JP2002067343A - Long recording head - Google Patents

Long recording head

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JP2002067343A
JP2002067343A JP2000261513A JP2000261513A JP2002067343A JP 2002067343 A JP2002067343 A JP 2002067343A JP 2000261513 A JP2000261513 A JP 2000261513A JP 2000261513 A JP2000261513 A JP 2000261513A JP 2002067343 A JP2002067343 A JP 2002067343A
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chip
head chip
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JP2000261513A
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Japanese (ja)
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Satoshi Kanemitsu
Junji Shioda
純司 塩田
聡 金光
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Casio Comput Co Ltd
カシオ計算機株式会社
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/20Modules

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a long recording head which can be easily manufactured and can suppress printing shift of image to an extent not giving effect on the printing quality even when a printing sheet runs inclined.
SOLUTION: Two rows of a nozzle row 46-1 and a nozzle row 46-2 are formed along a main scanning direction of a head chip 40, one row is arranged by moving parallel in a sub scanning direction to the other row by a distance m and a set pitch P in the main scanning direction between discharge nozzles 43n in each inside end, is the same as a set pitch of a discharge nozzle 43 in each nozzle row 46. A multicolor long recording head 49 is formed by arranging the head chip 40 (40-1, 40-2,...) continuously and in a straight line in the direction of nozzles arrangement indicated by an arrow K so as to put a convex part 48 of the head chip into a concave part 47 of the other head chip to each other. The pitches P set laterally between the discharge nozzle 43g on the outer end of one of the adjacent nozzle row 46-2 and the discharge nozzle 43g on the outer end of the other of the nozzle row 46-1 is the same as the set pitch P of the nozzles 43, 43n and 43g arranged laterally in one head chip.
COPYRIGHT: (C)2002,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、製造が容易で且つ用紙が斜行した場合にも画像の印字ずれを画質に影響のない程度に小さく抑えることができる長尺記録ヘッドに関する。 The present invention relates to relates to a long recording head which can suppress the printing deviation of the image even when the production is easy and the sheet is skew to the extent not affecting the image quality.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より、インクジェット方式のプリンタが広く用いられている。 Conventionally, inkjet printers are widely used. このインクジェット方式によるプリンタには、インクを加熱し気泡を発生させてその圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式や、ピエゾ抵抗素子(圧電素子)の変形によってインク滴を飛ばすピエゾジェット方式等がある。 The printer according to this inkjet method, or a thermal jet method where ink droplets being ejected by means of the pressure by generating bubbles by heating the ink, there is a piezo-jet method in which an ink droplet is ejected by the deformation of the piezoresistive element (piezoelectric element).

【0003】これらは、記録材たるインクをインク滴にして記録ヘッドの吐出ノズルから噴射させて、そのインク滴を紙、布などの被記録材に吸収させて文字や画像等の記録(印字、印刷)を行なうものであり、電子写真方式のプリンタのように特別な定着処理を要することもなく、騒音の発生も少なく、取り扱いの容易で比較的軽便な印字方法である。 [0003] These recording material serving as ink is ejected from the ejection nozzles of the recording head in the ink droplet, the ink droplet paper, such as characters and images by absorbing the recording material, such as fabric printing (printing, is intended to perform printing), without requiring any special fixing process as an electrophotographic printer, also generates less noise and is easy and relatively mopeds a printing method of handling.

【0004】また、従来は専らモノクロ印字のプリンタだけであったが、現在では、むしろフルカラー印字のプリンタが主流となっている。 [0004] In addition, the prior art but was only exclusively of black-and-white printing printer, at present, a printer of full-color printing has become a mainstream rather. フルカラー印字は、通常、 Full-color printing, usually,
減法混色の三原色であるイエロー(黄色)、マゼンタ(赤色染料名)及びシアン(緑味のある青色)の3色のインクを用い、ものによっては、文字や画像の黒色部分に専用されるブラック(黒)を加えた4色のインクを用いて行なわれる。 Yellow three primary colors of subtractive color mixture (yellow), using three color inks of magenta (red dye name) and cyan (blue with greenish), depending on the intended black is dedicated to the black portion of the character or image ( It is performed using the four color inks plus black).

【0005】図5(a) は、そのような印字を行うサーマルジェット方式のプリンタに搭載されて印字を実行するモノクロ用の記録ヘッドのインク吐出面を模式的に示す図であり、同図(b) は、このような記録ヘッドが製造されるシリコンウエハを示す図である。 [0007] FIG. 5 (a) is a diagram showing the ink discharge surface of the printhead for monochrome executing the print is mounted on a printer of a thermal jet method to perform such printing schematically FIG ( b) is a diagram illustrating a silicon wafer such recording head is manufactured.

【0006】図6(a),(b),(c) は、図5(a) に示す記録ヘッドの製造方法を工程順に示す図であり、夫々上段に平面図、中段に上段のA−A′断面矢視図、下段にB− [0008] FIG. 6 (a), (b), (c) is a view sequentially showing the steps of producing the recording head shown in FIG. 5 (a), respectively plane upper chart, the upper to middle A- a 'cross-sectional arrow view, the lower B-
B′断面矢視図を示している。 B 'shows a cross-sectional view on arrow. 尚、図6(a),(b),(c) に示す平面図には、図示する上での都合上、5個の発熱部又は吐出ノズルを示しているが、実際にはこのような発熱部及び吐出ノズルは、設計上の方針にもよるが64 Incidentally, FIG. 6 (a), (b), the plan view shown in (c) is, for convenience in terms of illustration, shows the five heating portion or the discharge nozzle, in practice, as this heat generating portion and the discharge nozzle, depending on the policies of the design 64
個、128個、256個等、それぞれの図の上下方向に連続して多数形成されるものである。 Number, 128, 256, etc., are intended to be a number continuously formed in the vertical direction of each figure. 上記の図5(a), Above in FIG. 5 (a),
(b) 及び図6(a),(b),(c) を用いて従来の記録ヘッドの製造方法を以下に簡単に説明する。 (B) and 6 (a), briefly described below conventional method of manufacturing a recording head using (b), (c).

【0007】先ず、図6(a) に示すように、シリコン基板あるいはガラス基板等の適宜の絶縁性基板1の上に薄膜形成技術を用いて、例えばTa−Si−O−Nなどからなる厚さ5000Å〜18000Åの発熱部2と、この発熱部2の両端にそれぞれ接続する例えばAu又はN [0007] First, as shown in FIG. 6 (a), the thickness using an appropriate thin-film forming technique on an insulating substrate 1 such as a silicon substrate or glass substrate, for example made of Ta-Si-O-N is a heat generating portion 2 of 5000A~18000A, respectively connected to both ends of the heat generating portion 2, for example Au or N
iなどからなる厚さ3000Å〜10000Åの共通配線電極3と個別配線電極4とをパターニングする。 And patterning the individual wiring electrodes 4 common wiring electrode 3 having a thickness of 3000Å~10000Å made of i. 上記の共通配線電極3は、基板左端部近傍に大きく上下に細長い(図6(a) の例では5個の発熱部2に対応する長さしか示していないので短く見える)開口3−1を形成され、その開口3−1の内部は基板1の表面1−1が露出している。 Common wiring electrode 3 described above, (because in the example of FIG. 6 (a) shows only a length corresponding to five heat generating portion 2 looks shorter) elongated largely vertically in the vicinity of the substrate left end openings 3-1 is formed, the inside of the opening 3-1 is exposed surfaces 1-1 of the substrate 1.

【0008】次に、図6(b) に示すように、感光性ポリイミドなどの有機材料からなる隔壁部材をコーティングにより高さ20μm程度に形成し、これをフォトリソ技術によりパターン化した後に、キュア(焼成)を行って高さ10μm程度の隔壁5(5−1、5−2)を形成する。 [0008] Next, as shown in FIG. 6 (b), after the partition member made of an organic material such as photosensitive polyimide is formed on the height 20μm about by the coating was patterned by a photolithography technique so, cure ( baking) to form a partition wall 5 (5-1, 5-2) height of about 10 [mu] m. 上記の隔壁5−1は基板1の周囲に在って外部からの封止部を形成し、隔壁5−2は左端部の隔壁5−1から各発熱部2間に延び出して微細な区画部(インクに圧力を加える加圧室)6を形成している。 It said partition walls 5-1 forming a sealing portion from the outside In the periphery of the substrate 1, the partition walls 5-2 minute compartments from the partition wall 5-1 at the left end extends out between the heat generating portion 2 It forms a 6 (pressure chamber applies pressure to the ink) section.

【0009】続いて、例えばサンドブラスト法などにより上記基板1の表面1−1に細長いスリット状のインク供給溝7を形成し、更にこのインク供給溝7内に一方の口が開口し他方の口が基板1を貫通して基板1の裏面側に開口するインク供給孔8を穿設する。 [0009] Then, for example, by sandblasting to form the ink supply groove 7 of the elongated slit shape on the surface 1-1 of the substrate 1, further one mouth opening other port to the ink supply groove 7 the substrate 1 through bored ink supply hole 8 to open to the rear surface side of the substrate 1.

【0010】更に、図6(c) に示すように、これらの構成の最上層つまり隔壁5の上に、例えばポリイミド等からなる厚さ10〜30μmのフィルムのオリフィス板9 Furthermore, as shown in FIG. 6 (c), on the uppermost clogging partition wall 5 of these configurations, for example, an orifice plate of a film having a thickness of 10~30μm made of polyimide or the like 9
を貼り付け、このオリフィス板9の上全面に真空装置又はスパッタ装置でTi、Ni、Cu又はAlなどの厚さ0.5〜1μm程度の金属膜11を成膜する。 The paste is deposited Ti, Ni, a metal film 11 having a thickness of about 0.5~1μm such as Cu or Al in a vacuum apparatus or a sputtering apparatus on the entire surface of the orifice plate 9.

