JP2002339971A - 磁気軸受装置 - Google Patents

磁気軸受装置

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JP2002339971A
JP2002339971A JP2001146406A JP2001146406A JP2002339971A JP 2002339971 A JP2002339971 A JP 2002339971A JP 2001146406 A JP2001146406 A JP 2001146406A JP 2001146406 A JP2001146406 A JP 2001146406A JP 2002339971 A JP2002339971 A JP 2002339971A
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magnetic bearing
control
power supply
connection
projection
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Application number
JP2001146406A
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English (en)
Inventor
Toshiharu Nakazawa
Atsushi Oyama
敏治 中澤
敦 大山
Original Assignee
Ebara Corp
Ebara Densan Ltd
株式会社荏原製作所
株式会社荏原電産
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターボ分子ポンプ本体等のように磁気軸受機
構が異なった場合でも制御電源装置は電源供給可能な範
囲で共通化が可能で、且つ磁気軸受制御機構と制御電源
装置が接続された時点で、浮上制御回路部の特性を選択
することが可能な磁気軸受装置を提供すること。 【解決手段】 制御対象体を磁気力により非接触で支持
する磁気軸受機構と、該磁気軸受機構を駆動運転制御す
る制御電源装置を具備する磁気軸受装置において、磁気
軸受機構と制御電源装置を接続する接続ケーブルの接続
コネクタ部40に回転可能な切り欠き又は突起機構(ガ
イドピン42)を設けると共に該切り欠き又は突起機構
の回転位置に連動して切り替わる切替スイッチ機構を設
け、該接続コネクタ部40が嵌合するレセプタには切り
欠き又は突起機構に適合する突起機構又は切り欠きを設
けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は制御対象体を磁気力
により非接触で支持する磁気軸受機構と、該磁気軸受機
構を駆動運転制御する制御電源装置を具備する磁気軸受
装置に関し、特に磁気軸受機構と制御電源装置を接続す
る接続ケーブルの接続コネクタ部及び該接続コネクタ部
に嵌合するレセプタに特徴を有する磁気軸受装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図1は、この種の磁気軸受装置のうち磁
気軸受機構が回転体を磁気軸受で磁気浮上支持し、高速
で回転させるターボ分子ポンプ本体を具備するターボ分
子ポンプ装置を示す図である。図示するように、ターボ
分子ポンプ装置は、ターボ分子ポンプ本体11と、該タ
ーボ分子ポンプ本体11を駆動運転制御する制御電源装
置13を具備し、該ターボ分子ポンプ本体11と制御電
源装置13を接続ケーブル12で接続した構成である。
【0003】図2は図1のターボ分子ポンプ本体の内部
概略構造を示す図である。ターボ分子ポンプ本体11は
ステータ20に設けられた上下のラジアル磁気軸受を構
成するラジアル電磁石21〜24とアキシャル磁気軸受
を構成するスラスト電磁石25、26を具備し、該ラジ
アル電磁石21〜24とスラスト電磁石25、26が発
生する磁気吸引力或いは磁気反発力によって、回転体2
7をステータ20内部の所定位置に非接触で磁気浮上支
持し、モータステータ磁極28が発生する回転磁界によ
って、回転体27を高速回転させるようになっている。
また、図示は省略するが、回転体27の浮上位置を検出
する変位センサも設けられている。
【0004】図3は磁気軸受機構であるターボ分子ポン
プ本体11を駆動運転制御する制御電源装置13の内部
構成を示す図であり、一般的に制御電源装置13は、磁
