JP2002032057A - Light emitting device and driving method therefor - Google Patents

Light emitting device and driving method therefor

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JP2002032057A
JP2002032057A JP2001135718A JP2001135718A JP2002032057A JP 2002032057 A JP2002032057 A JP 2002032057A JP 2001135718 A JP2001135718 A JP 2001135718A JP 2001135718 A JP2001135718 A JP 2001135718A JP 2002032057 A JP2002032057 A JP 2002032057A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an active matrix type light emitting device permitting sharp multi-gradation color display. SOLUTION: Each of the plural pixels included in a pixel part has an EL element, a switching use TFT, and an EL driving use TFT respectively, and the EL element has a pixel electrode, a counter electrodes, and an EL layer arranged between the pixel electrode and the counter electrodes, and time- division gradation display is performed by controlling a potential of the counter electrodes and that of the pixel electrode.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はEL(エレクトロル
ミネッセンス)素子を基板上に作り込んで形成された電
子ディスプレイに関する。特に半導体素子(半導体薄膜
を用いた素子)を用いたELディスプレイに関する。ま
たELディスプレイを表示部に用いた発光装置及びその
駆動方法に関する。
The present invention relates to an electronic display formed by forming an EL (electroluminescence) element on a substrate. In particular, the present invention relates to an EL display using a semiconductor element (an element using a semiconductor thin film). Further, the present invention relates to a light emitting device using an EL display as a display portion and a driving method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、基板上にTFTを形成する技術が
大幅に進歩し、アクティブマトリクス型の電子ディスプ
レイへの応用開発が進められている。特に、ポリシリコ
ン膜を用いたTFTは、従来のアモルファスシリコン膜
を用いたTFTよりも電界効果移動度(モビリティとも
いう)が高いので、高速動作が可能である。そのため、
従来基板の外に設けられた駆動回路で行っていた画素の
制御を、画素と同一の基板上に形成した駆動回路で行う
ことが可能となっている。
2. Description of the Related Art In recent years, the technology for forming a TFT on a substrate has been greatly advanced, and its application to an active matrix type electronic display has been developed. In particular, a TFT using a polysilicon film has higher field-effect mobility (also referred to as mobility) than a TFT using a conventional amorphous silicon film, and thus can operate at high speed. for that reason,
The control of pixels, which has been performed by a drive circuit provided outside the substrate in the related art, can be performed by a drive circuit formed on the same substrate as the pixels.

【0003】このようなアクティブマトリクス型の電子
ディスプレイは、同一基板上に様々な回路や素子を作り
込むことで製造コストの低減、電子ディスプレイの小型
化、歩留まりの上昇、スループットの低減など、様々な
利点が得られる。
[0003] Such an active matrix type electronic display can be manufactured by various circuits and elements on the same substrate to reduce various manufacturing costs, downsize the electronic display, increase the yield, and reduce the throughput. Benefits are obtained.

【0004】そしてさらに、自発光型素子としてEL素
子を有したアクティブマトリクス型のELディスプレイ
の研究が活発化している。ELディスプレイは有機EL
ディスプレイ(OELD:Organic EL Display)又は有
機ライトエミッティングダイオード(OLED:Organi
c Light Emitting Diode)とも呼ばれている。
Further, active matrix EL displays having EL elements as self-luminous elements have been actively studied. EL display is organic EL
Display (OELD: Organic EL Display) or Organic Light Emitting Diode (OLED: Organic)
c Light Emitting Diode).

【0005】ELディスプレイは、液晶ディスプレイと
異なり自発光型である。EL素子は一対の電極(陽極と
陰極)間にEL層が挟まれた構造となっているが、EL
層は通常、積層構造となっている。代表的には、コダッ
ク・イーストマン・カンパニーのTangらが提案した「正
孔輸送層/発光層/電子輸送層」という積層構造が挙げ
られる。この構造は非常に発光効率が高く、現在、研究
開発が進められているELディスプレイは殆どこの構造
を採用している。
An EL display is a self-luminous type unlike a liquid crystal display. An EL element has a structure in which an EL layer is sandwiched between a pair of electrodes (anode and cathode).
The layers usually have a laminated structure. A typical example is a laminated structure of “hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer” proposed by Tang et al. Of Kodak Eastman Company. This structure has a very high luminous efficiency, and almost all EL displays currently under research and development adopt this structure.

【0006】また他にも、陽極上に正孔注入層/正孔輸
送層/発光層/電子輸送層、または正孔注入層/正孔輸
送層/発光層/電子輸送層/電子注入層の順に積層する
構造でも良い。発光層に対して蛍光性色素等をドーピン
グしても良い。
In addition, a hole injection layer / hole transport layer / light-emitting layer / electron transport layer, or a hole injection layer / hole transport layer / light-emitting layer / electron transport layer / electron injection layer may be provided on the anode. A structure in which layers are sequentially stacked may be used. The light emitting layer may be doped with a fluorescent dye or the like.

【0007】EL層におけるルミネッセンスには、一重
項励起状態から基底状態に戻る際の発光(蛍光)と三重
項励起状態から基底状態に戻る際の発光(リン光)とが
あるが、本発明の発光装置は、上述した発光のうちのい
ずれか一方の発光を用いても良いし、または両方の発光
を用いても良い。
The luminescence in the EL layer includes light emission (fluorescence) when returning from the singlet excited state to the ground state and light emission (phosphorescence) when returning from the triplet excited state to the ground state. The light emitting device may use any one of the above-described light emissions or may use both light emissions.

【0008】本明細書において陰極と陽極の間に設けら
れる全ての層を総称してEL層と呼ぶ。よって上述した
正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注
入層等は、全てEL層に含まれる。
In this specification, all layers provided between a cathode and an anode are collectively called an EL layer. Therefore, the above-described hole injection layer, hole transport layer, light-emitting layer, electron transport layer, electron injection layer, and the like are all included in the EL layer.

【0009】そして、上記構造でなるEL層に一対の電
極から所定の電圧をかけ、それにより発光層においてキ
ャリアの再結合が起こって発光する。なお本明細書にお
いてEL素子が発光することを、EL素子が駆動すると
呼ぶ。また、本明細書中では、陽極、EL層及び陰極で
形成される発光素子をEL素子と呼ぶ。
Then, a predetermined voltage is applied to the EL layer having the above structure from a pair of electrodes, whereby recombination of carriers occurs in the light emitting layer to emit light. Note that in this specification, emission of an EL element is referred to as driving of the EL element. In this specification, a light-emitting element including an anode, an EL layer, and a cathode is referred to as an EL element.

【0010】ELディスプレイの駆動方法として、アナ
ログ方式の駆動方法(アナログ駆動)が挙げられる。E
Lディスプレイのアナログ駆動について、図23及び図
24を用いて説明する。
As a driving method of the EL display, there is an analog driving method (analog driving). E
The analog driving of the L display will be described with reference to FIGS.

【0011】図23にアナログ駆動のELディスプレイ
の画素部の構造を示す。ゲート信号線駆動回路からのゲ
ート信号を入力するゲート信号線(G1〜Gy)は、各
画素が有するスイッチング用TFT1801のゲート電
極に接続されている。また各画素の有するスイッチング
用TFT1801のソース領域とドレイン領域は、一方
がアナログのビデオ信号を入力するソース信号線(デー
タ信号線ともいう)S1〜Sxに、もう一方が各画素が
有するEL駆動用TFT1804のゲート電極及び各画
素が有するコンデンサ1808にそれぞれ接続されてい
る。
FIG. 23 shows a structure of a pixel portion of an analog display EL display. Gate signal lines (G1 to Gy) for inputting a gate signal from the gate signal line driving circuit are connected to a gate electrode of a switching TFT 1801 included in each pixel. One of a source region and a drain region of the switching TFT 1801 included in each pixel is connected to source signal lines (also referred to as data signal lines) S1 to Sx for inputting analog video signals, and the other is used for EL driving included in each pixel. It is connected to the gate electrode of the TFT 1804 and the capacitor 1808 of each pixel.

【0012】各画素が有するEL駆動用TFT1804
のソース領域は電源供給線V1〜Vxに接続されてお
り、ドレイン領域はEL素子1806に接続されてい
る。電源供給線V1〜Vxの電位を電源電位と呼ぶ。ま
た電源供給線V1〜Vxは、各画素が有するコンデンサ
1808に接続されている。
Each pixel has an EL driving TFT 1804
Are connected to power supply lines V1 to Vx, and the drain region is connected to an EL element 1806. The potentials of the power supply lines V1 to Vx are called power supply potentials. The power supply lines V1 to Vx are connected to a capacitor 1808 included in each pixel.

【0013】EL素子1806は陽極と、陰極と、陽極
と陰極の間に設けられたEL層とを有する。EL素子1
806の陽極がEL駆動用TFT1804のドレイン領
域と接続している場合、EL素子1806の陽極が画素
電極、陰極が対向電極となる。逆にEL素子1806の
陰極がEL駆動用TFT1804のドレイン領域と接続
している場合、EL素子1806の陽極が対向電極、陰
極が画素電極となる。
The EL element 1806 has an anode, a cathode, and an EL layer provided between the anode and the cathode. EL element 1
When the anode 806 is connected to the drain region of the EL driving TFT 1804, the anode of the EL element 1806 is a pixel electrode and the cathode is a counter electrode. Conversely, when the cathode of the EL element 1806 is connected to the drain region of the EL driving TFT 1804, the anode of the EL element 1806 serves as a counter electrode and the cathode serves as a pixel electrode.

【0014】なお本明細書において、対向電極の電位を
対向電位と呼ぶ。なお対向電極に対向電位を与える電源
を対向電源と呼ぶ。画素電極の電位と対向電極の電位の
電位差がEL駆動電圧であり、このEL駆動電圧がEL
層にかかる。
In this specification, the potential of the counter electrode is called a counter potential. Note that a power supply that applies a counter potential to the counter electrode is referred to as a counter power supply. The potential difference between the potential of the pixel electrode and the potential of the counter electrode is the EL drive voltage.
Hang on layers.

【0015】図23で示したELディスプレイを、アナ
ログ方式で駆動させた場合のタイミングチャートを図2
4に示す。1つのゲート信号線が選択されてから、その
次に別のゲート信号線が選択されるまでの期間を1ライ
ン期間(L)と呼ぶ。またアナログ駆動において、1つ
の画像が表示されてから次の画像が表示されるまでの期
間が1フレーム期間(F)に相当する。図23のELデ
ィスプレイの場合、ゲート信号線はy本あるので、1フ
レーム期間中にy個のライン期間(L1〜Ly)が設け
られている。
FIG. 2 is a timing chart when the EL display shown in FIG. 23 is driven in an analog system.
It is shown in FIG. A period from when one gate signal line is selected to when another gate signal line is selected next is called one line period (L). In analog driving, a period from the display of one image to the display of the next image corresponds to one frame period (F). In the case of the EL display of FIG. 23, since there are y gate signal lines, y line periods (L1 to Ly) are provided in one frame period.

【0016】解像度が高くなるにつれて1フレーム期間
中のライン期間の数も増え、駆動回路を高い周波数で駆
動しなければならなくなる。
As the resolution increases, the number of line periods in one frame period increases, and the driving circuit must be driven at a high frequency.

【0017】まず電源供給線V1〜Vxは一定の電源電
位に保たれている。そして対向電極の電位である対向電
位も一定の電位に保たれている。対向電位は、EL素子
が発光する程度に電源電位との間に電位差を有してい
る。
First, the power supply lines V1 to Vx are maintained at a constant power supply potential. The counter potential, which is the potential of the counter electrode, is also kept at a constant potential. The opposing potential has a potential difference from the power supply potential to such an extent that the EL element emits light.

【0018】第1のライン期間(L1)において、ゲー
ト信号線駆動回路からゲート信号線G1に入力されるゲ
ート信号によって、ゲート信号線G1が選択される。
In the first line period (L1), the gate signal line G1 is selected by a gate signal input from the gate signal line driving circuit to the gate signal line G1.

【0019】なお本明細書においてゲート信号線が選択
されるとは、該ゲート信号線にゲート電極が接続された
薄膜トランジスタが全てオンの状態になることを意味す
る。
Note that in this specification, selecting a gate signal line means that all the thin film transistors whose gate electrodes are connected to the gate signal line are turned on.

【0020】そして、ソース信号線S1〜Sxに順にア
ナログのビデオ信号が入力される。ゲート信号線G1に
接続された全てのスイッチング用TFT1801はオン
の状態になっているので、ソース信号線S1〜Sxに入
力されたアナログのビデオ信号は、スイッチング用TF
T1801を介してEL駆動用TFT1804のゲート
電極に入力される。
Then, analog video signals are sequentially input to the source signal lines S1 to Sx. Since all the switching TFTs 1801 connected to the gate signal line G1 are turned on, the analog video signals input to the source signal lines S1 to Sx are
The signal is input to the gate electrode of the EL driving TFT 1804 through T1801.

【0021】EL駆動用TFT1804のチャネル形成
領域を流れる電流の量は、EL駆動用TFT1804の
ゲート電極に入力される信号の電位の高さ(電圧)によ
って制御される。よって、EL素子1806の画素電極
にかかる電位は、EL駆動用TFT1804のゲート電
極に入力されたアナログのビデオ信号の電位の高さによ
って決まる。そしてEL素子1806はアナログのビデ
オ信号の電位に制御されて発光を行う。
The amount of current flowing through the channel forming region of the EL driving TFT 1804 is controlled by the height (voltage) of the signal input to the gate electrode of the EL driving TFT 1804. Therefore, the potential applied to the pixel electrode of the EL element 1806 is determined by the level of the potential of the analog video signal input to the gate electrode of the EL driving TFT 1804. The EL element 1806 emits light under the control of the potential of the analog video signal.

【0022】上述した動作を繰り返し、ソース信号線S
1〜Sxへのアナログのビデオ信号の入力が終了する
と、第1のライン期間(L1)が終了する。なお、ソー
ス信号線S1〜Sxへのアナログのビデオ信号の入力が
終了するまでの期間と水平帰線期間とを合わせて1つの
ライン期間としても良い。
The above operation is repeated, and the source signal line S
When the input of the analog video signal to 1 to Sx ends, the first line period (L1) ends. Note that the period until the input of the analog video signal to the source signal lines S1 to Sx ends and the horizontal retrace period may be combined into one line period.

【0023】そして次に第2のライン期間(L2)とな
り、ゲート信号によってゲート信号線G2が選択され
る。そして第1のライン期間(L1)と同様にソース信
号線S1〜Sxに順にアナログのビデオ信号が入力され
る。
Then, the second line period (L2) starts, and the gate signal line G2 is selected by the gate signal. Then, analog video signals are sequentially input to the source signal lines S1 to Sx as in the first line period (L1).

【0024】そして全てのゲート信号線(G1〜Gy)
にゲート信号が入力されると、全てのライン期間(L1
〜Ly)が終了する。全てのライン期間(L1〜Ly)
が終了すると、1フレーム期間が終了する。1フレーム
期間中において全ての画素が表示を行い、1つの画像が
形成される。なお全てのライン期間(L1〜Ly)と垂
直帰線期間とを合わせて1フレーム期間としても良い。
Then, all the gate signal lines (G1 to Gy)
When the gate signal is input to all the line periods (L1
To Ly) ends. All line periods (L1 to Ly)
Is completed, one frame period ends. All the pixels display during one frame period, and one image is formed. Note that all the line periods (L1 to Ly) and the vertical flyback period may be combined into one frame period.

【0025】以上のように、アナログのビデオ信号によ
ってEL素子の発光量が制御され、その発光量の制御に
よって階調表示がなされる。この方式はいわゆるアナロ
グ駆動方法と呼ばれる駆動方式であり、ソース信号線に
入力されるアナログのビデオ信号の電位の変化で階調表
示が行われる。
As described above, the light emission amount of the EL element is controlled by the analog video signal, and the gradation display is performed by controlling the light emission amount. This method is a so-called analog driving method, and gradation display is performed by changing the potential of an analog video signal input to a source signal line.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】上述したアナログ駆動
方法において、EL素子に供給される電流量がEL駆動
用TFTのゲート電圧によって制御される様子を図25
を用いて詳しく説明する。
FIG. 25 shows how the amount of current supplied to the EL element is controlled by the gate voltage of the EL driving TFT in the analog driving method described above.
This will be described in detail with reference to FIG.

【0027】図25(A)はEL駆動用TFTのトラン
ジスタ特性を示すグラフであり、2801はIDS−VGS
特性(又はIDS−VGS曲線)と呼ばれている。ここでI
DSはドレイン電流であり、VGSはゲート電極とソース領
域間の電圧(ゲート電圧)である。このグラフにより任
意のゲート電圧に対して流れる電流量を知ることができ
る。
FIG. 25A is a graph showing the transistor characteristics of the EL driving TFT. Reference numeral 2801 denotes I DS -V GS.
It is called the characteristic (or I DS -V GS curve). Where I
DS is a drain current, and V GS is a voltage (gate voltage) between the gate electrode and the source region. From this graph, the amount of current flowing for an arbitrary gate voltage can be known.

【0028】アナログ駆動方法において階調表示を行う
場合、EL素子は上記IDS−VGS特性の点線2802で
示した領域を用いて駆動する。2802で囲んだ領域の
拡大図を図25(B)に示す。
When gradation display is performed by the analog driving method, the EL element is driven by using the region indicated by the dotted line 2802 of the I DS -V GS characteristics. FIG. 25B is an enlarged view of a region surrounded by 2802.

【0029】図25(B)において、斜線で示す領域は
飽和領域と呼ばれている。具体的には、しきい値電圧を
THとすると、|VGS−VTH|<|VDS|を満たすよう
なゲート電圧である領域を指し、この領域ではゲート電
圧の変化に対して指数関数的にドレイン電流が変化す
る。この領域を使ってゲート電圧による電流制御を行
う。
In FIG. 25 (B), a region indicated by oblique lines is called a saturation region. Specifically, assuming that the threshold voltage is V TH , it indicates a region where the gate voltage satisfies | V GS −V TH | <| V DS | The drain current changes functionally. The current control by the gate voltage is performed using this region.

【0030】スイッチング用TFTがオンとなって画素
内に入力されたアナログのビデオ信号はEL駆動用TF
Tのゲート電圧となる。このとき、図25(A)に示し
たI DS−VGS特性に従ってゲート電圧に対してドレイン
電流が1対1で決まる。即ち、EL駆動用TFTのゲー
ト電極に入力されるアナログのビデオ信号の電圧に対応
して、ドレイン領域の電位が定まり、所定のドレイン電
流がEL素子に流れ、その電流量に対応した発光量で前
記EL素子が発光する。
When the switching TFT is turned on, the pixel
The analog video signal input into the
It becomes the gate voltage of T. At this time, as shown in FIG.
I DS-VGSDrain to gate voltage according to characteristics
The current is determined on a one-to-one basis. That is, the game of the EL driving TFT
Compatible with analog video signal voltage input to
As a result, the potential of the drain region is determined, and a predetermined drain voltage is set.
Current flows to the EL element, and the light emission amount
The EL element emits light.

【0031】以上のように、ビデオ信号によってEL素
子の発光量が制御され、その発光量の制御によって階調
表示がなされる。
As described above, the light emission amount of the EL element is controlled by the video signal, and gradation control is performed by controlling the light emission amount.

【0032】しかしながら、上記アナログ駆動はTFT
の特性のバラツキに非常に弱いという欠点がある。仮に
各画素のEL駆動用TFTに等しいゲート電圧がかかっ
たとしても、EL駆動用TFTのIDS−VGS特性にバラ
ツキがあれば、同じドレイン電流を出力することはでき
ない。さらに、図25(A)からも明らかなようにゲー
ト電圧の変化に対して指数関数的にドレイン電流が変化
する飽和領域を使っているため、IDS−VGS特性が僅か
でもずれれば、等しいゲート電圧がかかっても出力され
る電流量は大きく異なるといった事態が生じうる。こう
なってしまうと、僅かなIDS−VGS特性のバラツキによ
って、同じ電圧の信号を入力してもEL素子の発光量が
隣接画素で大きく異なってしまう。
However, the analog driving is performed by using a TFT.
Has the drawback that it is very weak to the variation in the characteristics. Even if the same gate voltage is applied to the EL driving TFT of each pixel, the same drain current cannot be output if the I DS -V GS characteristics of the EL driving TFT vary. Further, as is clear from FIG. 25A, since the saturation region where the drain current changes exponentially with respect to the change in the gate voltage is used, even if the I DS -V GS characteristics are slightly shifted, Even if the same gate voltage is applied, a situation may occur in which the amount of output current is significantly different. In such a case, even if a signal of the same voltage is input, the light emission amount of the EL element greatly differs between the adjacent pixels due to slight variations in the I DS -V GS characteristics.

【0033】このように、アナログ駆動はEL駆動用T
FTの特性バラツキに対して極めて敏感であり、その点
が従来のアクティブマトリクス型のELディスプレイの
階調表示における障害となっていた。
As described above, the analog driving is performed by the EL driving T
It is extremely sensitive to variations in the characteristics of the FT, which has been an obstacle in the gradation display of the conventional active matrix EL display.

【0034】本発明は上記問題点を鑑みてなされたもの
であり、鮮明な多階調カラー表示の可能なアクティブマ
トリクス型のELディスプレイを提供することを課題と
する。そして、そのようなアクティブマトリクス型EL
ディスプレイを表示用ディスプレイとして具備する高性
能な発光装置(電子機器)を提供することを課題とす
る。
The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an active matrix type EL display capable of displaying clear multi-tone colors. And such an active matrix EL
It is an object to provide a high-performance light-emitting device (electronic device) including a display as a display.

【0035】[0035]

【課題を解決するための手段】本発明者は、アナログ駆
動の問題は、ゲート電圧の変化に対してドレイン電流が
指数関数的に変化するためにIDS−VGS特性のばらつき
の影響を受けやすい飽和領域を用いて階調表示を行って
いることに起因すると考えた。
The inventor of the present invention has found that the problem of the analog drive is affected by the variation of the I DS -V GS characteristic because the drain current changes exponentially with the change of the gate voltage. This is considered to be caused by performing gradation display using an easily saturated region.

【0036】即ち、IDS−VGS特性のばらつきがあった
場合に、飽和領域はゲート電圧の変化に対してドレイン
電流が指数関数的に変化するため、等しいゲート電圧が
かかってもでも異なる電流(ドレイン電流)が出力され
てしまい、その結果、所望の階調が得られないという不
具合が生じるのである。
That is, when there is a variation in the I DS -V GS characteristics, the drain current changes exponentially with the change in the gate voltage in the saturation region. (Drain current) is output, and as a result, a problem occurs that a desired gradation cannot be obtained.

【0037】そこで本発明人は、EL素子の発する光の
量の制御を、飽和領域を用いた電流の制御により行うの
ではなく、主にEL素子が発光する時間の制御によって
行うことを考えた。つまり本発明ではEL素子の発する
光の量を時間で制御し、階調表示を行う。EL素子の発
光時間を制御することで階調表示を行う時分割方式の駆
動方法(以下、デジタル駆動という)と呼ぶ。なお時分
割方式の駆動方法によって行われる階調表示を時分割階
調表示と呼ぶ。
Therefore, the present inventor has considered that the amount of light emitted from the EL element is controlled not by controlling the current using the saturation region but mainly by controlling the time during which the EL element emits light. . That is, in the present invention, the amount of light emitted from the EL element is controlled by time to perform gradation display. This is referred to as a time-division driving method (hereinafter referred to as digital driving) in which gradation display is performed by controlling the emission time of an EL element. Note that the gradation display performed by the time-division driving method is referred to as time-division gradation display.

【0038】上記構成によって本発明では、EL駆動用
TFTのIDS−VGS特性に多少のばらつきがあっても、
同じ電圧の信号を入力したときにEL素子の発光量が隣
接画素で大きく異なってしまうという事態を避けること
が可能になる。
With the above structure, according to the present invention, even if the I DS -V GS characteristics of the EL driving TFT are slightly varied,
It is possible to avoid a situation in which the light emission amount of the EL element greatly differs between adjacent pixels when a signal of the same voltage is input.

【0039】[0039]

【発明の実施の形態】以下に、本発明のELディスプレ
イの構造及びその駆動方法について説明する。ここでは
nビットのデジタルビデオ信号により2n階調の表示を
行う場合について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of an EL display according to the present invention and a method for driving the EL display will be described below. Here, a case where 2 n gray scale display is performed by an n-bit digital video signal will be described.

【0040】図1に本発明のELディスプレイのブロッ
ク図の一例を示す。図1のELディスプレイは、基板上
に形成されたTFTによって画素部101、画素部10
1の周辺に配置されたソース信号線駆動回路102、ゲ
ート信号線駆動回路103、対向電源線駆動回路104
を有している。なお、本実施の形態において示すELデ
ィスプレイはソース信号線駆動回路と、ゲート信号線駆
動回路と、対向電源線駆動回路とをそれぞれ1つずつ有
しているが、本発明はこれに限定されない。ソース信号
線駆動回路と、ゲート信号線駆動回路と、対向電源線駆
動回路の数は任意に定めることができる。
FIG. 1 shows an example of a block diagram of an EL display of the present invention. The EL display shown in FIG. 1 includes a pixel portion 101 and a pixel portion 10 formed by TFTs formed on a substrate.
1, a source signal line driving circuit 102, a gate signal line driving circuit 103, and a counter power line driving circuit 104
have. Note that the EL display described in this embodiment includes one source signal line driver circuit, one gate signal line driver circuit, and one counter power supply line driver circuit; however, the present invention is not limited to this. The numbers of the source signal line driving circuits, the gate signal line driving circuits, and the opposing power supply line driving circuits can be arbitrarily determined.

【0041】また本発明において、ソース信号線駆動回
路102、ゲート信号線駆動回路103または対向電源
線駆動回路104は、画素部101が設けられている基
板上に設けても良いし、ICチップ上に設けてFPCま
たはTABを介して画素部101と接続されるようにし
ても良い。
In the present invention, the source signal line driving circuit 102, the gate signal line driving circuit 103, or the opposing power supply line driving circuit 104 may be provided on a substrate on which the pixel portion 101 is provided, or may be provided on an IC chip. And connected to the pixel portion 101 via FPC or TAB.

【0042】画素部101の拡大図を図2に示す。ソー
ス信号線S1〜Sx、電源供給線V1〜Vx、ゲート信
号線G1〜Gy、対向電源線E1〜Eyが画素部101
に設けられている。
FIG. 2 is an enlarged view of the pixel portion 101. The source signal lines S1 to Sx, the power supply lines V1 to Vx, the gate signal lines G1 to Gy, and the opposing power lines E1 to Ey include the pixel unit 101.
It is provided in.

【0043】ソース信号線S1〜Sxと、電源供給線V
1〜Vxと、ゲート信号線G1〜Gyと、対向電源線E
1〜Eyとを1つづつ有する領域が画素105である。
画素部101にはマトリクス状に複数の画素105が配
列されることになる。
The source signal lines S1 to Sx and the power supply line V
1 to Vx; gate signal lines G1 to Gy;
A region having one of the pixels 1 to Ey is the pixel 105.
In the pixel portion 101, a plurality of pixels 105 are arranged in a matrix.

【0044】画素105の拡大図を図3に示す。107
はスイッチング用TFT、108はEL駆動用TFT、
110はEL素子、112はコンデンサである。
FIG. 3 is an enlarged view of the pixel 105. 107
Is a switching TFT, 108 is an EL driving TFT,
110 is an EL element, 112 is a capacitor.

【0045】スイッチング用TFT107のゲート電極
は、ゲート信号線G(G1〜Gyのいずれか1つ)に接
続されている。スイッチング用TFT107のソース領
域とドレイン領域は、一方がソース信号線S(S1〜S
xのいずれか1つ)に接続されており、もう一方がEL
駆動用TFT108のゲート電極、各画素が有するコン
デンサ112に接続されている。
The gate electrode of the switching TFT 107 is connected to a gate signal line G (any one of G1 to Gy). One of a source region and a drain region of the switching TFT 107 has one of source signal lines S (S1 to S
x) and the other is EL
The gate electrode of the driving TFT 108 is connected to the capacitor 112 of each pixel.

【0046】コンデンサ112はスイッチング用TFT
107が非選択状態(オフの状態)にある時、EL駆動
用TFT108のゲート電圧を保持するために設けられ
ている。なお本実施の形態ではコンデンサ112を設け
る構成を示したが、本発明はこの構成に限定されず、コ
ンデンサ112を設けない構成にしても良い。
The capacitor 112 is a switching TFT.
When the gate 107 is in a non-selected state (off state), it is provided to hold a gate voltage of the EL driving TFT 108. Note that although a structure in which the capacitor 112 is provided is described in this embodiment, the present invention is not limited to this structure, and a structure without the capacitor 112 may be employed.

【0047】また、EL駆動用TFT108のソース領
域は電源供給線V(V1〜Vxのいずれか1つ)に接続
され、ドレイン領域はEL素子110に接続される。電
源供給線Vは画素部101を有する基板の外部に設けら
れた電源(図示せず)に接続されており、常に一定の電
源電位が与えられている。
The source region of the EL driving TFT 108 is connected to the power supply line V (one of V1 to Vx), and the drain region is connected to the EL element 110. The power supply line V is connected to a power supply (not shown) provided outside the substrate having the pixel portion 101, and is always supplied with a constant power supply potential.

【0048】現在の典型的なELディスプレイは、画素
部の面積あたりの発光量が200cd/m2の場合、画
素部の面積あたりの電流が数mA/cm2程度必要とな
る。そのため画素部のサイズが大きくなると、IC等に
設けられた電源から電源供給線に与えられる電位をスイ
ッチで制御することが難しくなる。本発明においては、
電源電位は常に一定に保たれており、ICに設けられた
電源から与えられる電位の高さをスイッチで制御する必
要がないので、より大きな画面サイズのパネルの実現に
有用である。
In a current typical EL display, when the amount of light emission per pixel area is 200 cd / m 2 , a current per pixel area is required to be about several mA / cm 2 . Therefore, when the size of the pixel portion is increased, it becomes difficult to control a potential applied to a power supply line from a power supply provided in an IC or the like with a switch. In the present invention,
The power supply potential is always kept constant, and there is no need to control the height of the potential given from the power supply provided in the IC with a switch, which is useful for realizing a panel with a larger screen size.

【0049】また電源供給線Vはコンデンサ112に接
続されている。
The power supply line V is connected to the capacitor 112.

【0050】EL素子110は陽極と陰極と、陽極と陰
極との間に設けられたEL層とからなる。陽極がEL駆
動用TFT108のドレイン領域と接続している場合、
陽極が画素電極、陰極が対向電極となる。逆に陰極がE
L駆動用TFT108のドレイン領域と接続している場
合、陰極が画素電極、陽極が対向電極となる。
The EL element 110 includes an anode and a cathode, and an EL layer provided between the anode and the cathode. When the anode is connected to the drain region of the EL driving TFT 108,
The anode serves as a pixel electrode and the cathode serves as a counter electrode. Conversely, the cathode is E
When connected to the drain region of the L driving TFT 108, the cathode serves as a pixel electrode and the anode serves as a counter electrode.

【0051】EL素子110の対向電極は、対向電源線
E(E1〜Eyのいずれか1つ)に接続されている。本
明細書において対向電源線Eの電位を対向電位と呼ぶ。
The opposing electrode of the EL element 110 is connected to the opposing power supply line E (any one of E1 to Ey). In this specification, the potential of the opposing power supply line E is referred to as an opposing potential.

【0052】スイッチング用TFT107、EL駆動用
TFT108は、nチャネル型TFTでもpチャネル型
TFTでもどちらでも用いることができる。ただし、E
L素子110の陽極が画素電極で陰極が対向電極の場
合、EL駆動用TFT108はpチャネル型TFTであ
ることが好ましい。また逆にEL素子110の陽極が対
向電極で陰極が画素電極の場合、EL駆動用TFT10
8はnチャネル型TFTであることが好ましい。
As the switching TFT 107 and the EL driving TFT 108, either an n-channel TFT or a p-channel TFT can be used. Where E
When the anode of the L element 110 is a pixel electrode and the cathode is a counter electrode, the EL driving TFT 108 is preferably a p-channel TFT. Conversely, when the anode of the EL element 110 is a counter electrode and the cathode is a pixel electrode, the EL driving TFT 10
8 is preferably an n-channel TFT.

【0053】またスイッチング用TFT107、EL駆
動用TFT108は、シングルゲート構造ではなく、ダ
ブルゲート構造やトリプルゲート構造などのマルチゲー
ト構造を有していても良い。
The switching TFT 107 and the EL driving TFT 108 may have a multi-gate structure such as a double gate structure or a triple gate structure instead of a single gate structure.

【0054】次に図1〜図3で示した本発明のELディ
スプレイの駆動方法について、図4を用いて説明する。
Next, a method of driving the EL display of the present invention shown in FIGS. 1 to 3 will be described with reference to FIG.

【0055】はじめに対向電極電源線駆動回路104に
よって、対向電源線E1に与えられている対向電位が、
電源電位が画素電極に与えられたときにEL素子が発光
する程度に、電源電位との間に電位差を有するような電
位(オンの対向電位)に保たれる。
First, the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 by the opposing electrode power supply line driving circuit 104 is
To the extent that the EL element emits light when the power supply potential is applied to the pixel electrode, it is maintained at a potential (ON counter potential) having a potential difference from the power supply potential.

【0056】そして、ゲート信号線駆動回路103から
ゲート信号線G1に入力されるゲート信号によってゲー
ト信号線G1が選択される。よってゲート信号線G1に
接続されている全ての画素(1ライン目の画素)のスイ
ッチング用TFT107がオンの状態になる。
Then, the gate signal line G1 is selected by the gate signal input from the gate signal line driving circuit 103 to the gate signal line G1. Therefore, the switching TFTs 107 of all the pixels (pixels on the first line) connected to the gate signal line G1 are turned on.

