JP2002054600A - エジェクタ - Google Patents
エジェクタInfo
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-
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Abstract
への物質付着による吸引力低下を防止することができる
エジェクタを提供すること。 【解決手段】 吸引室1、該吸引室1に連通するノズル
2、被吸引流体管3及びデフューザー4を具備し、ノズ
ル2からデフューザー4に向けて駆動流体Q1を噴射す
ることにより、吸引室1に被吸引流体導入管3を通して
被吸引流体Q2を吸引すると共に、デフューザー4を通
して駆動流体Q1の流出力により被吸引流体Q2を流出
させるエジェクタにおいて、吸引室1及び/又はデフュ
ーザー4の内壁に、液体Q3による濡れ壁9を形成する
濡れ壁形成手段を設けた。
Description
や低真空の発生などに用いられるエジェクタに関するも
のである。
分を持たず、高圧の駆動流体があれば手軽に負圧を発生
させることができるため、流体の吸引・搬送や低真空の
発生などに広く用いられている。しかしながら、被吸引
流体の組成によっては、エジェクタ内壁、特に吸引室や
デフューザー内壁に物質が付着して、吸引性能が低下す
る場合がある。図1はこの種のエジェクタの構成例を示
す図である。図示するように、エジェクタは吸引室1
と、該吸引室1に連通するノズル2、被吸引流体導入管
3及びデフューザー4を具備する。
ズル2からデフューザー4の入口部6に向けて噴射する
ことにより、吸引室1内に負圧を発生させ、被吸引流体
導入管3を通して被吸引流体Q2を吸引すると共に、デ
フューザー4を通して駆動流体Q1の流出力により被吸
引流体Q2を流出させる。被吸引流体Q2に含まれる物
質の付着は、ノズル2の被吸引流体導入管3側、吸引室
1の内壁、デフューザー入口部6及びデフューザー4の
内壁で発生する。特に、デフューザー4の入口部6への
付着は被吸引流体Q2の吸引性能に与える影響が著しく
大きい。
ム等の微細な粒子を含んだガスである場合、エジェクタ
の吸引室1やデフューザー4の内壁にこれらの粒子が付
着し、流路を狭めて吸引性能を低下させる。
応して固体化合物を生成する物質が含まれている場合に
も、生成した固体化合物が上記と同様な部分に付着し、
吸引性能の低下が起こる。例えば三塩化ホウ素(BCl
3)のような加水分解性を有する成分を含んだガスを被
吸引流体Q2、水分を含んだ空気を駆動流体Q1として
エジェクタで吸引した場合に、このようなことが起き
る。これは三塩化ホウ素(BCl3)と空気中に含まれ
る水が反応して、塩酸(HCl)と酸化ホウ素(B
2O3)が生成し、気体である塩酸(HCl)はエジェク
タをそのまま通過するが、酸化ホウ素(B2O3)は固体
であるためエジェクタの内壁に付着するためである。
4)、四塩化チタン(TiCl4)などの加水分解性を有
する成分を含む場合も同様のことが言える。従来、上記
のようなエジェクタの吸引性能の低下を防止するため。
定期的にエジェクタの組み込まれた装置の運転を停止
し、エジェクタを分解清掃するなどの対策が取られてい
た。
著しい場合には清掃間隔を短くする必要があり,生産性
が著しく低下する。また、特公昭61−26412号公
報及び特公昭62−11196号公報に開示されている
エジェクタは水洗機構を備えており、装置に組み込まれ
た状態のままで洗浄できるが、洗浄時には装置の運転を
停止する必要があり、生産性の低下は避けられない。
みてなされたもので、被吸引流体の組成に起因するエジ
ェクタ内壁への物質付着による吸引力低下を防止するこ
とができるエジェクタを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、吸引室、該吸引室に連通する
ノズル、被吸引流体管及びデフューザーを具備し、ノズ
ルからデフューザーに向けて駆動流体を噴射することに
より、吸引室に被吸引流体管を通して被吸引流体を吸引
すると共に、デフューザーを通して駆動流体の流出力に
より被吸引流体を流出させるエジェクタにおいて、吸引
室及び/又はデフューザー内壁に、液体による濡れ壁を
形成する濡れ壁形成手段を設けたことを特徴とする。
により、被吸引流体の組成に起因する物質が付着しやす