【0011】そして、この金属膜11をパターン化して、オリフィス板9を選択的にエッチングするマスクパターン11−1を形成し、続いて、例えばヘリコン波によるドライエッチング等により上記金属膜マスク11のマスクパターンに従って20〜40μmφの多数の吐出ノズル12をオリフィス板9に一括形成する。 [0011] Then, the metal film 11 is patterned to form a mask pattern 11-1 selectively etching the orifice plate 9, then, for example, a mask of the metal film mask 11 by dry etching or the like by helicon the plurality of injection nozzles 12 of 20~40μmφ collectively formed in the orifice plate 9 according to the pattern. これで、 with this,
オリフィス板9に覆われた内部には、隔壁5の厚さ10 Inside covered with orifice plate 9, the partition wall 5 a thickness of 10
μmに対応する高さのインク流路13が、インク供給溝7と加圧室6との間に形成される。 The height of the ink channel 13 corresponding to the μm is formed between the ink supply groove 7 and the pressure chamber 6. これにより、図5 As a result, as shown in FIG. 5
(a) に示すような多数の吐出ノズル12を1列に備えたモノカラー用の記録ヘッド15が、図5(b) に示すように、シリコンウエハ14に個々に区画された基板1の上に完成する。 Recording head 15 for mono-color having a plurality of injection nozzles 12 as shown in a row in (a) is, as shown in FIG. 5 (b), on a substrate 1 which is divided into individual silicon wafer 14 It is completed.

【0012】この後、ダイシングソーなどを用いてシリコンウエハ14を基板1毎にカッティングし、これを適宜の親基板にダイボンデングし、LSI形成技術により駆動回路部を形成した他のシリコン基板を組み付けて、 [0012] Thereafter, the silicon wafer 14 is cut into each substrate 1 by using a dicing saw, and Daibondengu it to appropriate mother board, by assembling other silicon substrate formed with driving circuit section by LSI formation technique ,
この駆動回路部と上記の記録ヘッドとをワイヤボンディング等により端子接続し、この接続部分を樹脂保護層等により被覆して、実用単位の記録ヘッドが完成する。 And a driving circuit portion and the recording head and the terminal connected by wire bonding or the like, the connection portion is covered with a resin protective layer, a recording head of the practical unit is completed.

【0013】尚、シリコンウエハを用いず、ガラス基板に薄膜形成技術を利用して上記同様に、発熱部、配線電極、インク流路、吐出ノズル等からなる記録ヘッドを形成し、これに、別基板にLSI形成技術により形成した駆動回路部を接続する方法もある。 [0013] Incidentally, without using the silicon wafer in the same manner as described above using a thin film forming technique on a glass substrate, the heat generating portion, the wiring electrode, an ink flow path, the recording head is formed consisting of the discharge nozzle or the like, to another there is also a method of connecting a driving circuit portion formed by LSI formation technique on the substrate.

【0014】ところで、上述した記録ヘッドの一般的な寸法は、15×20mm程度の大きさであり、通常は主として家庭用に使用されるシリアル式プリンタの記録ヘッドとして用いられ、プリンタのキャリッジにインクカートリッジと共に搭載され、用紙の幅方向すなわち印字主走査方向(図5(a) に示す記録ヘッド15では図の左右方向)に往復移動して印字を実行する。 By the way, typical dimensions of the recording head described above has a size of about 15 × 20 mm, typically used as a serial type recording head of the printer to be used primarily for domestic, ink printer carriage mounted with the cartridge, performing printing by reciprocating in the width direction, that print main scanning direction of the paper (horizontal direction in FIG. in the recording head 15 shown in Figure 5 (a)).

【0015】ところが、現今ビジネス用としては一般的にA4判の用紙が用いられているがこのような用紙に高速に印字を行うには、上記のようなシリアル式プリンタではキャリッジの往復移動の速度を現行よりも上げることは困難であり、これでは処理速度が遅くてビジネス用としては実用的でない。 [0015] However, although generally the A4 size paper is used for the present day business printing on high speed such paper, the speed of the reciprocating movement of the carriage in a serial printer as above that it is difficult to raise than the current, this is slow processing speed is not practical for the business. 高速印字にに対応させるためには、ライン式プリンタ用の長尺化した記録ヘッドが必要である。 In order to cope with high-speed printing, it is necessary recording head elongated for line printer.

【0016】図7(a) は、そのような長尺化した記録ヘッドを示す図である。 [0016] FIG. 7 (a) is a diagram showing such elongated the recording head. 同図(a) に示す長尺記録ヘッド1 Long recording head shown in FIG. (A) 1
6は、図5(a) の記録ヘッド15を90度回転させ、その長手方向を延ばして、ノズル列の長さを用紙幅方向の印字領域の長さと同じになるように形成した長尺ヘッドチップ17を作成し、これを親基板18に取り付けて不図示の駆動回路と接続したものである。 6, the recording head 15 shown in FIG. 5 (a) is rotated by 90 degrees, by extending the longitudinal, long head formed with the length of the nozzle row to be the same as the length of the print area in the sheet width direction create a tip 17, which are connected with the drive circuit (not shown) is attached to this mother board 18. この長尺記録ヘッド16は、ライン式プリンタ本体に固定して取り付けられ、用紙のみが図の矢印Cで示す副走査方向に搬送されて、印字が実行されるものである。 The long recording head 16 is fixedly attached to a line type printer main body, it is conveyed only paper in the sub-scanning direction indicated by the arrow C in the figure, in which printing is performed.

【0017】しかしながら、上記のような長尺ヘッドチップ17を上述したシリコンウエハで作成するのでは、 [0017] However, of creating a silicon wafer as described above the long head chip 17 as described above,
シリコンウエハは丸いものであるから、6×25.4m Since the silicon wafer is round ones, 6 × 25.4m
mφ以上の大型のシリコンウエハを用いても、上記のような長尺ヘッドチップは1枚のシリコンウエハからはその直径方向に沿って2個か3個程度しが取れない。 Even using a large silicon wafer of the above mm in diameter, long head chips as described above one of the silicon wafers two or three approximately he along its diameter direction is not taken. したがって極めて歩留りが悪く高価なものとなって問題がある。 Therefore, it is extremely yield becomes as bad expensive problem.

【0018】シリコンウエハの代わりにガラス基板を用いれば、基板に対する取り数の問題は解決するが、これとても、記録ヘッドは製造現場で吐出ノズルに1個でも不良が検出されると記録ヘッド全体が不良として廃棄されるものであるため、長尺ヘッドチップの場合は1個の不良吐出ノズルによる廃棄のダーメージが大き過ぎるつまり歩留まりが極めて悪いという問題を有している。 [0018] By using the glass substrate instead of a silicon wafer, the number of issues taken with respect to the substrate is solved, this very, recording head has the entire recording head and failure is detected by one to the discharge nozzle at the manufacturing site because it is intended to be discarded as defective, that yield Dameji disposal by one defective ejection nozzle is too large in the case of long head chip has a very poor.

【0019】したがって、図5(a) 及び図6(c) に示した構成の小型記録ヘッドを多数作成し(これであると1 [0019] Therefore, to create a large number of structure of a small recording head shown in FIGS. 5 (a) and 6 (c) (when is this 1
個の不良吐出ノズルによる廃棄のダーメージが小さい)、これをヘッドチップ素子として複数個、その長手方向に接続することが考えられている。 Small Dameji disposal by number of defective ejection nozzle), a plurality, be connected to the longitudinal direction are considered this as the head chip device. しかし、この方法の実現は困難である。 However, implementation of this method is difficult.

【0020】図7(b) は、そのような複数個の小型記録ヘッドをヘッドチップ素子としてその長手方向に接続して長尺記録ヘッドを作成した場合の不具合を示す図である。 [0020] FIG. 7 (b) is a diagram showing a problem in the case of creating such a plurality of small recording heads are connected in the longitudinal direction thereof as a head chip element long recording head. 尚、同図(b) には、図5(a) 及び図6(c) に示した吐出ノズル12を実線で示し、オリフィス板9を透視的に示して、参考のため内部の構成を隔壁5(5−1、5 Incidentally, in FIG. (B) shows the discharge nozzle 12 shown in FIGS. 5 (a) and 6 (c) by the solid line, shows the orifice plate 9 in phantom, the partition wall an internal structure for reference 5 (5-1,5
−2)及びインク供給溝7のみ破線で示している。 -2) and the ink supply groove 7 only are indicated by broken lines.

【0021】同図(b) に示すように、記録ヘッド15の周囲は長手方向の端部も含めて幅dのインクをシールする封止隔壁5−1が形成されている。 As shown in FIG. (B), the periphery of the recording head 15 is sealed bulkhead 5-1 to seal the ink width d, including an end portion in the longitudinal direction is formed. したがって、記録ヘッド15を長手方向に単純に並べて接続したのでは、 Therefore, the recording head 15 is connected simply side by side in the longitudinal direction,
隣接する記録ヘッド15の端部の吐出ノズル12と吐出ノズル12とのピッチPdは、上記の幅dのインクシール部があるため、同じノズル列内の吐出ノズル12間の配設ピッチPよりも広くなる。 Pitch Pd of the discharge nozzle 12 of the end portion of the adjacent recording head 15 and the discharge nozzle 12, because of the ink sealing portion of the width d, than the arrangement pitch P between the discharge nozzle 12 in the same nozzle array It becomes wider.

【0022】したがって、複数個の小型記録ヘッドをヘッドチップ素子として用いて長尺記録ヘッドを作成するには、ヘッドチップ素子を長尺記録ヘッドの長手方向に千鳥の足跡状に配置して(以下、千鳥配置という)隣接するヘッドチップ素子の吐出ノズルを主走査方向に同一ピッチで連続させる方法が提案されている。 [0022] Therefore, to create a long recording head with a plurality of small recording head as a head chip element, the head chip elements arranged in a staggered footsteps shape in the longitudinal direction of the long recording head (hereinafter referred staggered arrangement) method for continuously at the same pitch the discharge nozzles of the adjacent head chip element in the main scanning direction has been proposed.

