JP2002286748A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
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- JP2002286748A JP2002286748A JP2001087066A JP2001087066A JP2002286748A JP 2002286748 A JP2002286748 A JP 2002286748A JP 2001087066 A JP2001087066 A JP 2001087066A JP 2001087066 A JP2001087066 A JP 2001087066A JP 2002286748 A JP2002286748 A JP 2002286748A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プローブホルダを大型化することなく多くのプ
ローブを効率よく保持することができるプローブ装置を
提供すること。 【解決手段】ハウジング３１の他方の開口端側に形成さ
れ、プローブの基端部を保持するプローブホルダ４０
は、ホルダ本体４１の外周部側に設けられ、プローブ２
０が挿入される外側プローブ挿入孔４２と、ホルダ本体
４１の中心部側に設けられプローブ２０が挿入される内
側プローブ挿入孔４３と、ホルダ本体４１に形成された
溝４４と、溝４４に着脱自在に取り付けられるととも
に、内側プローブ挿入孔４３に挿入されたプローブ２０
をホルダ本体４１に固定する固定部材４６とを備えてい
る。
ローブを効率よく保持することができるプローブ装置を
提供すること。 【解決手段】ハウジング３１の他方の開口端側に形成さ
れ、プローブの基端部を保持するプローブホルダ４０
は、ホルダ本体４１の外周部側に設けられ、プローブ２
０が挿入される外側プローブ挿入孔４２と、ホルダ本体
４１の中心部側に設けられプローブ２０が挿入される内
側プローブ挿入孔４３と、ホルダ本体４１に形成された
溝４４と、溝４４に着脱自在に取り付けられるととも
に、内側プローブ挿入孔４３に挿入されたプローブ２０
をホルダ本体４１に固定する固定部材４６とを備えてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の特性測
定等に用いられるプローブ装置に関し、特に多連部品の
測定に用いるためにプローブを効率よく保持することが
できるものに関する。
定等に用いられるプローブ装置に関し、特に多連部品の
測定に用いるためにプローブを効率よく保持することが
できるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品の特性を測定する装置として、
電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を
行うプローブ装置が知られている。図４はこのようなプ
ローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置
１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈ
に取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジ
ング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプロ
ーブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１
２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動
させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガ
イド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不
図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設され
ている。また、図４中１７はプローブホルダ１２の外周
側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじ
を示している。
電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を
行うプローブ装置が知られている。図４はこのようなプ
ローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置
１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈ
に取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジ
ング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプロ
ーブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１
２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動
させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガ
イド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不
図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設され
ている。また、図４中１７はプローブホルダ１２の外周
側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじ
を示している。
【０００３】図４中２０はプローブを示している。プロ
ーブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ
針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針
端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成された
ガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように
往復動自在に案内されている。
ーブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ
針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針
端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成された
ガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように
往復動自在に案内されている。
【０００４】このように構成されたプローブ装置１０で
は、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ
１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３
ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ
１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との
差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸
収するようになっている。
は、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ
１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３
ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ
１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との
差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸
収するようになっている。
【０００５】次に、プローブ装置１０の組み立て方法に
ついて説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止め
ガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホル
ダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設け
たプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ
針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ
２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プロ
ーブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１
をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチッ
プ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、バレ
ル２２を回転して針端子２３ａをガイドチップ１６の上
面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム１４
を上げた時電子部品の端子に針端子２３ａが接触するよ
うにバレル２２を回転させ調整していた。
ついて説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止め
ガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホル
ダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設け
たプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ
針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ
２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プロ
ーブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１
をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチッ
プ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、バレ
ル２２を回転して針端子２３ａをガイドチップ１６の上
面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム１４
を上げた時電子部品の端子に針端子２３ａが接触するよ
うにバレル２２を回転させ調整していた。
【０００６】上述したように各プローブ２０はプローブ
ホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで
