JP2001358413A - Electric circuit board - Google Patents

Electric circuit board

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JP2001358413A
JP2001358413A JP2000176878A JP2000176878A JP2001358413A JP 2001358413 A JP2001358413 A JP 2001358413A JP 2000176878 A JP2000176878 A JP 2000176878A JP 2000176878 A JP2000176878 A JP 2000176878A JP 2001358413 A JP2001358413 A JP 2001358413A
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Japan
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insulating layer
circuit board
electric circuit
pattern layer
hole
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JP2000176878A
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Japanese (ja)
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Toru Murakami
徹 村上
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Original Assignee
Advantest Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric circuit board wherein the amount of charges accumulated between a through hole and a signal line or a ground line can be reduced without increasing impedance of the signal line or the ground line. SOLUTION: In the electric circuit board 511, a wiring pattern layer 511a is laminated via an insulating layer 511b, and through holes 511c insulated from the wiring pattern layer 511a via the insulating layer 511b are arranged. An outer peripheral edge of the through hole 511c is circular, and an insulating layer outer peripheral edge 511a1 of the wiring pattern layer 511a is not circular. A part βsandwiched by the insulating layer outer peripheral edges 511a1 is formed with almost constant width D.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板やセ
ラミック基板その他の電気回路基板に関し、特にスルー
ホールと信号ラインまたは接地ラインとの間に蓄積され
る電荷量を低減できる電気回路基板に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board, a ceramic substrate and other electric circuit boards, and more particularly to an electric circuit board capable of reducing the amount of electric charge accumulated between a through hole and a signal line or a ground line.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハンドラ(handler )と称される電子部
品試験装置では、トレイに収納された多数のICを試験
装置内に搬送し、各ICをテストヘッドに接続されたソ
ケットの端子に押し付け、試験装置本体(テスタ、test
er)に試験を行わせる。そして、試験を終了すると各I
Cをテスト工程から搬出し、試験結果に応じたトレイに
載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの
仕分けが行われる。
2. Description of the Related Art In an electronic component test apparatus called a handler, a large number of ICs stored in a tray are transported into the test apparatus, and each IC is pressed against a terminal of a socket connected to a test head. Test equipment (tester, test
er) to perform the test. When the test is completed,
By unloading C from the test process and replacing it on a tray according to the test result, sorting into categories such as non-defective products and defective products is performed.

【0003】ここで、テストヘッドには多数のプリント
基板が設けられ、ICをソケットに押し付けた際にテス
タとテストヘッドとの間でテスト信号を送受信すること
に用いられる。
Here, the test head is provided with a large number of printed boards, and is used for transmitting and receiving test signals between the tester and the test head when the IC is pressed against the socket.

【0004】ところで、従来のプリント基板Pは、図9
および図10に示すように、信号ラインおよび/または
電源ライン(接地ラインを含む。以下同じ)を含むパタ
ーン層P1が絶縁層P2を介して多数積層されてなり、
必要に応じてスルーホールP3が設けられている。
A conventional printed circuit board P is, as shown in FIG.
As shown in FIG. 10 and FIG. 10, a large number of pattern layers P1 including signal lines and / or power lines (including ground lines; the same applies hereinafter) are laminated via an insulating layer P2,
A through hole P3 is provided as needed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プリント基板Pでは、スルーホールP3と、信号ライン
または電源ラインを含むパターン層P1との隙間dが狭
く、この隙間dがコンデンサとなって電荷が溜まり、そ
の結果、テスト信号の波形が変動するといった問題があ
った。
However, in the conventional printed circuit board P, the gap d between the through hole P3 and the pattern layer P1 including the signal line or the power supply line is narrow, and the gap d serves as a capacitor, and electric charge is generated. There is a problem that the waveform of the test signal fluctuates as a result.

【0006】尤も、この隙間dを大きくすれば電荷の蓄
積は防止されるが、そうするとパターン層P1におい
て、隣接する絶縁層の外周縁P4の隙間Dが狭くなり、
これが信号ラインのパターン層P1または電源ラインの
パターン層P1におけるインピーダンスの増加要因とな
って、ノイズが発生するといった問題がある。
If the gap d is increased, the accumulation of electric charges is prevented. However, the gap D between the outer peripheral edges P4 of the adjacent insulating layers in the pattern layer P1 is reduced.
This causes an increase in impedance in the pattern layer P1 of the signal line or the pattern layer P1 of the power supply line, causing a problem that noise is generated.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、信号ラインま
たは電源ラインのインピーダンスを増加させることなく
スルーホールと信号ラインまたは電源ラインとの間に蓄
積される電荷量を低減できる電気回路基板を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an electric circuit board capable of reducing the amount of electric charge accumulated between a through-hole and a signal or power supply line without increasing the impedance of the signal or power supply line. The purpose is to do.

