JP2002079616A - Transparent film-applied base material, coating solution for forming transparent film and display device - Google Patents

Transparent film-applied base material, coating solution for forming transparent film and display device

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JP2002079616A JP2001186377A JP2001186377A JP2002079616A JP 2002079616 A JP2002079616 A JP 2002079616A JP 2001186377 A JP2001186377 A JP 2001186377A JP 2001186377 A JP2001186377 A JP 2001186377A JP 2002079616 A JP2002079616 A JP 2002079616A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent film-applied base material having a transparent film, which has a low refractive index, low shrinkability and hydrophobicity and is excellent in the adhesion with a transparent conductive layer (transparent conductive film) or a base material, film strength, water resistance, chemical resistances or the like, formed thereto. SOLUTION: The transparent film-applied base material consists of the base material and the transparent film provided on the surface of the base material, and the transparent film contains (i) a matrix containing a fluorine substituted alkyl group-containing silicone component and (ii) inorganic compound particles having outer shell layers and made porous or hollow internally, and a porous or hollow state is held in the transparent film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明は、透明被膜付基材、透明被
膜形成用塗布液、および透明被膜付基材を備えた表示装
置に関し、さらに詳しくは、反射防止性能、帯電防止性
能、電磁波遮蔽性能等に優れるとともに、耐久性、耐水
性、耐薬品性および膜強度、特に膜のスクラッチ強度に
優れた透明被膜が形成された透明被膜付基材、および該
透明被膜形成用に好適な被膜形成用塗布液、該透明被膜
付基材で構成された前面板を備えた表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate with a transparent film, a coating solution for forming a transparent film, and a display device provided with the substrate with a transparent film, and more particularly to an antireflection property, an antistatic property, and an electromagnetic wave shielding. A substrate with a transparent film on which a transparent film having excellent durability, water resistance, chemical resistance, and film strength, particularly excellent film scratch strength, is formed, and a film formation suitable for forming the transparent film. The present invention relates to a display device having a front plate composed of a coating solution for use and a substrate with a transparent film.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】従来、ガラス、プラスチックシー
ト等の基材表面の反射を防止するため、その表面に反射
防止膜を形成することが知られていた。たとえば、蒸着
法、CVD法等によって、フッ化マグネシウムのような
低屈折率の物質の被膜をガラスやプラスチックの表面に
形成することが行われてしている。しかしながら、これ
らの方法はコスト的に高価なものとなっている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Hitherto, it has been known to form an anti-reflection film on the surface of a substrate such as glass or plastic sheet in order to prevent reflection on the surface. For example, a coating of a material having a low refractive index such as magnesium fluoride is formed on the surface of glass or plastic by a vapor deposition method, a CVD method, or the like. However, these methods are costly.

【0003】また、シリカ微粒子を含む塗布液をガラス
表面に塗布して、シリカ微粒子による微細で均一な凹凸
をもった反射防止被膜を形成する方法も知られている。
しかしながら、この方法は、シリカ微粒子により形成さ
れた凹凸面において、光の乱反射により正反射が低減さ
れることを利用したり、微粒子間隙に生じる空気層を利
用して反射防止を図るものであるが、基材表面への粒子
の固定化や単層膜の形成が難しく、表面の反射率を制御
することが容易ではないという問題点があった。
There is also known a method in which a coating liquid containing fine silica particles is applied to a glass surface to form an antireflection coating having fine and uniform irregularities due to fine silica particles.
However, this method utilizes the fact that the regular reflection is reduced due to irregular reflection of light on the uneven surface formed by the silica fine particles, or uses an air layer generated in the fine particle gap to prevent reflection. In addition, it is difficult to fix the particles on the surface of the base material or to form a monolayer film, and it is not easy to control the reflectance of the surface.

【0004】このため、本願出願人は、多孔質微粒子の
表面をシリカで被覆した低屈折率の複合酸化物微粒子と
シリカ系被膜形成用マトリックスとからなる透明被膜は
反射率が低く、低反射ガラスや低反射シートまたはフィ
ルム等、低反射用基材の表面被膜の構成成分として利用
可能であることを提案している(特開平7−13310
5号公報)。さらにまた、特開平10−40834号公
報には、銀または銀化合物の超微粒子などの導電性微粒
子からなる導電層の直上に、SiO2を主成分としシリ
コーン類および/またはZrO2を含む層が設けられた
陰極線管が開示され、また、SiO2を主成分としシリ
コーン類および/またはZrO2を含む層は、導電性微
粒子層の直上に、SiO2を主成分としアルコキシシラ
ン等を含む塗布層を形成し、上下塗布層を同時に焼成し
て形成することが記載されている。そして特開平10−
40834号公報には、フルオロアルキル基を有するア
ルコキシシラン誘導体を使用することで、AEF防止に
有効な高輝度で表面抵抗の低い上に、膜の耐水性や耐薬
品性が向上し反射防止膜付陰極線管が開示されている。
For this reason, the applicant of the present application has reported that a transparent coating comprising low-refractive-index composite oxide fine particles in which the surfaces of porous fine particles are coated with silica and a silica-based coating-forming matrix has low reflectance and low-reflection glass. It can be used as a component of the surface coating of a low-reflection substrate such as a low-reflection sheet or film (Japanese Patent Laid-Open No. 7-13310).
No. 5). Furthermore, JP-A-10-40834 discloses that a layer containing SiO 2 as a main component and containing silicones and / or ZrO 2 is provided directly above a conductive layer made of conductive fine particles such as ultrafine particles of silver or a silver compound. Disclosed is a provided cathode ray tube, and a layer containing SiO 2 as a main component and containing silicones and / or ZrO 2 is a coating layer containing SiO 2 as a main component and alkoxysilane or the like directly on the conductive fine particle layer. Are formed, and the upper and lower coating layers are simultaneously formed by firing. And JP-A-10-
Japanese Patent No. 40834 discloses that by using an alkoxysilane derivative having a fluoroalkyl group, a high-brightness and low surface resistance effective for preventing AEF, as well as an improvement in the water resistance and chemical resistance of the film and an anti-reflection film are provided. A cathode ray tube is disclosed.

【0005】しかしながらこのような透明被膜では、必
ずしも擦傷性が充分ではなく、表面に傷が付きやすく、
これによって、被膜付基材の透明性や反射防止性が低下
しまうという問題があった。また、陰極線管、蛍光表示
管、液晶表示板などの表示パネルに使用される透明基材
では、透明基材表面の帯電防止を目的として、基材表面
に帯電防止機能を有する被膜を形成することが行われて
おり、この帯電防止被膜の表面に透明被膜を形成するこ
とも知られていた。
However, such a transparent film does not always have sufficient abrasion, and the surface is easily scratched.
As a result, there has been a problem that the transparency and the antireflection property of the coated substrate are reduced. In the case of a transparent substrate used for a display panel such as a cathode ray tube, a fluorescent display tube, and a liquid crystal display panel, a coating having an antistatic function is formed on the surface of the substrate for the purpose of preventing the surface of the transparent substrate from being charged. It has also been known that a transparent film is formed on the surface of the antistatic film.

【0006】たとえば、帯電防止機能を有する被膜とし
ては、概ね102〜1010Ω/□程度の表面抵抗を有す
る導電性被膜を形成することが知られていた。このよう
な陰極線管などの表示装置からは電磁波が放出されてい
ることも知られており、このため、前記した帯電防止機
能とは別に、これらの電磁波および電磁波の放出に伴っ
て形成される電磁場を遮蔽するため、陰極線管などの表
示パネルの表面に、特に102〜104Ω/□のような低
表面抵抗を有する電磁波遮断用導電性被膜を形成するこ
とが知られていた。
For example, as a film having an antistatic function, it has been known to form a conductive film having a surface resistance of about 10 2 to 10 10 Ω / □. It is also known that electromagnetic waves are emitted from a display device such as a cathode ray tube. Therefore, apart from the above-described antistatic function, these electromagnetic waves and an electromagnetic field formed with the emission of the electromagnetic waves are also known. It has been known to form a conductive film for shielding electromagnetic waves having a low surface resistance of, particularly, 10 2 to 10 4 Ω / □ on the surface of a display panel such as a cathode ray tube in order to shield the electromagnetic wave.

【0007】上記のような帯電防止機能を有する被膜を
形成する方法としては、ITOなどの導電性金属酸化物
微粒子を含む導電性被膜形成用塗布液を用いて基材の表
面に導電性金属酸化物微粒子を含む導電性被膜を形成す
る方法が知られており、電磁波遮蔽用の低表面抵抗導電
性被膜を形成する方法として、Agなどの金属微粒子を
含む導電性被膜形成用塗布液を用いて基材の表面に金属
微粒子含有被膜を形成する方法が知られていた。
As a method for forming a film having an antistatic function as described above, a method of forming a conductive metal oxide on a surface of a substrate using a conductive film forming coating liquid containing conductive metal oxide fine particles such as ITO is used. A method for forming a conductive film containing fine particles of an object is known. As a method for forming a low surface resistance conductive film for shielding electromagnetic waves, a coating liquid for forming a conductive film containing fine particles of metal such as Ag is used. A method for forming a metal fine particle-containing coating on the surface of a substrate has been known.

【0008】しかしながら、上記のように基材表面に形
成された導電性被膜は、導電性被膜中に含まれる金属微
粒子が酸化されたり、また金属のイオン化により金属微
粒子が粒子成長したり、さらには金属微粒子の腐食が発
生することがあり、これらによって、塗膜の導電性や光
透過率が低下し、表示装置が信頼性を欠くという問題が
あった。また、導電性被膜に含まれる導電性酸化物粒子
および金属微粒子は、屈折率が大きいので、照射した光
を反射してしまうという問題点があった。
However, in the conductive film formed on the substrate surface as described above, the fine metal particles contained in the conductive film are oxidized, or the fine metal particles grow due to ionization of the metal, and Corrosion of the metal fine particles may occur, which causes a problem in that the conductivity and light transmittance of the coating film decrease, and the display device lacks reliability. In addition, since the conductive oxide particles and the metal fine particles contained in the conductive film have a large refractive index, there is a problem that the irradiated light is reflected.

【0009】このため、前記したように、導電性被膜上
にさらに導電性被膜よりも屈折率の低い透明被膜を設け
て反射防止を行うとともに、導電性被膜を保護すること
が行われていた。しかしながら、従来の透明被膜では、
ITOなどの導電性金属酸化物微粒子を含む導電性被膜
表面に形成すると、可視光(波長域:400nm〜70
0nm)の中央波長域500〜600nm付近では反射
率(ボトム反射率)が1%程度になるが、400nmお
よび700nm付近の波長域になると反射率が高くなる
という問題がありこのためボトム反射率(波長500n
m付近における反射率)とともに視感反射率(可視光全
域にわたる平均反射率)の低減が求められていた。
For this reason, as described above, a transparent film having a lower refractive index than the conductive film is further provided on the conductive film to prevent reflection and protect the conductive film. However, with conventional transparent coatings,
When formed on the surface of a conductive film containing conductive metal oxide fine particles such as ITO, visible light (wavelength range: 400 nm to 70 nm)
0 nm), the reflectance (bottom reflectance) is about 1% in the vicinity of the central wavelength range of 500 to 600 nm. Wavelength 500n
It has been required to reduce the luminous reflectance (average reflectance over the entire visible light range) as well as the luminous reflectance (reflectance near m).

【0010】ところで、従来のシリカ等のマトリックス
を含む透明被膜では、導電性被膜表面に透明被膜を形成
する場合には、透明被膜と導電性被膜との収縮率の差か
ら、導電性被膜の密度が不均一となることがあり、この
ため導電性微粒子間に電気的接触のない部分が生じ、膜
全体として充分な導電性が得られないことがあった。さ
らに、加熱処理の際に透明被膜が充分に緻密化せずに、
多孔質となって、クラックやボイドが生じ、このような
クラックやボイドに、水分とともに酸やアルカリ等の薬
品の進入を受けやすくなるという問題があった。
In the case of a conventional transparent coating containing a matrix such as silica, when a transparent coating is formed on the surface of the conductive coating, the density of the conductive coating is determined by the difference in shrinkage between the transparent coating and the conductive coating. May be non-uniform, and there may be a portion where there is no electrical contact between the conductive fine particles, so that sufficient conductivity may not be obtained as a whole film. In addition, the transparent coating does not densify sufficiently during the heat treatment,
It becomes porous and cracks and voids are generated, and there is a problem that such cracks and voids are apt to be penetrated by chemicals such as acids and alkalis together with moisture.

【0011】また、このように透明被膜に進入した酸や
アルカリが、基材表面と反応して屈折率を低下させた
り、導電性被膜が形成されている場合には、導電性被膜
中の金属等の微粒子と反応し、被膜の耐薬品性が低下し
て、帯電防止機能および電磁波遮蔽させる効果が低下し
てしまうという問題があった。また、金属微粒子を含む
導電性被膜表面に透明被膜を形成する場合では、ボトム
反射が0.2%程度と低いものの、400nmおよび7
00nm付近の反射率が高く、また視感反射率も0.5
〜1%程度の大きさであるため、目で感じる反射(映り
込み)が強く感じられたり反射色の色付きを抑えること
が困難なことがあり、このため透明被膜には、さらなる
反射防止性能の向上が求められていた。
Further, the acid or alkali which has entered the transparent film reacts with the surface of the base material to lower the refractive index, and when a conductive film is formed, the metal or metal in the conductive film is This causes a problem that the chemical resistance of the coating film is reduced, and the antistatic function and the effect of shielding electromagnetic waves are reduced. In the case where a transparent film is formed on the surface of the conductive film containing metal fine particles, the bottom reflection is as low as about 0.2%, but the bottom reflection is 400 nm and 7 nm.
High reflectance near 00 nm and luminous reflectance of 0.5
Since the size is about 1%, reflection (reflection) felt by eyes may be felt strongly or it may be difficult to suppress coloring of the reflected color. Improvement was required.

【0012】そこで、本発明者等は、導電性被膜表面に
形成する低屈折率膜について、さらに検討した結果、マ
トリックスがフルオロアルキル基を有する含フッ素シリ
コーン系物質からなり、かつ外殻層を有し、内部が多孔
質または空洞となっている無機化合物粒子を含む透明被
膜が、極めて屈折率が低く、しかも低収縮性および疎水
性を有し、さらにこのような透明被膜は、基材や透明導
電性層との密着性が高く、膜強度、特にスクラッチ強度
に優れることを見出した。そして、このような透明被膜
が形成された透明被膜付基材は、耐久性、耐水性、耐薬
品性、反射防止性能に優れ、導電性被膜表面に透明被膜
が形成された場合には帯電防止性、電磁波遮蔽性に優
れ、さらには視感反射率が低く、このため映り込みが少
なく、反射色の色付きを抑えることができ、表示性能に
優れた表示装置が形成可能であることを見い出し、本発
明を完成するに至った。
Therefore, the present inventors have further studied a low refractive index film formed on the surface of the conductive film. As a result, the matrix is made of a fluorine-containing silicone-based material having a fluoroalkyl group and has an outer shell layer. The transparent coating containing inorganic compound particles having a porous or hollow inside has an extremely low refractive index, and also has low shrinkage and hydrophobicity. It has been found that the adhesiveness to the conductive layer is high and the film strength, particularly the scratch strength, is excellent. And the substrate with the transparent coating on which such a transparent coating is formed is excellent in durability, water resistance, chemical resistance, antireflection performance, and antistatic when the transparent coating is formed on the conductive coating surface. It is found that it is possible to form a display device having excellent display performance, excellent electromagnetic wave shielding properties, low luminous reflectance, low reflection, coloration of reflection color, and excellent display performance. The present invention has been completed.

【0013】[0013]

【発明の目的】本発明は、特定の無機化合物粒子と特定
の含フッ素シリコーン系物質を含むために屈折率が低
く、かつ低収縮性および疎水性を有し、さらに透明導電
層(透明導電性被膜)または基材との密着性、膜強度、
耐水性、耐薬品性等にも優れた透明被膜が形成された透
明被膜付基材を提供することを目的としている。また本
発明は、このような透明被膜形成用に好適に使用される
被膜形成用塗布液、および該透明被膜付基材を備えた帯
電防止性、電磁遮蔽性に優れた表示装置を提供すること
を目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has a low refractive index, low shrinkage and hydrophobicity due to containing specific inorganic compound particles and a specific fluorine-containing silicone-based substance, and a transparent conductive layer (transparent conductive layer). Coating) or adhesion to substrate, film strength,
It is an object of the present invention to provide a substrate with a transparent coating on which a transparent coating excellent in water resistance, chemical resistance and the like is formed. The present invention also provides a coating liquid for forming a film which is preferably used for forming such a transparent film, and a display device having the transparent film-coated substrate and having excellent antistatic properties and electromagnetic shielding properties. It is an object.

【0014】[0014]

【発明の概要】本発明に係る透明被膜付基材は、基材
と、該基材表面に設けられた透明被膜とからなり、該透
明被膜が、(i)フッ素置換アルキル基含有シリコーン成
分を含むマトリックスと、(ii)外殻層を有し、内部が多
孔質または空洞となっている無機化合物粒子とを含み、
かつ前記透明被膜中において、多孔質または空洞が維持
されていることを特徴としている。
The substrate with a transparent coating according to the present invention comprises a substrate and a transparent coating provided on the surface of the substrate, wherein the transparent coating comprises (i) a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component. A matrix containing, (ii) having an outer shell layer, including inorganic compound particles having a porous or hollow interior,
Further, it is characterized in that the porous film or the cavity is maintained in the transparent film.

【0015】また、本発明に係る透明被膜付基材は、基
材と、該基材表面に設けられた導電層と、該導電層表面
に設けられた透明被膜とからなり、該透明被膜が、(i)
フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分を含むマトリ
ックスと、(ii)外殻層を有し、内部が多孔質または空洞
となっている無機化合物粒子とを含み、かつ前記透明被
膜中において、多孔質または空洞が維持されていること
を特徴としている。
The substrate with a transparent film according to the present invention comprises a substrate, a conductive layer provided on the surface of the substrate, and a transparent film provided on the surface of the conductive layer. , (I)
A matrix containing a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component, and (ii) having an outer shell layer, containing inorganic compound particles having a porous or hollow interior, and in the transparent coating, a porous or hollow Is maintained.

【0016】本発明に係る表示装置は、前記透明被膜付
基材で構成された前面板を備え、透明被膜が該前面板の
外表面に形成されていることを特徴としている。本発明
に係る陰極線管は、前記透明被膜付基材で構成された前
面板を備え、該前面板の外表面に透明被膜が形成されて
いることを特徴としている。
A display device according to the present invention is characterized in that the display device includes a front plate made of the substrate with a transparent film, and a transparent film is formed on an outer surface of the front plate. The cathode ray tube according to the present invention is characterized in that it has a front plate composed of the base material with a transparent coating, and a transparent coating is formed on the outer surface of the front plate.

【0017】[0017]

【発明の具体的説明】以下、本発明について具体的に説
明する。本発明に係る透明被膜付基材は、基材と、該基
材表面に設けられた透明被膜または基材と、該基材表面
に設けられた透明導電層と、該透明導電層表面に設けら
れた透明被膜とからなる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be specifically described below. The substrate with a transparent coating according to the present invention is a substrate, a transparent coating or a substrate provided on the surface of the substrate, a transparent conductive layer provided on the surface of the substrate, and provided on the surface of the transparent conductive layer. And a transparent coating.

【0018】[基材]本発明に用いる基材としては、ガ
ラス、プラスチック、金属、セラミックなどからなる平
板、フィルム、シートあるいはその他の成形体、たとえ
ばガラスビン、PETボトル、板ガラスなどの基材が挙
げられる。本発明では、このような基材表面に下記の導
電層が設けられていてもよい。
[Substrate] Examples of the substrate used in the present invention include a flat plate, a film, a sheet or other molded body made of glass, plastic, metal, ceramic or the like, for example, a substrate such as a glass bottle, a PET bottle, or a sheet glass. Can be In the present invention, the following conductive layer may be provided on such a substrate surface.

【0019】[導電層]導電層としては、1012Ω/□
以下の表面抵抗を有するものであれば、とくに、制限さ
れるものではなく、公知の導電材料を使用することがで
きる。導電層の厚さは、5〜200nm、好ましくは10
〜150nmの範囲にあることが好ましく、この範囲の厚
さであれば、電磁遮蔽効果、帯電防止効果に優れた基材
を得ることができる。
[Conductive layer] As the conductive layer, 10 12 Ω / □
There is no particular limitation as long as it has the following surface resistance, and a known conductive material can be used. The thickness of the conductive layer is 5 to 200 nm, preferably 10 to 200 nm.
The thickness is preferably in the range of from 150 nm to 150 nm. With a thickness in this range, a substrate having excellent electromagnetic shielding effect and antistatic effect can be obtained.

【0020】なお、帯電防止機能を有する導電層の場
合、104〜1012Ω/□程度の表面抵抗を有し、電磁
遮蔽用の導電層では102〜104Ω/□のような低い表
面抵抗を有するものが形成される。なお、本発明のよう
にこの導電層表面に透明被膜が設けられていても、導電
層の表面抵抗は、実質的に変動しない。導電層は、2層
以上形成されていてもよい。
The conductive layer having an antistatic function has a surface resistance of about 10 4 to 10 12 Ω / □, and the conductive layer for electromagnetic shielding has a low surface resistance of 10 2 to 10 4 Ω / □. One having a surface resistance is formed. Even if a transparent coating is provided on the surface of the conductive layer as in the present invention, the surface resistance of the conductive layer does not substantially fluctuate. Two or more conductive layers may be formed.

【0021】透明導電材料としては、金属、導電性無機
酸化物、導電性カーボンなどの無機系導電材料、ポリア
セチレン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリ
ン、ポリイソチアナフテン、ポリアズレン、ポリフェニ
レン、ポリ-p-フェニレン、ポリ-p-フェニレンビニレ
ン、ポリ-2,5-チエニレンビニレン、ポリアセチレン、
ポリアセン、ポリペリナフタレンなどの導電性高分子が
使用される。
Examples of the transparent conductive material include metals, conductive inorganic oxides, inorganic conductive materials such as conductive carbon, polyacetylene, polypyrrole, polythiophene, polyaniline, polyisothianaphthene, polyazulene, polyphenylene, poly-p-phenylene, Poly-p-phenylenevinylene, poly-2,5-thienylenevinylene, polyacetylene,
Conductive polymers such as polyacene and polyperinaphthalene are used.

【0022】上記導電性高分子には、必要に応じてこれ
らにドーパントイオンがドーピングされていてもよい。
これらのうち、導電材料としては、金属、導電性無機酸
化物、導電性カーボンなどの無機系導電材料が望まし
い。通常、これらの導電材料から導電層を形成する場合
は、微粒子状の金属(すなわち金属微粒子)または微粒
子状の導電性無機酸化物(導電性無機酸化物微粒子)が
使用される(本明細書では、これらを単に導電性微粒子
ということもある)。
The conductive polymer may be doped with a dopant ion, if necessary.
Among these, as the conductive material, an inorganic conductive material such as a metal, a conductive inorganic oxide, and conductive carbon is preferable. Usually, when a conductive layer is formed from these conductive materials, fine metal particles (that is, fine metal particles) or fine conductive inorganic oxides (conductive inorganic oxide fine particles) are used (in the present specification). These may be simply referred to as conductive fine particles).

【0023】本発明に用いられる「金属微粒子」として
は、従来公知の金属微粒子を用いることができ、この金
属微粒子は単一成分からなる金属微粒子であってもよ
く、2種以上の金属成分を含む複合金属微粒子であって
もよい。前記複合金属微粒子を構成する2種以上の金属
は、固溶状態にある合金であっても、固溶状態にない共
晶体であってもよく、合金と共晶体が共存していてもよ
い。このような複合金属微粒子は、金属の酸化やイオン
化が抑制されるため、複合金属微粒子の粒子成長等が抑
制され、複合金属微粒子の耐腐食性が高く、導電性、光
透過率の低下が小さいなど信頼性に優れている。
As the “metal fine particles” used in the present invention, conventionally known metal fine particles can be used. The metal fine particles may be metal fine particles composed of a single component, or two or more metal components may be used. The composite metal fine particles may be included. The two or more kinds of metals constituting the composite metal fine particles may be an alloy in a solid solution state, a eutectic body not in a solid solution state, or an alloy and a eutectic may coexist. Since such composite metal fine particles suppress metal oxidation and ionization, particle growth and the like of the composite metal fine particles are suppressed, the corrosion resistance of the composite metal fine particles is high, and the decrease in conductivity and light transmittance is small. It has excellent reliability.

