JP2001330966A - Laser plotter - Google Patents

Laser plotter

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JP2001330966A
JP2001330966A JP2000148195A JP2000148195A JP2001330966A JP 2001330966 A JP2001330966 A JP 2001330966A JP 2000148195 A JP2000148195 A JP 2000148195A JP 2000148195 A JP2000148195 A JP 2000148195A JP 2001330966 A JP2001330966 A JP 2001330966A
Authority
JP
Japan
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laser
light amount
light
correction
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000148195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Kuwabara
Masaki Yoshioka
正喜 吉岡
章 桑原
Original Assignee
Dainippon Screen Mfg Co Ltd
大日本スクリーン製造株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Mfg Co Ltd, 大日本スクリーン製造株式会社 filed Critical Dainippon Screen Mfg Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser plotter capable of highly accurately performing the correcting processing of the uneven density of plotting pattern. SOLUTION: In the laser plotter for plotting pattern by modulating a laser beam by a plotting signal formed based on raster data, deflecting the modulated laser beam in a main scanning direction by a polygon mirror 67, and then, irradiating a substrate on a plotting stage 5 with the laser beam, and also moving the plotting stage 5 in a sub scanning direction, the laser plotter is provided with a light quantity correction circuit 123 for adjusting the light quantity of the laser beam at a correction position on one scanning line in accordance with light quantity correction data (c).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
などの処理対象物に対してレーザビームを照射して所望
のパターンを描画するレーザ描画装置に係り、特に、描
画パターンの濃度むらや位置ずれを高精度に補正する技
術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser drawing apparatus for drawing a desired pattern by irradiating a processing object such as a printed circuit board with a laser beam, and more particularly to a density unevenness and a positional deviation of a drawn pattern. The present invention relates to a technique for correcting a high accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のレーザ描画装置は、感光材料が被
着されたプリント配線基板を載置するテーブルと、描画
用のレーザビームを主走査方向に偏向させるポリゴンミ
ラーやfθレンズなどを含む結像光学系と、テーブルを
副走査方向に移動させる移動機構とを備えている。この
装置は、描画クロックで読み出されるラスターデータに
基づいてレーザビームを変調し、この変調されたレーザ
ビームを主走査方向に偏向させてテーブル上のプリント
配線基板に照射させるとともに、副走査方向にこのテー
ブルを移動させることにより、所望のパターンをプリン
ト配線基板に描画している。fθレンズは、レーザビー
ムのスポットがプリント配線基板上を等速度で主走査方
向に直線移動するようにするために用いられている。
2. Description of the Related Art A conventional laser drawing apparatus includes a table on which a printed wiring board on which a photosensitive material is adhered, a polygon mirror for deflecting a drawing laser beam in a main scanning direction, an fθ lens, and the like. An image optical system and a moving mechanism for moving the table in the sub-scanning direction are provided. This apparatus modulates a laser beam based on raster data read by a drawing clock, deflects the modulated laser beam in the main scanning direction to irradiate a printed wiring board on a table, and simultaneously modulates the laser beam in the sub-scanning direction. By moving the table, a desired pattern is drawn on the printed wiring board. The fθ lens is used to make the spot of the laser beam linearly move on the printed wiring board at a constant speed in the main scanning direction.

【0003】ところで、このfθレンズに対する要求と
して、画像記録の行える有効領域の全域で結像スポット
径を小さくして画像記録密度を上げるとともに、走査角
度を大きくして前記有効領域をより広く取ろうとする要
求がある。このような要求を優先してfθレンズを設計
した場合は、一方でfθ特性(直線等速度特性)が幾分
犠牲になるという問題が生じる。この問題により、たと
えポリゴンミラーが安定に定角速度で回転したとして
も、プリント配線基板上でのビームスポットの主走査速
度が一定でなくなってしまい、主走査方向において描画
パターンの濃度にむらが生じてしまうことになる。
[0003] By the way, as a demand for the fθ lens, it is necessary to increase the image recording density by reducing the image forming spot diameter over the entire effective area where image recording can be performed, and to increase the scanning angle to make the effective area wider. There is a request to do. If the fθ lens is designed with priority given to such a requirement, on the other hand, there is a problem that the fθ characteristic (linear constant velocity characteristic) is somewhat sacrificed. Due to this problem, even if the polygon mirror rotates stably at a constant angular speed, the main scanning speed of the beam spot on the printed wiring board is not constant, and the density of the drawing pattern is uneven in the main scanning direction. Will be lost.

【0004】そこで、このようなビームスポットの主走
査速度が一定でないことで生じる主走査方向における描
画パターンの濃度むらを補正するために、例えば、特開
平4-141616号公報,特開平4-141617号公報に示すような
レーザ描画装置がある。これらの装置は、描画クロック
で読み出されるラスターデータに基づいてレーザビーム
を変調する変調手段に加えるその描画クロックの周波数
を、fθレンズの特性に起因したビームスポットの主走
査速度の変化に対応して制御する周波数制御手段を備え
ている。このように構成された装置では、前記変調手段
に加える描画クロックの周波数を、fθレンズの特性に
起因したビームスポットの主走査速度の変化に対応して
制御しており、前述のようにfθ特性が幾分犠牲となっ
たfθレンズを用いたとしても、ビームスポットの主走
査ピッチを一定に保つことができ、主走査方向における
描画パターンの濃度むらをなくすことができる。
In order to correct such unevenness in the density of the drawing pattern in the main scanning direction caused by the non-constant main scanning speed of the beam spot, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 4-41616 and 4-41617. There is a laser drawing apparatus as shown in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-209,873. These apparatuses adjust the frequency of the drawing clock applied to the modulating means for modulating the laser beam based on the raster data read by the drawing clock in accordance with the change in the main scanning speed of the beam spot caused by the characteristics of the fθ lens. It has frequency control means for controlling. In the device configured as described above, the frequency of the drawing clock applied to the modulating means is controlled in accordance with the change in the main scanning speed of the beam spot caused by the characteristics of the fθ lens. The main scanning pitch of the beam spot can be kept constant, and the density unevenness of the drawing pattern in the main scanning direction can be eliminated even if an fθ lens is used which is somewhat sacrificed.

【0005】またここで、前述の主走査方向における描
画パターンの濃度むらを解消するものとは別の目的の従
来例装置について説明する。この装置は、ポリゴンミラ
ーの各反射鏡(ポリゴン面)の反射率のばらつきにより
生じるポリゴン面毎の描画パターンの濃度むらを解消す
るものである。
Here, a description will be given of a conventional apparatus for the purpose different from that for eliminating the unevenness of density of a drawing pattern in the main scanning direction. This apparatus eliminates uneven density of a drawing pattern for each polygon surface caused by a variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygon surface) of the polygon mirror.

【0006】例えば、特開平10-186259 号公報に示す装
置では、ポリゴンミラーの各反射鏡からのレーザビーム
の光量をスタートセンサで予め検出しておき、このスタ
ートセンサで検出されるレーザビームの光量がポリゴン
面に依らずに一定となるよう制御して、ポリゴン面毎の
光量ばらつきを補正し、ポリゴン面毎の描画パターンの
濃度むらを解消している。
For example, in an apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-186259, the light amount of a laser beam from each reflecting mirror of a polygon mirror is detected in advance by a start sensor, and the light amount of the laser beam detected by the start sensor is detected. Is controlled so as to be constant independently of the polygon surface to correct the light amount variation for each polygon surface, thereby eliminating the density unevenness of the drawing pattern for each polygon surface.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。前述の特開平4-141616号公報,特開平4-141617号
公報に示す従来例装置では、ビームスポットの主走査速
度が一定でないことで生じる主走査方向における描画パ
ターンの濃度むらを補正することはできるが、走査光学
系の一走査内におけるレーザビームの光量むらにより生
じる描画パターンの濃度むらを補正することはできない
という問題がある。具体的には、この走査光学系の一走
査内におけるレーザビームの光量むらとしては、走査光
学系の一走査内におけるレーザビームのパワー効率のば
らつきによるものがある。例えば、レーザ光源の出力が
一定出力でビームスポットの主走査速度が一定に制御さ
れている場合であっても、レーザ光源からプリント配線
基板までの光路における要因(例えば、ポリゴン面のレ
ーザビーム照射範囲の各位置における反射率のばらつき
等)によって、一走査内におけるレーザビームのパワー
効率にばらつきが生じる。このため、一走査内における
レーザ光強度にばらつきが生じ、描画パターンに濃度む
らが生じることになる。
However, the prior art having such a structure has the following problems. In the conventional apparatus described in JP-A-4-141616 and JP-A-4-141617 described above, it is not possible to correct the density unevenness of the drawing pattern in the main scanning direction caused by the non-constant main scanning speed of the beam spot. However, there is a problem that it is not possible to correct the density unevenness of the drawing pattern caused by the uneven light amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system. Specifically, the unevenness in the light amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system is caused by the variation in power efficiency of the laser beam in one scan of the scanning optical system. For example, even when the output of the laser light source is constant and the main scanning speed of the beam spot is controlled to be constant, factors in the optical path from the laser light source to the printed wiring board (for example, the laser beam irradiation range of the polygon surface) , Etc.), the power efficiency of the laser beam in one scan varies. For this reason, the laser beam intensity varies within one scan, and density unevenness occurs in the drawn pattern.

【0008】また、前述の特開平10-186259 号公報に示
す従来例装置では、ポリゴンミラーの各反射鏡(ポリゴ
ン面)の反射率のばらつきにより生じるポリゴン面毎の
描画パターンの濃度むらを解消することはできるが、前
述と同様に、走査光学系の一走査内におけるレーザビー
ムの光量むらにより生じる描画パターンの濃度むらを補
正することはできない。
In the conventional apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-186259, unevenness in density of a drawing pattern for each polygon surface caused by variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygon surface) of the polygon mirror is eliminated. However, as described above, it is not possible to correct the density unevenness of the drawing pattern caused by the unevenness in the light amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system.

【0009】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、描画パターンの濃度むらの補正処理を
高精度に行うことが可能なレーザ描画装置を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a laser writing apparatus capable of performing a process of correcting uneven density of a writing pattern with high accuracy.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載のレーザ描画装置は、レーザビーム
をラスターデータに基づいて生成される描画信号によっ
て変調し、この変調されたレーザビームを偏向手段で主
走査方向に偏向させて載置台上の処理対象物に照射させ
るとともに、副走査方向にレーザビームと載置台とを移
動手段で相対的に移動させることにより所望のパターン
を前記処理対象物に描画するレーザ描画装置において、
レーザビームの一走査ラインのうちで補正箇所の光量を
光量補正データに応じて調整する光量調整手段を備えて
いることを特徴とするものである。
The present invention has the following configuration in order to achieve the above object. That is, the laser drawing apparatus according to claim 1 modulates a laser beam with a drawing signal generated based on raster data, deflects the modulated laser beam in a main scanning direction by a deflecting unit, and places the laser beam on a mounting table. A laser drawing apparatus that draws a desired pattern on the processing target by irradiating the processing target with, and relatively moving the laser beam and the mounting table in the sub-scanning direction by a moving unit.
It is characterized in that it comprises a light amount adjusting means for adjusting the light amount at a correction position in one scanning line of the laser beam according to the light amount correction data.

【0011】また、請求項2に記載のレーザ描画装置
は、請求項1に記載のレーザ描画装置において、前記光
量調整手段は、レーザビームの一走査ラインのうちで補
正箇所の光量補正値を光量補正データとして保持するメ
モリ部と、前記メモリ部からの光量補正値に応じてレー
ザビームの光量を調整する調整部とを備えていることを
特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the laser writing apparatus according to the first aspect, the light amount adjusting means adjusts a light amount correction value of a correction portion in one scanning line of the laser beam. It is characterized by comprising a memory unit for holding as correction data, and an adjusting unit for adjusting the light amount of the laser beam according to the light amount correction value from the memory unit.

【0012】また、請求項3に記載のレーザ描画装置
は、請求項1または請求項2に記載のレーザ描画装置に
おいて、前記光量調整手段を同時走査描画する複数本の
レーザビーム毎に備えていることを特徴とするものであ
る。
According to a third aspect of the present invention, in the laser writing apparatus according to the first or second aspect, the light amount adjusting means is provided for each of a plurality of laser beams for simultaneous scanning and writing. It is characterized by the following.

【0013】また、請求項4に記載のレーザ描画装置
は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のレーザ描
画装置において、前記偏向手段はポリゴンミラーを含む
走査系とし、前記ポリゴンミラーの各面毎のレーザビー
ムの光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段
で検出されたポリゴンミラー各面のレーザビームの光量
が一定となるようにポリゴンミラー各面毎の光量補正デ
ータを算出する演算手段とを備えていることを特徴とす
るものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the laser writing apparatus according to any one of the first to third aspects, the deflecting means is a scanning system including a polygon mirror. A light amount detecting means for detecting the light amount of the laser beam for each surface, and light amount correction data for each surface of the polygon mirror are calculated such that the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror detected by the light amount detecting means is constant. Computing means for performing the operation.

【0014】また、請求項5に記載のレーザ描画装置
は、請求項1から請求項4のいずれかに記載のレーザ描
画装置において、前記レーザビームを受光することでこ
のレーザビームの主走査開始を検出するスタートセンサ
と、前記スタートセンサでの受光量が一定となるように
このスタートセンサへのレーザビームの光量を調整する
スタートセンサ光量調整手段とを備えていることを特徴
とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the laser writing apparatus according to any one of the first to fourth aspects, the main scanning of the laser beam is started by receiving the laser beam. It is characterized by comprising a start sensor for detecting, and a start sensor light amount adjusting means for adjusting the light amount of the laser beam to the start sensor so that the amount of light received by the start sensor is constant.

【0015】[0015]

【作用】請求項1に記載の装置発明の作用は次のとおり
である。光量調整手段は、レーザビームの一走査ライン
のうちで補正箇所の光量を光量補正データに応じて調整
する。したがって、走査光学系の一走査内におけるレー
ザビームの光量むらが補正され、描画パターンの濃度む
らが高精度に補正される。
The operation of the first aspect of the present invention is as follows. The light amount adjusting means adjusts the light amount at a correction position in one scanning line of the laser beam according to the light amount correction data. Therefore, the unevenness in the amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system is corrected, and the unevenness in the density of the drawing pattern is corrected with high accuracy.

【0016】また、請求項2に記載の装置発明によれ
ば、メモリ部は、レーザビームの一走査ラインのうちで
補正箇所の光量補正値を光量補正データとして保持す
る。調整部は、前記メモリ部からの光量補正値に応じて
レーザビームの光量を調整する。したがって、走査光学
系の一走査内におけるレーザビームの光量むらにより生
じる描画パターンの濃度むらを高精度に補正する構成を
実現することができる。
According to the second aspect of the present invention, the memory section holds the light amount correction value of the correction portion in one scanning line of the laser beam as light amount correction data. The adjusting unit adjusts the light amount of the laser beam according to the light amount correction value from the memory unit. Therefore, it is possible to realize a configuration that highly accurately corrects density unevenness of a drawing pattern caused by unevenness in the amount of a laser beam in one scan of a scanning optical system.

