nozzle 10, the correction of the attitude angles of all the nozzles 10,..., 10 has been completed. At this time, the attitude angles of all the nozzles 10,..., 10 may be corrected. However, when mounting with higher accuracy is performed, only the correction of the nozzle 10 immediately before mounting is performed.

【0069】次いで、上記ノズル昇降装置26の駆動に
より1番目のノズル10のみを移動可能高さ位置から部
品装着可能高さ位置まで下降させて基板2に、1番目の
ノズル10に保持された部品20を装着する(図7のス
テップS11)。その後、上記ノズル昇降装置26の駆
動により1番目のノズル10のみを部品装着可能高さ位
置から移動可能高さ位置まで上昇させる。次いで、上記
ノズル回転装置25のθ軸モータ25mの駆動により1
番目のノズル10をその軸回りに回転方向の原点位置ま
で回転させる。
Next, only the first nozzle 10 is lowered from the movable height position to the component mountable height position by driving the nozzle elevating device 26, and the components held by the first nozzle 10 are placed on the substrate 2. 20 is attached (step S11 in FIG. 7). Then, only the first nozzle 10 is raised from the component mounting height position to the movable height position by driving the nozzle lifting device 26. Next, 1 is driven by driving the θ-axis motor 25m of the nozzle rotating device 25.
The second nozzle 10 is rotated around its axis to the origin position in the rotation direction.

【0070】次いで、実装ヘッド4に保持した全ての部
品20,…,20の装着が終了していない場合(図7の
ステップS12)には、次の実装動作に移る。
Next, if the mounting of all the components 20,..., 20 held by the mounting head 4 has not been completed (step S12 in FIG. 7), the process proceeds to the next mounting operation.

【0071】次の実装動作においては、XYロボット5
の駆動により実装ヘッド4が例えば2番目のノズル10
に保持された部品20の部品装着位置まで移動しながら
(図7のステップS9)、同時的に、上記認識結果に基
き、上記ノズル回転装置25の駆動により2番目のノズ
ル10を軸回りに装着姿勢角度から補正位置まで回転さ
せて2番目のノズル10に保持された部品20の姿勢角
度を補正する(図7のステップS10)。上記ノズル昇
降装置26の駆動により2番目のノズル10のみを移動
可能高さ位置から部品装着可能高さ位置まで下降させて
基板2に、2番目のノズル10に保持された部品20を
装着する(図7のステップS11)。その後、上記ノズ
ル昇降装置26の駆動により2番目のノズル10のみを
部品装着可能高さ位置から移動可能高さ位置まで上昇さ
せる。次いで、上記ノズル回転装置25の駆動により2
番目のノズル10をその軸回りに回転方向の原点位置ま
で回転させる。
In the next mounting operation, the XY robot 5
Drives the mounting head 4 to, for example, the second nozzle 10
At the same time, the second nozzle 10 is mounted around the axis by driving the nozzle rotating device 25 based on the recognition result, while moving to the component mounting position of the component 20 held at the position (step S9 in FIG. 7). The attitude angle of the component 20 held by the second nozzle 10 is corrected by rotating from the attitude angle to the correction position (step S10 in FIG. 7). By driving the nozzle elevating device 26, only the second nozzle 10 is lowered from the movable height position to the component mountable height position, and the component 20 held by the second nozzle 10 is mounted on the substrate 2 ( Step S11 in FIG. 7). Thereafter, only the second nozzle 10 is raised from the component mounting height position to the movable height position by driving the nozzle lifting device 26. Next, by driving the nozzle rotating device 25, 2
The second nozzle 10 is rotated around its axis to the origin position in the rotation direction.

【0072】以後、同様に、3番目から10番目のノズ
ル10,…,10に保持された部品20,…,20の基
板2への装着を次々に行ったのち(図7のステップS1
2)、次の部品吸着動作のために、XYロボット5の駆
動により実装ヘッド4がX軸方向及びY軸方向又はX軸
方向又はY軸方向に所定の10個の部品供給カセット8
0,…,80の部品供給位置の上方まで移動して(図7
のステップS1)、図7のステップS2〜S12の上記
部品吸着、認識位置への移動、部品認識、部品装着位置
への移動と同時に部品の姿勢角度の補正、部品装着動作
を繰り返すようにしている。
Thereafter, similarly, the components 20,..., 20 held by the third to tenth nozzles 10,..., 10 are sequentially mounted on the substrate 2 (step S1 in FIG. 7).
2) For the next component suction operation, the mounting head 4 is driven by the XY robot 5 so that the predetermined number of component supply cassettes 8 in the X-axis direction and the Y-axis direction, or the X-axis direction or the Y-axis direction.
Move to above the component supply position of 0,.
In step S1), the component suction, the movement to the recognition position, the component recognition, and the movement to the component mounting position in steps S2 to S12 in FIG. .

【0073】すなわち、部品装着位置への移動動作と、
同時に、装着姿勢角度の補正動作を行うことにより、装
着姿勢角度の補正動作のみを行う時間を無くすことがで
き、全体として、実装時間を削減することができる。
That is, the movement operation to the component mounting position,
At the same time, by performing the operation of correcting the mounting posture angle, the time for performing only the correcting operation of the mounting posture angle can be eliminated, and the mounting time can be reduced as a whole.

【0074】なお、第1実施形態でも従来と同様に、各
ノズル10において、部品20を基板2に装着した直後
に、一旦、ブローを行って、部品20がノズル10から
確実に離れるようにしている。
In the first embodiment, as in the conventional case, the blow is performed once in each nozzle 10 immediately after the component 20 is mounted on the substrate 2 so that the component 20 is securely separated from the nozzle 10. I have.

【0075】また、上記複数の部品吸着装置15,…,
15のそれぞれの上記吸着ノズル10により上記部品供
給装置8A又は8Bから部品20を吸着保持したのち、
上記部品認識カメラ9で部品認識を開始する前に、メモ
リ910に記憶されている情報であって各ノズル10に
吸着保持されている部品の高さ情報を基に、メインコン
トローラ1000、ヘッドコントローラ1001、サー
ボドライバ1002により上記ノズル昇降装置26を駆
動制御して、上記それぞれの吸着ノズル10を昇降さ
せ、図10に示すように、各部品20の底面を一定の高
さH1に揃えるか、又は、各部品20の底面を一定の高
さの範囲すなわち認識カメラ9の被写界深度内に入るよ
うにようにすることもできる。具体的には、図11
(A)に示すように、メモリ910には、操作、部品デ
ータベース、部品供給カセット配列データなどの情報を
記憶させておく。図11(B)に示すように、部品デー
タベースには、各部品のサイズ(幅w、厚みt、奥行き
D)、その部品の電極に関する情報(極数、電極幅など
のサイズ、位置などの情報)が記憶されている。図11
(C)に示すように、部品供給カセット配列データとし
ては、連続した部品供給カセット番号、カセット番号に
対応する部品種別とのリンク情報、部品種別と型番との
リンク情報などが含まれている。ここで、部品種別と
は、例えば、1005R(すなわち、部品サイズが1.
0mm×0.5mmの抵抗)、1608R(すなわち、
部品サイズが1.6mm×0.8mmの抵抗)などを意
味する。よって、例えば、図12に示すように、まず、
メインコントローラ1000はメモリ910から全ての
ノズル10,…,10に関する吸着部品情報の取得を行
う(ステップS61)。
The plurality of component suction devices 15,...
After the component 20 is sucked and held from the component supply device 8A or 8B by the suction nozzles 10 of 15, respectively,
Before the component recognition camera 9 starts component recognition, the main controller 1000 and the head controller 1001 based on the information stored in the memory 910 and the height information of the components sucked and held by each nozzle 10. The servo driver 1002 drives and controls the nozzle elevating device 26 to elevate and lower the respective suction nozzles 10, and as shown in FIG. 10, the bottom surfaces of the components 20 are aligned at a certain height H1, or The bottom surface of each component 20 may be set so as to fall within a certain height range, that is, the depth of field of the recognition camera 9. Specifically, FIG.
As shown in (A), the memory 910 stores information such as an operation, a component database, and component supply cassette array data. As shown in FIG. 11B, in the component database, information on the size (width w, thickness t, depth D) of each component, information on the electrodes of the component (size such as the number of poles, electrode width, position, etc.) ) Is stored. FIG.
As shown in (C), the component supply cassette array data includes continuous component supply cassette numbers, link information between component types corresponding to cassette numbers, link information between component types and model numbers, and the like. Here, the component type is, for example, 1005R (that is, the component size is 1.
0 mm × 0.5 mm resistance), 1608R (ie,
(A part size of 1.6 mm × 0.8 mm resistance). Therefore, for example, as shown in FIG.
The main controller 1000 acquires the suction component information on all the nozzles 10,..., 10 from the memory 910 (step S61).

【0076】次いで、メインコントローラ1000は、
メモリ910の上記リンク情報を参照しつつ、吸着部品
情報からカセット番号の特定を行う(ステップS6
2)。
Next, the main controller 1000
The cassette number is specified from the suction component information while referring to the link information in the memory 910 (step S6).
2).

【0077】次いで、メインコントローラ1000は、
メモリ910の上記リンク情報を参照しつつ、カセット
番号からの部品実装装置(設備)でのカセットの座標位
置の特定を行う(ステップS63)。
Next, the main controller 1000
The coordinate position of the cassette in the component mounting apparatus (equipment) is specified from the cassette number while referring to the link information in the memory 910 (step S63).

【0078】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりXYロボット5を駆動制御して、実装ヘッド4を吸
着位置へ移動させて、メインコントローラ1000によ
り、メモリ910内の情報(例えばノズルに吸着すべき
部品の厚み情報、カセットの部品吸着位置の情報など)
を基に吸着高さを計算する(ステップS64)。
Next, the XY robot 5 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to move the mounting head 4 to the suction position, and the information (for example, the nozzle Information on the thickness of the parts to be picked up in the cassette, information on the pick-up position of the parts in the cassette, etc.
Is calculated on the basis of (Step S64).

【0079】次いで、計算された吸着高さを基に、メイ
ンコントローラ1000、ヘッドコントローラ100
1、サーボドライバ1002によりノズル昇降装置26
を駆動制御して、各ノズル10を、計算された吸着高さ
まで下降させる(ステップS65)。
Next, based on the calculated suction height, the main controller 1000 and the head controller 100
1. Nozzle elevating device 26 by servo driver 1002
Is driven to lower each nozzle 10 to the calculated suction height (step S65).

【0080】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりバルブ90を駆動制御して、部品吸着動作を行わせ
る(ステップS66)。
Next, the valve 90 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to perform a component suction operation (step S66).

【0081】次いで、メインコントローラ1000によ
り、ノズル単位での吸着済み部品情報をメモリ910に
記憶させる(ステップS67)。
Next, the main controller 1000 causes the memory 910 to store the suctioned component information for each nozzle (step S67).

【0082】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりノズル昇降装置26を駆動制御して、各ノズル10
を高さ方向の原点位置まで上昇させる(ステップS6
8)。
Next, the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 drive and control the nozzle elevating device 26 to
Is raised to the origin position in the height direction (step S6).
8).

【0083】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりXYロボット5を駆動制御して、実装ヘッド4を認
識位置へ移動させる(ステップS69)。
Next, the XY robot 5 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to move the mounting head 4 to the recognition position (step S69).

【0084】次いで、メインコントローラ1000によ
り、メモリ910内の情報(例えばノズルに吸着されて
いる部品の厚み情報)を基に、各部品20の底面を一定
の高さH1に揃えるための、各ノズル10の認識高さを
計算する(ステップS70)。
Next, based on information in the memory 910 (for example, information on the thickness of the component adsorbed to the nozzle), the main controller 1000 controls each nozzle 20 to align the bottom surface of each component 20 to a fixed height H1. A recognition height of 10 is calculated (step S70).

【0085】次いで、計算された各ノズル10の認識高
さを基に、メインコントローラ1000、ヘッドコント
ローラ1001、サーボドライバ1002によりノズル
昇降装置26を駆動制御して、各ノズル10を高さ方向
の原点位置から上記認識高さまで下降させる(ステップ
S71)。このとき、図10に示すように、各ノズル1
0で吸着保持された各部品20の底面を一定の高さH1
に揃えることができる。
Next, based on the calculated recognition height of each nozzle 10, the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 drive and control the nozzle lifting / lowering device 26, thereby setting each nozzle 10 at the origin in the height direction. It is lowered from the position to the above recognition height (step S71). At this time, as shown in FIG.
The bottom surface of each component 20 sucked and held at 0 is fixed to a certain height H1.
Can be aligned.

【0086】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりXYロボット5を駆動制御して、実装ヘッド4を認
識カメラ9上を通過させて、認識動作を行わせる(ステ
ップS72)。
Next, the XY robot 5 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002, and the mounting head 4 is passed over the recognition camera 9 to perform a recognition operation (step S72).

【0087】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりノズル昇降装置26を駆動制御して、各ノズル10
を高さ方向の原点位置まで上昇させる(ステップS7
3)。
Next, the nozzle controller 26 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002, and each nozzle 10
Is raised to the origin position in the height direction (step S7).
3).

【0088】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりXYロボット5を駆動制御して、装着位置に移動さ
せる(ステップS74)。
Next, the XY robot 5 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to move to the mounting position (step S74).

【0089】次いで、メインコントローラ1000によ
り、メモリ910内の情報(例えばノズルに吸着すべき
部品の厚み情報、基板の厚み情報など)を基に装着下降
高さを計算する(ステップS75)。
Next, the main controller 1000 calculates the mounting lowering height based on the information in the memory 910 (for example, information on the thickness of a component to be sucked by a nozzle, information on the thickness of a board, etc.) (step S75).

【0090】次いで、計算された装着下降高さを基に、
メインコントローラ1000、ヘッドコントローラ10
01、サーボドライバ1002によりノズル昇降装置2
6を駆動制御して、装着すべきノズル10を、上記装着
下降高さまで下降させる(ステップS76)。
Next, based on the calculated mounting descent height,
Main controller 1000, head controller 10
01, the nozzle elevating device 2 by the servo driver 1002
6 is controlled to lower the nozzle 10 to be mounted to the mounting lowering height (step S76).

【0091】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりノズル昇降装置26を駆動制御して、装着すべきノ
ズル10を上記装着下降高さまで下降させて、一瞬、そ
の状態を維持させることにより、基板2に対する部品装
着動作を行う(ステップS77)。
Next, the nozzle controller 26 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to lower the nozzle 10 to be mounted to the mounting lowering height, and to maintain the state for a moment. Thereby, the component mounting operation on the substrate 2 is performed (step S77).

【0092】次いで、メインコントローラ1000、ヘ
ッドコントローラ1001、サーボドライバ1002に
よりノズル昇降装置26を駆動制御して、装着動作を行
ったノズル10を高さ方向の原点位置まで上昇させる
(ステップS78)。
Next, the nozzle controller 26 is driven and controlled by the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 to raise the nozzle 10 on which the mounting operation has been performed to the original position in the height direction (step S78).

【0093】次いで、実装ヘッド4の全てのノズル10
についての部品装着動作が行われたか否かをヘッドコン
トローラ1001、サーボドライバ1002によりチェ
ックして、まだ装着が行われていないノズル10につい
ての部品装着動作を行われるため、ステップS74に戻
る(ステップS79)。全てのノズル10についての部
品装着動作が終了すれば、ステップS61に戻る。
Next, all the nozzles 10 of the mounting head 4
The head controller 1001 and the servo driver 1002 check whether or not the component mounting operation has been performed on the nozzle 10, and the component mounting operation is performed on the nozzle 10 that has not been mounted yet, so the process returns to step S 74 (step S 79). ). Upon completion of the component mounting operation for all the nozzles 10, the process returns to step S61.

【0094】このようにすれば、認識時に、認識カメラ
9の被写界深度内に全ての部品の認識面例えば下面を入
れることができ、厚さの大きく異なる部品でも一括して
認識動作させることができる。これにより、被写界深度
内に入らなかったために認識できないなどの不具合を確
実に解消することができる。
In this way, at the time of recognition, the recognition surfaces, for example, the lower surfaces of all the components can be put within the depth of field of the recognition camera 9, and the recognition operation can be performed collectively even for components having greatly different thicknesses. Can be. As a result, it is possible to surely resolve a problem such as the inability to recognize the object because it did not enter the depth of field.

【0095】以下に、部品実装装置本体のメインコント
ローラ1000と各実装ヘッド4との間での通信、及
び、各実装ヘッド4でのヘッドコントローラ1001と
θ軸モータ25mと昇降用リニアモータ32とを制御す
る各サーボドライバ1002との間での制御動作及び構
成について説明する。
Hereinafter, communication between the main controller 1000 of the component mounting apparatus main body and each mounting head 4 and the head controller 1001 of each mounting head 4, the θ-axis motor 25m, and the linear motor 32 for elevation are described. The control operation and configuration between each servo driver 1002 to be controlled will be described.

【0096】この第1実施形態では、アクチュエータ数
の増加による部品実装装置本体と実装ヘッド4の間の配
線の増加の削減と、実装ヘッド4のモジュール化を実現
するために、従来、部品実装装置本体の制御ユニットに
搭載されているNCボード901によりコントロールさ
れていた実装ヘッドの各ノズルの上下及び回転動作の駆
動制御部を、ヘッドコントローラ1001とサーボドラ
イバ1002とし、それらを一体化して実装ヘッド4側
に搭載し、ヘッドコントローラ1001とメインコント
ローラ1000との間での通信はシリアルで行う方式を
採用するようにしている。このような方式を実現するた
めには、メインコントローラ1000とヘッドコントロ
ーラ1001との間の通信量を削減することが必要であ
り、そのため、非同期通信によるコマンド方式を採用し
ている。また、ヘッドコントローラ1001と各サーボ
ドライバ1002との間の通信は、同期通信で送信する
ようにして、ヘッドコントローラ1001から各サーボ
ドライバ1002間は、1対多の一斉送信することがで
きるようにしている。また、各サーボドライバ1002
からヘッドコントローラ1001との間は、通信経路を
時分割で切り替える1対1形式と割り込み通知を持たせ
るようにしている。このような全二重通信の方式で通信
を行うことにより、アクチュエータ数の増加すなわち多
軸化による通信量の増加に対応することができる。
In the first embodiment, in order to reduce the increase in the number of wirings between the component mounting apparatus main body and the mounting head 4 due to the increase in the number of actuators and to realize modularization of the mounting head 4, a conventional component mounting apparatus is used. A drive controller for up, down, and rotation operations of each nozzle of the mounting head, which is controlled by the NC board 901 mounted on the control unit of the main body, is a head controller 1001 and a servo driver 1002. The head controller 1001 and the main controller 1000 employ a serial communication method. In order to realize such a method, it is necessary to reduce the amount of communication between the main controller 1000 and the head controller 1001, and therefore, a command method using asynchronous communication is employed. In addition, the communication between the head controller 1001 and each servo driver 1002 is performed by synchronous communication so that the head controller 1001 can perform one-to-many simultaneous transmission between the servo drivers 1002. I have. In addition, each servo driver 1002
And the head controller 1001 are provided with a one-to-one format for switching the communication path in a time-division manner and an interrupt notification. By performing communication using such a full-duplex communication method, it is possible to cope with an increase in the number of actuators, that is, an increase in the amount of communication due to multi-axis.

【0097】上記した方式を、以下に、上記部品実装装
置での上記部品吸着装置15のノズル回転装置25のサ
ーボモータであるθ軸モータ25mとノズル昇降装置2
6の昇降用リニアモータ32とを制御する場合について
詳しく説明する。
The above-mentioned method will be described below. The θ-axis motor 25m serving as a servo motor of the nozzle rotating device 25 of the component suction device 15 in the component mounting device and the nozzle elevating device 2
The case of controlling the lifting linear motor 32 will be described in detail.

【0098】図13及び図14及び図16に示すよう
に、メインコントローラ1000すなわち設備制御用コ
ントローラ(MMC)は、部品実装装置本体に搭載され
ているのに対して、ヘッドコントローラ1001とサー
ボドライバ1002とθ軸モータ25mや昇降用リニア
モータ32などの各駆動制御すべき部材又は装置は、実
装ヘッド4に搭載されている。
As shown in FIGS. 13, 14 and 16, the main controller 1000, that is, the equipment control controller (MMC) is mounted on the component mounting apparatus main body, whereas the head controller 1001 and the servo driver 1002 are mounted. Each member or device to be drive-controlled, such as the θ-axis motor 25m and the lifting linear motor 32, is mounted on the mounting head 4.

【0099】メインコントローラ1000は、動作諸元
の設定の機能を有しており、例えば、駆動制御すべき部
材又は装置の移動距離、加速度、最高速度、速度指令波
形パターンを設定する。
The main controller 1000 has a function of setting operation specifications. For example, the main controller 1000 sets a moving distance, an acceleration, a maximum speed, and a speed command waveform pattern of a member or a device to be drive-controlled.

【0100】メインコントローラ1000とヘッドコン
トローラ1001とは、必要に応じて双方が送信側と受
信側にそれぞれ切り替わることができるシリアル接続で
接続されており、非同期で1対1の通信が行われるよう
になっている。
The main controller 1000 and the head controller 1001 are connected by a serial connection in which both can be switched to a transmission side and a reception side as necessary, so that one-to-one communication is performed asynchronously. Has become.

【0101】ここでの通信の通信量を削減するため、ま
ず、ノズル10の各軸を個別に指定する通信のみでな
く、全てのノズル10,…,10に対する全軸の一斉通
信が可能となるようにしている。また、各ノズル10は
動作速度及び加速度はそれぞれ例えば8種類の指定値か
ら選択できるようにするため、各ノズル10毎の速度及
び加速度の例えば8種類の指定値をヘッドコントローラ
1001へ予め送信しておき、ヘッドコントローラ10
01に接続されているメモリ1005にテーブルとして
記憶させておくようにしている。この結果、8種類の中
から選択された例えば1つの指定値のみを送信するだけ
で、所望の速度又は加速度で各ノズル10を動作させる
ことができる。さらに、ノズル10による吸着動作を指
令するコマンド、ノズル10による装着動作を指令する
コマンドを持つことにより、各動作での移動量と下死点
時間とを送るだけで、吸着と装着の一連の動作を実行で
きるようにしている。すなわち、例えば、ヘッドコント
ローラ1001に接続されているメモリ1005に、ノ
ズル10による吸着動作及びノズル10による装着動作
の情報を記憶させておき、メインコントローラ1000
からヘッドコントローラ1001に吸着動作動作指令コ
マンド又は装着動作指令コマンドが送信されてくれば、
メモリ1005から該当する動作の情報を読み出して、
移動量と下死点時間の情報に基き、サーボドライバ10
02に該当する動作を行わせるようにする。よって、例
えば、10本のノズル10,…,10で部品吸着を行う
ときには、10本のノズル10,…,10全てに対し
て、ノズル10による吸着動作を指令するコマンドと、
各ノズル10毎の吸着のための下降移動量と下死点時間
と、各ノズル10毎の昇降時の動作速度及び加速度の指
定値とを含む信号をメインコントローラ1000からヘ
ッドコントローラ1001に送信すればよい。また、例
えば、10本のノズル10,…,10のうちの第1番目
のノズル10−1で部品装着を行うときには、第1番目
のノズル10−1に対して、第1番目のノズル10−1
による装着動作を指令するコマンドと、第1番目のノズ
ル10−1の装着のための下降移動量と下死点時間と、
第1番目のノズル10−1の昇降時の動作速度及び加速
度の指定値とを含む信号をメインコントローラ1000
からヘッドコントローラ1001に送信すればよい。
In order to reduce the amount of communication here, first, not only communication for individually designating each axis of the nozzle 10 but also simultaneous communication for all axes to all the nozzles 10,. Like that. In addition, in order to enable the operation speed and acceleration of each nozzle 10 to be selected from, for example, eight kinds of designated values, for example, eight kinds of designated values of the speed and acceleration of each nozzle 10 are transmitted to the head controller 1001 in advance. Every, head controller 10
01 as a table. As a result, each nozzle 10 can be operated at a desired speed or acceleration only by transmitting, for example, only one designated value selected from the eight types. Further, by having a command for commanding a suction operation by the nozzle 10 and a command for commanding a mounting operation by the nozzle 10, a series of operations of suction and mounting can be performed simply by sending a movement amount and a bottom dead center time in each operation. To be able to run. That is, for example, information of the suction operation by the nozzle 10 and the mounting operation by the nozzle 10 are stored in the memory 1005 connected to the head controller 1001, and the main controller 1000
When a suction operation command or a mounting command is transmitted to the head controller 1001 from the
By reading the information of the corresponding operation from the memory 1005,
Based on the information of the movement amount and the bottom dead center time, the servo driver 10
02 is performed. Therefore, for example, when the component suction is performed by the ten nozzles 10,..., 10, a command instructing the suction operation by the nozzle 10 to all the ten nozzles 10,.
If a signal including the amount of downward movement for suction for each nozzle 10, the bottom dead center time, and the designated values of the operating speed and acceleration when moving up and down for each nozzle 10 is transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001. Good. Further, for example, when component mounting is performed by the first nozzle 10-1 of the ten nozzles 10,..., 10, the first nozzle 10-1 is replaced with the first nozzle 10-1. 1
A command for instructing the mounting operation by the following, a descending movement amount and a bottom dead center time for mounting the first nozzle 10-1,
The main controller 1000 sends a signal including the operation speed and the designated value of acceleration when the first nozzle 10-1 moves up and down.
May be transmitted to the head controller 1001.

