JP2002035663A - 基板回動装置及びそれを使用した基板の塗工システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を水平な姿勢にまで回動させ、その後の
塗工を容易にすることができる基板回動装置を提供す
る。 【解決手段】 長方形の基板２８の角部を保持する４つ
の保持部材１６０〜１６６と、４つの保持部材１６０〜
１６６を設けた基板支持台１５４と、基板支持台１５４
を垂直な姿勢から水平な姿勢まで回動させる回転アーム
１６８、１６８とを有し、基板支持台１５４を傾斜した
状態で固定して基板２８を４つの保持部材１６０〜１６
６によって保持し、その保持した状態で回転アーム１６
８によって基板支持台１５４を水平な姿勢まで回動させ
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を水平な姿勢
に回動させる基板回動装置と、それを使用した基板の塗
工システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、液晶表示装置等が広く普及するよ
うになり、この液晶表示装置のガラス板、合成樹脂板に
保護膜等に使用される塗工液を塗工する必要が出てき
た。

【０００３】このようなガラス基板、合成樹脂基板等の
基板に塗工液を塗工する方法として、毛細管現象を利用
した塗工装置が提案されている（特開平８−２２４５２
８号、特開平６−３４３９０８号）。

【０００４】この塗工装置は、塗工液によって満たされ
た液層の内部に毛管状隙間を備えたノズルを沈めてお
き、塗工する際にはこのノズルを上昇させて基板の下面
近傍に位置させ、毛管状隙間から塗工液を接液して、基
板の下面に塗工液を塗工するものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の塗工装置によっ
て基板の下面に塗工液を塗工する場合には、例えば、下
面に吸着面を有したサクションテーブルで基板を吸い付
けて固定し、このサクションテーブルを前後方向に沿っ
て塗工装置のノズルの上を移動させて、塗工を行ってい
た。

【０００６】ところが、このサクションテーブルに水平
な状態で基板を取り付ける方法としては、サクションテ
ーブルを１８０゜回転させて吸着面を上にした状態で基
板を載置し、再びサクションテーブルを１８０゜回転さ
せて基板をサクションテーブルの下面に配するか、また
は、作業者の手によってサクションテーブルの下面に取
り付けていた。

【０００７】しかしながら、上記のような方法であると
装置の構造が複雑になるという問題点、または、人間の
手で作業を行う場合には実用的でないという問題点があ
った。特に、基板が大型化し、重量が増えると人間の手
によっては作業ができないという問題点も発生する。

【０００８】そこで本発明は上記問題点に鑑み、基板を
水平な姿勢にまで回動させ、その後の塗工を容易にする
ことができる基板回動装置を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、長方
形の基板を回動させる基板回動装置において、前記基板
の４つの角部をそれぞれ保持する４つの保持部材と、前
記４つの保持部材を設けた支持部材と、前記支持部材を
所定角度で傾斜した姿勢から水平な姿勢まで回動させる
回動部材と、を有し、前記支持部材を前記傾斜姿勢で固
定した状態で、前記基板の４つの角部を前記４つの保持
部材によってそれぞれ保持し、前記基板を保持した状態
で前記回動部材によって前記支持部材を水平な姿勢まで
回動させることを特徴とする基板回動装置である。

【００１０】請求項２の発明は、前記保持部材は、前記
基板の前右角部を保持する前右保持部材と、その後右角
部を保持する後右保持部材と、その前左角部を保持する
前左保持部材と、その後左角部を保持する後左保持部材
と、を有し、前記支持部材は、前記前右保持部材と前記
後右保持部材を前後方向に移動させる右支持体と、前記
前左保持部材と前記後左保持部材を前後方向に移動させ
る左支持体と、前記右支持体と前記左支持体とを左右方
向に移動させる支持台と、を有したことを特徴とする請
求項１記載の基板回動装置である。

【００１１】請求項３の発明は、前記前右保持部材と前
記後右保持部材のうち、一方の保持部材が前記右支持体
の端部近傍に固定され、他方の保持部材が前記右支持体
に沿って移動し、前記前左保持部材と前記後左保持部材
のうち、一方の保持部材が前記左支持体の端部近傍に固
定され、他方の保持部材が前記左支持体に沿って移動す
ることを特徴とする請求項２記載の基板回動装置であ
る。

【００１２】請求項４の発明は、前記保持部材は、前記
保持台と、前記保持台から突出した前記基板の角部を保
持する保持片と、前記保持台に回動自在に配された板状
の押さえ部材と、を有し、前記保持台から突出した前記
保持片に前記基板の角部を載置し、前記押さえ部材で前
記基板を押さえることを特徴とする請求項１記載の基板
回動装置である。

【００１３】請求項５の発明は、前記保持片及び前記押
さえ片を、前記保持台から上下動可能にしたことを特徴
とする請求項４記載の基板回動装置である。

【００１４】請求項６の発明は、前記４つの保持部材の
略中央部分において、前記４つの保持部材によって保持
された基板に対して空気などの気体を吹き付けて、前記
基板の撓みを防止する撓み防止手段を前記支持部材に設
けたことを特徴とする請求項１から５記載の基板回動装
置である。