【0057】そして、ソース信号線駆動回路102から
ソース信号線S1〜Sxに入力される1ビット目のデジ
タルビデオ信号が、スイッチング用TFT107を介し
てEL駆動用TFT108のゲート電極に入力される。
なお本明細書において、デジタルビデオ信号がスイッチ
ング用TFT107を介してEL駆動用TFT108の
ゲート電極に入力されることを、画素にデジタルビデオ
信号が入力されるとする。
Then, the first bit digital video signal input to the source signal lines S1 to Sx from the source signal line driving circuit 102 is input to the gate electrode of the EL driving TFT 108 via the switching TFT 107.
Note that in this specification, a case where a digital video signal is input to the gate electrode of the EL driving TFT 108 through the switching TFT 107 is referred to as a case where a digital video signal is input to a pixel.

【0058】デジタルビデオ信号は「0」または「1」
の情報を有しており、「0」と「1」のデジタルビデオ
信号は、一方がHi、一方がLoの電圧を有する信号で
ある。
The digital video signal is "0" or "1"
The digital video signals of “0” and “1” are signals having one Hi voltage and one Lo voltage.

【0059】本実施の形態では、デジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8はオフの状態となる。よってEL素子110の画素電
極に電源電位が与えられない。その結果、「0」の情報
を有するデジタルビデオ信号が入力された画素が有する
EL素子110は発光しない。
In this embodiment, when the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
8 turns off. Therefore, no power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 110 included in the pixel to which the digital video signal having the information “0” is input does not emit light.

【0060】逆に、デジタルビデオ信号が「1」の情報
を有していた場合、EL駆動用TFT108はオンの状
態となる。よってEL素子110の画素電極に電源電位
が与えられる。その結果、「1」の情報を有するデジタ
ルビデオ信号が入力された画素が有するEL素子110
は発光する。
Conversely, when the digital video signal has information of “1”, the EL driving TFT 108 is turned on. Accordingly, a power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 110 included in the pixel to which the digital video signal having the information of “1” is input is provided.
Emits light.

【0061】なお本実施の形態ではデジタルビデオ信号
が「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT1
08はオフの状態となり、「1」の情報を有していた場
合EL駆動用TFT108はオンの状態となるが、本発
明はこの構成に限定されない。デジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8がオンの状態となり、「1」の情報を有していた場合
EL駆動用TFT108がオフの状態となっても良い。
In this embodiment, when the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 1
08 is in an off state, and when the information has “1”, the EL driving TFT 108 is in an on state, but the present invention is not limited to this configuration. If the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
8 may be turned on and the EL driving TFT 108 may be turned off when the information has the information “1”.

【0062】このように、1ライン目の画素にデジタル
ビデオ信号が入力されると同時に、EL素子110が発
光、または非発光を行い、1ライン目の画素は表示を行
う。画素が表示を行っている期間を表示期間Trと呼
ぶ。特に1ビット目のデジタルビデオ信号が画素に入力
されたことで開始する表示期間をTr1と呼ぶ。各ライ
ンの表示期間が開始されるタイミングはそれぞれ時間差
を有している。
As described above, at the same time when the digital video signal is input to the pixels on the first line, the EL element 110 emits light or does not emit light, and the pixels on the first line perform display. A period during which the pixel performs display is called a display period Tr. In particular, a display period started when the first bit digital video signal is input to the pixel is referred to as Tr1. The timing at which the display period of each line is started has a time difference.

【0063】次にゲート信号線G1の選択が終了する
と、対向電源線E1はオンの対向電位に保たれたまま
で、対向電源線駆動回路104によって、対向電源線E
2がオンの対向電位に保たれる。そしてゲート信号線G
2がゲート信号によって選択されることによって、ゲー
ト信号線G2に接続されている全ての画素のスイッチン
グ用TFT107がオンの状態になり、2ライン目の画
素にソース信号線S1〜Sxから1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される。
Next, when the selection of the gate signal line G1 is completed, the opposing power supply line E1 is maintained by the opposing power supply line driving circuit 104 while the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential.
2 is kept at the ON counter potential. And the gate signal line G
2 is selected by the gate signal, the switching TFTs 107 of all the pixels connected to the gate signal line G2 are turned on, and the pixels of the second line are set to the first bit from the source signal lines S1 to Sx. Is input.

【0064】このように順に、全ての対向電源線E1〜
Exが対向電位に保たれる。そして全てのゲート信号線
G1〜Gyが選択され、全ての画素に1ビット目のデジ
タルビデオ信号が入力される。全ての画素に1ビット目
のデジタルビデオ信号が入力されるまでの期間が、書き
込み期間Ta1である。
As described above, all the opposing power supply lines E1 to E1
Ex is kept at the opposite potential. Then, all the gate signal lines G1 to Gy are selected, and the first bit digital video signal is input to all the pixels. The period until the digital video signal of the first bit is input to all the pixels is the writing period Ta1.

【0065】一方、全ての画素に1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込み期間
Ta1が終了する前に、画素への1ビット目のデジタル
ビデオ信号の入力と並行して、対向電源線駆動回路10
4によって対向電源線E1に与えられる対向電位が、電
源電位と同じ高さの電位(オフの対向電位)に保たれ
る。そして、対向電源線E1に対向電極が接続されてい
るEL素子が全て非発光の状態になる。よって対向電源
線E1に対向電極が接続されているEL素子を有する全
ての画素(1ライン目の画素)が表示を行わなくなる。
On the other hand, before the digital video signal of the first bit is input to all the pixels, in other words, before the end of the writing period Ta1, in parallel with the input of the digital video signal of the first bit to the pixels, Counter power line drive circuit 10
4 keeps the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 at the same level as the power supply potential (the off opposing potential). Then, all the EL elements whose counter electrodes are connected to the counter power supply line E1 are in a non-light emitting state. Therefore, all the pixels (pixels on the first line) having the EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E1 do not perform display.

【0066】画素が表示を行わない期間を非表示期間T
dと呼ぶ。1ライン目の画素において、対向電源線E1
がオフの対向電位に保たれると同時に表示期間Tr1が
終了し、非表示期間Td1となる。表示期間と同様に、
各ラインの非表示期間が開始されるタイミングはそれぞ
れ時間差を有している。
A period in which the pixel does not perform display is defined as a non-display period T
Called d. In the pixels on the first line, the opposite power line E1
Is maintained at the off counter potential, and at the same time, the display period Tr1 ends, and the non-display period Td1 starts. Like the display period,
The timing at which the non-display period of each line is started has a time difference.

【0067】そして対向電源線E1がオフの対向電位に
保たれたまま、次に対向電源線E2がオフの対向電位に
保たれる。よって、対向電源線E2に対向電極が接続さ
れたEL素子を有する全ての画素(2ライン目の画素)
が表示を行わない非表示の状態となる。
Then, while the opposing power supply line E1 is kept at the off-facing potential, the opposing power supply line E2 is kept at the off-facing potential. Therefore, all pixels (pixels on the second line) having an EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E2
Is in a non-display state in which no display is performed.

【0068】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、1ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te1である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te1 is a period in which all of the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing potential of OFF and all the pixels that have been displaying by the first bit digital signal are in a non-display state.

【0069】一方、全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれる前、言い換えると消去期間Te1
が終了する前に、画素が非表示の状態になるのと並行し
て、再び対向電源線E1がオンの対向電位に保たれる。
そしてゲート信号によるゲート信号線G1の選択が行わ
れ、1ライン目の画素に2ビット目のデジタルビデオ信
号が入力される。その結果、1ライン目の画素は再び表
示を行うので、非表示期間Td1が終了して表示期間T
r2となる。
On the other hand, before all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the off opposing potential, in other words, the erasing period Te1
Before the operation is completed, the opposing power supply line E1 is again kept at the ON opposing potential in parallel with the pixel being in the non-display state.
Then, the gate signal line G1 is selected by the gate signal, and the digital video signal of the second bit is input to the pixels of the first line. As a result, the pixels on the first line perform display again, so that the non-display period Td1 ends and the display period Td1 ends.
r2.

【0070】そして同様に、順に全ての対向電源線がオ
ンの対向電位に保たれる。そして順に全てのゲート信号
線が選択され、2ビット目のデジタルビデオ信号が全て
の画素に入力される。全ての画素に2ビット目のデジタ
ルビデオ信号が入力し終わるまでの期間を、書き込み期
間Ta2と呼ぶ。
Similarly, all the opposing power supply lines are sequentially kept at the ON opposing potential. Then, all the gate signal lines are sequentially selected, and the digital video signal of the second bit is input to all the pixels. A period until the input of the second bit digital video signal to all the pixels is called a writing period Ta2.

【0071】そして一方、全ての画素に2ビット目のデ
ジタルビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込
み期間Ta2が終了する前に、画素への2ビット目のデ
ジタルビデオ信号の入力と並行して、対向電源線E1が
オフの対向電位に保たれる。よって1ライン目の画素が
有するEL素子は全て非発光の状態になり、1ライン目
の画素が表示を行わなくなる。よって1ライン目の画素
において表示期間Tr2は終了し、非表示期間Td2と
なる。
On the other hand, before the input of the second bit digital video signal to all the pixels, in other words, before the end of the writing period Ta2, in parallel with the input of the second bit digital video signal to the pixels. , The opposing power supply line E1 is kept at the opposing potential that is off. Accordingly, the EL elements of the pixels on the first line are all in a non-light emitting state, and the pixels on the first line do not perform display. Accordingly, the display period Tr2 ends in the pixels on the first line, and the non-display period Td2 is set.

【0072】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、2ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te2である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te2 is a period from when all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing electric potential in the off state, and until all the pixels that have been displaying with the digital signal of the second bit enter the non-display state.

【0073】上述した動作はmビット目のデジタルビデ
オ信号が画素に入力されるまで繰り返し行われ、表示期
間Trと非表示期間Tdとが繰り返し出現する。各ライ
ンの画素の表示期間Tr1は、書き込み期間Ta1にお
いて各ラインの画素の対向電極にオンの対向電位が与え
られて各ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込ま
れてから、消去期間Te1において各ラインの画素の対
向電極にオフの対向電位が与えられるまでの期間であ
る。また各ラインの画素の非表示期間Td1は、消去期
間Te1において各ラインの画素の対向電極にオフの対
向電位が与えられてから、次に出現する書き込み期間
(この場合書き込み期間Ta2)において各ラインの画
素の対向電極にオンの対向電位が与えられて各ラインの
画素にデジタルビデオ信号が書き込まれるまでの期間で
ある。そして表示期間Tr2、Tr3、…、Tr(m−
1)と非表示期間Td2、Td3、…、Td(m−1)
も、表示期間Tr1と非表示期間Td1と同様に、それ
ぞれの期間が定められる。
The above operation is repeated until the m-th bit digital video signal is input to the pixel, and the display period Tr and the non-display period Td appear repeatedly. During the display period Tr1 of the pixels in each line, during the writing period Ta1, an ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixels in each line to write a digital video signal to the pixels in each line. This is a period until an off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel. In the non-display period Td1 of the pixels in each line, the line is turned off in the next writing period (in this case, the writing period Ta2) after the off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line in the erasing period Te1. This is a period from when an on-potential is applied to the opposing electrode of the pixel and a digital video signal is written to the pixel on each line. The display periods Tr2, Tr3,..., Tr (m−
1) and non-display periods Td2, Td3,..., Td (m-1)
Also, each period is determined similarly to the display period Tr1 and the non-display period Td1.

【0074】説明を簡便にするために、図4ではm=n
−2の場合を例にとって示すが、本発明はこれに限定さ
れないのは言うまでもない。本発明においてmは、1か
らnまでの値を任意に選択することが可能である。
For the sake of simplicity, FIG.
The case of -2 is shown as an example, but it goes without saying that the present invention is not limited to this. In the present invention, m can arbitrarily select a value from 1 to n.

【0075】次に、対向電源線E1がオンの対向電位に
保たれ、m〔n−2(以下、括弧内はm=n−2の場合
を示す)〕ビット目のデジタルビデオ信号が1ライン目
の画素に入力される。よって1ライン目の画素は表示期
間Trm〔n−2〕となり表示を行う。
Next, the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential, and the digital video signal of the m-th (n-2 (hereafter, parentheses show the case of m = n-2)) bit is one line. Input to the pixel of the eye. Therefore, the pixels on the first line enter the display period Trm [n-2] and display is performed.

【0076】そして同様に、順に全ての対向電源線がオ
ンの対向電位に保たれる。そしてm〔n−2〕ビット目
のデジタルビデオ信号が全てのラインの画素に入力さ
れ、全てのラインの画素は表示期間Trm〔n−2〕と
なり表示を行う。
In the same manner, all the opposing power supply lines are sequentially kept at the ON opposing potential. Then, the digital video signal of the m [n-2] th bit is input to the pixels of all the lines, and the pixels of all the lines enter the display period Trm [n-2] to perform display.

【0077】そして次のビットのデジタルビデオ信号が
入力されるまで、m〔n−2〕ビット目のデジタルビデ
オ信号は画素に保持される。
The m [n-2] th bit digital video signal is held in the pixel until the next bit digital video signal is input.

【0078】次に全ての対向電源線がオンの対向電位に
保たれたまま、(m+1)〔n−1〕ビット目のデジタ
ルビデオ信号が1ライン目の画素に入力されると、画素
に保持されていたm〔n−2〕ビット目のデジタルビデ
オ信号は、(m+1)〔n−1〕ビット目のデジタルビ
デオ信号に書き換えられる。そして1ライン目の画素は
表示期間Tr(m+1)〔n−1〕となり、表示を行
う。
Next, when the digital video signal of the (m + 1) [n-1] th bit is input to the pixels of the first line while all the opposing power supply lines are maintained at the ON opposing potential, the pixels are held in the pixels. The digital video signal of the m [n-2] th bit is rewritten to the digital video signal of the (m + 1) [n-1] th bit. Then, the pixels on the first line enter a display period Tr (m + 1) [n-1], and display is performed.

【0079】そして同様に、順に全ての対向電源線がオ
ンの対向電位に保たれたまま、(m+1)〔n−1〕ビ
ット目のデジタルビデオ信号が全てのラインの画素に入
力され、全てのラインの画素は表示期間Tr(m+1)
〔n−1〕となり表示を行う。
Similarly, the digital video signal of the (m + 1) [n-1] th bit is input to the pixels of all the lines while all the opposite power supply lines are kept at the on-potential in order. The pixels in the line are in the display period Tr (m + 1)
[N-1] is displayed.

【0080】そして次のビットのデジタルビデオ信号が
入力されるまで、(m+1)〔n−1〕ビット目のデジ
タルビデオ信号は画素に保持される。
Until the next bit of the digital video signal is input, the (m + 1) [n-1] th bit of the digital video signal is held in the pixel.

【0081】上述した動作をnビット目のデジタルビデ
オ信号が画素に入力されるまで繰り返し行われる。各ラ
インの画素の表示期間Trm〔n−2〕、…、Trn
は、書き込み期間Tam〔n−2〕、…、Tanにおい
て各ラインの画素の対向電極にオンの対向電位が与えら
れて各ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込まれ
てから、その次に出現する書き込み期間において各ライ
ンの画素の対向電極にオンの対向電位が与えられて各ラ
インの画素にデジタルビデオ信号が書き込まれるまでの
期間である。
The above operation is repeated until the n-th bit digital video signal is input to the pixel. Display period Trm [n-2],..., Trn of the pixels of each line
Appears in the writing period Tam [n-2],..., Tan, after an on-potential is applied to the opposing electrode of the pixel on each line to write a digital video signal to the pixel on each line. In the writing period, this is a period from when an ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line and a digital video signal is written in the pixel in each line.

【0082】全ての表示期間Tr1〜Trnが終了する
と、1つの画像を表示することができる。本発明におい
て、1つの画像が表示される期間を1フレーム期間
(F)と呼ぶ。なお本発明の駆動方法において、フレー
ム期間(F)は各ラインの画素ごとに異なっている。y
ライン目の画素のフレーム期間は、ほぼ書き込み期間T
a1の長さ分だけ、1ライン目の画素のフレーム期間の
開始より遅れて開始される。
When all the display periods Tr1 to Trn are completed, one image can be displayed. In the present invention, a period during which one image is displayed is called one frame period (F). In the driving method of the present invention, the frame period (F) differs for each pixel in each line. y
The frame period of the pixel on the line is almost equal to the writing period T
It starts after the start of the frame period of the pixels of the first line by the length of a1.

【0083】そして1フレーム期間終了後は、再び対向
電源線E1〜Eyがオンの対向電位に保たれ、ゲート信
号線G1がゲート信号によって選択される。そして、1
ビット目のデジタルビデオ信号が画素に入力され、1ラ
イン目の画素が再び表示期間Tr1となる。そして再び
上述した動作を繰り返す。
After the end of one frame period, the opposing power supply lines E1 to Ey are again kept at the opposing potential of ON, and the gate signal line G1 is selected by the gate signal. And 1
The digital video signal of the bit is input to the pixel, and the pixel of the first line is again in the display period Tr1. Then, the above operation is repeated again.

【0084】ELディスプレイは1秒間に60以上のフ
レーム期間を設けることが好ましい。1秒間に表示され
る画像の数が60より少なくなると、視覚的に画像のち
らつきが目立ち始めることがある。
The EL display preferably has 60 or more frame periods per second. When the number of images displayed in one second is less than 60, flickering of the images may start to be noticeable.

【0085】また本発明では、全ての書き込み期間の長
さの和が1フレーム期間の長さよりも短いことが重要で
ある。なおかつ表示期間の長さをTr1:Tr2:Tr
3:…:Tr(n−1):Trn=20:21:22
…:2(n-2):2(n-1)とすることが必要である。この表
示期間の組み合わせで2n階調のうち所望の階調表示を
行うことができる。
In the present invention, it is important that the sum of the lengths of all the writing periods is shorter than the length of one frame period. In addition, the length of the display period is Tr1: Tr2: Tr
3 ::: Tr (n-1): Trn = 2 0 : 2 1 : 2 2 :
…: 2 (n−2) : 2 (n−1) . A desired gradation display out of 2 n gradations can be performed by the combination of the display periods.

【0086】1フレーム期間中にEL素子が発光した表
示期間の長さの総和を求めることによって、当該フレー
ム期間におけるその画素の表示した階調がきまる。例え
ば、n=8のとき、全部の表示期間で画素が発光した場
合の輝度を100%とすると、Tr1とTr2において
画素が発光した場合には1%の輝度が表現でき、Tr3
とTr5とTr8を選択した場合には60%の輝度が表
現できる。
By calculating the sum of the lengths of the display periods during which the EL element emits light during one frame period, the displayed gradation of the pixel in the frame period is determined. For example, assuming that when the pixel emits light in all display periods when n = 8, the luminance is 100%, and when the pixel emits light in Tr1 and Tr2, 1% luminance can be expressed.
When Tr5 and Tr8 are selected, 60% luminance can be expressed.

【0087】mビット目のデジタルビデオ信号が画素に
書き込まれる書き込み期間Tamは、表示期間Trmの
長さよりも短いことが肝要である。よってビット数mの
値は、1〜nのうち、書き込み期間Tamが表示期間T
rmの長さよりも短くなるような値であることが必要で
ある。
It is important that the writing period Tam in which the m-th bit digital video signal is written to the pixel is shorter than the length of the display period Trm. Therefore, the value of the bit number m is such that the writing period Tam is the display period T among 1 to n.
The value must be shorter than the length of rm.

【0088】また表示期間Tr1〜Trnは、どのよう
な順序で出現させても良い。例えば1フレーム期間中に
おいて、Tr1の次にTr3、Tr5、Tr2、…とい
う順序で表示期間を出現させることも可能である。ただ
し、表示期間Tr1〜Trnが互いに重ならない順序の
方がより好ましい。また消去期間Te1〜Tenも、互
いに重ならない順序の方がより好ましい。
The display periods Tr1 to Trn may appear in any order. For example, during one frame period, the display periods can appear in the order of Tr1, Tr5, Tr2,... Next to Tr1. However, the order in which the display periods Tr1 to Trn do not overlap each other is more preferable. Further, it is more preferable that the erasing periods Te1 to Ten are not overlapped with each other.

【0089】本発明は上記構成によって、EL駆動用T
FTのIDS−VGS特性に多少のばらつきがあっても、同
じ電圧の信号を入力したときにEL素子の発光量が隣接
画素で大きく異なってしまうという事態を避けることが
可能になる。
According to the present invention, the EL driving T
Even if there is some variation in the I DS -V GS characteristics of the FT, it is possible to avoid a situation in which the light emission amount of the EL element greatly differs between adjacent pixels when a signal of the same voltage is input.

【0090】また、本発明では、表示を行わない非表示
期間を設けることができる。従来のアナログ駆動の場
合、ELディスプレイに全白の画像を表示させると、常
にEL素子が発光することになり、EL層の劣化を早め
る原因となってしまう。本発明は非表示期間を設けるこ
とができるので、EL層の劣化をある程度抑えることが
できる。
In the present invention, a non-display period in which no display is performed can be provided. In the case of the conventional analog drive, when an all-white image is displayed on the EL display, the EL element always emits light, which causes deterioration of the EL layer earlier. According to the present invention, since a non-display period can be provided, deterioration of the EL layer can be suppressed to some extent.

【0091】なお本発明においては、表示期間と書き込
み期間とが一部重なっている。言い換えると書き込み期
間においても画素を表示させることが可能である。その
ため、1フレーム期間における表示期間の長さの総和の
割合(デューティー比)が、書き込み期間の長さによっ
てのみ決定されない。
In the present invention, the display period and the writing period partially overlap. In other words, the pixels can be displayed even in the writing period. Therefore, the ratio (duty ratio) of the total length of the display periods in one frame period is not determined only by the length of the writing period.

【0092】また本発明の構成では、従来と同様に各画
素に設けられるトランジスタは、スイッチング用TFT
とEL駆動用TFTの2つで済むため、画素の開口率を
低下させることがない。
In the structure of the present invention, the transistor provided in each pixel is replaced with a switching TFT as in the prior art.
And the EL driving TFT, the aperture ratio of the pixel is not reduced.

【0093】なお本実施の形態では、EL駆動用TFT
のゲート電極にかかる電圧を保持するためにコンデンサ
を設ける構造としているが、コンデンサを省略すること
も可能である。EL駆動用TFTが、ゲート絶縁膜を介
してゲート電極に重なるように設けられたLDD領域を
有している場合、この重なり合った領域には一般的にゲ
ート容量と呼ばれる寄生容量が形成される。このゲート
容量をEL駆動用TFTのゲート電極にかかる電圧を保
持するためのコンデンサとして積極的に用いても良い。
In this embodiment mode, the EL driving TFT is used.
Although a capacitor is provided to hold the voltage applied to the gate electrode, the capacitor may be omitted. When the EL driving TFT has an LDD region provided so as to overlap the gate electrode via the gate insulating film, a parasitic capacitance generally called a gate capacitance is formed in the overlapping region. This gate capacitance may be positively used as a capacitor for holding a voltage applied to the gate electrode of the EL driving TFT.

【0094】このゲート容量の容量値は、上記ゲート電
極とLDD領域とが重なり合った面積によって変化する
ため、その重なり合った領域に含まれるLDD領域の長
さによって決まる。
Since the capacitance value of the gate capacitance changes depending on the area where the gate electrode and the LDD region overlap, it is determined by the length of the LDD region included in the overlapping region.

【0095】なお、上述した本発明の構成はELディス
プレイへの適用だけに限らず、他の電気光学素子を用い
た装置に適用することも可能である。また応答時間が数
10μsec程度以下の、高速応答する液晶が開発され
た場合には、液晶ディスプレイに適用することも可能で
ある。
The above-described structure of the present invention is not limited to application to an EL display, but can be applied to an apparatus using another electro-optical element. Further, when a liquid crystal that responds at a high speed with a response time of about several tens of microseconds or less has been developed, it can be applied to a liquid crystal display.

【0096】[0096]

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【0097】(実施例1)本実施例では、本発明のEL
ディスプレイにおいて、6ビットのデジタルビデオ信号
により26階調の表示を行う場合について図5を用いて
説明する。なお本実施例のELディスプレイは、図1〜
図3に示した構造を有する。
Example 1 In this example, the EL of the present invention was used.
The case where a display of 26 gradations is performed on a display using a 6-bit digital video signal will be described with reference to FIG. The EL display according to the present embodiment is shown in FIGS.
It has the structure shown in FIG.

【0098】はじめに対向電極電源線駆動回路104に
よって、対向電源線E1に与えられている対向電位が、
電源電位が画素電極に与えられたときにEL素子が発光
する程度に、電源電位との間に電位差を有するような電
位(オンの対向電位)に保たれる。
First, the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 by the opposing electrode power supply line driving circuit 104 is
To the extent that the EL element emits light when the power supply potential is applied to the pixel electrode, it is maintained at a potential (ON counter potential) having a potential difference from the power supply potential.

【0099】そして、ゲート信号線駆動回路103から
ゲート信号線G1に入力されるゲート信号によって、ゲ
ート信号線G1が選択される。そしてゲート信号線G1
に接続されている全ての画素(1ライン目の画素)のス
イッチング用TFT107がオンの状態になる。
Then, the gate signal line G1 is selected by the gate signal input from the gate signal line driving circuit 103 to the gate signal line G1. And the gate signal line G1
, The switching TFTs 107 of all the pixels (pixels on the first line) connected to are turned on.

【0100】そして、ソース信号線駆動回路102から
ソース信号線S1〜Sxに、1ビット目のデジタルビデ
オ信号が入力される。デジタルビデオ信号はスイッチン
グ用TFT107を介してEL駆動用TFT108のゲ
ート電極に入力される。
Then, the first bit digital video signal is input from the source signal line drive circuit 102 to the source signal lines S1 to Sx. The digital video signal is input to the gate electrode of the EL driving TFT 108 via the switching TFT 107.

【0101】本実施例では、デジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8はオフの状態となる。よってEL素子110の画素電
極には電源電位が与えられない。その結果、「0」の情
報を有するデジタルビデオ信号が入力された画素が有す
るEL素子110は発光しない。
In this embodiment, when the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
8 turns off. Therefore, no power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 110 included in the pixel to which the digital video signal having the information “0” is input does not emit light.

【0102】逆に、デジタルビデオ信号が「1」の情報
を有していた場合、EL駆動用TFT108はオンの状
態となる。よってEL素子110の画素電極には電源電
位が与えられる。その結果、「1」の情報を有するデジ
タルビデオ信号が入力された画素が有するEL素子11
0は発光する。
Conversely, when the digital video signal has information of “1”, the EL driving TFT 108 is turned on. Therefore, a power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 11 included in the pixel to which the digital video signal having the information “1” is input is provided.
0 emits light.

【0103】このように1ライン目の画素は、デジタル
ビデオ信号が入力されると同時に、EL素子110が発
光、または非発光を行い、表示期間Tr1となる。各ラ
インの表示期間が開始されるタイミングはそれぞれ時間
差を有している。
As described above, in the pixels on the first line, at the same time when the digital video signal is input, the EL element 110 emits light or does not emit light, and the display period Tr1 is established. The timing at which the display period of each line is started has a time difference.

【0104】次にゲート信号線G1の選択が終了する
と、対向電源線E1はオンの対向電位に保たれたまま
で、対向電源線駆動回路104によって、対向電源線E
2がオンの対向電位に保たれる。そしてゲート信号によ
ってゲート信号線G2が選択されることによって、ゲー
ト信号線G2に接続されている全ての画素のスイッチン
グ用TFT107がオンの状態になり、2ライン目の画
素にソース信号線S1〜Sxから1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される。
Next, when the selection of the gate signal line G1 is completed, the opposing power supply line E1 is maintained by the opposing power supply line driving circuit 104 while the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential.
2 is kept at the ON counter potential. When the gate signal line G2 is selected by the gate signal, the switching TFTs 107 of all the pixels connected to the gate signal line G2 are turned on, and the source signal lines S1 to Sx are connected to the pixels on the second line. , A first bit digital video signal is input.

【0105】このように順に、全ての対向電源線E1〜
Exが対向電位に保たれる。そして全てのゲート信号線
G1〜Gyが選択され、全ての画素に1ビット目のデジ
タルビデオ信号が入力される。全ての画素に1ビット目
のデジタルビデオ信号が入力されるまでの期間が書き込
み期間Ta1である。
In this manner, all the opposing power supply lines E1 to E1
Ex is kept at the opposite potential. Then, all the gate signal lines G1 to Gy are selected, and the first bit digital video signal is input to all the pixels. The period until the digital video signal of the first bit is input to all the pixels is the writing period Ta1.

【0106】一方、全ての画素に1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込み期間
Ta1が終了する前に、画素への1ビット目のデジタル
ビデオ信号の入力と並行して、対向電源線駆動回路10
4によって対向電源線E1に与えられる対向電位が、電
源電位と同じ高さの電位(オフの対向電位)に保たれ
る。そして、対向電源線E1に対向電極が接続されてい
るEL素子が全て非発光の状態になる。よって対向電源
線E1に対向電極が接続されているEL素子を有する全
ての画素(1ライン目の画素)が表示を行わなくなる。
On the other hand, before the digital video signal of the first bit is input to all the pixels, in other words, before the end of the writing period Ta1, in parallel with the input of the digital video signal of the first bit to the pixels, Counter power line drive circuit 10
4 keeps the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 at the same level as the power supply potential (the off opposing potential). Then, all the EL elements whose counter electrodes are connected to the counter power supply line E1 are in a non-light emitting state. Therefore, all the pixels (pixels on the first line) having the EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E1 do not perform display.

【0107】画素が表示を行わない期間を非表示期間T
dと呼ぶ。1ライン目の画素において、対向電源線E1
がオフの対向電位に保たれると同時に表示期間Tr1が
終了し、非表示期間Td1となる。表示期間と同様に、
各ラインの非表示期間が開始されるタイミングはそれぞ
れ時間差を有している。
A period during which the pixel does not perform display is defined as a non-display period T
Called d. In the pixels on the first line, the opposite power line E1
Is maintained at the off counter potential, and at the same time, the display period Tr1 ends, and the non-display period Td1 starts. Like the display period,
The timing at which the non-display period of each line is started has a time difference.

【0108】そして対向電源線E1がオフの対向電位に
保たれたまま、次に対向電源線E2がオフの対向電位に
保たれる。よって、対向電源線E2に対向電極が接続さ
れたEL素子を有する全ての画素(2ライン目の画素)
が表示を行わない非表示の状態となる。
Then, while the opposing power supply line E1 is kept at the off-facing potential, the opposing power supply line E2 is kept at the off-facing potential. Therefore, all pixels (pixels on the second line) having an EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E2
Is in a non-display state in which no display is performed.

【0109】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、1ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te1である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te1 is a period in which all of the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing potential of OFF and all the pixels that have been displaying by the first bit digital signal are in a non-display state.

【0110】一方、全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれる前、言い換えると消去期間Te1
が終了する前に、画素が非表示の状態になるのと並行し
て、再び対向電源線E1がオンの対向電位に保たれる。
そしてゲート信号によるゲート信号線G1の選択が行わ
れ、1ライン目の画素に2ビット目のデジタルビデオ信
号が入力される。その結果、1ライン目の画素は再び表
示を行うので、非表示期間Td1が終了して表示期間T
r2となる。
On the other hand, before all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the off opposing potential, in other words, the erasing period Te1
Before the operation is completed, the opposing power supply line E1 is again kept at the ON opposing potential in parallel with the pixel being in the non-display state.
Then, the gate signal line G1 is selected by the gate signal, and the digital video signal of the second bit is input to the pixels of the first line. As a result, the pixels on the first line perform display again, so that the non-display period Td1 ends and the display period Td1 ends.
r2.

【0111】そして同様に、順に全ての対向電源線がオ
ンの対向電位に保たれる。そして順に全てのゲート信号
線が選択され、2ビット目のデジタルビデオ信号が全て
の画素に入力される。全ての画素に2ビット目のデジタ
ルビデオ信号が入力し終わるまでの期間を、書き込み期
間Ta2と呼ぶ。
Then, similarly, all the opposing power supply lines are sequentially kept at the ON opposing potential. Then, all the gate signal lines are sequentially selected, and the digital video signal of the second bit is input to all the pixels. A period until the input of the second bit digital video signal to all the pixels is called a writing period Ta2.

【0112】そして一方、全ての画素に2ビット目のデ
ジタルビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込
み期間Ta2が終了する前に、画素への2ビット目のデ
ジタルビデオ信号の入力と並行して、対向電源線E1が
オフの対向電位に保たれる。よって1ライン目の画素が
有するEL素子は全て非発光の状態になり、1ライン目
の画素が表示を行わなくなる。よって1ライン目の画素
において表示期間Tr2は終了し、非表示期間Td2と
なる。
On the other hand, before the digital video signal of the second bit is input to all the pixels, in other words, before the end of the writing period Ta2, the digital video signal of the second bit is input to the pixels in parallel. , The opposing power supply line E1 is kept at the opposing potential that is off. Accordingly, the EL elements of the pixels on the first line are all in a non-light emitting state, and the pixels on the first line do not perform display. Accordingly, the display period Tr2 ends in the pixels on the first line, and the non-display period Td2 is set.

【0113】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、2ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te2である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te2 is a period from when all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing electric potential in the off state, and until all the pixels that have been displaying with the digital signal of the second bit enter the non-display state.

