JP2002062492A - Projection optical system using interferometric modulation device - Google Patents

Projection optical system using interferometric modulation device

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JP2002062492A
JP2002062492A JP2000246389A JP2000246389A JP2002062492A JP 2002062492 A JP2002062492 A JP 2002062492A JP 2000246389 A JP2000246389 A JP 2000246389A JP 2000246389 A JP2000246389 A JP 2000246389A JP 2002062492 A JP2002062492 A JP 2002062492A
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display device
imod
characterized
device
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JP2000246389A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Kobayashi
秀一 小林
Original Assignee
Canon Inc
キヤノン株式会社
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
    • G02B26/001Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating based on interference in an adjustable optical cavity

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light image projection system in which an intereferometric modulation(IMOD) device with reduced heat generation is employed. SOLUTION: A glass substrate 1 and a heat conductor 7 are fitted in common to pixels 9a, 9b, and 9c. Consequently, the substrate structure is simplified. Since the heat conductor 7 is arranged on the flank of a resonance layer 5 the aperture efficiency of a display device tends to decrease, but the decrease in the aperture efficiency can be suppressed by employing a linear structure. Further, circuits for driving the respective pixels, etc., can be arranged on the flank of the resonance layer 5.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、干渉性変調(Inte The present invention relates] is, coherent modulation (Inte
rferometric Modulation:IMOD)及びそれを用いた画像表示装置に関し、特に、発熱を抑制したIMOD素子及びそれを用いた明るい画像表示装置に関する。 rferometric Modulation: IMOD) and relates to an image display apparatus using the same, particularly to a bright image display device using IMOD devices and it was suppress heat generation.

【0002】 [0002]

【従来の技術】光の干渉作用を利用して光の変調を行う画像表示素子が、特表2000‐500245号公報、特表平10-5 2. Description of the Related Art An image display device by utilizing the interference of light for modulating light, Kohyo 2000-500245, JP-Hei 10-5
00224号公報、Digital Paper:Reflective Display Usin 00224 JP, Digital Paper: Reflective Display Usin
g Interferomtric Modulation: (MWMiles, SID '00) g Interferomtric Modulation: (MWMiles, SID '00)
などにより開示されている。 It disclosed by such. これらは、MEMS(micro ele These are, MEMS (micro ele
ctric mechanical system)の技術とファブリ・ペロー干渉計などに見られる光の共振作用とを複合して光を変調する干渉性変調(IMOD)素子を実現するものである。 A resonance effect technology and Fabry-Perot interferometer light such as those found in the ctric mechanical system) in combination is intended to achieve a coherent modulation (IMOD) device for modulating light. 以下に図を用いて原理を簡単に説明する。 Briefly explaining the principle with reference to FIG below. 図8は、光変調器の概要を示したものであり、反射器100は、スペーサ1 Figure 8 is an overview of the optical modulator, the reflector 100, the spacer 1
02を介して膜104、106、108を含む誘導吸収体105と対抗して配置されており、入射媒体110は誘導吸収体105と片方の境界で接している。 02 are arranged against the induction absorber 105 comprising a membrane 104, 106, and 108 through the incident medium 110 is in contact with one boundary and induction absorber 105. 同図に示したように、非常に簡単な構成をしている。 As shown in the figure, it has a very simple structure. 光は、入射媒体110より入射し、 Light is incident from the incident medium 110,
反射器100により反射され、入射媒体100から射出するような構成になっている。 Is reflected by the reflector 100, and is such that the exit structure from the incident medium 100. 反射器100と誘導吸収体105の間隔Tが可変となっておりこの間隔を変更することで光学特性を変化させることができる。 Interval T of the reflector 100 and the induction absorber 105 can alter the optical properties by changing the spacing is variable.