【0008】本発明の第1の観点によれば、信号ライン
および/または電源ラインを含むパターン層が絶縁層を
介して積層され、前記絶縁層を介して前記パターン層と
絶縁されたスルーホールを有する電気回路基板であっ
て、前記スルーホールの外周縁と前記パターン層の内周
縁との間隔が一定でない電気回路基板が提供される。
According to a first aspect of the present invention, a pattern layer including a signal line and / or a power supply line is laminated via an insulating layer, and a through hole insulated from the pattern layer via the insulating layer is formed. An electric circuit board having an irregular interval between an outer edge of the through hole and an inner edge of the pattern layer.

【0009】また、本発明の第2の観点によれば、信号
ラインおよび/または電源ラインを含むパターン層が絶
縁層を介して積層され、前記絶縁層を介して前記パター
ン層と絶縁されたスルーホールを有する電気回路基板で
あって、前記スルーホールの外周縁が円形であり、前記
パターン層と前記スルーホールとの間の絶縁層の外周縁
が非円形である電気回路基板が提供される。
According to a second aspect of the present invention, a pattern layer including a signal line and / or a power supply line is laminated via an insulating layer, and the through layer is insulated from the pattern layer via the insulating layer. An electric circuit board having holes, wherein an outer peripheral edge of the through hole is circular, and an outer peripheral edge of an insulating layer between the pattern layer and the through hole is non-circular.

【0010】さらに、本発明の第3の観点によれば、信
号ラインおよび/または電源ラインを含むパターン層が
絶縁層を介して積層され、前記絶縁層を介して前記パタ
ーン層と絶縁された複数のスルーホールを有する電気回
路基板であって、前記パターン層と前記スルーホールと
の間の絶縁層の外周縁と、これに隣接する絶縁層の外周
縁とに挟まれた部分が、略一定の幅をもって形成されて
いる電気回路基板が提供される。
Further, according to a third aspect of the present invention, a plurality of pattern layers including signal lines and / or power supply lines are laminated via an insulating layer, and are insulated from the pattern layer via the insulating layer. An electric circuit board having a through hole, wherein an outer peripheral edge of the insulating layer between the pattern layer and the through hole, and a portion sandwiched between the outer peripheral edge of the insulating layer adjacent thereto are substantially constant. An electrical circuit board formed with a width is provided.

【0011】上記発明において、特に限定はされない
が、前記絶縁層はポリテトラフルオロエチレンを主成分
とすることがより好ましい。
In the above invention, although not particularly limited, it is more preferable that the insulating layer contains polytetrafluoroethylene as a main component.

【0012】[0012]

【作用】スルーホールと信号ラインおよび/または電源
ラインを含むパターン層との間には、絶縁層による擬似
コンデンサが形成され、信号ラインおよび/または電源
ラインを流れる電流によりここに電荷が蓄積される。こ
の電荷の静電容量Cは、絶縁層の誘電率εおよびスルー
ホールとパターン層との対向面積Sに比例し、これらス
ルーホールとパターン層との間隔dに反比例する。すな
わち、絶縁層の誘電率εおよびスルーホールとパターン
層との対向面積Sを小さく、またスルーホールとパター
ン層との間隔dを大きくすれば、蓄積される電荷量を抑
制でき、信号波形が変動することを防止できる。
A pseudo capacitor made of an insulating layer is formed between the through hole and the pattern layer including the signal line and / or the power supply line, and the electric charge is stored here by the current flowing through the signal line and / or the power supply line. . The capacitance C of this charge is proportional to the dielectric constant ε of the insulating layer and the facing area S between the through hole and the pattern layer, and is inversely proportional to the distance d between the through hole and the pattern layer. That is, if the dielectric constant ε of the insulating layer and the facing area S between the through hole and the pattern layer are small and the distance d between the through hole and the pattern layer is large, the amount of accumulated charges can be suppressed, and the signal waveform varies. Can be prevented.

