JP2002166234A - System for inspecting and classifying thin plate-shaped semiconductor part item - Google Patents

System for inspecting and classifying thin plate-shaped semiconductor part item

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JP2002166234A
JP2002166234A JP2001182320A JP2001182320A JP2002166234A JP 2002166234 A JP2002166234 A JP 2002166234A JP 2001182320 A JP2001182320 A JP 2001182320A JP 2001182320 A JP2001182320 A JP 2001182320A JP 2002166234 A JP2002166234 A JP 2002166234A
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thin plate
shaped semiconductor
semiconductor component
inspection
storage
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Masayuki Honda
Katsuyuki Yagi
克行 八木
正行 本多
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シャープ株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve operating efficiency by shortening the time until classifying and storing a solar battery cell 30 for each rank on the basis of the ranking result by an inspection device 21. SOLUTION: An operation of storing the solar battery cell 30 conveyed successively into a storing part 23 and an operation of taking out the solar battery cell from a conveying part 25 can be simultaneously carried out, because the solar battery cell 30 can be temporarily stored into a buffer part 31 of a stock part 24 from a conveying part 25 through an intake means 34. Thereby, the solar battery cell 30 can be taken out from the inspection device 21 in spite of storing the solar battery cell 30 in the storing part 23. Accordingly, the solar battery cell 30 can be stored in the storing part 23 without stopping a first conveying means 22 and the intake means 34, and thus the operation rate of the device can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池セルまた
は半導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を検査分類す
る検査分類システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection and classification system for inspecting and classifying thin plate-shaped semiconductor components such as solar cells or semiconductor wafers.
【0002】[0002]
【従来の技術】図23は、従来の技術である太陽電池セ
ル10の検査分類システム1を示す該略図である。薄形
板状半導体部品は、例えば太陽電池セル10である。検
査分類システム1は、検査手段3、搬送手段4、搬送ロ
ボット5および複数の収納部6を有して構成される。太
陽電池セル10は、まず検査手段3に搬送され、電圧電
流特性などの特性検査が行われる。検査を終えた太陽電
池セル10は、搬送手段4に送られ、搬送経路に沿って
順次搬送される。次に太陽電池セル10は、搬送ロボッ
ト5によって搬送手段4から取り出され収納部6に収納
される。収納部6は、太陽電池セル10を水平に重ねた
状態で複数枚積載される。
2. Description of the Related Art FIG. 23 is a schematic diagram showing a conventional inspection / classification system 1 for a solar battery cell 10. As shown in FIG. The thin plate-shaped semiconductor component is, for example, a solar cell 10. The inspection classification system 1 includes an inspection unit 3, a transport unit 4, a transport robot 5, and a plurality of storage units 6. The photovoltaic cell 10 is first conveyed to the inspection means 3, where a characteristic inspection such as a voltage-current characteristic is performed. The photovoltaic cells 10 that have been inspected are sent to the transporting means 4 and sequentially transported along the transport route. Next, the solar battery cell 10 is taken out of the transfer means 4 by the transfer robot 5 and stored in the storage section 6. A plurality of storage units 6 are stacked with the solar cells 10 stacked horizontally.
【0003】図24は、収納部6に収納される太陽電池
セル10の動作を示すフローチャートである。ステップ
c0では、収納部6が、太陽電池セル10を収納可能な
状態で待機する。太陽電池セル10が収納部6に収納さ
れると、ステップc1に進む。ステップc1では、収納
部6が、収納部6に積載される太陽電池セル10の総枚
数Nxを、カウンタによってカウントし、ステップc2
に進む。
FIG. 24 is a flowchart showing the operation of the solar cell 10 housed in the housing 6. In step c0, the storage unit 6 stands by in a state where the solar cell 10 can be stored. When the solar cell 10 is stored in the storage section 6, the process proceeds to step c1. In step c1, the storage unit 6 counts the total number Nx of the solar cells 10 stacked in the storage unit 6 by the counter, and then proceeds to step c2.
Proceed to.
【0004】ステップc2では、収納部6が、収納され
る総枚数Nxと所定の枚数Constとを比較し、総枚
数Nxが所定の一定枚数Constを超えたか否かを判
断する。総枚数Nxが所定の枚数Constを超えない
場合、ステップc0に戻り、収納部6は積載待機状態に
なる。また総枚数Nxが所定の一定枚数Constを超
えた場合、ステップc3に進む。
In step c2, the storage unit 6 compares the total number Nx to be stored with the predetermined number Const and determines whether the total number Nx exceeds a predetermined certain number Const. If the total number Nx does not exceed the predetermined number Const, the process returns to step c0, and the storage unit 6 enters the stacking standby state. If the total number Nx exceeds the predetermined fixed number Const, the process proceeds to step c3.
【0005】ステップc3では、収納部6が、通報ブザ
ーを鳴らすかまたはランプの点灯し、作業者に総枚数N
xが所定の一定枚数Constを超えたことを通報し、
ステップc4に進む。ステップc4では、作業者が収納
部6に積載された太陽電池セル10を手作業で取り出
し、通い箱に梱包しなおす。このような取り出しおよび
梱包作業が完了すると、収納部6における太陽電池セル
10の収納動作が終了する。次に収納部6は、ステップ
c0に進み、再び待機状態になる。
In step c3, the storage unit 6 sounds a notification buzzer or turns on a lamp to inform the operator of the total number N.
Notify that x exceeds a predetermined fixed number Const,
Proceed to step c4. In step c4, the operator manually removes the solar cells 10 loaded in the storage section 6 and repacks them in a returnable box. When such removal and packing operations are completed, the storage operation of the solar battery cells 10 in the storage unit 6 ends. Next, the storage unit 6 proceeds to step c0, and enters the standby state again.
【0006】図25は、太陽電池セル10の動きを説明
する検査分類システム1の斜視図である。搬送手段4を
一列で移動する太陽電池セル10は、搬送ロボット5に
よって搬送手段4から取り出され、検査手段3の測定結
果に応じて、ランク毎に各収納部6に収納される。たと
えば検査手段3によって、ランクAと判定された太陽電
池セル10は、収納部6Aに収納される。
FIG. 25 is a perspective view of the inspection and classification system 1 for explaining the movement of the solar cell 10. The photovoltaic cells 10 that move in a row in the transport unit 4 are taken out of the transport unit 4 by the transport robot 5 and stored in each storage unit 6 for each rank according to the measurement result of the inspection unit 3. For example, the photovoltaic cell 10 determined to be rank A by the inspection unit 3 is stored in the storage unit 6A.
【0007】また搬送ロボット5は、太陽電池セル10
を一枚づつ収納部6に搬送し、水平にして上に順に積層
して収納部6に配置する。このように、太陽電池セル1
0は、検査手段3の測定結果毎に分類されて各収納部6
に収納される。収納部6に太陽電池セル10が一定枚数
収納されると、収納部6に収納された太陽電池セル10
を取り出す作業が行われる。
[0007] The transfer robot 5 includes a solar cell 10
Are transported one by one to the storage section 6, and are horizontally stacked one above another and arranged in the storage section 6. Thus, the solar cell 1
0 is classified for each measurement result of the inspection means 3 and
Is stored in. When a certain number of solar cells 10 are stored in the storage section 6, the solar cells 10 stored in the storage section 6
The work of taking out is performed.
【0008】また収納部6に収められた太陽電池セル1
0は、次工程へ搬送されるときには、製品形状に合った
通い箱7に再度入れ換えられる。太陽電池セル10は、
手作業で複数枚束状にされ、表裏をスポンジ材で満たし
て梱包される。次工程には通い箱7ごと搬送される。
Further, the solar cells 1 housed in the housing 6
When 0 is conveyed to the next step, it is replaced again with a returnable box 7 that matches the product shape. The solar cell 10 is
A plurality of sheets are manually bundled, and both sides are filled with sponge material and packed. In the next step, the whole return box 7 is transported.
【0009】図26は、従来の検査分類システム1にお
いて搬送される太陽電池セル10の動きを示すフローチ
ャートである。ステップd0では、検査分類工程の前工
程を終えた太陽電池セル10が、検査分類システム1に
投入され、ステップd1に進む。
FIG. 26 is a flowchart showing the movement of the solar cell 10 transported in the conventional inspection and classification system 1. In step d0, the photovoltaic cell 10 that has completed the pre-process of the inspection / classification process is put into the inspection / classification system 1, and proceeds to step d1.
【0010】ステップd1では、太陽電池セル10が検
査手段3に搬送され、太陽電池セル10のランクが判定
される。ランクが判定されると、ステップd2に進む。
ステップd2では、太陽電池セル10は、検査手段3に
よって得られたランクに基づいて各収納部6に収納さ
れ、ステップd3に進む。
In step d1, the solar cells 10 are transported to the inspection means 3, and the rank of the solar cells 10 is determined. When the rank is determined, the process proceeds to step d2.
In step d2, the photovoltaic cells 10 are stored in the respective storage sections 6 based on the rank obtained by the inspection means 3, and the process proceeds to step d3.
【0011】ステップd3では、収納部6に収納される
太陽電池セル10の枚数Nxが所定枚数Constを超
えた場合、作業者が手作業で収納部6から太陽電池セル
10を取り出し、太陽電池セル10を製品形状に合った
通い箱7に収納して梱包する。次にステップd4に進
み、通い箱7に収納された複数枚の太陽電池セル10
は、次工程に通い箱7ごと搬送される。ステップd4
で、検査分類システムにおける太陽電池セル10の搬送
が終了する。
In step d3, when the number Nx of the solar cells 10 stored in the storage unit 6 exceeds the predetermined number Const, the operator manually removes the solar cells 10 from the storage unit 6 and 10 is packed in a returnable box 7 conforming to the product shape. Next, proceeding to step d4, the plurality of solar cells 10 stored in the return box 7
Is transported together with the return box 7 to the next step. Step d4
Then, the transportation of the photovoltaic cells 10 in the inspection and classification system ends.
【0012】図27(1)は、従来の通い箱7を示す平
面図であり、図27(2)は、図27(1)の切断面線
XVI−XVIで切断したときの断面図である。通い箱
7は、上蓋がなく、上部に開口を有して箱状に形成され
る。また複数の太陽電池セル10を所定の枚数毎に立位
状態に納められるようにするために、通い箱7の内部を
分割する仕切板8が形成される。仕切板8の高さは、通
い箱7の底部から通い箱7に収納される立位状態の太陽
電池セル10の上部まで延びて形成される。
FIG. 27 (1) is a plan view showing a conventional returnable box 7, and FIG. 27 (2) is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI of FIG. 27 (1). . The returnable box 7 is formed in a box shape without an upper lid and having an opening at an upper portion. Further, a partition plate 8 that divides the inside of the return box 7 is formed so that the plurality of solar cells 10 can be stored in a standing state for each predetermined number. The height of the partition plate 8 is formed so as to extend from the bottom of the return box 7 to the top of the solar cell 10 in the standing state stored in the return box 7.
【0013】図28は、従来のランク判定の流れを示す
ブロック図である。従来の検査分類システム1は、検査
分類システム全体を制御し、太陽電池セル10の搬送お
よび検査実施命令を行うシーケンサであるCPU100
(Central Processing Unit)と、電圧電流特性の測定
を行うテスタ101とテスタ101の測定結果に基づい
て、各ランクに分類するパーソナルコンピュータ102
(以下パソコンと記す)とを有する。
FIG. 28 is a block diagram showing the flow of a conventional rank determination. The conventional inspection / classification system 1 controls the entire inspection / classification system, and is a CPU 100 that is a sequencer that issues a command to transport the solar cell 10 and perform an inspection.
(Central Processing Unit), a tester 101 that measures voltage-current characteristics, and a personal computer 102 that classifies each rank based on the measurement results of the tester 101.
(Hereinafter referred to as a personal computer).
【0014】CPU100は、直接テスタ101へ測定
開始命令103を与える。測定開始命令103が与えら
れたテスタ101は、太陽電池セル10の電圧電流特性
の測定を実施104する。テスタ101は、測定実施後
に測定によって得られた生データ105をデータ収集用
のパソコン102に与える。パソコン102は、生デー
タ105を基に、測定値を算出106し、ランクを判定
107する。パソコン102は、ランク判定結果をテス
タ101に与える。
The CPU 100 directly gives a measurement start command 103 to the tester 101. The tester 101 to which the measurement start instruction 103 has been given performs the measurement 104 of the voltage-current characteristics of the solar cell 10. The tester 101 supplies the raw data 105 obtained by the measurement after the measurement to the personal computer 102 for data collection. The personal computer 102 calculates 106 the measured value based on the raw data 105 and determines 107 the rank. The personal computer 102 gives the rank determination result to the tester 101.
【0015】テスタ101は、パソコン102からラン
ク判定結果が与えられると、与えられたランク判定結果
をCPU100に伝える。CPU100は、与えられた
ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル10をランク
ごとに分類して収納部6に搬送するように搬送ロボット
に命令を与える。
Upon receiving the rank determination result from the personal computer 102, the tester 101 transmits the given rank determination result to the CPU 100. The CPU 100 gives a command to the transfer robot to sort the solar cells 10 by rank and transfer them to the storage unit 6 based on the given rank determination result.
【0016】図29は、テスタ101からの生データ1
05に基づいて算出した、電圧電流特性を示すグラフで
ある。太陽電池セル10の電圧電流特性は、日本工業規
格(以下JISと記す)の結晶系太陽電池セルの出力測
定方法(JIS C 8913)に規定される4端子法
に基づいて測定される。図29のグラフから太陽電池セ
ル10の性能を示す短絡電流Isc、開放電圧Vocお
よび最大電力Pmを得ることができる。電圧電流特性の
グラフは、縦軸を電流軸Iとし、横軸を電圧軸Vとす
る。JISの規定では、この電圧電流特性を示すグラフ
に30点以上の測定点をプロットすることが規定され
る。
FIG. 29 shows raw data 1 from the tester 101.
5 is a graph showing a voltage-current characteristic calculated based on No. 05. The voltage-current characteristics of the photovoltaic cell 10 are measured based on a four-terminal method specified in a method for measuring the output of a crystalline photovoltaic cell (JIS C 8913) of Japanese Industrial Standard (hereinafter referred to as JIS). From the graph of FIG. 29, the short-circuit current Isc, the open-circuit voltage Voc, and the maximum power Pm indicating the performance of the solar cell 10 can be obtained. In the graph of the voltage-current characteristics, the vertical axis is the current axis I, and the horizontal axis is the voltage axis V. According to JIS, it is specified that 30 or more measurement points are plotted on a graph showing the voltage-current characteristics.
【0017】上述の規定に従うように、テスタ101が
太陽電池セル10を測定する。パソコン102は、テス
タ101からの生データから、電流軸Iの両側に位置す
る2つの測定点A,Bを通る直線式を求め、この直線式
と電流軸Iとの交点Cの電流を短絡電流Iscとして算
出する。またパソコン102は、テスタ101からの生
データから、電圧軸Vの両側に位置する2つの測定点
E,Fを通る直線式を求め、この直線式と電圧軸Vとの
交点Gの電圧を開放電圧Vocとして算出する。
The tester 101 measures the photovoltaic cell 10 according to the above rules. The personal computer 102 obtains, from the raw data from the tester 101, a linear equation passing through the two measurement points A and B located on both sides of the current axis I, and determines the current at the intersection C of the linear equation and the current axis I as the short-circuit current. It is calculated as Isc. Further, the personal computer 102 obtains a linear equation passing through the two measurement points E and F located on both sides of the voltage axis V from the raw data from the tester 101, and releases the voltage at the intersection G between the linear equation and the voltage axis V. It is calculated as the voltage Voc.
【0018】図30は、パソコン102が最大出力Pm
を算出する手順を示すフローチャートである。ステップ
e1では、パソコン102が、テスタ101によって測
定された生データから、複数の測定点を取得し、ステッ
プe2に進む。ステップe2では、パソコン102が複
数の測定点の中から、電流と電圧との積が最大になる最
大測定点D(Vi,Ii)を求め、ステップe3に進
む。
FIG. 30 shows that the personal computer 102 has the maximum output Pm.
6 is a flowchart showing a procedure for calculating the value. In step e1, the personal computer 102 acquires a plurality of measurement points from the raw data measured by the tester 101, and proceeds to step e2. In step e2, the personal computer 102 obtains the maximum measurement point D (Vi, Ii) at which the product of the current and the voltage becomes maximum from among the plurality of measurement points, and proceeds to step e3.
【0019】ステップe3では、パソコン102が、最
大測定点D(Vi,Ii)を含む前後3点(Vi−1,
Ii−1),(Vi,Ii),(Vi+1,Ii+1)
について、電圧を2次変数とするラグランジェの2次補
間式を求める。次にこの2次補間式から電流と電圧との
積が最大となる電力を最大電力Pmとして算出する。こ
のような短絡電流Isc、開放電圧Vocおよび最大電
力Pmは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆる明測
定で測定された生データから求められる。実際の生産ラ
インにおいても、上述のような短絡電流Isc、開放電
圧Vocおよび最大電力Pmを求める方法が検査装置に
よって行われる。
In step e3, the personal computer 102 sets three points (Vi-1, Vi-1 and Vi-1) including the maximum measurement point D (Vi, Ii).
Ii-1), (Vi, Ii), (Vi + 1, Ii + 1)
, A Lagrange's quadratic interpolation equation using voltage as a secondary variable is obtained. Next, the power that maximizes the product of the current and the voltage is calculated as the maximum power Pm from the quadratic interpolation formula. The short-circuit current Isc, the open-circuit voltage Voc, and the maximum power Pm are obtained from raw data measured in a state where the simulated sunlight is irradiated, that is, in a so-called bright measurement. Even in an actual production line, a method for determining the short-circuit current Isc, the open-circuit voltage Voc, and the maximum power Pm as described above is performed by the inspection device.
【0020】図31は、テスタ101によって得られた
太陽電池セル10の電圧電流特性を示すグラフである。
図31から推測される電圧値と電流値との積が最大であ
る最大電力Pmの座標は、最大出力電圧Vpmが、約
0.480Vであり、最大出力電流Ipmが、約4.4
3Aである。したがって図31のグラフから読み取れる
最大電力Pmは約2.12Wである。次の表1は、図3
1に示すグラフの測定点の中から電圧値と電流値との積
が最大となる最大測定点D(Vi,Ii)と、その前後
の測定点(Vi−1,Ii−1),(Vi+1,Ii+
1)とを示す。
FIG. 31 is a graph showing the voltage-current characteristics of the solar cell 10 obtained by the tester 101.
The coordinates of the maximum power Pm where the product of the voltage value and the current value estimated from FIG. 31 are the maximum are such that the maximum output voltage Vpm is about 0.480 V and the maximum output current Ipm is about 4.4.
3A. Therefore, the maximum power Pm that can be read from the graph of FIG. 31 is about 2.12 W. The following Table 1 shows FIG.
1, the maximum measurement point D (Vi, Ii) where the product of the voltage value and the current value is the maximum, and the measurement points (Vi-1, Ii-1) and (Vi + 1) before and after the maximum measurement point D (Vi, Ii). , Ii +
1).
【0021】[0021]
【表1】 [Table 1]
【0022】また図32は、表1の電圧と電流との関係
を示すグラフであり、図32(1)は、電圧電流特性を
示し、図32(2)は、電圧電力特性を示す。表1に示
す測定点(Vi−1,Ii−1),(Vi,Ii),
(Vi+1,Ii+1)からラグランジェの2次補間式
を用いて計算することで、最大電力Pmを得る。表1の
測定点をラグランジェの2次補間式に基づいて計算する
と、最大出力電圧Vpmは、0.4821Vであり、最
大出力電流Ipmは、4.4687Aである。したがっ
て最大電力Pmは2.1545Wとなる。
FIG. 32 is a graph showing the relationship between the voltage and current in Table 1. FIG. 32 (1) shows the voltage-current characteristics, and FIG. 32 (2) shows the voltage-power characteristics. The measurement points (Vi-1, Ii-1), (Vi, Ii), and
The maximum power Pm is obtained by calculating from (Vi + 1, Ii + 1) using Lagrange's quadratic interpolation formula. When the measurement points in Table 1 are calculated based on Lagrange's quadratic interpolation equation, the maximum output voltage Vpm is 0.4821 V and the maximum output current Ipm is 4.4687 A. Therefore, the maximum power Pm is 2.1545W.
【0023】図33は、擬似太陽光が照射されていない
状態での電圧電流特性を示すグラフである。擬似太陽光
が照射されていない状態、いわゆる暗測定でも明測定と
同レンジの電圧走査を行い、測定結果として測定点を取
得する。テスタ101が暗測定を行い、複数の測定点を
得た後、パソコン102が任意の電圧における電流Id
を算出する。
FIG. 33 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where no simulated sunlight is irradiated. Even in a state where no simulated sunlight is irradiated, that is, in dark measurement, voltage scanning in the same range as in bright measurement is performed, and a measurement point is obtained as a measurement result. After the tester 101 performs dark measurement and obtains a plurality of measurement points, the personal computer 102 sets the current Id at an arbitrary voltage.
Is calculated.