【0024】このような金属微粒子としては、Au,Ag,
Pd,Pt,Rh,Ru,Cu,Fe,Ni,Co,Sn,Ti,In,Al,T
a,Sbからなる群から選ばれる金属の微粒子が挙げられ
る。また、複合金属微粒子としては、Au,Ag,Pd,Pt,
Rh,Ru,Cu,Fe,Ni,Co,Sn,Ti,In,Al,Ta,Sbか
らなる群から選ばれる2種以上の金属の複合金属微粒子
が挙げられる。好ましい2種以上の金属の組合せとして
は、Au-Cu,Ag-Pt,Ag-Pd,Au-Pd,Au-Rh,Pt-P
d,Pt-Rh,Fe-Ni,Ni-Pd,Fe-Co,Cu-Co,Ru-Ag,
Au-Cu-Ag,Ag-Cu-Pt,Ag-Cu-Pd,Ag-Au-Pd,A
u-Rh-Pd,Ag-Pt-Pd,Ag-Pt-Rh,Fe-Ni-Pd,Fe-
Co-Pd,Cu-Co-Pd などが挙げられる。
Such metal fine particles include Au, Ag,
Pd, Pt, Rh, Ru, Cu, Fe, Ni, Co, Sn, Ti, In, Al, T
Fine particles of a metal selected from the group consisting of a and Sb. Further, as the composite metal fine particles, Au, Ag, Pd, Pt,
Composite metal fine particles of two or more metals selected from the group consisting of Rh, Ru, Cu, Fe, Ni, Co, Sn, Ti, In, Al, Ta and Sb. Preferred combinations of two or more metals are Au-Cu, Ag-Pt, Ag-Pd, Au-Pd, Au-Rh, Pt-P
d, Pt-Rh, Fe-Ni, Ni-Pd, Fe-Co, Cu-Co, Ru-Ag,
Au-Cu-Ag, Ag-Cu-Pt, Ag-Cu-Pd, Ag-Au-Pd, A
u-Rh-Pd, Ag-Pt-Pd, Ag-Pt-Rh, Fe-Ni-Pd, Fe-
Co-Pd, Cu-Co-Pd and the like.

【0025】また、Au,Ag,Pd,Pt,Rh,Cu,Co,Sn,
In,Taからなる群から選ばれる金属の粒子を用いる場
合は、その一部が酸化状態にあってもよく、該金属の酸
化物を含んでいてもよい。さらに、PやB原子が結合し
て含有されていてもよい。このような金属微粒子は、た
とえば以下のような公知の方法(特開平10−1886
81号公報参照)によって得ることができる。
Also, Au, Ag, Pd, Pt, Rh, Cu, Co, Sn,
When metal particles selected from the group consisting of In and Ta are used, some of the particles may be in an oxidized state or may contain an oxide of the metal. Further, P and B atoms may be contained in combination. Such metal fine particles can be obtained by, for example, the following known method (Japanese Patent Laid-Open No. 10-1886).
No. 81).

【0026】(i)たとえば、アルコール・水混合溶媒中
で、1種の金属塩を、あるいは2種以上の金属塩を同時
にあるいは別々に還元する方法が挙げられる。この方法
では、必要に応じて還元剤を添加してもよい。還元剤と
しては、硫酸第1鉄、クエン酸3ナトリウム、酒石酸、
水素化ホウ素ナトリウム、次亜リン酸ナトリウムなどが
挙げられる。また、圧力容器中で約100℃以上の温度
で加熱処理してもよい。 (ii)また、単一成分金属微粒子または合金微粒子の分散
液に、金属微粒子または合金微粒子よりも標準水素電極
電位が高い金属の微粒子またはイオンを存在させて、金
属微粒子または/および合金微粒子上に標準水素電極電
位が高い金属を析出させる方法も採用することができ
る。この方法では、得られた複合金属微粒子上に、さら
に標準水素電極電位が高い金属を析出させてもよい。ま
た、このような標準水素電極電位の最も高い金属は、複
合金属微粒子表面層に多く存在していることが好まし
い。このように、標準水素電極電位の最も高い金属が複
合金属微粒子の表面層に多く存在すると、複合金属微粒
子の酸化およびイオン化が抑えられ、イオンマイグレー
ション等による粒子成長の抑制が可能となる。さらに、
このような複合金属微粒子は、耐腐食性が高いので、導
電性、光透過率の低下を抑制することができる。
(I) For example, there is a method of reducing one kind of metal salt or two or more kinds of metal salts simultaneously or separately in a mixed solvent of alcohol and water. In this method, a reducing agent may be added as necessary. As a reducing agent, ferrous sulfate, trisodium citrate, tartaric acid,
Examples include sodium borohydride and sodium hypophosphite. Moreover, you may heat-process in a pressure vessel at the temperature of about 100 degreeC or more. (ii) In addition, in the dispersion of the single-component metal fine particles or alloy fine particles, metal fine particles or ions having a standard hydrogen electrode potential higher than that of the metal fine particles or alloy fine particles are made to exist on the metal fine particles or / and alloy fine particles. A method of depositing a metal having a high standard hydrogen electrode potential can also be employed. In this method, a metal having a higher standard hydrogen electrode potential may be deposited on the obtained composite metal fine particles. Further, it is preferable that such a metal having the highest standard hydrogen electrode potential is present in a large amount in the surface layer of the composite metal fine particles. As described above, when the metal having the highest standard hydrogen electrode potential is present in a large amount in the surface layer of the composite metal fine particles, oxidation and ionization of the composite metal fine particles can be suppressed, and particle growth due to ion migration or the like can be suppressed. further,
Since such composite metal fine particles have high corrosion resistance, a decrease in conductivity and light transmittance can be suppressed.

【0027】使用される金属微粒子の平均粒径は、1〜
200nm、好ましくは2〜70nmの範囲にあることが望
ましい。このような粒径の範囲にあると、形成された導
電層は透明となる。また、金属微粒子の平均粒径が20
0nmを越えると、金属による光の吸収が大きくなり、粒
子層の光透過率が低下するとともにへーズが大きくな
る。このため被膜付基材を、たとえば陰極線管の前面板
として用いると、表示画像の解像度が低下することがあ
る。また、金属微粒子の平均粒径が1nm未満の場合には
粒子層の表面抵抗が急激に大きくなるため、本発明の目
的を達成しうる程度の低抵抗値を有する被膜を得ること
ができないこともある。
The average particle diameter of the metal fine particles used is 1 to
It is desirably in the range of 200 nm, preferably 2 to 70 nm. When the particle size falls within such a range, the formed conductive layer becomes transparent. The average particle diameter of the metal fine particles is 20
If it exceeds 0 nm, the absorption of light by the metal increases, the light transmittance of the particle layer decreases, and the haze increases. For this reason, if the coated substrate is used, for example, as a front plate of a cathode ray tube, the resolution of a displayed image may be reduced. Further, when the average particle diameter of the metal fine particles is less than 1 nm, the surface resistance of the particle layer rapidly increases, so that a film having a resistance value low enough to achieve the object of the present invention may not be obtained. is there.

【0028】また、導電性無機微粒子としては、公知の
透明導電性無機酸化物微粒子あるいは微粒子カーボンな
どを用いることができる。透明導電性無機酸化物微粒子
としては、たとえば酸化錫、Sb、FまたはPがドーピ
ングざれた酸化錫、酸化インジウム、SnまたはFがド
ーピングされた酸化インジウム、酸化アンチモン、低次
酸化チタンなどが挙げられる。
As the conductive inorganic fine particles, known transparent conductive inorganic oxide fine particles or fine carbon particles can be used. Examples of the transparent conductive inorganic oxide fine particles include tin oxide, tin oxide doped with Sb, F or P, indium oxide, indium oxide doped with Sn or F, antimony oxide, and lower titanium oxide. .

【0029】これらの導電性無機微粒子の平均粒径は、
1〜200nm、好ましくは2〜150nmの範囲にあるこ
とが好ましい。このような導電層は、導電性被膜形成用
塗布液を使用して作製することができる。導電性被膜形
成用塗布液は、上記導電性微粒子と極性溶媒とを含んで
いる。
The average particle size of these conductive inorganic fine particles is as follows:
It is preferably in the range of 1 to 200 nm, preferably 2 to 150 nm. Such a conductive layer can be prepared using a coating liquid for forming a conductive film. The coating liquid for forming a conductive film contains the conductive fine particles and a polar solvent.

【0030】導電性被膜形成用塗布液に用いられる極性
溶媒としては、水;メタノール、エタノール、プロパノ
ール、ブタノール、ジアセトンアルコール、フルフリル
アルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、エチ
レングリコール、ヘキシレングリコールなどのアルコー
ル類;酢酸メチルエステル、酢酸エチルエステルなどの
エステル類;ジエチルエーテル、エチレングリコールモ
ノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエー
テル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテルなどのエーテル類;アセトン、
メチルエチルケトン、アセチルアセトン、アセト酢酸エ
ステルなどのケトン類などが挙げられる。これらは単独
で使用してもよく、また2種以上混合して使用してもよ
い。
The polar solvent used in the coating solution for forming the conductive film is water; alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, ethylene glycol and hexylene glycol. Esters such as methyl acetate and ethyl acetate; ethers such as diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether and diethylene glycol monoethyl ether; acetone;
Ketones such as methyl ethyl ketone, acetylacetone, and acetoacetate are exemplified. These may be used alone or as a mixture of two or more.

【0031】なお、金属微粒子を含む塗布液を使用する
と、電磁波遮蔽効果が発現される102〜104Ω/□程
度の表面抵抗を有する透明導電性層を形成することがで
きる。金属微粒子を使用して電磁遮蔽用の導電層を形成
する場合、金属微粒子は、導電性被膜形成用塗布液中の
金属微粒子の濃度が0.05〜5重量%、好ましくは0.
1〜2重量%の量で含まれていることが望ましい。
When a coating solution containing fine metal particles is used, it is possible to form a transparent conductive layer having a surface resistance of about 10 2 to 10 4 Ω / □ in which an electromagnetic wave shielding effect is exhibited. When the conductive layer for electromagnetic shielding is formed using metal fine particles, the metal fine particles have a concentration of 0.05 to 5% by weight, preferably 0.5 to 5% by weight in the coating liquid for forming a conductive film.
Desirably, it is contained in an amount of 1 to 2% by weight.

【0032】導電性被膜形成用塗布液中の金属微粒子の
量が、0.05重量%未満の場合は、得られる被膜の膜
厚が薄くなり、このため充分な導電性が得られないこと
がある。また、金属微粒子が5重量%を越えると、膜厚
が厚くなり、光透過率が低下して透明性が悪化するとと
もに外観も悪くなる。また、導電性被膜形成用塗布液に
は、金属微粒子とともに、前記した導電性無機微粒子が
含まれていてもよく、電磁波遮蔽効果が得られる102
〜104Ω/□程度の表面抵抗を有する透明導電性層を
得ようとする場合は、前記金属微粒子1重量部当たり、
前記した導電性無機微粒子は4重量部以下の量で含まれ
ていればよい。導電性無機微粒子が4重量部を超える場
合は、導電性が低下し電磁波遮蔽効果が低下することが
あるので好ましくない。
When the amount of the fine metal particles in the coating solution for forming a conductive film is less than 0.05% by weight, the film thickness of the obtained film becomes thin, so that sufficient conductivity may not be obtained. is there. On the other hand, if the content of the metal fine particles exceeds 5% by weight, the film thickness is increased, the light transmittance is reduced, the transparency is deteriorated, and the appearance is also deteriorated. The electroconductive film-forming coating liquid, together with the fine metal particles, may be contained the above-conductive inorganic fine particles, 10 2 electromagnetic wave shielding effect is obtained
When a transparent conductive layer having a surface resistance of about 10 4 Ω / □ is to be obtained,
The conductive inorganic fine particles described above may be contained in an amount of 4 parts by weight or less. When the amount of the conductive inorganic fine particles exceeds 4 parts by weight, the conductivity is lowered and the electromagnetic wave shielding effect may be lowered, which is not preferable.

【0033】このような金属微粒子とともに導電性無機
微粒子を含有していると、金属微粒子のみで透明導電性
微粒子層を形成した場合と比較して、より透明性に優れ
た透明導電性微粒子層を形成することができる。また導
電性無機微粒子を含有することによって、安価に透明導
電性層を形成することもできる。さらに、導電層が、帯
電防止機能を有する104〜1012Ω/□程度の表面抵
抗を有するものの場合は、通常、導電性無機微粒子のみ
が導電性被膜形成用塗布液に含まれていればよい。導電
性被膜形成用塗布液中には、導電性無機微粒子が、0.
1〜10重量%、好ましくは0.5〜5重量%の量で含
まれていることが望ましい。 導電性被膜形成用塗布液
中の導電性無機微粒子の量が0.1重量%未満の場合
は、得られる被膜の膜厚が薄く、このため充分な帯電防
止性能が得られないことがある。また、導電性被膜形成
用塗布液中の導電性微粒子の量が10重量%を越える
と、膜厚が厚くなり、光透過率が低下して透明性が悪化
するとともに外観も悪くなる。
When the conductive inorganic fine particles are contained together with such metal fine particles, a transparent conductive fine particle layer having more excellent transparency can be obtained as compared with the case where the transparent conductive fine particle layer is formed only with metal fine particles. Can be formed. Further, by containing the conductive inorganic fine particles, the transparent conductive layer can be formed at low cost. Further, in the case where the conductive layer has a surface resistance of about 10 4 to 10 12 Ω / □ having an antistatic function, usually, only the conductive inorganic fine particles are contained in the coating liquid for forming a conductive film. Good. In the coating liquid for forming a conductive film, the conductive inorganic fine particles are contained in an amount of 0.1%.
It is desirable that it be contained in an amount of 1 to 10% by weight, preferably 0.5 to 5% by weight. When the amount of the conductive inorganic fine particles in the coating liquid for forming a conductive film is less than 0.1% by weight, the film thickness of the obtained film is small, so that sufficient antistatic performance may not be obtained. On the other hand, when the amount of the conductive fine particles in the coating liquid for forming a conductive film exceeds 10% by weight, the film thickness is increased, the light transmittance is reduced, the transparency is deteriorated, and the appearance is also deteriorated.

【0034】さらに、これらの導電性被膜形成用塗布液
には、可視光の広い波長領域において可視光の透過率が
一定になるように、染料、顔料などが添加されていても
よい。本発明で用いられる導電性被膜形成用塗布液中の
固形分濃度(金属微粒子および/または金属微粒子以外
の導電性微粒子と、必要に応じて添加される染料、顔料
などの添加剤の総量)は、液の流動性、塗布液中の金属
微粒子などの粒状成分の分散性の点から、15重量%以
下、好ましくは0.15〜5重量%であることが好まし
い。
Further, dyes, pigments and the like may be added to these coating liquids for forming a conductive film so that the visible light transmittance is constant in a wide wavelength range of visible light. The solid content concentration (total amount of metal fine particles and / or conductive fine particles other than metal fine particles and additives such as dyes and pigments added as necessary) in the coating liquid for forming a conductive film used in the present invention is as follows. It is preferably 15% by weight or less, and more preferably 0.15 to 5% by weight, from the viewpoint of fluidity of the liquid and dispersibility of particulate components such as metal fine particles in the coating liquid.

【0035】本発明に用いる導電性被膜形成用塗布液に
は、被膜形成後の金属微粒子、金属微粒子以外の導電性
微粒子のバインダーとして作用するマトリックス成分が
含まれていてもよい。このようなマトリックス成分とし
ては、従来公知のものを用いることができるが、本発明
ではシリカ、シリカ系複合酸化物、ジルコニア、酸化ア
ンチモンからなる群から選ばれる1種以上の酸化物の前
駆体からなるものが好ましく、特に、アルコキシシラン
などの有機ケイ素化合物の加水分解重縮合物またはアル
カリ金属ケイ酸塩水溶液を脱アルカリして得られるケイ
酸が好ましく用いられる。この他、塗料用樹脂などを用
いることもできる。
The coating liquid for forming a conductive film used in the present invention may contain a metal component after forming the film and a matrix component acting as a binder for the conductive fine particles other than the metal fine particles. As such a matrix component, conventionally known ones can be used. In the present invention, silica, a silica-based composite oxide, zirconia, and a precursor of one or more oxides selected from the group consisting of antimony oxide are used. In particular, a hydrolyzed polycondensate of an organosilicon compound such as alkoxysilane or a silicic acid obtained by dealkalizing an aqueous solution of an alkali metal silicate is preferably used. In addition, a resin for paint or the like can be used.

【0036】このようなマトリックス成分は、酸化物と
してあるいは樹脂として、前記金属微粒子1重量部当た
り、0.01〜0.5重量部、好ましくは0.03〜0.3
重量部の量で含まれていればよい。また、前記導電性微
粒子の分散性を向上させるため、導電性被膜形成用塗布
液中に有機系安定剤が含まれていてもよい。このような
有機系安定剤として具体的には、ゼラチン、ポリビニル
アルコール、ポリビニルピロリドン、シュウ酸、マロン
酸、コハク酸、グルタール酸、アジピン酸、セバシン
酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、クエン酸などの
多価カルボン酸およびその塩、スルホン酸塩、有機スル
ホン酸塩、リン酸塩、有機リン酸塩、複素環化合物ある
いはこれらの混合物などが挙げられる。
Such a matrix component is used as an oxide or a resin in an amount of 0.01 to 0.5 part by weight, preferably 0.03 to 0.3 part by weight per 1 part by weight of the metal fine particles.
It may be contained in parts by weight. Further, in order to improve the dispersibility of the conductive fine particles, an organic stabilizer may be contained in the coating liquid for forming a conductive film. Specific examples of such organic stabilizers include gelatin, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid, and citric acid. And its salts, sulfonates, organic sulfonates, phosphates, organic phosphates, heterocyclic compounds, and mixtures thereof.

【0037】このような有機系安定剤は、有機系安定剤
の種類、導電性微粒子の粒子径等によっても異なるが、
微粒子1重量部に対し、0.005〜0.5重量部、好ま
しくは0.01〜0.2重量部の量で含まれていればよ
い。有機系安定剤の量が0.005重量部未満の場合は
充分な分散性が得られず、0.5重量部を超えて高い場
合は導電性が阻害されることがある。
Such an organic stabilizer differs depending on the type of the organic stabilizer, the particle size of the conductive fine particles, and the like.
The amount may be 0.005 to 0.5 part by weight, preferably 0.01 to 0.2 part by weight, per 1 part by weight of the fine particles. When the amount of the organic stabilizer is less than 0.005 parts by weight, sufficient dispersibility cannot be obtained. When the amount is more than 0.5 parts by weight, conductivity may be inhibited.

【0038】導電層の形成 導電層は、前記導電性被膜形成用塗布液を基材上に塗布
し、乾燥して、形成される。具体的には、たとえば、前
記導電性被膜形成用塗布液をディッピング法、スピナー
法、スプレー法、ロールコーター法、フレキソ印刷法な
どの方法で、基材上に塗布したのち、常温〜約90℃の
範囲の温度で乾燥する。
Formation of Conductive Layer The conductive layer is formed by applying the above-mentioned coating solution for forming a conductive film on a base material and drying it. Specifically, for example, the coating liquid for forming a conductive film is applied on a substrate by a method such as dipping, spinner, spray, roll coater, flexographic printing, and the like, and then at room temperature to about 90 ° C. Dry at a temperature in the range

【0039】導電性被膜形成用塗布液中に上記のような
マトリックス形成成分が含まれている場合には、マトリ
ックス成分を硬化させるために、加熱処理を行ってもよ
い。加熱処理では、乾燥後の塗膜を加熱して、マトリッ
クス成分を硬化させる。このときの加熱処理温度は、1
00℃以上、好ましくは150〜300℃であることが
望ましい。100℃未満ではマトリックス成分が充分に
硬化しないことがある。また加熱処理温度の上限は基材
の種類によって異なるが、基材が分解、溶解、燃焼しな
い温度以下であればよい。
When the above-mentioned matrix forming component is contained in the coating liquid for forming a conductive film, a heat treatment may be performed to cure the matrix component. In the heat treatment, the dried coating film is heated to cure the matrix component. The heat treatment temperature at this time is 1
It is desirable that the temperature is not lower than 00 ° C, preferably 150 to 300 ° C. If the temperature is lower than 100 ° C., the matrix component may not be cured sufficiently. The upper limit of the heat treatment temperature varies depending on the type of the base material, but may be lower than the temperature at which the base material does not decompose, dissolve or burn.

【0040】また、マトリックス成分を硬化させる処理
として、加熱処理の他に電磁波照射による硬化処理、硬
化が促進されるガス雰囲気下での処理などを施すことも
できる。 [透明被膜]本発明では、前記基材表面または前記した
導電層表面に、透明被膜が形成されている。透明被膜
は、以下のような無機化合物粒子とマトリックスとを含
む。
Further, as the treatment for curing the matrix component, in addition to the heat treatment, a curing treatment by electromagnetic wave irradiation, a treatment in a gas atmosphere in which curing is promoted, and the like can be performed. [Transparent film] In the present invention, a transparent film is formed on the surface of the substrate or the surface of the conductive layer. The transparent coating contains the following inorganic compound particles and a matrix.

【0041】無機化合物粒子 本発明で使用される無機化合物粒子は、外殻層を有し、
内部が多孔質または空洞となっている粒子である。無機
化合物粒子内部の多孔質または空洞は、透明被膜中にお
いて、維持されている。
Inorganic Compound Particles The inorganic compound particles used in the present invention have an outer shell layer,
The particles are porous or hollow inside. The porosity or cavity inside the inorganic compound particles is maintained in the transparent coating.

【0042】このような無機化合物粒子の断面模式図を
図1(a)〜(d)に示す。図1(a)〜(d)中、添字1は外殻層
であり、添字2は多孔質(の物質)であり、添字3は空
洞を示す。本発明で使用される無機化合物粒子は、図1
(a)に示されるように、外殻層内部に多孔質となってい
るものであっても、図1(b)に示されるように、外殻層
内が空洞となっているものであっても、さらに図1(c)
および(d)のように外殻層内に、多孔質の物質および空
洞が含まれていてもよい。
FIGS. 1 (a) to 1 (d) show schematic sectional views of such inorganic compound particles. 1 (a) to 1 (d), the subscript 1 is an outer shell layer, the subscript 2 is porous (substance), and the subscript 3 is a cavity. The inorganic compound particles used in the present invention are shown in FIG.
As shown in FIG. 1 (a), even if the inside of the outer shell layer is porous, as shown in FIG. However, Fig. 1 (c)
As in (d), the outer shell layer may include a porous substance and a cavity.

【0043】空洞3内には、無機化合物粒子の調製時に
使用した溶媒(後述)、気体などの内容物で充填されて
いる。このような無機化合物粒子の平均粒子径が5〜3
00nm、好ましくは10〜200nmの範囲にあるこ
とが望ましい。使用される無機化合物粒子の平均粒子径
は、形成される透明被膜の厚さに応じて適宜選択され
る。
The cavity 3 is filled with contents such as a solvent (to be described later) and a gas used when preparing the inorganic compound particles. The average particle diameter of such inorganic compound particles is 5 to 3
It is desirably in the range of 00 nm, preferably 10 to 200 nm. The average particle diameter of the inorganic compound particles to be used is appropriately selected according to the thickness of the formed transparent film.

