JP2002236111A - Bubble detecting method and device for liquid pump - Google Patents

Bubble detecting method and device for liquid pump

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JP2002236111A
JP2002236111A JP2001033112A JP2001033112A JP2002236111A JP 2002236111 A JP2002236111 A JP 2002236111A JP 2001033112 A JP2001033112 A JP 2001033112A JP 2001033112 A JP2001033112 A JP 2001033112A JP 2002236111 A JP2002236111 A JP 2002236111A
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Masahiro Nishikawa
雅弘 西川
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Masahiro Nishikawa
雅弘 西川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To develop a bubble detecting method and a bubble detector for a liquid pump that can detect bubbles in liquid being disposed outside a liquid pump system, distinguish the generation of bubbles from mechanical vibration and cope with various pumps. SOLUTION: In this bubble detecting method for the liquid pump 2 that delivers liquid L sucked from a suction pipe 4, to a discharge pipe 6 and moreover performs liquid lubrication between a rotation body and a spindle using the liquid L, ultrasonic wave is sent into the liquid discharged from the discharge pipe 6, and ultrasonic wave having passed through the liquid is received to detect the generation of bubbles in the liquid by the attenuation of receiving intensity of the ultrasonic wave. The generation of bubbles B in the liquid is detected by the bubble detecting method, and the occurrence of abnormality to the liquid pump is informed by the bubble detection.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液体を輸送する液体ポンプの気泡検出方法に関し、更に詳細には、輸送される液体を利用して主軸と内部回転体との液体潤滑を行なう液体ポンプにおいて、超音波により気泡を検出して液体潤滑部の異常を検出し、液体ポンプの異常発生を報知する液体ポンプの気泡検出方法及びその装置に関する。 The present invention relates to relates to bubble detection method of a liquid pump for transporting the liquid, more particularly, in the liquid pump for liquid lubricant and by using the liquid to be transported spindle and internal rotary member, detecting bubbles detects an abnormality of the liquid lubricant portion by ultrasonic relates bubble detection method and system for a liquid pump for informing abnormality of the liquid pump.

【0002】 [0002]

【従来の技術】一般に、液体を配管系に輸送する場合には液体ポンプで圧送する方式が採られている。 In general, in the case of transporting the liquid to the pipe system has been adopted is a method for pumping a liquid pump. その中でも、塩素水、無機酸、アルカリ溶液、塩類水溶液、有機溶媒などの一部危険な液体を輸送する液体ポンプでは、 Among them, chlorine water, inorganic acids, alkali solution, aqueous salt solution, a liquid pump for transporting some dangerous liquids such as organic solvents,
液漏れを完全遮断するために、圧送用回転体をポンプ本体内に密封し、回転体を非接触で外部動力によって回転させるポンプ方式が採用されている。 To complete blocking fluid leakage, to seal the pumping rotary member in the pump body, a pump system to rotate by an external force the rotating member in a non-contact is employed.

【0003】このような液体ポンプの典型例はマグネットポンプである。 [0003] Typical examples of such a liquid pump is a magnet pump. マグネットポンプの一例は、主軸がケーシングの内部に固定配置され、この主軸の外周に圧送用のインペラを有した回転体が回転自在に軸受けされている。 An example of the magnet pump, the main shaft is fixedly disposed in the casing, the rotary body is rotatably bearing having an impeller for pumping the outer periphery of the main shaft. この回転体にインナーマグネットが固定され、ケーシングの外側に駆動回転されるアウターマグネットを配置して構成される。 The rotating body inner magnet is fixed to, and by arranging the outer magnet which is rotated on the outside of the casing.

【0004】このマグネットポンプの作動は次のようである。 [0004] The operation of the magnet pump is as follows. アウターマグネットとインナーマグネットの間には磁気引力又は磁気斥力が作用するように磁気極性を調整しておく。 Between the outer magnet and the inner magnet magnetic attraction or magnetic repulsion is previously adjusted magnetic polarity to act. アウターマグネットを電動回転させると、 When the outer magnet to electric rotation,
磁気力によってインナーマグネットが従動回転し、その結果回転体とインペラがケーシング内で回転する。 Inner magnet is driven to rotate by the magnetic force, so that the rotating body and the impeller rotates in the casing. インペラ-の回転によって液体が吐出管へと送出される。 Impeller - liquid is delivered to the discharge pipe by rotation of the.

【0005】液体は吐出管側に送出されるだけでなく、 [0005] Liquid is not only sent to the discharge pipe side,
回転体の裏側へも一部逆流し、回転体と主軸の間の微小間隙に薄流となって流れ、再びインペラ側へと帰還する。 Some even to the rear side of the rotating body flows back flow becomes Usuryu a minute gap between the rotor and the main shaft, again back to the impeller side. 回転体と主軸の間に流れる輸送液体の薄流は、この軸受部分に自己循環型の液体潤滑作用を生じ、主軸上での回転体の円滑な回転とマグネットポンプの定常運転を保証する。 Thin stream of transport fluid flowing between the rotor and the main shaft gives rise to liquid lubricating action of closed-loop to the bearing part to ensure steady operation of smooth rotation and a magnet pump of the rotating body on the spindle.

【0006】液体ポンプの代表的な損傷は液体中に気泡が発生することによって生起される。 [0006] Representative damage of the liquid pump is caused by generation of bubbles in the liquid. この気泡は、外部からの空気の侵入、キャビテーション、液体の分解などによって発生する。 The bubbles, air from entering from the outside is generated by cavitation, such as decomposition of the liquid. 気泡が発生すると、気泡の多くは吐出管へと流出するが、気泡の一部は回転体と主軸の間に流れる薄流に紛れ込む。 When bubbles are generated, many bubbles flows out to the discharge pipe, some of the bubbles slip into a thin stream that flows between the rotor and the main shaft. 回転体と主軸の間隙は極めて小さいから、気泡によって間隙が封鎖されることがよくある。 Since the gap of the rotor and the main shaft is very small, it is often gap is blocked by air bubbles.

【0007】気泡による間隙の封鎖は、主軸と回転体の間が半乾燥潤滑状態又は固体潤滑状態になることを意味する。 [0007] blockade of the gap due to the air bubbles means that between the main shaft and the rotating body is semi-dry lubrication or solid lubrication. その結果、この軸受部分に急激な摩擦発熱が生じ、薄流による熱伝導が機能しないため発熱損傷が発生し、この損傷は軸受寿命を短縮化させると同時に、結果的にポンプ全体の破損を生起させる。 As a result, cause rapid frictional heating in the bearing part, heat generation damages the heat conduction is not functioning due to a thin flow is generated, and at the same time the damage to shorten the bearing life, occurrence as a result, the overall pump failure make.

