JP2002228843A - Optical device and optical module - Google Patents

Optical device and optical module

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JP2002228843A
JP2002228843A JP2001024803A JP2001024803A JP2002228843A JP 2002228843 A JP2002228843 A JP 2002228843A JP 2001024803 A JP2001024803 A JP 2001024803A JP 2001024803 A JP2001024803 A JP 2001024803A JP 2002228843 A JP2002228843 A JP 2002228843A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small and integrated optical device which facilitates an alignment with a light receiving and transmitting element, and can easily be made into an airtight structure, and to provide an optical module equipped with the same. SOLUTION: In the optical device, a first multimode optical fiber 2A, a coreless optical fiber 5, a second multimode optical fiber 2B, and a second single mode optical fiber 1B are connected in a line successively to one end of a first single mode optical fiber 1A equipped with a lens part 9 for optically connecting an optical semiconductor device to the other end, and are fixed on a base body. An optical element 4 is arranged in a groove 7 for loading the element formed in the coreless optical fiber 5, and a belt-like body 11 for cementation made of a metal is provided on the outer periphery of the base body 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信機器、セン
サー等に好適に使用される発光素子や受光素子等の光半
導体素子を備えた光モジュールに関する。また、この光
モジュールに搭載され、その光モジュール外部からの反
射戻り光を遮断する光アイソレータや光センシング、測
定のための波長板等を備えた光デバイスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module having an optical semiconductor element such as a light emitting element or a light receiving element which is suitably used for an optical communication device, a sensor or the like. Further, the present invention relates to an optical device mounted on the optical module and provided with an optical isolator for blocking reflected return light from the outside of the optical module, a wavelength plate for optical sensing and measurement, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信の光源に用いられるレーザーダイ
オード(以下、LDともいう)は、その出射光がある箇
所で反射して再びLDの活性層に戻ると発振状態が乱
れ、出射パワーの変動や波長ずれ等が生じ、これにより
信号が劣化する。特に、アナログ信号は上記の反射戻り
光によって劣化し易く、また、高密度な信号ほど反射戻
り光の影響を受け易いため、CATV等のアナログ伝送
データの増加、大容量化、高速化に伴い、光アイソレー
タは不可欠な構成要素となってきている。
2. Description of the Related Art A laser diode (hereinafter, also referred to as an LD) used as a light source for optical communication reflects an emitted light at a certain place and returns to an active layer of the LD again, so that the oscillation state is disturbed and the output power varies. And a wavelength shift, etc., which deteriorates the signal. In particular, analog signals are easily degraded by the above-mentioned reflected return light, and the higher the density of the signal, the more easily the reflected return light is affected. Therefore, with the increase in analog transmission data such as CATV, large capacity, and high speed, Optical isolators have become an essential component.

【0003】このような反射戻り光の問題を防止するた
めに、通常、LDは光を一方向のみに透過させる光アイ
ソレータと同じパッケージ内に搭載され、光モジュール
の一種であるLDモジュールを構成している。
In order to prevent such a problem of reflected return light, the LD is usually mounted in the same package as an optical isolator that transmits light only in one direction, and constitutes an LD module which is a kind of optical module. ing.

【0004】以下に、光アイソレータの一般的な動作に
ついて簡単に説明する。図8に示すように、光アイソレ
ータ4は二つの偏光子19A、19Bでファラデー回転
子20を挟むようにして構成されている。このような構
成において、順方向光22はそのまま透過し、逆方向光
23は遮断される。なお、ファラデー回転子20は外部
から磁界を印加することでファラデー効果を得るもの
と、自発磁化により外部磁界なしでファラデー効果を持
つものがあるが、以下、簡単のため磁界を印加するため
の磁石は図示しない場合があるものとする。
[0004] The general operation of an optical isolator will be briefly described below. As shown in FIG. 8, the optical isolator 4 is configured so that the Faraday rotator 20 is sandwiched between two polarizers 19A and 19B. In such a configuration, the forward light 22 is transmitted as it is, and the backward light 23 is blocked. The Faraday rotator 20 has a Faraday effect by applying a magnetic field from outside, and a Faraday rotator 20 having a Faraday effect without an external magnetic field due to spontaneous magnetization. Is not shown in some cases.

【0005】次に、従来のLDモジュールの一例につい
て説明する。図11に示すように、LDモジュールJ1
は、パッケージ18内に少なくともLD15、レンズ6
A、6B、光アイソレータ4、シングルモード光ファイ
バ1の一端部等が収納されている。なお、図中16は受
光素子(以下、PDともいう)、17はペルティエクー
ラー、32は光ファイバ余長部を保護するためのラバー
ブーツである。
Next, an example of a conventional LD module will be described. As shown in FIG. 11, the LD module J1
Is at least the LD 15 and the lens 6 in the package 18.
A, 6B, the optical isolator 4, one end of the single mode optical fiber 1, and the like are housed. In the figure, reference numeral 16 denotes a light receiving element (hereinafter, also referred to as PD), reference numeral 17 denotes a peltier cooler, and reference numeral 32 denotes a rubber boot for protecting the extra length of the optical fiber.

【0006】LD15から出射された光は、レンズ6A
でコリメートされ光アイソレータ4を通過し、レンズ6
Bで集光されシングルモード光ファイバ1に入射され
る。なお、各光部品は外部の環境から遮断するためパッ
ケージ18及びラバーブーツ32内に内蔵される。ま
た、レンズ6A、6Bには、ボールレンズ、両凸レン
ズ、非球面レンズ、またはグレイデッドインデックスレ
ンズ(以下、GRINレンズという)等が用いられる。
The light emitted from the LD 15 is transmitted to the lens 6A.
And passes through the optical isolator 4 and the lens 6
The light is condensed by B and is incident on the single mode optical fiber 1. Each optical component is built in the package 18 and the rubber boot 32 in order to shield it from the external environment. In addition, a ball lens, a biconvex lens, an aspheric lens, a graded index lens (hereinafter, referred to as a GRIN lens), or the like is used as the lenses 6A and 6B.

【0007】このような光モジュールJ1では、光アイ
ソレータ4、レンズ6A、6B等は独立した部品とし
て、それぞれが別々にホルダーに固定された後にアライ
メントされるので、部品点数が多く調整も煩雑で、大型
化するといった問題があった。
In such an optical module J1, the optical isolator 4, the lenses 6A and 6B, etc. are aligned as independent components after being individually fixed to the holder, so that the number of components is large and adjustment is complicated. There was a problem such as an increase in size.

【0008】また、光モジュール全体を小型化しアライ
メントを容易にするために、図12に示すように、先球
9を備えたコア拡大光ファイバ10を用いたファイバス
タブに光アイソレータ4を実装した光デバイスJ2も提
案されている(特開平10−68909号公報等を参
照)。
Further, as shown in FIG. 12, an optical isolator 4 is mounted on a fiber stub using a core-enlarged optical fiber 10 provided with a tip ball 9 in order to reduce the size of the entire optical module and facilitate alignment. A device J2 has also been proposed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-68909).

【0009】この光デバイスJ2は、先球9を先端に形
成したコア拡大光ファイバ10を中心に保持したフェル
ール3に光アイソレータ4が配設され、全体がスリーブ
13内に固定されたファイバスタブ型光デバイスを構成
している。光デバイスJ2では、光アイソレータ付きの
モジュールが光アイソレータの無いモジュールと同等の
工数で組み立てが可能になり非常に簡便に作製できる。
This optical device J2 is a fiber stub type in which an optical isolator 4 is disposed on a ferrule 3 holding a core-enlarged optical fiber 10 formed at the tip of a tip sphere 9 at the center, and is entirely fixed in a sleeve 13. It constitutes an optical device. In the optical device J2, the module with the optical isolator can be assembled with the same man-hour as the module without the optical isolator, and can be manufactured very easily.

【0010】また、コア拡大光ファイバを用いているの
で、焦点ずれ(光軸と平行方向でコア拡大光ファイバど
うしの距離に相当)のトレランスが大きいため、光ファ
イバどうしを離して、その間に光アイソレータ等の光学
素子を設置しても結合損失が少ないという利点がある。
Further, since the core-expanded optical fiber is used, the tolerance of defocus (corresponding to the distance between the core-expanded optical fibers in the direction parallel to the optical axis) is large, so that the optical fibers are separated from each other and the Even if an optical element such as an isolator is provided, there is an advantage that coupling loss is small.

【0011】また、このようなコア拡大光ファイバは、
一般的なシングルモード光ファイバを局所的に加熱して
作られる。シングルモード光ファイバを加熱し、コアに
ドープされているGe等のドーパントを拡散させ、ドー
パントの拡散領域を広くするとともに比屈折率差を小さ
くしている。
Further, such a core-expanded optical fiber is
It is made by locally heating a general single mode optical fiber. The single-mode optical fiber is heated to diffuse the dopant such as Ge doped in the core, thereby widening the diffusion region of the dopant and reducing the relative refractive index difference.

