JP2002062271A - 試料採取、調製装置と組み合わせた自動esr測定システム - Google Patents

試料採取、調製装置と組み合わせた自動esr測定システム

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JP2002062271A
JP2002062271A JP2000248913A JP2000248913A JP2002062271A JP 2002062271 A JP2002062271 A JP 2002062271A JP 2000248913 A JP2000248913 A JP 2000248913A JP 2000248913 A JP2000248913 A JP 2000248913A JP 2002062271 A JP2002062271 A JP 2002062271A
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esr measurement
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JP2000248913A
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Koji Watanabe
孝司 渡辺
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Nikkiso Co Ltd
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Nikkiso Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造プロセスからの試料の採取か
らデータ処理までの一連の操作を自動的に行うことので
き、試料採取及び移送時の危険性がなく、短時間で、測
定誤差が少なく、省力化されたESR測定を行うことの
できるESRシステムを提供することを目的とする。 【解決手段】 試料を採取し、試料調製部に採取
した試料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から
移送された試料の調製を行い、ESR測定部に調製した
試料移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン
共鳴を測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記
試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを
有する自動オンラインESR測定システム。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ESR装置、半自
動ESR測定システム、及び自動ESR測定システムに
関し、さらに詳しくは、例えば、高温、高圧の化学プラ
ント原料中におけるラジカルの発生量を自動測定するこ
とのできるESR装置、半自動ESR測定システム、及
び自動ESR測定システムに関する。
【0002】
【従来の技術】石油精製及び化学プラント等で取扱われ
る各種有機材料は、温度、圧力の変化等によって、配管
等の好ましくない場所においてラジカルが発生する場合
がある。ラジカルを開始剤として連鎖反応的に材料の重
合が起こるので、ラジカルの発生は、配管等の流路が詰
まる原因となる。原材料のラジカル化を抑制し、原材料
の精製、輸送中等に連鎖反応的に重合が起こらないよう
にするために各種薬剤が添加される。石油精製及び化学
プラントにおいて、配管の詰まりを防止するために、ラ
ジカルの発生状況を確認し、薬剤の添加量及びプラント
の運転条件を決定するためにプラント配管内における有
機材料のラジカルの発生量を測定している。
【0003】ラジカルの発生量を測定する装置として、
ESR装置、すなわち電子スピン共鳴装置が知られてい
る。電子スピン共鳴装置は、一定周波数のマイクロ波を
静磁場中の試料に加え、磁場をスイ−プさせて、共鳴条
件を満足させるところで試料によるマイクロ波の吸収を
検出し、横軸に磁場の強さ、縦軸にエネルギーの相対強
度を示すESRスペクトルを作成する。イオンや分子の
ように多くの電子よりなる系は、合成スピン角運動量S
による磁気モーメントより共鳴吸収が起こるので、電子
スピン共鳴は観測されない。前記Sが0ではない、不対