【００１５】請求項７の発明は、塗工液を入れた液槽
と、前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管状
隙間を備えた左右方向に延びたノズルとを有し、前後方
向に走行する長方形の基板の下面に前記ノズルの毛管状
隙間から塗工液を塗布する塗工装置と、水平な姿勢の前
記基板を吸い付けて固定する吸着面を下面に有したサク
ションテーブルと、前記基板を前記サクションテーブル
によって吸着可能な水平な姿勢に回動させる基板回動装
置と、前記基板を基板回動装置の位置から前記塗工装置
の位置まで移動させる移動装置とを有し、前記基板回動
装置は、前記基板の４つの角部をそれぞれ保持する４つ
の保持部材と、前記４つの保持部材を設けた支持部材
と、前記支持部材を所定角度で傾斜した姿勢から水平な
姿勢まで回動させる回動部材と、を有し、前記支持部材
を前記傾斜姿勢で固定した状態で、前記基板の４つの角
部を前記４つの保持部材によってそれぞれ保持し、前記
基板を保持した状態で前記回動部材によって前記支持部
材を水平な姿勢まで回動させることを特徴とする塗工シ
ステムである。

【００１６】請求項８の発明は、前記４つの保持部材の
略中央部分において、前記４つの保持部材によって保持
された基板に対して空気などの気体を吹き付けて、前記
基板の撓みを防止する撓み防止手段を前記支持部材に設
けたことを特徴とする請求項７記載の塗工システムであ
る。

【００１７】

【作 用】上記発明の基板回動装置であると、支持部材
を傾斜姿勢で固定した状態で、長方形の基板の４つの角
部を４つの保持部材によってそれぞれ保持し、この基板
を保持した状態で回動部材によって支持部材を水平な姿
勢まで回動させる。

【００１８】そして、サクションテーブルで水平な姿勢
の基板を吸着させ、その吸着した状態で塗工装置によっ
て基板の下面に塗工液を塗工したりする。

【００１９】また、４つの保持部材の略中央部分におい
て、前記４つの保持部材によって保持された大型の基板
に対して空気などの気体を吹き付けて、前記基板の撓み
を防止する撓み防止手段を前記支持部材に設けることに
より、サクションテーブルで水平な姿勢の大型の基板を
吸着させることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】＜第１の実施例＞以下、本発明の
第１の実施例を示す塗工システム１０について図１〜図
２１に基づいて説明する。

【００２１】この塗工システム１０は、液晶表示装置等
のガラス基板に薄く塗工液を塗工する装置である。

【００２２】１．塗工装置１０の全体の構造 図１は塗工システム１０の左側面図であり、図２は正面
図である。

【００２３】図１及び図２が示すように、塗工システム
１０は、水平な床面等に設置されるベースフレーム１２
の上に、リニアウェイ１４、１４を介して前後方向に移
動可能な移動フレーム１６、１６が載置されている。

【００２４】左右一対の移動フレーム１６，１６の間に
はサクションテーブル（以下、単にテーブルという）２
４が支持されている。

【００２５】このテーブル２４の下面である吸着面２７
にガラス板よりなる基板２８を吸着させ、塗工を行うも
のである。このテーブル２４の構成についてはあとから
詳しく説明する。

【００２６】また、ベースフレーム１２の内部の中央部
分には、基板２８の下面に塗工液を塗工するための塗工
装置３０が設けられている。

【００２７】さらに、ベースフレーム１２の後部には、
基板２８を傾斜した姿勢から水平な姿勢に回動させるた
めの基板回動装置１５０が設けられている。

【００２８】２．塗工装置３０の構造 以下、この塗工装置３０について説明する。

【００２９】図３が、塗工装置３０の斜視図であり、図
４が正面図であり、図５が図４におけるＸ−Ｘ線断面図
である。

【００３０】塗工装置３０は、ベースフレーム１２の左
右方向に配されたベースプレート３２を基礎に構成され
ている。

【００３１】ベースプレート３２の上面には、左右一対
の移動コッタ３４，３６が設けられている。

【００３２】このうち、右側に位置する移動コッタ３６
は、ベースプレート３２の上面に左右方向に配されたリ
ニアウェイ３８に沿って移動可能である。また、移動コ
ッタ３６の上面は斜面４０になっており、左側が右側よ
りも低くなっている。そして、この斜面４０の上にもリ
ニアウェイ４２が設けられている。

【００３３】移動コッタ３４も同様にベースプレート３
２に対してリニアウェイ４４で左右方向に移動可能とな
っており、また、斜面４６の上にはリニアウェイ４８が
設けられている。

【００３４】左右一対の移動コッタ３４，３６には連結
シャフト５０が設けられ、この連結シャフト５０の右端
部にはサーボモータ５２が配されている。連結シャフト
５０の移動コッタ３４，３６の位置には雄ネジ部が設け
られ、移動コッタ３４，３６内部には雌ネジ部が設けら
れている。このサーボモータ５２を回転させることによ
って連結シャフト５０が回転し、移動コッタ３４，３６
がリニアウエイ３８，４４に沿って左右方向に移動する
ものである。

【００３５】一対の移動コッタ３４，３６の上方には支
持プレート５４が設けられている。この支持プレート５
４は、左右方向に沿って延びている支持板５６と、この
支持板５６の下端より前後方向に延びた基板５８とより
なる。

【００３６】この基板５８の下面には左右一対の支持脚
６０，６２が設けられている。支持脚６０，６２の下面
は斜面となっており、前記した移動コッタ３４，３６の
斜面の上に形成されたリニアウェイ４２，４８に沿って
移動可能となっている。

【００３７】また、ベースプレート３２から支持プレー
ト５４の基板５８の中央部に上下移動用のガイドシャフ
ト６４が突出している。支持プレート５４はこのガイド
シャフト６４に沿って上下動可能であり、かつ、左右方
向の移動が規制されている。