【0012】光ファイバのコアとクラッドの比屈折率差
が変らないままコア径が大きくなると、シングルモード
条件が崩れマルチモードが励振されてしまう。コア拡大
光ファイバの場合は、熱によるドーパントの拡散のた
め、コアの拡大と比屈折率差の低下が同時に起こり、自
動的にr×(D)1/2が一定に保たれる。ここで、rは
光ファイバのコアの半径、Dはコアとクラッドの比屈折
率差、r×(D)1/2は規格化周波数に比例する量であ
り、これが一定ならばシングルモード条件は保たれる。
If the core diameter is increased without changing the relative refractive index difference between the core and the clad of the optical fiber, the single mode condition is broken and a multimode is excited. In the case of the core-expanded optical fiber, the expansion of the core and the decrease in the relative refractive index difference occur at the same time due to the diffusion of the dopant due to heat, and r × (D) 1/2 is automatically kept constant. Here, r is the radius of the core of the optical fiber, D is the relative refractive index difference between the core and the cladding, r × (D) 1/2 is an amount proportional to the normalized frequency, and if this is constant, the single mode condition is Will be kept.

【0013】図9にコア拡大光ファイバを用いた光結合
の特性を示す。横軸に光ファイバ間の距離(対向間隔:
または後述するコア拡大部に形成する素子搭載用溝の
幅)、縦軸に光の結合損失を示す。wはそれぞれのモー
ドフィールド径(以下、MFDと略記する)を示し、各
曲線に対応する。なお、光の波長は光通信で一般に使わ
れる1.31μmとし、素子搭載用溝(光ファイバ間)
は空気(屈折率n=1)で満たされていることとした。
FIG. 9 shows the characteristics of optical coupling using the core-expanded optical fiber. On the horizontal axis, the distance between optical fibers (interval:
Or, the width of the element mounting groove formed in the core enlarged portion described later), and the vertical axis indicates the light coupling loss. w indicates each mode field diameter (hereinafter abbreviated as MFD), and corresponds to each curve. The wavelength of light is 1.31 μm, which is generally used in optical communication, and the groove for mounting the element (between optical fibers)
Is filled with air (refractive index n = 1).

【0014】MFDが10μmの場合は、光ファイバ間
が70μmで1dB以上の損失があるのに対し、MFD
が40μmの場合は、光ファイバ間が800μmでも損
失が1dB以下であるので、MFDが大きくなると明ら
かに結合特性が改善されることがわかる。
When the MFD is 10 μm, the loss between the optical fibers is 70 μm and the loss is 1 dB or more.
Is 40 μm, the loss is 1 dB or less even when the distance between the optical fibers is 800 μm. Therefore, it can be seen that the coupling characteristics are clearly improved as the MFD increases.

【0015】また、マルチモード光ファイバであるGI
(グレイデッドインデックス)ファイバをレンズのよう
に用い、円筒部材の中に光アイソレータを設置した例が
知られている(米国特許5,325,456号を参
照)。この場合、光アイソレータの両端を挟むようにG
Iファイバを設置し、光学的な結合をとっている。
Further, a multimode optical fiber GI
An example in which a (graded index) fiber is used like a lens and an optical isolator is installed in a cylindrical member is known (see US Pat. No. 5,325,456). In this case, G is sandwiched between both ends of the optical isolator.
An I-fiber is installed to achieve optical coupling.

【0016】ここで、GIファイバとは、光ファイバの
中心軸から徐々に屈折率が下がるような軸対称の屈折率
分布を持つ光ファイバであり、一般にはマルチモード伝
送用に用いられている。ほとんどのGIファイバはほぼ
2乗の屈折率分布を持つ。この屈折率分布はGRINレ
ンズと同様にレンズ効果をもつため、適当な屈折率分布
のGIファイバを適切な長さで用いれば結合光学系を構
成することができる。また、GIファイバの特性を示す
パラメータとしては、クラッドとコア中心の屈折率差
△、コア径D、収束パラメータAがある。
Here, the GI fiber is an optical fiber having an axially symmetric refractive index distribution such that the refractive index gradually decreases from the central axis of the optical fiber, and is generally used for multi-mode transmission. Most GI fibers have an approximately squared index profile. Since this refractive index distribution has a lens effect similarly to the GRIN lens, a coupling optical system can be configured by using a GI fiber having an appropriate refractive index distribution and an appropriate length. Further, parameters indicating the characteristics of the GI fiber include a refractive index difference の between the cladding and the center of the core, a core diameter D, and a convergence parameter A.

【0017】さらに、GIファイバ中の光線は図10に
示すようなサインカーブの挙動を示すため、その長さを
その光線挙動の周期に対応させてピッチ(P)で表す。
図10は横軸にピッチを表し、縦軸はGIファイバ内で
の光線の位置を示し、光が最も広がった個所を1として
相対的に図示したものである。なおP=1はサインカー
ブの1周期(2π)に相当する。点光源から入射した光
が平行光になるのは最短のピッチでP=0.25であ
り、再度、点に収束するのは最短のピッチでP=0.5
である。
Further, since the light beam in the GI fiber exhibits a sine curve behavior as shown in FIG. 10, its length is represented by a pitch (P) corresponding to the period of the light beam behavior.
FIG. 10 shows the pitch on the horizontal axis and the position of the light ray in the GI fiber on the vertical axis. Note that P = 1 corresponds to one cycle (2π) of the sine curve. It is P = 0.25 at the shortest pitch that the light incident from the point light source becomes parallel light, and again, P = 0.5 at the shortest pitch.
It is.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかし、コア拡大光フ
ァイバを使う場合は以下のような問題がある。
However, there are the following problems when using a core-expanded optical fiber.

【0019】コア拡大光ファイバは前述のように光ファ
イバを加熱して作製している。コアを40μm以上に拡
大するためには、1000℃以上の温度で数時間から数
十時間の加熱が必要であり、非常に手間を要する。ま
た、コア径が10μmから40μmになる部分は、コア
径を徐々に拡大していくテーパ部が必要となる。このテ
ーパ部を作製するためには光ファイバに大きな温度差を
与えて局所加熱しなければならない。単にテーパ状のコ
アを形成するだけでなく、テーパ部の長さ,角度はで光
学特性が大きく変化するため、急激な温度勾配と微妙な
制御が必要となる。
The core-expanded optical fiber is manufactured by heating the optical fiber as described above. In order to enlarge the core to 40 μm or more, heating at a temperature of 1000 ° C. or more for several hours to several tens of hours is required, which is extremely troublesome. In addition, a portion where the core diameter is changed from 10 μm to 40 μm requires a tapered portion in which the core diameter is gradually increased. In order to produce this tapered portion, a large temperature difference must be applied to the optical fiber to locally heat it. In addition to simply forming a tapered core, the length and angle of the tapered portion greatly change optical characteristics, so that a sharp temperature gradient and delicate control are required.

【0020】またコア拡大部は数mmであるにもかかわ
らずデバイス1個につき必ず1回はこの熱加工が必要に
なり効率が悪い。
Although the core enlargement is several millimeters, this thermal processing is required once for each device, which is inefficient.

【0021】また、GIファイバをレンズとして用いた
光学系では、以下のような問題点がある。
The optical system using a GI fiber as a lens has the following problems.

【0022】シングルモード光ファイバの先端に、マル
チモード光ファイバであるGIファイバを接続し、細孔
の両端から挿入するが、細孔にはクリアランスが必要で
あり、光ファイバは細孔内でμm単位の位置ずれが必ず
生じる。即ち両端から光ファイバを挿入してつき当てる
が場合は必ず軸ずれが生じてしまう。しかも、細孔の中
なのでずれを修正することが不可能である。
A GI fiber, which is a multi-mode optical fiber, is connected to the tip of the single-mode optical fiber and inserted from both ends of the pore. The pore requires a clearance, and the optical fiber has a μm inside the pore. A unit displacement always occurs. That is, when the optical fibers are inserted from both ends and are brought into contact with each other, an axial deviation always occurs. In addition, it is impossible to correct the displacement because it is inside the pore.