【0023】図8(a) は、そのような記録ヘッド15を小型ヘッドチップ素子として千鳥配置して形成された長尺記録ヘッドを示す図であり、同図(b) は、その隣接部分の拡大図である。 FIG. 8 (a) is a diagram showing such a long recording head formed by staggered recording head 15 as a small head chip element, FIG. (B) is, the adjacent portions is an enlarged view. 同図(a) に示すように、この長尺記録ヘッド20は、複数の小型の記録ヘッド(以下、ヘッドチップ素子という)21が親基板22の長手方向に千鳥配置されて形成されている。 As shown in FIG. 6 (a), the elongate recording head 20 has a plurality of small recording head (hereinafter, the head that the chip element) 21 is formed by staggered in the longitudinal direction of the mother substrate 22. この場合も、長尺記録ヘッド20は、ライン式プリンタ本体に固定され、用紙のみが図の矢印Eで示す副走査方向に搬送されて長尺記録ヘッド20による印字が実行される。 Again, a long recording head 20 is fixed to the line type printer main body, only the paper is printed by a long recording head 20 is transported in the sub-scanning direction indicated by the arrow E in FIG executed.

【0024】この長尺記録ヘッド20は、同図(b) に示すように、隣接するヘッドチップ素子21の端部が千鳥配置によってオーバーラップして、このオーバーラップ部分に、長手方向端部の封止隔壁5−1の幅dが吸収され、隣接するヘッドチップ素子21の端部の吐出ノズル12間の主走査方向のピッチがノズル列内の吐出ノズル12の配設ピッチと同一のピッチPとなっている。 [0024] The elongated recording head 20, as shown in FIG. (B), the ends of the adjacent head chip element 21 is overlapped by a staggered arrangement, in the overlap portion, the longitudinal ends absorbed width d of the sealing septum 5-1, arrangement pitch and the same pitch P of the pitch in the main scanning direction between the discharge nozzle 12 of the end portion of the adjacent head chip element 21 is the discharge nozzle 12 in the nozzle row It has become. これによって、支障なく画像が形成できると思われてきた。 This has been thought to image can be formed without any problem.

【0025】 [0025]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この千鳥配列の長尺記録ヘッドには思わぬ不具合の発生することが判明した。 The object of the invention is to, however, was found to be a problem of the generated unexpected is the long recording head of this staggered. 例えば、上記の図8(a) に示す千鳥配列の長尺記録ヘッド20には、図8(b) に示すように、隣接するヘッドチップ素子21の端部の吐出ノズル12間には、双方の短手方向端部の封止隔壁5−1の幅等に相当する距離Dのズレが副走査方向に生じている。 For example, the long recording head 20 of the zigzag arrangement shown above in FIG. 8 (a), as shown in FIG. 8 (b), between the discharge nozzle 12 of the end portion of the adjacent head chip element 21, both deviation of the distance D which corresponds to the width of the sealing septum 5-1 widthwise direction end portion is generated in the sub-scanning direction. この副走査方向のズレ量そのものは、本来は印字タイミングの制御によって容易に吸収できるものである。 Displacement amount itself of the sub-scanning direction is originally are those readily absorbed by the control of the printing timing.

【0026】ところが、印字される側の用紙が僅かでも斜行すると、上記の副走査方向の距離Dのズレによって、印字ドットに位置ズレが生じ、印字画像に副走査方向に走る白縞または黒縞が発生する。 [0026] However, the paper side to be printed is skew even slightly, the deviation in the sub-scanning direction a distance D above, occurs misalignment in printing dots, white stripes or black runs print image in the sub-scanning direction fringes. 特にノズル列が4 In particular, the nozzle column 4
列からなるカラー用のヘッドチップを千鳥配置してカラー用長尺記録ヘッドを構成したときにおいて、上記の不具合が目立つようになる。 In when a color for long recording head of the head chip for color consisting of columns and staggered, so that the above problem is noticeable.

【0027】図9は、ノズル列が4列からなるカラー用のヘッドチップを千鳥配置して構成したカラー用長尺記録ヘッドの部分拡大図である。 [0027] Figure 9, a head chip for color nozzle array consists of four columns is a partial enlarged view of the staggered arrangement to color for long recording head configuration. 同図に示すように、カラー用長尺記録ヘッド23は、親基板24の図の矢印Fで示す長手方向に多数のカラー用ヘッドチップ25(25 As shown in the figure, a color for long recording head 23 includes a plurality of color ink head chip 25 in the longitudinal direction indicated by the arrow F in FIG parent substrate 24 (25
−1、25−2、25−3、・・・)を千鳥配置して構成される。 -1,25-2,25-3, ...) constituted by a staggered arrangement of the.

【0028】各カラー用ヘッドチップ25は、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)及びクロ(K) The head chip 25 for each color, yellow (Y), magenta (M), cyan (C) and black (K)
の4色のインクに対応する4列のノズル列26(26− Nozzle rows 26 of four columns corresponding to the four color inks of (26-
1、26−2、26−3、26−4)を備えている。 It has a 1,26-2,26-3,26-4). 隣接するカラー用ヘッドチップ25(例えば25−1と2 Adjacent color ink head chip 25 (for example 25-1 and 2
5−2)間の同色のノズル列(例えばイエロー(Y)のノズル列26−1)間の端部の吐出ノズル27間の主走査方向のピッチは、ノズル列内の吐出ノズルの配列ピッチと同一のピッチPとなるように配置されているが、副走査方向のピッチLは、端部の隔壁28の幅の広さに加えて更に他の色の3列のノズル列が在る分だけ広くなっている。 Main scanning direction of the pitch between the discharge nozzle 27 of the end portion between the nozzle rows 26-1) 5-2) the same color nozzle array between (for example, yellow (Y) includes a arrangement pitch of the discharge nozzles in the nozzle row are disposed to have the same pitch P, the pitch L of the sub-scanning direction, by an amount that there is 3 nozzle arrays in addition to the size of the other colors of the width of the end portion of the partition wall 28 It is wider.

【0029】図10は、上記のカラー用長尺記録ヘッド23に対して斜行する用紙に生じる画像の不具合を説明する図である。 FIG. 10 is a diagram for explaining a problem of the image caused in the sheet to skew the color for long recording head 23 described above. 尚、同図は、用紙27とカラー用ヘッドチップ25との傾きの位置関係を分かり易く示すため、 Since the figure, which clearly show the positional relationship between the inclination of the sheet 27 and the color ink head chip 25,
用紙27に対してカラー用長尺記録ヘッド23を実際よりも相対的に大きく図示している。 It illustrates relatively larger than the actual color for long recording head 23 to the paper 27.

【0030】同図に示す用紙27は、本来は図の矢印G The sheet 27 shown in the figure, the arrow G in originally Figure
で示す正しい副走査方向に搬送されるべく設定されている。 It is set to be transported to the correct sub-scanning direction indicated by. 用紙27がこの正しい副走査方向Gに向かって搬送されていれば、隣接するカラー用ヘッドチップ25−1 If the paper 27 is long as it is conveyed toward this correct sub-scanning direction G, adjacent color ink head chips 25-1 to
と25−2の端部の吐出ノズル27と27の印字ドットは正しいピッチPの間隔を持って用紙27に印字される。 When print dots of discharge nozzles 27 and 27 of the end portion 25-2 is printed on the sheet 27 with an interval of correct pitch P.

【0031】しかし、用紙27が上記の正しい副走査方向Gに対して角度θの傾きをもつ矢印Hで示す方向に斜行すると、隣接するカラー用ヘッドチップ25−1と2 [0031] However, the sheet 27 is skewed in the direction indicated by the arrow H with a tilt angle θ with respect to the correct sub-scanning direction G, the color head chip 25-1 adjacent two
5−2の端部の吐出ノズル27と27の間には、前述したように副走査方向にピッチLの大きな距離が存在するから、それら印字ドット間の主走査方向の印字ピッチP′は「P′=P+Lsinθ」である。 Between the discharge nozzle 27 and 27 of the end of 5-2, because there is a large distance of the pitch L in the sub-scanning direction as described above, the printing pitch P 'in the main scanning direction between their print dots " it is a P '= P + Lsinθ ". すなわち、L In other words, L
sinθに相当する余分の距離、つまり空白部が発生する。 Extra distance corresponding to sin [theta, i.e. a blank portion is produced. これが大きいと、印字画像の副走査方向に走って現れる白縞(印字ズレ)の原因となる。 When this is large, causing white stripes (printing deviation) appearing run in the sub-scanning direction of the printed image.

【0032】また、特には図示しないが、用紙27が図とは逆方向に傾いて斜行すれば、隣接するカラー用ヘッドチップ25−1と25−2の端部の吐出ノズル27と27は相互に相手側のノズル列の内側にLsinθだけ入り込み、その分だけ二重の印字ドットが形成され、その印字画像には副走査方向に走る黒縞(印字ズレ)が現れる。 Further, although not shown in the figures, if skew inclined in a direction opposite to the sheet 27 in FIG., The discharge nozzle 27 and 27 of the end portion of the adjacent color ink head chip 25-1 to 25-2 mutually enter just Lsinθ inside of the mating of the nozzle row, that much double printing dots are formed, the black stripes (print shift) appears to run in the sub-scanning direction in the printed image.

【0033】また、隣接するヘッドチップの端部の吐出ノズル間の主走査方向のピッチがノズル列内の吐出ノズルの配設ピッチと同一のピッチPとなるようにヘッドチップを千鳥配置することは、従来より行われてきたことではあるが、その位置合せには高い精度が要求されるため極めて高度な技術を要し、長尺記録ヘッドの製造に手数がかかるという問題も有していた。 Further, the pitch in the main scanning direction between the discharge nozzle of the ends of adjacent head chips are staggered the head chip to have the same pitch P and arrangement pitch of the discharge nozzles in the nozzle row , albeit it has been done conventionally, but requires a highly sophisticated technique for high precision is required in its alignment, also had a problem that troublesome is applied to the production of a long recording head.

【0034】本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、 The object of the present invention has been made in view of the above conventional circumstances,
製造が容易で且つ用紙が斜行した場合にも画像の印字ズレを画質に影響の無い程度に小さく抑えることができる長尺記録ヘッドを提供することである。 To provide a long recording head which can suppress the print displacement of the images even if the manufacturing is easy and the sheet is skewed to the extent not affecting the image quality.