気軸受制御回路部38、回転駆動回路部34、主制御回
路部35、電源部37を具備する。位置検出回路部31
は上記変位センサの出力から回転体27の位置を検出す
る。浮上制御回路部32は、該位置検出回路部31から
出力される位置検出信号より回転体27の固有な特性を
もとに目標とする位置へ常に非接触で磁気浮上支持する
ためのフィードバック制御を行う。パワーアンプ回路部
33は、浮上制御回路部32からの制御浮上信号により
ラジアル電磁石21〜24及びスラスト電磁石25、2
6へ磁束を発生させるための励磁電流を出力する。回転
駆動回路部34は、回転体27を駆動するモータステー
タ磁極28に駆動電力を供給する。主制御回路部35
は、装置全体の動作をコントロールし、異常の発生や装
置の運転状態を安定に制御する。
【0005】また、位置検出回路部31、パワーアンプ
回路部33、回転駆動回路部34及び主制御回路部35
はコネクタ部36及び接続ケーブル12を介してターボ
分子ポンプ本体11に接続される。
【0006】従来、磁気軸受機構であるターボ分子ポン
プ本体11と、制御電源装置13の間では、非接触で磁
気浮上支持する対象である回転体27の機械的な固有の
特性と、制御電源装置13の内部にある浮上制御回路部
32の制御特性が、ターボ分子ポンプ本体11を含む全
体のフィードバック制御系として安定制御となるよう浮
上制御回路部32の制御特性が調整されている。
【0007】ここで、磁気浮上支持の対象となる回転体
27の機械的固有特性は、回転体27自体の外観構造
や、回転体27自体を構成する機械部品の材料特性等に
より個別に異なってしまうため、磁気軸受機構であるタ
ーボ分子ポンプ本体11と制御電源装置13内の浮上制
御回路部32は組合せにより個別の調整が必要であり、
かつてはターボ分子ポンプ装置等の磁気軸受装置自体の
商業的な普及の妨げになっていた。
【0008】このため、少なくとも単一のモデルに対し
て磁気軸受機構(ここではターボ分子ポンプ本体11)
を構成する機械部品の加工・組立精度を向上させ、非接
触支持対象体(ここでは回転体27)の機械的な固有の
特性がばらつかないよう、改良が進められ、近年では磁
気軸受を搭載する工業製品が増加する傾向にある。
【0009】しかしながら、磁気軸受機構を駆動運転制
御する制御電源装置は、制御対象体を磁気浮上させるた
めの保持力を発生させるだけの電力が供給可能であり、
モータ駆動に必要な機能を有していれば、浮上制御回路
部32の制御特性以外ほとんど差異がない。
【0010】つまり、図1乃至図3に示すターボ分子ポ
ンプ装置を例にとると、先にも論じたように工作技術の
向上により同一の機種では、回転体27の機械的固有の
特性に差異はなくなりつつあるも、機種が変わり構造的
な変化が生じた場合、現在の技術においても機械的固有
の特性を同一のものにすることは非常に困難であるた
め、電源供給能力がほぼ同等の制御電源装置13を使っ
て、内部の浮上制御回路部32を機種毎に仕様を変える
ことで磁気軸受装置を最大限共用化する方法が採られて
きた。
【0011】また、近年ではマイクロコンピュータを使
用し、ターボ分子ポンプ本体等の磁気軸受機構に識別回
路等を設け、制御電源装置側に当該識別回路による磁気
軸受機構の個別識別能力をもたせ、認識された機種に対
応する浮上特性を、予め制御電源装置内部の記憶手段に
格納している制御特性データを読み出し、デジタル演算
回路を搭載した浮上制御回路部によりデジタル制御によ
って浮上支持制御を行う方法なども提案されている。
【0012】しかしながら、上記した従来技術では、基
本的にターボ分子ポンプ本体などを例とする磁気軸受機
構と、制御電源装置を一旦接続した状態が発生した後に
機種を識別する方法であり、ターボ分子ポンプ本体など
の磁気軸受機構側に構造的な故障や制御電源装置側の機
種識別機能部に故障があった場合などは、機種識別を正
常に行えない状態のまま主幹部分の機能が活性化する可
能性を含んでおり、システムとしての機能が不完全な場
合、異常な動作をする可能性があるということを潜在的
に含んでいた。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、ターボ分子ポンプ本体等のように
磁気軸受機構が異なった場合でも制御電源装置は電源供
給可能な範囲で共通化が可能で、且つ磁気軸受制御機構
と制御電源装置が接続された時点で、浮上制御回路部の
特性を選択することが可能な磁気軸受装置を提供するこ