【0008】 [0008]

【発明が解決しようとする課題】この損傷を検出するために、従来から吐出圧力を検出したり、ポンプ内の液体温度を検出したり、回転駆動用の電動機所要電流を検知したり、液体ポンプの振動を検出する方法が採られてきた。 [Problems that the Invention is to Solve In order to detect the damage, or to detect the discharge pressure from a conventional, or to detect the fluid temperature in the pump, or to detect the motor current required for driving the rotation, the liquid pump a method for detecting the vibration of have been taken.

【0009】液体の圧力や温度を検出する方法は、センサーを液体中に浸漬しなければならないから、防食設計や液密設計が必要になる。 [0009] The method for detecting the pressure and temperature of the liquid, do not have to be immersed sensor in the liquid, it is necessary to corrosion design and liquid-tight design. 特に、反応性の高い液体ではセンサーを液体から保護することが困難になり、また液体の漏出という最悪の事態がすることもあった。 In particular, the highly reactive liquid it is difficult to protect the sensor from the liquid, and also had to the worst situation of leakage of liquid.

【0010】電動機所要電流の変化から異常発生を検出する方法は汎用性の高い方法である。 [0010] The method for detecting an abnormality from a change in the motor current demand is versatile method. しかし、実際には気泡発生に対して所要電流の顕著な変化は確認できず、 However, it can not be confirmed significant change in the required current to the bubble generation in fact,
実用的ではない。 Not practical. 振動検出方式は最も開発が進められている方式である。 Vibration detection method is a method that has been advanced is the most developed. この方式は、気泡が侵入すると通常とは異なる振動が発生する特性を利用し、ポンプの筐体に取り付けられた振動センサーで特殊振動を検出するものである。 This method is one in which air bubbles using characteristics different vibration occurs normally and enters, detects the special vibration by a vibration sensor attached to the housing of the pump. しかし、通常の機械振動と異常振動を区別することは難しく、周囲環境によっても振動が異なるため、 However, since it is difficult to distinguish normal mechanical vibration and abnormal vibration, the vibration in accordance with the surrounding environment different,
汎用化することは当面期待できない。 Be generalized it can not be expected for the time being.

【0011】つまり、液体ポンプの異常検出に要求される性能は、異常と正常を区別できること、種々の液体ポンプに同一のセンサーで対応できること、液体に接触することなく容易に取り付けられること、耐久性が高くメンテナンスが容易であること、等である。 [0011] That is, the performance required of the abnormality detection of the liquid pump, that can distinguish normal and abnormal, it can respond in the same sensors in a variety of liquid pumps, it is easily mounted without contacting the liquid, durability high maintenance to be easy, and the like.

【0012】従って、本発明に係る液体ポンプの異常検出方法及びその装置は、液体を通過する超音波が気泡により減衰する性質を利用して、前述した4種の性能を満足させながら、超音波の受信強度の変化から気泡発生を検出することを目的とする。 Accordingly, the abnormality detecting method and apparatus of the liquid pump according to the present invention utilizes the property of ultrasonic waves through the liquid is attenuated by the gas bubbles, while satisfying the four performance described above, ultrasonic and an object thereof is to detect air bubbles generated from the change in the reception intensity of.

【0013】即ち、使用する周波数帯は機械振動よりも高い領域であるから、異常振動と超音波を区別できる。 [0013] That is, the frequency band used is because a higher region than the mechanical vibration, can distinguish abnormal vibration and ultrasonic.
配管外部に超音波送受信器を取り付ければよいから、種々のポンプに対応でき、液体と非接触である。 Since the pipe outside may be attached to the ultrasonic transceiver, it can correspond to various pumps, which is a liquid non-contact. しかも、 In addition,
外部設置であるから耐久性があり、取り付けが簡単で且つメンテナンスが容易である。 Because it is exogenous durable, it is easy and maintenance mounting is easy.

【0014】 [0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、吸込管から吸込んだ液体を吐出管に送出し、しかもこの液体を使用して回転体と主軸の間を液体潤滑する液体ポンプにおいて、吐出管に吐出された液体中に超音波を発信し、この液体を通過してきた超音波を受信し、超音波の受信強度の減衰により液体中の気泡発生を検出することを特徴とする液体ポンプの気泡検出方法である。 SUMMARY OF THE INVENTION claim 1 invention sends a liquid sucked from the suction pipe to the discharge pipe, yet in the liquid pump for liquid lubrication between the rotor and the main shaft using the liquid, during discharged to the discharge pipe the liquid transmits ultrasonic waves, the liquid pump, characterized in that the liquid receives the ultrasonic wave that has passed through the to detect the generation of bubbles in the liquid by the attenuation of the reception intensity of the ultrasonic wave which is a bubble detection method.

【0015】請求項2の発明は、請求項1に記載の気泡検出方法により液体中に気泡が発生したことを検出し、 The invention of claim 2 detects that bubbles occur in the liquid by the bubble detecting method according to claim 1,
この気泡検出により液体ポンプに異常が発生したことを報知する液体ポンプの異常検出方法である。 An abnormality detecting method for a liquid pump which informs that the abnormality in the liquid pumped by bubble detection occurs.

【0016】請求項3の発明は、吸込管から吸込んだ液体を吐出管に送出し、しかもこの液体を使用して回転体と主軸の間を液体潤滑する液体ポンプにおいて、液体ポンプの吐出口近傍又は吐出管に配設される超音波発信器及び超音波受信器と、超音波発信器から発射されて液体中を通過してきた超音波を超音波受信器で受信して受信強度を検出する検出制御回路から構成され、受信強度が減衰したときに液体中の気泡発生を検出することを特徴とする液体ポンプの気泡検出装置である。 [0016] The invention of claim 3 sends a liquid sucked from the suction pipe to the discharge pipe, yet between the rotor and the main shaft using the liquid in the liquid pump for liquid lubricant discharge opening neighborhood of the liquid pump or the ultrasonic transmitter and the ultrasonic receiver disposed in the discharge pipe, detecting for detecting a reception strength by receiving ultrasonic waves having passed through the are fired in a liquid from the ultrasonic transmitter an ultrasonic receiver and a control circuit, a bubble detection system for a liquid pump, characterized by detecting the generation of bubbles in the liquid when the receiving intensity is attenuated.

