JP2002134811A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JP2002134811A JP2002134811A JP2000322255A JP2000322255A JP2002134811A JP 2002134811 A JP2002134811 A JP 2002134811A JP 2000322255 A JP2000322255 A JP 2000322255A JP 2000322255 A JP2000322255 A JP 2000322255A JP 2002134811 A JP2002134811 A JP 2002134811A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力を維持し高
品質の加工性能を得ることができるガスレーザ発振装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】レーザガスを循環させるための送風機１
ａ、１ｂを２台具備し、レーザガスを循環させるための
ガス配管経路１１ａ〜１１ｄを具備し、配管経路の一部
に電極３ａ〜３ｄ、４ａ〜４ｄを配置し、電極３ａ〜３
ｄ、４ａ〜４ｄに接続された高電圧電源５ａ〜５ｄによ
りレーザガスを放電励起し、レーザ光を発する光共振器
７、８を備えたガスレーザ発振装置であって、送風機１
ａ、１ｂのレーザガス排出部を配管１１ｆで接続した構
成とした。消耗部品の経時劣化などによるレーザ出力の
低下を抑制できる。
品質の加工性能を得ることができるガスレーザ発振装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】レーザガスを循環させるための送風機１
ａ、１ｂを２台具備し、レーザガスを循環させるための
ガス配管経路１１ａ〜１１ｄを具備し、配管経路の一部
に電極３ａ〜３ｄ、４ａ〜４ｄを配置し、電極３ａ〜３
ｄ、４ａ〜４ｄに接続された高電圧電源５ａ〜５ｄによ
りレーザガスを放電励起し、レーザ光を発する光共振器
７、８を備えたガスレーザ発振装置であって、送風機１
ａ、１ｂのレーザガス排出部を配管１１ｆで接続した構
成とした。消耗部品の経時劣化などによるレーザ出力の
低下を抑制できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガスレーザ発振装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来のガスレーザ発振装置につい
て説明する。図３は従来のガスレーザ発振装置を示すも
のである。図３において、ｌａ、１ｂは送風機、２ａ、
２ｂ、２ｃ、２ｄは放電管、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２
ｄの近辺に設置した電極である。５ａ、５ｂ、５ｃ、５
ｄは電極３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、
４ｄにそれぞれ接続した高電圧電源、６は放電空間であ
る。７は全反射鏡、８は部分透過鏡であり、光共振器を
構成する。９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄは熱交換器、１０は
部分透過鏡８から取り出されるレーザビーム、１１ａ、
１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅはレーザガス配管、１
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄはレーザガス、１３は真
空ポンプ、１４はレーザガスボンベ、１５は排出流量調
整器、１６は供給流量調整器、１７は制御部、１８は信
号線、１９は圧力検出器である。
て説明する。図３は従来のガスレーザ発振装置を示すも
のである。図３において、ｌａ、１ｂは送風機、２ａ、
２ｂ、２ｃ、２ｄは放電管、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２
ｄの近辺に設置した電極である。５ａ、５ｂ、５ｃ、５
ｄは電極３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、
４ｄにそれぞれ接続した高電圧電源、６は放電空間であ
る。７は全反射鏡、８は部分透過鏡であり、光共振器を
構成する。９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄは熱交換器、１０は
部分透過鏡８から取り出されるレーザビーム、１１ａ、
１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅはレーザガス配管、１