【0013】一方、信号ラインおよび/または電源ライ
ンを含むパターン層において、パターン層とスルーホー
ルとの間の絶縁層の外周縁と、これに隣接する絶縁層の
外周縁とで挟まれる部分の間隔Dは、大きければ大きい
ほどパターン層のインピーダンスが減少し、ノイズの発
生を防止できる。
On the other hand, in a pattern layer including a signal line and / or a power supply line, an interval between a portion between an outer peripheral edge of the insulating layer between the pattern layer and the through hole and an outer peripheral edge of the insulating layer adjacent thereto. The larger the value of D, the lower the impedance of the pattern layer and the more the occurrence of noise can be prevented.

【0014】本発明では、信号ラインおよび/または電
源ラインを含むパターン層においてパターン層とスルー
ホールとの間の絶縁層の外周縁と、これに隣接する絶縁
層の外周縁とで挟まれた部分の間隔Dを極力大きくする
と同時に、スルーホールとパターン層との間隔dを極力
大きくする。さらに、絶縁層をポリテトラフルオロエチ
レンを主成分とする材料で構成することにより、絶縁層
の誘電率εを小さくする。
According to the present invention, in the pattern layer including the signal line and / or the power supply line, a portion sandwiched between the outer peripheral edge of the insulating layer between the pattern layer and the through hole and the outer peripheral edge of the insulating layer adjacent thereto. Is increased as much as possible, and at the same time, the distance d between the through hole and the pattern layer is increased as much as possible. Furthermore, the dielectric constant ε of the insulating layer is reduced by forming the insulating layer from a material containing polytetrafluoroethylene as a main component.

【0015】これにより、隣接する絶縁層の外周縁の間
隔Dが小さいことが原因で生じるノイズを抑制でき、同
時に、スルーホールとパターン層との間の絶縁層に電荷
が蓄積されることが原因で生じる信号波形の変動をも抑
制することができる。
[0015] Accordingly, noise caused by a small interval D between the outer peripheral edges of adjacent insulating layers can be suppressed, and at the same time, electric charges are accumulated in the insulating layer between the through hole and the pattern layer. The variation of the signal waveform caused by the above can also be suppressed.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1は本発明の電気回路基板を適用
した電子部品試験装置を示す側面図、図2は図1に示す
テストヘッドの詳細断面図、図3は同じくテストヘッド
の詳細断面図であって図2の II-III線に沿う断面図で
ある。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing an electronic component test apparatus to which the electric circuit board of the present invention is applied, FIG. 2 is a detailed sectional view of the test head shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line II-III of FIG.

【0017】図1に示すように、本発明の電気回路基板
が適用される電子部品試験装置は、たとえば被試験IC
を取り廻すためのハンドラ1と、被試験ICが電気的に
接触されるテストヘッド5と、このテストヘッド5にテ
スト信号を送り、被試験ICのテストを実行するテスタ
6とから構成されている。この電子部品試験装置は、I
Cに高温または低温の温度ストレスを与えた状態でIC
が適切に動作するかどうかを試験(検査)し、当該試験
結果に応じてICを分類する装置である。
As shown in FIG. 1, an electronic component test apparatus to which the electric circuit board of the present invention is applied is, for example, an IC under test.
, A test head 5 that makes electrical contact with the IC under test, and a tester 6 that sends a test signal to the test head 5 and executes a test on the IC under test. . This electronic component testing device is
IC with high or low temperature stress applied to C
Is a device that tests (inspects) whether the IC operates properly and classifies ICs according to the test results.

【0018】図2および図3に示すように、テストヘッ
ド5は、テストヘッド本体501の上部に、コネクタ5
02aを介してベースボード502が装着され、このベ
ースボード502の上部に、Z軸方向に若干の上下動が
可能なスペース柱502bを介してスペーシングフレー
ム503が設けられている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the test head 5 has a connector 5
A base board 502 is mounted via a base plate 02a, and a spacing frame 503 is provided above the base board 502 via a space column 502b capable of slightly moving up and down in the Z-axis direction.

【0019】このスペーシングフレーム503の上部に
は、ソケットボードスペーサ504を介して、ソケット
ボード505が設けられ、さらにこの上部には、サブソ
ケットボードスペーサ513を介してサブソケットボー
ド511が設けられている。
A socket board 505 is provided above the spacing frame 503 via a socket board spacer 504, and a sub socket board 511 is provided above the spacing frame 503 via a sub socket board spacer 513. I have.

