JP2002033188A - Organic el display device - Google Patents

Organic el display device

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JP2002033188A
JP2002033188A JP2000215433A JP2000215433A JP2002033188A JP 2002033188 A JP2002033188 A JP 2002033188A JP 2000215433 A JP2000215433 A JP 2000215433A JP 2000215433 A JP2000215433 A JP 2000215433A JP 2002033188 A JP2002033188 A JP 2002033188A
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JP
Japan
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organic
layer
display device
ito
cathode
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Application number
JP2000215433A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Tanaka
聡 田中
Akio Ogawa
小川昭雄
Koichi Takayama
高山浩一
Tsutomu Akagi
努 赤木
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Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the corrosion of the layered part of a cathode layer and an ITO leading electrode in a sealed internal space, which often leads to a disconnection, in an organic EL display device having a sealed structure for isolating an organic EL display element from the external atmosphere in which the ITO-leading electrode for guiding a cathode layer electrode out of the sealed space to drive the organic EL element is attached to an ITO anode, and the cathode layer is laminated on and connected to the ITO-leading electrode. SOLUTION: In this organic EL display device having the sealed structure, an intermediate layer area consisting of a hardly corrosive metallic material, e.g., an intermediate layer area hardly corrosive metallic material containing Mn, is formed between the ITO-leading electrode and the cathode layer at least in the laminated position of the ITO-leading electrode and the cathode layer. Accordingly, corrosion in the laminated part within the sealed space can be suppressed to provide an organic EL display device with excellent durability.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば各種情報表
示装置や、液晶表示器のバックライト等に使用され得る
有機EL素子、有機エレクトロルミネセンス素子、有機
電界発光素子、有機LED素子等と称される有機薄膜の
エレクトロルミネセンス現象を利用した有機エレクトロ
ルミネセンス素子(以下、有機EL素子という)を用い
た有機EL表示装置に関するもので、詳しくは有機EL
素子を外部雰囲気から封止した有機EL表示装置の電極
構造に関するものである。
The present invention relates to an organic EL device, an organic electroluminescent device, an organic electroluminescent device, an organic LED device and the like which can be used for, for example, various information display devices, backlights of liquid crystal displays, and the like. The present invention relates to an organic EL display device using an organic electroluminescence element (hereinafter, referred to as an organic EL element) utilizing an electroluminescence phenomenon of an organic thin film to be formed.
The present invention relates to an electrode structure of an organic EL display device in which elements are sealed from an external atmosphere.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、有機EL表示素子80は、例えば
図9に示すように構成されている。ガラス基板81上に
設けたストライプ状のITO(Indium Tin Oxide)透明
電極からなる陽極層82と、その上に積層した、有機E
L層83と、陽極層82と直交するストライプ状の陰極
層84と、から構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an organic EL display element 80 is constructed, for example, as shown in FIG. An anode layer 82 made of a striped ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode provided on a glass substrate 81, and an organic E layer laminated thereon.
It is composed of an L layer 83 and a striped cathode layer 84 orthogonal to the anode layer 82.

【0003】このような構成の有機EL素子80によれ
ば、一対の電極82、84間に図示しない外部電源から
電力を供給することにより、電極82、84間に挟まれ
た有機EL層83から発光が生じ、これが視認されるも
のとなる。この例においては、ストライプ状の電極を用
いたドットマトリクス型としているので、ストライプ状
の陽極層82および陰極層84に所望の制御信号を入力
することにより、各電極間に挟まれた有機EL層83を
ドット単位で発光制御できる。
According to the organic EL element 80 having such a configuration, by supplying power from an external power supply (not shown) between the pair of electrodes 82 and 84, the organic EL element 83 is separated from the organic EL layer 83 sandwiched between the electrodes 82 and 84. Light emission occurs, which becomes visible. In this example, since a dot matrix type using stripe-shaped electrodes is used, a desired control signal is input to the stripe-shaped anode layer 82 and the cathode layer 84 so that the organic EL layer sandwiched between the electrodes is formed. 83 can be controlled for light emission in dot units.

【0004】陽極層82は、ニッケル、金、白金、パラ
ジウムやこれらの合金或いは酸化錫(SnO)、沃化
銅などの仕事関数の大きな金属やそれらの合金、化合
物、更にはポリピロール等の導電性ポリマーなどを用い
ることができるが、一般にはITO透明電極層が多く用
いられている。陰極層84は、電子注入に有効な材料と
するため電子注入効率の向上が図れる仕事関数の小さな
金属材料(低仕事関数金属材料)を用いることが好まし
く、アルミニウム、マグネシウム、マグネシウムインジ
ウム合金、マグネシウムアルミニウム合金、マグネシウ
ム銀合金や、アルミニウムリチウム合金等が用いられて
いる。有機EL層83は、陽極層82側から順に正孔輸
送層83aと有機発光層83bの2層構造としており、
正孔輸送層83aとしてはN,N'−ジフェニル−N,
N'―ビス(3−メチルフェニル)1,1'−ビフェニル
−4,4'−ジアミン(Triphenyldiamine、以下TPD
と略記する)を、有機発光層83bとしてはトリス(8
−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Tris-(8-hydrox
yquinoline)aluminium complex、以下Alq3と略記す
る)等が用いられている。
The anode layer 82 is made of nickel, gold, platinum, palladium, alloys thereof, or metals having a large work function such as tin oxide (SnO 2 ) or copper iodide, alloys or compounds thereof, and conductive materials such as polypyrrole. Although a conductive polymer or the like can be used, generally, an ITO transparent electrode layer is often used. The cathode layer 84 is preferably made of a metal material having a small work function (low work function metal material) capable of improving electron injection efficiency in order to make the material effective for electron injection. Aluminum, magnesium, magnesium indium alloy, magnesium aluminum Alloys, magnesium silver alloys, aluminum lithium alloys and the like are used. The organic EL layer 83 has a two-layer structure of a hole transport layer 83a and an organic light emitting layer 83b in order from the anode layer 82 side.
N, N′-diphenyl-N,
N'-bis (3-methylphenyl) 1,1'-biphenyl-4,4'-diamine (Triphenyldiamine, hereinafter TPD)
) As the organic light emitting layer 83b.
-Hydroxyquinoline) aluminum (Tris- (8-hydrox
yquinoline) aluminum complex (hereinafter abbreviated as Alq3) and the like.

【0005】このような構成の有機EL素子80は低電
圧で発光が可能である反面、大気中でそのまま駆動した
場合には、湿気や熱等により劣化が促進され発光特性が
劣化する。特に、素子の周囲に酸素や水分があった場
合、酸化が促進され有機材料の変質、膜の剥がれ、ダー
クスポット(非発光部)が成長し発光しなくなるなどの
現象が表れ、結果として寿命が短いという問題がある。
While the organic EL element 80 having such a structure can emit light at a low voltage, when it is driven as it is in the atmosphere, the deterioration is accelerated by moisture, heat, etc., and the light emission characteristics are deteriorated. In particular, when oxygen or moisture is present around the element, oxidization is promoted, and phenomena such as deterioration of the organic material, peeling of the film, growth of dark spots (non-light-emitting portions), and no light emission appear, resulting in a long life. There is a problem that it is short.

【0006】そこで、このような問題に対して、有機E
L素子が大気に触れないように封止することが提案され
ている。図8に示す有機EL表示装置90は、有機EL
素子80を形成した一方のガラス基板81と、有機EL
層83等を覆うように対向配設した他方の封止基板91
と、有機EL層83が外気に曝されないよう両基板8
1、91間を接着固定して封止するシール層92とから
なる。
[0006] To solve such a problem, organic E
It has been proposed to seal the L element so that it does not come into contact with the atmosphere. The organic EL display device 90 shown in FIG.
One glass substrate 81 on which the element 80 is formed, and an organic EL
The other sealing substrate 91 that is disposed to face the layer 83 and the like so as to cover the layer 83 and the like.
And the two substrates 8 so that the organic EL layer 83 is not exposed to the outside air.
A seal layer 92 is provided to seal and seal between the first and the first 91.