【0003】誘導吸収体105を構成する膜104、106、108 [0003] constitute the induction absorber 105 film 104, 106, and 108
はたとえば、二酸化ジルコニウム、タングステン、2酸化シリコンとすることが開示されている。 For example, it is disclosed that the zirconium dioxide, tungsten, and silicon dioxide. 間隔Tを変化させるための構造としては、図7のような誘電体膜と金属膜にて構成されるMEMS(micro electric mechanical s As a structure for varying the distance T, the dielectric film and the MEMS formed in the metal film (micro electric mechanical s as shown in FIG. 7
ystem)構造が採用されている。 ystem) structure has been adopted. 反射鏡は、静電気により非常に高速に駆動され、光変調を行うことができる。 Reflector, very driven at high speed by static electricity, it is possible to perform optical modulation. 図9から図12までは、スペーサとの間隔が異なる場合の光学特性の変化である。 FIGS. 9 through 12 is the change in the optical characteristics when the distance between the spacer are different. 各図とも縦軸が反射率、横軸が波長である。 Vertical axis reflectivity in each figure, the horizontal axis is wavelength. 図9は、スペーサの間隔がある値Tblackの時に示す光学特性であり、図に示したように反射率が可視光域全般にわたって低い状態である。 Figure 9 is an optical characteristic shown when the value Tblack with spacing of the spacers, the reflectance as shown in FIG. Is lower state over the visible light region in general. この場合、 in this case,
“黒”を表示している。 You are viewing the "black". 図10‐図12は、それぞれ間隔Tがそれぞれある値のときの特性であり、それぞれ青、緑、赤を表示することが出来る間隔TB、TG、TRである。 Figure 10- Figure 12 is a characteristic when the value interval T respectively is each a respective blue, green, interval can be displayed red TB, TG, TR. 誘電吸収体の一例によれば、TG>TB> TR>Tblackである。 According to one example of a dielectric absorber, a TG> TB> TR> Tblack. こうした構造を2次元的に配置し、制御することでカラーの画像を表示することができる。 These structural two-dimensionally arranged, it is possible to display an image of a color by controlling. 反射器100の駆動には、たとえば静電力が使われる。 The driving of the reflector 100, for example, an electrostatic force is used. このため、非常に高速の動作ができる。 For this reason, it is very high speed of operation. 画像表示の階調性の表現にあたっては、あるエリア内の反射率の高い状態の画素の割合を変える面積階調、あるいは、高速で動作できることを利用した時分割の階調表現を利用することができる。 When the gradation representation of the image display, area gradation changing the ratio of the pixels of the high state reflectance certain area or utilize a gradation representation of the time division using the ability to operate at high speed it can.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した干渉性変調(IMOD)素子を、ある光源により適切に照明して、その画像をスクリーン上に形成するような場合、明るい画像を得ようとすると、黒の表示時に大きな光の吸収が起こるため表示素子自体の発熱が問題となる。 [SUMMARY OF THE INVENTION] However, coherent modulation (IMOD) device described above, by appropriately illuminated by some light sources, if such forms its image on the screen, in order to obtain a bright image , heat generation of the display device itself because the place is large light absorption at the time of black display becomes a problem.

【0005】そこで、本発明は、IMOD素子の発熱を低減するとともに、そのIMOD素子を使用して、輝度の高い画像投影装置を提供することを課題としている。 [0005] Therefore, the present invention is to reduce the heat generation of the IMOD devices, using the IMOD device is an object to provide a high image projector brightness.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するための本発明のIMOD素子は、絶縁体層と金属層を複数透明基板上に積層した光共振層を含む光入射部と、可動反射鏡とを、対峙させた干渉性変調(IMOD)素子であって、 IMOD device of the present invention to solve the above problems BRIEF SUMMARY OF THE INVENTION comprises a light entrance portion including an optical resonance layer and the insulator layer and a metal layer are stacked in a plurality transparent substrate, the movable reflective a mirror, a coherent modulation (IMOD) device is facing,
前記IMOD素子に伝熱体を配置している。 It is arranged heat conductor on the IMOD device.

【0007】これによりIMOD素子に熱が放熱されるようになり、破損などの問題が軽減される。 [0007] Thus become heat IMOD element is dissipated, problems such as breakage can be reduced. また、放熱するための構造を設けるため、開口効率が低下するためIMOD Moreover, to provide a structure for heat dissipation, IMOD since the opening efficiency is reduced
素子を1次元の画像を表示する構造としている。 The device has a structure for displaying a one-dimensional image.

【0008】加えて、2次元の画像を得るために、光学的に1次元の画像と垂直に走査するための手段を設けている。 [0008] In addition, in order to obtain a two-dimensional image, it is provided with means for scanning perpendicular to the one-dimensional image optically.

【0009】 [0009]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention are described with reference to the drawings.

