JP2002171015A - Resonator-length variable laser resonator and pulse laser light source device - Google Patents
Resonator-length variable laser resonator and pulse laser light source deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、共振器長
可変レーザー共振器に関するものである。さらに詳しく
は、この出願の発明は、簡便にレーザー共振器長を延長
することが可能な小型共振器長可変レーザー共振器とこ
れを備えたパルスレーザー光源装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser resonator having a variable cavity length. More specifically, the invention of this application relates to a small-cavity-length-variable laser resonator capable of easily extending the laser resonator length, and a pulse laser light source device including the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその課題】従来、レーザー共振器におい
て、レーザー共振器内部の横モードサイズ（共振器にマ
ッチしたＴＥＭのガウスビーム強度がピーク強度の１／
ｅ2になる直径）を大きく変更することなく共振器長を
延長する方法として、図６に示されるような一定の共振
器長で設計された外部共振器のレーザー光路上の位置Ａ
に、図７で示したような凸レンズを２枚組み合わせてな
るイメージリレーのシステムを組み込み、図８で示され
るような構成をとる方法が広く知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a laser resonator, the transverse mode size inside the laser resonator (the Gaussian beam intensity of a TEM matched to the resonator is 1/1 of the peak intensity).
As a method to extend the cavity length without significantly changing the composed diameter) to e 2, position A of the laser beam path of the external cavity which is designed with a constant cavity length, as shown in FIG. 6
There is widely known a method of incorporating an image relay system in which two convex lenses are combined as shown in FIG. 7 and having a configuration as shown in FIG.
【０００３】この方法においては、レーザー共振器全体
のサイズが大きくなり、また、それに伴い機械的に不安
定となることが問題となっていた。また、ピーク強度の
高いレーザーを扱う場合には、凸レンズ系の焦点位置に
おけるレーザー光による放電が発生し、これを防ぐため
には凸レンズ系を真空中に封じ込める必要がある。さら
に、ひとつのイメージリレーの光学部品に対して、ひと
つの共振器長しか選択できないこと、また、共振器長を
変更する際の調整に、手間と時間がかかることが、問題
点として挙げられている。[0003] In this method, there has been a problem that the size of the entire laser resonator becomes large and the laser resonator becomes mechanically unstable. Further, when handling a laser having a high peak intensity, a discharge is generated by the laser light at the focal position of the convex lens system. To prevent this, it is necessary to confine the convex lens system in a vacuum. In addition, only one resonator length can be selected for one image relay optical component, and it takes time and effort to adjust when changing the resonator length. I have.
【０００４】そこで、この出願の発明は、以上の通りの
事情に鑑みてなされたものであり、共振器全体のサイズ
を大きく変更することなく共振器長の延長を実現し、機
械的安定性が高く、高強度レーザーを扱う場合にも放電
防止用の真空を必要とせず、さらに共振器長の延長に用
いられる１セットの光学部品に対して複数の共振器長を
選択することが可能であり、さらには、共振器長の再調
整が容易なレーザー共振器を提供することを課題として
いる。さらにまた、このようなレーザー共振器を備えた
パルスレーザー光源装置を提供する。Accordingly, the invention of this application has been made in view of the above-mentioned circumstances, and realizes extension of the resonator length without largely changing the size of the entire resonator, thereby improving mechanical stability. Even when handling high-intensity lasers, no vacuum is required to prevent discharge, and multiple resonator lengths can be selected for one set of optical components used to extend the resonator length. It is still another object of the present invention to provide a laser resonator in which the length of the resonator can be easily readjusted. Furthermore, a pulse laser light source device provided with such a laser resonator is provided.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この出願は、上記の課題
を解決するものとして、第１の発明として、レーザーゲ
イン媒質から射出されたレーザー光を共振させる共振器
であって、共振器が備える反射鏡の一部が、対向する２
枚の曲率付き多重折り返し高反射率鏡であり、曲率付き
多重折り返し高反射率鏡に対するレーザー光の入射角の
調整により、曲率付き多重折り返し高反射率鏡における
レーザー光の折り返し回数が変更されて、共振器長が任
意に設定可能となっていることを特徴とする共振器長可
変レーザー共振器を提供する。According to a first aspect of the present invention, there is provided a resonator for resonating laser light emitted from a laser gain medium, wherein the resonator is provided. A part of the reflecting mirror
It is a multi-fold high reflectance mirror with curvature, the number of times of folding of the laser light in the multi-fold high reflectance mirror with curvature is changed by adjusting the incident angle of the laser light to the multi-fold high reflectance mirror with curvature, A resonator length variable laser resonator characterized in that the resonator length can be arbitrarily set.