【0017】請求項4の発明は、前記超音波発信器と超音波受信器を流動する液体を挟んで対向配置する請求項3に記載の液体ポンプの気泡検出装置である。 [0017] The invention of claim 4, wherein an air bubble detection system for a liquid pump according to claim 3, face each other across the liquid flowing through the ultrasonic transmitter and the ultrasonic receiver.

【0018】請求項5の発明は、前記超音波発信器と超音波受信器を流動する液体に対し同じ側に配置する請求項3に記載の液体ポンプの気泡検出装置。 [0018] The invention of claim 5, the bubble detection system for a liquid pump according to claim 3 to the liquid flowing through the ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver are arranged on the same side.

【0019】請求項6の発明は、請求項3、4又は5に記載の気泡検出装置において、気泡検出を通して液体ポンプの異常発生を報知するアラーム回路を前記検出制御回路に組み込んだことを特徴とする液体ポンプの異常検出装置である。 [0019] The invention of claim 6, and characterized in that the bubble detection device according to claim 3, 4 or 5, incorporating an alarm circuit for informing the abnormality of the liquid pump through the bubble detection in the detection control circuit an abnormality detection system for a liquid pump.

【0020】 [0020]

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る液体ポンプの異常検出方法及びその装置の実施形態を添付する図面に従って詳細に説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS be described in detail an embodiment of a failure detection method and system for a liquid pump according to the present invention with accompanying drawings.

【0021】図1は本発明に係る液体ポンプの異常検出装置を取り付けたポンプ系の構成図である。 [0021] FIG. 1 is a block diagram of a pumping system fitted with abnormality detecting device of a liquid pump according to the present invention. 液体ポンプ2は吸込管4と吐出管6の間に介装され、液体Lを矢印a方向から吸込み、矢印b方向に送出している。 Liquid pump 2 is interposed between the suction pipe 4 and the discharge pipe 6, the suction of the liquid L from the direction of the arrow a, and sent in the direction of arrow b. 吐出管6には液体ポンプ異常検出装置8が取り付けられている。 Liquid pump abnormality detecting apparatus 8 is attached to the discharge pipe 6.

【0022】この異常検出装置8は、吐出管6にアダプター10を取り付け、このアダプター10に超音波発信器12と超音波受信器14を対向配置して構成されている。 [0022] The abnormality detection apparatus 8, an adapter 10 attached to the discharge pipe 6, and is configured as an ultrasonic transmitter 12 and ultrasonic receiver 14 are arranged to face this adapter 10. また、超音波発信器12と超音波受信器14を一体化した超音波発受信器をアダプター10に取り付けてもよい。 It may also be fitted with ultrasonic onset receiver integrated with the ultrasonic transmitter 12 and ultrasonic receiver 14 to the adapter 10. この場合には、超音波発信器と超音波受信器が液体流に対し同じ側に配置されたことになる。 In this case, the ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver are arranged on the same side with respect to liquid flow. 超音波信号は検出制御回路Cにより発信受信制御される。 Ultrasound signals are transmitted received controlled by the detection control circuit C.

【0023】次に、液体ポンプ系に気泡Bが発生する場合を説明する。 Next, the case where air bubbles B generated in the liquid pumping system. 液体ポンプ2の始動時には空気が供給口から液体中に混入しやすく、空気の気泡Bが液体Lと共に吸込管4から液体ポンプ2に吸込まれてゆく。 The time of starting the fluid pump 2 easily mixed from the air supply port into the liquid, the air bubbles B Yuku been sucked from the suction pipe 4 into the liquid pump 2 together with the liquid L. この気泡Bは一時的なもので、液体ポンプ2の異常によるものではないから、吐出管6から圧送される流れが定常流になると自然に無くなり、軸受に対する害悪作用は比較的少ない。 The bubble B is temporary, because not due abnormality of the liquid pump 2, no natural when flow is pumped from the discharge pipe 6 is a steady flow, harm effects on the bearing is relatively small.

【0024】問題となる気泡は、供給口や吸込管4の異常による継続的な気泡発生や、液体ポンプ2の内部で継続的に発生する気泡である。 The bubbles in question, ongoing bubble generation or due to abnormal supply port and the suction pipe 4 is continuously generated bubbles inside the liquid pump 2. このような気泡は前述した回転体と主軸の間の微小間隙部(軸受部)に継続的に吸込まれ、そこに滞留して軸受部を流れる薄流を遮断する確率が急激に高くなる。 Such bubbles are sucked continuously into the minute gap between the rotor and the main shaft as described above (bearing portion), the probability of blocking thin flow through the bearing portion is rapidly increased staying there. 液体ポンプ2の内部における気泡発生原因には、キャビテーションや液体の自己分解による気泡発生が考えられる。 The bubble generation causes in the liquid inside the pump 2, the bubble generation by self-decomposition of cavitation and liquid are conceivable.

【0025】気泡が主軸と回転体の間にある軸受部に滞留し、軸受部を流れる薄流を遮断すると、軸受部の液体潤滑が壊れ、半固体潤滑や固体潤滑となって摩擦発熱により過加熱状態となる。 The bubbles are retained in the bearing portion located between the main shaft and the rotating body, over Blockade thin flow through the bearing portion, broken liquid lubricant of the bearing unit, by frictional heating becomes semisolid lubricating and solid lubricant the heating state. この過加熱状態は定温で輸送すべき液体を過剰に加熱したり、液体ポンプの故障を誘発し、液体ポンプを損傷させることが多い。 The over-heated state or excessive heating of the liquid to be transported at a constant temperature, to induce failure of the liquid pump, often damaging the liquid pump.

【0026】図2は超音波発受信器の対向配置における超音波の減衰原因の説明図である。 [0026] FIG. 2 is an explanatory view of an ultrasonic attenuation causes in opposed ultrasonic onset receiver. 容器16の底に発泡板18を配置し、液体Lの中に気泡Bを発生させる。 Place the foam plate 18 on the bottom of the container 16, thereby generating a bubble B in the liquid L. この気泡Bに対し超音波発信器12から超音波20を発射する。 To the bubble B emits ultrasonic waves 20 from the ultrasonic transmitter 12. 超音波20は気泡Bにより散乱22及び反射24 Ultrasonic 20 scattered by the bubbles B 22 and reflected 24
を起こして減衰し、残余の超音波が透過する。 It attenuated causing the residual of the ultrasound is transmitted. この透過超音波26は超音波受信器14により検出される。 The transmission ultrasonic 26 is detected by the ultrasonic receiver 14.