電子を持つ原子、フリーラジカル、常磁性金属イオン等
においてのみ電子スピン共鳴が観測される。したがっ
て、ESRスペクトルを解析することにより、電子の分
布や分子の構造について知見が得られる。
【0004】このESR装置は、ラジカルや、不対電子
を測定することにより、前記ラジカルの測定の他に、例
えば、アモルファス半導体の構造欠陥の発見や、活性酸
素の定量等物質の構造解析、物性評価等に広く利用され
ている。
【0005】従来のESR装置によるラジカル等の測定
は、化学プラント配管等からの試料の採取、試料の前処
理、前処理した試料を入れたセルのESR装置へのセッ
ト、ESR装置の調整、ESR装置による測定操作、及
びデータ処理等の一連の処理を手作業にて行っていた。
【0006】このため、ラジカルの測定に時間と手間と
が非常にかかっていた。さらに、試料採取からラジカル
の測定までに時間がかかるために、反応や変化の早い試
料については、ラジカルの変化を停止させるスピントラ
ップ剤を添加する等の特別な処理が必要であった。ま
た、ESR測定においては、測定試料の量、及び前処理
方法の違いが測定値に影響するが、従来の手作業では、
測定試料の量、前処理方法等に測定者の個人差が生じや
すく、測定誤差が大きくなるという問題もあった。ま
た、ESR装置は測定に必要な高磁場を作り出すのに電
磁石を一般に利用するので、装置が大型で、冷却水等の
特別な設備が必要となる。このため、ESR装置は分析
室や実験室等専用の部屋に設置され、配管等のある化学
プラントから離れているので、採取した試料をESR装
置のある分析室等に移送する必要があった。さらに、測
定対象となる試料によっては、人体に悪影響を及ぼす危
険なものもあり、試料の採取、移送に注意する必要があ
った。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、試
料の調製からデータ処理までの一連の操作を自動的に行
うことのでき、短時間で、測定誤差が少なく、省力化さ
れたESR測定を行うことのできるESR装置を提供す
ることを目的とする。
【0008】また、本発明は、製造プロセスからの試料
を自動的に採取する装置と組み合わせることにより、試
料の調製からデータ処理までの一連の操作を自動的に行
うことのでき、試料採取時の危険性がなく、短時間で、
測定誤差が少なく、省力化されたESR測定を行うこと
のできるESRシステムを提供することを目的とする。
【0009】さらに、本発明は、製造プロセスからの試
料の採取からデータ処理までの一連の操作を自動的に行
うことのでき、試料採取及び移送時の危険性がなく、短
時間で、測定誤差が少なく、省力化されたESR測定を
行うことのできるESRシステムを提供することを目的
とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の手段は、採取された試料の調製を行い、調製
した試料をESR測定部に移送する試料調製部と、調製
した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、
前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部
とを有することを特徴とするESR装置であり、また本
発明の他の手段は、試料採取口と試料排出口とを有する
試料採取手段と、試料採取手段に設けられた弁と、前記
弁の開閉を制御する制御手段とを有する試料自動採取装
置と、採取された試料の調製を行い、調製した試料をE
SR測定部に移送する試料調製部と、調製した試料の電
子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料調製
部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有するこ
とを特徴とするESR装置とを備えて成ることを特徴と
する半自動ESR測定システムであり、さらに本発明の
他の手段は、試料を採取し、試料調製部に採取した試料
を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送され
た試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料移送
する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測