【０００６】また、この出願は、第２の発明として、レ
ーザーゲイン媒質より射出されるレーザー光を反射する
第１の反射鏡と、第１の反射鏡により反射されたレーザ
ー光を曲率付き多重折り返し高反射率鏡へ入射させる第
２の反射鏡と、曲率付き多重折り返し高反射率鏡より射
出されたレーザー光を反射する第３の反射鏡と、第３の
反射鏡により反射されたレーザー光を第１の反射鏡へ入
射させる第４の反射鏡とを備え、第２の反射鏡の設置角
度の変更により、曲率付き多重折り返し高反射率鏡への
レーザー光の入射角が調整され、曲率付き多重折り返し
高反射率鏡におけるレーザー光の折り返し回数が変更さ
れて、共振器長が任意に設定可能となっていることを特
徴とする共振器長可変レーザー共振器。[0006] In this application, as a second invention, a first reflecting mirror for reflecting a laser beam emitted from a laser gain medium, and a laser beam reflected by the first reflecting mirror with multiple folds with a curvature. A second reflecting mirror for entering the high-reflectance mirror, a third reflecting mirror for reflecting the laser light emitted from the multi-turn high-reflectance mirror with curvature, and a laser light reflected by the third reflecting mirror A fourth reflecting mirror that is incident on the first reflecting mirror, and by changing the installation angle of the second reflecting mirror, the incident angle of the laser beam to the multi-turn high-reflectivity mirror with curvature is adjusted to provide a curvature. A variable cavity length laser resonator, wherein the number of times laser light is folded back in a multi-fold high reflectivity mirror is changed so that the cavity length can be arbitrarily set.
【０００７】さらに、この出願は、第３の発明として、
以上の共振器長可変レーザー共振器を備えることを特徴
とするパルスレーザー光源をも提供する。[0007] Further, the present application provides, as a third invention,
A pulse laser light source including the above-described variable-cavity-length laser resonator is also provided.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】図１は、この出願の発明である共
振器長可変レーザー共振器の要部構成の一例を示したも
のである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an example of a configuration of a main part of a variable resonator length laser resonator according to the present invention.
【０００９】たとえばこの図１に例示したように、この
出願の発明の共振器長可変レーザー共振器では、その反
射鏡の一部が、対向する２枚の曲率付き多重折り返し高
反射率鏡（４）であり、曲率付き多重折り返し高反射率
鏡（４）に対するレーザー光の入射角を調整すること
で、曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）におけるレ
ーザー光の折り返し回数が変更されて、共振器長を任意
に設定可能となっている。For example, as shown in FIG. 1, in the variable cavity length laser resonator of the invention of this application, a part of the reflecting mirror is composed of two opposed multi-fold high reflection mirrors with curvature (4). By adjusting the angle of incidence of the laser beam on the multi-fold high reflection mirror with curvature (4), the number of turns of the laser beam in the multi-fold high reflection mirror with curvature (4) is changed, and resonance occurs. The length can be set arbitrarily.