【0017】また、請求項3に記載の装置発明によれ
ば、光量調整手段は、同時走査描画する複数本のレーザ
ビーム毎に備えられている。したがって、複数本のレー
ザビームを用いるマルチビーム描画において、各レーザ
ビームの補正箇所の光量が対応する光量補正データに応
じて調整され、各レーザビームの一走査内における描画
パターンの濃度むらが高精度に補正される。さらに、各
レーザビームの光量が前記光量補正データに応じて一定
となるように調整され、レーザビーム毎にその光量がば
らつくことによるレーザビーム毎の描画パターンの濃度
むらが高精度に補正される。
According to the third aspect of the present invention, the light amount adjusting means is provided for each of a plurality of laser beams for simultaneous scanning and drawing. Therefore, in multi-beam writing using a plurality of laser beams, the light amount at the correction position of each laser beam is adjusted according to the corresponding light amount correction data, and the density unevenness of the writing pattern in one scan of each laser beam is highly accurate. Is corrected to Further, the light amount of each laser beam is adjusted so as to be constant according to the light amount correction data, and the unevenness in the density of the drawing pattern for each laser beam due to the variation in the light amount for each laser beam is corrected with high accuracy.

【0018】また、請求項4に記載の装置発明によれ
ば、光量検出手段は、ポリゴンミラーの各面毎のレーザ
ビームの光量を検出する。演算手段は、前記光量検出手
段で検出されたポリゴンミラー各面のレーザビームの光
量が一定となるようにポリゴンミラー各面毎の光量補正
データを算出する。したがって、ポリゴンミラー各面毎
の光量補正データが自動的に算出され、この算出された
ポリゴンミラー各面毎の光量補正データに応じてポリゴ
ンミラー各面のレーザビームの光量が一定となるよう調
整され、ポリゴンミラーの面毎の反射率のばらつきによ
るポリゴンミラーの面毎のレーザビームの光量のばらつ
きが補正され、ポリゴンミラーの面毎の描画パターンの
濃度むらが補正される。
According to the fourth aspect of the present invention, the light amount detecting means detects the light amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror. The calculating means calculates light amount correction data for each surface of the polygon mirror such that the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror detected by the light amount detecting means is constant. Therefore, the light amount correction data for each surface of the polygon mirror is automatically calculated, and the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror is adjusted according to the calculated light amount correction data for each surface of the polygon mirror. In addition, the variation in the amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror due to the variation in the reflectance of each surface of the polygon mirror is corrected, and the uneven density of the drawing pattern for each surface of the polygon mirror is corrected.

【0019】また、請求項5に記載の装置発明によれ
ば、スタートセンサは、レーザビームを受光することで
このレーザビームの主走査開始を検出する。スタートセ
ンサ光量調整手段は、前記スタートセンサでの受光量が
一定となるようにこのスタートセンサへのレーザビーム
の光量を調整する。したがって、処理対象物の種類に応
じてレーザビームの光量を変更した場合であっても、ス
タートセンサでの受光量を一定とすることができ、レー
ザビームの光量変動に伴うスタートセンサでの走査開始
信号のジッタ(位置ずれ)が防止される。
According to the apparatus described in claim 5, the start sensor detects the start of the main scanning of the laser beam by receiving the laser beam. The start sensor light amount adjusting means adjusts the light amount of the laser beam to the start sensor so that the amount of light received by the start sensor is constant. Therefore, even when the light amount of the laser beam is changed in accordance with the type of the processing object, the amount of light received by the start sensor can be kept constant, and the scanning by the start sensor due to the fluctuation of the light amount of the laser beam can be started. Signal jitter (position shift) is prevented.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら説明する。本発明に係るレーザ描画装置の一
例であるプリント配線基板製造装置は、以下に示すよう
な第1〜第4補正機能を備えている。 (1)第1補正機能は、走査光学系の一走査内における
レーザビームの光量むらにより生じる描画パターンの濃
度むらを補正する機能である。(第1補正例) (2)第2補正機能は、前述の第1補正機能に加えて、
ポリゴンミラーの各反射鏡(ポリゴン面)の反射率のば
らつきにより生じるポリゴン面毎の描画パターンの濃度
むらを補正する機能である。(第2補正例) (3)第3補正機能は、レーザビーム毎の光量のばらつ
きにより生じるレーザビーム毎の描画パターンの濃度む
らを補正する機能である。(第3補正例) (4)第4補正機能は、スタートセンサへのレーザビー
ムの光量変動により生じる描画パターンの位置ずれを補
正する機能である。(第4補正例)このような第1〜第
4補正機能を備えたプリント配線基板製造装置は、以下
の通りに構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A printed wiring board manufacturing apparatus, which is an example of a laser drawing apparatus according to the present invention, has first to fourth correction functions as described below. (1) The first correction function is a function of correcting unevenness in density of a drawing pattern caused by unevenness in the amount of a laser beam in one scan of a scanning optical system. (First Correction Example) (2) In addition to the above-described first correction function, the second correction function
This function corrects uneven density of a drawing pattern for each polygon surface caused by variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygon surface) of the polygon mirror. (Second Correction Example) (3) The third correction function is a function of correcting unevenness in density of a drawing pattern for each laser beam caused by a variation in the amount of light for each laser beam. (Third Correction Example) (4) The fourth correction function is a function of correcting a position shift of a drawing pattern caused by a fluctuation in the amount of laser beam to the start sensor. (Fourth Correction Example) A printed wiring board manufacturing apparatus having such first to fourth correction functions is configured as follows.

【0021】図1は、本発明に係るレーザ描画装置の一
例であるプリント配線基板製造装置の概略構成を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a printed wiring board manufacturing apparatus which is an example of a laser drawing apparatus according to the present invention.

【0022】本実施例に係るプリント配線基板製造装置
は、図1に示すように、大きく分けて、感光材料が被着
されたプリント配線基板(処理対象物)Sを載置する描
画ステージ5と、描画用のレーザビームLBを主走査方
向(x方向)に偏向させるポリゴンミラー67やfθレ
ンズ68などを含む結像光学系21と、描画ステージ5
を副走査方向(y方向)に移動させる移動機構と、CA
D(Computer Aided Design )を使って設計されたプリ
ント配線基板のアートワークデータを処理するデータ処
理部101と、このデータ処理部101からのデータに
基づいて描画制御する描画制御部102とで構成されて
いる。
As shown in FIG. 1, the printed wiring board manufacturing apparatus according to this embodiment is roughly divided into a drawing stage 5 on which a printed wiring board (object to be processed) S on which a photosensitive material is applied is mounted. An imaging optical system 21 including a polygon mirror 67 and an fθ lens 68 for deflecting the drawing laser beam LB in the main scanning direction (x direction);
A moving mechanism for moving in the sub-scanning direction (y direction);
It comprises a data processing unit 101 for processing artwork data of a printed wiring board designed using D (Computer Aided Design), and a drawing control unit 102 for performing drawing control based on the data from the data processing unit 101. ing.

【0023】描画ステージ5の移動機構は以下のように
構成されている。この装置の基台1の上面には、一対の
ガイドレール3が配設されており、それらのガイドレー
ル3の間には、サーボモータ7によって回転される送り
ネジ9が配備されている。この送りネジ9には、描画ス
テージ5がその下部で螺合されている。描画ステージ5
は、ガイドレール3に沿って摺動自在に取り付けられた
ステージ基台10と、プリント配線基板Sを吸着載置す
るための載置テーブル15を備えている。
The moving mechanism of the drawing stage 5 is configured as follows. A pair of guide rails 3 is provided on the upper surface of the base 1 of the apparatus, and a feed screw 9 rotated by a servomotor 7 is provided between the guide rails 3. The drawing stage 5 is screwed to the feed screw 9 at its lower part. Drawing stage 5
Has a stage base 10 slidably mounted along the guide rails 3 and a mounting table 15 on which the printed wiring board S is mounted by suction.

【0024】なお、上述したガイドレール3と、サーボ
モータ7と、送りネジ9とで構成される移動機構が本発
明における移動手段に相当する。
The moving mechanism including the guide rail 3, the servo motor 7, and the feed screw 9 corresponds to the moving means in the present invention.

【0025】描画ステージ5がサーボモータ7の駆動に
より移動されるy方向(副走査方向)には、処理位置P
Yにて描画用のレーザビームLBをx方向(主走査方
向)に偏向しながら下方に向けて照射する結像光学系2
1が配設されている。この結像光学系21は門型状のフ
レームによって基台1の上部に配設されており、サーボ
モータ7が駆動されると描画ステージ5が結像光学系2
1に対して進退するようになっている。
In the y direction (sub-scanning direction) in which the drawing stage 5 is moved by the drive of the servo motor 7, the processing position P
An imaging optical system 2 that irradiates a drawing laser beam LB downward while deflecting it in the x direction (main scanning direction) in Y.
1 is provided. The imaging optical system 21 is disposed above the base 1 by a gate-shaped frame. When the servo motor 7 is driven, the drawing stage 5 is connected to the imaging optical system 2.
It is designed to advance and retreat for one.

【0026】次に、結像光学系21について説明する。
レーザ光源41は、例えば、半導体を励起光源とした波
長532μmの固体レーザである。このレーザ光源41
から射出されたレーザビームLBaは、コーナーミラー
43によって方向をほぼ90°変えられ、ビームエキス
パンダー45に入射される。このビームエキスパンダー
45によって所定のビーム径に調整されたレーザビーム
LBaは、ビームスプリッタ47によって例えば8本の
レーザビームLBbに分割される(図1中では省略して
ある)。8本に分割されたレーザビームLBbは、集光
レンズ49およびコーナーミラー51によって各々、音
響光学変調器(acousto optical modulator :AOM)
53に対して平行に入射されるとともに、音響光学変調
器53内の結晶中で結像し、後述する描画制御部102
からの制御信号により各々が独立してラスターデータに
基づき変調されるようになっている。
Next, the image forming optical system 21 will be described.
The laser light source 41 is, for example, a solid-state laser having a wavelength of 532 μm using a semiconductor as an excitation light source. This laser light source 41
The laser beam LBa emitted from the laser beam LBa is changed in direction by approximately 90 ° by the corner mirror 43 and is incident on the beam expander 45. The laser beam LBa adjusted to a predetermined beam diameter by the beam expander 45 is split into, for example, eight laser beams LBb by the beam splitter 47 (not shown in FIG. 1). The eight divided laser beams LBb are respectively condensed by a condenser lens 49 and a corner mirror 51 to obtain an acousto-optic modulator (AOM).
The light enters the crystal in the acousto-optic modulator 53 at the same time as being incident parallel to the light 53, and a drawing control unit 102 described later
Are independently modulated based on the raster data by the control signal from the CPU.

【0027】音響光学変調器53で変調されたレーザビ
ームLBcは、コーナーミラー55で反射されてリレー
レンズ系57に入射される。リレーレンズ系57から射
出されたレーザビームLBcは、シリンドリカルレンズ
59と、コーナーミラー61と、球面レンズ63と、コ
ーナーミラー65とを介してポリゴンミラー67に導か
れる。そして、ポリゴンミラー67の各面上で主走査方
向(x方向)に長い線状のスポットを形成する。
The laser beam LBc modulated by the acousto-optic modulator 53 is reflected by a corner mirror 55 and enters a relay lens system 57. The laser beam LBc emitted from the relay lens system 57 is guided to the polygon mirror 67 via the cylindrical lens 59, the corner mirror 61, the spherical lens 63, and the corner mirror 65. Then, a linear spot long in the main scanning direction (x direction) is formed on each surface of the polygon mirror 67.

【0028】本発明の偏向手段に相当するポリゴンミラ
ー67の回転によって水平面内で偏向走査された線状の
レーザビームLBcは、fθレンズ68を通った後、主
走査方向に長尺の折り返しミラー69で下方に向けて折
り返される。そして、露光面への入射角がほぼ垂直にな
るようにフィールドレンズ71で補正された後、シリン
ドリカルレンズ73を通して載置テーブル15に向けて
照射されるようになっている。シリンドリカルレンズ7
3は、主走査方向に長尺であり、副走査方向にのみパワ
ーを有している。
The linear laser beam LBc, which has been deflected and scanned in the horizontal plane by the rotation of the polygon mirror 67 corresponding to the deflecting means of the present invention, passes through the fθ lens 68 and then has a long folding mirror 69 in the main scanning direction. Is folded downward. After being corrected by the field lens 71 so that the angle of incidence on the exposure surface becomes substantially vertical, the light is irradiated toward the mounting table 15 through the cylindrical lens 73. Cylindrical lens 7
Numeral 3 is long in the main scanning direction and has power only in the sub-scanning direction.

【0029】上述したポリゴンミラー67上の線状スポ
ットは、fθレンズ68と、フィールドレンズ71と、
シリンドリカルレンズ73との作用によって、載置テー
ブル15上で所定径のスポットを形成して結像し、ポリ
ゴンミラー67が回転することにより主走査方向(x方
向)に移動するレーザビームLB(最大8本のレーザビ
ームからなる)を形成する。
The linear spot on the polygon mirror 67 is divided into an fθ lens 68, a field lens 71,
The laser beam LB (maximum 8) moves in the main scanning direction (x direction) by rotating the polygon mirror 67 by forming a spot having a predetermined diameter on the mounting table 15 by the action with the cylindrical lens 73. Consisting of two laser beams).

【0030】なお、ポリゴンミラー67のミラー面と結
像面とは、fθレンズ68,フィールドレンズ71およ
びシリンドリカルレンズ73により、副走査方向におい
て光学的に共役な位置関係となっており、ポリゴンミラ
ー67の各ミラー面の加工誤差などに起因してミラー面
が鉛直軸から傾く面倒れによるレーザビームの走査位置
ずれを補正している。
The mirror surface of the polygon mirror 67 and the image forming surface have an optically conjugate positional relationship in the sub-scanning direction by the fθ lens 68, the field lens 71, and the cylindrical lens 73. The scanning position shift of the laser beam due to the tilting of the mirror surface from the vertical axis due to the processing error of each mirror surface is corrected.

【0031】また、上述したフィールドレンズ71とシ
リンドリカルレンズ73との間には、スタートセンサ7
5へレーザビームを導くためのミラー(図示せず)が配
設されている。
A start sensor 7 is provided between the field lens 71 and the cylindrical lens 73 described above.
5 is provided with a mirror (not shown) for guiding the laser beam.

