JP2002107324A - 電位差測定用測定プローブ、測定プローブの老化状態を監視する方法及び測定プローブの使用法 - Google Patents
電位差測定用測定プローブ、測定プローブの老化状態を監視する方法及び測定プローブの使用法Info
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Abstract
の境界域を目で検知することが不可能であっても、改良
したプローブを提供し、測定プローブの老化の状態を監
視する方法を提供。 【解決手段】 電位差測定用測定プローブは、密閉され
たスペース4を形成する電気絶縁材製ハウジング2を備
えている。このスペース4の内部には、第一の基準要素
6と、第二の基準要素8と、電解質10と、イオンを透
過する微孔性の高粘度ポリマー物質が収容されており、
このポリマー物質が電解質10とともに測定プローブの
充填材16を形成している。ハウジング2は、外部へ通
じる少なくとも一つの開口部12を有し、これを介して
電解質10は測定対象の試料溶液に接触しうる。第二の
基準要素8は、時間の経過に伴って開口部12から第一
の基準要素6の方へ前進する電解質不足領域54の境界
域52が第一の基準要素6に達する前に第二の基準要素
8に達するように配置されている。
Description
する。このプローブは、第一の基準要素と電解質を収容
する密閉されたスペースを形成する電気絶縁材製ハウジ
ングを備えている。ハウジングは、少なくとも一つの開
口部を有し、電解質がこの開口部を介して測定対象であ
る試料溶液に接触しうるようになっている。密閉された
スペースは、イオンを透過する微孔性の高粘度ポリマー
物質で満たされ、このポリマー物質が電解質とともに測
定プローブの充填材を形成する。本発明はまた、測定プ
ローブの老化の状態を監視する方法に関する。さらに、
本発明は、プロセス監視あるいはプロセス制御の目的で
測定プローブを用いることに関する。
に広く使用されている種類の測定プローブは、多孔性材
料製のダイヤフラムを備えている。このダイヤフラムは
基準電解質や架橋電解質を試料溶液に接触させる役目を
果たし、電解質は通常、液状であり、測定プローブに収
容されている。特に化学的あるいは微生物学的なプロセ
ス監視やプロセス制御の用途では、ダイヤフラムが汚染
されることによって測定結果に誤差が生じることがあ
る。
31 C2から公知であり、本願の測定プローブと同一
の種類に属しているが、ダイヤフラムは備えておらず、
汚染されるおそれが少ない。この公知の測定プローブ
は、基準要素と電解質を収容した少なくとも一つの密閉
スペースを備えた電気絶縁材製ハウジングを有する。こ
のハウジングは、少なくとも一つの開口部を有し、電解
質がこの開口部を経て、ハウジング外部の試料媒体すな
わち測定対象の溶液に接触しうる。ハウジング内部の密
閉スペースは、イオンを透過する微孔性の高粘度ポリマ
ー物質で満たされ、電解質とともに測定プローブの充填
材を形成している。この種の構造は、測定対象の溶液が
著しく汚染されている場合でも、基準要素において測定
された電位を高度に一定にすることができる。また、こ
の測定プローブは、10barを大きく超える圧力にも
耐えうる。
動時間が長くなるにしたがい、ポリマー物質に当初含ま
れていた電解質が試料溶液中へ移る度合いが次第に大き
くなり、ハウジング内のポリマー物質内の電解質の不足
が次第に拡大するという問題があることが知られてい
る。ポリマー物質内における電解質の不足も測定プロー
ブの老化プロセスと呼ばれ、電解質の不足が基準要素に
及んだとき、基準要素で測定される電位に変化が表れ
る。測定結果に誤差が生じるのを避けるためには、測定
プローブの老化のプロセスを監視する必要がある。特
に、前もってすなわち十分な予告期間を置いて、電解質
不足が基準要素にいつ達するかを検知可能にする必要が
ある。
電解質不足の前進を検知するという問題は、中性塩の水
溶液に均質に分散させたこの中性塩の粒子を、等しい輸
率のイオンとともに懸濁させた懸濁液から成る電解質を
使用することによって解決する。ポリマー物質と中性塩
の懸濁は、懸濁液中の塩の粒子により濁った外観を呈す
るゲルを形成する。測定プローブの老化状態は、老化プ
ロセスが進行するにつれて濁りが次第に消えていくの
で、視覚的に検出できる。濁りが消えていくのは、懸濁