【００３８】支持プレート５４の上端部には塗工液を溜
めるための液槽６６が設けられている。この液槽６６に
ついてはあとから説明する。

【００３９】支持プレート５４の支持板５６には左右一
対のリニアウェイ６８を介して左右移動プレート７０が
設けられている。このリニアウェイ６８は左右方向に移
動可能となっている。左右移動プレート７０はエアシリ
ンダ７１によって左右方向に移動可能となっている。

【００４０】左右移動プレート７０の前面にはリニアウ
ェイ７２を介して上下移動プレート７４が設けられてい
る。このリニアウェイ７２は斜め方向に移動可能となっ
ている。さらに、上下移動プレート７４は支持プレート
５４の基板５８から突出した左右一対のガイドシャフト
７６に沿って上下方向移動可能となっており、かつ、左
右方向の移動が規制されている。

【００４１】上下移動プレート７４の左端部近傍及び右
端部近傍からノズル支持シャフト７８が突出し、この左
右一対のノズル支持シャフト７８，８０にはノズル８２
が支持されている。このノズル８２についてはあとから
説明する。

【００４２】３．液槽６６とノズル８２の構造 次に、図６から図８に基づいて液槽６６とノズル８２の
構造について説明する。

【００４３】支持プレート５４の支持板５６の上部に支
持された液槽６６は、左右方向に延びており、図６に示
すように、側面形状は台形となっている。そして、液槽
６６の上端部中央部（斜面の頂上部）には、左右方向に
伸びるスリット８４が形成されている。このスリット８
４は、液槽６６の外方に設けられた蓋８６によって閉塞
可能となっている。

【００４４】液槽６６の内部にはノズル８２が内蔵され
ている。このノズル８２は、左右方向に伸びる毛管状隙
間８８を介して前後一対の前ノズル部材９０と後ノズル
部材９２とより構成されている。これら前ノズル部材９
０と後ノズル部材９２は前後対称であり、上方ほどくち
ばしのように尖った断面形状となっており、その間に毛
管状隙間８８が設けられている。この毛管状隙間８８の
上端部は左右方向に沿って開口し、下面も左右方向に沿
って開口している。

【００４５】ノズル８２の左端部及び右端部には前記し
た左右一対のノズル支持シャフト７８，８０が固定され
ている。そして、左右一対のノズル支持シャフト７８，
８０は液槽６６の底面に開口した左右一対の孔９４，９
６を摺動するものである。この孔９４，９６から塗工液
が漏れ出さないようにするために、ノズル８２の底面か
ら液槽６６の底面にかけて蛇腹状の閉塞部材９８，１０
０が設けられている。これにより、支持シャフト７８，
８０が上下動しても蛇腹状の閉塞部材９８，１００が上
下方向に延び縮みして、孔９４，９６から塗工液が漏れ
出さないようになっている（図６及び図７参照）。

【００４６】図８に示すように、塗工液を溜めたタンク
１０２から塗工液がポンプ１０４によってくみ出され、
フィルタ１０６を通じて液槽６６の左側面に開口した塗
工液の供給口１０８に供給される。また、液槽６６の底
面には循環口１１０が開口しており、この循環口１１０
からタンク１０２に塗工液が循環する。なお、フィルタ
１０６は、塗工液を循環させるため、異物があった場合
に取り除くものである。

【００４７】さらに、液槽６６の左側面の上部には、孔
１１１が開口し、そこからＬ字状の高さ調整管１１２が
突出している。この高さ調整管１１２の上端は開口し、
かつ、その調整管１１２の外部側面には塗工液の高さを
検知する検知センサ１１４が設けられている。すなわ
ち、液槽６６に塗工液が満たされた場合に、それと同じ
高さまでこの高さ調整管１１２に塗工液が満たされる。
そして、この満たされた量に応じて検知センサ１１４が
塗工液を検知し、その高さを検知するものである。そし
て、検知した高さのデータは、マイコンよりなる制御部
１１５に送られ、制御部１１５は、その高さのデータに
応じて、ポンプ１０４のモータ１０５を駆動させて、設
定され高さになるまで塗工液を供給する。

【００４８】４．テーブル２４の移動構造 次に、テーブル２４をベースフレーム１２上を移動させ
る構造について説明する。

【００４９】図１及び図２が示すように、この移動フレ
ーム１６、１６は、ベースフレーム１２の両側面に設け
られたネジ棒１８をモータ２０によって回動させること
で、前後方向にリニアウエイ１４、１４に沿って移動可
能となっている。

【００５０】すなわち、一対の移動フレーム１６からネ
ジ棒１８と螺合する雌ネジ部を有する移動部２２が突出
し、このネジ棒１８が回動することによって移動部２２
がネジ棒１８に沿って移動して、左右一対の移動フレー
ム１６，１６が前後方向に移動するものである。

【００５１】５．テーブル２４の吸着構造 次に、基板２８をテーブル２４に吸着させる構造につい
て図９，図１０に基づいて説明する。

【００５２】左右一対の移動フレーム１６，１６の間に
設けられたテーブル２４の下面である吸着面２７には複
数の吸着孔１１６が開口している。この吸着孔１１６は
テーブル２４の全面にわたって開口しているものである
が、その内部構造は図９及び図１０のようになってい
る。すなわち、テーブル２４の内部には、複数の区画に
分割された吸着空間１１８が設けられている。

