JP2002048711A - Laser measuring device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、自動車などの排
ガスに含まれる二酸化炭素や窒素酸化物などの濃度や、
浮遊粒子状物質の濃度などを計測するのに適するレーザ
ー計測装置に関する。The present invention relates to the concentration of carbon dioxide and nitrogen oxides contained in exhaust gas from automobiles and the like,
The present invention relates to a laser measurement device suitable for measuring the concentration of suspended particulate matter and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、自動車の二酸化炭素、窒素酸化物
などの排ガスと、その中に含まれるＳＰＭ（浮遊粒子状
物質）による公害が問題になっており、特にディーゼル
車による排ガスが東京都を始めとして問題視されてい
る。ＳＰＭは、排ガスの黒煙中に含まれる微粒子であ
り、喘息や肺がんなどを誘発するおそれがあるものとさ
れ、これによる環境問題については近隣住民が注目する
ところとなっている。また、昭和５３年規制以来、２２
年ぶりに平成１２年自動車排ガス規制が施行される予定
であり、これをクリアするために自動車メーカーなどに
よってＬＥＶ（Low Emission Vehicle）などの開発も急
ピッチで進められている。この発明は、このような排ガ
スによる環境汚染を計測する排ガス計測装置に関するも
のである。2. Description of the Related Art At present, exhaust gas such as carbon dioxide and nitrogen oxides from automobiles and pollution caused by SPM (suspended particulate matter) contained therein have become a problem. It is considered a problem at the beginning. SPM is a fine particle contained in black smoke of exhaust gas, and is considered to have a risk of inducing asthma, lung cancer, and the like. In addition, since regulation in 1978, 22
Automobile exhaust gas regulations are scheduled to be enforced in 2000 for the first time in a year, and the development of LEVs (Low Emission Vehicles) and the like is being advanced at a rapid pace by automobile manufacturers and the like in order to clear the regulations. The present invention relates to an exhaust gas measuring device for measuring environmental pollution caused by such exhaust gas.
【０００３】図１７は、従来の排ガス計測装置を示す概
念図である。この排ガス計測装置９００は、道路の片側
にレーザー光源９０１と受光部９０２とを設置し、もう
片側に反射用のミラー９０３を設置することで構成され
ている。受光部９０２には、図示しない処理部が設けら
れている。レーザー光源９０１から出射したレーザー光
Ｒは、道路上を横断し、ミラー９０３に反射して受光部
９０２にて受光される。受光したレーザー光Ｒは、自動
車Ｍの排気ガスの分子に吸収されてその強度（透過光強
度）が低下する。排気ガスの濃度は、この強度低下から
算出することで計測可能である。FIG. 17 is a conceptual diagram showing a conventional exhaust gas measuring device. This exhaust gas measuring device 900 is configured by installing a laser light source 901 and a light receiving unit 902 on one side of a road, and installing a reflecting mirror 903 on the other side. The light receiving unit 902 is provided with a processing unit (not shown). The laser light R emitted from the laser light source 901 crosses the road, is reflected by the mirror 903, and is received by the light receiving unit 902. The received laser light R is absorbed by molecules of the exhaust gas of the automobile M, and its intensity (transmitted light intensity) decreases. The concentration of the exhaust gas can be measured by calculating from the intensity decrease.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記排
ガス計測装置９００では、道路を渡すようにして横置し
ているため、近隣の環境計測に不向きな問題点があっ
た。例えば道路脇およびその近隣の環境を計測するに
は、自動車Ｍから排出される有害ガスの流れが重要であ
るから、排ガス計測装置９００を横置きした状態におけ
る道路上での環境計測ではその計測結果の有効性を疑問
視せざるを得ない。However, in the exhaust gas measuring device 900, since it is placed horizontally across a road, there is a problem that it is unsuitable for environmental measurement in the vicinity. For example, the flow of harmful gas discharged from the automobile M is important for measuring the environment near the roadside and its vicinity. Therefore, in the environmental measurement on the road with the exhaust gas measuring device 900 placed horizontally, the measurement result is obtained. I have to question the effectiveness of.
【０００５】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、環境計測を適切に行うことができるレ
ーザー計測装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a laser measuring device capable of appropriately performing environmental measurement.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に係るレーザー計測装置は、レーザー光
の減衰から計測雰囲気の排ガス濃度或いは微粒子濃度を
計測するレーザー計測装置において、レーザー光を出射
するレーザー光源と、計測雰囲気中を通過したレーザー
光を受光する受光手段と、レーザー光源から出射したレ
ーザー光を反射する反射手段と、地面に略垂直に立設さ
れ、前記レーザー光源および受光手段と反射手段とを上
下に離して支持する支持構造と、受光手段の出力からレ
ーザー光の減衰分を取得し、この減衰分から排ガス濃度
或いは微粒子濃度を取得する濃度取得手段とを備えたも
のである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser measuring apparatus for measuring the concentration of exhaust gas or fine particles in a measurement atmosphere from the attenuation of a laser beam. A laser light source that emits light, a light receiving unit that receives the laser light that has passed through the measurement atmosphere, a reflection unit that reflects the laser light emitted from the laser light source, and a laser light source that is erected substantially perpendicularly to the ground. A support structure for supporting the light receiving means and the reflecting means vertically separated from each other, and a concentration obtaining means for obtaining an attenuation of the laser beam from the output of the light receiving means and obtaining an exhaust gas concentration or a fine particle concentration from the attenuation. It is.
【０００７】レーザー光源から出射したレーザー光は、
特定の波長領域で計測雰囲気に吸収されて減衰する。受
光手段は、このレーザー光の強度を検出する。濃度取得
手段は、この受光手段の検出信号からレーザー光の減衰
量を求め、当該減衰量に対応したガス濃度或いは微粒子
濃度を取得する。このレーザー計測装置では、レーザー
光源および受光手段と、反射手段とを地面に立設した支
持構造により上下に離して支持することで、排ガスの濃
度を平均化して検出することができる。例えば排ガスの
濃度は高さ１ｍ程度では低く、高さ４ｍ程度になると高
いなどのムラが発生するため、６ｍ程度の支持構造を道
路脇に設置してその上下方向で計測するようにすれば、
排ガス濃度を平均化して取得できる。このため、環境計
測を適切に行うことができるようになる。なお、この発
明は自動車からの排ガス計測のみならず、店舗や工場な
どからの排ガスも計測できることは言うまでもない。The laser light emitted from the laser light source is
It is absorbed by the measurement atmosphere in a specific wavelength region and attenuated. The light receiving means detects the intensity of the laser light. The concentration obtaining means obtains an attenuation amount of the laser beam from the detection signal of the light receiving means, and obtains a gas concentration or a fine particle concentration corresponding to the attenuation amount. In this laser measuring device, the exhaust gas concentration can be averaged and detected by supporting the laser light source, the light receiving means, and the reflecting means vertically apart from each other by a support structure erected on the ground. For example, since the concentration of the exhaust gas is low at a height of about 1 m and uneven at a height of about 4 m, a support structure of about 6 m is installed on the side of the road and the measurement is performed in the vertical direction.
The exhaust gas concentration can be averaged and obtained. For this reason, environmental measurement can be performed appropriately. It goes without saying that the present invention can measure not only exhaust gas from automobiles but also exhaust gas from stores and factories.
【０００８】また、請求項２にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、レーザー
光源から出射するレーザー光の波長掃引を行う波長可変
手段を備えたものである。排ガスは特定の周波数のレー
ザー光を吸収する性質がある。このため、レーザー光の
波長掃引することで、当該周波数における減衰量を取得
できる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser measuring apparatus according to the above-mentioned laser measuring apparatus, further comprising wavelength variable means for sweeping a wavelength of a laser beam emitted from a laser light source. Exhaust gas has a property of absorbing laser light of a specific frequency. Therefore, the amount of attenuation at the frequency can be obtained by sweeping the wavelength of the laser light.
【０００９】また、請求項３にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、レーザー
光源からのレーザー光を分光する、ビーム・スプリッタ
ーなどの分光手段と、基準とする参照ガスを封入した参
照ガス封入容器と、前記分光したレーザー光であって参
照ガス封入容器内の参照ガス雰囲気を通過したものを受
光する補正用受光手段とを備えたものである。According to a third aspect of the present invention, in the above-mentioned laser measuring apparatus, a spectroscopic means such as a beam splitter for separating the laser beam from the laser light source and a reference gas as a reference are further enclosed. A reference gas-filled container; and a light receiving means for correction for receiving the split laser beam that has passed through the reference gas atmosphere in the reference gas-filled container.
【００１０】レーザー光源の出力は温度によって変動す
るから、このレーザー光を分光して基準となる参照ガス
中を通過させる。そして、参照ガス中を通過したレーザ
ー光の強度を補正用受光手段によって検出し、この検出
信号に基づいてレーザー光の減衰分を取得する。このよ
うにすれば、温度変化に起因した誤差を補正することが
できる。Since the output of the laser light source fluctuates depending on the temperature, the laser light is split and passed through a reference gas serving as a reference. Then, the intensity of the laser beam that has passed through the reference gas is detected by the light receiving means for correction, and the attenuation of the laser beam is obtained based on the detection signal. By doing so, it is possible to correct an error caused by a temperature change.
【００１１】また、請求項４にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、波長が互
いに異なる前記レーザー光源と受光手段との組を複数設
置したものである。上述の通り、排ガスの種類によって
吸収する波長が異なること、波長掃引できる範囲は極め
て狭いことから、波長が互いに異なるレーザー光源とそ
の受光手段との組を計測ガス種に応じて複数設置するこ
とにより、一括した環境計測が可能になる。According to a fourth aspect of the present invention, in the laser measuring apparatus, a plurality of pairs of the laser light source and the light receiving means having different wavelengths are provided. As described above, the wavelength to be absorbed differs depending on the type of exhaust gas, and the range in which the wavelength can be swept is extremely narrow, so that a plurality of sets of laser light sources having different wavelengths and their light receiving means are installed in accordance with the type of measurement gas. , Collective environmental measurement becomes possible.
【００１２】また、請求項５に係るレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、前記波長
が異なるレーザー光源から出射したレーザー光の光路中
に設けられ、一方のレーザー光を遮蔽し他方のレーザー
光を通過させ、続いて前記一方のレーザー光を通過させ
他方のレーザー光を遮蔽し、これを繰り返す動作を行
う、チョッパーその他の機械的遮蔽手段を設けたもので
ある。Further, the laser measuring device according to claim 5 is the laser measuring device, further provided in an optical path of laser light emitted from the laser light sources having different wavelengths, for blocking one laser light and for the other laser light. There is provided a chopper and other mechanical shielding means for performing an operation of passing a laser beam, subsequently passing the one laser beam and blocking the other laser beam, and repeating the operation.
【００１３】機械的遮蔽手段は、複数のレーザー光源を
用いる場合に、そのレーザー光が互いに干渉したりしな
いように、一方のレーザー光を用いる場合には他方のレ
ーザーを遮蔽して用いないようにした。これにより、よ
り正確な環境計測が可能になる。When a plurality of laser light sources are used, the mechanical shielding means prevents the laser lights from interfering with each other, and when using one laser light, shields the other laser from use. did. This enables more accurate environmental measurement.
【００１４】また、請求項６にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、レーザー
光源の出射部または受光手段の受光部の光路上に管状部
材を配置したものである。管状部材によってレーザー光
源または受光手段に外乱となるような光線が入射するの
を抑制することができる。このため、環境計測をより正
確に行うことができるようになる。According to a sixth aspect of the present invention, in the laser measuring apparatus, a tubular member is further disposed on an optical path of an emitting part of the laser light source or a light receiving part of the light receiving means. By the tubular member, it is possible to suppress a light beam which becomes a disturbance to the laser light source or the light receiving means. For this reason, environmental measurement can be performed more accurately.
【００１５】また、請求項７にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、レーザー
光源および受光手段を容器内に収容すると共に、少なく
とも反射手段との対向面に透明なシールド板を設け、こ
のシールド板のうち、前記レーザー光源から出射したレ
ーザー光が通過する部分に傾斜面を形成したものであ
る。According to a seventh aspect of the present invention, in the laser measuring device, the laser measuring device further includes a laser light source and a light receiving means housed in a container, and a transparent shield plate is provided at least on a surface facing the reflecting means. An inclined surface is formed in a portion of the shield plate through which the laser light emitted from the laser light source passes.