【0020】そして、ベースボード502とソケットボ
ード505との間は、複数本の同軸ケーブル506によ
って接続され、ソケットボード505とサブソケットボ
ード511との間は、中継ターミナル512によって接
続されている。
The base board 502 and the socket board 505 are connected by a plurality of coaxial cables 506, and the socket board 505 and the sub-socket board 511 are connected by a relay terminal 512.

【0021】なお、図2はテストヘッド5をX軸方向に
向かって見た断面図であり、同図ではY軸方向に2組の
ソケットボード505およびサブソケットボード511
のみが示されているが、実際の4行×16列のテストヘ
ッド5には、Y軸方向に4組のソケットボード505お
よびサブソケットボード511が設けられている。
FIG. 2 is a sectional view of the test head 5 as viewed in the X-axis direction. In FIG. 2, two sets of the socket board 505 and the sub-socket board 511 are shown in the Y-axis direction.
Although only the actual test head 5 of 4 rows × 16 columns is shown, four sets of socket boards 505 and sub socket boards 511 are provided in the Y-axis direction.

【0022】また、図3はテストヘッド5をY軸方向に
向かって見た断面図であり、同図ではX軸方向に1組の
ソケットボード505およびサブソケットボード511
のみが示されているが、実際の4行×16列のテストヘ
ッド5には、X軸方向に8組のソケットボード505お
よびサブソケットボード511が設けられている。
FIG. 3 is a sectional view of the test head 5 as viewed in the Y-axis direction. In FIG. 3, a set of a socket board 505 and a sub-socket board 511 are arranged in the X-axis direction.
Although only the actual test head 5 of 4 rows × 16 columns is shown, eight sets of socket boards 505 and sub socket boards 511 are provided in the X-axis direction.

【0023】各サブソケットボード511の上部には、
ICソケット510および必要に応じてソケットガイド
514が設けられている。ICソケット510は、被試
験ICの入出力端子に接触する複数のコンタクトピンを
有し、サブソケットボード511の上面に形成されたラ
ンド等に接続される。また、ソケットガイド514は、
被試験ICをICソケット510のコンタクトピンに接
触させる際に、当該被試験ICを位置決めするためのガ
イドであり、場合によっては省略することもできる。
At the top of each sub-socket board 511,
An IC socket 510 and a socket guide 514 are provided as needed. The IC socket 510 has a plurality of contact pins that contact input / output terminals of the IC under test, and is connected to lands or the like formed on the upper surface of the sub socket board 511. Also, the socket guide 514 is
A guide for positioning the IC under test when the IC under test contacts the contact pins of the IC socket 510, and may be omitted in some cases.

【0024】図4は本発明の電気回路基板であるサブソ
ケットボード511の配線パターン層511aの一例を
示す図、図5は図4に示す配線パターン層511aの絶
縁層外周縁511a1の部分を拡大した図、図6は本発
明の電気回路基板であるサブソケットボード511を示
す断面図(図7におけるVI-VI線断面相当図)、図7は
図6のVII-VII線に沿う断面図、図8は図7のVIII-VIII
線に沿う断面図である。以下においては、本発明の電気
回路基板を図2および図3に示すサブソケットボード5
11に適用した例で本発明の実施形態を説明する。
FIG. 4 is a view showing an example of a wiring pattern layer 511a of a sub-socket board 511 which is an electric circuit board of the present invention. FIG. 5 is an enlarged view of an outer peripheral edge 511a1 of the wiring pattern layer 511a shown in FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view (corresponding to a VI-VI line in FIG. 7) showing a sub-socket board 511 which is an electric circuit board of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG. FIG. 8 shows VIII-VIII in FIG.
It is sectional drawing which follows a line. Hereinafter, the electric circuit board of the present invention will be described with reference to FIGS.
An embodiment of the present invention will be described with reference to an example applied to FIG.

【0025】サブソケットボード511は、図6の断面
図に示されるように、信号ラインおよび/または電源ラ
イン(接地ラインを含む。)を含む配線パターンが形成
された配線パターン層が絶縁層を介して多数積層されて
なり、同図の511aは信号ラインおよび/または電源
ラインを含む配線パターン層、511bcは絶縁層をそ
れぞれ示す。また、サブソケットボード511の表裏を
貫通するスルーホール511cが多数個形成され、この
スルーホール511cと配線パターン層511aとの間
には絶縁層511bが介在して、スルーホール511c
と配線パターン層511aとの電気的絶縁がなされてい
る。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 6, the sub-socket board 511 has a wiring pattern layer on which a wiring pattern including a signal line and / or a power supply line (including a ground line) is formed via an insulating layer. 511a in the same figure indicates a wiring pattern layer including signal lines and / or power supply lines, and 511bc indicates an insulating layer. Also, a large number of through holes 511c penetrating the front and back of the sub-socket board 511 are formed, and an insulating layer 511b is interposed between the through hole 511c and the wiring pattern layer 511a to form the through hole 511c.
And the wiring pattern layer 511a are electrically insulated.