【0007】例えば、特開平5−41281号において
は、図8(a)に示すように有機EL素子80と封止基
板91の間の空隙93にフルオロカーボン油に合成ゼオ
ライト等の脱水剤96aを含有させた不活性液体96な
どを充填して封止性能を向上することが提案されてい
る。この発明によれば、有機EL素子80は外部雰囲気
に曝されることがないので寿命を長くした有機EL表示
装置が提供される。しかし、不活性液体96を充填しな
ければならず、有機EL表示装置の製造方法が煩雑で手
間がかかるという問題がある。
For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 5-41281, a dehydrating agent 96a such as synthetic zeolite is contained in a fluorocarbon oil in a space 93 between an organic EL element 80 and a sealing substrate 91 as shown in FIG. It has been proposed to improve the sealing performance by filling with an inert liquid 96 or the like. According to the present invention, the organic EL element 80 is not exposed to the external atmosphere, so that an organic EL display device having a long life is provided. However, there is a problem that the inert liquid 96 must be filled, and the method of manufacturing the organic EL display device is complicated and time-consuming.

【0008】また、特開平3−261091号および特
開平9−148066号においては、図8(b)に示す
ように、封止基板91表面の有機EL素子80側に、五
酸化二燐や、酸化バリウム(BaO)などの乾燥剤94
を粘着材95によって固定して収納した乾燥手段98を
設けた構成の有機EL表示装置90も提案されている。
たとえば、酸化バリウム粉末を用いる場合には封止基板
91に両面テープなどの粘着材95aを設け、その上に
微量の酸化バリウム粉末94を固定し、更にそれらを覆
うように微孔を有するポリイミド製のテープなどの粘着
材95でこれらを固定して乾燥手段98を設け、有機E
L表示装置90内において酸化バリウム94が飛散しな
いようにしている。この発明においても、上記したダー
クスポットなどの問題点を改善した寿命を長くした有機
EL表示装置90が提供される。
[0008] In Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 3-261091 and 9-148066, as shown in FIG. 8B, diphosphorus pentoxide, Drying agent 94 such as barium oxide (BaO)
An organic EL display device 90 having a configuration in which a drying unit 98 in which is fixed by an adhesive 95 and stored is provided.
For example, in the case of using barium oxide powder, an adhesive material 95a such as a double-sided tape is provided on the sealing substrate 91, a small amount of barium oxide powder 94 is fixed thereon, and a polyimide material having micropores to cover them is further provided. These are fixed with an adhesive material 95 such as a tape, and drying means 98 is provided.
The barium oxide 94 is prevented from scattering in the L display device 90. Also in the present invention, there is provided an organic EL display device 90 having a longer life and having the above-described problems such as dark spots.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記した有機EL表示
装置90を点灯するためには、両基板81,91により
封止された領域よりも外部に引き出した陽極82および
陰極84と図示しない外部制御回路とを接続して、所定
の電気信号を加えることにより有機EL素子80を駆動
する。そのため、ITO透明電極等からなる陽極層82
の一部(図面左側)は延長されて、外部取出し陽極82
aとされている。陰極層84もその一部(図面右側)が
延長されて、外部取出し陰極84aとされている。
In order to light the above-mentioned organic EL display device 90, an anode 82 and a cathode 84 which are drawn out of a region sealed by the substrates 81 and 91 and an external control (not shown) The organic EL element 80 is driven by connecting a circuit and applying a predetermined electric signal. Therefore, the anode layer 82 made of an ITO transparent electrode or the like is used.
Is extended (left side in the drawing) to form an external extraction anode 82.
a. A part of the cathode layer 84 (the right side in the drawing) is extended to form an externally extracted cathode 84a.

【0010】このとき、外部取出し陰極84aを図8
(a)に示すように陰極層84のみで形成した場合、外
部取出し陰極84aにアルミニウム(Al)系など比較
的柔らかな電極材料を用いると、外部制御回路と外部取
出し陰極84aとを接続する作業工程中に外部取出し陰
極84aを傷つけたりして断線等が生じ易い。そこで、
図8(b)に示したように陽極層82と同一工程で設け
た外部取出し用ITO85、この外部取出し用ITO8
5上に積層した外部取出し陰極84aの2層構造とする
ことで、断線が生じにくくすることが考えられる。
At this time, the externally extracted cathode 84a is connected to FIG.
As shown in (a), when a relatively soft electrode material such as aluminum (Al) is used for the external extraction cathode 84a when the external extraction cathode 84a is formed only with the cathode layer 84, the operation of connecting the external control circuit and the external extraction cathode 84a is performed. During the process, the external extraction cathode 84a is liable to be damaged, for example, causing disconnection. Therefore,
As shown in FIG. 8B, the external extraction ITO 85 provided in the same step as the anode layer 82, and the external extraction ITO 8
It is conceivable that disconnection hardly occurs by adopting a two-layer structure of the external extraction cathode 84a stacked on the cathode 5.

【0011】しかしながら、この有機EL表示装置を8
5℃以上の高温雰囲気内において駆動すると、この積層
構造の外部取出し陰極84aにおいて、封止されている
空隙93内に位置する空隙内積層部97に腐食が発生し
断線が生じることがあった。かかる腐食箇所をXPS
((X-ray Photoelectron Spectroscopy X線光電子分
光法)分析したところアルミニウムの酸化物が生じてい
た。なお、この有機EL表示装置90の封止空間である
空隙93は窒素雰囲気にして封止してある。また、外部
取出し用ITO85上に積層した外部取出し陰極84a
の2層構造において空隙内積層部97以外の外部に露出
してる箇所においては目立った変化が見受けられなかっ
た。
However, this organic EL display device is
When driven in a high-temperature atmosphere of 5 ° C. or more, in the externally-acquired cathode 84 a of this laminated structure, corrosion may occur in the laminated portion 97 in the void located in the sealed void 93, and disconnection may occur. XPS
((X-ray Photoelectron Spectroscopy) analysis revealed that aluminum oxide was formed. The void 93, which is a sealing space of the organic EL display device 90, was sealed in a nitrogen atmosphere. In addition, an external extraction cathode 84a laminated on the external extraction ITO 85
In the two-layer structure described above, no remarkable change was observed in the portions exposed to the outside other than the laminated portion 97 in the gap.

【0012】また、図8(b)の有機EL表示装置90
において、外部取出し陰極84aとしてアルミニウム金
属単体を用いた場合、アルミニウムとリチウムの合金を
用いた場合および膜厚モニター値で100nm以下とし
たリチウム層とアルミニウムとの積層を形成した場合の
3種類の異なる構成とした有機EL表示装置90を作成
し、85℃以上の高温雰囲気内において駆動試験を実施
したところ、何れの場合も数日経過すると空隙内積層部
97において腐食が観察され、その他の箇所には腐食は
観察されなかった。また、空隙内に封入する窒素ガスに
酸素を添加したものを用いて同様のテストも実施した
が、同じ結果であった。
The organic EL display device 90 shown in FIG.
In the above, three kinds of different types are used: a case where a single aluminum metal is used as the external extraction cathode 84a, a case where an alloy of aluminum and lithium is used, and a case where a layer of a lithium layer and aluminum whose film thickness monitor value is 100 nm or less is formed. When the organic EL display device 90 having the above configuration was manufactured and a driving test was performed in a high temperature atmosphere of 85 ° C. or higher, corrosion was observed in the laminated portion 97 within the voids after several days in any case, and other portions were observed. No corrosion was observed. In addition, a similar test was performed using nitrogen gas sealed in the void and oxygen added, and the same result was obtained.