【0032】ここでこのスタートセンサ75について図
2を用いて説明する。図2(a)はスタートセンサ75
の構成を示す斜視図であり、図2(b)は光量が異なる
レーザビームをそれぞれ受光したときのこのスタートセ
ンサ75の検出波形を示す図であり、図2(c)は図2
(b)に示した光量Paのレーザビームを受光したとき
の走査開始信号aの出力タイミングを示す図であり、図
2(d)は図2(b)に示した光量Pb(光量Pb>光
量Pa)のレーザビームを受光したときの走査開始信号
aの出力タイミングを示す図である。スタートセンサ7
5は、図2(a)に示すように、x方向に走査されるレ
ーザビームを受光する受光面75aを有している。受光
面75aのレーザビームが通過するx方向の幅は、例え
ば、レーザビームのスポット径(20μm)より大きく
形成されている。スタートセンサ75は、例えば、図2
(b)に示した光量Paのレーザビームを受光すると、
図2(c)に示すように、検出電圧が閾値に到達した時
刻t2に走査開始信号aを出力する。また、図2(b)
に示した光量Pbのレーザビームを受光すると、図2
(d)に示すように、検出電圧が閾値に到達した時刻t
1(時刻t2より早い時刻)に走査開始信号aを出力す
る。このように、スタートセンサ75は、レーザビーム
の主走査方向(x方向)への走査開始を検出している。
スタートセンサ75から出力される走査開始信号aは、
後述する描画制御部102に与えられて、その時点から
所定時間後に描画が開始されるようになっている。
Here, the start sensor 75 will be described with reference to FIG. FIG. 2A shows a start sensor 75.
FIG. 2B is a diagram showing a detection waveform of the start sensor 75 when laser beams having different light amounts are respectively received, and FIG. 2C is a perspective view showing the configuration of FIG.
FIG. 2B is a diagram showing the output timing of the scanning start signal a when the laser beam having the light amount Pa shown in FIG. 2B is received, and FIG. 2D shows the light amount Pb shown in FIG. 2B (light amount Pb> light amount). FIG. 7 is a diagram illustrating output timing of a scanning start signal a when a laser beam of Pa) is received. Start sensor 7
5 has a light receiving surface 75a for receiving a laser beam scanned in the x direction, as shown in FIG. The width of the light receiving surface 75a in the x direction through which the laser beam passes is formed, for example, larger than the spot diameter (20 μm) of the laser beam. The start sensor 75 is, for example, as shown in FIG.
When a laser beam having the light amount Pa shown in FIG.
As shown in FIG. 2C, the scan start signal a is output at time t2 when the detection voltage reaches the threshold. FIG. 2 (b)
When a laser beam having the light amount Pb shown in FIG.
As shown in (d), the time t when the detection voltage reaches the threshold value
At 1 (time earlier than time t2), a scan start signal a is output. Thus, the start sensor 75 detects the start of scanning of the laser beam in the main scanning direction (x direction).
The scanning start signal a output from the start sensor 75 is
This is given to a drawing control unit 102 described later, and drawing is started after a predetermined time from that point.

【0033】次に、データ処理部101と描画制御部1
02とについて、図3を用いて説明する。図3は、プリ
ント配線基板製造装置の概略構成を示すブロック図であ
る。データ処理部101は、CADを使って設計された
プリント配線基板のアートワークデータが入力され、ラ
スター走査描画のためのランレングスデータに変換す
る。このデータ処理部101として、例えば、ワークス
テーションやパーソナルコンピュータなどを用いてい
る。
Next, the data processing unit 101 and the drawing control unit 1
02 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of the printed wiring board manufacturing apparatus. The data processing unit 101 receives artwork data of a printed wiring board designed using CAD and converts the artwork data into run-length data for raster scan drawing. As the data processing unit 101, for example, a workstation or a personal computer is used.

【0034】描画制御部102は、光量分布演算部89
と、ランレングスデータバッファ112と、ラスタ変換
回路113と、描画データバッファメモリ114と、描
画処理部115とで構成されている。
The drawing control unit 102 includes a light amount distribution calculating unit 89
, A run-length data buffer 112, a raster conversion circuit 113, a drawing data buffer memory 114, and a drawing processing unit 115.

【0035】図1に示すように、例えば、載置テーブル
15の副走査方向先端部には、レーザビームの光強度を
測るための受光センサ88が主走査方向(x方向)に移
動可能なように設けられている。プリント配線基板Sに
レーザ描画を開始する前に、受光センサ88が処理位置
PYに位置するように載置テーブル15を移動させてお
く。この状態で、レーザビームを描画有効範囲において
主走査方向に所定間隔毎に順に照射させるとともに、こ
のレーザビームを受光するよう受光センサ88をレーザ
ビームのスポット位置に適宜移動させ、この受光センサ
88で測定した光強度データ(多値光量データ)を光量
分布演算部89に出力する。このようにして、レーザビ
ームの主走査方向への所定間隔毎の光強度分布を測定す
る。光量分布演算部89は、受光センサ88で測定され
たレーザビームのこれらの多値光量データに基づいて、
レーザビームの光量むらを補正するための光量補正デー
タcを算出し、この算出した光量補正データcを描画処
理部115のメインコントローラ121に出力する。
As shown in FIG. 1, for example, a light receiving sensor 88 for measuring the light intensity of the laser beam is movable at the tip of the mounting table 15 in the sub-scanning direction in the main scanning direction (x direction). It is provided in. Before starting laser drawing on the printed wiring board S, the mounting table 15 is moved so that the light receiving sensor 88 is located at the processing position PY. In this state, the laser beam is irradiated sequentially at predetermined intervals in the main scanning direction in the drawing effective range, and the light receiving sensor 88 is appropriately moved to the spot position of the laser beam so as to receive the laser beam. The measured light intensity data (multi-value light amount data) is output to the light amount distribution calculation unit 89. In this way, the light intensity distribution of the laser beam at predetermined intervals in the main scanning direction is measured. The light amount distribution calculation unit 89 is based on these multi-value light amount data of the laser beam measured by the light receiving sensor 88,
Light amount correction data c for correcting unevenness in the light amount of the laser beam is calculated, and the calculated light amount correction data c is output to the main controller 121 of the drawing processing unit 115.

【0036】ランレングスデータバッファ112は、デ
ータ処理部101で変換されたランレングスデータ全て
を一旦記憶する。ラスタ変換回路113は、順次読み出
されたランレングスデータを画素単位の2値のラスター
データに変換する。描画データバッファメモリ114
は、1走査毎にラスターデータを記憶する。描画処理部
115は、ラスタ変換回路113にラスタ変換指示を与
え、描画データバッファメモリ114に記憶されている
ラスターデータを内部の描画クロック発生回路122か
らの描画クロック信号dで読み出し、このラスターデー
タに基づいて生成される描画信号eの電圧(振幅)を光
量分布演算部89からの光量補正データcに基づいて補
正し、この補正後の描画信号fを音響光学変調器53に
出力する。音響光学変調器53は、この補正後の描画信
号fに基づいて、レーザ光源41からのレーザビームを
変調(光強度変調)する。
The run-length data buffer 112 temporarily stores all the run-length data converted by the data processing unit 101. The raster conversion circuit 113 converts the sequentially read run-length data into binary raster data in pixel units. Drawing data buffer memory 114
Stores raster data for each scan. The drawing processing unit 115 gives a raster conversion instruction to the raster conversion circuit 113, reads out the raster data stored in the drawing data buffer memory 114 with the drawing clock signal d from the internal drawing clock generation circuit 122, and converts the raster data into The voltage (amplitude) of the drawing signal e generated based on the light amount is corrected based on the light amount correction data c from the light amount distribution calculating unit 89, and the corrected drawing signal f is output to the acousto-optic modulator 53. The acousto-optic modulator 53 modulates (light intensity modulation) the laser beam from the laser light source 41 based on the corrected drawing signal f.

【0037】この描画処理部115は、メインコントロ
ーラ121と、描画クロック発生回路122と、光量補
正回路123と、ポリゴン回転制御部124と、Y軸同
期制御部125とを備えている。
The drawing processing unit 115 includes a main controller 121, a drawing clock generation circuit 122, a light amount correction circuit 123, a polygon rotation control unit 124, and a Y-axis synchronization control unit 125.

【0038】メインコントローラ121には、光量分布
演算部89で算出された光量補正データcや、スタート
センサ75で1走査毎に検出される走査開始信号aや、
ポリゴン面検出器126からの面信号i(ポリゴンミラ
ー67のレーザビームが照射されている面を示す信号)
などが入力される。メインコントローラ121は、描画
クロック発生回路122からの描画クロック信号dと光
量分布演算部89からの光量補正データcとに基づいて
光量補正回路123を制御し、ポリゴン回転制御部12
4とY軸同期制御部125とを制御する。
The main controller 121 includes light amount correction data c calculated by the light amount distribution calculator 89, a scan start signal a detected by the start sensor 75 for each scan,
Surface signal i from polygon surface detector 126 (signal indicating surface of polygon mirror 67 irradiated with laser beam)
Is entered. The main controller 121 controls the light amount correction circuit 123 based on the drawing clock signal d from the drawing clock generation circuit 122 and the light amount correction data c from the light amount distribution calculation unit 89, and controls the polygon rotation control unit 12
4 and the Y-axis synchronization control unit 125.

【0039】なお、ポリゴン面検出器126は、レーザ
ビームが照射されているポリゴンミラー67の面を検出
するためのものである。このポリゴン面検出器126
は、例えば、ポリゴンミラー67に形成されているマー
クを光学的に検出してポリゴンミラー67の第1面を検
出し、ポリゴンミラー67の残りの第2面から第n面に
ついては図4に示すようにスタートセンサ75からの走
査開始信号aをカウンタ部126aでカウントすること
で検出している。
The polygon surface detector 126 detects the surface of the polygon mirror 67 irradiated with the laser beam. This polygon surface detector 126
For example, the mark formed on the polygon mirror 67 is optically detected to detect the first surface of the polygon mirror 67, and the remaining second to n-th surfaces of the polygon mirror 67 are shown in FIG. As described above, the scanning start signal a from the start sensor 75 is detected by counting by the counter unit 126a.

【0040】描画クロック発生回路122は、図3に示
すように、描画クロック信号dを生成して描画データバ
ッファメモリ114とメインコントローラ121とに出
力する。ポリゴン回転制御部124は、メインコントロ
ーラ121からの指示に従ってポリゴンミラー67を回
転制御する。Y軸同期制御部125は、メインコントロ
ーラ121からの指示に従って、レーザ描画に同期させ
て描画ステージ5をy軸方向に駆動制御する。
The drawing clock generating circuit 122 generates a drawing clock signal d and outputs it to the drawing data buffer memory 114 and the main controller 121 as shown in FIG. The polygon rotation control unit 124 controls the rotation of the polygon mirror 67 according to an instruction from the main controller 121. The Y-axis synchronization control unit 125 drives and controls the drawing stage 5 in the y-axis direction in synchronization with laser drawing according to an instruction from the main controller 121.

【0041】光量補正回路123は、図4に示すよう
に、各レーザビーム毎に設けられている。図4は、描画
制御部の要部の構成を示すブロック図である。描画デー
タバッファメモリ114から読み出された各ビームのラ
スターデータに基づいて生成される描画信号eは、それ
ぞれ対応する光量補正回路123にビーム毎に入力され
る。これらの光量補正回路123は、入力された描画信
号eを、自己に設定された光量補正データcに基づいて
補正し、この補正後の描画信号fを音響光学変調器53
にそれぞれ出力する。これらの光量補正回路123は、
光量補正メモリ131と、基準電圧出力回路132と、
光量制御回路133とで構成されている。なお、メイン
コントローラ121は、光量分布演算部89からのビー
ム毎の光量補正データcを、対応する光量補正メモリ1
31にビーム毎にそれぞれ設定する。ここで、この光量
補正データcとは、描画信号の振幅である光量制御用電
圧設定(多値光量設定値)を補正するためのものであ
る。
The light amount correction circuit 123 is provided for each laser beam as shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a main part of the drawing control unit. The drawing signal e generated based on the raster data of each beam read from the drawing data buffer memory 114 is input to the corresponding light amount correction circuit 123 for each beam. These light amount correction circuits 123 correct the input drawing signal e based on the light amount correction data c set for themselves, and output the corrected drawing signal f to the acousto-optic modulator 53.
Respectively. These light quantity correction circuits 123
A light quantity correction memory 131, a reference voltage output circuit 132,
A light amount control circuit 133 is provided. The main controller 121 stores the light amount correction data c for each beam from the light amount distribution calculator 89 in the corresponding light amount correction memory 1.
31 is set for each beam. Here, the light amount correction data c is for correcting the light amount control voltage setting (multi-value light amount setting value) which is the amplitude of the drawing signal.

【0042】光量補正メモリ131は、レーザビームの
一走査ラインのうちで補正箇所の光量補正値を光量補正
データcとして記憶保持する。基準電圧出力回路132
は、光量補正メモリ131から読み出された光量補正デ
ータcに応じて、光量補正用の基準電圧hを生成する。
光量制御回路133は、基準電圧出力回路132からの
光量補正用の基準電圧hに応じて、描画信号eにおける
光量制御用電圧設定(多値光量設定値)を補正し、この
補正後の描画信号fを音響光学変調器53に出力する。
なお、基準電圧出力回路132としては、例えば、光量
補正メモリ131から読み出されたデジタルデータであ
る光量補正データcをアナログデータである光量補正用
の基準電圧hに変換して出力するD/A(デジタルアナ
ログ)変換器などが挙げられる。また、光量制御回路1
33としては、例えば、描画データバッファメモリ11
4から読み出されたラスターデータを多値化して描画信
号を生成する際のデジタルデータである光量制御用電圧
設定(多値光量設定値)を、基準電圧出力回路132か
らの光量補正用の基準電圧hに応じて補正し、この補正
後のアナログデータである描画信号を出力するD/A
(デジタルアナログ)変換器などが挙げられる。
The light amount correction memory 131 stores and holds a light amount correction value at a correction position in one scanning line of the laser beam as light amount correction data c. Reference voltage output circuit 132
Generates a reference voltage h for light quantity correction according to the light quantity correction data c read from the light quantity correction memory 131.
The light quantity control circuit 133 corrects the light quantity control voltage setting (multi-value light quantity set value) in the drawing signal e according to the light quantity correction reference voltage h from the reference voltage output circuit 132, and the corrected drawing signal f is output to the acousto-optic modulator 53.
The reference voltage output circuit 132 converts, for example, the light amount correction data c, which is digital data read from the light amount correction memory 131, into a reference voltage h for light amount correction, which is analog data, and outputs the D / A. (Digital-analog) converters and the like. Also, the light amount control circuit 1
33, for example, the drawing data buffer memory 11
4 is a digital data for generating a drawing signal by converting the raster data read out from the data No. 4 into a multi-valued data. D / A that corrects according to voltage h and outputs a drawing signal that is analog data after the correction
(Digital-analog) converters and the like.