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄはレーザガス、１３は真
空ポンプ、１４はレーザガスボンベ、１５は排出流量調
整器、１６は供給流量調整器、１７は制御部、１８は信
号線、１９は圧力検出器である。
【０００３】以上のように構成されたガスレーザ発振装
置について、その動作を説明する。送風機１ａ、１ｂに
よりレーザガス配管１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを
通し、放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにレーザガス１２
ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄを強制的に循環させる。こ
のとき送風機１ａから排出されたレーザガス１２ａ、１
２ｂはレーザガス配管１１ａ、１１ｂを通過して放電管
２ａ、２ｂに流れ、送風機１ｂから排出されたレーザガ
ス１２ｃ、１２ｄはレーザガス配管１１ｃ、１１ｄを通
過して放電管２ｃ、２ｄにそれぞれ流れている。送風器
１ａ、１ｂの配管経路は放電管２ｂ、２ｃの電極４ｂ、
３ｃ側に設けられた配管１１ｅで接続され、放電管２
ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ内の圧力を等しくさせる構造とし
ている。
置について、その動作を説明する。送風機１ａ、１ｂに
よりレーザガス配管１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを
通し、放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにレーザガス１２
ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄを強制的に循環させる。こ
のとき送風機１ａから排出されたレーザガス１２ａ、１
２ｂはレーザガス配管１１ａ、１１ｂを通過して放電管
２ａ、２ｂに流れ、送風機１ｂから排出されたレーザガ
ス１２ｃ、１２ｄはレーザガス配管１１ｃ、１１ｄを通
過して放電管２ｃ、２ｄにそれぞれ流れている。送風器
１ａ、１ｂの配管経路は放電管２ｂ、２ｃの電極４ｂ、
３ｃ側に設けられた配管１１ｅで接続され、放電管２
ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ内の圧力を等しくさせる構造とし
ている。
【０００４】電極３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４
ｂ、４ｃ、４ｄは放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの近辺
のレーザガス循環系内部に設置されており、このとき高
電圧電源５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに接続された電極３
ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄから放
電空間６に高電圧がそれぞれ印加され放電管２ａ、２
ｂ、２ｃ、２ｄの内部にグロー放電を発生させる。
ｂ、４ｃ、４ｄは放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの近辺
のレーザガス循環系内部に設置されており、このとき高
電圧電源５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに接続された電極３
ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄから放
電空間６に高電圧がそれぞれ印加され放電管２ａ、２
ｂ、２ｃ、２ｄの内部にグロー放電を発生させる。
【０００５】レーザガス１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２
ｄは送風機１ａ、１ｂから圧縮されて排出され高温とな
っているため送風機１ａ、１ｂの下流側に配置された熱
交換器９ｂ、９ｄにより冷却されている。また放電空間
６を通過した後のレーザガス１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、
１２ｄも放電エネルギが印加され高温になるため同様に
熱交換器９ａ、９ｃによって冷却されている。
ｄは送風機１ａ、１ｂから圧縮されて排出され高温とな
っているため送風機１ａ、１ｂの下流側に配置された熱
交換器９ｂ、９ｄにより冷却されている。また放電空間
６を通過した後のレーザガス１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、
１２ｄも放電エネルギが印加され高温になるため同様に
熱交換器９ａ、９ｃによって冷却されている。
