JP2002015691A - Scanning electron microscope - Google Patents

Scanning electron microscope

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JP2002015691A
JP2002015691A JP2000198064A JP2000198064A JP2002015691A JP 2002015691 A JP2002015691 A JP 2002015691A JP 2000198064 A JP2000198064 A JP 2000198064A JP 2000198064 A JP2000198064 A JP 2000198064A JP 2002015691 A JP2002015691 A JP 2002015691A
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Japan
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magnification
sample
electron
scanning
image
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JP2000198064A
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Japanese (ja)
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Masaki Saito
昌樹 斉藤
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Jeol Ltd
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Jeol Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a scanning electron microscope in which the actual magnification of a scan image and the length of an image on a display image plane can be correctly known. SOLUTION: For the scanning electron microscope designed so as to two- dimensionally scan an electron beam finely focused on a sample, detect a signal obtained from the sample, display a sample image in connection with the scanning of the electron beam based on the detected signal and also display the designated magnification according to the sizes of the two-dimensionally scanning region of the electron beam and the display region of the sample image, the scan image is displayed with specific magnification designated, and a standard sample is used to find an actual magnification so as to convert a value of the specific magnification into a value of the actual magnification or correct the length of a micron marker according to the actual magnification.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、正確な倍率の表示
を行うことができる走査電子顕微鏡に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning electron microscope capable of displaying an accurate magnification.

【0002】[0002]

【従来の技術】走査電子顕微鏡では、試料上に電子ビー
ムを細く集束すると共に、試料上の所定範囲を電子ビー
ムで走査するようにしている。試料に電子ビームを照射
することによって2次電子が発生するが、この2次電子
を検出し、この検出信号を一次電子ビームの走査と同期
した陰極線管に供給し、試料の走査像を表示するように
している。
2. Description of the Related Art In a scanning electron microscope, an electron beam is narrowly focused on a sample and a predetermined range on the sample is scanned with the electron beam. Secondary electrons are generated by irradiating the sample with an electron beam. The secondary electrons are detected, and the detection signal is supplied to a cathode ray tube synchronized with the scanning of the primary electron beam to display a scan image of the sample. Like that.

【0003】このようにして表示された走査像について
は、像の倍率を的確に知ることが像観察にとって必要と
なる。そのため、現在観察している走査像の倍率の値を
像を表示する陰極線管の一部に表示したり、通常ミクロ
ンマーカーと称される、所定の長さを表すマーカーを表
示するようにしている。
For the scanned image displayed in this manner, it is necessary for the image observation to know the magnification of the image accurately. For this reason, the value of the magnification of the currently observed scanning image is displayed on a part of the cathode ray tube for displaying the image, or a marker representing a predetermined length, usually called a micron marker, is displayed. .

【0004】一方、通常の走査電子顕微鏡の倍率として
は、数倍から数十万倍と大きな範囲で変えることができ
る。また、試料の観察条件も、倍率以外に試料の状態の
相違等により、一次電子ビームの加速電圧、照射電流
量、ワーキングディスタンス(対物レンズと試料との間
の距離)等を変化させるように構成されている。これら
の観察条件を変えることにより、倍率の精度は影響を受
けることになる。
On the other hand, the magnification of an ordinary scanning electron microscope can be changed within a large range from several times to several hundred thousand times. In addition, the observation conditions of the sample are configured such that the acceleration voltage of the primary electron beam, the amount of irradiation current, the working distance (the distance between the objective lens and the sample), etc. are changed according to the difference in the state of the sample other than the magnification. Have been. By changing these observation conditions, the accuracy of the magnification will be affected.

【0005】最近の走査電子顕微鏡では、走査電子顕微
鏡のメーカー側で倍率を調整し、上記した各種の観察条
件を変えても、陰極線管に表示されている倍率の値が一
定誤差の範囲以上にはならないように構成されている。
In recent scanning electron microscopes, even if the magnification is adjusted by the manufacturer of the scanning electron microscope and the above various observation conditions are changed, the value of the magnification displayed on the cathode ray tube exceeds a certain error range. It is configured not to be.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、装置のオペ
レータ側においては、ある特定条件下でより精度の高い
像観察を行いたいこともある。この場合、オペレータは
基準となる標準試料をその特定条件下で観察し、その標
準試料で倍率表示やミクロンマーカー等を校正して、校
正分を紙にメモし、その後試料を標準試料から実試料に
取り換え、実試料の画像を取得する。そして、得られた
観察画像に含まれる倍率値等の値をマニュアルで補正す
るようにしている。しかしこの場合、観察・記録された
画像と共に表示されている倍率値等は補正される前の値
が残されている。
On the operator side of the apparatus, there is a case where it is desired to perform more accurate image observation under a specific condition. In this case, the operator observes the reference standard sample under the specific conditions, calibrates the magnification display, the micron marker, etc. with the standard sample, writes down the calibration part on paper, and then moves the sample from the standard sample to the actual sample. To obtain an image of the actual sample. Then, values such as a magnification value included in the obtained observation image are manually corrected. However, in this case, the magnification value and the like displayed together with the observed and recorded image remain the values before correction.