【0114】上述した動作は5ビット目のデジタルビデ
オ信号が画素に入力されるまで繰り返し行われ、各ライ
ンの画素の表示期間Tr1は、書き込み期間Ta1にお
いて各ラインの画素の対向電極にオンの対向電位が与え
られて各ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込ま
れてから、消去期間Te1において各ラインの画素の対
向電極にオフの対向電位が与えられるまでの期間であ
る。また各ラインの画素の非表示期間Td1は、消去期
間Te1において各ラインの画素の対向電極にオフの対
向電位が与えられてから、次に出現する書き込み期間
(この場合書き込み期間Ta2)において各ラインの画
素の対向電極にオンの対向電位が与えられて各ラインの
画素にデジタルビデオ信号が書き込まれるまでの期間で
ある。そして表示期間Tr2、Tr3、Tr4と非表示
期間Td2、Td3、Td4も、表示期間Tr1と非表
示期間Td1と同様に、それぞれの期間が定められる。
The above-described operation is repeatedly performed until the fifth-bit digital video signal is input to the pixel. The display period Tr1 of the pixel of each line is turned on to the opposing electrode of the pixel of each line in the writing period Ta1. This is a period from when the potential is applied and the digital video signal is written to the pixels in each line to when an off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line in the erasing period Te1. In the non-display period Td1 of the pixels in each line, the line is turned off in the next writing period (in this case, the writing period Ta2) after the off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line in the erasing period Te1. This is a period from when an on-potential is applied to the opposing electrode of the pixel and a digital video signal is written to the pixel on each line. The display periods Tr2, Tr3, Tr4 and the non-display periods Td2, Td3, Td4 have their respective periods determined similarly to the display period Tr1 and the non-display period Td1.

【0115】次に、対向電源線E1がオンの対向電位に
保たれ、5ビット目のデジタルビデオ信号が1ライン目
の画素に入力される。よって1ライン目の画素は表示期
間Tr5となり表示を行う。そして次のビットのデジタ
ルビデオ信号が入力されるまで、5ビット目のデジタル
ビデオ信号は画素に保持される。そして同様に、順に全
ての対向電源線がオンの対向電位に保たれる。そして5
ビット目のデジタルビデオ信号が全てのラインの画素に
入力され、全てのラインの画素は表示期間Tr5となり
表示を行う。
Next, the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential, and the digital video signal of the fifth bit is input to the pixels of the first line. Therefore, the pixels on the first line are in the display period Tr5 and display is performed. Then, the digital video signal of the fifth bit is held in the pixel until the digital video signal of the next bit is input. Then, similarly, all the opposing power supply lines are maintained at the opposing electric potential of ON. And 5
The digital video signal of the bit is input to the pixels of all the lines, and the pixels of all the lines enter the display period Tr5 to perform display.

【0116】そして次に全ての対向電源線がオンの対向
電位に保たれたまま、6ビット目のデジタルビデオ信号
が1ライン目の画素に入力されると、画素に保持されて
いた5ビット目のデジタルビデオ信号は、6ビット目の
デジタルビデオ信号に書き換えられる。そして1ライン
目の画素は表示期間Tr6となり、表示を行う。6ビッ
ト目のデジタルビデオ信号は、再び次のフレーム期間の
1ビット目のデジタルビデオ信号が入力されるまで画素
に保持される。そして同様に、6ビット目のデジタルビ
デオ信号が順に全てのラインの画素に入力され、全ての
ラインの画素は表示期間Tr6となり表示を行う。
Next, when the digital video signal of the sixth bit is input to the pixels of the first line while all the opposite power supply lines are kept at the on-potential, the fifth bit held in the pixels Is rewritten into a 6-bit digital video signal. Then, the pixels on the first line are in the display period Tr6, and display is performed. The 6-bit digital video signal is held in the pixel until the 1-bit digital video signal in the next frame period is input again. Similarly, the digital video signal of the sixth bit is sequentially input to the pixels of all the lines, and the pixels of all the lines enter the display period Tr6 to perform display.

【0117】再び次のフレーム期間の1ビット目のデジ
タルビデオ信号が画素に入力されると、表示期間Tr6
は終了し、同時にフレーム期間が終了する。全ての表示
期間(Tr1〜Tr6)が終了するとフレーム期間が終
了し、1つの画像を表示することができる。そして次の
フレーム期間においても、上述した動作を繰り返す。
When the digital video signal of the first bit in the next frame period is input to the pixel again, the display period Tr6
Ends, and the frame period ends at the same time. When all display periods (Tr1 to Tr6) end, the frame period ends and one image can be displayed. The above operation is repeated also in the next frame period.

【0118】各ラインの画素の表示期間Tr5は、各ラ
インの画素の対向電極にオンの対向電位が与えられて各
ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込まれてか
ら、その次に出現する書き込み期間(この場合書き込み
期間Ta6)において各ラインの画素の対向電極にオン
の対向電位が与えられて各ラインの画素にデジタルビデ
オ信号が書き込まれるまでの期間である。そして各ライ
ンの画素の表示期間Tr6は、各ラインの画素の対向電
極にオンの対向電位が与えられて各ラインの画素にデジ
タルビデオ信号が書き込まれてから、その次に出現する
書き込み期間(この場合次のフレーム期間の書き込み期
間Ta1)において各ラインの画素の対向電極にオンの
対向電位が与えられて各ラインの画素にデジタルビデオ
信号が書き込まれるまでの期間である。
The display period Tr5 of the pixels in each line is a writing period that appears after the ON voltage is applied to the counter electrode of the pixels in each line and the digital video signal is written into the pixels of each line. In this case (write period Ta6), this is a period from when an ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line and a digital video signal is written in the pixel in each line. In the display period Tr6 of the pixels in each line, the ON period is applied to the opposing electrodes of the pixels in each line, and the digital video signal is written in the pixels in each line. The case is a period from the writing period Ta1) of the next frame period until the ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixel of each line and the digital video signal is written to the pixel of each line.

【0119】表示期間Trの長さは、Tr1:Tr2:
…:Tr5:Tr6=20:21:…:24:25となるよ
うに設定する。この表示期間の組み合わせで26階調の
うち所望の階調表示を行うことができる。
The length of the display period Tr is Tr1: Tr2:
…: Tr5: Tr6 = 2 0 : 2 1 :…: 2 4 : 2 5 A desired gradation display among the 26 gradations can be performed by the combination of the display periods.

【0120】1フレーム期間中にEL素子が発光した表
示期間の長さの総和を求めることによって、当該フレー
ム期間におけるその画素の表示した階調がきまる。全部
の表示期間で画素が発光した場合の輝度を100%とす
ると、Tr1とTr2において画素が発光した場合には
5%の輝度が表現でき、Tr3とTr5を選択した場合
には32%の輝度が表現できる。
By calculating the sum of the lengths of the display periods in which the EL element emits light during one frame period, the displayed gradation of the pixel in the frame period is determined. Assuming that the luminance when the pixel emits light in all display periods is 100%, the luminance of 5% can be expressed when the pixel emits light in Tr1 and Tr2, and the luminance of 32% when Tr3 and Tr5 are selected. Can be expressed.

【0121】本実施例において、5ビット目のデジタル
ビデオ信号が画素に書き込まれる書き込み期間Ta5
は、表示期間Tr5の長さよりも短いことが肝要であ
る。
In this embodiment, a write period Ta5 in which the digital video signal of the fifth bit is written to the pixel
Is shorter than the length of the display period Tr5.

【0122】また表示期間(Tr1〜Tr6)は、どの
ような順序で出現させても良い。例えば1フレーム期間
中において、Tr1の次にTr3、Tr5、Tr2、…
という順序で表示期間を出現させることも可能である。
ただし、消去期間(Te1〜Te6)が互いに重ならな
い順序の方がより好ましい。また表示期間(Tr1〜T
r6)も互いに重ならない順序の方がより好ましい。
The display periods (Tr1 to Tr6) may appear in any order. For example, during one frame period, Tr1, Tr5, Tr2,.
It is also possible to make the display periods appear in this order.
However, the order in which the erasing periods (Te1 to Te6) do not overlap each other is more preferable. The display period (Tr1 to T
The order in which r6) does not overlap with each other is more preferable.

【0123】本発明は上記構成によって、TFTによっ
てIDS−VGS特性に多少のばらつきがあっても、同じ電
圧の信号を入力したときにEL素子の発光量が隣接画素
で大きく異なってしまうという事態を避けることが可能
になる。
According to the present invention, with the above-described structure, even if the I DS -V GS characteristics are slightly varied depending on the TFT, the light emission amount of the EL element greatly differs between adjacent pixels when a signal of the same voltage is input. Things can be avoided.

【0124】また、本発明では、表示を行わない非表示
期間を設けることができる。従来のアナログ駆動の場
合、ELディスプレイに全白の画像を表示させると、常
にEL素子が発光することになり、EL層の劣化を早め
る原因となってしまう。本発明は非表示期間を設けるこ
とができるので、EL層の劣化をある程度抑えることが
できる。
In the present invention, a non-display period in which no display is performed can be provided. In the case of the conventional analog drive, when an all-white image is displayed on the EL display, the EL element always emits light, which causes deterioration of the EL layer earlier. According to the present invention, since a non-display period can be provided, deterioration of the EL layer can be suppressed to some extent.

【0125】(実施例2)本実施例では、6ビットのデ
ジタルビデオ信号に対応した本発明の駆動方法におい
て、表示期間Tr1〜Tr6の出現する順序について説
明する。
(Embodiment 2) In this embodiment, the order in which the display periods Tr1 to Tr6 appear in the driving method of the present invention corresponding to a 6-bit digital video signal will be described.

【0126】図6に本実施例の駆動方法を示すタイミン
グチャートを示す。画素の詳しい駆動の仕方については
実施例1を参照すれば良いので、ここでは省略する。本
実施例の駆動方法では、1フレーム期間中で1番長い非
表示期間(本実施例ではTd1)を1フレーム期間の最
後に設ける。上記構成によって、非表示期間Td1と、
次のフレーム期間の最初の表示期間(本実施例ではTr
4)との間にフレーム期間の区切れがあるように人間の
目に映る。これによって、中間階調の表示を行ったとき
に、隣り合うフレーム期間同士で発光する表示期間が隣
接することによって起きていた表示むらを、人間の目に
認識されずらくすることができる。
FIG. 6 is a timing chart showing the driving method of this embodiment. A detailed driving method of the pixel may be referred to in the first embodiment, and thus the description is omitted here. In the driving method of this embodiment, the longest non-display period (Td1 in this embodiment) in one frame period is provided at the end of one frame period. With the above configuration, the non-display period Td1
The first display period of the next frame period (in this embodiment, Tr
4) It appears to the human eye that there is a break in the frame period. This makes it possible to make it difficult for human eyes to recognize display unevenness caused by adjacent display periods that emit light between adjacent frame periods when displaying an intermediate gradation.

【0127】なお本実施例では、6ビットのデジタルビ
デオ信号の場合について説明したが、本発明はこれに限
定されない。本実施例はデジタルビデオ信号のビット数
に限定されることなく実施することが可能である。
Although the present embodiment has been described with reference to a case of a 6-bit digital video signal, the present invention is not limited to this. This embodiment can be implemented without being limited to the number of bits of the digital video signal.

【0128】(実施例3)本実施例では、本発明のEL
ディスプレイにおいて、4ビットのデジタルビデオ信号
により24階調の表示を行う場合について図7を用いて
説明する。なお本実施例のELディスプレイは、図1〜
図3に示した構造を有する。
(Embodiment 3) In this embodiment, the EL of the present invention is used.
In the display, it will be described with reference to FIG. 7, the case of displaying the 2 4 gradations by 4 bit digital video signal. The EL display according to the present embodiment is shown in FIGS.
It has the structure shown in FIG.

【0129】はじめに対向電極電源線駆動回路104に
よって、対向電源線E1に与えられている対向電位が、
電源電位が画素電極に与えられたときにEL素子が発光
する程度に、電源電位との間に電位差を有するような電
位(オンの対向電位)に保たれる。
First, the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 by the opposing electrode power supply line driving circuit 104 is
To the extent that the EL element emits light when the power supply potential is applied to the pixel electrode, it is maintained at a potential (ON counter potential) having a potential difference from the power supply potential.

【0130】そして、ゲート信号線駆動回路103から
ゲート信号線G1に入力されるゲート信号によって、ゲ
ート信号線G1が選択される。よってゲート信号線G1
に接続されている全ての画素(1ライン目の画素)のス
イッチング用TFT107がオンの状態になる。
The gate signal line G1 is selected by a gate signal input from the gate signal line driving circuit 103 to the gate signal line G1. Therefore, the gate signal line G1
, The switching TFTs 107 of all the pixels (pixels on the first line) connected to are turned on.

【0131】そして同時に、ソース信号線駆動回路10
2からソース信号線S1〜Sxに、1ビット目のデジタ
ルビデオ信号が入力される。デジタルビデオ信号はスイ
ッチング用TFT107を介してEL駆動用TFT10
8のゲート電極に入力される。
At the same time, the source signal line driving circuit 10
2, the first bit digital video signal is input to the source signal lines S1 to Sx. The digital video signal is supplied to the EL driving TFT 10 through the switching TFT 107.
8 is input to the gate electrode.

【0132】本実施例では、デジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8はオフの状態となる。よってEL素子110の画素電
極には電源電位は与えられない。その結果、「0」の情
報を有するデジタルビデオ信号が入力された画素が有す
るEL素子110は発光しない。
In this embodiment, when the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
8 turns off. Therefore, no power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 110 included in the pixel to which the digital video signal having the information “0” is input does not emit light.

【0133】逆に、デジタルビデオ信号が「1」の情報
を有していた場合、EL駆動用TFT108はオンの状
態となる。よってEL素子110の画素電極に電源電位
が与えられる。その結果、「1」の情報を有するデジタ
ルビデオ信号が入力された画素が有するEL素子110
は発光する。
Conversely, when the digital video signal has the information of “1”, the EL driving TFT 108 is turned on. Accordingly, a power supply potential is applied to the pixel electrode of the EL element 110. As a result, the EL element 110 included in the pixel to which the digital video signal having the information of “1” is input is provided.
Emits light.

【0134】なお本実施例ではデジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8はオフの状態となり、「1」の情報を有していた場合
EL駆動用TFT108はオンの状態となるが、本発明
はこの構成に限定されない。デジタルビデオ信号が
「0」の情報を有していた場合、EL駆動用TFT10
8がオンの状態となり、「1」の情報を有していた場合
EL駆動用TFT108がオフの状態となっても良い。
In this embodiment, when the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
Reference numeral 8 denotes an off state, and when the information has information "1", the EL driving TFT 108 is turned on. However, the present invention is not limited to this configuration. If the digital video signal has information of “0”, the EL driving TFT 10
8 may be turned on and the EL driving TFT 108 may be turned off when the information has the information “1”.

【0135】このように1ライン目の画素は、デジタル
ビデオ信号が入力されると同時に、EL素子110が発
光、または非発光を行い、1ライン目の画素は表示を行
う。画素が表示を行っている期間を表示期間Trと呼
ぶ。各ラインの表示期間が開始されるタイミングはそれ
ぞれ時間差を有している。
As described above, the pixels on the first line emit light or do not emit light at the same time as the input of the digital video signal, and the pixels on the first line perform display. A period during which the pixel performs display is called a display period Tr. The timing at which the display period of each line is started has a time difference.

【0136】次にゲート信号線G1の選択が終了する
と、対向電源線E1はオンの対向電位に保たれたまま
で、対向電源線駆動回路104によって、対向電源線E
2がオンの対向電位に保たれる。そしてゲート信号によ
ってゲート信号線G2が選択されることによって、ゲー
ト信号線G2に接続されている全ての画素のスイッチン
グ用TFT107がオンの状態になり、2ライン目の画
素にソース信号線S1〜Sxから1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される。
Next, when the selection of the gate signal line G1 is completed, the opposing power supply line E1 is maintained by the opposing power supply line driving circuit 104 while the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential.
2 is kept at the ON counter potential. When the gate signal line G2 is selected by the gate signal, the switching TFTs 107 of all the pixels connected to the gate signal line G2 are turned on, and the source signal lines S1 to Sx are connected to the pixels on the second line. , A first bit digital video signal is input.

【0137】このように順に、全ての対向電源線E1〜
Exが対向電位に保たれる。そして全てのゲート信号線
G1〜Gyが選択され、全ての画素に1ビット目のデジ
タルビデオ信号が入力される。全ての画素に1ビット目
のデジタルビデオ信号が入力されるまでの期間が書き込
み期間Ta1である。
In this manner, all the opposite power supply lines E1 to E1
Ex is kept at the opposite potential. Then, all the gate signal lines G1 to Gy are selected, and the first bit digital video signal is input to all the pixels. The period until the digital video signal of the first bit is input to all the pixels is the writing period Ta1.

【0138】一方、全ての画素に1ビット目のデジタル
ビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込み期間
Ta1が終了する前に、画素への1ビット目のデジタル
ビデオ信号の入力と並行して、対向電源線駆動回路10
4によって対向電源線E1に与えられる対向電位が、電
源電位と同じ高さの電位(オフの対向電位)に保たれ
る。そして、対向電源線E1に対向電極が接続されてい
るEL素子が全て非発光の状態になる。よって対向電源
線E1に対向電極が接続されているEL素子を有する全
ての画素(1ライン目の画素)が表示を行わなくなる。
On the other hand, before the digital video signal of the first bit is input to all the pixels, in other words, before the end of the writing period Ta1, in parallel with the input of the digital video signal of the first bit to the pixels, Counter power line drive circuit 10
4 keeps the opposing potential applied to the opposing power supply line E1 at the same level as the power supply potential (the off opposing potential). Then, all the EL elements whose counter electrodes are connected to the counter power supply line E1 are in a non-light emitting state. Therefore, all the pixels (pixels on the first line) having the EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E1 do not perform display.

【0139】画素が表示を行わない期間を非表示期間T
dと呼ぶ。1ライン目の画素において、対向電源線E1
がオフの対向電位に保たれると同時に表示期間Tr1が
終了し、非表示期間Td1となる。表示期間と同様に、
各ラインの非表示期間が開始されるタイミングはそれぞ
れ時間差を有している。
A period during which the pixel does not perform display is referred to as a non-display period T.
Called d. In the pixels on the first line, the opposite power line E1
Is maintained at the off counter potential, and at the same time, the display period Tr1 ends, and the non-display period Td1 starts. Like the display period,
The timing at which the non-display period of each line is started has a time difference.

【0140】そして対向電源線E1がオフの対向電位に
保たれたまま、次に対向電源線E2がオフの対向電位に
保たれる。よって、対向電源線E2に対向電極が接続さ
れたEL素子を有する全ての画素(2ライン目の画素)
が表示を行わない非表示の状態となる。
Then, while the opposing power supply line E1 is kept at the off-facing potential, the opposing power supply line E2 is kept at the off-facing potential. Therefore, all pixels (pixels on the second line) having an EL element whose counter electrode is connected to the counter power supply line E2
Is in a non-display state in which no display is performed.

【0141】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、1ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te1である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te1 is a period in which all of the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing potential of OFF and all the pixels that have been displaying by the first bit digital signal are in a non-display state.

【0142】一方、全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれる前、言い換えると消去期間Te1
が終了する前に、画素が非表示の状態になるのと並行し
て、再び対向電源線E1がオンの対向電位に保たれる。
そしてゲート信号によるゲート信号線G1の選択が行わ
れ、1ライン目の画素に2ビット目のデジタルビデオ信
号が入力される。その結果、1ライン目の画素は再び表
示を行うので、非表示期間Td1が終了して表示期間T
r2となる。
On the other hand, before all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the off opposing potential, in other words, the erasing period Te1
Before the operation is completed, the opposing power supply line E1 is again kept at the ON opposing potential in parallel with the pixel being in the non-display state.
Then, the gate signal line G1 is selected by the gate signal, and the digital video signal of the second bit is input to the pixels of the first line. As a result, the pixels on the first line perform display again, so that the non-display period Td1 ends and the display period Td1 ends.
r2.

【0143】そして同様に、順に全ての対向電源線がオ
ンの対向電位に保たれる。そして順に全てのゲート信号
線が選択され、2ビット目のデジタルビデオ信号が全て
の画素に入力される。全ての画素に2ビット目のデジタ
ルビデオ信号が入力し終わるまでの期間を、書き込み期
間Ta2と呼ぶ。
Then, similarly, all the opposing power supply lines are sequentially kept at the ON opposing potential. Then, all the gate signal lines are sequentially selected, and the digital video signal of the second bit is input to all the pixels. A period until the input of the second bit digital video signal to all the pixels is called a writing period Ta2.

【0144】そして一方、全ての画素に2ビット目のデ
ジタルビデオ信号が入力される前、言い換えると書き込
み期間Ta2が終了する前に、画素への2ビット目のデ
ジタルビデオ信号の入力と並行して、対向電源線E1が
オフの対向電位に保たれる。よって1ライン目の画素が
有するEL素子は全て非発光の状態になり、1ライン目
の画素が表示を行わなくなる。よって1ライン目の画素
において表示期間Tr2は終了し、非表示期間Td2と
なる。
On the other hand, before the second bit digital video signal is input to all the pixels, in other words, before the writing period Ta2 ends, in parallel with the input of the second bit digital video signal to the pixels. , The opposing power supply line E1 is kept at the opposing potential that is off. Accordingly, the EL elements of the pixels on the first line are all in a non-light emitting state, and the pixels on the first line do not perform display. Accordingly, the display period Tr2 ends in the pixels on the first line, and the non-display period Td2 is set.

【0145】そして順に、全ての対向電源線がオフの対
向電位に保たれる。全ての対向電源線E1〜Eyがオフ
の対向電位に保たれ、2ビット目のデジタル信号により
表示を行っていた全ての画素が非表示の状態になるまで
の期間が消去期間Te2である。
Then, in turn, all the opposing power supply lines are kept at the off opposing potential. An erasing period Te2 is a period from when all the opposing power supply lines E1 to Ey are kept at the opposing electric potential in the off state, and until all the pixels that have been displaying with the digital signal of the second bit enter the non-display state.

【0146】各ラインの画素の表示期間Tr1は、書き
込み期間Ta1において各ラインの画素の対向電極にオ
ンの対向電位が与えられて各ラインの画素にデジタルビ
デオ信号が書き込まれてから、消去期間Te1において
各ラインの画素の対向電極にオフの対向電位が与えられ
るまでの期間である。また各ラインの画素の非表示期間
Td1は、消去期間Te1において各ラインの画素の対
向電極にオフの対向電位が与えられてから、次に出現す
る書き込み期間(この場合書き込み期間Ta2)におい
て各ラインの画素の対向電極にオンの対向電位が与えら
れて各ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込まれ
るまでの期間である。そして各ラインの表示期間Tr2
と非表示期間Td2も、表示期間Tr1と非表示期間T
d1と同様に、それぞれの期間が定められる。
In the display period Tr1 of the pixels in each line, the erasing period Te1 is performed after the ON potential is applied to the counter electrode of the pixels in each line in the writing period Ta1 and the digital video signal is written to the pixels in each line. Is a period until an off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line. In the non-display period Td1 of the pixels in each line, the line is turned off in the next writing period (in this case, the writing period Ta2) after the off counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line in the erasing period Te1. This is a period from when an on-potential is applied to the opposing electrode of the pixel and a digital video signal is written to the pixel on each line. And the display period Tr2 of each line
And the non-display period Td2, the display period Tr1 and the non-display period T
Each period is determined similarly to d1.

【0147】次に、対向電源線E1がオンの対向電位に
保たれ、3ビット目のデジタルビデオ信号が1ライン目
の画素に入力されると、1ライン目の画素は表示期間T
r3となり表示を行う。そして同様に、順に全ての対向
電源線がオンの対向電位に保たれる。そして3ビット目
のデジタルビデオ信号が全てのラインの画素に入力さ
れ、全てのラインの画素は表示期間Tr3となり表示を
行う。そして次のビットのデジタルビデオ信号が入力さ
れるまで、3ビット目のデジタルビデオ信号は画素に保
持される。
Next, when the opposing power supply line E1 is kept at the ON opposing potential and the digital video signal of the third bit is input to the pixels of the first line, the pixels of the first line are displayed in the display period T.
r3 is displayed. Then, similarly, all the opposing power supply lines are maintained at the opposing electric potential of ON. Then, the digital video signal of the third bit is input to the pixels of all the lines, and the pixels of all the lines enter the display period Tr3 to perform display. Then, the digital video signal of the third bit is held in the pixel until the digital video signal of the next bit is input.

【0148】次に全ての対向電源線がオンの対向電位に
保たれたまま、4ビット目のデジタルビデオ信号が1ラ
イン目の画素に入力されると、画素に保持されていた3
ビット目のデジタルビデオ信号は、4ビット目のデジタ
ルビデオ信号に書き換えられる。そして1ライン目の画
素は表示期間Tr4となり、表示を行う。そして同様
に、順に全ての対向電源線がオンの対向電位に保たれた
まま、4ビット目のデジタルビデオ信号が全てのライン
の画素に入力され、全てのラインの画素は表示期間Tr
4となり表示を行う。4ビット目のデジタルビデオ信号
は、再び次のフレーム期間の1ビット目のデジタルビデ
オ信号が入力されるまで画素に保持される。
Next, when the digital video signal of the fourth bit is input to the pixels of the first line while all of the opposing power supply lines are kept at the on-potential, the 3
The bit digital video signal is rewritten to a fourth bit digital video signal. Then, the pixels on the first line are in the display period Tr4, and display is performed. Similarly, the digital video signal of the fourth bit is input to the pixels of all the lines while all the opposing power lines are kept at the on-potential in the same manner, and the pixels of all the lines are displayed during the display period Tr.
4 is displayed. The fourth bit digital video signal is held in the pixel until the first bit digital video signal in the next frame period is input again.

【0149】再び次のフレーム期間の1ビット目のデジ
タルビデオ信号が画素に入力されると、表示期間Tr4
は終了し、同時にフレーム期間が終了する。全ての表示
期間(Tr1〜Tr4)が終了すると、1つの画像を表
示することができる。そして次のフレーム期間において
も上述した動作を繰り返す。
When the digital video signal of the first bit in the next frame period is input to the pixel again, the display period Tr4
Ends, and the frame period ends at the same time. When all the display periods (Tr1 to Tr4) end, one image can be displayed. Then, the above operation is repeated also in the next frame period.

【0150】各ラインの画素の表示期間Tr3は、各ラ
インの画素の対向電極にオンの対向電位が与えられて各
ラインの画素にデジタルビデオ信号が書き込まれてか
ら、その次に出現する書き込み期間(この場合書き込み
期間Ta4)において各ラインの画素の対向電極にオン
の対向電位が与えられて各ラインの画素にデジタルビデ
オ信号が書き込まれるまでの期間である。そして各ライ
ンの画素の表示期間Tr4は、各ラインの画素の対向電
極にオンの対向電位が与えられて各ラインの画素にデジ
タルビデオ信号が書き込まれてから、その次に出現する
書き込み期間(この場合次のフレーム期間の書き込み期
間Ta1)において各ラインの画素の対向電極にオンの
対向電位が与えられて各ラインの画素にデジタルビデオ
信号が書き込まれるまでの期間である。
The display period Tr3 for the pixels in each line is a writing period that appears after the digital video signal is written in the pixels in each line by applying the ON counter potential to the counter electrode of the pixels in each line. In this case (write period Ta4), this is a period from when an ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixel in each line and a digital video signal is written in the pixel in each line. In the display period Tr4 of the pixels in each line, the ON period is applied to the opposing electrodes of the pixels in each line, and the digital video signal is written in the pixels in each line. The case is a period from the writing period Ta1) of the next frame period until the ON counter potential is applied to the counter electrode of the pixel of each line and the digital video signal is written to the pixel of each line.

【0151】表示期間Trの長さは、Tr1:Tr2:
Tr3:Tr4=20:21:22:23となるように設定
する。この表示期間の組み合わせで24階調のうち所望
の階調表示を行うことができる。
The length of the display period Tr is Tr1: Tr2:
It is set so that Tr3: Tr4 = 2 0 : 2 1 : 2 2 : 2 3 . It can perform a desired gradation display among 2 4 gradations by a combination of the display periods.

【0152】1フレーム期間中にEL素子が発光した表
示期間の長さの総和を求めることによって、当該フレー
ム期間におけるその画素の表示した階調がきまる。全部
の表示期間で画素が発光した場合の輝度を100%とす
ると、Tr1とTr2において画素が発光した場合には
20%の輝度が表現でき、Tr3のみ選択した場合には
27%の輝度が表現できる。
By calculating the sum of the lengths of the display periods in which the EL element emits light during one frame period, the displayed gradation of the pixel in the frame period is determined. Assuming that the luminance when the pixel emits light in all display periods is 100%, 20% luminance can be expressed when the pixel emits light in Tr1 and Tr2, and 27% luminance is expressed when only Tr3 is selected. it can.

【0153】本実施例において、3ビット目のデジタル
ビデオ信号が画素に書き込まれる書き込み期間Ta3
は、表示期間Tr3の長さよりも短いことが肝要であ
る。
In this embodiment, a write period Ta3 in which the digital video signal of the third bit is written to the pixel
Is shorter than the length of the display period Tr3.

【0154】また表示期間(Tr1〜Tr4)は、どの
ような順序で出現させても良い。例えば1フレーム期間
中において、Tr1の次にTr3、Tr4、Tr2とい
う順序で表示期間を出現させることも可能である。ただ
し、消去期間(Te1〜Te4)が互いに重ならない順
序の方がより好ましい。また表示期間(Tr1〜Tr
4)も互いに重ならない順序の方がより好ましい。
The display periods (Tr1 to Tr4) may appear in any order. For example, during one frame period, a display period can appear in the order of Tr1, Tr4, and Tr2 next to Tr1. However, the order in which the erasing periods (Te1 to Te4) do not overlap each other is more preferable. In addition, the display period (Tr1 to Tr
It is more preferable that the order of 4) does not overlap with each other.

【0155】本発明は上記構成によって、TFTによっ
てIDS−VGS特性に多少のばらつきがあっても、同じ電
圧の信号を入力してもEL素子の発光量が隣接画素で大
きく異なってしまうという事態を避けることが可能にな
る。
According to the present invention, with the above structure, even if the I DS -V GS characteristics are slightly varied depending on the TFT, even if a signal of the same voltage is input, the light emission amount of the EL element is greatly different between adjacent pixels. Things can be avoided.

【0156】また、本発明では、表示を行わない非表示
期間を設けることができる。従来のアナログ駆動の場
合、ELディスプレイに全白の画像を表示させると、常
にEL素子が発光することになり、EL層の劣化を早め
る原因となってしまう。本発明は非表示期間を設けるこ
とができるので、EL層の劣化をある程度抑えることが
できる。
In the present invention, a non-display period in which no display is performed can be provided. In the case of the conventional analog drive, when an all-white image is displayed on the EL display, the EL element always emits light, which causes deterioration of the EL layer earlier. According to the present invention, since a non-display period can be provided, deterioration of the EL layer can be suppressed to some extent.

【0157】なお本実施例は、実施例2と組み合わせて
実施することが可能である。
Note that this embodiment can be implemented in combination with the second embodiment.

【0158】(実施例4)本実施例では、図3に示した
本発明のELディスプレイの画素の上面図(図8)につ
いて説明する。図3と図8では共通の符号を用いるので
互いに参照すれば良い。
Embodiment 4 In this embodiment, a top view (FIG. 8) of the pixel of the EL display of the present invention shown in FIG. 3 will be described. FIGS. 3 and 8 use the same reference numerals and may be referred to each other.

【0159】図8(A)において、画素105はスイッ
チング用TFT107と、EL駆動用TFT108とを
有している。
In FIG. 8A, the pixel 105 has a switching TFT 107 and an EL driving TFT.

【0160】スイッチング用TFT107は、活性層1
07aと、ゲート信号線(G)の一部であるゲート電極
107bとを有している。EL駆動用TFT108は、
活性層108aと、ゲート配線121の一部であるゲー
ト電極108bとを有している。
The switching TFT 107 includes the active layer 1.
07a and a gate electrode 107b which is a part of the gate signal line (G). The EL driving TFT 108 includes:
It has an active layer 108a and a gate electrode 108b which is a part of the gate wiring 121.

【0161】スイッチング用TFT107の活性層10
7aが有するソース領域とドレイン領域は、いずれか一
方はソース信号線(S)に、もう一方は接続配線113
を介してゲート配線121に接続されている。なお接続
配線113はソース信号線(S)に入力される信号の電
位によって、ソース配線と呼んだり、ドレイン配線と呼
んだりする。
Active layer 10 of switching TFT 107
One of the source region and the drain region 7a has a source signal line (S), and the other has a connection wiring 113.
Is connected to the gate wiring 121 through the gate. Note that the connection wiring 113 is called a source wiring or a drain wiring depending on the potential of a signal input to the source signal line (S).

【0162】EL駆動用TFT108の活性層108a
が有するソース領域とドレイン領域は、それぞれ電源供
給線(V)とドレイン配線114に接続されている。ド
レイン配線114は画素電極117に接続されている。
Active layer 108a of EL driving TFT 108
Are connected to a power supply line (V) and a drain wiring 114, respectively. The drain wiring 114 is connected to the pixel electrode 117.