【0044】外殻層の厚さは、1〜20nm、好ましく
は2〜15nmの範囲にあることが望ましい。外殻層の
厚さが1nm未満の場合は、粒子を完全に被覆するされ
ていないことがあり、後述するマトリックスを形成する
ために使用されるフッ素含有シリコーン化合物モノマ
ー、オリゴマーなどのフッ素含有マトリックス前駆体が
容易に無機化合物子の内部に進入して内部の多孔性が減
少し、低屈折率の効果が充分に得られないことがある。
また、外殻層の厚さが20nmを越えると、フッ素含有
シリコーン化合物モノマー、オリゴマーなどのフッ素含
有マトリックス前駆体が内部に進入することはないが、
外殻層の割合が高くなるために、粒子内部の多孔質物質
の割合が低下し、低屈折率の効果が充分に得られなくな
ることがある。
The thickness of the outer shell layer is desirably in the range of 1 to 20 nm, preferably 2 to 15 nm. When the thickness of the outer shell layer is less than 1 nm, the particles may not be completely covered, and a fluorine-containing matrix precursor such as a fluorine-containing silicone compound monomer or oligomer used for forming a matrix described later may be used. In some cases, the body easily enters the inside of the inorganic compound particles, the porosity inside decreases, and the effect of a low refractive index may not be sufficiently obtained.
Further, when the thickness of the outer shell layer exceeds 20 nm, fluorine-containing matrix precursors such as fluorine-containing silicone compound monomers and oligomers do not enter the inside,
Since the ratio of the outer shell layer is increased, the ratio of the porous substance inside the particles is reduced, and the effect of the low refractive index may not be sufficiently obtained.

【0045】また内部が空洞からなる粒子(図1(b))
の場合、外殻層の厚さが1nm未満の場合は、粒子形状
を維持できないことがあり、また厚さが20nmを越え
ると、外殻層の割合が高くなり、粒子内の空洞容積が低
下し、低屈折率の効果が充分に得られなくなることがあ
る。本発明で使用される無機化合物粒子の空隙率は10
体積%以上であることが望ましい。外殻層内部が多孔質
となっている粒子の場合、空隙率は10体積%以上20
体積%未満の範囲にある。また、外殻層内部が空洞とな
っている粒子の場合、空隙率は20体積%以上となる。
Further, particles having a hollow inside (FIG. 1 (b))
When the thickness of the outer shell layer is less than 1 nm, the particle shape may not be maintained. However, the effect of the low refractive index may not be sufficiently obtained. The porosity of the inorganic compound particles used in the present invention is 10
Desirably, it is at least volume%. In the case of particles in which the inside of the outer shell layer is porous, the porosity is 10% by volume to 20%.
It is in the range of less than volume%. In the case of particles having a hollow inside the outer shell layer, the porosity is 20% by volume or more.

【0046】前記無機化合物粒子の外殻層は、シリカを
主成分とすることが好ましい。また無機化合物粒子の外
殻層にはシリカ以外の成分が含まれていてもよく、具体
的には、Al23、B23、TiO2、ZrO2、SnO2
CeO2、P25、Sb23、Sb25、MoO3、ZnO、
WO3からなる群から選ばれる酸化物が用いられる。外
殻層内部の多孔質を構成する化合物(以後、多孔質物質
という)としては、シリカからなるもの、シリカとシリ
カ以外の無機化合物とからなるもの、CaF2、NaF、
NaAlF6、MgFなどからなるものが挙げられる。この
うち特にシリカとシリカ以外の無機化合物との複合酸化
物からなるものが好適である。シリカ以外の無機化合物
としては、Al23、B23、TiO2、ZrO2、Sn
2、CeO 2、P2O5、Sb23、Sb25、MoO3、Zn
O、WO3からなる群から選ばれる1種以上を挙げるこ
とができる。このような多孔質を構成する化合物(多孔
質物質)では、シリカをSiO2で表し、シリカ以外の無
機化合物を酸化物(MOx)で表したときのモル比MOx
/SiO2が、0.0001〜1.0、好ましくは0.00
01〜0.3の範囲にあることが望ましい。多孔質物質
のモル比MOx/SiO2が0.0001未満のものは得る
ことが困難であり、得られたとしてもさらに屈折率が低
いものを得ることはない。また、多孔質物質のモル比M
x/SiO2 が、1.0を越えると、シリカの比率が少
なくなるので、細孔容積が小さく、かつ屈折率の低い粒
子を得られないことがある。
The outer shell layer of the inorganic compound particles contains silica.
It is preferable to use it as a main component. In addition, outside the inorganic compound particles
The shell layer may contain components other than silica,
Typically, AlTwoOThree, BTwoOThree, TiOTwo, ZrOTwo, SnOTwo,
CeOTwo, PTwoOFive, SbTwoOThree, SbTwoOFive, MoOThree, ZnO,
WOThreeAn oxide selected from the group consisting of Outside
Compounds that constitute the porosity inside the shell layer (hereinafter referred to as porous materials
) Is composed of silica, silica and silica
Consisting of inorganic compounds other than mosquito, CaFTwo, NaF,
NaAlF6, MgF and the like. this
Especially, complex oxidation of silica and inorganic compounds other than silica
Those consisting of objects are preferred. Inorganic compounds other than silica
As AlTwoOThree, BTwoOThree, TiOTwo, ZrOTwo, Sn
OTwo, CeO Two, PTwoOFive, SbTwoOThree, SbTwoOFive, MoOThree, Zn
O, WOThreeAt least one selected from the group consisting of
Can be. Compounds that constitute such a porous material (porous material)
Material), silica is converted to SiO 2TwoExpressed with nothing other than silica
Compounds with oxides (MOx), The molar ratio MOx
/ SiOTwoBut 0.0001 to 1.0, preferably 0.00
It is desirable to be in the range of 01 to 0.3. Porous material
Molar ratio ofx/ SiOTwoIs less than 0.0001
Is difficult, and even if obtained, the refractive index is even lower.
You don't get anything. Also, the molar ratio of the porous material M
Ox/ SiOTwo However, if it exceeds 1.0, the ratio of silica is small.
Particles with low pore volume and low refractive index
You may not get a child.

【0047】外殻層がシリカを主成分とする場合、本発
明で使用される無機化合物粒子の屈折率は1.41未満
であることが望ましい。このような無機化合物粒子の外
殻層内部がシリカを主成分とする多孔質となっている場
合には、屈折率は、1.41〜1.37の範囲にあり、
このときの空隙率は10体積%以上20体積%未満の範
囲にある。また、外殻層内部が空洞となっている場合
(多孔質と空洞からなっている場合も含む)、屈折率は
1.37未満好ましくは1.36未満であり、空隙率は
20体積%以上好ましくは22体積%以上となる。この
ような低屈折率の粒子を用いると、とくに反射性能に優
れた被膜付基材が得られる。
When the outer shell layer contains silica as a main component, the inorganic compound particles used in the present invention preferably have a refractive index of less than 1.41. When the inside of the outer shell layer of such inorganic compound particles is porous containing silica as a main component, the refractive index is in the range of 1.41 to 1.37,
The porosity at this time is in the range of 10% by volume or more and less than 20% by volume. Further, when the inside of the outer shell layer is hollow (including the case where the outer shell layer is made of a porous material and a hollow), the refractive index is less than 1.37, preferably less than 1.36, and the porosity is 20% by volume or more. Preferably, it is at least 22% by volume. The use of such low-refractive-index particles makes it possible to obtain a coated substrate having particularly excellent reflection performance.

【0048】屈折率は、SiO2マトリックス形成成分液
(M)と無機化合物粒子とを、酸化物換算の重量比(マ
トリックス(SiO2):無機化合物粒子(MOx+SiO2))が、そ
れぞれ100:0、90:10、80:20、60:40、50:50、25:75とな
るように、混合した屈折率測定用塗布液を調製し、各塗
布液を、表面を50℃に保ったシリコンウェハー上に3
00rpm、スピナー法で各々塗布し、次いで160℃で
30分加熱処理した後、エリプソメーターで形成した屈
折率測定用被膜の屈折率を測定し、次いで、得られた屈
折率と粒子混合割合(粒子:(MOx+SiO2)/[粒子:
(MOx+SiO2)+マトリックス:SiO2)をプロット
し、外挿によって粒子が100%のときの屈折率を求
め、これを無機化合物粒子の屈折率とした。
As for the refractive index, the weight ratio (matrix (SiO 2 ): inorganic compound particles (MO x + SiO 2 )) of the SiO 2 matrix forming component liquid (M) and the inorganic compound particles was calculated as follows. 100: 0, 90:10, 80:20, 60:40, 50:50, 25:75 to prepare a mixed coating solution for refractive index measurement, each coating solution, the surface at 50 ℃ 3 on the kept silicon wafer
After applying each by the spinner method at 00 rpm and heating at 160 ° C. for 30 minutes, the refractive index of the refractive index measuring film formed by the ellipsometer was measured. : (MO x + SiO 2 ) / [particles:
(MO x + SiO 2 ) + matrix: SiO 2 ) was plotted, and the refractive index when the particles were 100% was obtained by extrapolation, which was defined as the refractive index of the inorganic compound particles.

【0049】また、空隙率は、上記方法で求めた屈折率
を用いて、純粋なSiO2の屈折率(1.45)との差
から、空気に換算して含まれている空隙を算出して求め
た。なお、外殻層内の空洞には、粒子調製時に使用した
溶媒、気体、多孔質物質の一部などの内容物が充填され
ている。さらに、溶媒中には粒子を調製する際に使用さ
れる粒子前駆体の未反応物、使用した触媒などが含まれ
ていてもよい。これらの内容物は、単一の成分からなる
ものであってもよいが、複数成分の混合物であってもよ
い。無機化合物粒子中のシリカとシリカ以外の無機化合
物(MOX:酸化物換算)とのモル比MOx/SiO2
0.0001〜1.0、好ましくは0.0001〜0.
3の範囲にあることが望ましい。
The porosity is calculated from the difference from the refractive index (1.45) of pure SiO 2 using the refractive index obtained by the above method to calculate the porosity contained in air. I asked. The cavity in the outer shell layer is filled with contents such as a solvent, a gas, and a part of a porous substance used in preparing the particles. Further, the solvent may contain an unreacted product of the particle precursor used in preparing the particles, the used catalyst, and the like. These contents may be composed of a single component, or may be a mixture of a plurality of components. Inorganic compounds inorganic compound other than silica and silica in the particles: the molar ratio MO x / SiO 2 of (MO X in terms of oxide) 0.0001 to 1.0, preferably 0.0001 to 0.
It is desirably in the range of 3.

【0050】このような無機化合物粒子の外殻層内部の
多孔質または空洞は、上記したように透明被膜中におい
ても維持されている。図2は、外殻層内部が空洞となっ
ている無機化合物粒子の断面TEM写真を示す。外殻層
はシリカ(厚さ15nm、粒径96nm)からなり、屈折率
1.31、空隙率31%の粒子である。内部を空気とし
て、空洞の割合を計算すると空洞の割合は32%とな
り、外殻層内部は空洞が形成されていることが明らかで
ある。
The porosity or cavity inside the outer shell layer of such inorganic compound particles is maintained in the transparent film as described above. FIG. 2 shows a cross-sectional TEM photograph of the inorganic compound particles having a hollow inside the outer shell layer. The outer shell layer is made of silica (thickness: 15 nm, particle size: 96 nm), and has a refractive index of 1.31 and a porosity of 31%. When the ratio of the cavities is calculated with the inside as air, the ratio of the cavities is 32%, and it is clear that the cavities are formed inside the outer shell layer.

【0051】また、図3は、後述するマトリックスとと
もに、透明被膜を形成したときに、透明被膜中での外殻
層内部が空洞となっている無機化合物粒子の断面TEM
写真を示す。図3から明らかなように、空洞内にマトリ
ックス成分が侵入することがなく、空洞は透明被膜中で
も維持されいる。無機化合物粒子の調製 このような無機化合物粒子の製造方法としては、たとえ
ば特開平7−133105号公報に開示された複合酸化
物コロイド粒子の調製方法が好適に採用される。
FIG. 3 shows a cross-sectional TEM image of the inorganic compound particles having a hollow inside the outer shell layer when a transparent film is formed together with a matrix described later.
A photograph is shown. As is clear from FIG. 3, the matrix component does not enter the cavity, and the cavity is maintained even in the transparent coating. Preparation of Inorganic Compound Particles As a method for producing such inorganic compound particles, for example, a method for preparing composite oxide colloid particles disclosed in JP-A-7-133105 is suitably employed.

【0052】具体的に、無機化合物粒子が、シリカと、
シリカ以外の無機化合物とからなる場合、以下の第1〜
第3工程により製造される。第1工程:多孔質物質前駆体粒子の調製 第1工程では、あらかじめ、シリカ原料とシリカ以外の
無機化合物原料のアルカリ水溶液を個別に調製するか、
または、シリカ原料とシリカ以外の無機化合物原料との
混合水溶液を調製しておき、この水溶液を目的とする複
合酸化物の複合割合に応じて、pH10以上のアルカリ
水溶液中に攪拌しながら徐々に添加して多孔質物質の前
駆体粒子(以後、多孔質物質前駆体粒子という)を調製
する。
Specifically, the inorganic compound particles are composed of silica and
When composed of an inorganic compound other than silica, the following first to first
It is manufactured by the third step. First step: Preparation of porous substance precursor particles In the first step, an alkali aqueous solution of a silica raw material and an inorganic compound raw material other than silica is separately prepared,
Alternatively, a mixed aqueous solution of a silica raw material and an inorganic compound raw material other than silica is prepared, and this aqueous solution is gradually added to an alkaline aqueous solution having a pH of 10 or more with stirring according to the composite ratio of the target composite oxide. Thus, precursor particles of a porous substance (hereinafter referred to as porous substance precursor particles) are prepared.

【0053】シリカ原料としては、アルカリ金属、アン
モニウムまたは有機塩基のケイ酸塩を用いる。アルカリ
金属のケイ酸塩としては、ケイ酸ナトリウム(水ガラ
ス)や珪酸カリウムが用いられる。有機塩基としては、
テトラエチルアンモニウム塩などの第4級アンモニウム
塩、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリ
エタノールアミンなどのアミン類を挙げることができ
る。なお、アンモニウムのケイ酸塩または有機塩基のケ
イ酸塩には、ケイ酸液にアンモニア、第4級アンモニウ
ム水酸化物、アミン化合物などを添加したアルカリ性溶
液も含まれる。
As the silica raw material, a silicate of an alkali metal, ammonium or an organic base is used. As the alkali metal silicate, sodium silicate (water glass) or potassium silicate is used. As an organic base,
Examples include quaternary ammonium salts such as tetraethylammonium salts and amines such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine. The ammonium silicate or the organic base silicate includes an alkaline solution obtained by adding ammonia, a quaternary ammonium hydroxide, an amine compound, or the like to a silicic acid solution.

【0054】また、シリカ以外の無機化合物の原料とし
ては、アルカリ可溶の無機化合物を用いられる。具体的
には、Al、B、Ti、Zr、Sn、Ce、P、Sb、Mo、
Zn、Wなどから選ばれる元素のオキソ酸、該オキソ酸
のアルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩、アンモニ
ウム塩、第4級アンモニウム塩を挙げることができる。
より具体的には、アルミン酸ナトリウム、四硼酸ナトリ
ウム、炭酸ジルコニルアンモニウム、アンチモン酸カリ
ウム、錫酸カリウム、アルミノケイ酸ナトリウム、モリ
ブデン酸ナトリウム、硝酸セリウムアンモニウム、リン
酸ナトリウムが適当である。
As a raw material of the inorganic compound other than silica, an alkali-soluble inorganic compound is used. Specifically, Al, B, Ti, Zr, Sn, Ce, P, Sb, Mo,
Examples include oxo acids of elements selected from Zn, W, and the like, and alkali metal salts or alkaline earth metal salts, ammonium salts, and quaternary ammonium salts of the oxo acids.
More specifically, sodium aluminate, sodium tetraborate, zirconyl ammonium carbonate, potassium antimonate, potassium stannate, sodium aluminosilicate, sodium molybdate, cerium ammonium nitrate, and sodium phosphate are suitable.

【0055】以上のような原料の水溶液を混合すると同
時に、混合水溶液のpH値は変化するが、このpH値を
所定の範囲に制御するような操作は特に必要ない。水溶
液は、最終的に、無機酸化物の種類およびその混合割合
によって定まるpH値となる。このときの水溶液の添加
速度にはとくに制限はない。また、無機化合物粒子内部
の多孔質物質が複合酸化物である場合、多孔質物質前駆
体粒子を製造するに際して、シード粒子の分散液を出発
原料と使用することも可能である。当該シード粒子とし
ては、特に制限はないが、SiO2、Al23、TiO2
たはZrO2等の無機酸化物またはこれらの複合酸化物の
微粒子が用いられ、通常、これらのゾルを用いることが
できる。さらに前記の製造方法によって得られた多孔質
物質前駆体粒子分散液をシード粒子分散液としてもよ
い。シード粒子分散液を使用する場合、シード粒子分散
液のpHを10以上に調整したのち、該シード粒子分散
液中に前記化合物の水溶液を、上記したアルカリ水溶液
中に攪拌しながら添加する。この場合も、必ずしも分散
液のpH制御を行う必要はない。このようにして、シー
ド粒子を用いると、調製する多孔質物質前駆体粒子の粒
径コントロールが容易であり、粒度の揃ったものを得る
ことができる。
The pH value of the mixed aqueous solution changes at the same time as mixing the aqueous solutions of the raw materials as described above, but there is no particular operation for controlling the pH value to a predetermined range. The aqueous solution finally has a pH value determined by the type of inorganic oxide and its mixing ratio. At this time, the addition rate of the aqueous solution is not particularly limited. When the porous substance inside the inorganic compound particles is a composite oxide, a dispersion of seed particles can be used as a starting material when producing the porous substance precursor particles. The seed particles are not particularly limited, but fine particles of an inorganic oxide such as SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 or ZrO 2 or a composite oxide of these are used. Can be. Further, the porous substance precursor particle dispersion obtained by the above-described production method may be used as a seed particle dispersion. When a seed particle dispersion is used, after adjusting the pH of the seed particle dispersion to 10 or more, an aqueous solution of the compound is added to the seed particle dispersion while being stirred into the above-described alkaline aqueous solution. Also in this case, it is not always necessary to control the pH of the dispersion. In this way, when the seed particles are used, the particle size of the prepared porous substance precursor particles can be easily controlled, and particles having a uniform particle size can be obtained.

【0056】上記したシリカ原料および無機化合物原料
はアルカリ側で高い溶解度を有する。しかしながら、こ
の溶解度の大きいpH領域で両者を混合すると、ケイ酸
イオンおよびアルミン酸イオンなどのオキソ酸イオンの
溶解度が低下し、これらの複合物が析出して微粒子に成
長したり、あるいは、シード粒子上に析出して粒子成長
が起こる。したがって、粒子の析出、成長に際して、従
来法のようなpH制御は必ずしも行う必要がない。
The above silica raw materials and inorganic compound raw materials have high solubility on the alkali side. However, if the two are mixed in this pH range where the solubility is large, the solubility of oxo acid ions such as silicate ions and aluminate ions decreases, and these compounds precipitate and grow into fine particles, or seed particles grow. Precipitates on top and particle growth occurs. Therefore, it is not always necessary to control the pH as in the conventional method when depositing and growing particles.

【0057】第1工程におけるシリカとシリカ以外の無
機化合物との複合割合は、無機化合物を酸化物(MOx)
に換算し、MOx/SiO2のモル比が、0.05〜2.
0、好ましくは0.2〜2.0の範囲内にあることが望ま
しい。この範囲内において、シリカの割合が少なくなる
程、多孔質物質の細孔容積が増大する。なお、MOx
SiO2のモル比が2.0を越えても、多孔質物質の細孔
の容積はほとんど増加しない。他方、MOx/SiO2
モル比が0.05未満の場合は、細孔容積が小さくな
る。無機化合物の外殻層内に空洞を形成する場合、MO
x/SiO2のモル比は、0.25〜2.0の範囲内にある
ことが望ましい。MOx/SiO2のモル比が、0.25未
満であると、次の第2工程で空洞が形成されるまでに至
らないことがある。
In the first step, the composite ratio of silica and the inorganic compound other than silica is determined by converting the inorganic compound to an oxide (MO x ).
And the molar ratio of MO x / SiO 2 is 0.05 to 2.
0, preferably in the range of 0.2 to 2.0. Within this range, the smaller the proportion of silica, the greater the pore volume of the porous material. In addition, MO x /
Even if the molar ratio of SiO 2 exceeds 2.0, the pore volume of the porous material hardly increases. On the other hand, when the molar ratio of MO x / SiO 2 is less than 0.05, the pore volume becomes small. When a cavity is formed in the outer shell layer of an inorganic compound, MO
the molar ratio of x / SiO 2 is preferably in the range of 0.25 to 2.0. If the molar ratio of MO x / SiO 2 is less than 0.25, it may not be possible to form a cavity in the next second step.

【0058】第2工程:多孔質物質前駆体粒子からのシ
リカ以外の無機化合物の除去 第2工程では、前記第1工程で得られた多孔質物質前駆
体粒子から、シリカ以外の無機化合物(ケイ素と酸素以
外の元素)の少なくとも一部を選択的に除去する。具体
的な除去方法としては、多孔質物質前駆体粒子中の無機
化合物を鉱酸や有機酸を用いて溶解除去したり、あるい
は、陽イオン交換樹脂と接触させてイオン交換除去す
る。
Second step: Particle formation from the porous material precursor particles
In the second step of removing inorganic compounds other than silica, at least a portion of the inorganic compound other than silica (elements other than silicon and oxygen) is selectively removed from the porous substance precursor particles obtained in the first step. I do. As a specific removal method, the inorganic compound in the porous substance precursor particles is dissolved and removed using a mineral acid or an organic acid, or is ion-exchanged and removed by contact with a cation exchange resin.

【0059】なお、第1工程で得られる多孔質物質前駆
体粒子は、ケイ素と無機化合物構成元素が酸素を介して
結合した網目構造の粒子である。このような多孔質物質
前駆体粒子から無機化合物(ケイ素と酸素以外の元素)
を除去することにより、いっそう多孔質でかつ細孔容積
の大きい多孔質粒子が得られ、この多孔質粒子が外殻層
内部の多孔質を構成する。
The porous substance precursor particles obtained in the first step are particles having a network structure in which silicon and an inorganic compound constituent element are bonded via oxygen. Inorganic compounds (elements other than silicon and oxygen) from such porous substance precursor particles
By removing, porous particles having a larger volume and a larger pore volume are obtained, and the porous particles constitute the porosity inside the outer shell layer.

【0060】また、多孔質物質前駆体粒子からシリカ以
外の無機化合物を除去する量を多くすれば、外殻層内部
が空洞となっている粒子を調製することができる。ま
た、多孔質物質前駆体粒子からシリカ以外の無機化合物
を除去するに先立って、第1工程で得られる多孔質物質
前駆体粒子分散液に、シリカのアルカリ金属塩を脱アル
カリして得られるケイ酸液あるいは加水分解性の有機ケ
イ素化合物を添加して、多孔質物質前駆体粒子表面にシ
リカ保護膜を形成することが好ましい。シリカ保護膜の
厚さは0.5〜15nmの厚さであればよい。なおシリ
カ保護膜を形成しても、この工程で形成されるシリカ保
護膜は多孔質であり厚さが薄いので、多孔質物質前駆体
粒子から、前記したシリカ以外の無機化合物を、除去す
ることは可能である。
If the amount of the inorganic compound other than silica removed from the porous material precursor particles is increased, particles having a hollow inside the outer shell layer can be prepared. Further, prior to removing the inorganic compound other than silica from the porous substance precursor particles, the porous substance precursor particle dispersion obtained in the first step is treated with a silica obtained by dealkalizing an alkali metal salt of silica. It is preferable to add an acid solution or a hydrolyzable organosilicon compound to form a silica protective film on the surface of the porous substance precursor particles. The thickness of the silica protective film may be 0.5 to 15 nm. Even if a silica protective film is formed, since the silica protective film formed in this step is porous and thin, it is necessary to remove the above-mentioned inorganic compound other than silica from the porous substance precursor particles. Is possible.

【0061】このようにシリカ保護膜を形成することに
よって、粒子形状を保持したまま、前記したシリカ以外
の無機化合物を多孔質物質前駆体粒子から除去すること
ができる。また、シリカ保護膜を形成することによっ
て、後述するシリカ外殻層を形成する際に、多孔質粒子
の細孔がシリカ外殻層形成成分である加水分解性の有機
ケイ素化合物またはケイ酸液等によって閉塞されてしま
うことがなく、このため細孔容積を低下させることなく
後述するシリカ外殻層を形成することができる。
By forming the silica protective film in this manner, the above-mentioned inorganic compound other than silica can be removed from the porous substance precursor particles while maintaining the particle shape. Further, by forming a silica protective film, when forming a silica shell layer described later, the pores of the porous particles are formed of a hydrolyzable organosilicon compound or a silicic acid solution which is a silica shell layer forming component. Therefore, the silica outer shell layer described later can be formed without lowering the pore volume.