【0023】さらに、GIファイバはレンズと同じ機能
を有するため、焦点距離の調節が不可欠である。適当な
幅を保持したまま固定しなければならず、固定作業中に
光ファイバが動くと損失が増大するといった問題が発生
する。また、両端から細孔に挿入した光ファイバを光学
素子に押し当てて位置決めする場合、光学素子の厚さが
GIファイバの結合長に合わせてあることが前提にな
る。さらに、光学素子の厚み交差で損失が生じる。ま
た、素子と光ファイバ端面間が接触してしまうので屈折
率整合材等を充填するのが困難であるといった問題があ
った。
Further, since the GI fiber has the same function as the lens, it is essential to adjust the focal length. The optical fiber must be fixed while maintaining an appropriate width, and there is a problem that the loss increases if the optical fiber moves during the fixing operation. When positioning the optical fiber inserted into the pore from both ends by pressing the optical fiber against the optical element, it is assumed that the thickness of the optical element is adjusted to the coupling length of the GI fiber. Further, a loss occurs at the intersection of the thickness of the optical element. Also, there is a problem that it is difficult to fill the refractive index matching material or the like because the element and the end face of the optical fiber come into contact with each other.

【0024】さらに光モジュールを構成する場合はパッ
ケージ内に外部から湿気等が進入しないために気密性が
重視されるが光デバイスJ2では気密や封止に関し、何
ら言及されておらず、また、米国特許5,325,45
6では気密性を保つために、複雑で作製が困難な形状の
金属チューブのフィードスルーを必要とするばかりでな
く、部品点数も多く複雑化する。
Further, when an optical module is constructed, airtightness is emphasized in order to prevent moisture or the like from entering the package from the outside. However, in the optical device J2, no mention is made of airtightness or sealing. Patent 5,325,45
In the case of No. 6, not only is it necessary to feed through a metal tube having a complicated and difficult-to-manufacture shape in order to maintain the airtightness, but also the number of parts is complicated.

【0025】そこで本発明は、上述の諸問題を解消し、
小型で集約され、受発光素子とのアライメントが容易
で、かつ、簡便に気密構造の可能な光デバイス及びそれ
を備えた光モジュールを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems,
It is an object of the present invention to provide an optical device that is compact, integrated, easily aligned with a light receiving and emitting element, and can easily have an airtight structure, and an optical module including the same.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光デバイスは、一端に光半導体素子を光接
続させるためのレンズ部を備えた第1シングルモード光
ファイバの他端に、第1マルチモード光ファイバ、コア
レス光ファイバ、第2マルチモード光ファイバ、及び第
2シングルモード光ファイバを順次一列に接続して基体
に固定して成るとともに、前記コアレス光ファイバに形
成した素子搭載用溝に光学素子を配設し、且つ前記基体
の外周に金属から成る接合用帯状体を設けたことを特徴
とする。
To achieve the above object, an optical device according to the present invention comprises a first single mode optical fiber having a lens portion for optically connecting an optical semiconductor element to one end of the first single mode optical fiber. A first multi-mode optical fiber, a coreless optical fiber, a second multi-mode optical fiber, and a second single-mode optical fiber are sequentially connected in a line and fixed to a base, and mounted on the coreless optical fiber. An optical element is provided in the groove, and a bonding strip made of metal is provided on the outer periphery of the base.

【0027】例えば具体的には、光デバイス一端部に光
半導体素子を光接続させるためのレンズ部を有する第1
シングルモード光ファイバの他端部に、第1マルチモー
ド光ファイバ及びコアレス光ファイバ第2マルチモード
光ファイバ、及び第2シングルモード光ファイバを順次
一列に接続して基体に固定してなるとともに、前記コア
レス光ファイバの中途に素子搭載用溝を形成し、該素子
搭載用溝に光学素子を配設した光デバイスにおいて、前
記基体の外周にメタライズを施したことを特徴とする。
For example, specifically, a first device having a lens portion for optically connecting an optical semiconductor element to one end of an optical device is provided.
At the other end of the single-mode optical fiber, the first multi-mode optical fiber and the coreless optical fiber, the second multi-mode optical fiber, and the second single-mode optical fiber are sequentially connected in a line and fixed to the base, In an optical device in which an element mounting groove is formed in the middle of a coreless optical fiber, and an optical element is disposed in the element mounting groove, metallization is applied to an outer periphery of the base.

【0028】また、本発明の光デバイスは、一端部に光
半導体素子を光接続させるためのレンズ部を有する第1
シングルモード光ファイバの他端部に、第1マルチモー
ド光ファイバ及びコアレス光ファイバ第2マルチモード
光ファイバ、及び第2シングルモード光ファイバを順次
一列に接続して基体に固定してなるとともに、前記コア
レス光ファイバの中途に素子搭載用溝を形成し、該素子
搭載用溝に光学素子を配設した光デバイスにおいて、前
記基体の外周を半田付けまたは溶接が可能な材質で帯状
に覆う外周帯を形成し、かつ、前記基体と前記外周帯の
境界において気密接合されていることを特徴とする。
Further, the optical device of the present invention has a first portion having a lens portion for optically connecting an optical semiconductor element to one end.
At the other end of the single-mode optical fiber, the first multi-mode optical fiber and the coreless optical fiber, the second multi-mode optical fiber, and the second single-mode optical fiber are sequentially connected in a line and fixed to the base, An element mounting groove is formed in the middle of the coreless optical fiber, and in an optical device in which an optical element is disposed in the element mounting groove, an outer peripheral band that covers the outer periphery of the base in a band shape with a material that can be soldered or welded. And is hermetically bonded at a boundary between the base and the outer peripheral band.

【0029】さらに、本発明の光デバイスは、一端部に
光半導体素子を光接続させるためのレンズ部を有する第
1シングルモード光ファイバの他端部に、第1マルチモ
ード光ファイバ、コアレス光ファイバ、第2マルチモー
ド光ファイバ、及び第2シングルモード光ファイバを順
次一列に接続して基体に固定してなるとともに、前記コ
アレス光ファイバの中途に素子搭載用溝を形成し、該素
子搭載用溝に光学素子を配設した光デバイスにおいて、
前記基体および第2シングルモード光ファイバの基体か
ら突出した部分の一部の外周を半田付けまたは溶接が可
能な材質の被覆部材で覆い、かつ、前記基体と前記被覆
部材の境界または、第2シングルモード光ファイバと被
覆部材の境界において気密接合されていることを特徴と
する。
Further, the optical device according to the present invention is characterized in that a first multimode optical fiber, a coreless optical fiber, and a first single mode optical fiber having a lens portion for optically connecting an optical semiconductor element at one end. A second multi-mode optical fiber and a second single-mode optical fiber are sequentially connected in a row to be fixed to a base, and a device mounting groove is formed in the middle of the coreless optical fiber, and the device mounting groove is formed. In an optical device in which an optical element is disposed,
An outer periphery of a part of the base and the portion of the second single mode optical fiber protruding from the base is covered with a covering member made of a material that can be soldered or welded, and a boundary between the base and the covering member or the second single mode optical fiber. It is characterized by being hermetically bonded at the boundary between the mode optical fiber and the covering member.

【0030】また、本発明の光デバイスは、前記の光デ
バイスにおいて基体がフェルールであることを特徴とす
る。
Further, an optical device according to the present invention is characterized in that the base is a ferrule in the above-mentioned optical device.

【0031】また、本発明の光モジュールは、前記光デ
バイスと、該光デバイスの第1シングルモード光ファイ
バのレンズ部に光接続する光半導体素子とをそれぞれ配
設し、前記光デバイスとパッケージとを気密接合するこ
とを特徴とする。
In the optical module of the present invention, the optical device and an optical semiconductor element optically connected to a lens portion of a first single mode optical fiber of the optical device are provided, respectively, and the optical device and a package are provided. Are hermetically bonded.

【0032】また、前記光デバイスの第1のシングルモ
ード光ファイバの受発光素子側に位置する端面は該受発
光素子と光結合を得るために先球加工されていることを
特徴とする。
Further, the end face of the first single mode optical fiber of the optical device, which is located on the light receiving / emitting element side, is processed to be spherical in order to obtain optical coupling with the light receiving / emitting element.

【0033】さらに、前記光デバイスにおいて、コアレ
ス光ファイバの途中に設けられた素子搭載用溝に設置す
る光学素子が光アイソレータであることを特徴とする。
光アイソレータは、偏光面が互いに45度傾いた一対の
偏光子の間に偏光面を45度回転させるファラデー回転
子を配し一体化して構成されるが、ファラデー回転子が
自発磁化を有するものであれば、ファラデー回転子に磁
界を印加する磁石を省くことができる。
Further, in the above-mentioned optical device, the optical element installed in the element mounting groove provided in the middle of the coreless optical fiber is an optical isolator.
The optical isolator is configured by disposing a Faraday rotator that rotates the polarization plane by 45 degrees between a pair of polarizers whose polarization planes are inclined by 45 degrees with each other, and the Faraday rotator has spontaneous magnetization. If so, the magnet for applying a magnetic field to the Faraday rotator can be omitted.