した中性塩の粒子が連続的に溶液を通過し、最終的には
懸濁した粒子がほとんど残っていない状態になる結果、
濁りが消えるからである。老化プロセスにおいて、中性
塩の粒子が均質に懸濁したゲルの濁った部分と中性塩の
粒子が溶液をすでに通過した比較的透明な部分との間
に、はっきりと視認できる境界が生じることがわかって
いる。この境界が、ハウジングの開口部から基準要素の
方へ次第に前進するので、ポリマーゲルに生じた境界域
を目で見ることによって、測定プローブの老化の状態
と、老化の進行速度を測定できる。
よる測定プローブには、いくつかの欠点がある。老化の
状態を監視するためには、測定プローブの密閉スペース
の内部がはっきり見えなければならない。そのため、ハ
ウジングに不透明な材料を使用できない。また、透明な
ハウジングを用いた場合であっても、表面に異物が付着
して汚れると問題が生じる。また、試料溶液から着色さ
れた物質が浸出したり、ほこりの粒子が侵入したりし
て、密閉スペース内のゲルの変色や汚染が起こると、さ
らに深刻な問題が生じ、電解質不足の境界域を目で検知
することが実際には不可能になる。また、電解質は、中
性塩の水溶液に均質に分散させたこの中性塩の粒子を、
等しい輸率のイオンとともに懸濁させた懸濁液でなけれ
ばならず、測定プローブに他の電解質が使用できないと
いうことも、欠点と考えなければならない。
たない改良された測定プローブを提供することにある。
本発明の第二の目的は、測定プローブの老化の状態を監
視する方法を提供することにある。本発明の第三の目的
は、上記改良された測定プローブの使用を提案すること
にある。
準要素と電解質を収容する密閉されたスペースを形成す
る電気絶縁材製のハウジングを有する。このハウジング
は、少なくとも一つの開口部を有し、電解質がこの開口
部を介してハウジングの外側すなわち測定対象である試
料溶液に接触しうるようになっている。密閉されたスペ
ースは、イオンを透過する微孔性の高粘度ポリマー物質
で満たされ、このポリマー物質が電解質とともに測定プ
ローブの充填材を形成する。本発明の測定プローブは、
密閉スペースに収容された第二の基準要素を有し、この
第二の基準要素は、開口部から第一の基準要素の方へ進
行する電解質不足という状態が、第一の基準要素に達す
る前に第二の基準要素に達するように構成されている。
明の一部を成す方法を用いて、老化の状態の監視が行わ
れる。この方法は以下の工程、すなわち a) 第一と第二の基準要素におけるそれぞれの電位V
1、V2間の電位差(V1−V2)を、連続的または時間的
に間隔をあけて検出する工程と b) 上記電位差が所定の限界値を超えた場合、および
/または上記電位差が所定の限界速度を超えて変化した
場合、信号を発生する工程から成る。
この新規の測定プローブを使用することも含んでいる。
要素を収容し、開口部から第一の基準要素の方へ進行す
る電解質不足が第一の基準要素に達する前に第二の基準
要素に達するようにするという新しい考え方により、測
定プローブの老化の状態を知るために密閉スペースの内
部を目視で観察する必要がなくなった。特に、本発明に
よる測定プローブは不透明なハウジングを有していても
よいし、装置に内蔵された部分としてもよい。また、老
化の状態は、汚れた試料溶液に測定プローブを使用した
場合のように、ハウジングが異物で覆われていても監視
可能である。さらに、本発明による測定プローブは、上
記の公知のプローブにおいて電解質不足を視認するため
に必要であった特殊な電解質を必要としない。したがっ
て、ポリマー物質と組み合わせて用いる入手可能な電解
質の選択の幅が広がり、中性塩の水溶液に均質に分散さ
せたこの中性塩の粒子を、等しい輸率のイオンとともに
懸濁させなければならないという従来の制約から解放さ
れる。具体的には、本発明の測定プローブは、適切な溶
媒(たとえば塩化カリウムを水に溶かした準飽和溶液)
に溶かした中性塩の飽和溶液または準飽和溶液から成る
電解質を用いても動作する。
を連続的または断続的に検知し、限界値または限界速度
と比較する方法によって、測定プローブの老化の状態を
確実に突き止めることができる。特に、本発明は監視機
能を自動化する便利な方法を提供する。それゆえ、本発
明の測定プローブは、プロセス監視やプロセス制御用に
用いると有利である。
基準要素は、第一の電極と第一の電解質を収容した第一
のカートリッジとして構成されている。プローブのハウ