い、吸引室及び/又はデフューザー内壁に液体による濡
れ壁を形成することができる。これにより物質の付着を
防止できるから、吸引性能の低下を防止することができ
る。
のエジェクタにおいて、濡れ壁形成手段で濡れ壁を形成
する液体には、吸引室やデフューザーの内壁面に付着す
る可能性のある物質を溶解させる物質が含まれているこ
とを特徴とする。
引室やデフューザーの内壁面に付着する可能性のある物
質を溶解させる物質が含まれているので、該付着する可
能性のある物質は溶解するから、物質付着防止効果を高
めることが可能となる。
のエジェクタにおいて、濡れ壁形成手段で濡れ壁を形成
する液体は、吸引室やデフューザーの内壁面に付着する
可能性のある物質を溶解させる液体であることを特徴と
する。
吸引室やデフューザーの内壁面に付着する可能性のある
物質を溶解させる液体であるので、該付着する可能性の
ある物質は溶解するから、物質付着防止効果を高めるこ
とが可能となる。
のエジェクタにおいて、駆動流体は気体であり、濡れ壁
形成手段はデフューザーの入口に発生する旋回流を利用
して、濡れ壁を安定に形成することを特徴とする。
入口に発生する旋回流を利用して、液体を旋回させ濡れ
壁を形成するから、濡れ壁を安定に形成することがで
き、安定した物質付着防止効果が得られる。
面に基づいて説明する。図2は本発明に係るエジェクタ
の構成例を示す図である。図2において、図1と同一符
号を付した部分は同一又は相当部分を示す。なお、他の
図面においても同様とする。本エジェクタはデフューザ
ー4の外側を覆う形で液体室8が設けられており、該液
体室8に適当な流量で液体Q3を導入する。該液体Q3
は吸引室1とデフューザー4の境界付近に円環状に設け
られたスリット7から溢流し、ここから下方のデフュー
ザー4の内壁に濡れ壁9を形成する。
もと付着物質を含む被吸引流体Q2は、ノズル2から噴
射される駆動流体Q1によって吸引室1内に発生する負
圧により吸引され、駆動流体Q1の流出力によりデフュ
ーザー4内を通って流出する。この過程で上記被吸引流
体Q2に含まれる成分により生成された物質又はもとも
と被吸引流体Q2に含まれている物質は、デフューザー
4の入口部6に付着しようとするが、液体Q3によって
形成された濡れ壁9によって洗い流されるため堆積せ
ず、エジェクタの吸引性能は低下しない。
内壁に付着する可能性のある物質を溶解する性質を有す
る溶媒が望ましいが、該物質を溶解する性質を有しない
場合でも、濡れ壁9の物理的洗浄効果によって付着させ
ない場合もある。また、液体Q3には上記付着可能性の
ある物質を溶解する目的で、別の物質を混合しても構わ
ない。
してポリスチレン微粒子を含む場合は、液体Q3に水を
用いてもよいが、キシレンを用いると溶解性が向上し、
更にエジェクタの吸引性能維持に効果がある。また、上
記被吸引流体Q2に含まれる付着可能性物質が水への溶
解度の低いタングステン酸(H2WO4)である場合、液
体Q3に水酸化ナトリウム(NaOH)を溶解させたも
のを用いると、タングステン酸(H2WO4)は水溶性の
タングステン酸ナトリウム(NaWO4)に変化し、濡
れ壁9の洗浄作用が向上し、エジェクタの吸引性能維持
に効果がある。
動流体Q1、被吸引流体Q2の流量によって適当に決定
されるべきもので、少な過ぎれば付着物に対する洗浄作
用が得られないし、多過ぎれば濡れ壁9の厚みが増して
エジェクタの吸引性能を低下させる。
安定に存在させるため、デフューザー4はノズル2の駆
動流体Q1の噴射方向に対して対称的断面を持ち、垂直
に配置され、内壁面は平滑に加工されていることが望ま
しい。
図2に示すようにデフューザー4の入口部6に設けても
よいが、図3に示すように被吸引流体導入管3を被吸引
流体Q2がデフューザー4の上方から垂直に流入するよ
うに配置し、ノズル2より上方の被吸引流体導入管3の
内壁から吸引室1の内壁を含んだ範囲に濡れ壁9を形成
させて、物質付着を防ぐ構成としてもよい。
例を示す図である。本エジェクタは外部から吸引室1内
に向かって、液体導入管10を設けており、該液体導入
管10を介して、液体Q3を適当な流量で吸引室1に供
給する。吸引室1に入った液体Q3はデフューザー4の
入口部6に達する。ノズル2から噴射された駆動流体
(気体)Q1はデフューザー4の入口部6がテーパー形
状になっているため旋回流を形成しているから、吸引室