【0035】 [0035]

【課題を解決するための手段】以下に、本発明に係わる長尺記録ヘッドの構成を述べる。 The following SUMMARY OF THE INVENTION, describes the structure of a long recording head according to the present invention. 本発明の長尺記録ヘッドは、複数の記録ドットに対応する複数の記録作用部が所定ピッチで第1の方向に沿って配設された複数のチップ基板を上記第1の方向へ接合してなる長尺記録ヘッドであって、個々の上記チップ基板は、少なくとも一部が、隣接するチップ基板の少なくとも一部と、上記第1 Long recording head of the present invention, by joining a plurality of chip substrate having a plurality of recording action portion is disposed along the first direction at a predetermined pitch corresponding to a plurality of recording dots to the first direction comprising a long recording head, each of the chip substrate is at least partially, at least a portion of the adjacent chip substrate, the first
の方向に直交する方向において配設領域を分け合って配置され、双方の上記チップ基板の記録作用部が上記所定ピッチで上記第1の方向に沿って並設されて構成される。 Disposed Wakea' the arrangement region in a direction perpendicular to the direction of, and the recording action of both of the chip substrate is arranged along the first direction at the predetermined pitch.

【0036】上記チップ基板は、例えば請求項2記載のように、複数の上記記録作用部からなる上記第1の方向に沿った2列の記録作用部列を備えることが好ましい。 [0036] The chip substrate, for example as in claim 2, it is preferable that a recording action portion two rows along the first direction comprising a plurality of the recording action part.
また、例えば請求項3記載のように、上記チップ基板の上記記録作用部列は、インクジェットプリントヘッドのインクを吐出する吐出ノズルからなるノズル列であってもよい。 For example, as in claim 3, wherein said recording action portion rows of the chip substrate may be a nozzle array consisting of a discharge nozzle for discharging the ink of the ink jet printhead. この場合、上記チップ基板は、例えば請求項4 In this case, the chip substrate, for example claim 4
記載のように、吐出するインクの色毎に上記記録作用部列を備えるようにしてもよく、また、例えば請求項5記載のように、台形をなし、複数の上記記録作用部からなる上記第1の方向に沿った1列の記録作用部列を備えて構成してもよい。 As described, may be provided the recording action part rows for each color of ink to be ejected, also, for example, as according to claim 5, a trapezoidal, the first consisting of a plurality of the recording action part it may be configured with a single row recording action portion array of along the first direction.

【0037】 [0037]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be described with reference to the accompanying drawings of embodiments of the present invention. 図1(a) は第1の実施の形態におけるチップ基板としての単色用のヘッドチップの構成を示す平面図であり、同図(b) はこのヘッドチップを第1の方向としての長手方向に接続してなる単色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 1 (a) is a plan view showing a head chip configuration for a single color as a chip substrate in the first embodiment, FIG. (B) in the longitudinal direction of the head chip as a first direction it is a diagram illustrating a long recording head for monochromatic formed by connecting. 尚、同図(a) には、チップ基板31上に形成されている最上層のオリフィス板3 Incidentally, in FIG. (A) is an orifice plate 3 of the uppermost layer formed on the chip substrate 31
2を透視的に示し、そのオリフィス板32に形成されている吐出ノズル33(33、33n、33g)を実線で示し、封止隔壁34−1と区画隔壁34−2及びインク供給溝35を破線で示している。 2 perspectively illustrates, the orifice plate 32 to the discharge are formed nozzle 33 (33,33n, 33g) are shown in solid lines, broken lines compartments partition walls 34-2 and the ink supply groove 35 and sealing the partition wall 34-1 It is indicated by. また、その他の構成部分は図示を省略している(図6(c) 参照)。 Further, other components are omitted (see Figure 6 (c)).

【0038】図1(a) に示すヘッドチップ30は、S The head chip 30 shown in FIG. 1 (a), S
i、ガラス、セラミックス、絶縁被覆した金属基板などからなる不図示の基板上を多数区画して得られる多数のチップ基板の内の一個のチップ基板31内に、上記の吐出ノズル33、封止隔壁34−1、区画隔壁34−2、 i, glass, ceramics, in one of the chip substrate 31 of a number of the chip substrate obtained by partitioning a number of not shown of the upper substrate made of a metal substrate with an insulating coating, said discharge nozzle 33, sealing septum 34-1, compartment partition walls 34-2,
インク供給溝35、及びその他の内部構造を付帯する2 Ink supply groove 35, and 2 that accompanies other internal structures
列のノズル列36(36−1、36−2)を備えている。 It has rows of nozzle rows 36 (36-1 and 36-2).

【0039】2列のノズル列36−1と36−2はヘッドチップ長手方向(印字主走査方向)に沿って形成され、一方が他方に対して距離mだけヘッドチップ短手方向に平行移動して配置されている。 The nozzle row 36-1 in the second column and 36-2 are formed along the head chips longitudinal direction (print main scanning direction), one moves parallel to the head chip lateral direction by a distance m with respect to the other It is arranged Te. そして、2列のノズル列36−1及び36−2の各内端部の吐出ノズル33 Then, the respective inner ends of the nozzle rows 36-1, and 36-2 in the second column discharge nozzle 33
nと33n間のヘッドチップ長手方向の配設ピッチPは各ノズル列36内の吐出ノズル33の配設ピッチPと同一に形成されている。 Arrangement pitch P in the head chip longitudinal direction between n and 33n are formed in the same arrangement pitch P of the discharge nozzle 33 in each nozzle row 36.

【0040】また、2列のノズル列36−1及び36− [0040] In addition, the two nozzle arrays 36-1 and 36-
2の各外端部の吐出ノズル33g及び33gの加圧室3 2 of the pressurizing chamber 3 of the discharge nozzle 33g and 33g of the outer ends
7の背後の基板領域は、加圧室37の幅のほぼ1/2に相当する部分まで鉤型に切り欠かれている。 Substrate region behind the 7 is notched to hook up to a portion corresponding to approximately 1/2 of the width of the pressurizing chamber 37. そして、その加圧室37の背後の切り欠かれ部分の封止隔壁34− The sealing septum of cutaway portion behind the pressure chamber 37 34-
1′は、外端部の吐出ノズル33gのただ1個の加圧室37の背後1/2だけを封止すればよく、したがって、 1 'may be sealed only behind half of only one pressure chamber 37 of the discharge nozzle 33g of the outer end portion, therefore,
通常の封止隔壁より強度は低くても支障はないので、図8(b) に示した封止隔壁5−1よりも幅が薄く出来ている。 Since there is no harm than the intensity is low normal sealing septum, the width is made thinner than that of the sealing septum 5-1 shown in Figure 8 (b).

【0041】したがって、上記の距離m(ヘッドチップ短手方向の平行移動量つまり位置ズレ量)は、ノズル列36−1及び36−2の外端部の吐出ノズル33gの加圧室37の背後を封止する隔壁34−1′の幅を薄く形成できるので、図8(b) に示したズレ量Dよりも小さい。 [0041] Thus, (the amount of parallel movement, that positional deviation of the head chip short direction) above the distance m is behind the pressure chamber 37 of the discharge nozzle 33g of the outer end portion of the nozzle rows 36-1, and 36-2 since thin width of the partition wall 34-1 'to seal the smaller than deviation amount D shown in Figure 8 (b). このように不図示の基板上に形成されたヘッドチップ30は、作業能率の良いダイシングソウーなどで一旦直方形に切り出された後、切り欠き部分をウォータージェット又はレーザーなどを用いて切断される。 Thus the head chip 30 formed on a substrate (not shown), after being cut once straight rectangular like a good dicing saw over the work efficiency, is cut with a cut-out portion such as a water jet or laser .

【0042】このようにして作成されたヘッドチップ3 The head chip 3, which is created in this way,
0を、図1(b) に示すように、不図示の親基板上において、その矢印Jで示す長手方向に直線状にヘッドチップ30−1、30−2、30−3、・・・というように連続して並べて接続し、単色用の長尺記録ヘッド37を形成する。 0, as shown in FIG. 1 (b), on the mother board (not shown), the head chips 30-1, 30-2, and 30-3 in the longitudinal direction linearly as indicated by the arrow J, as ... connect arranged continuously so as to form a long recording head 37 for a single color.

【0043】このとき、隣接するヘッドチップ30(例えば30−1と30−2)の上記切り欠きによって形成されている凸部が相手側の凹部に相互に入れ合って密着し、これによって、個々のヘッドチップ30は、上記第1の方向である親基板の長手方向に沿って所定ピッチ(ヘッドチップ30の長手方向の長さから一方の切り欠き部の長手方向の長さを引いた長さ)で正確に並設されると共に、接合部の少なくとも一部(凸部)が、隣接するヘッドチップ30の接合部の少なくとも一部(凸部) [0043] In this case, close contact convex portions are formed by the notch of the adjacent head chip 30 (e.g., 30-1 and 30-2) are each other placed in one another in the recess of the mating, thereby, each the head chip 30 has a length obtained by subtracting the longitudinal length of one of the cutout portion from the longitudinal length of said first predetermined pitch along the longitudinal direction of the mother substrate which is a direction (the head chip 30 precisely with are aligned with) at least a portion of the joint portion (convex portion), at least a portion of the joint portion of the head chip 30 adjacent (convex)
と、第1の方向に直交する方向において配設領域を分け合って配置される。 When it is arranged Wakea' the arrangement region in a direction perpendicular to the first direction.

【0044】この状態において、先頭のヘッドチップ3 [0044] In this state, the head of the head chip 3
0−1のノズル列36−1、36−2、次のヘッドチップ30−2のノズル列36−1、36−2、更に次のヘッドチップ30−3のノズル列36−1、36−2、・ 0-1 of nozzle rows 36-1, 36-2, the nozzle array 36-1 and 36-2 of the next head chip 30-2 further nozzle row next head chip 30-3 36-1, 36-2 , -
・・というように、親基板上に配列されるノズル列は千鳥配置されている。 And so .., nozzle rows arranged on the mother board are staggered. そして、ヘッドチップ30−1のノズル列36−2の外端部の吐出ノズル33gと、これに隣接するヘッドチップ30−2のノズル列36−1の外端部の吐出ノズル33gとの長手方向の配設ピッチP Then, the longitudinal direction of the discharge nozzle 33g of the outer end portion of the nozzle rows 36-2, and the discharge nozzle 33g of the outer end of the nozzle row 36-1 of the head chip 30-2 adjacent thereto of the head chip 30-1 the arrangement pitch P of
は、1ヘッドチップ内の長手方向の吐出ノズル33、3 The longitudinal direction of the discharge nozzle in one head chip 33,3
3n及び33gの配設ピッチと同一のピッチになっている。 It has the same pitch and arrangement pitch of the 3n and 33 g. 次に隣接するヘッドチップとの関係も同様である。 Next is the same relationship to the adjacent head chips.