ジング内の密閉スペースに収容された第一の電極と電解
質の間に必要な電気的接触は、たとえばグラスファイバ
ーウールやコットンから成る拡散区域を介して公知の方
法で行うことができる。あるいは、第一のカートリッジ
は、第一の通路開口部を有していてもよい。第一の電解
質は、第一の電極の設計に応じて選択するのが一般的で
あるが、密閉スペース内の電解質の組成と特性に応じて
選択してもよい。本発明の一つの実施例において、第一
の電解質は、充填材としても用いられる同一のポリマー
物質と混合される。
基準要素は、第二の電極と第二の電解質を収容した第二
のカートリッジとして構成されている。第一のカートリ
ッジと同様に、第二のカートリッジは第二の通路開口部
を有していてもよく、第二の電解質は、充填材としても
用いられる同一のポリマー物質に混合される。
電極の一端は、第一の電解質に浸されている。別の実施
例では、第二の電極の一端は、第一のカートリッジの外
部にある測定プローブの密閉スペース内の電解質に浸さ
れている。第二の電極のこれら二つの構成には、プロー
ブ開口部から第一の基準要素の方へ進行する電解質不足
の境界域が長くなり、その結果測定プローブが長持ちす
るという利点がある。
たとえば銀線などを用いた公知の設計によるワイヤ電極
とし、ワイヤの一端を塩化銀で被覆し、各電極の電解質
に浸してもよい。あるいは、基準要素の少なくとも一方
の電極を、たとえば基準要素カートリッジの内壁面か外
壁面または測定プローブハウジングの内壁面に設けた伝
導トラックとしてもよい。
定プローブのハウジングが有する密閉スペース内の電解
質は、均質に分散させた中性塩の粒子を等しい輸率のイ
オンが存在するこの中性塩の水溶液に懸濁させたもので
ある。このことには、充填材全体が相当量の電解質を含
むことにより、測定プローブの寿命が長くなるという利
点がある。中性塩として塩化カリウムを選択すると特に
有利であることがわかっている。塩化カリウムの微粒子
を水溶液または部分的水溶液に懸濁させることが好まし
い。塩化カリウムの割合は、ポリマー物質の乾燥重量に
対して少なくとも30%とすべきであり、最高1500
%としてもよい。好ましくは100〜800%、特に好
ましくは200〜400%である。
ブは基準電極として構成され、たとえばpH電極やその
他の電極などの基準要素として用いることができる。さ
らに別の実施例によれば、測定プローブは単一ロッドの
測定系として構成され、コンパクトで操作しやすいとい
う利点を有する。
一と第二の基準要素の電位差を監視する手段も備えてい
る。このことにより、測定プローブを、プロセス監視や
プロセス制御に特に適したものにできる。
れ、たとえばガラスや、ポリアリルエーテルケトン(P
AEK)または特にポリエーテルエーテルケトン(PE
EK)などのポリマー材料などの電気絶縁材から成る管
状ハウジング2を有する基準電極として構成された測定
プローブを示している。ハウジング2は、第一の基準要
素6と、第二の基準要素8と、電解質10を収容した密
閉スペース4を囲んでいる。ハウジング2は開口部12
を有し、測定プローブが試料溶液に浸されたとき(図示
せず)、上記電解質10が試料溶液に接触するようにな
っている。図示した実施例において、開口部12はハウ
ジング2の端部14の通路孔として形成されている。密
閉されたスペース4は、イオンを透過する微孔性の高粘
度ポリマー物質で満たされ、このポリマー物質が電解質
10と結合して充填材16を形成する。充填材16は、
開口部12を通ってハウジングから流出しないように、
測定プローブが通常使用される温度の範囲で非常に高粘
度の状態あるいは固体としなければならない。この条件
に合致するポリマー充填材を得るため、アクリルアミド
とN,N1−メチレン−ビス−アクリルアミドのコポリ
マーを試験的に使用したところ、良い結果が得られた。
リッジ18から成り、公知の電位を有する第一の電極2
0を収容している。たとえば、第一の電極は、第一の電
解質24に浸された塩化銀線22を有するAg/AgC
l電極から成る。第一の電解質24がカートリッジ18
の開放端26から流出しないように、第一の電解質24
は、イオンを透過する微孔性のポリマー物質(好ましく
は充填材16と同一のポリマー材)の孔に封入する。第
一の基準要素6は、開放端26の反対側に、白金線など
の導線28を介して第一の電極20に接続している差し