【００１６】レーザー光がシールド板を通過する際、そ
の一部が反射してレーザー光源に戻り、干渉を起こすこ
とがある。このため、通過する部分に傾斜を設けること
により反射したレーザー光がレーザー光源に戻らないよ
うに逃がすようにしている。このため、レーザー光源の
干渉を防止することができる。When the laser beam passes through the shield plate, a part of the laser beam is reflected and returns to the laser light source, which may cause interference. For this reason, the reflected laser light is escaped so as not to return to the laser light source by providing a slope in the passing portion. Therefore, interference of the laser light source can be prevented.
【００１７】また、請求項８にかかるレーザー計測装置
は、上記レーザー計測装置において、さらに、レーザー
光源および受光手段を容器内に収容すると共に、少なく
とも反射手段との対向面に透明なシールド板を設け、こ
のシールド板のうち、前記レーザー光源と受光手段との
間に、当該シールド板に埋設した遮光面やシールド板の
面に形成した反射防止部などの遮光手段を設けたもので
ある。In the laser measuring apparatus according to the present invention, the laser measuring apparatus further comprises a laser light source and a light receiving means housed in a container, and a transparent shield plate is provided at least on a surface facing the reflecting means. In this shield plate, a light shielding means such as a light shielding surface embedded in the shield plate or an antireflection portion formed on the surface of the shield plate is provided between the laser light source and the light receiving means.
【００１８】レーザー光がシールド板を通過する際、当
該シールド板内を伝播して受光手段に外乱として入射す
ることがある。このため、シールド板に遮光面を埋設し
たり、シールド板面に反射防止部を設けたりして遮光す
るようにした。このようにすれば、受光手段に入射して
外乱となるような反射光を遮断できるので、より正確な
環境計測を行うことができる。When the laser beam passes through the shield plate, it may propagate through the shield plate and enter the light receiving means as a disturbance. Therefore, light is shielded by burying a light shielding surface in the shield plate or providing an antireflection portion on the shield plate surface. With this configuration, it is possible to block reflected light that enters the light receiving unit and becomes a disturbance, so that more accurate environmental measurement can be performed.
【００１９】また、請求項９にかかるレーザー計測装置
は、支柱をトラス形或いは門形に組んでこれを支持構造
とし、この支持構造にレーザー光源および受光手段を固
定し、レーザー光源から出射したレーザー光が反射手段
で少なくとも２回以上反射してから前記受光手段で受光
し得るように、前記支持構造に対して複数の反射手段を
分散して設け、前記受光手段の出力からレーザー光の減
衰分を取得し、この減衰分から排ガス濃度或いは微粒子
濃度を取得するようにしたものである。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a laser measuring apparatus, wherein a support is formed by assembling a support in a truss shape or a gate shape, and a laser light source and a light receiving means are fixed to the support structure. A plurality of reflecting means are dispersedly provided on the support structure so that the light can be received by the light receiving means at least twice after being reflected by the reflecting means, and the attenuation of the laser light is calculated based on the output of the light receiving means. Is obtained, and the exhaust gas concentration or the fine particle concentration is obtained from the attenuation.
【００２０】支柱をトラス形或いは門形に組んだ支持構
造に複数の反射手段を分散して設け、この反射手段を用
いてレーザー光を反射することにより、当該支持構造内
で平面的な環境計測が可能になる。このため、より実際
に近い環境計測が可能になる。なお、反射手段の設置形
態によって、種々の光路が形成可能であり、具体的には
実施の形態に開示した例を参照されたい。A plurality of reflecting means are dispersedly provided on a support structure in which the columns are assembled in a truss shape or a gate shape, and a laser beam is reflected by using the reflecting means, so that a planar environment measurement is performed in the support structure. Becomes possible. For this reason, a more realistic environment measurement can be performed. Note that various optical paths can be formed depending on the installation form of the reflection means. For details, see the examples disclosed in the embodiments.
【００２１】また、請求項９にかかるレーザー計測装置
は、内部に反射防止膜が設けられ、排ガスに含まれる微
粒子が導入される筒状体と、筒状体の軸方向に対して斜
め方向に設置され、筒状体内にレーザー光を照射するレ
ーザー光源と、筒状体内の微粒子に当たって散乱したレ
ーザー光を受光する受光手段と、受光手段の検出した散
乱光の強度から微粒子の濃度を取得する濃度取得手段と
を備えたものである。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a laser measuring apparatus, wherein an anti-reflection film is provided inside, and a cylindrical body into which fine particles contained in exhaust gas are introduced, A laser light source installed to irradiate laser light into the cylindrical body, light receiving means for receiving the laser light scattered upon the fine particles in the cylindrical body, and a concentration for obtaining the concentration of the fine particles from the intensity of the scattered light detected by the light receiving means Acquisition means.
【００２２】レーザー光は、浮遊する微粒子に当たると
散乱する性質を利用し、この散乱光を取得してその強度
から微粒子の濃度を計測するようにしたものである。こ
のため、外乱となる光線が入射し難いように内部に反射
防止膜を設けた筒状体内にレーザー光源を設け、このレ
ーザー光の散乱光を受光手段で受光するようにしてい
る。筒状体には端部開口から計測雰囲気が導入される。The laser light utilizes the property of scattering when it hits floating fine particles, and obtains the scattered light and measures the concentration of the fine particles from its intensity. For this reason, a laser light source is provided in a cylindrical body provided with an anti-reflection film inside so that a light beam which becomes a disturbance is hardly incident, and scattered light of the laser light is received by a light receiving means. A measurement atmosphere is introduced into the cylindrical body from an end opening.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではなく、この発明の構成要素
に相当する下記実施の形態の構成要素には、当業者によ
り置換可能な構成要素が含まれることは言うまでもな
い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the embodiments, and it goes without saying that the components of the following embodiments corresponding to the components of the present invention include components that can be replaced by those skilled in the art. .
【００２４】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１にかかるレーザー計測装置の原理を示す説明図
である。このレーザー計測装置１は、サンプリング管２
内にガスを導入し、このサンプリング管２の一方側にレ
ーザー光源３を設置し、このレーザー光源３に対向する
他方側に受光器４を設置し、レーザー光源３および受光
器４の前面にレンズ５，６を配置した構成である。ま
た、レーザー光源３には、電源７とレーザー光の波長を
制御する制御部８とが接続されている。また、受光器４
側には、レーザー光の強度から排ガス濃度を取得する処
理部９と、その結果を表示するＬＣＤなどの表示部１０
とが設けられている。サンプリング管２の入口１１から
導入された排ガスは、出口１２から排出される。サンプ
リング管２の入口１１は、例えば自動車のマフラーなど
に直結される。(First Embodiment) FIG. 1 is an explanatory diagram showing the principle of a laser measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention. The laser measuring device 1 includes a sampling tube 2
A laser light source 3 is installed on one side of the sampling tube 2, and a light receiver 4 is installed on the other side opposite to the laser light source 3, and a lens is provided in front of the laser light source 3 and the light receiver 4. This is a configuration in which 5 and 6 are arranged. The laser light source 3 is connected to a power supply 7 and a control unit 8 for controlling the wavelength of the laser light. In addition, light receiver 4
On the side, a processing unit 9 for acquiring the exhaust gas concentration from the intensity of the laser beam, and a display unit 10 such as an LCD for displaying the result.
Are provided. Exhaust gas introduced from the inlet 11 of the sampling pipe 2 is discharged from the outlet 12. The inlet 11 of the sampling pipe 2 is directly connected to, for example, a muffler of an automobile.
【００２５】図２は、レーザー光の波長と減衰量との関
係を示すグラフ図である。排ガス濃度は、レーザー光Ｒ
の減衰量から計測する。レーザー光Ｒは、空気中を通過
するとき、その通過する大気に含まれる元素に吸収され
る。また、浮遊するＳＰＭによって散乱する。レーザー
光Ｒの散乱は、波長全域に渡って均一に発生するから、
当該グラフ中の波長全域に渡って発生した減衰分が煤塵
などのＳＰＭによる散乱分に相当することになる。従っ
て、当該減衰量（同図符号ａ）から大気中のＳＰＭの濃
度を計測することができる。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the wavelength of laser light and the amount of attenuation. Exhaust gas concentration is measured by laser light R
It is measured from the amount of attenuation. When the laser light R passes through the air, it is absorbed by the elements contained in the passing air. Further, the light is scattered by the floating SPM. Since the scattering of the laser light R occurs uniformly over the entire wavelength range,
The attenuation generated over the entire wavelength range in the graph corresponds to the scattering by the SPM such as dust. Therefore, the concentration of SPM in the atmosphere can be measured from the amount of attenuation (reference numeral a in the figure).
【００２６】また、大気中の窒素酸化物などの排ガス
は、特定の波長においてレーザー光Ｒを吸収する性質を
有するから、制御部８によって波長掃引した場合、特定
波長にて減衰する領域が発生する。従って、この減衰分
（図中符号ｂ）から大気中の排ガス濃度を計測すること
ができる。これらの減衰量と濃度との相関関係は、処理
部９が備えるメモリ（図示省略）にテーブル化されてお
り、受光器４の検出信号とメモリのデータとを比較する
ことにより、濃度を取得することができる。なお、上記
計測方法は、本願出願人による先の出願（特開平１１−
３３７４８３号）に開示されているので、詳しくはそち
らを参照されたい。Further, since exhaust gas such as nitrogen oxides in the atmosphere has a property of absorbing the laser light R at a specific wavelength, when the wavelength is swept by the control unit 8, a region attenuated at a specific wavelength is generated. . Therefore, the concentration of the exhaust gas in the atmosphere can be measured from the amount of this attenuation (reference numeral b in the figure). The correlation between the attenuation amount and the density is tabulated in a memory (not shown) provided in the processing unit 9, and the density is obtained by comparing the detection signal of the light receiver 4 with the data in the memory. be able to. The measurement method is described in a prior application filed by the present applicant (Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
No. 337483), please refer to that for details.
【００２７】図３は、図１および２に示した計測原理を
応用して構成したレーザー計測装置を示す構成図であ
る。図４は、図３に示した計測ユニットを示す説明図で
ある。このレーザー計測装置１００は、環境計測のため
に道路脇などに設置されるものであって、下面に杭１０
１を設けた方形のベース板１０２上にステンレス製の筒
体１０３を立設し、当該筒体１０３の下部に計測ユニッ
ト１０４を配置すると共に上部に反射用のミラー１０５
を設置した構成である。筒体１０３には、周囲の雰囲気
が自然に取り入れるためのスリット１０６が複数設けら
れている。FIG. 3 is a block diagram showing a laser measuring apparatus constructed by applying the measuring principle shown in FIGS. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the measurement unit shown in FIG. This laser measuring device 100 is installed on the side of a road or the like for environmental measurement.
A cylindrical body 103 made of stainless steel is erected on a square base plate 102 provided with a measuring unit 104, a measuring unit 104 is arranged below the cylindrical body 103, and a mirror 105 for reflection is provided above.
It is the structure which installed. The cylindrical body 103 is provided with a plurality of slits 106 for taking in the surrounding atmosphere naturally.
【００２８】また、筒体１０３の下部には、強制換気の
ためのファン１０７および換気口１０８が設けられてい
る。前記ミラー１０５は、筒体１０３の上端縁から延出
した支持用のロッド１０９によって保持されている。ま
た、筒体１０３の頂部には、雨よけ用のフード１１０が
設けられている。計測ユニット１０４は、レーザー発振
器１４１を内蔵したレーザー光源１４２と、反射したレ
ーザー光を受光する受光器１４３と、補正用の参照ガス
を封入したガス管１４４と、ガス管１４４に連結した補
正用受光器１４５とが組で構成されている。補正用受光
器１４５を用いるのは、レーザー光源１４２の出力が温
度差による変動するため、これに起因した受光器１４３
の出力変動をキャンセルするためである。Further, a fan 107 and a ventilation port 108 for forced ventilation are provided below the cylindrical body 103. The mirror 105 is held by a support rod 109 extending from an upper edge of the cylindrical body 103. A hood 110 for rain protection is provided at the top of the cylindrical body 103. The measuring unit 104 includes a laser light source 142 having a built-in laser oscillator 141, a light receiver 143 for receiving the reflected laser light, a gas pipe 144 filled with a reference gas for correction, and a light receiver for correction connected to the gas pipe 144. The container 145 is configured as a set. The correction light receiver 145 is used because the output of the laser light source 142 fluctuates due to a temperature difference.