【0043】このように各光量制御回路133で補正さ
れた描画信号fにより、対応するレーザビームがそれぞ
れ変調され、変調された各レーザビームがプリント配線
基板Sに照射され、光量むらが補正され濃度むらが補正
された描画パターンがプリント配線基板Sに形成され
る。
In accordance with the drawing signal f corrected by each light amount control circuit 133, the corresponding laser beam is modulated, and each modulated laser beam is irradiated on the printed wiring board S to correct the light amount unevenness and correct the density. A drawing pattern in which unevenness has been corrected is formed on the printed wiring board S.

【0044】なお、上述した光量補正回路123が本発
明における光量調整手段に相当し、上述した光量補正メ
モリ131が本発明におけるメモリ部に相当し、上述し
た基準電圧出力回路132と光量制御回路133とが本
発明における調整部に相当する。
The above-mentioned light amount correction circuit 123 corresponds to the light amount adjusting means in the present invention, the above-mentioned light amount correction memory 131 corresponds to the memory section in the present invention, and the above-described reference voltage output circuit 132 and light amount control circuit 133. Correspond to the adjustment unit in the present invention.

【0045】ここで、この実施例装置でのマルチビーム
構成について説明する。レーザ光の相互干渉を排除する
ために、マルチビームは、走査ラインに対して斜めにな
るように配置されている。即ち、隣接するビーム間の主
走査方向(x方向)の距離は100μm前後、隣接する
ビーム間の副走査方向(y方向)の距離はラスター描画
の画素単位数5μmになるように調整されている。従っ
て、8本ビームでCH(チャンネル)1〜CH8のビー
ム中心間距離は、x方向間隔は約700μm、y方向間
隔は35μmとなっている。
Here, a multi-beam configuration in this embodiment will be described. In order to eliminate mutual interference of laser beams, the multi-beams are arranged so as to be oblique to the scanning line. That is, the distance between adjacent beams in the main scanning direction (x direction) is adjusted to be about 100 μm, and the distance between adjacent beams in the sub scanning direction (y direction) is adjusted to be 5 μm in units of pixels for raster drawing. . Accordingly, the distance between the beam centers of CH (channel) 1 to CH8 in the eight beams is approximately 700 μm in the x direction and 35 μm in the y direction.

【0046】続いて、以上の構成を有する実施例のプリ
ント配線基板製造装置において、前述の第1〜第4補正
例について順に説明する。
Subsequently, in the printed wiring board manufacturing apparatus according to the embodiment having the above-described configuration, the above-described first to fourth correction examples will be sequentially described.

【0047】〈第1補正例〉ここでは、以上の構成を有
する実施例のプリント配線基板製造装置において、走査
光学系の一走査内におけるレーザビーム(例えば、CH
1のレーザビーム)の光量むらにより生じる描画パター
ンの濃度むらを補正する動作(第1補正機能)について
説明する。
<First Correction Example> Here, in the printed wiring board manufacturing apparatus of the embodiment having the above configuration, the laser beam (for example, CH
An operation (first correction function) for correcting the density unevenness of the drawing pattern caused by the uneven light amount of the (one laser beam) will be described.

【0048】プリント配線基板Sへのレーザ描画を開始
する前に、光量補正データcの算出とその設定とを以下
のようにして行う。まず、図1に示すように、受光セン
サ88が処理位置PYに位置するように描画ステージ5
を移動させておく。この状態で、受光センサ88をレー
ザビームの描画有効範囲において主走査方向に10mm間
隔毎に順に移動させるとともに、この受光センサ88に
レーザビーム(CH1)を適宜照射してそのときの光強
度データ(多値光量データ)を測定し光量分布演算部8
9に出力する(図3参照)。このようにして、レーザビ
ーム(CH1)の主走査方向への10mm間隔毎の光強度
分布を測定する。光量分布演算部89は、受光センサ8
8で測定されたレーザビーム(CH1)の多値光量デー
タに基づいて、レーザビーム(CH1)の光量むらを補
正するための光量補正データcを算出し、この算出した
光量補正データcを描画処理部115のメインコントロ
ーラ121に出力する。具体的には、10mm間隔毎に計
測されたレーザビーム(CH1)の光強度分布に基づい
て、レーザビーム(CH1)の光量が一走査ラインにわ
たって一定となるように、例えば32画素(32×5 μm=
160 μm)単位毎の光量補正データcを2500個(走査幅
400 mm/32画素(160 μm)=2500個)にわたって算
出する。光量分布演算部89は、上記のように算出した
2500個にわたる32画素単位の光量補正データcをメイン
コントローラ121に出力する。メインコントローラ1
21は、この2500個にわたる32画素単位の光量補正デー
タcを、光量補正回路123の光量補正メモリ131に
設定する。
Before starting the laser drawing on the printed wiring board S, the calculation and the setting of the light quantity correction data c are performed as follows. First, as shown in FIG. 1, the drawing stage 5 is moved so that the light receiving sensor 88 is positioned at the processing position PY.
Is moved. In this state, the light receiving sensor 88 is sequentially moved in the main scanning direction at intervals of 10 mm in the laser beam drawing effective range, and the light receiving sensor 88 is appropriately irradiated with the laser beam (CH1), and the light intensity data ( Multi-level light quantity data) and measures the light quantity distribution calculation unit 8
9 (see FIG. 3). In this way, the light intensity distribution of the laser beam (CH1) at every 10 mm in the main scanning direction is measured. The light amount distribution calculation unit 89 includes the light receiving sensor 8
8, light amount correction data c for correcting unevenness in the light amount of the laser beam (CH1) is calculated based on the multilevel light amount data of the laser beam (CH1), and the calculated light amount correction data c is drawn. Output to the main controller 121 of the unit 115. Specifically, based on the light intensity distribution of the laser beam (CH1) measured at intervals of 10 mm, for example, 32 pixels (32 × 5 pixels) such that the light amount of the laser beam (CH1) is constant over one scanning line. μm =
2500 light correction data c per unit (160 μm) (scan width
It is calculated over 400 mm / 32 pixels (160 μm) = 2500 pixels. The light amount distribution calculation unit 89 calculates as described above.
The 2500 light quantity correction data c in units of 32 pixels are output to the main controller 121. Main controller 1
21 sets the 2500 light quantity correction data c in units of 32 pixels in the light quantity correction memory 131 of the light quantity correction circuit 123.

【0049】光量補正回路123は、光量補正メモリ1
31に設定された2500個にわたる32画素単位の光量補正
データcをアドレス順に、描画クロック発生回路122
からの描画クロック信号dを32クロック分周した補正単
位で読み出して基準電圧出力回路132に出力する。基
準電圧出力回路132は、光量補正メモリ131からア
ドレス順に読み出される2500個にわたる32画素単位の光
量補正データcに応じて、光量補正用の基準電圧hを生
成して光量制御回路133に出力する。光量制御回路1
33は、描画データバッファメモリ114から描画クロ
ック信号dで読み出されたCH1のラスターデータに基
づいて生成される描画信号eの光量制御用電圧設定(多
値光量設定値)を、基準電圧出力回路132からの光量
補正用の基準電圧hに応じて補正し、この補正後のCH
1の描画信号fを音響光学変調器53に出力する。この
ようにして、2500個にわたる32画素単位の光量補正デー
タcに応じて、所望の光量制御用電圧設定に順次調整さ
れた一走査ライン分の補正後のCH1の描画信号fが音
響光学変調器53に出力される。
The light amount correction circuit 123 is a light amount correction memory 1
The light amount correction data c of 2500 pixels, which is set to 31 and extends in units of 32 pixels, is written in address order in the drawing clock generation circuit 122.
Is read out in a correction unit obtained by dividing 32 clocks and output to the reference voltage output circuit 132. The reference voltage output circuit 132 generates a reference voltage h for light quantity correction in accordance with 2500 light quantity correction data c in units of 32 pixels read out from the light quantity correction memory 131 in order of addresses and outputs the reference voltage h to the light quantity control circuit 133. Light intensity control circuit 1
Reference numeral 33 denotes a reference voltage output circuit which sets the light amount control voltage setting (multi-value light amount setting value) of the drawing signal e generated based on the CH1 raster data read from the drawing data buffer memory 114 by the drawing clock signal d. 132 is corrected according to the reference voltage h for light amount correction from CH 132, and the corrected CH
1 is output to the acousto-optic modulator 53. In this way, according to the 2500 light quantity correction data c in units of 32 pixels, the corrected drawing signal f of one scan line sequentially adjusted to the desired light quantity control voltage setting is output by the acousto-optic modulator. It is output to 53.

【0050】音響光学変調器53は、この補正後のCH
1の描画信号fに基づいてレーザビーム(CH1)を変
調(光強度変調)する。変調されたレーザビーム(CH
1)がプリント配線基板Sに照射され、このプリント配
線基板Sに濃度むらの無い描画パターンが形成される。
レーザビーム(CH1)による描画パターンは、図5
(b)に示すように、メインコントローラ121からの
光量補正データcに基づいて補正された補正後のCH1
の描画信号fにより濃度むら補正される。なお、図5
(a)は走査光学系の一走査内におけるレーザビーム
(CH1)の光量むらにより描画パターンに濃度むらが
生じていることを示す図であり、図5(b)は図5
(a)に示した描画パターンの濃度むらを補正した図で
ある。
The acousto-optic modulator 53 outputs the corrected CH
The laser beam (CH1) is modulated (light intensity modulation) based on the drawing signal f of No. 1. Modulated laser beam (CH
1) is applied to the printed wiring board S, and a drawing pattern without density unevenness is formed on the printed wiring board S.
The drawing pattern by the laser beam (CH1) is shown in FIG.
As shown in (b), the corrected CH1 corrected based on the light amount correction data c from the main controller 121.
The density unevenness is corrected by the drawing signal f. FIG.
5A is a view showing that density unevenness occurs in a drawing pattern due to uneven light amount of the laser beam (CH1) in one scan of the scanning optical system, and FIG.
FIG. 4 is a diagram in which the density unevenness of the drawing pattern shown in FIG.

【0051】図5(a)に示すように、未補正の場合の
CH1の描画信号eが一走査期間において所望の一定光
量に設定されていたとしても、走査光学系の一走査内に
おけるレーザビームのパワー効率にばらつきがあると、
このばらつきによりレーザビーム(CH1)の光量分布
1 に光量むらが生じてしまい、濃度むらを有する描画
パターンP1 が形成されることになる。この描画パター
ンP1 には、例えば、濃度が高い部分D1 と、所望の濃
度である部分D2 と、濃度が低い部分D3 と、この部分
3 より濃度が低い部分D4 とを有しており、濃度むら
が生じている。
As shown in FIG. 5 (a), even if the drawing signal e of CH1 in the uncorrected state is set to a desired constant light amount in one scanning period, the laser beam in one scanning of the scanning optical system is changed. Power efficiency varies,
It will occur light quantity unevenness in light amount distribution L 1 of the laser beam (CH1) This variation, so that the drawing pattern P 1 having a density unevenness is formed. Yes The drawing pattern P 1, for example, the concentration is higher portion D 1, and partial D 2 is a desired concentration, and low concentration portions D 3, and the portion D 3 than the concentration is lower portions D 4 And uneven density occurs.

【0052】そこで、本実施例装置では、図5(b)に
示すように、図5(a)に示した未補正の場合のCH1
の描画信号eを光量分布演算部89からの光量補正デー
タcに基づいて補正し、この補正後のCH1の描画信号
fを音響光学変調器53に出力することで、走査光学系
の一走査内におけるレーザビームのパワー効率のばらつ
きにより光量むらのあるレーザビーム(CH1)の光量
分布L1 を一定光量となる光量分布L2 に補正し、濃度
むらの無い描画パターンP2 を形成している。この描画
パターンP2 は、所望の濃度である部分D2 で均一に形
成されている。なお、ここでは、レーザビーム(CH
1)を一例として説明しているが、CH2〜CH8につ
いても同様に濃度むら補正が可能である。
Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 5B, the CH1 in the uncorrected case shown in FIG.
Is corrected based on the light amount correction data c from the light amount distribution calculating unit 89, and the corrected drawing signal f of CH1 is output to the acousto-optic modulator 53, so that one scan of the scanning optical system can be performed. the laser beam the light intensity distribution L 1 of the laser beam (CH1) with a light amount unevenness is corrected to the light amount distribution L 2 becomes constant amount due to variations in the power efficiency, to form a free drawing pattern P 2 density unevenness in. The drawing pattern P 2 is uniformly formed at a portion D 2 is a desired concentration. Here, the laser beam (CH
Although 1) has been described as an example, density unevenness correction can be similarly performed for CH2 to CH8.

【0053】このように、光量補正回路123は、レー
ザビームの一走査ラインのうちで補正箇所の光量を光量
補正データcに応じて調整することができるので、走査
光学系の一走査内におけるレーザビームのパワー効率の
ばらつきにより生じるレーザビームの光量むらを高精度
に補正でき、描画パターンの濃度むらを高精度に補正で
き、高品質の描画を実現できる。
As described above, since the light amount correction circuit 123 can adjust the light amount at the correction position in one scanning line of the laser beam according to the light amount correction data c, the laser light in one scanning of the scanning optical system can be adjusted. It is possible to accurately correct unevenness in the light amount of the laser beam caused by variations in the power efficiency of the beam, and to accurately correct unevenness in density of a writing pattern, thereby realizing high-quality writing.

【0054】〈第2補正例〉続いて、前述の第1補正機
能に加えて、ポリゴンミラー67の各反射鏡(ポリゴン
面)の反射率のばらつきにより生じるポリゴン面毎の描
画パターンの濃度むらを補正する動作(第2補正機能)
について説明する。
<Second Correction Example> Subsequently, in addition to the above-described first correction function, the density unevenness of the drawing pattern for each polygon surface caused by the variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygon surface) of the polygon mirror 67 is determined. Correction operation (second correction function)
Will be described.

【0055】本実施例装置は、ポリゴンミラー67の各
反射鏡(ポリゴン面)の反射率のばらつきによるポリゴ
ン面毎の描画パターンの濃度むらを補正するために、ポ
リゴンミラー67の各面毎のレーザビームの光量を検出
するための受光センサ88とポリゴン面検出器126
と、ポリゴンミラー67の各面のレーザビームの光量が
一定となるようにポリゴンミラー67の各面毎の光量補
正データcを算出する光量分布演算部89とを備えてい
る。
The apparatus according to the present embodiment is designed to correct the laser beam for each surface of the polygon mirror 67 in order to correct the uneven density of the drawing pattern for each polygon surface due to the variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygon surface) of the polygon mirror 67. Light receiving sensor 88 for detecting the light amount of the beam and polygon surface detector 126
And a light amount distribution calculation unit 89 for calculating light amount correction data c for each surface of the polygon mirror 67 so that the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror 67 is constant.