【0045】このように、凸部と凹部を相互に入れ合ってヘッドチップ30(30−1、30−2、30−3、 [0045] Thus, the head chip 30 by each other putting a convex portion and a concave portion to each other (30-1,
・・・)を直線状に並設するだけで、ヘッドチップ間の長手方向端部の吐出ノズル間のピッチを、ヘッドチップ内の吐出ノスルの配設ピッチと同一にして位置合せできるので、単色用の長尺記録ヘッド37を作成する際のヘッドチップの位置合せが容易となって作業能率が向上する。 Simply juxtaposed ...) linearly, the pitch between the longitudinal end portion the discharge nozzle of between head chips, since it aligned in the same arrangement pitch of the ejection Nosuru in the head chip, a single color head alignment of the chip in creating a long recording head 37 of the use is improved work efficiency becomes easier.

【0046】また、隣接するヘッドチップの接続端部の吐出ノズル間の副走査方向のズレ量mが、従来のズレ量Dよりも小さいので、用紙の斜行が発生しても印字画像に印字ズレが殆ど生じなくなる。 [0046] Further, the deviation amount m of the sub-scanning direction between the discharge nozzle connecting end portions of adjacent head chips, the conventional smaller than deviation amount D, printing the print image is also skew of the sheet is generated shift does not occur almost. すなわち、印字ズレが生じても小さく抑えることができる。 That is, it is possible to suppress even the printing misalignment occurs. 例えば、ズレ量m For example, the shift amount m
を600μmとすれば、用紙の斜行角度θが1°であった場合の印字ドットのズレ量は、600μm×sin If the a 600 .mu.m, the amount of deviation of the printing dots in the case skew angle θ of the paper was 1 ° are, 600 .mu.m × sin
(1°)=10.5μmであって極く僅かなズレ量に収まっている。 (1 °) a = 10.5 [mu] m is within a very small amount of deviation.

【0047】図2(a) は、第2の実施の形態におけるチップ基板としての多色用のヘッドチップの構成を示す平面図であり、同図(b) はこのヘッドチップを第1の方向としての長手方向に接続してなる多色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 [0047] FIG. 2 (a) is a plan view showing a head chip of the configuration of the multi-color as a chip substrate in the second embodiment, FIG. (B) is the head chip first direction it is a diagram illustrating a long recording head for multicolor formed by connecting the longitudinal direction of the. 尚、同図(a) も、チップ基板41上に形成されている最上層のオリフィス板42を透視的に示し、そのオリフィス板42に形成されている吐出ノズル43(43、43n、43g)を実線で示し、封止隔壁44−1と区画隔壁44−2及びインク供給溝45を破線で示している。 Incidentally, FIG. (A) also the orifice plate 42 of the uppermost layer formed on the chip substrate 41 perspectively illustrates, the discharge nozzle 43 formed in the orifice plate 42 (43,43n, 43g) indicated by the solid line, it shows a compartment partition wall 44-2 and the ink supply groove 45 by a broken line and a sealing septum 44-1. また、その他の構成部分は図示を省略している。 Further, other components are omitted.

【0048】図2(a) に示すヘッドチップ40は、S The head chip 40 shown in FIG. 2 (a), S
i、ガラス、セラミックス、絶縁被覆した金属基板などからなる不図示の基板上に多数区画されて形成された一個のチップ基板41内に、上記の吐出ノズル43、封止隔壁44−1、区画隔壁44−2、インク供給溝45、 i, glass, ceramics, an insulating coated single chip substrate 41 formed with a large number partitioned on a substrate (not shown) such as made of metal substrate, said discharge nozzle 43, sealing septum 44-1, partition bulkhead 44-2, the ink supply groove 45,
及びその他の内部構造を付帯する2列のノズル列46 And two rows of incidental other internal structures nozzle row 46
(46−1、46−2)を、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)及びクロ(K)毎に備えている。 The (46-1 and 46-2), yellow (Y), magenta (M), are provided for each cyan (C) and black (K).

【0049】上記各色毎の2列のノズル列46−1と4 The two nozzle rows for each of the one color 46-1 and 4
6−2はヘッドチップ40の横方向(印字主走査方向) 6-2 lateral head chip 40 (printed main scanning direction)
に沿って形成され、一方が他方に対して距離mだけヘッドチップ40の縦方向(副走査方向)に平行移動して配置され、2列のノズル列46−1及び46−2の各内端部の吐出ノズル43nと43n間のヘッドチップ横方向の配設ピッチPは各ノズル列46内の吐出ノズル43の配設ピッチと同一に形成されている。 Formed along, one of which is arranged to move parallel to the longitudinal direction (sub-scanning direction) of the head chip 40 by a distance m with respect to the other, each inner end of the nozzle rows 46-1, and 46-2 in the second column arrangement pitch P in the head chip laterally between the discharge nozzle 43n and 43n parts are formed in the same arrangement pitch of the discharge nozzle 43 in each nozzle row 46.

【0050】換言すれば、この多色用のヘッドチップ4 [0050] In other words, the head chip 4 for this multicolor
0は、図1(a) に示した単色用のヘッドチップ30を、 0, the head chip 30 for the single color as shown in FIG. 1 (a),
その短手方向に4個連続して並べた形状を成している。 It forms four consecutive side by side shape in its lateral direction.
これにより、このヘッドチップ40は、前述した切り欠き部である4個の凹部47とこれにより形成された4個の凸部48を有している。 Thus, the head chip 40 has four protrusions 48 formed thereby with four recesses 47 is a cut-away portion described above.

【0051】このヘッドチップ40も、先ずダイシングソウーで切り出した後、切り欠き部分をウォータージェット又はレーザーなどを用いて切断して形成される。 [0051] The head chip 40 is also first was cut with a dicing saw over, are formed by cutting with a cutout portion, such as a water jet or laser. このようにして作成されたヘッドチップ40を、図2(b) The head chips 40 created in this manner, and FIG. 2 (b)
に示すように、不図示の親基板上において、その矢印K As shown in, on the mother board (not shown), the arrow K
で示す長手方向に直線状にヘッドチップ40−1、40 Head chip 40-1,40 longitudinally linearly indicated by
−2、40ー3、・・・というように連続して並べて接続し、多色用の長尺記録ヘッド49を形成する。 -2,40-3 consecutive side by side connected and so, ..., forming a long recording head 49 for multicolor.

【0052】この場合も、隣接するヘッドチップ40の上記凸部48が相手側の凹部47に相互に入れ合って密着し、個々のヘッドチップ40は、第1の方向(吐出ノズル配列方向)である親基板の長手方向に沿って所定ピッチ(ヘッドチップ40の横方向の長さから一方の凹部47の横方向の長さを引いた長さ)で並設されると共に接合部の少なくとも一部(凸部48)が、隣接するヘッドチップの接合部の少なくとも一部(凸部48)と、第1の方向に直交する方向において配設領域を分け合って配置される。 [0052] In this case, close contact the convex portion 48 of the head chip 40 adjacent to each other placed in one another in the recess 47 of the mating individual head chips 40, in a first direction (ejection nozzle array direction) at least a portion of the junction with the longitudinal direction of a parent substrate is arranged at a predetermined pitch (a length obtained by subtracting the horizontal length of one of the recesses 47 from the horizontal direction length of the head chip 40) (convex portion 48) is, at least a portion of the junction of adjacent head chips (the convex portion 48) is disposed Wakea' the arrangement region in a direction perpendicular to the first direction.

【0053】そして、この場合も隣接するヘッドチップ40(例えば40−1と40−2)の一方のヘッドチップ40−1のノズル列46−2の外端部の吐出ノズル4 [0053] The head chip 40 (e.g., 40-1 and 40-2) ejection nozzle 4 of the outer end of the nozzle row 46-2 of the head chip 40-1 of one of the adjacent Again
3gと、他方のヘッドチップ40−2のノズル列46− And 3g, the nozzle row of the other head chip 40-2 46-
1の外端部の吐出ノズル43gとの横方向の配設ピッチは、1ヘッドチップ内の横方向の吐出ノズル43、43 Arrangement pitch of the transverse direction between the first discharge nozzle 43g of the outer end portion, the lateral discharge nozzles in one head chip 43 and 43
n及び43gの配設ピッチと同一のピッチPとなっている。 It has the same pitch P and alignment pitch of n and 43 g.

【0054】このように、1ヘッドチップ内に複数列(本例では4列)の色別のノズル列を有する多色用のヘッドチップ40を、親基板の長手方向に直線状に並設するだけでヘッドチップ40と40の間の横方向端部の吐出ノズル43g間のピッチをヘッドチップ40内の吐出ノズル43の配設ピッチと同一にして位置合せできるので、多色用の長尺記録ヘッド49を作成する際のヘッドチップ40の位置合せが容易となって作業能率が向上する。 [0054] Thus, the first head chip 40 for multicolor with Color nozzle row (four columns in this example) a plurality of rows in the head chip, and arranged in a straight line in the longitudinal direction of the mother substrate because only possible arrangement aligned in the same pitch of the discharge nozzles 43 of the head chip 40 a pitch between lateral ends of the discharge nozzle 43g between the head chips 40 and 40, the long record for multicolor alignment of the head chip 40 for creating the head 49 is improved work efficiency becomes easier.

【0055】また、隣接するヘッドチップ40間の1色毎のノズル列46−1及び46−2の副走査方向の位置ズレ量mが、単色用のヘッドチップ30の場合の位置ズレ量mと同一であるので、従来の多色用のヘッドチップ(図9参照)を千鳥配置した場合の大きな位置ズレ量(図10参照)の場合と比較して、用紙に斜行が発生しても印字画像の印字ズレを従来よりも極めて小さく抑えることができる。 [0055] The position deviation amount m of the sub-scanning direction of one nozzle array of each color 46-1 and 46-2 between the head chips 40 adjacent to each, the positional shift amount m in the case of the head chip 30 for a single color are the same, as compared with the case of the head chip for a conventional multi-color large positional displacement amount in the case of the (see FIG. 9) and staggered (see FIG. 10), even if skew is generated in the paper printing printing deviation of an image can be suppressed to an extremely smaller than conventional.