【0034】また、前記光デバイスと受光または発光す
る光素子を、それぞれパッケージ内配設し、前記光デバ
イスとパッケージの境界部において気密接合されて成る
光モジュールを構成するものとする。
Further, the optical device and the optical element which receives or emits light are disposed in a package, respectively, and an optical module is formed by hermetically joining at a boundary between the optical device and the package.

【0035】マルチモード光ファイバとして用いられる
GIファイバとこのGIファイバに挟まれるコアレス光
ファイバは、焦点距離調節と軸ずれ防止、組み立ての簡
易化のために極めて重要な役割をもつ。もともと一本の
光ファイバなので、これを分断したものは軸ずれが原理
的に発生しない。
The GI fiber used as a multi-mode optical fiber and the coreless optical fiber sandwiched between the GI fibers play a very important role in adjusting the focal length, preventing axial deviation, and simplifying assembly. Since the optical fiber is originally a single optical fiber, no axial deviation occurs in principle when the optical fiber is divided.

【0036】コアレス光ファイバの長さによって予め焦
点位置が精密に決定されており、保証されている。細孔
内で調整するというような煩雑な作業が不要である。前
述のような利点はコアレス光ファイバを分断する構造で
あるからこそ可能になっている。
The focal position is precisely determined in advance by the length of the coreless optical fiber, and is guaranteed. There is no need for complicated work such as adjustment within the pores. The above-mentioned advantage is made possible only by the structure for dividing the coreless optical fiber.

【0037】これにより、ファイバスタブ内に光アイソ
レータ等の光素子をほぼアライメントフリーで実装した
コンパクトな光デバイスを構成することができる。ま
た、この光デバイスの外周部はメタライズされたり、半
田付けや溶接の可能な金属が気密接合されているため簡
便な構造でパッケージ全体を気密封止した信頼性の高い
光モジュールを容易に構成できる。
As a result, a compact optical device in which an optical element such as an optical isolator is mounted in a fiber stub almost free of alignment can be constructed. Further, since the outer peripheral portion of the optical device is metallized or a metal that can be soldered or welded is hermetically bonded, a highly reliable optical module in which the entire package is hermetically sealed with a simple structure can be easily formed. .

【0038】[0038]

【発明の実施の形態】以下に本発明に係る実施形態につ
いて模式的に示した図面に基づき詳細に説明する。な
お、各図において同一部材については、同一符号を付し
説明を省略するものとする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same members are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0039】図1に示すように、本発明の光デバイスS
1は、予めその外周部に金属から成る接合用帯状体であ
るメタライズ層11が環状に施された基体であるフェル
ール3内に、第1シングルモード光ファイバ1A、第1
マルチモード光ファイバであるGIファイバ2A、コア
を持たないコアレス光ファイバ5、第2マルチモード光
ファイバであるGIファイバ2B、第2シングルモード
光ファイバ1Bを順次一列に接続した光ファイバ体Fを
収納してなる。
As shown in FIG. 1, the optical device S of the present invention
Reference numeral 1 denotes a first single mode optical fiber 1A, a first single mode optical fiber 1A, and a ferrule 3 which is a base on which a metallized layer 11 as a bonding strip made of metal is formed in an annular shape on the outer periphery thereof.
An optical fiber body F in which a GI fiber 2A as a multimode optical fiber, a coreless optical fiber 5 having no core, a GI fiber 2B as a second multimode optical fiber, and a second single mode optical fiber 1B are sequentially connected in a line is housed. Do it.

【0040】フェルール3から突出したシングルモード
光ファイバの一端は、光半導体素子(発光素子または受
光素子)と結合するために先球9が加工されており、他
端はフェルール3の端面にて研摩加工もしくはシングル
モード光ファイバを一定長備えた形の所謂ピグテイル形
状としている。フェルール3内で分断されたコアレス光
ファイバ5は素子搭載用溝7内に配設した光学素子(例
えば光イソレータ4)介して光接続させるようにしてい
る。
One end of the single mode optical fiber protruding from the ferrule 3 is formed with a spherical tip 9 for coupling to an optical semiconductor element (light emitting element or light receiving element), and the other end is polished at the end face of the ferrule 3. It has a so-called pigtail shape in which a processed or single mode optical fiber is provided with a fixed length. The coreless optical fiber 5 split in the ferrule 3 is optically connected via an optical element (for example, the optical isolator 4) provided in the element mounting groove 7.

【0041】上記コアレス光ファイバ5の長さは、2つ
のGIファイバ2A、2Bによるビームスポットが中央
で一致するように調整されている。シングルモード光フ
ァイバを伝播する光は単一のモードのみが可能で一定の
MFDを保っている。また、第1シングルモード光ファ
イバ1Aの一端に光半導体素子を光接続させるためのレ
ンズ部である先球9を備えることにより、光半導体素子
と第1シングルモード光ファイバ1Aは高効率に光結合
が可能になるが、この先球9と光半導体素子の相対位置
関係、即ち光入射条件が変化してもシングルモード光フ
ァイバを伝播し、出射される光はパワー以外は常に同一
の条件で、レンズ効果を持つGIファイバ2Aに入射す
るので光結合特性が安定する。なお、この先球9はレン
ズ効果を有し光半導体素子に光接続できるものであれば
その形状は問わない。
The length of the coreless optical fiber 5 is adjusted so that the beam spots of the two GI fibers 2A and 2B coincide at the center. The light propagating through the single mode optical fiber is capable of only a single mode and maintains a constant MFD. Further, by providing the one-end of the first single-mode optical fiber 1A with the front sphere 9, which is a lens portion for optically connecting the optical semiconductor element, the optical semiconductor element and the first single-mode optical fiber 1A are optically coupled with high efficiency. However, even if the relative positional relationship between the forward sphere 9 and the optical semiconductor element, that is, the light incident condition changes, the light propagates through the single mode optical fiber, and the emitted light always has the same conditions except for the power, Since the light enters the GI fiber 2A having an effect, the optical coupling characteristics are stabilized. The shape of the front sphere 9 is not limited as long as it has a lens effect and can be optically connected to an optical semiconductor element.

【0042】また、GIファイバ2Bはマルチモードフ
ァイバであるため、光入射条件により出射条件が大きく
変化する。このため、光学素子挿入部での結合特性を保
証することができない。そこで、コアレス光ファイバを
接続することにより、予め焦点距離を厳密に調整すると
同時に、光ファイバ間の軸ズレを防止することができ
る。
Further, since the GI fiber 2B is a multi-mode fiber, the emission condition greatly changes depending on the light incidence condition. For this reason, the coupling characteristics at the optical element insertion portion cannot be guaranteed. Therefore, by connecting the coreless optical fiber, the focal length can be strictly adjusted in advance, and the axial displacement between the optical fibers can be prevented.

【0043】具体的には、光デバイスS1は例えば直径
1.25mm、長さ12mmの、アルミナ、ジルコニ
ア、ガラス等からなるフェルール3の外周に、帯状にメ
タライズ層11として、クロム/金、ニッケル/金(金
属膜の下層/上層の順に表記)等の構成の膜を真空蒸
着、メッキ等により形成する。さらに、MFDが例えば
10μmの第1シングルモード光ファイバ1A、P(ピ
ッチ)>0.25の第1GIファイバ2A、第1GIフ
ァイバ2Aから出射される光のビームウエストと第2G
Iファイバ2Aの出射端面の距離をdとして、長さ2d
のコアレス光ファイバ5、第1GIファイバ2Aと同じ
長さの第2GIファイバ2B、第2シングルモード光フ
ァイバ1Bを縦列に接続し、第1シングルモード光ファ
イバ1Aの先端を先球9に加工し光ファイバ体Fとし
た。さらに、前記フェルール3の貫通孔3aに光ファイ
バ体Fを挿入し、固定する。さらにコアレス光ファイバ
5の部分で貫通孔3aを横切るように幅1mm程度の素
子搭載用溝7を形成する。
More specifically, the optical device S1 is, for example, chromium / gold, nickel / nickel / metallized layer 11 around the ferrule 3 having a diameter of 1.25 mm and a length of 12 mm and made of alumina, zirconia, glass or the like. A film having a structure such as gold (indicated in the order of lower layer / upper layer of the metal film) is formed by vacuum deposition, plating, or the like. Further, the first single mode optical fiber 1A having an MFD of, for example, 10 μm, the first GI fiber 2A having a P (pitch)> 0.25, the beam waist of light emitted from the first GI fiber 2A, and the second G
Assuming that the distance between the output end faces of the I fibers 2A is d, the length 2d
, A second GI fiber 2B and a second single-mode optical fiber 1B having the same length as the first GI fiber 2A are connected in cascade, and the tip of the first single-mode optical fiber 1A is processed into a front sphere 9 to form an optical fiber. Fiber body F was used. Further, the optical fiber F is inserted into the through hole 3a of the ferrule 3 and fixed. Further, an element mounting groove 7 having a width of about 1 mm is formed so as to cross the through hole 3a at the portion of the coreless optical fiber 5.