とを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1に記載の発明は、制御対象体を磁気力により非
接触で支持する磁気軸受機構と、該磁気軸受機構を駆動
運転制御する制御電源装置を具備する磁気軸受装置にお
いて、磁気軸受機構と制御電源装置を接続する接続ケー
ブルの接続コネクタ部に回転可能な切り欠き又は突起機
構を設けると共に該切り欠き又は突起機構の回転位置に
連動して切り替わる切替スイッチ機構を設け、該接続コ
ネクタ部が嵌合するレセプタには切り欠き又は突起機構
に適合する突起機構又は切り欠きを設けたことを特徴と
する。
【0015】上記のように接続コネクタ部に回転可能な
切り欠き又は突起機構を設けると共に該切り欠き又は突
起機構の回転位置に連動して切り替わる切替スイッチ機
構を設け、該接続コネクタ部が嵌合するレセプタには該
切り欠き又は突起機構に適合する突起機構又は切り欠き
を設けたので、例えば磁気軸受機構にその機種に応じて
切り欠き又は突起機構の位置の異なるレセプタを取付け
ることにより、このレセプタに嵌合するように接続コネ
クタの切り欠き又は突起機構の回転位置を変えるとそれ
に連動してスイッチ機構が切り替わるから、接続コネク
タをレセプタに嵌合させることにより、該スイッチ機構
により制御電源装置に接続された磁気軸受機構の機種が
設定されることになる。
【0016】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の磁気軸受装置において、制御電源装置は複数の制御特
性を有し、切替スイッチ機構の切り替えにより該複数の
制御特性の内の適切な制御特性を選択できるように構成
したことを特徴とする。
【0017】上記のように切替スイッチ機構の切り替え
により該複数の制御回路の内の適切な制御回路を選択で
きるように構成したことにより、上記のように磁気軸受
機構にその機種に応じて切り欠き又は突起機構の位置の
異なるレセプタを取付けることにより、このレセプタに
嵌合するように接続コネクタ部の切り欠き又は突起機構
の回転位置を変えると、それに連動してスイッチ機構が
切り替わるから、接続コネクタ部をレセプタに嵌合させ
ることにより、該スイッチ機構により制御電源装置に接
続された磁気軸受機構の機種が自動的に設定されること
になる。
【0018】請求項3に記載の発明は、請求項1又は2
に記載の磁気軸受装置において、磁気軸受機構はターボ
分子ポンプ等の回転体を磁気力により非接触で支持する
磁気軸受機構であることを特徴とする。
【0019】上記のように磁気軸受機構をターボ分子ポ
ンプ等の回転体を磁気力により非接触で支持する磁気軸
受機構とすることにより、ターボ分子ポンプ本体の機種
に応じて切り欠き又は突起機構の位置の異なるレセプタ
を取付けると、このレセプタに嵌合するように切り欠き
又は突起機構の回転位置を変えた接続コネクタ部を嵌合
させることにより、スイッチ機構により制御電源装置に
接続されたターボ分子ポンプ本体の機種が自動的に設定
される。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基いて説明する。図4は本発明の磁気軸受装置を構
成する磁気軸受機構と制御電源装置を接続する多芯ピン
コネクタ・レセプタのコネクタ部の構造を示す図であ
る。図4(a)は正面図、図4(b)は(a)のA−A
断面図である。図4において、接続コネクタ部40はケ
ース41を有し、該ケース41は円筒状の回転リング4
3と該回転リング43の機械的な押さえとなる回転リン
グ枠44とで構成され、回転リング43は回転リング枠
44の外周を所定角度回転できるようになっている。
【0021】4nは後述するレセプタの接続カップに電
気的に接続される複数の接続ピンであり、ケース41内
に配置されている。42は接続コネクタ部40とレセプ
タが適切なピン配置で接続されるためのガイドピンであ
り、該ガイドピン42は回転リング43に設けられてい
る。該回転リング43を回転リング枠44の外周を回転
させることにより、ガイドピン42はその位置を〜
と変更することができる。
【0022】図5は接続コネクタ部40の内部の電気回
路及び制御電源装置の接続コネクタ部の内部の電気回路
の構成を示す図である。切替スイッチ51は可動接点5
1aと固定接点、、、を具備し、可動接点51
aは回転リング43の回転に連動して切り替わり、ガイ
ドピン42の位置が、、、となると、それぞれ
固定接点、、、と電気的に接続される。接続コ