【００５３】具体的には、第１区画は、図１０における
テーブル２４の上部の中央部に設けられた４つの吸着空
間１１８から構成され、各吸着空間１１８は細い空気経
路１２０によって連結されている。そして、これら４つ
の吸着空間１１８の各部分に４つの吸着孔１１６が開口
している。この第１区画の４つの吸着空間１１８には図
９に示すように、空気を吸い込むための吸引パイプ１２
２が連結され、この吸引パイプ１２２は手動バルブ１２
４を経て、移動フレーム１６の一側部から取り出され、
真空ポンプ１２６に連結されている。

【００５４】また、テーブル２４の第２区画は、前記し
た第１区画をコの字状に囲んだ状態であり、６個の吸着
空間１１８から構成され、この吸着空間１１８も空気経
路１２０によって連結されている。

【００５５】以下、同様にして第３区画、第４区画が構
成されている。

【００５６】ここで、テーブル２４が基板２８を吸着す
る場合について説明する。

【００５７】基板２８の大きさに合わせて、第１区画か
ら第ｎ区画までを手動バルブ１２４を開けて真空ポンプ
１２６によって吸着孔１１６から基板２８を吸着する。
すなわち、中央部にある第１区画は必ず吸引状態にし、
後の区画は、基板２８の大きさに合わせて吸引状態にす
る。また、吸引に必要でない区画は手動バルブ１２４を
閉めて吸引が行われないようにする。

【００５８】なお、第１区画を矩形状に開口せず４つの
吸着空間１１８を設けて各吸着空間１１８を空気経路１
２０によって連結したのは、テーブル２４の強度を考慮
したためである。

【００５９】６．基板回動装置１５０の構造 基板回動装置１５０について詳しく説明する。

【００６０】（基板回動装置１５０の概略）ベースフレ
ーム１２の後部に設けられた基板回動装置１５０につい
て、図１、図２、図１１〜図１３に基づいて説明する。

【００６１】この基板回動装置１５０は、上記したよう
に基板２８をサクションテーブル２４で吸着可能な姿勢
に配するものである。

【００６２】ベースフレーム１２に対し左右方向に掛け
渡された回転軸１５２に回動自在に設けられた基板支持
台１５４が設けられ、この基板支持台１５４の両側部に
は、左右方向に移動自在な左支持体１５６と右支持体１
５８が設けられている。

【００６３】左支持体１５６の後部には固定された左後
保持部材１６０が設けられ、左支持体１５６の前部には
前後方向に移動自在な左前保持部材１６２が設けられて
いる。

【００６４】右支持体１５８の後部にも右後保持部材１
６４が固定され、また、前部には前後方向に移動自在な
右前保持部材１６６が設けられている。

【００６５】（基板支持台１５４の構造）ベースフレー
ム１２に対し回動自在に設けられている基板支持台１５
４について説明する。

【００６６】基板支持台１５４は、図１に示すように
「く」字状に折曲された一対の回転アーム１６８、１６
８の上端に回動自在に支持され、回転アーム１６８，１
６８の下端が前後方向に移動することによって、基板支
持台１５４は、回転軸１５２を中心に垂直な姿勢から水
平な姿勢に回動する。

【００６７】回転アーム１６８の下端は、アーム移動台
１７０に対し回動自在に設けられ、このアーム移動台１
７０はリニアレール１７２に沿って前後方向に移動自在
となっている。そして、アーム移動台１７０はネジ棒１
７４を姿勢制御用モータ１７６で回動させることによっ
てリニアレール１７２に沿って移動自在となっている。
また、回転アーム１６８の上端部は基板支持台１５４に
対し回動自在に枢支されている。

【００６８】以上の構造によって、アーム移動台１７０
が図１における矢印の方向に移動すると、回転アーム１
６８が回転して、基板支持台１５４が水平な姿勢（図１
における実線の状態）から垂直な姿勢に回動する（図１
における二点鎖線の状態）。

【００６９】また、基板支持台１５４は、図１１に示す
ように左右方向に伸びる前腕部１７８と後腕部１８０
と、前腕部１７８及び後腕部１８０を連結する一対の連
結体１８２、１８２とよりなる。そして、連結体１８２
のほぼ中央部に、前記した一対の回転アーム１６８、１
６８が回転自在に設けられ、連結体１８２、１８２の外
側やや後部には、前記した回転軸１５２が設けられてい
る。

【００７０】前腕部１７８と後腕部１８０の左右にはそ
れぞれ前記の左支持体１５６と右支持体１５８が設けら
れ、この左右一対の左支持体１５６と右支持台１５８が
左右対称に前腕部１７８と後腕部１８０を左右方向に移
動する。

【００７１】その移動の構造は次のとおりである。

【００７２】後腕部１８０の上面にはリニアウェイ１８
４が設けられ、左支持体１５６と右支持体１５８の後部
が移動自在になっている。

【００７３】また、前腕部１７８の内部には左右一対の
ネジ棒１８６、１８６が設けられ、その中央部には傘歯
車１８８を介して左右距離調整用モータ１９０が設けら
れている。そして、この左右距離調整用モータ１９０が
回動することによってネジ棒１８６、１８６が左右対称
に回転し、左支持体１５６と右支持体１５８の前部に設
けられた雌ネジ部が前記のネジ棒１８６に螺合している
ため、左右一対の支持体１５６，１５８が左右対称に移
動する。