【0024】[0024]
【発明が解決しようとする課題】このような上述の従来
の装置では、収納部6に所定の枚数の太陽電池セル10
が蓄積されたときには、蓄積された太陽電池セル10を
入れ換える作業を手作業で行わなければならない。この
作業が行われるとき搬送ロボット5は、収納部6に太陽
電池セル10を搬送することができないため、次に当該
収納部6へ収納されるべき太陽電池セル10は、待機し
なければならない。つまり太陽電池セル10の入れ換え
作業が完了するまで、搬送手段4を一旦停止する必要が
ある。搬送手段4を停止することによって検査分類作業
の稼働率が低下するという問題がある。
In such a conventional apparatus as described above, a predetermined number of solar cells 10 are stored in the storage section 6.
When is accumulated, the operation of replacing the accumulated solar battery cells 10 must be performed manually. When this operation is performed, the transfer robot 5 cannot transfer the solar battery cells 10 to the storage unit 6, so that the solar battery cells 10 to be stored in the storage unit 6 next have to wait. That is, it is necessary to temporarily stop the transport unit 4 until the operation of replacing the solar battery cells 10 is completed. There is a problem that the operation rate of the inspection and classification work is lowered by stopping the transporting means 4.
【0025】また収納部6に収められる太陽電池セル1
0を、次工程へ搬送するには、通い箱7に手作業で再度
複数枚を束状にし、表裏をスポンジ材で梱包して入れ換
えなければならない。したがって次工程に移るまでに必
要な工程が増え、作業時間が長くなるという問題があ
る。
The solar cells 1 housed in the housing 6
In order to transport the "0" to the next process, a plurality of sheets must be manually bundled again in the return box 7, and the front and back sides must be packed and replaced with a sponge material. Therefore, there is a problem that the number of steps required before moving to the next step increases, and that the operation time becomes longer.
【0026】したがって本発明の目的は、薄形板状半導
体部品を測定結果に基づいて各収納部に収納するまでの
時間を短縮するとともに、収納される薄形板状半導体部
品の取り出しおよび交換に要する時間を短縮して、稼動
率を向上する薄形板状半導体部品の検査分類システムを
提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to shorten the time required for storing a thin plate-shaped semiconductor component in each storage section based on the measurement result, and to remove and replace the stored thin plate-shaped semiconductor component. An object of the present invention is to provide an inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component which shortens the required time and improves the operation rate.
【0027】[0027]
【課題を解決するための手段】本発明は、薄形板状半導
体部品を検査してランクを判定する検査装置と、検査装
置によって判定されたランクに基づいて、薄形板状半導
体部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置
と、前記検査装置と前記分類装置とを統括的に制御する
制御装置とを有する薄形板状半導体部品の検査分類シス
テムであって、検査装置は、薄形板状半導体部品を測定
する測定手段と、測定結果に基づいてランクを判定する
判定手段とを有し、分類装置は、収納部ごとに設けら
れ、収納前の薄形板状半導体部品を保持するストック部
と、測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって
判定されたランクに対応するストック部に取り入れる取
り入れ手段とストック部に保持された薄形板状半導体部
品を収納部に収納する収納手段とを有することを特徴と
する薄形板状半導体部品の検査分類システムである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a thin plate-like semiconductor component to determine a rank, and a thin plate-like semiconductor component based on the rank determined by the inspection device. A classification device that classifies and stores in a storage unit to be performed, and an inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component including a control device that comprehensively controls the inspection device and the classification device, wherein the inspection device includes: It has a measuring means for measuring the thin plate-shaped semiconductor component, and a judging means for judging the rank based on the measurement result. Intake means for taking the stock part to be held and the thin plate-shaped semiconductor part after measurement into the stock part corresponding to the rank determined by the inspection device, and the thin plate-shaped semiconductor part held by the stock part to the storage part. To store An inspection classification system thin plate-like semiconductor part and having a paid means.
【0028】本発明に従えば、測定後の薄形板状半導体
部品は、取り入れ手段によって測定手段からストック部
に取り入れられ、収納部に収納される前に一時的にスト
ック部に保持される。ストック部に保持された薄形板状
半導体部品は、収納手段によって収納部に収納される。
これによって取り入れ手段と収納手段とは、独立かつ同
時に動作することができる。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component after measurement is taken into the stock section from the measuring means by the taking-in means, and is temporarily held in the stock section before being housed in the housing section. The thin plate-shaped semiconductor component held by the stock unit is stored in the storage unit by the storage unit.
This allows the intake means and the storage means to operate independently and simultaneously.
【0029】したがって収納手段に収納される薄形板状
半導体部品が、所定枚数を超えて、収納部から取り出さ
れる時でも、取り入れ手段が検査装置から薄形板状半導
体部品を取り出し、ストック部に取り入れることができ
る。これによって薄形板状半導体部品の搬送を、収納部
に収納された薄形板状半導体を入れ換えるときも、取り
入れ手段を停止する必要がなく検査分類システムの検査
分類速度を向上することができる。
Therefore, even when the number of the thin plate-shaped semiconductor parts stored in the storage means exceeds a predetermined number and is taken out of the storage section, the taking-in means takes out the thin plate-shaped semiconductor parts from the inspection device and places them in the stock section. Can be incorporated. Thus, even when the thin plate-shaped semiconductor components are transported and the thin plate-shaped semiconductors stored in the storage section are exchanged, it is not necessary to stop the taking-in means, and the inspection and classification speed of the inspection and classification system can be improved.
【0030】また取り入れ手段は、一枚の薄形板状半導
体部品を搬送するので、複数枚同時に搬送する場合に比
べて、薄形板状半導体部品を確実に搬送することがで
き、薄形板状半導体部品の破損を防止してストック部に
搬送することができる。
Further, since the taking-in means transports one thin plate-shaped semiconductor component, the thin plate-shaped semiconductor component can be transported more reliably than in the case where a plurality of thin plate-shaped semiconductor components are transported simultaneously. The semiconductor component can be transported to the stock section while preventing damage.
【0031】また薄形板状半導体部品は、ランクごとに
ストック部に保持される。したがって検査装置から取り
出される薄形板状半導体部品が各ストック部に分散され
て保持されるので、ストック部から収納部に搬送する収
納手段の動作速度を取り出し手段に比べて低速にするこ
とができる。収納手段は低速で動作することによって、
把持不良をなくし、正確な位置決めが必要とされる収納
部への収納を容易に行うことができる。また収納手段
が、複数枚同時に薄形板状半導体部品を搬送することに
よって、稼働率を低下することなく薄形板状半導体部品
を収納部に収納することができる。
The thin plate-shaped semiconductor parts are held in the stock part for each rank. Therefore, since the thin plate-shaped semiconductor parts taken out from the inspection device are dispersed and held in the respective stock parts, the operation speed of the storing means for transferring the stock parts from the stock parts to the storing part can be made lower than the taking out means. . The storage means operates at low speed,
It is possible to easily perform the storage in the storage section where accurate positioning is required by eliminating the poor grip. In addition, since the storage means simultaneously transports a plurality of thin plate-shaped semiconductor components, the thin plate-shaped semiconductor components can be stored in the storage portion without lowering the operation rate.
【0032】また本発明は、前記判定手段は、制御装置
と測定手段とに電気的に接続され、制御装置から測定実
施命令が入力されると、測定実施命令を測定手段に出力
し、測定手段から薄形板状半導体部品の測定結果が入力
されると、測定結果からランクを判定し、そのランク判
定の結果を制御装置に出力することを特徴とする。
Further, according to the present invention, the judgment means is electrically connected to the control device and the measurement means, and outputs a measurement execution command to the measurement means when a measurement execution command is input from the control device. When a measurement result of a thin plate-shaped semiconductor component is input from the controller, a rank is determined from the measurement result, and the result of the rank determination is output to a control device.
【0033】本発明に従えば、薄形板状半導体部品のラ
ンク判定結果を、判定手段が直接制御装置に伝えること
によって、従来の技術のように判定手段の判定結果を、
テスタを介することなく、制御装置に伝えることができ
る。これによって伝達時間を短くしてランク判定結果を
制御装置に伝えることができる。たとえば判定手段はパ
ーソナルコンピュータであり、たとえば測定手段はテス
タである。
According to the present invention, the judgment result of the thin plate-shaped semiconductor component is directly transmitted to the control device by the judgment means, so that the judgment result of the judgment means as in the prior art is obtained.
The information can be transmitted to the control device without passing through the tester. As a result, the transmission time can be shortened and the result of the rank determination can be transmitted to the control device. For example, the determining means is a personal computer, and for example, the measuring means is a tester.
【0034】したがって制御装置と測定手段との間に判
定手段を介在させることによって、制御装置および測定
手段のいずれかを取り替えた場合においても、判定手段
がさまざまなインターフェイスを有するので、制御装置
と判定手段との接続または判定手段と測定手段との接続
を容易に行うことができる。
Therefore, by interposing the judging means between the control device and the measuring means, even if one of the control device and the measuring means is replaced, the judging means has various interfaces. Connection with the means or connection between the determination means and the measurement means can be easily performed.
【0035】また本発明は、前記判定手段は、前記測定
手段から得られる測定結果と、検査分類システムの装置
情報とを記憶および管理し、前記測定結果に基づいて、
薄形板状半導体部品のランクを判定することを特徴とす
る。
Further, according to the present invention, the judging means stores and manages a measurement result obtained from the measuring means and device information of a test classification system, and based on the measurement result,
It is characterized in that the rank of the thin plate-shaped semiconductor component is determined.
【0036】本発明に従えば、装置情報は、たとえば、
起動時刻、停止時刻、運転開示時刻、エラー発声時刻、
エラー復帰時刻などの装置の稼動状況を表すデータであ
る。このような装置情報を判定手段が記憶管理すること
ができる。装置情報および薄形板状半導体部品の測定結
果を同時に記憶管理することによって、装置情報の変化
と製造される薄形板状半導体部品のランク判定との関連
性を容易に確認することができる。これによって薄形板
状半導体部品の製造において、ランク低下の悪影響とな
る装置情報を見つけ、改善することによって、より高品
質の薄形板状半導体部品を製造することができる。
According to the present invention, the device information is, for example,
Start time, stop time, driving start time, error utterance time,
This is data indicating the operation status of the apparatus such as the error recovery time. The determination unit can store and manage such device information. By simultaneously storing and managing the device information and the measurement result of the thin plate-shaped semiconductor component, it is possible to easily confirm the relationship between the change of the device information and the rank determination of the manufactured thin plate-shaped semiconductor component. As a result, in the manufacture of the thin plate-shaped semiconductor component, by finding and improving the device information that adversely affects the rank reduction, a higher quality thin plate-shaped semiconductor component can be manufactured.
【0037】また制御装置に装置情報を記憶する判定手
段とは別の管理機器を設置することを無くし、1つの手
段によって検査分類システム全体の管理を容易に行うこ
とができる。特に判定手段にパソコンを用いることによ
って、装置データの加工および表示を容易に行うことが
でき、利用者がシステム全体をさらに容易に管理するこ
とができる。
In addition, it is not necessary to install a management device separate from the determination device for storing the device information in the control device, and the entire inspection and classification system can be easily managed by one device. In particular, by using a personal computer as the determination means, the processing and display of the device data can be easily performed, and the user can more easily manage the entire system.
【0038】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として3つ以上の測定点を
得て、前記判定手段は、前記3つ以上の測定点に基づい
て、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸
との交点を開放電圧値Vocとすることを特徴とする。
Further, according to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, and the measuring means measures voltage-current characteristics of the solar cell, and obtains three or more measurement points as measurement results. The determination means obtains an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and sets an intersection of the approximate line and the voltage axis as an open voltage value Voc.
【0039】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として3つ以上の測定点を
得て、前記判定手段は、前記3つ以上の測定点に基づい
て、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸
との交点を短絡電流値Iscとすることを特徴とする。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, and the measuring means measures voltage-current characteristics of the solar cell, and obtains three or more measurement points as a measurement result. The determination means may determine an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and may set an intersection of the approximate line and the current axis as a short-circuit current value Isc.
【0040】本発明に従えば、3つ以上の測定点を用い
て、開放電圧Vocおよび短絡電流Iscを求めるの
で、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得る
ことができる。また電気的ノイズなどによって異常な測
定結果である測定点が得られても、3つ以上の複数の測
定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧
電流特性を得ることができる。
According to the present invention, the open-circuit voltage Voc and the short-circuit current Isc are obtained using three or more measurement points, so that more accurate voltage-current characteristics can be obtained by correcting the measurement results. Even if a measurement point that is an abnormal measurement result due to electrical noise or the like is obtained, three or more measurement points are used, so that accurate voltage-current characteristics can be obtained except for the abnormal measurement point. .
【0041】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として複数の測定点を得
て、前記判定手段は、前記複数の測定点の中から電圧値
と電流値との積が最大である最大測定点を求め、最大測
定点近傍の複数の測定点のうち、各測定点の差分値に基
づいて異常な測定点を判別し、この異常な測定点を除去
した残りの測定点から近似曲線を求め、近似曲線上の電
圧値と電流値とが最大となる位置を最大電力Pmとする
ことを特徴とする。
Further, in the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, and the measuring means measures a voltage-current characteristic of the solar cell, and obtains a plurality of measurement points as a measurement result. The means determines a maximum measurement point where the product of the voltage value and the current value is the maximum from the plurality of measurement points, and among the plurality of measurement points near the maximum measurement point, based on a difference value of each measurement point. An abnormal measurement point is determined, an approximate curve is obtained from the remaining measurement points from which the abnormal measurement point is removed, and a position where the voltage value and the current value on the approximate curve are maximum is defined as a maximum power Pm. And
【0042】本発明に従えば、判定手段が最大測定点を
求め、最大測定点近傍の予め設定される3つ以上の複数
の点から最大測定点まで隣り合う測定点同士の各差分値
を比較することによって差分値が異常となる測定点を取
り除くことができる。したがって電気的ノイズなどによ
って、異常な測定点が得られても、その異常な測定点を
取り除くことによって、より正確な近似曲線を得ること
ができ、正確な最大電力を得ることができる。
According to the present invention, the judging means finds the maximum measurement point, and compares each difference value between adjacent measurement points from a plurality of preset three or more points near the maximum measurement point to the maximum measurement point. By doing so, it is possible to remove a measurement point at which the difference value becomes abnormal. Therefore, even if an abnormal measurement point is obtained due to electrical noise or the like, a more accurate approximate curve can be obtained by removing the abnormal measurement point, and an accurate maximum power can be obtained.
【0043】表2は、表1に示す測定結果を得た太陽電
池セル10を用いて測定を行い、電気的ノイズが発生し
ている場合の電圧値と電流値との積が最大となる測定点
D1(Vi,Ii)と、その前後の測定点(Vi−1,
Ii−1),(Vi+1,Ii+1)とを示す。
Table 2 shows the results obtained by performing the measurement using the solar cell 10 having obtained the measurement results shown in Table 1, and obtaining the maximum product of the voltage value and the current value when electric noise is generated. Point D1 (Vi, Ii) and measurement points (Vi-1,
Ii-1) and (Vi + 1, Ii + 1).
【0044】[0044]
【表2】 [Table 2]
【0045】図34は、表2の電圧と電流との関係を示
すグラフであり、図34(1)は、電圧電流特性を示
し、図34(2)は、電圧電力特性を示す。前述の従来
の技術のラグランジュの2次補間式を用いた場合、最大
出力電圧Vpmは、約0.4797Vであり、最大出力
電流Ipmは、4.9202Aである。したがって最大
電力Pmは2.3601Wとなる。電気的ノイズが発生
していない正常時の最大電力は、表1に示すように、
2.1545Wであるのに対して、電気的ノイズが発生
した場合の最大電力は、表2に示すように、2.360
1Wである。このように従来の技術の最大電力測定法で
は、約10パーセントの測定誤差が発生するという問題
がある。本発明に従えばこのような電気的ノイズなどに
よる異常な測定点を除去して近似曲線を得ることができ
るので、電気的ノイズなどの影響を減少させることがで
きる。
FIG. 34 is a graph showing the relationship between the voltage and the current in Table 2. FIG. 34 (1) shows the voltage-current characteristics, and FIG. 34 (2) shows the voltage-power characteristics. When the above-described Lagrangian quadratic interpolation formula of the related art is used, the maximum output voltage Vpm is about 0.4797 V, and the maximum output current Ipm is 4.9202 A. Therefore, the maximum power Pm is 2.3601 W. As shown in Table 1, the maximum power during normal operation when no electrical noise occurs is as follows:
2.545 W, whereas the maximum power when electrical noise occurs is 2.360 W as shown in Table 2.
1W. As described above, the maximum power measuring method of the related art has a problem that a measurement error of about 10% occurs. According to the present invention, since an abnormal measurement point due to such electrical noise or the like can be removed and an approximate curve can be obtained, the influence of electrical noise or the like can be reduced.
【0046】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は、光を照射しない暗
測定時に、予め定める電圧の近傍で電圧走査を行い、電
圧電流測定を行うことを特徴とする。
Further, according to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, and the measuring means performs voltage scanning near a predetermined voltage at the time of dark measurement without irradiating light to perform voltage / current measurement. It is characterized by performing.
【0047】本発明に従えば、暗測定時に測定手段が一
部の範囲の電圧走査を行う。これによって電圧走査を行
う範囲を減少させることができ、電圧走査に費やす時間
を減少させることができる。これによって薄形板状半導
体部品の検査工程に費やす検査時間を減少させることが
でき、検査分類システムの単位時間あたりの検査分類数
を向上することができる。
According to the present invention, at the time of dark measurement, the measuring means scans a part of the voltage. As a result, the range in which voltage scanning is performed can be reduced, and the time spent for voltage scanning can be reduced. As a result, the inspection time spent in the inspection process of the thin plate-shaped semiconductor component can be reduced, and the number of inspection classifications per unit time of the inspection classification system can be improved.
【0048】また本発明は、各ストック部は複数枚の薄
形板状半導体部品を保持し、ストック部が保持する薄形
板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、複数の薄形板
状半導体部品は、収納手段によってまとめて収納部に収
納されることを特徴とする。
Further, according to the present invention, each stock portion holds a plurality of thin plate-like semiconductor components, and when the number of thin plate-like semiconductor components held by the stock portion exceeds a predetermined number, a plurality of thin plate-like semiconductor components are provided. A semiconductor device is characterized in that the semiconductor parts are collectively stored in a storage unit by a storage unit.
【0049】本発明に従えば、ストック部に保持される
複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて収納
部に収納される。したがって一度の搬送動作によって複
数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送するこ
とができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることが
できる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品
が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一
度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にするこ
とができ、収納部への収納を容易に行うことができる。
According to the present invention, a plurality of thin plate-shaped semiconductor components held in the stock portion are collectively stored in the storage portion. Therefore, a plurality of thin plate-shaped semiconductor components can be simultaneously transferred to the storage section by a single transfer operation, and the transfer amount per unit time can be increased. When the number of the thin plate-shaped semiconductor components held by the stock unit exceeds a predetermined number, the storage unit conveys the thin plate-shaped semiconductor components. Can be easily stored.
【0050】また本発明は、前記収納部は、検査分類シ
ステムから着脱可能に設けられ、前記収納部に収容され
る薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、検査分
類システムから払い出されることを特徴とする。
Further, according to the present invention, the storage section is provided detachably from the inspection and classification system, and is paid out from the inspection and classification system when the number of the thin plate-shaped semiconductor components stored in the storage section exceeds a predetermined number. It is characterized by the following.
【0051】本発明に従えば、収納部に収容される薄形
板状半導体部品が、所定枚数を超えた場合、検査分類シ
ステムから払い出される。このとき薄形板状半導体部品
が収納されていない別の収納部が検査装置に取り付けら
れることによって、収納手段は、新しく取り付けられた
収納部に薄形板状半導体部品を収納することができる。
これによって収納部に収納された薄形板状半導体部品を
取り出す作業は、収納手段の収納作業とは独立して行う
ことができる。したがって収納部から薄形板状半導体部
品を取り出す作業が行われている間も、一時停止するこ
となく別の収納部に薄形板状半導体部品を収納すること
ができる。これによって収納手段が停止することなく、
収納動作を継続することができるので、薄形板状半導体
部品の単位時間あたりの搬送量を向上することができ
る。
According to the present invention, when the number of the thin plate-shaped semiconductor components accommodated in the accommodation portion exceeds a predetermined number, the semiconductor component is paid out from the inspection and classification system. At this time, by attaching another storage portion in which the thin plate-shaped semiconductor component is not stored to the inspection device, the storage means can store the thin plate-shaped semiconductor component in the newly mounted storage portion.
Thus, the operation of taking out the thin plate-shaped semiconductor component stored in the storage section can be performed independently of the storage operation of the storage means. Therefore, even while the work of taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the storage portion is performed, the thin plate-shaped semiconductor component can be stored in another storage portion without being temporarily stopped. As a result, the storage means does not stop,
Since the storing operation can be continued, the transport amount of the thin plate-shaped semiconductor component per unit time can be improved.
【0052】また本発明は、所定枚数の薄形板状半導体
部品が収容されて払い出された収納部が、同一ランクの
薄型板状半導体部品をまとめて次の工程に搬送するため
の箱として用いられることを特徴とする。
Further, according to the present invention, the storage portion in which a predetermined number of thin plate-shaped semiconductor components are stored and paid out is used as a box for collectively transporting thin plate-shaped semiconductor components of the same rank to the next step. It is characterized by being used.