【0027】超音波発信器12と超音波受信器14の対向距離をDとし、液体の超音波速度をVとすると、発射後に透過超音波26が受信される時間tはt=D/Vで与えられる。 [0027] The opposing distance of the ultrasonic transmitter 12 and ultrasonic receiver 14 is D, the ultrasonic velocity of the liquid is by V, time t transmitted ultrasound 26 after firing is received at t = D / V Given. 従って、超音波受信器14の信号を検出制御回路Cで検出すると、t=D/Vの時刻から透過超音波26の受信が始まる。 Therefore, when detecting the signal of the ultrasonic receiver 14 in the detection control circuit C, the reception of the transmitted ultrasonic wave 26 from the time of t = D / V begins. この受信超音波を計測すると、 When measuring the received ultrasonic wave,
発泡時の受信強度は無発泡時の受信強度より相当程度減衰しているはずである。 Reception intensity during foaming should have attenuated approximately equivalent than the reception strength at the time of non-foamed. この受信強度の減衰を計測して、気泡Bを検出することになる。 The attenuation of the received intensity is measured, thereby detecting the air bubbles B.

【0028】図3は液体ポンプの拡大概略断面図である。 [0028] FIG. 3 is an enlarged schematic sectional view of a liquid pump. 液体ポンプ2は閉鎖板44で一体化されたフロントケーシング30とリアーケーシング46の中に構成されている。 Liquid pump 2 is configured in the front casing 30 and rear casing 46 which is integrated in the closing plate 44. 吸込口34を有する吸込受フランジ32は吸込管フランジ4aと連結されて吸込管4に接続される。 Suction receiving flange 32 having a suction port 34 is connected is connected to the suction pipe flange 4a to the suction line 4. 吐出口38を有する吐出受フランジ36は吐出管フランジ6aと連結されて吐出管6に接続される。 Discharge receiving flange 36 having a discharge port 38 is connected is connected to the discharge pipe flange 6a to the discharge pipe 6.

【0029】フロントケーシング30の中には、支持板40、40によりフロントブラケット42が支持されており、リアーケーシング46にはリアーブラケット48 [0029] Among the front casing 30, a front bracket 42 is supported by the support plate 40, 40, the rear casing 46 Rear bracket 48
が形成されている。 There has been formed. 主軸50はフロントブラケット42 The main shaft 50 is a front bracket 42
とリアーブラケット48により両端を支持されている。 It is supported at both ends by rear bracket 48 and.
この主軸50は主軸頭部50、主軸中間部50b及び主軸本体50aから構成され、両ブラケット42、48間に固定状態に配置される。 The spindle 50 is the spindle head 50 is composed of the main shaft intermediate portion 50b and the main shaft body 50a, it is arranged in a fixed state between both the brackets 42 and 48.

【0030】主軸50の外周には前述した回転体を構成するマグネットライニング54が回転自在に嵌合され、 [0030] A magnet lining 54 constituting the rotating body described above is rotatably fitted on the outer periphery of the main shaft 50,
このマグネットライニング54には圧送用のインペラ5 Impeller 5 for pumped to the magnet lining 54
2が一体に構成されている。 2 is constructed in one piece. マグネットライニング54 Magnet lining 54
の中にはインナーマグネット56が固定され、またその内周部62にはフロントベアリング64が内嵌されている。 Front bearing 64 is fitted into the inner magnet 56 is fixed, also the inner peripheral portion 62 thereof is in the. つまり、フロントベアリング64が主軸本体50a In other words, the front bearing 64 is the main spindle body 50a
の外周に外嵌されて構成される。 Configured fitted on the outer periphery of the.

【0031】フロントベアリング64と主軸本体50a The front bearing 64 and the spindle body 50a
の間には微小間隙部63が形成され、この微小間隙部6 Between the formed minute gap 63, the minute gap 6
3に輸送液体の薄流が流れて液体潤滑され、フロントベアリング64が主軸本体50aの外周を円滑に継続回転できる。 3 thin stream of transport fluid is a liquid lubricant to flow to the front bearing 64 is smoothly continued rotation of the outer periphery of the main shaft body 50a.

【0032】リアーケーシング46の外周にはアウターマグネット58が配置され、駆動回転機構60によって駆動回転されるように構成されている。 [0032] The outer periphery of the rear casing 46 outer magnets 58 are arranged, is configured to be rotationally driven by the driving rotation mechanism 60. このアウターマグネット58と前記インナーマグネット56とは対向し、両マグネット56、58は反対極性に設定される。 The opposite is the outer magnet 58 and the inner magnet 56, both magnet 56 and 58 is set to the opposite polarity.
従って、両者には磁気引力が作用する。 Therefore, the magnetic attractive force acts on them. 磁気引力によりインナーマグネット56はアウターマグネット58と同方向に回転するように構成されている。 Inner magnet 56 is configured to rotate with the outer magnets 58 in the same direction by the magnetic attraction.

【0033】次に、この液体ポンプ2の作動について説明する。 [0033] The following describes the operation of the liquid pump 2. 駆動回転機構60によりアウターマグネット5 The outer magnet 5 by the drive rotation mechanism 60
8を矢印c方向に回転させると、インナーマグネット5 8 is rotated in the arrow c direction, the inner magnet 5
6を有するマグネットライニング54がインペラ52と共に矢印d方向に磁気引力により回転する。 Magnet lining 54 having a 6 is rotated by the magnetic attraction of the arrow d direction together with the impeller 52.

【0034】インペラ52の回転によって液体は矢印a [0034] Liquid by rotation of the impeller 52 is the arrow a
方向から矢印e方向に吸引され、インペラ52から矢印f方向に送出された液体は吐出管6を矢印b方向に圧送されてゆく。 Is sucked from the direction of the arrow e direction, the liquid sent in the arrow f direction from the impeller 52 Yuku being pumped discharge pipe 6 in the direction of arrow b. しかし、液体の一部はインペラ52から矢印j方向にも流出し、矢印k方向にフィードバックされる。 However, some of the liquid is also flowing in the direction j from the impeller 52, is fed back to the arrow k direction.