定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料調製
部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有するこ
とを特徴とする自動オンラインESR測定システムであ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の自動オンラインESR測
定システムは、試料を採取し、試料調製部に採取した試
料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送さ
れた試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料を
移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴
を測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料
調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有す
る。
【0012】図1に自動オンラインESR測定システム
の概略図を示す。自動オンラインESR測定システム
は、試料採取部1、試料調製部2、ESR測定部3、及
び制御部4,5とで構成される。
【0013】試料採取部1は、プロセス配管6から試料
を採取するサンプリング装置を中心に構成される。対象
となる試料は、主に液状又は粘度の高い流動状であり、
以下これらを試料液と称する。サンプリング装置は、配
管を流れる試料液の圧力、温度等の性状と試料の採取箇
所の構造とに対応した構造を取り得る。例えば、比較的
流動性が良く、低圧、低温の液体試料を、プロセス配管
6から直接採取する場合は、ピトー管式のサンプリング
装置が用いられ、比較的粘度が高くて流動性が悪い試料
を、プロセス配管から直接採取する場合は、ポンプ方式
のサンプリング装置が用いられる。また、複数のプロセ
ス配管6から試料を採取し、サンプリング装置が複数設
けられている場合は、サンプリング装置の切替装置も試
料採取部1に組み込まれる。サンプリング装置は、移送
管に接続されており、移送管を通じて試料調製部2へ試
料液が送られる。移送管には、制御信号によって一定時
間の間、開閉するバルブや、試料調製部へ試料を移送す
るポンプ等が備えられる。
【0014】試料調製部2は、採取した試料にESR測
定の前に必要な各種前処理を行うための装置を中心に構
成される。例えば、ヒータ等の加熱装置、冷却管等の冷
却装置、及び恒温槽等の装置等の温度調整装置、窒素ガ
ス置換用の窒素ガスボンベ及びガス供給ノズル、スピン
トラップ剤等の前処理剤の添加装置及び、前処理済みの
試料液をESR測定部のセルに送るピペット等の移送装
置等が挙げられる。
【0015】ESR測定部3は、ESR測定装置を中心
に構成される。ESR測定装置は公知のESR測定装置
を用いることができる。ESR測定装置には測定対象、
測定条件により各種の専用セルが取りつけられる。この
専用セルは、測定毎に交換できるようにセル交換装置を
設けるか、セルを固定しておき、同一セルを洗浄して繰
り返し使用できるように洗浄装置を設ける。セル固定式
の場合は、下部に弁を設けた管状のセルを用い、測定時
には弁を閉じ、測定液排出時に弁を開放する。ESR測
定装置は自身の制御CPUとは別に制御部コンピュータ
のCPUの指令で動く専用端末機器を備えた専用装置と
なっている。ESR測定装置には、静磁場を発生させる
ために強力な磁石が用いられる。一般には電磁石が用い
られるが、本発明においては小型化及び軽量化を達成す
るために、永久磁石が用いられている。永久磁石を用い
た場合は、電磁石と異なり発熱が生じないので、冷却水
設備が不要となる利点がある。また、ESR測定装置に
は、マイクロ波を発生させるマイクロ波回路が備えられ
ている。使用されるマイクロ波の周波数は9.4GH
z、24GHz、及び36GHz等があり、9.4GH
zが一般的である。ESR測定装置には、測定データを
解析する制御CPUが備えられている。ESR測定部に
は、そのほかに、温度可変測定ユニット、紫外線照射ユ
ニット等を組み込むことも可能である。
【0016】制御部は、上記試料採取部1、試料調製部
2、ESR測定部3の各動作状況を確認しながら、一連
の作業を自動的に進行するように動作制御する。基本的
には、専用コンピュータ5と制御部シーケンサー4とか