【０００６】グロー放電により励起されたレーザガス１
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄはレーザ発振し全反射鏡
７および部分反射鎖８の間をレーザビームが往復しなが
ら増幅され共振状態となる。この共振状態から全反射鏡
７、部分透過鏡８間のレーザビームの一部が部分透過鏡
８よりレーザビーム１０として共振器外部へ取り出され
る。このレーザビーム１０が金属切断、溶接などの加工
に用いられる。
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄはレーザ発振し全反射鏡
７および部分反射鎖８の間をレーザビームが往復しなが
ら増幅され共振状態となる。この共振状態から全反射鏡
７、部分透過鏡８間のレーザビームの一部が部分透過鏡
８よりレーザビーム１０として共振器外部へ取り出され
る。このレーザビーム１０が金属切断、溶接などの加工
に用いられる。
【０００７】レーザガス１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２
ｄはその一部が排出流量調整器１５を通じ真空ポンプ１
３によってレーザ発振装置外部へ取り出され廃棄され
る。廃棄されたレーザガスと同量の新しいレーザガスを
ボンベ１４から供給流量調整器１６を通してガスレーザ
発振装置内部へ供給することにより内部圧力が一定にな
るよう維持している。内部圧力は圧力検出器１９によっ
て検出され、信号が制御部１７に送られる。制御部１７
内においてあらかじめ設定されている圧力となるように
供給流量調整器１５、排出流量調整器１６の両者または
片方を制御している。
ｄはその一部が排出流量調整器１５を通じ真空ポンプ１
３によってレーザ発振装置外部へ取り出され廃棄され
る。廃棄されたレーザガスと同量の新しいレーザガスを
ボンベ１４から供給流量調整器１６を通してガスレーザ
発振装置内部へ供給することにより内部圧力が一定にな
るよう維持している。内部圧力は圧力検出器１９によっ
て検出され、信号が制御部１７に送られる。制御部１７
内においてあらかじめ設定されている圧力となるように
供給流量調整器１５、排出流量調整器１６の両者または
片方を制御している。
【０００８】このようなガスレーザ発振装置では、全反
射鏡７と部分透過鏡８の間にてレーザビームが発生する
ので、この軸上には部品を配置できず全反射鏡７と部分
透過鏡８の間を空間として確保する必要があった。その
ため軸上に配置されている放電管２ｂ、２ｃ間も必然的
に空間的に接続されており、そのことが結果的にレーザ
ガス配管１１ｅで接続される構造となっていた。
射鏡７と部分透過鏡８の間にてレーザビームが発生する
ので、この軸上には部品を配置できず全反射鏡７と部分
透過鏡８の間を空間として確保する必要があった。その
ため軸上に配置されている放電管２ｂ、２ｃ間も必然的
に空間的に接続されており、そのことが結果的にレーザ
ガス配管１１ｅで接続される構造となっていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
構成では放電管２ａ、２ｂと２ｃ、２ｄにそれぞれ流れ
るレーザガス１２ａ、１２ｂと１２ｃ、１２ｄの流量に
差が生じるといった問題が存在した。
構成では放電管２ａ、２ｂと２ｃ、２ｄにそれぞれ流れ
るレーザガス１２ａ、１２ｂと１２ｃ、１２ｄの流量に
差が生じるといった問題が存在した。
【００１０】放電管２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ内を流れる
レーザガス流量は送風機１ａ、１ｂの吸入側と吐排出側
の差圧によって決定される。従来例のガスレーザ発振装
置においては送風機１ａと１ｂの吸入側はＴ字配管によ
り互いを接続した後に圧力検出器１９に接続されてい
る。このため送風機１ａ、１ｂの吸入側は直接接続され
ているので、レーザガス圧力はほぼ同等となっていた。
しかし送風機１ａ、１ｂの排出側近辺では配管を接続す
る構造とはなっておらず、そのため送風機１ａ、１ｂの
排出部におけるレーザガス圧力は個体差によるばらつき
などの要因により異なっていた。放電管２ｂ、２ｃ間は
レーザガス配管１１ｅで接続されているものの、送風機
１ａ、１ｂの排出部からはレーザガス配管１１ｂ、１１
ｃを介在させ離れた位置に配置されているため送風機１
ａ、１ｂの排出部のレーザガス圧力を同等にするまでの
効果は得られなかった。
レーザガス流量は送風機１ａ、１ｂの吸入側と吐排出側
の差圧によって決定される。従来例のガスレーザ発振装
置においては送風機１ａと１ｂの吸入側はＴ字配管によ
り互いを接続した後に圧力検出器１９に接続されてい
る。このため送風機１ａ、１ｂの吸入側は直接接続され
ているので、レーザガス圧力はほぼ同等となっていた。
しかし送風機１ａ、１ｂの排出側近辺では配管を接続す