【0044】第2シングルモード光ファイバ1Bは、フ
ェルール3の後端面3cが一致するように研摩される
か、そのまま光ファイバの余長をもったピグテイル形状
にされる。そして、この素子搭載用溝7内に、偏光子1
9A,19Bとファラデー回転子20を一体成形後、切
断して作製した光アイソレータ4を設置するとともに、
光アイソレータ4の偏光子19A,19Bの光入出射面
とコアレス光ファイバ5の一端部との間に、屈折率をコ
アレス光ファイバ5に整合させた透光性の屈折率整合接
着剤8を設ける。なお、前述のように、ここでは磁界印
加手段は省略する。また、光アイソレータ4の表面は反
射量0.2%以下の図不示の反射防止膜が形成されてい
るものとする。
The second single mode optical fiber 1B is polished so that the rear end faces 3c of the ferrule 3 coincide with each other, or is made into a pigtail shape having an extra length of the optical fiber as it is. The polarizer 1 is placed in the element mounting groove 7.
9A, 19B and the Faraday rotator 20 are integrally molded, and the optical isolator 4 manufactured by cutting is installed.
Between the light entrance / exit surfaces of the polarizers 19A and 19B of the optical isolator 4 and one end of the coreless optical fiber 5, a transmissive refractive index matching adhesive 8 whose refractive index is matched to the coreless optical fiber 5 is provided. . Note that, as described above, the magnetic field applying unit is omitted here. It is assumed that an antireflection film (not shown) having a reflection amount of 0.2% or less is formed on the surface of the optical isolator 4.

【0045】また、GIファイバ端面に点光源が存在し
た場合のコリメート条件は、P=0.25であるが、実
際に結合効率が最も高いのは、2つのGIファイバから
のビームウェストが一致する場合である。P=0.25
では、ビームウェストはちょうどGIファイバの出射端
面に位置することになり、GIファイバ間に光学素子を
挟む場合はビームウェストは一致しない。従って、GI
ファイバの出射端面から離れた位置にビームウェストを
形成するためにはP>0.25の条件が必要になる。
The collimating condition when a point light source is present on the end face of the GI fiber is P = 0.25. However, the coupling efficiency is actually the highest because the beam waists from the two GI fibers coincide with each other. Is the case. P = 0.25
In this case, the beam waist is located exactly at the exit end face of the GI fiber, and the beam waist does not match when the optical element is sandwiched between the GI fibers. Therefore, GI
In order to form a beam waist at a position distant from the emission end face of the fiber, a condition of P> 0.25 is required.

【0046】第1シングルモード光ファイバ1Aの先球
9から入った光は、第1GIファイバ2Aによってビー
ム径を拡大され、コアレス光ファイバ5の中央でビーム
ウェストをもつビームとなって光アイソレータ4を通過
し、再びコアレス光ファイバ5内を通過し、第2GIフ
ァイバ2Bによりビーム径を10μmに収束させられ、
第2シングルモード光ファイバ1Bに伝播する。この光
デバイスS1は、後端面3cにおいて第2シングルモー
ドファイバ1Bはその余長を1mほど有し図不示のコネ
クタがその終端に取り付けられている。
The light entering from the front sphere 9 of the first single-mode optical fiber 1A is expanded in beam diameter by the first GI fiber 2A, and becomes a beam having a beam waist at the center of the coreless optical fiber 5 so as to pass through the optical isolator 4. After passing through the coreless optical fiber 5 again, the beam diameter is converged to 10 μm by the second GI fiber 2B,
The light propagates to the second single mode optical fiber 1B. In the optical device S1, the second single mode fiber 1B has a surplus length of about 1 m on the rear end face 3c, and a connector (not shown) is attached to the end.

【0047】本発明によれば、光伝送路中に光アイソレ
ータ4等の光学素子を挿入する構成であっても、ほぼア
ライメントフリーとなる。また、GIファイバを用いて
いるが、その焦点距離はコアレス光ファイバ5の長さで
調整済みで光ファイバ体組み立て時点で保証されてお
り、素子実装後に調整する必要がない。これは工程の簡
略化ばかりでなく、工程の初期段階で、即ち光学素子等
を固定する前に結合効率の不具合が確認できるため、工
程トータルの効率化と不良による損害を大幅に減らすこ
とが可能になる。
According to the present invention, even when an optical element such as the optical isolator 4 is inserted into the optical transmission line, it is almost alignment-free. Although the GI fiber is used, the focal length is adjusted by the length of the coreless optical fiber 5 and is guaranteed at the time of assembling the optical fiber body, so that it is not necessary to adjust after the element is mounted. This is not only a simplification of the process, but also a defect of the coupling efficiency can be confirmed at the initial stage of the process, that is, before fixing the optical element, etc., so that the efficiency of the entire process and the damage due to the defect can be greatly reduced. become.

【0048】また、ここではコアレス光ファイバ5を分
断する素子搭載用溝7内に特に光アイソレータ4を用い
る例を示したが、波長板や波長フィルターといった光学
素子でも適用可能である。
Although an example in which the optical isolator 4 is particularly used in the element mounting groove 7 for dividing the coreless optical fiber 5 has been described, an optical element such as a wavelength plate or a wavelength filter can also be applied.

【0049】また、本発明では、図3に示すように本発
明の光デバイスS1とこの光デバイスS1と光結合させ
る光半導体素子とをパッケージ18に内蔵するモジュー
ルM2を構成することができる。このように、光デバイ
スS1の外周において、環状のメタライズ層(接合用帯
状体)11とパッケージ18を半田30で気密封止する
ことにより、簡便に信頼性の高い気密構造を実現され
る。
Further, in the present invention, as shown in FIG. 3, a module M2 in which the optical device S1 of the present invention and an optical semiconductor element optically coupled to the optical device S1 are incorporated in the package 18 can be formed. In this way, by sealing the annular metallized layer (bonding strip) 11 and the package 18 hermetically with the solder 30 on the outer periphery of the optical device S1, a highly reliable airtight structure can be easily realized.

【0050】また、本発明の光デバイスは図4に示す構
成としてもよい。即ち前述した光ファイバ体Fを挿入固
定するフェルール3において、外周を一周にわたって帯
状に覆う金属の外周体(接合用帯状体)27をフェルー
ル3に対して低融点ガラス等の封止剤29で接合する。
これにより外周体27とフェルール3の境界は高性能の
気密性が保たれる。なお、外周体27とフェルール3の
接合に用いる封止剤は超音波半田付けのような直接接合
可能な半田を用いても良い。
Further, the optical device of the present invention may be configured as shown in FIG. That is, in the ferrule 3 into which the optical fiber body F is inserted and fixed, the metal outer peripheral body (bonding band) 27 covering the outer circumference in a band shape is joined to the ferrule 3 with the sealing agent 29 such as low melting glass. I do.
Thereby, the high-performance airtightness is maintained at the boundary between the outer peripheral body 27 and the ferrule 3. The sealant used for joining the outer peripheral body 27 and the ferrule 3 may be solder that can be directly joined, such as ultrasonic soldering.

【0051】さらに図5に示すようにこの光デバイスS
2と、光デバイスS2と光結合させる光半導体素子とを
パッケージ18に内蔵するモジュールM3において、光
デバイスS2の外周体27とパッケージ18をシーム溶
接で気密封止することにより、簡便に信頼性の高い気密
構造を実現することが可能になる。なお外周体27は溶
接が容易なSUSや50アロイといった合金が好適であ
る。
Further, as shown in FIG.
In the module M3 having the package 2 and the optical semiconductor element to be optically coupled with the optical device S2, the outer peripheral body 27 of the optical device S2 and the package 18 are hermetically sealed by seam welding, so that the reliability is easily increased. It is possible to realize a high airtight structure. The outer body 27 is preferably made of an alloy such as SUS or 50 alloy, which can be easily welded.