込み式接点30を有する。差し込み式接点30は、測定
プローブのヘッダー32内に含めたまたはハウジングの
外側に取り付けた回路要素と接続される。さらに、第一
の基準要素6は、差し込み式接点30が第一の電極24
に接触しないように、たとえばガラスやポリマー材料製
のシーリングプラグ34を備えている。第一の基準要素
6は、必要ならば側面への開口部を、軸方向の開口部2
6の代わりに設けてもよい。
は、第一の基準要素6と本質的に同一である第二の基準
要素8を有している。それゆえ、第二の基準要素8は、
開放端38を有するカートリッジ36と、第二の電解質
44に浸された塩化銀線を備えたAg/AgCl電極と
して形成した第二の電極40を有する。第二の電解質4
4は、イオンを透過する微孔性のポリマー物質(好まし
くは充填材16と同一のポリマー材料)の孔に封入され
ている。また、第二の基準要素8は、たとえば白金線な
どの導線46を介して第二の電極40に接続している差
し込み式接点48を有する。差し込み式接点48は、測
定プローブのヘッダー32内のまたはハウジングの外側
に取り付けられた回路要素と接続される。さらに、第二
の基準要素8は、差し込み式接点48が第二の電極44
に接触しないように、たとえばガラスやポリマー材料製
のシーリングプラグ50を備えている。
二の基準要素8は、測定プローブ内に平行にかつずらし
て配置され、第一の基準要素6の開放端26は第二の基
準要素8の開放端38よりも開口部12から遠く離れた
位置にある。以下にさらに詳しく述べるように、基準要
素をずらして配置することには、電解質不足領域54の
前進する境界域52が第一の基準要素6に到達する前に
第二の基準要素8に到達する効果がある。
の電解質44は、塩化カリウムの水溶液に塩化カリウム
の微粒子を懸濁させたものを含むようにするのが好まし
い。懸濁させた塩化カリウムの割合はポリマー物質の乾
燥重量に対し少なくとも30%としなければならず、最
高1500%であってもよい。好ましい範囲は100%
〜800%で、200%〜400%が最も好ましい。塩
化カリウムの水溶液の代わりに、塩化カリウムの部分水
溶液を用いることも可能で、たとえば水とグリセリンま
たは水とエチレングリコールの混合液に塩化カリウムを
溶かしたものを用いてもよい。このことは、水の部分蒸
気圧を減少させる効果があり、特に高温下で使用する際
に望ましい。あるいは、電解質10および/または第一
の電解質24および/または第二の電解質44は、ポリ
マー物質とともに固体相の電解質を形成していてもよ
い。
につれて老化が進み、それとともに充填材16に当初含
まれていた電解質10すなわちカリウムイオンと塩素イ
オンが、試料溶液の中へ次第に多く移動していく。その
結果、密閉スペース4は、懸濁したすべての塩化カリウ
ム粒子がすでに溶解した電解質不足領域54と、塩化カ
リウムがまだ使い切られていない電解質非不足領域56
に分割される。領域54と56を分ける境界域52は、
時間が経過するにつれ、開口部12から測定プローブの
内部へ漸進する。
とえば約3モル濃度の塩化カリウム水溶液などの準飽和
溶液を用いることも考えられる。しかし、これには、充
填材16に分散させた塩化カリウムの初期量が電解質の
懸濁液を用いた場合より少ないので、測定プローブの寿
命が短くなるという不利な点がある。
域52は、ほぼハウジング2の長軸Aに沿って進む。図
1に示すように、境界域52が第二の基準要素8の開放
端38を通過した後、第二の基準要素8の内部では第二
の電解質44が不足する。このことによって第二の電極
40の一定だった電位V2に変化が生じる。測定プロー
ブをさらに連続して使用すると、境界域52は第一の基
準要素6の方へ進み、第一の電極20の電位V1を変化
させる。
素は、たとえばプロセス監視やプロセス制御の用途にお
いて、所定の電位差測定を行うためにそれ自体は公知の
方法で使用される。基準要素をずらして配置することに
より、電解質不足により第二の電極40の電位に変化が
起きてから第一の電極20の電位に好ましくない変化が
起きるまで、時間的遅れが生じる。したがって、電位差
V1−V2の最初の変化は、第一の電極20の電位が好ま
しくない変化を起こす事前の警告として利用できる。時
間的遅れは、基準要素がずらして配置された長手方向の
位置の差Lと境界域52の進行速度によって決まる。
一方、進行速度は、充填材16の物質の特性と測定プロ