【0056】なお、この受光センサ88とポリゴン面検
出器126とが本発明における光量検出手段に相当し、
光量分布演算部89が本発明における演算手段に相当す
る。
The light receiving sensor 88 and the polygon surface detector 126 correspond to the light amount detecting means in the present invention.
The light amount distribution calculation unit 89 corresponds to a calculation unit in the present invention.

【0057】プリント配線基板Sへのレーザ描画を開始
する前に、ポリゴンミラー67の各面毎のレーザビーム
の光量の検出と、この検出したポリゴンミラー67の各
面毎のレーザビームの光量が一定となるようなポリゴン
ミラー67の各面毎の光量補正データcの算出と、この
算出したポリゴンミラー67の各面毎の光量補正データ
cの光量補正メモリ131への設定とを以下のようにし
て行う。
Before starting the laser drawing on the printed wiring board S, the amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror 67 is detected, and the detected amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror 67 is kept constant. The calculation of the light amount correction data c for each surface of the polygon mirror 67 and the setting of the calculated light amount correction data c for each surface of the polygon mirror 67 in the light amount correction memory 131 are performed as follows. Do.

【0058】まず、図1に示すように、受光センサ88
が処理位置PYに位置するように描画ステージ5を移動
させる。このようにした状態で、受光センサ88とポリ
ゴン面検出器126とにより、ポリゴンミラー67の各
面毎のレーザビームの光量を検出する。例えば、メイン
コントローラ121は、図3に示すように、ポリゴン面
検出器126からの面信号iに基づいてポリゴンミラー
67の第1面を検出し、ポリゴンミラー67の第1面に
よるレーザビームを描画基準位置から描画終了位置まで
の間を主走査方向に10mm間隔毎に順に照射するように
制御するとともに、この照射されるレーザビームのスポ
ットの位置に受光センサ88を順次移動させてこのレー
ザビームを適宜受光するよう制御する。このように、ポ
リゴンミラー67の第1面用として測定されたこれらの
光強度データ(多値光量データ)は光量分布演算部89
に出力される。なお、ポリゴンミラー67の残りの第2
面から第n面についての光強度データ(多値光量デー
タ)も、上述と同様にして光量分布演算部89に出力さ
れ、ポリゴンミラー67の第2面〜第n面のレーザビー
ムの光量も検出される。
First, as shown in FIG.
Is moved so that is positioned at the processing position PY. In this state, the light receiving sensor 88 and the polygon surface detector 126 detect the light amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror 67. For example, as shown in FIG. 3, the main controller 121 detects the first surface of the polygon mirror 67 based on the surface signal i from the polygon surface detector 126, and draws a laser beam by the first surface of the polygon mirror 67. The laser beam is controlled so as to be sequentially irradiated at intervals of 10 mm in the main scanning direction from the reference position to the drawing end position, and the light receiving sensor 88 is sequentially moved to the position of the spot of the laser beam to be irradiated so that the laser beam is irradiated. Control is performed to receive light as appropriate. Thus, the light intensity data (multi-value light amount data) measured for the first surface of the polygon mirror 67 is used as the light amount distribution calculating unit 89.
Is output to In addition, the remaining second of the polygon mirror 67
The light intensity data (multi-value light amount data) for the surfaces from the surface to the n-th surface are also output to the light amount distribution calculation unit 89 in the same manner as described above, and the light amounts of the laser beams on the second to n-th surfaces of the polygon mirror 67 are also detected. Is done.

【0059】光量分布演算部89は、前述のようにして
検出されたポリゴンミラー67の全ての面のレーザビー
ムの光強度データ(多値光量データ)に基づいて、ポリ
ゴンミラー67の全ての面(第1面から第n面)のレー
ザビームの光量が一定となるようにレーザビームの光量
を補正するためのポリゴンミラー67の各面毎の光量補
正データcを算出する。具体的には、前述のようにポリ
ゴンミラー67の全ての面(第1面から第n面)につい
て10mm間隔毎に計測された各レーザビームの光強度デ
ータ(多値光量データ)に基づいて、ポリゴンミラー6
7の全ての面のレーザビームの光量が一定となるよう
に、2501個(走査幅400 mm/32画素160 μm=2500個
と、スタートセンサ75の1 個分とを加えて2501個)に
わたる32画素単位の光量補正データcをポリゴンミラー
67の各面毎に算出する。光量分布演算部89は、上記
のように算出したポリゴンミラー67の各面毎の2501個
にわたる32画素単位の光量補正データcをメインコント
ローラ121に出力する。
The light amount distribution calculator 89 calculates the light intensity distribution data (multi-value light amount data) of the laser beams on all the surfaces of the polygon mirror 67 detected as described above. Light amount correction data c for each surface of the polygon mirror 67 for correcting the light amount of the laser beam so that the light amount of the laser beam on the first surface to the n-th surface is constant is calculated. Specifically, based on the light intensity data (multi-value light amount data) of each laser beam measured at every 10 mm interval for all the surfaces (first surface to n-th surface) of the polygon mirror 67 as described above. Polygon mirror 6
In order to make the light amount of the laser beam on all the surfaces of 7 constant, 2501 (2501 scanning widths of 400 mm / 32 pixels, 160 μm = 2500 and adding one start sensor 75) 32 The light amount correction data c for each pixel is calculated for each surface of the polygon mirror 67. The light amount distribution calculation unit 89 outputs the light amount correction data c for each pixel of the polygon mirror 67 calculated in the above manner in units of 32 pixels over 2501 units to the main controller 121.

【0060】メインコントローラ121は、図6に示す
ように、このポリゴンミラー67の各面毎に、2501個に
わたる32画素単位の光量補正データc(c0 〜cend
を光量補正メモリ131に設定する。この光量補正メモ
リ131には、ポリゴンミラー67の第1面から第n面
毎に、「0」から「end」までのメモリアドレスで区
分けされた2501個分の記録エリアが設けられている。n
面×2501個にわたる各記録エリアには、上記のように算
出されたそれぞれの32画素単位の光量補正データcが設
定されている。但し、メモリアドレスが「end」であ
る記録エリアには、ポリゴンミラー67の次の面におけ
る初期値(ポリゴンミラー67の次の面で最初に用いる
べきスタートセンサ75のための32画素単位の光量補正
データc end )が記録されている。
The main controller 121 is shown in FIG.
Thus, for each surface of the polygon mirror 67, 2501
Light amount correction data c (c0~ Cend)
Is set in the light quantity correction memory 131. This light intensity correction memo
From the first surface to the n-th surface of the polygon mirror 67,
Each time, a memory address from "0" to "end"
There are provided 2501 divided recording areas. n
Calculate as above for each recording area that covers
The output light amount correction data c for each 32 pixels is set.
Is defined. However, if the memory address is "end"
The recording area is located on the next surface of the polygon mirror 67.
Initial value (used first on the next surface of polygon mirror 67)
Light intensity correction in units of 32 pixels for power start sensor 75
Data c end) Is recorded.

【0061】このように、光量補正メモリ131へのポ
リゴンミラー67の各面毎の光量補正データc(c0
end )の設定が完了してから、プリント配線基板Sへ
のレーザ描画を開始する。
As described above, the light amount correction data c (c 0 -c) for each surface of the polygon mirror 67 to the light amount correction memory 131.
After the setting of c end ) is completed, laser drawing on the printed wiring board S is started.

【0062】続いて、プリント配線基板Sへのレーザ描
画の動作について説明する。図7に示すように、メイン
コントローラ121は、ポリゴン面検出器126からの
面信号iに基づいて、ポリゴンミラー67の各面のうち
でこれからレーザビームを照射しようとする面を特定す
る。メインコントローラ121は、この特定された面よ
り前の面におけるメモリアドレス「end」の記録エリ
アに記録されている32画素単位の光量補正データcend
を読み出し、続いて、レーザビームを照射しようとする
面におけるメモリアドレス「0」,「1」,「2」,・
・・の順にその記録エリアに記録されている32画素単位
の光量補正データc(c0 ,c1 ,c2,・・・)を読
み出して基準電圧出力回路132に出力するように光量
補正メモリ131を制御する。なお、これらの32画素単
位の光量補正データc0 〜cendは、走査開始信号aに
同期し描画クロック信号dの32クロック毎に発生する読
み出しクロック信号gに従って、光量補正メモリ131
から読み出され基準電圧出力回路132に出力される。
Next, the operation of laser writing on the printed wiring board S will be described. As shown in FIG. 7, the main controller 121 specifies a surface to be irradiated with a laser beam from among the surfaces of the polygon mirror 67 based on the surface signal i from the polygon surface detector 126. The main controller 121 controls the light amount correction data c end in units of 32 pixels recorded in the recording area of the memory address “end” on the surface before the specified surface.
, And then the memory addresses “0”, “1”, “2”,.
The light amount correction data c (c 0 , c 1 , c 2 ,...) Recorded in the recording area in the order of 32 pixels is read out and output to the reference voltage output circuit 132. 131 is controlled. The light amount correction data c 0 to c end in units of 32 pixels are supplied to the light amount correction memory 131 in accordance with the read clock signal g generated every 32 clocks of the drawing clock signal d in synchronization with the scanning start signal a.
And output to the reference voltage output circuit 132.

【0063】基準電圧出力回路132は、光量補正メモ
リ131からメモリアドレス順に読み出される32画素単
位の光量補正データc(c0 〜cend )に応じて、光量
補正用の基準電圧hを生成して光量制御回路133に出
力する。光量制御回路133は、描画データバッファメ
モリ114から描画クロック信号dで読み出されたラス
ターデータに基づいて生成された描画信号eの光量制御
用電圧設定(多値光量設定値)を、基準電圧出力回路1
32からの光量補正用の基準電圧hに応じて補正し、こ
の補正後の描画信号fを音響光学変調器53に出力す
る。
The reference voltage output circuit 132 generates a reference voltage h for light amount correction in accordance with light amount correction data c (c 0 to c end ) in units of 32 pixels read from the light amount correction memory 131 in the order of memory addresses. Output to the light amount control circuit 133. The light-amount control circuit 133 outputs a light-amount control voltage setting (multi-value light-amount setting value) of the drawing signal e generated based on the raster data read out from the drawing data buffer memory 114 by the drawing clock signal d, to a reference voltage output. Circuit 1
Correction is performed in accordance with the reference voltage h for light amount correction from the light source 32, and the corrected drawing signal f is output to the acousto-optic modulator 53.

【0064】したがって、この補正後の描画信号fの電
圧値は、図7に示すように、そのポリゴン面に応じて32
画素毎に所望の多値光量設定値に調整されている。具体
的には、ポリゴン第1面には、描画データバッファメモ
リ114からのラスターデータに基づいて生成される描
画信号eの多値光量設定値をこのポリゴン第1面に対応
する光量補正データcend ,c0 ,c1 ,c2 ,・・
・,cend-1の順に32画素毎に補正し、この補正後の描
画信号fで変調されたレーザビームが照射される。ポリ
ゴン第2面〜ポリゴン第n面についても、上述と同様
に、描画データバッファメモリ114からのラスターデ
ータに基づいて生成される描画信号eの多値光量設定値
をそれに対応するポリゴン面の光量補正データで補正
し、この補正後の描画信号fで変調(光強度変調)され
たレーザビームが照射される。
Accordingly, as shown in FIG. 7, the voltage value of the corrected drawing signal f is 32 in accordance with the polygon surface.
It is adjusted to a desired multi-level light quantity set value for each pixel. Specifically, the multi-level light amount set value of the drawing signal e generated based on the raster data from the drawing data buffer memory 114 is stored in the polygon first surface in the light amount correction data c end corresponding to the polygon first surface. , C 0 , c 1 , c 2 , ...
The correction is performed for every 32 pixels in the order of ,, c end−1 , and a laser beam modulated by the corrected drawing signal f is applied. Similarly to the above, the multi-level light amount setting value of the drawing signal e generated based on the raster data from the drawing data buffer memory 114 is corrected for the polygon second surface to the polygon n-th surface. A laser beam corrected by data and modulated (light intensity modulated) by the corrected drawing signal f is applied.

【0065】このように、受光センサ88とポリゴン面
検出器126とにより、ポリゴンミラー67の各面毎の
レーザビームの光量を検出し、光量分布演算部89によ
り、ポリゴンミラー67の各面のレーザビームの光量が
一定となるようにポリゴンミラー67の各面毎の光量補
正データc(c0 〜cend )を算出し、この算出された
ポリゴンミラー67の各面毎の光量補正データc(c0
〜cend )をメインコントローラ121により光量補正
メモリ131に設定し、光量補正回路123により、光
量補正メモリ131に設定されたポリゴンミラー67の
各面毎の光量補正データc(c0 〜cend )に応じて描
画信号eを補正し、この補正後の描画信号fでレーザビ
ームを変調しているので、ポリゴンミラー67の各面の
レーザビームの光量を一定にすることができ、ポリゴン
ミラー67の各反射鏡(ポリゴン面)の反射率のばらつ
きにより生じるポリゴン面毎のレーザビームの光量むら
を補正でき、描画パターンの濃度むらを補正することが
できる。
As described above, the light amount of the laser beam for each surface of the polygon mirror 67 is detected by the light receiving sensor 88 and the polygon surface detector 126, and the laser light of each surface of the polygon mirror 67 is detected by the light amount distribution calculator 89. Light amount correction data c (c 0 to c end ) for each surface of the polygon mirror 67 is calculated so that the light amount of the beam is constant, and the calculated light amount correction data c (c for each surface of the polygon mirror 67 is calculated. 0
To c end ) are set in the light amount correction memory 131 by the main controller 121, and the light amount correction circuit 123 sets the light amount correction data c (c 0 to c end ) for each surface of the polygon mirror 67 set in the light amount correction memory 131. And the laser beam is modulated by the corrected drawing signal f. Therefore, the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror 67 can be made constant. It is possible to correct unevenness in the light amount of the laser beam for each polygonal surface caused by variation in the reflectance of each reflecting mirror (polygonal surface), and to correct unevenness in the density of the drawing pattern.

【0066】〈第3補正例〉続いて、レーザビーム毎の
光量のばらつきにより生じるレーザビーム毎の描画パタ
ーンの濃度むらを補正する動作(第3補正機能)につい
て説明する。
<Third Correction Example> Next, an operation (third correction function) for correcting the density unevenness of the drawing pattern for each laser beam caused by the variation in the light amount for each laser beam will be described.

【0067】本実施例装置は、レーザビーム毎の光量の
ばらつきによるレーザビーム毎の描画パターンの濃度む
らを補正するために、図4に示すように、光量補正回路
123を各レーザビーム毎に備えている。
The apparatus of this embodiment is provided with a light amount correction circuit 123 for each laser beam as shown in FIG. 4 in order to correct the density unevenness of the drawing pattern for each laser beam due to the variation in the light amount for each laser beam. ing.