【0052】また、本発明の光デバイスは図6に示す構
成としてもよい。即ち前述した光ファイバ体Fを挿入固
定するフェルール3において、フェルール3から突出し
余長をもった第2シングルモード光ファイバ2Bの外周
とフェルール3の後端部の外周を半田付けまたは溶接が
可能な材質の被覆部材(接合用帯状体)28で環状に覆
い、フェルール3と、被覆部材28の境界をまたは、第
2シングルモード光ファイバと被覆部材28の境界にお
いて先に記載したような低融点ガラス付けや超音波半田
といった封止剤26で気密接合を施し光デバイスS3を
構成する。
Further, the optical device of the present invention may be configured as shown in FIG. That is, in the ferrule 3 for inserting and fixing the optical fiber body F, the outer periphery of the second single mode optical fiber 2B protruding from the ferrule 3 and having an extra length and the outer periphery of the rear end of the ferrule 3 can be soldered or welded. A low-melting glass as described above at the boundary between the ferrule 3 and the coating member 28 or at the boundary between the second single-mode optical fiber and the coating member 28 by covering the ferrule 3 and the coating member 28 annularly with a coating member (bonding band-shaped body) 28 made of a material. An optical device S3 is formed by performing airtight bonding with a sealant 26 such as an adhesive or an ultrasonic solder.

【0053】さらに図7に示すようにこの光デバイスS
3と、光デバイスS3と光結合させる光半導体素子とを
パッケージ18に内蔵するモジュールM3において、光
デバイスS3の被覆部材28とパッケージ18をシーム
溶接で気密封止することにより、簡便に信頼性の高い気
密構造を実現することが可能になる。
Further, as shown in FIG.
In the module M3 in which the package 3 and the optical semiconductor element to be optically coupled to the optical device S3 are incorporated in the package 18, the covering member 28 of the optical device S3 and the package 18 are hermetically sealed by seam welding, so that the reliability can be easily reduced. It is possible to realize a high airtight structure.

【0054】[0054]

【実施例】以下に、本発明をより具体化した実施例につ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0055】〔例1〕図2(a)〜(f)を用いて説明
する。図2(a)に示すように、MFDが約10μmの
石英系シングルモード光ファイバ1Aの先端に、△=
0.85%、コア径が105μm、収束パラメータA=
3.37×10−6μm−2、GIファイバ2Aを放電
加工により融着し、ピッチP=0.258(653μ
m)になるようGIファイバ2Aを切断した。
Example 1 This will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2A, at the tip of a silica-based single mode optical fiber 1A having an MFD of about 10 μm, △ =
0.85%, core diameter 105 μm, convergence parameter A =
3.37 × 10 −6 μm−2, the GI fiber 2A was fused by electric discharge machining, and the pitch P = 0.258 (653 μm).
m), the GI fiber 2A was cut.

【0056】周囲の媒質がn=1.46(コアレス光フ
ァイバ5の屈折率に相当)であれば、GIファイバ2A
の端面15から、このGIファイバ2Aで形成される出
射光のビームウェストまでの距離は550μmとなる。
If the surrounding medium is n = 1.46 (corresponding to the refractive index of the coreless optical fiber 5), the GI fiber 2A
From the end face 15 to the beam waist of the emitted light formed by the GI fiber 2A is 550 μm.

【0057】次に、図2(b)に示すように、n=1.
46の屈折率をもつコアレス光ファイバ5をGIファイ
バ2Aに放電加工により融着し、1100μmの長さで
切断した。そして、図2(c)に示すように、GIファ
イバ2Aと同じ構成のGIファイバ2B、シングルモー
ド光ファイバ1Bをこの順に融着接続し、最後に図2
(d)のようにシングルモード光ファイバ1Aの一端に
研摩加工によりR=5μmの先球9を形成し光ファイバ
体Fとした。
Next, as shown in FIG. 2B, n = 1.
The coreless optical fiber 5 having a refractive index of 46 was fused to the GI fiber 2A by electric discharge machining and cut into a length of 1100 μm. Then, as shown in FIG. 2C, the GI fiber 2B and the single mode optical fiber 1B having the same configuration as the GI fiber 2A are fusion-spliced in this order.
As shown in (d), an end fiber 9 of R = 5 μm was formed on one end of the single-mode optical fiber 1A by polishing to obtain an optical fiber body F.

【0058】次に図2(e)のように、その外周に20
〜30μm厚でモリブデン−マンガン層を形成し、その
上にニッケルを約3μm、さらに金を0.1μm厚で電
解めっきを行い幅2mmのメタライズ層11を形成した
直径1.25mm,長さ12mmのジルコニアフェルー
ル3の貫通孔3aに挿入固定した。固定にはエポキシテ
クノロジー社製熱硬化型エポキシ接着剤エポテック35
3NDを用いた。気密性を高めるため、低融点ガラスや
半田を用いても良い。さらに、コアレス光ファイバ5の
部分で貫通孔3aを横切るように幅1mmの素子搭載用
溝7を形成した。なお、この加工にはDISCO製ダイ
サーブレードSDC320R10MB01を用いた。
Next, as shown in FIG.
A molybdenum-manganese layer is formed with a thickness of about 30 μm, nickel is further plated thereon by a thickness of about 3 μm, and gold is further electrolytically plated with a thickness of 0.1 μm to form a metallized layer 11 having a width of 2 mm. The zirconia ferrule 3 was inserted and fixed in the through hole 3a. EPOTECH 35, a thermosetting epoxy adhesive manufactured by Epoxy Technology
3ND was used. Low-melting glass or solder may be used to improve airtightness. Further, an element mounting groove 7 having a width of 1 mm was formed so as to cross the through-hole 3a at the portion of the coreless optical fiber 5. In this process, a DISCO dicer blade SDC320R10MB01 was used.

【0059】そして、図2(f)に示すように、この素
子搭載用溝7内において、偏光子19A,19B,ファ
ラデー回転子20を一体成形後、切断して作製した光ア
イソレータ4を設置した。ここで、コアレス光ファイバ
5と屈折率を整合させた紫外線硬化型接着剤や熱硬化型
の接着材8(例えばNTTアドバンストテクノロジー社
の紫外線硬化型エポキシ接着剤#9539、ダイキン工
業社製の紫外線硬化型接着剤オプトダイン、またはエポ
キシテクノロジー社製熱硬化型接着剤エポテック353
ND等)を用いて光アイソレータ4とコアレス光ファイ
バ5の間に充填接着し光りデバイスS1を構成した。
Then, as shown in FIG. 2F, an optical isolator 4 formed by integrally molding the polarizers 19A and 19B and the Faraday rotator 20 in the groove 7 for mounting the element and cutting the same is set. . Here, an ultraviolet-curing adhesive or a thermosetting adhesive 8 whose refractive index is matched with that of the coreless optical fiber 5 (for example, an ultraviolet-curing epoxy adhesive # 9539 manufactured by NTT Advanced Technology, an ultraviolet-curing epoxy manufactured by Daikin Industries, Ltd.) Adhesive optodyne or EPOTECH 353, a thermosetting adhesive manufactured by Epoxy Technology
The optical device S1 was formed by filling and bonding between the optical isolator 4 and the coreless optical fiber 5 using ND or the like.

【0060】光アイソレータ4は、偏光子19A,19
B(厚さ200μm、屈折率1.5)、ファラデー回転
子20(磁性ガーネット、厚さ350μm、屈折率2.
2)から成り、各々の光透過面は反射防止膜を形成した
後に、エポキシ系の透光性の接着剤(例えば、エポキシ
テクノロジー社製熱硬化型接着剤エポテック353N
D)で接合されている。なお、光アイソレータ4は10
mm角以上の大型の素子で一括アライメントを行い接着
した後に、400μm角に切断されている。厚さは75
0μmとなる。また、ここでは自発磁化型のガーネット
を用いるため磁石は不要である。
The optical isolator 4 includes polarizers 19A and 19
B (thickness 200 μm, refractive index 1.5), Faraday rotator 20 (magnetic garnet, thickness 350 μm, refractive index 2.
After forming an anti-reflection film on each light transmitting surface, an epoxy-based light-transmitting adhesive (for example, a thermosetting adhesive EPOTECH 353N manufactured by Epoxy Technology Co., Ltd.)
D). In addition, the optical isolator 4 is 10
It is cut into 400 μm squares after performing collective alignment and bonding with a large element of mm square or more. Thickness 75
0 μm. Further, since a spontaneously magnetized garnet is used here, no magnet is required.

【0061】なお、本発明の光デバイスにおいては、L
Dモジュールに実装する際に、LD側のコア拡大光ファ
イバの端面は、反射を防ぎ結合効率も同時に向上させる
ため先球9としているが、光モジュールの設計によって
は、レンズを設けても良い。
In the optical device of the present invention, L
When the optical fiber is mounted on the D module, the end surface of the core-enlarged optical fiber on the LD side is formed as a spherical tip 9 in order to prevent reflection and simultaneously improve coupling efficiency. However, depending on the design of the optical module, a lens may be provided.