ーブの使用条件によって決まる。用途の種類によって、
時間的遅れは、試行の実験により直接決定することがで
きる。第一の電極20と第二の電極40がほぼ同一であ
る場合、電極の電位差V1−V2は、初期状態すなわち電
解質が不足する前は、ゼロである。
電極の電位差V1−V2を、連続してまたは一定の時間的
間隔をおいて所定の警告閾値と比較するのが実際的であ
る。これに加えまたはこれに代えて、電極の電位差V1
−V2の変化速度を所定の閾速度と比較してもよい。閾
値を超えたことが判明した場合、直ちにあるいは所定の
付加的な作動時間が経過した後に適切な処置をとらねば
ならないことを示す信号として利用できる。その処置と
はたとえば測定プローブを取り替えるとか、充填材を再
生するというものである。
い測定プローブを示す。この測定プローブは、たとえば
ガラスや、ポリアリルエーテルケトン(PAEK)、特
にポリエーテルエーテルケトン(PEEK)のようなポ
リマー材料などの電気絶縁材料製の管状ハウジング10
2を有する。ハウジング102内部の密閉スペース10
4は、第一の基準要素106と、第二の基準要素108
と、電解質110を収容している。ハウジング102の
端部114は、開口部112を有する。密閉スペース1
04は、イオンを透過する微孔性の高粘度ポリマー物質
で満たされ、このポリマー物質が電解質110とともに
測定プローブの充填材116を形成する。充填材116
は、図1の実施例と同じ組成を有することが好ましい。
は、ハウジング102と平行に延び一端が開放された管
118を有するカートリッジとして構成されており、カ
ートリッジ管118の開放端120が測定プローブハウ
ジング102の開口部112と反対の方向に開いてい
る。第一の基準要素は、公知の電極の電位を有する第一
の電極122を備えている。図示した実施例において、
第一の電極は、一端を塩化処理し第一の電解質126に
浸した銀線124を備えたAg/AgCl電極である。
カートリッジ管118の開放端120から第一の電解質
126が流出しないように、第一の電解質126は、イ
オンを透過する微孔性の高粘度ポリマー物質(好ましく
は充填材16と同じ物質)の孔に封入されている。銀線
124の塩化処理された端部128は、カートリッジ管
118の閉止端130近傍に配置するのが好ましい。た
とえば白金線などの導線132は、ハウジング102の
上部134に設けたたとえばガラスやプラスチック製の
シール136によって外部の差し込み式接点138に銀
線124を接続している。
118の開放端120近傍に配置され、端部を塩化処理
した銀線142を備えた第二の電極140を有する。塩
化処理された銀線は、カートリッジ管118の開放端1
20近傍にある第一の電解質126の一部に浸されてい
る。したがって、この場合の第一の電解質は、第二の電
解質として作用する。第二の電解質140は、ハウジン
グ102の上部134のシール136を通って延びる導
線144によって外部の差し込み式接点146に接続さ
れている。
は、開口部112から、まずカートリッジ管118の開
放端を経て、下方に向かい、続いてカートリッジ管の全
長を通過し、閉止端130近傍の区域まで進行する。図
2は、電解質不足部分の境界域148が、すでにカート
リッジ管118の内部に進んだ状態を示す。
極140aがカートリッジ管118の外部にある構成を
示す。端部が塩化処理された銀線142aは、カートリ
ッジ管118の開放端120のすぐ外側にある電解質1
10の一部に浸すのが好ましい。
性トラックとして構成してもよく、その概念自体は公知
である。上記の実施例のどれについても、そのようなト
ラックを、基準要素のカートリッジの内壁または外壁面
や、測定プローブの内壁面に設けることができる。
設計された上記の実施例に加え、本発明による測定プロ
ーブを単一ロッドの測定系に組み込むことも可能であ
る。この場合、たとえばpH電極などの測定用電極を測
定プローブに追加する必要がある。好ましい構成例とし
ては、測定用電極はたとえばDE 34 05 431
C2の図4に開示されているリング状電極内部の長手方
向に延びる中心管として形成する。
区域を示す図。
基準電極として構成された測定プローブの長辺区域(中
間部分を省略)を示す図。
別の測定プローブの上部の長辺区域を示す図。
Claims (22)
- 【請求項1】 密閉スペースを形成する電気絶縁材料製