This is for canceling the output fluctuation.
【００２９】前記レーザー発振器１４１には、ルビーレ
ーザーやＹＡＧレーザーなどの固体レーザー、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザーや炭酸ガスレーザーなどの気体レーザー、色
素レーザーなどの液体レーザー、半導体レーザー、波長
変換レーザーなどを用いることができる。波長掃引を行
わずにＳＰＭのみを計測する場合には、列挙した各種の
レーザー発振器を用いることができる。波長掃引する場
合には、波長変換レーザーや半導体レーザーを用いるの
が好ましい。レーザー発振器１４１は、計測するガスに
より吸収され得る波長が異なるから、当該計測に合った
ものを適宜選択して用いるようにする。The laser oscillator 141 includes a solid-state laser such as a ruby laser or a YAG laser, He-N
A gas laser such as an e-laser or a carbon dioxide laser, a liquid laser such as a dye laser, a semiconductor laser, a wavelength conversion laser, or the like can be used. When measuring only the SPM without performing the wavelength sweep, various listed laser oscillators can be used. When the wavelength is swept, it is preferable to use a wavelength conversion laser or a semiconductor laser. Since the laser oscillator 141 has a different wavelength that can be absorbed by the gas to be measured, a laser oscillator 141 that is appropriate for the measurement is appropriately selected and used.
【００３０】前記受光器１４３には、レーザースポット
のエネルギー密度が高いことから、サーモパイル式の放
射メーターを用い、その表面に黒色表面吸収体をコーテ
ィングするようにする。また、通常のフォトダイオード
や光導電素子などを用いることもできる。Since the laser receiver 143 has a high energy density of a laser spot, a thermopile radiation meter is used, and the surface thereof is coated with a black surface absorber. In addition, a normal photodiode or a photoconductive element can be used.
【００３１】また、前記レーザー光源１４２内には、レ
ーザー発振器１４１からのレーザー光を計測用のレーザ
ー光と補正用のレーザー光に分割するビーム・スプリッ
ター１４６が設けられている。受光器１４３内および補
正用受光器１４５内には、フォトダイオード１５０、１
４７が設置されている。また、レーザー光源１４２の出
口には、レーザー光を平行ビームとするコリメートレン
ズ１４８が設けられ、受光器１４３のビーム入口には、
検出レンズ１４９が設けられている。In the laser light source 142, there is provided a beam splitter 146 for dividing laser light from the laser oscillator 141 into laser light for measurement and laser light for correction. In the light receiver 143 and the correction light receiver 145, the photodiodes 150, 1
47 are installed. At the exit of the laser light source 142, a collimating lens 148 that converts the laser beam into a parallel beam is provided, and at the beam entrance of the light receiver 143,
A detection lens 149 is provided.
【００３２】機器収納容器１１１は、前記筒体１０３と
は別の場所に設置されている。機器収納容器１１１に
は、レーザー光源１４２に高電圧を印加する高圧電源１
１２と、レーザー光源１４２の波長掃引を行う制御器１
１３と、受光器１４３からの検出信号から排ガス濃度を
検出する処理装置１１４と、計測した濃度を表示するＬ
ＣＤやＣＲＴなどから構成した表示装置１１５が収納さ
れている。The equipment storage container 111 is installed at a place different from the cylindrical body 103. A high-voltage power supply 1 for applying a high voltage to the laser light source 142 is provided in the device housing 111.
12 and a controller 1 for sweeping the wavelength of the laser light source 142
13, a processing device 114 for detecting the exhaust gas concentration from the detection signal from the light receiver 143, and an L for displaying the measured concentration.
A display device 115 composed of a CD, a CRT, or the like is stored.
【００３３】図５は、図４に示した処理装置１１４を示
す構成図である。この処理装置１１４は、受光器１４３
からの検出信号を増幅するアンプ１５１と、補正用受光
器１４５からの検出信号を増幅するアンプ１５２と、レ
ーザー光の減衰量とそれに対応するＳＰＭの濃度および
排ガス濃度をテーブル化したメモリ１５３と、受光器１
４３からの検出信号と補正用受光器１４５からの検出信
号を比較してレーザー光の減衰量を取得し、この減衰量
からＳＰＭの濃度および排ガス濃度を計測する処理演算
部１５４とから構成されている。FIG. 5 is a block diagram showing the processing unit 114 shown in FIG. The processing device 114 includes a light receiver 143
An amplifier 151 that amplifies the detection signal from the optical receiver, an amplifier 152 that amplifies the detection signal from the correction light receiver 145, a memory 153 that tabulates the amount of attenuation of the laser beam and the corresponding SPM concentration and exhaust gas concentration, Receiver 1
And a processing operation unit 154 that obtains the amount of attenuation of the laser light by comparing the detection signal from the detector 43 and the detection signal from the correction light receiver 145, and measures the SPM concentration and the exhaust gas concentration from the attenuation. I have.
【００３４】つぎに、このレーザー計測装置１００の動
作を説明する。レーザー計測装置１００の筒体１０３内
には、周囲に設けたスリット１０６から周囲の雰囲気が
導入される。レーザー光源１４２から出射したレーザー
光Ｒは、筒体１０３内の被計測対象である雰囲気内を通
過して筒体１０３上部に設けたミラー１０５にて反射す
る。なお、このレーザー光Ｒを出射する際、制御器１１
３によってレーザー光Ｒの波長掃引が行われる。具体的
には、このレーザー光源１４２の波長掃引は、ＣＯ2濃
度を計測するため１．５７２〜１．５７８μｍの範囲で
行われる。この反射したレーザー光Ｒは、筒体１０３下
部に設けた受光器１４３に入射する。受光器１４３では
受光したレーザー光Ｒの強度を検出する。受光器１４３
からの検出信号は、アンプ１５１で増幅されて処理演算
部１５４に送られる。Next, the operation of the laser measuring device 100 will be described. The surrounding atmosphere is introduced into the cylindrical body 103 of the laser measuring device 100 from the slit 106 provided in the surrounding. The laser light R emitted from the laser light source 142 passes through the atmosphere to be measured in the cylindrical body 103 and is reflected by the mirror 105 provided above the cylindrical body 103. When emitting the laser light R, the controller 11
3 sweeps the wavelength of the laser light R. Specifically, the wavelength sweep of the laser light source 142 is performed in a range of 1.572 to 1.578 μm to measure the CO 2 concentration. The reflected laser light R is incident on a light receiver 143 provided below the cylindrical body 103. The light receiver 143 detects the intensity of the received laser light R. Receiver 143
Are amplified by the amplifier 151 and sent to the processing operation unit 154.
【００３５】一方、レーザー光源１４２のレーザー発振
器１４１からの発振されたレーザー光Ｒは、ビーム・ス
プリッター１４６にて分光され（レーザー光Ｒｓ）、ガ
ス管１４４内を通過する。ガス管１４４内には基準とな
る大気が封入されており、この雰囲気内を通過したレー
ザー光Ｒｓは補正用受光器１４５にて受光される。補正
用受光器１４５では、レーザー光Ｒｓの強度を検出す
る。この検出信号は、アンプ１５２で増幅され、処理演
算部１５４に送られる。On the other hand, the laser light R oscillated from the laser oscillator 141 of the laser light source 142 is split by the beam splitter 146 (laser light Rs), and passes through the gas pipe 144. A reference atmosphere is sealed in the gas pipe 144, and the laser light Rs that has passed through the atmosphere is received by the correction light receiver 145. The correction light receiver 145 detects the intensity of the laser light Rs. This detection signal is amplified by the amplifier 152 and sent to the processing operation unit 154.
【００３６】処理演算部１５４では、補正用受光器１４
５の検出信号と、受光器１４３の検出信号とを比較して
レーザー光強度の差を取得する。図６は、レーザー光の
波長と減衰分との関係を示すグラフ図である。図中符号
ｃは、基準温度におけるレーザー光Ｒの出力を示す。符
号ｄは、補正用受光器１４５の出力を示す。この補正用
受光器１４５の出力は、周囲の温度による影響によって
レーザー光の強度が変動し、これに起因して影響が現れ
た結果である。このため、温度差による変動の影響は、
この補正用受光器１４５の出力を基準としてレーザー光
の減衰分を計測することでキャンセルすることができ
る。In the processing operation unit 154, the correction light receiver 14
5 and the detection signal of the light receiver 143 to obtain a difference in laser light intensity. FIG. 6 is a graph showing the relationship between the wavelength of laser light and the amount of attenuation. The symbol c in the figure indicates the output of the laser light R at the reference temperature. The symbol d indicates the output of the correction light receiver 145. The output of the correction light receiver 145 is a result of the fact that the intensity of the laser light fluctuates due to the influence of the ambient temperature, and the influence appears due to the fluctuation. Therefore, the effect of fluctuation due to temperature difference is
The measurement can be canceled by measuring the attenuation of the laser beam with reference to the output of the correction light receiver 145.
【００３７】符号ｅは、受光器１４３の出力を示す。こ
の受光器１４３の出力から、波長掃引の結果、特定の範
囲（符号ｆ）でレーザー光Ｒが減衰することが判る。例
えば二酸化炭素の場合には波長が１．７８９μｍ、窒素
酸化物の場合には波長が１．８０１μｍにおいてレーザ
ー光の減衰が認められる（図示省略）。このため、当該
グラフ図における谷部分の深さ（符号ｇ）によって排ガ
ス濃度を計測することが可能なる。また、ＳＰＭの濃度
に関しては、特定の波長で減衰が生じないため、波長掃
引した全域に渡ってレーザー光Ｒの減衰が見られる（符
号ｈ）。このため、当該グラフ図において谷部分以外を
比較することによりＳＰＭ濃度の計測することが可能に
なる。The symbol e indicates the output of the light receiver 143. From the output of the light receiver 143, it can be seen that the laser light R is attenuated in a specific range (symbol f) as a result of the wavelength sweep. For example, in the case of carbon dioxide, the wavelength is 1.789 μm, and in the case of nitrogen oxide, the wavelength of the laser light is attenuated at 1.801 μm (not shown). For this reason, the exhaust gas concentration can be measured by the depth (sign g) of the valley portion in the graph. Further, as for the concentration of SPM, since no attenuation occurs at a specific wavelength, the attenuation of the laser light R is observed over the entire wavelength-swept region (symbol h). For this reason, it is possible to measure the SPM concentration by comparing portions other than the valley portion in the graph.
【００３８】前記メモリ１５３には、レーザー光Ｒの減
衰量と排ガス濃度およびＳＰＭ濃度との関係をテーブル
化して記憶してある。処理演算部１５４では、メモリ１
５３のテーブルに従い、取得したレーザー光の減衰量か
ら排ガス濃度およびＳＰＭ濃度を取得する。なお、ここ
では排ガスの種類は特定せず説明したが、実際に特定の
排ガス、例えば二酸化炭素や窒素酸化物、二酸化硫黄、
炭化水素などを計測する場合には、ガスに種類によって
吸収するレーザー光の波長が異なるから、計測対象とな
るガスに応じてレーザー光源を適宜選択する必要があ
る。処理演算部１５４により取得したガス濃度およびＳ
ＰＭ濃度は、表示装置１１５によって表示される。ま
た、これらの計測濃度は、図示しない記録装置によって
逐次記憶することができる。The memory 153 stores the relationship between the amount of attenuation of the laser light R, the exhaust gas concentration and the SPM concentration in a table. In the processing operation unit 154, the memory 1
According to the table 53, the exhaust gas concentration and the SPM concentration are obtained from the obtained attenuation amount of the laser light. Although the type of the exhaust gas is not described here, it is actually specified exhaust gas, for example, carbon dioxide, nitrogen oxide, sulfur dioxide,
When measuring hydrocarbons or the like, it is necessary to appropriately select a laser light source according to the gas to be measured because the wavelength of the laser light absorbed by the gas varies depending on the type. The gas concentration and S acquired by the processing operation unit 154
The PM concentration is displayed by the display device 115. Further, these measured densities can be sequentially stored by a recording device (not shown).