【0010】図1は、第1実施他形態のIMOD素子の1つの画素構造近傍の主要構造を示したものである。 [0010] Figure 1 is a diagram showing the main structure of one pixel structure near the IMOD device of the first embodiment other embodiments. 実際の素子としては、この構造を多数有することになる。 The actual device would have a large number of this structure. 1
は、基板ガラスをあらわしており、入射光はこの基板ガラスを透過する。 Represents the substrate glass, the incident light is transmitted through the substrate glass. 4,6,8はそれぞれ、誘電体あるいは金属の薄膜であり、これらの厚みを適切に選ぶことで光の共振層5を形成している。 Each 4,6,8, a thin film of a dielectric or metal, form a resonance layer 5 of the light by selecting these thicknesses appropriately.

【0011】2は反射器であり、図示しない駆動構造に共振層と反射器2の間隔Tが変化する。 [0011] 2 is a reflector, the interval T of the reflector 2 and the resonant layer to a drive structure (not shown) is changed. このTを変化させることにより、光の吸収と反射の特性が変化し、光を変調し、画像を表示することが可能である。 By varying the T, characteristics of the reflection and absorption of light is changed, by modulating light, images can be displayed. 反射光は、入射光と逆にガラス基板1より射出していく。 Reflected light, continue to exit from the glass substrate 1 to the incident light and reverse. 間隔Tを制御し光を吸収させると、反射率が低くなり画像としては“黒”を表示するようになる。 When to absorb the controls interval T light, as the image reflectance is lowered so that display "black". このとき、光の吸収が起こるので、素子が発熱する。 At this time, since the absorption of light occurs, the element is exothermic. 特に積極的に素子を照明して、明るい画像を得るような場合、この熱が大きく問題となる。 Especially actively illuminating elements, when so as to obtain a bright image, the heat is largely problem. このため、光の共振層5の熱を伝導しやすいような伝熱体7を、共振層5の側面に設けている。 Therefore, the heat transfer body 7 as the heat of the resonant layer 5 of the light easily conducted, is provided on the side surface of the resonant layer 5. さらに図示しない表示装置の放熱手段3とこの伝熱体7を機械的に接続している。 Is mechanically connected to the heat dissipating means 3 and the heat transfer body 7 of a display device not further shown.

【0012】この構造により、熱が発生してもIMOD素子の温度上昇を抑えることが可能となる。 [0012] With this structure, even heat is generated it is possible to suppress the temperature rise of the IMOD devices.

【0013】伝熱体7については、金属などの伝導性のよいものであれば、同様の効果が得られ、その種類についてはとくに限定しない。 [0013] For the heat conductor 7, as long as good conductivity such as metal, the same effect can be obtained, not particularly limited for its type. 又、伝熱体7は、主として共振層5中の金属等の伝導層に接触していればよい。 Further, the heat conductor 7 has only to primarily contact with the conductive layer of metal or the like in the resonant layer 5.

【0014】基板ガラス1については、耐熱性を有することがのぞましい。 [0014] The substrate glass 1, it is desirable to have a heat resistance.

【0015】図2には、本実施他形態の別様態を示す。 [0015] Figure 2 illustrates another aspect of the present embodiment other embodiment.
同じ符号のものは同じ機能を表すものとして、説明を省略する。 Those of the same sign as representing the same functions, the description thereof is omitted. 図1については、ある画素構造について示したが、図2では、基板ガラス1や伝熱体7が、各画素9a,9 For Figure 1, is shown for a pixel structure, in FIG. 2, the substrate glass 1 and the heat transfer body 7, each pixel 9a, 9
b,9cに対して共通に取り付けられている。 b, it is attached in common to 9c. これによって、基板構造が簡素になる。 Thus, the substrate structure is simplified.

【0016】基本的に伝熱体7を共振層5の側面に配置したことにより、表示素子における開口効率は低下しているが、1次元構造としたことにより、開口効率の低下を抑えることができる。 [0016] By essentially the heat transfer body 7 is arranged on the side surface of the resonant layer 5, although the aperture efficiency is decreased in a display element, by having a one-dimensional structure, it is possible to suppress the decrease in aperture efficiency it can. また、各画素の駆動用の回路なども、画素構造の側面に配置することが可能となる。 Also, such as a circuit for driving the pixels, it can be arranged on the side surface of the pixel structure.

【0017】本実施他形態においては、1つの共振層5 In the present embodiment another embodiment, one resonance layer 5
に伝熱体7を配置する場合を示したが、これに限定するものではない。 A it shows the case of placing the heat transfer body 7, but the embodiment is not limited thereto. たとえば、面積階調を行う場合など、ある1つの画素として同時に駆動されるエリアの共振層5 For example, a case of performing an area gray scale, the resonant layer of the areas simultaneously driven as one certain pixel 5
に対して共通の伝熱体を設けても良い。 It may be provided with a common heat transfer body against.