ら構成される。制御部シーケンサー4と試料採取部1及
び試料調製部2とが通信線によって接続される。ESR
測定部3は、制御部コンピュータ5と通信線によって接
続される。制御部シーケンサー4と制御部コンピュータ
5も通信線によって接続される。本発明においては、図
1に示すように制御部コンピュータ5を他の装置と分離
して収納キャビネット7外に設置することが可能であ
る。試料調製部2、ESR測定部3、及び制御部シーケ
ンサー4を備えた収納キャビネット7は、プロセス配管
のある現場の化学プラント施設内8に設置され、制御部
コンピュータ5はプラントの制御ルーム9等に設置され
る。この収納キャビネット7は内圧防爆構造とすること
が望ましい。化学プラント、石油プラント等に設置する
場合、防爆機器であることが要求されるからである。
【0017】続いて、このESR装置の自動ESR測定
操作手順について説明する。まず試料採取部1に制御部
シーケンサー4から試料採取命令が送られ、プロセス配
管6から試料液を採取する。この時の試料採取命令は、
例えば、予め定められた時間毎にサンプリングをする命
令や、制御コンピュータの端末操作によるオペレータの
命令入力によるサンプリング命令である。サンプリング
命令に基づき試料採取部1において、例えばサンプリン
グ装置のバルブが開放されることで、ピトー管から比較
的流動性の良い試料液が採取される。また、比較的粘度
の高い試料液は、ポンプを駆動させることにより採取さ
れる。
【0018】サンプリングが自動的に行われ、その場で
ESR測定が行えるので、測定毎に現場まで試料採取す
る手間が省け、連続的な測定、経時的測定が容易とな
る。また、高温、高圧、及び危険性な薬液であっても自
動的にサンプリングされるので、安全である。
【0019】採取された試料液は、ポンプ等により移送
管を通じて試料調製部2へ移送される。試料調製部2に
おいて、ESR測定に必要な前処理が行われる。ラジカ
ル測定においては、例えば、試料液の圧力の常圧化、温
度調整、脱気処理、及び添加剤等の追加等の前処理が行
われる。圧力、温度等の測定条件を一定にすることで、
圧力,温度による測定への影響を少なくすることができ
る。窒素ガスを試料液中に吹き込む脱気処理によって、
試料液中に含まれるガス類を除去することで、ガス類の
測定への影響を少なくすることができる。また、本発明
の場合、試料採取後、すぐにESR測定することができ
るので、前処理において、ラジカル固定のためのスピン
トラップ剤の添加を省略することができるという利点が
ある。
【0020】前処理の手順としては、例えば、冷却管等
の熱交換器を通じて冷却された後、ビーカ等に容器に移
し、常圧化する。容器の下にヒータを設け、温度センサ
によって温度を確認しながら予め設定された温度まで加
温する。またヒータのほかに自動天秤を設置すれば液量
の計測も可能となる。続いて窒素ガス供給ノズルが試料
液中に挿入され窒素ガスが吹き込まれる。窒素ガス置換
は、予め設定したガス圧、例えば4〜7kg/cm2
て所定時間だけ吹き込みが行われる。
【0021】前処理が終わった試料液は、続いてESR
測定部3の専用セル10に送られる。試料液は、例え
ば、ディスポーザブルの先端部分を持ったピペット等に
より自動吸引、定量され専用セル10に送られる。
【0022】続いてESR測定部3において、ESR測
定が行われる。磁場は所定の範囲でスイ−プされる。ス
イ−プ時間も変化させることができる。スイ−プ時間が
長い程、より正確に測定できる。また、短いスイ−プ時
間は、ライフタイムが短く、変化しやすい試料を測定す
るのに有効である。試料中のラジカルの定量を行う場合
には、基準となる標準試料が必要となる。マーカとなる
標準試料としては、例えばラジカル量が既知である安定
したラジカルを持つスピントラップ剤等がある。尚、試
料測定の前に、ESR測定部において自動調整作業が行
われる。
【0023】ESR測定終了後の試料液は、セルを交換
する時にドレインタンクに廃棄される。固定式のセルの
場合は、セルの下方の開放弁を開いてドレイン管を通じ
てドレインタンクに廃棄される。
【0024】ESR測定後、縦軸に相対強度、横軸に磁
場を示すスペクトルが形成され、ESR測定部3に備え
られたディスプレイ又は、制御部コンピュータ5に備え
られたディスプレイに表示される。このスペクトルデー
タはESR測定部3の制御CPU又は制御部コンピュー
タ5にて解析される。解析結果により、ラジカル発生量