【0163】容量配線116は半導体膜で形成されてい
る。コンデンサ112は、電源供給線(V)と電気的に
接続された容量配線116、ゲート絶縁膜と同一層の絶
縁膜(図示せず)及びゲート配線121との間で形成さ
れる。また、ゲート配線121、第1層間絶縁膜と同一
の層(図示せず)及び電源供給線(V)で形成される容
量もコンデンサとして用いることが可能である。
The capacitance wiring 116 is formed of a semiconductor film. The capacitor 112 is formed between the capacitor wiring 116 electrically connected to the power supply line (V), an insulating film (not shown) in the same layer as the gate insulating film, and the gate wiring 121. Further, a capacitor formed by the gate wiring 121, the same layer (not shown) as the first interlayer insulating film, and the power supply line (V) can also be used as a capacitor.

【0164】なお画素電極117上には有機樹脂膜をエ
ッチングすることで開口部131を設けたバンクが形成
されている(図8(B))。そして図示しないが、画素
電極117上にEL層と、対向電極を含む対向電源線
(E)が順に積層される。画素電極105とEL層とは
バンクの開口部131において接しており、EL層は対
向電源線(E)と画素電極とに接して挟まれている部分
のみ発光する。
Note that a bank provided with an opening 131 is formed on the pixel electrode 117 by etching the organic resin film (FIG. 8B). Although not shown, an EL layer and a counter power supply line (E) including a counter electrode are sequentially stacked on the pixel electrode 117. The pixel electrode 105 and the EL layer are in contact at the opening 131 of the bank, and the EL layer emits light only at a portion sandwiched between the opposing power supply line (E) and the pixel electrode.

【0165】ソース信号線(S)と、電源供給線(V)
と、ゲート信号線(G)と、対向電源線(E)とをそれ
ぞれ1つずつ有する領域105が画素である。
The source signal line (S) and the power supply line (V)
And a region 105 having one gate signal line (G) and one counter power supply line (E) is a pixel.

【0166】なお本発明のELディスプレイの画素部の
上面図は、図8に示した構成に限定されない。
Note that the top view of the pixel portion of the EL display of the present invention is not limited to the structure shown in FIG.

【0167】本実施例は実施例1〜3と組み合わせて実
施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with the first to third embodiments.

【0168】(実施例5)本実施例では、図1で示した
本発明のELディスプレイの駆動回路の詳しい構成につ
いて、図9を用いて説明する。
(Embodiment 5) In this embodiment, the detailed structure of the driving circuit of the EL display of the present invention shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.

【0169】ソース信号線駆動回路102は基本的にシ
フトレジスタ102a、ラッチ(A)(第1のラッチ)
102b、ラッチ(B)(第2のラッチ)102cを有
している。
The source signal line driving circuit 102 basically includes a shift register 102a, a latch (A) (first latch)
102b, and a latch (B) (second latch) 102c.

【0170】ソース信号線駆動回路102において、シ
フトレジスタ102aにクロック信号(CLK)および
スタートパルス(SP)が入力される。シフトレジスタ
102aは、これらのクロック信号(CLK)およびス
タートパルス(SP)に基づきタイミング信号を順に生
成し、ラッチ(A)102bに入力する。
In the source signal line driving circuit 102, a clock signal (CLK) and a start pulse (SP) are input to the shift register 102a. The shift register 102a sequentially generates a timing signal based on the clock signal (CLK) and the start pulse (SP) and inputs the timing signal to the latch (A) 102b.

【0171】なお図9では図示しなかったが、シフトレ
ジスタ102aから出力されたタイミング信号をバッフ
ァ等(図示せず)によって緩衝増幅してから、後段の回
路であるラッチ(A)102bに入力しても良い。タイ
ミング信号が供給される配線には、多くの回路あるいは
素子が接続されているために負荷容量(寄生容量)が大
きい。この負荷容量が大きいために生ずるタイミング信
号の立ち上がりまたは立ち下がりの”鈍り”を防ぐため
に、このバッファが設けられる。
Although not shown in FIG. 9, the timing signal output from shift register 102a is buffer-amplified by a buffer or the like (not shown) and then input to latch (A) 102b, which is a subsequent circuit. May be. The wiring to which the timing signal is supplied has a large load capacitance (parasitic capacitance) because many circuits or elements are connected. This buffer is provided to prevent "dulling" of the rise or fall of the timing signal caused by the large load capacitance.

【0172】ラッチ(A)102bは、nビットのデジ
タルビデオ信号(n bit digital video signals)を処
理する複数のステージのラッチを有している。ラッチ
(A)102bは、タイミング信号が入力されると、ソ
ース信号線駆動回路102の外部から入力されるnビッ
トのデジタルビデオ信号を順次取り込み、保持する。
The latch (A) 102b has a plurality of stages of latches for processing n-bit digital video signals. When the timing signal is input, the latch (A) 102b sequentially captures and holds an n-bit digital video signal input from outside the source signal line driving circuit 102.

【0173】なお、ラッチ(A)102bにデジタルビ
デオ信号を取り込む際に、ラッチ(A)102bが有す
る複数のステージのラッチに、順にデジタルビデオ信号
を入力しても良い。しかし本発明はこの構成に限定され
ない。ラッチ(A)102bが有する複数のステージの
ラッチをいくつかのグループに分け、各グループごとに
並行して同時にデジタルビデオ信号を入力する、いわゆ
る分割駆動を行っても良い。なおこのときのグループの
数を分割数と呼ぶ。例えば4つのステージごとにラッチ
をグループに分けた場合、4分割で分割駆動すると言
う。
When a digital video signal is taken into the latch (A) 102b, the digital video signal may be sequentially input to a plurality of stages of latches of the latch (A) 102b. However, the present invention is not limited to this configuration. The latches of the plurality of stages included in the latch (A) 102b may be divided into several groups, and a so-called divided drive in which digital video signals are input simultaneously in parallel for each group may be performed. The number of groups at this time is called a division number. For example, when the latch is divided into groups for every four stages, it is referred to as divided drive in four divisions.

【0174】ラッチ(A)102bの全てのステージの
ラッチにデジタルビデオ信号の書き込みが一通り終了す
るまでの時間を、ライン期間と呼ぶ。すなわち、ラッチ
(A)102b中で一番左側のステージのラッチにデジ
タルビデオ信号の書き込みが開始される時点から、一番
右側のステージのラッチにデジタルビデオ信号の書き込
みが終了する時点までの時間間隔がライン期間である。
実際には、上記ライン期間に水平帰線期間が加えられた
期間をライン期間に含むことがある。
The time until the writing of the digital video signal to the latches of all the stages of the latch (A) 102b is completed is called a line period. That is, a time interval from the time when the writing of the digital video signal to the latch of the leftmost stage in the latch (A) 102b starts to the time when the writing of the digital video signal to the latch of the rightmost stage ends. Is a line period.
Actually, the line period may include a period obtained by adding the horizontal retrace period to the line period.

【0175】1ライン期間が終了すると、ラッチ(B)
102cにラッチシグナル(LatchSignal)が供給され
る。この瞬間、ラッチ(A)102bに書き込まれ保持
されているデジタルビデオ信号は、ラッチ(B)102
cに一斉に送出され、ラッチ(B)102cの全ステー
ジのラッチに書き込まれ、保持される。
When one line period ends, the latch (B)
A latch signal (LatchSignal) is supplied to 102c. At this moment, the digital video signal written and held in the latch (A) 102b is
c, and is written to and held by the latches of all the stages of the latch (B) 102c.

【0176】デジタルビデオ信号をラッチ(B)102
cに送出し終えたラッチ(A)102bには、シフトレ
ジスタ102aからのタイミング信号に基づき、ソース
信号線駆動回路102の外部から入力されるデジタルビ
デオ信号の書き込みが順次行われる。
The digital video signal is latched (B) 102
The digital video signal input from the outside of the source signal line driving circuit 102 is sequentially written into the latch (A) 102b which has finished sending the data to c, based on the timing signal from the shift register 102a.

【0177】この2順目の1ライン期間中には、ラッチ
(B)102cに書き込まれ、保持されているデジタル
ビデオ信号がソース信号線に入力される。
During the second one line period, the digital video signal written and held in the latch (B) 102c is input to the source signal line.

【0178】一方、ゲート信号線駆動回路103は、シ
フトレジスタ103a、バッファ103bを有してい
る。また場合によっては、シフトレジスタ103a、バ
ッファ103bの他にレベルシフトを有していても良
い。
On the other hand, the gate signal line driving circuit 103 has a shift register 103a and a buffer 103b. In some cases, a level shift may be provided in addition to the shift register 103a and the buffer 103b.

【0179】対向電源線駆動回路104は、シフトレジ
スタ104a、バッファ104bを有している。また場
合によっては、シフトレジスタ104a、バッファ10
4bの他にレベルシフトを有していても良い。
The opposing power supply line driving circuit 104 has a shift register 104a and a buffer 104b. In some cases, the shift register 104a and the buffer 10
A level shift may be provided in addition to 4b.

【0180】ゲート信号線駆動回路103及び対向電源
線駆動回路104において、シフトレジスタ103a、
104aからのタイミング信号がバッファ(図示せず)
に供給され、対応するゲート信号線、対向電源線にそれ
ぞれ供給される。
In the gate signal line driving circuit 103 and the counter power supply line driving circuit 104, the shift register 103a,
The timing signal from 104a is buffered (not shown)
And supplied to the corresponding gate signal line and counter power line, respectively.

【0181】ゲート信号線には、1ライン分の画素TF
Tのゲート電極が接続されており、1ライン分全ての画
素TFTを同時にONにしなくてはならないので、バッ
ファ103bは大きな電流を流すことが可能なものが用
いられる。また、対向電源線は、1ライン分の画素が有
する対向電極が含まれており、1ライン分全ての対向電
極に同時にオンの対向電位またはオフの対向電位を与え
なくてはならないので、バッファ104bは大きな電流
を流すことが可能なものが用いられる。
A gate signal line has a pixel TF for one line.
Since the gate electrode of T is connected and all the pixel TFTs for one line must be turned on at the same time, a buffer 103b capable of flowing a large current is used. Further, the counter power supply line includes a counter electrode included in a pixel for one line, and an on counter potential or an off counter potential must be simultaneously applied to all counter electrodes for one line. The one capable of flowing a large current is used.

【0182】なお本実施例は、実施例1〜4と組み合わ
せて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with the first to fourth embodiments.

【0183】(実施例6)本実施例では、本発明のEL
ディスプレイの画素部とその周辺に設けられる駆動回路
部(ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、対
向電源線駆動回路)のTFTを同時に作製する方法につ
いて説明する。但し、説明を簡単にするために、駆動回
路に関しては基本単位であるCMOS回路を図示するこ
ととする。
(Embodiment 6) In this embodiment, the EL of the present invention will be described.
A method for simultaneously manufacturing TFTs of a pixel portion of a display and a driver circuit portion (a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a counter power line driver circuit) provided therearound will be described. However, for the sake of simplicity, a CMOS circuit, which is a basic unit for the drive circuit, is illustrated.

【0184】まず、図10(A)に示すように、コーニ
ング社の#7059ガラスや#1737ガラスなどに代
表されるバリウムホウケイ酸ガラス、またはアルミノホ
ウケイ酸ガラスなどのガラスから成る基板5001上に
酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコ
ン膜などの絶縁膜から成る下地膜5002を形成する。
例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oか
ら作製される酸化窒化シリコン膜5002aを10〜2
00[nm](好ましくは50〜100[nm])形成し、同様
にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコ
ン膜5002bを50〜200[nm](好ましくは100
〜150[nm])の厚さに積層形成する。本実施例では下
地膜5002を2層構造として示したが、前記絶縁膜の
単層膜または2層以上積層させた構造として形成しても
良い。
First, as shown in FIG. 10A, a substrate 5001 made of glass such as barium borosilicate glass represented by Corning # 7059 glass or # 1737 glass, or aluminoborosilicate glass is oxidized. A base film 5002 made of an insulating film such as a silicon film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is formed.
For example, a plasma CVD method SiH 4, NH 3, N 2 silicon oxynitride film 5002a made from O 10 to 2
00 [nm] (preferably 50 to 100 [nm]) is formed, similarly SiH 4, N 2 O hydrogenated silicon oxynitride film 5002b made from 50 to 200 [nm] (preferably 100
150150 [nm]). Although the base film 5002 has a two-layer structure in this embodiment, the base film 5002 may have a single-layer structure or a structure in which two or more insulating films are stacked.

【0185】島状半導体層5003〜5006は、非晶
質構造を有する半導体膜をレーザー結晶化法や公知の熱
結晶化法を用いて作製した結晶質半導体膜で形成する。
この島状半導体層5003〜5006の厚さは25〜8
0[nm](好ましくは30〜60[nm])の厚さで形成す
る。結晶質半導体膜の材料に限定はないが、好ましくは
シリコンまたはシリコンゲルマニウム(SiGe)合金
などで形成すると良い。
Each of the island-shaped semiconductor layers 5003 to 5006 is formed of a crystalline semiconductor film formed by using a semiconductor film having an amorphous structure by a laser crystallization method or a known thermal crystallization method.
The thickness of the island-shaped semiconductor layers 5003 to 5006 is 25 to 8
It is formed with a thickness of 0 [nm] (preferably 30 to 60 [nm]). The material of the crystalline semiconductor film is not limited, but is preferably formed of silicon or a silicon germanium (SiGe) alloy.

【0186】レーザー結晶化法で結晶質半導体膜を作製
するには、パルス発振型または連続発光型のエキシマレ
ーザーやYAGレーザー、YVO4レーザーを用いる。
これらのレーザーを用いる場合には、レーザー発振器か
ら放射されたレーザー光を光学系で線状に集光し半導体
膜に照射する方法を用いると良い。結晶化の条件は実施
者が適宣選択するものであるが、エキシマレーザーを用
いる場合はパルス発振周波数300[Hz]とし、レーザー
エネルギー密度を100〜400[mJ/cm2](代表的には
200〜300[mJ/cm2])とする。また、YAGレーザ
ーを用いる場合にはその第2高調波を用いパルス発振周
波数30〜300[kHz]とし、レーザーエネルギー密度
を300〜600[mJ/cm2](代表的には350〜500
[mJ/cm2])とすると良い。そして幅100〜1000[μ
m]、例えば400[μm]で線状に集光したレーザー光を
基板全面に渡って照射し、この時の線状レーザー光の重
ね合わせ率(オーバーラップ率)を、エキシマレーザー
の場合80〜98%、YAGレーザーの場合50〜90
%として行う。
In order to form a crystalline semiconductor film by a laser crystallization method, a pulse oscillation type or continuous emission type excimer laser, a YAG laser, or a YVO 4 laser is used.
In the case of using these lasers, it is preferable to use a method in which laser light emitted from a laser oscillator is linearly condensed by an optical system and irradiated on a semiconductor film. The crystallization conditions are appropriately selected by the practitioner. When an excimer laser is used, the pulse oscillation frequency is set to 300 [Hz], and the laser energy density is set to 100 to 400 [mJ / cm 2 ] (typically, 200 to 300 [mJ / cm 2 ]). When a YAG laser is used, its second harmonic is used, the pulse oscillation frequency is set to 30 to 300 [kHz], and the laser energy density is set to 300 to 600 [mJ / cm 2 ] (typically 350 to 500 [mJ / cm 2 ]).
[mJ / cm 2 ]). And a width of 100 to 1000 [μ
m], for example, a laser beam condensed linearly at 400 [μm] is irradiated over the entire surface of the substrate, and the superposition rate (overlap rate) of the linear laser light at this time is 80 to 80 in the case of an excimer laser. 98%, 50-90 for YAG laser
Perform as%.

【0187】次いで、島状半導体層5003〜5006
を覆うゲート絶縁膜5007を形成する。ゲート絶縁膜
5007はプラズマCVD法またはスパッタ法を用い、
厚さを40〜150[nm]としてシリコンを含む絶縁膜で
形成する。本実施例では、120[nm]の厚さで酸化窒化
シリコン膜で形成する。勿論、ゲート絶縁膜5007は
このような酸化窒化シリコン膜に限定されるものでな
く、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構造と
して用いても良い。例えば、酸化シリコン膜を用いる場
合には、プラズマCVD法でTEOS(Tetraethyl Ort
hosilicate)とO 2とを混合し、反応圧力40[Pa]、基
板温度300〜400[℃]とし、高周波(13.56[M
Hz])、電力密度0.5〜0.8[W/cm2]で放電させて形
成することができる。このようにして作製される酸化シ
リコン膜は、その後400〜500[℃]の熱アニールに
よりゲート絶縁膜として良好な特性を得ることができ
る。
Next, island-like semiconductor layers 5003 to 5006
Is formed to cover the gate insulating film 5007. Gate insulating film
5007 uses a plasma CVD method or a sputtering method,
With an insulating film containing silicon with a thickness of 40 to 150 [nm]
Form. In this embodiment, oxynitridation is performed at a thickness of 120 [nm].
It is formed of a silicon film. Of course, the gate insulating film 5007
It is not limited to such a silicon oxynitride film.
In addition, other insulating films containing silicon can be
You may use it. For example, when using a silicon oxide film
In this case, TEOS (Tetraethyl Ort
hosilicate) and O TwoAnd a reaction pressure of 40 [Pa]
A plate temperature of 300 to 400 [° C] and a high frequency (13.56 [M
Hz]), power density 0.5-0.8 [W / cmTwo] To discharge
Can be achieved. The oxide silicon thus produced is
The recon film is then subjected to thermal annealing at 400 to 500 [° C].
Good characteristics can be obtained as a gate insulating film
You.

【0188】そして、ゲート絶縁膜5007上にゲート
電極を形成するための第1の導電膜5008と第2の導
電膜5009とを形成する。本実施例では、第1の導電
膜5008をTaで50〜100[nm]の厚さに形成し、
第2の導電膜5009をWで100〜300[nm]の厚さ
に形成する。
[0188] Then, a first conductive film 5008 and a second conductive film 5009 for forming a gate electrode are formed over the gate insulating film 5007. In this embodiment, the first conductive film 5008 is formed of Ta to a thickness of 50 to 100 [nm],
A second conductive film 5009 is formed with W to a thickness of 100 to 300 [nm].

【0189】Ta膜はスパッタ法で、Taのターゲット
をArでスパッタすることにより形成する。この場合、
Arに適量のXeやKrを加えると、Ta膜の内部応力
を緩和して膜の剥離を防止することができる。また、α
相のTa膜の抵抗率は20[μΩcm]程度でありゲート電
極に使用することができるが、β相のTa膜の抵抗率は
180[μΩcm]程度でありゲート電極とするには不向き
である。α相のTa膜を形成するために、Taのα相に
近い結晶構造をもつ窒化タンタルを10〜50[nm]程度
の厚さでTaの下地に形成しておくとα相のTa膜を容
易に得ることができる。
The Ta film is formed by a sputtering method by sputtering a Ta target with Ar. in this case,
When an appropriate amount of Xe or Kr is added to Ar, the internal stress of the Ta film can be relaxed and the film can be prevented from peeling. Also, α
The phase Ta film has a resistivity of about 20 [μΩcm] and can be used as a gate electrode, but the β-phase Ta film has a resistivity of about 180 [μΩcm] and is not suitable for a gate electrode. . In order to form an α-phase Ta film, tantalum nitride having a crystal structure close to the Ta α-phase is formed on a Ta base with a thickness of about 10 to 50 [nm]. Can be easily obtained.

【0190】W膜を形成する場合には、Wをターゲット
としたスパッタ法で形成する。その他に6フッ化タング
ステン(WF6)を用いる熱CVD法で形成することも
できる。いずれにしてもゲート電極として使用するため
には低抵抗化を図る必要があり、W膜の抵抗率は20
[μΩcm]以下にすることが望ましい。W膜は結晶粒を大
きくすることで低抵抗率化を図ることができるが、W中
に酸素などの不純物元素が多い場合には結晶化が阻害さ
れ高抵抗化する。このことより、スパッタ法による場
合、純度99.9999[%]または純度99.99
[%]のWターゲットを用い、さらに成膜時に気相中から
の不純物の混入がないように十分配慮してW膜を形成す
ることにより、抵抗率9〜20[μΩcm]を実現すること
ができる。
When a W film is formed, it is formed by a sputtering method using W as a target. Alternatively, it can be formed by a thermal CVD method using tungsten hexafluoride (WF 6 ). In any case, it is necessary to lower the resistance in order to use it as a gate electrode.
[μΩcm] or less is desirable. The resistivity of the W film can be reduced by enlarging the crystal grains. However, when there are many impurity elements such as oxygen in W, the crystallization is inhibited and the resistance is increased. From this, when the sputtering method is used, the purity is 99.9999% or 99.99%.
A resistivity of 9 to 20 [μΩcm] can be realized by using a W target of [%] and forming a W film with sufficient care so as not to mix impurities from the gas phase during film formation. it can.

【0191】なお、本実施例では、第1の導電膜500
8をTa、第2の導電膜5009をWとしたが、特に限
定されず、いずれもTa、W、Ti、Mo、Al、Cu
から選ばれた元素、または前記元素を主成分とする合金
材料もしくは化合物材料で形成してもよい。また、リン
等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコン膜に代
表される半導体膜を用いてもよい。本実施例以外の他の
組み合わせの一例は、第1の導電膜を窒化タンタル(T
aN)で形成し、第2の導電膜をWとする組み合わせ、
第1の導電膜を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2
の導電膜をAlとする組み合わせ、第1の導電膜を窒化
タンタル(TaN)で形成し、第2の導電膜をCuとす
る組み合わせで形成することが好ましい。
In this embodiment, the first conductive film 500
8 was Ta, and the second conductive film 5009 was W. However, there is no particular limitation, and any of Ta, W, Ti, Mo, Al, and Cu was used.
Or an alloy material or a compound material containing the element as a main component. Alternatively, a semiconductor film typified by a polycrystalline silicon film doped with an impurity element such as phosphorus may be used. Another example of the combination other than the present embodiment is that the first conductive film is formed of tantalum nitride (T
aN), and the second conductive film is made of W,
Forming a first conductive film of tantalum nitride (TaN);
Preferably, the first conductive film is formed of tantalum nitride (TaN), and the second conductive film is formed of Cu.

【0192】次に、レジストによるマスク5010を形
成し、電極及び配線を形成するための第1のエッチング
処理を行う。本実施例ではICP(Inductively Couple
d Plasma:誘導結合型プラズマ)エッチング法を用い、
エッチング用ガスにCF4とCl2を混合し、1[Pa]の圧
力でコイル型の電極に500[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入してプラズマを生成して行う。基板側
(試料ステージ)にも100[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入し、実質的に負の自己バイアス電圧を印
加する。CF4とCl2を混合した場合にはW膜及びTa
膜とも同程度にエッチングされる。
Next, a mask 5010 made of a resist is formed, and a first etching process for forming electrodes and wirings is performed. In this embodiment, ICP (Inductively Coupled)
d Plasma: Inductively coupled plasma) etching method,
CF 4 and Cl 2 are mixed as an etching gas, and RF (13.56 [MH]) of 500 [W] is applied to the coil-type electrode at a pressure of 1 [Pa].
z]) Power is supplied to generate plasma. 100 [W] RF (13.56 [MH] also on the substrate side (sample stage)
z]) Apply power and apply a substantially negative self-bias voltage. When CF 4 and Cl 2 are mixed, the W film and Ta
The film is etched to the same extent.

【0193】上記エッチング条件では、レジストによる
マスクの形状を適したものとすることにより、基板側に
印加するバイアス電圧の効果により第1の導電層及び第
2の導電層の端部がテーパー形状となる。テーパー部の
角度は15〜45°となる。ゲート絶縁膜上に残渣を残
すことなくエッチングするためには、10〜20[%]程
度の割合でエッチング時間を増加させると良い。W膜に
対する酸化窒化シリコン膜の選択比は2〜4(代表的に
は3)であるので、オーバーエッチング処理により、酸
化窒化シリコン膜が露出した面は20〜50[nm]程度エ
ッチングされることになる。こうして、第1のエッチン
グ処理により第1の導電層と第2の導電層から成る第1
の形状の導電層5011〜5016(第1の導電層50
11a〜5016aと第2の導電層5011b〜501
6b)を形成する。このとき、ゲート絶縁膜5007に
おいては、第1の形状の導電層5011〜5016で覆
われない領域は20〜50[nm]程度エッチングされ薄く
なった領域が形成される。(図10(A))
[0193] Under the above etching conditions, the shape of the resist mask is made appropriate, so that the end portions of the first conductive layer and the second conductive layer are tapered due to the effect of the bias voltage applied to the substrate side. Become. The angle of the tapered portion is 15 to 45 °. In order to perform etching without leaving a residue on the gate insulating film, the etching time may be increased by about 10 to 20%. Since the selectivity of the silicon oxynitride film to the W film is 2 to 4 (typically 3), the exposed surface of the silicon oxynitride film is etched by about 20 to 50 [nm] by over-etching. become. Thus, by the first etching process, the first conductive layer and the second conductive layer
Conductive layers 5011 to 5016 (first conductive layer 50
11a to 5016a and second conductive layers 5011b to 501
6b) is formed. At this time, in the gate insulating film 5007, a region which is not covered with the first shape conductive layers 5011 to 5016 is etched to a thickness of about 20 to 50 [nm] to form a thinned region. (FIG. 10A)

【0194】そして、第1のドーピング処理を行いn型
を付与する不純物元素を添加する。(図10(B))ド
ーピングの方法はイオンドープ法もしくはイオン注入法
で行えば良い。イオンドープ法の条件はドーズ量を1×
1013〜5×1014[atoms/cm2]とし、加速電圧を60
〜100[keV]として行う。n型を付与する不純物元素
として15族に属する元素、典型的にはリン(P)また
は砒素(As)を用いるが、ここではリン(P)を用い
る。この場合、導電層5011〜5015がn型を付与
する不純物元素に対するマスクとなり、自己整合的に第
1の不純物領域5017〜5025が形成される。第1
の不純物領域5017〜5025には1×1020〜1×
1021[atoms/cm3]の濃度範囲でn型を付与する不純物
元素を添加する。
Then, a first doping process is performed to add an impurity element imparting n-type. (FIG. 10B) The doping method may be an ion doping method or an ion implantation method. The condition of the ion doping method is that the dose amount is 1 ×
10 13 to 5 × 10 14 [atoms / cm 2 ] and acceleration voltage of 60
It is performed as 100100 [keV]. An element belonging to Group XV, typically phosphorus (P) or arsenic (As) is used as the n-type impurity element. Here, phosphorus (P) is used. In this case, the conductive layers 5011 to 5015 serve as a mask for the impurity element imparting n-type, and the first impurity regions 5017 to 5025 are formed in a self-aligned manner. First
1 × 10 20 to 1 ×
An impurity element for imparting n-type is added within a concentration range of 10 21 [atoms / cm 3 ].

【0195】次に、図10(C)に示すようにレジスト
によるマスクを除去せずに、第2のエッチング処理を行
う。エッチングガスにCF4とCl2とO2とを用い、W
膜を選択的にエッチングする。この時、第2のエッチン
グ処理により第2の形状の導電層5026〜5031
(第1の導電層5026a〜5031aと第2の導電層
5026b〜5031b)を形成する。このとき、ゲー
ト絶縁膜5007においては、第2の形状の導電層50
26〜5031で覆われない領域はさらに20〜50[n
m]程度エッチングされ薄くなった領域が形成される。
Next, as shown in FIG. 10C, a second etching process is performed without removing the resist mask. Using CF 4 , Cl 2 and O 2 as an etching gas,
The film is selectively etched. At this time, the second shape conductive layers 5026 to 5031 are formed by the second etching process.
(First conductive layers 5026a to 5031a and second conductive layers 5026b to 5031b) are formed. At this time, in the gate insulating film 5007, the second shape conductive layer 50 is formed.
The area not covered by 26 to 5031 is further 20 to 50 [n
m] to form a thinned region.

【0196】W膜やTa膜のCF4とCl2の混合ガスに
よるエッチング反応は、生成されるラジカルまたはイオ
ン種と反応生成物の蒸気圧から推測することができる。
WとTaのフッ化物と塩化物の蒸気圧を比較すると、W
のフッ化物であるWF6が極端に高く、その他のWC
5、TaF5、TaCl5は同程度である。従って、C
4とCl2の混合ガスではW膜及びTa膜共にエッチン
グされる。しかし、この混合ガスに適量のO2を添加す
るとCF4とO2が反応してCOとFになり、Fラジカル
またはFイオンが多量に発生する。その結果、フッ化物
の蒸気圧が高いW膜のエッチング速度が増大する。一
方、TaはFが増大しても相対的にエッチング速度の増
加は少ない。また、TaはWに比較して酸化されやすい
ので、O2を添加することでTaの表面が酸化される。
Taの酸化物はフッ素や塩素と反応しないためさらにT
a膜のエッチング速度は低下する。従って、W膜とTa
膜とのエッチング速度に差を作ることが可能となりW膜
のエッチング速度をTa膜よりも大きくすることが可能
となる。
The etching reaction of the W film or the Ta film by the mixed gas of CF 4 and Cl 2 can be estimated from the generated radicals or ionic species and the vapor pressure of the reaction product.
Comparing the vapor pressures of fluorides and chlorides of W and Ta, W
WF 6 is extremely high and other WC
l 5 , TaF 5 and TaCl 5 are comparable. Therefore, C
With the mixed gas of F 4 and Cl 2 , both the W film and the Ta film are etched. However, when an appropriate amount of O 2 is added to this mixed gas, CF 4 and O 2 react to form CO and F, and a large amount of F radicals or F ions are generated. As a result, the etching rate of the W film having a high fluoride vapor pressure increases. On the other hand, in Ta, the increase in the etching rate is relatively small even if F increases. Further, since Ta is more easily oxidized than W, the surface of Ta is oxidized by adding O 2 .
Since the oxide of Ta does not react with fluorine or chlorine,
The etching rate of the a film decreases. Therefore, the W film and Ta
It is possible to make a difference in the etching rate with the film, and it is possible to make the etching rate of the W film larger than that of the Ta film.

【0197】そして、図11(A)に示すように第2の
ドーピング処理を行う。この場合、第1のドーピング処
理よりもドーズ量を下げて高い加速電圧の条件としてn
型を付与する不純物元素をドーピングする。例えば、加
速電圧を70〜120[keV]とし、1×1013[atoms/cm
2]のドーズ量で行い、図10(B)で島状半導体層に形
成された第1の不純物領域の内側に新たな不純物領域を
形成する。ドーピングは、第2の形状の導電層5026
〜5030を不純物元素に対するマスクとして用い、第
1の導電層5026a〜5030aの下側の領域にも不
純物元素が添加されるようにドーピングする。こうし
て、第3の不純物領域5032〜5036が形成され
る。この第3の不純物領域5032〜5036に添加さ
れたリン(P)の濃度は、第1の導電層5026a〜5
030aのテーパー部の膜厚に従って緩やかな濃度勾配
を有している。なお、第1の導電層5026a〜503
0aのテーパー部と重なる半導体層において、第1の導
電層5026a〜5030aのテーパー部の端部から内
側に向かって若干、不純物濃度が低くなっているもの
の、ほぼ同程度の濃度である。
Then, a second doping process is performed as shown in FIG. In this case, the dose is lower than that of the first doping process, and n is set as a condition of a high acceleration voltage.
Doping with an impurity element for giving a mold. For example, the acceleration voltage is set to 70 to 120 [keV], and 1 × 10 13 [atoms / cm]
2 ], a new impurity region is formed inside the first impurity region formed in the island-shaped semiconductor layer in FIG. Doping is performed in the second shape conductive layer 5026.
To 5030 are used as masks for the impurity elements, and doping is performed so that the impurity elements are also added to regions below the first conductive layers 5026a to 5030a. Thus, third impurity regions 5032 to 5036 are formed. The concentration of phosphorus (P) added to third impurity regions 5032 to 5036 depends on that of first conductive layers 5026 a to 5026 a to 5 a.
030a has a gentle concentration gradient according to the thickness of the tapered portion. Note that the first conductive layers 5026a to 503
In the semiconductor layer overlapping the tapered portion of Oa, the impurity concentration is slightly reduced from the end of the tapered portion of the first conductive layers 5026a to 5030a toward the inside, but is substantially the same.

【0198】図11(B)に示すように第3のエッチン
グ処理を行う。エッチングガスにCHF6を用い、反応
性イオンエッチング法(RIE法)を用いて行う。第3
のエッチング処理により、第1の導電層5026a〜5
031aのテーパー部を部分的にエッチングして、第1
の導電層が半導体層と重なる領域が縮小される。第3の
エッチング処理によって、第3の形状の導電層5037
〜5042(第1の導電層5037a〜5041aと第
2の導電層5037b〜5042b)を形成する。この
とき、ゲート絶縁膜5007においては、第3の形状の
導電層5037〜5042で覆われない領域はさらに2
0〜50[nm]程度エッチングされ薄くなった領域が形成
される。
A third etching process is performed as shown in FIG. This is performed using a reactive ion etching method (RIE method) using CHF 6 as an etching gas. Third
Of the first conductive layers 5026a to 5026a-5
031a is partially etched to form the first portion.
The region where the conductive layer overlaps with the semiconductor layer is reduced. By the third etching treatment, the third shape conductive layer 5037 is formed.
To 5042 (first conductive layers 5037a to 5041a and second conductive layers 5037b to 5042b). At this time, in the gate insulating film 5007, a region that is not covered with the third shape conductive layers 5037 to 5042 is two more.
A region that is etched and thinned by about 0 to 50 [nm] is formed.

【0199】第3のエッチング処理によって、第1の導
電層5037a〜5041aと重なる第3の不純物領域
5032a〜5036aと、第1の不純物領域と第3の
不純物領域との間の第2の不純物領域5032b〜50
36bとを形成する。
By the third etching process, third impurity regions 5032a to 5036a overlapping with first conductive layers 5037a to 5041a and a second impurity region between the first impurity region and the third impurity region are formed. 5032b-50
36b.