【0062】なお、多孔質物質前駆体粒子から除去する
無機化合物の量が少ない場合は粒子が壊れることがない
ので必ずしも保護膜を形成する必要はない。また外殻層
内部が空洞となっている粒子を調製する場合は、このシ
リカ保護膜を形成しておくことがとくに望ましい。外殻
層内部が空洞となっている粒子を調製する際には、無機
化合物の除去によって、シリカ保護膜と、該シリカ保護
膜内の溶媒、未溶解のため残存する前記多孔質物質の一
部とからなる粒子前駆体が得られ、該粒子前駆体に後述
のシリカ外殻層を形成すると、形成されたシリカ保護膜
およびシリカ外殻層が、外殻層となり、内部に空洞が形
成された無機化合物粒子が得られる。
When the amount of the inorganic compound to be removed from the porous substance precursor particles is small, it is not always necessary to form a protective film because the particles are not broken. When particles having a hollow inside of the outer shell layer are prepared, it is particularly desirable to form this silica protective film. When preparing particles having a hollow inside of the outer shell layer, by removing the inorganic compound, a silica protective film and a solvent in the silica protective film, a part of the porous material remaining undissolved and remaining. When a silica outer shell layer described below was formed on the particle precursor, the formed silica protective film and silica outer shell layer became an outer shell layer, and a cavity was formed inside. Inorganic compound particles are obtained.

【0063】上記シリカ保護膜形成のために添加するシ
リカ源の量は、粒子形状を保持できる範囲で少ないこと
が好ましい。シリカ源の量が多すぎると、シリカ保護膜
が厚くなりすぎるので、多孔質物質前駆体粒子からシリ
カ以外の無機化合物を除去することが困難となることが
ある。シリカ保護膜の形成用に使用される加水分解性の
有機ケイ素化合物としては、一般式RnSi(OR')4-n
〔R、R':アルキル基、アリール基、ビニル基、アク
リル基等の炭化水素基、n=0、1、2または3〕で表
されるアルコキシシランを用いることができる。特に、
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ
イソプロポキシシラン等のテトラアルコキシシランが好
ましく用いられる。
The amount of the silica source added for forming the silica protective film is preferably small as long as the particle shape can be maintained. If the amount of the silica source is too large, the silica protective film becomes too thick, so that it may be difficult to remove inorganic compounds other than silica from the porous substance precursor particles. The hydrolyzable organosilicon compound used for forming the silica protective film includes a compound represented by the general formula R n Si (OR ′) 4-n
An alkoxysilane represented by [R, R ': a hydrocarbon group such as an alkyl group, an aryl group, a vinyl group, an acryl group, and n = 0, 1, 2, or 3] can be used. In particular,
Tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetraisopropoxysilane are preferably used.

【0064】添加方法としては、これらのアルコキシシ
ラン、純水、およびアルコールの混合溶液に触媒として
の少量のアルカリまたは酸を添加した溶液を、前記多孔
質物質前駆体粒子の分散液に加え、アルコキシシランを
加水分解して生成したケイ酸重合物を多孔質物質前駆体
粒子の表面に沈着させる。このとき、アルコキシシラ
ン、アルコール、触媒を同時に分散液中に添加してもよ
い。アルカリ触媒としては、アンモニア、アルカリ金属
の水酸化物、アミン類を用いることができる。また、酸
触媒としては、各種の無機酸と有機酸を用いることがで
きる。
As a method of addition, a solution obtained by adding a small amount of an alkali or an acid as a catalyst to a mixed solution of these alkoxysilane, pure water and alcohol is added to the dispersion of the porous substance precursor particles, The silicic acid polymer produced by hydrolyzing the silane is deposited on the surface of the porous substance precursor particles. At this time, the alkoxysilane, alcohol, and catalyst may be simultaneously added to the dispersion. As the alkali catalyst, ammonia, hydroxides of alkali metals and amines can be used. As the acid catalyst, various inorganic acids and organic acids can be used.

【0065】多孔質物質前駆体粒子の分散媒が、水単
独、または有機溶媒に対する水の比率が高い場合には、
ケイ酸液を用いてシリカ保護膜を形成することも可能で
ある。ケイ酸液を用いる場合には、分散液中にケイ酸液
を所定量添加し、同時にアルカリを加えてケイ酸液を多
孔質物質前駆体粒子表面に沈着させる。なお、ケイ酸液
と上記アルコキシシランを併用してシリカ保護膜を作製
してもよい。
When the dispersion medium of the porous substance precursor particles is water alone or when the ratio of water to the organic solvent is high,
It is also possible to form a silica protective film using a silicic acid solution. When using a silicic acid solution, a predetermined amount of the silicic acid solution is added to the dispersion, and at the same time, an alkali is added to deposit the silicic acid solution on the surface of the porous substance precursor particles. In addition, you may produce a silica protective film using a silicic acid liquid and the said alkoxysilane together.

【0066】以上のように、多孔質物質前駆体粒子から
のシリカ以外の無機化合物を除去することによって多孔
質粒子の分散液または外殻層内部が空洞となっている粒
子の前駆体分散液が調製される。第3工程:シリカ外殻層の形成 第3工程では、第2工程で調製した多孔質粒子分散液
(空洞を形成する場合の粒子の前駆体分散液も含む)に
加水分解性の有機ケイ素化合物またはケイ酸液等を加え
ることにより、多孔質粒子(空洞を形成する場合の粒子
前駆体)の表面を加水分解性有機ケイ素化合物またはケ
イ酸液等の重合物で被覆してシリカ外殻層を形成する。
なお、加水分解性有機ケイ素化合物を単独で使用するこ
とが望ましい。またケイ酸液を使用する場合は、加水分
解性有機ケイ素化合物と併用することが望ましく、ケイ
酸の量は30重量%未満とすることが望ましい。
As described above, by removing the inorganic compound other than silica from the porous substance precursor particles, the dispersion liquid of the porous particles or the precursor dispersion liquid of the particles having a hollow inside of the outer shell layer is obtained. Prepared. Third Step: Formation of Silica Shell Layer In the third step, a hydrolyzable organosilicon compound is added to the porous particle dispersion prepared in the second step (including the precursor dispersion of particles for forming cavities). Alternatively, the surface of the porous particles (particle precursors for forming cavities) is coated with a hydrolyzable organosilicon compound or a polymer such as a silicic acid solution by adding a silicic acid solution or the like to form a silica outer shell layer. Form.
It is desirable to use the hydrolyzable organosilicon compound alone. When a silicic acid solution is used, it is desirable to use it together with a hydrolyzable organic silicon compound, and it is desirable that the amount of silicic acid is less than 30% by weight.

【0067】シリカ外殻層形成用に使用される加水分解
性の有機ケイ素化合物としては、前記したような一般式
nSi(OR')4-n 〔R、R':アルキル基、アリール
基、ビニル基、アクリル基等の炭化水素基、n=0、
1、2または3〕で表されるアルコキシシランを用いる
ことができる。特に、テトラメトキシシラン、テトラエ
トキシシラン、テトライソプロポキシシラン等のテトラ
アルコキシシランが好ましく用いられる。
Examples of the hydrolyzable organosilicon compound used for forming the silica outer layer include the above-mentioned general formula R n Si (OR ′) 4-n [R, R ′: alkyl group, aryl group , Vinyl group, hydrocarbon group such as acrylic group, n = 0,
1, 2 or 3] can be used. In particular, tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetraisopropoxysilane are preferably used.

【0068】これらのアルコキシシラン、純水、および
アルコールの混合溶液に触媒としての少量のアルカリま
たは酸を添加した溶液を、前記多孔質粒子分散液に加
え、アルコキシシランを加水分解することで生成したケ
イ酸重合物を多孔質粒子の表面に沈着させて、外殻層を
形成する。このとき、アルコキシシラン、アルコール、
触媒を同時に分散液中に添加してもよい。アルカリ触媒
としては、アンモニア、アルカリ金属の水酸化物、アミ
ン類を用いることができる。また、酸触媒としては、各
種の無機酸と有機酸を用いることができる。
A solution obtained by adding a small amount of an alkali or an acid as a catalyst to a mixed solution of these alkoxysilanes, pure water and alcohol was added to the porous particle dispersion, and the mixture was produced by hydrolyzing the alkoxysilanes. A silicic acid polymer is deposited on the surface of the porous particles to form an outer shell layer. At this time, alkoxysilane, alcohol,
The catalyst may be added to the dispersion at the same time. As the alkali catalyst, ammonia, hydroxides of alkali metals and amines can be used. As the acid catalyst, various inorganic acids and organic acids can be used.

【0069】多孔質粒子(空洞を形成する場合では、粒
子前駆体)の分散媒が水単独、または有機溶媒との混合
溶媒であって、有機溶媒に対する水の比率が高い混合溶
媒の場合には、ケイ酸液を用いて外殻層を形成してもよ
い。ケイ酸液とは、水ガラス等のアルカリ金属ケイ酸塩
の水溶液をイオン交換処理して脱アルカリしたケイ酸の
低重合物の水溶液である。
In the case where the dispersion medium of the porous particles (particle precursor in the case of forming cavities) is water alone or a mixed solvent with an organic solvent and a mixed solvent having a high ratio of water to the organic solvent, The outer shell layer may be formed using a silicic acid solution. The silicic acid liquid is an aqueous solution of a low-polymerized silicic acid obtained by subjecting an aqueous solution of an alkali metal silicate such as water glass to an ion exchange treatment and dealkalizing.

【0070】ケイ酸液を用いる場合、ケイ酸液を多孔質
粒子(空洞を形成する場合では、粒子の前駆体)分散液
中に添加すると同時にアルカリを加えてケイ酸低重合物
を多孔質粒子表面に沈着させることによって、外殻層を
形成する。なお、ケイ酸液を上記アルコキシシランと併
用して外殻層形成用に使用してもよい。外殻層形成用に
使用される有機ケイ素化合物またはケイ酸液の添加量
は、多孔質粒子表面を充分に被覆できる程度であればよ
く、最終的に得られるシリカ外殻層の厚さが1〜20n
mとなるように量で、多孔質粒子分散液中で添加され
る。また前記シリカ保護膜を形成している場合はシリカ
保護膜とシリカ外殻層の合計の厚さが1〜20nmの範
囲となるような量で、有機ケイ素化合物またはケイ酸液
は添加される。
When a silicic acid solution is used, the silicic acid solution is added to a dispersion of porous particles (in the case of forming cavities, a precursor of the particles) and an alkali is added at the same time to add a low-silicic acid polymer to the porous particles. An outer shell layer is formed by depositing on the surface. The silicic acid solution may be used together with the above-mentioned alkoxysilane for forming the outer shell layer. The amount of the organosilicon compound or the silicic acid solution used for forming the outer shell layer may be such that the surface of the porous particles can be sufficiently coated. ~ 20n
m in the porous particle dispersion. When the silica protective film is formed, the organosilicon compound or the silicic acid solution is added in such an amount that the total thickness of the silica protective film and the silica outer layer is in the range of 1 to 20 nm.

【0071】次いで、必要に応じて外殻層が形成された
粒子の分散液を加熱処理する。加熱処理によって、形成
されたシリカ外殻層が緻密化する。このときの加熱処理
温度は、シリカ外殻層の微細孔を閉塞できる程度であれ
ば特に制限はなく、80〜300℃の範囲が好ましい。
加熱温度が溶媒の沸点以上の場合、オートクレーブなど
の耐圧容器を使用してもよい。加熱処理温度が80℃未
満ではシリカ外殻層の微細孔を閉塞して緻密化できない
ことがあり、また処理時間に長時間を要してしまうこと
がある。また加熱処理温度が300℃を越えて長時間処
理すると、外殻層内部が多孔質となっている場合には、
多孔質を構成する化合物(多孔質物質)物質が緻密化す
ることがあり、低屈折率の効果が得られないことがあ
る。
Next, if necessary, the dispersion liquid of the particles having the outer shell layer formed thereon is subjected to a heat treatment. The heat treatment densifies the formed silica shell layer. The heating temperature at this time is not particularly limited as long as the pores of the silica outer layer can be closed, and is preferably in the range of 80 to 300 ° C.
When the heating temperature is higher than the boiling point of the solvent, a pressure vessel such as an autoclave may be used. If the heat treatment temperature is lower than 80 ° C., the fine pores of the silica shell layer may be closed and densification may not be achieved, and a long processing time may be required. When the heat treatment temperature exceeds 300 ° C. for a long time, if the inside of the outer shell layer is porous,
The compound (porous substance) constituting the porous material may be densified, and the effect of a low refractive index may not be obtained.

【0072】このようにして得られた無機化合物粒子
は、屈折率が1.41以下であり、低いものである。こ
のため、このような無機化合物粒子は、内部に多孔質物
質の多孔性が保持されているか、内部が空洞であるの
で、屈折率が低くなる。マトリックス 透明被膜は、マトリックスとして、フッ素置換アルキル
基含有シリコーン成分を含んでいる。このフッ素置換ア
ルキル基含有シリコーン成分としては、下記式(1)〜
(3)で表される構成単位を有するものが好適である。
The inorganic compound particles thus obtained have a low refractive index of 1.41 or less. Therefore, such an inorganic compound particle has a low refractive index because the porosity of the porous substance is retained inside or the inside is hollow. The matrix transparent coating contains a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component as a matrix. As the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component, the following formulas (1) to (1)
Those having the structural unit represented by (3) are preferable.

【0073】[0073]

【化1】 Embedded image

【0074】式中、R1は炭素数1〜16のフルオロア
ルキル基またはパーフルオロアルキル基を示し、R2
炭素数1〜16のアルキル基、ハロゲン化アルキル基、
アリール基、アルキルアリール基、アリールアルキル
基、アルケニル基、またはアルコキシ基、水素原子ある
いはハロゲン原子を示す。Xは−(Cabc)−を示
し、aは1〜12の整数、b+cは2aであり、bは0
〜24の整数、cは0〜24の整数を示す。このような
Xとしては、フルオロアルキレン基とアルキレン基とを
有する基が好ましい。
In the formula, R 1 represents a fluoroalkyl group having 1 to 16 carbon atoms or a perfluoroalkyl group, and R 2 represents an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, a halogenated alkyl group,
An aryl group, an alkylaryl group, an arylalkyl group, an alkenyl group, or an alkoxy group, a hydrogen atom or a halogen atom. X is - (C a H b F c ) - indicates, a is an integer from 1 to 12, b + c is 2a, b is 0
An integer of from 24 to 24, and c represents an integer of from 0 to 24. As such X, a group having a fluoroalkylene group and an alkylene group is preferable.

【0075】このような構成単位を形成するマトリック
スは、通常、下記式(4)または(5)で表されるフル
オロアルキル基を有する含フッ素シリコーン系化合物か
ら誘導される。
The matrix forming such a structural unit is usually derived from a fluorine-containing silicone compound having a fluoroalkyl group represented by the following formula (4) or (5).

【0076】[0076]

【化2】 Embedded image

【0077】式中R1は、炭素数1〜16、好ましくは
3〜12のフルオロアルキル基またはパーフルオロアル
キル基を示し、R2〜R7は炭素数1〜16、好ましくは
1〜4のアルキル基、炭素数1〜6、好ましくは1〜4
のハロゲン化アルキル基、炭素数6〜12、好ましくは
6〜10のアリール基、炭素数7〜14、好ましくは7
〜12のアルキルアリール基、アリールアルキル基、炭
素数2〜8、好ましくは2〜6のアルケニル基、または
炭素数1〜6、好ましくは1〜3のアルコキシ基、水素
原子あるいはハロゲン原子を示す。
In the formula, R 1 represents a fluoroalkyl group having 1 to 16, preferably 3 to 12 carbon atoms or a perfluoroalkyl group, and R 2 to R 7 represent 1 to 16 carbon atoms, preferably 1 to 4 carbon atoms. Alkyl group, carbon number 1-6, preferably 1-4
A halogenated alkyl group; an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, preferably 6 to 10 carbon atoms;
An alkylaryl group, an arylalkyl group, an alkenyl group having 2 to 8, preferably 2 to 6 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 6, preferably 1 to 3 carbon atoms, a hydrogen atom or a halogen atom.

【0078】Xは−(Cabc)−を示し、aは1〜1
2の整数、b+cは2aであり、bは0〜24の整数、
cは0〜24の整数を示す。このようなXとしては、フ
ルオロアルキレン基とアルキレン基とを有する基が好ま
しい。具体的に、このような含フッ素シリコーン系化合
物としては、ヘプタデカフルオロデシルメチルジメトキ
シシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリクロロシシラ
ン、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン、ト
リフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリデカフル
オロオクチルトリメトキシシラン、および化学式(Me
O)3SiC2461224Si(MeO)3で表されるメ
トキシジシラン化合物等が挙げられる。
X represents-(C a Hb F c )-, and a represents 1 to 1
An integer of 2, b + c is 2a, b is an integer of 0 to 24,
c shows the integer of 0-24. As such X, a group having a fluoroalkylene group and an alkylene group is preferable. Specifically, examples of such a fluorine-containing silicone compound include heptadecafluorodecylmethyldimethoxysilane, heptadecafluorodecyltrichlorosilane, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, and tridecafluorooctyl. Trimethoxysilane, and the chemical formula (Me
O) 3 SiC 2 H 4 C 6 F 12 C 2 H 4 Si (MeO) 3 methoxydisilane compound and the like.

【0079】マトリックスとして、フッ素置換アルキル
基含有シリコーン成分を含んでいると、形成される透明
被膜自体が疎水性を有しているので、透明被膜が充分緻
密化しておらず、多孔質であったり、またクラックやボ
イドを有している場合であっても、水分や酸・アルカリ
等の薬品による透明被膜への進入が抑制される。さらに
は、基板表面や下層である導電層中に含まれる金属等の
微粒子と水分や酸・アルカリ等の薬品とが反応すること
もない。このため、このような透明被膜は、優れた耐薬
品性を有している。
When the matrix contains a silicone component containing a fluorine-substituted alkyl group, the formed transparent film itself has hydrophobicity, so that the transparent film is not sufficiently densified and porous. In addition, even when cracks or voids are present, penetration of the transparent coating by chemicals such as moisture, acid, and alkali is suppressed. Further, there is no reaction between fine particles such as metals contained in the surface of the substrate and the lower conductive layer and chemicals such as moisture and acids and alkalis. For this reason, such a transparent coating has excellent chemical resistance.

【0080】また、マトリックスとして、フッ素置換ア
ルキル基含有シリコーン成分を含んでいると、このよう
な疎水性のみならず、滑り性がよく(接触抵抗が低
く)、このためスクラッチ強度に優れた透明被膜を得る
ことができる。さらに、マトリックスが、このような構
成単位を有するフッ素置換アルキル基含有シリコーン成
分を含んでいると、下層に導電層が形成されている場合
には、マトリックスの収縮率が、導電層と同等か近いも
のであるため導電層と密着性に優れた透明被膜を形成す
ることができる。さらに、透明被膜を加熱処理する際
に、収縮率の違いから、導電層が剥離して、透明導電性
層に電気的接触のない部分が生じることもない。このた
め、膜全体として充分な導電性を維持できる。
When the matrix contains a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component, not only such a hydrophobic property but also a good sliding property (low contact resistance) and therefore a transparent coating excellent in scratch strength are obtained. Can be obtained. Further, when the matrix contains a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component having such a structural unit, when a conductive layer is formed as a lower layer, the contraction rate of the matrix is equal to or close to that of the conductive layer. Therefore, a transparent film having excellent adhesion to the conductive layer can be formed. Further, when the transparent film is subjected to the heat treatment, the conductive layer does not peel off due to the difference in the shrinkage ratio, and there is no portion where the transparent conductive layer has no electrical contact. Therefore, sufficient conductivity can be maintained for the entire film.

【0081】フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分
と前記無機化合物粒子とを含む透明被膜は、スクラッチ
強度が高い上に、消しゴム強度あるいは爪強度で評価さ
れる膜強度が高く、および鉛筆硬度も高く、強度の上で
優れた透明被膜を形成することができる。本発明では、
このようなマトリックス中には、上記フッ素置換アルキ
ル基含有シリコーン成分以外の他の成分が含まれていて
もよい。
The transparent film containing the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component and the inorganic compound particles has high scratch strength, high film strength evaluated by eraser strength or nail strength, and high pencil hardness. An excellent transparent film can be formed on the film. In the present invention,
Such a matrix may contain components other than the above-mentioned fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component.

【0082】他の成分としては、シリカ、ジルコニア、
チタニアなどの無機酸化物、シリカ・ジルコニア、シリ
カ・チタニア、チタニア・ジルコニアなどの複合酸化物
が挙げられる。これらのうちでもとくにシリカが望まし
い。マトリックス中における、上記式(1)〜(3)で
表される構成単位を有するフッ素置換アルキル基含有シ
リコーン成分の量は、SiO2に換算して、マトリックス
中に、0.1〜70重量%の割合にあることが好まし
い。さらに好ましくは1〜30重量%の範囲にあること
が好ましい。
Other components include silica, zirconia,
Examples include inorganic oxides such as titania, and composite oxides such as silica-zirconia, silica-titania, and titania-zirconia. Of these, silica is particularly desirable. The amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component having the structural units represented by the above formulas (1) to (3) in the matrix is 0.1 to 70% by weight in terms of SiO 2 in the matrix. Is preferably in the ratio of More preferably, it is in the range of 1 to 30% by weight.

【0083】マトリックス中の上記式(1)〜(3)で
表される構成単位を有するフッ素置換アルキル基含有シ
リコーン成分の量が、0.1重量未満の場合は、フッ素
置換アルキル基含有シリコーン成分が少ないため、形成
される透明被膜表面の滑り性が充分に発現せず、スクラ
ッチ強度に優れた透明被膜が得られないことがある。他
の成分は(無機酸化物の前駆体など)、フッ素置換アル
キル基含有シリコーン成分より収縮率が大きいので、他
の成分の量が多くなると、透明被膜自体の収縮率が大き
くなり、透明被膜の加熱処理(硬化処理)を行う際に、
透明被膜が基材を湾曲させたり、たとえば下層に導電層
が形成されている場合には、透明被膜との間の収縮率の
差が生じ、導電層が剥離したり、導電層内に電気的接触
のない部分が生じ、基材全体として、充分な導電性が得
られないことがある。また、収縮率が大きいために膜が
緻密になりすぎてしまい、多孔性が得られないので透明
被膜の屈折率を下げる効果が不充分となることがある。
さらに、電子密度の低いフッ素化合物の含有量が少ない
ために、透明被膜の低屈折率化が不充分となる傾向があ
る。さらにまた、フッ素置換アルキル基含有シリコーン
成分が少ないため透明被膜の疎水性が不充分となり、充
分な耐薬品性が得られないことがある。
When the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component having the structural units represented by the above formulas (1) to (3) in the matrix is less than 0.1% by weight, the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component , The slipperiness of the surface of the formed transparent film is not sufficiently exhibited, and a transparent film having excellent scratch strength may not be obtained. Other components (such as inorganic oxide precursors) have a higher shrinkage ratio than the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component. Therefore, when the amount of other components increases, the shrinkage ratio of the transparent coating itself increases, When performing heat treatment (curing treatment)
If the transparent film curves the substrate or, for example, a conductive layer is formed underneath, a difference in the shrinkage ratio between the transparent film and the conductive film occurs, and the conductive layer peels off or an electrical In some cases, no contact occurs, and sufficient conductivity may not be obtained for the entire substrate. Further, since the shrinkage is large, the film becomes too dense, and the porosity cannot be obtained, so that the effect of lowering the refractive index of the transparent film may be insufficient.
Furthermore, since the content of the fluorine compound having a low electron density is small, the lowering of the refractive index of the transparent film tends to be insufficient. Furthermore, since the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component is small, the hydrophobicity of the transparent film becomes insufficient, and sufficient chemical resistance may not be obtained.

【0084】マトリックス中の上記式(1)〜(3)で
表される構成単位を有するフッ素置換アルキル基含有シ
リコーン成分の量が、SiO2に換算して70重量%を越
えると、透明被膜が多孔質になりすぎて透明被膜の強度
が低下したり、透明被膜消しゴム強度やスクラッチ強度
などの膜強度が低下したり、さらには、基材や導電層と
の密着性が不充分となることがある。
When the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component having the structural units represented by the above formulas (1) to (3) in the matrix exceeds 70% by weight in terms of SiO 2 , the transparent film is formed. The strength of the transparent film is reduced due to being too porous, or the film strength such as the transparent film eraser strength or the scratch strength is reduced, and further, the adhesion to the base material or the conductive layer may be insufficient. is there.