固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２
の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはで
きない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるい
はコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
ホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで
固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２
の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはで
きない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるい
はコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロー
ブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題
があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、
測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このた
め、上述したようにプローブ２０を配置しようとする
と、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。
また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチッ
プ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなる
ため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損
する等の虞があった。
ブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題
があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、
測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このた
め、上述したようにプローブ２０を配置しようとする
と、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。
また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチッ
プ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなる
ため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損
する等の虞があった。
【０００８】そこで本発明は、プローブホルダを大型化
することなく多くのプローブを効率よく保持することが
できるプローブ装置を提供することを目的としている。
することなく多くのプローブを効率よく保持することが
できるプローブ装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のプローブ装置は次のように構
成されている。
達成するために、本発明のプローブ装置は次のように構
成されている。
【００１０】（１）ワークにプローブの針端子を接触さ
せてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設け
られ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内
するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側
に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブ
ホルダと、前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの
間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホ
ルダアームとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本
体と、このホルダ本体の外周部側に設けられるととも
に、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通
し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記
ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プ
ローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、前記ホルダ
本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、この
凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プ
ローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本
体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とす
る。
せてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設け
られ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内
するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側
に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブ
ホルダと、前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの
間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホ
ルダアームとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本
体と、このホルダ本体の外周部側に設けられるととも
に、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通
し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記
ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プ
ローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、前記ホルダ
本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、この
凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プ
ローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本
体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とす
る。
【００１１】（２）前記（１）に記載されたプローブ装
置であって、前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少
なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴と
する。
置であって、前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少
なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴と
する。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ
装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込
まれたプローブホルダ４０を示す底面図である。なお、
これらの図において図４と同一機能部分には同一符号を
付した。
るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ
装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込
まれたプローブホルダ４０を示す底面図である。なお、
これらの図において図４と同一機能部分には同一符号を
付した。
【００１３】プローブ装置３０は、検査対象となる電子
部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング
３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方か
らプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホ
ルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に
上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り
止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部
品（不図示）の底面を支持するガイドチップ３６とが配
設されている。また、図１中５０はプローブホルダ４０
の外周側から後述するねじ孔４５にねじ込まれ、プロー
ブ２０を固定するセットねじを示している。
部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング
３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方か
らプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホ
ルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に
上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り
止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部
品（不図示）の底面を支持するガイドチップ３６とが配
設されている。また、図１中５０はプローブホルダ４０
の外周側から後述するねじ孔４５にねじ込まれ、プロー
ブ２０を固定するセットねじを示している。
【００１４】図１中２０はプローブを示している。プロ
ーブ２０は、スリーブ（基端部）２１と、バレル２２
と、プローブ針２３とを備えている。プローブ針２３の
先端側には針端子２３ａが形成され、ガイドチップ３６
に形成されたガイド孔３６ａにより電子部品の端子に接
触するように往復動自在に案内されている。