【0056】すなわち、この場合も単色用の長尺記録ヘッド37の場合と同様に、ズレ量mを600μmとすれば、用紙の斜行角度θが1°であった場合の印字ドットのズレ量は、600μm×sin(1°)=10.5μ [0056] That is, as in the case of a long recording head 37 for monochromatic Again, if the shift amount m and 600 .mu.m, the amount of deviation of the printing dots in the case skew angle θ of the paper was 1 ° is, 600μm × sin (1 °) = 10.5μ
mであって極く僅かなズレ量に収まることになる。 A m will be fit in very small amount of deviation.

【0057】図3(a) は、第3の実施の形態におけるチップ基板としての単色用のヘッドチップ50の構成を示す平面図であり、同図(b) はこのヘッドチップを第1の方向としての長手方向に接続してなる単色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 [0057] FIG. 3 (a) is a plan view showing the configuration of a head chip 50 for a single color as a chip substrate in the third embodiment, FIG. (B) is the head chip first direction it is a diagram illustrating a long recording head for monochromatic formed by connecting the longitudinal direction of the. 尚、この図3(a) も、チップ基板51上に形成されている最上層のオリフィス板52を透視的に示し、そのオリフィス板52に形成されている吐出ノズル53(53、53n、53g)を実線で示し、封止隔壁54−1と区画隔壁54−2及びインク供給溝55を破線で示している。 Note that the FIGS. 3 (a) also, the chip substrate 51 an orifice plate 52 of the uppermost layer formed on the perspectively illustrates, the orifice plate 52 discharge is formed in the nozzle 53 (53,53n, 53g) is indicated by a solid line, it shows a compartment partition wall 54-2 and the ink supply groove 55 by a broken line and a sealing septum 54-1. また、その他の構成部分は図示を省略している。 Further, other components are omitted.

【0058】この図3(a) に示すヘッドチップ50も、 [0058] head chip 50 shown in FIG. 3 (a) also
Si、ガラス、セラミックス、絶縁被覆した金属基板などからなる不図示の基板上に多数区画され形成された一個のチップ基板51内に形成され、全体として平行四辺形をなし、上記の吐出ノズル53、封止隔壁54−1、 Si, glass, ceramics, are formed in the metal substrate, such as from consisting not shown are numerous partitioned on a substrate of one of which is formed chip substrate 51 insulating coating, without a parallelogram as a whole, the above-mentioned discharge nozzle 53, sealing the partition wall 54-1,
区画隔壁54−2、インク供給溝55、及びその他の内部構造を付帯する2列のノズル列56(56−1、56 Compartment partition wall 54-2, the ink supply groove 55, and the other two rows of nozzle arrays that accompanies the internal structure 56 (56-1,56
−2)を備えている。 And a -2).

【0059】このヘッドチップ50は、いわば図1に示した単色用のヘッドチップ30に、切り欠き部による凹部と凸部を形成する代わりに、その凹部と凸部を連続する傾斜部としたものであり、チップ基板51に形成されている2列のノズル列56(56−1、56−2)の構成は、ヘッドチップ30の場合と同様である。 [0059] The head chip 50 is, as it were in the head chip 30 for the single color as shown in FIG. 1, instead of forming the concave and convex portions by notches, that an inclined portion continuous with the recesses and projections , and the configuration of the nozzle array 56 of two rows are formed on the chip substrate 51 (56-1 and 56-2) is the same as the case of the head chip 30.

【0060】すなわち、2列のノズル列56−1と56 [0060] That is, two rows of nozzle rows 56-1 and 56
−2は、ヘッドチップ50の長手方向に沿って形成され、一方が他方に対して距離mだけ吐出ノズル配列方向に対して直角方向に平行移動して配置されている。 -2 are formed along the longitudinal direction of the head chip 50, are arranged to move in parallel in a direction orthogonal one is only for the discharge nozzle arrangement direction distance m with respect to the other. そして、2列のノズル列56−1及び56−2の各内端部の吐出ノズル53nと53n間のヘッドチップ長手方向の配設ピッチPは、各ノズル列56内の吐出ノズル53の配設ピッチと同一に形成されている。 The arrangement pitch P of the head chip longitudinal direction between the discharge nozzles 53n of the inner end of the nozzle rows 56-1, and 56-2 in the second column and 53n are disposed in the discharge nozzle 53 in each nozzle row 56 They are formed in the same pitch.

【0061】このヘッドチップ50は、直線で囲まれた平行四辺形であって側部に切り欠き部が無いので、シリコンウエハをヘッドチップ毎に仕切るスクライブラインを、直交する格子形ではなく、交差するスクライブラインの一方を斜めにして仕切るだけで良く、取り数に無駄が無く、歩留りが良くなる。 [0061] The head chip 50, since the parallelogram is a no-outs cut into the side and surrounded by a straight line, a scribe line for dividing the silicon wafer for each head chip, rather than a lattice orthogonal, intersect one of the scribe line need only divide by diagonally to, there is no waste in the number of birds, the yield can be improved. また、直線で囲まれた平行四辺形であるので、基板からの切り出しはダイシングソーのみで良く、切り出し作業が簡単である。 Further, since a parallelogram surrounded by straight lines, cut from the substrate well only dicing saw, is simple cut work.

【0062】このようにして作成されたヘッドチップ5 [0062] head chip 5 that have been created in this way,
0を、図3(b) に示すように、不図示の親基板上において、その矢印Nで示す長手方向に直線状にヘッドチップ50−1、50−2、50−3、・・・というように連続して並べて接続し、単色用の長尺記録ヘッド57を形成する。 0, as shown in FIG. 3 (b), on the mother board (not shown), the head chips 50-1, 50-2, 50-3 in the longitudinal direction linearly as indicated by the arrow N, that ... connect arranged continuously so as to form a long recording head 57 for a single color.

【0063】このとき、隣接するヘッドチップ50(例えば50−1と50−2)の側部の傾斜部を相互に密着させ、これによって、個々のヘッドチップ50は、親基板の長手方向に沿って所定ピッチ(ヘッドチップ50の平行四辺形の長辺の長さ)で並設されると共に、接合部の少なくとも一部(この場合は全部)が、隣接するヘッドチップ50の接合部の少なくとも一部(全部)と、第1の方向である親基板の長手方向に直交する方向において配設領域を斜めに分け合って配置される。 [0063] At this time, another is in close contact with the inclined portion of the side of the adjacent head chip 50 (e.g., 50-1 and 50-2), whereby the individual head chips 50, along the longitudinal direction of the mother substrate while being arranged at a predetermined pitch (the length of the long side of the parallelogram of the head chip 50) Te, at least a part of the joint (total in this case) is the junction of the head chips 50 adjacent at least a parts and (all), are arranged Wakea' the arrangement region obliquely in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the parent board is a first direction.

【0064】この状態において、隣接するヘッドチップとの間で向き合うノズル列の端部は平行四辺形の鋭角な角を有する端部に近接して配置されている。 [0064] In this state, the end of the nozzle row facing between adjacent head chips are arranged in proximity to an end portion having a sharp corner of the parallelogram. そして、隣接するヘッドチップの一方のヘッドチップ50−1のノズル列56−2の上記鋭角な角を有する端部に近接する外端部の吐出ノズル53gと、他方のヘッドチップ50 Then, a discharge nozzle 53g of the outer end portion adjacent the end having the sharp corners of the nozzle row 56-2 of one of the head chips 50-1 adjacent head chips, other head chip 50
−2のノズル列56−1の同じく鋭角な角を有する端部に近接する外端部の吐出ノズル53gとの長手方向の配設ピッチPは、1ヘッドチップ内の長手方向の吐出ノズル53、53n及び53gの配設ピッチと同一のピッチになっている。 Longitudinal arrangement pitch of the discharge nozzles 53g of the outer end portion proximate the end having the same sharp corners of the nozzle rows 56-1 -2 P is 1 head longitudinal direction of the discharge nozzle 53 in the chip, It has become arrangement pitch and the same pitch 53n and 53 g.

【0065】このように、側部の傾斜部を相互に接着してヘッドチップ50(50−1、50−2、50−3、 [0065] Thus, the head chip 50 by bonding the inclined portion of the side to each other (50-1, 50-2, 50-3,
・・・)を直線状に並設するだけで、ヘッドチップ間の長手方向端部の吐出ノズル間のピッチを、ヘッドチップ内の吐出ノスルの配設ピッチと同一にして位置合せできるので、単色用の長尺記録ヘッド57を作成する際のヘッドチップの位置合せが容易となって作業能率が向上する。 Simply juxtaposed ...) linearly, the pitch between the longitudinal end portion the discharge nozzle of between head chips, since it aligned in the same arrangement pitch of the ejection Nosuru in the head chip, a single color head alignment of the chip in creating a long recording head 57 of the use is improved work efficiency becomes easier.

【0066】図4(a) は、第4の実施の形態におけるチップ基板としての単色用のヘッドチップの構成を示す平面図であり、同図(b) はこのヘッドチップを第1の方向としての長手方向に接続してなる単色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 [0066] FIG. 4 (a) is a plan view showing the configuration of a head chip for a single color as a chip substrate in the fourth embodiment, FIG. (B) is the head chip as a first direction is a diagram illustrating a long recording head for monochromatic formed by connecting the longitudinally. 尚、この図4(a) に示すヘッドチップ60においては、チップ基板61上に形成されている最上層のオリフィス板62を透視的に示し、そのオリフィス板62に形成されている吐出ノズル63を実線で示し、封止隔壁64−1と区画隔壁64−2及びインク供給溝65を破線で示している。 Incidentally, in the head chip 60 shown in FIG. 4 (a), the orifice plate 62 of the uppermost layer formed on the chip substrate 61 perspectively illustrates, the discharge nozzle 63 formed in the orifice plate 62 indicated by the solid line, it shows a compartment partition wall 64-2 and the ink supply groove 65 by a broken line and a sealing septum 64-1. また、その他の構成部分は図示を省略している。 Further, other components are omitted.