【００１０】この場合さらに説明すると、図１の例で
は、レーザーゲイン媒質（１）より射出されたレーザー
光は、第１の反射鏡（２）によりその光路が変更されて
第２の反射鏡（３）へ入射される。第２の反射鏡（３）
は、対向する２枚の曲率付き多重折り返し高反射率鏡
（４）へレーザー光を入射させるためのものであり、こ
の第２の反射鏡（３）により反射されたレーザー光は曲
率付き多重折り返し高反射率鏡（４）の一方へ入射され
る。そして、レーザー光は、曲率付き多重折り返し高反
射率鏡（４）間を複数回繰り返して反射することとな
る。複数回の反射後、曲率付き多重折り返し高反射率鏡
（４）から射出されたレーザー光は、第３の反射鏡
（５）により反射されて、第４の反射鏡（６）へ入射さ
れる。第４の反射鏡（６）は入射レーザー光を第１の反
射鏡（２）へ再び入射させる。To explain this further, in the example of FIG. 1, the laser light emitted from the laser gain medium (1) has its optical path changed by the first reflecting mirror (2), and the second reflecting mirror ( 3). Second reflector (3)
Is for allowing laser light to be incident on two opposed multi-folded high-reflection mirrors with curvature (4), and the laser light reflected by the second reflection mirror (3) is multi-folded with curvature. The light is incident on one of the high reflectance mirrors (4). Then, the laser light is repeatedly reflected a plurality of times between the multiple reflection mirrors with curvature (4) with curvature. After a plurality of reflections, the laser light emitted from the multi-turn high reflectance mirror with curvature (4) is reflected by the third reflection mirror (5) and is incident on the fourth reflection mirror (6). . The fourth reflecting mirror (6) makes the incident laser light re-enter the first reflecting mirror (2).
【００１１】このように、この出願の発明の共振器長可
変レーザー共振器においては、対向する２枚の曲率付き
多重折り返し高反射率鏡（４）間をレーザー光が繰り返
し反射することで、共振器長の延長を実現している。す
なわち、曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）間のレ
ーザー光の反射回数を変えることで、共振器長を自在に
変更できるのである。As described above, in the variable cavity length laser resonator of the present invention, the laser light is repeatedly reflected between the two facing multiple folded high reflectivity mirrors with curvature (4), so that the resonance occurs. The length of the vessel has been extended. That is, the length of the resonator can be freely changed by changing the number of times of reflection of the laser light between the multiple-fold high-reflectance mirror with curvature (4).
【００１２】より具体的には、図１において、第２の反
射鏡（３）と第３の反射鏡（５）を結ぶ破線は、曲率付
き多重折り返し高反射率鏡を用いない場合のレーザー光
路を示しており、他方、第２の反射鏡（３）と第３の反
射鏡（５）を結ぶ実線は、２枚の曲率付き多重折り返し
高反射率鏡（４）間で、７回往復反射を繰り返す場合の
レーザー光路を示している。破線と比較しても格段に共
振器長が延長されていることは明らかである。なお、曲
率付き多重折り返し高反射率鏡（４）の隣り合う反射点
どうしの間隔（７）は、往復反射回数に関わらず図１に
示したようにほぼ等間隔となる。More specifically, in FIG. 1, a dashed line connecting the second reflecting mirror (3) and the third reflecting mirror (5) indicates a laser light path in the case where the multi-turn high reflectance mirror with curvature is not used. On the other hand, a solid line connecting the second reflecting mirror (3) and the third reflecting mirror (5) indicates seven round-trip reflections between two curved multi-turn high-reflectance mirrors (4). Shows a laser beam path when the above is repeated. It is clear that the length of the resonator is much longer than that of the broken line. The interval (7) between adjacent reflection points of the multi-turn high reflectance mirror with curvature (4) is substantially equal regardless of the number of reciprocating reflections as shown in FIG.
【００１３】図１のレーザー共振器においては、第２の
反射鏡（３）の設置角度を変更することで、レーザー光
の曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）への入射角が
調整され、レーザー光の往復反射を制御することが可能
である。もちろん、レーザー光の曲率付き多重折り返し
高反射率鏡（４）への入射角が変更されることで、レー
ザー光の曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）からの
出射角も変わることから、第３の反射鏡（５）および第
４の反射鏡（６）の設置角度も、あわせて調整する必要
があることは言うまでもない。In the laser resonator shown in FIG. 1, by changing the installation angle of the second reflecting mirror (3), the angle of incidence of the laser beam on the multi-fold high reflectance mirror (4) with curvature is adjusted. It is possible to control the reciprocating reflection of the laser light. Of course, by changing the angle of incidence of the laser beam on the multi-fold high reflectance mirror with curvature (4), the emission angle of the laser beam from the multi-fold high reflectance mirror with curvature also changes. It goes without saying that the installation angles of the third reflecting mirror (5) and the fourth reflecting mirror (6) also need to be adjusted accordingly.