る構造とはなっておらず、そのため送風機１ａ、１ｂの
排出部におけるレーザガス圧力は個体差によるばらつき
などの要因により異なっていた。放電管２ｂ、２ｃ間は
レーザガス配管１１ｅで接続されているものの、送風機
１ａ、１ｂの排出部からはレーザガス配管１１ｂ、１１
ｃを介在させ離れた位置に配置されているため送風機１
ａ、１ｂの排出部のレーザガス圧力を同等にするまでの
効果は得られなかった。
【００１１】このように吸入側の圧力は等しくても排出
側の圧力が異なるため、送風機１ａ、１ｂの差圧に違い
が生じていた。この差圧の違いにより送風機１ａ、１ｂ
の排出するレーザガス流量が同等とならず、放電管２
ａ、２ｂと２ｃ、２ｄにそれぞれ流れるレーザガス１２
ａ、１２ｂと１２ｃ、１２ｄの流量に差を生じることと
なっていた。各放電管内を流れるレーザガス流量に差が
生じていると、レーザ出力が不安定となる現象を発生す
る。通常のガスレーザ発振装置において各放電管に印加
される高電圧、電流は同等となるように制御されてい
る。これは印加される高電圧に大きな差があると、本来
放電すべき放電空間６以外の個所で放電が発生してしま
うという問題を防止するためである。各放電管にはほぼ
同等の高電圧、電流が加えられることとなるが、このと
きレーザガス流量が少ないと熱容量が小さいためレーザ
ガスの温度上昇を起こし、レーザ発振に必要な負温度分
布状態が崩れレーザ出力の低下を引き起こしやすくなっ
ていた。特にガスレーザ発振装置を長期間使用すると、
電極３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ
の磨耗、全反射鏡７、部分透過鏡８の反射率低下などの
消耗品の経時劣化が進んでくる。消耗品の劣化によるレ
ーザ出力の低下分を補うため、放電管に加える電流を増
大させた場合に、前記の理由によりレーザガス流量の少
ない放電管は逆にレーザ出力を低下させることとなって
いた。
側の圧力が異なるため、送風機１ａ、１ｂの差圧に違い
が生じていた。この差圧の違いにより送風機１ａ、１ｂ
の排出するレーザガス流量が同等とならず、放電管２
ａ、２ｂと２ｃ、２ｄにそれぞれ流れるレーザガス１２
ａ、１２ｂと１２ｃ、１２ｄの流量に差を生じることと
なっていた。各放電管内を流れるレーザガス流量に差が
生じていると、レーザ出力が不安定となる現象を発生す
る。通常のガスレーザ発振装置において各放電管に印加
される高電圧、電流は同等となるように制御されてい
る。これは印加される高電圧に大きな差があると、本来
放電すべき放電空間６以外の個所で放電が発生してしま
うという問題を防止するためである。各放電管にはほぼ
同等の高電圧、電流が加えられることとなるが、このと
きレーザガス流量が少ないと熱容量が小さいためレーザ
ガスの温度上昇を起こし、レーザ発振に必要な負温度分
布状態が崩れレーザ出力の低下を引き起こしやすくなっ
ていた。特にガスレーザ発振装置を長期間使用すると、
電極３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ
の磨耗、全反射鏡７、部分透過鏡８の反射率低下などの
消耗品の経時劣化が進んでくる。消耗品の劣化によるレ
ーザ出力の低下分を補うため、放電管に加える電流を増
大させた場合に、前記の理由によりレーザガス流量の少
ない放電管は逆にレーザ出力を低下させることとなって
いた。
【００１２】このような原因によりレーザ出力の低下が
発生すると、金属切断においてその良好な切断が不可能
になるなど加工に悪影響を及ぼす。レーザ出力を安定し
て維持することは金属切断、溶接などの加工を行ううえ
において重要な要素であり、その出力の低下は加工品の
品質を低下させ不良を発生する原因となっていた。
発生すると、金属切断においてその良好な切断が不可能
になるなど加工に悪影響を及ぼす。レーザ出力を安定し
て維持することは金属切断、溶接などの加工を行ううえ
において重要な要素であり、その出力の低下は加工品の
品質を低下させ不良を発生する原因となっていた。
【００１３】ガスレーザ発振装置を使用するユーザから
はより長期間、安定した加工品質を維持したいという要
望があるが、従来のガスレーザ発振装置では上記の理由
から実現することが困難であった。
はより長期間、安定した加工品質を維持したいという要
望があるが、従来のガスレーザ発振装置では上記の理由
から実現することが困難であった。
【００１４】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので長期間、安定した加工品質を維持することが可能な
ガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
ので長期間、安定した加工品質を維持することが可能な
ガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のガスレー