【0018】次に、第2の実施他形態について説明する。 Next, a description will be given of a second embodiment another embodiment.

【0019】図3は、伝熱体7を有するIMOD素子を1次元配列して、2次元の大画面を得ることが可能な投射型の表示機器の構成を示したものである。 [0019] FIG. 3 is one-dimensionally arrayed a IMOD device having a heat transfer body 7, in which is possible to obtain a large screen of the two-dimensional showing the configuration of a projection type display device as possible. この投影装置は、紙面垂直方向に画素列を有するIMOD素子10の画像をスクリーン12上に拡大投影し画素列と直交する方向に走査することにより2次元の画像を得るものである。 The projection device is to obtain a two-dimensional image by scanning the image of the IMOD device 10 having a pixel column in the direction perpendicular to the paper surface in a direction perpendicular to the larger projected pixel rows on the screen 12.

【0020】照明光学系14は光源と光量均一化手段などから構成され、光源像を走査手段13の近傍に形成する。 [0020] The illumination optical system 14 is composed of such a light source and a light amount uniformizing means, to form a light source image in the vicinity of the scanning unit 13.
照明光は投射光学系11の一部11aを介して、略並行にIMO Illumination light through a portion 11a of the projection optical system 11, IMO substantially parallel
D素子を照明する。 Illuminating the D element. IMOD素子からの光は、光学系11aを介して走査手段13aにあたる。 Light from IMOD device corresponds to the scanning unit 13a via the optical system 11a. 光走査手段13aは、IMOD素子からの光については反射するように構成されており、スクリーン12の方に光路を偏向する働きを有する。 Scanning means 13a is configured to reflect about the light from the IMOD element has the function of deflecting the light path towards the screen 12. さらに投射光学系のもう一部11bを介して、IMOD素子の像をスクリーン上に結像する。 Further through the other portion 11b of the projection optical system, it forms an image of the IMOD devices on the screen. 光走査手段13は、IMOD素子の画素列と平行に回転軸を有しており、回転することが可能となっている。 Scanning means 13 has a parallel to the rotation axis and the pixel columns of the IMOD devices, and can be rotated. これによりスクリーン上を走査でき、結果として2次元の画像を得ることができる。 This allows scans across the screen, it is possible as a result obtain a two-dimensional image. また、IMOD In addition, IMOD
10には、伝熱体が設けられ、その伝熱体は、装置の放熱手段3と接続されている。 The 10, the heat transfer member is provided, the heat conductor is connected to the heat dissipating means 3 of the apparatus. これにより、照明光学系14からの光がIMOD素子10で吸収されても、温度上昇を低くすることが可能となる。 Thus, light from the illumination optical system 14 is also absorbed by the IMOD devices 10, it is possible to lower the temperature rise.

【0021】次に、照明光学系14と、IMOD素子10と光学系11aの構成について説明する。 Next, an illumination optical system 14, the configuration of the IMOD device 10 and the optical system 11a.

【0022】図4は、画素列に対して垂直な方向からの断面の概略を示している。 FIG. 4 shows a schematic cross-section from a direction perpendicular to the pixel columns. IMOD素子10は、紙面内に画素列を有する。 IMOD device 10 includes a pixel column in the drawing sheet.

【0023】照明光学系14からの光は、前述したように光走査手段13の近傍に光源像15aを形成する。 The light from the illumination optical system 14 forms a light source image 15a in the vicinity of the optical scanning unit 13 as described above. この光源像15aの位置は、本図の断面に対して光学系11aの前側焦点面付近にあり、IMOD素子10を図4の断面では、略平行光で照明する。 The position of the light source image 15a is located near the front focal plane of the optical system 11a against the cross-section of the figure, the cross-section of FIG. 4 the IMOD device 10 to illuminate a substantially parallel light. 光源像15aの位置は、光学系11aに対してオフセットしているので、IMOD素子に対して、斜めに入射するように構成されている。 Position of the light source images 15a, since offset with respect to the optical system 11a, against IMOD device is configured to be incident obliquely. IMOD素子10からの反射光は、この構成により15aとは異なった15bの位置に再度光源像を形成する。 Light reflected from the IMOD element 10 forms a light source image once again in a position different 15b and 15a by this arrangement.

