JP2001503005A - 平坦なガラス上に酸化スズコーティングおよび酸化チタンコーティングを堆積する方法およびこの方法により得られた被覆されたガラス - Google Patents
平坦なガラス上に酸化スズコーティングおよび酸化チタンコーティングを堆積する方法およびこの方法により得られた被覆されたガラスInfo
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦なガラス 上に堆積する方法において、前記方法が、 (a)対応する金属四塩化物および、金属酸化物を生成するための酸素源とし ての有機酸素含有化合物を含む前駆体ガス混合物を製造し、 (b)前記の前駆体ガス混合物を、金属四塩化物が反応して金属酸化物を生成 する温度より低い温度に維持し、同時にこの混合物を、高温ガラス上に開放し ている被覆室に送出し、 (c)この前駆体ガス混合物を、被覆室中に導入し、これにより、この混合物 を加熱して、有機化合物からの酸素を含む対応する金属酸化物の、高温ガラス 表面への堆積を生じさせる 工程を含むことを特徴とする、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーテ ィングを高温の平坦なガラス上に堆積する方法。 2.前記有機酸素含有化合物が、エステルであることを特徴とする、請求の範囲 第1項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の 平坦なガラス上に堆積する方法。 3.前記エステルが、β水素を有するアルキル基を有するエステルであることを 特徴とする、請求の範囲第2項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタ ンコーティングを高温の平坦なガラス上に堆積する方法。 4.前記エステルを、ギ酸エチル、酢酸エチル、プロピオン酸エチル、ギ酸イソ プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチルおよび酢酸t−ブチルから成る 群から選択することを特徴とする、請求の範囲第1項、第2項または第3項記 載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦なガ ラス上に堆積する方法。 5.基板が、約1100°F〜1320°F(590℃〜715℃)の範囲内の 温度を有するフロートガラスリボンであることを特徴とする、請求の範囲第1 項〜第4項のいずれか1つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタ ンコーティングを高温の平坦なガラス上に堆積する方法。 6.前駆体ガス混合物中の金属四塩化物の濃度が、約0.1〜5.0容積%であ ることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第5項のいずれか1つの項記載の、 酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを堆積する方法。 7.前駆体ガス混合物中の有機酸素含有化合物の濃度が、金属四塩化物の濃度の 約1〜5倍であることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第6項のいずれか1 つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の 平坦なガラス上に堆積する方法。 8.前記エステルが酢酸エチルであり、前記の高温の平坦なガラスがフロートガ ラスリボンであることを特徴とする、請求の範囲第2項〜第7項のいずれか1 つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の 平坦なガラス上に堆積する方法。 9.高温の平坦なガラス基板がこの上にシリカコーティングを有し、前記酸化ス ズコーティングまたは酸化チタンコーティングを、前記シリカコーティングの 上に堆積することを特徴とする、請求の範囲第1項〜第8項のいずれか1つの 項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦 なガラス上に堆積する方法。 10.前記の高温の平坦なガラス基板がケイ素コーティングの上にシリカコーテ ィングを有し、前記酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを、 前記シリカコーティングの上に堆積することを特徴とする、請求の範囲第1項 〜第9項のいずれか1つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタン コーティングを高温の平坦なガラス上に堆積する方法。 11.前記酸化チタンコーティングが、2.4よりも大きい屈折率を有すること を特徴とする、請求の範囲第1項〜第10項のいずれか1つの項記載の、酸化 チタンコーティングを高温の平坦なガラス上の基板上に堆積する方法。 12.前記酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングが、4原子%よ りも低い残留炭素含量を有することを特徴とする、請求の範囲第1項〜第11 項のいずれか1つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーテ ィングを高温の平坦なガラス上に堆積する方法。 13.前記前駆体ガス混合物が、キャリヤーガスとしてヘリウムを含むことを特 徴とする、請求の範囲第1項〜第12項のいずれか1つの項記載の、酸化スズ コーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦なガラス上に堆積す る方法。 14.エステルが2〜10個の炭素原子を有するアルキル基を有することを特徴 とする、請求の範囲第2項〜第13項のいずれか1つの項記載の、酸化スズコ ーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦なガラス上に堆積する 方法。 15.酸化スズフィルムまたは酸化チタンフィルムを、少なくとも130Å/秒 の速度で堆積することを特徴とする、請求の範囲第1項〜第14項のいずれか 1つの項記載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温 の平坦なガラス上に堆積する方法。 16.酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを基板上に高い堆積 速度で堆積する方法において、請求の範囲第1項〜第15項のいずれか1つの 項記載の方法であって、 (a)四塩化スズまたは四塩化チタンおよびエステルを含む前駆体ガス混合物 を製造し、前記エステルは、β水素を有するアルキル基を有し、 (b)前記エステルの熱分解温度よりも低い温度の前記前駆体ガス混合物を、 被覆されるべき基板の付近の位置に送出し、前記基板は、前記エステルの熱分 解温度よりも高い温度であり、 (c)前記前駆体ガス混合物を、前記基板の上方の蒸気空間中に導入し、ここ で前記エステルは熱分解し、これにより、前記金属四塩化物との反応が開始し て、前記基板上に金属酸化物コーティングを生成する 工程を含むことを特徴とする、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーテ ィングの堆積方法。 17.基板がフロートガラスリボンであることを特徴とする、請求の範囲第17 項記載の方法。 18.前駆体ガス混合物を、基板に、基板の温度が1100°F〜1320°F (590℃〜715℃)の範囲内の温度である位置において送出することを特 徴とする、請求の範囲第16項または第17項記載の方法。 19.酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを基板上に高い堆積 速度で堆積する方法において、 (a)四塩化スズまたは四塩化チタンおよびエステルを含む前駆体ガス混合物 を製造し、前記エステルは、β水素を有するアルキル基を有し、 (b)前記エステルの熱分解温度よりも低い温度の前記前駆体ガス混合物を、 被覆されるべき基板の付近の位置に送出し、前記基板は、前記エステルの熱分 解温度よりも高い温度であり、 (c)前記前駆体ガス混合物を、前記基板の上方の蒸気空間中に導入し、ここ で前記エステルは熱分解し、これにより、前記金属四塩化物との反応が開始し て、前記基板上に金属酸化物コーティングを生成する 工程を含むことを特徴とする、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーテ ィングの堆積方法。 20.基板がフロートガラスリボンであることを特徴とする、請求の範囲第19 項記載の方法。 21.前駆体ガス混合物を、基板に、基板の温度が1100°F〜1320°F (590℃〜715℃)の範囲内の温度である位置において送出することを特 徴とする、請求の範囲第19項または第20項記載の方法。 22.前駆体ガス混合物を、被覆されるべきガラス表面の上方に、層状流条件下 で流すことを特徴とする、請求の範囲第1項〜第21項のいずれか1つの項記 載の、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを高温の平坦なガ ラス上に堆積する方法。 23.請求の範囲第1項〜第22項のいずれか1つの項記載の方法により製造さ れたことを特徴とする、酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティング を上に有するガラス基板。 24.上にケイ素コーティングおよびシリカコーティングを有し、前記シリカコ ーティングの上に酸化スズコーティングまたは酸化チタンコーティングを有す るガラス基板であって、 前記酸化物コーティングが、請求の範囲第1項〜第22項のいずれか1つの 項記載の方法により製造されたことを特徴とする、ガラス基板。
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