が求められる。さらに、制御部コンピュータ5におい
て、ラジカル発生量からプラント配管に添加する薬剤の
量並びにプラントの運転温度及び圧力等のプラントの運
転条件について演算により求められる。ESR測定部3
と制御部コンピュータ5とは、RS232C通信等を利
用して装置の制御、調製、測定等を遠隔操作することも
可能である。制御部コンピュータ5を介して、他の機器
との通信も可能であり、プロセス制御用のコンピュータ
と連動させることにより、測定結果に基づくフィードバ
ック制御も可能となる。例えばラジカル発生量が所定値
より高いと判断された場合にラジカル発生を押さえる処
置をプラント配管に加える等のフィードバック制御を行
うことができる。
【0025】この自動ESR測定システムは、試料の採
取から測定までを全て自動化することにより、大幅に省
力化することができる。また、連続的、経時的な測定が
容易に可能となり、製品の状況管理、品質管理がより正
確に行うことができる。また、測定間隔を短くすること
で、製品管理の制度が向上すると共に、従来測定が難し
かった変化が早い被測定対象物の観測も可能となる。E
SR測定部に温度可変測定ユニット又は紫外線照射ユニ
ット等を組み込むことにより、従来、別の装置を使って
いた測定も同時に行うことができる。
【0026】本発明に係る半自動ESR測定システム
は、試料採取口と試料排出口とを有する試料採取手段
と、試料採取手段に設けられた弁と、前記弁の開閉を制
御する制御手段とを有する試料自動採取装置と、採取さ
れた試料の調製を行い、調製した試料をESR測定部に
移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴
を測定するESR測定部と、前記試料調製部及び前記E
SR測定部を制御する制御部とを有することを特徴とす
るESR装置とを備えて成る。
【0027】図2に半自動ESR測定システムの概略図
を示す。半自動ESR測定システムは、自動試料採取装
置11と、試料調製部12、ESR測定部13、及び制
御部14を備えたESRユニット15とからなる。
【0028】自動試料採取装置11は、プロセス配管6
から試料液をサンプリングする装置であり、取り合い配
管のフラシング、試料容器の洗浄等を行う装置を備え、
試料を採取するサンプリング装置を中心に構成される。
試料液の採取は、一定時間間隔又は外部信号による指示
などにより専用の容器に自動的に行われる。サンプリン
グ装置は、自動ESR測定システムの所で説明したサン
プリング装置を用いる。サンプリング装置によりプロセ
ス管6から採取した試料液を専用の容器に自動的に排出
する排出装置を備える。複数のプロセス配管から試料を
採取する場合は、複数の容器にそれぞれの試料液を分配
する試料分配装置が備えられる。排出装置及び、試料分
配装置には、制御信号によって一定時間の間、開閉する
バルブや、試料調製部へ試料を移送するポンプ等が備え
られる。自動試料採取装置には、試料液のサンプリング
動作を制御する制御手段も備えられている。
【0029】試料調製部12は、採取した試料にESR
測定の前に必要な各種前処理を行うための装置を中心に
構成され、自動ESR測定システムのところで説明した
試料調製部2と同じ装置を用いることができる。
【0030】ESR測定部13は、自動ESR測定シス
テムのところで説明したESR測定部3と同じ構成であ
る。制御部14は、上記試料調製部12、及びESR測
定部13の各動作状況を確認しながら、一連の作業を自
動的に進行するように動作制御する。制御部14も、専
用コンピュータと制御部シーケンサーとから構成される
ようにすることもできる。試料調製部12、ESR測定
部13、及び制御部14を備えたESRユニット15
は、自動試料採取装置とは切り離されており、化学プラ
ント現場に設置しない場合は、内圧防爆構造等の補強は
必要とされない。もちろん防爆機器を要求されるような
環境に設置できるよう内圧防爆構造等の補強は構造上容
易にすることができる。
【0031】続いて、この半自動ESRシステムの操作
手順について図3を用いて説明する。まず自動試料採取
装置11内に設けられた制御手段部から試料採取命令が
送られ、プロセス配管6から試料液を採取する。この時
の試料採取命令は、例えば、予め定められた時間毎にサ
ンプリングをする命令である。例えばサンプリング命令
に基づき自動試料採取装置11のバルブが所定時間開放
されることで、比較的流動性の良い試料が採取される。