【0024】光学系の構成から、光源像15aとは、光学的に対称な位置である。 [0024] from the configuration of the optical system, the light source image 15a, which is optically symmetrical positions. この第2の光源像15bを光走査手段13で走査することになる。 It will scan the second light source image 15b by the optical scanning unit 13.

【0025】図5は、光走査手段13aの構成を示したものである。 FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an optical scanning unit 13a. 図4に示したように、照明光学系14からの光は、透過し、IMOD素子10からの光は走査するために反射する必要がある。 As shown in FIG. 4, the light from the illumination optical system 14 is transmitted through the light from the IMOD device 10 is required to be reflected for scanning. 従って、光走査手段は、2つの領域13 Accordingly, the optical scanning means, two regions 13
R,13Tに分かれており、13Rは、光を走査するために反射する領域、13Tは透過あるいは空洞となっており通過するようになっている。 R, is divided into 13T, 13R are regions that are reflected to scan the light, 13T is adapted to pass through has a transparent or hollow.

【0026】投射光学系11に対して、光走査手段13は、 [0026] with respect to the projection optical system 11, an optical scanning unit 13,
瞳近傍に設けられおり、図5のように走査手段13を構成することにより瞳分割して照明、投影の光路を分離することができる。 Pupil is provided near the pupil divided and illuminated by configuring the scanning means 13 as shown in FIG. 5, it is possible to separate the optical path of the projection. 白色光により照明し、IMOD素子の特性を高速に変化させることで、カラー画像を表示することが可能である。 Illuminated by white light, by changing the characteristics of the IMOD devices at high speed, it is possible to display a color image. また、階調性に関しては、面積階調でおこなってもよいし、より高速に画素を駆動することで、時分割で行ってよい。 With respect to gradation, it may be carried out in area gradation, by driving the pixel faster and may be carried out in time division. 図6は、本実施他形態の別様態である。 Figure 6 is another aspect of the present embodiment other embodiment. 同じ符号のものは、同じ機能を表すものとして、説明は省略する。 Of the same reference numerals, as representing the same functions, and description thereof is omitted. 図6で、16は色合成分離手段であり、例えば、ダイクロイックプリズムが用いられる。 In Figure 6, 16 denotes a color combination and separation means, for example, a dichroic prism is used.

【0027】照明光学系14から出射した白色光は、光学系11aを介して、波長領域ごとの光変調を行うIMOD素子10a、10b、10cに各波長領域ごとに対応するように色合成分離光学系16で分離される。 The white light emitted from the illumination optical system 14 through the optical system 11a, IMOD device 10a for performing optical modulation for each wavelength region, 10b, color synthesis separation optical so as to correspond to each wavelength region 10c They are separated in the system 16. 各IMOD素子10a、10b、 Each IMOD devices 10a, 10b,
10cからの光は色分離合成光学系16で合成され、光走査手段13を介して、スクリーン12上を走査され2次元のカラー画像を表示する。 Light from 10c are synthesized in the color separating-combining optical system 16, via the optical scanning unit 13 is scanned screen 12 on to display a two-dimensional color images. 色分離合成光学系および光源の特性、種類については、公知のものがいずれも好適に用いられる。 Color separating-combining optical system and characteristics of the light source, for the type, suitably used any known ones. 走査手段13、各IMOD素子は、表示すべき画像信号に対して、同期が取られ、所望の画像が得られるように電気的に制御される。 Scanning means 13, each IMOD device subjects the image signal to be displayed, synchronization is taken, is electrically controlled so that a desired image is obtained. 2次元のカラー表示に用いられる各IMOD素子は、強い照明により発生する熱を放熱できるように、伝熱体7が設けられ、さらに、放熱手段3が接続されているので、スクリーン上に明るい画像を表示することができ、又、長時間使用してもIMOD素子の劣化は小さい。 Each IMOD devices used in two-dimensional color display, so that you can dissipate heat generated by the intense illumination, the heat transfer body 7 is provided, furthermore, since the heat radiating means 3 are connected, a bright image on the screen can be displayed, and a long time deterioration of the IMOD devices may be used are small. 又、本発明では、光源を白色光源としたが、単色光源を複数組み合わせるものであってもよい。 In the present invention, the light source was a white light source may be one that combines a plurality of monochromatic light sources.