【0062】また図3は本発明の光デバイスS1を用い
てLDモジュールM1を構成した例を示す。基板14の
V型の溝に、LD側端面を先球加工した光デバイスS1
の第1シングルモード光ファイバ1Aを固定した。PD
16は光強度を安定化するためにLD15の光をモニタ
ーする。光デバイスS1はパッケージ18の開口部18
aにて半田30により封止され、気密性の高いLDモジ
ュールM1を構成した。
FIG. 3 shows an example in which an LD module M1 is constructed using the optical device S1 of the present invention. An optical device S1 in which a V-shaped groove of the substrate 14 is spherically processed at the LD-side end surface.
The first single mode optical fiber 1A was fixed. PD
Reference numeral 16 monitors the light of the LD 15 to stabilize the light intensity. The optical device S1 is connected to the opening 18 of the package 18.
a, the LD module M1 sealed with the solder 30 and having high airtightness was formed.

【0063】〔例2〕図4に示すように直径1.25m
m、長さ12mmのジルコニア性フェルール3の外周に
リング上の外周帯27を設置し、低融点ガラス等の封止
剤26で気密接合した。ここで、フェルール3内の光フ
ァイバ体Fの作製手順は実施例1と同様であり、光ファ
イバ体Fが組み立てられた段階で光学特性は保証されて
いる。また、光ファイバ体Fはフェルール3に挿入固定
し、素子搭載用溝を形成して光アイソレータ4を固定す
る手順も実施例1と同様である。これにより、単純な構
成で気密封止が可能なモジュールが簡便に構成可能な光
デバイスS2とすることができる。なお、図中24はフ
ァイバ素線を被覆するジャケットである。
[Example 2] As shown in FIG. 4, the diameter is 1.25 m.
An outer peripheral band 27 on the ring was set around the outer periphery of the zirconia ferrule 3 having a length of 12 mm and a length of 12 mm, and was hermetically bonded with a sealant 26 such as a low-melting glass. Here, the manufacturing procedure of the optical fiber body F in the ferrule 3 is the same as that of the first embodiment, and the optical characteristics are guaranteed at the stage when the optical fiber body F is assembled. The procedure for inserting and fixing the optical fiber body F into the ferrule 3, forming the element mounting groove, and fixing the optical isolator 4 is the same as that in the first embodiment. Thus, the optical device S2 can be easily configured as a module that can be hermetically sealed with a simple configuration. In the figure, reference numeral 24 denotes a jacket for covering the fiber strand.

【0064】また、図5に示すように、光デバイスS2
を用いてLDモジュールM2を構成した。基板14のV
型の溝に、LD側端面を先球加工した光デバイスS2の
第1シングルモード光ファイバ1Aを固定した。PD1
6は光強度を安定化するためにLD15の光をモニター
する。光デバイスS1はパッケージ18の開口部18a
にリング29にYAGレーザーによるシーム溶接を施さ
れ、リング29はパッケージ18に、同じくYAGレー
ザーにて溶接される。リング29は第1シングルモード
光ファイバ1Aが大きくたわまないように、パッケージ
18に対し位置調整するために設けられている。これに
より、気密性の高いLDモジュールM2を構成した。
As shown in FIG. 5, the optical device S2
Was used to form an LD module M2. V of substrate 14
The first single-mode optical fiber 1A of the optical device S2 having the LD-side end face processed to be spherical is fixed to the groove of the mold. PD1
Numeral 6 monitors the light of the LD 15 to stabilize the light intensity. The optical device S1 has an opening 18a of the package 18.
The ring 29 is subjected to seam welding by a YAG laser, and the ring 29 is welded to the package 18 by the YAG laser. The ring 29 is provided for adjusting the position with respect to the package 18 so that the first single mode optical fiber 1A does not bend greatly. Thereby, a highly airtight LD module M2 was configured.

【0065】〔例3〕図6に示すように、直径1.25
mm、長さ12mmのジルコニア性フェルール3の後端
の外周と第2シングルモード光ファイバ1Bの一部を覆
う形状にした被覆部材28を設置し、封止剤26で気密
接合した。フェルール3内の光ファイバ体Fの作製手順
は実施例1と同様であり、光ファイバ体Fが組み立てら
れた段階で光学特性は保証されている。また、光ファイ
バ体Fはフェルール3に挿入固定し、素子搭載用溝を形
成しで光アイソレータ4を固定する手順も実施例1と同
様である。
Example 3 As shown in FIG.
A covering member 28 shaped so as to cover the outer periphery of the rear end of the zirconia ferrule 3 having a length of 12 mm and a length of 12 mm and a part of the second single mode optical fiber 1 </ b> B was installed, and hermetically bonded with a sealant 26. The procedure for manufacturing the optical fiber body F in the ferrule 3 is the same as that in the first embodiment, and the optical characteristics are guaranteed at the stage when the optical fiber body F is assembled. The procedure for inserting and fixing the optical fiber body F into the ferrule 3 and forming the element mounting groove to fix the optical isolator 4 is the same as in the first embodiment.

【0066】封止接合部分はパッケージ内外の境界部に
於ける封止剤の断面積が小さい方が気密性が高い。した
がって例1、例2のようにフェルール3の外周部で封止
するよりも光ファイバの外周で封止した方が気密性は優
れることになる。これにより、単純な構成でさらに高度
な気密封止が可能な光モジュールS3とすることができ
る。24はファイバ素線を被覆するジャケットである。
The smaller the cross-sectional area of the sealing agent at the boundary between the inside and outside of the package, the higher the airtightness of the sealing joint. Therefore, the hermeticity is better when sealed around the optical fiber than when sealed around the ferrule 3 as in Examples 1 and 2. Thus, an optical module S3 capable of performing a more advanced hermetic sealing with a simple configuration can be obtained. Reference numeral 24 denotes a jacket for covering the fiber.

【0067】また、図7に示すように、光デバイスS2
を用いてLDモジュールM3を構成した。基板14のV
型の溝に、LD側端面を先球加工した光デバイスS2の
第1シングルモード光ファイバ1Aを固定した。PD1
6は光強度を安定化するためにLD15の光をモニター
する。光デバイスS1はパッケージ18の開口部18a
にリング29にYAGレーザーによるシーム溶接を施
し、リング29はパッケージ18に同じくYAGレーザ
ーにて溶接した。リング29は第1シングルモード光フ
ァイバが大きくたわまないように、パッケージ18に対
し位置調整するために設けた。これにより、気密性の高
いLDモジュールM3とすることができた。
As shown in FIG. 7, the optical device S2
Was used to constitute an LD module M3. V of substrate 14
The first single-mode optical fiber 1A of the optical device S2 having the LD-side end face processed to be spherical is fixed to the groove of the mold. PD1
Numeral 6 monitors the light of the LD 15 to stabilize the light intensity. The optical device S1 has an opening 18a of the package 18.
The ring 29 was subjected to seam welding using a YAG laser, and the ring 29 was similarly welded to the package 18 using a YAG laser. The ring 29 is provided for adjusting the position with respect to the package 18 so that the first single mode optical fiber is not largely bent. As a result, a highly airtight LD module M3 was obtained.

【0068】[0068]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光デバイ
ス及び光モジュールによれば、以下の顕著な効果を奏す
ることができる。
As described above, according to the optical device and the optical module of the present invention, the following remarkable effects can be obtained.

【0069】レンズを用いていないため簡略な構成で安
価に作製が可能である。
Since no lens is used, it can be manufactured at a low cost with a simple configuration.

【0070】基本となる複数の光ファイバを一列に接続
した光ファイバ体は、マルチモード光ファイバ(例えば
GIファイバ)とコアレス光ファイバの接続部の調整の
みでよく、調整軸が少なく組み立てが容易である。2つ
のマルチモード光ファイバに挟まれるコアレス光ファイ
バは、焦点距離調節と軸ずれ防止、組み立ての簡易化の
役割をもっており、もともと一本の光ファイバなのでこ
れを分断したものは軸ずれは原理的に発生しない。
An optical fiber body in which a plurality of basic optical fibers are connected in a line only needs to adjust the connection between a multimode optical fiber (for example, a GI fiber) and a coreless optical fiber. is there. A coreless optical fiber sandwiched between two multi-mode optical fibers has the role of adjusting the focal length, preventing axial misalignment, and simplifying assembly. Since it is originally a single optical fiber, the splitting of the optical fiber is essentially the same. Does not occur.

【0071】また、例えばフェルールの細孔の両端から
光ファイバ体を挿入する場合の細孔内で調整するという
ような煩雑な作業が不要である。
In addition, for example, when the optical fiber is inserted from both ends of the fine hole of the ferrule, a complicated operation such as adjustment in the fine hole is unnecessary.