ザ発振装置は、レーザガスを封入し共軸上に配置された
一対の放電管と、前記レーザガスを放電励起する電極を
有する電源と、この一対の放電管の互いに反対側の端部
に配置されてレーザ光を発生させる光共振器と、前記一
対の放電管にそれぞれ個別に接続されて各レーザガスを
それぞれ循環するための一対の配管経路と、この一対の
配管経路にそれぞれ設けられて前記レーザガスを循環さ
せる一対の送風機とを備え、前記一対の放電管および前
記一対の配管経路からなる一対の循環路間を連通するも
のであって、前記送風機の吸入側を連通する吸入側配管
と、前記送風機の排出側を連通する排出側配管とを有す
ることを特徴とするものである。
ザ発振装置は、レーザガスを封入し共軸上に配置された
一対の放電管と、前記レーザガスを放電励起する電極を
有する電源と、この一対の放電管の互いに反対側の端部
に配置されてレーザ光を発生させる光共振器と、前記一
対の放電管にそれぞれ個別に接続されて各レーザガスを
それぞれ循環するための一対の配管経路と、この一対の
配管経路にそれぞれ設けられて前記レーザガスを循環さ
せる一対の送風機とを備え、前記一対の放電管および前
記一対の配管経路からなる一対の循環路間を連通するも
のであって、前記送風機の吸入側を連通する吸入側配管
と、前記送風機の排出側を連通する排出側配管とを有す
ることを特徴とするものである。
【００１６】請求項１記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、一対の循環経路の送風機の吸入側と排出側の差圧に
違いがなくなり、レーザガス流量が同等となるため、レ
ーザ出力を安定化でき、送風機の差圧が等しくない場合
の使用時間に対するレーザ出力の低下を抑制することが
可能となり、高品質の加工性能を長期間維持できるガス
レーザ発振装置を実現できる優れた効果を奏するもので
ある。
ば、一対の循環経路の送風機の吸入側と排出側の差圧に
違いがなくなり、レーザガス流量が同等となるため、レ
ーザ出力を安定化でき、送風機の差圧が等しくない場合
の使用時間に対するレーザ出力の低下を抑制することが
可能となり、高品質の加工性能を長期間維持できるガス
レーザ発振装置を実現できる優れた効果を奏するもので
ある。
【００１７】請求項２記載のガスレーザ発振装置は、請
求項１において、吸入側配管が、一対の放電管を連通す
るものである。
求項１において、吸入側配管が、一対の放電管を連通す
るものである。
【００１８】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、請求項１と同様な効果がある。
ば、請求項１と同様な効果がある。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１を参照しながらその動作を説明する。図３に示す
従来例と同じ構成の部分については説明を省略する。
て図１を参照しながらその動作を説明する。図３に示す
従来例と同じ構成の部分については説明を省略する。
【００２０】図１において、図３との相違点として、本
発明では送風機１ａ、１ｂの排出部をレーザガス配管１
１ｆで接続する構成を有している。排出部同士を直接接
続しているため、両者のレーザガス圧力を同じにするこ
とが可能となっている。吸入部の圧力はもともと同じで
あるから、２台の送風機１ａ、１ｂの吸入、排出間の差
圧は等しくなるため送風機１ａ、１ｂの排出するレーザ
ガス流量が同等となる。各放電管２ａ〜２ｄのレーザガ
ス流が同じであるため、印加する高電圧、電流は全ての
放電管の負温度分布を崩さないしきい値レベルまで上げ
ることができ、効率よく安定したレーザ出力を取り出す
ことができる。
発明では送風機１ａ、１ｂの排出部をレーザガス配管１
１ｆで接続する構成を有している。排出部同士を直接接
続しているため、両者のレーザガス圧力を同じにするこ
とが可能となっている。吸入部の圧力はもともと同じで
あるから、２台の送風機１ａ、１ｂの吸入、排出間の差
圧は等しくなるため送風機１ａ、１ｂの排出するレーザ
ガス流量が同等となる。各放電管２ａ〜２ｄのレーザガ
ス流が同じであるため、印加する高電圧、電流は全ての
放電管の負温度分布を崩さないしきい値レベルまで上げ
ることができ、効率よく安定したレーザ出力を取り出す
ことができる。
【００２１】図２はガスレーザ発振装置の使用時間に対
するレーザ出力の変化を表したものである。例として出
力２ｋｗのガスレーザ発振装置を取り上げている。曲線
Ａは従来例、曲線Ｂは本発明の実施例である。図２から
分かるように、従来例曲線Ａは１０００時間を経過した
あたりからレーザ出力が低下し始めているが、本発明の
実施例曲線Ａでは３０００時間を経過してもレーザ出力
の低下はほとんど見られない。従来例ではレーザ出力の
低下が早いため短期間で加工品質の悪化を招いていた。