【0028】 [0028]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、干渉性変調(IMOD)素子に伝熱体と放熱手段を配置することで温度上昇を低減させることができる。 According to the present invention as described in the foregoing, it is possible to reduce the temperature increase by disposing the heat dissipating means and heat transfer body interferometric modulator (IMOD) device. またさらに、伝熱体を側面に有するような1次元配列のIMOD素子で、投射型表示装置を実現することができる。 Furthermore, in IMOD element one-dimensional array that has a heat transfer member in side, it is possible to realize a projection display device.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明にかかる第1実施他形態の概略図 1 is a schematic view of a first embodiment other embodiments according to the present invention

【図2】本発明にかかる第1実施他形態の別様態の概略図 Another aspect schematic view of the first embodiment other embodiments according to the present invention; FIG

【図3】本発明にかかる第2実施他形態の構成図 Configuration view of a second embodiment another embodiment in the present invention; FIG

【図4】第2実施他形態の照明光学系の構成図 Figure 4 is a configuration diagram of an illumination optical system of the second embodiment other embodiment

【図5】走査手段の構成図 Figure 5 is a configuration diagram of a scanning means

【図6】第2実施他形態の別様態 [6] Another aspect of the second embodiment other embodiment

【図7】干渉型反射型表示装置の構成図 Figure 7 is a configuration diagram of a interference reflection type display device

【図8】反射器の構成図 Figure 8 is a configuration diagram of the reflector

【図9】干渉型反射型表示装置の特性 Characteristics of 9 interference reflection type display device

【図10】干渉型反射型表示装置の特性 Characteristics of Figure 10 interference reflection type display device

【図11】干渉型反射型表示装置の特性 Characteristics of 11 interference reflection type display device

【図12】干渉型反射型表示装置の特性 Characteristics of Figure 12 interference reflection type display device

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 基板ガラス 2 反射器 3 放熱手段 4 薄膜 5 光共振層 6 薄膜 7 伝熱体部 8 薄膜 9 画素 10 1次元配列の干渉性変調(IMOD)素子 11 投射光学系 12 スクリーン 13 走査手段 14 照明光学系 15 光源像 16 色合成分離手段 1 interferometric modulator substrate glass 2 reflector 3 radiation means 4 film 5 optical resonant layer 6 thin film 7 heat conductor portion 8 thin film 9 pixels 10 one-dimensional array (IMOD) device 11 projection optical system 12 screen 13 scanning means 14 illumination system 15 light source image 16 color combination and separation means

Claims (6)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 干渉を利用して光変調を行う干渉性変調素子であって、放熱手段を有することを特徴とする干渉性変調素子。 1. A using interference and coherent modulation device for performing optical modulation, coherent modulation element characterized by having a heat dissipation means.
  2. 【請求項2】 誘電体層と金属層の組み合わせからなる複数の層を透明基板上に積層した光共振層を有する光入射部と、可動反射鏡とを、対峙させた干渉性変調素子であって、前記干渉性変調素子に伝熱体を配置することを特徴とする干渉性変調素子。 2. A light incident portion having a dielectric layer and a metal layer optical resonant layer that a plurality of layers laminated on a transparent substrate made of a combination of a movable reflecting mirror, there in interferometric modulating element is confronted Te, coherent modulation device characterized by placing the heat transfer member to said interferometric modulator elements.
  3. 【請求項3】 前記光入射部と、前記可動反射鏡とを、 And wherein the light incident part, and the movable reflecting mirror,
    空気層を介して対峙させたことを特徴とする請求項2記載の干渉性変調素子。 Interferometric modulating device according to claim 2, characterized in that is opposed through the air layer.
  4. 【請求項4】 前記伝熱体は、少なくとも前記金属層に接触していることを特徴とする請求項2記載のIMOD素子。 Wherein said heat transfer Netsutai is, IMOD device according to claim 2, characterized in that in contact with at least said metal layer.
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれか一つに記載された前記干渉性変調素子を1次元に配列することを特徴とする画像表示素子。 5. The image display device characterized by arranging the interferometric modulator element according to any one of claims 1 to 4 to a dimension.
  6. 【請求項6】 請求項5記載の画像表示素子と、 画像表示素子を投射する投射光学系と、 前記投射光学系のしぼり近傍に配置された走査手段とを備え、 前記画像表示素子を前記投射光学系の瞳分割により照明し、 前記走査手段により走査することで2次元の投射画像を得ることを特徴とする画像表示装置。 6. A claim 5 image display device, further comprising a projection optical system for projecting the image display device, and a scanning means arranged in the vicinity aperture of the projection optical system, wherein the image display device projects illuminated by pupil division optical system, an image display device characterized by obtaining a two-dimensional projection image by scanning by the scanning means.
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