【0102】ヘッドコントローラ1001は、単位時間
あたりの指令への変換機能を有しており、例えば、上位
であるメインコントローラ1000からの設定値を元
に、同期通信の時間あたりの移動量を計算し、各サーボ
ドライバ1002へ通信するようにしている。
The head controller 1001 has a function of converting commands into commands per unit time. For example, the head controller 1001 calculates the amount of movement per unit time of synchronous communication based on a set value from the main controller 1000, which is the higher order. , And communicates with each servo driver 1002.

【0103】ヘッドコントローラ1001とサーボドラ
イバ1002とはシリアル接続で接続されており、同期
通信で1対多の通信が行われるようになっている。
The head controller 1001 and the servo driver 1002 are connected by a serial connection, and one-to-many communication is performed by synchronous communication.

【0104】ここでの通信の通信応答性向上のために、
全二重通信の形式を用い、ヘッドコントローラ1001
から各サーボドライバ1002への通信と、各サーボド
ライバ1002からヘッドコントローラ1001への通
信を同時に行うようにしている。また、ヘッドコントロ
ーラ1001から各サーボドライバ1002への通信
は、ヘッドコントローラ1001からの通信が同時にす
べてのサーボドライバ1002,…,1002に対して
通信される1対多の通信を行っている。すなわち、全て
のサーボドライバ1002に対して同一のデータやコマ
ンドなどを通信するようにしている。このため、全ての
サーボドライバ1002は個々に異なるアドレスを持
ち、このアドレスと、送られてくるデータやコマンドな
どの順番が一致したもののみを各サーボドライバ100
2で取り込むようにする。これにより、サーボドライバ
1002の数が増加しても通信時間はほとんど変わるこ
とがない。これに対して、従来は、時分割で各サーボド
ライバ1002へデータや指示情報を通信していたた
め、サーボドライバ1002の数が増加すると通信時間
も比例して長くなるといった問題があった。このような
問題は、上記情報の一斉同時通信及びアドレスに基く取
捨選択により解消される。さらに、各サーボドライバ1
002からヘッドコントローラ1001へは、同期周期
を5等分し、アドレス1から順番に各分割した周期でデ
ータなどを送信する。
In order to improve the communication responsiveness of the communication here,
The head controller 1001 uses a full-duplex communication format.
To the respective servo drivers 1002 and communication from the respective servo drivers 1002 to the head controller 1001 at the same time. The communication from the head controller 1001 to each servo driver 1002 is one-to-many communication in which the communication from the head controller 1001 is simultaneously transmitted to all the servo drivers 1002,..., 1002. That is, the same data and command are communicated to all the servo drivers 1002. Therefore, all the servo drivers 1002 have individually different addresses, and only those addresses in which the order of the transmitted data, commands, and the like match each other are stored in each servo driver 1002.
Take in with 2. Thus, the communication time hardly changes even if the number of servo drivers 1002 increases. On the other hand, conventionally, data and instruction information are communicated to each of the servo drivers 1002 in a time-sharing manner. Therefore, there has been a problem that as the number of the servo drivers 1002 increases, the communication time increases in proportion. Such a problem is solved by simultaneous communication of the information and selection based on an address. Furthermore, each servo driver 1
From 002 to the head controller 1001, the synchronization cycle is divided into five equal parts, and data and the like are transmitted in the divided cycle in order from address 1.

【0105】上記したように構成することにより通信応
答性を向上させることができるため、サーボドライバ1
002の数が増加しても通信時間はほとんど変わること
がない。これに対して、従来は、時分割で各サーボドラ
イバ1002へデータや指示情報を通信していたため、
サーボドライバ1002の数が増加すると通信時間も比
例して長くなるといった問題があった。このような問題
は、上記情報の一斉同時通信及びアドレスに基く取捨選
択により解消される。
Since the communication responsiveness can be improved by the above configuration, the servo driver 1
Even if the number of 002 increases, the communication time hardly changes. On the other hand, conventionally, data and instruction information are communicated to each servo driver 1002 in a time sharing manner.
As the number of servo drivers 1002 increases, there is a problem that the communication time increases proportionately. Such a problem is solved by simultaneous communication of the information and selection based on an address.

【0106】サーボドライバ1002は、対応するサー
ボモータ(θ軸モータ25m)や昇降用リニアモータ3
2の位置制御機能を有しており、例えば、与えられた指
令とサーボモータのエンコーダ又は昇降用リニアモータ
32の昇降量検出センサなどからのフィードバック量と
の差を演算し、目標位置に一致するように、サーボモー
タのトルク又は昇降用リニアモータ32の昇降量を制御
する。
The servo driver 1002 includes a corresponding servo motor (θ-axis motor 25 m) and a linear motor 3
For example, a difference between a given command and a feedback amount from an encoder of a servomotor or an elevation sensor of an elevation linear motor 32 is calculated to match the target position. Thus, the torque of the servo motor or the amount of elevation of the linear motor 32 for elevation is controlled.

【0107】サーボドライバ1002と、θ軸モータ2
5mや昇降用リニアモータ32などの各駆動制御すべき
部材又は装置とは各種電気配線で接続されている。
Servo driver 1002 and θ-axis motor 2
Each member or device to be drive-controlled, such as the 5 m or the linear motor 32 for elevation, is connected by various electric wires.

【0108】このように、第1実施形態では、メインコ
ントローラ1000は部品実装装置本体に搭載されてい
るのに対して、ヘッドコントローラ1001とサーボド
ライバ1002とθ軸モータ25mや昇降用リニアモー
タ32などの各駆動制御すべき部材又は装置は、実装ヘ
ッド4に搭載されている。
As described above, in the first embodiment, the main controller 1000 is mounted on the main body of the component mounting apparatus, whereas the head controller 1001, the servo driver 1002, the θ-axis motor 25m, the linear motor 32 for elevating, etc. Each member or device to be driven and controlled is mounted on the mounting head 4.

【0109】これに対して、従来は、図15に示すよう
に、メインコントローラ900と、NCボード901
と、各サーボモータ903のサーボドライバ902と
は、部品実装装置本体の制御ユニットに搭載されてお
り、各サーボモータ903のみが図22の実装ヘッド3
07に搭載されている。メインコントローラ900は、
動作諸元の設定の機能を有しており、例えば、駆動制御
すべき部材又は装置の移動距離、加速度、最高速度、速
度指令波形パターンを設定している。メインコントロー
ラ900とNCボード901とは、バス接続で接続され
ており、非同期で1対1の通信が行われるようになって
いる。NCボード901は、単位時間あたりの指令への
変換機能を有しており、例えば、上位であるメインコン
トローラ900からの設定値を元に、同期通信の時間あ
たりの移動量を計算し、サーボドライバ902へ通信す
るようにしている。NCボード901とサーボドライバ
902とはシリアル接続で接続されており、同期通信で
1対多の通信が行われるようになっている。サーボドラ
イバ902は、対応するサーボモータ903(図22の
回転動作用モータ311や上下動用モータ312)の位
置制御機能を有しており、例えば、与えられた指令とサ
ーボモータ903のエンコーダからのフィードバック量
との差を演算し、目標位置に一致するように、サーボモ
ータ903のトルクを制御する。このような従来の構成
において、上記第1実施形態のように各ノズル10毎に
独立して、上下動作及び回転補正動作を実現するために
は、個々のノズル10毎にノズル回転装置25とノズル
昇降装置26とを搭載することになる。この結果、例え
ば図22の従来の実装ヘッド307の構成に比べて、ア
クチュエータが増加することになり、それを制御するサ
ーボドライバ902が増加することになる。すると、従
来は固定部分すなわち部品実装装置本体側にサーボドラ
イバ902を設置し、実装ヘッド307にはアクチュエ
ータ(サーボモータ903)のみ搭載していたが、同様
な構成では、サーボドライバ902とアクチュエータを
接続する配線が、例えば10個のノズルの場合には、従
来は、アクチュエータが1つの上下動用モータ312と
1つの回転動作用モータ311との2個になるためサー
ボドライバ902との間には合計2本の配線となるか、
又は、アクチュエータが1つの上下動用モータ312と
2つの回転動作用モータ(奇数番号のノズルの回転動作
用モータと偶数番号のノズルの回転動作用モータ)との
3個になるためサーボドライバ902との間には合計3
本の配線となる。これに対して、アクチュエータが10
個のノズルの10個の回転動作用モータと10個の上下
動用モータの合計20個になるためサーボドライバ90
2との間には合計20本の配線となる。よって、従来の
7倍から10倍の配線数となり、現実的には配線が不可
能となってしまう。また、サーボドライバの台数が7倍
から10倍となるため、設置面積が増加し、部品実装装
置内への収納が困難となってしまう。このような問題を
解決するため、上記第1実施形態では、サーボドライバ
1002を小型、軽量化し、かつ、実装ヘッド4に搭載
することによって解決しようとしている。
On the other hand, conventionally, as shown in FIG. 15, the main controller 900 and the NC board 901
The servo driver 902 of each servo motor 903 is mounted on the control unit of the component mounting apparatus main body, and only each servo motor 903 is mounted on the mounting head 3 shown in FIG.
07. The main controller 900
It has a function of setting operation parameters, and for example, sets the moving distance, acceleration, maximum speed, and speed command waveform pattern of a member or device to be drive-controlled. The main controller 900 and the NC board 901 are connected by a bus connection, and one-to-one communication is performed asynchronously. The NC board 901 has a function of converting commands into commands per unit time. For example, the NC board 901 calculates the amount of movement per unit time of synchronous communication based on a set value from the main controller 900, which is a higher-level device, and calculates a servo driver. 902. The NC board 901 and the servo driver 902 are connected by a serial connection, and one-to-many communication is performed by synchronous communication. The servo driver 902 has a position control function of the corresponding servo motor 903 (the rotation motor 311 and the vertical movement motor 312 in FIG. 22). For example, a given command and feedback from the encoder of the servo motor 903 are provided. The difference from the amount is calculated, and the torque of the servomotor 903 is controlled so as to match the target position. In such a conventional configuration, in order to realize the up-down operation and the rotation correction operation independently for each nozzle 10 as in the first embodiment, the nozzle rotating device 25 and the nozzle The lifting device 26 is mounted. As a result, as compared with the configuration of the conventional mounting head 307 shown in FIG. 22, for example, the number of actuators increases, and the number of servo drivers 902 for controlling the number of actuators increases. Then, conventionally, the servo driver 902 is installed on the fixed part, that is, the component mounting apparatus main body side, and only the actuator (servo motor 903) is mounted on the mounting head 307. However, in the same configuration, the servo driver 902 and the actuator are connected. In the case where the number of wirings to be provided is, for example, 10 nozzles, conventionally, there are two actuators, one vertical movement motor 312 and one rotary operation motor 311, so that a total of two actuators are provided between the servo driver 902. It will be a book wiring,
Alternatively, since there are three actuators, one vertical movement motor 312 and two rotation operation motors (an odd number nozzle rotation operation motor and an even number nozzle rotation operation motor), the servo driver 902 3 in total
It becomes a book wiring. On the other hand, if the actuator is 10
Servo driver 90 for 10 rotation operation motors of 10 nozzles and 10 vertical movement motors in total
2, there are a total of 20 wires. Therefore, the number of wirings becomes seven to ten times the number of wirings in the related art, and wiring becomes practically impossible. Further, since the number of servo drivers increases from 7 to 10 times, the installation area increases, and it becomes difficult to store the servo drivers in the component mounting apparatus. In order to solve such a problem, the first embodiment attempts to solve the problem by reducing the size and weight of the servo driver 1002 and mounting it on the mounting head 4.

【0110】すなわち、まず、アクチュエータ2台を1
台のサーボドライバ1002でコントロールするように
している。具体的には、θ軸モータ25mと昇降用リニ
アモータ32の2つのモータを1台のサーボドライバ1
002でコントロールするため、サーボドライバ100
2用のコントローラとして高速CPU1002aを搭載
することにより、1つのCPU1002aで2軸のアク
チュエータ用のサーボ演算を行うことができ、サーボド
ライバ1002を構成するコントローラ基板の実装面積
を削減してサーボドライバ1002の小型化を達成する
ことができるようにしている。また、ヘッドコントロー
ラ1001側では、従来のNCボード901と各サーボ
ドライバ902との間での1対多の通信ではなく、この
第1実施形態のメインコントローラ1000とヘッドコ
ントローラ1001との間での1対1の通信構成を実現
するため、ヘッドコントロールの機能にのみ特化したヘ
ッドコントローラ1001を実装ヘッド4に搭載するよ
うにしている。さらに、メインコントローラ1000と
ヘッドコントローラ1001とをシリアル通信で接続す
ることにより、電源ケーブルと通信ケーブルを各1本で
実現するようにしている。また、上記したように通信プ
ロトコルの確立、すなわち、通信量を削減するプロトコ
ルの実現を図ることにより、多軸制御をシリアル通信で
実現するようにしている。
That is, first, two actuators are set to 1
It is controlled by one servo driver 1002. Specifically, the two motors of the θ-axis motor 25m and the elevating linear motor 32 are connected to one servo driver 1
002, the servo driver 100
By mounting the high-speed CPU 1002a as a controller for two, servo calculation for a two-axis actuator can be performed by one CPU 1002a, and the mounting area of the controller board constituting the servo driver 1002 is reduced, and the servo driver 1002 The miniaturization can be achieved. On the head controller 1001 side, not one-to-many communication between the conventional NC board 901 and each servo driver 902, but one-to-one communication between the main controller 1000 and the head controller 1001 in the first embodiment. In order to realize a one-to-one communication configuration, a head controller 1001 specialized only for the head control function is mounted on the mounting head 4. Further, by connecting the main controller 1000 and the head controller 1001 by serial communication, one power cable and one communication cable are realized. Further, as described above, the multi-axis control is realized by serial communication by establishing a communication protocol, that is, realizing a protocol for reducing the amount of communication.

【0111】ここで、メインコントローラ1000から
ヘッドコントローラ1001へ送信する信号の一例とし
ては、例えば、実装ヘッド4が部品供給位置において1
0本のノズル10,…,10のうち選択されたノズル1
0のみを昇降させて部品吸着する場合について考える。
実装ヘッド4が部品供給位置に向って移動する最中に
は、10本のノズル10,…,10の10個のノズル回
転装置25,…,25のθ軸モータ25mと10個のノ
ズル昇降装置26,…,26の昇降用リニアモータ32
を制御するサーボドライバ1002,…,1002のう
ち選択すべきサーボドライバ1002に対する駆動量情
報を含む信号を、メインコントローラ1000からヘッ
ドコントローラ1001へ送信する。
Here, an example of a signal transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001 is, for example, that the mounting head 4 is one at the component supply position.
Nozzle 1 selected from 0 nozzles 10,..., 10
Consider a case in which only 0 is raised and lowered to suck a component.
While the mounting head 4 is moving toward the component supply position, the ten nozzle rotating devices 25,..., Ten nozzle rotating devices 25,. 26,..., 26 linear motors 32 for elevation
, 1002, the main controller 1000 transmits a signal including driving amount information to the servo driver 1002 to be selected from the main controller 1000 to the head controller 1001.

【0112】上記駆動量情報の一例としては、駆動量情
報を受取るべき選択されたサーボドライバ1002のア
ドレス情報と、そのアドレスでのサーボドライバ100
2により駆動されるノズル10の予め設計段階で決めら
れた下降量に相当する移動又は昇降距離設計情報と、上
記移動又は昇降距離設計情報から上記ノズル10での実
際の好ましい上記下降量を求めるための補正情報である
移動又は昇降距離補正情報と、上記駆動量情報の信号が
正確に受信されたことをチェックするためのチェック用
情報とを含む。よって、メインコントローラ1000か
ら上記駆動量情報信号を受取ったヘッドコントローラ1
001では、まず、上記駆動量情報の信号が正確に受信
されたことをチェックし、そのチェック結果をチェック
結果信号としてメインコントローラ1000に送信す
る。メインコントローラ1000では、ヘッドコントロ
ーラ1001で駆動量情報を含む信号が正しく受け取ら
れなかった場合には再度駆動量情報を含む信号をヘッド
コントローラ1001に送信してヘッドコントローラ1
001からのチェック結果信号を待つ。ヘッドコントロ
ーラ1001で駆動量情報を含む信号が正しく受け取ら
れた場合には、ヘッドコントローラ1001で、移動又
は昇降距離設計情報と移動又は昇降距離補正情報とより
実際の移動又は昇降距離情報を算出し、必要に応じて、
メモリ1005に一時的に記憶させる。
As an example of the drive amount information, the address information of the selected servo driver 1002 to receive the drive amount information and the servo driver 100 at that address.
In order to determine the actual preferred lowering amount of the nozzle 10 from the moving or raising and lowering distance design information corresponding to the predetermined lowering amount of the nozzle 10 driven by 2 and the moving or raising and lowering distance design information. , And the check information for checking that the signal of the drive amount information has been correctly received. Therefore, the head controller 1 receiving the drive amount information signal from the main controller 1000
In step 001, first, it is checked that the drive amount information signal has been correctly received, and the check result is transmitted to the main controller 1000 as a check result signal. In the main controller 1000, when the signal including the driving amount information is not correctly received by the head controller 1001, the signal including the driving amount information is transmitted to the head controller 1001 again, and the head controller 1
Wait for a check result signal from 001. When the signal including the driving amount information is correctly received by the head controller 1001, the head controller 1001 calculates the actual movement or elevating distance information from the moving or elevating distance design information and the moving or elevating distance correction information, If necessary,
The information is temporarily stored in the memory 1005.

【0113】一方、実装ヘッド4が部品供給位置に到着
した到着信号をメインコントローラ1000が受け取っ
た後には、動作開始信号を含む信号をメインコントロー
ラ1000からヘッドコントローラ1001へ送信す
る。上記動作開始情報の一例としては、動作開始すべき
サーボドライバ1002のアドレス情報と、そのアドレ
スでのサーボドライバ1002により駆動されるノズル
10の下降動作開始信号とを含む。
On the other hand, after the main controller 1000 receives an arrival signal indicating that the mounting head 4 has arrived at the component supply position, the main controller 1000 transmits a signal including an operation start signal to the head controller 1001. An example of the operation start information includes address information of the servo driver 1002 to start the operation and a descending operation start signal of the nozzle 10 driven by the servo driver 1002 at the address.

【0114】このように、ヘッドコントローラ1001
で動作開始信号を含む信号が受取られると、ヘッドコン
トローラ1001は、全てのサーボドライバ1002,
…,1002に対して、算出された実際の移動又は昇降
距離情報と、駆動量情報を受取るべきサーボドライバ1
002のアドレス情報を含むモータ用駆動量信号を全て
のサーボドライバ1002,…,1002に対して同時
に送信する。ヘッドコントローラ1001からの通信に
より、駆動量情報を受取るべきアドレスを有するサーボ
ドライバ1002のみが、実際の移動又は昇降距離情報
を受取り、直ちに、この実際の移動又は昇降距離情報に
基き昇降用リニアモータ32を駆動制御して、ノズル1
0を下降させて、部品吸着保持動作を行わせる。
Thus, the head controller 1001
When the head controller 1001 receives a signal including an operation start signal, the head controller 1001
, 1002, the servo driver 1 to receive the calculated actual movement or elevating distance information and the driving amount information
The motor drive amount signal including the address information 002 is simultaneously transmitted to all the servo drivers 1002,..., 1002. According to the communication from the head controller 1001, only the servo driver 1002 having the address to receive the driving amount information receives the actual moving or elevating distance information, and immediately, based on the actual moving or elevating distance information, the linear motor 32 for elevating. To drive the nozzle 1
By lowering 0, a component suction holding operation is performed.

【0115】なお、10本のノズル10,…,10を一
斉に下降させて吸着動作させる場合には、全てのサーボ
ドライバ1002,…,1002に対してそれぞれの駆
動量情報と一斉の動作開始信号とをメインコントローラ
1000からヘッドコントローラ1001に送信し、ヘ
ッドコントローラ1001から全てのサーボドライバ1
002,…,1002に対して、各サーボドライバ10
02毎の実際の移動又は昇降距離情報を含む信号を一斉
に送信して、各サーボドライバ1002毎にノズル10
を同時的に下降させるように制御する。
When the ten nozzles 10,..., 10 are lowered simultaneously to perform the suction operation, all the servo drivers 1002,. Is transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001, and all the servo drivers 1 are transmitted from the head controller 1001.
,..., 1002, each servo driver 10
02 at the same time, a signal including the actual movement or ascending and descending distance information for each servo driver 1002.
Are controlled to be lowered simultaneously.

【0116】上記吸着動作以外の他の動作(例えば、認
識動作、装着動作など)においても、同様に、動作すべ
き部材又は装置がその動作位置に位置するまでに、上記
動作すべき部材又は装置を駆動制御すべきサーボドライ
バ1002に関する駆動量情報を、メインコントローラ
1000からヘッドコントローラ1001に送信し、実
際の移動又は昇降距離情報をヘッドコントローラ100
1で算出して動作開始信号を待つ。動作すべき部材又は
装置がその動作位置に位置するか、又は、その動作位置
に接近すると、動作開始信号がメインコントローラ10
00からヘッドコントローラ1001に送信され、ヘッ
ドコントローラ1001が全てのサーボドライバ100
2,…,1002に対して、上記駆動制御すべきサーボ
ドライバ1002のアドレスと実際の移動又は昇降距離
情報を送信して、上記駆動制御すべきサーボドライバ1
002における駆動制御を行わせるようにしている。
In other operations (for example, recognition operation, mounting operation, etc.) other than the above-mentioned suction operation, similarly, the member or device to be operated is not moved until the member or device to be operated is located at the operation position. Is transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001 and the actual movement or vertical distance information is transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001.
Calculate in step 1 and wait for an operation start signal. When a member or device to be operated is located at or near the operating position, an operation start signal is output to the main controller 10.
00 to the head controller 1001 so that the head controller 1001
, 1002, the address of the servo driver 1002 to be drive-controlled and the actual movement or elevation distance information are transmitted to the servo driver 1 to be drive-controlled.
The drive control in 002 is performed.