【００７４】左支持体１５６の後端部には前記したよう
に左後保持部材１６０が固定され、左前保持部材１６２
には、左支持体１５６の内部に設けられたネジ棒１９２
が前後距離調整用モータ１９３によって回動することに
よって前後方向に移動自在となるように、雌ネジ部が設
けられている。

【００７５】そして、前後距離調整用モータ１９３を駆
動させることにより、左前保持部材１６２が移動して左
後保持部材１６０と左前保持部材１６２の距離を調整す
ることができる。

【００７６】右支持体１５８に設けられた右後保持部材
１６４と右前保持部材１６６も同様の構造となってい
る。

【００７７】（保持部材の構造）次に、保持部材１６０
〜１６６の構造について説明する。なお、４つの保持部
材１６０〜１６６は同様の構造となっているため、代表
して右後保持部材１６４の構造について図１２及び図１
３に基づいて説明する。そして、以下、右後保持部材１
６４は単に保持部材１６４としてここでは説明する。

【００７８】保持部材１６４の四角柱よりなる保持台１
９４は右支持体１５８に固定されている。なお、左前保
持部材１６２と右前保持部材１６６の保持台１９４は各
支持台１５６，１５８に対し前記したように移動自在と
なっている。

【００７９】保持台１９４の上面には、平面形状「く」
字状をなし、基板２８の角部を載置するための保持片１
９６が設けられている。この保持片１９６は内部にネジ
棒とモータが設けられ、上下方向に移動自在となってい
る。

【００８０】保持片１９６の各辺の外側に沿って、平面
形状「一」字状の固定片１９８がそれぞれ突出してい
る。

【００８１】保持片１９６の折曲部外方には、押さえ片
２００が回動自在に設けられている。この押さえ片２０
０は、その基部が押さえ台２０２に回動自在に設けら
れ、モータによって回動する。また、押さえ台２０２も
モータによって回転するネジ棒によって上下方向に移動
自在となっている。

【００８２】７．塗工工程 上記構成の塗工システム１０を用いて基板２８に塗工液
を塗工する場合について説明する。

【００８３】（初期工程）塗工システム１０によって塗
工を行う前に、塗工を行いたい基板２８のサイズに合わ
せて４つの保持部材１６０〜１６６の位置を調整する。

【００８４】すなわち、基板２８の左右方向の寸法に合
わせて、左支持体１５６と右支持体１５８の距離を調整
する。これは左右距離用調整用モータ１９０によって調
整する。

【００８５】また、基板２８の前後方向の寸法調整は、
前後距離調整用モータ１９３、１９３によって左前保持
部材１６２と右前保持部材１６６を移動させて調整す
る。

【００８６】（第１工程）他の装置から搬送されてきた
基板２８をまず基板回動装置１５０に取り付ける。

【００８７】この場合には図１４に示すように、基板支
持台１５４を垂直な姿勢になるように姿勢制御用モータ
１７６を回動させその状態で停止させる。そして、作業
者は基板２８を４つの保持部材１６０〜１６６にそれぞ
れ載置する。すなわち、基板２８の左後角部は左後保持
部材１６０に載置し、他の角部もそれぞれの保持部材に
載置する。この場合に、保持片１９６は固定片１９８よ
りもやや凹んだ状態にし、基板２８の厚みが固定片１９
８とほぼ同じ高さになるようにする。そして、不図示の
モータを回動させて押さえ片２００によって基板２００
の各角部を押さえる。これによって、基板２８は垂直な
姿勢であっても基板支持台１５４に固定される。

【００８８】（第２工程）垂直な姿勢の基板支持台１５
４を図１５に示すように水平な姿勢に回動させる。

【００８９】（第３工程）水平な姿勢の基板２８に対
し、テーブル２４を後方に移動させて、基板２８の真上
にテーブル２４の吸着面２７が位置するようにする。

【００９０】そして、４つの押さえ片２００を回動させ
て基板２８を押さえた状態を開放し、押さえ片２００は
その状態のまま押さえ台２０２を下げて待避させる。そ
れとともに保持片１９６を上方に移動させて基板２８の
上面を吸着面２７に近づけ、吸着面２７によって基板２
８の上面を吸着する。これによって、テーブル２４の下
面に基板２８が固定される。

【００９１】（第４工程）上記のようにしてテーブル２
４の下面に基板２８を吸着した状態で図１７に示すよう
に塗工開始位置まで移動させる。

【００９２】（第５工程）図１８に示すように、テーブ
ル２８を前部から後部に移動させつつ基板２８の下面に
塗工液を塗工する。その工程は次のとおりである。

【００９３】（第５−１工程）液槽６６の中には所定の
高さまで塗工液を満たしておく。この場合に塗工液の現
在の高さは、高さ調整管１１２の外部側面に設けられた
検知センサ１１４によって調整し、塗工液の高さを所定
の高さまで上げる場合には制御部１１５はポンプ１０４
を動作させて塗工液を供給する。

【００９４】また、ノズル８２は、塗工液で満たされた
液槽６６の内部に沈んだ状態としておく。そして、この
ようにノズル８２が塗工液に沈んだ状態で液槽６６のス
リット８４の蓋８６を開けて、液槽６６を基板２８の下
方まで上昇させる。この上昇させる方法は、図４に示す
ように、サーボモータ５２を回転させて左右一対の移動
コッタ３４，３６を移動させる。すると、左右方向に移
動が規制された支持プレート５４が、移動コッタ３４，
３６の斜面４０，４６に設けられたリニアウェイ４２，
４８に沿って上方のみ移動する。支持プレート５４が上
方に移動すると液槽６６とノズル８２が同時に上方に移
動する。