1に入った液体Q3は該入口部6で駆動流体Q1による
回転力を受け、デフューザー4に向かって旋回しながら
内壁面に沿って流れ落ちる。ここで液体Q3は旋回して
いるためデフューザー4の内壁面の全周を漏れなくカバ
ーし、安定した濡れ壁9を形成する。
もと付着物質を含む被吸引流体Q2はノズル2から噴射
される駆動流体Q1によって吸引室1内に発生する負圧
により吸引され、駆動流体Q1の流出力によりデフュー
ザー4内を通って流出する。この過程で上記被吸引流体
Q2に含まれる成分により生成された物質又はもともと
被吸引流体Q2に含まれている物質は、デフューザー4
の入口部6に付着しようとするが、液体Q3によって形
成された濡れ壁9によって洗い流されるため堆積せず、
エジェクタの吸引性能は低下しない。
ル2に液体Q3を吹き付ける構成にするのがよく、こう
することでノズル2への物質付着を防止することができ
る。また、液体導入管10は1本でもよいが、物質の付
着が起こり易い場所に向けて複数本配置してもよい。ま
た、先端にスプレーノズルを備え広い範囲に液体Q3を
吹き付けるようにしてもよい。
1に該液体Q3を混合するようにしてもよい。また、加
熱した液体Q3に駆動流体Q1を接触させ、液体Q3を
蒸気としてエジェクタのノズル2から吐出し断熱膨張す
る過程で生じる温度低下や、被吸引流体Q2との混合に
よる温度低下によって結露させ、液体Q3を供給する方
法でもよい。
クタで用いた液体Q3のようなものを使用できる。ま
た、液体Q3の流量、デフューザー4の断面、配置、内
壁面の平滑度に関しても、図2のエジェクタと同様に配
慮する必要がある。
と図4に示す構成のエジェクタの特徴を組合せてエジェ
クタを構成してもよい。特に図4に示すノズル2に液体
Q3を吹き付ける構成を、図2に示すエジェクタに組合
せた構成にしても当然有効である。
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
成手段を設けることにより、被吸引流体の組成に起因す
る物質が付着しやすい、吸引室及び/又はデフューザー
内壁に液体による濡れ壁を形成することができるから、
物質の付着を防止でき、吸引性能の低下のないエジェク
タを提供できる。
形成する液体に、吸引室やデフューザーの内壁面に付着
する可能性のある物質を溶解させる物質が含まれている
ので、該付着する可能性のある物質は溶解するから、更
に物質付着防止効果を高めたエジェクタを提供できる。
形成する液体自体が吸引室やデフューザーの内壁面に付
着する可能性のある物質を溶解させる液体であるので、
該付着する可能性のある物質は溶解するから、更に物質
付着防止効果を高めたエジェクタを提供できる。
段はデフューザーの入口に発生する旋回流を利用して、
液体を旋回させ濡れ壁を形成するから、濡れ壁を安定に
形成することができ、安定した物質付着防止効果が得ら
れるエジェクタを提供できる。
る。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 吸引室、該吸引室に連通するノズル、被
吸引流体管及びデフューザーを具備し、前記ノズルから
前記デフューザーに向けて駆動流体を噴射することによ
り、前記吸引室に前記被吸引流体管を通して被吸引流体
を吸引すると共に、前記デフューザーを通して駆動流体
の流出力により被吸引流体を流出させるエジェクタにお
いて、 前記吸引室及び/又はデフューザー内壁に、液体による
濡れ壁を形成する濡れ壁形成手段を設けたことを特徴と
するエジェクタ。 - 【請求項2】 請求項1に記載のエジェクタにおいて、 前記濡れ壁形成手段で濡れ壁を形成する液体には、前記
吸引室やデフューザーの内壁面に付着する可能性のある
物質を溶解させる物質が含まれていることを特徴とする
エジェクタ。 - 【請求項3】 請求項1に記載のエジェクタにおいて、 前記濡れ壁形成手段で濡れ壁を形成する液体は、前記吸
引室やデフューザーの内壁面に付着する可能性のある物
質を溶解させる液体であることを特徴とするエジェク
タ。 - 【請求項4】 請求項1に記載のエジェクタにおいて、 前記駆動流体は気体であり、前記濡れ壁形成手段は前記
デフューザーの入口に発生する旋回流を利用して、濡れ
壁を安定に形成することを特徴とするエジェクタ。
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