【0085】本発明で使用されるマトリックスとして
は、屈折率が1.6以下のものが望ましい。なお、フッ
素置換アルキル基含有シリコーン成分とともに、マトリ
ックス中に他の成分が含まれている場合には、混合物の
屈折率が1.6以下のものが望ましい。本発明では、透
明被膜中の上記マトリックスと前記した無機化合物粒子
との重量比(マトリックス/無機化合物粒子、ともに酸
化物換算)は、0.1〜10、好ましくは0.2〜5の範
囲にあることが望ましい。
The matrix used in the present invention preferably has a refractive index of 1.6 or less. When other components are contained in the matrix together with the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component, the mixture preferably has a refractive index of 1.6 or less. In the present invention, the weight ratio of the matrix and the inorganic compound particles in the transparent coating (matrix / inorganic compound particles, both in terms of oxide) is in the range of 0.1 to 10, preferably 0.2 to 5. Desirably.

【0086】透明被膜形成用塗布液 前記透明被膜は、たとえばマトリックス前駆体と前記無
機化合物粒子を含む透明被膜形成用塗布液を用いて形成
される。マトリックス前駆体 マトリックス前駆体としては、前記した式(4)または
(5)で表される含フッ素シリコーン系化合物または該
含フッ素系シリコーン系化合物の加水分解物、該加水分
解物の重縮合物(以後、フッ素置換アルキル基含有シリ
コーン成分前駆体という)が使用される。
Transparent Film Forming Coating Solution The transparent film is formed using, for example, a transparent film forming coating solution containing a matrix precursor and the inorganic compound particles. Matrix precursor As the matrix precursor, the fluorine-containing silicone compound represented by the above formula (4) or (5), a hydrolyzate of the fluorine-containing silicone compound, a polycondensate of the hydrolyzate ( Hereinafter, a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is used.

【0087】このようなフッ素置換アルキル基含有シリ
コーン成分前駆体は、分子量がポリスチレン換算の数平
均分子量で500〜10000の範囲にあることが好ま
しく、特に好ましい範囲は700〜2500である。ま
たマトリックス前駆体には、必要に応じて、前記無機酸
化物前駆体および/または無機複合酸化物の前駆体が含
まれていてもよい。
Such a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor preferably has a molecular weight in the range of 500 to 10,000 as a number average molecular weight in terms of polystyrene, and particularly preferably 700 to 2500. The matrix precursor may contain the inorganic oxide precursor and / or the precursor of the inorganic composite oxide as necessary.

【0088】必要に応じて含まれてもよい無機酸化物の
前駆体および/または複合酸化物の前駆体としては、シ
リカ前駆体が好ましく、とくに、加水分解性有機ケイ素
化合物の部分加水分解物、加水分解重縮合物、またはア
ルカリ金属ケイ酸塩水溶液を脱アルカリして得られるケ
イ酸液、特に下記一般式[A]で表されるアルコキシシ
ランの加水分解重縮合物であるシリカ前駆体が好まし
い。
As a precursor of an inorganic oxide and / or a precursor of a composite oxide which may be contained as required, a silica precursor is preferable, and in particular, a partial hydrolyzate of a hydrolyzable organosilicon compound, A hydrolyzed polycondensate or a silicic acid solution obtained by dealkalizing an aqueous alkali metal silicate solution, particularly a silica precursor which is a hydrolyzed polycondensate of an alkoxysilane represented by the following general formula [A], is preferable. .

【0089】RaSi(OR')4-a [A] (式中、Rはビニル基、アリール基、アクリル基、炭素
数1〜8のアルキル基、水素原子またはハロゲン原子で
あり、R'はビニル基、アリール基、アクリル基、炭系
数1〜8のアルキル基、−C24OCn2n+1(n=1
〜4)または水素原子であり、aは1〜3の整数であ
る。) このようなアルコキシランとしては、テトラメトキシシ
ラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシ
ラン、テトラブトキシシラン、テトラオクチルシラン、
メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、エチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポ
キシシラン、ビニルトリメトキシシラン、フェニルトリ
メトキシシラン、ジメチルジメトキシシランなどが挙げ
られる。
R a Si (OR ′) 4-a [A] (wherein R is a vinyl group, an aryl group, an acryl group, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a hydrogen atom or a halogen atom, vinyl group, an aryl group, an acrylic group, an alkyl group of carbon-based number 1~8, -C 2 H 4 OC n H 2n + 1 (n = 1
To 4) or a hydrogen atom, and a is an integer of 1 to 3. Examples of such alkoxylans include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrabutoxysilane, tetraoctylsilane,
Examples include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltriethoxysilane, methyltriisopropoxysilane, vinyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, and the like.

【0090】さらに、前記シリカ前駆体は、分子量がポ
リスチレン換算の数平均分子量で500〜10000の
範囲にあることが望ましい。シリカ前駆体のポリスチレ
ン換算の分子量で500未満の場合は、塗布液中に未加
水分解物が存在することがあり、透明被膜形成用塗布液
を導電層に均一に塗布できないことがあり、また仮に塗
布できたとしても導電層と透明被膜との密着性に劣るこ
とがある。シリカ前駆体のポリスチレン換算の分子量で
10000を越えると被膜の強度が低下する傾向にあ
る。
Further, the silica precursor preferably has a molecular weight in the range of 500 to 10,000 in terms of polystyrene equivalent number average molecular weight. If the silica precursor has a molecular weight of less than 500 in terms of polystyrene, an unhydrolyzed product may be present in the coating solution, and the coating solution for forming a transparent film may not be uniformly applied to the conductive layer. Even if it can be applied, the adhesion between the conductive layer and the transparent film may be poor. If the molecular weight in terms of polystyrene of the silica precursor exceeds 10,000, the strength of the coating tends to decrease.

【0091】上記において、フッ素置換アルキル基含有
シリコーン成分前駆体と無機酸化物の前駆体および/ま
たは無機複合酸化物の前駆体の混合比率は、フッ素置換
アルキル基含有シリコーン成分前駆体と無機酸化物の前
駆体および/または無機複合酸化物の前駆体を酸化物に
換算したとき、フッ素置換アルキル基含有シリコーン成
分前駆体が、0.1〜70重量%の範囲にあることが好
ましく、さらに好ましくは1〜30重量%の範囲にある
ことが望ましい。
In the above, the mixing ratio of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor to the inorganic oxide precursor and / or the inorganic composite oxide precursor is such that the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is mixed with the inorganic oxide precursor. When the precursor of and / or the precursor of the inorganic composite oxide are converted to oxides, the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is preferably in the range of 0.1 to 70% by weight, more preferably Desirably, it is in the range of 1 to 30% by weight.

【0092】フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分
前駆体(酸化物換算)量が0.1重量%未満であると、
フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分前駆体量が少
ないため、必要に応じて添加される他の成分(無機酸化
物前駆体など)によって形成される透明被膜自体の収縮
率が大きくなり、透明被膜の加熱処理(硬化処理)を行
う際に、透明被膜が収縮して基材が湾曲したり、導電層
が下層に設けられている場合には、透明被膜と導電層と
の間の収縮率の差が生じ、導電層が剥離したり、導電性
微粒子間に電気的接触のない部分が生じ、基材全体とし
て、充分な導電性が得られないことがある。また、透明
被膜の収縮率が大きいために膜が緻密になりすぎてしま
い、多孔性が得られず、透明被膜の屈折率を下げる効果
が不充分となることがある。さらに、フッ素置換アルキ
ル基含有シリコーン成分前駆体の量が少ないと、形成さ
れる透明被膜の疎水性が不充分となり、充分な耐薬品性
が得られないことがある。
When the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor (in terms of oxide) is less than 0.1% by weight,
Since the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is small, the shrinkage rate of the transparent film itself formed by other components (such as an inorganic oxide precursor) added as necessary increases, and the heating of the transparent film increases. When performing the treatment (curing treatment), the difference in the shrinkage rate between the transparent film and the conductive layer is caused when the transparent film shrinks and the base material is curved or when the conductive layer is provided in the lower layer. As a result, the conductive layer may be peeled off, or there may be a portion where there is no electrical contact between the conductive fine particles, and sufficient conductivity may not be obtained for the entire substrate. In addition, since the shrinkage of the transparent film is large, the film becomes too dense, the porosity cannot be obtained, and the effect of lowering the refractive index of the transparent film may be insufficient. Furthermore, when the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is small, the formed transparent film may have insufficient hydrophobicity and may not have sufficient chemical resistance.

【0093】フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分
前駆体の量が70重量%を越えると、透明被膜が多孔質
になりすぎて透明被膜の強度が低下したり、下層の導電
層との密着性が不充分となることがある。また、本発明
のように、マトリックス前駆体としてフッ素置換アルキ
ル基含有シリコーン成分前駆体を含む透明被膜形成用塗
布液を使用して導電層表面に透明被膜を形成すると、疎
水性を有する前記フッ素置換アルキル基の一部が導電層
の表層の金属微粒子を被覆し、導電層と透明被膜の境界
域に疎水性のフッ素置換アルキル基含有シリコーン成分
からなる保護層が形成されるため、導電層の耐薬品性も
向上される。
If the amount of the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor exceeds 70% by weight, the transparent film becomes too porous, resulting in a decrease in the strength of the transparent film or poor adhesion to the lower conductive layer. May be sufficient. Further, as in the present invention, when a transparent film is formed on the conductive layer surface using a transparent film forming coating solution containing a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor as a matrix precursor, the hydrophobic fluorine-substituted film is obtained. Part of the alkyl group covers the metal fine particles on the surface of the conductive layer, and a protective layer composed of a hydrophobic fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component is formed at the boundary between the conductive layer and the transparent film. Chemical properties are also improved.

【0094】さらに、フッ素置換アルキル基含有シリコ
ーン成分前駆体は、2次元鎖状構造をとる傾向があり、
このような2次元鎖状構造のフッ素置換アルキル基含有
シリコーン成分前駆体は、たとえばシリカマトリックス
前駆体などの無機酸化物前駆体と比較して、無機化合物
粒子に吸着あるいは結合しやすい。このため、透明被膜
形成用塗布液中での無機化合物粒子の凝集が、2次元鎖
状構造のフッ素置換アルキル基含有シリコーン成分前駆
体によって抑制されて、無機化合物粒子が透明被膜形成
用塗布液中に均一に分散する。この透明被膜形成用塗布
液を塗布して得られる透明被膜は、被膜中でも無機化合
物粒子が均一に分散した状態が維持され、無機化合物粒
子が均一に分散した透明被膜が得られる。したがって、
このような透明被膜形成用塗布液を使用すると、より大
きな基材であっても、無機化合物粒子が均一に分散し、
かつ外観の優れた透明被膜を形成することができる。ま
た、前記透明被膜形成用塗布液を用いる透明被膜の形成
方法は工業的な製造信頼性(歩留まり)に優れている。
Further, the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor tends to have a two-dimensional chain structure,
Such a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor having a two-dimensional chain structure is more easily adsorbed or bonded to inorganic compound particles as compared with, for example, an inorganic oxide precursor such as a silica matrix precursor. Therefore, the aggregation of the inorganic compound particles in the coating liquid for forming a transparent film is suppressed by the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor having a two-dimensional chain structure, and the inorganic compound particles are contained in the coating liquid for forming a transparent film. Disperse evenly. In the transparent film obtained by applying the coating liquid for forming a transparent film, a state in which the inorganic compound particles are uniformly dispersed is maintained even in the film, and a transparent film in which the inorganic compound particles are uniformly dispersed is obtained. Therefore,
When such a coating liquid for forming a transparent film is used, even for a larger substrate, the inorganic compound particles are uniformly dispersed,
In addition, a transparent film having an excellent appearance can be formed. Further, the method for forming a transparent film using the coating liquid for forming a transparent film is excellent in industrial manufacturing reliability (yield).

【0095】このようにフッ素置換アルキル基含有シリ
コーン成分前駆体と無機化合物粒子とを含む透明被膜形
成用塗布液を塗布して乾燥する際には、溶媒の蒸発とと
もに透明被膜の上層部に無機化合物粒子およびフッ素置
換アルキル基含有シリコーン成分前駆体が多く存在する
ようになる。透明被膜中の2次元鎖状の含フッ素シリコ
ーン系化合物は収縮が小さく、多孔質性を保持している
ため、屈折率が低く、また無機化合物粒子自体は屈折率
が低いので、透明被膜表層の屈折率は小さくなってい
る。また、上記したように透明被膜表層では、フッ素置
換アルキル基含有シリコーン成分前駆体が選択性に存在
しているため、透明被膜表層の滑り性がよく、このため
スクラッチ強度の高い透明被膜が得られる。さらに、透
明被膜下層ではフッ素置換アルキル基含有シリコーン成
分前駆体以外のシリカマトリックス前駆体などの無機酸
化物前駆体が多く存在するようになり、この無機酸化物
前駆体は、フッ素置換アルキル基含有シリコーン成分前
駆体や前記無機化合物粒子よりも、屈折率が大きい。こ
のため、透明被膜の下層部から上層部に向かって屈折率
が低下する傾斜屈折率膜が得られ、反射率、特に視感反
射率に優れた透明被膜が得られる。
When the coating liquid for forming a transparent film containing the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor and the inorganic compound particles is applied and dried, the solvent is evaporated and the inorganic compound is formed on the upper layer of the transparent film. A large amount of particles and a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor are present. The two-dimensional chain-like fluorine-containing silicone compound in the transparent film has a small shrinkage and low porosity, so that the refractive index is low, and the inorganic compound particles themselves have a low refractive index. The refractive index is small. Further, as described above, in the transparent coating surface layer, since the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor is selectively present, the transparency of the transparent coating surface layer is good, so that a transparent coating having high scratch strength can be obtained. . Further, in the lower layer of the transparent film, a large number of inorganic oxide precursors such as a silica matrix precursor other than the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor are present. It has a higher refractive index than the component precursors and the inorganic compound particles. For this reason, a gradient refractive index film in which the refractive index decreases from the lower layer portion to the upper layer portion of the transparent film is obtained, and a transparent film having excellent reflectance, particularly excellent luminous reflectance, is obtained.

【0096】これらのマトリックス前駆体を含む塗布液
から形成される透明被膜は、屈折率が小さく、得られる
透明被膜付基材は反射防止性に優れている。透明被膜形成用塗布液の調製 マトリックス前駆体が分散した分散液に前記無機化合物
粒子が混合されて、透明被膜形成用塗布液が調製され
る。
A transparent film formed from a coating solution containing these matrix precursors has a small refractive index, and the resulting substrate with a transparent film has excellent antireflection properties. Preparation of Transparent Film Forming Coating Solution The inorganic compound particles are mixed with a dispersion in which the matrix precursor is dispersed to prepare a transparent film forming coating solution.

【0097】マトリックス前駆体分散液は、フッ素置換
アルキル基含有シリコーン成分前駆体と、必要に応じて
シリカなどの酸化物の前駆体とを、水−アルコール混合
溶媒に溶解ないし分散させることによって調製される。
またマトリックス前駆体分散液は、フッ素系シリコーン
系化合物と、必要に応じてシリカなどの酸化物の前駆体
とを水−アルコール混合溶媒に溶解ないし分散させたの
ち、たとえばで酸触媒の存在下、加水分解して調製して
もよい。
The matrix precursor dispersion is prepared by dissolving or dispersing a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component precursor and, if necessary, an oxide precursor such as silica in a water-alcohol mixed solvent. You.
The matrix precursor dispersion is obtained by dissolving or dispersing a fluorine-based silicone compound and, if necessary, an oxide precursor such as silica in a water-alcohol mixed solvent, for example, in the presence of an acid catalyst. It may be prepared by hydrolysis.

【0098】透明被膜形成用塗布液中に含まれる前記無
機化合物粒子の濃度は、酸化物換算で0.05〜3重量
%の範囲にあることが好ましい。特に好ましくは0.2
〜2重量%の範囲である。透明被膜形成用塗布液に含ま
れる無機化合物粒子の濃度が0.05重量%未満の場合
では、無機化合物粒子の量が少なすぎて、得られる透明
被膜が反射防止性能に劣ることがあり、無機化合物粒子
の濃度が3重量%を越えると得られる膜にクラックが生
じたり、膜の強度が低下することがある。
The concentration of the inorganic compound particles contained in the coating solution for forming a transparent film is preferably in the range of 0.05 to 3% by weight in terms of oxide. Particularly preferably 0.2.
22% by weight. When the concentration of the inorganic compound particles contained in the coating liquid for forming a transparent film is less than 0.05% by weight, the amount of the inorganic compound particles is too small, and the resulting transparent film may have poor antireflection performance. If the concentration of the compound particles exceeds 3% by weight, cracks may occur in the resulting film or the strength of the film may be reduced.

【0099】また、塗布液中に含まれるマトリックス前
駆体の濃度は、酸化物に換算したときの濃度が0.05
〜10重量%の範囲にあることが好ましい。特に好まし
くは0.1〜5.0重量%の範囲である。塗布液に含まれ
るマトリックス前駆体の濃度が酸化物に換算して0.0
5重量%未満の場合は、得られる膜の膜厚が薄いために
耐水性や反射防止性能に劣ることがあり、また1回の塗
布で充分な膜厚の膜を得られないことがあり、塗布を繰
り返して行った場合は均一な膜厚の膜が得られないこと
がある。
The concentration of the matrix precursor contained in the coating solution is 0.05 when converted to oxide.
It is preferably in the range of 10 to 10% by weight. Particularly preferably, it is in the range of 0.1 to 5.0% by weight. The concentration of the matrix precursor contained in the coating solution is 0.0
When the amount is less than 5% by weight, the resulting film is so thin that the water resistance and the antireflection performance may be poor, and a film having a sufficient film thickness may not be obtained by one coating. When coating is repeated, a film having a uniform thickness may not be obtained.

【0100】マトリックス前駆体の濃度が酸化物に換算
して10重量%を越えると得られる膜にクラックが生じ
たり、膜の強度が低下することがある。また膜が厚すぎ
て反射防止性能が不充分となることがある。透明被膜形
成用塗布液中の上記マトリックス前駆体と前記した無機
化合物粒子との重量比(マトリックス前駆体/無機化合
物粒子、ともに酸化物換算)は、0.1〜10、好まし
くは0.2〜5の範囲にあることが望ましい。
If the concentration of the matrix precursor exceeds 10% by weight in terms of oxide, cracks may occur in the obtained film or the strength of the film may be reduced. Further, the film may be too thick and the antireflection performance may be insufficient. The weight ratio of the matrix precursor to the inorganic compound particles in the coating liquid for forming a transparent film (matrix precursor / inorganic compound particles, both in terms of oxide) is 0.1 to 10, preferably 0.2 to 10. It is desirably in the range of 5.

【0101】さらにまた、透明被膜形成用塗布液には、
フッ化マグネシウムなどの低屈折率材料で構成された微
粒子、透明被膜の透明度および反射防止性能を阻害しな
い程度に少量の導電性微粒子および/または染料または
顔料などの添加剤が含まれていてもよい。透明被膜の形成 透明被膜の形成方法としては、特に制限はなく、前記し
た塗布液を、基材等の材質に応じて、ディッピング法、
スピナー法、スプレー法、ロールコーター法、フレキソ
印刷法など方法で塗布した後、乾燥する湿式薄膜形成方
法を採用することができる。
Further, the coating liquid for forming a transparent film includes:
Fine particles composed of a low refractive index material such as magnesium fluoride, a small amount of conductive fine particles and / or additives such as dyes or pigments may be contained so as not to impair the transparency and antireflection performance of the transparent film. . Forming the transparent film The method for forming the transparent film is not particularly limited, and the above-described coating solution is dipped according to the material such as the base material,
A wet thin film forming method in which the composition is applied by a spinner method, a spray method, a roll coater method, a flexographic printing method, or the like, and then dried, can be adopted.

【0102】また、形成する透明被膜の膜厚は、50〜
300nm、好ましくは80〜200nmの範囲であること
が好ましく、このような範囲の膜厚であると優れた耐水
性を発揮するとともにボトム反射率および視感反射率が
低く、優れた反射防止性能を発揮する。透明被膜の膜厚
が50nm未満の場合は、膜の強度、耐水性、反射防止
性能等が劣ることがある。
The thickness of the transparent film to be formed is 50 to 50.
300 nm, preferably in the range of 80 to 200 nm, preferably exhibiting excellent water resistance and a low bottom reflectance and luminous reflectance when the film thickness is in such a range, excellent antireflection performance. Demonstrate. When the thickness of the transparent coating is less than 50 nm, the strength, water resistance, antireflection performance and the like of the coating may be inferior.

【0103】透明被膜の膜厚が300nmを越えると、
膜にクラックが発生したり膜の強度が低下することがあ
り、また膜が厚すぎて反射防止性能が不充分となること
がある。本発明では、このような透明被膜形成用塗布液
を塗布して形成した被膜を、乾燥時、または乾燥後に、
100℃以上で加熱するか、未硬化の被膜に可視光線よ
りも波長の短い紫外線、電子線、X線、γ線などの電磁
波を照射するか、あるいはアンモニアなどの活性ガス雰
囲気中に晒してもよい。このようにすると、被膜形成成
分の硬化が促進され、得られる透明被膜の硬度が高くな
る。
When the thickness of the transparent film exceeds 300 nm,
Cracks may occur in the film or the strength of the film may be reduced, and the film may be too thick to have an insufficient antireflection performance. In the present invention, a coating formed by applying such a coating liquid for forming a transparent coating, at the time of drying, or after drying,
Heating at 100 ° C. or higher, or irradiating an uncured coating with electromagnetic waves such as ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and γ-rays having a wavelength shorter than that of visible light, or exposing it to an active gas atmosphere such as ammonia Good. By doing so, the curing of the film-forming component is promoted, and the hardness of the obtained transparent film is increased.

【0104】さらに、透明被膜形成用塗布液を塗布して
被膜を形成する際に、基材を約40〜90℃に保持しな
がら透明被膜形成用塗布液をスプレー法で塗布して、透
明被膜を形成すると、透明被膜の表面にリング状の凹凸
が形成され、ギラツキの少ないアンチグレアの透明被膜
付基材が得られる。透明被膜は、屈折率の異なる2種以
上の被膜を積層形成してもよく、たとえば基材表面から
順次屈折率の小さい透明被膜を形成すれば、極めて反射
防止性に優れた透明被膜付基材を得ることができる。ま
た下層に形成される透明被膜は、上記した無機化合物粒
子とフッ素置換アルキル基含有シリコーン成分を含んで
いないものであってもよい。
Further, when the coating liquid for forming a transparent coating is applied to form a coating, the coating liquid for forming a transparent coating is applied by a spray method while maintaining the substrate at about 40 to 90 ° C. Is formed, ring-shaped irregularities are formed on the surface of the transparent film, and an anti-glare substrate with a transparent film having less glare can be obtained. The transparent film may be formed by laminating two or more kinds of films having different refractive indices. For example, if a transparent film having a small refractive index is sequentially formed from the surface of the substrate, a substrate with a transparent film having extremely excellent antireflection properties can be obtained. Can be obtained. The transparent film formed on the lower layer may not contain the inorganic compound particles and the fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component.

【0105】導電層表面に透明被膜を形成する場合は、
導電層と透明被膜との屈折率の差は、通常、0.3以上
あることが好ましい。屈折率の差が0.3未満の場合は
反射防止性能が不充分となることがある。 [表示装置]本発明に係る表示装置は、前記透明被膜付
基材で構成された前面板を備え、透明被膜が該前面板の
外表面に形成されていることを特徴としている。
When forming a transparent film on the surface of the conductive layer,
Usually, the difference in the refractive index between the conductive layer and the transparent film is preferably at least 0.3. If the difference in refractive index is less than 0.3, the antireflection performance may be insufficient. [Display Device] The display device according to the present invention includes a front plate made of the base material with a transparent film, and a transparent film is formed on an outer surface of the front plate.