【００９５】液槽６６が基板２８の下方まで上昇させる
と、その上昇を一旦停止させる。

【００９６】（第５−２工程）上記のように上昇した液
槽６６からノズル８２のみを突出させる。

【００９７】このために、左右移動プレート７０をエア
シリンダ７１によって移動させる。この場合に上下移動
プレート７４は左右方向に移動が規制されているため、
左右移動プレート７０が左右方向に移動すると、リニア
ウェイ７２が斜めに設けられているため上下移動プレー
ト７４は上方のみ移動する。上下移動プレート７４が上
方に移動するとノズル支持シャフト７８，８０も同時に
上方に移動してノズル８２が上昇する。ノズル８２が液
槽６６の塗工液から上昇する際に、毛管状隙間８８の間
には塗工液が満たされているため、この毛管状隙間８８
には塗工液が先端まで満たされた状態で上昇する。そし
て、その上昇を停止させる。

【００９８】（第５−３工程）上記のようにノズル８２
が突出した状態で液槽６６を再び上昇させ、基板２８の
下面に接液する。すなわち、ノズル８２の毛管状隙間８
８に満たされた塗工液を基板２８の下面に接触させるも
のである。

【００９９】この上昇の際には液槽６６の上昇速度及び
上昇距離はかなり微妙な調整を要求されるが、前記した
ようにサーボモータ５２を回転させると移動コッタ３
４，３６の斜面に沿って支持プレート５４が上下動する
ため、この微妙な調整を容易に行うことが可能となる。
また、左右方向に水平な状態で液槽６６を持ち上げるこ
とが可能となるため、基板２８の塗工厚が左右方向に変
化することがない。

【０１００】（第５−４工程）上記のように接液した状
態でノズル８２と共に液槽６６を塗工高さの位置まで接
液した状態で下降させる。すなわち、ノズル８２の先端
の位置と基板２８との間の距離が塗工厚さとなるわけで
ある。そして、この微妙な調整も上記したようにサーボ
モータ５２を用いて容易に行うことができる。

【０１０１】（第５−５工程）上記のようにノズル８２
を塗工高さの位置まで下降させた後、基板２８をテーブ
ル２４によって一定速度で塗工終了位置まで移動させ
る。すると。塗工液はノズル８２によって左右方向に塗
工された状態で、前後方向に基板２８を移動させること
によって平面状態に塗工を行うことができる。すなわ
ち、基板２８上に平面に塗工液を所定の塗工厚さで塗工
することが可能となる。なお、この搬送する場合に、基
板２８の前後方向の姿勢、及び、左右方向の姿勢は、ど
ちらも水平に維持する。

【０１０２】（第５−６工程）基板２８を塗工終了位置
で一旦停止させ、ノズル８２及び液槽６６をそれぞれ塗
工高さの位置から下降させ、基板２８から離す。

【０１０３】（第５−７工程）ノズル８２が基板２８の
下面から離れた後、テーブル２４を図１９に示すよう
に、ベースフレーム１２の後部、すなわち、基板支持台
１５４の位置まで移動させる。

【０１０４】（第６工程）テーブル２４の吸着状態を解
除すると塗工が終わった基板２８は、４つの保持片１９
６の上に載置される。そして、保持片１９６がやや下降
すると共に、押さえ片２００が押さえ台２０２と共に上
方に移動し、さらに基板２８の角部を押さえる方向に回
動する。

【０１０５】（第７工程）基板２８が４つの保持部材１
６０〜１６６に保持された状態で、テーブル２４はベー
スフレーム１２の前部に待避する。

【０１０６】（第８工程）図２１に示すように、基板支
持台１５４が水平な姿勢から再び垂直な姿勢に傾斜し、
作業者はその状態で４つの押さえ片２００を解除して基
板２８を基板回動装置１５０から取り外す。

【０１０７】以上のように本実施例の塗工システム１０
であると、基板回動装置１５０を用いることにより基板
２８を垂直な姿勢から水平な姿勢に回動させ、テーブル
２４によって吸着しやすいようにすることができる。こ
の場合に、人手を使わず、装置の構造も簡単であるた
め、製造効率も上昇し、基板２８を確実にテーブル２４
に吸着させることができる。

【０１０８】そして、この場合にテーブル２４や基板２
８が傷つくことが無く、また塗工面を人間の手がさわっ
たりするおそれもない。

【０１０９】なお、上記実施例では基板２８を基板支持
台１５４に取り付ける場合に基板支持台１５４を垂直な
姿勢にしたが、これに限らず他の角度（例えば３０゜、
６０゜、１２０゜、１８０゜）の姿勢に回動させてもよ
い。したがって、本明細書では、傾斜した姿勢とは水平
な姿勢も含む。なお、この角度はそれぞれの製造工程に
おいて決定するのが好ましい。

【０１１０】＜第２の実施例＞本発明の第２の実施例の
塗工システム１０について図２２から図２４に基づいて
説明する。

【０１１１】最近のガラス基板は、大型化し、かつ薄く
なってきている。そのため、第１の実施例の第３工程に
置いて説明したように、テーブル２４の吸着面２７で基
板２８を吸着する場合に、基板２８の中央部が下方に撓
んで吸着できない場合もある。そのため、第２の実施例
では、薄型の基板２８であっても、確実にテーブル２４
によって基板２８を吸着することができる塗工システム
１０を提供するものである。