【0117】このように、通信時の信号を駆動量情報を
含む信号と、動作開始情報を含む信号とに区分けして、
それぞれ、適切なタイミングで信号を送信又は受信する
ことにより、両者を同時に通信する場合と比べて、信号
の伝達量を大略3分の1まで削減することができる。
As described above, the signal at the time of communication is divided into a signal including drive amount information and a signal including operation start information.
By transmitting or receiving a signal at an appropriate timing, respectively, the amount of signal transmission can be reduced to about one-third as compared with the case where both are simultaneously communicated.

【0118】一方、ヘッドコントローラ1001からメ
インコントローラ1000への通信は、上記チェック結
果信号以外に、各サーボドライバ1002のアドレス情
報と、各サーボドライバ1002により駆動制御されて
いる部材又は装置の現在の位置に関する現在位置情報
と、及び、上記部材又は装置の状態情報(例えば、バル
ブのオンオフ情報、過負荷による停止などのエラー情
報、電流情報など)とが送られる。
On the other hand, the communication from the head controller 1001 to the main controller 1000 includes, in addition to the above-mentioned check result signal, address information of each servo driver 1002 and the current position of a member or apparatus which is driven and controlled by each servo driver 1002. The current position information and the status information of the member or the device (for example, information on valve on / off, error information such as stop due to overload, current information, etc.) are sent.

【0119】なお、図16において、1002aはサー
ボドライバ用CPU、90はサーボドライバ用CPU1
002aにより駆動制御されるノズル10の吸引又は排
気(ブロー)動作のオンオフを行うバルブ、91はサー
ボドライバ用CPU1002aに入力される昇降用リニ
アモータ32の位置検出器からの信号のインターフェー
ス、92はサーボドライバ用CPU1002aに入力さ
れるθ軸モータ25mのエンコーダからの信号のインタ
ーフェースである。93はサーボドライバ用CPU10
02aから昇降用リニアモータ32への駆動制御電流を
増幅するためのアンプ、94はサーボドライバ用CPU
1002aからθ軸モータ25mへの駆動制御電流を増
幅するためのアンプ、95はシリアルインターフェー
ス、96は割り込みインターフェース、97はヘッドコ
ントローラ1001のCPU、99は電源部、98は電
源部99のDCDCコンバータである。
In FIG. 16, reference numeral 1002a denotes a servo driver CPU, and 90 denotes a servo driver CPU1.
A valve for turning on / off the suction or exhaust (blow) operation of the nozzle 10 driven and controlled by 002a, 91 is an interface of a signal from a position detector of the linear motor 32 for elevation inputted to the CPU 1002a for the servo driver, and 92 is a servo. This is an interface for a signal from the encoder of the θ-axis motor 25m input to the driver CPU 1002a. 93 is a servo driver CPU 10
An amplifier for amplifying a drive control current from the motor 02a to the linear motor 32 for raising and lowering. 94 is a servo driver CPU.
An amplifier for amplifying the drive control current from 1002a to the θ-axis motor 25m, 95 is a serial interface, 96 is an interrupt interface, 97 is a CPU of the head controller 1001, 99 is a power supply unit, and 98 is a DCDC converter of a power supply unit 99. is there.

【0120】上記第1実施形態によれば、部品20を吸
着したノズル10をノズル回転装置25により所望の角
度まで任意のタイミングで回転させることができるとと
もに、ノズル10をノズル昇降装置26により所望の高
さまで任意のタイミングで昇降させることができる。従
って、複数の部品吸着装置15,…,15を備える実装
ヘッド4では、全てのノズル回転装置25,…,25を
同じタイミングで駆動制御することにより、全てのノズ
ル10,…,10を同じタイミングでそれぞれの所望の
角度まで回転させることができる。よって、部品吸着
後、認識前に、特に、部品吸着位置から認識位置への移
動中でも、それぞれのノズル10において部品20を装
着姿勢角度まで各ノズル回転装置25の駆動により回転
させることができる。この結果、装着直前に、装着姿勢
角度まで大きく回転させる必要がなくなり、回転動作時
間を短縮することができ、全体として実装タクトを短縮
することができる。
According to the first embodiment, the nozzle 10 sucking the component 20 can be rotated at an arbitrary timing to a desired angle by the nozzle rotating device 25 and the nozzle 10 can be rotated by the nozzle elevating device 26 to the desired angle. It can be raised and lowered at any timing to the height. Therefore, in the mounting head 4 including the plurality of component suction devices 15,..., 15, all the nozzle rotating devices 25,. Can be rotated to the respective desired angles. Therefore, after the components are suctioned and before the recognition, particularly during the movement from the component suction position to the recognition position, the components 20 can be rotated by the respective nozzle rotating devices 25 in the respective nozzles 10 to the mounting posture angle. As a result, it is not necessary to make a large rotation to the mounting posture angle immediately before mounting, so that the rotation operation time can be shortened and the mounting tact can be shortened as a whole.

【0121】また、装着前に、各ノズル10を一斉にそ
れぞれの補正角度まで各ノズル回転装置25の駆動によ
り回転させることができ、各装着直前に逐一補正角度ま
で回転させる必要がなくなり、実装タクトを短縮させる
ことができる。
Further, before mounting, each nozzle 10 can be simultaneously rotated to the respective correction angle by driving each nozzle rotating device 25, so that it is not necessary to rotate the nozzles 10 to the correction angle immediately before each mounting. Can be shortened.

【0122】また、各ノズル回転装置25と各ノズル昇
降装置26とが個別に独立して駆動制御できるため、1
つのノズル10で例えば下降して部品吸着動作又は部品
装着動作を行っているときに、他のノズル10では吸着
保持した部品の回転動作を行うことができ、複数のノズ
ル10,…,10で異なる動作を同時的に行うことがで
きるため、実装タクトの短縮化を図ることができる。
Further, since each nozzle rotating device 25 and each nozzle elevating device 26 can be individually and independently driven and controlled, 1
For example, when one of the nozzles 10 performs a component suction operation or a component mounting operation by descending, the other nozzle 10 can perform a rotation operation of the component held by suction, and the plurality of nozzles 10,... Since the operations can be performed simultaneously, the mounting tact can be shortened.

【0123】また、上記ノズル昇降装置26を上記ノズ
ル回転装置25の下方に配置する場合には、上記ノズル
回転装置25の回転駆動により上記ノズル昇降装置26
が上記ノズル10とともに回転してしまい、上記ノズル
昇降装置26の配線などの構造が複雑化することになる
が、上記第1実施形態では、上記ノズル昇降装置26を
上記ノズル回転装置25の上方に配置しているため、上
記ノズル回転装置25の回転駆動により上記ノズル昇降
装置26が上記ノズル10とともに回転することがな
く、上記したような問題も発生することがない。
When the nozzle elevating device 26 is disposed below the nozzle rotating device 25, the nozzle elevating device 26 is driven by the rotation of the nozzle rotating device 25.
Is rotated together with the nozzle 10, which complicates the structure such as wiring of the nozzle elevating device 26. However, in the first embodiment, the nozzle elevating device 26 is placed above the nozzle rotating device 25. Because of the arrangement, the nozzle elevating device 26 does not rotate with the nozzle 10 due to the rotational driving of the nozzle rotating device 25, and the above-described problem does not occur.

【0124】より詳しくは、従来の課題との比較で、以
下のような優れた作用効果を奏することができる。
More specifically, the following excellent operational effects can be obtained in comparison with the conventional problems.

【0125】まず、図22のような実装ヘッド307に
おける従来の課題としては、以下のような課題がある。
First, as a conventional problem in the mounting head 307 as shown in FIG. 22, there are the following problems.

【0126】モータ312又は311の負荷率が高
い、すなわち、複数のノズル304,…,304を1個
のモータ312又は311で動作させるため、モータ3
12又は311の動作頻度が高く、かつ、高出力のモー
タが必要となる。
Since the load ratio of the motor 312 or 311 is high, that is, the plurality of nozzles 304,..., 304 are operated by one motor 312 or 311,
The motor 12 or 311 has a high operation frequency and requires a high output motor.

【0127】スループット向上が困難である。すなわ
ち、の課題により、ノズル304の動作速度、加速度
を向上させ、装着タクト(スループット)を向上させよ
うとすると、モータ312又は311の大型化(高出力
化)を伴うことになり、実装ヘッド307の寸法及び質
量が増すことになり、実装ヘッド307を動作させるX
Yロボットなどの他の駆動装置の負荷が増えるととも
に、多ヘッドの構成がとれないことになる。
It is difficult to improve the throughput. That is, if the operation speed and acceleration of the nozzle 304 are improved to improve the mounting tact (throughput) due to the problem described above, the motor 312 or 311 will be increased in size (increased output), and the mounting head 307 will be increased. Is increased, and the X that operates the mounting head 307 is increased.
The load on other driving devices such as the Y robot increases, and a multi-head configuration cannot be obtained.

【0128】装着精度が悪い、すなわち、部品の向き
により、大きな補正角動作が要求される場合(例えば、
部品供給位置での部品の姿勢に対して装着姿勢角度が例
えば90°又は180°回転させた位置である場合)、
精度が悪くなる。例えば、従来の装着動作は、まず、部
品吸着を行い、次いで、認識位置へ移動して認識を行
い、次いで、装着位置へ移動して装着姿勢角度までの回
転動作と認識結果に基く回転補正動作とを行い、最後に
装着動作を行っている。このような動作では、認識後に
しか、装着姿勢角度(例えば90°又は180°)まで
の回転動作ができない。これは、多ノズル304,…,
304を1つの回転用モータ311で動作させるため、
認識前に180°,0°,90°等の回転動作を入れる
と、スループットが落ちるためである。また、ノズル3
04の偏心、歪み(図17(B)参照)、熱変形等の影
響がある場合、ノズル304の回転角度が大きければ、
その分だけ誤差が大きく出るといった別の課題もある。
When the mounting accuracy is poor, that is, when a large correction angle operation is required depending on the direction of the component (for example,
When the mounting posture angle is, for example, a position rotated by 90 ° or 180 ° with respect to the posture of the component at the component supply position),
Accuracy deteriorates. For example, in the conventional mounting operation, first, the component is sucked, then moved to the recognition position to perform recognition, and then moved to the mounting position and rotated to the mounting posture angle, and the rotation correction operation based on the recognition result. And finally, the mounting operation is performed. In such an operation, the rotation operation up to the mounting posture angle (for example, 90 ° or 180 °) can be performed only after recognition. This is a multi-nozzle 304, ...,
304 is operated by one rotation motor 311,
This is because, if a rotation operation of 180 °, 0 °, 90 °, etc. is performed before the recognition, the throughput decreases. In addition, nozzle 3
When there is an influence of eccentricity, distortion (see FIG. 17B), thermal deformation, etc. of the nozzle 04, if the rotation angle of the nozzle 304 is large,
There is another problem that the error is large.

【0129】部品厚みの異なる部品の一括吸着が困難
となる。すなわち、多ノズル304,…,304を同一
の上下用モータ312で上下させるため、図17(A)
に示すように吸着高さをノズル304ごとに調整するこ
とが不可能である。このため、図22及び図18に示す
ように、ノズル304毎に備えられたバネ360を部品
320の厚み差分だけ縮ませることにより部品320の
厚み差を吸収してノズル304の位置を調整するように
している。しかしながら、バネ360により部品320
へ作用する力にも限界があり、部品厚み差が大きいと対
応できない。また、部品厚みに応じた制御(荷重コント
ロール)ができないとともに、図17(A)に示すよう
に、部品認識時に認識高さH01が合わせられない。
It becomes difficult to collectively pick up components having different component thicknesses. That is, since the multiple nozzles 304,..., 304 are moved up and down by the same vertical motor 312, FIG.
It is impossible to adjust the suction height for each nozzle 304 as shown in FIG. For this reason, as shown in FIGS. 22 and 18, the position of the nozzle 304 is adjusted by absorbing the thickness difference of the component 320 by contracting the spring 360 provided for each nozzle 304 by the thickness difference of the component 320. I have to. However, due to the spring 360, the component 320
There is a limit to the force acting on the part, and it is not possible to cope with a large part thickness difference. In addition, control (load control) cannot be performed according to the component thickness, and the recognition height H01 cannot be adjusted at the time of component recognition, as shown in FIG.

【0130】例えば、90°,180°など回転角度
が大きいと、認識後に回転動作させる場合、実装動作全
体として、スループットが低下する。
For example, if the rotation angle is large, such as 90 ° or 180 °, if the rotation operation is performed after the recognition, the throughput decreases as a whole mounting operation.

【0131】このような従来の様々な課題に対して、上
記第1実施形態では、以下のように全て解決することが
できる。
In the first embodiment, all of the various conventional problems as described above can be solved as follows.

【0132】すなわち、各吸着ノズル10毎に、上下動
作と回転補正がそれぞれ可能なアクチュエータ、すなわ
ち、ノズル昇降装置26とノズル回転装置25を備える
ようにしたので、1つのアクチュエータに対する負荷を
軽減させることができ、このようなアクチュエータを搭
載した実装ヘッド4は、モータが大型化することなく、
動作加速度の向上を果たすことができる。この結果、ス
ループットの向上を図ることができて、上記従来の課題
、を解決することができる。
That is, an actuator capable of vertical movement and rotation correction, that is, a nozzle elevating device 26 and a nozzle rotating device 25 is provided for each suction nozzle 10, so that the load on one actuator can be reduced. The mounting head 4 equipped with such an actuator can be used without increasing the size of the motor.
It is possible to achieve an improvement in the operation acceleration. As a result, the throughput can be improved, and the above-mentioned conventional problem can be solved.

【0133】また、各ノズル10が、それぞれのノズル
回転装置25により、それぞれ独立して任意のタイミン
グでθ軸回りに回転動作を行うことができるため、部品
供給位置での部品の姿勢角度に対して装着姿勢角度が9
0°や180°など大きく異なるような部品の場合で
も、ノズル10で部品を吸着保持したのち部品の認識を
行なう前に、ノズル回転装置25を駆動して装着姿勢角
度まで予め回転させておくことができる。この結果、部
品認識前には、全ての部品が装着姿勢角度に位置してい
るため、認識後の補正のための回転量が少なくなり、そ
の分だけ、高精度で装着姿勢角度に合わせることができ
る。
Further, since each nozzle 10 can independently rotate around the θ axis at an arbitrary timing by the respective nozzle rotating devices 25, the nozzle 10 can be rotated with respect to the attitude angle of the component at the component supply position. Wearing posture angle is 9
Even in the case of components that are significantly different, such as 0 ° and 180 °, the nozzle rotating device 25 should be driven to rotate the nozzle 10 in advance to the mounting posture angle after the components are sucked and held by the nozzle 10 and before the components are recognized. Can be. As a result, since all the components are located at the mounting posture angle before the component recognition, the rotation amount for the correction after the recognition is reduced, and the mounting posture angle can be adjusted with high accuracy by that much. it can.

【0134】また、ノズル10の熱変化などから発生す
る歪み(図17(B)の実線のノズル304と点線のノ
ズル304との差を参照)の影響を最小限にとどめるこ
とができて、装着精度の向上を図ることができる。すな
わち、ノズル10が熱などの影響を受けていないとき、
図23(A)に示すように、認識カメラ9の四角形の画
像9iの中心9pとノズル10の中心10pが一致して
XY座標の〔Xn,Yn〕の位置に位置しており、ノズ
ル10の中心10pに対してノズル10に吸着された直
方体の部品20の中心20cがずれてXY座標の〔X
p,Yp〕の位置に位置しているとする。この状態で、
ノズル10をノズル軸芯回りにθ=45度回転させる
と、ノズル10に吸着された部品20の中心20cがX
Y座標の〔Xp’,Yp’〕の位置に位置すると仮定す
る。このとき、45度回転させたのちの部品20の中心
20cのXY座標の〔Xp’,Yp’〕は次のような
(数1)の式で求められる。
Further, the influence of distortion (see the difference between the solid line nozzle 304 and the dotted line nozzle 304 in FIG. 17B) generated due to the thermal change of the nozzle 10 can be minimized, Accuracy can be improved. That is, when the nozzle 10 is not affected by heat or the like,
As shown in FIG. 23A, the center 9p of the square image 9i of the recognition camera 9 and the center 10p of the nozzle 10 coincide with each other and are located at the position of [Xn, Yn] of the XY coordinates. The center 20c of the rectangular parallelepiped component 20 adsorbed by the nozzle 10 is displaced from the center 10p so that [X
p, Yp]. In this state,
When the nozzle 10 is rotated around the nozzle axis by θ = 45 degrees, the center 20 c of the component 20 adsorbed by the nozzle 10 becomes X
Assume that it is located at the position [Xp ', Yp'] of the Y coordinate. At this time, [Xp ′, Yp ′] of the XY coordinates of the center 20 c of the component 20 after being rotated by 45 degrees is obtained by the following equation (Equation 1).

【0135】[0135]

【数1】 (Equation 1)

【0136】次に、ノズル10が熱などの影響を受けた
とき、図23(B)に示すように、認識カメラ9の四角
形の画像9iの中心9pとノズル10の中心10pが一
致せずに、画像9iの中心9pのXY座標の〔Xn,Y
n〕の位置に対して、熱などの影響によりノズル10が
歪んでノズル10の中心10pはXY座標の〔Xn’,
Yn’〕の位置にずれて位置するとする。そして、ノズ
ル10の中心10pに対して、ノズル10に吸着された
直方体の部品20の中心20cがXY座標の〔Xp,Y
p〕の位置に位置しているとする。この状態で、ノズル
10をノズル軸芯回りにθ=45度回転させると、熱の
影響が無い場合には図23(A)と同様にノズル10に
吸着された部品20の中心20cがXY座標の〔X
p’,Yp’〕の位置に位置するはずである。しかしな
がら、実際にはノズル10に熱の影響があるため、実際
のノズル10の回転中心10pのXY座標が〔Xn,Y
n〕から〔Xn’,Yn’〕にずれているため、実際の
ノズル10の回転中心10pのXY座標〔Xn’,Y
n’〕に対する、計算上の部品20の中心20cの位置
のXY座標〔Xp’,Yp’〕は(数2)の式で求めら
れる。
Next, when the nozzle 10 is affected by heat or the like, the center 9p of the square image 9i of the recognition camera 9 and the center 10p of the nozzle 10 do not match as shown in FIG. , The XY coordinates of the center 9p of the image 9i [Xn, Y
n], the nozzle 10 is distorted due to the influence of heat or the like, and the center 10p of the nozzle 10 is positioned at the [Xn ′,
Yn ']. Then, the center 20c of the rectangular parallelepiped component 20 adsorbed by the nozzle 10 is set to the center 10p of the nozzle 10 by [Xp, Y
p]. In this state, when the nozzle 10 is rotated around the axis of the nozzle by θ = 45 degrees, when there is no influence of heat, the center 20c of the component 20 adsorbed to the nozzle 10 is moved to the XY coordinates as in FIG. [X
p ', Yp']. However, since the nozzle 10 is actually affected by heat, the XY coordinate of the actual rotation center 10p of the nozzle 10 is [Xn, Y
n] to [Xn ′, Yn ′], the XY coordinates [Xn ′, Y] of the actual rotation center 10p of the nozzle 10
The XY coordinates [Xp ', Yp'] of the calculated position of the center 20c of the component 20 with respect to n '] can be obtained by the equation (2).

【0137】[0137]

【数2】 (Equation 2)

【0138】また、計算上の回転中心位置、すなわち、
画像9iの中心9pをXY座標の〔Xn,Yn〕とする
とき、実際上の部品中心20cの位置のXY座標〔Xp
_r’,Yp_r’〕は(数3)の式で求められる。
The calculated rotation center position, that is,
When the center 9p of the image 9i is set to [Xn, Yn] of the XY coordinates, the XY coordinates [Xp of the actual position of the component center 20c are set.
_R ', Yp_r'] is obtained by the equation (Equation 3).

【0139】[0139]

【数3】 (Equation 3)

【0140】よって、計算上の部品20の中心20cの
位置のXY座標と実際上の部品中心20cの位置のXY
座標とのずれが装着位置ずれとなり、この装着位置ずれ
は(数2)及び(数3)の式より、(数4)の式で求め
られる。
Accordingly, the XY coordinates of the calculated position of the center 20c of the component 20 and the XY coordinates of the actual position of the component center 20c
The deviation from the coordinates is the mounting position deviation, and this mounting position deviation is obtained from the equations (2) and (3) by the equation (4).

【0141】[0141]

【数4】 (Equation 4)

【0142】この(数4)の式において、ノズル10を
回転させないとき、すなわち、回転角度θ=0では誤差
ゼロとなり、装着位置ずれがなくなる。これに対して、
ノズル10を回転させるとき、すなわち、回転角度θ≠
0では誤差が発生することになり、回転角度θが小さい
ほど誤差が小さくなる。よって、認識前にノズル10を
回転させて部品20を装着姿勢角度まで回転させて認識
させたのち、認識後の補正分だけ回転させれば回転角度
を小さくすることができて、熱などの影響による誤差を
少なくすることができる。
In the equation (Equation 4), when the nozzle 10 is not rotated, that is, when the rotation angle θ = 0, the error becomes zero, and the mounting position shift does not occur. On the contrary,
When the nozzle 10 is rotated, that is, the rotation angle θ ≠
At 0, an error occurs, and the smaller the rotation angle θ, the smaller the error. Therefore, before the recognition, the component 10 is rotated to the mounting posture angle by rotating the nozzle 10 to perform the recognition, and the rotation angle can be reduced if the component 20 is rotated by the correction amount after the recognition, so that the influence of heat or the like can be reduced. Can be reduced.

【0143】よって、上記従来の課題を解決すること
ができる。
Therefore, the above-mentioned conventional problem can be solved.

【0144】また、メモリ910に記憶されているノズ
ル10と該ノズル10に吸着すべき部品の厚みの情報を
基に、メインコントローラ1000、ヘッドコントロー
ラ1001、サーボドライバ1002の制御により、各
ノズル10毎に吸着すべき部品の厚みを考慮してノズル
昇降装置26による各ノズル10の昇降量を調整するこ
とにより、部品厚みが大きく異なる場合でも、複数のノ
ズル10,…,10による複数の部品20,…,20の
一括吸着を行っても、部品20,…,20にダメージを
与えることが無い。また、メモリ910に記憶されてい
るノズル10と該ノズル10に吸着すべき部品の厚みの
情報を基に、メインコントローラ1000、ヘッドコン
トローラ1001、サーボドライバ1002の制御によ
り、各ノズル10毎に吸着した部品の下面の高さを一定
高さに揃えたり、一定範囲内に入るようにノズル昇降装
置26で各ノズル10の昇降量を調整することにより、
高さの大きく異なる部品の一括認識が可能となる。よっ
て、上記従来の課題を解決することができる。
The control of the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002 based on the information on the nozzles 10 stored in the memory 910 and the thicknesses of the parts to be sucked by the nozzles 10 allows the respective nozzles 10 to be controlled. By adjusting the amount of elevation of each nozzle 10 by the nozzle elevating device 26 in consideration of the thickness of the component to be sucked, the plurality of components 20 by the plurality of nozzles 10,. , 20 do not damage the components 20,..., 20. Further, based on the information on the nozzles 10 and the thickness of the parts to be sucked by the nozzles 10 stored in the memory 910, the suction is performed for each nozzle 10 under the control of the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002. By adjusting the height of each nozzle 10 with the nozzle elevating device 26 so that the height of the lower surface of the part is made uniform to a certain height or within a certain range,
Collective recognition of parts having greatly different heights becomes possible. Therefore, the above-mentioned conventional problem can be solved.