【0053】本発明に従えば、収納部ごと薄形板状半導
体部品を、次の製造工程に搬送することができる。した
がって収納部から別の箱に薄形板状半導体部品を移し換
える作業工程を省くことができる。また収納部によって
薄形板状半導体部品を保護して、次工程に搬送すること
ができる。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component together with the storage section can be transported to the next manufacturing process. Therefore, an operation process for transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the storage section to another box can be omitted. Further, the thin plate-shaped semiconductor component can be protected by the storage portion and transported to the next step.
【0054】また本発明は、前記分類装置は、検査後の
薄形板状半導体部品を一時的に保持する搬送部と、検査
装置から搬送部に順次搬送する第1の搬送手段とを有
し、前記ストック部は、収納部毎に設けられ、収納前の
薄形板状半導体部品を保持するバッファ部と、バッファ
部と収納部との間に設けられ、収納前の薄形板状半導体
部品を一時的に収納する一時収納部と、バッファ部から
一時収納部へ薄形板状半導体部品を搬送する第2の搬送
手段と、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を
収納する収納手段とを備えることを特徴とする。
Further, according to the present invention, the classification device has a transport portion for temporarily holding the thin plate-shaped semiconductor component after inspection, and a first transport means for sequentially transporting the semiconductor device from the inspection device to the transport portion. The stock section is provided for each storage section, and a buffer section for holding the thin plate-shaped semiconductor component before storage, and between the buffer section and the storage section, the thin plate-shaped semiconductor component before storage. , A second storage means for transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the buffer unit to the temporary storage unit, and storing the thin plate-shaped semiconductor component from the temporary storage unit to the storage unit. Storage means.
【0055】本発明に従えば、搬送部から取り入れ手段
によって薄形板状半導体部品をストック部のバッファ部
に一時的に収納することができるので、順次搬送される
薄形板状半導体部品を収納部に収納する動作と搬送部か
ら薄形板状半導体部品を取り出す動作とを同時に行うこ
とができる。これによって薄形板状半導体部品を収納部
に収納する動作にかかわらず搬送部から薄形板状半導体
部品を取り出すことができる。したがって収納手段およ
び取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体
部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向
上することができる。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor parts can be temporarily stored in the buffer section of the stock section by the taking-in means from the transfer section, so that the thin plate-shaped semiconductor parts to be sequentially transferred are stored. The operation of accommodating the thin plate-shaped semiconductor component from the transporting section and the operation of taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the transport section can be performed simultaneously. Thus, the thin plate-shaped semiconductor component can be taken out of the transport unit regardless of the operation of storing the thin plate-shaped semiconductor component in the storage unit. Therefore, the thin plate-shaped semiconductor component can be stored in the storage section without stopping the storage means and the intake means, and the operation rate of the apparatus can be improved.
【0056】さらにストック部24が、バッファ部と一
時収容部とを有し、バッファ部から一時収容部に第2の
搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が
薄形板状半導体部品をストック部に取り入れる部分と、
収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出
す部分とを異なる位置に設けることができるので、収納
手段と取り入れ手段とが接触することを防止することが
できる。
Further, the stock section 24 has a buffer section and a temporary accommodating section, and transports from the buffer section to the temporary accommodating section by the second transport means. Therefore, the taking-in means takes in the thin plate-shaped semiconductor parts into the stock part,
Since the accommodating means can be provided at a different position from the portion for taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the stock portion, it is possible to prevent the accommodating means and the intake means from coming into contact with each other.
【0057】また本発明は、薄形板状半導体部品は、略
鉛直な立位状態で収納部に収納されることを特徴とす
る。
Further, the present invention is characterized in that the thin plate-shaped semiconductor component is stored in the storage portion in a substantially vertical standing state.
【0058】本発明に従えば、薄形板状半導体部品は、
立位状態で収納部に収納されるので、薄形板状半導体部
品が、寝た状態で積層して収納される場合に比べて、接
触する面積が少なく、部品表面が損傷する可能性を少な
くすることができる。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is
Since the semiconductor device is stored in the storage portion in the upright position, the contact area is smaller and the possibility of damage to the component surface is reduced as compared with the case where the thin plate-shaped semiconductor components are stacked and stored in a lying state. can do.
【0059】また本発明は、前記第2の搬送手段には、
薄形板状半導体部品に所定以上の負荷がかかったことを
検出する過負荷検出手段が設けられることを特徴とす
る。
Further, according to the present invention, the second transport means includes:
An overload detecting means for detecting that a load equal to or more than a predetermined value is applied to the thin plate-shaped semiconductor component is provided.
【0060】本発明に従えば、バッファ部から一時収納
部へ搬送するとき、過負荷検出手段が設けられるので、
搬送時に異常な負荷が生じたときに、即座に第2の搬送
手段を停止することができる。
According to the present invention, an overload detecting means is provided when the sheet is transported from the buffer section to the temporary storage section.
When an abnormal load occurs during transport, the second transport unit can be stopped immediately.
【0061】また本発明は、前記一時収納部は、薄形板
状半導体部品を水平状態から立位状態に反転させる反転
手段を有することを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that the temporary storage section has a reversing means for reversing the thin plate-like semiconductor component from a horizontal state to a standing state.
【0062】本発明に従えば、一時収納部の有する反転
手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持す
ることができる。したがって収納手段に、薄形板状半導
体部品を反転させる機構を設ける必要がない。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component can be held in the upright position by the reversing means of the temporary storage portion. Therefore, it is not necessary to provide a mechanism for inverting the thin plate-shaped semiconductor component in the storage means.
【0063】また本発明は、前記収納手段は、反転手段
によって立てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状
態で保持し、収納部へ搬送するハンドを有することを特
徴とする。
Further, the present invention is characterized in that the storing means has a hand which holds the plurality of thin plate-shaped semiconductor components set up by the reversing means in an upright state and transports them to the storing section.
【0064】本発明に従えば、薄形板状半導体部品を収
納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、収納
動作時間を短縮することができる。またハンドは、立位
状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保
持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ
確実に収納部に搬送することができる。
According to the present invention, since a plurality of hands for transporting the thin plate-shaped semiconductor component to the storage section are simultaneously transported, the storage operation time can be reduced. Further, since the hand holds and transports the thin plate-shaped semiconductor component stored in the upright state, the hand can be easily and reliably transported to the storage section without requiring a complicated operation.
【0065】また本発明は、前記ハンドは、立位状態に
ある薄形板状半導体部品に平行に配置される側壁と、こ
の側壁の底部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保
持部材を有し、この保持部材を立位状態にある薄形板状
半導体部品の両側に配置し、互いに近接させて薄型板状
半導体部品の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させる
ことによって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持し
て搬送することを特徴とする。
According to the present invention, there is also provided the hand, wherein the hand has a pair of holding members each having a side wall arranged in parallel with the thin plate-shaped semiconductor component in the upright position, and a bottom wall substantially perpendicular to the bottom of the side wall. By disposing the holding member on both sides of the thin plate-shaped semiconductor component in the upright position, disposing the bottom wall under the thin plate-shaped semiconductor component in close proximity to each other, and raising the hand, The thin plate-shaped semiconductor component is transported while being held in an upright state.
【0066】本発明に従えば、一対の保持部材に薄形板
状半導体部品を立位状態で乗載して、取り出すことが可
能であり、薄形板状半導体部品の表面を損傷することな
く搬送することができる。また薄形板状半導体部品を乗
載して搬送するので、薄形板状半導体部品を挟持して搬
送する場合に比べて、搬送時に薄形板状半導体部品に負
荷がかからず薄形板状半導体部品の破損を防止すること
ができる。
According to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component can be mounted on the pair of holding members in an upright state and can be taken out without damaging the surface of the thin plate-shaped semiconductor component. Can be transported. Also, since the thin plate-shaped semiconductor components are mounted and transported, compared to the case where the thin plate-shaped semiconductor components are sandwiched and transported, the load is not applied to the thin plate-shaped semiconductor components during transportation, and The semiconductor device can be prevented from being damaged.
【0067】また本発明は、前記収納部には、上部に開
口が形成され、底部には弾発性を有する緩衝部材が設け
られることを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that an opening is formed in an upper portion of the storage portion, and a resilient cushioning member is provided in a bottom portion.
【0068】本発明に従えば、収納部には、緩衝材が設
けられるので、収納している薄形板状半導体部品が衝撃
によって破損する可能性を低下させることができる。
According to the present invention, since the buffer is provided in the storage section, the possibility that the stored thin plate-shaped semiconductor component is damaged by impact can be reduced.
【0069】また本発明は、前記収納部の両側壁には、
上下方向に伸び、薄形板状半導体部品を立位状態に保持
する複数対の支持部材が設けられ、前記緩衝部材は収納
部の底部両側に配置され、底部中央に溝が設けられるこ
とを特徴とする。
Further, according to the present invention, on both side walls of the storage section,
A plurality of pairs of support members are provided that extend in the vertical direction and hold the thin plate-shaped semiconductor component in an upright state, the buffer members are arranged on both sides of the bottom of the storage unit, and a groove is provided in the center of the bottom. And
【0070】本発明に従えば、収納部は、底部両側に緩
衝部材が配置され、底部中央部に溝が設けられる。収納
部の両側部に支持部材が形成されている。したがって薄
形板状半導体部品を保持するための充分な隙間が底部お
よび側部に形成され、ハンドによる薄形板状半導体部品
の収納および取り出しを容易に行うことができる。
According to the present invention, the storage section is provided with buffer members on both sides of the bottom and a groove in the center of the bottom. Support members are formed on both sides of the storage section. Therefore, a sufficient gap for holding the thin plate-shaped semiconductor component is formed at the bottom and side portions, and the thin plate-shaped semiconductor component can be easily stored and taken out by hand.
【0071】また本発明は、前記収納部は、次工程に薄
形板状半導体部品を搬送するための箱として用いられる
ことを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that the storage section is used as a box for transporting a thin plate-shaped semiconductor component in the next step.
【0072】本発明に従えば収納部ごと次工程に搬送す
ることができるので、次工程に搬送するための通い箱と
して利用できる。したがって収納部から通い箱に薄形板
状半導体部品を移し換える作業工程を省くことができ
る。
According to the present invention, since the entire storage section can be transported to the next step, it can be used as a returnable box for transporting to the next step. Therefore, the work process of transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the storage section to the return box can be omitted.
【0073】また本発明は、前記第1の搬送手段または
前記第2の搬送手段は、前ステージと後ステージと、薄
形板状半導体部品を乗載し、前ステージから後ステージ
へ搬送する搬送ステージとを備え、搬送ステージは、前
ステージの下から上昇することによって前ステージ上か
ら搬送ステージ上に薄形板状半導体部品を移し換え、前
ステージ上から後ステージ上へ移動し、後ステージの上
方から下方に、搬送ステージが下降することによって、
搬送ステージ上から後ステージ上に薄形板状半導体部品
を移し換え、後ステージの下方から前ステージの下方に
移動するとき、前ステージ側へ移動するにつれて下方に
傾斜するように移動することを特徴とする。
Further, according to the present invention, the first transfer means or the second transfer means may include a front stage, a rear stage, and a conveyance on which the thin plate-shaped semiconductor component is mounted and transferred from the front stage to the rear stage. And a transfer stage, wherein the transfer stage moves up from below the front stage to transfer the thin plate-shaped semiconductor component from the front stage to the transfer stage, moves from the front stage to the rear stage, and moves to the rear stage. By lowering the transfer stage from above to below,
The thin plate-shaped semiconductor component is transferred from the transfer stage to the rear stage, and when moving from below the rear stage to below the front stage, the semiconductor device moves so as to be inclined downward as it moves toward the front stage. And
【0074】図35は、従来のウォーキング搬送動作を
示す図である。図35(1)のように搬送ステージ13
は、前ステージ11の下方から上昇し、前ステージ11
に待機中の太陽電池セル10を持ち上げ、前ステージ1
1から離脱させて搬送ステージ13に乗載する。太陽電
池セル10を乗載した搬送ステージ13は、図35
(2)、図35(3)のように後ステージ12へ水平移
動する。
FIG. 35 is a diagram showing a conventional walking transport operation. The transfer stage 13 as shown in FIG.
Rises from below the previous stage 11 and
Lifts the waiting solar cell 10 to the front stage 1
1 and is mounted on the transport stage 13. The transfer stage 13 on which the solar cell 10 is mounted is shown in FIG.
(2) Horizontally move to the rear stage 12 as shown in FIG.
【0075】次に図35(4)のように搬送ステージ1
3が、後ステージ12の上方から下降することによっ
て、後ステージ12に太陽電池セル10を載置する。太
陽電池セル10を載置した搬送ステージ13は、後ステ
ージ12の下方に移動した後、前ステージへ水平移動
し、再び前ステージ11の下方に達する。このような動
作を繰り返すことによって、前ステージ11に待機する
太陽電池セル10を後ステージ12に搬送することがで
きる。
Next, as shown in FIG.
The solar cell 10 is placed on the rear stage 12 by descending from above the rear stage 12. The transfer stage 13 on which the photovoltaic cells 10 are mounted moves below the rear stage 12, moves horizontally to the front stage, and reaches below the front stage 11 again. By repeating such an operation, the solar cells 10 waiting on the front stage 11 can be transported to the rear stage 12.
【0076】このように従来の搬送ステージでは、前ス
テージおよび後ステージの下の領域において、直角に曲
がりながら、移動するため無駄な動きがあった。
As described above, in the conventional transfer stage, in the area below the front stage and the rear stage, it moves while bending at a right angle, so that there is useless movement.
【0077】これに対し、本発明では、搬送ステージが
後ステージの下方から前ステージの下方に移動するとき
に、前ステージ側に移動するにつれて下方に傾斜するよ
うに移動する。したがって後ステージの下方に移動して
前ステージの下方に移動するときに比べて、搬送ステー
ジの移動する距離が短くなり、動作時間を短縮すること
ができる。
On the other hand, in the present invention, when the transfer stage moves from below the rear stage to below the front stage, it moves so as to be inclined downward as it moves toward the front stage. Therefore, the moving distance of the transfer stage is shorter than when moving below the rear stage and moving below the previous stage, and the operation time can be shortened.
【0078】[0078]
【発明の実施の形態】本発明は、太陽電池セルまたは半
導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を測定結果に応じ
てランク別に分類収納を行う薄形板状半導体部品の検査
分類システム20である。ランクはたとえば薄形板状半
導体部品の電気的性能である。薄形板状半導体部品は、
生産される薄形板状半導体部品の性能に基づいて、複数
の段階に判定される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention is an inspection and classification system 20 for a thin plate-like semiconductor component, which sorts and stores thin plate-like semiconductor components such as a solar cell or a semiconductor wafer according to a rank according to a measurement result. . The rank is, for example, the electrical performance of the thin plate-shaped semiconductor component. Thin plate-shaped semiconductor parts are
The determination is made in a plurality of stages based on the performance of the thin plate-shaped semiconductor component to be produced.
【0079】図1は、本発明の実施の一形態である薄形
板状半導体部品の検査分類システム20を示すブロック
図である。本実施の形態での薄形板状半導体部品は、矩
形板状の太陽電池セル30である。検査分類システム2
0は、太陽電池セル30のランクを判定する検査装置2
1と、ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル30を
分類する分類装置300と、検査分類システム20を統
括的に制御する図示しない制御装置とを有する。また分
類装置300は、第1の搬送手段22、搬送部25、取
り入れ手段34、複数の収納部23および収納部23の
数に応じた複数のストック部24とを含んで構成され
る。
FIG. 1 is a block diagram showing an inspection and classification system 20 for a thin plate-shaped semiconductor component according to an embodiment of the present invention. The thin plate-shaped semiconductor component in the present embodiment is a rectangular plate-shaped solar cell 30. Inspection classification system 2
0 is the inspection device 2 for determining the rank of the solar cell 30
1 and a classification device 300 for classifying the photovoltaic cells 30 based on the rank determination result, and a control device (not shown) for generally controlling the inspection and classification system 20. In addition, the classification device 300 is configured to include a first transport unit 22, a transport unit 25, an intake unit 34, a plurality of storage units 23, and a plurality of stock units 24 according to the number of storage units 23.
【0080】また検査装置21は、太陽電池セル30の
電圧電流特性を測定する測定手段と、測定手段によって
得られる測定結果に応じて、複数のランクを判定する判
定手段とを有する。測定手段はたとえばテスタであり、
判定手段は、たとえばパソコンである。
The inspection device 21 has a measuring means for measuring the voltage-current characteristics of the solar cell 30 and a judging means for judging a plurality of ranks according to the measurement result obtained by the measuring means. The measuring means is, for example, a tester,
The determination means is, for example, a personal computer.
【0081】検査装置21は、順次搬送される太陽電池
セル30を検査し、ランク別に判定する。第1の搬送手
段22は、検査装置21によって判定された太陽電池セ
ル30を所定の搬送経路に沿って、搬送部25に順次搬
送する。搬送部25は、太陽電池セル30を一時的に保
持する。搬送部25に搬送された太陽電池セル30は、
取り入れ手段34によって、各ランクに応じたストック
部24に取り入れられる。複数のストック部24は、バ
ッファ部31、スライド部32および一時収容部33を
それぞれ有している。
The inspection device 21 inspects the solar cells 30 that are sequentially conveyed, and makes a determination for each rank. The first transport unit 22 sequentially transports the solar cells 30 determined by the inspection device 21 to the transport unit 25 along a predetermined transport path. The transport unit 25 temporarily holds the solar battery cells 30. The solar cells 30 transported to the transport unit 25 are:
The intake means 34 takes in the stock portions 24 corresponding to each rank. The plurality of stock units 24 each have a buffer unit 31, a slide unit 32, and a temporary storage unit 33.
【0082】図2は、検査分類システム20の搬送動作
を示すフローチャートである。ステップf0では、スト
ック部24が、太陽電池セル30を積載可能な状態で待
機し、取り入れ手段34によって、太陽電池セル30が
積載されると、ステップf1に進む。ステップf1で
は、太陽電池セル30がストック部24に積載される。
ストック部24は、カウンタによって、ストック部24
に積載される太陽電池セル30の総枚数Bxをカウント
し、ステップf2に進む。
FIG. 2 is a flowchart showing the transport operation of the inspection and classification system 20. In step f0, the stock unit 24 stands by in a state where the solar cells 30 can be loaded. When the loading unit 34 loads the solar cells 30, the process proceeds to step f1. In step f1, the solar cells 30 are stacked on the stock unit 24.
The stock unit 24 is controlled by the counter.
The total number Bx of the photovoltaic cells 30 loaded in is counted, and the process proceeds to step f2.
【0083】ステップf2では、ストック部24が、ス
トック部24に積載される総枚数Bxと所定の一定枚数
Const1とを比較し、総枚数Bxが所定の第1の一
定枚数Const1を超えたか否かを判断する。総枚数
Bxが所定の第1の一定枚数Const1を超えない場
合、ステップf0に戻り、ストック部24は再び積載待
機状態になる。また総枚数Bxが所定の第1の一定枚数
Const1を超えた場合、ステップf3に進む。
In step f2, the stock unit 24 compares the total number Bx loaded on the stock unit 24 with the predetermined constant number Const1, and determines whether the total number Bx exceeds the predetermined first constant number Const1. Judge. If the total number Bx does not exceed the predetermined first constant number Const1, the process returns to step f0, and the stock unit 24 enters the stacking standby state again. If the total number Bx exceeds the first predetermined number Const1, the process proceeds to step f3.
【0084】ステップf3では、バッファ部31に保持
された複数の太陽電池セル30が、収納手段35によっ
て、収納部23に収納される。また収納部23は、収納
部23に収納される太陽電池セル30の総枚数Nxをカ
ウントし、ステップf4に進む。ステップf4では、収
納部23に収納される総枚数Nxと所定の第2の一定枚
数Const2とを比較し、総枚数Nxが所定の第2の
一定枚数Const2を超えたか否かを判断する。総枚
数Nxが所定の第2の一定枚数Const2を超えない
場合、ステップf3に戻り、収納部23は収納待機状態
になる。また総枚数Nxが所定の第2の一定枚数Con
st2を超えた場合、収納部23が太陽電池セル30で
満杯状態となり、ステップf5に進む。
In step f3, the plurality of solar cells 30 held in the buffer unit 31 are stored in the storage unit 23 by the storage unit 35. The storage unit 23 counts the total number Nx of the solar cells 30 stored in the storage unit 23, and proceeds to step f4. In step f4, the total number Nx stored in the storage unit 23 is compared with the second predetermined number Const2 to determine whether the total number Nx exceeds the second predetermined number Const2. If the total number Nx does not exceed the second predetermined number Const2, the process returns to step f3, and the storage unit 23 enters a storage standby state. Further, the total number Nx is a predetermined second constant number Con.
When st2 is exceeded, the storage unit 23 is filled with the solar cells 30 and the process proceeds to step f5.
【0085】ステップf5では、収納部23が検査分類
システム20から払い出される。収納部23は、同一の
ランクの太陽電池セル30を収納する。太陽電池セル3
0は、収納部23ごと次の工程に搬送される。このよう
に収納部23は、次工程に太陽電池セル30を搬送する
ための箱である通い箱となる。
At step f 5, the storage section 23 is paid out from the inspection and classification system 20. The storage unit 23 stores solar cells 30 of the same rank. Solar cell 3
0 is transported to the next step together with the storage section 23. As described above, the storage section 23 becomes a return box which is a box for transporting the solar cell 30 in the next step.