【００１４】この出願の発明の共振器長可変レーザー共
振器においては、レーザーのビーム系を絞るような光学
系が存在しないため、ピーク強度の高いレーザーに適用
する場合であっても、空気放電を引き起こすことはな
い。In the variable cavity length laser resonator of the present invention, since there is no optical system for narrowing the laser beam system, air discharge is prevented even when applied to a laser having a high peak intensity. Will not cause.
【００１５】そして、この出願の発明の共振器長可変レ
ーザー共振器をパルスレーザー光源が備えることで、パ
ルス長の容易な変更が技術的に実現されるのである。こ
の出願の発明の共振器長可変レーザー共振器は、上述し
たように、横モードサイズをほとんど変更することなく
共振器長の延長を実現するものであるから、この出願の
発明の共振器長可変レーザー共振器を備えるパルスレー
ザー光源も小型となり、かつ、機械的に安定性に富むも
のとなる。By providing the pulse laser light source with the variable cavity length laser resonator of the invention of the present application, the pulse length can be easily changed technically. As described above, the variable resonator length laser resonator of the invention of this application realizes extension of the resonator length without substantially changing the transverse mode size. The pulse laser light source provided with the laser resonator also becomes small and has high mechanical stability.
【００１６】もちろん、この出願の発明である小型共振
器長可変レーザー共振器の構成は、図１に例示したよう
なリング共振器型の構成に限定されるものではなく、様
々な共振器に対して曲率付き多重折り返し高反射率鏡を
組み込むことで、容易に共振器長の変更が可能となるこ
とはいうまでもない。Of course, the configuration of the small-cavity-length-variable laser resonator of the invention of this application is not limited to the ring-resonator-type configuration illustrated in FIG. Needless to say, the incorporation of a multiple-fold high-reflectance mirror with a curvature makes it possible to easily change the resonator length.
【００１７】この出願の発明は以上の通りの特徴を持つ
ものであるが、以下に、添付した図面に沿って実施例を
示し、さらに詳しくこの出願の発明の実施の形態につい
て説明する。The invention of this application has the features as described above. Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings, and the embodiments of the invention of this application will be described in more detail.
【００１８】[0018]
【実施例】ここでは、図１に例示したこの出願の発明で
ある共振器長可変レーザー共振器の有効性についてシミ
ュレーションにより検討したので、その説明をする。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Here, the effectiveness of the variable cavity length laser resonator of the invention of this application illustrated in FIG. 1 has been studied by simulation and will be described.
【００１９】シミュレーションでは、図２（Ａ）（Ｂ）
（Ｃ）に例示したように、反射鏡（２）（３）（５）
（６）からなるＺ型のリング共振器は共振器長７８ｃｍ
を有するものであり、このリング共振器の中に、曲率２
０ｍの曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）２枚を互
いの間隔（ｍ−ｎ）＝１８ｃｍにて完全に対向するよう
に設置した。反射鏡（２）（３）（５）（６）および曲
率付き多重折り返し高反射率鏡（４）の間隔は、ａ−ｂ
間＝２０ｃｍ、ｂ−ｃ間＝１８ｃｍ、ｃ−ｄ間＝２２ｃ
ｍ、ｄ−ａ間１８ｃｍ、ｂ−ｍ間＝１８ｃｍ、ｎ−ｃ間
＝１８ｃｍである。また、反射鏡（２）（６）の曲率は
８ｍ、反射鏡（３）（５）の曲率は∞ｍである。In the simulation, FIGS. 2A and 2B
As exemplified in (C), the reflecting mirrors (2), (3), and (5)
The Z-type ring resonator composed of (6) has a resonator length of 78 cm.
The ring resonator has a curvature of 2
Two multi-fold, high-reflectance mirrors (4) with a curvature of 0 m were set so as to completely face each other at an interval (mn) of 18 cm. The distance between the reflecting mirrors (2), (3), (5) and (6) and the multi-turn high reflectance mirror with curvature (4) is ab
Between = 20cm, between bc = 18cm, between cd-22c
m, 18 cm between da, b-m = 18 cm, n-c = 18 cm. The curvature of the reflecting mirrors (2) and (6) is 8 m, and the curvature of the reflecting mirrors (3) and (5) is ∞m.