【0145】また、メインコントローラ1000、ヘッ
ドコントローラ1001、サーボドライバ1002の制
御によりθ軸モータ25mを駆動制御する結果、各ノズ
ル10がそれぞれ独立して任意のタイミングでθ軸回り
に回転動作を行うことができるため、部品供給位置での
部品20の姿勢角度に対して装着姿勢角度が90°や1
80°など大きく異なるような部品20の場合でも、ノ
ズル10で部品20を吸着保持したのち部品20の認識
を行なう前に、ノズル回転装置25を駆動して装着姿勢
角度まで予め回転させておくことにより、認識後でかつ
装着前に回転動作を行う場合と比較して、実装タクトの
低下を防止することができる。よって、上記従来の課題
を解決することができる。
Further, as a result of controlling the drive of the θ-axis motor 25m under the control of the main controller 1000, the head controller 1001, and the servo driver 1002, each nozzle 10 independently rotates around the θ-axis at an arbitrary timing. The mounting posture angle is 90 ° or 1 ° with respect to the posture angle of the component 20 at the component supply position.
Even if the component 20 has a large difference such as 80 °, the nozzle 20 is driven to rotate the nozzle 20 in advance to the mounting posture angle after the component 20 is sucked and held by the nozzle 10 and before the component 20 is recognized. Accordingly, it is possible to prevent a reduction in mounting tact as compared with a case where a rotating operation is performed after recognition and before mounting. Therefore, the above-mentioned conventional problem can be solved.

【0146】また、各部品吸着装置15において、吸着
ノズル10のノズル回転装置25とノズル昇降装置26
を同一ユニットで構成するにあたり、ノズル回転装置2
5のθ軸モータ25mをノズル昇降装置26の昇降用モ
ータであるリニアモータ32の下部に配置し、θ軸モー
タ25mの中心線をリニアモータ32の発生推力中心へ
配置するようにしたので、上下動作時に不要なモーメン
トの発生を防止し、上下動作による振れを防止すること
ができる。
In each component suction device 15, the nozzle rotating device 25 of the suction nozzle 10 and the nozzle elevating device 26
In the same unit, the nozzle rotating device 2
5, the θ-axis motor 25m is arranged below the linear motor 32, which is the elevating motor of the nozzle elevating device 26, and the center line of the θ-axis motor 25m is arranged at the center of the thrust generated by the linear motor 32. Unnecessary moments can be prevented from occurring during operation, and run-out due to vertical movement can be prevented.

【0147】また、上記ノズル昇降装置26は、磁気回
路構成部材26aと機構構成材26bを分割する構造と
し、磁気回路構成部材26aのみを鉄鋼材から構成し、
機構構成材26bをアルミ合金等から構成するように材
料を分けて組み合わせることができて、軽量薄型化を実
現することができる。
The above-mentioned nozzle elevating device 26 has a structure in which the magnetic circuit component 26a and the mechanism component 26b are divided, and only the magnetic circuit component 26a is made of steel.
The materials can be divided and combined so that the mechanism component 26b is made of an aluminum alloy or the like, and the weight and thickness can be reduced.

【0148】また、メインコントローラ1000は部品
実装装置本体に備える一方、ヘッドコントローラ100
1とサーボドライバ1002とを実装ヘッド4側に搭載
し、メインコントローラ1000からヘッドコントロー
ラ1001を経てサーボドライバ1002への通信にお
いては、サーボドライバ1002のアドレスとともに駆
動量の情報を通信することにより、全てのノズル10,
…,10のサーボドライバ1002,…,1002に対
して同一の一斉通信を行うことができる。各サーボドラ
イバ1002側では、自己のアドレスに一致する情報の
みを取り込み、他の情報は無視することにより、何ら誤
作動なく、それぞれのモータ32,25mを駆動制御す
ることができ、個々のサーボドライバ902毎に通信を
行う場合と比較して通信量及び通信時間を削減すること
ができる。
The main controller 1000 is provided in the main body of the component mounting apparatus.
1 and the servo driver 1002 are mounted on the mounting head 4 side, and in the communication from the main controller 1000 to the servo driver 1002 via the head controller 1001, the information of the driving amount is transmitted together with the address of the servo driver 1002. Nozzle 10,
,.., 1002 can perform the same simultaneous communication. Each servo driver 1002 can control only the motors 32 and 25m without malfunction by fetching only the information that matches the own address and ignoring the other information. The communication volume and communication time can be reduced as compared with the case where communication is performed every 902.

【0149】また、メインコントローラ1000から、
各ノズル10毎の速度及び加速度の例えば8種類の指定
値をヘッドコントローラ1001へ予め送信しておき、
ヘッドコントローラ1001に接続されているメモリ1
005にテーブルとして記憶させておく。この結果、8
種類の中から選択された例えば1つの指定値のみを送信
するだけで、所望の速度又は加速度で各ノズル10を動
作させることができ、速度又は加速度の具体的な情報を
送信する場合と比較して通信量及び通信時間を削減する
ことができる。
Further, from the main controller 1000,
For example, eight kinds of designated values of the speed and acceleration of each nozzle 10 are transmitted to the head controller 1001 in advance,
Memory 1 connected to head controller 1001
005 is stored as a table. As a result, 8
By transmitting only one designated value selected from among the types, for example, each nozzle 10 can be operated at a desired speed or acceleration, and compared with the case of transmitting specific information of speed or acceleration. Thus, the communication volume and communication time can be reduced.

【0150】さらに、ノズル10による吸着動作を指令
するコマンド又はノズル10による装着動作を指令する
コマンドと各動作での移動量と下死点時間とを、メイン
コントローラ1000からヘッドコントローラ1001
に送るだけで、ヘッドコントローラ1001からサーボ
ドライバ1002を介して該当するモータ32又は25
mを駆動制御して、吸着又は装着動作を実行することが
でき、吸着又は装着動作の情報を送信する場合と比較し
て通信量及び通信時間を削減することができる。
Further, the command for instructing the suction operation by the nozzle 10 or the command for instructing the mounting operation by the nozzle 10, the movement amount and the bottom dead center time in each operation are transmitted from the main controller 1000 to the head controller 1001.
To the corresponding motor 32 or 25 from the head controller 1001 via the servo driver 1002.
By controlling the driving of m, the suction or mounting operation can be executed, and the communication amount and the communication time can be reduced as compared with the case where information on the suction or mounting operation is transmitted.

【0151】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施できる。
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be implemented in various other modes.

【0152】例えば、上記実施形態では、10本のノズ
ル10,…,10で一斉に同時吸着、同時認識などを説
明したが、実装ヘッド4に10本のノズル10,…,1
0が搭載されていても、5本のノズル10,…,10し
か実装動作に使用しない場合には、上記説明における1
0本のノズル10,…,10を5本のノズル10,…,
10に読み替えることができる。すなわち、実装動作す
べき複数のノズル10,10について、同時に吸着、回
転、認識などを行わせることができる。
For example, in the above-described embodiment, simultaneous suction, simultaneous recognition, and the like have been described for the ten nozzles 10,..., 10 at the same time, but the ten nozzles 10,.
If only five nozzles 10,..., 10 are used for the mounting operation even if 0 is mounted, 1
0 nozzles 10,..., 10 are replaced with five nozzles 10,.
It can be read as 10. That is, suction, rotation, recognition, and the like can be simultaneously performed on the plurality of nozzles 10 to be mounted.

【0153】また、上記部品吸着装置を備える部品実装
装置としては、上記第1実施形態に限られるものではな
く、その他の部品実装装置にも適用することができる。
The component mounting apparatus provided with the component suction device is not limited to the first embodiment, but can be applied to other component mounting devices.

【0154】例えば、本発明の第2実施形態にかかる部
品実装装置として、図19及び図20及び図21に示す
ように、実装ヘッド4がXY方向に移動するものに限ら
ず、実装ヘッド4AはX方向のみ移動し、基板2を保持
する基板保持装置3AがY方向にのみ移動する部品実装
装置に適用することもできる。すなわち、基板保持装置
3Aは、Y軸方向にのみ進退するYテーブルより構成さ
れる一方、Y軸方向と直交するX軸方向に延びたX軸駆
動装置5Aを備えている。X軸駆動装置5Aは、各実装
ヘッド4AがX軸方向にのみそれぞれ独立して駆動され
る。このような部品実装装置においても、上記第1実施
形態の部品実装装置と同様に、部品20を吸着したノズ
ル10をノズル回転装置25により所望の角度まで任意
のタイミングで回転させることができるとともに、ノズ
ル10をノズル昇降装置26により所望の高さまで任意
のタイミングで昇降させることができる。よって、例え
ば、部品供給カセット8Dでの部品吸着動作後に、各ノ
ズル10を一斉にそれぞれの装着姿勢角度まで各ノズル
回転装置25の駆動により回転させることができる。ま
た、装着前に、各ノズル10を一斉にそれぞれの補正角
度まで各ノズル回転装置25の駆動により回転させるこ
とができる。なお、図20において、1Aはローダー、
11Aはアンローダーである。
For example, as shown in FIGS. 19, 20, and 21, the component mounting apparatus according to the second embodiment of the present invention is not limited to the one in which the mounting head 4 moves in the XY directions. The present invention can also be applied to a component mounting apparatus in which the board holding device 3A that moves only in the X direction and holds the board 2 moves only in the Y direction. That is, the substrate holding device 3A includes a Y table that advances and retreats only in the Y-axis direction, and includes an X-axis driving device 5A that extends in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction. In the X-axis driving device 5A, each mounting head 4A is independently driven only in the X-axis direction. In such a component mounting apparatus, similarly to the component mounting apparatus of the first embodiment, the nozzle 10 that has sucked the component 20 can be rotated at an arbitrary timing to a desired angle by the nozzle rotating device 25, The nozzle 10 can be moved up and down to a desired height by the nozzle elevating device 26 at an arbitrary timing. Therefore, for example, after the component suction operation in the component supply cassette 8D, the nozzles 10 can be simultaneously rotated to the respective mounting posture angles by driving the nozzle rotating devices 25. Further, before mounting, the nozzles 10 can be simultaneously rotated to the respective correction angles by driving the respective nozzle rotating devices 25. In FIG. 20, 1A is a loader,
11A is an unloader.

【0155】本発明の第3実施形態にかかる部品吸着装
置は、図24及び図25に示すように、上下方向に移動
可能にかつ軸回りに回転可能な駆動軸500と、上記駆
動軸500の下端に相対回転不可かつ上下方向に相対移
動不可に取り付けられて上記部品20を吸着保持可能な
吸着ノズル10Aと、上記駆動軸500の上部に上下方
向に相対移動可能にかつ相対回転不可に連結されて上記
駆動軸500を軸回りに回転させるθ回転駆動モータ2
5Aと、上記駆動軸500に上下方向に相対移動不可に
かつ相対回転可能に連結する円筒状の第1連結部501
を有しかつ上記第1連結部501を上下方向に駆動して
上記駆動軸500を上下方向に駆動する上下方向駆動装
置26Aと、上記θ回転駆動モータ25Aと上記上下方
向駆動装置26Aとをそれぞれ独立的に駆動制御するド
ライバ1002Aと、上記ノズル10Aの吸引動作を制
御する吸引制御バルブ580とを備えるように構成して
いる。このような構成の部品吸着装置が複数個実装ヘッ
ド4Cに並べて備えられている。
As shown in FIGS. 24 and 25, the component suction device according to the third embodiment of the present invention comprises a drive shaft 500 movable vertically and rotatable around an axis. A suction nozzle 10A, which is attached to a lower end of the drive shaft 500 so as to be relatively non-rotatable and non-movable in the vertical direction and capable of adsorbing and holding the component 20, is connected to an upper portion of the drive shaft 500 so as to be relatively movable in the vertical direction and non-rotatable. Rotating drive motor 2 for rotating the drive shaft 500 about its axis
5A and a first cylindrical connecting portion 501 that is connected to the drive shaft 500 so as to be relatively immovable and relatively rotatable in the vertical direction.
And a vertical driving device 26A for driving the first connecting portion 501 in the vertical direction to drive the driving shaft 500 in the vertical direction, the θ rotation driving motor 25A and the vertical driving device 26A, respectively. It is configured to include a driver 1002A for independently controlling the drive and a suction control valve 580 for controlling the suction operation of the nozzle 10A. A plurality of component suction devices having such a configuration are provided side by side on the mounting head 4C.

【0156】図26及び図27に示すように、上記駆動
軸500の上部には、例えば180度の間隔で一対の凹
部521を有するスプラインシャフト部500aを有す
る。スプラインシャフト部500aの外側には、スプラ
インシャフト部500aの一対の凹部521に係合する
一対の突起520を有して上下方向に相対移動可能にか
つ相対回転不可に円筒状の第2連結部502が嵌合され
ている。第2連結部502のさらに外側には、第2連結
部502のキー溝523内に嵌合されたキー503によ
り相対回転不可に連結される長尺な円筒状の第3連結部
25Cの下端部が嵌合されている。第3連結部25Cの
上端はθ回転駆動モータ25Aの回転軸540に固定さ
れている。
As shown in FIGS. 26 and 27, a spline shaft portion 500a having a pair of concave portions 521 at an interval of, for example, 180 degrees is provided at the upper portion of the drive shaft 500. Outside the spline shaft portion 500a, there is a pair of protrusions 520 that engage with a pair of recesses 521 of the spline shaft portion 500a, and the second connection portion 502 is cylindrical so as to be relatively movable in the vertical direction and not to rotate relatively. Are fitted. A lower end of a long cylindrical third connecting portion 25C further non-rotatably connected to a key 503 fitted in a key groove 523 of the second connecting portion 502 further outside the second connecting portion 502. Are fitted. The upper end of the third connection portion 25C is fixed to the rotation shaft 540 of the θ rotation drive motor 25A.

【0157】よって、θ回転駆動モータ25Aの回転軸
540が回転駆動されると、上記第3連結部25C、上
記第3連結部25Cに相対回転不可に連結された上記第
2連結部502、上記第2連結部502に相対回転不可
に連結された上記スプラインシャフト部500aを有す
る上記駆動軸500、上記駆動軸500の下端に固定さ
れた上記ノズル10Aが一体的に回転する。
Therefore, when the rotation shaft 540 of the θ rotation drive motor 25A is rotationally driven, the third connection portion 25C, the second connection portion 502 connected to the third connection portion 25C so as to be relatively non-rotatable, The drive shaft 500 having the spline shaft portion 500a non-rotatably connected to the second connection portion 502, and the nozzle 10A fixed to the lower end of the drive shaft 500 rotate integrally.

【0158】また、上記駆動軸500に上下方向に相対
移動不可にかつ相対回転可能に連結する上記円筒状の第
1連結部501は、上記上下方向駆動装置26Aに駆動
アーム510を介して連結されて、上下方向駆動装置2
6Aの駆動により、上記駆動アーム510、上記駆動ア
ーム510に連結された上記第1連結部501、上記第
1連結部501に上下方向に相対移動不可に連結された
上記駆動軸500、上記駆動軸500の下端に固定され
た上記ノズル10Aが一体的に上下方向に移動する。そ
の移動距離は、図29及び図30に示すように、上端位
置H0と下端位置H1との間であり、例えば20mm程
度である。
The cylindrical first connecting portion 501, which is connected to the drive shaft 500 so as not to be vertically movable and relatively rotatable, is connected to the vertical drive device 26A via a drive arm 510. And the vertical driving device 2
By the drive of 6A, the drive arm 510, the first connection portion 501 connected to the drive arm 510, the drive shaft 500 connected to the first connection portion 501 in a vertically immovable manner, the drive shaft The nozzle 10A fixed to the lower end of 500 moves integrally in the vertical direction. The moving distance is between the upper end position H0 and the lower end position H1, as shown in FIGS. 29 and 30, for example, about 20 mm.

【0159】このように、上下方向駆動装置26Aを駆
動軸500と同軸に配置するのではなく、駆動軸500
の横に配置して駆動アーム510を介して駆動軸500
を上下動させるようにしているため、上下方向駆動装置
26Aの上下動に伴う熱を駆動軸側に伝達しにくくな
り、駆動軸500の駆動制御を高めることができるとと
もに、全体の構造を簡略化させることができる。
As described above, the vertical drive unit 26A is not arranged coaxially with the drive shaft 500, but is driven by the drive shaft 500A.
Of the drive shaft 500 via the drive arm 510
Is moved up and down, it is difficult to transmit the heat accompanying the up and down movement of the up and down driving device 26A to the drive shaft side, so that the drive control of the drive shaft 500 can be enhanced and the entire structure can be simplified. Can be done.

【0160】上記部品吸着装置の幅、すなわち、上記θ
回転駆動モータ25Aの配置ピッチ、上記矩形の上下方
向駆動装置26Aの配置ピッチ、矩形のドライバ100
2Aの幅は、部品供給装置の複数の部品供給部例えばパ
ーツカセットやトレイなどのの配置ピッチに対応するピ
ッチ間隔になるようにノズル10Aが配置されている。
この結果、複数本のノズル10Aを複数のパーツカセッ
トやトレイの上に位置させたのち下降させて一括同時吸
着させることが可能となる。このように、ノズル10A
の配置ピッチに合わせて各矩形のモータ25A,26A
及び矩形のドライバ1002Aの各幅にすることによ
り、実装ヘッド4Cの幅を最小化することができる。ま
た、矩形のモータ又はドライバを実装ヘッド4に取付け
るとき、矩形であるため、互いに接触させて固定される
ことも可能となり、この場合には、剛性を向上させるこ
とができる。
The width of the component suction device, ie, θ
The arrangement pitch of the rotary drive motor 25A, the arrangement pitch of the rectangular vertical driving device 26A, the rectangular driver 100
The nozzles 10A are arranged so that the width of 2A is a pitch interval corresponding to the arrangement pitch of a plurality of component supply units of the component supply device, for example, a part cassette and a tray.
As a result, it is possible to position the plurality of nozzles 10A above the plurality of parts cassettes and trays and then lower the nozzles 10A for simultaneous simultaneous suction. Thus, the nozzle 10A
Motors 25A and 26A according to the arrangement pitch of
And the width of the rectangular driver 1002A, the width of the mounting head 4C can be minimized. Further, when a rectangular motor or driver is mounted on the mounting head 4, since it is rectangular, it can be fixed in contact with each other, and in this case, rigidity can be improved.

【0161】上記θ回転駆動モータ25Aは、その上部
にエンコーダ25Bを備えて、回転軸540の回転角度
を検出できるようにしている。エンコーダ25Bからの
出力はドライバ1002Aに入力されて、この回転角度
による駆動軸500によってノズル10Aの回転角度位
置に基き、上記θ回転駆動モータ25Aが駆動制御され
る。
The θ rotation drive motor 25A is provided with an encoder 25B on its upper part so that the rotation angle of the rotation shaft 540 can be detected. The output from the encoder 25B is input to the driver 1002A, and the drive of the θ rotation drive motor 25A is controlled by the drive shaft 500 based on the rotation angle based on the rotation angle position of the nozzle 10A.

【0162】上記上下方向駆動装置26Aは、一例とし
てボイスコイルモータより構成される。図26に示すよ
うに、上下方向沿いの一対のリニアガイド513により
上下方向に移動可能でかつ上記駆動アーム510が固定
された可動マグネット511と、4個のコイル512
と、可動マグネット511の上下方向の位置を精度良く
検出するリニアスケール514とより大略構成されてい
る。リニアスケール514により求められた上下方向の
位置情報はドライバ1002Aに入力されて、この位置
情報に基き上記上下方向駆動装置26Aが駆動制御され
る。
The vertical driving device 26A is constituted by a voice coil motor as an example. As shown in FIG. 26, a movable magnet 511 that is movable in the vertical direction by a pair of linear guides 513 along the vertical direction and has the drive arm 510 fixed thereto, and four coils 512
And a linear scale 514 for accurately detecting the vertical position of the movable magnet 511. The vertical position information obtained by the linear scale 514 is input to the driver 1002A, and the driving of the vertical driving device 26A is controlled based on the position information.

【0163】この第3実施形態の特徴は以下の点であ
る。
The features of the third embodiment are as follows.

【0164】1.複数のノズル10Aにそれぞれ独立し
て制御可能な、θ回転駆動モータ25Aの一例としての
横対向型θモータ25Aを取り付ける構成としている。
1. A horizontally opposed θ motor 25A, which is an example of a θ rotation drive motor 25A, which can be independently controlled, is attached to the plurality of nozzles 10A.

【0165】2.上記1の構成において、スプラインシ
ャフト500を介してノズル10Aが上下動可能として
いる。
[0165] 2. In the first configuration, the nozzle 10A can move up and down via the spline shaft 500.

【0166】3.上記1の構成において、ノズル10A
を上下方向駆動装置の一例の薄型ボイスコイルモータ
(VCM)26Aで上下動可能にしている。
3. In the above configuration 1, the nozzle 10A
Is vertically movable by a thin voice coil motor (VCM) 26A as an example of a vertical driving device.

【0167】4.上記1,3の構成において、モータ2
5A,26Aを制御するドライバ1002Aを上記構成
の近くに取り付け、ホストからシリアル通信により、動
作させる方式により、ヘッドコントローラを可動部に搭
載して省配線化を図ることができる。
4. In the above configurations 1 and 3, the motor 2
A driver 1002A that controls the 5A and 26A is mounted near the above configuration, and the head controller is mounted on the movable part by a method of operating by serial communication from the host, thereby reducing wiring.

【0168】5.上記1〜4の構成において、モータ2
5A,26A及びドライバ1002Aを薄くして、部品
供給部の一例としてのパーツカセットの幅に合わせた特
徴を持つ構成(ノズル10Aを10本、最小のパーツカ
セットピッチに合わせる。ヘッドコントローラを可動部
に搭載し、最小カセットピッチに合わせ小型軽量化を図
る。)としている。この結果、実装ヘッド4C全体とし
ての重量を半減させることができ、移動に伴い発生する
振動を大幅に削減することができる。
[0168] 5. In the above configurations 1 to 4, the motor 2
5A, 26A and the driver 1002A are thinned to have a feature that matches the width of the parts cassette as an example of the parts supply unit (10 nozzles 10A and the minimum parts cassette pitch. The head controller is a movable part. Mounted to reduce the size and weight in line with the minimum cassette pitch.) As a result, the weight of the entire mounting head 4C can be reduced by half, and the vibration generated due to the movement can be greatly reduced.

【0169】6.上記5の構成において、ノズル10A
の吸引開閉用バルブを各ノズル10A毎に取り付け、部
品を独立して、あるいは同時に吸装着を可能にする構成
としている。すなわち、ヘッドコントローラを可動部に
搭載し、数点のI/Oにより高速機動を実行するように
している。
6. In the above configuration 5, the nozzle 10A
The suction opening / closing valve is attached to each nozzle 10A so that components can be sucked and mounted independently or simultaneously. That is, the head controller is mounted on the movable part, and high-speed maneuver is executed by several I / Os.

【0170】7.上記1の構成で、部品吸装着後、1回
転させベアリング530,531,532,533など
の寿命を延ばすことを特徴とする方式としている。すな
わち、吸着が終了し、次のステップに進む前に、ノズル
10Aを一回転させ、寿命を延ばすようにしている。
[0170] 7. The configuration of the above 1 is characterized in that the life of the bearings 530, 531, 532, 533 and the like is prolonged by rotating one time after the component is sucked and mounted. That is, before the suction is completed and before proceeding to the next step, the nozzle 10A is rotated once to extend the life.

【0171】これを以下に説明する。This will be described below.