【0035】特に、矢印g方向に流出した液体はマグネットライニング54の後方を迂回し、微小間隙部63を矢印h方向に流動した後、矢印i方向にインペラ52へとフィードバックされる。 [0035] In particular, the liquid that flows out in the direction of arrow g bypasses the rear of the magnet lining 54, after flowing through the minute gap 63 in the direction of arrow h, is fed back to the impeller 52 in the direction of arrow i. 矢印h方向の流れは前述した軸受部の薄流である。 Arrow h direction of flow is the thin stream of the bearing unit described above. この薄流が適切に流れていると、 When the thin stream is properly flowing,
微小間隙部63は適正に液体潤滑され、マグネットライニング54は主軸本体50aの外周を異常発熱することなく安定に回転を続けることができる。 Minute gap portion 63 is properly liquid lubricant, magnetic lining 54 can continue stable rotation without overheating the outer periphery of the main shaft body 50a.

【0036】ところが気泡Bが矢印g方向に流れ込むと種々の問題が生じる。 [0036] However bubble B is the flow direction of an arrow g various problems. 前述したように、気泡Bは吸込管4から導入される場合もあるが、液体ポンプの中でもキャビテーションや液体の分解反応によって気泡Bが発生する。 As described above, the bubble B is sometimes introduced from the suction pipe 4, bubbles B generated by the decomposition reaction of cavitation and liquid among the liquid pump. この気泡Bはフィードバック流に乗り、矢印g方向から流入し、微小間隙部63を流通する。 The bubble B may ride on the feedback stream, flowing from the direction of arrow g, flowing through the small gap 63.

【0037】気泡Bは狭い管路を封鎖する性質を有する。 The bubble B has a property to block a narrow conduit. この気泡Bが微小間隙部63に滞留して薄流を遮断すると、微小間隙部63の液体潤滑が破れ、固体潤滑又は半固体潤滑の状態が出現する。 When the bubble B is cut off a thin stream accumulated in the minute gap 63, the liquid lubricant of the minute gap portion 63 is torn, the state of the solid lubricant or semisolid lubricating appears. 微小間隙部63では急激に摩擦熱が発生し、しかもこの発生熱は局部的に作用するからその部分を融解破断して液体ポンプ2を損傷・ Minute the gap 63 rapidly frictional heat is generated, moreover damaged or the liquid pump 2 to melt fracture that portion from the heat generated acts locally
破壊に到らしめる。 It occupies lead to destruction.

【0038】このような損傷を未然に防止するために、 [0038] In order to prevent such damage in advance,
吐出管6に気泡検出装置8を取り付け、透過超音波の受信強度の減衰により気泡発生を検出し、アラームを発生して、液体ポンプの異常を報知するものである。 Attach the bubble detection device 8 to the discharge pipe 6 detects a bubble generated by the attenuation of the reception intensity of the transmitted ultrasonic wave, and an alarm is for notifying the abnormality of the liquid pump.

【0039】図4は超音波発信器と超音波受信器を一体化した超音波発受信器による気泡検出の説明図である。 [0039] FIG. 4 is an explanatory view of a bubble detection by an ultrasonic onset receivers with integrated ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver.
容器16の一端には超音波発受信器13が配置されている。 At one end of the container 16 are arranged ultrasonic onset receiver 13. 超音波発受信器13は超音波発信器12と超音波受信器14を一体化したセンサーで、超音波を発信すると同時に超音波を受信することができる。 Ultrasonic onset receiver 13 in the sensor integrated with the ultrasonic transmitter 12 and ultrasonic receiver 14 can receive the ultrasonic waves simultaneously transmits ultrasonic waves. 使用する超音波の振動数は1MHzであるが、この振動数は自在に設定することができる。 Frequency of the ultrasonic waves to be used is a 1 MHz, the frequency can be set freely.

【0040】この超音波発受信器13を用いると、超音波発信器12と超音波受信器14は液体流に対して同じ側に配置されることになる。 [0040] With this ultrasonic onset receiver 13, the ultrasonic transmitter 12 ultrasonic receiver 14 will be arranged on the same side with respect to the liquid flow. 超音波発信器12により発射された超音波は容器の直径距離Dを往復して超音波受信器14により受信される。 Ultrasonic waves emitted by the ultrasonic transmitter 12 is received by the ultrasonic receiver 14 back and forth diameter distance D of the container. この場合には、超音波は往復の過程で気泡Bにより減衰を受けるから、図2の片道受信強度より減衰が大きく、気泡検出の精度は高くなる。 In this case, since ultrasonic waves are subjected to attenuation by the bubble B in a reciprocating process, greater attenuation than one way reception intensity of FIG. 2, the accuracy of the bubble detector becomes higher.

【0041】図5は気泡がある場合と無い場合の受信強度の比較図である。 [0041] FIG. 5 is a comparative diagram of the reception intensity with and without air bubbles. 容器の直径距離Dは30.7cm、 Vessel diameter distance D 30.7Cm,
超音波速度Vは1500m/sであるから、受信時間t Since the ultrasonic velocity V is the 1500m / s, reception time t
はt=2D/V=2×0.307/1500=410 The t = 2D / V = ​​2 × 0.307 / 1500 = 410
(μs)で与えられる。 It is given by (μs). 従って、超音波発射から410 Therefore, from the ultrasound firing 410
μs後の受信強度を比較して気泡を存否を検出する。 By comparing the received strength after μs to detect the presence or absence of air bubbles.

【0042】(a)は気泡が無い場合の受信強度を示し、V pp =0.3〜0.4(V)とかなり大きいことが分かる。 [0042] (a) shows the reception intensity when the bubble is not, it can be seen quite large and V pp = 0.3~0.4 (V). 他方、(b)は気泡がある場合の受信強度を示し、V pp =0.2〜0.1(V)とかなり小さくなる。 On the other hand, (b) shows the reception strength in the case where there is a bubble, V pp = 0.2~0.1 much smaller and (V). 気泡が存在すると、受信強度は1/2に減衰することが分かる。 If bubbles exist, the reception intensity is seen to decay to 1/2. この減衰によって気泡の発生を検出し、液体ポンプ2に異常が発生したことを報知する。 Detecting the occurrence of bubbles due to this attenuation, notifying that an abnormality occurs in the liquid pump 2.