【0200】そして、図11(C)に示すように、pチ
ャネル型TFTを形成する島状半導体層5004〜50
06に第1の導電型とは逆の導電型の第4の不純物領域
5052〜5074を形成する。第2の導電層5038
b〜5041bを不純物元素に対するマスクとして用
い、自己整合的に不純物領域を形成する。このとき、n
チャネル型TFTを形成する島状半導体層5003およ
び配線部5031はレジストマスク5200で全面を被
覆しておく。不純物領域5052〜5074にはそれぞ
れ異なる濃度でリンが添加されているが、ジボラン(B
26)を用いたイオンドープ法で形成し、そのいずれの
領域においても不純物濃度を2×1020〜2×1021[a
toms/cm3]となるようにする。
Then, as shown in FIG. 11C, island-shaped semiconductor layers 5004 to 504 forming p-channel TFTs are formed.
In 06, fourth impurity regions 5052 to 5074 having a conductivity type opposite to the first conductivity type are formed. Second conductive layer 5038
Using b to 5041b as a mask for the impurity element, an impurity region is formed in a self-aligned manner. At this time, n
The entire surface of the island-shaped semiconductor layer 5003 and the wiring portion 5031 forming the channel type TFT is covered with a resist mask 5200. Phosphorus is added at a different concentration to each of the impurity regions 5052 to 5074, but diborane (B
2 H 6 ) and an impurity concentration of 2 × 10 20 to 2 × 10 21 [a
toms / cm 3 ].

【0201】以上までの工程でそれぞれの島状半導体層
に不純物領域が形成される。島状半導体層と重なる第3
の形状の導電層5037〜5041がゲート電極として
機能する。また、5042は島状のソース信号線として
機能する。
Through the above steps, impurity regions are formed in the respective island-like semiconductor layers. Third overlapping with the island-shaped semiconductor layer
The conductive layers 5037 to 5041 each having the shape described above function as gate electrodes. 5042 functions as an island-shaped source signal line.

【0202】レジストマスク5200を除去した後、導
電型の制御を目的として、それぞれの島状半導体層に添
加された不純物元素を活性化する工程を行う。この工程
はファーネスアニール炉を用いる熱アニール法で行う。
その他に、レーザーアニール法、またはラピッドサーマ
ルアニール法(RTA法)を適用することができる。熱
アニール法では酸素濃度が1[ppm]以下、好ましくは
0.1[ppm]以下の窒素雰囲気中で400〜700
[℃]、代表的には500〜600[℃]で行うものであ
り、本実施例では500[℃]で4時間の熱処理を行う。
ただし、第3の形状の導電層5037〜5042に用い
た配線材料が熱に弱い場合には、配線等を保護するため
層間絶縁膜(シリコンを主成分とする)を形成した後で
活性化を行うことが好ましい。
After removing the resist mask 5200, a step of activating the impurity elements added to the respective island-shaped semiconductor layers is performed for the purpose of controlling the conductivity type. This step is performed by a thermal annealing method using a furnace annealing furnace.
In addition, a laser annealing method or a rapid thermal annealing method (RTA method) can be applied. In the thermal annealing method, the oxygen concentration is 400 to 700 in a nitrogen atmosphere of 1 [ppm] or less, preferably 0.1 [ppm] or less.
In this embodiment, the heat treatment is performed at 500 ° C. for 4 hours.
However, when the wiring material used for the third shape conductive layers 5037 to 5042 is weak to heat, activation is performed after an interlayer insulating film (mainly containing silicon) is formed to protect the wiring and the like. It is preferred to do so.

【0203】さらに、3〜100[%]の水素を含む雰囲
気中で、300〜450[℃]で1〜12時間の熱処理を
行い、島状半導体層を水素化する工程を行う。この工程
は熱的に励起された水素により半導体層のダングリング
ボンドを終端する工程である。水素化の他の手段とし
て、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を
用いる)を行っても良い。
Further, a heat treatment is performed at 300 to 450 ° C. for 1 to 12 hours in an atmosphere containing 3 to 100% of hydrogen to hydrogenate the island-like semiconductor layer. In this step, dangling bonds in the semiconductor layer are terminated by thermally excited hydrogen. As another means of hydrogenation, plasma hydrogenation (using hydrogen excited by plasma) may be performed.

【0204】次いで、図12(A)に示すように、第1
の層間絶縁膜5075を酸化窒化シリコン膜から100
〜200[nm]の厚さで形成する。その上に有機絶縁物材
料から成る第2の層間絶縁膜5076を形成した後、第
1の層間絶縁膜5075、第2の層間絶縁膜5076、
およびゲート絶縁膜5007に対してコンタクトホール
を形成し、各配線(接続配線、信号線を含む)5077
〜5082、5084をパターニング形成した後、接続
配線5082に接する画素電極5083をパターニング
形成する。
Next, as shown in FIG.
Of the interlayer insulating film 5075 from the silicon oxynitride film to 100
It is formed with a thickness of about 200 [nm]. After a second interlayer insulating film 5076 made of an organic insulating material is formed thereon, a first interlayer insulating film 5075, a second interlayer insulating film 5076,
And a contact hole is formed in the gate insulating film 5007, and each wiring (including a connection wiring and a signal line) 5077 is formed.
After patterning and forming the patterns 5082 and 5084, the pixel electrode 5083 in contact with the connection wiring 5082 is formed by patterning.

【0205】第2の層間絶縁膜5076としては、有機
樹脂を材料とする膜を用い、その有機樹脂としてはポリ
イミド、ポリアミド、アクリル、BCB(ベンゾシクロ
ブテン)等を使用することが出来る。特に、第2の層間
絶縁膜5076は平坦化の意味合いが強いので、平坦性
に優れたアクリルが好ましい。本実施例ではTFTによ
って形成される段差を十分に平坦化しうる膜厚でアクリ
ル膜を形成する。好ましくは1〜5[μm](さらに好ま
しくは2〜4[μm])とすれば良い。
As the second interlayer insulating film 5076, a film made of an organic resin is used, and as the organic resin, polyimide, polyamide, acrylic, BCB (benzocyclobutene), or the like can be used. In particular, since the second interlayer insulating film 5076 has a strong meaning of flattening, acrylic having excellent flatness is preferable. In this embodiment, an acrylic film is formed with a thickness that can sufficiently flatten a step formed by a TFT. Preferably, it is 1 to 5 [μm] (more preferably, 2 to 4 [μm]).

【0206】コンタクトホールの形成は、ドライエッチ
ングまたはウエットエッチングを用い、n型の不純物領
域5017、5018またはp型の不純物領域5052
〜5074に達するコンタクトホール、配線5031に
達するコンタクトホール、電源供給線に達するコンタク
トホール(図示せず)、およびゲート電極に達するコン
タクトホール(図示せず)をそれぞれ形成する。
The contact holes are formed by dry etching or wet etching to form n-type impurity regions 5017 and 5018 or p-type impurity regions 5052.
A contact hole reaching to 5074, a contact hole reaching the wiring 5031, a contact hole (not shown) reaching the power supply line, and a contact hole (not shown) reaching the gate electrode are formed.

【0207】また、配線(接続配線、信号線を含む)5
077〜5082、5084として、Ti膜を100[n
m]、Tiを含むアルミニウム膜を300[nm]、Ti膜1
50[nm]をスパッタ法で連続形成した3層構造の積層膜
を所望の形状にパターニングしたものを用いる。勿論、
他の導電膜を用いても良い。
In addition, wiring (including connection wiring and signal line) 5
077 to 5082 and 5084, the Ti film is 100 [n
m], an aluminum film containing Ti is 300 [nm], and a Ti film 1
A laminate film having a three-layer structure in which 50 nm is continuously formed by a sputtering method and patterned into a desired shape is used. Of course,
Other conductive films may be used.

【0208】また、本実施例では、画素電極5083と
してITO膜を110[nm]の厚さに形成し、パターニン
グを行った。画素電極5083を接続配線5082と接
して重なるように配置することでコンタクトを取ってい
る。また、酸化インジウムに2〜20[%]の酸化亜鉛
(ZnO)を混合した透明導電膜を用いても良い。この
画素電極5083がEL素子の陽極となる。(図12
(A))
In this embodiment, an ITO film having a thickness of 110 [nm] was formed as the pixel electrode 5083, and was patterned. A contact is made by arranging the pixel electrode 5083 so as to be in contact with and overlap with the connection wiring 5082. Alternatively, a transparent conductive film in which 2 to 20% of zinc oxide (ZnO) is mixed with indium oxide may be used. This pixel electrode 5083 becomes an anode of the EL element. (FIG. 12
(A))

【0209】次に、図12(B)に示すように、珪素を
含む絶縁膜(本実施例では酸化珪素膜)を500[nm]の
厚さに形成し、画素電極5083に対応する位置に開口
部を形成して、バンクとして機能する第3の層間絶縁膜
5085を形成する。開口部を形成する際、ウエットエ
ッチング法を用いることで容易にテーパー形状の側壁と
することが出来る。開口部の側壁が十分になだらかでな
いと段差に起因するEL層の劣化が顕著な問題となって
しまう。
Next, as shown in FIG. 12B, an insulating film containing silicon (a silicon oxide film in this embodiment) having a thickness of 500 nm is formed at a position corresponding to the pixel electrode 5083. An opening is formed, and a third interlayer insulating film 5085 functioning as a bank is formed. When the opening is formed, a tapered side wall can be easily formed by using a wet etching method. If the side wall of the opening is not sufficiently gentle, the deterioration of the EL layer due to the step becomes a significant problem.

【0210】次に、EL層5086および陰極(MgA
g電極)5087を、真空蒸着法を用いて大気解放しな
いで連続形成する。なお、EL層5086の膜厚は80
〜200[nm](典型的には100〜120[nm])、陰極
5087の厚さは180〜300[nm](典型的には20
0〜250[nm])とすれば良い。
Next, the EL layer 5086 and the cathode (MgA
g electrode) 5087 is continuously formed using a vacuum deposition method without opening to the atmosphere. Note that the thickness of the EL layer 5086 is 80
~ 200 [nm] (typically 100-120 [nm]), and the thickness of the cathode 5087 is 180-300 [nm] (typically 20-nm).
0 to 250 [nm]).

【0211】この工程では、赤色に対応する画素、緑色
に対応する画素および青色に対応する画素に対して順
次、EL層および陰極を形成する。但し、EL層は溶液
に対する耐性に乏しいためフォトリソグラフィ技術を用
いずに各色個別に形成しなくてはならない。そこでメタ
ルマスクを用いて所望の画素以外を隠し、必要箇所だけ
選択的にEL層および陰極を形成するのが好ましい。
In this step, an EL layer and a cathode are sequentially formed for a pixel corresponding to red, a pixel corresponding to green, and a pixel corresponding to blue. However, since the EL layer has poor resistance to a solution, it must be formed individually for each color without using a photolithography technique. Therefore, it is preferable that a metal mask is used to hide portions other than the desired pixels, and that the EL layer and the cathode are selectively formed only in necessary portions.

【0212】即ち、まず赤色に対応する画素以外を全て
隠すマスクをセットし、そのマスクを用いて赤色発光の
EL層を選択的に形成する。次いで、緑色に対応する画
素以外を全て隠すマスクをセットし、そのマスクを用い
て緑色発光のEL層を選択的に形成する。次いで、同様
に青色に対応する画素以外を全て隠すマスクをセット
し、そのマスクを用いて青色発光のEL層を選択的に形
成する。なお、ここでは全て異なるマスクを用いるよう
に記載しているが、同じマスクを使いまわしても構わな
い。
That is, first, a mask for hiding all pixels other than pixels corresponding to red is set, and an EL layer for emitting red light is selectively formed using the mask. Next, a mask for hiding all pixels other than pixels corresponding to green is set, and a green light-emitting EL layer is selectively formed using the mask. Next, a mask for covering all pixels other than the pixel corresponding to blue is similarly set, and an EL layer for emitting blue light is selectively formed using the mask. Note that all the masks are described herein as being different, but the same mask may be used again.

【0213】ここではRGBに対応した3種類のEL素
子を形成する方式を用いたが、白色発光のEL素子とカ
ラーフィルタを組み合わせた方式、青色または青緑発光
のEL素子と蛍光体(蛍光性の色変換層:CCM)とを
組み合わせた方式、陰極(対向電極)に透明電極を利用
してRGBに対応したEL素子を重ねる方式などを用い
ても良い。
Here, a method of forming three types of EL elements corresponding to RGB is used. However, a method of combining a white light emitting EL element and a color filter, a blue or blue-green light emitting EL element and a phosphor (fluorescent And a method in which an EL element corresponding to RGB is stacked on a cathode (a counter electrode) using a transparent electrode.

【0214】なお、EL層5086としては公知の材料
を用いることが出来る。公知の材料としては、駆動電圧
を考慮すると有機材料を用いるのが好ましい。例えば正
孔注入層、正孔輸送層、発光層および電子注入層でなる
4層構造をEL層とすれば良い。
[0214] As the EL layer 5086, a known material can be used. As a known material, it is preferable to use an organic material in consideration of a driving voltage. For example, a four-layer structure including a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron injection layer may be used as the EL layer.

【0215】次に、同じゲート信号線にゲート電極が接
続されたスイッチング用TFTを有する画素(同じライ
ンの画素)上に、メタルマスクを用いて陰極5087を
形成する。なお本実施例では陰極5087としてMgA
gを用いたが、本発明はこれに限定されない。陰極50
87として他の公知の材料を用いても良い。
Next, a cathode 5087 is formed using a metal mask on a pixel having a switching TFT in which a gate electrode is connected to the same gate signal line (a pixel on the same line). In this embodiment, the cathode 5087 is made of MgA.
Although g was used, the present invention is not limited to this. Cathode 50
Other known materials may be used as 87.

【0216】最後に、窒化珪素膜でなるパッシベーショ
ン膜5089を300[nm]の厚さに形成する。パッシベ
ーション膜5089を形成しておくことで、EL層50
86を水分等から保護することができ、EL素子の信頼
性をさらに高めることが出来る。
Finally, a passivation film 5089 made of a silicon nitride film is formed to a thickness of 300 [nm]. By forming the passivation film 5089 in advance, the EL layer 50
86 can be protected from moisture and the like, and the reliability of the EL element can be further improved.

【0217】こうして図12(B)に示すような構造の
ELディスプレイが完成する。なお、本実施例における
ELディスプレイの作成工程においては、回路の構成お
よび工程の関係上、ゲート電極を形成している材料であ
るTa、Wによってソース信号線を形成し、ソース、ド
レイン電極を形成している配線材料であるAlによって
ゲート信号線を形成しているが、異なる材料を用いても
良い。
Thus, an EL display having a structure as shown in FIG. 12B is completed. In the manufacturing process of the EL display in this embodiment, a source signal line is formed by Ta and W which are materials forming a gate electrode, and a source and a drain electrode are formed due to a circuit configuration and a process. Although the gate signal line is formed of Al, which is the wiring material used, a different material may be used.

【0218】ところで、本実施例のELディスプレイ
は、画素部だけでなく駆動回路部にも最適な構造のTF
Tを配置することにより、非常に高い信頼性を示し、動
作特性も向上しうる。また結晶化工程においてNi等の
金属触媒を添加し、結晶性を高めることも可能である。
それによって、ソース信号線駆動回路の駆動周波数を1
0[MHz]以上にすることが可能である。
By the way, the EL display of this embodiment has a TF having an optimum structure not only for the pixel portion but also for the drive circuit portion.
By arranging T, very high reliability can be exhibited and operating characteristics can be improved. It is also possible to add a metal catalyst such as Ni in the crystallization step to enhance the crystallinity.
As a result, the driving frequency of the source signal line driving circuit becomes 1
It can be set to 0 [MHz] or more.

【0219】まず、極力動作速度を落とさないようにホ
ットキャリア注入を低減させる構造を有するTFTを、
駆動回路部を形成するCMOS回路のnチャネル型TF
Tとして用いる。なお、ここでいう駆動回路としては、
シフトレジスタ、バッファ、レベルシフタ、線順次駆動
におけるラッチ、点順次駆動におけるトランスミッショ
ンゲートなどが含まれる。
First, a TFT having a structure in which hot carrier injection is reduced so as not to reduce the operation speed as much as possible,
N-channel type TF of CMOS circuit forming drive circuit section
Used as T. In addition, as the drive circuit here,
It includes a shift register, a buffer, a level shifter, a latch in line-sequential driving, a transmission gate in point-sequential driving, and the like.

【0220】本実施例の場合、nチャネル型TFTの活
性層は、ソース領域、ドレイン領域、ゲート絶縁膜を間
に挟んでゲート電極と重なるLDD領域(Lov領
域)、ゲート絶縁膜を間に挟んでゲート電極と重ならな
いLDD領域(Loff領域)およびチャネル形成領域
を含む。
In this embodiment, the active layer of the n-channel TFT has an LDD region (Lov region) overlapping the gate electrode with the source region, the drain region and the gate insulating film interposed therebetween, and the gate insulating film interposed therebetween. And an LDD region (Loff region) and a channel forming region which do not overlap with the gate electrode.

【0221】また、CMOS回路のpチャネル型TFT
は、ホットキャリア注入による劣化が殆ど気にならない
ので、特にLDD領域を設けなくても良い。勿論、nチ
ャネル型TFTと同様にLDD領域を設け、ホットキャ
リア対策を講じることも可能である。
Also, a p-channel type TFT of a CMOS circuit
Since there is almost no concern about deterioration due to hot carrier injection, it is not necessary to provide an LDD region. Needless to say, it is also possible to provide an LDD region similarly to the n-channel type TFT and take measures against hot carriers.

【0222】その他、駆動回路において、チャネル形成
領域を双方向に電流が流れるようなCMOS回路、即
ち、ソース領域とドレイン領域の役割が入れ替わるよう
なCMOS回路が用いられる場合、CMOS回路を形成
するnチャネル型TFTは、チャネル形成領域の両サイ
ドにチャネル形成領域を挟む形でLDD領域を形成する
ことが好ましい。このような例としては、点順次駆動に
用いられるトランスミッションゲートなどが挙げられ
る。また駆動回路において、オフ電流を極力低く抑える
必要のあるCMOS回路が用いられる場合、CMOS回
路を形成するnチャネル型TFTは、Lov領域を有し
ていることが好ましい。このような例としては、やは
り、点順次駆動に用いられるトランスミッションゲート
などが挙げられる。
In addition, when a CMOS circuit in which a current flows bidirectionally in the channel formation region, that is, a CMOS circuit in which the roles of the source region and the drain region are exchanged is used in the driver circuit, n In the channel type TFT, it is preferable to form an LDD region on both sides of the channel formation region so as to sandwich the channel formation region. An example of such a transmission gate is a transmission gate used for dot-sequential driving. In the case where a CMOS circuit in which off-state current needs to be suppressed as low as possible is used in the driver circuit, the n-channel TFT forming the CMOS circuit preferably has a Lov region. As such an example, a transmission gate used for dot-sequential driving is also mentioned.

【0223】なお、実際には図12(B)の状態まで完
成したら、さらに外気に曝されないように、気密性が高
く、脱ガスの少ない保護フィルム(ラミネートフィル
ム、紫外線硬化樹脂フィルム等)や透光性のシーリング
材でパッケージング(封入)することが好ましい。その
際、シーリング材の内部を不活性雰囲気にしたり、内部
に吸湿性材料(例えば酸化バリウム)を配置したりする
とEL素子の信頼性が向上する。
In fact, when the structure shown in FIG. 12B is completed, a protective film (laminate film, ultraviolet curable resin film, etc.) with high airtightness and low degassing or a transparent film is provided so as not to be further exposed to the outside air. It is preferable to package (enclose) with an optical sealing material. At this time, the reliability of the EL element is improved by setting the inside of the sealing material to an inert atmosphere or disposing a hygroscopic material (for example, barium oxide) inside.

【0224】また、パッケージング等の処理により気密
性を高めたら、基板上に形成された素子又は回路から引
き回された端子と外部信号端子とを接続するためのコネ
クタ(フレキシブルプリントサーキット:FPC)を取
り付けて製品として完成する。このような出荷出来る状
態にまでした状態を本明細書中ではELディスプレイと
いう。
When the airtightness is improved by processing such as packaging, a connector (flexible printed circuit: FPC) for connecting terminals routed from elements or circuits formed on the substrate to external signal terminals. To complete the product. Such a state in which it can be shipped is referred to as an EL display in this specification.

【0225】また、本実施例で示す工程に従えば、EL
ディスプレイの作製に必要なフォトマスクの数を抑える
ことができる。その結果、工程を短縮し、製造コストの
低減及び歩留まりの向上に寄与することができる。
According to the steps shown in this embodiment, the EL
The number of photomasks required for manufacturing a display can be reduced. As a result, the process can be shortened, which can contribute to a reduction in manufacturing cost and an improvement in yield.

【0226】なお本実施例は、実施例1〜5と組み合わ
せて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 5.

【0227】(実施例7)本実施例では、本発明のEL
ディスプレイの断面構造の概略について、図12とは別
の例を図13を用いて説明する。図12では、スイッチ
ング用TFT、EL駆動用TFTがトップゲート型のT
FTである例について示したが、本実施例ではTFTに
ボトムゲート型の薄膜トランジスタを用いた例について
説明する。
(Embodiment 7) In this embodiment, the EL of the present invention is used.
An example of a cross-sectional structure of the display, which is different from FIG. 12, will be described with reference to FIG. In FIG. 12, the switching TFT and the EL driving TFT are top gate type TFTs.
Although the example of the FT is described, in this embodiment, an example in which a bottom gate thin film transistor is used as a TFT will be described.

【0228】図13において、811は基板、812は
下地となる絶縁膜(以下、下地膜という)である。基板
811としては透光性基板、代表的にはガラス基板、石
英基板、ガラスセラミックス基板、又は結晶化ガラス基
板を用いることができる。但し、作製プロセス中の最高
処理温度に耐えるものでなくてはならない。
In FIG. 13, reference numeral 811 denotes a substrate, and 812, an insulating film serving as a base (hereinafter, referred to as a base film). As the substrate 811, a light-transmitting substrate, typically, a glass substrate, a quartz substrate, a glass ceramic substrate, or a crystallized glass substrate can be used. However, it must withstand the maximum processing temperature during the manufacturing process.

【0229】また、下地膜812は特に可動イオンを含
む基板や導電性を有する基板を用いる場合に有効である
が、石英基板には設けなくても構わない。下地膜812
としては、珪素(シリコン)を含む絶縁膜を用いれば良
い。なお、本明細書において「珪素を含む絶縁膜」と
は、具体的には酸化珪素膜、窒化珪素膜若しくは窒化酸
化珪素膜(SiOxNy:x、yは任意の整数、で示さ
れる)など珪素に対して酸素若しくは窒素を所定の割合
で含ませた絶縁膜を指す。
Although the base film 812 is particularly effective when a substrate containing mobile ions or a substrate having conductivity is used, it may not be provided on a quartz substrate. Base film 812
May be used as an insulating film containing silicon (silicon). Note that, in this specification, the “insulating film containing silicon” refers specifically to silicon such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon nitride oxide film (SiOxNy: x and y are arbitrary integers). On the other hand, it refers to an insulating film containing oxygen or nitrogen at a predetermined ratio.

【0230】8201はスイッチング用TFT、820
2はEL駆動用TFTであり、それぞれnチャネル型T
FT、pチャネル型TFTで形成されている。ELの発
光方向が基板の下面(TFT及びEL層が設けられてい
ない面)の場合、上記構成であることが好ましい。しか
し本発明はこの構成に限定されない。スイッチング用T
FTとEL駆動用TFTは、nチャネル型TFTでもp
チャネル型TFTでも、どちらでも構わない。
Reference numeral 8201 denotes a switching TFT, 820
Reference numeral 2 denotes an EL driving TFT, each of which is an n-channel TFT.
It is formed of FT and p-channel TFT. In the case where the EL emission direction is the lower surface of the substrate (the surface on which the TFT and the EL layer are not provided), the above structure is preferable. However, the present invention is not limited to this configuration. T for switching
FT and EL driving TFTs are p-channel even for n-channel TFTs.
Either channel type TFT may be used.

【0231】スイッチング用TFT8201は、ソース
領域813、ドレイン領域814、LDD領域815a
〜815d、分離領域816及びチャネル形成領域81
7a、817bを含む活性層と、ゲート絶縁膜818と、
ゲート電極819a、819bと、第1層間絶縁膜820
と、ソース信号線821と、ドレイン配線822とを有
している。なお、ゲート絶縁膜818又は第1層間絶縁
膜820は基板上の全TFTに共通であっても良いし、
回路又は素子に応じて異ならせても良い。
The switching TFT 8201 includes a source region 813, a drain region 814, and an LDD region 815a.
To 815d, the isolation region 816 and the channel formation region 81
An active layer including 7a and 817b, a gate insulating film 818,
Gate electrodes 819a and 819b and first interlayer insulating film 820
And a source signal line 821 and a drain wiring 822. Note that the gate insulating film 818 or the first interlayer insulating film 820 may be common to all TFTs on the substrate,
It may be different depending on the circuit or element.

【0232】また、図13に示すスイッチング用TFT
8201はゲート電極817a、817bが電気的に接続
されており、いわゆるダブルゲート構造となっている。
勿論、ダブルゲート構造だけでなく、トリプルゲート構
造などいわゆるマルチゲート構造(直列に接続された二
つ以上のチャネル形成領域を有する活性層を含む構造)
であっても良い。
The switching TFT shown in FIG.
8201 is a so-called double gate structure in which gate electrodes 817a and 817b are electrically connected.
Of course, not only a double gate structure but also a so-called multi-gate structure such as a triple gate structure (a structure including an active layer having two or more channel formation regions connected in series)
It may be.

【0233】マルチゲート構造はオフ電流を低減する上
で極めて有効であり、スイッチング用TFTのオフ電流
を十分に低くすれば、それだけEL駆動用TFT820
2のゲート電極に接続されたコンデンサが必要とする最
低限の容量を抑えることができる。即ち、コンデンサの
面積を小さくすることができるので、マルチゲート構造
とすることはEL素子の有効発光面積を広げる上でも有
効である。
The multi-gate structure is extremely effective in reducing the off-state current. If the off-state current of the switching TFT is sufficiently reduced, the EL drive TFT 820 will be reduced accordingly.
The minimum capacitance required by the capacitor connected to the second gate electrode can be suppressed. That is, since the area of the capacitor can be reduced, the multi-gate structure is effective in increasing the effective light emitting area of the EL element.

【0234】さらに、スイッチング用TFT8201に
おいては、LDD領域815a〜815dは、ゲート絶縁
膜818を介してゲート電極819a、819bと重なら
ないように設ける。このような構造はオフ電流を低減す
る上で非常に効果的である。また、LDD領域815a
〜815dの長さ(幅)は0.5〜3.5μm、代表的
には2.0〜2.5μmとすれば良い。
Further, in the switching TFT 8201, the LDD regions 815a to 815d are provided so as not to overlap the gate electrodes 819a and 819b via the gate insulating film 818. Such a structure is very effective in reducing off-state current. Also, the LDD region 815a
The length (width) of .about.815d may be 0.5-3.5 .mu.m, typically 2.0-2.5 .mu.m.

【0235】なお、チャネル形成領域とLDD領域との
間にオフセット領域(チャネル形成領域と同一組成の半
導体層でなり、ゲート電圧が加えられない領域)を設け
ることはオフ電流を下げる上でさらに好ましい。また、
二つ以上のゲート電極を有するマルチゲート構造の場
合、チャネル形成領域の間に設けられた分離領域816
(ソース領域又はドレイン領域と同一の濃度で同一の不
純物元素が添加された領域)がオフ電流の低減に効果的
である。
It is more preferable to provide an offset region (a region formed of a semiconductor layer having the same composition as the channel formation region and to which a gate voltage is not applied) between the channel formation region and the LDD region in order to reduce off-state current. . Also,
In the case of a multi-gate structure having two or more gate electrodes, an isolation region 816 provided between channel formation regions
(A region where the same impurity element is added at the same concentration as the source region or the drain region) is effective in reducing off-state current.

【0236】次に、EL駆動用TFT8202は、ソー
ス領域826、ドレイン領域827及びチャネル形成領
域829を含む活性層と、ゲート絶縁膜818と、ゲー
ト電極830と、第1層間絶縁膜820と、ソース信号
線831並びにドレイン配線832を有して形成され
る。本実施例においてEL駆動用TFT8202はpチ
ャネル型TFTである。
Next, the EL driving TFT 8202 includes an active layer including a source region 826, a drain region 827, and a channel formation region 829, a gate insulating film 818, a gate electrode 830, a first interlayer insulating film 820, It is formed to have a signal line 831 and a drain wiring 832. In this embodiment, the EL driving TFT 8202 is a p-channel TFT.

【0237】また、スイッチング用TFT8201のド
レイン領域814はEL駆動用TFT8202のゲート
電極830に接続されている。図示してはいないが、具
体的にはEL駆動用TFT8202のゲート電極830
はスイッチング用TFT8201のドレイン領域814
とドレイン配線(接続配線とも言える)822を介して
電気的に接続されている。また、EL駆動用TFT82
02のソース信号線831は電源供給線(図示せず)に
接続される。
The drain region 814 of the switching TFT 8201 is connected to the gate electrode 830 of the EL driving TFT 8202. Although not shown, specifically, the gate electrode 830 of the EL driving TFT 8202
Is the drain region 814 of the switching TFT 8201
And a drain wiring (also referred to as a connection wiring) 822. The EL driving TFT 82
The 02 source signal line 831 is connected to a power supply line (not shown).

【0238】EL駆動用TFT8202はEL素子82
06に供給される電流量を制御するための素子であり、
比較的多くの電流が流れる。そのため、EL駆動用TF
T8202のチャネル幅(W)は、スイッチング用TF
T8201のチャネル幅よりも長くなるように設計する
ことが好ましい。また、EL駆動用TFT8202に過
剰な電流が流れないように、チャネル長(L)は長めに
設計することが好ましい。望ましくはそれぞれ0.5〜
2μA(好ましくは1〜1.5μA)となるようにす
る。
The EL driving TFT 8202 is an EL element 82
06 is an element for controlling the amount of current supplied to
A relatively large amount of current flows. Therefore, the EL driving TF
The channel width (W) of T8202 is the switching TF
It is preferable to design so as to be longer than the channel width of T8201. Further, it is preferable that the channel length (L) is designed to be long so that an excessive current does not flow to the EL driving TFT 8202. Desirably 0.5 to
2 μA (preferably 1 to 1.5 μA).

【0239】またさらに、EL駆動用TFT8202の
活性層(特にチャネル形成領域)の膜厚を厚くする(好
ましくは50〜100nm、さらに好ましくは60〜8
0nm)ことによって、TFTの劣化を抑えてもよい。
逆に、スイッチング用TFT8201の場合はオフ電流
を小さくするという観点から見れば、活性層(特にチャ
ネル形成領域)の膜厚を薄くする(好ましくは20〜5
0nm、さらに好ましくは25〜40nm)ことも有効
である。
Further, the thickness of the active layer (particularly, the channel formation region) of the EL driving TFT 8202 is increased (preferably 50 to 100 nm, more preferably 60 to 8 nm).
0 nm), deterioration of the TFT may be suppressed.
Conversely, in the case of the switching TFT 8201, from the viewpoint of reducing the off-state current, the thickness of the active layer (particularly, the channel formation region) is reduced (preferably 20 to 5).
0 nm, more preferably 25 to 40 nm) is also effective.

【0240】以上は画素内に設けられたTFTの構造に
ついて説明したが、このとき同時に駆動回路も形成され
る。図13には駆動回路を形成する基本単位となるCM
OS回路が図示されている。
The structure of the TFT provided in the pixel has been described above. At this time, a drive circuit is also formed. FIG. 13 shows a CM which is a basic unit forming a drive circuit.
The OS circuit is shown.

【0241】図13においては極力動作速度を落とさな
いようにしつつホットキャリア注入を低減させる構造を
有するTFTをCMOS回路のnチャネル型TFT82
04として用いる。なお、ここでいう駆動回路として
は、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、対
向電源線駆動回路を指す。勿論、他の論理回路(レベル
シフタ、A/Dコンバータ、信号分割回路等)を形成す
ることも可能である。
In FIG. 13, a TFT having a structure for reducing hot carrier injection while keeping the operation speed from decreasing as much as possible is replaced with an n-channel TFT 82 of a CMOS circuit.
04. Note that the driver circuits here include a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a counter power supply line driver circuit. Of course, other logic circuits (such as a level shifter, an A / D converter, and a signal dividing circuit) can be formed.

【0242】CMOS回路のnチャネル型TFT820
4の活性層は、ソース領域835、ドレイン領域83
6、LDD領域837及びチャネル形成領域838を含
み、LDD領域837はゲート絶縁膜818を介してゲ
ート電極839と重なっている。
An n-channel TFT 820 of a CMOS circuit
The active layer 4 has a source region 835 and a drain region 83.
6, an LDD region 837 and a channel formation region 838, and the LDD region 837 overlaps with the gate electrode 839 via the gate insulating film 818.

【0243】ドレイン領域836側のみにLDD領域8
37を形成しているのは、動作速度を落とさないための
配慮である。また、このnチャネル型TFT8204は
オフ電流をあまり気にする必要はなく、それよりも動作
速度を重視した方が良い。従って、オフセットはなくし
た方がよい。
The LDD region 8 is formed only on the drain region 836 side.
The reason why 37 is formed is that the operation speed is not reduced. In addition, the n-channel TFT 8204 does not require much attention to the off-state current, and it is better to attach importance to the operation speed. Therefore, it is better to eliminate the offset.