【０１１２】１．塗工システムの構造 本実施例と第１の実施例の異なる点は、基板２８の撓み
を防止する撓み防止装置３００を設けた点にある。

【０１１３】図２２は、水平な姿勢の基板２８の中央部
を、下方から圧縮空気を吹き付けてその撓みを防止する
撓み防止装置３００を設けた側面図であり、図２３は正
面図であり、図２４は平面図である。

【０１１４】撓み防止装置３００は、４つの押さえ片２
００の略中央部に設けられ、４つのブロック部３０２に
より構成され、これらブロック部３０２は、前後方向に
配されている。

【０１１５】各ブロック部３０２は、ブロック台３０４
の上に配され、ブロック部３０２の底面及び４つの側壁
を構成するフレーム部３０６と、ブロック部３０２の上
面を構成する空気吹き出し部３０８よりなる。また、フ
レーム部３０６と空気吹き出し部３０８内部には空間が
形成されている。空気吹き出し部３０８は、焼結金属、
焼結体、または吸着板のような孔の開いた材質によって
構成されている。

【０１１６】４つのブロック部３０２には、空気を送り
出すブロワ３１０、高性能のフィルターであるＨＥＰＡ
フィルター３１２を経て、圧縮空気がそれぞれ送られ
る。この送られた圧縮空気はブロック部３０２内部の空
間から、空気吹き出し部３０８を経て上方に吹き出され
る。

【０１１７】ブロック台３０４は、一対のブロック支持
脚３１４，３１４によって支持され、これらブロック支
持脚３１４，３１４は連結体１８２，１８２に固定され
ている。ブロック支持脚３１４，３１４に対して、ブロ
ック台３０４が上下方向に移動自在となっている。すな
わち、ブロック支持脚３１４内部にモータが内蔵され、
リニアウエイによってブロック台３０４が上下動自在と
なっている。

【０１１８】２．動作説明 本実施例の塗工システム１０における撓み防止装置３０
０の動作について説明する。

【０１１９】第１の実施例における第３工程において、
基板支持台１５４を水平な姿勢に回動させ、基板２８を
水平な姿勢に保持する。

【０１２０】次に、ブロック台３０４を上方に移動さ
せ、空気吹き付け部３０８を基板２８の下面の真下に位
置させ、ブロック台３０４を少しづつ上昇させる。そし
て、基板２８が水平になるまでに上昇して停止させる。

【０１２１】圧縮空気を吹き付けたまま、水平な姿勢の
基板２８に対し、テーブル２４を後方に移動させて、基
板２８の真上にテーブル２４の吸着面２７が位置させ
る。

【０１２２】４つの押さえ片２００を回動させて基板２
８を押さえた状態を開放し、押さえ片２００はその状態
のまま押さえ台２０２を下げて待避させる。それと共
に、保持片１９６を上方に移動させて基板２８の上面を
吸着面２７に近づけ、吸着面２７によって基板２８の上
面を吸着する。吸着させた後、ブロック台３０４を下方
に待避させる。

【０１２３】これによって、大型で、かつ、薄い基板２
８であっても、撓み防止装置３００の圧縮空気によって
その中央部の撓みを矯正され、テーブル２４の下面に水
平な姿勢の状態のまま基板２８を固定させることができ
る。

【０１２４】３．変更例１ 上記実施例では、ブロック部３０２を前後方向に４個並
べたが、これに代えて１個のブロック部を設けてもよ
く、また、４個以上の多数のブロック部を配列してもよ
い。

【０１２５】また、ブロック部３０２の大きさも塗工す
る基板２８に合わせて、変更すればよい。

【０１２６】４．変更例２ 上記実施例では、ブロック台３０４のみが上下動自在と
なっているが、これに加えて、ブロック台３０４に対し
て４個のブロック部３０２が個々に上下動可能にしても
よい。

【０１２７】すなわち、ブロック部３０２内部にモータ
が内蔵され、リニアウエイによって個々のブロック部３
０２を上下動自在とするものである。

【０１２８】この姿勢を制御する場合に、センサによっ
て基板２８が完全な平面の状態になるように検出しつ
つ、基板２８の撓みの状態に合わせてブロック台３０４
に対してブロック部３０２を個々に上下動させて、より
完全な平面状態に姿勢を矯正する。

【０１２９】

【発明の効果】以上により本発明であると、基板を所定
の角度の傾斜姿勢から水平な姿勢に回動させることがで
き、この場合に作業者の手を煩わせたりすることがな
い。

【０１３０】また、前記４つの保持部材によって保持さ
れた大型の基板に対して空気などの気体を吹き付けて、
前記基板の撓みを防止する撓み防止手段を前記支持部材
に設けることにより、サクションテーブルで撓みのない
水平な姿勢の大型の基板を吸着させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す塗工装置の左側面
図である。

【図２】同じく正面図である。

【図３】塗工システムの斜視図である。

【図４】塗工システムの正面図である。

【図５】図４におけるＸ−Ｘ線断面図である。

【図６】液槽及びノズルの縦断面図であり、塗工前の状
態である。

【図７】同じく塗工中の状態である。

【図８】液槽とノズルとタンクとポンプとフィルタの関
係を示す縦断面図である。

【図９】テーブルの縦断面図である。

【図１０】テーブルの一部欠載横断面図である。

【図１１】基板回動装置の平面図である。

【図１２】保持部材の平面図である。

【図１３】保持部材の側面図である。

【図１４】第１工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図１５】第２工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図１６】第３工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図１７】第４工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図１８】第５工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図１９】第６工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図２０】第７工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図２１】第８工程における塗工システムの説明図であ
る。