【0086】また太陽電池セル30が収納されていな
い、別の収納部23が検査分類システム20に取り付け
られる。収納手段35は、新しく取り付けられた別の収
納部23に太陽電池セル30を収納する。これによって
再び収納部23に太陽電池セル30が収納可能な状態に
なり、ステップf6に進み、検査分類システム20によ
る太陽電池セル30の搬送動作が終了する。次に動作は
再びステップf0に進み、ストック部24が、太陽電池
セル30を積載可能な状態で待機する。また検査装置2
1から太陽電池セル30をストック部24に搬送する取
り入れ手段34と、ストック部24から収納部23に搬
送する収納手段35とは、独立して動くことができる。
Further, another storage section 23 in which the solar cell 30 is not stored is attached to the inspection and classification system 20. The storage means 35 stores the solar cell 30 in another storage part 23 newly attached. As a result, the solar cells 30 can be stored again in the storage unit 23, and the process proceeds to step f6, where the transport operation of the solar cells 30 by the inspection and classification system 20 ends. Next, the operation proceeds to step f0 again, and the stock unit 24 waits in a state where the solar cells 30 can be loaded. Inspection device 2
The intake means 34 for transporting the solar cells 30 from 1 to the stock unit 24 and the storage means 35 for transporting the solar cells 30 from the stock unit 24 to the storage unit 23 can move independently.
【0087】図3は、検査分類システム20の主要な部
分を示す斜視図である。ストック部24の動作について
説明する。太陽電池セル30は、搬送部25から取り入
れ手段34によって取り出され、一挙に各ストック部2
4にあるバッファ部31に取り入れられる。バッファ部
31は、収納前の太陽電池セル30を水平状態で積載し
て保持する。バッファ部31に取り入れられた太陽電池
セル30は、所定の枚数になると第2の搬送手段である
スライドユニット36によってスライド部32を通過
し、一時収容部33に搬送される。一時収容部33は、
バッファ部31と収容部23との間に設けられ、搬送さ
れた太陽電池セル30を反転させて立位状態に保持す
る。立位状態に保持された複数枚の太陽電池セル30
は、立位状態を保ったまま収納手段35によって搬送さ
れ、立位状態を保ったまま収納部23に収納される。
FIG. 3 is a perspective view showing a main part of the inspection and classification system 20. The operation of the stock unit 24 will be described. The photovoltaic cells 30 are taken out of the transport section 25 by the take-in means 34, and the stock sections 2
4 is taken into the buffer unit 31. The buffer unit 31 stacks and holds the solar cells 30 before storage in a horizontal state. When the number of solar cells 30 taken into the buffer unit 31 reaches a predetermined number, the solar cells 30 pass through the slide unit 32 by the slide unit 36 as the second transfer unit and are transferred to the temporary storage unit 33. The temporary storage unit 33
The photovoltaic cell 30 provided between the buffer unit 31 and the housing unit 23 is turned upside down and held in an upright position. A plurality of solar cells 30 held in an upright state
Is transported by the storage means 35 while maintaining the upright state, and is stored in the storage section 23 while maintaining the upright state.
【0088】収納部23は、太陽電池セル30で満杯と
なると、検査分類システム20から取り外される。収納
部23に収納される太陽電池セル30は、収納部23ご
と次の製造工程に搬送される。
When the storage unit 23 is full of the solar cells 30, it is removed from the inspection and classification system 20. The solar battery cells 30 stored in the storage section 23 are transported together with the storage section 23 to the next manufacturing process.
【0089】図4は、検査分類システムに搬送される太
陽電池セル30の動きを示すフローチャートである。ス
テップg0では、検査分類工程の前工程を終えた太陽電
池セル30が検査分類システム20に投入され、ステッ
プg1に進む。
FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the solar cell 30 transported to the inspection and classification system. In step g0, the photovoltaic cells 30 that have completed the pre-process of the inspection and classification process are put into the inspection and classification system 20, and the process proceeds to step g1.
【0090】ステップg1では、太陽電池セル30が検
査装置21に搬送され、太陽電池セル30のランクが判
定される。ランクが判定されると、ステップg2に進
む。ステップg2では、太陽電池セル30は、取り入れ
手段34によってストック部24に搬送される。このと
き太陽電池セル30は、検査装置21によって判定され
たランクに基づいて、各ストック部24に振り分けられ
る。したがって太陽電池セル30は、ランクごとに分類
されて各ストック部24に保持される。ストック部24
に収納される太陽電池セル31の総数Bxが所定枚数C
onst1を超えた場合、ステップg3に進む。
In step g1, the solar cells 30 are transported to the inspection device 21, and the rank of the solar cells 30 is determined. When the rank is determined, the process proceeds to step g2. In step g2, the solar cell 30 is transported to the stock unit 24 by the intake unit 34. At this time, the photovoltaic cells 30 are distributed to the respective stock units 24 based on the rank determined by the inspection device 21. Therefore, the solar cells 30 are classified by rank and held in each stock unit 24. Stock unit 24
The total number Bx of the solar cells 31 stored in the
If it exceeds onst1, the process proceeds to step g3.
【0091】ステップg3では、収納手段35によっ
て、順次太陽電池セル30が収容部23に収納され、複
数枚の太陽電池セル30が収納部23に収納される。ま
た収納部23は、前述したように、次工程に太陽電池セ
ル30を搬送するための通い箱となる。収納部23に収
納される太陽電池セル30が所定枚数Const2を超
えた場合、ステップg4に進み、太陽電池セル30は、
次の工程に収納部23ごと搬送され、検査分類システム
20における太陽電池セル30の一連の動きが終了す
る。
In step g3, the storage means 35 sequentially stores the solar cells 30 in the storage section 23, and stores a plurality of solar cells 30 in the storage section 23. Further, as described above, the storage section 23 is a return box for transporting the solar cell 30 in the next step. When the number of the solar cells 30 stored in the storage unit 23 exceeds the predetermined number Const2, the process proceeds to step g4, and the solar cells 30
In the next step, the entire storage unit 23 is transported, and a series of movements of the solar cell 30 in the inspection and classification system 20 is completed.
【0092】図5は、検査装置21の構成を示すブロッ
ク図である。検査装置21は、順次搬送される太陽電池
セル30を検査し、ランク別に判定する。検査装置21
は、測定手段であるテスタ27とシュミレータランプ2
5とシャッター手段と判定手段であるパソコン28とを
有する。
FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of the inspection apparatus 21. The inspection device 21 inspects the solar cells 30 that are sequentially conveyed, and determines each of the ranks. Inspection device 21
Is a tester 27 as a measuring means and the simulator lamp 2
5, a shutter means and a personal computer 28 which is a judgment means.
【0093】検査装置21は、太陽電池セル30にコン
タクトプローブ26を接触させ、シュミレータランプ2
5によって光を照射およびシャッター手段によって光を
遮断したときの電圧電流特性をテスタ27によって測定
し、測定された測定結果をパソコン28によって判定お
よび保存する。またこれらの動作は制御装置であるCP
U29の命令によって行われる。CPU29は、たとえ
ばシーケンサであって、検査装置21および分類装置3
00を統括的に制御する。
The inspection device 21 brings the contact probe 26 into contact with the solar cell 30 and the simulator lamp 2
The voltage and current characteristics when the light is irradiated by 5 and the light is blocked by the shutter means are measured by the tester 27, and the measured result is judged and stored by the personal computer. These operations are performed by the control device CP.
It is performed by the instruction of U29. The CPU 29 is, for example, a sequencer, and includes the inspection device 21 and the classification device 3.
00 is generally controlled.
【0094】図6は、テスタ27の測定回路を簡略化し
て示す回路図である。太陽電池セル30は、日本工業規
格の結晶系太陽電池セルの出力測定方法(JIS C
8913)に規定される4端子法で計測される。電流測
定用端子および電圧測定用端子の一端部をXYレコーダ
200に接続する。また太陽電池セル30は、バイアス
電源201から電圧が印加される。バイアス電源201
は、太陽電池セル30に加える電圧を走査して印加する
ことができる。太陽電池セル30に加える電圧を走査し
て与え、電圧電流特性曲線をXYレコーダ200によっ
て記録する。
FIG. 6 is a simplified circuit diagram showing a measurement circuit of the tester 27. The photovoltaic cell 30 is based on a method of measuring the output of a crystalline solar cell according to Japanese Industrial Standards (JIS C).
8913) is measured by a four-terminal method. One end of each of the current measurement terminal and the voltage measurement terminal is connected to the XY recorder 200. Further, a voltage is applied to the solar cell 30 from the bias power supply 201. Bias power supply 201
Can be applied by scanning a voltage applied to the solar cell 30. The voltage applied to the solar cell 30 is scanned and applied, and a voltage-current characteristic curve is recorded by the XY recorder 200.
【0095】図7は、テスタ27の測定回路を簡略化し
て示す他の回路図である。太陽電池セル30は、バイア
ス電源201から電圧が印加される。バイアス電源20
1から太陽電池セル30に加える電圧を段階的に変化さ
せ、そのときの電圧電流測定値を電流測定器202およ
び電圧測定器203を用いて測定する。この測定値を基
に電圧電流特性曲線を描く。
FIG. 7 is another circuit diagram showing a simplified measurement circuit of the tester 27. In FIG. The solar cell 30 is applied with a voltage from the bias power supply 201. Bias power supply 20
The voltage applied to the solar cell 30 from 1 is changed stepwise, and the voltage / current measurement value at that time is measured using the current measuring device 202 and the voltage measuring device 203. A voltage-current characteristic curve is drawn based on the measured values.
【0096】図8は、太陽電池セル30のランク判定の
流れを示すブロック図である。検査分類システム20
は、検査分類システム全体を制御し、太陽電池セル10
の搬送命令および検査実施命令を行うCPU29と、電
圧電流特性測定を行うテスタ27とテスタ27の測定結
果に基づいて、各ランクに判定するパソコン28とを有
する。検査装置21は、このようなテスタ27とパソコ
ン28とを有する。
FIG. 8 is a block diagram showing a flow of rank determination of the solar cell 30. Inspection classification system 20
Controls the entire inspection and classification system, and
And a personal computer 28 that determines each rank based on the measurement result of the tester 27 that measures voltage-current characteristics. The inspection device 21 has such a tester 27 and a personal computer 28.
【0097】CPU29は、パソコン28へ測定実施命
令204を与える。測定実施命令204が与えられたパ
ソコン28は、太陽電池セル30の電圧電流測定の測定
実施命令205をテスタ27に伝える。測定実施命令2
05を受けたテスタ27は、太陽電池セル30の電圧電
流測定を実施206する。テスタ27は、測定実施後に
測定によって得られた生データ207をパソコン28に
与える。パソコン28は、生データ207を基に、測定
値を算出208し、ランクを判定209する。ランクを
判定したパソコン28は、ランク判定結果211を直接
CPU29に与える。CPU29は、このランク判定結
果に基づいて、太陽電池セル30をランクごとに分類し
て収納部23に搬送するように取り入れ手段34に命令
を与える。
The CPU 29 gives a measurement execution command 204 to the personal computer 28. The personal computer 28 to which the measurement execution command 204 is given transmits the measurement execution command 205 for measuring the voltage and current of the solar cell 30 to the tester 27. Measurement execution instruction 2
The tester 27 receiving 05 performs the voltage / current measurement 206 of the solar cell 30. The tester 27 gives the raw data 207 obtained by the measurement after the measurement to the personal computer 28. The personal computer 28 calculates 208 the measured value based on the raw data 207 and determines 209 the rank. The personal computer 28 that has determined the rank gives the rank determination result 211 directly to the CPU 29. Based on the result of the rank determination, the CPU 29 gives an instruction to the taking-in means 34 so that the solar cells 30 are classified by rank and transported to the storage unit 23.
【0098】またCPU29は、装置情報212をパソ
コン28に与えることができる。したがってパソコン2
8は、測定結果とともに検査分類システムの装置情報を
記憶および管理することができ、パソコン28とCPU
29との間で相互にデータの送受信を簡単に行うことが
できる。これによって検査分類システムの管理を容易に
行うことができる。パソコン28は、表示手段および記
憶手段を有し、表示手段によって、測定結果および装置
情報を利用者に確認させることができる。また記憶手段
によって、測定結果およびCPU29によって管理され
る膨大な装置情報を記憶し、測定結果および装置情報を
収集および管理することができる。ここで装置情報と
は、たとえば検査分類システムの起動時刻、停止時刻、
運転開始時刻、エラー発生時刻、エラー復帰時刻および
エラー発生内容などの各装置の稼動状況を表すデータで
ある。またさらにシステムの周囲の温度および周囲の光
量などの稼働環境をあらわすデータを記憶してもよい。
たとえば温度および検査分類システム周囲の光量に基づ
いて、測定手段から得られる測定値を補正することによ
って、より正確なランク判定を行うことができる。
The CPU 29 can provide the device information 212 to the personal computer 28. Therefore PC2
8 can store and manage the device information of the inspection and classification system together with the measurement results.
29 can easily exchange data with each other. This makes it easy to manage the inspection and classification system. The personal computer 28 has a display unit and a storage unit, and allows the user to confirm the measurement result and the device information by the display unit. Further, the storage unit can store the measurement results and a great amount of device information managed by the CPU 29, and can collect and manage the measurement results and the device information. Here, the device information is, for example, a start time, a stop time,
This is data indicating the operation status of each device such as the operation start time, the error occurrence time, the error recovery time, and the error occurrence content. Further, data representing the operating environment such as the ambient temperature and the ambient light amount of the system may be stored.
For example, by correcting the measured value obtained from the measuring means based on the temperature and the light amount around the inspection classification system, more accurate rank determination can be performed.
【0099】またテスタ27を介さずに、パソコン28
とCPU29とが直接接続されるので、膨大なデータ量
を有する装置情報をパソコン28とCPU29との間
で、送受信することができ、テスタ27に電気通信によ
る負荷が加わることを防止することができる。
Also, without using the tester 27, the personal computer 28
And the CPU 29 are directly connected to each other, so that device information having an enormous amount of data can be transmitted and received between the personal computer 28 and the CPU 29, thereby preventing the tester 27 from being loaded with electric communication. .
【0100】またテスタ28とCPU29とをパソコン
28を介して接続することによって、拡張性を向上さ
せ、簡単に接続することができる。たとえばインターフ
ェイスの異なる別のテスタに取り替えた場合において
も、パソコン28を介してCPU29に接続されるの
で、別のテスタのインターフェイスに応じて、パソコン
の接続部分を取り替えることによって、容易に別のテス
タを検査分類システムに用いることができる。
By connecting the tester 28 and the CPU 29 via the personal computer 28, the expandability is improved and the connection can be made easily. For example, even when the tester is replaced with another tester having a different interface, the tester is connected to the CPU 29 via the personal computer 28. Therefore, by replacing the connection part of the personal computer in accordance with the interface of another tester, another tester can be easily connected. It can be used for a test classification system.
【0101】また装置情報および薄形板状半導体部品の
測定結果を同時に関連させて記憶管理してもよい。これ
によって装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部
品のランク判定との関連性を容易に確認することができ
る。これによって薄形板状半導体部品の製造において、
ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善する
ことによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造
することができる。
It is also possible to store and manage the device information and the measurement results of the thin plate-shaped semiconductor components simultaneously. This makes it possible to easily confirm the relationship between the change in the device information and the rank determination of the manufactured thin plate-shaped semiconductor component. As a result, in the production of thin plate-shaped semiconductor components,
By finding and improving the device information that adversely affects the rank reduction, a higher quality thin plate-shaped semiconductor component can be manufactured.
【0102】図9は、検査装置21の太陽電池セル30
の検査の流れを示す図である。太陽電池セル30が検査
装置21に搬送されると太陽電池セル30のランク判定
動作が開始される。ステップa1では、CPU29が、
コンタクトプローブ26を太陽電池セル30に接触させ
るとともに、シャッターを開いて、シュミレータランプ
25の光を太陽電池セル30に照射させる。
FIG. 9 shows the solar cell 30 of the inspection device 21.
It is a figure which shows the flow of a test | inspection. When the photovoltaic cell 30 is transported to the inspection device 21, the rank determination operation of the photovoltaic cell 30 is started. In step a1, the CPU 29
The contact probe 26 is brought into contact with the solar cell 30 and the shutter is opened to irradiate the light of the simulator lamp 25 to the solar cell 30.
【0103】ステップa2では、テスタ27によってシ
ュミレータランプ25照射時の電圧電流特性を測定す
る。ステップa3では、CPU29の命令によってシュ
ミレータランプ25を塞ぐシャッターが閉鎖するととも
に、ステップa2で得られた測定結果がテスタ27から
パソコン28に転送され保存される。またシャッターが
完全に閉鎖する。
In step a2, the voltage-current characteristics when the simulator lamp 25 is irradiated by the tester 27 are measured. In step a3, the shutter that closes the simulator lamp 25 is closed by a command from the CPU 29, and the measurement result obtained in step a2 is transferred from the tester 27 to the personal computer 28 and stored. Also, the shutter is completely closed.
【0104】ステップa4では、テスタ27によってシ
ュミレータランプ25無照射時の電圧電流特性を測定す
る。ステップa5では、CPU29によってコンタクト
プローブ26と太陽電池セル30との接触が解除される
とともに、ステップa4で得られた測定結果がテスタ2
7からパソコン28に転送される。パソコン28は、ス
テップa2およびステップa4で得られた2回の測定結
果を取得した後に、計算および判定を行って、太陽電池
セル30の電気的特性が計測され、ランク判定が行われ
る。
In step a4, the voltage-current characteristics when the simulator lamp 25 is not irradiated with the tester 27 are measured. In step a5, the contact between the contact probe 26 and the solar cell 30 is released by the CPU 29, and the measurement result obtained in step a4 is
7 to the personal computer 28. After acquiring the two measurement results obtained in step a2 and step a4, the personal computer 28 performs calculation and determination, measures the electrical characteristics of the solar cell 30, and performs rank determination.
【0105】ステップa6では、ランク判定された太陽
電池セル30が、取り入れ手段34によって搬送部25
に送られる。したがって測定の異なる2つの条件による
それぞれの測定について実測とデータ転送が行われ、機
械的動作と並列して別の処理を行うことができる。すな
わちランプ25およびプローブ26の機械的準備動作を
行っている間に、電気的な処理たとえばテスタ27が測
定結果をパソコン28に転送する動作を行うことができ
る。
In step a 6, the solar cells 30 whose rank has been determined are transferred to the transport section 25 by the intake means 34.
Sent to Therefore, actual measurement and data transfer are performed for each measurement under two different measurement conditions, and another process can be performed in parallel with the mechanical operation. That is, while the mechanical preparation operation of the lamp 25 and the probe 26 is being performed, an electrical process, for example, an operation in which the tester 27 transfers the measurement result to the personal computer 28 can be performed.
【0106】図10は、テスタ27によって得られた測
定点を基にした、太陽電池セル30の電圧電流特性を示
すグラフである。パソコン28は、電気的ノイズによっ
てテスタ27の測定結果が変化した場合、測定結果を補
正し、太陽電池セル30のランクをより正確に判定す
る。
FIG. 10 is a graph showing the voltage-current characteristics of the solar cell 30 based on the measurement points obtained by the tester 27. When the measurement result of the tester 27 changes due to the electrical noise, the personal computer 28 corrects the measurement result and determines the rank of the solar cell 30 more accurately.
【0107】テスタ27は、太陽電池セル30を測定
し、通常200点以上の測定点を得る。パソコン28
は、テスタ27からの測定結果から近似曲線を描く。具
体的には電流軸Iをまたいで、両側に位置する3つ以
上、かつ前後均等数の測定点A1,A2,B1,B2
(図10では4つ)から最小二乗法に基づく一次近似式
を求める。次にこの一次近似式と電流軸Iとの交点Cを
求め、この交点Cの電流を短絡電流Iscとする。
The tester 27 measures the solar cell 30 and usually obtains 200 or more measurement points. PC 28
Draws an approximate curve from the measurement results from the tester 27. Specifically, three or more measurement points A1, A2, B1, and B2 located on both sides of the current axis
(Four in FIG. 10), a first-order approximation formula based on the least squares method is obtained. Next, an intersection C between the first-order approximation formula and the current axis I is determined, and the current at the intersection C is defined as a short-circuit current Isc.
【0108】また電圧軸Vをまたいで、両側に位置する
3つ以上、かつ前後均等数の測定点E1,E2,F1,
F2(図10では4つ)から最小二乗法に基づく一次近
似式を求める。次にこの一次近似式と電圧軸Vとの交点
Gを求め、この交点Gの電圧を開放電圧Vocとする。
Also, three or more measurement points E1, E2, F1,
From F2 (four in FIG. 10), a first-order approximation formula based on the least squares method is obtained. Next, an intersection G between the linear approximation formula and the voltage axis V is determined, and the voltage at the intersection G is defined as an open voltage Voc.