【0072】また、光ファイバ体に光学素子を挿入する
場合は、コアレス光ファイバ部に素子搭載用溝を形成す
れば良い。素子搭載用溝位置はコアレス光ファイバの範
囲でさえあればずれても全く問題が生じないため極めて
作製しやすい。また、光学素子である例えば光アイソレ
ータの挿入は、ほぼアライメントフリーで行うことがで
きる。
When an optical element is inserted into the optical fiber, an element mounting groove may be formed in the coreless optical fiber portion. Even if the groove position for mounting the element is shifted within the range of the coreless optical fiber, no problem occurs at all, so that it is extremely easy to manufacture. Further, the insertion of an optical element, for example, an optical isolator can be performed almost alignment-free.

【0073】また、光ファイバを用いた光学系である
が、作製に手間がかかり制御の難しいコア拡大光ファイ
バを用いている必要がない。
Although an optical system using an optical fiber is used, it is not necessary to use a core-enlarged optical fiber which is troublesome to manufacture and difficult to control.

【0074】また、光ファイバ体をフェルールに収納し
た光デバイスは小型で安定性が高い。
An optical device in which an optical fiber body is housed in a ferrule is small and has high stability.

【0075】さらに、基体の外周に金属から成る接合用
帯状体を設けているので、パッケージと容易に半田封止
構造を取ることが可能で、簡便に封止性の高いモジュー
ルとなすことができる。
Further, since the bonding strip made of metal is provided on the outer periphery of the base, it is possible to easily adopt a solder sealing structure with the package, and it is possible to easily form a module having high sealing performance. .

【0076】さらに、接合用帯状体とパッケージとをレ
ーザー溶接することが可能である。レーザー溶接は半田
封止より、さらに簡便で短時間の工程であり、また、熱
も局所的にしか発生しないため、光デバイスに内蔵され
ている光学素子やレーザーモジュール内の光半導体素子
に与える影響が少ない。
Further, it is possible to perform laser welding of the bonding strip and the package. Laser welding is a simpler and shorter process than solder encapsulation, and heat is generated only locally, affecting the optical elements built into optical devices and the optical semiconductor elements in the laser module. Less is.

【0077】また、光デバイスの後端を金属の被覆部材
(接合用帯状体)で被覆する構成を採用することによ
り、光ファイバと被覆部材を半田封止等が可能な上、光
ファイバを基体のみで支持する場合に加え、より封止経
路が長くなるため光デバイス自体の封止性が向上し、パ
ッケージへの封止接合が容易である。
Further, by adopting a configuration in which the rear end of the optical device is covered with a metal covering member (bonding band), the optical fiber and the covering member can be sealed with solder, and the optical fiber can be used as a substrate. In addition to the case in which the optical device is supported only by itself, the encapsulation property of the optical device itself is improved because the encapsulation path is longer, and the encapsulation bonding to the package is easy.

【0078】さらに、基体をフェルールで構成すると、
フェルールの中心軸に対し光ファイバが高精度に固定さ
れるため、例えば第1シングルモード光ファイバの一端
に形成したレンズ部(先球部)と光半導体素子とのアラ
イメントが容易になり、また、耐久性が高く、小型にす
ることが可能になる。
Further, when the base is made of a ferrule,
Since the optical fiber is fixed with high precision to the center axis of the ferrule, alignment of the optical semiconductor element with the lens portion (front spherical portion) formed at one end of the first single mode optical fiber becomes easy, for example. It has high durability and can be made compact.

【0079】そして、このような光デバイスを用いるこ
とにより、小型で作製容易、安価で経時変化の少なく、
気密性の優れた光モジュールを提供することができる。
By using such an optical device, the optical device is small, easy to manufacture, inexpensive, has little change over time,
An optical module with excellent airtightness can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る光デバイスを模式的に説明する断
面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating an optical device according to the present invention.

【図2】(a)〜(f)は本発明に係る光デバイスの作
製工程を模式的に説明する断面図である。
FIGS. 2A to 2F are cross-sectional views schematically illustrating a process of manufacturing an optical device according to the present invention.

【図3】本発明に係る光モジュールを模式的に示す断面
図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing an optical module according to the present invention.

【図4】本発明に係る光デバイスを模式的に示す断面図
である。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing an optical device according to the present invention.

【図5】本発明に係る光モジュールを模式的に説明する
ための断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view for schematically explaining an optical module according to the present invention.

【図6】本発明に係る光デバイスを模式的に示す断面図
である。
FIG. 6 is a sectional view schematically showing an optical device according to the present invention.

【図7】本発明に係る光モジュールを模式的に説明する
ための断面図である。
FIG. 7 is a sectional view schematically illustrating an optical module according to the present invention.

【図8】光アイソレータの動作を模式的に示す斜視図で
ある。
FIG. 8 is a perspective view schematically showing an operation of the optical isolator.

【図9】コア拡大光ファイバの結合間隔と回折損失の関
係を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing a relationship between a coupling interval of a core-enlarged optical fiber and a diffraction loss.

【図10】GIファイバ(マルチモード光ファイバ)内
の光の挙動を説明する模式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram illustrating behavior of light in a GI fiber (multi-mode optical fiber).

【図11】従来の光モジュールを説明する一部断面図で
ある。
FIG. 11 is a partial cross-sectional view illustrating a conventional optical module.

【図12】従来のコア拡大光ファイバに光アイソレータ
を実装したデバイスを説明する断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating a device in which an optical isolator is mounted on a conventional core-enlarged optical fiber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1A、1B:シングルモード光ファイバ 2A、2B:GIファイバ(マルチモード光ファイバ) 3:フェルール(基体) 3a:貫通孔 4:光アイソレータ 5:コアレス光ファイバ 6A,6B:レンズ 7:素子搭載用溝 8:屈折率整合接着剤 9:先球(レンズ部) 10:コア拡大光ファイバ 11:メタライズ層(接合用帯状体) 12:V溝 13:スリーブ 14:基板 15:LD(発光素子:光半導体素子) 16:PD(受光素子:光半導体素子) 17:ペルティエクーラー 18:パッケージ 18a:パッケージ開口部 19A,19B:偏光子 20:ファラデー回転子 22:順方向入射光 23:逆方向入射光 24:ファイバジャケット 26:封止剤 27:外周体(接合用帯状体) 28:被覆部材(接合用帯状体) 29:リング 30:半田 32:ラバーブーツ J1:光モジュール J2:光デバイス M1、M2、M3:光モジュール S1、S2、S3:光デバイス F:光ファイバ体 1, 1A, 1B: Single mode optical fiber 2A, 2B: GI fiber (multimode optical fiber) 3: Ferrule (base) 3a: Through hole 4: Optical isolator 5: Coreless optical fiber 6A, 6B: Lens 7: Device mounting Groove 8: refractive index matching adhesive 9: tip sphere (lens portion) 10: core enlarged optical fiber 11: metallized layer (bonding band) 12: V groove 13: sleeve 14: substrate 15: LD (light emitting element: 16: PD (light receiving element: optical semiconductor element) 17: Peltier cooler 18: package 18a: package opening 19A, 19B: polarizer 20: Faraday rotator 22: forward incident light 23: reverse incident light 24: Fiber jacket 26: Sealant 27: Outer body (Bonding for joining) 28: Coating member (Bonding for joining) 29: Re 30: Solder 32: Rubber boot J1: Optical module J2: Optical device M1, M2, M3: Optical module S1, S2, S3: Optical device F: Optical fiber body

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一端に光半導体素子を光接続させるため
のレンズ部を備えた第1シングルモード光ファイバの他
端に、第1マルチモード光ファイバ、コアレス光ファイ
バ、第2マルチモード光ファイバ、及び第2シングルモ
ード光ファイバを順次一列に接続して基体に固定して成
るとともに、前記コアレス光ファイバに形成した素子搭
載用溝に光学素子を配設し、且つ前記基体の外周に金属
から成る接合用帯状体を設けたことを特徴とする光デバ
イス。
1. A first multi-mode optical fiber, a coreless optical fiber, a second multi-mode optical fiber, and a first single-mode optical fiber having a lens portion for optically connecting an optical semiconductor element at one end. And the second single mode optical fibers are sequentially connected in a row to be fixed to the base, an optical element is disposed in the element mounting groove formed in the coreless optical fiber, and the outer periphery of the base is made of metal. An optical device comprising a bonding strip.
【請求項2】 基体上に、前記光デバイスと、該光デバ
イスの第1シングルモード光ファイバのレンズ部に光接
続する光半導体素子とをそれぞれ配設して成る光モジュ
ール。
2. An optical module comprising: a substrate; and the optical device and an optical semiconductor element optically connected to a lens portion of a first single mode optical fiber of the optical device.
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