【0007】なお、上記した校正は次のようにして行わ
れている。まず、標準試料のある特定の距離(例えばメ
ッシュの間隔等)をd、観察画面、記録上のdに対する
距離をD、倍率をMとすると、正しい倍率は次の式によ
って求められる。
The above-mentioned calibration is performed as follows. First, assuming that a specific distance of the standard sample (for example, a mesh interval) is d, a distance to d on an observation screen and a record is D, and a magnification is M, a correct magnification can be obtained by the following equation.

【0008】M=D/d ここで実試料の走査像を取得し、その際に走査像と共に
表示された倍率がmであった場合、倍率の補正値kはk
=M/mとなる。したがって、オペレータは、実試料の
走査像については、倍率はk・mであることを別途記録
しておく必要が生じる。
M = D / d Here, a scan image of the actual sample is obtained. If the magnification displayed together with the scan image at that time is m, the magnification correction value k is k
= M / m. Therefore, the operator needs to separately record that the magnification is km for the scanned image of the actual sample.

【0009】また、ミクロンマーカーが表示されている
場合には、ミクロンマーカーの長さがLとすると、f
(=L/M)だけ補正を行う必要が生じる。また、倍率
補正に近い機能として、線幅測長機能がある。これは、
測長しようとする目的物の長さ等を正確に測定するため
の機能であるが、この機能を使う場合でも、標準試料を
使用して測長画面に表示された各種の値をマニュアルで
補正する必要がある。
When the micron marker is displayed, if the length of the micron marker is L, f
(= L / M). As a function close to magnification correction, there is a line width measurement function. this is,
This function is used to accurately measure the length of the target object to be measured, but even when this function is used, the various values displayed on the length measurement screen using the standard sample are manually corrected. There is a need to.

【0010】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、走査像の実際の倍率や像の表示画
面上の長さを正確に知ることができる走査電子顕微鏡を
実現するにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to realize a scanning electron microscope capable of accurately knowing the actual magnification of a scanned image and the length of the image on a display screen. To be.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】第1の発明に基づく走査
電子顕微鏡は、試料上で細く集束した電子ビームを2次
元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信
号に基づき電子ビームの走査に関連させて試料像を表示
させると共に、電子ビームの2次元走査領域と試料像の
表示領域の大きさに応じた指定倍率を表示させるように
した走査電子顕微鏡において、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行うと共に、実倍率を求め、表示された特
定倍率の値を実倍率の値に変更し得るようにしたことを
特徴としている。
A scanning electron microscope according to the first invention two-dimensionally scans a finely focused electron beam on a sample, detects a signal obtained from the sample, and detects a signal based on the detected signal. In a scanning electron microscope in which a sample image is displayed in association with electron beam scanning and a designated magnification corresponding to the size of the two-dimensional scanning area of the electron beam and the display area of the sample image is displayed, a specific magnification is used. Is displayed, the actual magnification is obtained, and the displayed specific magnification value can be changed to the actual magnification value.

【0012】第1の発明では、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行う一方で、標準試料の像を観察して実倍
率を求め、表示された特定倍率の値を実倍率に修正す
る。第2の発明に基づく走査電子顕微鏡は、試料上で細
く集束した電子ビームを2次元的に走査し、試料から得
られた信号を検出し、検出信号に基づき電子ビームの走
査に関連させて試料像を表示させると共に、電子ビーム
の2次元走査領域と試料像の表示領域の大きさに応じた
指定倍率に基づいたマーカーと、そのマーカーの長さに
対応する長さの値を表示するようにした走査電子顕微鏡
において、特定の倍率を指定して走査像の表示を行うと
共に、実倍率を求め、特定倍率の値と実倍率の値の比に
応じてマーカーの長さかマーカーの長さに対応する長さ
の表示値を変更し得るようにしたことを特徴としてい
る。
In the first invention, while a scanning image is displayed by designating a specific magnification, the actual magnification is obtained by observing the image of the standard sample, and the displayed value of the specific magnification is corrected to the actual magnification. I do. The scanning electron microscope based on the second invention scans a finely focused electron beam on a sample two-dimensionally, detects a signal obtained from the sample, and, based on the detected signal, relates the sample to the scanning of the electron beam. In addition to displaying an image, a marker based on a specified magnification according to the size of the two-dimensional scanning area of the electron beam and the display area of the sample image and a value of the length corresponding to the length of the marker are displayed. In the scanning electron microscope, a specific magnification is designated and a scanned image is displayed, and the actual magnification is obtained. The marker length or the marker length is determined according to the ratio of the specific magnification value to the actual magnification value. The display value of the length to be changed can be changed.