【0013】これらの結果から、空隙内積層部97の酸
化による腐食は空隙93雰囲気中の残留酸素量や、外部
取り出し用ITO85と外部取出し陰極84aの界面の
みが関係しているのではなく、特に乾燥手段を設けた有
機EL表示装置90における特有の問題であろうと推察
された。そこで、本発明は封止空間内に乾燥手段を設け
た有機EL表示装置において、外部取り出し用ITO8
5と外部取出し陰極84aとの空隙内積層部97におけ
る腐食を効果的に防止することを第一の目的としてい
る。
From these results, it is understood that the corrosion due to oxidation of the laminated portion 97 in the gap is not related only to the amount of residual oxygen in the atmosphere of the gap 93 or the interface between the ITO 85 for external extraction and the cathode 84a for external extraction. It was presumed that this would be a problem specific to the organic EL display device 90 provided with the drying means. Therefore, the present invention relates to an organic EL display device provided with a drying unit in a sealed space, wherein an ITO 8 for external extraction is provided.
The first object is to effectively prevent corrosion in the laminated portion 97 in the air gap between the cathode 5 and the externally extracted cathode 84a.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的は本発明の一観
点によれば、有機EL素子が形成された第1基板と、該
有機EL素子を外部雰囲気と隔てる封止手段と、該有機
EL素子の電極に電気信号を供給するために前記封止手
段より外部に導出した電極端子とを有する有機EL表示
装置において、前記第1基板には、透光性の電極材料か
らなる陽極層、有機物からなる発光層を備えた有機EL
層、陰極層を順に積層した有機EL素子と、該有機EL
素子の陽極層と同じ材質からなる外部取出し用電極を備
え、外部取出し用電極には、陰極層が積層されており、
少なくとも前記陰極層と外部取出し用電極との積層部に
おいて、外部取出し用電極と陰極層との間には難腐食性
金属材料を含む中間層領域が形成してあることを特徴と
する、有機EL表示装置、によって達成される。
According to one aspect of the present invention, there is provided a first substrate on which an organic EL element is formed, sealing means for separating the organic EL element from an external atmosphere, and an organic EL element. In an organic EL display device having an electrode terminal led out from the sealing means to supply an electric signal to an electrode of the element, the first substrate includes an anode layer made of a translucent electrode material, an organic material, EL provided with light emitting layer made of
EL device having a layer and a cathode layer laminated in this order;
An external extraction electrode made of the same material as the anode layer of the device is provided, and the external extraction electrode has a cathode layer laminated thereon,
An organic EL, wherein an intermediate layer region containing a hardly corrosive metal material is formed between the external extraction electrode and the cathode layer at least in a laminated portion of the cathode layer and the external extraction electrode. Display device.

【0015】この観点の発明によれば、積層部における
腐食が顕著に低減され、長寿命で信頼性の高い有機EL
表示装置を得ることができ得る。
According to the invention of this aspect, corrosion in the laminated portion is remarkably reduced, and the organic EL having a long life and high reliability is provided.
A display device may be obtained.

【0016】また、本発明の他の観点によれば、前記外
部取出し用電極がITO電極であり、陰極層がアルミニ
ウムを主体とする電極であることを特徴とする、有機E
L表示装置、により上記した目的が達成される。この発
明によれば、封止空間内におけるITO電極とアルミニ
ウム電極との積層部における腐食作用を格段に抑制する
ことができ得る。
According to another aspect of the present invention, the external electrode is an ITO electrode, and the cathode layer is an electrode mainly composed of aluminum.
The above-mentioned object is achieved by the L display device. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the corrosion action in the laminated part of an ITO electrode and an aluminum electrode in a sealing space can be suppressed remarkably.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図1乃至図7を参照しながら、詳細に説明する。な
お、以下の説明では理解を容易とするために、同一機能
を有する箇所については同一の符号を付して説明し、説
明が重複する部分に対しては一部省略している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. In the following description, portions having the same function are denoted by the same reference numerals for the sake of easy understanding, and portions having overlapping descriptions are partially omitted.

【0018】図1および図2は、本発明による有機EL
表示装置の第一の実施形態の構成を示している。図1お
よび図2において、有機EL表示装置10は、互いに平
行に上下に重ねて配設された二枚のガラス基板11,1
2と、下側の第1ガラス基板11の上に下側から順次に
積層された陽極層13,有機EL層14,陰極層15と
からなる有機EL素子16と、上側の第2ガラス基板1
2内面に設けられた乾燥手段4と、有機EL素子16の
周囲を取囲むようにして両基板を接着固定するシール層
17と、から構成されている。また、陽極層13および
陰極層15の一部は第1ガラス基板の異なる辺である基
板端縁部11aおよび11b側から外部に導出され、図
示しない制御装置と接続可能な端子とされている。
FIGS. 1 and 2 show an organic EL according to the present invention.
1 shows a configuration of a first embodiment of a display device. In FIG. 1 and FIG. 2, an organic EL display device 10 includes two glass substrates 11 and 1 disposed one above the other in parallel with each other.
2, an organic EL element 16 including an anode layer 13, an organic EL layer 14, and a cathode layer 15 sequentially laminated from the lower side on the lower first glass substrate 11, and the upper second glass substrate 1
2 includes a drying means 4 provided on the inner surface, and a seal layer 17 for adhering and fixing both substrates so as to surround the periphery of the organic EL element 16. Further, a part of the anode layer 13 and a part of the cathode layer 15 are led out to the outside from the substrate edge portions 11a and 11b, which are different sides of the first glass substrate, and serve as terminals that can be connected to a control device (not shown).

【0019】前記EL素子16は、有機EL素子基板と
なる第1ガラス基板11の内面(図2において上面側)
に形成されている。陽極層13は、第1ガラス基板内面
に所定の形状にパターニングされたITO透明電極から
なり、その一部はシール層17よりも外側の基板端縁部
11aまで延長され外部取出し陽極13aを形成してい
る。また、基板端縁部11b側の辺においては、後に外
部取出し陰極15cを構成する外部取り出し用ITO2
0も同一工程において形成し、図示しない制御装置と接
続可能な端子群を設けている。
The EL element 16 is provided on the inner surface of the first glass substrate 11 serving as an organic EL element substrate (the upper surface side in FIG. 2).
Is formed. The anode layer 13 is formed of an ITO transparent electrode patterned into a predetermined shape on the inner surface of the first glass substrate, and a part thereof is extended to the substrate edge 11a outside the seal layer 17 to form an external extraction anode 13a. ing. Further, on the side near the substrate edge 11b, an external extraction ITO 2
0 is also formed in the same step, and a terminal group connectable to a control device (not shown) is provided.

【0020】他方の電極である陰極層15は有機EL層
14との界面に100nm未満の薄膜とした第1陰極層
15aと第2陰極層15bの2層構造としている。陰極
層15は、陽極層13よりも仕事関数が小さく電子の注
入効率が高いと共に、腐食しにくい低抵抗の材料が好ま
しい。そこで第1陰極層15aとしてアルカリ金属、例
えばリチウム(Li)を蒸着し、第2陰極層15bとし
てアルミニウムを順に蒸着形成する。また、その第2陰
極層15bは外部取り出し用ITO20上にも積層する
ように、図示しない蒸着マスク等を用いて所定形状とな
るように形成する。
The cathode layer 15, which is the other electrode, has a two-layer structure of a first cathode layer 15a and a second cathode layer 15b, each having a thin film of less than 100 nm at the interface with the organic EL layer 14. The cathode layer 15 is preferably made of a material having a lower work function and a higher electron injection efficiency than the anode layer 13 and a low resistance to corrosion. Therefore, an alkali metal, for example, lithium (Li) is vapor-deposited as the first cathode layer 15a, and aluminum is sequentially vapor-deposited and formed as the second cathode layer 15b. Further, the second cathode layer 15b is formed to have a predetermined shape by using an unillustrated vapor deposition mask or the like so as to be laminated also on the external extraction ITO 20.