【0172】まず、従来の装置のように、吸着し認識し
たのち、装着するとき、上下動とともにθ回転する場合
には、上下動とθ回転との2つの動作を行なうため、タ
クトアップが無理である。すなわち、複数ノズルを1つ
のθモータで回転させる為、個々のノズルをそれぞれの
装着状態の位置までθ回転させたのち認識させることが
できず、装着時に上下動とθ回転を行うため、タクトア
ップが望めない。しかしながら、第3実施形態によれ
ば、吸着したのち、認識位置までの移動中にそれぞれの
ノズルをそれぞれの装着状態の位置までθ回転させて認
識させることができ、その後、装着位置までの移動中に
θ回転位置の補正回転を行なったのち、上下動のみの装
着を行なうことができて、タクトアップを図ることがで
きる。また、ノズル10A毎に装着の向きすなわちθ回
転位置に合わせたのち認識することができるので、装着
精度を向上させることができる。
First, as in the case of a conventional device, when the device is sucked and recognized and then rotated by θ together with vertical movement when mounted, two operations of vertical movement and θ rotation are performed, so that tact-up is impossible. It is. In other words, since a plurality of nozzles are rotated by a single θ motor, individual nozzles cannot be recognized after being rotated θ to the position of the respective mounting state. Can not expect. However, according to the third embodiment, after the suction, the nozzles can be rotated by θ to the respective mounting state positions during the movement to the recognition position for recognition, and thereafter, during the movement to the mounting position. After the correction rotation of the θ rotational position is performed, mounting only by vertical movement can be performed, and the tact time can be increased. In addition, since the recognition can be performed after adjusting the mounting direction, that is, the θ rotation position, for each nozzle 10A, the mounting accuracy can be improved.

【0173】次に、ヘッド駆動用アクチュエータを実装
ヘッド内に搭載し、そのコントローラであるドライバは
設備本体へ搭載する従来の装置の場合には、ヘッド駆動
用軸数を増加していくと、ヘッドと設備本体間を結ぶ配
線が増加することになる。しかしながら、上記第3実施
形態にのように、実装ヘッド4Cのノズル10Aのピッ
チに合わせたモータ(θ回転駆動モータの一例としての
横対向型θモータ25Aと上下方向駆動装置の一例の薄
型ボイスコイルモータ26A)とそのモータドライバと
を実装ヘッド4Cに搭載するようにして、従来のNCコ
ントローラを実装ヘッド4Cに搭載し、設備本体とドラ
イバコントローラ間は有線若しくは無線により通信す
る。この結果、実装ヘッド4Cのノズル軸数が増加して
も、設備本体と実装ヘッド4C間の配線は増加しない。
Next, in the case of a conventional device in which a head driving actuator is mounted in a mounting head, and a driver as a controller is mounted on the equipment main body, when the number of head driving axes is increased, the head is driven. The number of wirings connecting the power supply and the equipment body increases. However, as in the third embodiment, a motor (a horizontally opposed θ motor 25A as an example of a θ rotation drive motor) and a thin voice coil as an example of an up-down direction drive device are used in accordance with the pitch of the nozzles 10A of the mounting head 4C. A conventional NC controller is mounted on the mounting head 4C such that the motor 26A) and its motor driver are mounted on the mounting head 4C, and communication between the equipment body and the driver controller is made by wire or wirelessly. As a result, even if the number of nozzle axes of the mounting head 4C increases, the number of wires between the equipment body and the mounting head 4C does not increase.

【0174】次に、従来の装置では、θモータを、ノズ
ルの中心軸と同軸上にできずに、ラック&ピニオン、又
は、タイミングベルトでノズルの中心軸に回転力を出か
立つしているが、バックラッシュなどの誤差要因大き
い。すなわち、ノズルのピッチをパーツカセットの最小
ピッチに合わせようとすると、ノズル毎にθモータを配
置することができず、ベルトやラック&ピニオンで、θ
回転を行っている。この為、ギアのバックラッシュな
ど、回転誤差が大きい。これに対して、第3実施形態に
よれば、ノズル10Aの同軸上に横対向型θモータ25
Aを配置して、スプラインシャフト500で回転を伝達
するようにしている。すなわち、薄型サーボモータとし
て機能する横対向型θモータ25Aを各ノズル10Aの
中心軸の同軸上に配置することで、θ方向の回転力を直
接ノズル10Aに伝えることができて、回転誤差を小さ
くすることができる。
Next, in the conventional apparatus, the θ motor cannot be coaxial with the center axis of the nozzle, and a rotational force is generated on the center axis of the nozzle by a rack and pinion or a timing belt. However, error factors such as backlash are large. That is, if the pitch of the nozzles is to be adjusted to the minimum pitch of the parts cassette, a θ motor cannot be arranged for each nozzle, and θ
The rotation is going on. Therefore, there is a large rotation error such as gear backlash. On the other hand, according to the third embodiment, the horizontally opposed θ motor 25 is coaxial with the nozzle 10A.
A is arranged so that rotation is transmitted by the spline shaft 500. That is, by arranging the horizontally opposed θ motor 25A functioning as a thin servomotor coaxially with the center axis of each nozzle 10A, the rotational force in the θ direction can be directly transmitted to the nozzle 10A, and the rotation error can be reduced. can do.

【0175】また、従来の構成では、図35に示すよう
に、ノズル10を初期角度位置ORGから装着角度位置
X1までθ回転したのち初期位置に戻すときの戻し回転
は、タクトを速くする為、図36に示すように装着角度
位置X1への回転(θ回転)の方向が反対で同じ角度の
回転(−θ)とする場合には、ベアリングの同じ部分、
同じボールに負荷がかかり、ベアリングの寿命が短くな
る。さらに、0゜装着の時に、補正回転でノズルが動く
と、ベアリングにフレッチングが起こりやすくなり、ベ
アリングの寿命が短くなる。これに対して、第3実施形
態においては、図37及び図38に示すようにノズル1
0Aを初期角度位置から装着角度位置までθ回転したの
ち初期位置に戻すときの戻し回転は、装着角度位置への
回転(θ回転)と同一回転方向に(360°−θ)の角
度だけ回転させて初期角度位置に戻すようにすれば、常
に360゜回転させることになり、図26に示すように
ベアリング530,531,532,533の全てのボ
ールを使う様にする。この結果、ベアリング530,5
31,532,533が常に1回転する為、全てのボー
ルに均等に負荷がかかるようになり、ベアリング53
0,531,532,533の寿命が長くなる。なお、
ベアリング530,531はθ回転駆動モータ25Aの
回転軸540の上下部を回転自在に支持するベアリング
である。ベアリング532,533は第3連結部25C
の上下部を回転自在に支持するベアリングである。
In the conventional configuration, as shown in FIG. 35, the return rotation when the nozzle 10 is rotated θ from the initial angular position ORG to the mounting angular position X1 and then returned to the initial position is performed in order to increase the tact time. As shown in FIG. 36, when the direction of rotation (θ rotation) to the mounting angular position X1 is opposite and the rotation is the same angle (−θ), the same part of the bearing,
The same ball is loaded and the life of the bearing is shortened. Further, when the nozzle is moved by the correction rotation at the time of 0 ° mounting, fretting tends to occur in the bearing, and the life of the bearing is shortened. On the other hand, in the third embodiment, as shown in FIG. 37 and FIG.
The return rotation for returning 0A to the initial position after rotating θA from the initial angle position to the mounting angle position by rotating it by an angle of (360 ° −θ) in the same rotation direction as the rotation to the mounting angle position (θ rotation). If the ball is returned to the initial angular position, the ball is always rotated by 360 °, and all the balls of the bearings 530, 531, 532, 533 are used as shown in FIG. As a result, the bearings 530, 5
31, 532 and 533 make one rotation at all times, so that the load is equally applied to all the balls, and the bearing 53
The life of 0,531,532,533 is prolonged. In addition,
The bearings 530 and 531 rotatably support the upper and lower portions of the rotation shaft 540 of the θ rotation drive motor 25A. The bearings 532 and 533 are connected to the third connecting portion 25C.
These bearings rotatably support the upper and lower parts of the motor.

【0176】以下、本発明の第3実施形態にかかるθ回
転駆動モータ25Aを図39〜図44に基づいて説明す
る。
Hereinafter, a θ rotation drive motor 25A according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0177】まず、第3実施形態にかかるθ回転駆動モ
ータ25Aを説明する前に、一例として従来のブラシレ
スモータの問題点を説明する。
First, before describing the θ rotation drive motor 25A according to the third embodiment, problems of a conventional brushless motor will be described as an example.

【0178】従来のブラシレスモータは、図45に示す
ように中央にロータ101を配置し、このロータ101
の周囲を環状のステータ102が取り囲むように構成さ
れている。ロータ101は周方向に複数極に着磁されて
いる。ステータ2の各ティース102a〜102fには
コイル103が巻装され、各ティース102a〜102
fの先端はロータ101の外周に隙間δで近接してい
る。
In a conventional brushless motor, a rotor 101 is disposed at the center as shown in FIG.
Is configured so as to surround an annular stator 102. The rotor 101 is magnetized to a plurality of poles in the circumferential direction. A coil 103 is wound around each of the teeth 102a to 102f of the stator 2, and each of the teeth 102a to 102f is wound.
The tip of f is close to the outer periphery of the rotor 101 with a gap δ.

【0179】ここでは3相(UVW)の場合を示してお
り、ロータ101の位置を別のセンサ(図示せず)で検
出し、ロータ101の位置に応じてUVWの各相のコイ
ル103への通電時期を制御して回転磁界をステータ1
02から発生させてロータ101を回転駆動するように
構成されている。
Here, the case of three phases (UVW) is shown, and the position of the rotor 101 is detected by another sensor (not shown). The rotating magnetic field is controlled by controlling the current supply timing
02 and is configured to rotationally drive the rotor 101.

【0180】また従来、小型化が必要な場合には、図4
6(a)(b)に示すように空芯のコイル103をロー
タ101の回りに配置し、コイル103の外周にステー
タヨーク104を配置して、図45の場合と同様にして
回転磁界を発生させてロータ101を回転駆動するよう
に構成されたコアレスモータがある。
Conventionally, when miniaturization is required, FIG.
As shown in FIGS. 6A and 6B, an air-core coil 103 is arranged around the rotor 101, and a stator yoke 104 is arranged around the outer periphery of the coil 103, and a rotating magnetic field is generated in the same manner as in FIG. There is a coreless motor configured to rotate and drive the rotor 101.

【0181】しかし、上記のコアレスモータは図45に
示した通常のブラシレスモータに比べて小型化できる反
面、無鉄心であるため磁気効率が悪く、高トルク出力を
実現できない問題がある。また、少しでも高トルクを得
ようとしても、ロータ101の軸方向(Y軸方向)にロ
ータ101の長さとコイル103の長さを長く構成する
だけで、設計の自由度が低いのが現状である。
However, the above-described coreless motor can be reduced in size as compared with the ordinary brushless motor shown in FIG. 45, but has a problem in that since it has no iron core, its magnetic efficiency is poor and a high torque output cannot be realized. Further, even if a small amount of torque is to be obtained, the degree of freedom in design is low at present, simply by increasing the length of the rotor 101 and the length of the coil 103 in the axial direction (Y-axis direction) of the rotor 101. is there.

【0182】(第1例)そこで、本発明の第3実施形態
にかかるθ回転駆動モータ25Aの第1例としては、図
45に示すブラシレスモータよりも小型化でき、しかも
コアレスモータよりも磁気効率がよく高トルク出力を実
現できるブラシレスモータを提供することを目的とする
ものである。
(First Example) Therefore, as a first example of the θ rotation drive motor 25A according to the third embodiment of the present invention, the size can be reduced more than the brushless motor shown in FIG. It is an object of the present invention to provide a brushless motor capable of achieving a high torque output.

【0183】図39〜図42は本発明の第3実施形態に
かかるブラシレスモータを示す。
FIGS. 39 to 42 show a brushless motor according to a third embodiment of the present invention.

【0184】図39に示すように本発明の第3実施形態
にかかるブラシレスモータは、ロータ101と、ほぼ扁
平型の第1,第2のステータブロック105a,105
bと、ホルダー本体106と、ホルダー板107との主
要部を図40に示すように組み立てて構成されている。
As shown in FIG. 39, the brushless motor according to the third embodiment of the present invention comprises a rotor 101 and first and second substantially flat stator blocks 105a and 105a.
The main part of the holder b, the holder main body 106 and the holder plate 107 is assembled as shown in FIG.

【0185】ロータ101は周方向に複数極に着磁され
ている。第1,第2のステータブロック105a,10
5bはそれぞれ図41に示すように、ほぼE型形状に打
ち抜いた複数枚の磁性鋼板を積層して構成され3本のテ
ィース108a,108b,108cを有している。各
ティース先端の形状はロータ101の外周に沿う円弧面
に形成されている。ティース108a,108b,10
8cにはそれぞれコイル103が巻装されており、ティ
ースのコイル103が巻かれている部分をティース巻線
部109と呼ぶ。ティース108a,108cのティー
ス巻線部109には巻溝110が形成されている。
The rotor 101 is magnetized to a plurality of poles in the circumferential direction. First and second stator blocks 105a, 105
As shown in FIG. 41, each of 5b is formed by laminating a plurality of magnetic steel sheets punched into a substantially E shape and has three teeth 108a, 108b, and 108c. The shape of each tooth tip is formed on an arc surface along the outer periphery of the rotor 101. Teeth 108a, 108b, 10
Each of the coils 8c is wound with a coil 103, and a portion of the tooth around which the coil 103 is wound is referred to as a tooth winding portion 109. A winding groove 110 is formed in the tooth winding portion 109 of each of the teeth 108a and 108c.

【0186】ティース108a〜108cの具体的な先
端形状は、図41に示すようにロータの外周に対向する
円弧面のスロットピッチを対称の60度に形成されてい
る。
As shown in FIG. 41, the specific tips of the teeth 108a to 108c are formed such that the slot pitch of the arc surface facing the outer periphery of the rotor is symmetrical at 60 degrees.

【0187】電気回路は、ロータ101の位置を別の磁
気センサなどのセンサ(図示せず)で検出し、ロータ1
01の位置に応じてUVWの各相のコイルへの通電時期
を制御して回転磁界をステータ105a,105bから
発生させてロータ101を回転駆動するよう構成されて
いる。
The electric circuit detects the position of the rotor 101 with another sensor (not shown) such as a magnetic sensor,
The rotor 101 is configured to rotate by rotating the magnetic field from the stators 105a and 105b by controlling the timing of energizing the coils of each phase of UVW in accordance with the position of 01.

【0188】このように、ステータはロータ101の軸
心方向(図41におけるY方向)に沿って磁性鋼板が積
層されて厚みを有し、ティース108a〜108cを互
いに平行にして、ロータの端面に沿う形状が上記軸心の
回りの0度と180度を結ぶ方向(図41に示すX軸方
向)の第1の長さL1よりも90度と270度を結ぶ方
向(図41に示すZ軸方向)の第2の長さL2が長い扁
平型に形成したため、図45に示した従来のブラシレス
モータに比べて小型で、コアレスで無いため磁気効率も
良好である。
As described above, the stator has a thickness in which the magnetic steel plates are laminated along the axial direction of the rotor 101 (the Y direction in FIG. 41), and the teeth 108a to 108c are parallel to each other, and The direction along the axis connects 90 ° and 270 ° with respect to the first length L1 in the direction connecting the 0 ° and 180 ° around the axis (X axis direction shown in FIG. 41) (the Z axis shown in FIG. 41). Since the second length L2 in the (direction) is formed in a long flat shape, the size is smaller than that of the conventional brushless motor shown in FIG. 45, and since it is not coreless, the magnetic efficiency is good.

【0189】さらに、出力トルクを大きくする場合に
は、ティース108a〜108cのティース巻線部10
9を図41に示すZ軸方向に長く取って界磁を増強する
か、またはロータ101とステータブロック105a,
105bを図41に示すY軸方向に長く形成するかとの
少なくとも何れかを実行することによって実現でき、図
46に示した従来のコアレスモータの設計の自由度がY
軸方向の一方向であったのに対して、この第3実施形態
では、Y軸方向とZ軸方向との二方向に設計の自由度を
持たせることができ、用途に応じた適切な形状で必要ト
ルクを出力できる。
Further, when increasing the output torque, the teeth winding portions 10 of the teeth 108a to 108c can be used.
9 is extended in the Z-axis direction shown in FIG. 41 to enhance the field, or the rotor 101 and the stator block 105a,
105b is formed in the Y-axis direction as shown in FIG. 41 by performing at least one of them. The degree of freedom of design of the conventional coreless motor shown in FIG.
In contrast to the single axial direction, in the third embodiment, the degree of freedom in design can be given in two directions, the Y-axis direction and the Z-axis direction. Can output the required torque.

【0190】また、上記のように第1,第2のステータ
ブロック105a,105bの上記第1の長さの方向と
交差する側面111に、ティース巻線部109となる巻
溝110を厚み方向(Y軸方向)に沿って形成し、この
巻溝110に巻回されたコイル103の最外周面112
が上記側面111と面一または上記側面よりも内側に位
置するように構成することによって、X軸方向のブラシ
レスモータの幅をより一層に小型化できる。
Further, as described above, the winding groove 110 serving as the tooth winding portion 109 is formed on the side surface 111 intersecting the first length direction of the first and second stator blocks 105a and 105b in the thickness direction ( (The Y-axis direction) and the outermost peripheral surface 112 of the coil 103 wound around the winding groove 110.
Of the brushless motor in the X-axis direction can be further reduced in size by being arranged so as to be flush with the side surface 111 or inside the side surface 111.

【0191】(第2例)図43は本発明の第3実施形態
にかかるθ回転駆動モータ25Aの第2例にかかるブラ
シレスモータを示す。
(Second Example) FIG. 43 shows a brushless motor according to a second example of the θ rotation drive motor 25A according to the third embodiment of the present invention.

【0192】この2つ目の例にかかるブラシレスモータ
の扁平型のステータは、軸心の回りの上記0度と180
度を結ぶ方向を境に当接する第1,第2のステータブロ
ック105a,105bの2つから構成したが、この2
つ目の例では、図43に示すように単一のステータブロ
ック112で構成する点だけが異なり、その他は1つ目
の例と同じである。
The flat type stator of the brushless motor according to the second example has the above-mentioned 0 degree around the axis and 180 degrees.
The first and second stator blocks 105a and 105b abut against each other in the direction connecting the degrees.
The first example is different from the first example only in that it is constituted by a single stator block 112 as shown in FIG. 43.

【0193】(第3例)図44は本発明の第3実施形態
のθ回転駆動モータ25Aの第3例にかかるブラシレス
モータを示す。
(Third Example) FIG. 44 shows a brushless motor according to a third example of the θ rotation drive motor 25A of the third embodiment of the present invention.

【0194】第3例にかかるブラシレスモータの第1,
第2のステータブロック105a,105bはそれぞれ
一つのブロックに3つのティース108a〜108cを
形成して構成したが、図44(a)に示すようにティー
スブロック113a,113b,113cを図44
(b)に示すようにティース巻線部109の基端部で磁
路を形成するように当接させて接合個所114で接合し
て構成することもできる。その他は第3実施形態と同じ
である。
The first and second brushless motors according to the third example
Each of the second stator blocks 105a and 105b is formed by forming three teeth 108a to 108c in one block. However, as shown in FIG. 44A, the tooth blocks 113a, 113b and 113c are
As shown in (b), the tooth winding portion 109 may be configured to be brought into contact with the base end portion so as to form a magnetic path and to be joined at the joining portion 114. Others are the same as the third embodiment.

【0195】この場合には、ティース巻線部109への
コイルの巻装作業が容易になる。
In this case, the operation of winding the coil around the tooth winding portion 109 becomes easy.

【0196】以上のように本発明の第3実施形態にかか
るθ回転駆動モータ25Aとしてのブラシレスモータに
よれば、ステータの各ティース先端の形状を、ロータの
外周に沿う円弧面に形成し、各ティース巻線部を互いに
平行に形成したため、ロータの周囲を環状のステータで
が取り囲むように構成された従来のブラシレスモータに
比べて、図45に示すブラシレスモータよりも小型化で
き、しかもコアレスモータよりも磁気効率がよく高トル
ク出力を実現できるものである。
As described above, according to the brushless motor as the θ rotation drive motor 25A according to the third embodiment of the present invention, the shape of the tip of each tooth of the stator is formed on an arc surface along the outer periphery of the rotor. Since the tooth windings are formed in parallel with each other, the brushless motor shown in FIG. 45 can be smaller in size than the conventional brushless motor configured to surround the rotor with an annular stator, and moreover than the coreless motor. This also has good magnetic efficiency and can realize high torque output.

【0197】以下、本発明の第3実施形態にかかる上下
方向駆動装置26Aを図47〜図52に基づいて説明す
る。
A vertical driving device 26A according to a third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0198】まず、第3実施形態にかかる上下方向駆動
装置26Aを説明する前に、一例として従来のボイスコ
イル型リニアモータの問題点を説明する。
First, before describing the vertical driving device 26A according to the third embodiment, problems of a conventional voice coil type linear motor will be described as an example.

【0199】図53は基本的なボイスコイル型リニアモ
ータを示す。
FIG. 53 shows a basic voice coil type linear motor.

【0200】これは、下側に固定側としてのマグネット
201a,201bを配置し、その上側にマグネット2
01a,201bとは隙間をあけて枠型コイル202
を、この図53では左右方向に移動自在に配置されてい
る。マグネット201aは枠型コイル202との対向面
がN極に着磁されている。マグネット201bは枠型コ
イル202との対向面がS極に着磁されている。
This is achieved by disposing magnets 201a and 201b as fixed sides on the lower side, and magnets 2
01a and 201b with a gap provided between them.
53 are arranged movably in the left-right direction in FIG. The magnet 201a has its N-pole magnetized on the surface facing the frame coil 202. The surface of the magnet 201b facing the frame coil 202 is magnetized to the S pole.

【0201】枠型コイル202に矢印方向に通電する
と、枠型コイル202の縦区間202vで発生する磁界
とマグネット201a,201bとの磁気作用で、可動
側である枠型コイル202がマグネット201a,20
1bに対して、ここでは右側に距離Yだけ駆動される。
When the frame coil 202 is energized in the direction of the arrow, the magnetic field generated in the vertical section 202v of the frame coil 202 and the magnetic action of the magnets 201a and 201b cause the movable frame coil 202 to move to the magnets 201a and 201b.
1b is driven rightward by a distance Y here.

【0202】図54は3相(UVW)の場合を示し、固
定側には上面が、N極に着磁されたマグネット201
a,S極に着磁されたマグネット201b,N極に着磁
されたマグネット201c,S極に着磁されたマグネッ
ト201dを所定間隔で配置し、その上側にマグネット
201a〜201dとは隙間をあけて、この図54では
左右方向に移動自在の可動側に枠型コイル202a,2
02b,202cが配置されている。
FIG. 54 shows a case of three-phase (UVW), in which the upper surface is fixed to the N-pole magnet 201 on the fixed side.
a, a magnet 201b magnetized to the S pole, a magnet 201c magnetized to the N pole, and a magnet 201d magnetized to the S pole are arranged at predetermined intervals, and a gap is provided above the magnets 201a to 201d. In FIG. 54, the frame-shaped coils 202a, 202
02b and 202c are arranged.

【0203】枠型コイル202a,202b,202c
に通電すると、上記と同様の磁気作用で、可動側がここ
では横方向に駆動される。
Frame type coils 202a, 202b, 202c
, The movable side is driven in the horizontal direction here by the same magnetic action as described above.