【0013】第2の発明では、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行う一方で、標準試料の像を観察して実倍
率を求め、特定倍率の値と実倍率の値の比に応じてマー
カーの長さかマーカーの長さに対応する長さの表示値を
変更する。
In the second invention, while a specific magnification is designated and a scan image is displayed, an actual magnification is obtained by observing an image of a standard sample, and a ratio between the specific magnification value and the actual magnification value is calculated. The display value of the marker length or the length corresponding to the marker length is changed accordingly.

【0014】第3の発明に基づく走査電子顕微鏡は、試
料上で細く集束した電子ビームを2次元的に走査し、試
料から得られた信号を検出し、検出信号に基づき電子ビ
ームの走査に関連させて試料像を表示させると共に、電
子ビームの2次元走査領域と試料像の表示領域の大きさ
に応じた指定倍率を表示させるようにした走査電子顕微
鏡において、特定の倍率を指定して走査像の表示を行う
と共に、実倍率を求め、表示された特定倍率の値と実倍
率の値との比を表示するようにしたことを特徴としてい
る。
A scanning electron microscope according to a third aspect of the invention scans a finely focused electron beam on a sample two-dimensionally, detects a signal obtained from the sample, and relates to the scanning of the electron beam based on the detected signal. The scanning electron microscope is designed to display a sample image and to display a specified magnification according to the size of the two-dimensional scanning area of the electron beam and the display area of the sample image. Is displayed, the actual magnification is obtained, and the ratio between the displayed specific magnification value and the actual magnification value is displayed.

【0015】第3の発明では、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行う一方で、標準試料の像を観察して実倍
率を求め、表示された特定倍率の値と実倍率の値との比
を表示する。
In the third aspect of the present invention, while displaying a scanned image by specifying a specific magnification, the actual magnification is obtained by observing the image of the standard sample, and the displayed value of the specific magnification and the value of the actual magnification are displayed. Displays the ratio with.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明に基づく走
査電子顕微鏡の一例を示しているが、図中1は電子銃で
ある。電子銃1から発生し加速された電子ビーム2は、
集束レンズ3と対物レンズ4とによって試料5上に細く
集束されて照射される。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of a scanning electron microscope according to the present invention, in which 1 is an electron gun. The electron beam 2 generated from the electron gun 1 and accelerated is
The light is focused and finely focused on the sample 5 by the focusing lens 3 and the objective lens 4.

【0017】電子ビーム2は偏向器6によって偏向さ
れ、試料5上の電子ビームは2次元的に走査される。偏
向器6は、偏向器駆動回路7によって駆動されるが、偏
向器駆動回路7には、走査信号発生回路8からの走査信
号が倍率制御回路9を介して供給される。
The electron beam 2 is deflected by the deflector 6, and the electron beam on the sample 5 is scanned two-dimensionally. The deflector 6 is driven by a deflector driving circuit 7, and a scanning signal from a scanning signal generating circuit 8 is supplied to the deflector driving circuit 7 via a magnification control circuit 9.

【0018】試料5への電子ビーム2の照射によって発
生した例えば2次電子は、2次電子検出器10によって
検出される。検出器10の検出信号は、増幅器11によ
って増幅された後、信号処理回路12に供給され、コン
トラストや輝度調整等の信号処理が施される。信号処理
回路12からの映像信号は、表示制御回路13を介して
陰極線管14に供給される。
For example, secondary electrons generated by irradiating the sample 5 with the electron beam 2 are detected by a secondary electron detector 10. After the detection signal of the detector 10 is amplified by the amplifier 11, the signal is supplied to the signal processing circuit 12, where signal processing such as contrast and brightness adjustment is performed. The video signal from the signal processing circuit 12 is supplied to the cathode ray tube 14 via the display control circuit 13.