【0043】図6は反射超音波を利用した気泡検出の説明図である。 [0043] FIG. 6 is an explanatory view of a bubble detection using reflected ultrasonic wave. 発泡器18は容器16の中央に設置されているから、気泡までの距離dはd=D/2で与えられる。 Foamer 18 from being placed in the center of the container 16, the distance d to the bubbles is given by d = D / 2. 従って、d=15cmであるから、受信時間tはt Accordingly, since it is d = 15cm, the reception time t t
=2d/Vで与えられ、計算すると、t=400(μ = Given by 2d / V, is calculated, t = 400 (mu
s)となる。 s) to become. 超音波振動数は1MHzである。 Ultrasonic frequency is 1MHz.

【0044】図7は気泡がある場合と無い場合の反射超音波による受信強度の比較図である。 [0044] FIG. 7 is a comparison diagram of the reception intensity by the reflected ultrasonic wave with and without air bubbles. (a)は気泡が無い場合を示し、(b)は気泡がある場合を示している。 (A) shows a case where bubbles do not show a case where there is (b) bubbles.
受信強度の単位はmVであり、図4の透過超音波と比較すると、受信強度が全体に小さくなる傾向にある。 Unit reception strength is mV, when compared to the transmission ultrasonic 4, the reception intensity tends to decrease throughout. 図7 Figure 7
で判断する限り、(a)と(b)の受信強度にそれほど目立った差異は見られない。 In Judging not seen so much noticeable difference in reception intensity of (a) and (b).

【0045】図8は気泡がある場合と気泡が無い場合の差信号の検出波形図である。 [0045] Figure 8 is a detection waveform of the difference signal in the absence if the bubbles have any bubbles. 差信号であるため信号強度は更に小さくなるが、気泡による反射波がmV単位で明らかに検出されていることが分かる。 Further reduced the signal intensity for a differential signal, but it is understood that the reflected wave due to the air bubbles are clearly detected in mV. 従って、反射超音波を利用しても、透過超音波と同様に気泡を検出することが可能になる。 Therefore, reflections by using ultrasonic waves, it is possible to detect bubbles as with transmission ultrasonic waves.

【0046】図9は超音波の受信強度に与える機械振動の影響を調べる装置図である。 [0046] Figure 9 is a device diagram investigate the effect of mechanical vibration applied to the reception intensity of the ultrasonic wave. 超音波発信器12と超音波受信器14を容器16に対向配置する。 The ultrasonic transmitter 12 and ultrasonic receiver 14 is disposed opposite to the container 16. 容器16の底板下面には振動板70が配設されている。 Diaphragm 70 is disposed on the bottom plate bottom surface of the container 16. 超音波受信器14は透過超音波と共に振動板による機械振動波を受信する。 Ultrasonic receiver 14 receives the mechanical vibration by the vibration plate with transmitting ultrasound. 超音波振動数fは1MHzである。 Ultrasonic vibration frequency f is 1MHz.

【0047】図10は振動板の振動数が数十kHz以下のときの検出波形図である。 [0047] FIG. 10 is a detection waveform diagram when the frequency is less than several tens kHz of the diaphragm. 超音波の片道透過波を検出する構成であるから、受信時間tはt=D/Vで与えられ、t=205(μs)になる。 Since it is configured to detect the one-way transmission of the ultrasonic waves, the reception time t is given by t = D / V, becomes t = 205 (μs). 約200μsを越えた領域に受信波形が観察されるが、この波形は超音波の受信波形である。 About the reception waveform in a region beyond the 200μs is observed, this waveform is an ultrasonic reception waveform. 振動板70による機械振動波は観察されないから、機械振動の周波数が数十kHz以下では、機械振動は気泡検出に全く影響を与えないことが分かる。 Do not mechanical vibration wave is observed by the diaphragm 70, the frequency is below several tens kHz is the mechanical vibration, mechanical vibration can be seen that no effect on bubble detection.

【0048】図11は振動板の振動数が800kHzのときの検出波形図である。 [0048] Figure 11 is a detection waveform diagram when the frequency of the vibration plate is 800 kHz. 振動板の振動数が800kH Frequency of the vibration plate is 800kH
zであるから、1MHzの超音波振動数にかなり接近している。 Because it is z, it is quite close to the ultrasonic frequency of 1 MHz. その結果、全時間領域を通してノイズが観察され、特に200μs以下でノイズ波形が明確に理解できる。 As a result, the noise is observed throughout the entire time domain, noise waveform can be clearly understood in particular 200μs or less. しかい、このノイズ波形は超音波の受信波形に影響を与えるには到っていない。 City Council, the noise waveform is not led to influence the ultrasound received waveform.

【0049】前述したように、従来でも液体ポンプの筐体に振動センサーを取り付けて振動異常を検出する方法が存在していた。 [0049] As described above, in Method for detecting vibration abnormality mounting the vibration sensor on the housing of the liquid pump was present prior art. この従来方法では気泡振動と環境機械振動を区別することができなかった。 It was not possible to distinguish between the bubble vibration and environmental mechanical vibration in the conventional manner. しかし、本発明方法は高振動数の超音波を使用しているため、環境に起因する機械振動と超音波振動とを明確に分離することに成功している。 However, the present method for using the ultrasonic high frequency, has been successful in clearly separate the mechanical vibration and the ultrasonic vibration caused by the environment.

【0050】環境に起因する機械振動の振動数も広範囲に分布するのが実情である。 [0050] The widely distributed also frequency of the mechanical vibrations caused by the environment is a reality. 機械振動数が超音波振動数にかなり接近したときには、超音波の受信強度に相当の影響を与える。 When the machine frequency is fairly close to the ultrasonic frequency affects the equivalent to the reception intensity of the ultrasonic wave. このような場合には、本発明では超音波の振動数を変更することによって対応できる。 In such a case, the present invention can respond by changing the frequency of the ultrasonic wave. 超音波の振動数は自在に設定することができるから、環境振動数に応じた超音波振動数の帯域を使用して気泡検出を確実に行うことができる。 Frequency of the ultrasonic wave because it is possible to freely set, it is possible to reliably perform bubble detection using the band of ultrasonic frequencies corresponding to the number of environmental vibrations.