また、比較的粘度の高い試料液は、ポンプを駆動させる
ことにより採取される。採取された試料液は、排出手段
により自動試料採取装置11内の容器に移しかえられ
る。プロセス配管が複数有る場合は、切替え装置によ
り、サンプリング装置を切り替えて、複数の容器に試料
を分配する。
【0032】試料の採取が定時に自動的に定量で行われ
るので、高温、高圧、揮発性の高い試料液、及び劇物等
の危険性な試料液を作業者が採取する必要がなく、安全
である。
【0033】採取された試料液の入った容器、例えばビ
ーカ21は、作業者によりESRユニットの備えてある
所まで運ばれる。ビーカ21は、図3におけるヒータ付
台22に設置される。以後の作業は自動で行われる。試
料調製部2において、ESR測定に必要な前処理が行わ
れる。例えば、試料液を所定温度にするため、ヒータ付
き台22による加温、または冷却装置による冷却処理が
行われる。このとき温度センサにより、温度制御を行
う。続いて、窒素ガスボンベに接続された窒素供給ノズ
ル27がビーカ−21に挿入され、所定の圧力で所定時
間窒素が送りこまれ脱気処理される。自動天秤を付加す
れば、脱気処理による液量変化も計測できる。反応が早
く、ラジカルの変化しやすい試料液については、ラジカ
ル固定のためスピントラップ剤等の添加処理が行われ
る。前処理が終わった試料液は、続いてESR測定部の
専用セル10に送られる。試料液は、例えば、ディスポ
ーザブルの先端部分を持ったピペット23等により定量
吸引され専用セル10に送られる。
【0034】続いてESR測定部13において、ESR
測定が行われる。ESR測定の内容は自動ESRシステ
ムで説明したのと同じである。測定後の試料液は、電磁
弁24を開放することによりドレインタンク25に廃棄
される。
【0035】ESR測定後、制御部14にて、縦軸に相
対強度、横軸に磁場を示すスペクトルが形成され、ES
Rユニット15内に備えられたディスプレイ26に表示
される。このスペクトルデータは制御部14にて解析さ
れる。解析結果により、ラジカル発生量が求められる。
さらに、制御部14において、ラジカル発生量からプラ
ント配管に添加する薬剤等の量について演算により求め
られる。制御部と他の機器との通信も可能であり、プロ
セス制御用のコンピュータと連動させることにより、測
定結果に基づくフィードバック制御も可能となる。例え
ばラジカル発生量が所定値より高いと判断された場合に
ラジカル発生を押さえる処置をプラント配管に加える等
のフィードバック制御を行うことができる。
【0036】この半自動ESR測定システムにおいて
は、試料の採取を装置が自動的に行うので、作業者は安
全な専用容器をESRユニットまで移送し、規定の位置
にセットするだけで、その後の測定は全て自動化されて
いるので、大幅に省力化することができる。また、連続
的、経時的な測定が容易に可能となり、製品の状況管
理、品質管理がより正確に行うことができる。また、測
定間隔を短くすることで、製品管理の制度が向上すると
共に、従来測定が難しかった変化が早い被測定対象物の
観測も可能となる。ESR測定部に温度可変測定ユニッ
ト又は紫外線照射ユニット等を組み込むことにより、従
来、別の装置を使っていた測定も同時に行うことができ
る。
【0037】
【実施例】図4に全自動ESRシステムの系統図を示し
た。この全自動ESRシステムの基本構成は図1に示し
たものと同じである。この実施例においては、収納キャ
ビネットである内圧防爆型制御盤7が、化学プラントの
耐圧防爆雰囲気30に設置されている。この耐圧防爆雰
囲気30内には、試料採取部1の移送管37の一部、レ
ベルスイッチを備えた廃液タンク41を有する廃液装
置、及び吸着管47を備えた排気装置が設置されてい
る。制御部コンピュータ5は、制御ルーム9に設置され
ている。
【0038】内圧防爆型制御盤7中には、盤内パージ機
構44により、窒素ガスが充填され、内圧監視盤46に
より内圧防爆型制御盤7の内圧が監視されている。試料
採取部1は、プロセス配管6内に取りつけられたサンプ
リング装置43と、移送管37及び39と、移送管37
上に設けられた試料液/標準試料切替弁31及び試料採
取切替弁32とからなる。各弁31,32は、シーケン
サ4に接続されており、シーケンサ4によって開閉制御
される。試料液/標準試料切替弁31は三方弁となって
おり、その一端は、標準試料タンク45に接続してい
る。試料採取切替弁32も三方弁となっており、その一