【0019】15はコンピュータであり、コンピュータ
15は倍率制御回路9やグラフィック信号発生回路16
を制御する。コンピュータ15には、キーボード等の入
力装置17や、倍率テーブルが格納されているメモリー
18とバッファメモリー19とが接続されている。この
ような構成の動作を次に説明する。
A computer 15 includes a magnification control circuit 9 and a graphic signal generation circuit 16.
Control. An input device 17 such as a keyboard, a memory 18 storing a magnification table, and a buffer memory 19 are connected to the computer 15. The operation of such a configuration will now be described.

【0020】2次電子像を得る場合、電子銃1から電子
ビーム2を発生させ、その電子ビームは、集束レンズ3
と対物レンズ4とによって試料5上に集束して照射され
る。それと同時に走査信号発生回路8からの走査信号を
倍率制御回路9で所望の振幅として偏向器駆動回路7に
供給する。この結果、偏向器6は駆動され、試料上の倍
率に応じた所望領域が電子ビームによって2次元的に走
査される。なお、倍率の指定は、入力装置17によって
行われ、その倍率に応じて倍率制御回路9が制御され
る。
When a secondary electron image is obtained, an electron beam 2 is generated from an electron gun 1, and the electron beam is
The sample 5 is focused on the sample 5 and irradiated by the objective lens 4. At the same time, the scanning signal from the scanning signal generating circuit 8 is supplied to the deflector driving circuit 7 as a desired amplitude by the magnification control circuit 9. As a result, the deflector 6 is driven, and a desired area corresponding to the magnification on the sample is two-dimensionally scanned by the electron beam. The magnification is specified by the input device 17, and the magnification control circuit 9 is controlled according to the magnification.

【0021】試料5から発生した2次電子は、2次電子
検出器10で検出され、検出信号は増幅器11によって
増幅された後、信号処理回路12でコントラストや輝度
調整が施される。信号処理回路12の出力信号は、表示
制御回路13を介して走査信号発生回路8からの信号に
同期した陰極線管14に輝度変調信号として供給され
る。
Secondary electrons generated from the sample 5 are detected by a secondary electron detector 10, and the detection signal is amplified by an amplifier 11, and then subjected to contrast and brightness adjustment by a signal processing circuit 12. An output signal of the signal processing circuit 12 is supplied as a luminance modulation signal to a cathode ray tube 14 synchronized with a signal from the scanning signal generation circuit 8 via a display control circuit 13.

【0022】この結果、陰極線管14上には、試料5の
所望領域の2次電子像が表示される。一方、コンピュー
タ15は入力装置16によって入力された倍率に基づい
て倍率制御回路9を制御する。すなわち、低倍率の場合
は走査信号の振幅を大きく調整し、高倍率の場合は倍率
に応じて走査信号の振幅を小さくする。
As a result, a secondary electron image of a desired area of the sample 5 is displayed on the cathode ray tube 14. On the other hand, the computer 15 controls the magnification control circuit 9 based on the magnification input by the input device 16. That is, when the magnification is low, the amplitude of the scanning signal is adjusted to be large, and when the magnification is high, the amplitude of the scanning signal is decreased according to the magnification.

【0023】ここで、メモリー18には電子銃1の加速
電圧ごとに倍率テーブルが記憶されている。このテーブ
ルは、例えば図2に示すような内容となっている。図2
は加速電圧が15kVの場合の倍率テーブルであり、選択
された倍率とワーキングディスタンスWDに応じた偏向
出力値Dnm、陰極線管14上に表示される倍率値Mnm、
ミクロンマーカーの陰極線管上の長さLnm、ミクロンマ
ーカーの表示長さの値Lnmがテーブルの形式で格納され
ている。
Here, the memory 18 stores a magnification table for each acceleration voltage of the electron gun 1. This table has the contents as shown in FIG. 2, for example. FIG.
Is a magnification table when the acceleration voltage is 15 kV, the deflection output value Dnm corresponding to the selected magnification and the working distance WD, the magnification value Mnm displayed on the cathode ray tube 14,
The length Lnm of the micron marker on the cathode ray tube and the display length value Lnm of the micron marker are stored in the form of a table.

【0024】このようなテーブルが各加速電圧ごとに準
備されメモリー18に記憶されている。入力装置17で
倍率を入力すると、その時の加速電圧値に応じたテーブ
ルの内容がメモリー18から読み出され、バッファメモ
リー19に転送されて記憶される。バッファメモリー1
9に転送された各値は、コンピュータ15によって読み
出される。
Such a table is prepared for each acceleration voltage and stored in the memory 18. When the magnification is input by the input device 17, the contents of the table corresponding to the acceleration voltage value at that time are read out from the memory 18, transferred to the buffer memory 19, and stored. Buffer memory 1
Each value transferred to 9 is read by the computer 15.