【0051】図12は検出制御回路のフローチャートの一例である。 [0051] FIG. 12 is an example of a flowchart of a detection control circuit. ステップn1で超音波信号Vを受信する。 Receiving the ultrasonic signal V in step n1.
この受信信号Vがゼロであればn1に戻り、Vが正であれば信号があったものと判断してn3に進む(n2)。 The received signal V is returned to n1 if zero, V proceeds to n3 it is determined that there is a signal if it is positive (n2).
信号Vに限界強度V 0を設定し、ΔV=V−V 0を計算する。 Set the limit strength V 0 to the signal V, to calculate the ΔV = V-V 0. この限界強度V 0より大きければ気泡はなく、限界強度以下であれば気泡があるものとする。 This limits the intensity V 0 instead bubbles larger than, and that there is a bubble equal to or less than the limit strength. ΔVがゼロ以上であれば気泡がなかったものと判断しn1に帰還する(n4)。 ΔV is fed back to the judges that there is no air bubbles equal to or greater than zero n1 (n4). ΔVが負であれば気泡があると判断し、アラームを報知し(n5)、液体ポンプを停止させる(n ΔV is determined that there is a bubble if it is negative, and notifying an alarm (n5), stops the liquid pump (n
6)。 6).

【0052】本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例、設計変更等をその技術的範囲内に包含するものであることは云うまでも無い。 [0052] The present invention is not limited to the above embodiments, various modifications in a range not departing from the technical idea of ​​the present invention, it is intended to cover design changes within the technical scope needless to say.

【0053】 [0053]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、超音波の受信強度の減衰から気泡を確実に検出することができる。 Effects of the Invention According to the present invention, it is possible to reliably detect bubbles from attenuation of the reception intensity of the ultrasonic wave. しかも超音波振動数を適切に設定することにより、異常振動と気泡発生とを明確に区別できる。 Moreover, by appropriately setting the ultrasonic frequency, it can clearly distinguish the abnormal vibration and the bubble generation.

【0054】請求項2の発明によれば、気泡を検出することにより液体ポンプに異常が発生したことを報知できる。 [0054] According to the invention of claim 2, it informs that the abnormality in the liquid pump is generated by detecting the bubble. 気泡の発生は液体ポンプの液体潤滑を破壊するから、気泡発生を検出して液体ポンプの損傷を未然に防止し、液体ポンプの長寿命化を達成できる。 Since generation of bubbles destroys liquid lubricant liquid pump, to detect the bubble generation to prevent damage to the liquid pump in advance, can achieve long life of the liquid pump.

【0055】請求項3の発明によれば、液体ポンプや吐出管の外部に超音波発受信器を配設するだけで気泡を検出できるから、種々の液体ポンプに同一のセンサーで対応でき、しかも液体に接触させることなく容易に取り付けることができる。 [0055] According to the third aspect of the present invention, since only able to detect air bubbles disposed an ultrasonic onset receiver external to the fluid pump and the discharge pipe, can cope with the same sensors in a variety of liquid pumps, moreover It can be easily mounted without contacting the liquid. その結果、気泡検出装置の耐久性が高く、メンテナンスも容易にできる。 As a result, high durability of the bubble detection apparatus, maintenance can be facilitated.

【0056】請求項4の発明によれば、超音波発信器と超音波受信器を対向配置して気泡検出装置を構成するから、超音波受信器には反射波や散乱波などの雑信号が入りにくく、気泡の検出を高精度に行うことができる。 [0056] According to the invention of claim 4, since constituting the bubble detection device arranged opposite the ultrasonic transmitter and the ultrasonic receiver, miscellaneous signals such as reflected waves or scattered wave to the ultrasonic receiver prevented from entering, it is possible to perform the detection of air bubbles with a high degree of accuracy.

【0057】請求項5の発明によれば、超音波発信器と超音波受信器を一体化した超音波発受信器を使用するから、装置の構成が簡単になり、液体ポンプ配管系への取付や取り外し、並びにメンテナンスが容易になる。 [0057] According to the invention of claim 5, since using ultrasound onset receivers with integrated ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver, the configuration of the apparatus is simplified, attached to the liquid pump piping system and removal, as well as easy maintenance.

【0058】請求項6の発明によれば、アラーム回路を検出制御回路に組み込んだから、気泡を検出すると、液体ポンプに異常が発生したこと、又は異常が発生する可能性が高いことを報知でき、液体ポンプのメンテナンスを容易にして液体ポンプの長寿命化を達成できる。 [0058] According to the invention of claim 6, since incorporating the alarm circuit to the detection control circuit detects a bubble, an abnormality in the liquid pump occurs, or abnormal can be notified that there is likely to occur, maintenance of the liquid pump to facilitate can achieve a long life of the liquid pump.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明に係る液体ポンプの異常検出装置を取り付けたポンプ系の構成図である。 1 is a configuration diagram of a pumping system fitted with abnormality detecting device of a liquid pump according to the present invention.

【図2】超音波発受信器の対向配置における超音波の減衰原因の説明図である。 FIG. 2 is an explanatory view of an ultrasonic attenuation causes in opposed ultrasonic onset receiver.

【図3】液体ポンプの拡大概略断面図である。 3 is an enlarged schematic sectional view of a liquid pump.

【図4】超音波発信器と超音波受信器を一体化した超音波発受信器による気泡検出の説明図である。 4 is an explanatory diagram of a bubble detection by an ultrasonic transmitter and the ultrasonic onset receivers with integrated ultrasonic receiver.

【図5】気泡がある場合と無い場合の受信強度の比較図である。 5 is a comparison diagram of the reception intensity with and without air bubbles.

【図6】反射超音波を利用した気泡検出の説明図である。 6 is an explanatory view of a bubble detection using reflected ultrasonic wave.

【図7】気泡がある場合と無い場合の反射超音波による受信強度の比較図である。 7 is a comparison diagram of the reception intensity by the reflected ultrasonic wave with and without air bubbles.

【図8】気泡がある場合と気泡が無い場合の差信号の検出波形図である。 8 is a detection waveform of the difference signal when the bubble is not the case there is a bubble.

【図9】超音波の受信強度に与える機械振動の影響を調べる装置図である。 9 is a system diagram to examine the effect of mechanical vibration applied to the reception intensity of the ultrasonic wave.

【図10】振動板の振動数が数十kHz以下のときの検出波形図である。 10 is a detection waveform diagram when the frequency is less than several tens kHz of the diaphragm.

【図11】振動板の振動数が800kHzのときの検出波形図である。 [11] frequency of the diaphragm is detected waveform diagram when the 800 kHz.

