JP2001522479A - レーザ走査顕微鏡の校正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 有利には共焦点のレーザ走査顕微鏡の校正装置であって、対象物(1) が走査ビーム(2)により走査される形式の装置において、 中間結像(11)の面に配置された校正手段(12)が同じく走査ビーム(2 )により走査される、 ことを特徴とする装置。 2. 該校正手段(12)は、該中間結像(11)の面内において画像野(1 3)の領域へ旋回導入可能である、請求項1記載の装置。 3. 該校正手段(12)は該中間結像(11)の縁部であって、本来の画像 野(13)の外側に配置されている、請求項1記載の装置。 4. 該校正手段(12)は測定手段である、請求項1から3までのいずれか 1項記載の装置。 5. 該測定手段は検知手段として構成されており、該検知手段はレーザ出力 測定およびレーザ校正に使用される、請求項4記載の装置。 6. 該検知手段はフォトダイオードである、請求項5記載の装置。 7. 該校正手段(12)は基準構造体である、請求項1から3までのいずれ か1項記載の装置。 8. 該基準構造体はグリッドとして構成されており、該グリッドは画像寸法 の校正および/または線形性校正に用いる、請求項7記載の装置。 9. 該基準構造体はテープとして構成されており、該テープは画像位置校正 に用いる、請求項7記載の装置。 10. 該基準構造体は有利には扁平なパターンとして構成されており、該パ ターンはスキャナ(3)の往復運動の位相校正に用いる、請求項7記載の装置。 11. 該基準構造体は3次元構造体として構成されており、該3次元構造体 はピンホール位置の校正等の光学系の校正に用いる、請求項7記載の装置。 12. 該3次元構造体は段、切欠部等である、請求項11記載の装置。 13. 該基準構造体は発光手段として構成されており、該発光手段は検知器 (5)の校正に用いる、請求項7記載の装置。 14. 該発光手段は種々異なるスペクトルを有する、請求項13記載の装置 。 15. 該発光手段は発光ダイオードである、請求項13または14記載の装 置。 16. 該基準構造体は、走査ビーム(2)との交互作用を示す手段として構 成されている、請求項7記載の装置。 17. 該走査ビーム(2)との交互作用を示す手段は、公知の反射手段、吸 光手段、蛍光手段、または偏光手段である、請求項16記載の装置。 18. 該校正手段(12)−測定手段および/または基準構造体−はラスタ 状に配置されている、請求項1から17までのいずれか1項記載の装置。 19. 該校正手段(12)−測定手段および/または基準構造体−はジグザ グ状(メアンダ状)に配置されている、請求項1から17までのいずれか1項記 載の装置。 20. 該校正手段(12)−測定手段および/または基準構造体−は校正テ ンプレート(14)に配置されているかないしは形成されている、請求項1から 19までのいずれか1項記載の装置。 21. 該校正テンプレート(14)は、エッチングされた構造体を備えた精 密プレートである、請求項20記載の装置。 22. 該精密プレートは有利には金メッキされたエポキシ樹脂プレートとし て構成されている、請求項21記載の装置。 23. 該校正テンプレート(14)は、画像野(13)の大きさに相応する 切欠部(15)を有する、請求項20から22までのいずれか1項記載の装置。 24. 該校正テンプレート(14)は、校正手段(12)を担持する、有利 には固定の円形リング面を含む、請求項20から22までのいずれか1項記載の 装置。 25. 該校正テンプレート(14)は、走査ビーム(2)のビーム路中へ旋 回導入可能なディスクとして構成されている、請求項20から22までのいずれ か1項記載の装置。 26. 該校正テンプレート(14)は走査すべき対象物(1)の近傍に配置 されている、請求項20から25までのいずれか1項記載の装置。 27. 該校正テンプレート(14)は、走査すべき対象物(1)の直近に、 またはその前方に配置されている、請求項20から25までのいずれか1項記載 の装置。 28. 有利には共焦点のレーザ走査顕微鏡の校正方法であって、対象物(1 )が走査ビーム(2)により走査され、請求項1から27までのいずれか1項記 載の装置に適用される方法において、 中間結像(11)の面に配置された校正手段(12)を走査ビーム(2)によ り走査する、 ことを特徴とする方法。 29. 該校正手段(12)を該中間結像(11)の縁部であって、本来の画 像野(13)の外側で走査する、請求項28記載の方法。 30. 校正を、レーザ光源(4)の投入接続直後に行う、請求項28または 29記載の方法。 31. 校正を、対象物走査ないしは撮像の前および/または後に行う、請求 項28または29記載の方法。 32. 校正を手動で開始する、請求項28から31までのいずれか1項記載 の方法。 33. 校正を自動で開始する、請求項28から31までのいずれか1項記載 の方法。 34. 校正を自動データ補正に利用する、請求項28から33までのいずれ か1項記載の方法。
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