【0109】図11は、パソコン28が最大出力Pmを
算出する手順を示すフローチャートである。テスタ27
が、太陽電池セル30を測定し、測定結果をパソコン2
8に伝達する。パソコン28は、テスタ27からの生デ
ータが与えられると、最大出力Pmの算出が開始され
る。
FIG. 11 is a flowchart showing a procedure for calculating the maximum output Pm by the personal computer 28. Tester 27
Measures the solar cell 30 and sends the measurement result to the personal computer 2
8 Upon receiving the raw data from the tester 27, the personal computer 28 starts calculating the maximum output Pm.
【0110】ステップh1では、パソコン28が、テス
タ27からの生データから、測定結果として複数の測定
点を取得し、ステップh2に進む。ステップh2では、
パソコン28が複数の測定点の中から、電流と電圧との
積が最大になる最大測定点D(Vi,Ii)を求め、ス
テップh3に進む。
In step h1, the personal computer 28 acquires a plurality of measurement points as measurement results from the raw data from the tester 27, and proceeds to step h2. In step h2,
The personal computer 28 obtains the maximum measurement point D (Vi, Ii) at which the product of the current and the voltage becomes maximum from the plurality of measurement points, and proceeds to step h3.
【0111】ステップh3では、パソコン28が、最大
測定点D(Vi,Ii)を含み、最大測定点D(Vi,
Ii)の前後の点(Vi−2,Ii−2),(Vi−
1,Ii−1),(Vi,Ii),(Vi+1,Ii+
1),(Vi+2,Ii+2)について、隣り合う測定
点の差分値を求める。次に、各測定点間の差分値の平均
を計算し、平均電圧差分値VDおよび平均電流差分値I
Dを求め、ステップh4に進む。
In step h3, the personal computer 28 includes the maximum measurement point D (Vi, Ii) and the maximum measurement point D (Vi, Ii).
Points (Vi-2, Ii-2), (Vi-
1, Ii-1), (Vi, Ii), (Vi + 1, Ii +
1) For (Vi + 2, Ii + 2), a difference value between adjacent measurement points is obtained. Next, the average of the difference values between the respective measurement points is calculated, and the average voltage difference value VD and the average current difference value I are calculated.
D is obtained, and the process proceeds to step h4.
【0112】ステップh4では、パソコン28が、平均
電圧差分値VDおよび平均電流差分値IDと隣り合う測
定点の各差分値とを比較する。パソコン28は、平均電
圧差分値VDおよび平均電流差分値IDと隣り合う測定
点の各差分値とが予め定める所定の誤差範囲から外れて
いる測定点を除く。
At step h4, the personal computer 28 compares the average voltage difference value VD and the average current difference value ID with each difference value of the adjacent measurement points. The personal computer 28 excludes measurement points where the average voltage difference value VD and the average current difference value ID and each difference value between adjacent measurement points are out of a predetermined error range.
【0113】本実施の形態では、最大測定点D(Vi,
Ii)の直前から任意数前の測定点たとえば2つの測定
点(Vi−2,Ii−2),(Vi−1,Ii−1),
(Vi,Ii)を用いて、差分平均値VD,IDを求め
る。パソコン28は、最大測定点D(Vi,Ii)の直
後の測定点(Vi+1,Ii+1)と最大測定点D(V
i,Ii)との差分値が、平均差分値VD,IDの任意
の数であるXパーセント以下か否かを調べ、Xパーセン
トを超える場合は、測定点(Vi+1,Ii+1)とし
て採用し、Xパーセント以下なら、最大測定点D(V
i,Ii)の直後の測定点(Vi+1,Ii+1)を除
去する。同様に、次の測定点(Vi+2,Ii+2)に
ついても、採用するか除去するかを計算し、ステップh
5に進む。
In this embodiment, the maximum measurement point D (Vi,
Any number of measurement points immediately before Ii), for example, two measurement points (Vi-2, Ii-2), (Vi-1, Ii-1),
Using (Vi, Ii), an average difference value VD, ID is obtained. The personal computer 28 measures the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D (Vi, Ii) and the maximum measurement point D (V
i, Ii) is checked to see if it is less than or equal to X percent, which is an arbitrary number of average difference values VD and ID. If it exceeds X percent, it is adopted as a measurement point (Vi + 1, Ii + 1), and X If it is less than the percentage, the maximum measurement point D (V
The measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after (i, Ii) is removed. Similarly, for the next measurement point (Vi + 2, Ii + 2), it is calculated whether to adopt or remove it, and step h is performed.
Go to 5.
【0114】ステップh5では、最大測定点D(Vi,
Ii)の後の測定点で採用される測定点(Vi+n,I
i+n)を決定し、決定した場合、ステップh6に進
む。
At step h5, the maximum measurement point D (Vi,
The measuring point (Vi + n, I) adopted in the measuring point after Ii)
i + n) is determined, and if determined, the process proceeds to Step h6.
【0115】ステップh6では、最大測定点D(Vi,
Ii)の後に採用される測定点(Vi+n,Ii+n)
と最大測定点D(Vi,Ii)と最大測定点D(Vi,
Ii)の直前の測定点(Vi−1,Ii−1)とを利用
して、最大出力Pmを算出する。
At step h6, the maximum measurement point D (Vi,
Measurement point (Vi + n, Ii + n) adopted after Ii)
And the maximum measurement point D (Vi, Ii) and the maximum measurement point D (Vi,
The maximum output Pm is calculated using the measurement point (Vi-1, Ii-1) immediately before Ii).
【0116】もし最大測定点D(Vi,Ii)の直後の
測定点(Vi+1,Ii+1)が除去され、その点の後
の測定点(Vi+2,Ii+2)が採用された場合は、
最大測定点D(Vi,Ii)の直前の測定点(Vi−
1,Ii−1)と、最大測定点D(Vi,Ii)と、最
大測定点Dの2つ後の測定点(Vi+2,Ii+2)と
の3点を利用して、電圧を2次変数とするラグランジェ
の2次補間式を求める。次に、この2次補間式から電流
と電圧との積が最大となる電力を最大電力Pmとして算
出する。上述の短絡電流Isc、開放電圧Vocおよび
最大電力Pmは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆ
る明測定で測定された生データから求められる。また本
実施例において、最大測定点D(Vi,Ii)よりも前
の測定点とは、最大測定点D(Vi,Ii)よりも電流
値が高い測定点であり、最大測定点D(Vi,Ii)よ
りも後の測定点とは、電流値が低い測定点である。
If the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D (Vi, Ii) is removed and the measurement point (Vi + 2, Ii + 2) after that point is adopted,
The measurement point (Vi−) immediately before the maximum measurement point D (Vi, Ii)
1, Ii-1), the maximum measurement point D (Vi, Ii), and two measurement points (Vi + 2, Ii + 2) two points after the maximum measurement point D, and the voltage is defined as a secondary variable. To find the Lagrange's quadratic interpolation formula. Next, the power that maximizes the product of the current and the voltage is calculated as the maximum power Pm from the quadratic interpolation formula. The above-described short-circuit current Isc, open-circuit voltage Voc, and maximum power Pm are obtained from raw data measured in a state where pseudo sunlight is irradiated, that is, in a so-called bright measurement. In this embodiment, the measurement point before the maximum measurement point D (Vi, Ii) is a measurement point having a current value higher than the maximum measurement point D (Vi, Ii), and the maximum measurement point D (Vi) , Ii) are measurement points having a low current value.
【0117】また前後が逆になってもよい。すなわち最
大測定点D(Vi,Ii)よりも前の測定点を、最大測
定点D(Vi,Ii)よりも電流値が低い測定点とし、
最大測定点D(Vi,Ii)よりも後の測定点を、電流
値が高い測定点としてもよい。
The front and rear may be reversed. That is, a measurement point before the maximum measurement point D (Vi, Ii) is a measurement point having a current value lower than the maximum measurement point D (Vi, Ii),
A measurement point after the maximum measurement point D (Vi, Ii) may be a measurement point having a high current value.
【0118】表3は、電気的ノイズが発生している場合
の電圧値と電流値との積が最大となる最大測定点D2
(Vi,Ii)と、その前後の4つの測定点(Vi−
2,Ii−2),(Vi−1,Ii−1),(Vi+
1,Ii+1),(Vi+2,Ii+2)と各測定点の
差分値とを示す。
Table 3 shows the maximum measurement point D2 at which the product of the voltage value and the current value when electric noise is generated becomes maximum.
(Vi, Ii) and the four measurement points before and after (Vi, Ii).
2, Ii-2), (Vi-1, Ii-1), (Vi +
1, Ii + 1), (Vi + 2, Ii + 2) and the difference value of each measurement point.
【0119】[0119]
【表3】 [Table 3]
【0120】前述に示す表1のように、正常測定時に
は、測定点の差分値がある程度一定になる。電気的ノイ
ズが発生する場合は、表3に示すように電圧または電流
のどちらかの差分値が極端に小さくなるか、または差分
の正負が逆転する。
As shown in Table 1 above, at the time of normal measurement, the difference value between the measurement points is constant to some extent. When electrical noise occurs, as shown in Table 3, the difference value of either the voltage or the current becomes extremely small, or the sign of the difference is reversed.
【0121】たとえば、最大測定点D2(Vi,Ii)
と最大測定点D2(Vi,Ii)の直後の測定点(Vi
+1,Ii+1)との電圧の差分値が、平均電圧差分値
に比べて小さく測定されている。最大測定点D2(V
i,Ii)の直後の測定点(Vi+1,Ii+1)が、
電気的ノイズによって異常な値を示している。本実施の
形態の太陽電池セルの検査分類システムは、上述の手順
に従って、最大測定点D2(Vi,Ii)の直後の測定
点(Vi+1,Ii+1)を除去し、最大電力Pmを測
定することができる。
For example, the maximum measurement point D2 (Vi, Ii)
And the measurement point (Vi) immediately after the maximum measurement point D2 (Vi, Ii).
+1 and Ii + 1) are measured to be smaller than the average voltage difference value. Maximum measurement point D2 (V
The measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after (i, Ii) is
An abnormal value is indicated by electric noise. The inspection and classification system for a photovoltaic cell according to the present embodiment removes the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) and measures the maximum power Pm according to the above-described procedure. it can.
【0122】図12は、表3の電圧と電流との関係を示
すグラフであり、図12(1)は、電圧電流特性を示
し、図12(2)は、電圧電力特性を示す。パソコン2
8は、電圧電流特性を、表3の電気的ノイズによって異
常な値を示した測定点(Vi+1,Ii+1)を除去し
て、最大測定点D2(Vi,Ii)の直前の測定点(V
i−1,Ii−1)と、最大測定点D2(Vi,Ii)
と、最大測定点Dの2つ後の測定点(Vi+2,Ii+
2)とを利用して、電圧を2次変数とするラグランジェ
の2次補間式として求める。
FIG. 12 is a graph showing the relationship between the voltage and the current in Table 3. FIG. 12 (1) shows the voltage-current characteristics, and FIG. 12 (2) shows the voltage-power characteristics. PC 2
8 removes the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) indicating an abnormal value due to the electrical noise in Table 3 from the voltage-current characteristic and removes the measurement point (V) immediately before the maximum measurement point D2 (Vi, Ii)
i-1, Ii-1) and the maximum measurement point D2 (Vi, Ii)
And the measurement point (Vi + 2, Ii +
2), the voltage is obtained as a Lagrange's quadratic interpolation equation using voltage as a secondary variable.
【0123】電気的ノイズが発生していない正常測定時
の最大電力は、前述の表1に示すように、2.1545
Wである。また電気的ノイズが発生した場合において、
本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な
測定結果を除去した場合の最大電力Pmは、表3および
図12に示すように、2.1505Wである。
As shown in Table 1 above, the maximum power at the time of normal measurement in which no electrical noise is generated is 2.1545.
W. Also, when electrical noise occurs,
As shown in Table 3 and FIG. 12, the maximum power Pm when the abnormal measurement result due to the electrical noise is removed by the measurement method described in the present embodiment is 2.1505 W.
【0124】また正常測定時の最大出力電圧Vpmは、
約0.4821Vであり、最大出力電流Ipmは、4.
4687Aである。また電気的ノイズが発生した場合に
おいて、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによ
る異常な測定結果を除去した場合の最大出力電圧Vpm
は、約0.4821Vであり、最大出力電流Ipmは、
4.4611Aである。このように本実施例に示す算出
法を、パソコン28が行うことによって電気的ノイズが
発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、
測定結果を得ることができる。
The maximum output voltage Vpm during normal measurement is
About 0.4821 V, and the maximum output current Ipm is 4.
4687A. In the case where electric noise is generated, the maximum output voltage Vpm when abnormal measurement results due to electric noise are removed by the measurement method described in this embodiment.
Is about 0.4821 V, and the maximum output current Ipm is
4.4611A. As described above, even when electrical noise is generated by the personal computer 28 performing the calculation method shown in the present embodiment, the error from the normal measurement is reduced,
Measurement results can be obtained.
【0125】図13は、擬似太陽光が照射されていない
状態での電圧電流特性を示すグラフである。任意の電圧
における電流Idを得る場合は、擬似太陽光を照射する
明測定と同レンジの電圧走査を行わず、必要な任意の電
圧での測定点を得ることによって任意の電圧における電
流Idを得る。また図13に示すように必要な任意電圧
の前後数点(図13では2点)の走査を行い、複数の測
定点を得て、この複数の測定点から近似曲線を描き、任
意の電圧における電流Idを得てもよい。
FIG. 13 is a graph showing a voltage-current characteristic in a state where no simulated sunlight is irradiated. When obtaining the current Id at an arbitrary voltage, the current Id at an arbitrary voltage is obtained by obtaining a measurement point at an arbitrary required voltage without performing voltage scanning in the same range as that of the bright measurement for irradiating the simulated sunlight. . Further, as shown in FIG. 13, scanning is performed at several points (two points in FIG. 13) before and after a required arbitrary voltage, a plurality of measurement points are obtained, and an approximate curve is drawn from the plurality of measurement points. The current Id may be obtained.
【0126】図14は、ストック部24を示す正面図で
ある。ストック部24のバッファ部31、スライド部3
2および一時収容部33は、水平方向に直線上に並んで
配置され、太陽電池セル30は、バッファ部31から一
時収納部33にスライドユニット36によって搬送され
る。
FIG. 14 is a front view showing the stock section 24. As shown in FIG. The buffer unit 31 and the slide unit 3 of the stock unit 24
2 and the temporary storage unit 33 are arranged in a horizontal line on a straight line, and the solar cell 30 is transported from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33 by the slide unit 36.
【0127】具体的には、第1の搬送手段22によって
搬送された太陽電池セル30は、取り入れ手段34によ
って、バッファ部31に水平状態で積載される。太陽電
池セル30は、バッファ部31に所定の枚数積載される
と、スライドユニット36によって、スライド部32を
通過し、一時収納部33に収納される。このように取り
入れ手段34によって、直接一時収納部33に収納する
のでなく、バッファ部とスライドユニット36を設け、
取り入れ手段34は、第1の搬送手段22からバッファ
部31に取り出すように構成することによって、スライ
ドユニット36によって、バッファ部から一時収納部3
3に搬送作業を行っている間にも取り入れ手段34で取
り入れ作業を行うことができる。これによって従来作業
のように第1の搬送手段22を一旦停止することが防が
れ、稼動率が向上する。
Specifically, the solar cells 30 transported by the first transporting means 22 are loaded horizontally on the buffer unit 31 by the intake means 34. When a predetermined number of solar cells 30 are stacked in the buffer unit 31, they pass through the slide unit 32 and are temporarily stored in the temporary storage unit 33 by the slide unit 36. Thus, instead of being directly stored in the temporary storage section 33 by the intake means 34, a buffer section and a slide unit 36 are provided,
The take-in means 34 is configured to take out from the first transport means 22 to the buffer unit 31.
The taking-in work can be carried out by the taking-in means 34 even while the carrying work is being carried out at 3. This prevents the first transporting means 22 from temporarily stopping as in the conventional operation, and improves the operation rate.
【0128】一時収納部33は、太陽電池セル30を水
平状態から立位状態に反転する反転手段37を有し、反
転手段37によって複数の太陽電池セル30は、立位状
態で保持される。
The temporary storage section 33 has reversing means 37 for reversing the solar cells 30 from the horizontal state to the standing state, and the plurality of solar cells 30 are held in the standing state by the reversing means 37.
【0129】図15は、一時収容部33を示す斜視図で
ある。一時収納部33は略U字状に形成され、回転軸5
0まわりに90度回転可能に設けられる。さらに詳しく
説明すると、回転軸50は、スライドユニット36の延
びる方向であるスライド方向に対して垂直に延び、この
回転軸50に平行に一時収納部33の基部51が設けら
れる。また基部51の両端部から垂直に一対の側部保持
部52が立ち上がる。この一対の側部保持部52には、
内側に収納溝53がそれぞれ形成される。この一対の収
納溝53は、基部51から所定の間隔をあけた位置から
先端まで延びて形成される。
FIG. 15 is a perspective view showing the temporary storage section 33. As shown in FIG. The temporary storage section 33 is formed in a substantially U-shape,
It is provided so that it can rotate 90 degrees around 0. More specifically, the rotation shaft 50 extends perpendicularly to the sliding direction in which the slide unit 36 extends, and the base 51 of the temporary storage unit 33 is provided in parallel with the rotation shaft 50. In addition, a pair of side holding portions 52 rise vertically from both ends of the base portion 51. In the pair of side holding portions 52,
The storage grooves 53 are respectively formed inside. The pair of storage grooves 53 extend from a position at a predetermined distance from the base 51 to the tip.
【0130】収納前には、一時収納部33は、略U字状
の上部である側部保持部52の一端をスライド部32に
向けて水平状態に倒れており、この状態でスライドユニ
ット36によって太陽電池セル30が挿入され、収納溝
53間に保持される。その後、一時収納部33が反転す
ることによって、収納溝53に保持された太陽電池セル
30は立位状態に保持される。このとき、収納溝53
は、基部51まで形成されていないので太陽電池セル3
0は、基部51から間隔をあけて立位状態に保持され
る。これによって、収納手段35による太陽電池セル3
0の取り出しがより容易に行える。
Prior to storage, the temporary storage section 33 is tilted horizontally with one end of the side holding section 52, which is a substantially U-shaped upper part, facing the slide section 32, and in this state, the slide unit 36 The solar cells 30 are inserted and held between the storage grooves 53. Then, the solar cell 30 held in the storage groove 53 is held in an upright state by the inversion of the temporary storage section 33. At this time, the storage groove 53
Is not formed up to the base 51, so that the solar cell 3
0 is maintained in an upright position at an interval from the base 51. Thereby, the solar cell 3 by the storage means 35
Extraction of 0 can be performed more easily.
【0131】また図14に示すように一時収納部33に
は、一時収納部33を水平方向に倒す復帰ばね45が接
続される。復帰バネ45は、引っ張りバネであり、一時
収納部33の側部保持部52と一時収納部以外の固定し
た場所に接続される。これによって一時収納部33が立
位状態に保持されるときに、復帰バネ45の弾性回復力
によって一時収納部33には、水平状態に復帰しようと
する力が発生する。
As shown in FIG. 14, a return spring 45 is connected to the temporary storage section 33 to tilt the temporary storage section 33 in the horizontal direction. The return spring 45 is a tension spring, and is connected to a fixed part other than the side holding part 52 of the temporary storage part 33 and the temporary storage part. Thus, when the temporary storage section 33 is held in the upright state, a force for returning to the horizontal state is generated in the temporary storage section 33 by the elastic recovery force of the return spring 45.
【0132】第2の搬送手段であるスライドユニット3
6は、バッファ部31から一時収納部33にわたって水
平に配置され、横移動ベルト38を駆動するモータ42
と横移動ベルト38に固定される乗載台39とを有し、
モータ42によって乗載台39は、バッファ部31から
一時収納部33にわたって進む方向である前方Aおよび
反対に進む方向である後方Bに移動可能で、往復移動す
ることができる。
The slide unit 3 as the second transport means
Reference numeral 6 denotes a motor 42 which is horizontally disposed from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33 and drives the laterally moving belt 38.
And a mounting table 39 fixed to the lateral movement belt 38,
The mounting table 39 can be moved by the motor 42 in a forward direction A, which is a direction traveling from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33, and in a backward direction B, which is the opposite direction, and can reciprocate.
【0133】乗載台39は、太陽電池セル30を乗載す
る乗載台54、横移動ベルト38に取り付けられ、乗載
台54を昇降させるシリンダ40、シリンダ40に固定
され前方A(図14の左方)に水平に突出する押し棒4
1とを有する。
The mounting table 39 is mounted on the mounting table 54 on which the solar cells 30 are mounted and the lateral movement belt 38, and is fixed to the cylinder 40 for raising and lowering the mounting table 54, and the front A (FIG. 14). Push bar 4 projecting horizontally to the left of
And 1.
【0134】乗載台39は、通常はバッファ部31の下
方に待機しており、バッファ部31に所定枚数の太陽電
池セル30が積載されると、まずシリンダ40によって
乗載台54を上昇させ、乗載台54上に太陽電池セル3
0を積載する。その後、一時収納部33に向けて水平移
動する。
The loading table 39 is normally waiting below the buffer section 31. When a predetermined number of solar cells 30 are loaded on the buffer section 31, the loading table 54 is first raised by the cylinder 40. , The solar cell 3 on the platform 54
Load 0. After that, it moves horizontally toward the temporary storage section 33.