【0025】バッファメモリー19から読み出された偏
向出力値は、倍率制御回路9に供給される。倍率制御回
路9は、コンピューター15からの出力信号値に応じて
走査信号の振幅を制御し、倍率に応じた振幅の走査信号
を偏向器駆動回路7を介して偏向器6に供給する。その
結果、倍率に応じた試料上の領域が電子ビーム2によっ
て走査される。
The deflection output value read from the buffer memory 19 is supplied to the magnification control circuit 9. The magnification control circuit 9 controls the amplitude of the scanning signal according to the output signal value from the computer 15 and supplies the scanning signal having the amplitude according to the magnification to the deflector 6 via the deflector driving circuit 7. As a result, an area on the sample corresponding to the magnification is scanned by the electron beam 2.

【0026】一方、バッファメモリー19に記憶された
倍率表示値Mnm、ミクロンマーカーの長さLnm、マーカ
ーの表示長さの値Nnmの信号は、コンピューター15に
よって読み出され、グラフィック信号発生回路16に供
給される。グラフィック信号発生回路16は、供給され
た各信号M、L、Nのグラフィック信号を作成し、表示
制御回路13に供給する。
On the other hand, the signals of the magnification display value M nm, the micron marker length L nm, and the marker display length value N nm stored in the buffer memory 19 are read out by the computer 15 and supplied to the graphic signal generation circuit 16. Is done. The graphic signal generating circuit 16 creates a graphic signal of the supplied signals M, L, and N, and supplies the graphic signal to the display control circuit 13.

【0027】コンピュータ15は、グラフィック信号発
生回路17を制御し、入力装置から入力された倍率値を
グラフィック信号発生回路17に供給する。グラフィッ
ク信号発生回路17は、倍率値の文字信号や倍率に応じ
たミクロンマーカー信号やその他の観察条件の文字信号
を表示制御回路14に供給する。
The computer 15 controls the graphic signal generating circuit 17 and supplies the magnification value input from the input device to the graphic signal generating circuit 17. The graphic signal generation circuit 17 supplies the display control circuit 14 with a character signal of a magnification value, a micron marker signal corresponding to the magnification, and a character signal of other viewing conditions.

【0028】表示制御回路14は、信号処理回路12か
らの映像信号とグラフィック信号発生回路16からの文
字信号等に基づいて、陰極線管13上に表示する信号の
制御を行う。図3は陰極線管13上の表示画面Dの一例
を示しており、表示画面Dの大部分は像表示領域Diと
され、この像表示領域Diには、試料の2次電子像が表
示される。表示画面Dの下部の帯状領域Ddは観察条件
が表示される領域とされている。この観察条件として
は、像の種類(例えば2次電子像SEIか反射電子像BEI
か)、加速電圧値、ミクロンマーカーとマーカーの対応
する長さの値、倍率値、ワーキングディスタンス値など
があげられる。
The display control circuit 14 controls a signal to be displayed on the cathode ray tube 13 based on a video signal from the signal processing circuit 12, a character signal from the graphic signal generation circuit 16, and the like. FIG. 3 shows an example of a display screen D on the cathode-ray tube 13. Most of the display screen D is an image display area Di. In this image display area Di, a secondary electron image of the sample is displayed. . The band-shaped area Dd at the lower part of the display screen D is an area in which observation conditions are displayed. The observation conditions include the type of image (for example, secondary electron image SEI or reflected electron image BEI
Ii), an accelerating voltage value, a value of a corresponding length between a micron marker and a marker, a magnification value, a working distance value, and the like.

【0029】図2の例では、2次電子像を表示している
場合には、SEIなる表示がされ、反射電子像が表示され
る場合には、SEIに代えてBEIなる表示がされる。またこ
の例では、加速電圧値が1.0kV、倍率が20,000倍、ミク
ロンマーカーM、ミクロンマーカーMに対応する長さの
単位100μm、ワーキングディスタンス(WD)1.5mmが
表示されている。
In the example of FIG. 2, when a secondary electron image is displayed, a display of SEI is displayed, and when a reflected electron image is displayed, a display of BEI is displayed instead of SEI. Further, in this example, the acceleration voltage value is 1.0 kV, the magnification is 20,000 times, the micron marker M, the unit of length corresponding to the micron marker M is 100 μm, and the working distance (WD) is 1.5 mm.