端は、ポンプサンクション側への排出管38に接続して
いる。試料調製部2は、圧力調整機構、窒素置換機構、
及び定量機構とで構成される。圧力調整機構は圧力調整
弁34と圧抜きタンク42とを備える。窒素置換機構
は、窒素ガス配管と、マニホールド40と、マニホール
ド取りつけられた窒素供給ノズル27とで構成され、窒
素供給ノズル27には、電磁弁33が設けられている。
定量機構は、流量調整弁35及び電磁弁36を備え、セ
ル10に接続された移送管からなる。各弁33,34,
35,及び36はシーケンサ4に接続されており、シー
ケンサ4によって開閉制御される。
【0039】次に測定動作手順を説明する。まず試料の
定量に必要な標準試料のESR測定を行う。標準試料と
しては例えば安定したラジカルを持つスピントラップ剤
等のラジカル量が既知の溶液が用いられる。シーケンサ
4からの信号により、試料液/標準試料切替弁31が標
準試料側に切り替えられる。標準試料タンク45内の標
準試料が移送管37、39を通じて試料調製部2に送ら
れる。このとき、試料採取切り替えバルブ32は、シー
ケンサ4からの信号により試料調製部側に設定されてい
る。試料調製部2においては、シーケンサからの信号に
より、電磁弁36は「閉」、流量調整弁35は「開」状
態にある。電磁弁36が閉じられているので、移送管が
標準試料で満たされていき、流量調整弁35を越えたと
ころまで移送管が満たされた時点で、流量調整弁35よ
り上部に設けられた図示しないレベルセンサ等に基づき
試料液/標準試料切替弁31が切替えられ、標準試料の
供給が止まる。同時に電磁弁35が閉じられる。この定
量機構は、流量調整弁35及び電磁弁36間の移送管内
の液量がESR測定に必要な試料の量になるように、流
量調整弁35及び電磁弁36の取り付け位置が設定され
ているので、常に定量の試料液をセル10に送ることが
できる。次にシーケンサ4からの信号により、電磁弁3
6が開かれ、ESR測定部2のセル10に標準試料が送
られる。標準溶液のESR測定が終了すると、シーケン
サ4からの信号により電磁弁24が開放され、セル10
内の標準試料が廃液タンク41へ排出される。次の試料
液のESR測定に備えて、図示しない洗浄液によって、
セル10が洗浄される。
【0040】次に、シーケンサ4からの信号により、試
料液/標準試料切替弁31が試料液側に、試料採取切り
替えバルブ32がポンプサンクション側に切り替えられ
る。試料採取切り替えバルブ32をポンプサンクション
側に切り替えることで、試料液は、移送管37から排出
管38を通ってポンプサンクション側へ排出される。暫
く、試料液を流すことにより、移送管37内に残ってい
た標準試料が取り除かれる。続いてシーケンサ4からの
信号により、試料採取切り替えバルブ32が試料調製部
側に切り換えられ、試料液が移送管39を通って試料調
製部2へ送られる。
【0041】試料調製部2では、シーケンサ4からの信
号により圧力調整弁34が「開」、流量調整弁35が
「閉」状態にあり、試料液は、圧力調整弁34を通っ
て、圧抜きタンク42に一旦送られる。圧力調整弁34
により、試料液の圧力が大気圧まで減圧される。圧抜き
タンク42の上部にはダクトが設けられ、脱気時に発生
する試料中のガスは、ダクトから吸着管47を通って排
出される。圧抜きタンク42内に所定量の試料液が溜ま
ると、図示しないレベルセンサにより試料採取切替弁3
2がポンプサンクション側に切替えられ、試料液の試料
調製部2への供給が停止する。続いて、窒素供給ノズル
27が圧抜きタンク内に挿入され、シーケンサ4からの
信号により、窒素供給ノズル27の電磁弁33が開放さ
れ、試料液の窒素置換が行われる。所定時間経過後、シ
ーケンサ4からの信号により、電磁弁33が閉じられ
る。標準液の所で説明したのと同様に、定量機構によ
り、試料液が定量され、ESR測定部2のセル10に送
られ、ESR測定が行われる。
【0042】ESR測定後の測定データは、RC232
Cケーブルを通じて制御部コンピュータ5に送られる。
制御部コンピュータ5においてESRスペクトルデータ
が解析され、ラジカル量が求められる。
【発明の効果】本発明のESR装置により、試料の調製
からデータ処理までの一連の操作を自動的に行うことが
でき、短時間で、測定誤差が少なく、省力化されたES
R測定を行うことができる。
【0043】また、本発明の半自動ESRシステムによ
り、製造プロセスからの試料を自動的に採取する装置と