【0021】有機EL層14は、陽極層13と陰極層1
5の間に挟持されており、両電極間に通電することによ
り有機EL層14から所望の発光が得られる。有機EL
層14は、例えば、陽極層13側から順に、正孔注入輸
送層14aと有機発光層14bの2層構造として形成さ
れる。また、有機EL層14は、更に、有機発光層14
bの上に陰極層15から電子を注入され易くする機能を
有する電子輸送層を設けた3層構造としたり、正孔注入
層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層、正孔注入層/正
孔輸送層/発光層、正孔輸送層/発光層/電子輸送層と
した多層構成や、単層構成の有機EL層としたもの、P
EDOT(Poly (3,4) ethylenedioxythiophene)バッ
ファー層を介して単層構成の有機層を設けたものなどを
用いることもできる。
The organic EL layer 14 includes the anode layer 13 and the cathode layer 1.
5 and a desired light emission can be obtained from the organic EL layer 14 by applying a current between both electrodes. Organic EL
The layer 14 is formed as, for example, a two-layer structure of a hole injection / transport layer 14a and an organic light emitting layer 14b in order from the anode layer 13 side. The organic EL layer 14 further includes an organic light emitting layer 14.
b, a three-layer structure in which an electron transport layer having a function of facilitating the injection of electrons from the cathode layer 15 or a hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer; A multi-layer structure composed of a hole transport layer / light-emitting layer, a hole transport layer / light-emitting layer / electron transport layer, or a single-layer organic EL layer;
An EDOT (Poly (3,4) ethylenedioxythiophene) buffer layer provided with a single-layer organic layer via a buffer layer may be used.

【0022】封止基板となる第2ガラス基板12は、第
1ガラス基板11よりも小さな大きさとされており、ガ
ラスに限らず、金属、樹脂、セラミックなどの様々な材
料を用いることができる。なお、第1ガラス基板11側
から光を外部に照射する場合には、該第2ガラス基板を
遮光性の基板材料を用いてもよい。
The second glass substrate 12 serving as a sealing substrate is smaller in size than the first glass substrate 11, and various materials such as metals, resins and ceramics can be used without being limited to glass. When light is emitted to the outside from the first glass substrate 11, the second glass substrate may be made of a light-shielding substrate material.

【0023】第2ガラス基板12の内側には、乾燥剤2
として酸化バリウム粉末を両面テープ1にて接着させた
後、小さな孔を開けたポリイミド製テープ3によりそれ
らを覆うようにして固定した乾燥手段4が設けられてい
る。乾燥手段4として用いる乾燥剤には、酸化バリウム
(BaO)以外にも水分を物理的および/または化学的
に吸着する様々な微粉末固体状物質を用いることができ
る。例えば、活性炭、ゼオライト、活性アルミナ、シリ
カゲルなどの水分を物理的に吸着する乾燥剤や、水分を
化学的に吸着する五酸化二燐(P)、酸化カルシ
ウム(CaO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化ナ
トリウム(NaO)などのアルカリ金属酸化物、硫酸
リチウム(LiSO)、硫酸ナトリウム(Na
)、硫酸カルシウム(CaSo)などの硫酸塩、
塩化カルシウム(CaCl)、塩化ストロンチウム
(SrCl)、弗化タンタル(TaF)、臭化マグ
ネシウム(MgBr)、沃化バリウム(BaI)な
どの金属ハロゲン化物、過塩素酸バリウム(Ba(Cl
)などの過塩素酸塩などを用いることができ
る。また、特開2000−3783号に記載されている
水素化カルシウム(CaH)、水素化アルミニウムリ
チウム(AlLiH)や、特開2000−11397
6号に記載されている水素化ストロンチウム(Sr
)、水素化バリウム(BaH)などの化合物を用
いることもできる。これらは、粒径を1〜100μm、
好適には約10μmとしたものが良い。粒径が大きすぎ
ると空隙19を大きく設けなければならなくなるからで
ある。
A drying agent 2 is provided inside the second glass substrate 12.
A drying means 4 is provided in which a barium oxide powder is adhered with a double-sided tape 1 and then fixed by covering them with a polyimide tape 3 having small holes. As the drying agent used as the drying means 4, various fine powder solid substances that physically and / or chemically adsorb moisture can be used other than barium oxide (BaO). For example, a desiccant such as activated carbon, zeolite, activated alumina and silica gel that physically adsorbs water, diphosphorus pentoxide (P 2 O 5 ), calcium oxide (CaO), and magnesium oxide Alkali metal oxides such as MgO), sodium oxide (Na 2 O), lithium sulfate (Li 2 SO 4 ), sodium sulfate (Na 2 S)
O 4 ), sulfates such as calcium sulfate (CaSo 4 ),
Metal halides such as calcium chloride (CaCl 2 ), strontium chloride (SrCl 2 ), tantalum fluoride (TaF 5 ), magnesium bromide (MgBr 2 ), barium iodide (BaI 2 ), and barium perchlorate (Ba ( Cl
Perchlorates such as O 4 ) 2 ) can be used. Also, calcium hydride (CaH 2 ) and lithium aluminum hydride (AlLiH 4 ) described in JP-A-2000-3783, and JP-A-2000-11397.
No. 6 strontium hydride (Sr
Compounds such as H 4 ) and barium hydride (BaH 2 ) can also be used. These have a particle size of 1 to 100 μm,
Preferably, the thickness is about 10 μm. This is because if the particle size is too large, the void 19 must be provided large.

【0024】シール層17は、例えば紫外線硬化樹脂、
熱硬化性樹脂などからなり、有機EL素子16の周辺を
囲み、且つ第1ガラス基板11と第2ガラス基板12と
を接着固定して有機EL素子16を外部雰囲気から気密
的に封止する。なお、両基板11,12を封止する際に
は不純物を制御した高純度窒素などの不活性ガス雰囲気
内で実施することで、空隙19内に酸素や水分が積極的
に残留しないように制御している。
The seal layer 17 is made of, for example, an ultraviolet curable resin,
The organic EL element 16 is made of a thermosetting resin or the like, surrounds the periphery of the organic EL element 16, and the first glass substrate 11 and the second glass substrate 12 are bonded and fixed to hermetically seal the organic EL element 16 from an external atmosphere. When the substrates 11 and 12 are sealed, the sealing is performed in an inert gas atmosphere such as high-purity nitrogen in which impurities are controlled so that oxygen and moisture do not actively remain in the voids 19. are doing.

【0025】ここまでの構成は、従来の有機EL表示装
置と基本的に同一であるが、本発明の実施形態において
は、外部取出し陰極15cのうち、少なくとも外部取り
出し用ITO20との界面、特に、封止内積層部22に
おける界面22aには中間層21を形成している。
The configuration up to this point is basically the same as that of the conventional organic EL display device. However, in the embodiment of the present invention, at least the interface between the external extraction cathode 15 c and the external extraction ITO 20, particularly, The intermediate layer 21 is formed on the interface 22a in the sealing inner laminated portion 22.