【0135】乗載台39が、一時収納部33に移動する
ことによって、太陽電池セル30は、一時収納部33の
収納溝53に挿入される。太陽電池セル30を挿入した
乗載台39は、一時収納部33の下方へ下降することに
よって、複数の太陽電池セル30を一時収納部33に配
置することができる。
When the mounting table 39 moves to the temporary storage section 33, the solar cell 30 is inserted into the storage groove 53 of the temporary storage section 33. The mounting table 39 into which the solar cells 30 are inserted is lowered below the temporary storage section 33, so that the plurality of solar cells 30 can be arranged in the temporary storage section 33.
【0136】一時収納部33の反転手段37は、一時収
納部33に設けられたギア44、受け棒43、および乗
載台39に設けられる押し棒41を含んで構成される。
回転ギア44は、一時収納部33の回転軸50と同軸に
固定される。また回転ギア44に噛合する受け棒ギア6
6を一端に有する受け棒43が、一時収納部33の下方
かつ後方Bに突出し、受け棒ギア66の回転中心まわり
に回転可能に支持される。また乗載台39には、一時収
納部33側に水平に突出して押し棒41が設けられる。
The reversing means 37 of the temporary storage section 33 includes a gear 44 provided in the temporary storage section 33, a receiving rod 43, and a push rod 41 provided on the platform 39.
The rotation gear 44 is fixed coaxially with the rotation shaft 50 of the temporary storage section 33. A receiving rod gear 6 meshing with the rotating gear 44
A receiving rod 43 having one end 6 protrudes downward and backward B of the temporary storage unit 33 and is rotatably supported around the center of rotation of the receiving rod gear 66. Further, the mounting table 39 is provided with a push rod 41 protruding horizontally to the temporary storage section 33 side.
【0137】乗載台39は一時収納部33に太陽電池セ
ル30を収納したあと、一時収納部33の下方へ下降す
る。下降した乗載台39によって、太陽電池セル30が
前方A(図14の左方)にさらに移動する。すると押し
棒41が、一時収納部33の下方に設けられる受け棒4
3を押圧し、これによって、受け棒43は、受け棒ギア
66とともに回転する。受け棒ギア66は、一時収納部
33の回転ギア44に噛合しているので、受け棒43が
回転することによって、一時収納部33は、90度反転
し、立位状態になる。このようにして一時収納部33に
挿入されている太陽電池セル30は、立位状態となる。
After the solar cell 30 is stored in the temporary storage section 33, the mounting table 39 descends below the temporary storage section 33. The solar cell 30 is further moved forward A (to the left in FIG. 14) by the lowered platform 39. Then, the push rod 41 is moved to the receiving rod 4 provided below the temporary storage portion 33.
3, whereby the receiving rod 43 rotates with the receiving rod gear 66. Since the receiving rod gear 66 is meshed with the rotating gear 44 of the temporary storage section 33, the temporary storage section 33 is turned 90 degrees by the rotation of the receiving rod 43, and is in the standing state. The solar cells 30 inserted in the temporary storage section 33 in this manner are in the standing state.
【0138】収納手段である搬送ロボット35によって
一時収納部33から太陽電池セル30が取り出されると
受け棒43と押し棒41が当接した状態の乗載台39
は、さらに下降し、受け棒43と押し棒41の当接状態
が解除される。当接状態が解除されると、復帰ばね45
によって一時収納部33は、水平状態に復帰する。また
受け棒43との押圧状態が解除された乗載台39は、バ
ッファ部31側に水平に移動し、バッファ部31下方で
待機する。バッファ部31に積載される太陽電池セル3
0が所定の枚数に達したときに、再びバッファ部31上
方へ上昇し、太陽電池セル30を一時収納部33に搬送
する。
When the solar battery cells 30 are taken out of the temporary storage section 33 by the transfer robot 35 as storage means, the mounting table 39 in a state where the receiving rod 43 and the push rod 41 are in contact with each other.
Is further lowered, and the contact state between the receiving rod 43 and the push rod 41 is released. When the contact state is released, the return spring 45
As a result, the temporary storage section 33 returns to the horizontal state. The mounting table 39 released from the pressed state with the receiving rod 43 moves horizontally to the buffer unit 31 side and waits below the buffer unit 31. Solar cell 3 loaded on buffer unit 31
When the number of zeros reaches the predetermined number, it rises again above the buffer unit 31 and transports the solar battery cells 30 to the temporary storage unit 33.
【0139】またスライドユニット36には、太陽電池
セル30に所定以上の負荷がかかったことを検出する過
負荷検出手段46が設けられる。過負荷検出手段46
は、図14に示すように過負荷検出部47、光センサ4
8、光発生部56および過負荷検出ばね49を有して構
成される。
[0139] The slide unit 36 is provided with an overload detecting means 46 for detecting that a load equal to or more than a predetermined value is applied to the solar cell 30. Overload detecting means 46
Are the overload detection unit 47 and the optical sensor 4 as shown in FIG.
8, the light generation unit 56 and the overload detection spring 49 are provided.
【0140】過負荷検出部47は、乗載台39の上部に
形成される乗載台54の後方部に設けられ、乗載台54
を軸として前後に揺動可能に支持されている。過負荷検
出ばね49は、乗載台54と過負荷検出部46とを接続
している。光発生部56の光路57は、太陽電池セル3
0を乗載した乗載台39が水平移動する方向と平行に延
び、光センサ48で受光される。
The overload detecting section 47 is provided at a rear portion of the mounting table 54 formed above the mounting table 39,
Is supported so as to be able to swing back and forth about the axis. The overload detection spring 49 connects the mounting table 54 and the overload detection unit 46. The optical path 57 of the light generation unit 56 is
The mounting table 39 on which 0 is mounted extends in parallel with the direction in which the mounting table 39 moves horizontally, and is received by the optical sensor 48.
【0141】また前記過負荷検出部47には、光路57
が通過する光通過孔55が形成される。したがって通常
は、光が光通過孔55を通って光センサ48に到達し、
光センサ48が受光している状態にある。
The overload detector 47 has an optical path 57
A light passing hole 55 through which the light passes is formed. Therefore, normally, the light reaches the light sensor 48 through the light passage hole 55,
The optical sensor 48 is receiving light.
【0142】スライドユニット36が移動中に衝突する
などして負荷が作用すると、過負荷検出部46が傾き、
これによって、光通過孔55が変位し、光路57が遮蔽
される。光路57が遮蔽されると、光センサ48が受光
せず、スライドユニット36に過負荷がかかったことを
検出することができる。過負荷検出手段46によってス
ライドユニット36に過負荷が加わっていることが検出
されると即座に搬送を中止し、太陽電池セル30の破損
を低減することができる。
When a load is applied due to a collision or the like while the slide unit 36 is moving, the overload detector 46 is tilted,
As a result, the light passage hole 55 is displaced, and the light path 57 is blocked. When the optical path 57 is blocked, the optical sensor 48 does not receive light, and it is possible to detect that the slide unit 36 is overloaded. When the overload detecting means 46 detects that an overload is applied to the slide unit 36, the transport is immediately stopped, and the damage of the solar cell 30 can be reduced.
【0143】前記収納手段である搬送ロボット35は、
反転手段37によって立てられた複数の薄形板状半導体
部品30を立位状態で保持し、収納部23へ搬送するハ
ンド58を有する。本実施の形態では、ハンド58は、
XYZ方向へ移動可能なロボットハンドである。
The transfer robot 35, which is the storage means,
There is a hand 58 that holds the plurality of thin plate-shaped semiconductor components 30 erected by the reversing means 37 in an upright state and transports them to the storage unit 23. In the present embodiment, the hand 58
It is a robot hand that can move in XYZ directions.
【0144】図16は、ハンド58を示す正面図であ
る。ハンド58は、略L字状に形成される一対の保持部
材61A,61Bを有する。保持部材61A,61B
は、立位状態にある太陽電池セル30に平行に配置され
る側壁59A,59Bを有し、またこの側壁59A,5
9Bの底部に略垂直に連なる底壁60A,60B有す
る。互いの側壁60A,60Bは、対向して配置され
る。
FIG. 16 is a front view showing the hand 58. As shown in FIG. The hand 58 has a pair of holding members 61A and 61B formed in a substantially L shape. Holding members 61A, 61B
Has side walls 59A, 59B arranged in parallel with the solar cell 30 in the upright position, and has side walls 59A, 59B.
9B has bottom walls 60A and 60B that extend substantially perpendicularly to the bottom of 9B. The side walls 60A, 60B are arranged to face each other.
【0145】ハンド58は、さらにハンド部ばね63、
大シリンダ64、小シリンダ65を有して構成される。
ハンド部ばね63は、一対の保持部材61A,61Bを
近接する方向にばね付勢する。一方の保持部材61Bの
上部には、大シリンダ64および小シリンダ65が設置
され、大シリンダ64によって一方の保持部材61Aを
大きく、小シリンダ65によって他方の保持部材61B
を小さく変位動作することができる。この変位動作によ
って互いの保持部材61A,61Bを近接および離反さ
せることができる。またハンド部ばね63によってがた
つくことなく保持部材61A,61Bの変位動作を行う
ことができる。
The hand 58 further includes a hand spring 63,
It has a large cylinder 64 and a small cylinder 65.
The hand spring 63 urges the pair of holding members 61A and 61B in a direction in which they approach each other. A large cylinder 64 and a small cylinder 65 are installed above one holding member 61B. One large holding member 61A is enlarged by the large cylinder 64, and the other holding member 61B is small
Can be displaced smaller. By this displacement operation, the holding members 61A and 61B can be moved toward and away from each other. Further, the holding members 61A, 61B can be displaced without being rattled by the hand spring 63.
【0146】一方の保持部材61Aの底壁60Aの中央
部には、切欠きが形成され、他方の保持部材61Bの底
壁60Bは、前記切欠きに挿入可能に形成される。した
がって、互いの底壁60A,60Bが係合して、太陽電
池セル30を乗載するための底面の幅を調整可能に形成
する。
A notch is formed at the center of the bottom wall 60A of one holding member 61A, and the bottom wall 60B of the other holding member 61B is formed so as to be inserted into the notch. Therefore, the bottom walls 60 </ b> A and 60 </ b> B are engaged with each other, and the width of the bottom surface on which the solar cell 30 is mounted can be adjusted.
【0147】図17は、収納手段である搬送ロボットの
ハンド58の取り入れ動作を示す正面図であり、図18
は、ハンド58の収納動作を示すフローチャートであ
る。これらの図を参照して、まずハンド58による取り
入れ動作について説明する。
FIG. 17 is a front view showing the taking-in operation of the hand 58 of the transfer robot as the storage means.
9 is a flowchart showing the storing operation of the hand 58. With reference to these figures, the taking operation by the hand 58 will be described first.
【0148】ステップb1では、ハンド58が、図17
(1)に示すように一時収納部33に立位状態で保持さ
れる太陽電池セル30の上方に移動する。ステップb2
では、ハンド58が、図17(2)に示すように、保持
部材61A,61Bを大きく離反した状態で下降し、保
持部材61A,61Bの間に太陽電池セル30を入れ
る。このとき保持部材61A,61Bは太陽電池セル3
0の両側に配置され、底壁60は、太陽電池セル30の
下方に配置される。
In step b1, the hand 58
As shown in (1), it moves above the solar battery cell 30 held in the standing state in the temporary storage section 33. Step b2
Then, as shown in FIG. 17 (2), the hand 58 descends with the holding members 61A and 61B largely separated from each other, and inserts the solar cell 30 between the holding members 61A and 61B. At this time, the holding members 61A and 61B
0, and the bottom wall 60 is disposed below the solar cell 30.
【0149】ステップb3では、図17(3)に示すよ
うにハンド58が、水平方向に前方Aに微動する。複数
の太陽電池セル30は、ハンド58の側壁59Bに当接
し、前後方向のばらつきが整えられ、他方の保持部材6
1Bの側壁59B側に寄せられる。ステップb4では、
図17(4)に示すように、大シリンダ64によって一
方の保持部材61Aが他方の保持部材61Bに大きく近
接し、底部61A,61Bが係合する。これによって太
陽電池セル30は、互いの保持部材61A,61Bの側
壁59と底壁60で囲まれた空間に配置される。このと
き一方の保持部材61Aと他方の保持部材61Bとの対
向する距離は長いので、互いの太陽電池セル30の間隔
は広く保持される。
In step b3, the hand 58 moves slightly forward A in the horizontal direction as shown in FIG. The plurality of solar cells 30 abut on the side wall 59B of the hand 58, the variation in the front-rear direction is adjusted, and the other holding member 6
It is moved to the side wall 59B side of 1B. In step b4,
As shown in FIG. 17 (4), one holding member 61A is largely brought close to the other holding member 61B by the large cylinder 64, and the bottom portions 61A and 61B are engaged. As a result, the solar cells 30 are arranged in a space surrounded by the side walls 59 and the bottom wall 60 of the holding members 61A and 61B. At this time, the distance between one holding member 61A and the other holding member 61B is long, so that the interval between the solar cells 30 is kept wide.
【0150】ステップb5では、図17(5)に示すよ
うにハンド58が一旦微上昇する。これによって太陽電
池セル30は、衝撃を受けることなく底壁60に乗載さ
れる。ステップb6では、図17(6)に示すように太
陽電池セル30から持ち上げられた状態で小シリンダ6
5によって他方の保持部材61Bが一方の保持部材にさ
らに微小距離だけ近接する。これによって互いの太陽電
池セル30の間隔が狭くなり、ハンド58は、太陽電池
セル30が揺動することなく搬送することができる。
In step b5, the hand 58 temporarily rises slightly as shown in FIG. 17 (5). As a result, the solar cell 30 is mounted on the bottom wall 60 without receiving an impact. In step b6, the small cylinder 6 is lifted from the solar cell 30 as shown in FIG.
5, the other holding member 61B comes closer to the one holding member by a minute distance. As a result, the interval between the solar cells 30 is reduced, and the hand 58 can carry the solar cells 30 without swinging.
【0151】ステップb7では、ハンド58が一時収納
部33から上昇する。次に、ステップb8では、ハンド
58が収納部23の収納位置上方に移動する。
At step b 7, the hand 58 rises from the temporary storage section 33. Next, in step b8, the hand 58 moves above the storage position of the storage unit 23.
【0152】ハンド58は、上述のようなハンドリング
取り出しを行うことによって、太陽電池セル30に大き
な衝撃を与えることなく、整えた状態で取り出すことが
できる。これによって太陽電池セル30を破損すること
なく確実に収納部23へ搬送することができる。
The hand 58 can be taken out in an organized state without giving a large impact to the solar cell 30 by performing the above-described handling and taking out. Thereby, the solar cell 30 can be reliably transported to the storage section 23 without being damaged.
【0153】ここで、収納部23について説明する。図
19(1)は、収納部23の形状を示す平面図であり、
図19(2)は、図12(1)のX−X切断面線で破断
した断面図である。
Here, the storage section 23 will be described. FIG. 19A is a plan view showing the shape of the storage section 23,
FIG. 19 (2) is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 12 (1).
【0154】図19(2)に示すように収納部23は、
箱状であり、上部に開口71が形成され、底部両側には
弾発性を有する緩衝部材72が設けられ、底部中央には
溝部73が形成される。また収納部23の両側壁には、
上下方向に延び、太陽電池セル30を立位状態に保持す
る複数対の支持部材72が設けられる。
[0154] As shown in FIG.
It has a box shape, an opening 71 is formed at the top, elastic cushioning members 72 are provided on both sides of the bottom, and a groove 73 is formed at the center of the bottom. Also, on both side walls of the storage section 23,
A plurality of pairs of support members 72 extending in the up-down direction and holding the solar battery cells 30 in an upright state are provided.
【0155】図20は、ハンド58による収納動作を示
す平面図であり、図21は、図20の断面図である。再
び図18のフローチャートおよび図20、図21を参照
して、搬送ロボット35による太陽電池セル30の収納
動作について説明する。
FIG. 20 is a plan view showing the storing operation by the hand 58, and FIG. 21 is a sectional view of FIG. The storage operation of the solar cell 30 by the transfer robot 35 will be described again with reference to the flowchart of FIG. 18 and FIGS.
【0156】ステップb9では、図20(1)、図21
(1)に示すように太陽電池セル30を乗載したハンド
58が、収納部23の上方から下降する。これによって
ハンド58に保持された太陽電池セル30が、一対の支
持部材72間に挿入される。このように、支持部材72
は、両側から突出して設けられ、中央には設けられない
ので、ハンド58の可動範囲が充分に確保される。
In the step b9, as shown in FIG.
As shown in (1), the hand 58 on which the solar cell 30 is mounted falls from above the storage unit 23. Thus, the solar cell 30 held by the hand 58 is inserted between the pair of support members 72. Thus, the support member 72
Are provided so as to protrude from both sides and are not provided at the center, so that the movable range of the hand 58 is sufficiently ensured.
【0157】ステップb10では、図20(2)に示す
ように保持部材61A,61Bの間隔を少し広げて、ハ
ンド58を緩く解放(小アンチャック)する。これによ
って、各太陽電池セル30間の間隔が広がる。ステップ
b11では、図21(3)に示すように、ハンド58が
さらに下方へ微動する。これによって、太陽電池セル3
0が収納部23底部の底部の緩衝部材72上に乗載さ
れ、太陽電池セル30を収納することができる。
In step b10, as shown in FIG. 20 (2), the distance between the holding members 61A and 61B is slightly widened, and the hand 58 is loosely released (small unchuck). Thereby, the interval between each of the solar cells 30 is increased. In step b11, as shown in FIG. 21 (3), the hand 58 further finely moves downward. Thereby, the solar cell 3
0 is mounted on the buffer member 72 at the bottom of the storage section 23, and the solar cell 30 can be stored.
【0158】ステップb12では、図20(4)に示す
ように、大シリンダ64によって一方の保持部材61A
の間隔を大きく退避させ、ハンド58を解放(大アンチ
ャック)する。これによって太陽電池セル30は、確実
に収納部23に収納される。ステップb13では、図2
0(5)に示すように、保持部材61Bが太陽電池セル
30に接触しない位置に配置される。ステップb14で
は、図21(6)に示すように、ハンド58は、上昇し
て収納部23から離脱する。
In step b12, as shown in FIG. 20 (4), one holding member 61A is held by the large cylinder 64.
Is largely retracted, and the hand 58 is released (large unchuck). Thereby, the solar cell 30 is securely stored in the storage section 23. In step b13, FIG.
As shown in 0 (5), the holding member 61B is arranged at a position where it does not contact the solar cell 30. In step b14, as shown in FIG. 21 (6), the hand 58 rises and separates from the storage unit 23.
【0159】したがって、ハンド58は、上述のような
ハンドリングを行うことによって、太陽電池セル30に
大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で確実に収納
部23に収納することができる。また収納部23および
仕切部材72によって、太陽電池セル30を保持するこ
とができ、かつ充分な隙間が形成されるので、ハンド5
8の稼働範囲が充分に確保され、太陽電池セル30の収
納および取り出しが高速で行えるとともに、太陽電池セ
ル30にハンド58が接触することによる破損が低減さ
れる。
Therefore, by performing the above-described handling, the hand 58 can be securely housed in the housing section 23 in a regular state without giving a large impact to the solar cell 30. Further, the solar cell 30 can be held by the storage portion 23 and the partition member 72, and a sufficient gap is formed.
8, the operation range of the photovoltaic cell 8 is sufficiently ensured, the solar cell 30 can be stored and taken out at a high speed, and the damage caused by the contact of the hand 58 with the photovoltaic cell 30 is reduced.
【0160】収納部23は、次工程に太陽電池セル30
を搬送するための箱として用いられる。本実施の形態で
は、収納部23の材質は、発砲ポリプロピレン素材から
なっている。また図21に示すように収納部23には、
上部に取り付けられる蓋74を有し、蓋74の内側に
は、弾発性を有するスポンジ材75が取り付けられる。
これによって、蓋74を閉めることによって、スポンジ
材74が太陽電池セル30を軽く押さえて太陽電池セル
30を固定することができる。したがって、前記蓋7
4、収納部23の形状および、収納部23の材質によっ
て、搬送時の衝撃を吸収して太陽電池セル30の破損を
防止して搬送することができる。
[0160] The storage section 23 stores the solar cells 30 in the next step.
Used as a box for transporting In the present embodiment, the material of the storage section 23 is made of a foamed polypropylene material. In addition, as shown in FIG.
It has a lid 74 attached to the upper part, and a sponge material 75 having elasticity is attached inside the lid 74.
Thus, by closing the lid 74, the sponge member 74 can lightly press the solar cell 30 to fix the solar cell 30. Therefore, the lid 7
4. Depending on the shape of the storage section 23 and the material of the storage section 23, it is possible to absorb the shock at the time of transport and prevent the solar cell 30 from being damaged, and transport the solar cell 30.
【0161】搬送ロボット35は、図16に示すよう
に、アーム部70に、下降時に負荷がかかったときに
は、下降動作を即座に停止させる機構を有している。具
体的には、過負荷センサ67、ガイド68、アーム部ば
ね69を有して構成される。過負荷センサ67は、アー
ム部70の上下方向の加速度を検出する。また過負荷セ
ンサ67は、ガイド68に導かれて上下方向に変位し、
より検出感度を高めるためにアーム部ばね69によって
ハンド58と上下方向に接合されている。
As shown in FIG. 16, the transfer robot 35 has a mechanism for immediately stopping the descending operation when a load is applied to the arm 70 when the arm 70 is descended. Specifically, it is configured to include an overload sensor 67, a guide 68, and an arm spring 69. The overload sensor 67 detects the vertical acceleration of the arm unit 70. The overload sensor 67 is guided by the guide 68 and displaces in the vertical direction.