【００２０】このように設定した共振器長可変レーザー
共振器において、図２（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示したよう
に、曲率付き多重折り返し高反射率鏡（４）間のレーザ
ー光の往復反射回数が０回、３回、７回の場合、つまり
共振器長が７８ｃｍ、２２２ｃｍ、３３０ｃｍとした場
合について、共振器内のレーザー光路上の横モードサイ
ズをシミュレート算出した。なお、ここでの横モードサ
イズとは、レーザー共振器にマッチしたＴＥＭ00のガウ
スビームの強度がピーク強度の１／ｅ2となる部分の直
径をいう。In the thus-set variable-cavity length laser resonator, as shown in FIGS. 2A, 2B and 2C, the laser light between the multiple folded high-reflectivity mirrors with curvature (4) is used. When the number of round-trip reflections was 0, 3, and 7, that is, when the cavity length was 78 cm, 222 cm, and 330 cm, the transverse mode size on the laser light path in the cavity was simulated and calculated. Here, the transverse mode size refers to the diameter of a portion where the intensity of the Gaussian beam of the TEM 00 matched to the laser resonator is 1 / e 2 of the peak intensity.
【００２１】図３〜図５は、各々、図２（Ａ）（Ｂ）
（Ｃ）の場合における横モードサイズの算出結果を示し
たものである。なお、レーザー光路の始点（０ｍｍの
点）は反射鏡（６）の表面とした。FIGS. 3 to 5 show FIGS. 2A and 2B, respectively.
FIG. 14 shows a calculation result of the lateral mode size in the case of (C). In addition, the starting point (point of 0 mm) of the laser beam path was the surface of the reflecting mirror (6).
【００２２】これら図３〜図５から明らかなように、共
振器長を７８ｃｍ〜３３０ｃｍまで大きく変更しても、
横モードサイズはほぼ一定（１．２ｍｍ±０．０７ｍ
ｍ）となり、レーザー光の特性を損なうことなくレーザ
ー共振を行うことが可能であることがわかる。As is apparent from FIGS. 3 to 5, even if the resonator length is greatly changed from 78 cm to 330 cm,
The transverse mode size is almost constant (1.2mm ± 0.07m
m), which indicates that laser resonance can be performed without deteriorating the characteristics of laser light.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この出願の発
明により、共振器全体のサイズを大きく変更することな
く共振器長の延長を実現し、機械的安定性が高く、高強
度レーザーを扱う場合にも放電防止用の真空を必要とせ
ず、さらに共振器長の延長に用いられる１セットの光学
部品に対して複数の共振器長を選択することが可能であ
り、さらには、共振器長の再調整が容易な、新しい共振
器長可変レーザー共振器が提供される。As described in detail above, according to the invention of this application, it is possible to extend the length of the resonator without greatly changing the size of the entire resonator, and to handle a high-intensity laser with high mechanical stability. It is also possible to select a plurality of resonator lengths for one set of optical components used for extending the length of the resonator without requiring a vacuum for preventing discharge, and to further reduce the length of the resonator. A new variable cavity length laser resonator that is easy to readjust is provided.
【００２４】そして、この共振器長可変レーザー共振器
により、容易にパルス長可変なパルスレーザー光源装置
も提供される。たとえば、フーリエ限界のナノ秒パルス
レーザーに適用すれば、フーリエ限界の質を維持しなが
ら、簡単にパルス長の変更を実現することができ、ナノ
秒光パルス整形技術の発展に大きく貢献できるのであ
る。Further, a pulse laser light source device capable of easily changing the pulse length is provided by the variable resonator length laser resonator. For example, if applied to a nanosecond pulse laser at the Fourier limit, it is possible to easily change the pulse length while maintaining the quality of the Fourier limit, which can greatly contribute to the development of nanosecond optical pulse shaping technology. .
【図１】この出願の発明である共振器長可変レーザー共
振器の要部構成の一例を示した概要図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a main configuration of a variable resonator length laser resonator according to the invention of the present application.
【図２】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、各々、この出願の発明
である共振器長可変レーザー共振器の一実施例における
曲率付き多重折り返し高反射率鏡および反射鏡の配置に
ついて示した概要図である。FIGS. 2A, 2B, and 2C respectively show the arrangement of a curved multi-folded high-reflectivity mirror and a reflector in an embodiment of the variable cavity length laser resonator of the present invention; FIG.