【0204】また、別の従来例としては、図55に示す
ようにセンターポール203の両面にマグネット201
a,201bを取り付け、その外周部を取り囲むように
ヨーク204を設け、可動側であるヨーク204にはセ
ンターポール203を取り囲むように枠型コイル205
が配置されている。枠型コイル205に通電して発生す
る磁界と、マグネット201a,201bの発生磁界A
1,A2との吸引反発作用で可動側が図55の紙面に対
して垂直方向に移動する。
As another conventional example, as shown in FIG.
a and 201b are attached, and a yoke 204 is provided so as to surround the outer periphery thereof.
Is arranged. The magnetic field generated by energizing the frame coil 205 and the magnetic field A generated by the magnets 201a and 201b
The movable side moves in a direction perpendicular to the plane of FIG.

【0205】このような従来の構成では、何れの構成で
も枠型コイル202a〜202c,205の渡り区間X
は推力には寄与せず損失となっている。また、図55に
示すタイプでは、センターポール203に磁束が集中し
て磁気飽和を起こしやすく、高トルク出力が得られない
問題がある。
In such a conventional configuration, in any of the configurations, the cross section X of the frame-shaped coils 202a to 202c and 205
Does not contribute to thrust and is a loss. Further, in the type shown in FIG. 55, there is a problem that the magnetic flux is concentrated on the center pole 203 and magnetic saturation easily occurs, and a high torque output cannot be obtained.

【0206】本発明の第3実施形態にかかる上下方向駆
動装置26Aは、従来よりも高推力のリニアモータを提
供することを目的とするものである。すなわち、この第
3実施形態にかかる上下方向駆動装置26Aは、対向し
て配置された固定側と可動側とが磁気の作用で上記対向
の隙間が変化しない方向にスライド駆動されるリニアモ
ータである。
The vertical driving device 26A according to the third embodiment of the present invention aims at providing a linear motor having a higher thrust than the conventional one. That is, the vertical driving device 26A according to the third embodiment is a linear motor in which the fixed side and the movable side, which are disposed to face each other, are slid and driven in a direction in which the gap does not change due to the action of magnetism. .

【0207】(第1例)図47〜図50は本発明の第3
実施形態にかかる上下方向駆動装置26Aの第1例のリ
ニアモータを示す。なお、実際に使用するリニアモータ
は推力を大きくするため4個のコイル512で構成して
いるが、以下の説明では2個のコイルで説明を行ってい
る。また、以下の説明では、コイル512は第1,第2
のティース209a,209bに相当する。一対のリニ
アガイド513はガイドレール214a,214bに相
当する。可動側の部材(例えば外ヨーク206)は可動
マグネツト511に相当する。
(First Example) FIGS. 47 to 50 show a third example of the present invention.
5 shows a linear motor of a first example of a vertical driving device 26A according to the embodiment. Note that the linear motor actually used is composed of four coils 512 in order to increase the thrust, but in the following description, the explanation is made with two coils. Also, in the following description, the coil 512 is
Correspond to the teeth 209a and 209b. The pair of linear guides 513 correspond to the guide rails 214a and 214b. The movable member (for example, the outer yoke 206) corresponds to the movable magnet 511.

【0208】この第1例にかかるリニアモータはマグネ
ット内装型リニアモータで、固定側の外ヨーク206の
内側には枠型コイル207a,207bが設けられてい
る。外ヨーク206の側面にはガイドレール214a,
214bが設けられており、ガイドレール214a,2
14bに対してスライダ208a,208bが移動自在
に係合している。上記スライダ208a,208bの一
端には可動側である内ヨーク209の支持アーム210
a,210bが、図48に示すようにビス215aによ
って取り付けられて、内ヨーク209が筒型の外ヨーク
206を貫く方向(矢印J1,J2方向)にスライド自
在に支持されている。また、スライダ208a,208
bの他端にはバックヨーク216がビス215bによっ
て取り付けられている。
The linear motor according to the first example is a magnet-embedded linear motor, and frame coils 207a and 207b are provided inside the fixed outer yoke 206. Guide rails 214a,
214b, and guide rails 214a,
Sliders 208a and 208b are movably engaged with 14b. One end of each of the sliders 208a and 208b has a support arm 210 of an inner yoke 209 which is movable.
48a and 210b are attached by screws 215a as shown in FIG. 48, and the inner yoke 209 is slidably supported in a direction penetrating the cylindrical outer yoke 206 (directions of arrows J1 and J2). Also, the sliders 208a, 208
A back yoke 216 is attached to the other end of b by screws 215b.

【0209】内ヨーク209は第1,第2のティース2
09a,209bを基端の磁気連通部Bで接続したU字
型で、第1のティース209aの上面と下面には、図4
9にも示すように第1,第2のマグネット211a,2
11bの一方の極であるS極を貼り付けて上下面をN極
とし、第2のティース209bの上面と下面には、第
3,第4のマグネット211c,211dを他方の極で
あるN極を貼り付けて上下面をS極としている。
The inner yoke 209 is made up of the first and second teeth 2
The first tooth 209a has a U-shape in which the base teeth 09a and 209b are connected by a magnetic communication part B at the base end.
9, the first and second magnets 211a, 211a,
The upper and lower surfaces of the second teeth 209b are provided with third and fourth magnets 211c and 211d on the upper and lower surfaces, respectively. And the upper and lower surfaces are S poles.

【0210】枠型コイル207aは、外ヨーク206の
内側に第1のティース209aの外側を隙間をあけて取
り巻くように設けられており、枠型コイル207bは、
外ヨーク206の内側に第2のティース209bの外側
を隙間をあけて取り巻くように設けられている。
The frame type coil 207a is provided inside the outer yoke 206 so as to surround the outside of the first teeth 209a with a gap therebetween.
It is provided inside the outer yoke 206 so as to surround the outside of the second teeth 209b with a gap.

【0211】さらに、第1,第2のティース209a,
209bの先端は、図48に示すようにバックヨーク2
16の凹部217a,217bに挿入された上でビス2
15cによって係止されて、バックヨーク216が磁気
連通部Bとして作用するように組み立てられている。
[0211] Further, the first and second teeth 209a,
209b is connected to the back yoke 2 as shown in FIG.
After being inserted into the sixteen recesses 217a and 217b, the screw 2
Locked by 15c, the back yoke 216 is assembled so as to act as the magnetic communication portion B.

【0212】このように構成したため、図50に示すよ
うに、第1のマグネット211aのN極から放射された
磁束φ1は、外ヨーク206を隣接する第2のティース
209bに向かって流れ、第3のマグネット211cの
S極に流れ込み、第3のマグネット211cのN極から
第2のティース209bに流れ込み、第2のティース2
09bから磁気連通部Bを介して第1のティース209
aに流れ、第1のマグネット211aのS極に達して磁
束φ1が環流している。
With this configuration, as shown in FIG. 50, the magnetic flux φ1 radiated from the N pole of the first magnet 211a flows through the outer yoke 206 toward the adjacent second tooth 209b, Flows into the S pole of the second magnet 211c, flows into the second tooth 209b from the N pole of the third magnet 211c, and
09b via the magnetic communication part B to the first teeth 209
a, and reaches the south pole of the first magnet 211a, and the magnetic flux φ1 circulates.

【0213】同様に、第2のマグネット211bのN極
から放射された磁束φ2は、外ヨーク206を隣接する
第2のティース209bに向かって流れ、第4のマグネ
ット211dのS極に流れ込み、第4のマグネット21
1dのN極から第2のティース209bに流れ込み、第
2のティース209bから磁気連通部Bを介して第1の
ティース209aに流れ、第2のマグネット211bの
S極に達して磁束φ2が環流している。
Similarly, the magnetic flux φ2 radiated from the N pole of the second magnet 211b flows through the outer yoke 206 toward the adjacent second teeth 209b, flows into the S pole of the fourth magnet 211d, and 4 magnets 21
1d, flows into the second tooth 209b from the N pole, flows from the second tooth 209b to the first tooth 209a via the magnetic communication part B, reaches the S pole of the second magnet 211b, and the magnetic flux φ2 circulates. ing.

【0214】この状態で枠型コイル207a,207b
に図50に示す方向に通電すると、枠型コイル207
a,207bが発生する磁界が上記磁束φ1,φ2に作
用して内ヨーク209が矢印J1方向に移動する。
In this state, the frame type coils 207a, 207b
When current flows in the direction shown in FIG.
The magnetic fields generated by a and 207b act on the magnetic fluxes φ1 and φ2, and the inner yoke 209 moves in the direction of arrow J1.

【0215】ここで、枠型コイル207a,207bの
開口面の形状が、マグネットとの対向辺の長さL1が渡
り区間Xの長さL2に比べて長い矩形であり大きな推力
が得られ、しかも、内ヨーク209は第1,第2のティ
ース209a,209bの二つに駆動力が発生するた
め、図55に示した従来の形式よりも大きな推力が得ら
れる。
Here, the shape of the opening surface of the frame type coils 207a and 207b is a rectangle in which the length L1 of the side facing the magnet is longer than the length L2 of the crossing section X, and a large thrust is obtained. Since the inner yoke 209 generates a driving force at two of the first and second teeth 209a and 209b, a larger thrust is obtained than the conventional type shown in FIG.

【0216】さらに、第1,第2のティース209a,
209bでは図55の構成にみられたような磁気飽和の
傾向が少なく、枠型コイル207a,207bが発生す
る磁界の強さの広い範囲においてほぼ比例して変化する
推力を得ることができる。具体的に説明すると、従来例
を示す図55では磁束A1,A2がヨーク204からセ
ンターポール203の小さな側面213へ流入して環流
しているので磁気飽和するに対して、この第1例では図
50に示すように第1,第2のティース209a,20
9bの側面よりも面積の大きな上下面(第1〜第4のマ
グネットが取り付けられている面)へ磁束φ1,φ2が
積極的に流入するので上記のような磁気飽和を大幅に低
減できる。
Further, the first and second teeth 209a,
In 209b, the tendency of magnetic saturation as seen in the configuration of FIG. 55 is small, and a thrust that varies almost proportionally in a wide range of the strength of the magnetic field generated by the frame coils 207a and 207b can be obtained. More specifically, in FIG. 55 showing the conventional example, the magnetic fluxes A1 and A2 flow from the yoke 204 to the small side surface 213 of the center pole 203 and circulate, and are magnetically saturated. As shown at 50, the first and second teeth 209a, 209
Since the magnetic fluxes φ1 and φ2 actively flow into the upper and lower surfaces (the surfaces on which the first to fourth magnets are attached) having a larger area than the side surface of 9b, the above-described magnetic saturation can be significantly reduced.

【0217】この第1例では、第1,第2のティース2
09a,209bの両端に磁気連通部Bを設けたが、組
み立て性を考慮して、第1,第2のティース209a,
209bの上記基端にだけ磁気連通部Bを設け、他端は
開放するように構成することもできる。
In this first example, the first and second teeth 2
Although the magnetic communication portions B are provided at both ends of the first and second teeth 09a and 209b, the first and second teeth 209a and
The magnetic communication portion B may be provided only at the base end of the 209b, and the other end may be opened.

【0218】(第2例)図51と図52は本発明の第3
実施形態にかかる上下方向駆動装置26Aの第2例のリ
ニアモータを示す。
(Second Example) FIGS. 51 and 52 show a third example of the present invention.
7 shows a linear motor of a second example of the vertical driving device 26A according to the embodiment.

【0219】この第2例のリニアモータはマグネット外
装型リニアモータで、外ヨーク206が内ヨーク209
に対して移動する。
The linear motor of the second example is a magnet-encased linear motor, and the outer yoke 206 is
To move against.

【0220】両端が磁気連通部Bによって互いに結合さ
れた第1,第2のティース209a,209bを有する
内ヨーク209には、第1,第2のティース209a,
209bの外側を取り巻く外ヨーク206が、隙間をあ
けて第1,第2のティース209a,209bの長手方
向(矢印J方向)にスライド自在に支持されている。
The inner yoke 209 having the first and second teeth 209a and 209b whose both ends are connected to each other by the magnetic communication portion B is provided with the first and second teeth 209a and 209b.
An outer yoke 206 surrounding the outside of 209b is slidably supported in the longitudinal direction (the direction of arrow J) of the first and second teeth 209a, 209b with a gap.

【0221】外ヨーク206の内側には、それぞれティ
ースとの対向面が単一極で、隣接するティースとの対向
面とは別極性になるようティースの両面に対向して第
1,第2,第3,第4のマグネット211a,211
b,211c,211dが設けられている。
Inside the outer yoke 206, the surface facing each tooth is a single pole, and the first, second, and second surfaces are opposed to both surfaces of the tooth so as to have a different polarity from the surface facing the adjacent tooth. Third and fourth magnets 211a, 211
b, 211c, 211d are provided.

【0222】詳しくは、図52に示すように外ヨーク2
06の内側で上記第1のティース209aの対向面に
は、第1のティース209aの側が一方の極であるN極
になるように第1,第2のマグネット211a,211
bのS極を貼り付け、外ヨーク206の内側で上記第2
のティース209bの対向面には、第2のティース20
9bの側が他方の極であるS極になるように第3,第4
のマグネット211c,211dのN極を貼り付けて構
成されている。
More specifically, as shown in FIG.
The first and second magnets 211a and 211 are disposed on the inner surface of the first tooth 209a on the opposite side of the first tooth 209a so that the side of the first tooth 209a becomes one of the N poles.
b, and attach the second pole inside the outer yoke 206.
The second tooth 20 is provided on the opposite surface of the tooth 209b.
The third and fourth poles are set so that the 9b side is the S pole which is the other pole.
Of the magnets 211c and 211d.

【0223】第1のティース209aにはコイル212
aが整列集中巻きされ、第2のティース209bにはコ
イル212bが整列集中巻きされおり、コイル212a
と第1,第2のマグネット211a,211bの間、コ
イル212bと第3,第4のマグネット211c,21
1dの間には隙間δが形成されている。
The first teeth 209a have coils 212
a is concentrated and wound, and the coil 212b is aligned and concentrated around the second teeth 209b.
Between the first and second magnets 211a and 211b, the coil 212b and the third and fourth magnets 211c and 21c.
A gap δ is formed between 1d.

【0224】このように構成したため、第1,第2のマ
グネット211a,211bのN極から放射された磁束
φ1,φ2は、第1のティース209aを磁気連通部B
に向かって流れ、第2のティース209bから第3,第
4のマグネット211c,211dのS極に流れ込み、
第3,第4のマグネット211c,211dのN極から
外ヨーク206を介して第1,第2のマグネット211
a,211bのS極に達して磁束φ1,φ2が環流して
いる。
With this configuration, the magnetic fluxes φ1 and φ2 radiated from the N poles of the first and second magnets 211a and 211b transfer the first teeth 209a to the magnetic communication section B.
Flows from the second teeth 209b into the S poles of the third and fourth magnets 211c and 211d,
From the N poles of the third and fourth magnets 211c and 211d via the outer yoke 206, the first and second magnets 211 are formed.
The magnetic fluxes φ1 and φ2 reach the south poles a and 211b, respectively.

【0225】この状態でコイル212a,212bに通
電すると、コイル212a,212bが発生する磁界が
上記磁束φ1,φ2に作用して内ヨーク209が通電の
向きに応じて矢印J方向に移動する。
When the coils 212a and 212b are energized in this state, the magnetic fields generated by the coils 212a and 212b act on the magnetic fluxes φ1 and φ2, and the inner yoke 209 moves in the direction of the arrow J according to the direction of energization.

【0226】なお、第1,第2のティース209a,2
09bの形状を、第1〜第4のマグネット211a〜2
11dとの対向辺の長さL3がこの対向辺をつなぐ接続
辺の長さL4に比べて長い矩形であって、この第1,第
2のティース209a,209bに巻かれたコイル21
2a,212bも渡り区間Xを比較的短くでき、第1例
と同様にして、図55に示した従来の形式よりも大きな
推力が得られる。
Note that the first and second teeth 209a, 209
09b is changed to the first to fourth magnets 211a to 211b.
The length L3 of the side opposite to 11d is a rectangle longer than the length L4 of the connection side connecting the opposite side, and the coil 21 wound around the first and second teeth 209a and 209b.
The cross section X can also be relatively short for 2a and 212b, and a larger thrust than the conventional type shown in FIG. 55 can be obtained as in the first example.

【0227】この第2例ではティース209a,209
bの両端が磁気連通部Bによって連結されていたが、一
端を開放して構成することもできる。
In this second example, teeth 209a, 209
Although both ends of b are connected by the magnetic communication part B, one end may be opened.

【0228】なお、上記の各例では、内ヨーク209の
ティースは第1,第2のティース209a,209bの
2本であったが、3本以上の複数本のティースを並列に
設けて同様に構成することもできる。
In each of the above examples, the inner yoke 209 has two teeth, the first and second teeth 209a and 209b. However, three or more teeth are provided in parallel to form the same. It can also be configured.

【0229】以上のように本発明の第3実施形態にかか
る上下方向駆動装置26Aのリニアモータによれば、複
数本のティースを有し各ティースにマグネットが取り付
けられた内ヨークと、枠型コイルが取り付けられた外ヨ
ークとの組み合わせによって、従来よりも高推力を実現
できる。
As described above, according to the linear motor of the vertical driving device 26A according to the third embodiment of the present invention, the inner yoke having a plurality of teeth and the magnet attached to each tooth, the frame type coil, By combination with the outer yoke to which is attached, higher thrust than before can be realized.

【0230】また、本発明の第3実施形態にかかる上下
方向駆動装置26Aのリニアモータによれば、複数本の
ティースを有し各ティースにコイルが巻装された内ヨー
クと、マグネットが取り付けられた外ヨークとの組み合
わせによって、従来よりも高推力を実現できる。
Further, according to the linear motor of the vertical driving device 26A according to the third embodiment of the present invention, the inner yoke having a plurality of teeth and the coils wound around each tooth, and the magnet are attached. By combination with the outer yoke, higher thrust than before can be realized.

【0231】なお、上記様々な実施形態のうちの任意の
実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有
する効果を奏するようにすることができる。
By combining any of the various embodiments described above as appropriate, the effects of the respective embodiments can be achieved.

【0232】[0232]

【発明の効果】本発明によれば、部品吸着装置毎にすな
わち吸着ノズル毎に、上下動作と回転補正がそれぞれ可
能なアクチュエータ、すなわち、ノズル昇降装置とノズ
ル回転装置を備えることができ、1つのアクチュエータ
に対する負荷を軽減させることができ、このようなアク
チュエータを搭載した実装ヘッドは、モータが大型化す
ることなく、動作加速度の向上を果たすことができる。
この結果、スループットの向上を図ることができる。
According to the present invention, it is possible to provide an actuator capable of vertical movement and rotation correction, ie, a nozzle elevating device and a nozzle rotating device, for each component suction device, that is, for each suction nozzle. The load on the actuator can be reduced, and the mounting head on which such an actuator is mounted can improve the operation acceleration without increasing the size of the motor.
As a result, the throughput can be improved.

【0233】また、各ノズルが、それぞれのノズル回転
装置により、それぞれ独立して任意のタイミングで軸回
りの回転動作を行うことができるため、部品供給位置で
の部品の姿勢角度に対して装着姿勢角度が90°や18
0°など大きく異なるような部品の場合でも、ノズルで
部品を吸着保持したのち部品の認識を行なう前に、ノズ
ル回転装置を駆動して装着姿勢角度まで予め回転させて
おくことができる。この結果、部品認識前には、全ての
部品が装着姿勢角度に位置しているため、認識後の補正
のための回転量が少なくなり、その分だけ、高精度で装
着姿勢角度に合わせることができる。また、ノズルの熱
変化などから発生する歪みの影響を最小限にとどめるこ
とができて、装着精度の向上を図ることができる。
Further, since each nozzle can independently rotate around the axis at an arbitrary timing by the respective nozzle rotating device, the mounting posture is different from the posture angle of the component at the component supply position. 90 degrees or 18
Even in the case of a component having a large difference such as 0 °, the nozzle rotating device can be driven and rotated to the mounting posture angle in advance before the component is recognized after the component is sucked and held by the nozzle. As a result, since all the components are located at the mounting posture angle before the component recognition, the rotation amount for the correction after the recognition is reduced, and the mounting posture angle can be adjusted with high accuracy by that much. it can. In addition, the influence of distortion generated due to a thermal change of the nozzle or the like can be minimized, and the mounting accuracy can be improved.

【0234】また、ノズルと該ノズルに吸着すべき部品
の厚みの情報を基に、各ノズル毎に吸着すべき部品の厚
みを考慮してノズル昇降装置による各ノズルの昇降量を
調整することにより、部品厚みが大きく異なる場合で
も、複数のノズルによる複数の部品の一括吸着を行って
も、部品にダメージを与えることが無い。また、ノズル
と該ノズルに吸着すべき部品の厚みの情報を基に、各ノ
ズル毎に吸着した部品の下面の高さを一定高さに揃えた
り、一定範囲内に入るようにノズル昇降装置で各ノズル
の昇降量を調整することにより、高さの大きく異なる部
品の一括認識が可能となる。
Further, based on the information on the nozzles and the thicknesses of the components to be sucked by the nozzles, the amount of elevation of each nozzle by the nozzle elevating device is adjusted in consideration of the thickness of the components to be attracted for each nozzle. Even when the component thicknesses are significantly different, even if a plurality of components are collectively sucked by a plurality of nozzles, the components are not damaged. Also, based on the information of the nozzle and the thickness of the component to be sucked to the nozzle, the height of the lower surface of the component sucked for each nozzle is adjusted to a certain height, or the nozzle elevating device is moved so as to fall within a certain range. By adjusting the amount of elevation of each nozzle, it is possible to collectively recognize components having greatly different heights.

【0235】また、各ノズルがそれぞれ独立して任意の
タイミングで軸回りに回転動作を行うことができるた
め、部品供給位置での部品の姿勢角度に対して装着姿勢
角度が90°や180°など大きく異なるような部品の
場合でも、ノズルで部品を吸着保持したのち部品の認識
を行なう前に、ノズル回転装置を駆動して装着姿勢角度
まで予め回転させておくことにより、認識後でかつ装着
前に回転動作を行う場合と比較して、実装タクトの低下
を防止することができる。
Further, since each nozzle can independently rotate around the axis at an arbitrary timing, the mounting attitude angle is 90 °, 180 ° or the like with respect to the component attitude angle at the component supply position. Even in the case of components that differ greatly, the nozzle rotating device is driven and rotated to the mounting posture angle in advance before performing component recognition after suction-holding the component with the nozzle, so that after recognition and before mounting As compared with the case where the rotating operation is performed at a time, it is possible to prevent the mounting tact from lowering.

【0236】また、上記ノズル昇降装置を上記ノズル回
転装置の下方に配置する場合には、上記ノズル回転装置
の回転駆動により上記ノズル昇降装置が上記ノズルとと
もに回転してしまい、上記ノズル昇降装置の配線などの
構造が複雑化することになるが、本発明では、上記ノズ
ル昇降装置を上記ノズル回転装置の上方に配置している
ため、上記ノズル回転装置の回転駆動により上記ノズル
昇降装置が上記ノズルとともに回転することがなく、上
記したような問題も発生することがない。
When the nozzle elevating device is disposed below the nozzle rotating device, the nozzle elevating device rotates together with the nozzle due to the rotational driving of the nozzle rotating device. Although the structure such as becomes complicated, in the present invention, since the nozzle elevating device is disposed above the nozzle rotating device, the nozzle elevating device is rotated together with the nozzle by rotating the nozzle rotating device. There is no rotation, and the problems described above do not occur.