【0244】また、CMOS回路のpチャネル型TFT
8205は、ホットキャリア注入による劣化が殆ど気に
ならないので、特にLDD領域を設けなくても良い。従
って活性層はソース領域840、ドレイン領域841及
びチャネル形成領域842を含み、その上にはゲート絶
縁膜818とゲート電極843が設けられる。勿論、n
チャネル型TFT8204と同様にLDD領域を設け、
ホットキャリア対策を講じることも可能である。
Also, a p-channel type TFT of a CMOS circuit
In the case of 8205, the deterioration due to hot carrier injection is hardly noticeable, so that an LDD region does not need to be provided. Therefore, the active layer includes a source region 840, a drain region 841, and a channel formation region 842, over which a gate insulating film 818 and a gate electrode 843 are provided. Of course, n
An LDD region is provided similarly to the channel type TFT 8204,
It is also possible to take hot carrier measures.

【0245】なお861〜865はチャネル形成領域8
42、838、817a、817b、829を形成する
ためのマスクである。
Reference numerals 861 to 865 denote channel formation regions 8
42, 838, 817a, 817b, and 829.

【0246】また、nチャネル型TFT8204及びp
チャネル型TFT8205はそれぞれソース領域上に第
1層間絶縁膜820を間に介して、ソース信号線84
4、845を有している。また、ドレイン配線846に
よってnチャネル型TFT8204とpチャネル型TF
T8205のドレイン領域は互いに電気的に接続され
る。
The n-channel TFT 8204 and the p-channel TFT
Each of the channel type TFTs 8205 has a source signal line 84 on a source region with a first interlayer insulating film 820 interposed therebetween.
4,845. Further, an n-channel TFT 8204 and a p-channel TF
The drain regions of T8205 are electrically connected to each other.

【0247】次に、847は第1パッシベーション膜で
あり、膜厚は10nm〜1μm(好ましくは200〜5
00nm)とすれば良い。材料としては、珪素を含む絶
縁膜(特に窒化酸化珪素膜又は窒化珪素膜が好ましい)
を用いることができる。このパッシベーション膜847
は形成されたTFTをアルカリ金属や水分から保護する
役割金属を有する。最終的にTFT(特にEL駆動用T
FT)の上方に設けられるEL層851にはナトリウム
等のアルカリ金属が含まれている。即ち、第1パッシベ
ーション膜847はこれらのアルカリ金属(可動イオ
ン)をTFT側に侵入させない保護層としても働く。
Next, reference numeral 847 denotes a first passivation film having a thickness of 10 nm to 1 μm (preferably 200 to 5 μm).
00 nm). As a material, an insulating film containing silicon (especially a silicon nitride oxide film or a silicon nitride film is preferable)
Can be used. This passivation film 847
Has a role of protecting the formed TFT from alkali metals and moisture. Finally, the TFT (especially the EL driving T
The EL layer 851 provided above the FT) contains an alkali metal such as sodium. That is, the first passivation film 847 also functions as a protective layer that prevents these alkali metals (mobile ions) from entering the TFT side.

【0248】また、848は第2層間絶縁膜であり、T
FTによってできる段差の平坦化を行う平坦化膜として
の機能を有する。第2層間絶縁膜848としては、有機
樹脂膜が好ましく、ポリイミド、ポリアミド、アクリ
ル、BCB(ベンゾシクロブテン)等を用いると良い。
これらの有機樹脂膜は良好な平坦面を形成しやすく、比
誘電率が低いという利点を有する。EL層は凹凸に非常
に敏感であるため、TFTによる段差は第2層間絶縁膜
848で殆ど吸収してしまうことが望ましい。また、ゲ
ート信号線やソース信号線とEL素子の陰極との間に形
成される寄生容量を低減する上で、比誘電率の低い材料
を厚く設けておくことが望ましい。従って、膜厚は0.
5〜5μm(好ましくは1.5〜2.5μm)が好まし
い。
Reference numeral 848 denotes a second interlayer insulating film.
It has a function as a flattening film for flattening a step formed by FT. As the second interlayer insulating film 848, an organic resin film is preferable, and polyimide, polyamide, acrylic, BCB (benzocyclobutene), or the like is preferably used.
These organic resin films have an advantage that a good flat surface is easily formed and the relative dielectric constant is low. Since the EL layer is very sensitive to unevenness, it is desirable that the step due to the TFT is almost completely absorbed by the second interlayer insulating film 848. In order to reduce the parasitic capacitance formed between the gate signal line or the source signal line and the cathode of the EL element, it is desirable to provide a thick material having a low relative dielectric constant. Therefore, the film thickness is 0.
5-5 μm (preferably 1.5-2.5 μm) is preferred.

【0249】また、849は透明導電膜でなる画素電極
(EL素子の陽極)であり、第2層間絶縁膜848及び
第1パッシベーション膜847にコンタクトホール(開
孔)を開けた後、形成された開孔部においてEL駆動用
TFT8202のドレイン配線832に接続されるよう
に形成される。なお、図13のように画素電極849と
ドレイン領域827とが直接接続されないようにしてお
くと、EL層のアルカリ金属が画素電極を経由して活性
層へ侵入することを防ぐことができる。
Reference numeral 849 denotes a pixel electrode (anode of an EL element) made of a transparent conductive film, which is formed after opening a contact hole (opening) in the second interlayer insulating film 848 and the first passivation film 847. The opening is formed so as to be connected to the drain wiring 832 of the EL driving TFT 8202. If the pixel electrode 849 and the drain region 827 are not directly connected as shown in FIG. 13, it is possible to prevent the alkali metal of the EL layer from entering the active layer via the pixel electrode.

【0250】画素電極849の上には酸化珪素膜、窒化
酸化珪素膜または有機樹脂膜でなる第3層間絶縁膜85
0が0.3〜1μmの厚さに設けられる。この第3層間
絶縁膜850はバンクとして機能する。画素電極849
の上にエッチングにより開口部が設けられ、その開口部
の縁はテーパー形状となるようにエッチングする。テー
パーの角度は10〜60°(好ましくは30〜50°)
とすると良い。特に第3層間絶縁膜850を、画素電極
849とEL駆動用TFT8202のドレイン配線83
2とが接続されている部分の上に設けることで、コンタ
クトホールの部分において生じる画素電極849の段差
によるEL層851の発光不良を防ぐことができる。
A third interlayer insulating film 85 made of a silicon oxide film, a silicon nitride oxide film or an organic resin film is formed on the pixel electrode 849.
0 is provided for a thickness of 0.3-1 μm. This third interlayer insulating film 850 functions as a bank. Pixel electrode 849
An opening is provided on the substrate by etching, and the edge of the opening is etched so as to have a tapered shape. The angle of the taper is 10-60 ° (preferably 30-50 °)
It is good to Particularly, the third interlayer insulating film 850 is formed by forming the pixel electrode 849 and the drain wiring 83 of the EL driving TFT 8202.
By providing the pixel electrode 849 over a portion where the second electrode 2 is connected, it is possible to prevent a light emission failure of the EL layer 851 due to a step of the pixel electrode 849 generated in a contact hole portion.

【0251】第3層間絶縁膜850の上にはEL層85
1が設けられる。EL層851は単層又は積層構造で用
いられるが、積層構造で用いた方が発光効率は良い。一
般的には画素電極上に正孔注入層/正孔輸送層/発光層
/電子輸送層の順に形成されるが、正孔輸送層/発光層
/電子輸送層、または正孔注入層/正孔輸送層/発光層
/電子輸送層/電子注入層のような構造でも良い。本発
明では公知のいずれの構造を用いても良いし、EL層に
対して蛍光性色素等をドーピングしても良い。
On the third interlayer insulating film 850, an EL layer 85 is formed.
1 is provided. The EL layer 851 is used in a single layer or a stacked structure; however, the use of the EL layer 851 in a stacked structure has higher luminous efficiency. Generally, a hole injection layer / a hole transport layer / a light emitting layer / an electron transport layer are formed in this order on a pixel electrode. A structure such as a hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer may be used. In the present invention, any known structure may be used, and the EL layer may be doped with a fluorescent dye or the like.

【0252】図13の構造はRGBに対応した三種類の
EL素子を形成する方式を用いた場合の例である。な
お、図13には一つの画素しか図示していないが、同一
構造の画素が赤、緑又は青のそれぞれの色に対応して形
成され、これによりカラー表示を行うことができる。本
発明は発光方式に関わらず実施することが可能である。
The structure shown in FIG. 13 is an example in the case where a method of forming three types of EL elements corresponding to RGB is used. Although only one pixel is shown in FIG. 13, pixels having the same structure are formed corresponding to the respective colors of red, green, and blue, whereby color display can be performed. The present invention can be implemented regardless of the light emitting method.

【0253】EL層851の上には対向電極としてのE
L素子の陰極852が設けられる。陰極852として
は、仕事関数の小さいマグネシウム(Mg)、リチウム
(Li)若しくはカルシウム(Ca)を含む材料を用い
る。好ましくはMgAg(MgとAgをMg:Ag=1
0:1で混合した材料)でなる電極を用いれば良い。他
にもMgAgAl電極、LiAl電極、また、LiFA
l電極が挙げられる。
On the EL layer 851, E as a counter electrode is formed.
A cathode 852 for the L element is provided. As the cathode 852, a material containing magnesium (Mg), lithium (Li), or calcium (Ca) having a small work function is used. Preferably, MgAg (Mg and Ag are Mg: Ag = 1)
An electrode made of a material mixed at 0: 1) may be used. In addition, MgAgAl electrode, LiAl electrode, LiFA
l electrode.

【0254】陰極852はEL層851を形成した後、
大気解放しないで連続的に形成することが望ましい。陰
極852とEL層851との界面状態はEL素子の発光
効率に大きく影響するからである。なお、本明細書中で
は、画素電極(陽極)、EL層及び陰極で形成される発
光素子をEL素子8206と呼ぶ。
After the EL layer 851 is formed, the cathode 852 is
It is desirable to form continuously without opening to the atmosphere. This is because the interface state between the cathode 852 and the EL layer 851 greatly affects the luminous efficiency of the EL element. Note that in this specification, a light-emitting element formed using a pixel electrode (anode), an EL layer, and a cathode is referred to as an EL element 8206.

【0255】EL層851と陰極852とでなる積層体
は、各画素で個別に形成する必要があるが、EL層85
1は水分に極めて弱いため、通常のフォトリソグラフィ
技術を用いることができない。従って、メタルマスク等
の物理的なマスク材を用い、真空蒸着法、スパッタ法、
プラズマCVD法等の気相法で選択的に形成することが
好ましい。
The laminate composed of the EL layer 851 and the cathode 852 must be formed individually for each pixel.
Since No. 1 is extremely weak to moisture, ordinary photolithography cannot be used. Therefore, using a physical mask material such as a metal mask, a vacuum evaporation method, a sputtering method,
It is preferable to selectively form by a gas phase method such as a plasma CVD method.

【0256】なお、EL層を選択的に形成する方法とし
て、インクジェット法、スクリーン印刷法又はスピンコ
ート法等を用いることも可能であるが、これらは現状で
は陰極の連続形成ができないので、上述の方法の方が好
ましいと言える。
As a method for selectively forming the EL layer, an ink-jet method, a screen printing method, a spin coating method, or the like can be used. It can be said that the method is more preferable.

【0257】また、854は第2パッシベーション膜で
あり、膜厚は10nm〜1μm(好ましくは200〜5
00nm)とすれば良い。第2パッシベーション膜85
4を設ける目的は、EL層851を水分から保護する目
的が主であるが、放熱効果をもたせることも有効であ
る。但し、上述のようにEL層は熱に弱いので、なるべ
く低温(好ましくは室温から120℃までの温度範囲)
で成膜するのが望ましい。従って、プラズマCVD法、
スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法又は
溶液塗布法(スピンコーティング法)が望ましい成膜方
法と言える。
Reference numeral 854 denotes a second passivation film having a thickness of 10 nm to 1 μm (preferably 200 to 5 μm).
00 nm). Second passivation film 85
The purpose of providing 4 is mainly to protect the EL layer 851 from moisture, but it is also effective to have a heat radiation effect. However, since the EL layer is weak to heat as described above, the temperature should be as low as possible (preferably in a temperature range from room temperature to 120 ° C.)
It is desirable to form a film. Therefore, the plasma CVD method,
It can be said that a sputtering method, a vacuum evaporation method, an ion plating method or a solution coating method (spin coating method) is a desirable film forming method.

【0258】なお、図13に図示されたTFTは全て、
本発明で用いるポリシリコン膜を活性層として有してい
ても良いことは言うまでもない。
Note that all of the TFTs shown in FIG.
It goes without saying that the polysilicon film used in the present invention may be provided as an active layer.

【0259】本発明は、図13のELディスプレイの構
造に限定されるものではなく、図13の構造は本発明を
実施する上での好ましい形態の一つに過ぎない。
The present invention is not limited to the structure of the EL display shown in FIG. 13, and the structure shown in FIG. 13 is only one of preferred embodiments for implementing the present invention.

【0260】なお本実施例は、実施例1〜5と組み合わ
せて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 5.

【0261】(実施例8)本実施例では、EL素子が形
成された基板を、EL素子が大気に触れないように封止
して、本発明のELディスプレイを作製する工程につい
て説明する。なお、図14(A)は本発明のELディス
プレイの上面図であり、図14(B)はその断面図であ
る。
(Embodiment 8) In this embodiment, a process for manufacturing an EL display of the present invention by sealing a substrate on which an EL element is formed so that the EL element does not come into contact with the atmosphere will be described. FIG. 14A is a top view of the EL display of the present invention, and FIG. 14B is a cross-sectional view thereof.

【0262】図14(A)、(B)において、4001
は基板、4002は画素部、4003はソース信号線駆
動回路、4004aはゲート信号線駆動回路、4004
bは対向電源線駆動回路であり、それぞれの駆動回路は
配線4005を経てFPC(フレキシブルプリントサー
キット)4006に至り、外部機器へと接続される。
In FIGS. 14A and 14B, 4001
, A substrate; 4002, a pixel portion; 4003, a source signal line driver circuit; 4004a, a gate signal line driver circuit;
Reference numeral b denotes a counter power supply line driving circuit. Each driving circuit reaches an FPC (flexible print circuit) 4006 via a wiring 4005 and is connected to an external device.

【0263】このとき、画素部4002、ソース信号線
駆動回路4003、ゲート信号線駆動回路4004a及
び対向電源線駆動回路4004bを囲むようにして第1
シール材4101、カバー材4102、充填材4103
及び第2シール材4104が設けられている。
At this time, the first portion is surrounded by the pixel portion 4002, the source signal line driving circuit 4003, the gate signal line driving circuit 4004a, and the opposing power supply line driving circuit 4004b.
Sealing material 4101, cover material 4102, filler 4103
And a second sealing material 4104.

【0264】図14(B)は図14(A)をA−A’で
切断した断面図に相当し、基板4001の上にソース信
号線駆動回路4003に含まれる駆動TFT(但し、こ
こではnチャネル型TFTとpチャネル型TFTを図示
している。)4201及び画素部4002に含まれるE
L駆動用TFT(EL素子を流れる電流を制御するTF
T)4202が形成されている。
FIG. 14B corresponds to a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 14A, and a driving TFT (here, n) included in a source signal line driving circuit 4003 is provided over a substrate 4001. A channel type TFT and a p-channel type TFT are illustrated.) 4201 and E included in the pixel portion 4002 are illustrated.
L driving TFT (TF controlling current flowing through EL element)
T) 4202 is formed.

【0265】本実施例では、駆動TFT4201には公
知の方法で作製されたpチャネル型TFTまたはnチャ
ネル型TFTが用いられ、EL駆動用TFT4202に
は公知の方法で作製されたpチャネル型TFTが用いら
れる。また、画素部4002にはEL駆動用TFT42
02のゲート電極に接続されたコンデンサ(図示せず)
が設けられる。
In this embodiment, a p-channel TFT or an n-channel TFT manufactured by a known method is used as the driving TFT 4201, and a p-channel TFT manufactured by a known method is used as the EL driving TFT 4202. Used. The pixel portion 4002 includes an EL driving TFT 42.
Capacitor (not shown) connected to 02 gate electrode
Is provided.

【0266】駆動TFT4201及びEL駆動用TFT
4202の上には樹脂材料でなる層間絶縁膜(平坦化
膜)4301が形成され、その上にEL駆動用TFT4
202のドレイン領域と電気的に接続する画素電極(陽
極)4302が形成される。画素電極4302としては
仕事関数の大きい透明導電膜が用いられる。透明導電膜
としては、酸化インジウムと酸化スズとの化合物、酸化
インジウムと酸化亜鉛との化合物、酸化亜鉛、酸化スズ
または酸化インジウムを用いることができる。また、前
記透明導電膜にガリウムを添加したものを用いても良
い。
Driving TFT 4201 and EL Driving TFT
An interlayer insulating film (flattening film) 4301 made of a resin material is formed on 4202, and an EL driving TFT 4301 is formed thereon.
A pixel electrode (anode) 4302 electrically connected to the drain region 202 is formed. As the pixel electrode 4302, a transparent conductive film having a large work function is used. As the transparent conductive film, a compound of indium oxide and tin oxide, a compound of indium oxide and zinc oxide, zinc oxide, tin oxide, or indium oxide can be used. Further, a material obtained by adding gallium to the transparent conductive film may be used.

【0267】そして、画素電極4302の上には絶縁膜
4303が形成され、絶縁膜4303は画素電極430
2の上に開口部が形成されている。この開口部におい
て、画素電極4302の上にはEL層4304が形成さ
れる。EL層4304は公知の有機EL材料または無機
EL材料を用いることができる。また、有機EL材料に
は低分子系(モノマー系)材料と高分子系(ポリマー
系)材料があるがどちらを用いても良い。
An insulating film 4303 is formed on the pixel electrode 4302, and the insulating film 4303 is formed on the pixel electrode 430.
2, an opening is formed. In this opening, an EL layer 4304 is formed over the pixel electrode 4302. For the EL layer 4304, a known organic EL material or inorganic EL material can be used. As the organic EL material, there are a low-molecular (monomer) material and a high-molecular (polymer) material, and either may be used.

【0268】EL層4304の形成方法は公知の蒸着技
術もしくは塗布法技術を用いれば良い。また、EL層の
構造は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層ま
たは電子注入層を自由に組み合わせて積層構造または単
層構造とすれば良い。
As a method for forming the EL layer 4304, a known vapor deposition technique or coating technique may be used. The EL layer may have a stacked structure or a single-layer structure by freely combining a hole injection layer, a hole transport layer, a light-emitting layer, an electron transport layer, or an electron injection layer.

【0269】EL層4304の上には遮光性を有する導
電膜(代表的にはアルミニウム、銅もしくは銀を主成分
とする導電膜またはそれらと他の導電膜との積層膜)か
らなる陰極4305が形成される。陰極4305は対向
電源線の一部であり、対向電源線と同時に形成される。
また、陰極4305とEL層4304の界面に存在する
水分や酸素は極力排除しておくことが望ましい。従っ
て、真空中で両者を連続成膜するか、EL層4304を
窒素または希ガス雰囲気で形成し、酸素や水分に触れさ
せないまま陰極4305を形成するといった工夫が必要
である。本実施例ではマルチチャンバー方式(クラスタ
ーツール方式)の成膜装置を用いることで上述のような
成膜を可能とする。
On the EL layer 4304, a cathode 4305 made of a light-shielding conductive film (typically, a conductive film containing aluminum, copper, or silver as a main component or a laminated film of these and another conductive film) is provided. It is formed. The cathode 4305 is a part of the opposing power supply line and is formed simultaneously with the opposing power supply line.
It is preferable that moisture and oxygen existing at the interface between the cathode 4305 and the EL layer 4304 be eliminated as much as possible. Therefore, it is necessary to devise a method in which both are continuously formed in a vacuum or the EL layer 4304 is formed in a nitrogen or rare gas atmosphere, and the cathode 4305 is formed without being exposed to oxygen or moisture. In this embodiment, the above-described film formation is made possible by using a multi-chamber type (cluster tool type) film formation apparatus.

【0270】そして陰極4305は4306で示される
領域において配線4005に電気的に接続される。配線
4005は陰極4305に所定の電圧を与えるための配
線であり、異方導電性フィルム4307を介してFPC
4006に電気的に接続される。
The cathode 4305 is electrically connected to the wiring 4005 in a region indicated by 4306. A wiring 4005 is a wiring for applying a predetermined voltage to the cathode 4305, and an FPC through an anisotropic conductive film 4307.
4006.

【0271】以上のようにして、画素電極(陽極)43
02、EL層4304及び陰極4305からなるEL素
子が形成される。このEL素子は、第1シール材410
1及び第1シール材4101によって基板4001に貼
り合わされたカバー材4102で囲まれ、充填材410
3により封入されている。
As described above, the pixel electrode (anode) 43
02, an EL element including the EL layer 4304 and the cathode 4305 is formed. This EL element has a first sealing material 410
Are surrounded by a cover material 4102 bonded to the substrate 4001 by the first and first seal materials 4101,
3 enclosed.

【0272】カバー材4102としては、ガラス材、金
属材(代表的にはステンレス材)、セラミックス材、プ
ラスチック材(プラスチックフィルムも含む)を用いる
ことができる。プラスチック材としては、FRP(Fi
berglass−Reinforced Plast
ics)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィル
ム、マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはア
クリル樹脂フィルムを用いることができる。また、アル
ミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで
挟んだ構造のシートを用いることもできる。
As the cover material 4102, a glass material, a metal material (typically, a stainless steel material), a ceramic material, and a plastic material (including a plastic film) can be used. As a plastic material, FRP (Fi
Berglass-Reinforced Plast
ics) plate, PVF (polyvinyl fluoride) film, mylar film, polyester film or acrylic resin film. Further, a sheet having a structure in which an aluminum foil is sandwiched between PVF films or mylar films can also be used.

【0273】但し、EL素子からの光の放射方向がカバ
ー材側に向かう場合にはカバー材は透明でなければなら
ない。その場合には、ガラス板、プラスチック板、ポリ
エステルフィルムまたはアクリルフィルムのような透明
物質を用いる。
However, when the direction of light emission from the EL element is directed toward the cover material, the cover material must be transparent. In that case, a transparent material such as a glass plate, a plastic plate, a polyester film or an acrylic film is used.

【0274】また、充填材4103としては紫外線硬化
樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポ
リビニルクロライド)、アクリル、ポリイミド、エポキ
シ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラ
ル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)を用い
ることができる。この充填材4103の内部に吸湿性物
質(好ましくは酸化バリウム)もしくは酸素を吸着しう
る物質を設けておくとEL素子の劣化を抑制できる。
As the filler 4103, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin can be used. Acetate) can be used. By providing a hygroscopic substance (preferably barium oxide) or a substance capable of adsorbing oxygen inside the filler 4103, deterioration of the EL element can be suppressed.

【0275】また、充填材4103の中にスペーサを含
有させてもよい。このとき、スペーサを酸化バリウムで
形成すればスペーサ自体に吸湿性をもたせることが可能
である。また、スペーサを設けた場合、スペーサからの
圧力を緩和するバッファ層として陰極4305上に樹脂
膜を設けることも有効である。
Further, a spacer may be contained in the filler 4103. At this time, if the spacer is made of barium oxide, the spacer itself can have hygroscopicity. In the case where a spacer is provided, it is also effective to provide a resin film on the cathode 4305 as a buffer layer for relaxing pressure from the spacer.

【0276】また、配線4005は異方導電性フィルム
4307を介してFPC4006に電気的に接続され
る。配線4005は画素部4002、ソース信号線駆動
回路4003、ゲート信号線駆動回路4004a及び対
向電源線駆動回路4004bに送られる信号をFPC4
006に伝え、FPC4006により外部機器と電気的
に接続される。
[0276] The wiring 4005 is electrically connected to the FPC 4006 via the anisotropic conductive film 4307. A wiring 4005 transmits a signal sent to the pixel portion 4002, the source signal line driver circuit 4003, the gate signal line driver circuit 4004a, and the counter power line driver circuit 4004b to the FPC4.
006 to be electrically connected to an external device by the FPC 4006.

【0277】また、本実施例では第1シール材4101
の露呈部及びFPC4006の一部を覆うように第2シ
ール材4104を設け、EL素子を徹底的に外気から遮
断する構造となっている。こうして図14(B)の断面
構造を有するELディスプレイとなる。
Also, in this embodiment, the first sealing material 4101
A second sealing material 4104 is provided so as to cover the exposed part of the FPC 4006 and a part of the FPC 4006, and the EL element is completely shut off from the outside air. Thus, an EL display having the cross-sectional structure of FIG.

【0278】なお本実施例は、実施例1〜7と組み合わ
せて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 7.

【0279】(実施例9)本実施例では、図3とは異な
る構造を有する画素の回路図について、図15を用いて
説明する。なお、本実施例において、4801はソース
信号線、4802はスイッチング用TFT、4803は
ゲート信号線、4804はEL駆動用TFT、4805
はコンデンサ、4806は電源供給線、4808は対向
電源線、4809はEL素子である。
Embodiment 9 In this embodiment, a circuit diagram of a pixel having a structure different from that of FIG. 3 will be described with reference to FIG. In this embodiment, 4801 is a source signal line, 4802 is a switching TFT, 4803 is a gate signal line, 4804 is an EL driving TFT, 4805
Is a capacitor, 4806 is a power supply line, 4808 is a counter power line, and 4809 is an EL element.

【0280】図15に示した回路図では、同じラインの
隣り合う二つの画素間で、同じ電源供給線4806を有
している場合の例である。即ち、二つの画素が電源供給
線4806を中心に線対称となるように形成されている
点に特徴がある。電源供給線4806は、隣り合う2つ
の画素が有するEL駆動用TFT4804のソース領域
にそれぞれ接続されている。
The circuit diagram shown in FIG. 15 is an example in which the same power supply line 4806 is provided between two adjacent pixels on the same line. That is, the feature is that two pixels are formed so as to be line-symmetric with respect to the power supply line 4806. The power supply line 4806 is connected to the source region of the EL driving TFT 4804 of two adjacent pixels.

【0281】この場合、電源供給線の本数を減らすこと
ができるため、画素部をさらに高精細化することができ
る。
In this case, the number of power supply lines can be reduced, so that the pixel portion can have higher definition.

【0282】なお、本実施例の構成は、実施例1〜8の
構成と組み合わせて実施することが可能である。
The structure of this embodiment can be implemented in combination with the structures of Embodiments 1 to 8.

【0283】(実施例10)本実施例では、図9で示し
たソース信号線駆動回路102の詳しい構成について説
明する。
(Embodiment 10) In this embodiment, a detailed configuration of the source signal line driving circuit 102 shown in FIG. 9 will be described.

【0284】シフトレジスタ801、ラッチ(A)(8
02)、ラッチ(B)(803)、が図16に示すよう
に配置されている。なお本実施例では、1組のラッチ
(A)(802)と1組のラッチ(B)(803)が、
4本のソース信号線St〜S(t+3)に対応してい
る。また本実施例では信号が有する電圧の振幅の幅を変
えるレベルシフトを設けなかったが、設計者が適宜設け
るようにしても良い。
The shift register 801, the latch (A) (8
02) and the latch (B) (803) are arranged as shown in FIG. In this embodiment, one set of latches (A) (802) and one set of latches (B) (803)
It corresponds to four source signal lines St to S (t + 3). In this embodiment, the level shift for changing the amplitude of the voltage of the signal is not provided. However, the level shift may be appropriately provided by the designer.

【0285】クロック信号CLK、CLKの極性が反転
したクロック信号CLKB、スタートパルス信号SP、
駆動方向切り替え信号SL/Rはそれぞれ図に示した配
線からシフトレジスタ801に入力される。また外部か
ら入力されるデジタルビデオ信号VDは図に示した配線
からラッチ(A)(802)に入力される。ラッチ信号
S_LAT、S_LATの極性が反転した信号S_LA
Tbはそれぞれ図に示した配線からラッチ(B)(80
3)に入力される。
The clock signals CLK, the clock signal CLKB whose polarity is inverted, the start pulse signal SP,
The driving direction switching signals SL / R are input to the shift register 801 from the wirings shown in the figure. A digital video signal VD input from the outside is input to the latch (A) (802) from the wiring shown in the figure. Latch signal S_LAT, signal S_LA with inverted polarity of S_LAT
Tb is calculated from the wiring shown in FIG.
Input to 3).

【0286】ラッチ(A)(802)の詳しい構成につ
いて、ソース信号線Stに対応するラッチ(A)(80
2)の一部804を例にとって説明する。ラッチ(A)
(802)の一部804は2つのクロックドインバータ
ーと2つのインバーターを有している。
With respect to the detailed configuration of the latches (A) (802), the latches (A) (80) corresponding to the source signal line St
A description will be given by taking a part 804 of 2) as an example. Latch (A)
Part 804 of (802) has two clocked inverters and two inverters.

【0287】ラッチ(A)(802)の一部804の上
面図を図17に示す。831a、831bはそれぞれ、
ラッチ(A)(802)の一部804が有するインバー
ターの1つを形成するTFTの活性層であり、836は
該インバータの1つを形成するTFTの共通のゲート電
極である。また832a、832bはそれぞれ、ラッチ
(A)(802)の一部804が有するもう1つのイン
バーターを形成するTFTの活性層であり、837a、
837bは活性層832a、832b上にそれぞれ設け
られたゲート電極である。なおゲート電極837a、8
37bは電気的に接続されている。
FIG. 17 is a top view of a part 804 of the latch (A) (802). 831a and 831b are respectively
A part 804 of the latch (A) (802) is an active layer of a TFT forming one of the inverters, and 836 is a common gate electrode of the TFT forming one of the inverters. Reference numerals 832a and 832b denote active layers of a TFT forming another inverter included in a part 804 of the latch (A) (802).
837b is a gate electrode provided on each of the active layers 832a and 832b. Note that the gate electrodes 837a and 837a
37b is electrically connected.

【0288】833a、833bはそれぞれ、ラッチ
(A)(802)の一部804が有するクロックドイン
バーターの1つを形成するTFTの活性層である。活性
層833a上にはゲート電極838a、838bが設け
られており、ダブルゲート構造となっている。また活性
層833b上にはゲート電極838b、839が設けら
れており、ダブルゲート構造となっている。
Reference numerals 833a and 833b denote active layers of a TFT forming one of the clocked inverters included in a part 804 of the latch (A) (802). Gate electrodes 838a and 838b are provided on the active layer 833a, and have a double gate structure. On the active layer 833b, gate electrodes 838b and 839 are provided to form a double gate structure.

【0289】834a、834bはそれぞれ、ラッチ
(A)(802)の一部804が有するもう1つのクロ
ックドインバーターを形成するTFTの活性層である。
活性層834a上にはゲート電極839、840が設け
られており、ダブルゲート構造となっている。また活性
層834b上にはゲート電極840、841が設けられ
ており、ダブルゲート構造となっている。
Reference numerals 834a and 834b denote active layers of a TFT forming another clocked inverter included in a part 804 of the latch (A) (802).
Gate electrodes 839 and 840 are provided on the active layer 834a to form a double gate structure. Further, gate electrodes 840 and 841 are provided on the active layer 834b to form a double gate structure.

【0290】(実施例11)本発明のELディスプレイ
において、EL素子が有するEL層に用いられる材料
は、有機EL材料に限定されず、無機EL材料を用いて
も実施できる。但し、現在の無機EL材料は非常に駆動
電圧が高いため、そのような駆動電圧に耐えうる耐圧特
性を有するTFTを用いなければならない。
(Embodiment 11) In the EL display of the present invention, the material used for the EL layer of the EL element is not limited to the organic EL material, but can be implemented using an inorganic EL material. However, since a current inorganic EL material has a very high driving voltage, a TFT having a withstand voltage characteristic capable of withstanding such a driving voltage must be used.

【0291】または、将来的にさらに駆動電圧の低い無
機EL材料が開発されれば、本発明に適用することは可
能である。
Alternatively, if an inorganic EL material having a further lower driving voltage is developed in the future, it can be applied to the present invention.

【0292】また、本実施例の構成は、実施例1〜10
と組み合わせて実施することが可能である。
The structure of this embodiment is similar to that of the first to tenth embodiments.
It is possible to implement in combination with.

【0293】(実施例12)本発明において、EL層と
して用いる有機物質は低分子系有機物質であってもポリ
マー系(高分子系)有機物質であっても良い。低分子系
有機物質はAlq3(トリス−8−キノリライト−アル
ミニウム)、TPD(トリフェニルアミン誘導体)等を
中心とした材料が知られている。ポリマー系有機物質と
して、π共役ポリマー系の物質が挙げられる。代表的に
は、PPV(ポリフェニレンビニレン)、PVK(ポリ
ビニルカルバゾール)、ポリカーボネート等が挙げられ
る。
Embodiment 12 In the present invention, the organic substance used for the EL layer may be a low molecular organic substance or a polymer (polymer) organic substance. As the low molecular weight organic substance, materials mainly including Alq 3 (tris-8-quinolilite-aluminum), TPD (triphenylamine derivative) and the like are known. Examples of the polymer-based organic substance include a π-conjugated polymer-based substance. Typically, PPV (polyphenylene vinylene), PVK (polyvinyl carbazole), polycarbonate and the like can be mentioned.

【0294】ポリマー系(高分子系)有機物質は、スピ
ンコーティング法(溶液塗布法ともいう)、ディッピン
グ法、ディスペンス法、印刷法またはインクジェット法
など簡易な薄膜形成方法で形成でき、低分子系有機物質
に比べて耐熱性が高い。
The polymer (polymer) organic substance can be formed by a simple thin film forming method such as a spin coating method (also referred to as a solution coating method), a dipping method, a dispensing method, a printing method or an ink jet method. High heat resistance compared to substances.