ハウジングを備えた電位差測定用測定プローブであっ
て、 上記密閉スペース内に、第一の基準電極と、第二の基準
電極と、電解質と、上記電解質とともに上記測定プロー
ブの充填材を形成するイオンを透過する微孔性の高粘度
ポリマー物質とを収容し、 上記ハウジングが少なくとも一つの開口部を有し、この
開口部を介し上記電解質が測定対象である試料溶液に接
触しうるようになっており、 時間の経過に伴って上記少なくとも一つの開口部から第
一の基準要素の方へ進行する電解質不足が、第一の基準
要素に達する前に第二の基準要素に達するように、上記
第二の基準要素を配置した電位差測定用測定プローブ。 - 【請求項2】 上記第一の基準要素が、第一の電極と第
一の電解質を収容した第一のカートリッジを備えた請求
項1記載の測定プローブ。 - 【請求項3】 上記第一のカートリッジが第一の通路開
口部を有する請求項2記載の測定プローブ。 - 【請求項4】 上記第一のカートリッジが上記第一の電
解質と混合された第一のポリマー物質を収容し、上記第
一のポリマー物質が上記充填材に用いられた上記ポリマ
ー物質と同種類である請求項2記載の測定プローブ。 - 【請求項5】 上記第二の基準要素が第二の電極と第二
の電解質を収容した第二のカートリッジを備えた請求項
1記載の測定プローブ。 - 【請求項6】 上記第二のカートリッジが第二の通路開
口部を有する請求項5記載の測定プローブ。 - 【請求項7】 上記第二のカートリッジが上記第二の電
解質と混合された第二のポリマー物質を収容し、上記第
二のポリマー物質が上記充填材に用いられた上記ポリマ
ー物質と同種類である請求項5記載の測定プローブ。 - 【請求項8】 上記第二の基準要素が第二の電極を備
え、上記第二の電極の一端が上記第一の電解質に浸され
ている請求項2記載の測定プローブ。 - 【請求項9】 上記第二の基準要素が第二の電極を備
え、上記第二の電極の一端が上記第一のカートリッジの
外部で上記電解質に浸されている請求項2記載の測定プ
ローブ。 - 【請求項10】 上記第一の基準電極と上記第二の基準
電極の少なくとも一方がキャリア面上の伝導トラックと
して形成された電極を備えた請求項1記載の測定プロー
ブ。 - 【請求項11】 上記電解質が、中性塩の溶液に均等に
分散させた上記中性塩の粒子を等しい輸率のイオンとと
もに懸濁させた懸濁液から成る請求項1記載の測定プロ
ーブ。 - 【請求項12】 上記中性塩が塩化カリウムである請求
項11記載の測定プローブ。 - 【請求項13】 上記溶液が少なくとも塩化カリウムの
部分水溶液から成り、上記分散させた粒子が上記ポリマ
ー物質の乾燥重量の少なくとも30%に等しい重量部か
ら成る請求項12記載の測定プローブ。 - 【請求項14】 上記重量部が30〜1500%である
請求項13記載の測定プローブ。 - 【請求項15】 上記重量部が100〜800%である
請求項14記載の測定プローブ。 - 【請求項16】 上記重量部が200〜400%である
請求項15記載の測定プローブ。 - 【請求項17】 上記測定プローブが基準電極として設
計された請求項1記載の測定プローブ。 - 【請求項18】 上記測定プローブが単一ロッド測定系
として設計された請求項1記載の測定プローブ。 - 【請求項19】 上記第一の基準要素の電位V1と第二
の基準要素の電位V2との電位差を監視する手段を備え
た請求項1記載の測定プローブ。 - 【請求項20】 a) 第一の基準要素の電位V1と第
二の基準要素の電位V2との電位差(V1−V2)を連続
的にまたは時間的に間隔をとって検出する工程と、 b) 上記電位差(V1−V2)が所定の閾値を超えたと
き指示を発生する工程から成る請求項1記載の測定プロ
ーブの老化状態を監視する方法。 - 【請求項21】 a) 第一の基準要素の電位V1と第
二の基準要素の電位V2との電位差(V1−V2)を連続
的にまたは時間的に間隔をとって検出する工程と、 b) 上記電位差(V1−V2)の変化速度を測定する工
程と、 c) 上記電位差(V1−V2)が所定の閾速度を超えた
とき指示を発生する工程から成る請求項1記載の測定プ
ローブの老化状態を監視する方法。 - 【請求項22】 プロセス監視とプロセス制御の少なく
とも一方を目的とした請求項1記載の測定プローブの使
用。
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