【0237】また、上記ノズル昇降装置は、磁気回路構
成部材と機構構成材を分割する構造とする場合には、磁
気回路構成部材のみを鉄鋼材から構成し、機構構成材を
アルミ合金等から構成するように材料を分けて組み合わ
せることができて、軽量薄型化を実現することができ
る。
When the nozzle elevating device has a structure in which the magnetic circuit component and the mechanism component are divided, only the magnetic circuit component is made of a steel material, and the mechanism component is made of an aluminum alloy or the like. Therefore, the materials can be divided and combined so that the weight and thickness can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1実施形態にかかる部品吸着装置
の概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a component suction device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の上記第1実施形態にかかる部品吸着
装置が搭載されている部品実装装置の全体概略斜視図で
ある。
FIG. 2 is an overall schematic perspective view of a component mounting apparatus on which the component suction device according to the first embodiment of the present invention is mounted.

【図3】 上記部品吸着装置が備えられている上記部品
実装装置の実装ヘッドの斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a mounting head of the component mounting apparatus provided with the component suction device.

【図4】 上記部品実装装置の制御部であるメインコン
トローラと他の装置又は部材との関係を示すブロック図
である。
FIG. 4 is a block diagram illustrating a relationship between a main controller, which is a control unit of the component mounting apparatus, and another device or member.

【図5】 (A),(B)は上記部品吸着装置のノズル
昇降装置の分解斜視図及びノズル回転装置の一部断面図
である。
FIGS. 5A and 5B are an exploded perspective view of a nozzle elevating device of the component suction device and a partial sectional view of a nozzle rotating device.

【図6】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での実
装ヘッドのXY方向移動、各ノズルの昇降(上下)動作
と回転動作などのタイミングチャートである。
FIG. 6 is a timing chart of movement of the mounting head in the XY directions, elevating (up and down) operations and rotation operations of each nozzle in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図7】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での実
装ヘッドのXY方向移動、各ノズルの昇降(上下)動作
と回転動作などの実装動作のフローチャートである。
FIG. 7 is a flowchart of a mounting operation such as a movement of a mounting head in the XY directions, a raising / lowering (up / down) operation and a rotation operation of each nozzle in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図8】 従来の部品実装装置での実装ヘッドのXY方
向移動、各ノズルの昇降(上下)動作と回転動作などの
タイミングチャートである。
FIG. 8 is a timing chart of the movement of the mounting head in the XY directions, the raising / lowering (up / down) operation and the rotation operation of each nozzle in the conventional component mounting apparatus.

【図9】 従来の部品実装装置での実装ヘッドのXY方
向移動、各ノズルの昇降(上下)動作と回転動作などの
実装動作のフローチャートである。
FIG. 9 is a flowchart of a mounting operation such as a movement of a mounting head in the XY directions, a raising / lowering (up / down) operation and a rotation operation of each nozzle in a conventional component mounting apparatus.

【図10】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での
10個のノズルにより吸着保持された部品の底面を一定
の高さに揃える状態を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory view showing a state in which the bottom surfaces of the components sucked and held by ten nozzles in the component mounting apparatus of the first embodiment are aligned at a certain height.

【図11】 (A),(B),(C)はそれぞれメイン
コントローラ、ヘッドコントローラ、サーボドライバ、
モータ、メモリとの関係を示す説明図、部品データベー
スに記憶されている情報の説明図、及び、部品供給カセ
ット配列データの説明図である。
FIGS. 11A, 11B, and 11C are a main controller, a head controller, a servo driver,
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a relationship between a motor and a memory, an explanatory diagram of information stored in a component database, and an explanatory diagram of component supply cassette array data.

【図12】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での
実装ヘッドのXY方向移動、各ノズルの昇降(上下)動
作と回転動作などの実装動作の別の例のフローチャート
である。
FIG. 12 is a flowchart of another example of the mounting operation such as the movement of the mounting head in the XY directions, the raising / lowering (up / down) operation and the rotation operation of each nozzle in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図13】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での
メインコントローラとヘッドコントローラとサーボドラ
イバなどより構成される制御部分の説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of a control portion including a main controller, a head controller, a servo driver, and the like in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図14】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での
メインコントローラとヘッドコントローラとサーボドラ
イバなどより構成される制御部分の概略説明図である。
FIG. 14 is a schematic explanatory view of a control portion including a main controller, a head controller, a servo driver, and the like in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図15】 従来の部品実装装置でのメインコントロー
ラとNCボードとサーボドライバなどより構成される制
御部分の概略説明図である。
FIG. 15 is a schematic explanatory diagram of a control portion including a main controller, an NC board, a servo driver, and the like in a conventional component mounting apparatus.

【図16】 上記第1実施形態の上記部品実装装置での
ヘッドコントローラとサーボドライバなどより構成され
る制御部分の詳細な説明図である。
FIG. 16 is a detailed explanatory diagram of a control portion including a head controller and a servo driver in the component mounting apparatus of the first embodiment.

【図17】 (A),(B)はそれぞれ従来の部品実装
装置での実装ヘッドの部品認識時に認識高さH01が合
わせられない状態を示す説明図、及び、実線のノズルと
点線のノズルにより、ノズルの熱変化などから発生する
歪みを示す説明図である。
FIGS. 17A and 17B are explanatory diagrams showing a state in which the recognition height H01 cannot be adjusted at the time of component recognition of the mounting head in the conventional component mounting apparatus, and a solid line nozzle and a dotted line nozzle, respectively. FIG. 4 is an explanatory diagram showing distortion generated due to a thermal change of a nozzle.

【図18】 従来の部品実装装置での実装ヘッドのノズ
ル毎に備えられたバネを部品の厚み差分だけ縮ませるこ
とにより部品の厚み差を吸収している状態を示す説明図
である。
FIG. 18 is an explanatory view showing a state in which a spring provided for each nozzle of a mounting head in a conventional component mounting apparatus is contracted by a component thickness difference to absorb the component thickness difference.

【図19】 本発明の第2実施形態にかかる部品吸着装
置が搭載されている部品実装装置の全体概略斜視図であ
る。
FIG. 19 is an overall schematic perspective view of a component mounting apparatus on which a component suction device according to a second embodiment of the present invention is mounted.

【図20】 図19の部品実装装置の部分斜視図であ
る。
20 is a partial perspective view of the component mounting apparatus of FIG.

【図21】 上記第2実施形態の上記部品実装装置での
実装ヘッドのX方向移動、YテーブルのY軸方向移動、
各ノズルの昇降(上下)動作と回転動作などの実装動作
のフローチャートである。
FIG. 21 shows the movement of the mounting head in the X direction and the movement of the Y table in the Y axis direction in the component mounting apparatus of the second embodiment;
It is a flowchart of mounting operation such as raising / lowering (up / down) operation and rotation operation of each nozzle.

【図22】 従来の実装ヘッドの斜視図である。FIG. 22 is a perspective view of a conventional mounting head.

【図23】 (A),(B)はノズルが熱などの影響を
受けない場合と受ける場合とにおいてノズルを回転させ
るときの部品の装着位置ずれを説明するための説明図で
ある。
FIGS. 23A and 23B are explanatory diagrams for explaining a mounting position shift of a component when the nozzle is rotated when the nozzle is not affected by heat or the like and when the nozzle is rotated.

【図24】 本発明の第3実施形態にかかる部品吸着装
置を10個備えた実装ヘッドの正面図である。
FIG. 24 is a front view of a mounting head including ten component suction devices according to a third embodiment of the present invention.

【図25】 図24の部品吸着装置の斜視図である。25 is a perspective view of the component suction device of FIG.

【図26】 図24の上記部品吸着装置の一部断面側面
図である。
26 is a partial cross-sectional side view of the component suction device of FIG.

【図27】 図24の上記部品吸着装置の駆動軸の正面
図である。
FIG. 27 is a front view of a drive shaft of the component suction device of FIG. 24.

【図28】 図24の上記部品吸着装置の駆動軸のスプ
ラインシャフト部の断面図である。
FIG. 28 is a sectional view of a spline shaft portion of a drive shaft of the component suction device of FIG.

【図29】 図24の上記部品吸着装置のノズルの上端
位置での上記部品吸着装置の一部断面側面図である。
FIG. 29 is a partial sectional side view of the component suction device at the upper end position of a nozzle of the component suction device of FIG. 24;

【図30】 図24の上記部品吸着装置のノズルの下端
位置での上記部品吸着装置の一部断面側面図である。
FIG. 30 is a partial cross-sectional side view of the component suction device at a lower end position of a nozzle of the component suction device of FIG. 24;

【図31】 図24の上記部品吸着装置のボイスコイル
モータの正面図である。
FIG. 31 is a front view of a voice coil motor of the component suction device of FIG. 24;

【図32】 図31の上記部品吸着装置のボイスコイル
モータの左側面図である。
FIG. 32 is a left side view of the voice coil motor of the component suction device of FIG. 31.

【図33】 図31の上記部品吸着装置のボイスコイル
モータの図31のB−B線断面図である。
FIG. 33 is a sectional view of the voice coil motor of the component suction device of FIG. 31 taken along the line BB of FIG. 31;

【図34】 図31の上記部品吸着装置のボイスコイル
モータの図32のA−A線断面図である。
FIG. 34 is a sectional view of the voice coil motor of the component suction device of FIG. 31 taken along the line AA of FIG. 32;

【図35】 ベアリングの寿命について説明するための
従来の実装ヘッドの斜視図である。
FIG. 35 is a perspective view of a conventional mounting head for describing the life of a bearing.

【図36】 (A),(B)はそれぞれベアリングの寿
命について説明するための従来の実装ヘッドのノズルの
回転動作の説明図である。
36 (A) and (B) are explanatory views of the rotation operation of the nozzle of the conventional mounting head for explaining the life of the bearing.

【図37】 ベアリングの寿命について説明するための
第3実施形態の実装ヘッドの斜視図である。
FIG. 37 is a perspective view of a mounting head according to a third embodiment for explaining the life of a bearing.

【図38】 (A),(B)はそれぞれベアリングの寿
命について説明するための第3実施形態の実装ヘッドの
ノズルの回転動作の説明図である。
FIGS. 38A and 38B are explanatory views of the rotation operation of the nozzle of the mounting head according to the third embodiment for describing the life of the bearing.

【図39】 本発明の第3実施形態にかかるθ回転駆動
モータの第1例のブラシレスモータのメカ部分の分解斜
視図である。
FIG. 39 is an exploded perspective view of a mechanical part of a brushless motor of a first example of a θ rotation drive motor according to a third embodiment of the present invention.

【図40】 図39の第1例のブラシレスモータの組上
がりの斜視図である。
40 is a perspective view of the assembled brushless motor of the first example of FIG. 39.

【図41】 図39の第1例のブラシレスモータの拡大
断面図である。
FIG. 41 is an enlarged sectional view of the brushless motor of the first example of FIG. 39;

【図42】 図39の第1例のブラシレスモータの具体
的な形状例を示す拡大断面図である。
42 is an enlarged sectional view showing a specific example of the shape of the brushless motor of the first example in FIG. 39.

【図43】 本発明の第3実施形態にかかるθ回転駆動
モータの第2例のブラシレスモータのステータの斜視図
である。
FIG. 43 is a perspective view of a stator of a brushless motor as a second example of the θ rotation drive motor according to the third embodiment of the present invention.

【図44】 (a),(b)はそれぞれ本発明の第3実
施形態にかかるθ回転駆動モータの第3例のブラシレス
モータのステータブロックの分解斜視図と第3例の拡大
断面図である。
FIGS. 44A and 44B are an exploded perspective view of a stator block of a brushless motor as a third example of the θ rotation drive motor according to the third embodiment of the present invention and an enlarged sectional view of the third example, respectively. .

【図45】 従来のブラシレスモータの説明図である。FIG. 45 is an explanatory diagram of a conventional brushless motor.

【図46】 (a),(b)はそれぞれ従来のコアレス
ブラシレスモータの説明図である。
FIGS. 46A and 46B are explanatory views of a conventional coreless brushless motor.

【図47】 本発明の第3実施形態にかかる上下方向駆
動装置の第1例のリニアモータの分解斜視図である。
FIG. 47 is an exploded perspective view of a linear motor of a first example of a vertical driving device according to a third embodiment of the present invention.

【図48】 第1例のリニアモータの組み立て状態を示
す斜視図である。
FIG. 48 is a perspective view showing an assembled state of the linear motor of the first example.

【図49】 第1例のリニアモータの組み立て状態を示
す要部の拡大断面図である。
FIG. 49 is an enlarged sectional view of a main part showing an assembled state of the linear motor of the first example.

【図50】 第1例のリニアモータの磁束の状態を示す
説明図である。
FIG. 50 is an explanatory diagram showing a state of a magnetic flux of the linear motor of the first example.

【図51】 本発明の第3実施形態にかかる上下方向駆
動装置の第2例のリニアモータの外観斜視図である。
FIG. 51 is an external perspective view of a linear motor of a second example of the up-down direction driving device according to the third embodiment of the present invention.

【図52】 第2例のリニアモータの磁束の状態を示す
説明図である。
FIG. 52 is an explanatory diagram showing a state of a magnetic flux of the linear motor of the second example.

【図53】 従来のボイスコイル型リニアモータの平面
図である。
FIG. 53 is a plan view of a conventional voice coil type linear motor.

【図54】 同従来例の3相型の平面図である。FIG. 54 is a plan view of a three-phase type of the conventional example.

【図55】 別の従来例の側面図である。FIG. 55 is a side view of another conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1A…ローダー、2,2−0,2−1,2−2,2
−3…基板、3…基板搬送保持装置、4,4A,4C…
実装ヘッド、5…XYロボット、6a…Y軸駆動部、6
b,6c…X軸駆動部、6x,6y…XYロボット用モ
ータ、7…ノズルステーション、8A,8B,8C,8
D…部品供給装置、9,9A…認識カメラ、10,10
A…吸着ノズル、10c…上端開口、11,11A…ア
ンローダー、15…部品吸着装置、20…部品、25…
ノズル回転装置、25A…θ回転駆動モータ、25a…
パッキン、25b…ベアリング、25c…ケーシング、
25d…吸引排気室、25e…エンコーダ、25m…θ
軸モータ、25p…給排気通路、25r…円筒磁石、2
5s…ステータ、26…ノズル昇降装置、26A…上下
方向駆動装置、26a…磁気回路構成部材、26b…機
構構成材、26c…リニアモータ用コイル、26d…カ
バー、26g…リニアガイド、26s…支持部材、32
…昇降用リニアモータ、50…給排気装置、910…メ
モリ、1000…メインコントローラ、1001…ヘッ
ドコントローラ、1002,1002A…サーボドライ
バ、1005…メモリ、1010…XYロボット用コン
トローラ、101…ロータ、103…コイル、105
a,105b…第1,第2のステータブロック、106
…ホルダー本体、107…ホルダー板、108a,10
8b,108c…ティース、109…ティース巻線部、
110…巻溝、206…外ヨーク、207a,207b
…枠型コイル、208a,208b…スライダ、209
a,209b…第1,第2のティース、209…内ヨー
ク、211a〜211d…第1〜第4のマグネット、2
12a,212b…内ヨーク209のティースに巻装さ
れたコイル、214a,214b…ガイドレール、21
5a〜215c…ビス、B…磁気連通部、L1…枠型コ
イル207a,207bのマグネットとの対向辺の長
さ、L2…枠型コイル207a,207bの渡り区間X
の長さ、L3…ティースのマグネットとの対向辺の長
さ、L4…ティースの対向辺の長さL3をつなぐ接続辺
の長さ。
1,1A: loader, 2,2-0,2-1,2-2,2
-3 ... substrate, 3 ... substrate carrying and holding device, 4, 4A, 4C ...
Mounting head, 5 ... XY robot, 6a ... Y axis drive unit, 6
b, 6c: X-axis drive unit, 6x, 6y: XY robot motor, 7: nozzle station, 8A, 8B, 8C, 8
D: parts supply device, 9, 9A: recognition camera, 10, 10
A: suction nozzle, 10c: upper end opening, 11, 11A: unloader, 15: component suction device, 20: component, 25 ...
Nozzle rotating device, 25A ... θ rotation drive motor, 25a ...
Packing, 25b ... bearing, 25c ... casing,
25d: suction and exhaust chamber, 25e: encoder, 25m: θ
Shaft motor, 25p ... supply / exhaust passage, 25r ... cylindrical magnet, 2
5s: stator, 26: nozzle elevating device, 26A: vertical driving device, 26a: magnetic circuit component, 26b: mechanism component, 26c: linear motor coil, 26d: cover, 26g: linear guide, 26s: support member , 32
... Linear motor for raising and lowering, 50. Supply / exhaust device, 910. Memory, 1000. Main controller, 1001. Head controller, 1002, 1002A. Servo driver, 1005. Memory, 1010. Controller for XY robot, 101. Coil, 105
a, 105b: First and second stator blocks, 106
... Holder body, 107 ... Holder plate, 108a, 10
8b, 108c: teeth, 109: teeth winding portion,
110: winding groove, 206: outer yoke, 207a, 207b
... Frame-shaped coil, 208a, 208b ... Slider, 209
a, 209b: first and second teeth, 209: inner yoke, 211a to 211d: first to fourth magnets, 2
12a, 212b ... coils wound around teeth of inner yoke 209, 214a, 214b ... guide rails, 21
5a to 215c: screw, B: magnetic communication portion, L1: length of side of frame type coils 207a, 207b facing the magnet, L2: crossing section X of frame type coils 207a, 207b
, L3: length of the side of the tooth facing the magnet, L4: length of the connection side connecting the length L3 of the opposite side of the tooth.

フロントページの続き (72)発明者 左近 英雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 牧野 洋一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 ▲高▼野 健 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5E313 AA03 CC03 CD06 EE01 EE02 EE03 EE24 EE25 EE37 EE38 FF24 Continued on the front page (72) Inventor Hideo Sakon 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Yoichi Makino 1006 Oji Kadoma Kadoma, Osaka Pref. ▲ Taka ▼ Ken 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (reference) 5E313 AA03 CC03 CD06 EE01 EE02 EE03 EE24 EE25 EE37 EE38 FF24