【図３】図２（Ａ）の場合の光路長と横モードサイズと
の関係を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between an optical path length and a transverse mode size in the case of FIG.
【図４】図２（Ｂ）の場合の光路長と横モードサイズと
の関係を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between an optical path length and a transverse mode size in the case of FIG. 2 (B).
【図５】図２（Ｃ）の場合の光路長と横モードサイズと
の関係を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the optical path length and the transverse mode size in the case of FIG. 2 (C).
【図６】従来技術であるレーザー共振器の構成について
示した概要図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a configuration of a laser resonator according to the related art.
【図７】従来技術であるレーザー共振器の共振器長を延
長するためイメージリレー系の構成について示した概要
図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration of an image relay system for extending a resonator length of a laser resonator according to the related art.
【図８】従来技術であるレーザー共振器にイメージリレ
ー系が組み込まれた構成について示した概要図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration in which an image relay system is incorporated in a laser resonator according to the related art.
１ レーザーゲイン媒質 ２ 第１の反射鏡 ３ 第２の反射鏡 ４ 曲率付き多重折り返し高反射率鏡 ５ 第３の反射鏡 ６ 第４の反射鏡 ７ 間隔 REFERENCE SIGNS LIST 1 laser gain medium 2 first reflecting mirror 3 second reflecting mirror 4 multi-turn high reflectance mirror with curvature 5 third reflecting mirror 6 fourth reflecting mirror 7 spacing
Claims (3)
ザー光を共振させる共振器であって、共振器が備える反
射鏡の一部が、対向する２枚の曲率付き多重折り返し高
反射率鏡であり、曲率付き多重折り返し高反射率鏡に対
するレーザー光の入射角の調整により、曲率付き多重折
り返し高反射率鏡におけるレーザー光の折り返し回数が
変更されて、共振器長が任意に設定可能となっているこ
とを特徴とする共振器長可変レーザー共振器。1. A resonator for resonating a laser beam emitted from a laser gain medium, wherein a part of a reflecting mirror provided in the resonator is two opposed multi-folded high-reflection mirrors with a curvature, Adjustment of the angle of incidence of the laser beam on the multi-fold high reflectivity mirror with curvature changes the number of turns of the laser beam in the multi-fold high reflectivity mirror with curvature so that the resonator length can be set arbitrarily. A variable cavity length laser resonator.
ザー光を反射する第１の反射鏡と、第１の反射鏡により
反射されたレーザー光を曲率付き多重折り返し高反射率
鏡へ入射させる第２の反射鏡と、曲率付き多重折り返し
高反射率鏡より射出されたレーザー光を反射する第３の
反射鏡と、第３の反射鏡により反射されたレーザー光を
第１の反射鏡へ入射させる第４の反射鏡とを備え、第２
の反射鏡の設置角度の変更により、曲率付き多重折り返
し高反射率鏡へのレーザー光の入射角が調整され、曲率
付き多重折り返し高反射率鏡におけるレーザー光の折り
返し回数が変更されて、共振器長が任意に設定可能とな
っていることを特徴とする共振器長可変レーザー共振
器。2. A first reflector for reflecting a laser beam emitted from a laser gain medium, and a second reflector for causing the laser beam reflected by the first reflector to enter a multi-fold high-reflection mirror with curvature. A reflecting mirror, a third reflecting mirror for reflecting the laser light emitted from the multi-fold high-reflectance mirror with curvature, and a fourth reflecting the laser light reflected by the third reflecting mirror to the first reflecting mirror And a reflecting mirror of the second
The angle of incidence of the laser beam on the multi-fold high reflectance mirror with curvature is adjusted by changing the installation angle of the reflector, and the number of turns of the laser beam in the multi-fold high reflectance mirror with curvature is changed. A variable cavity length laser resonator characterized in that the length can be set arbitrarily.
ー共振器を備えることを特徴とするパルスレーザー光源
装置。3. A pulse laser light source device comprising the resonator length variable laser resonator according to claim 1.
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| JP2000365878A JP3540741B2 (en) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | Variable cavity length laser cavity and pulsed laser light source device |
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Cited By (7)
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