【0067】この図4(a) に示すヘッドチップ60も、 [0067] The head chip 60 shown in FIGS. 4 (a) also
Si、ガラス、セラミックス、絶縁被覆した金属基板などからなる不図示の基板上に多数区画されてなるチップ基板の内の一個のチップ基板61内に形成され、全体として台形をなし、上記の吐出ノズル63、封止隔壁64 Si, glass, ceramics, formed in one of the chip substrate 61 of a number partitioned comprising chip substrate on a substrate (not shown) made of a metal substrate covered with an insulator, a trapezoidal overall, said discharge nozzle 63, a sealing partition wall 64
−1、区画隔壁64−2、インク供給溝65、及びその他の内部構造を付帯する1列のノズル列66を備えている。 -1, and a partition septum 64-2, the ink supply groove 65 and one nozzle rows 66 that accompanies the other internal structures. この1列のみのノズル列66は、ヘッドチップ60 Nozzle array 66 of only the first column, the head chip 60
の上記台形の長辺に平行し、その長辺に近接して形成されている。 Of and parallel to the trapezoid long sides, it is formed adjacent to the long side.

【0068】尚、このヘッドチップ60の切断は、図1 [0068] Incidentally, the cutting of the head chip 60, FIG. 1
(a) のヘッドチップ30の場合と同様である。 Is the same as that of the head chip 30 (a). また、ヘッドチップ内のノズル列66が1列のみであるので、ヘッドチップ内における吐出ノズル63に対応する発熱部の配置、この発熱部に対する配線電極の引き回し等の構成を同一方向に形成可能となり、ヘッドチップ内の各吐出ノズル66に対する条件の均一性が得られて信頼性が向上する。 Further, since the nozzle row 66 in the head chip is only one column, the arrangement of the heat generating portion corresponding to the ejection nozzles 63 in the head chip, it is possible to form a structure of a lead or the like of the wiring electrodes against the heating unit in the same direction uniformity of conditions obtained for each of the discharge nozzles 66 in the head chip reliability is improved.

【0069】このようにして作成されたヘッドチップ6 [0069] The head chip 6 that has been created in this way,
0を、図4(b) に示すように、不図示の親基板上において、その矢印Qで示す長手方向に略直線状に、但し後述する隣接ヘッドチップ間の吐出ノズル配設ピッチPが得られるように短手方向に多少ずらして、ヘッドチップ6 0, as shown in FIG. 4 (b), on the mother board (not shown) substantially linearly in the longitudinal direction indicated by the arrow Q, except resulting ejection nozzle arrangement pitch P between adjacent head chips which will be described later are as somewhat shifted in the lateral direction, the head chip 6
0−1、60−2、60−3、・・・というように隣接するヘッドチップの一方を他方に対して180°回転させた形状で連続して並べて接続し、単色用の長尺記録ヘッド67を形成する。 0-1,60-2,60-3, one of the head chips adjacent to that ... connected side by side in succession in a shape rotated by 180 ° with respect to the other, long recording head for monochromatic 67 to the formation.

【0070】これによって、隣接するヘッドチップ60 [0070] The head chip 60 Thus, the adjacent
のノズル列66が互いに千鳥配列になり、隣接するヘッドチップ60(例えば60−1と60−2)のノズル列66の端部の吐出ノズル63と63の長手方向(主走査方向)の配設ピッチPは、1ヘッドチップ内の長手方向の吐出ノズル63のピッチと同一のピッチになっている。 Becomes the nozzle row 66 is staggered from each other, arranged adjacent head chips 60 (e.g. 60-1 and 60-2) ends of the discharge nozzles 63 and 63 in the longitudinal direction of the nozzle rows 66 of the (main scanning direction) pitch P is made in the longitudinal direction the same pitch as the pitch of the discharge nozzles 63 of the first head chip.

【0071】この場合、隣接するヘッドチップ60のノズル列66間の副走査方向のズレ量m′は、上述してきた第1〜第3の実施の形態の場合のズレ量mに比較してやや大きくなるが、一例としてm′=1000μmとしても、用紙の斜行角θ=1°に対して、印字ドットのズレ量は1000μm×sin(1°)=17.5μmであって極めて僅かのズレ量に抑えることができる。 [0071] In this case, the deviation amount m of the sub-scanning direction between the nozzle rows 66 of the head chip 60 adjacent 'is slightly larger than the shift amount m in the case of the first to third embodiments have been described above It becomes, but as m '= 1000 .mu.m as an example, with respect to the skew angle theta = 1 ° of the paper, the deviation amount is 1000μm × sin (1 °) = a 17.5μm very little deviation of printed dots it can be suppressed to.

【0072】また、上記副走査方向のズレ量m′を小さくするには、斜辺部の封止隔壁24−1の幅を可能な範囲で小さくし、隣接するヘッドチップ60相互の短手方向のズレを小さくすればよい。 [0072] Further, in order to reduce the sub-scanning direction shift amount m 'is smaller in width range of the sealing septum 24-1 hypotenuse portion of the adjacent head chips 60 to each other in the transverse direction it is sufficient to reduce the deviation. 尚、上記実施形態では、 In the above embodiment,
同一形状のヘッドチップを接合しているが、これに限らず、吐出ノズルの並設方向にヘッドチップを接合できれば、個々のヘッドチップの形状は互いに異なっていてもよい。 Although joining the head chip of the same shape, not limited to this, if joining the head chip in the arrangement direction of the discharge nozzle, the shape of each of the head chips may be different from each other.

【0073】また、本発明は、インクジェットプリントヘッドに限らず、例えばLED式電子写真記録装置における光書き込みヘッド等、複数の記録作用部が並設されてなる種々の記録ヘッドに広く適用できることは、勿論である。 [0073] Further, the present invention is not limited to the ink jet print head, for example, an optical writing head and the like of the LED type electrophotographic recording apparatus, the plurality of recording action portion can be widely applied to various recording heads formed by juxtaposed, as a matter of course.

【0074】 [0074]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によれば、複数の記録作用部が第1の方向に沿って配設されてなる複数のチップ基板を第1の方向と直交する方向において互いに配設領域を分け合うように第1の方向に接合して長尺記録ヘッドを構成するから、チップ基板同士の位置合せが容易となって製造能率が向上する。 As described above in detail, according to the present invention, according to the present invention, a direction of a plurality of chip substrate having a plurality of recording action portion is disposed along the first direction perpendicular to the first direction since forming the first elongated recording head is joined in a direction to divide the arrangement region to each other in the manufacturing efficiency is improved becomes easier alignment between the chip substrate.

【0075】また、記録作用部列間のズレ量が従来の千鳥配置による場合のズレ量よりも小さいので、用紙が斜行したときの印字画像の印字ズレをより小さく抑えることができる。 [0075] Further, since the shift amount between the recording action unit column is less than the displacement amount in the case of the conventional staggered arrangement, it can be further reduced printing misalignment of the print image when the paper is skewed. この場合、第1の実施形態のように、チップ基板同士を接合させる端面を鉤状に形成すれば、各チップ基板の適正な位置合せをより容易に実施できる。 In this case, as in the first embodiment, by forming the end face for bonding the chip substrate together like a hook, it can be carried out properly alignment of the chip substrate more easily.

【0076】また、本発明の第2の実施の形態によれば、1ヘッドチップ内に複数の色別のノズル列を有する多色用のヘッドチップを同様にノズル配設方向に直線状に並設するので、ヘッドチップ間の長手方向端部の吐出ノズル間のピッチをヘッドチップ内の吐出ノスルの配設ピッチと同一にして位置合せできるので、多色用の長尺記録ヘッドを作成する際のヘッドチップの位置合せが容易となって作業能率が向上する。 [0076] Also, the according to the second embodiment, 1 parallel linearly in the same manner as the nozzle arrangement direction of the head chip for multicolor having a plurality of different colors nozzle arrays in the head chip of the present invention because setting, it is possible to disposed aligned in the same pitch of the discharge Nosuru of the head chip pitch between the discharge nozzles of the longitudinal ends between the head chip, when creating a long recording head for multicolor alignment of the head chip is improved work efficiency becomes easier.

【0077】また、隣接するヘッドチップ間の1色毎のノズル列の副走査方向の位置ズレ量が単色用のヘッドチップの場合の位置ズレ量と同一であるので、従来の多色用のヘッドチップを千鳥配置した場合の大きな位置ズレ量の場合と比較して、用紙に斜行が発生しても印字画像の印字ズレを従来よりも極めて小さく抑えることができる。 [0077] Further, since the position deviation amount in the sub-scanning direction of the nozzle array of one per color between adjacent head chips is the same as the positional deviation amount in the case of a head chip for a single color, head for conventional multicolor the chip as compared with the case of the large positional deviation amount in the case of staggered, the printing misalignment of even printed image skew is generated in the sheet can be kept very small than the prior art.

【0078】また、本発明の第3の実施の形態によれば、チップ基板の形状が直線で囲まれた平行四辺形とするので、シリコンウエハをチップ基板毎に仕切るスクライブラインを、交差するスクライブラインの一方を斜めに仕切るだけで良く、取り数に無駄が無く、したがって、歩留りが向上する。 Further, according to the third embodiment of the present invention, since the parallelogram shape of the chip substrate is rectilinear, the scribe line dividing the silicon wafer for each chip substrate, intersecting scribe it is only necessary to partition the one of the line diagonally, waste to the number of take is not, therefore, the yield is improved.

【0079】また、平行四辺形の側部傾斜部を相互に接着して直線状に並設するだけで、ヘッドチップ間の長手方向端部の吐出ノズル間のピッチを、ヘッドチップ内の吐出ノスルの配設ピッチと同一にして位置合せできるので、単色用の長尺記録ヘッドを作成する際のヘッドチップの位置合せが容易となって作業能率が向上する。 [0079] Also, just arranged in a straight line by bonding parallelogram side inclined portions mutually, the pitch between the discharge nozzles of the longitudinal ends between the head chip, discharge in the head chip Nosuru since it arrangement pitch aligned in the same and, thus improving working efficiency alignment of the head chip it becomes easy for creating a long recording head for a single color.