【0295】また本発明のELディスプレイが有するE
L素子において、そのEL素子が有するEL層が、電子
輸送層と正孔輸送層とを有している場合、電子輸送層と
正孔輸送層とを無機の材料、例えば非晶質のSiまたは
非晶質のSi1-xx等の非晶質半導体で構成しても良
い。
The EL display of the present invention has the E
In the L element, when the EL layer of the EL element has an electron transporting layer and a hole transporting layer, the electron transporting layer and the hole transporting layer are made of an inorganic material such as amorphous Si or It may be made of an amorphous semiconductor such as amorphous Si 1-x C x .

【0296】非晶質半導体には多量のトラップ準位が存
在し、かつ非晶質半導体が他の層と接する界面において
多量の界面準位を形成する。そのため、EL素子は低い
電圧で発光させることができるとともに、高輝度化を図
ることもできる。
[0296] A large amount of trap states exist in an amorphous semiconductor, and a large amount of interface states are formed at an interface where the amorphous semiconductor is in contact with another layer. Therefore, the EL element can emit light at a low voltage and can achieve high luminance.

【0297】また有機EL層にドーパント(不純物)を
添加し、有機EL層の発光の色を変化させても良い。ド
ーパントとして、DCM1、ナイルレッド、ルブレン、
クマリン6、TPB、キナクリドン等が挙げられる。
[0297] A dopant (impurity) may be added to the organic EL layer to change the color of light emitted from the organic EL layer. As a dopant, DCM1, Nile Red, Rubrene,
Coumarin 6, TPB, quinacridone and the like.

【0298】なお本実施例は、実施例1〜11と組み合
わせて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 11.

【0299】(実施例13)本実施例では、本発明のE
Lディスプレイの駆動方法を用いた場合、どの様な電圧
電流特性を有する領域でEL駆動用TFTを駆動させる
のが好ましいか、図18〜20を用いて説明する。
(Embodiment 13) In this embodiment, the present invention will be described.
With reference to FIGS. 18 to 20, description will be given of what voltage-current characteristics are preferable to drive the EL driving TFT when the L display driving method is used.

【0300】EL素子は、印加される電圧が少しでも変
化すると、それに対してEL素子を流れる電流が指数関
数的に大きく変化する。別の見方をすると、EL素子を
流れる電流の大きさが変化しても、EL素子に印加され
る電圧値はあまり変化しない。そして、EL素子の輝度
は、EL素子に流れる電流にほぼ正比例して大きくな
る。よって、EL素子に印加される電圧の大きさ(電圧
値)を制御することによりEL素子の輝度を制御するよ
りも、EL素子を流れる電流の大きさ(電流量)を制御
することによりEL素子の輝度を制御する方が、TFT
の特性に左右されずらく、EL素子の輝度の制御が容易
である。
In the EL element, even if the applied voltage changes even slightly, the current flowing through the EL element greatly changes exponentially. From another viewpoint, even when the magnitude of the current flowing through the EL element changes, the voltage value applied to the EL element does not change much. The luminance of the EL element increases almost directly in proportion to the current flowing through the EL element. Therefore, rather than controlling the brightness (voltage value) of the voltage applied to the EL element to control the luminance of the EL element, the EL element is controlled by controlling the magnitude of the current flowing through the EL element (current amount). It is better to control the brightness of the TFT
And the luminance of the EL element can be easily controlled.

【0301】図18を参照する。図18(A)は、図3
に示した本発明のELディスプレイの画素において、E
L駆動用TFT108およびEL素子110の構成部分
のみを図示したものである。
Referring to FIG. FIG. 18A shows FIG.
In the pixel of the EL display of the present invention shown in FIG.
FIG. 2 illustrates only constituent parts of the L driving TFT 108 and the EL element 110.

【0302】図18(B)には、図18(A)で示した
EL駆動用TFT108およびEL素子110の電圧電
流特性を示す。なお図18で示すEL駆動用TFT10
8の電圧電流特性のグラフは、ソース領域とドレイン領
域の間の電圧であるVDSに対する、EL駆動用TFT1
08のドレイン領域に流れる電流の大きさを示してお
り、図18にはEL駆動用TFT108のソース領域と
ゲート電極の間の電圧であるVGSの値の異なる複数のグ
ラフを示している。
FIG. 18B shows voltage-current characteristics of the EL driving TFT 108 and the EL element 110 shown in FIG. 18A. The EL driving TFT 10 shown in FIG.
8 is a graph showing the voltage-current characteristics of the EL driving TFT 1 with respect to the voltage V DS between the source region and the drain region.
08 shows the magnitude of the current flowing in the drain region, and FIG. 18 shows a plurality of graphs having different values of V GS which is the voltage between the source region and the gate electrode of the EL driving TFT 108.

【0303】図18(A)に示したように、EL素子1
10の画素電極と対向電極111の間にかかる電圧をV
EL、電源供給線に接続される端子3601とEL素子1
10の対向電極111の間にかかる電圧をVTとする。
なおVTは電源供給線の電位によってその値が固定され
る。またEL駆動用TFT108のソース領域・ドレイ
ン領域間の電圧をVDS、EL駆動用TFT108のゲー
ト電極に接続される配線3602とソース領域との間の
電圧、つまりEL駆動用TFT108のゲート電極とソ
ース領域の間の電圧をVGSとする。
As shown in FIG. 18A, EL element 1
The voltage applied between the pixel electrode 10 and the counter electrode 111 is V
EL , terminal 3601 connected to power supply line and EL element 1
10 voltage applied between the opposing electrodes 111 of the V T.
Note V T is the value is fixed by the potential of the power supply line. The voltage between the source region and the drain region of the EL driving TFT 108 is V DS , the voltage between the wiring 3602 connected to the gate electrode of the EL driving TFT 108 and the source region, that is, the gate electrode and the source of the EL driving TFT 108 The voltage between the regions is V GS .

【0304】EL駆動用TFT108はnチャネル型T
FTでもpチャネル型TFTでもどちらでも良い
The EL driving TFT 108 is an n-channel type TFT.
Either FT or p-channel TFT may be used

【0305】また、EL駆動用TFT108とEL素子
110とは直列に接続されている。よって、両素子(E
L駆動用TFT108とEL素子110)を流れる電流
量は同じである。従って、図18(A)に示したEL駆
動用TFT108とEL素子110とは、両素子の電圧
電流特性を示すグラフの交点(動作点)において駆動す
る。図18(B)において、VELは、対向電極111の
電位と動作点での電位との間の電圧になる。VDSは、E
L駆動用TFT108の端子3601での電位と動作点
での電位との間の電圧になる。つまり、VTは、VEL
DSの和に等しい。
The EL driving TFT 108 and the EL element 110 are connected in series. Therefore, both elements (E
The amount of current flowing through the L driving TFT 108 and the EL element 110) is the same. Therefore, the EL driving TFT 108 and the EL element 110 shown in FIG. 18A are driven at the intersection (operating point) of the graph showing the voltage-current characteristics of both elements. In FIG. 18B, V EL is a voltage between the potential of the counter electrode 111 and the potential at the operating point. V DS is E
It becomes a voltage between the potential at the terminal 3601 of the L driving TFT 108 and the potential at the operating point. In other words, V T is equal to the sum of V EL and V DS.

【0306】ここで、VGSを変化させた場合について考
える。図18(B)から分かるように、EL駆動用TF
T108の|VGS−VTH|が大きくなるにつれて、言い
換えると|VGS|が大きくなるにつれて、EL駆動用T
FT108に流れる電流量が大きくなる。なお、VTH
EL駆動用TFT108のしきい値電圧である。よって
図18(B)から分かるように、|VGS|が大きくなる
と、動作点においてEL素子110を流れる電流量も当
然大きくなる。EL素子110の輝度は、EL素子11
0を流れる電流量に比例して高くなる。
Here, the case where V GS is changed will be considered. As can be seen from FIG.
As | V GS −V TH | of T108 increases, in other words, as | V GS | increases, the EL driving T
The amount of current flowing to the FT 108 increases. V TH is a threshold voltage of the EL driving TFT 108. Therefore, as can be seen from FIG. 18B, when | V GS | increases, the amount of current flowing through the EL element 110 at the operating point naturally increases. The luminance of the EL element 110 is
It increases in proportion to the amount of current flowing through zero.

【0307】|VGS|が大きくなることによってEL素
子110を流れる電流量が大きくなると、電流量に応じ
てVELの値も大きくなる。そしてVTの大きさは電源供
給線の電位によって定まっているので、VELが大きくな
ると、その分VDSが小さくなる。
When the amount of current flowing through the EL element 110 increases due to the increase in | V GS |, the value of V EL also increases in accordance with the amount of current. And the size of the V T is definite by the potential of the power supply line, the V EL increases, correspondingly V DS becomes smaller.

【0308】また図18(B)に示したように、EL駆
動用TFTの電圧電流特性は、VGSとVDSの値によって
2つの領域に分けられる。|VGS−VTH|<|VDS|で
ある領域が飽和領域、|VGS−VTH|>|VDS|である
領域が線形領域である。
As shown in FIG. 18B, the voltage-current characteristics of the EL driving TFT are divided into two regions according to the values of V GS and V DS . The region where | V GS −V TH | <| V DS | is the saturation region, and the region where | V GS −V TH |> | V DS | is the linear region.

【0309】飽和領域においては以下の式1が成り立
つ。なおIDSはEL駆動用TFT108のチャネル形成
領域を流れる電流量である。またβ=μC0W/Lであ
り、μはEL駆動用TFT108の移動度、C0は単位
面積あたりのゲート容量、W/Lはチャネル形成領域の
チャネル幅Wとチャネル長Lの比である。
In the saturation region, the following equation 1 holds. Note that I DS is the amount of current flowing through the channel forming region of the EL driving TFT 108. Β = μC 0 W / L, μ is the mobility of the EL driving TFT 108, C 0 is the gate capacitance per unit area, and W / L is the ratio of the channel width W to the channel length L of the channel formation region. .

【0310】[0310]

【式1】IDS=β(VGS−VTH2/2[Equation 1] I DS = β (V GS -V TH) 2/2

【0311】また線形領域においては以下の式2が成り
立つ。
In the linear region, the following equation 2 holds.

【0312】[0312]

【式2】IDS=β{(VGS−VTH)VDS−VDS 2/2}[Formula 2] I DS = β {(V GS -V TH) V DS -V DS 2/2}

【0313】式1からわかるように、飽和領域において
電流量はVDSによってほとんど変化せず、VGSのみによ
って電流量が定まる。
As can be seen from Expression 1, the amount of current hardly changes with V DS in the saturation region, and the amount of current is determined only by V GS .

【0314】一方、式2からわかるように、線形領域
は、VDSとVGSとにより電流量が定まる。|VGS|を大
きくしていくと、EL駆動用TFT108は線形領域で
動作するようになる。そして、VELも徐々に大きくなっ
ていく。よって、VELが大きくなった分だけ、VDSが小
さくなっていく。線形領域では、VDSが小さくなると電
流量も小さくなる。そのため、|VGS|を大きくしていっ
ても、電流量は増加しにくくなってくる。|VGS|=∞
になった時、電流量=IMAXとなる。つまり、|VGS
をいくら大きくしても、IMAX以上の電流は流れない。
ここで、IMAXは、VEL=VTの時に、EL素子110を
流れる電流量である。
On the other hand, as can be seen from Equation 2, in the linear region, the amount of current is determined by V DS and V GS . As | V GS | is increased, the EL driving TFT 108 operates in the linear region. And VEL gradually increases. Thus, by an amount corresponding to V EL is increased, V DS becomes smaller. In the linear region, the amount of current decreases as V DS decreases. Therefore, even if | V GS | is increased, the amount of current becomes difficult to increase. | V GS | = ∞
, The current amount = I MAX . That is, | V GS |
No matter how large, I MAX or more current does not flow.
Here, I MAX is the amount of current flowing through the EL element 110 when V EL = V T.

【0315】このように|VGS|の大きさを制御するこ
とによって、動作点を飽和領域にしたり、線形領域にし
たりすることができる。
By controlling the magnitude of | V GS | in this manner, the operating point can be set to a saturation region or a linear region.

【0316】ところで、全てのEL駆動用TFTの特性
は理想的には全て同じであることが望ましいが、実際に
は個々のEL駆動用TFTでしきい値VTHと移動度μと
が異なっていることが多い。そして個々のEL駆動用T
FTのしきい値VTHと移動度μとが互いに異なると、式
1及び式2からわかるように、VGSの値が同じでもEL
駆動用TFT108のチャネル形成領域を流れる電流量
が異なってしまう。
It is desirable that all the EL driving TFTs have ideally the same characteristics. However, in practice, the threshold V TH and the mobility μ are different between the individual EL driving TFTs. Often. And each EL drive T
When the threshold value V TH of the FT and the mobility μ are different from each other, as can be seen from Expressions 1 and 2, even if the value of V GS is the same, EL
The amount of current flowing through the channel forming region of the driving TFT 108 differs.

【0317】図19にしきい値VTHと移動度μとがずれ
たEL駆動用TFTの電流電圧特性を示す。実線370
1が理想の電流電圧特性のグラフであり、3702、3
703がそれぞれしきい値VTHと移動度μとが理想とす
る値と異なってしまった場合のEL駆動用TFTの電流
電圧特性である。電流電圧特性のグラフ3702、37
03は飽和領域においては同じ電流量ΔI1だけ、理想
の特性を有する電流電圧特性のグラフ3701からずれ
ていて、電流電圧特性のグラフ3702の動作点370
5は飽和領域にあり、電流電圧特性のグラフ3703の
動作点3706は線形領域にあったとする。その場合、
理想の特性を有する電流電圧特性のグラフ3701の動
作点3704における電流量と、動作点3705及び動
作点3706における電流量のずれをそれぞれΔI2
ΔI3とすると、飽和領域における動作点3705より
も線形領域における動作点3706の方が小さい。
FIG. 19 shows the current-voltage characteristics of the EL driving TFT in which the threshold value V TH and the mobility μ deviate. Solid line 370
1 is a graph of ideal current-voltage characteristics, and 3702, 3
Reference numeral 703 denotes the current-voltage characteristics of the EL driving TFT when the threshold value V TH and the mobility μ are different from ideal values. Graphs of current-voltage characteristics 3702, 37
03 deviates from the graph 3701 of the current-voltage characteristic having the ideal characteristic by the same amount of current ΔI 1 in the saturation region, and the operating point 370 of the graph 3702 of the current-voltage characteristic.
5 is in the saturation region, and the operating point 3706 of the graph 3703 of the current-voltage characteristic is in the linear region. In that case,
The difference between the current amount at the operating point 3704 and the current amount at the operating point 3705 and the operating point 3706 in the graph 3701 of the current-voltage characteristic having ideal characteristics is ΔI 2 ,
Assuming that ΔI 3 , the operating point 3706 in the linear region is smaller than the operating point 3705 in the saturated region.

【0318】よって本発明で示したデジタル方式の駆動
方法を用いる場合、動作点が線形領域に存在するように
EL駆動用TFTとEL素子を駆動させることで、EL
駆動用TFTの特性のずれによるEL素子の輝度むらを
抑えた階調表示を行うことができる。
Therefore, when the digital driving method shown in the present invention is used, the EL driving TFT and the EL element are driven so that the operating point exists in the linear region, and the EL driving is performed.
It is possible to perform gradation display in which unevenness in luminance of an EL element due to a shift in characteristics of a driving TFT is suppressed.

【0319】また従来のアナログ駆動の場合は、|VGS
|のみによって電流量を制御することが可能な飽和領域
に動作点が存在するようにEL駆動用TFTとEL素子
を駆動させる方が好ましい。
In the case of the conventional analog drive, | V GS
It is preferable to drive the EL driving TFT and the EL element such that the operating point exists in a saturation region where the current amount can be controlled only by |.

【0320】以上の動作分析のまとめとして、EL駆動
用TFTのゲート電圧|VGS|に対する電流量のグラフ
を図20に示す。|VGS|を大きくしていき、EL駆動
用TFTのしきい値電圧の絶対値|VTH|よりも大きく
なると、EL駆動用TFTが導通状態となり、電流が流
れ始める。本明細書ではこの時の|VGS|を点灯開始電
圧と呼ぶことにする。そして、さらに|VGS|を大きく
していくと、|VGS|が|VGS−VTH|=|VDS|を満
たすような値(ここでは仮にAとする)となり、飽和領
域3801から線形領域3802になる。さらに|VGS
|を大きくしていくと、電流量が大きくなり、遂には、
電流量が飽和してくる。その時|VGS|=∞となる。
As a summary of the above operation analysis, FIG. 20 shows a graph of the amount of current with respect to the gate voltage | V GS | of the EL driving TFT. When | V GS | is increased and becomes larger than the absolute value | V TH | of the threshold voltage of the EL driving TFT, the EL driving TFT becomes conductive and current starts to flow. In this specification, | V GS | at this time is referred to as a lighting start voltage. When | V GS | is further increased, | V GS | becomes a value that satisfies | V GS −V TH | = | V DS | (here, temporarily assumed to be A). It becomes a linear region 3802. More | V GS
As | increases, the amount of current increases and finally
The amount of current is saturated. At that time, | V GS | = ∞.

【0321】図20から分かる通り、|VGS|≦|VTH
|の領域では、電流がほとんど流れない。|VTH|≦|
GS|≦Aの領域は飽和領域であり、|VGS|によって
電流量が変化する。そして、A≦|VGS|の領域は線形
領域であり、EL素子に流れる電流量は|VGS|及び|
DS|よって電流量が変化する。
As can be seen from FIG. 20, | V GS | ≦ | V TH
In the region of |, almost no current flows. | V TH | ≦ |
The region where V GS | ≦ A is a saturation region, and the amount of current changes according to | V GS |. The region where A ≦ | V GS | is a linear region, and the amount of current flowing through the EL element is | V GS | and |
V DS | changes the amount of current.

【0322】本発明のデジタル駆動では、|VGS|≦|
TH|の領域及びA≦|VGS|の線形領域を用いること
が好ましい。
In the digital drive of the present invention, | V GS | ≦ |
It is preferable to use a region of V TH | and a linear region of A ≦ | V GS |.

【0323】なお本実施例は、実施例1〜12と組み合
わせて実施することが可能である。
This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 12.

【0324】(実施例14)本発明を実施して形成され
たELディスプレイは、自発光型であるため液晶表示装
置に比べて明るい場所での視認性に優れ、しかも視野角
が広い。従って、様々な電子機器(発光装置)の表示部
に用いることができる。例えば、TV放送等を大画面で
鑑賞するには対角30インチ以上(典型的には40イン
チ以上)のディスプレイの表示部として本発明のELデ
ィスプレイを用いるとよい。
Embodiment 14 An EL display formed by carrying out the present invention is of a self-luminous type, so that it has better visibility in a bright place than a liquid crystal display and has a wide viewing angle. Therefore, it can be used for display portions of various electronic devices (light-emitting devices). For example, to watch a TV broadcast or the like on a large screen, the EL display of the present invention may be used as a display unit of a display having a diagonal of 30 inches or more (typically, 40 inches or more).

【0325】なお、ELディスプレイには、パソコン用
ディスプレイ、TV放送受信用ディスプレイ、広告表示
用ディスプレイ等の全ての情報表示用ディスプレイが含
まれる。また、その他にも様々な電子機器の表示部とし
て本発明のELディスプレイを用いることができる。
[0325] The EL display includes all displays for displaying information, such as displays for personal computers, displays for receiving TV broadcasts, and displays for displaying advertisements. In addition, the EL display of the present invention can be used as a display portion of various electronic devices.

【0326】その様な本発明の電子機器としては、ビデ
オカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ
(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシス
テム、音響再生装置(カーオーディオ、オーディオコン
ポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機
器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、
携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録媒体を備えた
画像再生装置(具体的にはデジタルビデオディスク(D
VD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるデ
ィスプレイを備えた装置)などが挙げられる。特に、斜
め方向から見ることの多い携帯情報端末は視野角の広さ
が重要視されるため、ELディスプレイを用いることが
望ましい。それら電子機器の具体例を図21、図22に
示す。
Examples of such electronic equipment of the present invention include a video camera, a digital camera, a goggle-type display (head-mounted display), a navigation system, a sound reproducing device (car audio, audio component, etc.), a notebook personal computer, a game Devices, personal digital assistants (mobile computers, mobile phones,
An image reproducing apparatus provided with a recording medium (specifically, a digital video disc (D
VD) and the like, which reproduces a recording medium and has a display capable of displaying the image. In particular, for a portable information terminal that is often viewed from an oblique direction, a wide viewing angle is regarded as important, and it is desirable to use an EL display. Specific examples of these electronic devices are shown in FIGS.

【0327】図21(A)はディスプレイであり、筐体
2001、支持台2002、表示部2003等を含む。
本発明のELディスプレイは表示部2003に用いるこ
とができる。ELディスプレイは自発光型であるためバ
ックライトが必要なく、液晶ディスプレイよりも薄い表
示部とすることができる。
[0327] FIG. 21A illustrates a display, which includes a housing 2001, a support base 2002, a display portion 2003, and the like.
The EL display of the present invention can be used for the display portion 2003. Since the EL display is a self-luminous type, it does not require a backlight and can be a display portion thinner than a liquid crystal display.

【0328】図21(B)はビデオカメラであり、本体
2101、表示部2102、音声入力部2103、操作
スイッチ2104、バッテリー2105、受像部210
6等を含む。本発明のELディスプレイは表示部210
2に用いることができる。
FIG. 21B shows a video camera, which includes a main body 2101, a display portion 2102, an audio input portion 2103, operation switches 2104, a battery 2105, and an image receiving portion 210.
6 and so on. The EL display of the present invention has a display unit 210.
2 can be used.

【0329】図21(C)は頭部取り付け型の発光装置
の一部(右片側)であり、本体2201、信号ケーブル
2202、頭部固定バンド2203、スクリーン部22
04、光学系2205、表示部2206等を含む。本発
明のELディスプレイは表示部2206に用いることが
できる。
FIG. 21C shows a part (right side) of the head-mounted light emitting device, and includes a main body 2201, a signal cable 2202, a head fixing band 2203, and a screen section 22.
04, an optical system 2205, a display unit 2206, and the like. The EL display of the present invention can be used for the display portion 2206.

【0330】図21(D)は記録媒体を備えた画像再生
装置(具体的にはDVD再生装置)であり、本体230
1、記録媒体(DVD等)2302、操作スイッチ23
03、表示部(a)2304、表示部(b)2305等
を含む。表示部(a)2304は主として画像情報を表
示し、表示部(b)2305は主として文字情報を表示
するが、本発明のELディスプレイはこれら表示部
(a)、(b)2304、2305に用いることができ
る。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲ
ーム機器なども含まれる。
FIG. 21D shows an image reproducing apparatus (specifically, a DVD reproducing apparatus) provided with a recording medium.
1, recording medium (DVD or the like) 2302, operation switch 23
03, a display unit (a) 2304, a display unit (b) 2305, and the like. The display portion (a) 2304 mainly displays image information, and the display portion (b) 2305 mainly displays character information. The EL display of the present invention is used for these display portions (a) and (b) 2304 and 2305. be able to. Note that the image reproducing device provided with the recording medium includes a home game machine and the like.

【0331】図21(E)はゴーグル型ディスプレイ
(ヘッドマウントディスプレイ)であり、本体240
1、表示部2402、アーム部2403を含む。本発明
のELディスプレイは表示部2402に用いることがで
きる。
FIG. 21E shows a goggle type display (head-mounted display).
1, a display unit 2402, and an arm unit 2403. The EL display of the present invention can be used for the display portion 2402.

【0332】図21(F)はパーソナルコンピュータで
あり、本体2501、筐体2502、表示部2503、
キーボード2504等を含む。本発明のELディスプレ
イは表示部2503に用いることができる。
[0332] FIG. 21F illustrates a personal computer, which includes a main body 2501, a housing 2502, a display portion 2503,
A keyboard 2504 and the like are included. The EL display of the present invention can be used for the display portion 2503.

【0333】なお、将来的にEL材料の発光輝度が高く
なれば、出力した画像情報を含む光をレンズ等で拡大投
影してフロント型若しくはリア型のプロジェクターに用
いることも可能となる。
If the emission luminance of the EL material becomes higher in the future, it becomes possible to enlarge and project the light containing the output image information with a lens or the like and use it for a front-type or rear-type projector.

【0334】また、上記電子機器はインターネットやC
ATV(ケーブルテレビ)などの電子通信回線を通じて
配信された情報を表示することが多くなり、特に動画情
報を表示する機会が増してきている。EL材料の応答速
度は非常に高いため、ELディスプレイは動画表示に好
ましい。
[0334] Further, the above-mentioned electronic equipment is connected to the Internet,
Information distributed through an electronic communication line such as an ATV (cable television) is frequently displayed, and in particular, opportunities to display moving image information are increasing. Since the response speed of the EL material is very high, the EL display is preferable for displaying moving images.

【0335】また、ELディスプレイは発光している部
分が電力を消費するため、発光部分が極力少なくなるよ
うに情報を表示することが望ましい。従って、携帯情報
端末、特に携帯電話や音響再生装置のような文字情報を
主とする表示部にELディスプレイを用いる場合には、
非発光部分を背景として文字情報を発光部分で形成する
ように駆動することが望ましい。
[0335] In the EL display, since the light emitting portion consumes power, it is desirable to display information so that the light emitting portion is reduced as much as possible. Therefore, when an EL display is used for a portable information terminal, particularly a display unit mainly including character information such as a mobile phone or a sound reproducing device,
It is desirable to drive such that character information is formed in the light emitting portion with the non-light emitting portion as a background.

【0336】ここで図22(A)は携帯電話であり、本
体2601、音声出力部2602、音声入力部260
3、表示部2604、操作スイッチ2605、アンテナ
2606を含む。本発明のELディスプレイは表示部2
604に用いることができる。なお、表示部2604は
黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消
費電力を抑えることができる。
Here, FIG. 22A shows a mobile phone, which includes a main body 2601, an audio output unit 2602, and an audio input unit 260.
3, including a display unit 2604, operation switches 2605, and an antenna 2606. The EL display of the present invention has a display unit 2
604. Note that the display portion 2604 can display power of the mobile phone by displaying white characters on a black background.

【0337】また、図22(B)は音響再生装置、具体
的にはカーオーディオであり、本体2701、表示部2
702、操作スイッチ2703、2704を含む。本発
明のELディスプレイは表示部2702に用いることが
できる。また、本実施例では車載用オーディオを示す
が、携帯型や家庭用の音響再生装置に用いても良い。な
お、表示部2702は黒色の背景に白色の文字を表示す
ることで消費電力を抑えられる。これは携帯型の音響再
生装置において特に有効である。
FIG. 22B shows an audio reproducing apparatus, specifically, a car audio system.
702, and operation switches 2703 and 2704. The EL display of the present invention can be used for the display portion 2702. In this embodiment, the in-vehicle audio is shown, but the present invention may be applied to a portable or home-use audio reproducing apparatus. Note that the display portion 2702 can suppress power consumption by displaying white characters on a black background. This is particularly effective in a portable sound reproducing device.

【0338】以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広
く、あらゆる分野の電子機器に適用することが可能であ
る。また、本実施例は、実施例1〜13と組み合わせて
実施することが可能である。
As described above, the applicable range of the present invention is extremely wide, and can be applied to electronic devices in all fields. This embodiment can be implemented in combination with Embodiments 1 to 13.

【0339】[0339]

【発明の効果】本発明は上記構成によって、TFTによ
ってIDS−VGS特性に多少のばらつきがあっても、等し
いゲート電圧がかかったときに出力される電流量のばら
つきを抑えることができる。よってIDS−VGS特性のバ
ラツキによって、同じ電圧の信号を入力してもEL素子
の発光量が隣接画素で大きく異なってしまうという事態
を避けることが可能になる。
As described above, according to the present invention, even if the I DS -V GS characteristics vary somewhat depending on the TFT, the variation in the amount of current output when the same gate voltage is applied can be suppressed. Therefore, even if a signal of the same voltage is input, it is possible to avoid a situation in which the amount of light emitted from the EL element greatly differs between adjacent pixels due to the variation of the I DS -V GS characteristics.

【0340】また、本発明では、表示を行わない非表示
期間を設けることができる。従来のアナログ駆動の場
合、ELディスプレイに全白の画像を表示させると、常
にEL素子が発光することになり、EL層の劣化を早め
る原因となってしまう。本発明は非表示期間を設けるこ
とができるので、EL層の劣化をある程度抑えることが
できる。
In the present invention, a non-display period in which display is not performed can be provided. In the case of the conventional analog drive, when an all-white image is displayed on the EL display, the EL element always emits light, which causes deterioration of the EL layer earlier. According to the present invention, since a non-display period can be provided, deterioration of the EL layer can be suppressed to some extent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のELディスプレイの回路構成を示
すブロック図。
FIG. 1 is a block diagram showing a circuit configuration of an EL display of the present invention.

【図2】 本発明のELディスプレイの画素部の回路
図。
FIG. 2 is a circuit diagram of a pixel portion of an EL display according to the present invention.

【図3】 本発明のELディスプレイの画素の回路
図。
FIG. 3 is a circuit diagram of a pixel of the EL display of the present invention.

【図4】 本発明のELディスプレイの駆動方法を示
す図。
FIG. 4 is a diagram showing a driving method of an EL display of the present invention.

【図5】 本発明のELディスプレイの駆動方法を示
す図。
FIG. 5 is a diagram showing a driving method of an EL display according to the present invention.

【図6】 本発明のELディスプレイの駆動方法を示
す図。
FIG. 6 is a diagram showing a driving method of an EL display of the present invention.

【図7】 本発明のELディスプレイの駆動方法を示
す図。
FIG. 7 is a diagram showing a driving method of an EL display of the present invention.

【図8】 本発明のELディスプレイの画素上面図。FIG. 8 is a top view of a pixel of the EL display of the present invention.

【図9】 本発明のELディスプレイの駆動回路の構
成を示すブロック図。
FIG. 9 is a block diagram illustrating a configuration of a driving circuit of an EL display of the present invention.

【図10】 本発明のELディスプレイの作製行程を示
す図。
FIG. 10 is a diagram showing a manufacturing process of the EL display of the present invention.

【図11】 本発明のELディスプレイの作製行程を示
す図。
FIG. 11 is a view showing a manufacturing process of the EL display of the present invention.

【図12】 本発明のELディスプレイの作製行程を示
す図。
FIG. 12 is a diagram showing a manufacturing process of the EL display of the present invention.

【図13】 本発明のELディスプレイの断面詳細図。FIG. 13 is a detailed sectional view of the EL display of the present invention.

【図14】 本発明のELディスプレイの上面図及び断
面図。
FIG. 14 is a top view and a cross-sectional view of an EL display of the present invention.

【図15】 本発明のELディスプレイの画素回路図。FIG. 15 is a pixel circuit diagram of the EL display of the present invention.

【図16】 本発明のELディスプレイのソース信号線
駆動回路の回路図。
FIG. 16 is a circuit diagram of a source signal line driving circuit of an EL display according to the present invention.

【図17】 本発明のELディスプレイのソース信号線
駆動回路のラッチ上面図。
FIG. 17 is a top view of a latch of a source signal line driving circuit of an EL display according to the present invention.

【図18】 EL素子とEL駆動用TFTの接続の構成
を示す図と、EL素子とEL駆動用TFTの電圧電流特
性を示す図。
18A and 18B are diagrams illustrating a connection structure between an EL element and an EL driving TFT, and a diagram illustrating voltage-current characteristics of the EL element and the EL driving TFT.

【図19】 EL素子とEL駆動用TFTの電圧電流特
性を示す図。
FIG. 19 shows voltage-current characteristics of an EL element and an EL driving TFT.

【図20】 EL駆動用TFTのゲート電圧とドレイン
電流の関係を示す図。
FIG. 20 illustrates a relationship between a gate voltage and a drain current of an EL driving TFT.

【図21】 本発明のELディスプレイを用いた電子機
器の図。
FIG. 21 is a diagram of an electronic device using the EL display of the present invention.

【図22】 本発明のELディスプレイを用いた電子機
器の図。
FIG. 22 is a diagram of an electronic device using the EL display of the present invention.

【図23】 従来のELディスプレイの画素部の回路
図。
FIG. 23 is a circuit diagram of a pixel portion of a conventional EL display.

【図24】 従来のELディスプレイの駆動方法を示す
タイミングチャート。
FIG. 24 is a timing chart showing a driving method of a conventional EL display.