【0106】本発明に係る透明被膜付基材のうち、特
に、1012Ω/□以下の表面抵抗を有する導電層が形成
された基材は、導電層の表面に可視光領域および近赤外
領域で優れた反射防止性能を有しており、表示装置の前
面板(たとえば、ブラウン管用パネルガラス)として好
適に用いられる。本発明に係る表示装置は、ブラウン管
(CRT)、蛍光表示管(FIP)、プラズマディスプ
レイ(PDP)、液晶用ディスプレイ(LCD)などの
ような電気的に画像を表示する装置であり、上記のよう
な透明被膜付基材で構成された前面板を備えている。こ
のときの前面板は、ディスプレイフェースパネルの表面
に導電層と透明被膜が形成された前面板であってもよ
く、ディスプレイフェースパネルとは別の基材に導電層
と透明被膜が形成された前面板であってもよい。
Among the substrates with a transparent coating according to the present invention, especially those having a conductive layer having a surface resistance of 10 12 Ω / □ or less are formed on the surface of the conductive layer in the visible light region and near infrared region. It has excellent antireflection performance in the region, and is suitably used as a front panel of a display device (for example, a panel glass for a cathode ray tube). The display device according to the present invention is a device that displays an image electrically, such as a cathode ray tube (CRT), a fluorescent display tube (FIP), a plasma display (PDP), a liquid crystal display (LCD), and the like. A front plate made of a transparent base material with a transparent coating. The front plate at this time may be a front plate in which a conductive layer and a transparent coating are formed on the surface of the display face panel, and before the conductive layer and the transparent coating are formed on a substrate different from the display face panel. It may be a face plate.

【0107】従来の前面板を備えた表示装置を作動させ
ると、前面板に埃等が付着したり、前面板に画像が表示
されると同時に電磁波が前面板から放出されることがあ
るが、前面板に1012Ω/□以下の表面抵抗を有する導
電層が形成されたものは、埃等が付着しにくく、特に、
前面板に102〜104Ω/□の表面抵抗を有する導電層
が形成されていると、このような電磁波、およびこの電
磁波の放出に伴って生じる電磁場を効果的に遮蔽するこ
とができる。
When a display device having a conventional front panel is operated, dust or the like may adhere to the front panel, or an electromagnetic wave may be emitted from the front panel at the same time that an image is displayed on the front panel. In the case where a conductive layer having a surface resistance of 10 12 Ω / □ or less is formed on the front plate, dust and the like are unlikely to adhere,
When a conductive layer having a surface resistance of 10 2 to 10 4 Ω / □ is formed on the front plate, such an electromagnetic wave and an electromagnetic field generated by emission of the electromagnetic wave can be effectively shielded.

【0108】また、表示装置の前面板で反射光が生じる
と、この反射光によって表示画像が見にくくなるが、本
発明に係る表示装置では、前面板が低屈折率の透明被膜
が形成された基材から構成されておりボトム反射率およ
び視感反射率がともに低いので、このような反射光を可
視光領域および近赤外領域にわたって効果的に防止する
ことができる。
When reflected light is generated on the front plate of the display device, the reflected light makes it difficult to see a displayed image. However, in the display device according to the present invention, the front plate has a low refractive index transparent film formed thereon. Since both the bottom reflectance and the luminous reflectance are low, such reflected light can be effectively prevented over the visible light region and the near infrared region.

【0109】このような表示装置では、高いスクラッチ
強度を有する透明被膜が表面に形成されているので、擦
り傷などが形成されず、このため鮮明な画像を長期にわ
たって維持できる。さらに、ブラウン管の前面板が、本
発明に係る透明被膜付基材で構成され、この透明導電性
層または透明被膜の少なくとも一方に少量の染料または
顔料が含まれている場合には、これらの染料または顔料
がそれぞれ固有な波長の光を吸収し、これによりブラウ
ン管から放映される表示画像のコントラストを向上させ
ることができる。
In such a display device, since a transparent film having high scratch strength is formed on the surface, scratches and the like are not formed, so that a clear image can be maintained for a long period of time. Further, when the front plate of the cathode ray tube is composed of the substrate with a transparent coating according to the present invention, and at least one of the transparent conductive layer and the transparent coating contains a small amount of dye or pigment, Alternatively, each of the pigments absorbs light having a unique wavelength, whereby the contrast of a display image projected from a cathode ray tube can be improved.

【0110】また、ブラウン管の前面板には、本発明に
係る低屈折率の無機化合物粒子を含む透明被膜が形成さ
れているので反射防止性能に優れ、可視光の散乱もなく
鮮明な表示画像が得られる。この透明被膜は導電層との
密着性に優れるため、保護膜としての性能も有し、優れ
た表示性能を長期にわたって維持することができる。こ
のため、導電層の導電性を長期にわたって維持すること
ができるので帯電防止性能、電磁波遮蔽性能が低下する
こともない。
Further, since a transparent film containing the inorganic compound particles having a low refractive index according to the present invention is formed on the front plate of the cathode ray tube, the antireflection performance is excellent, and a clear display image without scattering of visible light is obtained. can get. Since this transparent film has excellent adhesion to the conductive layer, it also has a performance as a protective film, and can maintain excellent display performance for a long time. For this reason, the conductivity of the conductive layer can be maintained for a long time, so that the antistatic performance and the electromagnetic wave shielding performance do not decrease.

【0111】[0111]

【発明の効果】本発明に係る透明被膜付基材は、低屈折
率の無機化合物粒子とフッ素置換アルキル基含有シリコ
ーン成分とを含む透明被膜が表面に形成されている。こ
のような透明被膜付基材は、透明被膜と基材または導電
層との密着性が高く、透明被膜自体が膜強度、特にスク
ラッチ強度が高い上に、耐水性、耐薬品性に優れてい
る。さらにこのような透明被膜付基材は、耐水性、ボト
ム反射率および視感反射率が低く、このため可視光の広
い波長域にわたって反射防止性能に優れている。
The substrate with a transparent film according to the present invention has on its surface a transparent film containing low refractive index inorganic compound particles and a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component. Such a substrate with a transparent coating has high adhesion between the transparent coating and the substrate or the conductive layer, and the transparent coating itself has high film strength, particularly high scratch strength, and also has excellent water resistance and chemical resistance. . Further, such a substrate with a transparent film has low water resistance, low bottom reflectance and low luminous reflectance, and thus has excellent antireflection performance over a wide wavelength range of visible light.

【0112】本発明に係る透明被膜形成用塗布液は、上
記優れた透明被膜付基の形成に好適に使用することがで
きる。本発明に係る表示装置は、反射防止性能にも優れ
るとともに耐水性に優れるため、可視光の散乱もなく鮮
明な表示画像が得られ、また優れた表示性能を長期にわ
たって維持することができる。さらに導電層が形成され
ていても、耐薬品性が高いため、導電性を長期にわたっ
て維持することができるので帯電防止性能、電磁波遮蔽
性能が低下することもない。
The coating solution for forming a transparent film according to the present invention can be suitably used for forming the above-mentioned group having an excellent transparent film. ADVANTAGE OF THE INVENTION Since the display apparatus which concerns on this invention is excellent also in antireflection performance and water resistance, a clear display image is obtained without scattering of visible light, and excellent display performance can be maintained for a long period of time. Further, even if the conductive layer is formed, the conductive property can be maintained for a long time because of high chemical resistance, and thus the antistatic performance and the electromagnetic wave shielding performance do not decrease.

【0113】[0113]

【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0114】[0114]

【調製例1】無機化合物粒子(P-1)の調製(外殻層内
部が多孔質となっている粒子) 平均粒径5nm、SiO2濃度20重量%のシリカゾル
100gと純水1900gとを混合して反応母液を調製
し、80℃に加温した。この反応母液のpHは10.5
であり、同母液にSiO2として1.5重量%のケイ酸
ナトリウム水溶液9000gとAl23として0.5重
量%のアルミン酸ナトリウム水溶液9000gとを同時
に添加した。その間、反応液の温度を80℃に保持し
た。反応液のpHは、ケイ酸ナトリウムとアルミン酸ナ
トリウムの添加直後、12.5に上昇し、その後、ほと
んど変化しなかった。添加終了後、反応液を室温まで冷
却し、限外濾過膜で洗浄して固形分濃度20重量%のS
iO2・Al23多孔質物質前駆体粒子の分散液(A)
を調製した。(第1工程) この多孔質物質前駆体粒子の分散液(A)500gに純
水1,700gを加えて98℃に加温し、この温度を保
持しながら、ケイ酸ナトリウム水溶液を陽イオン交換樹
脂で脱アルカリして得られたケイ酸液(SiO2 濃度
3.5重量%)3,000gを添加して多孔質物質前駆
体粒子表面にシリカ保護膜を形成した。得られた多孔質
物質前駆体粒子の分散液を、限外濾過膜で洗浄して固形
分濃度13重量%に調整したのち、多孔質物質前駆体粒
子の分散液500gに純水1,125gを加え、さらに
濃塩酸(35.5重量%)を滴下してpH1.0とし、脱
アルミニウム処理を行った。
[Preparation Example 1] Preparation of inorganic compound particles (P-1) (in outer shell layer)
(Parts of which are porous) A reaction mother liquor was prepared by mixing 100 g of silica sol having an average particle diameter of 5 nm and a SiO 2 concentration of 20% by weight with 1900 g of pure water, and heated to 80 ° C. The pH of the reaction mother liquor was 10.5.
9000 g of a 1.5 wt% aqueous sodium silicate solution as SiO 2 and 9000 g of a 0.5 wt% aqueous sodium aluminate solution as Al 2 O 3 were simultaneously added to the mother liquor. Meanwhile, the temperature of the reaction solution was maintained at 80 ° C. The pH of the reaction solution rose to 12.5 immediately after the addition of sodium silicate and sodium aluminate, and hardly changed thereafter. After the addition was completed, the reaction solution was cooled to room temperature, washed with an ultrafiltration membrane, and washed with a solid concentration of 20% by weight.
Dispersion (A) of iO 2 · Al 2 O 3 porous substance precursor particles
Was prepared. (First Step) To 500 g of the dispersion liquid (A) of the porous substance precursor particles, 1,700 g of pure water was added, and the mixture was heated to 98 ° C., and while maintaining this temperature, the aqueous solution of sodium silicate was subjected to cation exchange. 3,000 g of a silicic acid solution (SiO 2 concentration 3.5% by weight) obtained by dealkalization with a resin was added to form a silica protective film on the surface of the porous substance precursor particles. The obtained dispersion of the porous substance precursor particles is washed with an ultrafiltration membrane to adjust the solid content concentration to 13% by weight. In addition, concentrated hydrochloric acid (35.5% by weight) was added dropwise to adjust the pH to 1.0, and a dealumination treatment was performed.

【0115】次いで、pH3の塩酸水溶液10Lと純水
5Lを加えながら限外濾過膜で溶解したアルミニウム塩
を分離し、一部のアルミニウムが除去されたSiO2
Al23 多孔質粒子の分散液(B)を調製した。(第
2工程) 上記多孔質粒子の分散液(B)1500gと、純水50
0g、エタノール1,750gおよび28%アンモニア
水626gとの混合液を35℃に加温した後、エチルシ
リケート(SiO2 28重量%)104gを添加し、多
孔質粒子の表面にエチルシリケートの加水分解重縮合物
のシリカ外殻層を形成した。次いで、エバポレーターで
固形分濃度5重量%まで濃縮した後、濃度15重量%の
アンモニア水を加えてpH10とし、オートクレーブで
180℃、2時間加熱処理し、限外濾過膜を用いて溶媒
をエタノールに置換した固形分濃度20重量%の無機化
合物粒子(P-1)の分散液を調製した。(第3工程) この粒子(P-1)の平均粒径、粒子全体(積層した外殻
層も含む)SiO2/MOx(モル比)、および屈折率を
表1に示す。ここで、平均粒径は動的光散乱法により測
定し、屈折率は以下の方法で測定した。
Next, while adding 10 L of a hydrochloric acid aqueous solution of pH 3 and 5 L of pure water, the dissolved aluminum salt was separated by an ultrafiltration membrane, and SiO 2.
A dispersion liquid (B) of Al 2 O 3 porous particles was prepared. (Second step) 1500 g of the dispersion (B) of the porous particles and 50 parts of pure water
After heating a mixture of 0 g, 1,750 g of ethanol and 626 g of 28% aqueous ammonia at 35 ° C., 104 g of ethyl silicate (28% by weight of SiO 2 ) was added, and the surface of the porous particles was hydrolyzed with ethyl silicate. A silica outer shell layer of the polycondensate was formed. Next, after concentrating to a solid content concentration of 5% by weight with an evaporator, ammonia water having a concentration of 15% by weight was added to adjust the pH to 10, and the mixture was heated at 180 ° C. for 2 hours in an autoclave, and the solvent was changed to ethanol using an ultrafiltration membrane. A dispersion liquid of the substituted inorganic compound particles (P-1) having a solid content concentration of 20% by weight was prepared. (Third Step) Table 1 shows the average particle size of the particles (P-1), the whole particles (including the laminated outer shell layer), SiO 2 / MO x (molar ratio), and the refractive index. Here, the average particle size was measured by a dynamic light scattering method, and the refractive index was measured by the following method.

【0116】粒子の屈折率の測定方法 (1)後述する調製例9で得られたマトリックス形成成
分液(M)と無機化合物粒子とを、酸化物換算の重量比
(マトリックス(SiO2):無機化合物粒子(MOx+SiO 2))
が、それぞれ100:0、90:10、80:20、60:40、50:50、25:
75となるように、混合した屈折率測定用塗布液を調製し
た。 (2)各塗布液を、表面を50℃に保ったシリコンウェ
ハー上に300rpm、スピナー法で各々塗布し、次いで
160℃で30分加熱処理した後、エリプソメーターで
形成した屈折率測定用被膜の屈折率を測定した。 (3)次いで、得られた屈折率と粒子混合割合(粒子:
(MOx+SiO2)/[粒子:(MOx+SiO2)+マトリッ
クス:SiO2})をプロットし、外挿によって粒子が1
00%のときの屈折率を求める。 (4)空隙率は、求めた屈折率を用いて、純粋なSiO
2の屈折率(1.45)との差から、空気に換算して含
まれている空隙を算出して求めた。
[0116]How to measure the refractive index of particles (1) The matrix forming component obtained in Preparation Example 9 described later
The weight ratio of the liquid separation (M) and the inorganic compound particles in terms of oxide
(Matrix (SiOTwo): Inorganic compound particles (MOx+ SiO Two))
But 100: 0, 90:10, 80:20, 60:40, 50:50, 25:
Prepare the mixed coating solution for refractive index measurement to be 75.
Was. (2) Apply each coating solution to a silicon wafer whose surface is kept at 50 ° C.
300 rpm, spinner method each on the coater, then
After heating at 160 ° C for 30 minutes, use an ellipsometer
The refractive index of the formed refractive index measuring film was measured. (3) Next, the obtained refractive index and particle mixing ratio (particle:
(MOx+ SiOTwo) / [Particle: (MOx+ SiOTwo) + Matri
Box: SiOTwo}) Is plotted.
Find the refractive index at 00%. (4) The porosity is determined by using the obtained refractive index to obtain pure SiO.
TwoFrom the refractive index (1.45) of the
The calculated gap was determined.

【0117】[0117]

【調製例2】無機化合物粒子(P-2)の調製(外殻層内
部が多孔質となっている粒子) 上記で得られた多孔質物質前駆体粒子の分散液(A)1
00gに純水1,900gを加えて95℃に加温し、こ
の温度を保持しながら、ケイ酸ナトリウム水溶液(Si
2として1.5g重量%)27,000gおよびアル
ミン酸ナトリウム水溶液(Al23 として0.5重量
%)27,000gを同時に徐々に添加し、多孔質物質
前駆体粒子の分散液(A)の粒子をシード粒子として粒
子成長を行った。添加終了後、室温まで冷却した後、限
外濾過膜で洗浄、濃縮して、固形分濃度20重量%のS
iO2 ・Al23多孔質物質前駆体粒子の分散液(C)
を得た。(第1工程) この多孔質物質前駆体粒子の分散液(C)500gを採
り、調製例1と同様の方法により、第2工程のシリカ保
護膜を形成したのち、脱アルミニウム処理を行い、さら
に第3工程のエチルシリケートの加水分解物によるシリ
カ外殻層の形成処理等を行い、表1に示す無機化合物粒
子(P-2)の分散液を調製した。
[Preparation Example 2] Preparation of inorganic compound particles (P-2) (in outer shell layer)
Particles having a porous part) Dispersion (A) 1 of porous material precursor particles obtained above
1,00 g of pure water was added to 00 g, and the mixture was heated to 95 ° C. While maintaining this temperature, an aqueous solution of sodium silicate (Si
27,000 g of an aqueous sodium aluminate solution (0.5% by weight as Al 2 O 3 ) and 27,000 g of an aqueous sodium aluminate solution (1.5% by weight as O 2 ) were gradually added at the same time, and a dispersion liquid (A The particles were grown using the particles of ()) as seed particles. After completion of the addition, the mixture was cooled to room temperature, washed with an ultrafiltration membrane, and concentrated to obtain a solid having a solid concentration of 20% by weight.
Dispersion (C) of iO 2 · Al 2 O 3 porous substance precursor particles
I got (First Step) After taking 500 g of the dispersion liquid (C) of the porous substance precursor particles and forming the silica protective film of the second step by the same method as in Preparation Example 1, the aluminum removal treatment was performed. In the third step, a process of forming a silica outer layer with a hydrolyzate of ethyl silicate was performed, and a dispersion of inorganic compound particles (P-2) shown in Table 1 was prepared.

【0118】[0118]

【調製例3】無機化合物粒子(P-3)の調製(外殻層内
部が多孔質となっている粒子) 上記で得られたSiO2・Al23多孔質物質前駆体粒
子の分散液(C)100gに純水1,900gを加えて
95℃に加温し、この温度を保持しながら、ケイ酸ナト
リウム水溶液(SiO2として1.5g重量%)7,0
00gおよびアルミン酸ナトリウム水溶液(Al23
して0.5重量%)7,000gを同時に徐々に添加
し、粒子成長を行わせた。添加終了後、室温まで冷却し
た後、限外濾過膜で洗浄、濃縮して、固形分濃度13重
量%のSiO2・Al23多孔質物質前駆体粒子の分散
液(D)を得た。
[Preparation Example 3] Preparation of inorganic compound particles (P-3) (in outer shell layer)
Part of the particles are porous) 1,900 g of pure water is added to 100 g of the dispersion liquid (C) of the SiO 2 · Al 2 O 3 porous substance precursor particles obtained above, and the mixture is heated to 95 ° C. While maintaining this temperature, an aqueous solution of sodium silicate (1.5 g wt% as SiO 2 )
00 g and 7,000 g of an aqueous solution of sodium aluminate (0.5% by weight as Al 2 O 3 ) were gradually added at the same time to allow the particles to grow. After completion of the addition, the mixture was cooled to room temperature, washed with an ultrafiltration membrane and concentrated to obtain a dispersion liquid (D) of SiO 2 .Al 2 O 3 porous substance precursor particles having a solid content of 13% by weight. .

【0119】この多孔質物質前駆体粒子分散液(D)5
00gを採り、これに純水1,125gを加え、さらに
濃塩酸(35.5%)を滴下してpH1.0とし、脱ア
ルミニウム処理を行った。次いで、pH3の塩酸水溶液
10リットルと純水5リットルを加えながら限外濾過膜
で溶解したアルミニウム塩を分離し、一部のアルミニウ
ムが除去されたSiO2・Al23多孔質粒子の分散液
(E)を調製した。
This porous material precursor particle dispersion (D) 5
Then, 1,125 g of pure water was added thereto, and concentrated hydrochloric acid (35.5%) was added dropwise to adjust the pH to 1.0, followed by a dealumination treatment. Next, while adding 10 liters of a hydrochloric acid aqueous solution having a pH of 3 and 5 liters of pure water, the dissolved aluminum salt was separated by an ultrafiltration membrane, and a dispersion liquid of SiO 2 · Al 2 O 3 porous particles from which a part of aluminum was removed was added. (E) was prepared.

【0120】上記多孔質粒子の分散液(E)1500g
と、純水500g、エタノール1,750gおよび濃度
28重量%のアンモニア水626gとの混合液を35℃
に加温した後、エチルシリケート(SiO2 28重量
%)210gを添加し、多孔質粒子の表面をエチルシリ
ケートの加水分解重縮合物で被覆してシリカ外殻層を形
成した。次いで、エバポレーターで固形分濃度5重量%
まで濃縮した後、濃度15重量%のアンモニア水を加え
てpH10とし、オートクレーブで180℃、2時間加
熱処理し、限外濾過膜を用いて溶媒をエタノールに置換
して表1に示す無機化合物粒子(P-3)の分散液(固形
分濃度20重量%)を調製した。
1500 g of dispersion (E) of the above porous particles
And a mixture of 500 g of pure water, 1,750 g of ethanol and 626 g of ammonia water having a concentration of 28% by weight were heated to 35 ° C.
After heating, 210 g of ethyl silicate (SiO 2 28% by weight) was added, and the surface of the porous particles was coated with a hydrolyzed polycondensate of ethyl silicate to form a silica shell layer. Next, the solid content concentration was 5% by weight using an evaporator.
After concentration, the pH was adjusted to 10 by adding aqueous ammonia having a concentration of 15% by weight, and the mixture was heated in an autoclave at 180 ° C. for 2 hours. A dispersion (solid content concentration: 20% by weight) of (P-3) was prepared.

【0121】[0121]

【調製例4】無機化合物粒子(P-4)の調製(外殻層内
部に空洞となっている粒子) 平均粒径5nm、SiO2濃度20重量%のシリカゾル
10gと純水190gとを混合して反応母液を調製し、
95℃に加温した。この反応母液のpHは10.5であ
り、同母液にSiO2として1.5重量%のケイ酸ナト
リウム水溶液24,900gと、Al23として0.5
重量%のアルミン酸ナトリウム水溶液36,800gと
を同時に添加した。その間、反応液の温度を95℃に保
持した。反応液のpHは、ケイ酸ナトリウムおよびアル
ミン酸ナトリウムの添加直後、12.5に上昇し、その
後、ほとんど変化しなかった。添加終了後、反応液を室
温まで冷却し、限外濾過膜で洗浄して固形分濃度20重
量%のSiO2・Al23多孔質物質前駆体粒子の分散
液(F)を調製した。(第1工程) 次いで、この多孔質物質前駆体粒子の分散液(F)50
0gを採取し、純水1,700gを加えて98℃に加温
し、この温度を保持しながら、ケイ酸ナトリウム水溶液
を陽イオン交換樹脂で脱アルカリして得られたケイ酸液
(SiO2 濃度3.5重量%)3,000gを添加して
多孔質物質前駆体粒子表面にシリカ保護膜を形成した。
得られた多孔質物質前駆体粒子の分散液を、限外濾過膜
で洗浄して固形分濃度13重量%に調整したのち、多孔
質物質前駆体粒子の分散液500gに純水1,125g
を加え、さらに濃塩酸(35.5%)を滴下してpH
1.0とし、脱アルミニウム処理を行ったのち、pH3
の塩酸水溶液10Lと純水5Lを加えながら限外濾過膜
で溶解したアルミニウム塩を分離し、粒子前駆体分散液
を調製した。(第2工程) 上記粒子前駆体分散液1500gと、純水500g、エ
タノール1,750gおよび28%アンモニア水626
gとの混合液を35℃に加温した後、エチルシリケート
(SiO2 28重量%)104gを添加し、粒子前駆体
表面にエチルシリケートの加水分解重縮合物でシリカ外
殻層を形成することによって、外殻層内部に空洞を有す
る粒子を作製した。次いで、エバポレーターで固形分濃
度5重量%まで濃縮した後、濃度15重量%のアンモニ
ア水を加えてpH10とし、オートクレーブで180
℃、2時間加熱処理し、限外濾過膜を用いて溶媒をエタ
ノールに置換した固形分濃度20重量%の無機化合物粒
子(P-4)の分散液を調製した。(第3工程) 得られた粒子の断面を透過型電子顕微鏡(TEM)によ
り観察した。その結果、図2に示されるような、外殻層
内部に空洞が形成された粒子が得られた。
[Preparation Example 4] Preparation of inorganic compound particles (P-4) (in outer shell layer)
Particles having a hollow portion) 10 g of silica sol having an average particle diameter of 5 nm and a SiO 2 concentration of 20% by weight and 190 g of pure water are mixed to prepare a reaction mother liquor;
Warmed to 95 ° C. The pH of the reaction mother liquor was 10.5, and 24,900 g of a 1.5 wt% sodium silicate aqueous solution as SiO 2 and 0.5 as Al 2 O 3 were added to the mother liquor.
36,800 g of an aqueous solution of sodium aluminate by weight were added simultaneously. Meanwhile, the temperature of the reaction solution was kept at 95 ° C. The pH of the reaction solution rose to 12.5 immediately after the addition of sodium silicate and sodium aluminate, and hardly changed thereafter. After the addition was completed, the reaction solution was cooled to room temperature and washed with an ultrafiltration membrane to prepare a dispersion (F) of SiO 2 .Al 2 O 3 porous substance precursor particles having a solid content of 20% by weight. (First Step) Next, a dispersion liquid (F) 50 of the porous substance precursor particles is prepared.
0 g was collected, 1,700 g of pure water was added, the mixture was heated to 98 ° C., and while maintaining this temperature, a sodium silicate aqueous solution was dealkalized with a cation exchange resin (SiO 2 solution). (A concentration of 3.5% by weight) was added to form a silica protective film on the surface of the porous substance precursor particles.
The obtained dispersion liquid of the porous substance precursor particles was washed with an ultrafiltration membrane to adjust the solid content concentration to 13% by weight, and then 500 g of the dispersion liquid of the porous substance precursor particles was added to 1,125 g of pure water.
, And concentrated hydrochloric acid (35.5%) is added dropwise to adjust pH.
1.0, and after dealumination, pH 3
Was dissolved in an ultrafiltration membrane while adding 10 L of aqueous hydrochloric acid and 5 L of pure water to prepare a particle precursor dispersion. (Second Step) 1500 g of the particle precursor dispersion, 500 g of pure water, 1,750 g of ethanol and 626 of 28% ammonia water
After heating the mixture with 35 g to 35 ° C., 104 g of ethyl silicate (28% by weight of SiO 2 ) is added, and a silica outer layer is formed on the particle precursor surface with a hydrolytic polycondensate of ethyl silicate. Thus, particles having a cavity inside the outer shell layer were produced. Then, after concentrating to a solid content concentration of 5% by weight with an evaporator, aqueous ammonia having a concentration of 15% by weight was added to adjust the pH to 10, and the content was adjusted to 180 with an autoclave.
A heat treatment was performed at 2 ° C. for 2 hours, and a dispersion of inorganic compound particles (P-4) having a solid content of 20% by weight in which the solvent was replaced with ethanol was prepared using an ultrafiltration membrane. (Third Step) The cross section of the obtained particles was observed with a transmission electron microscope (TEM). As a result, particles having cavities formed inside the outer shell layer as shown in FIG. 2 were obtained.