【0030】ところで、走査電子顕微鏡における倍率
は、偏向器6に流す出力の大きさによって決められる
が、特定倍率を指定しても、加速電圧やWDを変化させ
ると、実際の倍率と陰極線管14上に表示された倍率値
とが相違することになる。この場合、試料5を標準試料
に取り替え、実際の倍率を求める。
Incidentally, the magnification in the scanning electron microscope is determined by the magnitude of the output supplied to the deflector 6, but even if a specific magnification is specified, the actual magnification and the cathode ray tube 14 are changed when the acceleration voltage or WD is changed. The magnification value displayed above will be different. In this case, the sample 5 is replaced with a standard sample, and the actual magnification is obtained.

【0031】この求め方の一つの方法としては、従来技
術で説明したように、標準試料の2次電子像を陰極線管
14上に表示する。そして、標準試料のある特定の距離
(例えばメッシュの間隔等)をd、観察画面、記録上の
dに対する距離をD、倍率をMとすると、正しい倍率は
次の式によって求められる。
As one of the methods for obtaining this, a secondary electron image of the standard sample is displayed on the cathode ray tube 14 as described in the prior art. Then, assuming that a specific distance (eg, mesh interval) of the standard sample is d, a distance to d on the observation screen and record is D, and a magnification is M, a correct magnification can be obtained by the following equation.

【0032】M=D/d このようにして求められた正確な倍率を入力装置17か
ら入力し、バッファメモリー19に記憶された倍率値の
修正を行う。その結果、陰極線管14には正確な倍率×
22,000が表示されることになる。また、ミクロンマーカ
ーMの長さ表示の修正も実倍率の修正時に行う。図4は
修正された陰極線画面を示す。
M = D / d The accurate magnification obtained in this way is input from the input device 17 and the magnification value stored in the buffer memory 19 is corrected. As a result, the exact magnification ×
22,000 will be displayed. The length of the micron marker M is also corrected when the actual magnification is corrected. FIG. 4 shows the modified cathode ray screen.

【0033】上記した実施の形態では、バッファメモリ
ー19に記憶された倍率値やミクロンマーカーの長さの
値を正確な値に書き換えるようにしたが、陰極線管14
上の表示倍率と実倍率の比kを陰極線管14上に表示さ
せるようにしても良い。図5はこの比k=1.1が表示
された陰極線管14の画面を示している。オペレータ
は、この画面から正しい倍率は20,000×k=22,000であ
ることを認識することができる。
In the above-described embodiment, the magnification value and the length of the micron marker stored in the buffer memory 19 are rewritten to accurate values.
The ratio k between the display magnification and the actual magnification may be displayed on the cathode ray tube 14. FIG. 5 shows a screen of the cathode ray tube 14 on which the ratio k = 1.1 is displayed. The operator can recognize from this screen that the correct magnification is 20,000 × k = 22,000.

【0034】上記した例では、陰極線管14上の観察画
面や記録画面の倍率に関する数値を変更するようにした
が、それらの数値は変更せず、電子ビームの走査のため
の偏向出力値を変更し、試料上の電子ビームの走査範囲
を表示倍率に合わせるように校正しても良い。この場
合、バッファメモリー19に記憶された偏向器出力Dの
値が、倍率の誤差比に応じて入力装置17により変えら
れる。更に、ミクロンマーカーの場合も、長さの単位数
字を変えるのではなく、マーカー自体の長さを単位数字
に合わせ込むようにしても良い。また、倍率テーブルを
用いたが、これらを近似的に表した近似式を用いても良
い。
In the above example, the numerical values relating to the magnification of the observation screen and the recording screen on the cathode ray tube 14 are changed. However, these numerical values are not changed, and the deflection output value for scanning the electron beam is changed. Alternatively, calibration may be performed so that the scanning range of the electron beam on the sample matches the display magnification. In this case, the value of the deflector output D stored in the buffer memory 19 is changed by the input device 17 in accordance with the magnification error ratio. Further, in the case of a micron marker, the length of the marker itself may be adjusted to the unit number instead of changing the unit number of the length. Further, although the magnification table is used, an approximate expression that approximately expresses these may be used.