ーブ２０は、スリーブ（基端部）２１と、バレル２２
と、プローブ針２３とを備えている。プローブ針２３の
先端側には針端子２３ａが形成され、ガイドチップ３６
に形成されたガイド孔３６ａにより電子部品の端子に接
触するように往復動自在に案内されている。
【００１５】プローブホルダ４０は、図３に示すよう
に、板状の本体部４１と、この本体部４１をガイドチッ
プ３６のガイド孔３６ａに略そ向き傾斜して貫通するそ
れぞれ８個ずつ設けられた外側プローブ挿入孔４２及び
内側プローブ挿入孔４３とを備えている。本体部４１
は、側壁４１ａ〜４１ｄを有しており、側壁４１ｃから
側壁４１ａ側にかけてテーパ状の溝４４（凹部）が形成
されている。
に、板状の本体部４１と、この本体部４１をガイドチッ
プ３６のガイド孔３６ａに略そ向き傾斜して貫通するそ
れぞれ８個ずつ設けられた外側プローブ挿入孔４２及び
内側プローブ挿入孔４３とを備えている。本体部４１
は、側壁４１ａ〜４１ｄを有しており、側壁４１ｃから
側壁４１ａ側にかけてテーパ状の溝４４（凹部）が形成
されている。
【００１６】溝４４は内側プローブ挿入孔４３とδだけ
重なって形成されている。さらに、側壁４１ｂ，４１ｄ
から外側プローブ挿入孔４２までねじ孔４５が形成され
ている。なお、溝４４にはテーパ状の溝と嵌合する断面
が台形をした固定部材４６が取り付けられており、ボル
ト４７により、プローブホルダアーム３４、絶縁プレー
ト３３、プローブホルダ４０と一体に締結されている。
重なって形成されている。さらに、側壁４１ｂ，４１ｄ
から外側プローブ挿入孔４２までねじ孔４５が形成され
ている。なお、溝４４にはテーパ状の溝と嵌合する断面
が台形をした固定部材４６が取り付けられており、ボル
ト４７により、プローブホルダアーム３４、絶縁プレー
ト３３、プローブホルダ４０と一体に締結されている。
【００１７】次に、プローブ装置３０の組み立て方法に
ついて説明する。絶縁プレート３３、プローブ回り止め
ガイド３５とともにプローブホルダ４０をプローブホル
ダアーム３４一体にねじ止め締結する。プローブホルダ
４０の外側プローブ挿入孔４２及び内側プローブ挿入孔
４３にプローブ２０をそのプローブ針２３側から差し込
んで、絶縁プレート３３にスリーブ２１を当接させる。
次に、セットねじ５０をねじ孔４５に差し込んで外側プ
ローブ挿入孔４２内のプローブ２０を固定する。最後
に、溝４４内に断面が台形をした固定部材４６を差し込
み、内側プローブ挿入孔４３内のプローブ２０をボルト
４７により固定する。
ついて説明する。絶縁プレート３３、プローブ回り止め
ガイド３５とともにプローブホルダ４０をプローブホル
ダアーム３４一体にねじ止め締結する。プローブホルダ
４０の外側プローブ挿入孔４２及び内側プローブ挿入孔
４３にプローブ２０をそのプローブ針２３側から差し込
んで、絶縁プレート３３にスリーブ２１を当接させる。
次に、セットねじ５０をねじ孔４５に差し込んで外側プ
ローブ挿入孔４２内のプローブ２０を固定する。最後
に、溝４４内に断面が台形をした固定部材４６を差し込
み、内側プローブ挿入孔４３内のプローブ２０をボルト
４７により固定する。
【００１８】そして、プローブホルダアーム３４を図１
中矢印Ｚ方向に図示しない駆動源で上下動させることに
より、ガイドチップ３６上を電子部品が支障なく通過で
きるように、針端子２３ａをガイドチップ３６の上面よ
り少し下げるとともに、上げた時電子部品の端子に針端
子２３ａが接触するように調整する。
中矢印Ｚ方向に図示しない駆動源で上下動させることに
より、ガイドチップ３６上を電子部品が支障なく通過で
きるように、針端子２３ａをガイドチップ３６の上面よ
り少し下げるとともに、上げた時電子部品の端子に針端
子２３ａが接触するように調整する。
【００１９】このように構成されたプローブ装置３０で
は、プローブホルダ４０にプローブ２０を固定させる際
に、外周部からのねじ止めの他に、内側から固定部材４
６にてプローブ２０を固定することができる。このた
め、プローブホルダ４０に外側２列及び内側２列の合計
４列にてプローブ２０を保持させることができる。した
がって、プローブホルダ４０を大型にすることなく、多
数のプローブ２０を保持することが可能である。このた
め、ガイドチップ３６に対するプローブ針２３の傾斜角
度を小さくできることとなり、プローブ２０の動作不
良、プローブ針２３の破損等を防止することが可能であ
る。
は、プローブホルダ４０にプローブ２０を固定させる際
に、外周部からのねじ止めの他に、内側から固定部材４
６にてプローブ２０を固定することができる。このた
め、プローブホルダ４０に外側２列及び内側２列の合計
４列にてプローブ２０を保持させることができる。した
がって、プローブホルダ４０を大型にすることなく、多
数のプローブ２０を保持することが可能である。このた
め、ガイドチップ３６に対するプローブ針２３の傾斜角
度を小さくできることとなり、プローブ２０の動作不
良、プローブ針２３の破損等を防止することが可能であ
る。
【００２０】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、プローブホルダを大型
化することなく多くのプローブを効率よく保持すること
が可能となる。
化することなく多くのプローブを効率よく保持すること
が可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示
す縦断面図。
す縦断面図。
【図２】同プローブ装置の側面図。
【図３】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダ
を示す底面図。
を示す底面図。
【図４】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
【符号の説明】 ２０…プローブ ３０…プローブ装置 ３１…ハウジング ３６…ガイドチップ ４０…プローブホルダ ４２…外側プローブ挿入孔 ４３…内側プローブ挿入孔 ４４…溝 ４５…ねじ孔 ４６…固定部材
Claims (2)
- 【請求項１】ワークにプローブの針端子を接触させてそ
の特性を測定するためのプローブ装置において、 ハウジングと、 このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワーク
を支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持
部と、 このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プロ
ーブの基端部を保持するプローブホルダと、 前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの間に配置さ
れ、前記ハウジングに固定されたプローブホルダアーム
とを備え、 前記プローブホルダは、 ホルダ本体と、 このホルダ本体の外周部側に設けられるとともに、前記
ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プ
ローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、 前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記
ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プ
ローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、 前記ホルダ本体の前記他方の開口端側から形成された凹
部と、 この凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内
側プローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホル
ダ本体に固定する固定部材とを備えていることを特徴と
するプローブ装置。 - 【請求項２】前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少
なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴と
する請求項１に記載のプローブ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001087066A JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
| TW091105005A TWI303716B (ja) | 2001-03-26 | 2002-03-15 | |
| KR10-2002-0015666A KR100452144B1 (ko) | 2001-03-26 | 2002-03-22 | 프로브장치 |
| CNB02107853XA CN1173185C (zh) | 2001-03-26 | 2002-03-25 | 测头装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001087066A JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002286748A true JP2002286748A (ja) | 2002-10-03 |
| JP3862963B2 JP3862963B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=18942359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001087066A Expired - Lifetime JP3862963B2 (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | プローブ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3862963B2 (ja) |
| KR (1) | KR100452144B1 (ja) |
| CN (1) | CN1173185C (ja) |
| TW (1) | TWI303716B (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4335350A (en) * | 1980-05-23 | 1982-06-15 | Chen James T C | Apparatus for probing semiconductor wafers |
| JP2000266779A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | マルチプローブユニット |
| TW533309B (en) * | 1999-06-22 | 2003-05-21 | Nihon Micronics Kk | Probe device |
-
2001
- 2001-03-26 JP JP2001087066A patent/JP3862963B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-03-15 TW TW091105005A patent/TWI303716B/zh not_active IP Right Cessation
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