【００３９】つぎに、レーザー計測装置１００の使用を
継続することにより、計測ユニット１０４のレンズ面に
ＳＰＭなどが積もることがある。このような場合には、
連続的或いは断続的にファン１０７を駆動し、積もった
ＳＰＭを強制的に除去するようにする。また、スリット
１０６の開口面積は、筒体１０３が支持構造体として機
能する限りにおいて、大きくするのが好ましい。筒体１
０３内における排ガスの澱みを抑制するためである。Next, as the use of the laser measuring device 100 is continued, SPM or the like may be accumulated on the lens surface of the measuring unit 104. In such a case,
The fan 107 is driven continuously or intermittently to remove the accumulated SPM. It is preferable that the opening area of the slit 106 be large as long as the cylindrical body 103 functions as a support structure. Cylinder 1
This is for suppressing the stagnation of the exhaust gas in the inside 03.
【００４０】なお、上記では計測ユニット１０４を筒体
１０３の下部に設け、ミラー１０５を筒体１０３の上部
に設けたが、これらを逆にしてもよい。また、前記ミラ
ー１０５のかわりにプリズムなどのコーナーキューブを
用いるようにしてもよい。また、ガス管１４４は、補正
用受光器１４５を収容している容器と一体化するように
してもよい。筒体１０３は、高いほど広範囲で計測でき
るので、好ましい環境計測を行うことができる。In the above description, the measurement unit 104 is provided below the cylinder 103 and the mirror 105 is provided above the cylinder 103, but these may be reversed. Further, a corner cube such as a prism may be used instead of the mirror 105. Further, the gas pipe 144 may be integrated with a container accommodating the correction light receiver 145. Since the cylinder 103 can be measured in a wider range as it is higher, preferable environmental measurement can be performed.
【００４１】図７は、上記実施の形態１の変形例を示す
概略構成図である。同図に示すように、計測ユニット１
０４のレーザー光源１４２と受光器１４３との間にミラ
ー１６０を配置して筒体１０３内をレーザー光Ｒが２往
復するように構成してもよい。このようにすれば、レー
ザー光Ｒの光路を長くすることができるので、さらに適
確な環境計測が可能になる。逆に、上記実施の形態と同
じ光路を確保する場合には、それだけ筒体１０３の高さ
を低くできる。なお、当該ミラー１０５は、上記同様に
プリズムなどであっても構わない。FIG. 7 is a schematic diagram showing a modification of the first embodiment. As shown in FIG.
A mirror 160 may be arranged between the laser light source 142 and the light receiver 143 of FIG. 4 so that the laser light R makes two round trips in the cylinder 103. With this configuration, the optical path of the laser light R can be lengthened, so that more accurate environmental measurement can be performed. Conversely, when securing the same optical path as in the above embodiment, the height of the cylindrical body 103 can be reduced accordingly. Note that the mirror 105 may be a prism or the like as described above.
【００４２】（実施の形態２）図８は、この発明の実施
の形態２にかかるレーザー計測装置を示す概略構成図で
ある。図９は、図８に示したレーザー計測装置の一部断
面図である。このレーザー計測装置２００は、下面に杭
２０１を設けた方形のベース板２０２上に下部容器２０
３を設置し、この下部容器２０３の周囲に４本の支柱２
０４を設け、当該支柱２０４の上部に上板２０５を設け
た構成である。この上板２０５の下面にはミラー２０６
が取り付けてある。なお、上記同様、ミラー２０６の他
にプリズムなどを用いることができる。(Embodiment 2) FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a laser measuring apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 9 is a partial cross-sectional view of the laser measuring device shown in FIG. This laser measuring device 200 is provided with a lower container 20 on a square base plate 202 provided with a pile 201 on the lower surface.
3 and four columns 2 around the lower container 203.
04 is provided, and an upper plate 205 is provided above the support 204. A mirror 206 is provided on the lower surface of the upper plate 205.
Is attached. Note that a prism or the like can be used in addition to the mirror 206 as described above.
【００４３】下部容器２０３内には、計測ユニット２０
７が設置されている。この計測ユニット２０７は、図４
に示した計測ユニット１０４と略同様のものであるが、
レーザー光源１４２および受光器１４３の各レンズ部分
に管状部材２０８、２０９を取り付けた点が異なる。こ
の管状部材２０８，２０９は、周囲からレーザー光Ｒ以
外の光線Ｎが入射するのを防止する機能を有しており、
長いほど効果的である。この管状部材２０８，２０９を
設けることにより、外乱となる光線の入射が防止される
から、正確な環境計測が行えるようになる。なお、処理
装置１１４、表示装置１１５、高圧電源１１２および制
御器１１３は、図４に示したものと同様であるため、そ
の説明を省略する。In the lower container 203, the measuring unit 20
7 are installed. This measuring unit 207 is provided in FIG.
Is substantially the same as the measurement unit 104 shown in FIG.
The difference is that the tubular members 208 and 209 are attached to the respective lens portions of the laser light source 142 and the light receiver 143. The tubular members 208 and 209 have a function of preventing a light beam N other than the laser beam R from entering from the surroundings.
The longer, the more effective. By providing the tubular members 208 and 209, the incidence of disturbance light rays is prevented, so that accurate environmental measurement can be performed. The processing device 114, the display device 115, the high-voltage power supply 112, and the controller 113 are the same as those shown in FIG.
【００４４】また、下部容器２０３の上部にはガラス板
２１０が設けられており、その上端縁には、ウォッシャ
ー液を噴射するノズル２１１と、ワイパー装置２１２と
が設けられている。ノズル２１１およびワイパー装置２
１２は、定期的に作動してガラス板２１０の上面に積も
ったＳＰＭなどの塵埃を除去する。また、ガラス板２１
０のうち、レーザー光源１４２に設けた管状部材２０８
の先端に対向する部分には、斜面２１３が形成されてい
る。この斜面２１３は、ガラス面で反射したレーザー光
Ｒｒがレーザー光源１４２に戻って干渉を起こすのを防
止する。また、斜面２１３を設けることによりレーザー
光Ｒが屈折するが、レーザー光Ｒがミラー２０６に当た
るようであれば問題はない。A glass plate 210 is provided on the upper portion of the lower container 203, and a nozzle 211 for injecting a washer liquid and a wiper device 212 are provided on an upper edge thereof. Nozzle 211 and wiper device 2
Numeral 12 operates periodically to remove dust such as SPM accumulated on the upper surface of the glass plate 210. In addition, the glass plate 21
0, the tubular member 208 provided on the laser light source 142
A slope 213 is formed in a portion opposed to the tip of the. The slope 213 prevents the laser light Rr reflected on the glass surface from returning to the laser light source 142 and causing interference. In addition, although the laser light R is refracted by providing the inclined surface 213, there is no problem as long as the laser light R hits the mirror 206.
【００４５】さらに、ガラス板２１０のうち、レーザー
光源１４２と受光器１４３との間付近には、遮蔽板２１
４が埋設されている。この遮蔽板２１４は、斜面２１３
において散乱した散乱光Ｒｄが受光器１４３に入射する
のを防止するためのものである。また、遮蔽板２１４に
代えて、前記ガラス面に黒色の反射防止材を貼り付ける
ようにしてもよい（図示省略）。また、この実施の形態
２のレーザー計測装置２００では、下部容器２０３にガ
ラス板２１０を設けたが、これに代えて、各管状部材２
０８，２０９の上端部にガラス材を入れるようにしても
よい（図示省略）。Further, in the vicinity of the glass plate 210 between the laser light source 142 and the light receiver 143, the shielding plate 21 is provided.
4 are buried. This shielding plate 214 has a slope 213.
This is to prevent the scattered light Rd scattered in the above from entering the light receiver 143. Further, instead of the shielding plate 214, a black anti-reflection material may be attached to the glass surface (not shown). Further, in the laser measuring apparatus 200 according to the second embodiment, the glass plate 210 is provided in the lower container 203, but instead of this, each of the tubular members 2 is provided.
A glass material may be placed at the upper end of each of 08 and 209 (not shown).
【００４６】このレーザー計測装置２００の動作は、実
施の形態１のレーザー計測装置１００と同様であるから
その説明を省略する。以上、このレーザー計測装置２０
０によれば、計測ユニット２０７のレンズ部分に管状部
材２０８，２０９を設けたので、外乱となる光線Ｎの入
射を防止できる。このため、排ガス濃度およびＳＰＭ濃
度の計測を正確に行える。また、ガラス板２１０に遮蔽
板２１４を設けたので、受光器１４３に散乱光Ｒｄが入
射するのを防止できる。つぎに、支柱２０４によって上
板２０５を保持した構成であるため、周囲の雰囲気が計
測領域を自然に通過するようになる。このため、計測領
域における大気の澱みがなくなるから、自然な状態での
計測が可能になる。The operation of the laser measuring device 200 is the same as that of the laser measuring device 100 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. The laser measuring device 20
According to 0, since the tubular members 208 and 209 are provided in the lens portion of the measurement unit 207, it is possible to prevent the incidence of the light beam N which becomes a disturbance. Therefore, the exhaust gas concentration and the SPM concentration can be accurately measured. Further, since the shielding plate 214 is provided on the glass plate 210, it is possible to prevent the scattered light Rd from entering the light receiver 143. Next, since the upper plate 205 is held by the support 204, the surrounding atmosphere naturally passes through the measurement area. For this reason, since the stagnation of the atmosphere in the measurement region is eliminated, the measurement can be performed in a natural state.
【００４７】さらに、ガラス板２１０に斜面２１３を設
けたので、ガラス面で反射したレーザー光Ｒｒがレーザ
ー光源１４２から逃げるようになる。このため、レーザ
ー光源１４２における干渉を防止できる。また、管状部
材２０８，２０９は、計測ユニット２０７側ではなく、
ガラス板２１０の下面に直接取り付けるようにしてもよ
いし、レーザー光源１４２および受光器１４３のいずれ
か一方に管状部材２０８，２０９を取り付けるようにし
てもよい。Further, since the inclined surface 213 is provided on the glass plate 210, the laser light Rr reflected on the glass surface escapes from the laser light source 142. Therefore, interference in the laser light source 142 can be prevented. Also, the tubular members 208 and 209 are not on the measurement unit 207 side,
The tubular members 208 and 209 may be attached directly to the lower surface of the glass plate 210, or may be attached to one of the laser light source 142 and the light receiver 143.
【００４８】（実施の形態３）図１０は、この発明の実
施の形態３にかかるレーザー計測装置を示す概略構成図
である。なお、同図では、図３に示したような筒体１０
３、図８に示したような下部容器２０３については簡略
化する。このレーザー計測装置３００は、上記実施の形
態１および２に示した計測ユニット１０４、２０７を二
段構成にした点に特徴がある。この計測ユニット３０１
は、図３に示した筒体１０３の下部に設置してもよい
し、図８に示した下部容器２０３内に設置するようにし
てもよい。計測ユニット３０１を二段構成にすること
で、異なる波長のレーザー光源Ｒ１、Ｒ２を用いること
が可能になるから、計測雰囲気中の異なる種類のガス
（例えば二酸化炭素と窒素酸化物）を同時に計測するこ
とが可能になる。(Embodiment 3) FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing a laser measuring apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. In the same figure, the cylindrical body 10 as shown in FIG.
3. The lower container 203 as shown in FIG. 8 will be simplified. The laser measuring apparatus 300 is characterized in that the measuring units 104 and 207 shown in the first and second embodiments are configured in a two-stage configuration. This measuring unit 301
May be installed below the cylindrical body 103 shown in FIG. 3 or may be installed in the lower container 203 shown in FIG. By forming the measurement unit 301 in a two-stage configuration, it is possible to use laser light sources R1 and R2 of different wavelengths, so that different types of gases (for example, carbon dioxide and nitrogen oxide) in the measurement atmosphere are measured simultaneously. It becomes possible.