【0122】[0122]

【調製例5】無機化合物粒子(P-5)の調製(外殻層内
部が多孔質となっている粒子) 前記無機化合物粒子(P-1)を調製する際のアルミン酸
ナトリウムの代わりに、SnO2として0.5重量%の錫
酸カリウム水溶液9,000gを用いた以外は、無機化
合物粒子(P-1)と同様の方法で、固形分濃度20重量
%のSiO2・SnO2多孔質物質前駆体粒子を得、さら
に無機化合物粒子(P-1)と同様の方法で、シリカ保護
膜を形成したのち、脱Sn処理(調製例1の脱アルミニ
ウム処理と同じ処理)およびシリカ外殻層の形成を行
い、表1に示す無機化合物粒子(P-5)の分散液を調製
した。
[Preparation Example 5] Preparation of inorganic compound particles (P-5) (in outer shell layer)
Part of the particles are porous) Instead of sodium aluminate in preparing the inorganic compound particles (P-1), 9,000 g of a 0.5% by weight aqueous solution of potassium stannate was used as SnO 2 . Except for the above, in the same manner as the inorganic compound particles (P-1), a SiO 2 .SnO 2 porous substance precursor particle having a solid content of 20% by weight was obtained, and further the same as the inorganic compound particles (P-1). After the formation of the silica protective film by the method, the Sn removal treatment (the same treatment as the dealumination treatment in Preparation Example 1) and the formation of the silica outer layer were performed, and the dispersion of the inorganic compound particles (P-5) shown in Table 1 was performed. A liquid was prepared.

【0123】[0123]

【調製例6】無機化合物粒子(P-6)の調製(比較例:
外殻層形成せず) 無機化合物粒子(P-1)の調製と同様にして、平均粒径
5nm、SiO2 濃度20重量%のシリカゾル100g
と純水1900gの混合物を80℃に加温した。この反
応液のpHは10.5であり、該反応液にSiO2 とし
て1.5重量%のケイ酸ナトリウム水溶液9000gと
Al23 として0.5重量%のアルミン酸ナトリウム
水溶液9000gとを同時に添加した。その間、反応液
の温度を80℃に保持した。反応液のpHは添加直後、
12.5に上昇し、その後、ほとんど変化しなかった。
添加終了後、反応液を室温まで冷却し、限外濾過膜で洗
浄した後、溶媒をエタノールに置換して表1に示すSi
2・Al23 多孔質粒子(P-6)の分散液(固形分濃
度20重量%)を調製した。
[Preparation Example 6] Preparation of inorganic compound particles (P-6) (Comparative Example:
100 g of silica sol having an average particle size of 5 nm and a SiO 2 concentration of 20% by weight in the same manner as in the preparation of the inorganic compound particles (P-1) without forming an outer shell layer.
And 1900 g of pure water were heated to 80 ° C. The pH of this reaction solution was 10.5, and 9000 g of a 1.5% by weight aqueous sodium silicate solution as SiO 2 and 9000 g of a 0.5% by weight aqueous sodium aluminate solution as Al 2 O 3 were simultaneously added to the reaction solution. Was added. Meanwhile, the temperature of the reaction solution was maintained at 80 ° C. Immediately after the addition of the reaction solution,
Rose to 12.5 and then changed little.
After completion of the addition, the reaction solution was cooled to room temperature and washed with an ultrafiltration membrane.
A dispersion liquid (solid content concentration: 20% by weight) of O 2 · Al 2 O 3 porous particles (P-6) was prepared.

【0124】[0124]

【調製例7】無機化合物粒子(P-7)の調製(比較例:
外殻層形成せず) メチルシリケート(SiO2 :39重量%)100gと
メタノール530gとの混合液に、濃度28重量%のア
ンモニア水を79g添加し、35℃で24時間攪拌した
後、限外濾過膜を用いて洗浄した後、溶媒をエタノール
に置換して表1に示す多孔質シリカ粒子(P-7)の分散
液(固形分濃度20重量%)を調製した。
Preparation Example 7 Preparation of Inorganic Compound Particles (P-7) (Comparative Example:
To a mixture of 100 g of methyl silicate (SiO 2 : 39% by weight) and 530 g of methanol was added 79 g of 28% by weight aqueous ammonia, and the mixture was stirred at 35 ° C. for 24 hours. After washing using a filtration membrane, the solvent was replaced with ethanol to prepare a dispersion (solid content concentration: 20% by weight) of the porous silica particles (P-7) shown in Table 1.

【0125】[0125]

【表1】 [Table 1]

【0126】[0126]

【調製例8】導電性微粒子分散液の調製 複合金属微粒子(Q-1、Q-2)の分散液(S-1、S-2)は、以
下の方法で調製した。純水100gに、あらかじめクエ
ン酸3ナトリウムを得られる複合金属微粒子1重量部当
たり0.01重量部となるように加え、これに金属換算
で濃度が10重量%となり、複合金属微粒子を構成する
金属種が表2の重量比となるように硝酸銀および硝酸パ
ラジウム水溶液を加え、さらに液中の硝酸銀および硝酸
パラジウムの合計モル数と等モル数の硫酸第一鉄の水溶
液を添加し、窒素雰囲気下で1時間攪拌して表2に示す
組成の複合金属微粒子の分散液を得た。得られた分散液
は遠心分離器により水洗して不純物を除去した後、水に
分散させ、ついで表3に示した溶媒(1−エトキシ−2
プロパノール)を混合した後ロータリーエバポレーター
にて水分を除去するとともに濃縮して表2に示す固形分
濃度の金属微粒子分散液(S-1、S-2)を調製した。
Preparation Example 8 Preparation of Dispersion of Conductive Fine Particles Dispersions (S-1, S-2) of composite metal fine particles (Q-1, Q-2) were prepared by the following method. To 100 g of pure water, trisodium citrate was added in advance so as to be 0.01 part by weight per 1 part by weight of the composite metal fine particles to which trisodium citrate was obtained. An aqueous solution of silver nitrate and palladium nitrate was added so that the seeds had the weight ratios shown in Table 2, and an aqueous solution of ferrous sulfate having the same mole number as the total mole number of silver nitrate and palladium nitrate in the solution was added. The mixture was stirred for 1 hour to obtain a dispersion of composite metal fine particles having the composition shown in Table 2. The resulting dispersion was washed with water using a centrifugal separator to remove impurities, and then dispersed in water. Then, the solvent (1-ethoxy-2) shown in Table 3 was used.
After mixing with (propanol), water was removed with a rotary evaporator and the mixture was concentrated to prepare metal fine particle dispersions (S-1 and S-2) having a solid content concentration shown in Table 2.

【0127】スズドープ酸化インジウム粒子(Q-3)の
分散液(S-3)は以下のようにして調製した。硝酸インジ
ウム79.9gを水686gに溶解して得られた溶液
と、錫酸カリウム12.7gを濃度10重量%の水酸化
カリウム溶液に溶解して得られた溶液とを調製し、これ
らの溶液を、50℃に保持された1000gの純水に2
時間かけて添加した。この間、系内のpHを11に保持
した。得られたスズドープ酸化インジウム水和物分散液
からスズドープ酸化インジウム水和物を濾別・洗浄した
後、乾燥し、次いで空気中で350℃の温度で3時間焼
成し、さらに空気中で600℃の温度で2時間焼成する
ことによりスズドープ酸化インジウム微粒子(Q-3)を得
た。これを濃度が30重量%となるように純水に分散さ
せ、さらに硝酸水溶液でpHを3.5に調製した後、こ
の混合液を30℃に保持しながらサンドミルで、3時
間粉砕してゾルを調製した。次に、このゾルをイオン交
換樹脂で処理して硝酸イオンを除去し、純水を加えて表
2に示す濃度のスズをドープした酸化インジウム(IT
O)微粒子の分散液(S-3)を調製した。
A dispersion (S-3) of tin-doped indium oxide particles (Q-3) was prepared as follows. A solution obtained by dissolving 79.9 g of indium nitrate in 686 g of water and a solution obtained by dissolving 12.7 g of potassium stannate in a potassium hydroxide solution having a concentration of 10% by weight were prepared. To 1000 g of pure water maintained at 50 ° C.
Added over time. During this time, the pH in the system was maintained at 11. The tin-doped indium oxide hydrate dispersion was filtered and washed from the tin-doped indium oxide hydrate dispersion, dried, then calcined in air at 350 ° C. for 3 hours, and further heated in air at 600 ° C. By firing at a temperature for 2 hours, tin-doped indium oxide fine particles (Q-3) were obtained. This was dispersed in pure water to a concentration of 30% by weight, and the pH was adjusted to 3.5 with an aqueous nitric acid solution.
The sol was prepared by pulverizing for a while. Next, the sol was treated with an ion-exchange resin to remove nitrate ions, and pure water was added to the sol to add tin-doped indium oxide (IT).
O) A dispersion of fine particles (S-3) was prepared.

【0128】アンチモンドープ酸化スズ微粒子(Q-4)
の分散液(S-4)は以下のようにして調製した。塩化スズ
57.7gと塩化アンチモン7.0gとをメタノール1
00g溶解して溶液を調製した。得られた溶液を4時間
かけて、90℃、攪拌下の純水1000gに添加して加
水分解を行い、生成した沈殿を濾別・洗浄し、乾燥空気
中、500℃で2時間焼成してアンチモンドープの酸化
スズ微粒子粉末を得た。この粉末30gを水酸化カリウ
ム水溶液(KOHとして3.0g)70gに加え、混合
液を30℃に保持しながらサンドミルで3時間粉砕して
ゾルを調製した。次いで、このゾルをイオン交換樹脂処
理して、脱アルカリし、純水を加えて表2に示す濃度の
アンチモンをドープした酸化スズ(ATO)微粒子(Q-
4)の分散液(S-4)を調製した。
Antimony-doped tin oxide fine particles (Q-4)
(S-4) was prepared as follows. 57.7 g of tin chloride and 7.0 g of antimony chloride were added to methanol 1
00 g was dissolved to prepare a solution. The resulting solution was added to 1000 g of pure water with stirring at 90 ° C. for 4 hours to conduct hydrolysis, and the resulting precipitate was separated by filtration, washed, and calcined at 500 ° C. for 2 hours in dry air. Antimony-doped tin oxide fine powder was obtained. 30 g of this powder was added to 70 g of an aqueous potassium hydroxide solution (3.0 g as KOH), and the mixture was pulverized with a sand mill for 3 hours while maintaining the mixture at 30 ° C. to prepare a sol. Next, the sol was treated with an ion exchange resin, dealkalized, and pure water was added thereto to add tin oxide (ATO) fine particles (Q-
A dispersion liquid (S-4) of 4) was prepared.

【0129】[0129]

【調製例9】c)マトリックス形成成分液の調製 マトリックス形成成分液(M-1)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン
9.52g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4gお
よび純水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌し、Si
2に換算したときの濃度が5重量%のマトリックス形
成成分を含む液(M-1)を調製した。
Preparation Example 9 c) Preparation of Matrix Forming Component Solution Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-1) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
0 g, 9.52 g of heptadecafluorodecyltrimethoxysilane, 194.6 g of ethanol, 1.4 g of concentrated nitric acid and 34 g of pure water were stirred at room temperature for 5 hours.
A liquid (M-1) containing a matrix-forming component having a concentration of 5% by weight in terms of O 2 was prepared.

【0130】マトリックス形成成分液(M-2)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン4
7.5g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4gおよ
び純水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌し、SiO2
に換算したときの濃度が5重量%のマトリックス形成成
分を含む液(M-2)を調製した。
Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-2) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
0 g, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane 4
7.5 g, ethanol 194.6G, a mixed solution of concentrated nitric acid 1.4g and pure water 34g was stirred at room temperature for 5 hours, SiO 2
A liquid (M-2) containing a matrix-forming component having a concentration of 5% by weight when converted to was prepared.

【0131】マトリックス形成成分液(M-3)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、(CH3O)3SiC2461224Si(CH3
O)36.57g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4
gおよび純水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌し、
SiO2に換算したときの濃度が5重量%のマトリックス
形成成分を含む液(M-3)を調製した。
Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-3) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
0g, (CH 3 O) 3 SiC 2 H 4 C 6 F 12 C 2 H 4 Si (CH 3
O) 3 6.57 g, ethanol 194.6 g, concentrated nitric acid 1.4
g and 34 g of pure water were stirred at room temperature for 5 hours,
A liquid (M-3) containing a matrix-forming component having a concentration of 5% by weight in terms of SiO 2 was prepared.

【0132】マトリックス形成成分液(M-4)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン1
2.14g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4gお
よび純水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌し、Si
2に換算したときの濃度が5重量%のマトリックス形
成成分を含む液(M-4)を調製した。
Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-4) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
0 g, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane 1
A mixed solution of 2.14 g, 194.6 g of ethanol, 1.4 g of concentrated nitric acid and 34 g of pure water was stirred at room temperature for 5 hours.
A liquid (M-4) containing a matrix-forming component having a concentration of 5% by weight in terms of O 2 was prepared.

【0133】マトリックス形成成分液(M-5)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン2
0.65g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4gお
よび純水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌し、Si
2に換算したときの濃度が5重量%のマトリックス形
成成分を含む液(M-5)を調製した。
Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-5) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
0 g, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane 2
A mixed solution of 0.65 g, 194.6 g of ethanol, 1.4 g of concentrated nitric acid and 34 g of pure water was stirred at room temperature for 5 hours.
A liquid (M-5) containing a matrix-forming component having a concentration of 5% by weight in terms of O 2 was prepared.

【0134】マトリックス形成成分液(M-6)の調製 正ケイ酸エチル(TEOS)(SiO2:28重量%)5
0g、エタノール194.6g、濃硝酸1.4gおよび純
水34gの混合溶液を室温で5時間攪拌してSiO2濃度
5重量%のマトリックス形成成分を含む液(M-6)を調製
した。調製したマトリックス形成成分液の組成を表3に
示す。
Preparation of Matrix Forming Component Solution (M-6) Ethyl orthosilicate (TEOS) (SiO 2 : 28% by weight) 5
A mixed solution of 0 g, 194.6 g of ethanol, 1.4 g of concentrated nitric acid and 34 g of pure water was stirred at room temperature for 5 hours to prepare a liquid (M-6) containing a matrix-forming component having a SiO 2 concentration of 5% by weight. Table 3 shows the composition of the prepared matrix forming component liquid.

【0135】[0135]

【調製例10】d)導電性被膜形成用塗布液の調製 以上のような(S-1)〜(S-3)の分散液と、マトリックス形
成成分液(M-6)、エタノール、1-エトキシ-2-プロパノー
ルから表4に示す組成となるように混合して、導電性被
膜形成用塗布液(CS-1)〜(CS-3)を調製した。
Preparation Example 10 d) Preparation of Coating Liquid for Forming Conductive Film The dispersion liquids (S-1) to (S-3) as described above, a matrix forming component liquid (M-6), ethanol, The coating liquids (CS-1) to (CS-3) for forming a conductive film were prepared by mixing ethoxy-2-propanol so as to have the composition shown in Table 4.

【0136】[0136]

【表2】 [Table 2]

【0137】[0137]

【表3】 [Table 3]

【0138】[0138]

【表4】 [Table 4]

【0139】[0139]

【実施例1】透明被膜形成用塗布液(B-1)の調製 上記マトリックス形成成分を含む(M-1)液に、エタノー
ル/ブタノール/ジアセトンアルコール/イソプロピル
アルコール(2:1:1:5重量混合比)の混合溶媒を
加え、上記で調製した無機化合物粒子(P-1)の分散液
を添加して、無機化合物粒子の固形分としての濃度およ
びマトリックス形成成分のSiO2に換算したときの濃度
がそれぞれ表5に示す濃度の透明被膜形成用塗布液(B-
1)を調製した。
Example 1 Preparation of Coating Solution (B-1) for Forming Transparent Film The solution ( M-1) containing the above-mentioned matrix-forming component was added to ethanol / butanol / diacetone alcohol / isopropyl alcohol (2: 1: 1: 5). (Mixing ratio by weight), the dispersion of the inorganic compound particles (P-1) prepared above was added, and the concentration as a solid content of the inorganic compound particles and the SiO 2 of the matrix forming component were converted. Having a concentration shown in Table 5, respectively.
1) was prepared.

【0140】透明被膜付ガラスの製造 ガラス基板の表面を40℃に保持しながら、スピナー法
で100rpm、90秒の条件で透明被膜形成用塗布液(B-
1)を透明被膜の膜厚が100nmとなるように塗布したの
ち、乾燥し、160℃で30分焼成して透明被膜付ガラ
ス(G-1)を作製した。
Production of Glass with Transparent Coating While maintaining the surface of the glass substrate at 40 ° C., the coating solution for forming a transparent coating (B-
1) was applied so that the thickness of the transparent film was 100 nm, dried, and baked at 160 ° C. for 30 minutes to produce a glass with a transparent film (G-1).

【0141】上記で得た透明被膜付基材のヘーズをへー
ズコンピューター(日本電色(株)製:3000A)で測定し
た。反射率は反射率計(大塚電子(株)製:MCPD-2000)を
用いてJIS Z8727に準じて測定し、波長400
〜700nmの範囲で反射率が最も低い波長での反射率と
しこれをボトム反射率として、また波長400〜700
nmの範囲における平均反射率を視感反射率として表示
した。微粒子の粒子径は、マイクロトラック粒度分析計
((株)日機装製)を使用した。
The haze of the substrate with a transparent coating obtained as described above was measured with a haze computer (3000 N, manufactured by Nippon Denshoku Co., Ltd.). The reflectance is measured using a reflectance meter (MCPD-2000, manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) according to JIS Z8727, and the wavelength is 400.
The reflectance at the wavelength having the lowest reflectance in the range of ~ 700 nm is defined as the bottom reflectance, and the wavelength is defined as 400-700 nm.
The average reflectance in the range of nm was displayed as luminous reflectance. For the particle diameter of the fine particles, a Microtrac particle size analyzer (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) was used.

【0142】また、膜強度は、以下のようにして、消し
ゴム強度およびスクラッチ強度により評価した。消しゴム強度 また、上記で得た透明被膜付基材の透明被膜上に消しゴ
ム(ライオン(株)製:1K)をセットし、1±0.1
Kgの荷重をかけ、約25mmのストロークで25往復さ
せた。このとき発生する削り屑は、その都度高圧エアー
で除去した。
Further, the film strength was evaluated by the eraser strength and the scratch strength as described below. Eraser strength Further , an eraser (manufactured by Lion Corporation: 1K) was set on the transparent coating of the substrate with a transparent coating obtained above, and 1 ± 0.1
A load of Kg was applied and reciprocated 25 times with a stroke of about 25 mm. The shavings generated at this time were removed with high-pressure air each time.

【0143】消しゴムを25往復させた後、1000ル
ックスの照明下で、透明被膜表面から45cm離れて表面
の目視観察を行った。 判断基準 A:引っ掻き傷が全く観察されない。 B:蛍光灯下で反射色が変化(紫色から赤色へ)。 C:蛍光灯下で反射がなく傷が観察される。
After the eraser was reciprocated 25 times, the surface was visually observed at a distance of 45 cm from the surface of the transparent film under illumination of 1000 lux. Criteria A: No scratch is observed. B: The reflected color changes under a fluorescent lamp (from purple to red). C: Scratches are observed without reflection under a fluorescent lamp.

【0144】 D:下地(シリコンウェハー)が見える。スクラッチ強度 透明被膜上に標準試験針((株)ロックウェル製:硬度
HRC-60、φ0.5mm)をセットし、1±0.3Kgの荷
重をかけ、30〜40mmのストロークで掃引した。掃引
したのち、1000ルックス照明下、被膜表面から45
cm離れて表面の目視観察を行った。
D: Underlayer (silicon wafer) is visible. Scratch strength Standard test needle (made by Rockwell Co., Ltd.) on a transparent film: hardness
HRC-60, φ0.5 mm) was set, a load of 1 ± 0.3 kg was applied, and sweeping was performed with a stroke of 30 to 40 mm. After sweeping, 45 lux from the coating surface under 1000 lux illumination
The surface was visually observed at a distance of cm.

【0145】 判断基準 A:引っ掻き傷が全く観察されない。 B:蛍光灯下で反射色が変化(紫色から赤色へ)。 C:蛍光灯下で反射がなく傷が観察される。 D:下地(シリコンウェハー)が見える。 結果を表6に示す。Judgment Criteria A: No scratch is observed. B: The reflected color changes under a fluorescent lamp (from purple to red). C: Scratches are observed without reflection under a fluorescent lamp. D: The underlayer (silicon wafer) is visible. Table 6 shows the results.

【0146】[0146]

【実施例2〜6】透明被膜形成用塗布液(B-2〜B-6)の調
上記マトリックス形成成分を含む(M-1)液〜(M-4)液と、
エタノール/ブタノール/ジアセトンアルコール/イソ
プロピルアルコール(2:1:1:5重量混合比)の混
合溶媒と、上記で調製した無機化合物粒子(P-2、P-3、P-
5)または空洞粒子(P-4)の分散液を混合して各粒子の濃
度およびマトリックス形成成分の固形分としての濃度が
各々表5に示す濃度の透明被膜形成用塗布液(B-2〜B-6)
を調製した。
Examples 2 to 6 Preparation of coating liquids (B-2 to B-6) for forming a transparent film
(M-1) solution containing the matrix-forming component manufactured by (M-4) solution,
A mixed solvent of ethanol / butanol / diacetone alcohol / isopropyl alcohol (2: 1: 1: 5 weight ratio) and the inorganic compound particles prepared above (P-2, P-3, P-
5) Alternatively, a dispersion of the hollow particles (P-4) is mixed, and the concentration of each particle and the concentration of the matrix forming component as a solid content are as shown in Table 5, respectively. B-6)
Was prepared.