【0026】絶縁層511bはガラスやエポキシなどの
絶縁材料で構成することができるが、これらの材料より
誘電率が小さい、たとえばポリテトラフルオロエチレン
で構成すると、スルーホール511cと配線パターン層
511aとの間に形成される擬似コンデンサの静電容量
が小さくなり、これによりテスト信号の波形の変動をよ
り抑えることができる。
The insulating layer 511b can be made of an insulating material such as glass or epoxy. However, if the insulating layer 511b is made of, for example, polytetrafluoroethylene having a lower dielectric constant than that of these materials, the insulating layer 511b will The capacitance of the pseudo capacitor formed therebetween is reduced, and thereby, the fluctuation of the waveform of the test signal can be further suppressed.

【0027】図4は配線パターン層511aの一例を平
面的に示す図であり、511a1が絶縁層外周縁であ
り、これを図5に拡大して示す。
FIG. 4 is a plan view showing an example of the wiring pattern layer 511a, and 511a1 is an outer peripheral edge of the insulating layer, which is enlarged in FIG.

【0028】本実施形態のサブソケットボード511の
配線パターン層511では、絶縁層外周縁511a1が
非円形とされている。この形状は、図5に示す隣接する
絶縁層外周縁511a1,511a1の間の幅Dを極力
大きくすると同時に、図6および図7に示すスルーホー
ル511cと絶縁層外周縁511a1との間隔d1が極
力大きくなるような形状であればよい。
In the wiring pattern layer 511 of the sub socket board 511 of this embodiment, the outer peripheral edge 511a1 of the insulating layer is non-circular. This shape maximizes the width D between the adjacent insulating layer outer peripheral edges 511a1 and 511a1 shown in FIG. 5, and minimizes the distance d1 between the through hole 511c and the insulating layer outer peripheral edge 511a1 shown in FIGS. What is necessary is just a shape which becomes large.

【0029】本例では、図5に点線で示すように絶縁層
外周縁511a1を半径Rの円形で構成すると、隣接す
る絶縁層外周縁511a1,511a1の間の幅がD1
となるところを、これよりも大きい幅Dで一定となるよ
うにこの部分βが直線で形成されている。これは、隣接
する絶縁層外周縁511a1,511a1の間の幅がD
1のように狭いと、この部分βで配線パターン層511
aのインピーダンスが増加し、特に電子部品試験装置の
テストヘッド5に用いられる電気回路基板では、精密か
つシビアなテスト信号にノイズが生じ、正確なテストが
実行できないおそれがあるからである。その意味におい
て、本発明の絶縁層外周縁511a1の形状は図5に示
されるもののみに限定されるものではなく、隣接する絶
縁層外周縁511a1,511a1の間の幅Dが配線パ
ターン層511aのインピーダンスを増加させない程度
に大きく形成されていれば良い。またこのとき、一定の
幅Dを維持する形状でなくても良い。
In this embodiment, when the outer peripheral edge 511a1 of the insulating layer is formed as a circle having a radius R as shown by a dotted line in FIG. 5, the width between the outer peripheral edges 511a1 and 511a1 of the adjacent insulating layer becomes D1.
The portion β is formed as a straight line so that the width β becomes larger and the width D becomes constant. This is because the width between the adjacent insulating layer outer peripheral edges 511a1 and 511a1 is D
1, the wiring pattern layer 511 is formed in this portion β.
This is because the impedance of “a” increases, and particularly in an electric circuit board used for the test head 5 of the electronic component test apparatus, noise may be generated in a precise and severe test signal, and an accurate test may not be performed. In that sense, the shape of the insulating layer outer peripheral edge 511a1 of the present invention is not limited to that shown in FIG. 5, and the width D between the adjacent insulating layer outer peripheral edges 511a1 and 511a1 is equal to the wiring pattern layer 511a. What is necessary is just to be formed large enough not to increase the impedance. At this time, the shape does not have to maintain the constant width D.