【００４９】計測ユニット３０１を二段構成にした場
合、レーザー光源１４２および受光器１４３のレンズ１
４８，１４９が正方形の頂点に位置するように配置す
る。ＣＯ 2系の計測ユニット（１４２ａ〜１４５ａ）と
ＮＯ系の計測ユニット（１４２ｂ〜１４５ｂ）は、その
レーザー光源１４２と受光器１４３とが対角方向に配置
される。また、このレーザー計測装置３００では、図示
しない制御器によってＣＯ 2系の計測ユニットとＮＯ系
の計測ユニットとは、個別に波長掃引される。また、Ｃ
Ｏ2系の受光器１４３ａとＮＯ系の受光器１４３ｂから
の検出信号は、図示しない処理演算部によってぞれぞれ
別々に処理され、その結果が表示装置に表示される。When the measuring unit 301 has a two-stage configuration
Lens 1 of the laser light source 142 and the light receiver 143
48 and 149 are located at the vertices of the square.
You. CO TwoSystem measurement units (142a to 145a)
NO-based measurement units (142b to 145b)
Laser light source 142 and light receiver 143 are arranged diagonally
Is done. Also, in this laser measuring device 300,
Not controller by CO TwoSystem measurement unit and NO system
The wavelength of the measurement unit is individually swept. Also, C
OTwoFrom the optical receiver 143a of the system and the optical receiver 143b of the NO system
Are respectively detected by a processing operation unit (not shown).
Processed separately and the result is displayed on the display device.
【００５０】また、レーザー光源１４２と受光器１４３
との間には、チョッパー装置３０２が設けられている。
このチョッパー装置３０２は、計測ユニット３０１を多
段構成にした場合に、レーザー光Ｒ１、Ｒ２が相互に干
渉を防止するためのものである。チョッパー装置３０２
は、２枚プロペラ状のチョッパー３０３と、その軸３０
４を回転させるモーター３０５とから構成されている。
モーター３０５の回転によってチョッパー３０３がレー
ザー光源１４２ａから出射したレーザー光Ｒ１を遮蔽す
ると共にレンズ１４９ａにレーザー光Ｒ２の散乱光が入
射するのを防止する。The laser light source 142 and the light receiver 143
Is provided with a chopper device 302.
The chopper device 302 is for preventing the laser beams R1 and R2 from interfering with each other when the measuring unit 301 has a multi-stage configuration. Chopper device 302
Is a two-propeller chopper 303 and its shaft 30
4 for rotating the motor 4.
The rotation of the motor 305 causes the chopper 303 to shield the laser light R1 emitted from the laser light source 142a and prevent the scattered light of the laser light R2 from entering the lens 149a.
【００５１】また、チョッパー３０３の幅は、中心角が
８０度程度になるようにすれば、各レンズ１４８，１４
９が正方形の頂点に位置していることから、ＣＯ2系の
レーザー光Ｒ１とＮＯ系のレーザー光Ｒ２とのいずれか
をタイミングよく遮光することができる。さらに、チョ
ッパー３０３を羽根形状にしてファンの機能を持たせる
ようにしてもよい。この場合、計測ユニット上に積もっ
たＳＰＭを計測中、常時除去することができる。When the center angle of the chopper 303 is set to be about 80 degrees, each lens 148, 14
Since 9 is located at the apex of the square, either of the CO 2 -based laser beam R1 and the NO-based laser beam R2 can be shielded with good timing. Further, the chopper 303 may be shaped like a blade to have a function of a fan. In this case, the SPM accumulated on the measurement unit can be constantly removed during measurement.
【００５２】つぎに、このレーザー計測装置３００の動
作について説明する。まず、ＮＯ系のレーザー光源１４
２ｂから出射したレーザー光Ｒ２は、上方のミラー１０
５により反射してＮＯ系の受光器１４３ｂに入射する。
なお、このレーザー光Ｒ２は、図示しない制御器によっ
て波長掃引されている。一方、ＣＯ2系のレーザー光源
１４２ａから出射したレーザー光Ｒ１は、チョッパー３
０３により遮光される。ここで、チョッパー３０３の下
面にレーザー光Ｒ１を吸収する材料を貼り付け或いは塗
布しておくか、ＣＯ2系の受光器１４３ａに入射しない
ような方向に反射させるための傾斜を設けるか、などの
工夫をしてもよい。Next, the operation of the laser measuring device 300 will be described. First, the NO-based laser light source 14
The laser beam R2 emitted from the upper mirror 10b
5 and is incident on the NO-based light receiver 143b.
The wavelength of the laser light R2 is swept by a controller (not shown). On the other hand, the laser light R1 emitted from the CO 2 -based laser light source 142a is
03 is shielded from light. Here, a material that absorbs the laser beam R1 is pasted or applied to the lower surface of the chopper 303, or an inclined surface for reflecting the laser beam R1 in a direction that does not enter the CO 2 -based light receiver 143a is provided. You may devise it.
【００５３】チョッパー３０３によって一方のレーザー
光Ｒ１を遮光することにより、当該レーザー光Ｒ１が他
方のレーザー光Ｒ２が入射すべき受光器１４３ｂに入っ
て外乱となるのを防止することができる。このチョッパ
ー３０３は、所定の回転数で回転しているから、つぎ
は、ＮＯ系のレーザー光Ｒ２が遮光され、ＣＯ2系のレ
ーザー光Ｒ１がミラー１０５に反射してＣＯ2系の受光
器１４３ａに入射することになる。By shielding one laser beam R1 with the chopper 303, it is possible to prevent the laser beam R1 from entering the light receiver 143b to which the other laser beam R2 is incident and becoming a disturbance. The chopper 303 from rotating at a predetermined rotational speed, the following is NO type laser beam R2 is shielded of, photodetector 143a of the CO 2 system CO 2 system of the laser beam R1 is reflected on the mirror 105 Will be incident.
【００５４】各受光器１４３は、入射したレーザー光Ｒ
の強度に応じた検出信号を出力する。この後の処理手順
は、上記実施の形態１と同様であるからその説明を省略
する。以上、このレーザー計測装置３００によれば、計
測ユニット３０１を多段構成にし、チョッパー３０３を
用いて一方のレーザー光Ｒを遮光して外乱となるのを防
止するようにしたので、ガス濃度およびＳＰＭ濃度を正
確に計測することができる。Each light receiver 143 receives the incident laser light R
And outputs a detection signal corresponding to the intensity of. Subsequent processing procedures are the same as those in the first embodiment, and thus description thereof will be omitted. As described above, according to the laser measuring apparatus 300, the measuring unit 301 has a multi-stage structure, and the chopper 303 is used to shield one of the laser beams R to prevent disturbance, so that the gas concentration and the SPM concentration are reduced. Can be measured accurately.
【００５５】図１１は、上記レーザー計測装置の変形例
を示す概略構成図である。このレーザー計測装置３５０
は、計測ユニット３５１を二段構成にすると共にミラー
３５２の半分を遮光膜３５３で覆うようにし、当該部分
でレーザー光Ｒが反射しないようにした点に特徴があ
る。ミラー３５２は、モーター３５４によって回転され
る。一方、計測ユニット３５１では、ＣＯ2系とＮＯ系
とを対角に設ける必要はなく、並列して設ければよい。
同図に示すように、ミラー３５２を回転させた状態で各
レーザー光源１４２ａ、１４２ｂからレーザー光Ｒ１、
Ｒ２を出射すると、例えばＮＯ系のレーザー光Ｒ２がミ
ラー３５２の遮光膜３５３により反射せず、ＣＯ2系の
レーザー光Ｒ２のみがミラー３５２の反射面にて反射
し、受光器１４３ａによって受光される。FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the laser measuring device. This laser measuring device 350
Is characterized in that the measurement unit 351 has a two-stage configuration, and a half of the mirror 352 is covered with a light-shielding film 353 so that the laser light R is not reflected at the portion. The mirror 352 is rotated by a motor 354. On the other hand, in the measurement unit 351, the CO 2 system and the NO system need not be provided diagonally, but may be provided in parallel.
As shown in the figure, when the mirror 352 is rotated, the laser light R1,
When emits R2, for example, NO-based laser light R2 is not reflected by the light shielding film 353 of the mirror 352, only the laser beam R2 of CO 2 system is reflected by the reflective surface of the mirror 352, it is received by the light receiving unit 143a .
【００５６】続いて、ミラー３５２がさらに回転する
と、ＮＯ系のレーザー光Ｒ２がミラー３５２の反射面に
より反射して受光器１４３ｂによって受光され、ＣＯ2
系のレーザー光Ｒ１が遮光膜３５３により反射しないこ
とになる。なお、ミラー３５２の回転軸を中心としてそ
の両側にレーザースポットが当たるようにすれば、タイ
ミングよくレーザー光Ｒ１、Ｒ２の反射・遮光の切り替
えが可能である。Subsequently, when the mirror 352 further rotates, the NO-based laser light R2 is reflected by the reflection surface of the mirror 352 and received by the light receiver 143b, and the CO 2 is emitted.
The system laser beam R1 is not reflected by the light shielding film 353. Note that if laser spots are applied to both sides of the mirror 352 around the rotation axis of the mirror 352, it is possible to switch between reflection and blocking of the laser beams R1 and R2 with good timing.
【００５７】（実施の形態４）図１２は、この発明の実
施の形態４にかかるレーザー計測装置を示す斜視図であ
る。このレーザー計測装置４００は、図８に示したレー
ザー計測装置２００の光路を複数のミラー４０１、４０
２によって反射させ、平面的な計測を行うようにしたも
のである。このレーザー計測装置４００は、道路脇に設
置したベースプレート４０３に支柱４０４で門型の骨組
みを構成し、その支柱４０４に複数のミラー４０１を固
定した構造である。また、前記ベースプレート４０３の
端部には、図８で示したような計測容器４０５（下部容
器２０３に相当）が設置されている。(Embodiment 4) FIG. 12 is a perspective view showing a laser measuring apparatus according to Embodiment 4 of the present invention. The laser measuring device 400 includes a plurality of mirrors 401 and 40 that connect the optical path of the laser measuring device 200 shown in FIG.
2 to perform a two-dimensional measurement. The laser measuring apparatus 400 has a structure in which a portal skeleton is formed by a support 404 on a base plate 403 installed on the side of a road, and a plurality of mirrors 401 are fixed to the support 404. At the end of the base plate 403, a measuring container 405 (corresponding to the lower container 203) as shown in FIG.
【００５８】ミラー４０１、４０２は、ベースプレート
４０３に２つ、支柱４０４に２つ設けられており、ベー
スプレート４０３端部に設けたミラー４０２によってレ
ーザー光Ｒが折り返すようになっている。計測容器４０
５内には、レーザー光源、受光器および補正用受光器が
格納されている（図示省略）。なお、これらレーザー光
源などは図８に示したものと同様の構成であるから、そ
の説明を省略する。また、処理装置、表示装置、高圧電
源および制御器についても、図４に示したものと同様の
構成である。Two mirrors 401 and 402 are provided on the base plate 403 and two mirrors are provided on the column 404. The laser light R is turned back by the mirror 402 provided at the end of the base plate 403. Measurement container 40
A laser light source, a light receiver, and a light receiver for correction are stored in 5 (not shown). Since these laser light sources and the like have the same configuration as that shown in FIG. 8, the description thereof will be omitted. Further, the processing device, the display device, the high-voltage power supply, and the controller have the same configuration as that shown in FIG.
【００５９】計測容器４０５内のレーザー光源から出射
したレーザー光Ｒは、波長掃引された状態で計測雰囲気
中を通過し、支柱４０４のミラー４０１で反射する。続
いて、反射したレーザー光Ｒは、ベースプレート４０３
のミラー４０１および支柱４０４のミラー４０１で反射
し、ベースプレート４０３端部のミラー４０２にて折り
返す。このレーザー光Ｒは、もと来た光路を通って計測
容器４０５内の受光器に入射する。続いて、上記同様に
受光器の検出信号からレーザー光Ｒの減衰量を取得し、
ガス濃度およびＳＰＭ濃度を求める。The laser light R emitted from the laser light source in the measurement container 405 passes through the measurement atmosphere in a state where the wavelength is swept, and is reflected by the mirror 401 of the support 404. Subsequently, the reflected laser light R is applied to the base plate 403.