【図25】 TFTのIDS−VGS特性を示す図。FIG. 25 is a diagram showing an I DS -V GS characteristic of a TFT.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/04 H05B 33/04 33/08 33/08 33/12 33/12 B 33/14 33/14 B 33/22 33/22 Z Fターム(参考) 3K007 AB02 AB04 AB11 AB18 BA06 BB01 BB04 BB05 BB07 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 GA02 GA04 5C080 AA06 BB05 DD05 EE29 FF11 JJ02 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 KK43 KK47 5C094 AA07 AA08 AA21 AA31 AA53 AA55 AA56 BA03 BA12 BA27 CA19 CA24 DA09 DA13 DB01 DB04 DB10 EA04 EA05 EA10 EB02 EC03 FA01 FB01 FB12 FB14 FB15 GA10 GB10 JA01Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) H05B 33/04 H05B 33/04 33/08 33/08 33/12 33/12 B 33/14 33/14 B 33 / 22 33/22 ZF term (reference) 3K007 AB02 AB04 AB11 AB18 BA06 BB01 BB04 BB05 BB07 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 GA02 GA04 5C080 AA06 BB05 DD05 EE29 FF11 JJ02 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 KK43 A53A03A53A03A03A53A03A53A03A53A53A03A53A3A BA27 CA19 CA24 DA09 DA13 DB01 DB04 DB10 EA04 EA05 EA10 EB02 EC03 FA01 FB01 FB12 FB14 FB15 GA10 GB10 JA01

Claims (25)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】EL素子を有する画素が複数設けられた発
光装置であって、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記複数の画素は、前記EL素子の有する対向電極が各
ライン毎に互いに接続されており、 デジタルビデオ信号によって、前記画素電極の電位が制
御されていることを特徴とする発光装置。
1. A light-emitting device provided with a plurality of pixels each having an EL element, wherein the EL element includes a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. The light emitting device according to claim 1, wherein the plurality of pixels have a counter electrode of the EL element connected to each other for each line, and a potential of the pixel electrode is controlled by a digital video signal.
【請求項2】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線駆
動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部とを有する発
光装置であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、EL素子と、スイッチング用TFT
と、EL駆動用TFTとをそれぞれ有し、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記対向電源線駆動回路によって前記対向電極の電位が
制御され、 前記ゲート信号線駆動回路によって前記スイッチング用
TFTの駆動が制御され、 前記スイッチング用TFTによって前記EL駆動用TF
Tの駆動が制御され、 前記EL駆動用TFTによって前記画素電極の電位が制
御されることを特徴とする発光装置。
2. A light emitting device having a source signal line drive circuit, a gate signal line drive circuit, a counter power supply line drive circuit, and a pixel portion, wherein the pixel portion has a plurality of pixels, The plurality of pixels include an EL element and a switching TFT.
And an EL driving TFT. The EL element has a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. The gate signal line driving circuit controls the driving of the switching TFT, and the switching TFT controls the EL driving TF.
A light-emitting device, wherein driving of T is controlled, and a potential of the pixel electrode is controlled by the EL driving TFT.
【請求項3】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線駆
動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部とを有する発
光装置であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、EL素子と、スイッチング用TFT
と、EL駆動用TFTとをそれぞれ有し、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記ゲート信号線駆動回路によって前記スイッチング用
TFTの駆動が制御され、 前記スイッチング用TFTによって前記EL駆動用TF
Tの駆動が制御され、 前記EL駆動用TFTによって前記画素電極の電位が制
御され、前記対向電源線駆動回路によって前記対向電極
の電位が制御されることで、前記EL素子の発光する時
間が制御され、階調表示が行われることを特徴とする発
光装置。
3. A light emitting device having a source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power line driving circuit, and a pixel portion, wherein the pixel portion has a plurality of pixels, The plurality of pixels include an EL element and a switching TFT.
And an EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. The driving of the switching TFT is controlled by the switching TFT, and the EL driving TF is controlled by the switching TFT.
The driving of T is controlled, the potential of the pixel electrode is controlled by the EL driving TFT, and the potential of the counter electrode is controlled by the counter power supply line driving circuit, so that the light emission time of the EL element is controlled. A light emitting device for performing gradation display.
【請求項4】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線駆
動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部と、前記ソー
ス信号線駆動回路に接続された複数のソース信号線と、
前記ゲート信号線駆動回路に接続された複数のゲート信
号線と、前記対向電源線駆動回路に接続された複数の対
向電源線と、複数の電源供給線とを有する発光装置であ
って、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、スイッチング用TFTと、EL駆動
用TFTと、EL素子とをそれぞれ有し、 前記スイッチング用TFTが有するゲート電極は、前記
複数のゲート信号線のいずれか1つと接続されており、
前記スイッチング用TFTが有するソース領域とドレイ
ン領域は、一方は前記複数のソース信号線のいずれか1
つと接続され、もう一方は前記EL駆動用TFTが有す
るゲート電極と接続されており、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記EL駆動用TFTが有するソース領域は前記複数の
電源供給線のいずれか1つに接続されており、前記EL
駆動用TFTが有するドレイン領域は前記画素電極に接
続されており、 前記対向電極は前記複数の対向電源線のいずれか1つと
接続されていることを特徴とする発光装置。
4. A source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power supply line driving circuit, a pixel portion, and a plurality of source signal lines connected to the source signal line driving circuit.
A light emitting device having a plurality of gate signal lines connected to the gate signal line driving circuit, a plurality of opposed power lines connected to the opposed power line driving circuit, and a plurality of power supply lines, wherein the pixel The unit has a plurality of pixels, the plurality of pixels each include a switching TFT, an EL driving TFT, and an EL element, and the gate electrode of the switching TFT includes the plurality of gates. Connected to one of the signal lines,
One of the source region and the drain region of the switching TFT is one of the plurality of source signal lines.
And the other is connected to a gate electrode of the EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. A source region of the EL driving TFT is connected to any one of the plurality of power supply lines;
A light-emitting device, wherein a drain region of the driving TFT is connected to the pixel electrode, and the counter electrode is connected to any one of the plurality of counter power lines.
【請求項5】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線駆
動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部と、前記ソー
ス信号線駆動回路に接続された複数のソース信号線と、
前記ゲート信号線駆動回路に接続された複数のゲート信
号線と、前記対向電源線駆動回路に接続された複数の対
向電源線と、複数の電源供給線とを有する発光装置であ
って、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、スイッチング用TFTと、EL駆動
用TFTと、EL素子とをそれぞれ有し、 前記スイッチング用TFTが有するゲート電極は、前記
複数のゲート信号線のいずれか1つと接続されており、
前記スイッチング用TFTが有するソース領域とドレイ
ン領域は、一方は前記複数のソース信号線のいずれか1
つと接続され、もう一方は前記EL駆動用TFTが有す
るゲート電極と接続されており、 前記EL素子は、画素電極と、一定の電位に保たれた対
向電極と、前記画素電極と対向電極の間に設けられたE
L層とを有し、 前記EL駆動用TFTが有するソース領域は前記複数の
電源供給線のいずれか1つに接続されており、前記EL
駆動用TFTが有するドレイン領域は前記画素電極に接
続されており、 前記対向電極は前記複数の対向電源線のいずれか1つと
接続されていることを特徴とする発光装置。
5. A source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power supply line driving circuit, a pixel portion, and a plurality of source signal lines connected to the source signal line driving circuit.
A light emitting device having a plurality of gate signal lines connected to the gate signal line driving circuit, a plurality of opposed power lines connected to the opposed power line driving circuit, and a plurality of power supply lines, wherein the pixel The unit has a plurality of pixels, the plurality of pixels each include a switching TFT, an EL driving TFT, and an EL element, and the gate electrode of the switching TFT includes the plurality of gates. Connected to one of the signal lines,
One of the source region and the drain region of the switching TFT is one of the plurality of source signal lines.
And the other is connected to a gate electrode of the EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode maintained at a fixed potential, and a pixel electrode and a counter electrode. E provided in
A source region of the EL driving TFT, the source region being connected to any one of the plurality of power supply lines;
A light-emitting device, wherein a drain region of the driving TFT is connected to the pixel electrode, and the counter electrode is connected to any one of the plurality of counter power lines.
【請求項6】請求項2乃至請求項5のいずれか1項にお
いて、前記画素電極が陽極である場合、前記EL駆動用
TFTはpチャネル型TFTであることを特徴とする発
光装置。
6. The light emitting device according to claim 2, wherein when the pixel electrode is an anode, the EL driving TFT is a p-channel TFT.
【請求項7】請求項2乃至請求項5のいずれか1項にお
いて、前記画素電極が陰極である場合、前記EL駆動用
TFTはnチャネル型TFTであることを特徴とする発
光装置。
7. The light emitting device according to claim 2, wherein when the pixel electrode is a cathode, the EL driving TFT is an n-channel TFT.
【請求項8】請求項2乃至請求項7のいずれか1項にお
いて、前記画素電極と、前記EL駆動用TFTが有する
ドレイン領域とは、直接、もしくは少なくとも1つの配
線を介して接続されており、 前記画素電極が、前記EL駆動用TFTが有するドレイ
ン領域、もしくは前記少なくとも1つの配線と接続して
いる領域の上にバンクが形成されていることを特徴とす
る発光装置。
8. The pixel according to claim 2, wherein the pixel electrode and the drain region of the EL driving TFT are connected directly or via at least one wiring. A light-emitting device, wherein the pixel electrode has a bank formed on a drain region of the EL driving TFT or a region connected to the at least one wiring.
【請求項9】請求項8において、前記バンクは遮光性を
有していることを特徴とする発光装置。
9. A light emitting device according to claim 8, wherein said bank has a light shielding property.
【請求項10】請求項2乃至請求項9のいずれか1項に
おいて、前記スイッチング用TFTまたは前記EL駆動
用TFTがトップゲート型であることを特徴とする発光
装置。
10. The light emitting device according to claim 2, wherein the switching TFT or the EL driving TFT is a top gate type.
【請求項11】請求項2乃至請求項9のいずれか1項に
おいて、前記スイッチング用TFTまたは前記EL駆動
用TFTがボトムゲート型であることを特徴とする発光
装置。
11. The light emitting device according to claim 2, wherein the switching TFT or the EL driving TFT is a bottom gate type.
【請求項12】請求項1乃至請求項11のいずれか1項
において、前記EL層は低分子系有機物質またはポリマ
ー系有機物質であることを特徴とする発光装置。
12. A light emitting device according to claim 1, wherein said EL layer is made of a low molecular weight organic material or a polymer organic material.
【請求項13】請求項12において、前記低分子系有機
物質は、Alq3(トリス−8−キノリライト−アルミ
ニウム)またはTPD(トリフェニルアミン誘導体)か
らなることを特徴とする発光装置。
13. The light emitting device according to claim 12, wherein the low molecular weight organic substance is made of Alq 3 (tris-8-quinolilite-aluminum) or TPD (triphenylamine derivative).
【請求項14】請求項12において、前記ポリマー系有
機物質は、PPV(ポリフェニレンビニレン)、PVK
(ポリビニルカルバゾール)またはポリカーボネートか
らなることを特徴とする発光装置。
14. The method according to claim 12, wherein said polymer organic substance is PPV (polyphenylene vinylene), PVK
A light-emitting device comprising (polyvinyl carbazole) or polycarbonate.
【請求項15】請求項1乃至請求項14のいずれか1項
において、コンピューターであることを特徴とする発光
装置。
15. The light emitting device according to claim 1, wherein the light emitting device is a computer.
【請求項16】請求項1乃至請求項14のいずれか1項
において、ビデオカメラであることを特徴とする発光装
置。
16. A light-emitting device according to claim 1, wherein the light-emitting device is a video camera.
【請求項17】請求項1乃至請求項14のいずれか1項
において、DVDプレーヤーであることを特徴とする発
光装置。
17. A light emitting device according to claim 1, wherein the light emitting device is a DVD player.
【請求項18】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線
駆動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部とを有する
発光装置の駆動方法であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、EL素子と、スイッチング用TFT
と、EL駆動用TFTとをそれぞれ有し、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記対向電源線駆動回路によって前記対向電極の電位が
制御され、 前記ゲート信号線駆動回路によって前記スイッチング用
TFTの駆動が制御され、 前記スイッチング用TFTによって前記EL駆動用TF
Tの駆動が制御され、 前記EL駆動用TFTによって前記画素電極の電位が制
御され、 前記画素部の各ラインの画素のそれぞれにおいて、1フ
レーム期間中にn個の表示期間Tr1、Tr2、…及び
Trnと、j個の非表示期間Td1、Td2、…及びT
djとが出現し、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…またはTrnの
うち任意の表示期間Tri(i=1、…、n)は、n個
の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTanのうち
任意の書き込み期間Taiにおいてデジタルビデオ信号
が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記画
素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL
素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられてか
ら、前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…または
Tanのうち前記書き込み期間Taiの次に出現する書
き込み期間においてデジタルビデオ信号が前記画素部の
各ラインの画素に入力され、かつ前記画素部の各ライン
の画素がそれぞれ有する全ての前記EL素子の前記対向
電極にオンの対向電位が与えられるまで、もしくはj個
の消去期間Te1、Te2、…またはTejのうち任意
の消去期間Tek(k=1、…、j)において前記画素
部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL素
子の前記対向電極にオフの対向電位が与えられるまでの
期間であり、 前記j個の非表示期間Td1、Td2、…またはTdj
のうち任意の非表示期間Tdkは、前記j個の消去期間
Te1、Te2、…またはTejのうち任意の消去期間
Tekにおいて前記画素部の各ラインの画素がそれぞれ
有する全ての前記EL素子の前記対向電極にオフの対向
電位が与えられてから、前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのうち前記消去期間Tek
の次に出現する書き込み期間においてデジタルビデオ信
号が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記
画素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記E
L素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられるま
での期間であり、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTa
nのいずれか1つは、前記j個の消去期間Te1、Te
2、…またはTejのいずれか1つまたは2つと一部重
なっており、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…及びTan
が全て出現した後、再び前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのいずれか1つが出現し、 前記デジタルビデオ信号によって、前記n個の表示期間
Tr1、Tr2、…及びTrnにおいて前記EL素子が
発光するか発光しないかが選択され、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…及びTrnの長
さの比は、20:21:…、2(n-1)で表されることを特
徴とする発光装置の駆動方法。
18. A method for driving a light emitting device including a source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power supply line driving circuit, and a pixel portion, wherein the pixel portion has a plurality of pixels. The plurality of pixels are an EL element and a switching TFT
And an EL driving TFT. The EL element has a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. The gate signal line driving circuit controls the driving of the switching TFT, and the switching TFT controls the EL driving TF.
The driving of T is controlled, the electric potential of the pixel electrode is controlled by the EL driving TFT, and n display periods Tr1, Tr2,... Trn and j non-display periods Td1, Td2,.
dj appear, and an arbitrary display period Tri (i = 1,..., n) of the n display periods Tr1, Tr2,... or Trn corresponds to n write periods Ta1, Ta2,. In an arbitrary writing period Tai, a digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the ELs of the pixels of each line of the pixel portion are provided.
The digital video signal is applied to the pixel section in a writing period that appears next to the writing period Tai of the n writing periods Ta1, Ta2,... Or Tan after the on-potential is applied to the counter electrode of the element. Until the ON counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements included in the pixels of each line of the pixel section, or j erase periods Te1, Te2, .. Or Tej in an arbitrary erasing period Tek (k = 1,..., J) until an off counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements of the pixels in each line of the pixel portion. , Or Tj, the j non-display periods Td1, Td2,.
Among the j erasing periods Te1, Te2,... Or Tej, the non-display period Tdk is opposite to all of the EL elements of the pixels of each line of the pixel section. After the off counter potential is applied to the electrodes, the n writing periods Ta
The erasing period Tek of 1, Ta2,.
In the next writing period, the digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the E that each pixel of each line of the pixel portion has
.., Or Ta, which is a period until an on-potential is applied to the opposing electrode of the L element, and the n writing periods Ta1, Ta2,.
n is one of the j erase periods Te1 and Te
, Or Tej, and partially overlaps with any one or two of the Tej, and the n write periods Ta1, Ta2,.
After all have appeared, the n write periods Ta
, Ta2,... Or Tan appears, and the digital video signal selects whether the EL element emits or does not emit light in the n display periods Tr1, Tr2,. n display periods Tr1, Tr2, ..., and the ratio of the length Trn is 2 0: 2 1: ..., 2 a driving method of a light-emitting device characterized by being represented by (n-1).
【請求項19】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線
駆動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部とを有する
発光装置の駆動方法であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、EL素子と、スイッチング用TFT
と、EL駆動用TFTとをそれぞれ有し、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記ゲート信号線駆動回路によって前記スイッチング用
TFTの駆動が制御され、 前記スイッチング用TFTによって前記EL駆動用TF
Tの駆動が制御され、前記EL駆動用TFTによって前
記画素電極の電位が制御され、前記対向電源線駆動回路
によって前記対向電極の電位が制御されることで、前記
EL素子の発光する時間が制御され、階調表示が行わ
れ、 前記画素部の各ラインの画素のそれぞれにおいて、1フ
レーム期間中にn個の表示期間Tr1、Tr2、…及び
Trnと、j個の非表示期間Td1、Td2、…及びT
djとが出現し、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…またはTrnの
うち任意の表示期間Tri(i=1、…、n)は、n個
の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTanのうち
任意の書き込み期間Taiにおいてデジタルビデオ信号
が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記画
素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL
素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられてか
ら、前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…または
Tanのうち前記書き込み期間Taiの次に出現する書
き込み期間においてデジタルビデオ信号が前記画素部の
各ラインの画素に入力され、かつ前記画素部の各ライン
の画素がそれぞれ有する全ての前記EL素子の前記対向
電極にオンの対向電位が与えられるまで、もしくはj個
の消去期間Te1、Te2、…またはTejのうち任意
の消去期間Tek(k=1、…、j)において前記画素
部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL素
子の前記対向電極にオフの対向電位が与えられるまでの
期間であり、 前記j個の非表示期間Td1、Td2、…またはTdj
のうち任意の非表示期間Tdkは、前記j個の消去期間
Te1、Te2、…またはTejのうち任意の消去期間
Tekにおいて前記画素部の各ラインの画素がそれぞれ
有する全ての前記EL素子の前記対向電極にオフの対向
電位が与えられてから、前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのうち前記消去期間Tek
の次に出現する書き込み期間においてデジタルビデオ信
号が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記
画素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記E
L素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられるま
での期間であり、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTa
nのいずれか1つは、前記j個の消去期間Te1、Te
2、…またはTejのいずれか1つまたは2つと一部重
なっており、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…及びTan
が全て出現した後、再び前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのいずれか1つが出現し、 前記デジタルビデオ信号によって、前記n個の表示期間
Tr1、Tr2、…及びTrnにおいて前記EL素子が
発光するか発光しないかが選択され、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…及びTrnの長
さの比は、20:21:…、2(n-1)で表されることを特
徴とする発光装置の駆動方法。
19. A driving method of a light emitting device including a source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power supply line driving circuit, and a pixel portion, wherein the pixel portion has a plurality of pixels. The plurality of pixels are an EL element and a switching TFT
And an EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. The driving of the switching TFT is controlled by the switching TFT, and the EL driving TF is controlled by the switching TFT.
The driving time of the EL element is controlled by controlling the driving of T, controlling the potential of the pixel electrode by the EL driving TFT, and controlling the potential of the counter electrode by the counter power supply line driving circuit. .., Trn, and j non-display periods Td1, Td2,..., Tn in one frame period in each pixel of each line of the pixel portion. … And T
dj appear, and an arbitrary display period Tri (i = 1,..., n) of the n display periods Tr1, Tr2,... or Trn corresponds to n write periods Ta1, Ta2,. In an arbitrary writing period Tai, a digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the ELs of the pixels of each line of the pixel portion are provided.
The digital video signal is applied to the pixel section in a writing period that appears next to the writing period Tai of the n writing periods Ta1, Ta2,... Or Tan after the on-potential is applied to the counter electrode of the element. Until the ON counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements included in the pixels of each line of the pixel section, or j erase periods Te1, Te2, .. Or Tej in an arbitrary erasing period Tek (k = 1,..., J) until an off counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements of the pixels in each line of the pixel portion. , Or Tj, the j non-display periods Td1, Td2,.
Among the j erasing periods Te1, Te2,... Or Tej, the non-display period Tdk is opposite to all of the EL elements of the pixels of each line of the pixel unit in the erasing period Tek. After the off counter potential is applied to the electrodes, the n writing periods Ta
The erasing period Tek of 1, Ta2,.
In the next writing period, the digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the E that each pixel of each line of the pixel portion has
.., Or Ta, which is a period until an on-potential is applied to the opposing electrode of the L element, and the n writing periods Ta1, Ta2,.
n is one of the j erase periods Te1 and Te
, Or Tej, and partially overlaps with any one or two of the Tej, and the n write periods Ta1, Ta2,.
After all have appeared, the n write periods Ta
, Ta2,... Or Tan appears, and the digital video signal selects whether the EL element emits or does not emit light in the n display periods Tr1, Tr2,. n display periods Tr1, Tr2, ..., and the ratio of the length Trn is 2 0: 2 1: ..., 2 a driving method of a light-emitting device characterized by being represented by (n-1).
【請求項20】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線
駆動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部と、前記ソ
ース信号線駆動回路に接続された複数のソース信号線
と、前記ゲート信号線駆動回路に接続された複数のゲー
ト信号線と、前記対向電源線駆動回路に接続された複数
の対向電源線と、複数の電源供給線とを有する発光装置
の駆動方法であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、スイッチング用TFTと、EL駆動
用TFTと、EL素子とをそれぞれ有し、 前記スイッチング用TFTが有するゲート電極は、前記
複数のゲート信号線のいずれか1つと接続されており、
前記スイッチング用TFTが有するソース領域とドレイ
ン領域は、一方は前記複数のソース信号線のいずれか1
つと接続され、もう一方は前記EL駆動用TFTが有す
るゲート電極と接続されており、 前記EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電
極と対向電極の間に設けられたEL層とを有し、 前記EL駆動用TFTが有するソース領域は前記複数の
電源供給線のいずれか1つに接続されており、前記EL
駆動用TFTが有するドレイン領域は前記画素電極に接
続されており、 前記対向電極は前記複数の対向電源線のいずれか1つと
接続され、 前記画素部の各ラインの画素のそれぞれにおいて、1フ
レーム期間中にn個の表示期間Tr1、Tr2、…及び
Trnと、j個の非表示期間Td1、Td2、…及びT
djとが出現し、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…またはTrnの
うち任意の表示期間Tri(i=1、…、n)は、n個
の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTanのうち
任意の書き込み期間Taiにおいてデジタルビデオ信号
が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記画
素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL
素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられてか
ら、前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…または
Tanのうち前記書き込み期間Taiの次に出現する書
き込み期間においてデジタルビデオ信号が前記画素部の
各ラインの画素に入力され、かつ前記画素部の各ライン
の画素がそれぞれ有する全ての前記EL素子の前記対向
電極にオンの対向電位が与えられるまで、もしくはj個
の消去期間Te1、Te2、…またはTejのうち任意
の消去期間Tek(k=1、…、j)において前記画素
部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL素
子の前記対向電極にオフの対向電位が与えられるまでの
期間であり、 前記j個の非表示期間Td1、Td2、…またはTdj
のうち任意の非表示期間Tdkは、前記j個の消去期間
Te1、Te2、…またはTejのうち任意の消去期間
Tekにおいて前記画素部の各ラインの画素がそれぞれ
有する全ての前記EL素子の前記対向電極にオフの対向
電位が与えられてから、前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのうち前記消去期間Tek
の次に出現する書き込み期間においてデジタルビデオ信
号が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記
画素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記E
L素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられるま
での期間であり、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTa
nのいずれか1つは、前記j個の消去期間Te1、Te
2、…またはTejのいずれか1つまたは2つと一部重
なっており、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…及びTan
が全て出現した後、再び前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのいずれか1つが出現し、 前記デジタルビデオ信号によって、前記n個の表示期間
Tr1、Tr2、…及びTrnにおいて前記EL素子が
発光するか発光しないかが選択され、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…及びTrnの長
さの比は、20:21:…、2(n-1)で表されることを特
徴とする発光装置の駆動方法。
20. A source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, a counter power supply line driving circuit, a pixel portion, a plurality of source signal lines connected to the source signal line driving circuit, and the gate signal A method for driving a light emitting device, comprising: a plurality of gate signal lines connected to a line driving circuit; a plurality of opposing power lines connected to the opposing power line driving circuit; and a plurality of power supply lines. The unit has a plurality of pixels, the plurality of pixels each include a switching TFT, an EL driving TFT, and an EL element, and the gate electrode of the switching TFT includes the plurality of gates. Connected to one of the signal lines,
One of the source region and the drain region of the switching TFT is one of the plurality of source signal lines.
And the other is connected to a gate electrode of the EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode, and an EL layer provided between the pixel electrode and the counter electrode. A source region of the EL driving TFT is connected to any one of the plurality of power supply lines;
A drain region of the driving TFT is connected to the pixel electrode; the counter electrode is connected to any one of the plurality of counter power lines; .. And Trn, and j non-display periods Td1, Td2,.
dj appear, and an arbitrary display period Tri (i = 1,..., n) of the n display periods Tr1, Tr2,... or Trn corresponds to n write periods Ta1, Ta2,. In an arbitrary writing period Tai, a digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the ELs of the pixels of each line of the pixel portion are provided.
The digital video signal is applied to the pixel section in a writing period that appears next to the writing period Tai of the n writing periods Ta1, Ta2,... Or Tan after the on-potential is applied to the counter electrode of the element. Until the ON counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements included in the pixels of each line of the pixel section, or j erase periods Te1, Te2, .. Or Tej in an arbitrary erasing period Tek (k = 1,..., J) until an off counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements of the pixels in each line of the pixel portion. , Or Tj, the j non-display periods Td1, Td2,.
Among the j erasing periods Te1, Te2,... Or Tej, the non-display period Tdk is opposite to all of the EL elements of the pixels of each line of the pixel unit in the erasing period Tek. After the off counter potential is applied to the electrodes, the n writing periods Ta
The erasing period Tek of 1, Ta2,.
In the next writing period, the digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the E that each pixel of each line of the pixel portion has
.., Or Ta, which is a period until an on-potential is applied to the opposing electrode of the L element, and the n writing periods Ta1, Ta2,.
n is one of the j erase periods Te1 and Te
, Or Tej, and partially overlaps with any one or two of the Tej, and the n write periods Ta1, Ta2,.
After all have appeared, the n write periods Ta
, Ta2,... Or Tan appears, and the digital video signal selects whether the EL element emits or does not emit light in the n display periods Tr1, Tr2,. n display periods Tr1, Tr2, ..., and the ratio of the length Trn is 2 0: 2 1: ..., 2 a driving method of a light-emitting device characterized by being represented by (n-1).
【請求項21】ソース信号線駆動回路と、ゲート信号線
駆動回路と、対向電源線駆動回路と、画素部と、前記ソ
ース信号線駆動回路に接続された複数のソース信号線
と、前記ゲート信号線駆動回路に接続された複数のゲー
ト信号線と、前記対向電源線駆動回路に接続された複数
の対向電源線と、複数の電源供給線とを有する発光装置
の駆動方法であって、 前記画素部は複数の画素を有しており、 前記複数の画素は、スイッチング用TFTと、EL駆動
用TFTと、EL素子とをそれぞれ有し、 前記スイッチング用TFTが有するゲート電極は、前記
複数のゲート信号線のいずれか1つと接続されており、
前記スイッチング用TFTが有するソース領域とドレイ
ン領域は、一方は前記複数のソース信号線のいずれか1
つと接続され、もう一方は前記EL駆動用TFTが有す
るゲート電極と接続されており、 前記EL素子は、画素電極と、一定の電位に保たれた対
向電極と、前記画素電極と対向電極の間に設けられたE
L層とを有し、 前記EL駆動用TFTが有するソース領域は前記複数の
電源供給線のいずれか1つに接続されており、前記EL
駆動用TFTが有するドレイン領域は前記画素電極に接
続されており、 前記対向電極は前記複数の対向電源線のいずれか1つと
接続され、 前記画素部の各ラインの画素のそれぞれにおいて、1フ
レーム期間中にn個の表示期間Tr1、Tr2、…及び
Trnと、j個の非表示期間Td1、Td2、…及びT
djとが出現し、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…またはTrnの
うち任意の表示期間Tri(i=1、…、n)は、n個
の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTanのうち
任意の書き込み期間Taiにおいてデジタルビデオ信号
が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記画
素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL
素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられてか
ら、前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…または
Tanのうち前記書き込み期間Taiの次に出現する書
き込み期間においてデジタルビデオ信号が前記画素部の
各ラインの画素に入力され、かつ前記画素部の各ライン
の画素がそれぞれ有する全ての前記EL素子の前記対向
電極にオンの対向電位が与えられるまで、もしくはj個
の消去期間Te1、Te2、…またはTejのうち任意
の消去期間Tek(k=1、…、j)において前記画素
部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記EL素
子の前記対向電極にオフの対向電位が与えられるまでの
期間であり、 前記j個の非表示期間Td1、Td2、…またはTdj
のうち任意の非表示期間Tdkは、前記j個の消去期間
Te1、Te2、…またはTejのうち任意の消去期間
Tekにおいて前記画素部の各ラインの画素がそれぞれ
有する全ての前記EL素子の前記対向電極にオフの対向
電位が与えられてから、前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのうち前記消去期間Tek
の次に出現する書き込み期間においてデジタルビデオ信
号が前記画素部の各ラインの画素に入力され、かつ前記
画素部の各ラインの画素がそれぞれ有する全ての前記E
L素子の前記対向電極にオンの対向電位が与えられるま
での期間であり、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…またはTa
nのいずれか1つは、前記j個の消去期間Te1、Te
2、…またはTejのいずれか1つまたは2つと一部重
なっており、 前記n個の書き込み期間Ta1、Ta2、…及びTan
が全て出現した後、再び前記n個の書き込み期間Ta
1、Ta2、…またはTanのいずれか1つが出現し、 前記デジタルビデオ信号によって、前記n個の表示期間
Tr1、Tr2、…及びTrnにおいて前記EL素子が
発光するか発光しないかが選択され、 前記n個の表示期間Tr1、Tr2、…及びTrnの長
さの比は、20:21:…、2(n-1)で表されることを特
徴とする発光装置の駆動方法。
21. A source signal line drive circuit, a gate signal line drive circuit, a counter power supply line drive circuit, a pixel portion, a plurality of source signal lines connected to the source signal line drive circuit, and the gate signal A method for driving a light emitting device, comprising: a plurality of gate signal lines connected to a line driving circuit; a plurality of opposing power lines connected to the opposing power line driving circuit; and a plurality of power supply lines. The unit has a plurality of pixels, the plurality of pixels each include a switching TFT, an EL driving TFT, and an EL element, and the gate electrode of the switching TFT includes the plurality of gates. Connected to one of the signal lines,
One of the source region and the drain region of the switching TFT is one of the plurality of source signal lines.
And the other is connected to a gate electrode of the EL driving TFT. The EL element includes a pixel electrode, a counter electrode maintained at a fixed potential, and a pixel electrode and a counter electrode. E provided in
A source region of the EL driving TFT, the source region being connected to any one of the plurality of power supply lines;
A drain region of the driving TFT is connected to the pixel electrode; the counter electrode is connected to any one of the plurality of counter power lines; .. And Trn, and j non-display periods Td1, Td2,.
dj appear, and an arbitrary display period Tri (i = 1,..., n) of the n display periods Tr1, Tr2,... or Trn corresponds to n write periods Ta1, Ta2,. In an arbitrary writing period Tai, a digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the ELs of the pixels of each line of the pixel portion are provided.
The digital video signal is applied to the pixel section in a writing period that appears next to the writing period Tai of the n writing periods Ta1, Ta2,... Or Tan after the on-potential is applied to the counter electrode of the element. Until the ON counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements included in the pixels of each line of the pixel section, or j erase periods Te1, Te2, .. Or Tej in an arbitrary erasing period Tek (k = 1,..., J) until an off counter potential is applied to the counter electrodes of all the EL elements of the pixels in each line of the pixel portion. , Or Tj, the j non-display periods Td1, Td2,.
Among the j erasing periods Te1, Te2,... Or Tej, the non-display period Tdk is opposite to all of the EL elements of the pixels of each line of the pixel unit in the erasing period Tek. After the off counter potential is applied to the electrodes, the n writing periods Ta
The erasing period Tek of 1, Ta2,.
In the next writing period, the digital video signal is input to the pixels of each line of the pixel portion, and all the E that each pixel of each line of the pixel portion has
.., Or Ta, which is a period until an on-potential is applied to the opposing electrode of the L element, and the n writing periods Ta1, Ta2,.
n is one of the j erase periods Te1 and Te
, Or Tej, and partially overlaps with any one or two of the Tej, and the n write periods Ta1, Ta2,.
After all have appeared, the n write periods Ta
, Ta2,... Or Tan appears, and the digital video signal selects whether the EL element emits or does not emit light in the n display periods Tr1, Tr2,. n display periods Tr1, Tr2, ..., and the ratio of the length Trn is 2 0: 2 1: ..., 2 a driving method of a light-emitting device characterized by being represented by (n-1).
【請求項22】請求項18乃至請求項21のいずれか1
項において、 前記非表示期間Td1、Td2、…、Tdjのうち一番
長い非表示期間が、フレーム期間中において一番最後に
出現することを特徴とする発光装置の駆動方法。
22. One of claims 18 to 21.
In the paragraph, the longest non-display period among the non-display periods Td1, Td2,..., Tdj appears last in a frame period.
【請求項23】請求項18乃至請求項22のいずれか1
項において、前記書き込み期間Ta1、Ta2、…、T
anは互いに重なっていないことを特徴とする発光装置
の駆動方法。
23. Any one of claims 18 to 22.
, The writing periods Ta1, Ta2,..., T
a is a driving method of a light emitting device, wherein an does not overlap each other.
【請求項24】請求項18乃至請求項23のいずれか1
項において、前記消去期間Te1、Te2、…、Tej
は互いに重なっていないことを特徴とする発光装置の駆
動方法。
24. Any one of claims 18 to 23.
, The erase periods Te1, Te2,..., Tej
Are driving methods for a light-emitting device, which do not overlap each other.
【請求項25】請求項18乃至請求項24のいずれか1
項において、前記EL駆動用TFTは線形領域で駆動す
ることを特徴とする発光装置の駆動方法
25. One of claims 18 to 24.
9. The method for driving a light emitting device according to claim 1, wherein the EL driving TFT is driven in a linear region.
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