Claims (31)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路形成体(2)に装着すべき部品(2
0)を吸着する部品吸着装置であって、 上記部品を吸着保持する吸着ノズル(10)と、 上記吸着ノズルを保持しかつ上記吸着ノズルを回転させ
るノズル回転装置(25)と、 上記ノズル回転装置よりも上方に配置されて上記吸着ノ
ズルに連結されて上記吸着ノズルを上記吸着ノズルの軸
方向沿いに上下動させるノズル昇降装置(26)とを備
えるようにしたことを特徴とする部品吸着装置。
A component (2) to be mounted on a circuit forming body (2).
A suction nozzle (10) for sucking and holding the component, a nozzle rotating device (25) for holding the suction nozzle and rotating the suction nozzle, and a nozzle rotating device. A component suction device further comprising a nozzle elevating device (26) disposed above and connected to the suction nozzle to move the suction nozzle up and down along the axial direction of the suction nozzle.
【請求項2】 上記ノズル昇降装置(26)は、上記ノ
ズル回転装置(25)を上記吸着ノズルの上記軸方向沿
いに昇降させる昇降用リニアモータ(32)より構成さ
れ、上記昇降用リニアモータを駆動して上記ノズル回転
装置を昇降させることにより、上記吸着ノズルを上記吸
着ノズルの上記軸方向沿いに上下動させるようにした請
求項1に記載の部品吸着装置。
2. The nozzle elevating device (26) includes an elevating linear motor (32) for elevating and lowering the nozzle rotating device (25) along the axial direction of the suction nozzle. The component suction device according to claim 1, wherein the suction nozzle is moved up and down along the axial direction of the suction nozzle by driving the nozzle rotation device to move up and down.
【請求項3】 上記昇降用リニアモータ(32)の機構
構成材(26b)に固定された磁気回路構成部材(26
a)に対してコイル(26c)が上下方向に移動可能に
構成され、上記コイルを支持する支持部材(26s)に
上記ノズル回転装置が固定されている請求項1〜3のい
ずれか1つに記載の部品吸着装置。
3. A magnetic circuit component (26) fixed to a mechanism component (26b) of the lifting linear motor (32).
The coil according to any one of claims 1 to 3, wherein the coil (26c) is configured to be vertically movable with respect to a), and the nozzle rotating device is fixed to a support member (26s) supporting the coil. The component suction device described in the above.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1つに記載の部
品吸着装置(15)を複数個有する実装ヘッド(4)と
を備え、 上記複数の部品吸着装置の上記ノズル回転装置(25)
はそれぞれ個別に独立して駆動され、かつ、上記複数の
部品吸着装置の上記ノズル昇降装置(26)はそれぞれ
個別に独立して駆動されるようにした部品実装装置。
4. A mounting head (4) having a plurality of component suction devices (15) according to any one of claims 1 to 3, wherein the nozzle rotating device (25) of the plurality of component suction devices is provided. )
Is a component mounting apparatus which is individually and independently driven, and wherein the nozzle elevating devices (26) of the plurality of component suction devices are individually and independently driven.
【請求項5】 請求項1〜3のいずれか1つに記載の部
品吸着装置(15)を複数個有する実装ヘッド(4)と
を備え、 上記複数の部品吸着装置の上記吸着ノズルによりそれぞ
れ吸着保持された部品を、それぞれの部品の装着姿勢角
度まで上記ノズル回転装置(25)の駆動により回転さ
せたのち、上記吸着ノズルに吸着保持されかつ各装着姿
勢角度まで回転させられたそれぞれの部品の姿勢の認識
を行ったのち、認識結果を基に姿勢を補正し、その後、
それぞれの部品を上記回路形成体(2)に装着するよう
に動作制御するメインコントローラ(1000)を備え
るようにした部品実装装置。
5. A mounting head (4) having a plurality of component suction devices (15) according to any one of claims 1 to 3, wherein the suction nozzles of the plurality of component suction devices respectively suction. After rotating the held components to the mounting posture angles of the respective components by driving the nozzle rotating device (25), each of the components sucked and held by the suction nozzle and rotated to the respective mounting posture angles is rotated. After performing posture recognition, correct the posture based on the recognition result, and then
A component mounting apparatus including a main controller (1000) that controls operation so that each component is mounted on the circuit forming body (2).
【請求項6】 上記メインコントローラ(1000)
は、上記吸着ノズルによりそれぞれ吸着保持された部品
を、それぞれの部品の装着姿勢角度まで上記ノズル回転
装置(25)の駆動により同時的に回転させるように制
御する請求項4に記載の部品実装装置。
6. The main controller (1000)
5. The component mounting apparatus according to claim 4, wherein the component mounting device controls the components held by the suction nozzles to be simultaneously rotated by driving the nozzle rotating device (25) to a mounting posture angle of each component. .
【請求項7】 請求項1〜3のいずれか1つに記載の部
品吸着装置(15)を複数個有する実装ヘッド(4)
と、 上記複数の部品吸着装置の上記吸着ノズルによりそれぞ
れ吸着保持された部品をそれぞれの部品の装着姿勢角度
まで上記ノズル回転装置(25)の駆動により同時的に
回転させたのち、各装着姿勢角度まで回転させられたそ
れぞれの部品を上記回路形成体(2)に装着するように
動作制御するメインコントローラ(1000)を備える
ようにした部品実装装置。
7. A mounting head (4) having a plurality of component suction devices (15) according to claim 1.
And simultaneously rotating the components sucked and held by the suction nozzles of the plurality of component suction devices to the mounting posture angles of the respective components by driving the nozzle rotating device (25). A component mounting apparatus comprising a main controller (1000) for controlling the operation of mounting each component rotated to the circuit forming body (2).
【請求項8】 請求項1〜3のいずれか1つに記載の部
品吸着装置(15)を複数個有する実装ヘッド(4)
と、 上記複数の部品吸着装置の上記吸着ノズルにより部品を
吸着保持した直後に、各部品吸着装置の上記ノズル回転
装置(25)の駆動により、それぞれの部品をそれぞれ
の装着姿勢角度まで個別に独立して回転させたのち、各
装着姿勢角度まで回転させられたそれぞれの部品を上記
回路形成体(2)に装着するように動作制御するメイン
コントローラ(1000)を備えるようにした部品実装
装置。
8. A mounting head (4) having a plurality of component suction devices (15) according to claim 1.
Immediately after the components are sucked and held by the suction nozzles of the plurality of component suction devices, the respective components are individually and individually independent up to their mounting posture angles by driving the nozzle rotating device (25) of each component suction device. A component mounting apparatus comprising: a main controller (1000) for controlling the operation of mounting each component rotated to each mounting posture angle after mounting and rotating the component to the circuit forming body (2).
【請求項9】 回路形成体(2)に装着すべき部品(2
0)を複数の吸着ノズル(10)で吸着保持したのち上
記回路形成体に上記吸着保持された部品を装着する部品
実装方法であって、 上記吸着ノズルによりそれぞれ吸着保持されたそれぞれ
の部品を、その部品の装着姿勢角度まで個別にかつ独立
して回転させ、 その後、上記吸着ノズルに吸着保持されかつ各装着姿勢
角度まで回転させられたそれぞれの部品の姿勢の認識を
行い、 その後、認識結果を基に姿勢を補正し、その後、それぞ
れの部品を上記回路形成体(2)に装着するようにした
部品実装方法。
9. A component (2) to be mounted on the circuit forming body (2).
A component mounting method for mounting the component held by suction on the circuit forming body after suction-holding the component (0) by a plurality of suction nozzles (10). The components are individually and independently rotated up to the mounting posture angle, and then the postures of the components sucked and held by the suction nozzle and rotated to the respective mounting posture angles are recognized. A component mounting method in which a posture is corrected based on the position, and then each component is mounted on the circuit forming body (2).
【請求項10】 上記吸着ノズルによりそれぞれ吸着保
持されたそれぞれの部品を、その部品の装着姿勢角度ま
で個別にかつ独立して回転させるとき、上記複数の吸着
ノズルによりそれぞれ吸着保持された部品を、それぞれ
の部品の上記装着姿勢角度まで同時的に回転させるよう
にした請求項9に記載の部品実装方法。
10. When each of the components sucked and held by the suction nozzle is individually and independently rotated up to the mounting posture angle of the component, the component sucked and held by the plurality of suction nozzles is The component mounting method according to claim 9, wherein the components are simultaneously rotated to the mounting posture angle.
【請求項11】 上記吸着ノズルによりそれぞれ吸着保
持されたそれぞれの部品を、その部品の装着姿勢角度ま
で個別にかつ独立して回転させるとき、上記吸着ノズル
により部品を吸着保持した直後に、それぞれの部品をそ
れぞれの装着姿勢角度まで個別に独立して回転させるよ
うにした請求項9に記載の部品実装方法。
11. When each of the components sucked and held by the suction nozzle is individually and independently rotated up to the mounting posture angle of the component, each component is sucked and held immediately by the suction nozzle. The component mounting method according to claim 9, wherein the components are individually and independently rotated up to respective mounting posture angles.
【請求項12】 請求項1〜3のいずれか1つに記載の
部品吸着装置(15)を複数個有する実装ヘッド(4)
と、 部品実装装置本体に配置されて部品実装動作を制御する
メインコントローラ(1000)と、 上記実装ヘッドに配置されかつ上記メインコントローラ
(1000)と接続されて上記メインコントローラとの
間で駆動制御に関する情報をシリアル接続による1対1
の非同期通信を行うヘッドコントローラ(1001)
と、 上記実装ヘッドに配置されかつ上記ヘッドコントローラ
に接続されて上記ヘッドコントローラとの間で駆動制御
に関する情報をシリアル接続による1対多の同期通信が
行われて、上記ヘッドコントローラより得られた駆動制
御に関する情報を基に上記各部品吸着装置の上記ノズル
昇降装置(26)とを駆動制御する複数のサーボドライ
バ(1002)とを備えるようにした部品実装装置。
12. A mounting head (4) having a plurality of component suction devices (15) according to claim 1.
A main controller (1000) arranged on the component mounting apparatus main body to control a component mounting operation; and a drive controller arranged on the mounting head and connected to the main controller (1000) to drive control between the main controller and the main controller. One-to-one information by serial connection
Controller (1001) that performs asynchronous communication
One-to-many synchronous communication is performed by serially connecting information on drive control with the head controller, which is arranged on the mounting head and connected to the head controller, and a drive obtained from the head controller. A component mounting apparatus comprising: a plurality of servo drivers (1002) for drivingly controlling the nozzle elevating device (26) of each of the component suction devices based on information on control.
【請求項13】 上記複数のサーボドライバは個々に異
なるアドレスを有しており、 上記駆動制御に関する情報は、上記サーボドライバのア
ドレスと、上記ノズル昇降装置又は上記ノズル回転装置
の駆動量の情報とを含む駆動量情報と、上記駆動量情報
とは異なるタイミングで通信される動作開始信号とより
構成され、上記アドレスを有する上記サーボドライバで
上記駆動制御に関する情報が受取られたのち、上記動作
開始信号を受取ると、上記サーボドライバは、上記駆動
量情報に基き上記ノズル昇降装置又は上記ノズル回転装
置が駆動されるように制御する請求項12に記載の部品
実装装置。
13. The plurality of servo drivers individually have different addresses. The information on the drive control includes an address of the servo driver, information on a drive amount of the nozzle elevating device or the nozzle rotating device, and And the operation start signal communicated at a different timing from the drive amount information, and after the information on the drive control is received by the servo driver having the address, the operation start signal 13. The component mounting apparatus according to claim 12, wherein the servo driver performs control to drive the nozzle elevating device or the nozzle rotating device based on the driving amount information when receiving.
【請求項14】 上記複数の部品吸着装置のそれぞれの
上記吸着ノズルにより部品を吸着保持したのち、部品認
識を開始する前に、上記それぞれの上記ノズル昇降装置
を駆動して上記吸着ノズルを昇降させて各部品の底面を
揃えるようにした請求項4〜8のいずれか1つに記載の
部品実装装置。
14. After suction-holding a component by each of the suction nozzles of the plurality of component suction devices and before starting component recognition, the respective nozzle lifting devices are driven to raise and lower the suction nozzle. The component mounting apparatus according to any one of claims 4 to 8, wherein the bottom surfaces of the components are aligned by pressing.
【請求項15】 回路形成体(2)に装着すべき部品
(20)を吸着する部品吸着装置であって、 上下方向に移動可能にかつ軸回りに回転可能な駆動軸
(500)と、 上記駆動軸の先端に相対回転不可かつ上下方向に相対移
動不可に取り付けられて上記部品を吸着保持可能な吸着
ノズル(10A)と、 上記駆動軸の上部に上下方向に相対移動可能にかつ相対
回転不可に連結されて上記駆動軸を軸回りに回転させる
θ回転駆動モータ(25A)と、 上記駆動軸に上下方向に相対移動不可にかつ相対回転可
能に連結する第1連結部(501)を有しかつ上記第1
連結部を上下方向に駆動して上記駆動軸を上下方向に駆
動する上下方向駆動装置(26A)と、 を備えるようにしたことを特徴とする部品吸着装置。
15. A component suction device for sucking a component (20) to be mounted on a circuit forming body (2), wherein the drive shaft (500) is movable vertically and rotatable around an axis. A suction nozzle (10A) which is attached to the tip of the drive shaft so as to be relatively non-rotatable and relatively non-movable in the vertical direction, and is capable of suction-holding the above-mentioned components; A rotation drive motor (25A) connected to the drive shaft to rotate the drive shaft around the axis, and a first connection portion (501) connected to the drive shaft so as to be relatively immovable and relatively rotatable in the vertical direction. And the first
And a vertical drive device (26A) for driving the connecting portion in the vertical direction to drive the drive shaft in the vertical direction.
【請求項16】 上記駆動軸を複数備え、各駆動軸に対
して上記上下方向駆動装置と上記θ回転駆動モータとを
それぞれ備えるとともに、上記上下方向駆動装置と上記
θ回転駆動モータの配置ピッチが上記吸着ノズルの配置
ピッチと同一であり、かつ、上記吸着ノズルにより吸着
保持される上記部品を供給する部品供給装置の複数の部
品供給部の配置ピッチと同一である請求項15に記載の
部品吸着装置。
16. The apparatus according to claim 16, further comprising: a plurality of the drive shafts, wherein the drive shaft and the θ-rotation drive motor are provided for each drive shaft, and an arrangement pitch of the vertical drive and the θ-rotation drive motor is different. The component suction according to claim 15, wherein the component pitch is the same as the arrangement pitch of the suction nozzles and is the same as the arrangement pitch of a plurality of component supply units of a component supply device that supplies the component sucked and held by the suction nozzle. apparatus.
【請求項17】 上記上下方向駆動装置は、リニアモー
タである請求項15又は16に記載の部品吸着装置。
17. The component suction device according to claim 15, wherein the vertical driving device is a linear motor.
【請求項18】 上記θ回転駆動モータは、ブラシレス
モータである請求項15〜17のいずれか1つに記載の
部品吸着装置。
18. The component suction device according to claim 15, wherein the θ rotation drive motor is a brushless motor.
【請求項19】 上記ノズルの吸引動作を制御する吸引
制御バルブ(580)をさらに備えた請求項15〜18
のいずれか1つに記載の部品吸着装置。
19. A suction control valve (580) for controlling a suction operation of the nozzle.
The component suction device according to any one of the above.
【請求項20】 上記ブラシレスモータは、 軸心方向に回転自在に支持され周方向に複数極に着磁さ
れたロータと、ティース巻線部にコイルが巻回されたテ
ィース先端を上記ロータの外周に対向して配置したステ
ータとを有し、ステータの回転磁界に伴ってロータが回
転するブラシレスモータにおいて、 上記ステータの各ティース先端の形状を、ロータの外周
に沿う円弧面に形成し、各ティース巻線部を互いに平行
に形成したブラシレスモータである請求項18に記載の
部品吸着装置。
20. The brushless motor, comprising: a rotor rotatably supported in an axial direction and magnetized to a plurality of poles in a circumferential direction; and a tooth tip having a coil wound around a tooth winding portion. The brushless motor in which the rotor rotates in accordance with the rotating magnetic field of the stator, the shape of the tip of each tooth of the stator is formed on an arc surface along the outer periphery of the rotor, 19. The component suction device according to claim 18, wherein the component suction device is a brushless motor having winding portions formed in parallel with each other.
【請求項21】 上記ブラシレスモータは、ステータ
を、ティース先端のロータの外周に対向する円弧面のス
ロットピッチを対称に形成した請求項20に記載の部品
吸着装置。
21. The component suction device according to claim 20, wherein in the brushless motor, the stator has a slot pitch of a circular arc surface facing the outer periphery of the rotor at the tip end of the teeth symmetrical.
【請求項22】 上記ブラシレスモータは、ステータ
を、ロータの軸心方向に沿って厚みを有し、上記ロータ
の端面に沿う形状が上記軸心の回りの0度と180度を
結ぶ方向の第1の長さよりも90度と270度を結ぶ方
向の第2の長さが長い扁平型に形成した請求項20又は
21に記載の部品吸着装置。
22. The brushless motor, wherein the stator has a thickness along the axial direction of the rotor, and the shape along the end face of the rotor is a first direction in a direction connecting 0 ° and 180 ° around the axial center. 22. The component suction device according to claim 20, wherein the component suction device is formed in a flat shape in which a second length in a direction connecting 90 degrees and 270 degrees is longer than one length.
【請求項23】 上記ブラシレスモータは、 扁平型のステータを、軸心の回りの上記0度と180度
を結ぶ方向を境に当接する第1,第2のステータブロッ
クで構成した請求項22に記載の部品吸着装置。
23. The brushless motor according to claim 22, wherein the flat-type stator is constituted by first and second stator blocks that abut on a direction connecting the 0 ° and 180 ° around an axis. The component suction device described in the above.
【請求項24】 上記ブラシレスモータは、第1のステ
ータブロックと第2のステータブロックの各ステータブ
ロックを、ティース巻線部の基端部で磁路を形成するよ
うに接合した複数のティースブロックで構成した請求項
23に記載の部品吸着装置。
24. The brushless motor, comprising a plurality of tooth blocks in which each of the first and second stator blocks is joined to form a magnetic path at a base end of the tooth winding. The component suction device according to claim 23, wherein the component suction device is configured.
【請求項25】 上記ブラシレスモータは、扁平型の上
記ステータを、単一のステータブロックで構成した請求
項24に記載の部品吸着装置。
25. The component suction device according to claim 24, wherein in the brushless motor, the flat-type stator is configured by a single stator block.
【請求項26】 上記ブラシレスモータは、 扁平型のステータを、上記第1の長さの方向と交差する
側面に、ティース巻線部となる溝を上記厚み方向に沿っ
て形成し、 この溝に巻回されたコイルの最外周面が上記側面と面一
または上記側面よりも内側に位置する請求項24に記載
の部品吸着装置。
26. The brushless motor, wherein a flat stator is formed on a side surface intersecting the first length direction with a groove serving as a tooth winding portion along the thickness direction. The component suction device according to claim 24, wherein the outermost peripheral surface of the wound coil is flush with the side surface or located inside the side surface.
【請求項27】 上記リニアモータは、 固定側の筒型の外ヨークの内側に複数の枠型コイルを設
け、 上記枠型コイルを貫いて少なくとも一端に磁気連通部が
形成された複数のティースを有する内ヨークを設け、 各ティースの両面にそれぞれ上記枠型コイルとの対向面
が単一極で隣接するティースが別極性になるようマグネ
ットを設け、 上記マグネットのうちの特定のマグネットから放射され
た磁束が、外ヨークを介して隣接するティースに流れ上
記磁気連通部を通過して上記特定のマグネットが設けら
れているティースを流れて上記特定のマグネットに環流
するよう構成し、 上記枠型コイルに通電して上記マグネットと内ヨークか
らなる可動側がティースの長手方向に移動する請求項1
7に記載の部品吸着装置。
27. The linear motor, comprising: a plurality of frame-shaped coils provided inside a fixed-side cylindrical outer yoke; and a plurality of teeth having a magnetic communication portion formed at least at one end through the frame-shaped coil. An inner yoke is provided, and a magnet is provided on both sides of each tooth such that the adjacent surface to the frame type coil has a single pole and adjacent teeth have different polarities, and is radiated from a specific magnet among the magnets The magnetic flux flows to the adjacent teeth via the outer yoke, passes through the magnetic communication portion, flows through the teeth provided with the specific magnet, and recirculates to the specific magnet. The movable side comprising the magnet and the inner yoke is moved in the longitudinal direction of the teeth by energization.
8. The component suction device according to 7.
【請求項28】 上記リニアモータは、内ヨークが、U
字型である請求項27に記載の部品吸着装置。
28. The linear motor, wherein the inner yoke is U
The component suction device according to claim 27, wherein the component suction device is shaped like a letter.
【請求項29】 上記リニアモータは、枠型コイルの開
口面の形状が、マグネットとの対向辺の長さが渡り区間
の長さに比べて長い矩形である請求項27に記載の部品
吸着装置。
29. The component suction device according to claim 27, wherein in the linear motor, the shape of the opening surface of the frame-shaped coil is a rectangle in which the length of the side facing the magnet is longer than the length of the cross section. .
【請求項30】 上記リニアモータは、 少なくとも一端に磁気連通部が形成された複数のティー
スを有する内ヨークを設け、 複数のティースの外側を取り巻く外ヨークを設け、 外ヨークの内側には、それぞれティースとの対向面が単
一極で、隣接するティースとの対向面とは別極性になる
ようティースの両面に対向してマグネットを設け、 内ヨークの各ティースにコイルを巻装し、 上記マグネットのうちの特定のマグネットから放射され
た磁束が、外ヨークを介して隣接するティースに流れ上
記磁気連通部を通過して上記特定のマグネットに対向し
ているティースを流れて上記特定のマグネットに環流す
るよう構成し、 上記コイルに通電して上記マグネットと外ヨークからな
る可動側がティースの長手方向に移動する請求項28に
記載の部品吸着装置。
30. The linear motor, comprising: an inner yoke having a plurality of teeth each having a magnetic communication portion formed at at least one end; an outer yoke surrounding the outer sides of the plurality of teeth; A magnet is provided on both sides of the tooth so that the surface facing the tooth has a single pole and has a different polarity from the surface facing the adjacent tooth, and a coil is wound around each tooth of the inner yoke. The magnetic flux radiated from the specific magnet among the above flows to the adjacent teeth via the outer yoke, passes through the magnetic communication portion, flows through the teeth facing the specific magnet, and returns to the specific magnet. 29. The part according to claim 28, wherein the movable side including the magnet and the outer yoke moves in the longitudinal direction of the teeth by energizing the coil. Goods adsorption device.
【請求項31】 上記リニアモータは、ティースの形状
を、マグネットとの対向辺の長さがこの対向辺をつなぐ
接続辺の長さに比べて長い矩形である請求項30に記載
の部品吸着装置。
31. The component suction device according to claim 30, wherein the teeth of the linear motor have a rectangular shape in which a length of a side facing the magnet is longer than a length of a connection side connecting the opposite sides. .
JP2001281214A 2000-09-19 2001-09-17 Part suction device, part mounter and part mounting method Pending JP2002353694A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001281214A JP2002353694A (en) 2000-09-19 2001-09-17 Part suction device, part mounter and part mounting method

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000283650 2000-09-19
JP2001-80654 2001-03-21
JP2001080654 2001-03-21
JP2000-283650 2001-03-21
JP2001281214A JP2002353694A (en) 2000-09-19 2001-09-17 Part suction device, part mounter and part mounting method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002353694A true JP2002353694A (en) 2002-12-06

Family

ID=27344658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001281214A Pending JP2002353694A (en) 2000-09-19 2001-09-17 Part suction device, part mounter and part mounting method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002353694A (en)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005210078A (en) * 2003-12-26 2005-08-04 Yamaha Motor Co Ltd Surface mounting equipment
JP2006080158A (en) * 2004-09-07 2006-03-23 Juki Corp Surface mounting apparatus
WO2007111296A1 (en) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Nozzle mechanism, mounting head, and electronic component mounting equipment
JP2008091684A (en) * 2006-10-03 2008-04-17 Yamaha Motor Co Ltd Servo amplifier and surface mounting machine
JP2009091155A (en) * 2007-09-19 2009-04-30 Ngk Insulators Ltd Tray jig
JP2009164398A (en) * 2008-01-08 2009-07-23 Yamaha Motor Co Ltd Surface mounting apparatus
JP2009170834A (en) * 2008-01-21 2009-07-30 Panasonic Corp Tape feeder and electronic component mounting apparatus
JP2010118468A (en) * 2008-11-12 2010-05-27 Toshiba Corp Apparatus and method for manufacturing semiconductor device
US7966718B2 (en) 2002-11-21 2011-06-28 Fuji Machine Mfg Co., Ltd. Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system
JP2011187983A (en) * 2003-01-24 2011-09-22 Asm Assembly Systems Gmbh & Co Kg Multiple insertion head
JP2014036095A (en) * 2012-08-08 2014-02-24 Panasonic Corp Component mounting machine and component mounting machine control method
CN105636426A (en) * 2014-11-26 2016-06-01 先进装配系统有限责任两合公司 Data exchange on assembly head of automatic assembling machine
JP2021193733A (en) * 2018-02-26 2021-12-23 ユニバーサル インスツルメンツ コーポレーションUniversal Instruments Corporation Spindle module, spindle bank, head and assembly method for pick and place

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9055708B2 (en) 2002-11-21 2015-06-09 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system
US7966718B2 (en) 2002-11-21 2011-06-28 Fuji Machine Mfg Co., Ltd. Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system
US8578595B2 (en) 2002-11-21 2013-11-12 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system
US9913384B2 (en) 2002-11-21 2018-03-06 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Substrate-related-operation apparatus
JP2011187983A (en) * 2003-01-24 2011-09-22 Asm Assembly Systems Gmbh & Co Kg Multiple insertion head
JP4498896B2 (en) * 2003-12-26 2010-07-07 ヤマハ発動機株式会社 Surface mount machine
JP2005210078A (en) * 2003-12-26 2005-08-04 Yamaha Motor Co Ltd Surface mounting equipment
JP4494910B2 (en) * 2004-09-07 2010-06-30 Juki株式会社 Surface mount equipment
JP2006080158A (en) * 2004-09-07 2006-03-23 Juki Corp Surface mounting apparatus
US8240028B2 (en) 2006-03-27 2012-08-14 Panasonic Corporation Nozzle mechanism, mounting head and electronic component mounting apparatus
WO2007111296A1 (en) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Nozzle mechanism, mounting head, and electronic component mounting equipment
JP2008091684A (en) * 2006-10-03 2008-04-17 Yamaha Motor Co Ltd Servo amplifier and surface mounting machine
JP2009091155A (en) * 2007-09-19 2009-04-30 Ngk Insulators Ltd Tray jig
JP2009164398A (en) * 2008-01-08 2009-07-23 Yamaha Motor Co Ltd Surface mounting apparatus
WO2009093411A1 (en) * 2008-01-21 2009-07-30 Panasonic Corporation Tape feeder, detachable unit for mounting electronic component and electronic component mounting device
JP2009170834A (en) * 2008-01-21 2009-07-30 Panasonic Corp Tape feeder and electronic component mounting apparatus
JP2010118468A (en) * 2008-11-12 2010-05-27 Toshiba Corp Apparatus and method for manufacturing semiconductor device
JP2014036095A (en) * 2012-08-08 2014-02-24 Panasonic Corp Component mounting machine and component mounting machine control method
CN105636426A (en) * 2014-11-26 2016-06-01 先进装配系统有限责任两合公司 Data exchange on assembly head of automatic assembling machine
JP2021193733A (en) * 2018-02-26 2021-12-23 ユニバーサル インスツルメンツ コーポレーションUniversal Instruments Corporation Spindle module, spindle bank, head and assembly method for pick and place

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7017261B2 (en) Component suction device, component mounting apparatus and component mounting method
JP2002353694A (en) Part suction device, part mounter and part mounting method
JP4551599B2 (en) Component mounting apparatus and method
WO2006068322A1 (en) Multi-axis linear motor, mounting head and component mounting machine using the multi-axis linear motor, magnetic force shield, and method of shielding magnetic force
JPWO2007111296A1 (en) Mounting head and electronic component mounting apparatus
JP2930378B2 (en) Electronic component mounting equipment
KR100445530B1 (en) Semiconductor Device
KR100465212B1 (en) Handling device and part-assembling device using the same
JP2003046295A (en) Electric component loading system and electric circuit manufacturing method
US7043820B2 (en) Electric-component mounting system
JPH10190297A (en) Component mounting method
JP6321776B2 (en) Stepping motor control device, component mounting machine and feeder including the same, and stepping motor control method
JP2005210078A (en) Surface mounting equipment
JP3165289B2 (en) Surface mounting machine
JP2858453B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP6546664B2 (en) Rotary head and surface mounter
JP5352174B2 (en) Electronic component mounting equipment
KR20140101880A (en) Component mounting device
JP2993401B2 (en) Work mounting device and mounting method
JP2003023293A (en) Electric component mounting system and method for mounting electric component
JP2001068898A (en) Electronic part mounting equipment
JP4463384B2 (en) Electrical component mounting method and electrical component mounting system
JP4458612B2 (en) Electronic component mounting device
EP3672040A1 (en) Device for enabling a rotating and translating movement by means of a single motor; apparatus and system comprising such a device
JP2909129B2 (en) Component feeder with recognition correction function