The arm 58 is vertically joined to the hand 58 by an arm spring 69 to further increase the detection sensitivity.
【0162】ハンド58下降時に、たとえば収納部23
の側壁に衝突するなどの負荷がかかったときには、アー
ム部70全体が負荷によって上昇するため、アーム部7
0に取り付けられた過負荷センサ67が過負荷を検出し
て、即座に搬送ロボットを停止させることができる。
When the hand 58 descends, for example,
When a load such as a collision with the side wall of the arm unit 70 is applied, the entire arm unit 70 rises due to the load.
The transfer robot can be immediately stopped by detecting the overload by the overload sensor 67 attached to the zero.
【0163】検査装置21から第1の搬送手段22へ移
し換える装置は、ウォーキング搬送を行う。ウォーキン
グ搬送装置は、検査装置21側に設けられる前ステージ
81と第1の搬送手段22側に設けられる後ステージ8
2と、太陽電池セル30を乗載し、前ステージ81から
後ステージへ82搬送する搬送ステージ83とを備えて
いる。
The device for transferring from the inspection device 21 to the first transfer means 22 performs walking transfer. The walking transfer device includes a front stage 81 provided on the inspection device 21 side and a rear stage 8 provided on the first transfer means 22 side.
2 and a transport stage 83 on which the solar battery cells 30 are mounted and which transports 82 from the front stage 81 to the rear stage.
【0164】図22は、搬送ステージ83のウォーキン
グ搬送動作を示す概略図である。搬送ステージ83は、
図22(1)、図22(2)に示すように前ステージ8
1の下から上昇することによって前ステージ上81から
搬送ステージ83上に太陽電池セル30を移し換え、図
22(3)に示すように、前ステージ81上から後ステ
ージ82上へ移動する。
FIG. 22 is a schematic diagram showing the walking transfer operation of the transfer stage 83. The transfer stage 83 is
As shown in FIG. 22A and FIG.
By moving up from below 1, the solar cell 30 is transferred from the upper stage 81 to the transfer stage 83, and moves from the upper stage 81 to the upper stage 82 as shown in FIG.
【0165】次に搬送ステージ83が、図22(4)に
示すように後ステージ82の上方から下方に、下降する
ことによって、搬送ステージ83上から後ステージ82
上に太陽電池セル30を移し換える。
Next, as shown in FIG. 22D, the transfer stage 83 descends from above the rear stage 82 to below, so that the rear stage 82
The solar cell 30 is transferred upward.
【0166】その後搬送ステージは、図22(5)に示
すように後ステージ82の下方から前ステージ81の下
方に移動するとき、前ステージ81側へ移動するにつれ
て下方に傾斜するように移動する。
Thereafter, when the transfer stage moves from below the rear stage 82 to below the front stage 81 as shown in FIG. 22 (5), it moves so as to be inclined downward as it moves toward the front stage 81.
【0167】すなわち搬送ステージ83が後ステージ8
2の下方から前ステージ81の下方に移動するときに、
前ステージ81側に移動するにつれて下方に傾斜するよ
うに移動するので、図35で説明した従来技術のように
後ステージ82の下方に移動して前ステージ81の下方
に移動するときに比べて、搬送ステージ83の移動する
距離が短くなり、動作時間を短縮することができる。こ
のようなウォーキング搬送装置は、上記以外に、例えば
前工程から搬送手段によって搬送されてきた太陽電池セ
ル30を検査装置21に移し換えるとき、またはバッフ
ァ部31から一時収納部33に搬送する第2の搬送手段
などに適用することができる。
That is, the transfer stage 83 is moved to the rear stage 8
When moving from below 2 to below the front stage 81,
Since it moves so as to incline downward as it moves to the front stage 81 side, compared to the case of moving below the rear stage 82 and moving below the front stage 81 as in the related art described with reference to FIG. The moving distance of the transfer stage 83 is shortened, and the operation time can be shortened. In addition to the above, such a walking transport device may be used, for example, to transfer the solar cells 30 transported by the transport unit from the previous process to the inspection device 21 or to transport the solar cells 30 from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33. And the like.
【0168】本実施の形態の検査分類システムに従え
ば、パソコン28によって莫大なデータ量を有する装置
情報を容易に管理することができる。また装置情報を伝
達するときに、テスタを介しないので、装置情報の転送
速度を向上させることができる。
According to the inspection and classification system of this embodiment, the personal computer 28 can easily manage device information having a huge data amount. In addition, since the device information is not transmitted through the tester, the transfer speed of the device information can be improved.
【0169】またストック部24を設けることによっ
て、連続して円滑に、収納部23に太陽電池セルを搬送
することができる。また収納部23が通い箱となるの
で、従来のように、収納部23から通い箱に太陽電池セ
ルを入れ換える作業を省略することができる。これによ
って入れ換え作業に費やす時間を省略し、単位時間あた
りに検査分類することができる太陽電池セルを増加する
ことができる。
Further, by providing the stock portion 24, the solar cells can be transported to the storage portion 23 continuously and smoothly. Further, since the storage section 23 is a returnable box, it is possible to omit the operation of replacing the solar cell from the storage section 23 to the returnable box as in the related art. As a result, the time spent for the replacement operation can be omitted, and the number of solar cells that can be inspected and classified per unit time can be increased.
【0170】また本実施例に示す測定方法を行うことに
よって、電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時
との誤差を少なくして、信頼性の高い測定結果を得るこ
とができる。
Further, by performing the measurement method described in this embodiment, even in a state where electric noise occurs, an error from a normal measurement can be reduced and a highly reliable measurement result can be obtained.
【0171】また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形
板状の太陽電池セルに限らず、円板上であってもよく、
複数の電気特性を持つ薄形板状の半導体部品であればよ
い。また近似方法も最小二乗法またはラグランジュの2
次補間式以外の他の近似式または補間式を用いてもよ
い。
The thin plate-shaped semiconductor component of the present invention is not limited to a rectangular plate-shaped solar cell, but may be on a disk.
It may be a thin plate-shaped semiconductor component having a plurality of electrical characteristics. The approximation method is also the least squares method or Lagrange 2
Other approximation formulas or interpolation formulas other than the following interpolation formulas may be used.
【0172】また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形
板状の太陽電池セル30だけに限らず、円板状の半導体
ウエハであってもよい。またこのような上述の各構成
は、本発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成
を変更することができる。
The thin plate-shaped semiconductor component of the present invention is not limited to the rectangular plate-shaped solar cell 30 but may be a disk-shaped semiconductor wafer. The above-described configurations are merely examples of the present invention, and the configurations can be changed within the scope of the invention.
【0173】[0173]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、薄形板状
半導体部品を収納部に収納する収納手段にかかわらず、
測定手段から薄形板状半導体部品を取り出すことができ
る。したがって収納手段によって薄形板状半導体部品の
収納が行われている場合においても、測定手段から薄形
板状半導体部品の取り出しを行うことができる。したが
って搬送を一旦停止することなく、薄形板状半導体部品
の搬送を連続して、円滑に行うことができる。これによ
って検査分類システムの単位時間に検査分類することが
できる薄形板状半導体部品の数を増やし、検査分類速度
を向上することができる。
As described above, according to the present invention, regardless of the storage means for storing the thin plate-shaped semiconductor component in the storage section,
The thin plate-shaped semiconductor component can be taken out from the measuring means. Therefore, even when the thin plate-shaped semiconductor component is stored by the storage means, the thin plate-shaped semiconductor component can be taken out from the measuring means. Therefore, the transport of the thin plate-shaped semiconductor component can be continuously and smoothly performed without temporarily stopping the transport. Thus, the number of thin plate-shaped semiconductor components that can be inspected and classified in a unit time of the inspection and classification system can be increased, and the inspection and classification speed can be improved.
【0174】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
のランク判定結果を、判定手段が直接制御装置に伝える
ことによって、従来の技術のようにテスタを介在するこ
となく、伝達時間を短くしてランク判定結果を制御装置
に伝えることができる。たとえば判定手段はパーソナル
コンピュータであり、たとえば測定手段はテスタであ
る。
Further, according to the present invention, the result of the rank judgment of the thin plate-shaped semiconductor component is directly transmitted to the control device by the judging means, so that the transmission time can be shortened without the intervention of a tester as in the prior art. The result of the rank determination can be transmitted to the control device. For example, the determining means is a personal computer, and for example, the measuring means is a tester.
【0175】したがって制御装置と測定手段との間に判
定手段を介在させることによって、制御装置および測定
手段のいずれかを取り替えた場合においても、判定手段
がさまざまなインターフェイスを有するので、制御装置
と判定手段との接続または判定手段と測定手段との接続
を容易に行うことができる。
Therefore, by interposing the judging means between the control device and the measuring means, even if one of the control device and the measuring means is replaced, the judging means has various interfaces. Connection with the means or connection between the determination means and the measurement means can be easily performed.
【0176】また本発明によれば、装置情報および薄形
板状半導体部品の測定結果を同時に記憶管理することに
よって、装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部
品のランク判定との関連性を容易に確認することができ
る。これによって薄形板状半導体部品の製造において、
ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善する
ことによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造
することができる。
Further, according to the present invention, by simultaneously storing and managing the device information and the measurement result of the thin plate-shaped semiconductor component, the relationship between the change of the device information and the rank judgment of the manufactured thin plate-shaped semiconductor component is obtained. Can easily be confirmed. As a result, in the production of thin plate-shaped semiconductor components,
By finding and improving the device information that adversely affects the rank reduction, a higher quality thin plate-shaped semiconductor component can be manufactured.
【0177】また制御装置に装置情報を記憶する判定手
段とは別の管理機器を設置することを無くし、1つの手
段によって検査分類システム全体の管理を容易に行うこ
とができる。特に判定手段にパソコンを用いることによ
って、装置データの加工および表示を容易に行うことが
でき、利用者がシステム全体をさらに容易に管理するこ
とができる。
Further, it is not necessary to install a management device separate from the determination device for storing the device information in the control device, and the entire inspection and classification system can be easily managed by one device. In particular, by using a personal computer as the determination means, the processing and display of the device data can be easily performed, and the user can more easily manage the entire system.
【0178】また本発明によれば、3つ以上の測定点を
用いて、開放電圧Vocおよび短絡電流Iscを求める
ので、測定結果を補正して正確な電圧電流特性を得るこ
とができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定
結果である測定点が得られても、3つ以上の複数の測定
点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電
流特性を得ることができる。
Further, according to the present invention, since the open-circuit voltage Voc and the short-circuit current Isc are obtained using three or more measurement points, it is possible to correct the measurement results and obtain accurate voltage-current characteristics. Even if a measurement point that is an abnormal measurement result due to electrical noise or the like is obtained, three or more measurement points are used, so that accurate voltage-current characteristics can be obtained except for the abnormal measurement point. .
【0179】また本発明によれば、判定手段が最大測定
点を求め、最大点よりも予め設定される3つ以上の複数
の点から最大測定点まで隣り合う測定点同士の各差分を
比較することによって差分値が異常となる測定点を取り
除くことができる。したがって電気的ノイズなどによっ
て、異常な測定点が得られても、その異常な測定点を取
り除くことによって、より正確な近似曲線を得ることが
でき、正確な最大電力を得ることができる。
Further, according to the present invention, the judging means finds the maximum measurement point, and compares each difference between adjacent measurement points from three or more points set in advance to the maximum measurement point. As a result, the measurement point at which the difference value becomes abnormal can be removed. Therefore, even if an abnormal measurement point is obtained due to electrical noise or the like, a more accurate approximate curve can be obtained by removing the abnormal measurement point, and an accurate maximum power can be obtained.
【0180】また本発明によれば、暗測定時に測定手段
が一部の範囲の電圧走査を行う。これによって電圧走査
を行う範囲を減少させることができ、電圧走査に費やす
時間を減少させることができる。これによって薄形板状
半導体部品の検査工程に費やす検査時間を減少させるこ
とができ、検査分類システムの単位時間あたりの検査分
類数を向上することができる。
Further, according to the present invention, at the time of dark measurement, the measuring means performs voltage scanning of a partial range. As a result, the range in which voltage scanning is performed can be reduced, and the time spent for voltage scanning can be reduced. As a result, the inspection time spent in the inspection process of the thin plate-shaped semiconductor component can be reduced, and the number of inspection classifications per unit time of the inspection classification system can be improved.
【0181】また本発明によれば、ストック部に保持さ
れる複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて
収納部に収納される。したがって一度の搬送動作によっ
て複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送す
ることができ、単位時間あたりの搬送量を増加させるこ
とができる。またストック部が保持する薄形板状半導体
部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するの
で、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定に
することができ、収納部への収納を容易に行うことがで
きる。
Further, according to the present invention, a plurality of thin plate-shaped semiconductor components held by the stock portion are collectively stored in the storage portion. Therefore, a plurality of thin plate-shaped semiconductor components can be simultaneously transferred to the storage section by a single transfer operation, and the transfer amount per unit time can be increased. When the number of the thin plate-shaped semiconductor components held by the stock unit exceeds a predetermined number, the storage unit conveys the thin plate-shaped semiconductor components. Can be easily stored.
【0182】また本発明によれば、収納部に収容される
薄形板状半導体部品が、所定枚数を超えた場合、検査分
類システムから払い出される。このとき薄形板状半導体
部品が収納されていない別の収納部が検査装置に取り付
けられることによって、収納手段は、新しく取り付けら
れた収納部に薄形板状半導体部品を収納することができ
る。これによって収納部に収納された薄形板状半導体部
品を取り出す作業は、収納手段の収納作業とは独立して
行うことができる。したがって収納部から薄形板状半導
体部品を取り出す作業が行われている間も、一時停止す
ることなく別の収納部に薄形板状半導体部品を収納する
ことができる。これによって収納手段が停止することな
く、収納動作を継続することができるので、薄形板状半
導体部品の単位時間あたりの搬送量を向上することがで
きる。
Further, according to the present invention, when the number of the thin plate-shaped semiconductor components accommodated in the accommodation portion exceeds a predetermined number, the semiconductor component is paid out from the inspection and classification system. At this time, by attaching another storage portion in which the thin plate-shaped semiconductor component is not stored to the inspection device, the storage means can store the thin plate-shaped semiconductor component in the newly mounted storage portion. Thus, the operation of taking out the thin plate-shaped semiconductor component stored in the storage section can be performed independently of the storage operation of the storage means. Therefore, even while the work of taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the storage portion is performed, the thin plate-shaped semiconductor component can be stored in another storage portion without being temporarily stopped. As a result, the storing operation can be continued without stopping the storing means, so that the transport amount of the thin plate-shaped semiconductor component per unit time can be improved.
【0183】また本発明によれば、収納部ごと薄形板状
半導体部品を、次の製造工程に搬送することができる。
したがって収納部から別の箱に薄形板状半導体部品を移
し換える作業工程を省くことができる。また収納部によ
って薄形板状半導体部品を保護して、次工程に搬送する
ことができる。
Further, according to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component can be transported together with the storage section to the next manufacturing process.
Therefore, an operation process for transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the storage section to another box can be omitted. Further, the thin plate-shaped semiconductor component can be protected by the storage portion and transported to the next step.
【0184】また本発明によれば、搬送部から取り入れ
手段によって薄形板状半導体部品をストック部のバッフ
ァ部に一時的に収納することができるので、順次搬送さ
れる薄形板状半導体部品を収納部に収納する動作と搬送
部から薄形板状半導体部品を取り出す動作とを同時に行
うことができる。これによって薄形板状半導体部品を収
納部に収納する動作にかかわらず搬送部から薄形板状半
導体部品を取り出すことができる。したがって収納手段
および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半
導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率
を向上することができる。
Further, according to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor parts can be temporarily stored in the buffer part of the stock part by the taking-in means from the transfer part. The operation of accommodating in the storage section and the operation of taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the transport section can be performed simultaneously. Thus, the thin plate-shaped semiconductor component can be taken out of the transport unit regardless of the operation of storing the thin plate-shaped semiconductor component in the storage unit. Therefore, the thin plate-shaped semiconductor component can be stored in the storage section without stopping the storage means and the intake means, and the operation rate of the apparatus can be improved.
【0185】さらにストック部24が、バッファ部と一
時収容部とを有し、バッファ部から一時収容部に第2の
搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が
薄形板状半導体部品をストック部に取り入れる部分と、
収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出
す部分とを異なる位置に設けることができるので、収納
手段と取り入れ手段とが接触することを防止することが
できる。
Further, the stock section 24 has a buffer section and a temporary storage section, and transports from the buffer section to the temporary storage section by the second transport means. Therefore, the taking-in means takes in the thin plate-shaped semiconductor parts into the stock part,
Since the accommodating means can be provided at a different position from the portion for taking out the thin plate-shaped semiconductor component from the stock portion, it is possible to prevent the accommodating means and the intake means from coming into contact with each other.
【0186】これによって薄形板状半導体部品の搬送手
段による搬送を連続して円滑に行うことができる。
As a result, the thin plate-shaped semiconductor component can be continuously and smoothly transported by the transporting means.
【0187】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を積載して収納する場合に比べて、接触する面積が少な
く、厚み方向側の面が損傷する可能性を少なくすること
ができるので、薄形板状半導体部品が損傷することを防
止することができる。
Further, according to the present invention, the contact area is small and the possibility of damage to the surface in the thickness direction can be reduced as compared with the case where thin plate-shaped semiconductor components are stacked and stored. In addition, it is possible to prevent the thin plate-shaped semiconductor component from being damaged.
【0188】また本発明によれば、バッファ部から一時
収納部へ搬送するときに過負荷検出手段が設けられるの
で、過負荷時には、即座に第2の搬送手段を停止し、搬
送時の薄形板状半導体部品の破損を防止することができ
る。
Further, according to the present invention, the overload detecting means is provided when the sheet is transferred from the buffer section to the temporary storage section. Therefore, when the load is overloaded, the second transfer means is immediately stopped, so that the thin section at the time of transfer is provided. The breakage of the plate-shaped semiconductor component can be prevented.
【0189】また本発明よれば、薄形板状半導体部品を
反転する手段と搬送する手段とに分かれているのでより
確実に薄形板状半導体部品を搬送および反転することが
できる。
Further, according to the present invention, the means for reversing the thin plate-shaped semiconductor component and the means for conveying it are separated, so that the thin plate-shaped semiconductor component can be more reliably conveyed and turned over.
【0190】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を収納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、
収納動作時間を短縮することができ、装置の稼動率を向
上することができる。またハンドは、立位状態に収納さ
れる薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送す
るので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部
に搬送することができ、短時間かつ容易に収納部に薄形
板状半導体部品を立位状態で収納部に納めることができ
る。
Further, according to the present invention, since a plurality of hands for transporting the thin plate-shaped semiconductor component to the storage section are transported simultaneously,
The storage operation time can be shortened, and the operation rate of the device can be improved. In addition, since the hand holds and transports the thin plate-shaped semiconductor component stored in the upright state while maintaining it in the upright state, it does not require a complicated operation and can be easily and reliably transported to the storage section. The thin plate-shaped semiconductor component can be stored in the storage part in a standing state in a short time and easily.
【0191】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を一対の保持部材に倒立状態で乗載して、バッファ部か
ら収納部に搬送するので、薄形板状半導体部品の表面を
損傷することなく搬送することができる。また多数の薄
形板状半導体部品を積載して搬送する場合に比べて一つ
の薄形板状半導体部品にかかる負荷を少なくして搬送す
ることができる。したがって、薄形板状半導体部品を損
傷することなく搬送することができる。
Further, according to the present invention, the thin plate-shaped semiconductor component is mounted on the pair of holding members in an inverted state and transported from the buffer unit to the storage unit, so that the surface of the thin plate-shaped semiconductor component is damaged. It can be transported without performing. In addition, compared to a case where a large number of thin plate-shaped semiconductor components are stacked and transferred, the load applied to one thin plate-shaped semiconductor component can be reduced and transferred. Therefore, the thin plate-shaped semiconductor component can be transported without being damaged.
【0192】また本発明によれば、収納部には、緩衝材
が設けられるので、収納している薄形板状半導体部品が
衝撃によって破損する可能性を低下させることができ
る。
Further, according to the present invention, since the buffer is provided in the storage section, the possibility that the stored thin plate-shaped semiconductor component is damaged by impact can be reduced.
【0193】また本発明によれば、収納部および仕切部
材によって、薄形板状半導体部品を保持しかつ、充分な
隙間が形成されるので、自動および手動の両方において
薄形板状半導体部品の収納および取り出しが容易に行う
ことができる。すなわち、ハンドの稼働範囲が充分に確
保され、薄形板状半導体部品の収納および取り出しが高
速で行えるとともに、薄形板状半導体部品にハンドが接
触することによる破損が低減される。
Further, according to the present invention, since the thin plate-shaped semiconductor component is held by the housing portion and the partition member and a sufficient gap is formed, the thin plate-shaped semiconductor component can be automatically and manually operated. Storage and removal can be performed easily. That is, the operating range of the hand is sufficiently ensured, the thin plate-shaped semiconductor components can be stored and taken out at a high speed, and damage due to the hand contacting the thin plate-shaped semiconductor components is reduced.