【0026】中間層21は、有機EL表示装置10を高
温環境下で駆動した際に生じる封止内積層部22におけ
る陰極層15の腐食を防止する作用を奏するべく設ける
もので、Mn,Au,Cr,Mg,Ni,Mn−Al合
金(Mn含有量約1.2%),Al−Mg合金,Al−
Mg−Si合金などの難腐食性金属材料を用いる。合金
材料を蒸着法等により形成する場合には組成変化が生じ
ても悪影響の少ない合金材料を用いることが好ましく、
Mn−Al合金のように融点差の大きなものよりは(A
lの融点=660℃、Mnの融点=258℃)、Alに
Mg(融点=650℃)を添加した合金などの方が好適
である。また、Al合金中へのMnなどの難腐食性金属
材料の添加量は0.01〜20%の範囲の含有量を有す
ると腐食防止効果が高い。中間層21の厚さは、水晶振
動子を用いた膜厚モニタ値で0.5nmよりも厚く、好
適には1〜10nmを形成する。本実施形態において
は、有機EL層14を形成した後、真空状態を保ったま
ま蒸着室に移送し、第1陰極層15a、中間層21、第
2陰極層15bを連続して形成する。なお、中間層21
は少なくとも封止内積層部22にあれば良く、有機EL
素子14上や外部に取出した陰極端子15c部には任意
である。
The intermediate layer 21 is provided to prevent the cathode layer 15 from being corroded in the encapsulation laminated portion 22 when the organic EL display device 10 is driven in a high temperature environment. Cr, Mg, Ni, Mn-Al alloy (Mn content about 1.2%), Al-Mg alloy, Al-
A non-corrosive metal material such as an Mg-Si alloy is used. When the alloy material is formed by a vapor deposition method or the like, it is preferable to use an alloy material with little adverse effect even if a composition change occurs,
(A) is better than an alloy having a large melting point difference such as a Mn-Al alloy.
(melting point of l = 660 ° C., melting point of Mn = 258 ° C.), an alloy obtained by adding Mg (melting point = 650 ° C.) to Al, and the like are more preferable. Further, when the amount of the hardly corrosive metal material such as Mn added to the Al alloy is in the range of 0.01 to 20%, the effect of preventing corrosion is high. The thickness of the intermediate layer 21 is formed to be greater than 0.5 nm, preferably 1 to 10 nm, as monitored by a film thickness monitor using a quartz oscillator. In the present embodiment, after the organic EL layer 14 is formed, the organic EL layer 14 is transferred to a vapor deposition chamber while maintaining a vacuum state, and the first cathode layer 15a, the intermediate layer 21, and the second cathode layer 15b are continuously formed. The intermediate layer 21
Need only be at least in the encapsulation lamination part 22, and the organic EL
It is optional for the cathode terminal 15c on the element 14 or outside.

【0027】上記のように封止した有機EL表示装置1
0においても、中間層21の厚さが0.5nmよりも薄
いと腐食防止効果が乏しくなる。逆に中間層21の厚さ
が10nmよりも厚くなると電圧−電流特性が低下する
傾向があるので、これよりも薄くすることが好ましい。
ただし、有機EL素子16部において中間層21を形成
せずに積層部22にのみ形成する場合にはこの限りでな
い。
Organic EL display device 1 sealed as described above
Even at 0, if the thickness of the intermediate layer 21 is smaller than 0.5 nm, the corrosion prevention effect becomes poor. Conversely, if the thickness of the intermediate layer 21 is greater than 10 nm, the voltage-current characteristics tend to decrease, so it is preferable that the thickness be smaller than this.
However, this does not apply to the case where the intermediate layer 21 is not formed in the organic EL element 16 portion but formed only in the laminated portion 22.

【0028】有機EL表示装置10は上記のように構成
されており、85℃以上の高温環境下で連続点灯試験を
実施した場合でも腐食が生じなくなった。
The organic EL display device 10 is configured as described above, and corrosion does not occur even when a continuous lighting test is performed in a high-temperature environment of 85 ° C. or higher.

【0029】図3は、本発明の他の実施形態の有機EL
表示装置30を示す。有機EL表示装置30は、互いに
平行に上下に重ねて配設された二枚のガラス基板11,
12と、下側の第1ガラス基板11の上に下側から順次
に積層された陽極層13,有機EL層14,陰極層35
とからなる有機EL素子16と、上側の第2ガラス基板
内面に設けられた乾燥手段4と、有機EL素子の周囲を
取囲むようにして両基板を接着固定するシール層17
と、から構成されている。また、陽極層13および陰極
層15を第1ガラス基板の異なる辺である基板端縁部1
1aおよび11b側から外部に導出しており、先の実施
形態の有機EL表示装置10と同一の構成である。
FIG. 3 shows an organic EL according to another embodiment of the present invention.
1 shows a display device 30. The organic EL display device 30 includes two glass substrates 11,
12, an anode layer 13, an organic EL layer 14, and a cathode layer 35, which are sequentially laminated on the lower first glass substrate 11 from below.
, A drying means 4 provided on the inner surface of the upper second glass substrate, and a seal layer 17 for bonding and fixing the two substrates so as to surround the periphery of the organic EL element.
And is composed of Further, the anode layer 13 and the cathode layer 15 are connected to the substrate edge 1 which is a different side of the first glass substrate.
It is led out from the 1a and 11b sides, and has the same configuration as the organic EL display device 10 of the previous embodiment.

【0030】先の実施形態においては、陰極層をアルカ
リ金属とアルミニウム第2陰極層との2層構造の陰極層
を用い、封止内積層部22および有機EL素子16部に
おいて中間層21を配設していたが、本実施形態におい
ては陰極層35としてアルミニウム−リチウム合金を用
い、封止内積層部22の箇所においてのみ外部取り出し
用ITO20上に中間層21を介して積層するものと
し、それ以外の箇所においては中間層21を介さずに積
層するものとしている。なお、中間層21は有機EL層
14を形成した後に陰極層35を形成する前に、蒸着マ
スクを用いて所定形状に形成している。
In the above embodiment, a cathode layer having a two-layer structure of an alkali metal and an aluminum second cathode layer is used as the cathode layer, and the intermediate layer 21 is disposed in the sealing inner laminated portion 22 and the organic EL element 16 portion. However, in this embodiment, an aluminum-lithium alloy is used as the cathode layer 35, and the cathode layer 35 is laminated on the ITO 20 for external extraction only through the intermediate layer 21 only at the location of the lamination part 22 inside the sealing. In other places, the layers are laminated without the intermediate layer 21 interposed therebetween. The intermediate layer 21 is formed in a predetermined shape using an evaporation mask after forming the organic EL layer 14 and before forming the cathode layer 35.

【0031】有機EL表示装置30は上記のように構成
されており、85℃以上の高温環境下で連続点灯試験を
実施した場合でも中間層21を形成しなかったものに比
べて顕著に腐食の発生を低減した。
The organic EL display device 30 is configured as described above. Even when a continuous lighting test is performed in a high-temperature environment of 85 ° C. or more, the organic EL display device 30 is significantly corroded as compared with the case where the intermediate layer 21 is not formed. The occurrence has been reduced.

【0032】図4は、本発明の更に他の実施形態の有機
EL表示装置40を示す。有機EL表示装置40は、互
いに平行に上下に重ねて配設され密閉空間を形成する二
枚のガラス基板11,12と、その密閉空間に配設され
た有機EL素子16と、乾燥手段4とを有し、基本的な
構成は先の実施形態における有機EL表示装置10と同
一である。
FIG. 4 shows an organic EL display device 40 according to still another embodiment of the present invention. The organic EL display device 40 includes two glass substrates 11 and 12 that are arranged parallel to one another and that are vertically stacked to form a sealed space, the organic EL element 16 disposed in the sealed space, and the drying unit 4. And the basic configuration is the same as that of the organic EL display device 10 in the above embodiment.