【図２２】第２の実施例を示す塗工装置の左側面図であ
る。

【図２３】同じく正面図である。

【図２４】同じく基板回動装置の平面図である。

【符号の説明】

１０ 塗工装置 ２４ テーブル ２８ 基板 ３０ 塗工システム ３４ 移動コッタ ３６ 移動コッタ ５２ サーボモータ ５４ 支持プレート ６０ 支持脚 ６２ 支持脚 ６６ 液槽 ７０ 左右移動プレート ７１ エアシリンダ ７４ 上下移動プレート ７８ ノズル支持シャフト ８０ ノズル支持シャフト ８２ ノズル ８４ スリット ８８ 毛管状隙間 １５０ 基板回動装置 １５４ 支持台 １５６ 左支持体 １５８ 右支持体 １６０〜１６６ 保持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 充孝 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の １ 株式会社ヒラノテクシード内 (72)発明者 小酒井 清 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の １ 株式会社ヒラノテクシード内 Ｆターム(参考） 4D075 AC02 AC78 AC84 DA06 DB13 DC21 4F040 AA02 AA12 AC01 BA06 CA02 CA05 CA12 CA18 CA20 4F042 AA02 AA06 DF09 DF32

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】長方形の基板を回動させる基板回動装置に
   おいて、 前記基板の４つの角部をそれぞれ保持する４つの保持部
   材と、 前記４つの保持部材を設けた支持部材と、 前記支持部材を所定角度で傾斜した姿勢から水平な姿勢
   まで回動させる回動部材と、 を有し、 前記支持部材を前記傾斜姿勢で固定した状態で、前記基
   板の４つの角部を前記４つの保持部材によってそれぞれ
   保持し、 前記基板を保持した状態で前記回動部材によって前記支
   持部材を水平な姿勢まで回動させることを特徴とする基
   板回動装置。
2. 【請求項２】前記保持部材は、 前記基板の前右角部を保持する前右保持部材と、 その後右角部を保持する後右保持部材と、 その前左角部を保持する前左保持部材と、 その後左角部を保持する後左保持部材と、 を有し、 前記支持部材は、 前記前右保持部材と前記後右保持部材を前後方向に移動
   させる右支持体と、 前記前左保持部材と前記後左保持部材を前後方向に移動
   させる左支持体と、 前記右支持体と前記左支持体とを左右方向に移動させる
   支持台と、 を有したことを特徴とする請求項１記載の基板回動装
   置。
3. 【請求項３】前記前右保持部材と前記後右保持部材のう
   ち、一方の保持部材が前記右支持体の端部近傍に固定さ
   れ、他方の保持部材が前記右支持体に沿って移動し、 前記前左保持部材と前記後左保持部材のうち、一方の保
   持部材が前記左支持体の端部近傍に固定され、他方の保
   持部材が前記左支持体に沿って移動することを特徴とす
   る請求項２記載の基板回動装置。
4. 【請求項４】前記保持部材は、 前記保持台と、 前記保持台から突出した前記基板の角部を保持する保持
   片と、 前記保持台に回動自在に配された板状の押さえ部材と、 を有し、 前記保持台から突出した前記保持片に前記基板の角部を
   載置し、前記押さえ部材で前記基板を押さえることを特
   徴とする請求項１記載の基板回動装置。
5. 【請求項５】前記保持片及び前記押さえ片を、前記保持
   台から上下動可能にしたことを特徴とする請求項４記載
   の基板回動装置。
6. 【請求項６】前記４つの保持部材の略中央部分におい
   て、前記４つの保持部材によって保持された基板に対し
   て空気などの気体を吹き付けて、前記基板の撓みを防止
   する撓み防止手段を前記支持部材に設けたことを特徴と
   する請求項１から５記載の基板回動装置。
7. 【請求項７】塗工液を入れた液槽と、前記液槽に入れた
   塗工液の中に沈み、また、毛管状隙間を備えた左右方向
   に延びたノズルとを有し、前後方向に走行する長方形の
   基板の下面に前記ノズルの毛管状隙間から塗工液を塗布
   する塗工装置と、 水平な姿勢の前記基板を吸い付けて固定する吸着面を下
   面に有したサクションテーブルと、 前記基板を前記サクションテーブルによって吸着可能な
   水平な姿勢に回動させる基板回動装置と、 前記基板を基板回動装置の位置から前記塗工装置の位置
   まで移動させる移動装置とを有し、 前記基板回動装置は、 前記基板の４つの角部をそれぞれ保持する４つの保持部
   材と、 前記４つの保持部材を設けた支持部材と、 前記支持部材を所定角度で傾斜した姿勢から水平な姿勢
   まで回動させる回動部材と、 を有し、 前記支持部材を前記傾斜姿勢で固定した状態で、前記基
   板の４つの角部を前記４つの保持部材によってそれぞれ
   保持し、 前記基板を保持した状態で前記回動部材によって前記支
   持部材を水平な姿勢まで回動させることを特徴とする塗
   工システム。
8. 【請求項８】前記４つの保持部材の略中央部分におい
   て、前記４つの保持部材によって保持された基板に対し
   て空気などの気体を吹き付けて、前記基板の撓みを防止
   する撓み防止手段を前記支持部材に設けたことを特徴と
   する請求項７記載の塗工システム。