【0030】また本例の絶縁層外周縁511a1は、隣
接する絶縁層外周縁511a1が存在する部分βについ
ては、上述したように直線状に形成されているが、絶縁
層外周縁511a1が隣接しない部分αについては、ス
ルーホール511cとの距離が極力大きくなるように、
従来のものよりも大きな半径の円で構成されている。す
なわち、図10に示す従来の絶縁層外周縁511a1の
半径をr、本例の半径をRとすると、r<Rとすること
が望ましい。これは、スルーホール511c、配線パタ
ーン層511aおよびこれらの間の絶縁層51bにで構
成される擬似コンデンサにおいて、スルーホール511
cと配線パターン層511aとの距離d2(図7および
図8参照)を大きくすることで、この擬似コンデンサの
静電容量が小さくなり、これによりテスト信号の波形の
変動を抑えることができるからである。
Further, the insulating layer outer peripheral edge 511a1 of this embodiment is formed linearly at the portion β where the adjacent insulating layer outer peripheral edge 511a1 exists as described above, but the insulating layer outer peripheral edge 511a1 is not adjacent. As for the portion α, the distance from the through hole 511c is as large as possible.
It consists of a circle with a larger radius than the conventional one. That is, assuming that the radius of the conventional insulating layer outer peripheral edge 511a1 shown in FIG. 10 is r and the radius of the present example is R, it is desirable that r <R. This is because the pseudo capacitor formed of the through hole 511c, the wiring pattern layer 511a, and the insulating layer 51b therebetween has a through hole 511c.
By increasing the distance d2 between c and the wiring pattern layer 511a (see FIG. 7 and FIG. 8), the capacitance of the pseudo capacitor is reduced, thereby suppressing the fluctuation of the test signal waveform. is there.

【0031】このように、本実施形態のサブソケットボ
ード511では、配線パターン層511aにおいて絶縁
層外周縁511a1とこれに隣接する絶縁層外周縁51
1a1とで挟まれた部分βの間隔Dを極力大きくすると
同時に、スルーホール511cと配線パターン層511
aとの間隔d1,d2を極力大きくする。さらに、絶縁
層511bをポリテトラフルオロエチレンを主成分とす
る材料で構成することにより、絶縁層511bの誘電率
εを小さくする。
As described above, in the sub-socket board 511 of this embodiment, the outer peripheral edge 511a1 of the insulating layer and the outer peripheral edge 51 of the insulating layer adjacent thereto in the wiring pattern layer 511a.
1a1, the distance D between the portions β sandwiched between the through holes 511c and the wiring pattern layer 511 is increased.
The distances d1 and d2 with respect to “a” are made as large as possible. Furthermore, the dielectric constant ε of the insulating layer 511b is reduced by forming the insulating layer 511b from a material containing polytetrafluoroethylene as a main component.

【0032】これにより、隣接する絶縁層外周縁511
a1,511a1の間隔Dが小さいことが原因で生じる
ノイズを抑制でき、同時に、スルーホール511cと配
線パターン層511aとの間の絶縁層511bに電荷が
蓄積されることが原因で生じる信号波形の変動をも抑制
することができる。
Thus, the outer peripheral edge 511 of the adjacent insulating layer is formed.
Noise generated due to a small interval D between a1 and 511a1 can be suppressed, and at the same time, a signal waveform fluctuation caused due to accumulation of charges in the insulating layer 511b between the through hole 511c and the wiring pattern layer 511a. Can also be suppressed.

【0033】なお、以上説明した実施形態は、本発明の
理解を容易にするために記載されたものであって、本発
明を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技
術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨
である。
The embodiments described above are described for the purpose of facilitating the understanding of the present invention, but are not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