【0068】例えば、このレーザビーム毎の光量のばら
つきとしては、走査光学系におけるレーザビーム毎のパ
ワー効率のばらつきによるものがある。具体的には、レ
ーザ光源の出力が一定出力でビームスポットの主走査速
度が一定に制御されている場合であっても、レーザ光源
からプリント配線基板までの光路における要因(例え
ば、音響光学変調器53のレーザビーム毎の光学特性の
ばらつきや、ポリゴン面での各レーザビームの照射範囲
における反射率のばらつき等)によって、レーザビーム
毎にそのパワー効率にばらつきが生じる。この走査光学
系のレーザビーム毎のパワー効率のばらつきにより、レ
ーザビーム毎にレーザ光強度にばらつきが生じ、描画パ
ターンにレーザビーム毎の濃度むらが生じてしまい、描
画品質を劣化させる原因になっている。ここでは、この
ような場合に校正を行う。
For example, the variation in the amount of light for each laser beam is caused by the variation in power efficiency for each laser beam in the scanning optical system. Specifically, even when the output of the laser light source is constant and the main scanning speed of the beam spot is controlled to be constant, factors in the optical path from the laser light source to the printed circuit board (for example, an acousto-optic modulator) The power efficiency of each laser beam varies due to the dispersion of the optical characteristics of each of the 53 laser beams, the dispersion of the reflectance in the irradiation range of each laser beam on the polygon surface, and the like. Due to the variation in power efficiency of each laser beam of the scanning optical system, the laser beam intensity varies for each laser beam, and the density unevenness occurs in the drawing pattern for each laser beam. I have. Here, calibration is performed in such a case.

【0069】プリント配線基板Sへのレーザ描画を開始
する前に、レーザビーム毎の光量補正データcの算出と
その設定とを以下のようにして行う。まず、図1に示す
ように、受光センサ88が処理位置PYに位置するよう
に描画ステージ5を移動させておく。この状態で、受光
センサ88をレーザビームの描画有効範囲において主走
査方向に10mm間隔毎に順に移動させるとともに、この
受光センサ88にレーザビーム(CH1)を適宜照射し
てそのときの光強度(多値光量データ)を測定し光量分
布演算部89に出力する(図3参照)。このようにし
て、レーザビーム(CH1)の主走査方向への10mm間
隔毎の光強度分布を測定する。なお、残りのレーザビー
ム(CH2〜CH8)についても、上記と同様に測定
し、レーザビーム(CH2〜CH8)の主走査方向への
10mm間隔毎の光強度分布を測定する。
Before starting laser writing on the printed wiring board S, calculation and setting of the light quantity correction data c for each laser beam are performed as follows. First, as shown in FIG. 1, the drawing stage 5 is moved so that the light receiving sensor 88 is located at the processing position PY. In this state, the light receiving sensor 88 is sequentially moved in the main scanning direction at intervals of 10 mm in the laser beam drawing effective range, and the light receiving sensor 88 is appropriately irradiated with the laser beam (CH1) to thereby obtain the light intensity (multiple). Value light quantity data) and outputs it to the light quantity distribution calculation unit 89 (see FIG. 3). In this way, the light intensity distribution of the laser beam (CH1) at every 10 mm in the main scanning direction is measured. The remaining laser beams (CH2 to CH8) were measured in the same manner as described above, and the laser beams (CH2 to CH8) were measured in the main scanning direction.
The light intensity distribution is measured at intervals of 10 mm.

【0070】光量分布演算部89は、受光センサ88で
測定された全CH(CH1〜CH8)分のレーザビーム
の多値光量データに基づいて、全CHのレーザビームの
光量が一定となるようにレーザビーム毎の光量補正デー
タcを算出し、この算出したレーザビーム毎の光量補正
データcを描画処理部115のメインコントローラ12
1に出力する。具体的には、各CHのレーザビームごと
に10mm間隔毎に計測された全CH分のレーザビームの
光強度分布に基づいて、全CHのレーザビームの光量が
一定となるように、レーザビーム毎に例えば32画素(32
×5 μm=160 μm)単位毎の光量補正データcを2500
個(走査幅400 mm/32画素(160 μm)=2500個)に
わたって算出する。光量分布演算部89は、上記のよう
に算出したレーザビーム毎の光量補正データc(8 ビー
ム×2500個=20000 個)をメインコントローラ121に
出力する。
The light quantity distribution calculator 89 controls the light quantity of the laser beam of all CHs based on the multi-level light quantity data of the laser beam for all CHs (CH1 to CH8) measured by the light receiving sensor 88. The light amount correction data c for each laser beam is calculated, and the calculated light amount correction data c for each laser beam is
Output to 1. Specifically, based on the light intensity distribution of the laser beam for all CHs measured at 10 mm intervals for each laser beam for each CH, the laser beam for each CH is controlled so that the light amount of the laser beam for all CHs becomes constant. For example, 32 pixels (32
× 5 μm = 160 μm) 2500 light intensity correction data c per unit
The calculation is performed over the entire number (scanning width 400 mm / 32 pixels (160 μm) = 2500). The light quantity distribution calculator 89 outputs the light quantity correction data c (8 beams × 2500 = 20000) for each laser beam calculated as described above to the main controller 121.

【0071】メインコントローラ121は、このレーザ
ビーム毎の光量補正データc(8 ビーム×2500個)を、
レーザビーム毎にそれぞれ対応する光量補正回路123
の光量補正メモリ131に設定する。
The main controller 121 converts the light amount correction data c (8 beams × 2500) for each laser beam into
Light amount correction circuit 123 corresponding to each laser beam
Is set in the light amount correction memory 131 of FIG.

【0072】各光量補正回路123は、自己の光量補正
メモリ131に設定された2500個にわたる32画素単位の
光量補正データcを、アドレス順に、描画クロック発生
回路122からの描画クロック信号dを32クロック分周
した補正単位で読み出して基準電圧出力回路132に出
力する。基準電圧出力回路132は、光量補正メモリ1
31からアドレス順に読み出される2500個にわたる32画
素単位の光量補正データcに応じて、光量補正用の基準
電圧hを生成して光量制御回路133に出力する。光量
制御回路133は、描画データバッファメモリ114か
ら描画クロック信号dで読み出された対応するラスター
データに基づいて生成される描画信号eの光量制御用電
圧設定(多値光量設定値)を、基準電圧出力回路132
からの光量補正用の基準電圧hに応じて補正し、この補
正後の描画信号fを音響光学変調器53に出力する。こ
のようにして、レーザビーム毎の光量補正データcに応
じて、所望の光量に順次調整されたレーザビーム毎の補
正後の描画信号fが音響光学変調器53に出力される。
Each of the light quantity correction circuits 123 converts the 2500 light quantity correction data c set in its own light quantity correction memory 131 in units of 32 pixels into a drawing clock signal d from the drawing clock generating circuit 122 in the order of 32 clocks. The data is read out by the divided correction unit and output to the reference voltage output circuit 132. The reference voltage output circuit 132 is a light amount correction memory 1
A reference voltage h for light amount correction is generated and output to the light amount control circuit 133 in accordance with the light amount correction data c in units of 32 pixels, which is read out from 31 and in the order of 2500 addresses in 2500 units. The light amount control circuit 133 uses the light amount control voltage setting (multi-value light amount setting value) of the drawing signal e generated based on the corresponding raster data read from the drawing data buffer memory 114 by the drawing clock signal d as a reference. Voltage output circuit 132
The correction is performed in accordance with the reference voltage h for correcting the light amount from the controller, and the corrected drawing signal f is output to the acousto-optic modulator 53. In this way, the corrected drawing signal f for each laser beam sequentially adjusted to a desired light amount is output to the acousto-optic modulator 53 according to the light amount correction data c for each laser beam.

【0073】音響光学変調器53は、これらのレーザビ
ーム毎の補正後の描画信号fに基づいて、対応するレー
ザビームをそれぞれ変調(光強度変調)する。変調され
たレーザビーム(CH1〜CH8)がプリント配線基板
Sに照射され、このプリント配線基板Sにレーザビーム
毎に濃度むらの無い描画パターンが形成される。
The acousto-optic modulator 53 modulates the corresponding laser beam (light intensity modulation) based on the corrected drawing signal f for each laser beam. The modulated laser beams (CH1 to CH8) are irradiated on the printed wiring board S, and a drawing pattern without density unevenness is formed on the printed wiring board S for each laser beam.

【0074】例えば、CH1,CH2のレーザビームに
よる描画パターンは、図8(b)に示すように、前述の
補正後のCH1,CH2の描画信号f1 ,f2 により濃
度むら補正される。なお、図8(a)はレーザビーム毎
の光量むらにより描画パターンに濃度むらが生じている
ことを示す図であり、図8(b)は図8(a)に示した
描画パターンの濃度むらを補正した図である。
For example, as shown in FIG. 8B, the drawing pattern of the CH1 and CH2 laser beams is corrected for the uneven density by the corrected CH1 and CH2 drawing signals f 1 and f 2 . FIG. 8A is a view showing that density unevenness occurs in a drawing pattern due to uneven light amount of each laser beam, and FIG. 8B is a view showing density unevenness of the drawing pattern shown in FIG. FIG.

【0075】図8(a)に示すように、未補正の場合の
CH1,CH2の描画信号eが一走査期間において所望
の一定光量に設定されていたとしても、走査光学系のレ
ーザビーム毎のパワー効率にばらつきがあると、このば
らつきによりレーザビーム(CH1)の光量分布LCH1
とレーザビーム(CH2)の光量分布LCH2 とに光量む
らが生じてしまい、レーザビーム毎に濃度むらを有する
描画パターンPCHが形成されることになる。この描画パ
ターンPCHには、例えば、濃度が最も高い部分D0 と、
濃度がその次に高い部分D1 (D0 >D1 >D2 )と、
所望の濃度である部分D2 と、濃度が低い部分D3 と、
この部分D3 より濃度が低い部分D4 とを有しており、
濃度むらが生じている。
As shown in FIG. 8A, even if the drawing signal e of CH1 and CH2 in the uncorrected state is set to a desired constant light amount in one scanning period, each of the laser beams of the scanning optical system has If there is a variation in the power efficiency, the variation causes a light amount distribution L CH1 of the laser beam (CH1).
And the light amount distribution L CH2 of the laser beam (CH 2), and the drawing pattern P CH having the density unevenness is formed for each laser beam. The drawing pattern P CH includes, for example, a portion D 0 having the highest density,
The next highest concentration D 1 (D 0 > D 1 > D 2 );
A portion D 2 having a desired concentration, a portion D 3 having a low concentration,
A portion D 4 having a lower concentration than the portion D 3 ,
Density unevenness has occurred.

【0076】そこで、本実施例装置では、図8(b)に
示すように、図8(a)に示した未補正の場合のCH
1,CH2の描画信号eを、前述の対応する光量補正デ
ータcに基づいて補正し、これらの補正後のCH1,C
H2の描画信号f1 ,f2 を音響光学変調器53に出力
することで、走査光学系のレーザビーム毎のパワー効率
のばらつきにより光量むらを有するレーザビーム(CH
1,CH2)の光量分布LCH1 ,LCH2 を一定光量とな
る光量分布Lに補正し、濃度むらの無い描画パターンP
CH’を形成している。この描画パターンPCH’は、所望
の濃度である部分D2 で均一に形成されている。
Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 8B, the uncorrected CH shown in FIG.
1 and CH2 are corrected based on the corresponding light amount correction data c, and the corrected signals CH1 and C2 are corrected.
By outputting the drawing signals f 1 and f 2 of H2 to the acousto-optic modulator 53, the laser beam (CH) having uneven light amount due to variation in power efficiency of each laser beam of the scanning optical system.
1, the light intensity distribution L CH1, L CH2 of CH2) corrected to the light amount distribution L becomes constant amount, no density irregularities drawing pattern P
CH 'is forming. This drawing pattern P CH ′ is formed uniformly in a portion D 2 having a desired density.

【0077】このように、光量補正回路123は、同時
走査描画する複数本のレーザビーム毎に備えられている
ので、複数本のレーザビームを用いるマルチビーム描画
においても、各レーザビームの一走査内における描画パ
ターンの濃度むらを高精度に補正でき、さらに、レーザ
ビーム毎の光量のばらつきを高精度に補正でき、レーザ
ビーム毎の描画パターンの濃度むらを高精度に補正でき
る。
As described above, since the light amount correction circuit 123 is provided for each of a plurality of laser beams to be simultaneously scanned and drawn, even in multi-beam drawing using a plurality of laser beams, one laser beam can be scanned within one scan. In this case, the density unevenness of the writing pattern can be corrected with high accuracy, the variation in the amount of light for each laser beam can be corrected with high accuracy, and the density unevenness of the writing pattern for each laser beam can be corrected with high accuracy.

【0078】なお、この第3補正例では、光量補正メモ
リ131と基準電圧出力回路132と光量制御回路13
3とで構成される光量補正回路123を、各レーザビー
ム毎に備えているが、レーザビーム毎の光量のばらつき
が問題にならない程度である場合には、図9に示すよう
に、光量補正回路123を光量制御回路133のみで構
成し、単一の光量補正メモリ131と単一の基準電圧出
力回路132とを備えるだけで良い。この場合は、レー
ザビーム毎の光量のばらつきが問題にならない程度であ
るので、いずれか1つのビームの光量分布を計測するだ
けで良く、全ビームの光量分布の計測を省略することが
できる。メインコントローラ121は、基準電圧出力回
路132からの光量補正用の基準電圧hを、レーザビー
ム毎に、ビームCH間隔時間だけ遅延させて出力してい
る。
In the third correction example, the light amount correction memory 131, the reference voltage output circuit 132, and the light amount control circuit 13
3 is provided for each laser beam. However, if the variation in the amount of light for each laser beam is not a problem, as shown in FIG. It suffices that only the light amount control circuit 133 constitutes 123 and only a single light amount correction memory 131 and a single reference voltage output circuit 132 are provided. In this case, since the variation of the light amount for each laser beam does not matter, it is only necessary to measure the light amount distribution of any one beam, and the measurement of the light amount distribution of all the beams can be omitted. The main controller 121 outputs the reference voltage h for light quantity correction from the reference voltage output circuit 132 with a delay of the beam CH interval time for each laser beam.

【0079】〈第4補正例〉続いて、スタートセンサ7
5へのレーザビームの光量変動により生じる描画パター
ンの位置ずれを補正する動作(第4補正機能)について
説明する。
<Fourth Correction Example> Subsequently, the start sensor 7
The operation (fourth correction function) of correcting the displacement of the drawing pattern caused by the fluctuation in the light amount of the laser beam to the position 5 will be described.