【0033】この実施形態においては、外部取り出し用
ITO20および陽極層13となるITO層を成膜し、
引き続いて中間層21としてMnを連続して成膜し、そ
の後に公知のフォトリソグラフィー技術を用いて中間層
21、外部取り出し用ITO20および陽極層13をエ
ッチングして所定形状とした。次に有機EL層14およ
び陰極層15を順に積層形成して、陰極層15と外部取
り出し用ITO20とを封止内積層部22において電気
的に接続して有機EL表示装置40を形成している。
In this embodiment, an ITO 20 for external extraction and an ITO layer to be the anode layer 13 are formed,
Subsequently, Mn was continuously formed as the intermediate layer 21, and thereafter, the intermediate layer 21, the ITO 20 for external extraction, and the anode layer 13 were etched into a predetermined shape using a known photolithography technique. Next, the organic EL layer 14 and the cathode layer 15 are sequentially laminated and formed, and the cathode layer 15 and the external extraction ITO 20 are electrically connected in the sealing inner laminated portion 22 to form the organic EL display device 40. .

【0034】有機EL表示装置40は上記のように構成
されており、85℃以上の高温環境下で連続点灯試験を
実施した場合でも中間層21を形成しなかったものに比
べて顕著に腐食の発生を低減した。また、ITO透明電
極からなる陽極層13および外部取り出し用ITO20
を一体に成膜した後に連続して中間層21を所定形状に
形成することができるので、中間層21を所定位置に確
実に設けることができ得る。
The organic EL display device 40 is configured as described above. Even when a continuous lighting test is performed in a high-temperature environment of 85 ° C. or more, the organic EL display device 40 is significantly corroded as compared with the case where the intermediate layer 21 is not formed. The occurrence has been reduced. An anode layer 13 made of an ITO transparent electrode and an ITO 20
Can be formed into a predetermined shape continuously after the film is integrally formed, so that the intermediate layer 21 can be reliably provided at a predetermined position.

【0035】尚、上記した実施形態は、本発明の好適な
具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付さ
れているが、本発明の範囲はこれらの態様に限られるも
のではなく、種々の変更も本発明に包含される。例え
ば、中間層21として外部取出し用ITO20もしくは
陰極層15との付着強度の高いもの(MnもしくはMn
−Al合金を用いた場合にはAuを用いた場合に比べて
付着強度が高い)を用いて、シール層17を設ける箇所
においても中間層21を形成したままとしても剥離が生
じにくいものとするなどの適宜の応用も本願発明に包含
される。
Although the above-described embodiment is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is not limited to these embodiments. Various modifications are also included in the present invention. For example, as the intermediate layer 21, a material having a high adhesion strength to the external extraction ITO 20 or the cathode layer 15 (Mn or Mn)
(In the case of using an Al alloy, the adhesion strength is higher than that in the case of using Au)), so that peeling does not easily occur at the place where the seal layer 17 is provided and even when the intermediate layer 21 is still formed. Appropriate applications such as are also included in the present invention.

【0036】以下、具体的な実施例に沿って本発明を説
明する。 [サンプル1]ガラス基板11上に、抵抗値が10Ω/
□のITO透明電極13をスパッタ法により形成し、公
知のフォトリソ法を用いて所定形状に透明電極13をエ
ッチングした後、アセトン、イソプロピルアルコール等
を用いて超音波洗浄を施し乾燥した。この基板11を更
に紫外線洗浄を施した後に、真空蒸着槽内にセットし、
真空槽内を1×10−5Torr 程度まで減圧した。
ここでまず、正孔輸送層としてTPDを0.2〜0.4
nm/secの蒸着速度にて100nm蒸着し、次いで
緑色発光層としてAlq3を0.2〜0.4nm/se
cの蒸着速度にて100nm蒸着した。続いて、真空状
態を保ったままLiを0.1nm、中間層21としてM
nを5nm、陰極層15としてAlを0.14μmを連
続して蒸着した。一方、第2ガラス基板12の内面には
両面テープ1を設け、その上にBaO粉末乾燥剤2を接
着させ、さらに、これらを覆うようにして微孔を設けた
ポリイミドテープ3にて固定して乾燥手段4を設けた。
有機EL素子16を形成した第1ガラス基板と、乾燥手
段4を設けた第2ガラス基板を有機EL素子16と乾燥
手段4が対向するようにして、所定の間隙19を有して
重ね合せ、縁部をシール層17で封止した。シール層1
7は、重ね合せを実施する前に、光硬化性接着剤を第2
ガラス基板の縁部に2mm幅でディスペンサーにて形成
しておき、この基板を用いて第1ガラス基板との貼り合
わせを実施した。尚、これらの封止工程は含有水分量お
よび不純物量を制御した高純度窒素雰囲気下にて行い、
空隙19内が高純度窒素にて満たされるようにした。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to specific examples. [Sample 1] A resistance value of 10Ω /
The ITO transparent electrode 13 of □ was formed by a sputtering method, the transparent electrode 13 was etched into a predetermined shape using a known photolithography method, and then subjected to ultrasonic cleaning using acetone, isopropyl alcohol, etc., and dried. After the substrate 11 is further subjected to ultraviolet cleaning, it is set in a vacuum evaporation tank,
The pressure inside the vacuum chamber was reduced to about 1 × 10 −5 Torr.
Here, first, TPD is used as a hole transport layer in an amount of 0.2 to 0.4.
100 nm is deposited at a deposition rate of nm / sec, and then Alq3 is applied as a green light-emitting layer at 0.2 to 0.4 nm / sec.
100 nm was deposited at a deposition rate of c. Subsequently, while maintaining a vacuum state, Li is 0.1 nm, and M
n was continuously deposited as 5 nm and Al as the cathode layer 15 was 0.14 μm. On the other hand, a double-sided tape 1 is provided on the inner surface of the second glass substrate 12, a BaO powder desiccant 2 is adhered thereon, and further fixed by a polyimide tape 3 provided with micropores so as to cover them. Drying means 4 was provided.
A first glass substrate on which the organic EL element 16 is formed and a second glass substrate provided with the drying means 4 are overlapped with a predetermined gap 19 so that the organic EL element 16 and the drying means 4 face each other; The edge was sealed with a seal layer 17. Seal layer 1
7 is to apply the photo-curable adhesive to the second before performing the superposition.
A glass substrate was formed with a width of 2 mm on an edge portion thereof using a dispenser, and was bonded to the first glass substrate using this substrate. Note that these sealing steps are performed in a high-purity nitrogen atmosphere in which the content of water and the amount of impurities are controlled,
The space 19 was filled with high-purity nitrogen.

【0037】[比較例サンプル]Mn中間層21を設け
ない以外は全てサンプル1と同条件にて有機EL表示装
置を作製した。
[Comparative Sample] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that the Mn intermediate layer 21 was not provided.