【0194】また本発明によれば、収納部から別の箱に
薄形板状半導体部品を移し換える作業工程を省略するこ
とができる。したがって作業時間を短縮して次工程に移
ることができる。
Further, according to the present invention, it is possible to omit the operation step of transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the storage section to another box. Therefore, the operation time can be shortened and the next process can be performed.
【0195】また本発明によれば、搬送ステージの移動
する距離が短くして、搬送ステージの動作時間を短縮す
ることができる。したがって、搬送ステージのサイクル
動作を短縮して、単位時間当たりに搬送できる薄形板状
半導体部品を多くすることができ、装置の稼動率を向上
することができる。
According to the present invention, the moving distance of the transfer stage can be shortened, and the operation time of the transfer stage can be shortened. Therefore, the cycle operation of the transfer stage can be shortened, the number of thin plate-shaped semiconductor components that can be transferred per unit time can be increased, and the operation rate of the apparatus can be improved.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部
品の検査分類システム20を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a thin plate-shaped semiconductor component inspection and classification system 20 according to an embodiment of the present invention.
【図2】検査分類システム20の搬送動作を示すフロー
チャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a transport operation of the inspection and classification system 20.
【図3】検査分類システム20の主要な部分を示す斜視
図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a main part of the inspection classification system 20.
【図4】検査分類システムに搬送される太陽電池セル3
0の動きを示すフローチャートである。
FIG. 4 shows a photovoltaic cell 3 transferred to an inspection and classification system.
It is a flowchart which shows the movement of 0.
【図5】検査装置21の構成を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of the inspection device 21.
【図6】テスタ27の測定回路を簡略化して示す回路図
である。
FIG. 6 is a simplified circuit diagram showing a measurement circuit of the tester 27.
【図7】テスタ27の測定回路を簡略化して示す他の回
路図である。
FIG. 7 is another circuit diagram showing a simplified measurement circuit of the tester 27.
【図8】太陽電池セル30のランク判定の流れを示すブ
ロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a flow of rank determination of the solar cell 30.
【図9】検査装置21の太陽電池セル30の検査の流れ
を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a flow of inspection of the solar cell 30 by the inspection device 21.
【図10】テスタ27によって得られた測定点を基にし
た、太陽電池セル30の電圧電流特性を示すグラフであ
る。
FIG. 10 is a graph showing voltage-current characteristics of the solar cell 30 based on measurement points obtained by the tester 27.
【図11】パソコン28が最大出力Pmを算出する手順
を示すフローチャートである。
FIG. 11 is a flowchart showing a procedure in which the personal computer calculates a maximum output Pm.
【図12】表3の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 12 is a graph showing the relationship between voltage and current in Table 3.
【図13】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧
電流特性を示すグラフである。
FIG. 13 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where no simulated sunlight is irradiated.
【図14】ストック部24を示す正面図である。FIG. 14 is a front view showing the stock unit 24.
【図15】一時収納部33を示す斜視図である。15 is a perspective view showing a temporary storage section 33. FIG.
【図16】ハンド58を示す正面図である。16 is a front view showing the hand 58. FIG.
【図17】搬送ロボットのハンド58の取り出し動作を
示す正面図である。
FIG. 17 is a front view showing an operation of taking out the hand 58 of the transfer robot.
【図18】ハンド58の収納動作を示すフローチャート
である。
FIG. 18 is a flowchart showing a storing operation of the hand 58.
【図19】収納部23の形状を示す平面図である。FIG. 19 is a plan view showing the shape of the storage section 23.
【図20】ハンド58による収納動作を示す平面図であ
る。
FIG. 20 is a plan view showing the storing operation by the hand 58.
【図21】図20の断面図である。FIG. 21 is a sectional view of FIG. 20;
【図22】搬送ステージ83のウォーキング搬送動作を
示す概略図である。
FIG. 22 is a schematic view showing a walking transfer operation of the transfer stage 83.
【図23】従来の技術の太陽電池セル10の検査分類シ
ステム1を示す概略図である。
FIG. 23 is a schematic view showing an inspection and classification system 1 for a solar cell 10 according to a conventional technique.
【図24】収納部6に収納される太陽電池セル10の動
作を示すフローチャートである。
FIG. 24 is a flowchart showing an operation of the solar battery cell 10 stored in the storage section 6.
【図25】太陽電池セル10の動きを説明する検査分類
システム1の斜視図である。
FIG. 25 is a perspective view of the inspection and classification system 1 for explaining the movement of the solar cell 10;
【図26】従来の検査分類システムにおいて搬送される
太陽電池セル10の動きを示すフローチャートである。
FIG. 26 is a flowchart showing the movement of a solar cell 10 transported in a conventional inspection and classification system.
【図27】従来の通い箱7を示す平面図である。FIG. 27 is a plan view showing a conventional returnable box 7;
【図28】従来のランク判定の流れを示すブロック図で
ある。
FIG. 28 is a block diagram showing a flow of a conventional rank determination.
【図29】テスタ101からの生データ105に基づい
て算出した、電圧電流特性を示すグラフである。
FIG. 29 is a graph showing voltage-current characteristics calculated based on raw data 105 from the tester 101.
【図30】パソコン102が最大出力Pmを算出する手
順を示すフローチャートである。
FIG. 30 is a flowchart showing a procedure in which the personal computer 102 calculates a maximum output Pm.
【図31】テスタ101によって得られた太陽電池セル
の電圧電流特性を示すグラフである。
FIG. 31 is a graph showing the voltage-current characteristics of the solar cell obtained by the tester 101.
【図32】表1の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 32 is a graph showing the relationship between voltage and current in Table 1.
【図33】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧
電流特性を示すグラフである。
FIG. 33 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where no simulated sunlight is irradiated.
【図34】表2の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 34 is a graph showing the relationship between voltage and current in Table 2.
【図35】従来の搬送ステージ13のウォーキング搬送
動作を示す概略図である。
FIG. 35 is a schematic view showing a walking transfer operation of a conventional transfer stage 13.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
20 薄形板状半導体部品の検査分類システム 21 検査装置 22 第1の搬送手段 23 収納部 24 ストック部 25 搬送部 31 バッファ部 32 スライド部 33 一時収納部 34 取り入れ手段 35 収納手段 36 スライドユニット 37 反転手段 300 分類装置 Reference Signs List 20 inspection / classification system for thin plate-shaped semiconductor component 21 inspection device 22 first transport means 23 storage unit 24 stock unit 25 transport unit 31 buffer unit 32 slide unit 33 temporary storage unit 34 intake unit 35 storage unit 36 slide unit 37 inversion Means 300 Classifier
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/26 G01R 31/26 F H01L 21/68 H01L 21/68 A Fターム(参考) 2G003 AA05 AA10 AB01 AF06 AG11 AH01 AH04 3F022 AA08 EE01 EE05 FF01 LL15 MM03 MM13 MM17 NN26 QQ07 QQ12 3F079 AD06 AD17 CA37 CB21 DA25 DA30 DA33 EA06 EA16 5F031 CA02 CA05 DA17 FA01 FA02 FA18 FA20 MA33 PA03 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) G01R 31/26 G01R 31/26 F H01L 21/68 H01L 21/68 A F-term (reference) 2G003 AA05 AA10 AB01 AF06 AG11 AH01 AH04 3F022 AA08 EE01 EE05 FF01 LL15 MM03 MM13 MM17 NN26 QQ07 QQ12 3F079 AD06 AD17 CA37 CB21 DA25 DA30 DA33 EA06 EA16 5F031 CA02 CA05 DA17 FA01 FA02 FA18 FA20 MA33 PA03

Claims (20)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 薄形板状半導体部品を検査してランクを
    判定する検査装置と、検査装置によって判定されたラン
    クに基づいて、薄形板状半導体部品を対応する収納部に
    分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類
    装置とを統括的に制御する制御装置とを有する薄形板状
    半導体部品の検査分類システムであって、 検査装置は、薄形板状半導体部品を測定する測定手段
    と、測定結果に基づいてランクを判定する判定手段とを
    有し、 分類装置は、 収納部ごとに設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を
    保持するストック部と、 測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって判定
    されたランクに対応するストック部に取り入れる取り入
    れ手段とストック部に保持された薄形板状半導体部品を
    収納部に収納する収納手段とを有することを特徴とする
    薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    An inspection device for inspecting a thin plate-shaped semiconductor component to determine a rank, and storing the thin plate-shaped semiconductor component in a corresponding storage section based on the rank determined by the inspection device. And a control device for controlling the inspection device and the classification device in an integrated manner, wherein the inspection device measures the thin plate-shaped semiconductor component. A classifying device that is provided for each storage section and holds a thin plate-shaped semiconductor component before storage, and a measurement section that performs measurement after measurement. Having a take-in means for taking the thin plate-shaped semiconductor component of the above into the stock portion corresponding to the rank determined by the inspection device and a storage means for storing the thin plate-shaped semiconductor component held by the stock portion in the storage portion. Inspection classification system thin plate-like semiconductor part, characterized.
  2. 【請求項2】 前記判定手段は、制御装置と測定手段と
    に電気的に接続され、 制御装置から測定実施命令が入力されると、測定実施命
    令を測定手段に出力し、 測定手段から薄形板状半導体部品の測定結果が入力され
    ると、測定結果からランクを判定し、そのランク判定の
    結果を制御装置に出力することを特徴とする請求項1記
    載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    2. The measuring means is electrically connected to a control device and a measuring means, and when a measuring execution command is input from the control device, outputs the measuring executing command to the measuring means. 2. The thin plate semiconductor component inspection according to claim 1, wherein when a measurement result of the plate semiconductor component is input, a rank is determined from the measurement result, and the result of the rank determination is output to a control device. Classification system.
  3. 【請求項3】 前記判定手段は、前記測定手段から得ら
    れる測定結果と、検査分類システムの装置情報とを記憶
    および管理し、前記測定結果に基づいて、薄形板状半導
    体部品のランクを判定することを特徴とする請求項1ま
    たは2記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    3. The determination unit stores and manages a measurement result obtained from the measurement unit and device information of an inspection and classification system, and determines a rank of the thin plate-shaped semiconductor component based on the measurement result. 3. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to claim 1, wherein
  4. 【請求項4】 薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
    って、 前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
    測定結果として3つ以上の測定点を得て、 前記判定手段は、前記3つ以上の測定点に基づいて、電
    圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸との交
    点を開放電圧値Vocとすることを特徴とする請求項1
    〜3のいずれか1つに記載の薄形板状半導体部品の検査
    分類システム。
    4. The thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, wherein the measuring means measures voltage-current characteristics of the solar cell,
    Obtaining three or more measurement points as measurement results, the determination means obtains an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and sets an intersection between the approximate line and the voltage axis to an open voltage. 2. A value Voc.
    4. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of the above-mentioned items.
  5. 【請求項5】 薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
    って、 前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
    測定結果として3つ以上の測定点を得て、 前記判定手段は、前記3つ以上の測定点に基づいて、電
    圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸との交
    点を短絡電流値Iscとすることを特徴とする請求項1
    〜4のいずれか1つに記載の薄形板状半導体部品の検査
    分類システム。
    5. The thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, wherein the measuring means measures voltage-current characteristics of the solar cell,
    Obtaining three or more measurement points as measurement results, the determination means obtains an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and determines an intersection of the approximate line and the current axis with a short-circuit current. The value is set to Isc.
    5. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of the above-mentioned items.
  6. 【請求項6】 薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
    って、 前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
    測定結果として複数の測定点を得て、 前記判定手段は、前記複数の測定点の中から電圧値と電
    流値との積が最大である最大測定点を求め、 最大測定点近傍の複数の測定点のうち、各測定点の差分
    値に基づいて異常な測定点を判別し、この異常な測定点
    を除去した残りの測定点から近似曲線を求め、近似曲線
    上の電圧値と電流値とが最大となる位置を最大電力Pm
    とすることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに
    記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    6. The thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, wherein the measuring means measures voltage-current characteristics of the solar cell,
    Obtaining a plurality of measurement points as a measurement result, the determination means obtains a maximum measurement point at which a product of a voltage value and a current value is the largest from the plurality of measurement points, and obtains a plurality of measurement points near the maximum measurement point. Among the points, an abnormal measurement point is determined based on a difference value of each measurement point, an approximate curve is obtained from the remaining measurement points from which the abnormal measurement point is removed, and a voltage value and a current value on the approximate curve are obtained. Maximum position is the maximum power Pm
    The inspection and classification system for thin plate-shaped semiconductor components according to any one of claims 1 to 5, wherein:
  7. 【請求項7】 薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
    って、前記測定手段は、光を照射しない暗測定時に、予
    め定める電圧の近傍で電圧走査を行い、電圧電流測定を
    行うことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記
    載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    7. The thin plate-shaped semiconductor component is a solar cell, and the measuring means performs voltage scanning near a predetermined voltage and performs voltage / current measurement during dark measurement without irradiation with light. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of claims 1 to 6, wherein:
  8. 【請求項8】 各ストック部は複数枚の薄形板状半導体
    部品を保持し、ストック部が保持する薄形板状半導体部
    品が所定枚数を超えた場合、複数の薄形板状半導体部品
    は、収納手段によってまとめて収納部に収納されること
    を特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の薄形
    板状半導体部品の検査分類システム。
    8. Each stock portion holds a plurality of thin plate-shaped semiconductor components. When the number of thin plate-shaped semiconductor components held by the stock portion exceeds a predetermined number, the plurality of thin plate-shaped semiconductor components are 8. The inspection and classification system for thin plate-shaped semiconductor components according to claim 1, wherein the inspection and classification system is collectively stored in a storage unit by a storage unit.
  9. 【請求項9】 前記収納部は、検査分類システムから着
    脱可能に設けられ、前記収納部に収容される薄形板状半
    導体部品が所定枚数を超えた場合、検査分類システムか
    ら払い出されることを特徴とする請求項1〜8のいずれ
    か1つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
    ム。
    9. The storage unit is provided detachably from an inspection and classification system, and is paid out from the inspection and classification system when the number of thin plate-shaped semiconductor components stored in the storage unit exceeds a predetermined number. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of claims 1 to 8.
  10. 【請求項10】 所定枚数の薄形板状半導体部品が収容
    されて払い出された収納部が、同一ランクの薄型板状半
    導体部品をまとめて次の工程に搬送するための箱として
    用いられることを特徴とする請求項9記載の薄型板状半
    導体部品の検査分類システム。
    10. A storage section in which a predetermined number of thin plate-shaped semiconductor components are stored and paid out are used as a box for collectively transporting thin plate-shaped semiconductor components of the same rank to the next step. 10. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to claim 9, wherein:
  11. 【請求項11】 前記分類装置は、検査後の薄形板状半
    導体部品を一時的に保持する搬送部と、 検査装置から搬送部に順次搬送する第1の搬送手段とを
    有し、 前記ストック部は、収納部毎に設けられ、収納前の薄形
    板状半導体部品を保持するバッファ部と、 バッファ部と収納部との間に設けられ、収納前の薄形板
    状半導体部品を一時的に収納する一時収納部と、 バッファ部から一時収納部へ薄形板状半導体部品を搬送
    する第2の搬送手段と、 一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を収納する
    収納手段とを備えることを特徴とする請求項1〜10の
    いずれか1つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類シ
    ステム。
    11. The sorting apparatus has a transport unit for temporarily holding the thin plate-shaped semiconductor component after inspection, and a first transport unit for sequentially transporting the semiconductor device from the inspection device to the transport unit. The part is provided for each storage part, and a buffer part that holds the thin plate-shaped semiconductor component before storage, and is provided between the buffer part and the storage part, and temporarily stores the thin plate-shaped semiconductor part before storage. A second storage unit for transferring the thin plate-shaped semiconductor component from the buffer unit to the temporary storage unit; and a storage unit for storing the thin plate-shaped semiconductor component from the temporary storage unit to the storage unit. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of claims 1 to 10, further comprising:
  12. 【請求項12】 薄形板状半導体部品は、略鉛直な立位
    状態で収納部に収納されることを特徴とする請求項1〜
    11のいずれか1つに記載の薄形板状半導体部品の検査
    分類システム。
    12. The semiconductor device according to claim 1, wherein the thin plate-shaped semiconductor component is stored in the storage portion in a substantially vertical standing state.
    12. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to any one of 11.
  13. 【請求項13】 前記第2の搬送手段には、薄形板状半
    導体部品に所定以上の負荷がかかったことを検出する過
    負荷検出手段が設けられることを特徴とする請求項11
    または12記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
    ム。
    13. An overload detecting means for detecting that a load equal to or more than a predetermined load is applied to the thin plate-shaped semiconductor component, wherein the second transport means is provided.
    13. A system for inspecting and classifying thin plate-shaped semiconductor components according to item 12.
  14. 【請求項14】 前記一時収納部は、薄形板状半導体部
    品を水平状態から立位状態に反転させる反転手段を有す
    ることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1つに
    記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
    14. The thin storage device according to claim 11, wherein the temporary storage portion has a reversing means for reversing the thin plate-shaped semiconductor component from a horizontal state to a standing state. Inspection and classification system for plate-shaped semiconductor parts.
  15. 【請求項15】 前記収納手段は、反転手段によって立
    てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状態で保持
    し、収納部へ搬送するハンドを有することを特徴とする
    請求項14記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
    ム。
    15. The storage unit according to claim 14, wherein the storage unit has a hand that holds the plurality of thin plate-shaped semiconductor components set up by the reversing unit in an upright state and transports the semiconductor device to the storage unit. Inspection and classification system for thin plate semiconductor parts.
  16. 【請求項16】 前記ハンドは、立位状態にある薄形板
    状半導体部品に平行に配置される側壁と、この側壁の底
    部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保持部材を有
    し、この保持部材を立位状態にある薄形板状半導体部品
    の両側に配置し、互いに近接させて薄型板状半導体部品
    の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させることによっ
    て、薄形板状半導体部品を立位状態に保持して搬送する
    ことを特徴とする請求項15記載の薄形板状半導体部品
    の検査分類システム。
    16. The hand has a pair of holding members having a side wall arranged in parallel with the thin plate-shaped semiconductor component in an upright position, and a bottom wall substantially perpendicular to the bottom of the side wall. By disposing the holding member on both sides of the thin plate-shaped semiconductor component in the upright position, placing the bottom wall under the thin plate-shaped semiconductor component close to each other, and raising the hand, the thin plate-shaped 16. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to claim 15, wherein the semiconductor component is transported while being held in an upright state.
  17. 【請求項17】 前記収納部には、上部に開口が形成さ
    れ、底部には弾発性を有する緩衝部材が設けられること
    を特徴とする請求項1〜16のいずれか1つに記載の薄
    形板状半導体部品の検査分類システム。
    17. The thin plate according to claim 1, wherein an opening is formed in an upper portion of the storage portion, and a resilient cushioning member is provided in a bottom portion. Inspection and classification system for plate-shaped semiconductor parts.
  18. 【請求項18】 前記収納部の両側壁には、上下方向に
    伸び、薄形板状半導体部品を立位状態に保持する複数対
    の支持部材が設けられ、前記緩衝部材は収納部の底部両
    側に配置され、底部中央に溝が設けられることを特徴と
    する請求項17記載の薄形板状半導体部品の検査分類シ
    ステム。
    18. A plurality of pairs of support members, which extend in the up-down direction and hold the thin plate-shaped semiconductor component in an upright state, are provided on both side walls of the storage section, and the buffer member is provided on both sides of the bottom of the storage section. 18. The inspection and classification system according to claim 17, wherein a groove is provided at the center of the bottom.
  19. 【請求項19】 前記収納部は、次工程に薄形板状半導
    体部品を搬送するための箱として用いられることを特徴
    とする請求項1〜18のいずれか1つに記載の薄形板状
    半導体部品の検査分類システム。
    19. The thin plate according to claim 1, wherein the storage portion is used as a box for transporting the thin plate semiconductor component in the next step. Inspection and classification system for semiconductor parts.
  20. 【請求項20】 前記第1の搬送手段または前記第2の
    搬送手段は、前ステージと後ステージと、薄形板状半導
    体部品を乗載し、前ステージから後ステージへ搬送する
    搬送ステージとを備え、 搬送ステージは、前ステージの下から上昇することによ
    って前ステージ上から搬送ステージ上に薄形板状半導体
    部品を移し換え、前ステージ上から後ステージ上へ移動
    し、後ステージの上方から下方に、搬送ステージが下降
    することによって、搬送ステージ上から後ステージ上に
    薄形板状半導体部品を移し換え、後ステージの下方から
    前ステージの下方に移動するとき、前ステージ側へ移動
    するにつれて下方に傾斜するように移動することを特徴
    とする請求項11〜19のいずれか1つに記載の薄形板
    状半導体部品の検査分類システム。
    20. The first transfer means or the second transfer means includes a front stage, a rear stage, and a transfer stage on which a thin plate-shaped semiconductor component is mounted and transferred from the front stage to the rear stage. The transfer stage moves the thin plate-shaped semiconductor component from the front stage to the transfer stage by ascending from below the front stage, moves from the front stage to the rear stage, and moves downward from above the rear stage. When the transfer stage is lowered, the thin plate-shaped semiconductor component is transferred from the transfer stage to the rear stage, and moves from below the rear stage to below the front stage. 20. The inspection and classification system for a thin plate-shaped semiconductor component according to claim 11, wherein the inspection and classification system moves so as to be inclined.
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