【0034】上述した実施形態では、サブソケットボー
ド511に本発明を適用した例を挙げたが、本発明の電
気回路基板はサブソケットボード511に限定されず他
の基板にも適用できる。さらに、電子部品試験装置で用
いられる電気回路基板にのみ限定されるものではなく、
一般的なプリント基板、セラミック基板その他の電気回
路基板に適用することができる。
In the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to the sub-socket board 511 has been described. However, the electric circuit board of the present invention is not limited to the sub-socket board 511 and can be applied to other substrates. Furthermore, it is not limited only to the electric circuit board used in the electronic component test apparatus,
The present invention can be applied to general printed boards, ceramic boards, and other electric circuit boards.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、隣接
する絶縁層外周縁の間隔Dが小さいことが原因で生じる
ノイズを抑制でき、同時に、スルーホールとパターン層
との間の絶縁層に電荷が蓄積されることが原因で生じる
信号波形の変動をも抑制することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to suppress noise generated due to a small interval D between the outer peripheral edges of adjacent insulating layers, and at the same time, to suppress the insulating layer between the through hole and the pattern layer. In addition, it is possible to suppress the fluctuation of the signal waveform caused by the accumulation of the electric charges.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電気回路基板を用いた電子部品試験装
置を示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing an electronic component test apparatus using an electric circuit board of the present invention.

【図2】図1のテストヘッドを示す詳細断面図である。FIG. 2 is a detailed sectional view showing the test head of FIG.

【図3】図2の II-III線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line II-III in FIG.

【図4】本発明の電気回路基板の配線パターン層の一例
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example of a wiring pattern layer of the electric circuit board of the present invention.

【図5】図4に示す配線パターン層の部分拡大図であ
る。
FIG. 5 is a partially enlarged view of the wiring pattern layer shown in FIG.

【図6】本発明の電気回路基板を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing an electric circuit board of the present invention.

【図7】図6のVII-VII線に沿う断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 6;

【図8】図7のVIII-VIII線に沿う断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG. 7;

【図9】従来の電気回路基板を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a conventional electric circuit board.

【図10】図9のX-X線に沿う断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line XX of FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

511…サブソケットボード(電気回路基板) 511a…配線パターン層(パターン層) 511a1…絶縁層外周縁 511b…絶縁層 511c…スルーホール 511: Sub socket board (electric circuit board) 511a: Wiring pattern layer (pattern layer) 511a1: Outer edge of insulating layer 511b: Insulating layer 511c: Through hole

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】信号ラインおよび/または電源ラインを含
むパターン層が絶縁層を介して積層され、前記絶縁層を
介して前記パターン層と絶縁されたスルーホールを有す
る電気回路基板であって、前記スルーホールの外周縁と
前記パターン層の内周縁との間隔が一定でない電気回路
基板。
1. An electric circuit board comprising: a pattern layer including a signal line and / or a power supply line laminated via an insulating layer; and a through hole insulated from the pattern layer via the insulating layer. An electric circuit board in which the distance between the outer periphery of the through hole and the inner periphery of the pattern layer is not constant.
【請求項2】信号ラインおよび/または電源ラインを含
むパターン層が絶縁層を介して積層され、前記絶縁層を
介して前記パターン層と絶縁されたスルーホールを有す
る電気回路基板であって、前記スルーホールの外周縁が
円形であり、前記パターン層と前記スルーホールとの間
の絶縁層の外周縁が非円形である電気回路基板。
2. An electric circuit board, comprising: a pattern layer including a signal line and / or a power supply line laminated via an insulating layer; and a through hole insulated from the pattern layer via the insulating layer. An electric circuit board, wherein an outer peripheral edge of a through hole is circular, and an outer peripheral edge of an insulating layer between the pattern layer and the through hole is non-circular.
【請求項3】信号ラインおよび/または電源ラインを含
むパターン層が絶縁層を介して積層され、前記絶縁層を
介して前記パターン層と絶縁された複数のスルーホール
を有する電気回路基板であって、前記パターン層と前記
スルーホールとの間の絶縁層の外周縁と、これに隣接す
る絶縁層の外周縁とに挟まれた部分が、略一定の幅をも
って形成されている電気回路基板。
3. An electric circuit board comprising: a plurality of pattern layers including signal lines and / or power supply lines laminated via an insulating layer; and a plurality of through holes insulated from the pattern layer via the insulating layer. An electric circuit board, wherein a portion sandwiched between an outer peripheral edge of an insulating layer between the pattern layer and the through hole and an outer peripheral edge of an insulating layer adjacent thereto is formed with a substantially constant width.
【請求項4】前記絶縁層はポリテトラフルオロエチレン
を主成分とする請求項1乃至3何れかに記載の電気回路
基板。
4. The electric circuit board according to claim 1, wherein said insulating layer contains polytetrafluoroethylene as a main component.
【請求項5】請求項1乃至4何れかに記載の電気回路基
板を有する電子部品試験装置。
5. An electronic component test apparatus having the electric circuit board according to claim 1.
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