【0038】[サンプル2]Mn中間層21の厚みを2
μmにした以外は全てサンプル1と同条件にて有機EL
表示装置を作製した。 [サンプル3]Mn中間層21の厚みを0.1μmにし
た以外は全てサンプル1と同条件にて有機EL表示装置
を作製した。 [サンプル4]Mn中間層21の厚みを60nmにした
以外は全てサンプル1と同条件にて有機EL表示装置を
作製した。 [サンプル5]中間層21としてAl−Mn合金(Mn
約1.2wt%)を0.1μm形成した以外は全てサン
プル1と同条件にて有機EL表示装置を作製した。 [サンプル6]中間層21としてAuを200nm形成
してITO/Au/Li/Alとした以外は全てサンプ
ル1と同条件にて有機EL表示装置を作製した。 [サンプル7]中間層21としてNiを200nm形成
してITO/Ni/Alとした以外は全てサンプル1と
同条件にて有機EL表示装置を作製した。 [サンプル8]中間層21としてAgを200nm形成
してITO/Ag/Alとした以外は全てサンプル1と
同条件にて有機EL表示装置を作製した。 [サンプル9]第2ガラス基板に設けた乾燥手段4とし
て、両面テープ1とBaO粉末2のみを用い、ポリイミ
ドテープ3で固定しなかった以外は全て比較例サンプル
と同条件にて有機EL表示装置を作製した。 [サンプル10]第2ガラス基板に乾燥手段4を一切設
けなかった以外は全て比較例サンプルと同条件にて有機
EL表示装置を作製した。
[Sample 2] The thickness of the Mn intermediate layer 21 was 2
Organic EL under the same conditions as sample 1 except that
A display device was manufactured. [Sample 3] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that the thickness of the Mn intermediate layer 21 was changed to 0.1 μm. [Sample 4] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that the thickness of the Mn intermediate layer 21 was changed to 60 nm. [Sample 5] Al-Mn alloy (Mn
An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that 0.1 μm (about 1.2 wt%) was formed. [Sample 6] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1, except that 200 nm of Au was formed as the intermediate layer 21 to make ITO / Au / Li / Al. [Sample 7] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that 200 nm of Ni was formed as the intermediate layer 21 to obtain ITO / Ni / Al. [Sample 8] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as in Sample 1 except that 200 nm of Ag was formed as the intermediate layer 21 to make ITO / Ag / Al. [Sample 9] Organic EL display device under the same conditions as the comparative sample except that only double-sided tape 1 and BaO powder 2 were used as drying means 4 provided on the second glass substrate and were not fixed with polyimide tape 3. Was prepared. [Sample 10] An organic EL display device was manufactured under the same conditions as the comparative sample except that no drying means 4 was provided on the second glass substrate.

【0039】このようにして作成した各比較サンプルお
よび実施サンプルを、それぞれ温度85℃の高温環境下
に通電試験を実施した。図5、図6および図7はかかる
環境下で通電試験を行った後の代表的サンプルの封止内
積層部等の表面観察結果の拡大顕微鏡写真である。図5
において(a)はITO外部接続用陰極20とLi/A
l陰極層15との積層部を示し、(b)がその陰極層1
5の拡大写真である。図面に記したように積層部(図中
ITO/Alと記載)においては腐食が観察されるが、
積層構造となっていないLi/Al電極部(図中Alと
記載)においては腐食が観察されていない。
Each of the comparative sample and the working sample thus prepared was subjected to an electric current test in a high-temperature environment at a temperature of 85 ° C. FIGS. 5, 6, and 7 are enlarged micrographs of the surface observation results of the laminated portion and the like in the sealing of the representative sample after the current test was performed in such an environment. FIG.
In (a), the cathode 20 for ITO external connection and Li / A
1 shows a laminated portion with the cathode layer 15, and FIG.
5 is an enlarged photograph. As shown in the drawing, corrosion is observed in the laminated portion (denoted as ITO / Al in the drawing),
Corrosion was not observed in the Li / Al electrode portion having no laminated structure (described as Al in the figure).

【0040】図6において(c)は、観察領域の全面に
おいて中間層21としてMnを設けたサンプル1、
(d)は同じく観察領域の全面において中間層21とし
てAl−Mnを設けたサンプル5を示し、(e)はサン
プル6を示すが左側約半分の領域においては中間層21
としてAuが存在するが、右側約半分の領域においては
中間層21を形成していない。そのため、中間層を形成
しない積層部においては腐食が観察された。なお、これ
らの表面観察結果の拡大顕微鏡写真は図5(a)と同じ
倍率によって観察している。図7において(f)および
(g)は、中間層21としてNiを設けたサンプル7
と、中間層21としてAgを設けたサンプル8を示し、
夫々図面左側約半分の領域においては中間層21が存在
するが、右側約半分の領域においては中間層21を形成
していない。(h)はサンプル9の表面状態を示し、観
察領域全面において中間層を形成してない。なお、これ
らの表面観察結果の拡大顕微鏡写真も図5(a)と同じ
倍率によって観察している。
FIG. 6C shows Sample 1 in which Mn was provided as an intermediate layer 21 over the entire observation region.
(D) shows the sample 5 in which Al-Mn is provided as the intermediate layer 21 on the entire surface of the observation region, and (e) shows the sample 6, but the intermediate layer 21 is provided in a half area on the left side.
However, the intermediate layer 21 is not formed in a region on the right half. Therefore, corrosion was observed in the laminated portion where no intermediate layer was formed. In addition, the enlarged micrographs of these surface observation results are observed at the same magnification as in FIG. In FIG. 7, (f) and (g) show a sample 7 provided with Ni as the intermediate layer 21.
And Sample 8 provided with Ag as the intermediate layer 21.
The intermediate layer 21 is present in a region approximately half of the left side of the drawing, but the intermediate layer 21 is not formed in a region approximately half of the right side. (H) shows the surface state of Sample 9, in which no intermediate layer is formed over the entire observation region. The enlarged micrographs of these surface observation results are also observed at the same magnification as in FIG.

【0041】比較サンプル(図5(a)、(b))およ
びサンプル8(図7(g))は1日で積層部に腐食が発
生した。腐食部分をXPSにて分析したところアルミニ
ウム陰極が酸化していることが判った。サンプル1(図
6(c))、サンプル2、3,4(図面なし)、サンプ
ル5(図6(d))、サンプル6(図6(e))および
サンプル7(図7(f))のサンプルは15日以上経過
しても、積層部腐食が発生せずに初期段階と同じ表面状
態であった。また、これらのサンプルには電流−電圧特
性、発光開始電圧においても殆ど変化が見られなかっ
た。サンプル9(図7(h))は、3日程度では積層部
に殆ど変化がなかったが、10日以上経過すると変質が
観察された。また、有機EL素子16の発光部における
ダークスポットの成長は、サンプル1〜9および比較例
サンプルのいずれの有機EL表示装置においても観察さ
れなかった。サンプル10(図面なし)は、3日程度経
過しても積層部に変化は見受けられなかったが、有機E
L素子16の発光部にてダークスポットが成長し、良好
な発光が得られなくなった。
In the comparative sample (FIGS. 5 (a) and 5 (b)) and the sample 8 (FIG. 7 (g)), corrosion occurred in the laminated portion within one day. Analysis of the corroded portion by XPS showed that the aluminum cathode was oxidized. Sample 1 (FIG. 6 (c)), Samples 2, 3 and 4 (not shown), Sample 5 (FIG. 6 (d)), Sample 6 (FIG. 6 (e)) and Sample 7 (FIG. 7 (f)) The sample No. had the same surface state as the initial stage without corrosion of the laminated portion even after 15 days or more. In these samples, almost no change was observed in the current-voltage characteristics and the light emission starting voltage. In sample 9 (FIG. 7 (h)), the laminated portion hardly changed after about 3 days, but after 10 days or more, deterioration was observed. Further, the growth of dark spots in the light emitting portion of the organic EL element 16 was not observed in any of the organic EL display devices of Samples 1 to 9 and Comparative Example. In sample 10 (not shown), no change was observed in the laminated portion even after about 3 days, but the organic E
A dark spot grew in the light emitting portion of the L element 16, and good light emission could not be obtained.