ネクタ部40の接続ピン4n及び切替スイッチ51の可
動接点51aと固定接点、、、はそれぞれ接続
ケーブル12を通して、制御電源装置13の接続コネク
タ部55の切替信号ライン53、制御信号ライン54に
それぞれ接続されるようになっている。
【0023】図6は上記多芯ピンコネクタ・レセプタの
接続レセプタ部の構成を示す図で、図6(a)は正面
図、図6(b)は(a)のB−B断面図である。接続レ
セプタ部60は上記接続コネクタ部40のケース41が
挿入されるケース61を有し、該ケース61の内周面所
定位置に接続コネクタ部40のガイドピン42が挿入さ
れるガイド溝62が設けられている。このガイド溝62
はターボ分子ポンプ本体の機種に対応し、機種が変わる
と図7に示すように異なる位置に設けられる。
【0024】接続レセプタ部60には上記接続コネクタ
部40の接続ピン4nが挿入され、電気的に接続される
接続カップ6nが接続ピン4nに対応して複数本設けら
れている。いま、図1に示すように、磁気軸受機構とし
てのターボ分子ポンプ本体11と制御電源装置13が接
続ケーブル12を介して接続されるとき、接続コネクタ
部40の接続ピン4nの配置とガイドピン42の取合い
配置は接続レセプタ部60の接続カップ6nとガイド溝
62の取合い配置が同一である必要がある。
【0025】ここでは、ターボ分子ポンプ本体11の機
種が変わる毎に、図6(a)、図7に示すように、接続
レセプタ部60の接続カップ6nとガイド溝62の取合
い配置の異なる接続レセプタ部60を取り付ける。そし
て接続コネクタ部40の接続ピン4nとガイドピン42
の円周方向の取合い配置は回転リング43を手回しで図
4の、、、の位置に切り替え可能とし、更にこ
の切替機構には、図5に示すように、切替スイッチ51
を設け、その可動接点51aが回転リング43の回転に
連動して移動し、固定接点、、、と切り替わっ
て接続されるようにしている。ターボ分子ポンプ本体1
1の機種が変わる毎に接続コネクタ部40のガイドピン
42の位置をそれに合せて切り替え、接続レセプタ部6
0と所定の嵌合位置で接続できるようにしている。
【0026】上記のように、接続コネクタ部40のガイ
ドピン42の位置切替作業は同時に、接続コネクタ部4
0に内蔵された切替スイッチ51が連動して切り替える
ことになり、該切替スイッチ51は接続ケーブル12を
介して制御電源装置13に取り込まれ、浮上制御回路部
32(図3参照)の特性を切り替えることが可能とな
る。
【0027】つまり、図4及び図5に示す構成の接続コ
ネクタ部40及び図6に示す接続レセプタ部60からな
る多芯ピンコネクタ・レセプタを使えば、磁気軸受機構
であるターボ分子ポンプ本体11に取り付けられた接続
レセプタ部60の接続カップ6nとガイド溝62の取合
い配置を機種毎に変更し、制御電源装置13から動力を
伝達する接続ケーブル12のターボ分子ポンプ本体11
側の接続コネクタ部40はその接続ピン4nとガイドピ
ン42の取合い配置を可変可能な構造で、且つガイドピ
ン42の位置変動に連動して切り替わる切替スイッチ5
1を設けることで、接続ケーブル12を接続した時点で
ターボ分子ポンプ本体11に対応する制御電源装置13
の最適な制御特性を選択可能にし、磁気軸受装置の配線
完了と同時に制御電源装置13の最適化を図ることが可
能となる。
【0028】更に、上記構成の多芯ピンコネクタ・レセ
プタを使えば、接続作業の結果として、接続コネクタ部
40の切替スイッチ51を切り替えるという電気回路的
な手段で制御特性の選択を実施することになるので、予
めマイクロコンピュータを搭載し、データ記憶手段に格
納した制御データを読出し、デジタル制御による磁気浮
上制御を行うと言った方法のみならず、アナログ制御的
に浮上制御回路部を構成する電子回路の一部を、該切替
スイッチ51により切り替えると言った方法にも対応可
能なため、制御電源装置13自体のコストを低く抑えつ
つ、他機種のターボ分子ポンプ本体11も同一の制御電
源装置13で運転することが可能となる。
【0029】同時に、接続コネクタ部40と接続レセプ
タ部60間のガイドピン42とガイド溝62を機種毎に
合せた後でなければ接続不可能な構造であるため、誤配
線・誤操作による故障・事故の発生を本質的に回避する
ことが可能である。
【0030】なお、上記例では接続コネクタ部40にガ
イドピン42、接続レセプタ部60にガイド溝62を設
けたが、接続コネクタ部40にガイド溝62、接続レセ