【図12】検出制御回路のフローチャートの一例である。 12 is an example of a flowchart of a detection control circuit.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2は液体ポンプ、4は吸込管、4aは吸込管フランジ、 2 liquid pump, the suction pipe, 4a Suction tube flange 4,
6は吐出管、6aは吐出管フランジ、8は異常検出装置、10はアダプター、12は超音波発信器、13は超音波発受信器、14は超音波受信器、16は容器、18 6 the discharge pipe, 6a is a discharge pipe flange, 8 the abnormality detection apparatus, 10 adapter, 12 ultrasonic transmitter, 13 ultrasonic onset receiver, 14 ultrasonic receiver, 16 container, 18
は発泡板、20は超音波、22は散乱超音波、24は反射超音波、26は透過超音波、30はフロントケーシング、32は吸込受フランジ、34は吸込口、36は吐出受フランジ、38は吐出口、40は支持板、42はフロントブラケット、44は閉鎖板、46はリアーケーシング、48はリアーブラケット、50は主軸、50aは主軸本体、50bは主軸中間部、50cは主軸頭部、52 The foam plate 20 is ultrasound, the scattered ultrasound 22, the reflected ultrasound 24, the transmitting ultrasonic 26, 30 denotes a front casing, 32 is a suction receiving flange, 34 inlet, 36 discharge receiving flange, 38 discharge port, 40 is a support plate, 42 is a front bracket, 44 closing plate, the rear casing 46, 48 is rear bracket, 50 spindle, 50a main shaft body, 50b are the main shaft intermediate portion, 50c main shaft head, 52
はインペラ、54はマグネットライニング、56はインナーマグネット、58はアウターマグネット、60は回転駆動機構、62は内周部、63は微小間隙部、64はフロントベアリング、66はリアベアリング、68はリアスラスト、70は振動板、Bは気泡、Dは距離、Lは液体。 Magnet lining impeller, 54, 56 inner magnet, 58 is the outer magnet 60 rotates the drive mechanism, 62 the inner periphery 63 is minute gap portion, 64 denotes a front bearing 66 is a rear bearing, 68 rear thrust , 70 diaphragm, B is the bubble, D is the distance, L is the liquid.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G047 AA03 AC08 BA01 BA02 BC03 EA08 EA21 GG28 GH05 3H020 AA01 BA22 CA00 DA02 EA01 3H022 AA01 BA06 BA07 CA16 CA46 CA50 DA09 DA18 3H045 AA06 AA08 AA12 AA22 BA43 CA23 EA12 EA26 3H071 AA01 BB03 CC44 DD31 DD84 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of continued F-term (reference) 2G047 AA03 AC08 BA01 BA02 BC03 EA08 EA21 GG28 GH05 3H020 AA01 BA22 CA00 DA02 EA01 3H022 AA01 BA06 BA07 CA16 CA46 CA50 DA09 DA18 3H045 AA06 AA08 AA12 AA22 BA43 CA23 EA12 EA26 3H071 AA01 BB03 CC44 DD31 DD84

Claims (6)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 吸込管から吸込んだ液体を吐出管に送出し、しかもこの液体を使用して回転体と主軸の間を液体潤滑する液体ポンプにおいて、吐出管に吐出された液体中に超音波を発信し、この液体を通過してきた超音波を受信し、超音波の受信強度の減衰により液体中の気泡発生を検出することを特徴とする液体ポンプの気泡検出方法。 1. A sends the liquid sucked from the suction pipe to the discharge pipe, yet in the liquid pump for liquid lubrication between the rotor and the main shaft with this liquid, ultrasound in discharged to the discharge pipe the liquid originated the receive ultrasound that has passed through this liquid, the bubble detection method of a liquid pump, characterized in that for detecting the generation of bubbles in the liquid by the attenuation of the reception intensity of the ultrasonic wave.
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の気泡検出方法により液体中に気泡が発生したことを検出し、この気泡検出により液体ポンプに異常が発生したことを報知する液体ポンプの異常検出方法。 2. A detect that bubbles occur in the liquid by the bubble detecting method according to claim 1, the abnormality detecting method of a liquid pump for notifying that an abnormality in the liquid pump is generated by the bubble detection.
  3. 【請求項3】 吸込管から吸込んだ液体を吐出管に送出し、しかもこの液体を使用して回転体と主軸の間を液体潤滑する液体ポンプにおいて、液体ポンプの吐出口近傍又は吐出管に配設される超音波発信器及び超音波受信器と、超音波発信器から発射されて液体中を通過してきた超音波を超音波受信器で受信して受信強度を検出する検出制御回路から構成され、受信強度が減衰したときに液体中の気泡発生を検出することを特徴とする液体ポンプの気泡検出装置。 3. A sends a liquid sucked from the suction pipe to the discharge pipe, moreover arrangement between the rotor and the main shaft using the liquid in the liquid pump of liquid lubricant, the discharge opening neighborhood or the discharge pipe of the liquid pump ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver being set is constructed from the detection control circuit for detecting a reception strength by receiving ultrasonic waves having passed through the are fired in a liquid from the ultrasonic transmitter an ultrasonic receiver , bubble detection system for a liquid pump, characterized by detecting the generation of bubbles in the liquid when the receiving intensity is attenuated.
  4. 【請求項4】 前記超音波発信器と超音波受信器を流動する液体を挟んで対向配置する請求項3に記載の液体ポンプの気泡検出装置。 Wherein said ultrasonic transmitter and the bubble detection system for a liquid pump according to claim 3, face each other across the liquid flowing through the ultrasonic receiver.
  5. 【請求項5】 前記超音波発信器と超音波受信器を流動する液体に対し同じ側に配置する請求項3に記載の液体ポンプの気泡検出装置。 Wherein said bubble detection system for a liquid pump according to claim 3 to the liquid flowing in the ultrasonic transmitter and ultrasonic receiver are arranged on the same side.
  6. 【請求項6】 請求項3、4又は5に記載の気泡検出装置において、気泡検出を通して液体ポンプの異常発生を報知するアラーム回路を前記検出制御回路に組み込んだことを特徴とする液体ポンプの異常検出装置。 6. The bubble detecting device according to claim 3, 4 or 5, the liquid pump, characterized in that incorporating the alarm circuit to the detection control circuit for notifying the abnormality of the liquid pumped through the bubble detection abnormality detection device.
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