【0080】また、本発明の第4の実施の形態によれば、長尺記録ヘッドを形成するための各ヘッドチップ内のノズル列が1列であるので、ヘッドチップにおける吐出ノズル対応の発熱部の配置、配線電極の引き回し等を同一方向に形成可能となり、ヘッドチップ内の各吐出ノズルに対する条件の均一性が得られる。 [0080] Also, the according to the fourth embodiment, since the nozzle arrays in the head chips for forming a long recording head is one column, discharge of the head chip nozzles corresponding heat generating portion of the present invention arrangement, the lead or the like of the wiring electrodes will be formed in the same direction, uniformity of the conditions for the discharge nozzles in the head chip are obtained.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】(a) は第1の実施の形態における単色用のヘッドチップの構成を示す平面図、(b) はこのヘッドチップを長手方向に接続してなる長尺記録ヘッドを示す図である。 1 (a) is a plan view showing a head chip configuration for a single color in the first embodiment, (b) is a view showing a long recording head formed by connecting the head chip in the longitudinal direction is there.

【図2】(a) は第2の実施の形態における多色用のヘッドチップの構成を示す平面図、(b) はこのヘッドチップを長手方向に接続してなる長尺記録ヘッドを示す図である。 2 (a) is a plan view showing a head chip of the configuration of a multi-color in the second embodiment, (b) is a diagram showing a long recording head formed by connecting the head chip in the longitudinal direction it is.

【図3】(a) は第3の実施の形態における単色用のヘッドチップの構成を示す平面図、(b) はこのヘッドチップを長手方向に接続してなる単色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 3 (a) is a plan view showing a head chip configuration for a single color in the third embodiment, the (b) is a long recording head for monochromatic formed by connecting the head chip in the longitudinal direction It illustrates.

【図4】(a) は第4の実施の形態における単色用のヘッドチップの構成を示す平面図、(b) はこのヘッドチップを長手方向に接続してなる単色用の長尺記録ヘッドを示す図である。 4 (a) is a plan view showing a head chip configuration for a single color in the fourth embodiment, the (b) is a long recording head for monochromatic formed by connecting the head chip in the longitudinal direction It illustrates.

【図5】(a) は従来のシリアル式プリンタに用いられるモノクロ用の記録ヘッドのインク吐出面を模式的に示す図、(b) はその記録ヘッドが製造されるシリコンウエハを示す図である。 5 (a) is a diagram schematically illustrating the ink discharge surface of the printhead for monochrome used in the conventional serial printer, is a diagram showing a (b) is a silicon wafer that recording head is manufactured .

【図6】(a),(b),(c) は図5(a) の記録ヘッドの製造方法を工程順に示す平面図と断面図である。 6 (a), a plan view and a cross-sectional view sequentially showing the steps of producing the recording head (b), (c) FIG. 5 (a).

【図7】(a) はライン式プリンタ用の長尺記録ヘッドを示す図、(b) は複数個の小型記録ヘッドを接続して長尺記録ヘッドを作成した場合の不具合を示す図である。 7 (a) shows a long recording head for a line printer, is a diagram illustrating a problem in the case of creating a (b) is a long recording head by connecting a plurality of small recording head .

【図8】(a) は従来の小型記録ヘッドを千鳥配置して形成された長尺記録ヘッドを示す図、(b) はその隣接部分の拡大図である。 8 (a) is a diagram showing a long recording head formed by a conventional compact recording head staggered arrangement, is an enlarged view of (b) adjacent portions thereof.

【図9】従来のノズル列が4列からなるカラー用のヘッドチップを千鳥配置して構成したカラー用長尺記録ヘッドの部分拡大図である。 9 is a partial enlarged view of a conventional color for long print head nozzle array has a head chip for color consisting of four rows and configure staggered.

【図10】従来のカラー用長尺記録ヘッドに対して斜行する用紙に生じるの画像の不具合を説明する図である。 10 is a diagram for explaining a problem of the image of the conventional color for long recording head occur in the paper to skew.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 基板 1−1 表面 2 発熱部 3 共通配線電極 3−1 開口 4 個別配線電極 5(5−1、5−2) 隔壁 6 区画部 7 インク供給溝 8 インク供給孔 9 オリフィス板 11 金属膜 11−1 マスクパターン 12 吐出ノズル 13 インク流路 14 シリコンウエハ 15 モノカラー用記録ヘッド 16 長尺記録ヘッド 17 長尺ヘッドチップ 18 親基板 20 長尺記録ヘッド 21 ヘッドチップ素子 22 親基板 23 カラー用長尺記録ヘッド 24 親基板 25(25−1、25−2、25−3、・・・) カラー用ヘッドチップ 26(26−1、26−2、26−3、26−4) ノズル列 27 吐出ノズル 28 隔壁 30(30−1、30−2、30−3、・・・) 単色用ヘッドチップ 31 チップ基板 32 オリフィス板 33(33、33n、 1 substrate 1-1 surface 2 heating section 3 the common wiring electrode 3-1 opening 4 individual wiring electrodes 5 (5-1, 5-2) partition walls 6 partitioning portion 7 ink feed channel 8 ink supply hole 9 orifice plate 11 the metal film 11 -1 mask pattern 12 discharge nozzles 13 ink passage 14 silicon wafer 15 monocolor recording head 16 long recording head 17 elongate head chip 18 mother board 20 long recording head 21 head chip element 22 main board 23 for color long recording head 24 main board 25 (25-1,25-2,25-3, ...) color head chip 26 (26-1,26-2,26-3,26-4) nozzle row 27 discharge nozzles 28 partition wall 30 (30-1, ...) monochrome head chip 31 chip substrate 32 orifice plate 33 (33,33N, 33g) 吐出ノズル 34−1、34−1′ 封止隔壁 34−2 区画隔壁 35 インク供給溝 36(36−1、36−2) ノズル列 37 単色用長尺記録ヘッド 40 多色用ヘッドチップ 41 チップ基板 42 オリフィス板 43(43、43n、43g) 吐出ノズル 44−1 封止隔壁 44−2 区画隔壁 45 インク供給溝 46(46−1、46−2) ノズル列 47 凹部 48 凸部49 多色用長尺記録ヘッド 50(50−1、50−2、50−3、・・・) 単色用ヘッドチップ 51 チップ基板 52 オリフィス板 53(53、53n、53g) 吐出ノズル 54−1 封止隔壁 54−2 区画隔壁 55 インク供給溝 56(56−1、56−2) ノズル列 57 単色用長尺記録ヘッド 60(60−1、60−2、60−3、・・・) 単色 33 g) discharge nozzles 34-1,34-1 'sealing septum 342 partitions partition wall 35 ink supply groove 36 (36-1, 36-2) for the nozzle row 37 monochromatic long recording head 40 multicolor head chip 41 chip substrate 42 orifice plate 43 (43,43n, 43g) discharge nozzles 44-1 sealing septum 44-2 partition septum 45 ink supply groove 46 (46-1, 46-2) nozzle array 47 recess 48 protrusion 49 multicolor use long recording head 50 (50-1, 50-2, 50-3, ...) monochrome head chip 51 chip substrate 52 orifice plate 53 (53,53n, 53g) discharge nozzles 54-1 sealing septum 54 -2 partition septum 55 ink supply groove 56 (56-1 and 56-2) long recording head 60 nozzle array 57 monochrome (60-1, 60-2, 60-3, ...) monochrome 用ヘッドチップ 61 チップ基板 62 オリフィス板 63 吐出ノズル 64−1 封止隔壁 64−2 区画隔壁 65 インク供給溝 66 ノズル列 67 単色用長尺記録ヘッド Use the head chip 61 chip substrate 62 orifice plate 63 discharge nozzles 64-1 sealing septum 64-2 partition septum 65 ink feed channel 66 nozzle rows 67 monochroic long recording head

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 複数の記録ドットに対応する複数の記録作用部が所定ピッチで第1の方向に沿って配設された複数のチップ基板を前記第1の方向へ接合してなる長尺記録ヘッドであって、 個々の前記チップ基板は、少なくとも一部が、隣接するチップ基板の少なくとも一部と、前記第1の方向に直交する方向において配設領域を分け合って配置され、双方の前記チップ基板の記録作用部が前記所定ピッチで前記第1の方向に沿って並設されていることを特徴とする長尺記録ヘッド。 1. A plurality of recording action section corresponding to a plurality of recording dots formed by joining a plurality of chip substrate disposed along the first direction at a predetermined pitch in the first direction elongated recording a head, each of the chip substrate is at least partially, at least a portion of the adjacent chip board, in the direction perpendicular to the first direction are arranged Wakea' the arrangement region, both of said chip long recording head is characterized in that the recording action of the substrate are arranged along the first direction at a predetermined pitch.
  2. 【請求項2】 前記チップ基板は、複数の前記記録作用部からなる前記第1の方向に沿った2列の記録作用部列を備えていることを特徴とする請求項1記載の長尺記録ヘッド。 Wherein said chip substrate, long recording according to claim 1, characterized in that it comprises two rows recording action portion array of along said first direction comprising a plurality of the recording action unit head.
  3. 【請求項3】 前記チップ基板の前記記録作用部列は、 Wherein the recording action portion rows of the chip substrate,
    インクジェットプリントヘッドのインクを吐出する吐出ノズルからなるノズル列であることを特徴とする請求項1又は2記載の長尺記録ヘッド。 Claim 1 or 2 long recording head according to characterized in that the nozzle array consisting of a discharge nozzle for discharging the ink of the ink jet printhead.
  4. 【請求項4】 前記チップ基板は、吐出するインクの色毎に前記記録作用部列を備えていることを特徴とする請求項3記載の長尺記録ヘッド。 Wherein said chip substrate, a long recording head according to claim 3, wherein the each color of ink to be ejected and a said recording action portion row.
  5. 【請求項5】 前記チップ基板は、台形をなし、複数の前記記録作用部からなる前記第1の方向に沿った1列の記録作用部列を備えていることを特徴とする請求項1記載の長尺記録ヘッド。 Wherein said chip substrate, a trapezoidal, according to claim 1, characterized in that it comprises a recording action part row of one column along the first direction comprising a plurality of the recording action unit long recording head.
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