【0035】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明は上記した形態に限定されない。例えば、2次電子
を検出したが、反射電子を検出してもよい。また、バッ
ファメモリーを用いて各種の数字の修正を行うようにし
たが、メモリー18自体の数字を修正するようにしても
良い。
Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, although secondary electrons are detected, reflected electrons may be detected. Further, although various numbers are corrected using the buffer memory, the numbers in the memory 18 itself may be corrected.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、第1の発明に基づ
く走査電子顕微鏡は、試料上で細く集束した電子ビーム
を2次元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、
検出信号に基づき電子ビームの走査に関連させて試料像
を表示させると共に、電子ビームの2次元走査領域と試
料像の表示領域の大きさに応じた指定倍率を表示させる
ようにした走査電子顕微鏡において、特定の倍率を指定
して走査像の表示を行うと共に、実倍率を求め、表示さ
れた特定倍率の値を実倍率の値に変更し得るようにした
ので、得られた像の倍率を正確に知ることができる。
As described above, the scanning electron microscope according to the first invention two-dimensionally scans a finely focused electron beam on a sample, detects a signal obtained from the sample,
In a scanning electron microscope, a sample image is displayed in association with electron beam scanning based on a detection signal, and a designated magnification corresponding to a size of a two-dimensional scanning region of the electron beam and a display region of the sample image is displayed. In addition to displaying the scanned image by specifying a specific magnification, the actual magnification is obtained, and the displayed specific magnification value can be changed to the actual magnification value, so that the magnification of the obtained image can be accurately determined. You can know.

【0037】第2の発明に基づく走査電子顕微鏡は、試
料上で細く集束した電子ビームを2次元的に走査し、試
料から得られた信号を検出し、検出信号に基づき電子ビ
ームの走査に関連させて試料像を表示させると共に、電
子ビームの2次元走査領域と試料像の表示領域の大きさ
に応じた指定倍率に基づいたマーカーと、そのマーカー
の長さに対応する長さの値を表示するようにした走査電
子顕微鏡において、特定の倍率を指定して走査像の表示
を行うと共に、実倍率を求め、特定倍率の値と実倍率の
値の比に応じてマーカーの長さかマーカーの長さに対応
する長さの表示値を変更し得るようにしたので、表示さ
れた像の長さを正確に知ることができる。
The scanning electron microscope according to the second invention scans a finely focused electron beam on a sample two-dimensionally, detects a signal obtained from the sample, and relates to the scanning of the electron beam based on the detected signal. To display the sample image, and to display the marker based on the specified magnification according to the size of the two-dimensional scanning area of the electron beam and the display area of the sample image, and the length value corresponding to the length of the marker. In a scanning electron microscope, a specific magnification is designated to display a scanned image, an actual magnification is obtained, and the length of the marker or the length of the marker is determined according to the ratio of the specific magnification value to the actual magnification value. Since the display value of the length corresponding to the length can be changed, the length of the displayed image can be accurately known.

【0038】第3の発明に基づく走査電子顕微鏡は、試
料上で細く集束した電子ビームを2次元的に走査し、試
料から得られた信号を検出し、検出信号に基づき電子ビ
ームの走査に関連させて試料像を表示させると共に、電
子ビームの2次元走査領域と試料像の表示領域の大きさ
に応じた指定倍率を表示させるようにした走査電子顕微
鏡において、特定の倍率を指定して走査像の表示を行う
と共に、実倍率を求め、表示された特定倍率の値と実倍
率の値との比を表示するようにしたので、表示された像
の倍率や像の長さを正確に把握することができる。
The scanning electron microscope according to the third invention scans a finely focused electron beam on a sample two-dimensionally, detects a signal obtained from the sample, and relates to the scanning of the electron beam based on the detected signal. The scanning electron microscope is designed to display a sample image and to display a specified magnification according to the size of the two-dimensional scanning area of the electron beam and the display area of the sample image. Is displayed, the actual magnification is obtained, and the ratio of the displayed specific magnification value to the actual magnification value is displayed, so that the magnification of the displayed image and the length of the image can be accurately grasped. be able to.

【0039】第3の発明では、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行う一方で、標準試料の像を観察して実倍
率を求め、表示された特定倍率の値と実倍率の値との比
を表示する。本発明では、オートフォーカス動作やオー
ト非点動作を実行する際、あらかじめ複数の異なった走
査パターンを準備し、読み取られた画像に対して各走査
パターンごとに画像上の特定領域を走査し、各走査に基
づき得られた検出信号を積算し、各積算値に応じて特定
の走査パターンを選択する。そして、選択された走査パ
ターンによってオートフォーカス動作やオート非点動作
を実行するようにしたので、試料の表面形状に応じた最
適な走査パターンで各動作を実行することができ、精度
の高いフォーカス調整や非点補正を行うことができる。
In the third aspect of the present invention, while displaying a scanned image by designating a specific magnification, the actual magnification is obtained by observing the image of the standard sample, and the displayed value of the specific magnification and the value of the actual magnification are displayed. Displays the ratio with. In the present invention, when performing an autofocus operation or an auto astigmatism operation, a plurality of different scan patterns are prepared in advance, and a scanned image is scanned for a specific area on an image for each scan pattern. The detection signals obtained based on the scanning are integrated, and a specific scanning pattern is selected according to each integrated value. Then, since the auto focus operation and the auto astigmatism operation are performed according to the selected scanning pattern, each operation can be performed with an optimum scanning pattern according to the surface shape of the sample, and the focus adjustment with high accuracy can be performed. And astigmatism correction can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a scanning electron microscope according to the present invention.