The light is reflected by the mirror 401 of the support 404 and the mirror 401 of the support 404, and is turned back by the mirror 402 at the end of the base plate 403. This laser light R is incident on the light receiver in the measurement container 405 through the original optical path. Subsequently, the attenuation amount of the laser light R is obtained from the detection signal of the light receiver as described above,
Determine the gas concentration and SPM concentration.
【００６０】以上、このレーザー計測装置４００によれ
ば、レーザー光Ｒの光路を平面的に形成したので、より
実際の環境に近い計測を行うことができる。図１３は、
図１２のレーザー計測装置の変形例を示す説明図であ
る。同図（ａ）に示すように、支柱４０４を三角に組
み、その頂部にミラー４０１を設け、レーザー光路を山
形に形成するようにしてもよい。このようにすれば、比
較的簡単に装置を構成することができる。また、同図
（ｂ）に示すように、上部の支柱４０４にミラー４０１
を３つ、ベースプレート４０３にミラー４０１、４０２
を３つ設け、その端部のミラー４０２でレーザー光Ｒを
折り返すようにしてもよい。このようにすれば、光路を
長くできるため、環境計測をさらに正確に行うことがで
きる。As described above, according to the laser measuring apparatus 400, since the optical path of the laser light R is formed in a plane, it is possible to perform measurement closer to the actual environment. FIG.
It is explanatory drawing which shows the modification of the laser measuring device of FIG. As shown in FIG. 7A, the support 404 may be assembled in a triangular shape, a mirror 401 may be provided on the top, and the laser light path may be formed in a mountain shape. In this way, the device can be configured relatively easily. In addition, as shown in FIG.
Mirrors 401 and 402 on the base plate 403
May be provided, and the laser light R may be turned back by the mirror 402 at the end. With this configuration, the optical path can be lengthened, so that environmental measurement can be performed more accurately.
【００６１】また、同図（ｃ）に示すように、往復の光
路を別に形成するようにしてもよい。同図では、上部の
支柱４０４にミラー４０１を３つ、ベースプレート４０
３に２つ設け、行きの光路形成に支柱４０４両側のミラ
ー４０１とベースプレート４０３中央のミラー４０１を
用い、帰りの光路形成に支柱４０４中央のミラー４０１
を用いた。なお、この構成の場合は、レーザー光源の出
射角度と受光器への入射角度が幾分異なることになるか
ら、計測容器４０５内にて受光器を傾けて設置すること
になる。なお、上記構成以外にも、ミラー４０１の数や
角度によって、種々の光路を形成することが可能であ
る。As shown in FIG. 7C, a reciprocating optical path may be formed separately. In the figure, three mirrors 401 are provided on the upper support 404 and the base plate 40 is provided.
3, two mirrors 401 on both sides of the support 404 and a mirror 401 at the center of the base plate 403 are used for forming the outgoing optical path, and the mirror 401 at the center of the support 404 is used for forming the return optical path.
Was used. In the case of this configuration, since the emission angle of the laser light source and the incident angle to the light receiver are slightly different, the light receiver is installed in the measurement container 405 at an angle. Various optical paths can be formed depending on the number and angles of the mirrors 401 in addition to the above configuration.
【００６２】（実施の形態５）図１４は、この発明の実
施の形態５にかかるレーザー計測装置の原理を示す説明
図である。このレーザー計測装置２０では、サンプリン
グ管２内にガスを導入し、このサンプリング管２の一方
側にレーザー光源３を設置し、このレーザー光源３に対
向する他方側に受光器４を設置し、レーザー光源３およ
び受光器４の前面にレンズ５，６を配置した構成であ
る。また、このレーザー計測装置２０では、サンプリン
グ管２に対して斜め方向からレーザー光を照射するＳＰ
Ｍ用レーザー光源２１と、この前面に設けたレンズ２２
とが配置されている。さらに、このＳＰＭによる散乱光
を受光する受光器２３およびレンズ２４とが配置されて
いる。(Fifth Embodiment) FIG. 14 is an explanatory diagram showing the principle of a laser measuring apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. In the laser measuring device 20, a gas is introduced into the sampling tube 2, a laser light source 3 is installed on one side of the sampling tube 2, and a light receiver 4 is installed on the other side facing the laser light source 3, In this configuration, lenses 5 and 6 are arranged on the front surface of the light source 3 and the light receiver 4. Further, in the laser measuring device 20, the SP for irradiating the sampling tube 2 with laser light from an oblique direction.
M laser light source 21 and lens 22 provided on the front surface
And are arranged. Further, a light receiver 23 and a lens 24 for receiving the scattered light by the SPM are arranged.
【００６３】また、レーザー光源３には、電源７とレー
ザー光の波長を制御する制御部８とが接続されている。
また、受光器４、２３側には、レーザー光Ｒ１の強度か
ら排ガス濃度を取得すると共に散乱光の強度からＳＰＭ
濃度を取得する処理部２５と、その結果を表示するＬＣ
Ｄなどの表示部１０とが設けられている。なお、ＳＰＭ
用レーザー光源２１には、波長掃引する必要がないの
で、直接電源７が接続されている。サンプリング管２の
入口１１から導入された排ガスは、出口１２から排出さ
れる。サンプリング管２の入口１１は、例えば自動車の
マフラーなどに直結される。The laser light source 3 is connected to a power supply 7 and a control unit 8 for controlling the wavelength of the laser light.
Further, on the photodetectors 4 and 23 side, the exhaust gas concentration is obtained from the intensity of the laser beam R1 and the SPM is obtained from the intensity of the scattered light.
A processing unit 25 for acquiring the concentration and an LC for displaying the result
A display unit 10 such as D is provided. Note that SPM
The power source 7 is directly connected to the laser light source 21 because it is not necessary to sweep the wavelength. Exhaust gas introduced from the inlet 11 of the sampling pipe 2 is discharged from the outlet 12. The inlet 11 of the sampling pipe 2 is directly connected to, for example, a muffler of an automobile.
【００６４】このレーザー計測装置２０は、ＳＰＭの計
測を別のレーザー光源２１によって行う。すなわち、Ｓ
ＰＭ用レーザー光源２１からのレーザー光Ｒ２がサンプ
リング管２内のＳＰＭによって散乱光となり、これを受
光器２３が受光することになる。処理部２５は、散乱光
の強度からＳＰＭの濃度を取得する。散乱光の強度とＳ
ＰＭ濃度は、図示しないメモリにテーブル化されてお
り、処理部２５では、検出した散乱光の強度に対応する
ＳＰＭ濃度を取得し、表示部１０に表示する。一方、排
ガス濃度の計測は、図１に示した原理と同じ要領で行
う。このとき、波長掃引した全域に渡ってレーザー光Ｒ
１の減衰が見られるが、これはＳＰＭによる減衰である
から、計測上無視してよい。The laser measuring device 20 measures the SPM using another laser light source 21. That is, S
The laser light R2 from the PM laser light source 21 becomes scattered light by the SPM in the sampling tube 2, and the scattered light is received by the light receiver 23. The processing unit 25 acquires the SPM concentration from the intensity of the scattered light. Scattered light intensity and S
The PM concentration is tabulated in a memory (not shown), and the processing unit 25 acquires the SPM concentration corresponding to the detected intensity of the scattered light and displays it on the display unit 10. On the other hand, the measurement of the exhaust gas concentration is performed in the same manner as the principle shown in FIG. At this time, the laser light R
Although an attenuation of 1 is observed, this is an attenuation due to SPM and can be ignored in the measurement.
【００６５】図１５は、上記原理を用いたＳＰＭ計測装
置を示す構成図である。このＳＰＭ計測装置５００は、
筒状体５０１の中央付近にレーザー光源５０２および受
光器５０３を収容した構成である。筒状体５０１の内部
には、光の反射を防止するための反射防止膜５０４が設
けられており、その両端部には、外部からの光の侵入を
防止するスリット５０５が設けられている。レーザー光
源５０２および受光器５０３の前面には、それぞれレン
ズ５０６，５０７が配置されている。レーザー光源５０
２および受光器５０３の収容部５０８と筒状体５０１と
の取付部分には、シールド５０９が設けられている。レ
ーザー光源５０２は上記同様の高圧電源に接続されてお
り、また、受光器５０３も上記同様の処理装置および表
示装置に接続されている（図示省略）。FIG. 15 is a block diagram showing an SPM measuring apparatus using the above principle. This SPM measuring device 500
In this configuration, a laser light source 502 and a light receiver 503 are housed near the center of a cylindrical body 501. An anti-reflection film 504 for preventing light reflection is provided inside the tubular body 501, and slits 505 for preventing light from entering from outside are provided at both ends thereof. Lenses 506 and 507 are arranged on the front surface of the laser light source 502 and the light receiver 503, respectively. Laser light source 50
A shield 509 is provided at the mounting portion between the housing 2 of the light receiver 2 and the light receiver 503 and the tubular body 501. The laser light source 502 is connected to the same high-voltage power supply as described above, and the light receiver 503 is also connected to the same processing device and display device as described above (not shown).
【００６６】このＳＰＭ計測装置５００は、図１６に示
すように、図８に示したレーザー計測装置２００の支柱
２０４に取り付けて使用することができる。ＳＰＭ計測
装置５００は、筒状体５０１が横向きになるように且つ
任意の計測高さとなるように設置する。このとき、風向
き方向に筒状体５０１を向けて取り付けるようにするの
が好ましい。なお、ＳＰＭ計測装置５００を単独で使用
することもできる。As shown in FIG. 16, the SPM measuring device 500 can be used by attaching to the support 204 of the laser measuring device 200 shown in FIG. The SPM measuring device 500 is installed so that the tubular body 501 is oriented horizontally and at an arbitrary measurement height. At this time, it is preferable to attach the cylindrical body 501 in the wind direction. Note that the SPM measuring device 500 can be used alone.
【００６７】レーザー光源５０２からレーザー光Ｒを出
射すると、筒状体５０１内の雰囲気に含まれるＳＰＭに
よって当該レーザー光Ｒが散乱する。受光器５０３は、
この散乱光Ｒｄを受光し、その散乱光Ｒｄの強度に応じ
た検出信号を出力する。なお、余分な散乱光Ｒｄは筒状
体５０１内面の反射防止膜５０４によって吸収される。
このため、受光器５０３が乱反射した光を取り込むのを
防止することができる。その後の信号処理は、上述の通
りであり、これによってＳＰＭの濃度を計測することが
できる。When the laser light R is emitted from the laser light source 502, the laser light R is scattered by the SPM contained in the atmosphere in the cylindrical body 501. The light receiver 503 is
The scattered light Rd is received, and a detection signal corresponding to the intensity of the scattered light Rd is output. The extra scattered light Rd is absorbed by the antireflection film 504 on the inner surface of the tubular body 501.
For this reason, it is possible to prevent the light receiver 503 from capturing light that has been irregularly reflected. The subsequent signal processing is as described above, whereby the concentration of SPM can be measured.
【００６８】また、図８に示したレーザー計測装置２０
０によってもＳＰＭ濃度を計測することが可能である
が、このときはＳＰＭ計測装置５００により計測した濃
度を採用するか、両装置の計測結果を平均するなどの処
理をして濃度を決定するか、いずれの方法を採用しても
構わない。また、モータードライブや翼を用いて、ＳＰ
Ｍ計測装置５００を風向き方向に沿って自動回転するよ
うに構成してもよい（図示省略）。さらに、支柱２０４
の必要な高さに複数のＳＰＭ計測装置５００を取り付け
ることもできる。また、ＳＰＭ計測装置５００をワイヤ
の吊り上げや送り機構などによって上下移動し、支柱２
０４の高さの範囲でＳＰＭ計測を均一に行うようにする
こともできる。The laser measuring device 20 shown in FIG.
It is possible to measure the SPM concentration by setting the value to 0. In this case, the concentration measured by the SPM measuring device 500 is adopted, or the concentration is determined by processing such as averaging the measurement results of both devices. Either method may be adopted. In addition, SP using motor drive and wing
The M measuring device 500 may be configured to automatically rotate along the wind direction (not shown). Further, the support 204
A plurality of SPM measuring devices 500 can be attached to the required height. In addition, the SPM measuring device 500 is moved up and down by a wire lifting mechanism or a feeding mechanism, so that the support 2
The SPM measurement can be performed uniformly in the range of height 04.