【0042】サンプル9と比較サンプルとを比べると、
相違点はポリイミドテープ3による固定があるか否かの
点のみである。それにも関わらず上記のような相違が表
れた。この原因は定かではないが、BaOをポリイミド
テープにて固定して封止した有機EL表示装置において
は、酸化バリウムが水分と反応して水酸化バリウムを形
成し、この水酸化バリウムとポリイミドテープが存在す
ると、上記した腐食現象、特にアルミニウムとITO透
明電極を積層した箇所におけるアルミニウムの酸化現象
が顕著に進行するものと推察される。このような腐食現
象が顕在化され易い条件の構成である有機EL表示装置
のサンプル1〜7において、腐食を効果的に防止できた
ことから、かかる腐食現象が顕在化されにくいサンプル
9や、乾燥手段を設けないサンプル10のような有機E
L表示装置においても、ダークスポット等の他の不良原
因が解決できれば、本願発明を用いることで腐食現象を
予防した優れた特性の有機EL表示装置が得られるであ
ろう。
When the sample 9 is compared with the comparative sample,
The only difference is whether or not the polyimide tape 3 is fixed. Nevertheless, the above differences appeared. Although the cause is not clear, in an organic EL display device in which BaO is fixed with polyimide tape and sealed, barium oxide reacts with moisture to form barium hydroxide, and the barium hydroxide and the polyimide tape are combined. If present, it is presumed that the above-mentioned corrosion phenomenon, particularly the oxidation phenomenon of aluminum at a portion where aluminum and the ITO transparent electrode are laminated, remarkably progresses. In Samples 1 to 7 of the organic EL display device having a configuration in which such a corrosion phenomenon is easily exposed, corrosion was effectively prevented. Organic E like sample 10 without means
If other causes of defects such as dark spots can be solved in the L display device, an organic EL display device having excellent characteristics in which a corrosion phenomenon is prevented by using the present invention will be obtained.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、封
止した有機EL表示装置において、陰極層を封止領域の
外部に取出すためにITO電極を積層した封止内積層部
において、中間層を設けることで、陰極層材料の腐食を
効果的に低減することができ得る。
As described above, according to the present invention, in a sealed organic EL display device, in a sealing inner laminated portion where an ITO electrode is laminated to take out a cathode layer outside a sealing region, By providing the intermediate layer, corrosion of the cathode layer material can be effectively reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による有機EL表示装置の第一の実施形
態を示す概略平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment of an organic EL display device according to the present invention.

【図2】図1の有機EL表示装置のA−A部を示す概略
断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an AA part of the organic EL display device of FIG.

【図3】本発明による他の実施形態の有機EL表示装置
を示す概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an organic EL display device according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明によるさらに他の実施形態の有機EL表
示装置を示す概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing an organic EL display device according to still another embodiment of the present invention.

【図5】有機EL表示装置の比較サンプルにおける上記
積層部の腐食状態を観察した拡大写真である。
FIG. 5 is an enlarged photograph of the comparative sample of the organic EL display device, showing the state of corrosion of the laminated portion.

【図6】有機EL表示装置の代表的実施サンプルにおけ
る上記積層部の腐食状態を観察した拡大写真である。
(c)がサンプル1、(d)がサンプル5、(e)がサ
ンプル6を示す。
FIG. 6 is an enlarged photograph of the representative sample of the organic EL display device, showing the state of corrosion of the laminated portion.
(C) shows sample 1, (d) shows sample 5, and (e) shows sample 6.

【図7】有機EL表示装置の代表的実施サンプルにおけ
る上記積層部の腐食状態を観察した拡大写真である。
(f)がサンプル7、(g)がサンプル8、(h)がサ
ンプル9を示す。
FIG. 7 is an enlarged photograph of the representative sample of the organic EL display device, showing the state of corrosion of the laminated portion.
(F) shows sample 7, (g) shows sample 8, and (h) shows sample 9.

【図8】従来の有機EL表示装置を説明する概略断面図
である。
FIG. 8 is a schematic sectional view illustrating a conventional organic EL display device.

【図9】従来のドットマトリクス型の有機EL素子を説
明するために一部を切り欠いて示す斜視図である。
FIG. 9 is a partially cutaway perspective view illustrating a conventional dot matrix type organic EL element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 両面テープ 2,94 乾燥剤 3 ポリイミドテープ 4,98 乾燥手段 10,30,40,90 有機EL表示装置 11,81 第1ガラス(有機EL素子)基板 12,91 第2ガラス(封止)基板 13,82 陽極層 14,83 有機EL層 15,35,84 陰極層 16,80 有機EL素子 17,92 シール層 20,85 外部取出し用ITO 21 中間層 22,97 封止内積層部 93 空隙 96 不活性液体 REFERENCE SIGNS LIST 1 double-sided tape 2,94 desiccant 3 polyimide tape 4,98 drying means 10,30,40,90 organic EL display device 11,81 first glass (organic EL element) substrate 12,91 second glass (sealing) substrate 13, 82 Anode layer 14, 83 Organic EL layer 15, 35, 84 Cathode layer 16, 80 Organic EL element 17, 92 Seal layer 20, 85 ITO 21 for taking out outside Intermediate layer 22, 97 Sealing lamination part 93 Void 96 Inert liquid

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤木 努 東京都目黒区中目黒2−13−1 スタンレ ー電気株式会社内 Fターム(参考) 3K007 AB11 BA06 BB01 BB05 CA01 CB01 CC05 DA01 DB03 EB00 FA02  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tsutomu Akagi 2-13-1 Nakameguro, Meguro-ku, Tokyo F-term in Stanley Electric Co., Ltd. (reference) 3K007 AB11 BA06 BB01 BB05 CA01 CB01 CC05 DA01 DB03 EB00 FA02

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 有機EL素子が形成された第1基板と、
該有機EL素子を外部雰囲気と隔てる封止手段と、該有
機EL素子の電極に電気信号を供給するために前記封止
手段より外部に導出した電極端子とを有する有機EL表
示装置において、 前記第1基板には、透光性の電極材料からなる陽極層、
有機物からなる発光層を備えた有機EL層、陰極層を順
に積層した有機EL素子と、該有機EL素子の陽極層と
同じ材質からなる外部取出し用電極を備え、外部取出し
用電極には、陰極層が積層されており、 少なくとも前記陰極層と外部取出し用電極との積層部に
おいて、外部取出し用電極と陰極層との間には難腐食性
金属材料を含む中間層領域が形成してあることを特徴と
する、有機EL表示装置。
A first substrate on which an organic EL element is formed;
An organic EL display device comprising: a sealing unit that separates the organic EL element from an external atmosphere; and an electrode terminal that is led out of the sealing unit to supply an electric signal to an electrode of the organic EL device. An anode layer made of a translucent electrode material,
An organic EL element having a light emitting layer made of an organic material and an organic EL element in which a cathode layer is sequentially laminated, and an external extraction electrode made of the same material as the anode layer of the organic EL element are provided. The external extraction electrode includes a cathode. Layers are laminated, and an intermediate layer region containing a hardly corrosive metal material is formed between the external extraction electrode and the cathode layer at least in a laminated portion of the cathode layer and the external extraction electrode. An organic EL display device comprising:
【請求項2】前記外部取出し用電極がITO電極であ
り、陰極層がアルミニウムを主体とする電極であること
を特徴とする、請求項1に記載の有機EL表示装置。
2. The organic EL display device according to claim 1, wherein said external extraction electrode is an ITO electrode, and said cathode layer is an electrode mainly composed of aluminum.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100426550C (en) * 2003-08-20 2008-10-15 日本东北先锋公司 Planar display device and its manufacture
EP1566838A3 (en) * 2004-02-20 2010-09-01 LG Electronics, Inc. Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
JP2013073813A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Toppan Printing Co Ltd Method for manufacturing organic electroluminescent panel

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100426550C (en) * 2003-08-20 2008-10-15 日本东北先锋公司 Planar display device and its manufacture
EP1566838A3 (en) * 2004-02-20 2010-09-01 LG Electronics, Inc. Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
US7919919B2 (en) 2004-02-20 2011-04-05 Lg Electronics Inc. Organic electroluminescent display having a specific structure for a pad supplying the drive signal
JP2013073813A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Toppan Printing Co Ltd Method for manufacturing organic electroluminescent panel

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