組み合わせることにより、試料の調製からデータ処理ま
での一連の操作を自動的に行うことのでき、試料採取時
の危険性がなく、短時間で、測定誤差が少なく、省力化
されたESR測定を行うことができる。
【0044】さらに、本発明の自動ESRシステムによ
り、製造プロセスからの試料の採取からデータ処理まで
の一連の操作を全て自動的に行うことのでき、試料採取
及び移送時の危険性がなく、短時間で、測定誤差が少な
く、省力化されたESR測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明における一実施態様である自
動ESRシステムの概略図である。
【図2】 図2は、本発明における他の実施態様である
半自動ESRシステムの概略図である。
【図3】 図3は、本発明における他の実施態様である
ESRユニットの正面図である。
【図4】 図4は、本発明における一実施態様である自
動ESRシステムの系統図である。
【符号の説明】
1 試料採取部、2 試料調製部、3 ESR測定部
4 制御部シーケンサー、5 制御部コンピュータ、6
プラント配管 、7 収納キャビネット、8化学プラ
ント、9 制御ルーム、10 セル、11 自動試料採
取装置、12試料調製部、13 ESR測定部、14
制御部、15 ESRユニット、21ビーカ、22 ヒ
ータ付き台、23 ピペット、24 電磁弁、25 ド
レインタンク、26 ディスプレイ、27 窒素供給ノ
ズル、30 耐圧防爆雰囲気、31 試料液/標準試料
切替弁、32 試料採取切替弁、33 電磁弁、34圧
力調整弁、35 流量調整弁、36 電磁弁、37 移
送管、38 排出管、39 移送管、40 マニホール
ド、41 廃液タンク、42 圧抜きタンク、43サン
プリング手段、44 盤内パージ機構、45 標準試
料、46 内圧監視盤、47 吸着管
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 1/22 G01N 1/22 N

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 採取された試料の調製を行い、調製した
    試料をESR測定部に移送する試料調製部と、調製した
    試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記
    試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを
    有することを特徴とするESR装置。
  2. 【請求項2】 試料採取口と試料排出口とを有する試料
    採取手段と、試料採取手段に設けられた弁と、前記弁の
    開閉を制御する制御手段とを有する試料自動採取装置
    と、採取された試料の調製を行い、調製した試料をES
    R測定部に移送する試料調製部と、調製した試料の電子
    スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料調製部
    及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有すること
    を特徴とするESR装置とを備えて成ることを特徴とす
    る半自動ESR測定システム。
  3. 【請求項3】 試料を採取し、試料調製部に採取した試
    料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送さ
    れた試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料移
    送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を
    測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料調
    製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有する
    ことを特徴とする自動オンラインESR測定システム。
JP2000248913A 2000-08-18 2000-08-18 試料採取、調製装置と組み合わせた自動esr測定システム Withdrawn JP2002062271A (ja)

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