【００６９】[0069]
【発明の効果】以上説明したように、この発明のレーザ
ー計測装置（請求項１）では、レーザー光の減衰から計
測雰囲気の排ガス濃度或いは微粒子濃度を計測するレー
ザー計測装置において、レーザー光を出射するレーザー
光源と、計測雰囲気中を通過したレーザー光を受光する
受光手段と、レーザー光源から出射したレーザー光を反
射する反射手段と、地面に略垂直に立設され、前記レー
ザー光源および受光手段と反射手段とを上下に離して支
持する支持構造とを備えたので、縦方向で計測できる。
このため、好ましい環境計測を行うことができるように
なる。As described above, in the laser measuring apparatus of the present invention (claim 1), a laser beam is emitted in a laser measuring apparatus for measuring the concentration of exhaust gas or fine particles in a measuring atmosphere from the attenuation of laser light. A laser light source, a light receiving means for receiving the laser light that has passed through the measurement atmosphere, a reflecting means for reflecting the laser light emitted from the laser light source, and an erecting device that is provided substantially perpendicularly to the ground and reflects the laser light and the light receiving means. And a support structure for supporting the means vertically separated from each other, so that the measurement can be performed in the vertical direction.
For this reason, preferable environmental measurement can be performed.
【００７０】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項２）では、レーザー光源から出射するレーザー光の波
長掃引を行う波長可変手段を備えたので、排ガスの計測
を適切に行うことができる。Further, the laser measuring apparatus of the present invention (claim 2) is provided with the wavelength variable means for sweeping the wavelength of the laser light emitted from the laser light source, so that the exhaust gas can be measured appropriately.
【００７１】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項３）では、さらに、レーザー光源からのレーザー光を
分光する、ビーム・スプリッターなどの分光手段と、基
準とする参照ガスを封入した参照ガス封入容器と、前記
分光したレーザー光であって参照ガス封入容器内の参照
ガス雰囲気を通過したものを受光する補正用受光手段と
を備えたので、レーザー光源の温度変化に起因した誤差
を補正できる。Further, in the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 3), a spectroscopic means such as a beam splitter for dispersing the laser beam from the laser light source and a reference gas sealed with a reference gas as a reference. Since there is provided a container and a light receiving means for correction for receiving the dispersed laser light that has passed through the reference gas atmosphere in the reference gas enclosure, an error caused by a temperature change of the laser light source can be corrected.
【００７２】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項４）では、波長が互いに異なる前記レーザー光源と受
光手段との組を複数設置したので、異なる種類の排ガス
を一括して計測できる。In the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 4), a plurality of sets of the laser light source and the light receiving means having different wavelengths are provided, so that different types of exhaust gas can be collectively measured.
【００７３】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項５）では、波長が異なるレーザー光源から出射したレ
ーザー光の光路中に設けられ、一方のレーザー光を遮蔽
し他方のレーザー光を通過させ、続いて前記一方のレー
ザー光を通過させ他方のレーザー光を遮蔽し、これを繰
り返す動作を行う、チョッパーその他の機械的遮蔽手段
を設けたので、レーザー光の干渉が防止され、より正確
な環境計測が可能になる。Further, in the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 5), the laser measuring apparatus is provided in an optical path of laser light emitted from laser light sources having different wavelengths, and blocks one laser light while allowing the other laser light to pass therethrough. Subsequently, the chopper and other mechanical shielding means for performing the operation of passing the one laser light and blocking the other laser light and repeating the same are provided, so that interference of the laser light is prevented, and more accurate environmental measurement is performed. Becomes possible.
【００７４】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項６）では、レーザー光源の出射部または受光手段の受
光部の光路上に管状部材を配置したので、環境計測をよ
り正確に行うことができる。Further, in the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 6), since the tubular member is arranged on the optical path of the light emitting part of the laser light source or the light receiving part of the light receiving means, environmental measurement can be performed more accurately. .
【００７５】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項７）では、レーザー光源および受光手段を容器内に収
容すると共に、少なくとも反射手段との対向面に透明な
シールド板を設け、このシールド板のうち、前記レーザ
ー光源から出射したレーザー光が通過する部分に傾斜面
を形成したので、レーザー光源の干渉を防止して出力の
安定化を図ることができる。In the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 7), the laser light source and the light receiving means are accommodated in a container, and a transparent shield plate is provided at least on the surface facing the reflection means. Of these, the inclined surface is formed at the portion where the laser light emitted from the laser light source passes, so that interference of the laser light source can be prevented and the output can be stabilized.
【００７６】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項８）では、レーザー光源および受光手段を容器内に収
容すると共に、少なくとも反射手段との対向面に透明な
シールド板を設け、このシールド板のうち、前記レーザ
ー光源と受光手段との間に、当該シールド板に埋設した
遮光面やシールド板の面に形成した反射防止部などの遮
光手段を設けたので、受光手段に入射して外乱となるよ
うな反射光を遮断できるので、より正確な環境計測を行
うことができる。In the laser measuring apparatus according to the present invention (claim 8), the laser light source and the light receiving means are accommodated in a container, and a transparent shield plate is provided at least on the surface facing the reflection means. Of these, between the laser light source and the light receiving means, since a light shielding means such as a light shielding surface embedded in the shield plate or an antireflection portion formed on the surface of the shield plate is provided, the light enters the light receiving means and becomes a disturbance. Since such reflected light can be blocked, more accurate environmental measurement can be performed.
【００７７】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項９）では、支柱をトラス形或いは門形に組んでこれを
支持構造とし、この支持構造にレーザー光源および受光
手段を固定し、レーザー光源から出射したレーザー光が
反射手段で少なくとも２回以上反射してから前記受光手
段で受光し得るように、前記支持構造に対して複数の反
射手段を分散して設け、前記受光手段の出力からレーザ
ー光の減衰分を取得し、この減衰分から排ガス濃度或い
は微粒子濃度を取得するようにしたので、より実際に近
い環境計測が可能になる。Further, in the laser measuring apparatus of the present invention (claim 9), the support is assembled in a truss shape or a gate shape to form a support structure, and the laser light source and the light receiving means are fixed to the support structure, and the laser light source is fixed. A plurality of reflecting means are provided dispersedly on the supporting structure so that the emitted laser light can be reflected by the reflecting means at least twice or more and then received by the light receiving means. Is obtained, and the exhaust gas concentration or the fine particle concentration is obtained from this attenuation, so that a more realistic environment measurement can be performed.
【００７８】また、この発明のレーザー計測装置（請求
項１０）では、内部に反射防止膜が設けられ、排ガスに
含まれる微粒子が導入される筒状体と、筒状体の軸方向
に対して斜め方向に設置され、筒状体内にレーザー光を
照射するレーザー光源と、筒状体内の微粒子に当たって
散乱したレーザー光を受光する受光手段と、受光手段の
検出した散乱光の強度から微粒子の濃度を取得する濃度
取得手段とを備えた。このため、外乱を受けにくくなる
から、微粒子濃度を正確に計測できるようになる。Further, in the laser measuring device of the present invention (claim 10), an anti-reflection film is provided inside, and the cylindrical body into which the fine particles contained in the exhaust gas are introduced, and the axial direction of the cylindrical body. A laser light source that is installed in an oblique direction and irradiates laser light into the cylindrical body, a light receiving unit that receives the laser light scattered upon the fine particles in the cylindrical body, and a concentration of the fine particles based on the intensity of the scattered light detected by the light receiving unit. Concentration acquisition means for acquiring. For this reason, since it becomes difficult to receive disturbance, the concentration of fine particles can be measured accurately.
【図１】この発明の実施の形態１にかかるレーザー計測
装置の原理を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating the principle of a laser measurement device according to a first embodiment of the present invention;
【図２】レーザー光の波長と減衰量との関係を示すグラ
フ図である。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the wavelength of laser light and the amount of attenuation.
【図３】図１および２に示した計測原理を応用して構成
したレーザー計測装置を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a laser measurement device configured by applying the measurement principle shown in FIGS. 1 and 2;
【図４】図３に示した計測ユニットを示す説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the measurement unit shown in FIG.
【図５】図４に示した処理装置を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram illustrating the processing apparatus illustrated in FIG. 4;
【図６】レーザー光の波長と減衰分との関係を示すグラ
フ図である。FIG. 6 is a graph showing the relationship between the wavelength of laser light and the amount of attenuation.
【図７】実施の形態１の変形例を示す概略構成図であ
る。FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing a modification of the first embodiment.
【図８】この発明の実施の形態２にかかるレーザー計測
装置を示す概略構成図である。FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a laser measurement device according to a second embodiment of the present invention.
【図９】図８に示したレーザー計測装置の一部断面図で
ある。9 is a partial cross-sectional view of the laser measuring device shown in FIG.
【図１０】この発明の実施の形態３にかかるレーザー計
測装置を示す概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing a laser measurement device according to a third embodiment of the present invention.
【図１１】レーザー計測装置の変形例を示す概略構成図
である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the laser measurement device.
【図１２】この発明の実施の形態４にかかるレーザー計
測装置を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a laser measuring device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１３】図１２のレーザー計測装置の変形例を示す説
明図である。FIG. 13 is an explanatory view showing a modified example of the laser measuring device of FIG.
【図１４】この発明の実施の形態５にかかるレーザー計
測装置の原理を示す説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram illustrating the principle of a laser measurement device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１５】図１４に示した原理を用いたＳＰＭ計測装置
を示す構成図である。FIG. 15 is a configuration diagram showing an SPM measurement device using the principle shown in FIG.
【図１６】ＳＰＭ計測装置の取付状態を示す説明図であ
る。FIG. 16 is an explanatory diagram showing an attached state of the SPM measuring device.
【図１７】従来の排ガス計測装置を示す概念図である。FIG. 17 is a conceptual diagram showing a conventional exhaust gas measuring device.
１００ レーザー計測装置 １０１ 杭 １０２ ベース板 １０３ 筒体 １０４ 計測ユニット １０５ ミラー １０６ スリット １０７ ファン １０８ 換気口 １０９ ロッド １１０ フード １１１ 機器収納容器 １１２ 高圧電源 １１３ 制御器 １１４ 処理装置 １１５ 表示装置 １４１ レーザー発振器 １４２ レーザー光源 １４３ 受光器 １４４ ガス管 １４５ 補正用受光器 １４６ ビーム・スプリッター １４８ コリメートレンズ １４９ 検出レンズ １５０ フォトダイオード １５１、１５２ アンプ １５３ メモリ １５４ 処理演算部 REFERENCE SIGNS LIST 100 laser measuring device 101 pile 102 base plate 103 cylinder 104 measuring unit 105 mirror 106 slit 107 fan 108 ventilation port 109 rod 110 hood 111 equipment storage container 112 high-voltage power supply 113 controller 114 processing device 115 display device 141 laser oscillator 142 laser light source 143 Light receiver 144 Gas tube 145 Correction light receiver 146 Beam splitter 148 Collimating lens 149 Detection lens 150 Photodiode 151, 152 Amplifier 153 Memory 154 Processing operation unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐竹 徳己 神戸市兵庫区和田崎町一丁目１番１号 三 菱重工業株式会社神戸造船所内 (72)発明者 田浦 昌純 横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１ 三菱重 工業株式会社基盤技術研究所内 (72)発明者 牟田 研二 横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１ 三菱重 工業株式会社基盤技術研究所内 Ｆターム(参考） 2G059 AA01 BB01 CC04 CC05 CC06 CC13 CC19 DD12 EE02 EE11 FF08 GG01 GG03 GG05 GG09 HH01 HH06 JJ11 JJ13 JJ22 JJ24 KK01 KK03 MM01 MM05 MM10 NN01 NN02 PP04 5F072 AB04 AB13 JJ05 KK05 KK15 MM06 YY11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tokumi Satake 1-1-1 Wadazakicho, Hyogo-ku, Kobe-shi Inside Kobe Shipyard, Ryoju Heavy Industries Co., Ltd. (72) Inventor Masazumi Taura 1-chome, Yukiura Kanazawa-ku, Yokohama 8-1 1 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Basic Technology Research Laboratory (72) Inventor Kenji Muta 1-8-1 Koura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Basic Technology Research Laboratory F-term (reference) 2G059 AA01 BB01 CC04 CC05 CC06 CC13 CC19 DD12 EE02 EE11 FF08 GG01 GG03 GG05 GG09 HH01 HH06 JJ11 JJ13 JJ22 JJ24 KK01 KK03 MM01 MM05 MM10 NN01 NN02 PP04 5F072 AB04 AB13 JJ05 KK05 KK15 MM06 YY11
Claims (10)
ス濃度或いは微粒子濃度を計測するレーザー計測装置に
おいて、 レーザー光を出射するレーザー光源と、 計測雰囲気中を通過したレーザー光を受光する受光手段
と、 レーザー光源から出射したレーザー光を反射する反射手
段と、 地面に略垂直に立設され、前記レーザー光源および受光
手段と反射手段とを上下に離して支持する支持構造と、 受光手段の出力からレーザー光の減衰分を取得し、この
減衰分から排ガス濃度或いは微粒子濃度を取得する濃度
取得手段と、を備えたことを特徴とするレーザー計測装
置。1. A laser measuring apparatus for measuring the concentration of exhaust gas or fine particles in a measurement atmosphere from the attenuation of laser light, comprising: a laser light source for emitting laser light; and a light receiving means for receiving laser light passing through the measurement atmosphere. A reflecting means for reflecting a laser beam emitted from a laser light source; a supporting structure which stands substantially perpendicularly to the ground and supports the laser light source and the light receiving means and the reflecting means vertically apart from each other; A laser measuring apparatus, comprising: a concentration obtaining unit that obtains an amount of light attenuation and obtains an exhaust gas concentration or a particle concentration from the amount of attenuation.