これに対し本発明例では使用時間に対するレーザ出力の
低下率を従来例より減少しているため、長期間にわたっ
て高品質の加工性能を維持することが可能となる。
するレーザ出力の変化を表したものである。例として出
力２ｋｗのガスレーザ発振装置を取り上げている。曲線
Ａは従来例、曲線Ｂは本発明の実施例である。図２から
分かるように、従来例曲線Ａは１０００時間を経過した
あたりからレーザ出力が低下し始めているが、本発明の
実施例曲線Ａでは３０００時間を経過してもレーザ出力
の低下はほとんど見られない。従来例ではレーザ出力の
低下が早いため短期間で加工品質の悪化を招いていた。
これに対し本発明例では使用時間に対するレーザ出力の
低下率を従来例より減少しているため、長期間にわたっ
て高品質の加工性能を維持することが可能となる。
【００２２】なお、本発明において、送風機は各配転経
路について２台以上でもよく、また放電管および配管経
路からなる循環経路も２以上でもよい。
路について２台以上でもよく、また放電管および配管経
路からなる循環経路も２以上でもよい。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載のガスレーザ発振装置によ
れば、一対の循環経路の送風機の吸入側と排出側の差圧
に違いがなくなり、レーザガス流量が同等となるため、
レーザ出力を安定化でき、送風機の差圧が等しくない場
合の使用時間に対するレーザ出力の低下を抑制すること
が可能となり、高品質の加工性能を長期間維持できるガ
スレーザ発振装置を実現できる優れた効果を奏するもの
である。
れば、一対の循環経路の送風機の吸入側と排出側の差圧
に違いがなくなり、レーザガス流量が同等となるため、
レーザ出力を安定化でき、送風機の差圧が等しくない場
合の使用時間に対するレーザ出力の低下を抑制すること
が可能となり、高品質の加工性能を長期間維持できるガ
スレーザ発振装置を実現できる優れた効果を奏するもの
である。
【００２４】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、請求項１と同様な効果がある。
ば、請求項１と同様な効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態のガスレーザ発振装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】ガスレーザ発振装置の使用時間とレーザ出力の
相関図である。
相関図である。
【図３】従来例のガスレーザ発振装置の構成図である。
１ａ 送風機 １ｂ 送風機 ２ａ 放電管 ２ｂ 放電管 ２ｃ 放電管 ２ｄ 放電管 ３ａ 電極 ３ｂ 電極 ３ｃ 電極 ３ｄ 電極 ４ａ 電極 ４ｂ 電極 ４ｃ 電極 ４ｄ 電極 ５ａ 高電圧電源 ５ｂ 高電圧電源 ５ｃ 高電圧電源 ５ｄ 高電圧電源 ６ 放電空間 ７ 全反射鏡 ８ 部分反射鏡 ９ａ 熱交換器 ９ｂ 熱交換器 ９ｃ 熱交換器 ９ｄ 熱交換器 １０ レーザビーム １１ａ レーザガス配管 １１ｂ レーザガス配管 １１ｃ レーザガス配管 １１ｄ レーザガス配管 １１ｅ レーザガス配管 １２ａ レーザガス １２ｂ レーザガス １２ｃ レーザガス １２ｄ レーザガス １３ 真空ポンプ １４ レーザガスボンベ １５ 供給流量調整器 １６ 排出流量調整器 １７ 制御部 １８ 信号線 １９ 出力検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾松 英文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山本 敦樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5F071 EE04 EE08 JJ05
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザガスを封入し共軸上に配置された
一対の放電管と、前記レーザガスを放電励起する電極を
有する電源と、この一対の放電管の互いに反対側の端部
に配置されてレーザ光を発生させる光共振器と、前記一
対の放電管にそれぞれ個別に接続されて各レーザガスを
それぞれ循環するための一対の配管経路と、この一対の
配管経路にそれぞれ設けられて前記レーザガスを循環さ
せる一対の送風機とを備え、前記一対の放電管および前
記一対の配管経路からなる一対の循環路間を連通するも
のであって、前記送風機の吸入側を連通する吸入側配管
と、前記送風機の排出側を連通する排出側配管とを有す
ることを特徴とするガスレーザ発振装置。 - 【請求項２】 吸入側配管は、一対の放電管を連通する
ものである請求項１記載のガスレーザ発振装置。
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