【0080】本実施例装置は、スタートセンサ75への
レーザビームの光量変動により生じる描画パターンの位
置ずれを補正するために、スタートセンサ75での受光
量が一定となるようにこのスタートセンサ75へのレー
ザビームの光量を調整するための光量分布演算部89を
備えている。さらに、レーザビームの光量をプリント配
線基板Sの種類に応じて変更するために、プリント配線
基板Sに照射するレーザビームの光量を描画しようとす
るプリント配線基板Sの種類に応じて調整する機能を有
するメインコントローラ121も備えている。このプリ
ント配線基板Sの種類とは、プリント配線基板Sの感度
特性で分類されたものである。
The apparatus according to the present embodiment controls the start sensor 75 so that the amount of light received by the start sensor 75 becomes constant in order to correct the displacement of the drawing pattern caused by the fluctuation in the light amount of the laser beam to the start sensor 75. And a light amount distribution calculator 89 for adjusting the light amount of the laser beam. Further, in order to change the light amount of the laser beam according to the type of the printed wiring board S, a function of adjusting the light amount of the laser beam applied to the printed wiring board S according to the type of the printed wiring board S to be drawn is provided. The main controller 121 is also provided. The type of the printed wiring board S is classified according to the sensitivity characteristics of the printed wiring board S.

【0081】なお、上述した光量分布演算部89が本発
明におけるスタートセンサ光量調整手段に相当する。
The above-mentioned light amount distribution calculating section 89 corresponds to the start sensor light amount adjusting means in the present invention.

【0082】続いて、この実施例装置において、スター
トセンサ75への光量変動により生じる描画パターンの
位置ずれを補正する動作について説明する。
Next, the operation of the apparatus of this embodiment for correcting the displacement of the drawing pattern caused by the fluctuation of the amount of light to the start sensor 75 will be described.

【0083】なお、前述の第2補正例において、レーザ
ビームの描画有効範囲における光量補正データc(c0
〜cend-1 )の算出とその光量補正メモリ131への設
定とは、既に説明しているので、ここでは、スタートセ
ンサ75へのレーザビームの光量を調整するための光量
補正データcend の算出と、この算出した光量補正デー
タcend の光量補正メモリ131への設定とについて説
明する。
In the above-described second correction example, the light amount correction data c (c 0) in the effective drawing range of the laser beam.
Since the calculation of .about.c end-1 ) and its setting in the light amount correction memory 131 have already been described, here, the light amount correction data c end for adjusting the light amount of the laser beam to the start sensor 75 is described here. The calculation and the setting of the calculated light amount correction data cend in the light amount correction memory 131 will be described.

【0084】光量分布演算部89は、レーザビームの描
画有効範囲における光量補正データc(c0
end-1 )の算出において、スタートセンサ75へのレ
ーザビームの光量を所望の一定値に補正するための光量
補正データcend も算出する。この光量補正データc
end は、スタートセンサ75へのレーザビームの受光量
が所望の一定値となるように、レーザビームのポリゴン
面毎による光量変動分を考慮して決定されている。光量
分布演算部89は、このようにして算出したこれらの光
量補正データc(c0 〜cend )をメインコントローラ
121に出力する。メインコントローラ121は、これ
らの光量補正データc(c0 〜cend )を光量補正メモ
リ131にアドレス順に設定する。
The light quantity distribution calculator 89 calculates the light quantity correction data c (c 0 -c) in the effective drawing range of the laser beam.
In calculating c end-1 ), light amount correction data c end for correcting the light amount of the laser beam to the start sensor 75 to a desired constant value is also calculated. This light quantity correction data c
The end is determined in consideration of a variation in the light amount of each polygon surface of the laser beam such that the amount of the laser beam received by the start sensor 75 becomes a desired constant value. The light quantity distribution calculator 89 outputs the light quantity correction data c (c 0 to c end ) calculated in this way to the main controller 121. The main controller 121 sets the light amount correction data c (c 0 to c end ) in the light amount correction memory 131 in order of addresses.

【0085】続いて、プリント配線基板Sへのレーザ描
画の動作について説明する。図7に示すように、メイン
コントローラ121は、ポリゴン面検出器126からの
面信号iに基づいて、ポリゴンミラー67の各面のうち
でこれからレーザビームを照射しようとする面を特定す
る。メインコントローラ121は、この特定された面よ
り前の面におけるメモリアドレス「end」の記録エリ
アに記録されている32画素単位の光量補正データcend
を読み出し、続いて、レーザビームを照射しようとする
面におけるメモリアドレス「0」,「1」,「2」,・
・・の順にその記録エリアに記録されている32画素単位
の光量補正データc(c0 ,c1 ,c2,・・・)を読
み出して基準電圧出力回路132に出力するように光量
補正メモリ131を制御する。なお、これらの32画素単
位の光量補正データc0 〜cendは、走査開始信号aに
同期し描画クロック信号dの32クロック毎に発生する読
み出しクロック信号gに従って、光量補正メモリ131
から読み出され基準電圧出力回路132に出力される。
Next, the operation of laser writing on the printed wiring board S will be described. As shown in FIG. 7, the main controller 121 specifies a surface to be irradiated with a laser beam from among the surfaces of the polygon mirror 67 based on the surface signal i from the polygon surface detector 126. The main controller 121 controls the light amount correction data c end in units of 32 pixels recorded in the recording area of the memory address “end” on the surface before the specified surface.
, And then the memory addresses “0”, “1”, “2”,.
The light amount correction data c (c 0 , c 1 , c 2 ,...) Recorded in the recording area in the order of 32 pixels is read out and output to the reference voltage output circuit 132. 131 is controlled. The light amount correction data c 0 to c end in units of 32 pixels are supplied to the light amount correction memory 131 in accordance with the read clock signal g generated every 32 clocks of the drawing clock signal d in synchronization with the scanning start signal a.
And output to the reference voltage output circuit 132.

【0086】基準電圧出力回路132は、光量補正メモ
リ131から読み出される32画素単位の光量補正データ
c(cend ,c0 ,c1 ,c2 ,・・・,cend-1 )に
応じて、光量補正用の基準電圧hを生成して光量制御回
路133に出力する。光量制御回路133は、描画デー
タバッファメモリ114から描画クロック信号dで読み
出されたラスターデータに基づいて生成される描画信号
eの光量制御用電圧設定(多値光量設定値)を、基準電
圧出力回路132からの光量補正用の基準電圧hに応じ
て補正し、この補正後の描画信号fを音響光学変調器5
3に出力する。
The reference voltage output circuit 132 responds to the light quantity correction data c (c end , c 0 , c 1 , c 2 ,..., C end -1 ) read out from the light quantity correction memory 131 in units of 32 pixels. Then, a reference voltage h for light quantity correction is generated and output to the light quantity control circuit 133. The light amount control circuit 133 outputs a reference voltage output (multi-value light amount setting value) for light amount control of the drawing signal e generated based on the raster data read from the drawing data buffer memory 114 by the drawing clock signal d. The correction is performed according to the reference voltage h for light quantity correction from the circuit 132, and the corrected drawing signal f is output to the acousto-optic modulator 5.
Output to 3.

【0087】したがって、この補正後の描画信号fは、
図7に示すように、32画素毎に所望の多値光量設定値に
調整されている。具体的には、ポリゴン第1面には、描
画データバッファメモリ114からのラスターデータに
基づいて生成される描画信号eの多値光量設定値を、こ
のポリゴン第1面に対応する光量補正データcend ,c
0 ,c1 ,c2 ,・・・,cend- 1 の順に32画素毎に補
正し、この補正後の描画信号fで変調(光強度変調)さ
れたレーザビームが照射される。光量補正データcend
で補正された描画信号fにより変調されたレーザビーム
は、走査無効期間においてスタートセンサ75に照射さ
れ、光量補正データc0 ,c1 ,c2 ,・・・,c
end-1 で補正された描画信号fにより変調されたレーザ
ビームは、プリント配線基板Sの描画有効領域に順に照
射される。ポリゴン第2面〜ポリゴン第n面について
も、上述と同様にして光量補正されたレーザビームがス
タートセンサ75,プリント配線基板Sの順に照射され
る。図7に示した描画面およびスタートセンサ75での
実光量分布から理解できるように、スタートセンサ75
でのレーザビームの受光量はポリゴン面に依らず一定と
なっており、ポリゴン面毎に走査開始信号aのジッタが
生じることは無く、ポリゴン面毎に描画開始位置を一定
にすることができる。したがって、描画パターンがポリ
ゴン面毎に位置ずれするという問題を解消できる。
Therefore, the corrected drawing signal f is
As shown in FIG. 7, a desired multi-level light quantity setting value is adjusted every 32 pixels. Specifically, the multi-level light amount set value of the drawing signal e generated based on the raster data from the drawing data buffer memory 114 is stored in the first polygon surface in the light amount correction data c corresponding to the first polygon surface. end , c
0, c 1, c 2, ···, corrected to 32 for each pixel in the order of c end- 1, a laser beam modulated (intensity modulation) in this corrected drawing signal f is irradiated. Light intensity correction data c end
The laser beam modulated by the drawing signal f corrected by the above is irradiated to the start sensor 75 during the scanning invalid period, and the light amount correction data c 0 , c 1 , c 2 ,..., C
The laser beam modulated by the drawing signal f corrected at end-1 is sequentially applied to the drawing effective area of the printed wiring board S. Also on the polygon second surface to polygon n-th surface, a laser beam whose light amount has been corrected in the same manner as described above is applied to the start sensor 75 and the printed wiring board S in this order. As can be understood from the drawing surface and the actual light amount distribution at the start sensor 75 shown in FIG.
Is constant regardless of the polygon surface, and the jitter of the scanning start signal a does not occur for each polygon surface, and the drawing start position can be made constant for each polygon surface. Therefore, the problem that the drawing pattern is displaced for each polygon surface can be solved.

【0088】またここで、感度特性の異なる種類のプリ
ント配線基板Sに対して、レーザ描画する場合について
説明する。
Here, a case where laser drawing is performed on printed wiring boards S of different types having different sensitivity characteristics will be described.

【0089】メインコントローラ121は、これから描
画しようとする感度特性の異なる種類のプリント配線基
板Sに応じて、レーザビーム自体の光量を調整するとと
もに、光量分布演算部89からの光量補正データcend
を調整する。具体的には、レーザビームの光量がこれか
ら描画しようとする感度特性の異なる種類のプリント配
線基板Sで必要とされる光量となるように、レーザビー
ムの描画有効範囲における光量を調整するとともに、メ
インコントローラ121はスタートセンサ75での受光
量がプリント配線基板Sの種類に依らず一定となるよう
に光量補正データcend を調整する。このようにプリン
ト配線基板Sの種類に応じて調整した光量補正データc
end を光量補正メモリ131に設定する。なお、この光
量補正メモリ131に設定された光量補正データc(c
0 〜cend )の読み出し以降の処理は、上述の場合と同
様に行われて補正後の描画信号で変調されたレーザビー
ムでレーザ描画されることになる。
The main controller 121 adjusts the light amount of the laser beam itself according to the type of the printed wiring board S having a different sensitivity characteristic to be drawn, and also adjusts the light amount correction data c end from the light amount distribution calculator 89.
To adjust. More specifically, the light amount in the laser beam drawing effective range is adjusted so that the light amount of the laser beam becomes the light amount required for the printed wiring boards S of different types having different sensitivity characteristics to be drawn. the controller 121 adjusts the light quantity correction data c end the as the amount of light received by the start sensor 75 is constant irrespective of the type of the printed circuit board S. The light amount correction data c thus adjusted according to the type of the printed wiring board S
The end is set in the light quantity correction memory 131. The light amount correction data c (c
The processing after the reading of 0 to c end ) is performed in the same manner as described above, and the laser drawing is performed with the laser beam modulated by the corrected drawing signal.

【0090】このように、スタートセンサ75での受光
量が一定となるようにこのスタートセンサ75へのレー
ザビームの光量を調整する光量分布演算部89を備えて
いるので、プリント配線基板Sに応じてレーザビームの
光量を変更した場合であっても、スタートセンサ75で
の受光量を一定とすることができ、レーザビームの光量
変動に伴うスタートセンサ75での走査開始信号aのジ
ッタ(位置ずれ)を防止でき、描画開始位置がずれるこ
とを防止でき、描画パターンの位置ずれを防止できる。
したがって、広範囲の種類の感光特性が異なるプリント
配線基板Sに対しても、描画パターンに濃度むらや位置
ずれが生じること無く高精度にレーザ描画でき、利用範
囲を拡張できる。
As described above, since the light amount distribution calculating unit 89 for adjusting the light amount of the laser beam to the start sensor 75 is provided so that the amount of light received by the start sensor 75 becomes constant, Even when the light amount of the laser beam is changed, the amount of light received by the start sensor 75 can be kept constant, and the jitter (position shift) of the scan start signal a at the start sensor 75 due to the fluctuation of the light amount of the laser beam can be maintained. ) Can be prevented, and the drawing start position can be prevented from shifting, so that the writing pattern can be prevented from shifting.
Therefore, even for a wide variety of printed wiring boards S having different photosensitive characteristics, laser writing can be performed with high accuracy without causing density unevenness or positional deviation in the drawn pattern, and the range of use can be expanded.

【0091】なお、本発明は以下のように変形実施する
ことも可能である。
The present invention can be modified as follows.

【0092】(1)上述した実施例装置では、描画のオ
ン/オフ情報のみを含むランレングスデータおよびラス
ターデータを用いたが、オン/オフ情報と階調情報とを
含むランレングスデータおよびラスターデータを用いる
ことも可能である。後者を用いた場合、ラスターデータ
に基づいて描画信号を生成する場合、光量制御用電圧設
定(多値光量設定値)が階調情報に基づいて決定され
る。
(1) In the above-described embodiment, the run length data and the raster data containing only the on / off information of the drawing are used. However, the run length data and the raster data containing the on / off information and the gradation information are used. Can also be used. When the latter is used, when a drawing signal is generated based on raster data, the light amount control voltage setting (multi-value light amount set value) is determined based on the gradation information.

【0093】(2)上述した実施例装置では、レーザ光
源41と音響光学変調器53を使用しているが、これら
に代えてレーザダイオードを使用してもよい。この場合
には、レーザダイオードを直接オンオフ制御すればよ
く、構造的に簡易化を図ることができる。
(2) In the above embodiment, the laser light source 41 and the acousto-optic modulator 53 are used, but a laser diode may be used instead. In this case, the on / off control of the laser diode may be directly performed, and the structure can be simplified.

【0094】(3)上述した実施例では、結像光学系2
1が固定で描画ステージ5が移動する構成であったが、
逆に結像光学系21が移動する構成であっても本発明を
適用可能である。
(3) In the above embodiment, the imaging optical system 2
1 was fixed and the drawing stage 5 was moved,
Conversely, the present invention is applicable to a configuration in which the imaging optical system 21 moves.