ザー光の波長掃引を行う波長可変手段を備えたことを特
徴とする請求項２に記載のレーザー計測装置。2. The laser measuring apparatus according to claim 2, further comprising a wavelength variable means for performing a wavelength sweep of the laser light emitted from the laser light source.
を分光する、ビーム・スプリッターなどの分光手段と、 基準とする参照ガスを封入した参照ガス封入容器と、 前記分光したレーザー光であって参照ガス封入容器内の
参照ガス雰囲気を通過したものを受光する補正用受光手
段と、を備えたことを特徴とする請求項１または２に記
載のレーザー計測装置。3. A spectroscopic means such as a beam splitter for dispersing laser light from a laser light source, a reference gas enclosure containing a reference gas to be used as a reference, and a reference gas which is the dispersed laser light. The laser measuring apparatus according to claim 1, further comprising: a correction light receiving unit that receives a light passing through a reference gas atmosphere in the enclosure.
ー光源と受光手段との組を複数設置したことを特徴とす
る請求項１〜３のいずれか一つに記載のレーザー計測装
置。4. The laser measuring apparatus according to claim 1, wherein a plurality of pairs of the laser light source and the light receiving unit having different wavelengths are provided.
から出射したレーザー光の光路中に設けられ、一方のレ
ーザー光を遮蔽し他方のレーザー光を通過させ、続いて
前記一方のレーザー光を通過させ他方のレーザー光を遮
蔽し、これを繰り返す動作を行う、チョッパーその他の
機械的遮蔽手段を設けたことを特徴とする請求項４に記
載のレーザー計測装置。5. The method according to claim 1, further comprising providing an optical path of the laser light emitted from the laser light sources having different wavelengths, blocking one of the laser lights, passing the other laser light, and subsequently passing the one laser light. 5. The laser measuring device according to claim 4, further comprising a chopper or other mechanical shielding means for shielding the other laser beam and performing an operation of repeating the same.
光手段の受光部の光路上に管状部材を配置したことを特
徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のレーザー
計測装置。6. The laser measuring apparatus according to claim 1, wherein a tubular member is arranged on an optical path of an emitting part of the laser light source or a light receiving part of the light receiving means.
容器内に収容すると共に、少なくとも反射手段との対向
面に透明なシールド板を設け、このシールド板のうち、
前記レーザー光源から出射したレーザー光が通過する部
分に傾斜面を形成したことを特徴とする請求項１〜６の
いずれか一つに記載のレーザー計測装置。7. A laser light source and a light receiving means are housed in a container, and a transparent shield plate is provided at least on a surface facing the reflection means.
The laser measuring device according to any one of claims 1 to 6, wherein an inclined surface is formed in a portion through which the laser light emitted from the laser light source passes.
容器内に収容すると共に、少なくとも反射手段との対向
面に透明なシールド板を設け、このシールド板のうち、
前記レーザー光源と受光手段との間に、当該シールド板
に埋設した遮光面やシールド板の面に形成した反射防止
部などの遮光手段を設けたことを特徴とする請求項１〜
７のいずれか一つに記載のレーザー計測装置。8. A laser light source and a light receiving means are accommodated in a container, and a transparent shield plate is provided at least on a surface facing the reflection means.
A light shielding means, such as a light shielding surface embedded in the shield plate or an antireflection portion formed on a surface of the shield plate, is provided between the laser light source and the light receiving unit.
8. The laser measuring device according to any one of 7 above.
を支持構造とし、この支持構造にレーザー光源および受
光手段を固定し、レーザー光源から出射したレーザー光
が反射手段で少なくとも２回以上反射してから前記受光
手段で受光し得るように、前記支持構造に対して複数の
反射手段を分散して設け、前記受光手段の出力からレー
ザー光の減衰分を取得し、この減衰分から排ガス濃度或
いは微粒子濃度を取得するようにしたことを特徴とする
レーザー計測装置。9. A truss-shaped or portal-shaped support column, which is used as a support structure. A laser light source and a light-receiving means are fixed to the support structure, and laser light emitted from the laser light source is reflected at least twice by the reflection means. After that, a plurality of reflecting means are provided in a dispersed manner with respect to the support structure so that the light receiving means can receive light, an attenuation of the laser beam is obtained from an output of the light receiving means, and an exhaust gas concentration or A laser measuring device characterized in that the concentration of fine particles is obtained.
に含まれる微粒子が導入される筒状体と、 筒状体の軸方向に対して斜め方向に設置され、筒状体内
にレーザー光を照射するレーザー光源と、 筒状体内の微粒子に当たって散乱したレーザー光を受光
する受光手段と、 受光手段の検出した散乱光の強度から微粒子の濃度を取
得する濃度取得手段とを備えたことを特徴とするレーザ
ー計測装置。10. An anti-reflection film is provided inside, a cylindrical body into which fine particles contained in exhaust gas are introduced, and a laser beam is installed in an oblique direction with respect to the axial direction of the cylindrical body. A laser light source for irradiating, light receiving means for receiving the laser light scattered upon the fine particles in the cylindrical body, and concentration obtaining means for obtaining the concentration of the fine particles from the intensity of the scattered light detected by the light receiving means. Laser measuring device.
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP2002048711A (en) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070314A (en) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Anritsu Corp | Gas detection apparatus |
| JP2008209177A (en) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Riken Keiki Co Ltd | Exhaust gas measuring system |
| EP1972925A1 (en) * | 2005-12-28 | 2008-09-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas analyzing device and exhaust gas analyzing method |
| JP2010025886A (en) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Isuzu Motors Ltd | Soot concentration measuring device |
| JP2010185694A (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | Apparatus for measuring gas concentration |
| US7936460B2 (en) | 2006-05-31 | 2011-05-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Sensor unit in exhaust gas analyzer |
| EP2394153A1 (en) * | 2009-02-18 | 2011-12-14 | W R Systems, Ltd. | Emissions monitoring apparatus, system, and method |
| US8085404B2 (en) | 2006-08-23 | 2011-12-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Gas analyzer and gas analyzing method |
| JP2012053038A (en) * | 2010-08-04 | 2012-03-15 | Horiba Ltd | Gas analysis probe |
| US8303120B2 (en) | 2006-02-21 | 2012-11-06 | Panasonic Corporation | Image display apparatus and image distortion correction method of the same |
| WO2013024808A1 (en) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 株式会社堀場製作所 | Gas analyzer |
| JP2016080628A (en) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 住友電気工業株式会社 | probe |
| JP2017129594A (en) * | 2011-08-12 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | Gas analyzing device |
| JP2017527795A (en) * | 2014-08-15 | 2017-09-21 | テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド | System and method for analyzing chemical constituents of dusty industrial off-gas |
| WO2017193663A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 黄方元 | Method for treating carbon monoxide in automobile exhaust gas |
| WO2017193686A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 黄方元 | Treatment device for nitrogen dioxide in automobile cabin |
| WO2017193668A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 崔翠翠 | Method and system for treating nitrogen dioxide in exhaust gas |
| WO2017193671A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 崔翠翠 | Method for treating nitric oxide in exhaust gas |
| KR20190076433A (en) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | Sensor combining dust sensor and gas sensor |
-
2000
- 2000-08-03 JP JP2000235159A patent/JP2002048711A/en not_active Withdrawn
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1972925A1 (en) * | 2005-12-28 | 2008-09-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas analyzing device and exhaust gas analyzing method |
| EP1972925A4 (en) * | 2005-12-28 | 2013-01-23 | Toyota Motor Co Ltd | Exhaust gas analyzing device and exhaust gas analyzing method |
| US7926332B2 (en) | 2005-12-28 | 2011-04-19 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas analyzer and exhaust gas analyzing method |
| US8303120B2 (en) | 2006-02-21 | 2012-11-06 | Panasonic Corporation | Image display apparatus and image distortion correction method of the same |
| US7936460B2 (en) | 2006-05-31 | 2011-05-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Sensor unit in exhaust gas analyzer |
| US8085404B2 (en) | 2006-08-23 | 2011-12-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Gas analyzer and gas analyzing method |
| JP2008070314A (en) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Anritsu Corp | Gas detection apparatus |
| JP2008209177A (en) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Riken Keiki Co Ltd | Exhaust gas measuring system |
| JP2010025886A (en) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Isuzu Motors Ltd | Soot concentration measuring device |
| JP2010185694A (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | Apparatus for measuring gas concentration |
| EP2394153A1 (en) * | 2009-02-18 | 2011-12-14 | W R Systems, Ltd. | Emissions monitoring apparatus, system, and method |
| EP2394153B1 (en) * | 2009-02-18 | 2015-11-11 | W R Systems, Ltd. | Emissions monitoring apparatus, system, and method |
| JP2012053038A (en) * | 2010-08-04 | 2012-03-15 | Horiba Ltd | Gas analysis probe |
| WO2013024808A1 (en) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 株式会社堀場製作所 | Gas analyzer |
| JP2013057651A (en) * | 2011-08-12 | 2013-03-28 | Horiba Ltd | Gas analyzer |
| JP2017129594A (en) * | 2011-08-12 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | Gas analyzing device |
| US8934101B2 (en) | 2011-08-12 | 2015-01-13 | Horiba, Ltd. | Gas analysis apparatus |
| JP2020112567A (en) * | 2014-08-15 | 2020-07-27 | テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド | System and method for analyzing dust-containing industrial off-gas chemical constituent |
| JP2017527795A (en) * | 2014-08-15 | 2017-09-21 | テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド | System and method for analyzing chemical constituents of dusty industrial off-gas |
| JP7022777B2 (en) | 2014-08-15 | 2022-02-18 | テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド | Dust-containing industry Systems and methods for analyzing the chemical composition of off-gas |
| JP2016080628A (en) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 住友電気工業株式会社 | probe |
| WO2017193686A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 黄方元 | Treatment device for nitrogen dioxide in automobile cabin |
| WO2017193671A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 崔翠翠 | Method for treating nitric oxide in exhaust gas |
| WO2017193668A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 崔翠翠 | Method and system for treating nitrogen dioxide in exhaust gas |
| WO2017193663A1 (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | 黄方元 | Method for treating carbon monoxide in automobile exhaust gas |
| KR20190076433A (en) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | Sensor combining dust sensor and gas sensor |
| KR102448715B1 (en) | 2017-12-22 | 2022-09-29 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | Sensor combining dust sensor and gas sensor |
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