【0147】透明被膜付ガラスの製造 ガラス基板の表面を40℃に保持しながら、スピナー法
で100rpm、90秒の条件で透明被膜形成用塗布液(B-
2)〜(B-6)を透明被膜の膜厚が100nmとなるように塗
布したのち、乾燥し、160℃で30分焼成して透明被
膜付ガラス(G-2)〜(G-6)を作製した。
Production of Glass with Transparent Coating While maintaining the surface of the glass substrate at 40 ° C., the coating solution for forming a transparent coating (B-
2) to (B-6) are applied so that the film thickness of the transparent film is 100 nm, then dried and baked at 160 ° C. for 30 minutes to form a glass with a transparent film (G-2) to (G-6). Was prepared.

【0148】得られた透明被膜付ガラスについて、実施
例1と同様に評価した。結果を表6に示す。
The obtained glass with a transparent coating was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 6 shows the results.

【0149】[0149]

【比較例1〜5】透明被膜形成用塗布液(B-7〜B-11)の
調製 上記マトリックス形成成分を含む(M-1)液、(M-5)液、(M
-6)液と、エタノール/ブタノール/ジアセトンアルコ
ール/イソプロピルアルコール(2:1:1:5重量混
合比)の混合溶媒と、上記で調製した無機化合物粒子
(P-6、P-7、P-1)の分散液を混合して各粒子の濃度お
よびマトリックス形成成分の固形分としての濃度が各々
表5に示す濃度の透明被膜形成用塗布液(B-7〜B-11)を
調製した。
Comparative Examples 1 to 5 of coating liquids for forming a transparent film (B-7 to B-11)
Preparation (M-1) solution containing the matrix forming component, (M-5) solution, (M
-6) A mixed solvent of liquid, ethanol / butanol / diacetone alcohol / isopropyl alcohol (2: 1: 1: 5 weight ratio), and inorganic compound particles (P-6, P-7, P The dispersions of -1) were mixed to prepare coating liquids (B-7 to B-11) for forming transparent films having the concentrations shown in Table 5 for the concentrations of the respective particles and the solid components of the matrix forming components. .

【0150】透明被膜付ガラスの製造 ガラス基板の表面を40℃に保持しながら、スピナー法
で100rpm、90秒の条件で透明被膜形成用塗布液(B-
7)〜(B-11)を透明被膜の膜厚が100nmとなるように塗
布したのち、乾燥し、160℃で30分焼成して透明被
膜付ガラス(G-7)〜(G-11)を作製した。
Production of Glass with Transparent Coating While maintaining the surface of the glass substrate at 40 ° C., the coating solution for forming a transparent coating (B-
7) to (B-11) are applied so that the film thickness of the transparent film is 100 nm, then dried and baked at 160 ° C. for 30 minutes to obtain a glass with a transparent film (G-7) to (G-11). Was prepared.

【0151】得られた透明被膜付ガラスについて、実施
例1と同様に評価した。結果を表6に示す。
The obtained glass with a transparent coating was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 6 shows the results.

【0152】[0152]

【表5】 [Table 5]

【0153】[0153]

【表6】 [Table 6]

【0154】[0154]

【実施例7】透明被膜付パネルガラスの製造 ブラウン管用パネルガラス(14")の表面を40℃で保
持しながら、スピナー法で100rpm、90秒の条件で
上記導電性被膜形成用塗布液(CS-1)を導電層の厚さが2
0nmとなるように塗布し乾燥した。
Example 7 Production of Panel Glass with Transparent Coating While holding the surface of CRT panel glass (14 ″) at 40 ° C., the above-mentioned coating solution for forming a conductive coating (CS) was spinnered at 100 rpm for 90 seconds. -1) when the thickness of the conductive layer is 2
It was applied to a thickness of 0 nm and dried.

【0155】次いで、このようにして形成された導電層
上に、同じように、スピナー法で100rpm、90秒の
条件で透明被膜形成用塗布液(B-1)を透明被膜の膜厚が
100nmとなるように塗布・乾燥し、160℃で30
分間焼成して透明被膜付基材を得た。上記で得た透明被
膜付基材のヘーズをへーズコンピューター(日本電色
(株)製:3000A)で測定した。反射率は反射率計(大塚電
子(株)製:MCPD-2000)を用いてJIS Z8727に準
じて測定し、波長400〜700nmの範囲で反射率が最
も低い波長での反射率としこれをボトム反射率として、
また波長400〜700nmの範囲における平均反射率
を視感反射率として表示した。
Next, on the conductive layer thus formed, the coating solution (B-1) for forming a transparent film was similarly applied at 100 rpm for 90 seconds by the spinner method, so that the thickness of the transparent film was 100 nm. Apply and dry so that it becomes
After baking for minutes, a substrate with a transparent coating was obtained. The haze of the substrate with a transparent coating obtained above is replaced with a haze computer (Nippon Denshoku
(3000A). The reflectivity is measured using a reflectometer (MCPD-2000, manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) in accordance with JIS Z8727. As the reflectance,
The average reflectance in the wavelength range of 400 to 700 nm was displayed as luminous reflectance.

【0156】また、各透明被膜付基材の表面抵抗は、透
明被膜を形成した基材上に2本の互いに平行で5cm離れ
たハンダ電極を、超音波ハンダ付け装置(旭硝子(株)
製:SUNBONDER USM-III型、ハンダ:線径1.6Φ、溶融温
度224℃)により形成したのち(このとき、ハンダ電
極は表面の透明被膜を貫通し導電層と導通している)、
電極の外部を切除し、デシケーター中、23±5℃、湿
度40%以下の雰囲気下、テスター(HIOKI電気(株)
製:ハイテスター3244)にて、電極間の抵抗値を測定す
ることによって評価した。
The surface resistance of each substrate with a transparent coating was determined by connecting two solder electrodes parallel to each other and 5 cm apart from each other on the substrate on which the transparent coating was formed by using an ultrasonic soldering apparatus (Asahi Glass Co., Ltd.).
Manufactured by SUNBONDER USM-III type, solder: wire diameter 1.6Φ, melting temperature 224 ° C) (at this time, the solder electrode penetrates the transparent coating on the surface and conducts with the conductive layer),
Cut off the outside of the electrode and tester (HIOKI Electric Co., Ltd.) in a desiccator in an atmosphere of 23 ± 5 ° C. and humidity of 40% or less.
Manufactured by High Tester 3244) to evaluate the resistance value between the electrodes.

【0157】密着性は、透明被膜の表面にナイフで縦横
それぞれ1mmの間隔で11本の傷を付け100個の升
目を作り、これに粘着テープを接着し、次いで粘着テー
プを剥離したときに、被膜が剥離せず残存している升目
の多少を以下の2段階で評価した。 残存升目の数95個以上:○ 残存升目の数94個以下:× また、上記で得た透明被膜付基材を用いて、表示装置を
組立て、表示性能として画像および画像面から5mの距
離にある蛍光灯の反射の程度(映り込み)および着色程
度を観察し、以下の基準で評価した。
The adhesiveness was determined by making 11 scratches on the surface of the transparent film with a knife at intervals of 1 mm each in the vertical and horizontal directions to form 100 squares, attaching an adhesive tape to the squares, and then peeling the adhesive tape. The number of squares in which the film remained without peeling was evaluated in the following two stages. 95 or more of the remaining squares: ○ 94 or less of the remaining squares: × Also, using the base material with a transparent coating obtained above, assemble a display device, and display the image at a distance of 5 m from the image and the image surface as the display performance. The degree of reflection (reflection) and the degree of coloring of a certain fluorescent lamp were observed and evaluated according to the following criteria.

【0158】 反射(映り込み)および着色が弱く、画像が鮮明であるもの :◎ 反射(映り込み)は弱いが着色が認められものの画像は鮮明であるもの :○ 反射(映り込み)および着色が強く、画像の一部が不鮮明であるもの :△ 反射(映り込み)および着色が強く、映り込みが画像より鮮明であるもの:× さらに、上記で得た透明被膜付基材について以下の耐水
性の評価を実施した。
Reflection (reflection) and coloring are weak, and the image is clear: ◎ Reflection (reflection) is weak but coloring is recognized, but the image is clear: ○ Reflection (reflection) and coloring Strong, part of the image is unclear: △ Strong reflection (reflection) and coloring, and reflection is clearer than the image: × In addition, the following water resistance of the substrate with a transparent coating obtained above Was evaluated.

【0159】また、膜強度は、以下のようにして、消し
ゴム強度およびスクラッチ強度により評価した。消しゴム強度 また、上記で得た透明被膜付基材の透明被膜上に消しゴ
ム(ライオン(株)製:1K)をセットし、1±0.1
Kgの荷重をかけ、約25mmのストロークで25往復さ
せた。このとき発生する削り屑は、その都度高圧エアー
で除去した。
Further, the film strength was evaluated by the eraser strength and the scratch strength as described below. Eraser strength Further , an eraser (manufactured by Lion Corporation: 1K) was set on the transparent coating of the substrate with a transparent coating obtained above, and 1 ± 0.1
A load of Kg was applied and reciprocated 25 times with a stroke of about 25 mm. The shavings generated at this time were removed with high-pressure air each time.

【0160】消しゴムを25往復させた後、1000ル
ックスの照明下で、透明被膜表面から45cm離れて表面
の目視観察を行った。 判断基準 A:引っ掻き傷が全く観察されない。 B:蛍光灯下で反射色が変化(紫色から赤色へ)。 C:蛍光灯下で反射がなく傷が観察される。
After the eraser was reciprocated 25 times, the surface was visually observed at a distance of 45 cm from the surface of the transparent film under illumination of 1000 lux. Criteria A: No scratch is observed. B: The reflected color changes under a fluorescent lamp (from purple to red). C: Scratches are observed without reflection under a fluorescent lamp.

【0161】 D:下地(シリコンウェハー)が見える。スクラッチ強度 透明被膜上に標準試験針((株)ロックウェル製:硬度
HRC-60、ψ0.5mm)をセットし、1±0.3Kgの荷
重をかけ、30〜40mmのストロークで掃引した。掃引
したのち、1000ルックス照明下、被膜表面から45
cm離れて表面の目視観察を行った。
D: Underlayer (silicon wafer) is visible. Scratch strength Standard test needle (made by Rockwell Co., Ltd.) on a transparent film: hardness
HRC-60, # 0.5 mm) was set, a load of 1 ± 0.3 kg was applied, and sweep was performed with a stroke of 30 to 40 mm. After sweeping, 45 lux from the coating surface under 1000 lux illumination
The surface was visually observed at a distance of cm.

【0162】 判断基準 A:引っ掻き傷が全く観察されない。 B:蛍光灯下で反射色が変化(紫色から赤色へ)。 C:蛍光灯下で反射がなく傷が観察される。 D:下地(シリコンウェハー)が見える。 また、膜強度は、前記した方法で、消しゴム強度および
スクラッチ強度により評価した。
Criteria A: No scratch is observed. B: The reflected color changes under a fluorescent lamp (from purple to red). C: Scratches are observed without reflection under a fluorescent lamp. D: The underlayer (silicon wafer) is visible. Further, the film strength was evaluated by the eraser strength and the scratch strength by the method described above.

【0163】さらに以下のようにして耐水性、耐薬品性
を評価した。耐水性の評価 透明被膜付基材を、100℃の沸騰蒸留水に30分間浸
漬した後、前記と同様に表面抵抗、反射率、ヘーズを測
定した。耐薬品性の評価(1) 透明被膜付基材を、濃度5重量%の塩酸水溶液に10時
間浸漬した後、前記と同様に表面抵抗、反射率、ヘーズ
を測定した。
Further, water resistance and chemical resistance were evaluated as follows. Evaluation of Water Resistance After immersing the substrate with a transparent film in boiling distilled water at 100 ° C. for 30 minutes, the surface resistance, reflectance and haze were measured in the same manner as described above. Evaluation of Chemical Resistance (1) The substrate with a transparent coating was immersed in a 5% by weight aqueous hydrochloric acid solution for 10 hours, and the surface resistance, reflectance and haze were measured in the same manner as described above.

【0164】耐薬品性の評価(2) 透明被膜付基材を、濃度5重量%の塩酸水溶液に200
時間浸漬した後、前記と同様に表面抵抗、反射率、ヘー
ズを測定した。結果を表7に示す。
Evaluation of Chemical Resistance (2) A substrate with a transparent coating was placed in a 5% by weight aqueous hydrochloric acid solution for 200 hours.
After immersion for a time, the surface resistance, reflectance, and haze were measured in the same manner as described above. Table 7 shows the results.

【0165】[0165]

【実施例8〜14】透明被膜付パネルガラスの製造 表7に示す導電性被膜形成用塗布液(CS-1〜CS-4)を使用
して、実施例7と同様にして、表7に示す厚さとなるよ
うに導電層を形成したのち、上記透明被膜形成用塗布液
(B-2〜B-6)を用い実施例7と同様にして透明被膜付基材
を得た。
Examples 8 to 14 Production of Panel Glass with Transparent Coating In the same manner as in Example 7 except that the coating liquids for forming a conductive coating (CS-1 to CS-4) shown in Table 7 were used. After forming the conductive layer so as to have the thickness shown, the coating solution for forming the transparent film
Using (B-2 to B-6), a substrate with a transparent coating was obtained in the same manner as in Example 7.

【0166】得られた透明被膜付基材の表面抵抗、ヘー
ズ、反射率、密着性、膜強度および表示性能を評価し、
結果を表7に示す。また、実施例7と同様に耐水性、耐
薬品性(1)、耐薬品性(2)を評価した。なお、実施
例12については耐薬品性(2)の評価は実施しなかっ
た。結果を表7に示す。図4は、実施例13の透明被膜
付基材の400〜700nmの波長における反射率曲線
を示す。
The surface resistance, haze, reflectance, adhesion, film strength and display performance of the obtained substrate with a transparent coating were evaluated.
Table 7 shows the results. Further, water resistance, chemical resistance (1) and chemical resistance (2) were evaluated in the same manner as in Example 7. In addition, about Example 12, evaluation of chemical resistance (2) was not implemented. Table 7 shows the results. FIG. 4 shows a reflectance curve of the substrate with a transparent coating of Example 13 at a wavelength of 400 to 700 nm.

【0167】[0167]

【比較例6〜12】透明被膜付パネルガラスの製造 実施例7と同様にして導電性被膜形成用塗布液(CS-1)を
用いて透明導電性層(厚さ20nm)を形成したのち、透
明被膜形成用塗布液(B-7〜B-11)を用いた以外は実施例
7と同様にして透明被膜付基材を得た(比較例6〜9、
12)。
Comparative Examples 6 to 12 Production of Panel Glass with Transparent Coating A transparent conductive layer (thickness: 20 nm) was formed in the same manner as in Example 7 using a coating liquid for forming a conductive coating (CS-1). A substrate with a transparent coating was obtained in the same manner as in Example 7 except that the coating liquid for forming a transparent coating (B-7 to B-11) was used (Comparative Examples 6 to 9,
12).

【0168】また、実施例12と同様にして導電性被膜
形成用塗布液(CS-3)を用いて透明導電性層(膜厚100
nm)を形成したのち、透明被膜形成用塗布液(B-9)を用
いた以外は実施例6と同様にして透明被膜付基材を得た
(比較例10)。また、実施例13と同様にして導電性
被膜形成用塗布液(CS-4)を用いて透明導電性層(膜厚2
0nm)を形成したのち、透明被膜形成用塗布液(B-9)を
用いた以外は実施例13と同様にして透明被膜付基材を
得た(比較例11)。
In the same manner as in Example 12, the transparent conductive layer (film thickness: 100
nm), and a substrate with a transparent coating was obtained in the same manner as in Example 6 except that the coating liquid for forming a transparent coating (B-9) was used (Comparative Example 10). In the same manner as in Example 13, the transparent conductive layer (film thickness 2
0 nm), and a substrate with a transparent coating was obtained in the same manner as in Example 13 except that the coating liquid for forming a transparent coating (B-9) was used (Comparative Example 11).

【0169】得られた透明被膜付基材の表面抵抗、ヘー
ズ、反射率、密着性および表示性能を評価し、結果を表
7に示す。また、実施例7と同様に耐水性、耐薬品性
(1)、耐薬品性(2)を評価した。なお、比較例9に
ついては耐薬品性(2)の評価は実施しなかった。結果
を表7に示す。
The surface resistance, haze, reflectance, adhesion and display performance of the obtained substrate with a transparent coating were evaluated. The results are shown in Table 7. Further, water resistance, chemical resistance (1) and chemical resistance (2) were evaluated in the same manner as in Example 7. In addition, about the comparative example 9, evaluation of chemical resistance (2) was not implemented. Table 7 shows the results.

【0170】[0170]

【表7】 [Table 7]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】無機化合物粒子および空洞粒子の断面模式図を
示す。
FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of inorganic compound particles and hollow particles.

【図2】無機化合物粒子(外殻層内に空洞を有する粒
子)の断面のTEM写真を示す。
FIG. 2 shows a TEM photograph of a cross section of an inorganic compound particle (particle having a cavity in an outer shell layer).

【図3】無機化合物粒子(外殻層内に空洞を有する粒
子)を含む透明被膜の断面のTEM写真を示す。
FIG. 3 shows a TEM photograph of a cross section of a transparent coating containing inorganic compound particles (particles having a cavity in an outer shell layer).

【図4】実施例13の透明被膜付基材の400から70
0nmの波長域における反射曲線を示す。
FIG. 4 shows a substrate with a transparent coating of Example 13 from 400 to 70.
4 shows a reflection curve in a wavelength range of 0 nm.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・多孔質物質 2・・・・外殻層 3・・・・空洞 1. Porous material 2. Shell layer 3. Cavity

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊 藤 武 夫 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 松 田 秀 三 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 大 谷 義 美 千葉県船橋市北本町1丁目10番1号 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 油 井 和 彦 千葉県船橋市北本町1丁目10番1号 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 平 井 俊 晴 福岡県北九州市若松区北湊町13番2号 触 媒化成工業株式会社若松工場内 (72)発明者 西 田 広 泰 福岡県北九州市若松区北湊町13番2号 触 媒化成工業株式会社若松工場内 (72)発明者 小 松 通 郎 福岡県北九州市若松区北湊町13番2号 触 媒化成工業株式会社若松工場内 Fターム(参考) 4F100 AA17B AA17H AA20B AA20H AG00 AK52B AL06B AT00A BA02 CA13B CA13H DE04B DE04H GB41 JB07 JK12 JN01 JN01B YY00B 4J038 DL071 HA446 KA20 MA04 NA01 5C032 AA02 EE02 EF01 EF05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takeo Ito 1-9-2 Harara-cho, Fukaya-shi, Saitama Prefecture Inside the Toshiba Fukaya Plant (72) Inventor Shuzo Matsuda 1 Harara-cho, Fukaya-shi, Saitama No. 9-2, Toshiba Fukaya Plant Co., Ltd. (72) Inventor Yoshimi Otani 1-10-1, Kitahonmachi, Funabashi-shi, Chiba Asahi Glass Co., Ltd. (72) Inventor Kazuhiko Aoi Funabashi, Chiba Prefecture Asahi Glass Co., Ltd., 1-10-1, Kitahoncho, Toshiharu (72) Inventor Toshiharu Hirai 13-2 Kitaminato-cho, Wakamatsu-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka Hiroyasu Nishida 13-2 Kitaminato-machi, Wakamatsu-ku, Kitakyushu-city, Fukuoka Prefecture Inside the Wakamatsu Plant of Catalyst Chemicals Co., Ltd. (72) Inventor Toshiro Komatsu 13-2 Kitaminato-machi, Wakamatsu-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka Young Corporation Factory in the F-term (reference) 4F100 AA17B AA17H AA20B AA20H AG00 AK52B AL06B AT00A BA02 CA13B CA13H DE04B DE04H GB41 JB07 JK12 JN01 JN01B YY00B 4J038 DL071 HA446 KA20 MA04 NA01 5C032 AA02 EE02 EF01 EF05

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基材と、該基材表面に設けられた透明被膜
とからなり、 該透明被膜が、(i)フッ素置換アルキル基含有シリコー
ン成分を含むマトリックスと、(ii)外殻層を有し、内部
が多孔質または空洞となっている無機化合物粒子とを含
み、 かつ前記透明被膜中において、多孔質または空洞が維持
されていることを特徴とする透明被膜付基材。
1. A substrate comprising: a substrate; and a transparent film provided on the surface of the substrate, wherein the transparent film comprises: (i) a matrix containing a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component; and (ii) an outer shell layer. And a porous or hollow inorganic compound particle, and the porous or hollow substrate is maintained in the transparent film.
【請求項2】基材と、該基材表面に設けられた導電層
と、該導電層表面に設けられた透明被膜とからなり、 該透明被膜が、(i)フッ素置換アルキル基含有シリコー
ン成分を含むマトリックスと、(ii)外殻層を有し、内部
が多孔質または空洞となっている無機化合物粒子とを含
み、 かつ前記透明被膜中において、多孔質または空洞が維持
されていることを特徴とする透明被膜付基材。
2. A base material, a conductive layer provided on the surface of the base material, and a transparent film provided on the surface of the conductive layer, wherein the transparent film comprises (i) a fluorine-substituted alkyl group-containing silicone component. And (ii) an inorganic compound particle having an outer shell layer and having a porous or hollow inside, and that the porous or hollow is maintained in the transparent coating. Characteristic substrate with transparent coating.
【請求項3】前記無機化合物粒子の平均粒子径が5〜3
00nmの範囲にあることを特徴とする請求項1または
2に記載の透明被膜付基材。
3. The inorganic compound particles having an average particle size of 5 to 3
The substrate with a transparent coating according to claim 1 or 2, wherein the thickness is in the range of 00 nm.
【請求項4】前記無機化合物粒子の外殻層の厚さが1〜
20nmの範囲にあることを特徴とする請求項1〜3の
いずれかに記載の透明被膜付基材。
4. The inorganic compound particle according to claim 1, wherein the outer shell layer has a thickness of 1 to 3.
The substrate with a transparent coating according to any one of claims 1 to 3, which is in a range of 20 nm.
【請求項5】前記無機化合物粒子の外殻層が、シリカを
主成分とすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
に記載の透明被膜付基材。
5. The substrate with a transparent coating according to claim 1, wherein the outer shell layer of said inorganic compound particles contains silica as a main component.
【請求項6】前記無機化合物粒子が、シリカとシリカ以
外の無機化合物とからなり、シリカをSiO2で表し、シ
リカ以外の無機化合物を酸化物(MOx)で表したとき
のモル比MOx /SiO2が、0.0001〜1.0の範
囲にあることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記
載の透明被膜付基材。
6. The inorganic compound particles are composed of silica and an inorganic compound other than silica, the silica being represented by SiO 2 and the inorganic compound other than silica being represented by an oxide (MO x ) molar ratio MO x. / SiO 2 is, with a transparent film substrate according to any one of claims 1 to 5, characterized in that in the range of 0.0001 to 1.0.
【請求項7】マトリックス前駆体と無機化合物粒子とを
含み、 (i)マトリックス前駆体が、 含フッ素アルキル基を有するシリコーン系化合物および
/またはこれらの加水分解物を含み、 (ii)無機化合物粒子が、外殻層を有し、内部が多孔質ま
たは空洞となっている粒子であることを特徴とする透明
被膜形成用塗布液。
7. A matrix precursor and inorganic compound particles, (i) the matrix precursor comprises a silicone compound having a fluorine-containing alkyl group and / or a hydrolyzate thereof, and (ii) an inorganic compound particle. Are particles having an outer shell layer and having a porous or hollow interior.
【請求項8】請求項1〜6のいずれかに記載の透明被膜
付基材で構成された前面板を備え、該前面板の外表面に
透明被膜が形成されていることを特徴とする表示装置。
8. A display comprising a front plate made of the substrate with a transparent coating according to claim 1, wherein a transparent coating is formed on an outer surface of the front plate. apparatus.
【請求項9】請求項1〜6のいずれかに記載の透明被膜
付基材で構成された前面板を備え、該前面板の外表面に
透明被膜が形成されていることを特徴とする陰極線管。
9. A cathode ray comprising a front plate made of the substrate with a transparent coating according to claim 1, wherein a transparent coating is formed on an outer surface of the front plate. tube.
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