【0095】(4)上述した実施例では、光量補正メモ
リ131に記憶されている32画素単位の光量補正データ
cをアドレス順に32画素単位毎に読み出して基準電圧出
力回路132に出力しているが、基準電圧出力回路13
2への光量補正データcを変更する場合のみ、対応する
32画素単位の光量補正データcを光量補正メモリ131
から読み出して基準電圧出力回路132に設定してもよ
い。また、光量補正データcを32画素単位としている
が、32画素単位に限定されるものではなく、この光量補
正データcを32画素以外の単位として取り扱ってもよ
い。
(4) In the above-described embodiment, the light amount correction data c in units of 32 pixels stored in the light amount correction memory 131 is read out in address units in units of 32 pixels and output to the reference voltage output circuit 132. , Reference voltage output circuit 13
2 only when the light amount correction data c is changed to 2.
Light amount correction memory 131 stores light amount correction data c in units of 32 pixels.
And may be set in the reference voltage output circuit 132. Further, although the light quantity correction data c is set to a unit of 32 pixels, the light quantity correction data c is not limited to the unit of 32 pixels, and may be handled as a unit other than 32 pixels.

【0096】(5)上述した実施例ではプリント配線基
板製造装置を例に採って説明したが、本発明はこのよう
な装置に限定されるものではなく、レーザビームを用い
て露光処理を行う装置に適用できる。
(5) In the above-described embodiment, a printed wiring board manufacturing apparatus has been described as an example. However, the present invention is not limited to such an apparatus, and an apparatus for performing an exposure process using a laser beam. Applicable to

【0097】[0097]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の装置発明によれば、一走査ラインのうちで補
正箇所の光量を光量補正データに応じて調整する光量調
整手段を備えているので、走査光学系の一走査内におけ
るレーザビームの光量むらを高精度に補正でき、描画パ
ターンの濃度むらを高精度に補正でき、高品質の描画を
実現できる。
As is apparent from the above description, according to the first aspect of the present invention, there is provided the light amount adjusting means for adjusting the light amount of the correction portion in one scanning line according to the light amount correction data. Therefore, the unevenness in the amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system can be corrected with high accuracy, and the unevenness in density of the drawing pattern can be corrected with high accuracy, and high-quality drawing can be realized.

【0098】また、請求項2に記載の装置発明によれ
ば、光量調整手段は、レーザビームの一走査ラインのう
ちで補正箇所の光量補正値を光量補正データとして保持
するメモリ部と、前記メモリ部からの光量補正値に応じ
てレーザビームの光量を調整する調整部とを備えている
ので、走査光学系の一走査内におけるレーザビームの光
量むらにより生じる描画パターンの濃度むらを高精度に
補正する構成を実現することができる。
According to the second aspect of the present invention, the light amount adjusting means includes: a memory unit for holding a light amount correction value of a correction portion in one scanning line of the laser beam as light amount correction data; An adjustment unit that adjusts the light amount of the laser beam according to the light amount correction value from the unit enables highly accurate correction of the density unevenness of the drawing pattern caused by the uneven light amount of the laser beam in one scan of the scanning optical system. Can be realized.

【0099】また、請求項3に記載の装置発明によれ
ば、光量調整手段を同時走査描画する複数本のレーザビ
ーム毎に備えているので、複数本のレーザビームを用い
るマルチビーム描画においても、各レーザビームの一走
査内における描画パターンの濃度むらを高精度に補正で
き、さらに、レーザビーム毎にその光量がばらつくこと
によるレーザビーム毎の描画パターンの濃度むらを高精
度に補正できる。
According to the third aspect of the present invention, since the light amount adjusting means is provided for each of a plurality of laser beams for simultaneous scanning and drawing, multi-beam drawing using a plurality of laser beams is also possible. The density unevenness of the drawing pattern in one scanning of each laser beam can be corrected with high accuracy, and furthermore, the unevenness of the density of the drawing pattern for each laser beam due to the variation in the light amount of each laser beam can be corrected with high accuracy.

【0100】また、請求項4に記載の装置発明によれ
ば、ポリゴンミラーの各面毎のレーザビームの光量を検
出する光量検出手段と、前記光量検出手段で検出された
ポリゴンミラー各面のレーザビームの光量が一定となる
ようにポリゴンミラー各面毎の光量補正データを算出す
る演算手段とを備えているので、ポリゴンミラー各面毎
の光量補正データを自動的に算出することができ、この
算出されたポリゴンミラー各面毎の光量補正データに応
じてポリゴンミラー各面のレーザビームの光量が一定と
なるよう調整され、ポリゴンミラーの面毎の反射率のば
らつきによるポリゴンミラーの面毎のレーザビームの光
量のばらつきが補正され、ポリゴンミラーの面毎の描画
パターンの濃度むらを高精度に補正できる。
According to the apparatus described in claim 4, the light quantity detecting means for detecting the light quantity of the laser beam for each face of the polygon mirror, and the laser light of each face of the polygon mirror detected by the light quantity detecting means. Calculation means for calculating light amount correction data for each surface of the polygon mirror so that the light amount of the beam is constant is provided, so that light amount correction data for each surface of the polygon mirror can be automatically calculated. According to the calculated light amount correction data for each surface of the polygon mirror, the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror is adjusted to be constant. The variation in the light amount of the beam is corrected, and the density unevenness of the drawing pattern for each surface of the polygon mirror can be corrected with high accuracy.

【0101】また、請求項5に記載の装置発明によれ
ば、レーザビームを受光することでこのレーザビームの
主走査開始を検出するスタートセンサと、前記スタート
センサでの受光量が一定となるようにこのスタートセン
サへのレーザビームの光量を調整するスタートセンサ光
量調整手段とを備えているので、処理対象物の種類に応
じてレーザビームの光量を変更した場合であっても、ス
タートセンサでの受光量を一定とすることができ、光量
変動に伴うスタートセンサでの走査開始信号のジッタ
(位置ずれ)を防止できる。したがって、広範囲の種類
の処理対象物に対しても高精度にレーザ描画でき、利用
範囲を拡張できる。
According to the apparatus described in claim 5, the start sensor for detecting the start of the main scanning of the laser beam by receiving the laser beam, and the amount of light received by the start sensor is constant. The start sensor light amount adjusting means for adjusting the light amount of the laser beam to the start sensor is provided, so that even when the light amount of the laser beam is changed according to the type of the processing target, The amount of received light can be kept constant, and the jitter (positional deviation) of the scanning start signal at the start sensor due to the fluctuation of the amount of light can be prevented. Therefore, laser drawing can be performed with high accuracy even on a wide variety of types of processing objects, and the range of use can be expanded.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るレーザ描画装置の一例であるプリ
ント配線基板製造装置の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a printed wiring board manufacturing apparatus which is an example of a laser drawing apparatus according to the present invention.

【図2】(a)はスタートセンサの構成を示す斜視図で
あり、(b)は光量が異なるレーザビームをそれぞれ受
光したときのスタートセンサの検出波形を示す図であ
り、(c)は(b)に示した光量Paのレーザビームを
受光したときの走査開始信号aの出力タイミングを示す
図であり、(d)は(b)に示した光量Pb(光量Pb
>光量Pa)であるレーザビームを受光したときの走査
開始信号aの出力タイミングを示す図である。
2A is a perspective view illustrating a configuration of a start sensor, FIG. 2B is a diagram illustrating detection waveforms of the start sensor when laser beams having different light amounts are respectively received, and FIG. FIG. 4B is a diagram showing the output timing of the scanning start signal a when the laser beam having the light amount Pa shown in FIG. 4B is received, and FIG. 6D is a diagram showing the light amount Pb (light amount Pb) shown in FIG.
FIG. 7 is a diagram showing output timing of a scanning start signal a when a laser beam having a light amount (> Pa) is received.

【図3】実施例のプリント配線基板製造装置の概略構成
を示すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a printed wiring board manufacturing apparatus according to an embodiment.

【図4】描画制御部の要部の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a main part of a drawing control unit.

【図5】(a)は、描画パターンの濃度むらを示す図で
あり、(b)は、(a)に示した描画パターンの濃度む
らを補正した図である。
5A is a diagram illustrating density unevenness of a drawing pattern, and FIG. 5B is a diagram in which the density unevenness of the drawing pattern illustrated in FIG.

【図6】光量補正メモリマップを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a light quantity correction memory map.

【図7】ラスターデータを補正するタイミングを示すタ
イミングチャート図である。
FIG. 7 is a timing chart showing timing for correcting raster data.

【図8】(a)は、レーザビーム毎の光量むらによる描
画パターンの濃度むらを示す図であり、(b)は、
(a)に示した描画パターンの濃度むらを補正した図で
ある。
FIG. 8A is a diagram illustrating density unevenness of a drawing pattern due to uneven light amount of each laser beam, and FIG.
FIG. 4 is a diagram in which the density unevenness of the drawing pattern shown in FIG.

【図9】実施例のプリント配線基板製造装置とは別の構
成を示すブロック図である。
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration different from the printed wiring board manufacturing apparatus of the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 … ガイドレール(移動手段) 5 … 描画ステージ(載置台) 7 … サーボモータ(移動手段) 9 … 送りネジ(移動手段) 41 … レーザ光源 53 … 音響光学変調器 67 … ポリゴンミラー(偏向手段) 73 … シリンドリカルレンズ 75 … スタートセンサ 88 … 受光センサ(光量検出手段) 89 … 光量分布演算部(演算手段) 121 … メインコントローラ 122 … 描画クロック発生回路 123 … 光量補正回路(光量調整手段) 126 … ポリゴン面検出器(光量検出手段) 131 … 光量補正メモリ(メモリ部) 132 … 基準電圧出力回路(調整部) 133 … 光量制御回路(調整部) S … プリント配線基板(処理対象物) LB … レーザビーム 3 Guide rail (moving means) 5 Drawing stage (mounting table) 7 Servo motor (moving means) 9 Feed screw (moving means) 41 Laser light source 53 Acousto-optic modulator 67 Polygon mirror (deflecting means) 73 ... cylindrical lens 75 ... start sensor 88 ... light receiving sensor (light amount detecting means) 89 ... light amount distribution calculating unit (calculating means) 121 ... main controller 122 ... drawing clock generating circuit 123 ... light amount correcting circuit (light amount adjusting means) 126 ... polygon Surface detector (light amount detecting means) 131: Light amount correction memory (memory unit) 132: Reference voltage output circuit (adjustment unit) 133: Light amount control circuit (adjustment unit) S: Printed wiring board (processing object) LB: Laser beam

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 章 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神 北町1番地の1 大日本スクリーン製造株 式会社内 Fターム(参考) 2C362 AA53 AA55 AA56 AA61 AA63 AA69 BA56 BA67 BB33 2H097 AA03 AB05 BA10 BB01 CA17 EA01 LA09 5C072 AA03 BA08 DA04 FB12 FB15 HA02 HA06 HA12 HB04 XA01 XA04  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Akira Kuwahara 4-chome Tenjin Kitamachi 1-chome, Horikawa-dori-Terauchi, Kamigyo-ku, Kyoto F-term in Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. F-term (reference) 2C362 AA53 AA55 AA56 AA61 AA63 AA69 BA56 BA67 BB33 2H097 AA03 AB05 BA10 BB01 CA17 EA01 LA09 5C072 AA03 BA08 DA04 FB12 FB15 HA02 HA06 HA12 HB04 XA01 XA04

Claims (5)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 レーザビームをラスターデータに基づい
    て生成される描画信号によって変調し、この変調された
    レーザビームを偏向手段で主走査方向に偏向させて載置
    台上の処理対象物に照射させるとともに、副走査方向に
    レーザビームと載置台とを移動手段で相対的に移動させ
    ることにより所望のパターンを前記処理対象物に描画す
    るレーザ描画装置において、 レーザビームの一走査ラインのうちで補正箇所の光量を
    光量補正データに応じて調整する光量調整手段を備えて
    いることを特徴とするレーザ描画装置。
    1. A laser beam is modulated by a drawing signal generated based on raster data, and the modulated laser beam is deflected in a main scanning direction by a deflecting means to irradiate an object to be processed on a mounting table. A laser writing apparatus that draws a desired pattern on the processing object by relatively moving a laser beam and a mounting table in a sub-scanning direction by a moving unit; A laser writing apparatus comprising: a light amount adjusting unit that adjusts a light amount according to light amount correction data.
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のレーザ描画装置におい
    て、 前記光量調整手段は、 レーザビームの一走査ラインのうちで補正箇所の光量補
    正値を光量補正データとして保持するメモリ部と、 前記メモリ部からの光量補正値に応じてレーザビームの
    光量を調整する調整部とを備えていることを特徴とする
    レーザ描画装置。
    2. The laser writing apparatus according to claim 1, wherein the light amount adjusting unit includes: a memory unit that holds, as light amount correction data, a light amount correction value of a correction portion in one scanning line of the laser beam; A laser beam drawing apparatus comprising: an adjusting unit that adjusts the light amount of the laser beam according to the light amount correction value from the unit.
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のレーザ
    描画装置において、 前記光量調整手段を同時走査描画する複数本のレーザビ
    ーム毎に備えていることを特徴とするレーザ描画装置。
    3. The laser writing apparatus according to claim 1, wherein the light amount adjusting means is provided for each of a plurality of laser beams for simultaneous scanning and writing.
  4. 【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
    のレーザ描画装置において、 前記偏向手段はポリゴンミラーを含む走査系とし、 前記ポリゴンミラーの各面毎のレーザビームの光量を検
    出する光量検出手段と、 前記光量検出手段で検出されたポリゴンミラー各面のレ
    ーザビームの光量が一定となるようにポリゴンミラー各
    面毎の光量補正データを算出する演算手段とを備えてい
    ることを特徴とするレーザ描画装置。
    4. The laser writing apparatus according to claim 1, wherein the deflecting unit is a scanning system including a polygon mirror, and detects a light amount of a laser beam for each surface of the polygon mirror. Light amount detecting means; and calculating means for calculating light amount correction data for each surface of the polygon mirror such that the light amount of the laser beam on each surface of the polygon mirror detected by the light amount detecting means is constant. Laser drawing apparatus.
  5. 【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれかに記載
    のレーザ描画装置において、 前記レーザビームを受光することでこのレーザビームの
    主走査開始を検出するスタートセンサと、 前記スタートセンサでの受光量が一定となるようにこの
    スタートセンサへのレーザビームの光量を調整するスタ
    ートセンサ光量調整手段とを備えていることを特徴とす
    るレーザ描画装置。
    5. The laser writing apparatus according to claim 1, wherein: a start sensor for detecting main scanning start of the laser beam by receiving the laser beam; A laser writing apparatus comprising: a start sensor light amount adjusting unit that adjusts the amount of a laser beam to the start sensor so that the amount of received light is constant.
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