【図2】メモリーに記憶された倍率テーブルの一例を示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a magnification table stored in a memory.

【図3】陰極線管の表示画面を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a display screen of a cathode ray tube.

【図4】陰極線管の表示画面を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a display screen of a cathode ray tube.

【図5】陰極線管の表示画面を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a display screen of a cathode ray tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電子銃 2 電子ビーム 3 集束レンズ 4 対物レンズ 5 試料 6 偏向器 7 偏向器駆動回路 8 走査信号発生回路 9 倍率制御回路 10 2次電子検出器 11 増幅器 12 信号処理回路 13 表示制御回路 14 陰極線管 15 コンピュータ 16 グラフィック信号発生回路 17 入力装置 18 メモリー 19 バッファメモリー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electron gun 2 Electron beam 3 Focusing lens 4 Objective lens 5 Sample 6 Deflector 7 Deflector drive circuit 8 Scanning signal generation circuit 9 Magnification control circuit 10 Secondary electron detector 11 Amplifier 12 Signal processing circuit 13 Display control circuit 14 Cathode ray tube 15 Computer 16 Graphic signal generation circuit 17 Input device 18 Memory 19 Buffer memory

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料上で細く集束した電子ビームを2次
元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信
号に基づき電子ビームの走査に関連させて試料像を表示
させると共に、電子ビームの2次元走査領域と試料像の
表示領域の大きさに応じた指定倍率を表示させるように
した走査電子顕微鏡において、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行うと共に、実倍率を求め、表示された特
定倍率の値を実倍率の値に変更し得るようにした走査電
子顕微鏡。
An electron beam converged finely on a sample is two-dimensionally scanned, a signal obtained from the sample is detected, and a sample image is displayed in association with the scanning of the electron beam based on the detected signal. In a scanning electron microscope configured to display a specified magnification corresponding to the size of a two-dimensional scanning area of an electron beam and a display area of a sample image, a specific magnification is designated to display a scanned image, and the actual magnification is reduced. A scanning electron microscope in which the value of a specific magnification that has been obtained and displayed can be changed to a value of an actual magnification.
【請求項2】 試料上で細く集束した電子ビームを2次
元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信
号に基づき電子ビームの走査に関連させて試料像を表示
させると共に、電子ビームの2次元走査領域と試料像の
表示領域の大きさに応じた指定倍率に基づいたマーカー
と、そのマーカーの長さに対応する長さの値を表示する
ようにした走査電子顕微鏡において、特定の倍率を指定
して走査像の表示を行うと共に、実倍率を求め、特定倍
率の値と実倍率の値の比に応じてマーカーの長さかマー
カーの長さに対応する長さの表示値を変更し得るように
した走査電子顕微鏡
2. A two-dimensional scanning of a thinly focused electron beam on a sample, a signal obtained from the sample is detected, and a sample image is displayed in association with the scanning of the electron beam based on the detected signal. In a scanning electron microscope configured to display a marker based on a designated magnification corresponding to the size of a two-dimensional scanning region of an electron beam and a display region of a sample image and a length value corresponding to the length of the marker, Specify the specific magnification and display the scanned image, calculate the actual magnification, and display the marker length or the length corresponding to the marker length according to the ratio of the specific magnification value to the actual magnification value. Scanning electron microscope that can change the
【請求項3】 試料上で細く集束した電子ビームを2次
元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信
号に基づき電子ビームの走査に関連させて試料像を表示
させると共に、電子ビームの2次元走査領域と試料像の
表示領域の大きさに応じた指定倍率を表示させるように
した走査電子顕微鏡において、特定の倍率を指定して走
査像の表示を行うと共に、実倍率を求め、表示された特
定倍率の値と実倍率の値との比を表示するようにした走
査電子顕微鏡。
3. A two-dimensional scanning of a finely focused electron beam on a sample, a signal obtained from the sample is detected, and a sample image is displayed in association with the scanning of the electron beam based on the detected signal. In a scanning electron microscope configured to display a specified magnification corresponding to the size of a two-dimensional scanning area of an electron beam and a display area of a sample image, a specific magnification is designated to display a scanned image, and the actual magnification is reduced. A scanning electron microscope in which the ratio between the obtained specific magnification value and the actual magnification value is displayed.
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Cited By (5)

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