プタ部60にガイドピン42を設けるように構成しても
よい。要は接続コネクタ部に回転可能な切り欠き又は突
起機構を設け、接続レセプタ部に該切り欠き又は突起機
構に適合する突起機構又は切り欠きを設けた構成であれ
ばよい。
【0031】図8は本発明に係る磁気軸受装置を用いた
ターボ分子ポンプの構成例を示す図である。図示するよ
うに、ターボ分子ポンプ本体11と制御電源装置13と
を1本の切り替え式の接続ケーブル12で接続した構成
である。ターボ分子ポンプ本体11内には磁気軸受機構
部(図2のラジアル電磁石21〜24、スラスト電磁石
25、26等)11−1と原動機部(図2のモータステ
ータ磁極28)11−2が搭載され、制御電源装置13
内には磁気軸受機構部11−1を駆動制御する磁気軸受
制御回路部38と、原動機部11−2を駆動制御する回
転駆動回路部34と、磁気軸受制御回路部38及び回転
駆動回路部34をそれぞれ管理する主制御回路部35を
備えている。
【0032】上記のように、接続ケーブル12を切り替
え式のものを用いることによって、本質的に異なる磁気
軸受機構部11−1と原動機部11−2を共通の制御電
源装置13を用いて制御できる。接続ケーブル12が1
本であるので、装置の設置面積、コストの削減が行われ
る。
【0033】図9は本発明に係る磁気軸受装置を用いた
ターボ分子ポンプの構成を示す図である。ターボ分子ポ
ンプ本体11内には磁気軸受機構部11−1と原動機部
11−2が搭載され、磁気軸受機構部11−1は1本の
接続ケーブル12で制御電源装置13に接続され、原動
機部11−2は1本の接続ケーブル12で電源装置14
に接続されている。制御電源装置13は磁気軸受制御回
路部38と制御回路部35’を具備し、電源装置14は
原動機動力回路部34’を具備する。電源装置14には
制御電源装置13から接続ケーブル15を介して電源が
供給される。
【0034】制御電源装置13と電源装置14は夫々磁
気軸受機構部11−1と原動機部11−2を独立して制
御し、制御電源装置13に設けた制御回路部35’で磁
気軸受制御回路部38と原動機動力回路部34’を制御
する。なお、制御回路部35’は電源装置14に設けて
もよい。このように、磁気軸受機構部11−1と原動機
部11−2をそれぞれ1本の接続ケーブル12、12で
制御電源装置13、電源装置14に接続することによ
り、磁気軸受機構部11−1、原動機部11−2に対し
て個別に設定することが可能となる。
【0035】なお、上記例では磁気軸受機構として、タ
ーボ分子ポンプ本体の回転体を磁気浮上支持する磁気軸
受機構を例に説明したが、本発明の磁気軸受装置の磁気
軸受機構としては、これに限定されるものではない。
【0036】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【0037】請求項1に記載の発明によれば、接続コネ
クタ部に回転可能な切り欠き又は突起機構を設けると共
に該切り欠き又は突起機構の回転位置に連動して切り替
わる切替スイッチ機構を設け、該接続コネクタ部が嵌合
するレセプタには該切り欠き又は突起機構に適合する突
起機構又は切り欠きを設けたので、例えば磁気軸受機構
にその機種に応じて切り欠き又は突起機構の位置の異な
るレセプタを取付けることにより、このレセプタに嵌合
するように接続コネクタ部の切り欠き又は突起機構の回
転位置を変えるとそれに連動してスイッチ機構が切り替
わるから、接続コネクタ部をレセプタに嵌合させること
により、該スイッチ機構により制御電源装置に接続され
た磁気軸受機構の機種が設定されることになる。従っ
て、制御電源装置には接続コネクタ部がレセプタに接続
された時点で、接続された磁気軸受機構の機種が正確に
設定され、機種の誤識別等の問題はなくなる。
【0038】請求項2に記載の発明によれば、切替スイ
ッチ機構の切り替えにより該複数の制御回路の内の適切
な制御回路を選択できるように構成したことにより、上
記のように磁気軸受機構にその機種に応じて切り欠き又
は突起機構の位置の異なるレセプタを取付けることによ
り、このレセプタに嵌合するように接続コネクタ部の切
り欠き又は突起機構の回転位置を変えるとそれに連動し
てスイッチ機構が切り替わるから、接続コネクタ部をレ
セプタに嵌合させることにより、該スイッチ機構により
制御電源装置に接続された磁気軸受機構の機種が自動的
に設定されることになる。
【0039】請求項3に記載の発明によれば、磁気軸受
機構をターボ分子ポンプ等の回転体を磁気力により非接
触で支持する磁気軸受機構とすることにより、ターボ分
子ポンプ本体の機種に応じて切り欠き又は突起機構の位
置の異なるレセプタを取付けることにより、このレセプ
タに嵌合するように切り欠き又は突起機構の回転位置を
変えて接続コネクタ部を嵌合させることにより、該スイ
ッチ機構により制御電源装置に接続されたターボ分子ポ
ンプ本体の機種が自動的に設定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気軸受装置のシステム構成例を示す図であ
る。
【図2】ターボ分子ポンプ本体の内部概略構造を示す図
である。
【図3】磁気軸受装置の制御電源装置の構成例を示す図
である。
【図4】本発明に係る磁気軸受装置に用いる多芯ピンコ
ネクタ・レセプタのコネクタ部の構成を示す図である。
【図5】図4に示すコネクタ部の内部電気回路の構成を
示す図である。
【図6】本発明に係る磁気軸受装置に用いる多芯ピンコ
ネクタ・レセプタのレセプタ部の構成を示す図である。
【図7】本発明に係る磁気軸受装置に用いる多芯ピンコ
ネクタ・レセプタのレセプタ部の構成を示す図である。
【図8】本発明に係る磁気軸受装置のシステム構成例を
示す図である。
【図9】本発明に係る磁気軸受装置のシステム構成例を
示す図である。
【符号の説明】
11 ターボ分子ポンプ本体 12 接続ケーブル 13 制御電源装置 14 電源装置 15 接続ケーブル 20 ステータ 21〜24 ラジアル電磁石 25、26 スラスト電磁石 27 回転体 28 モータステータ磁極 31 位置検出回路部 32 浮上制御回路部 33 パワーアンプ回路部 34 回転駆動回路部 35 主制御回路部 36 コネクタ部 37 電源部 38 磁気軸受制御回路部 40 接続コネクタ部 41 ケース 42 ガイドピン 43 回転リング 44 回転リング枠 4n 接続ピン 51 切替スイッチ 53 切替信号ライン 54 制御信号ライン 55 接続コネクタ部 60 接続レセプタ部 61 ケース 62 ガイド溝 6n 接続カップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中澤 敏治 東京都大田区羽田旭町11番1号 株式会社 荏原電産内 Fターム(参考) 3H022 AA01 BA06 BA07 CA16 CA50 DA00 3J102 AA01 BA03 CA27 GA06

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御対象体を磁気力により非接触で支持
    する磁気軸受機構と、該磁気軸受機構を駆動運転制御す
    る制御電源装置を具備する磁気軸受装置において、 前記磁気軸受機構と前記制御電源装置を接続する接続ケ
    ーブルの接続コネクタ部に回転可能な切り欠き又は突起
    機構を設けると共に該切り欠き又は突起機構の回転位置
    に連動して切り替わる切替スイッチ機構を設け、該接続
    コネクタ部が嵌合するレセプタには前記切り欠き又は突
    起機構に適合する突起機構又は切り欠きを設けたことを
    特徴とする磁気軸受装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の磁気軸受装置におい
    て、 前記制御電源装置は複数の制御特性を有し、前記切替ス
    イッチ機構の切り替えにより該複数の制御特性の内の適
    切な制御特性を選択できるように構成したことを特徴と
    する磁気軸受装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の磁気軸受装置に
    おいて、 前記磁気軸受機構はターボ分子ポンプ等の回転体を磁気
    力により非接触で支持する磁気軸受機構であることを特
    徴とする磁気軸受装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004132179A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Osaka Vacuum Ltd ポンプの過速度検出装置
JP2008196463A (ja) * 2007-02-15 2008-08-28 Ebara Corp 回転機械装置における回転機械本体の機種識別方法、回転機械装置

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