JP2001317000A - 活性炭含有紙およびエアフィルター - Google Patents
活性炭含有紙およびエアフィルターInfo
- Publication number
- JP2001317000A JP2001317000A JP2000134694A JP2000134694A JP2001317000A JP 2001317000 A JP2001317000 A JP 2001317000A JP 2000134694 A JP2000134694 A JP 2000134694A JP 2000134694 A JP2000134694 A JP 2000134694A JP 2001317000 A JP2001317000 A JP 2001317000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- activated carbon
- containing paper
- corrugated
- paper
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Paper (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粉末状活性炭を用いて安価に作製できるもの
でありながら、活性炭の脱落を防止して単位体積当たり
の吸着量を増大する。 【解決手段】 細孔容積 0.3〜1.3cm3/gで平均細孔容積
が1.0cm3/g、かつ、粒径が 0.1〜 100μm で平均粒径が
５μm の粉末状の活性炭50重量％、パルプ40重量％、熱
溶融性繊維としてのポリアクリロニトリル繊維10重量％
によって、坪量が190g/m2、充填密度0.38g/cm3 、紙厚
0.5mmの活性炭含有紙を作製する。
でありながら、活性炭の脱落を防止して単位体積当たり
の吸着量を増大する。 【解決手段】 細孔容積 0.3〜1.3cm3/gで平均細孔容積
が1.0cm3/g、かつ、粒径が 0.1〜 100μm で平均粒径が
５μm の粉末状の活性炭50重量％、パルプ40重量％、熱
溶融性繊維としてのポリアクリロニトリル繊維10重量％
によって、坪量が190g/m2、充填密度0.38g/cm3 、紙厚
0.5mmの活性炭含有紙を作製する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場な
どのクリーンルームに導入される空気中に含まれるフタ
ル酸エステルなどの有機ガスや、アンモニアＮＨ3 や塩
化水素ＨＣｌや酸化窒素ガスＮＯX や硫酸ガスＳＯX 等
を除去するために用いられる微量ガス除去フィルターと
か、室内や車内の煙草臭とかペット臭などを除去するた
めに用いられる空気清浄フィルター用濾材などとして使
用される活性炭含有紙、それを用いた積層体ならびに段
ボール、その段ボールを用いたエアフィルター、そのエ
アフィルターを装着したクリーンルームおよび半導体製
造装置に関する。
どのクリーンルームに導入される空気中に含まれるフタ
ル酸エステルなどの有機ガスや、アンモニアＮＨ3 や塩
化水素ＨＣｌや酸化窒素ガスＮＯX や硫酸ガスＳＯX 等
を除去するために用いられる微量ガス除去フィルターと
か、室内や車内の煙草臭とかペット臭などを除去するた
めに用いられる空気清浄フィルター用濾材などとして使
用される活性炭含有紙、それを用いた積層体ならびに段
ボール、その段ボールを用いたエアフィルター、そのエ
アフィルターを装着したクリーンルームおよび半導体製
造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の活性炭含有紙としては、従来、
特開昭５５−７５９１１号公報に開示されているような
ものがあった。
特開昭５５−７５９１１号公報に開示されているような
ものがあった。
【０００３】上記従来例によれば、紙料繊維に粉末活性
炭を加え、よく叩解した後にカチオン凝集剤を混合して
水に分散する。次いで、アニオン凝集剤を混入攪拌し、
活性炭を繊維上に凝集沈着させるとともにまんべんに分
散させ、これを網上に流し出して均一な紙層を形成し、
圧縮脱水、乾燥処理して活性炭含有紙を得るようにして
いる。
炭を加え、よく叩解した後にカチオン凝集剤を混合して
水に分散する。次いで、アニオン凝集剤を混入攪拌し、
活性炭を繊維上に凝集沈着させるとともにまんべんに分
散させ、これを網上に流し出して均一な紙層を形成し、
圧縮脱水、乾燥処理して活性炭含有紙を得るようにして
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来一
般に、活性炭の量を多くすると、脱落の問題を発生する
と観念されていたために、従来例の場合、坪量が小さく
て活性炭の含有量が少なく、臭気成分などに対する吸着
性能が低い欠点があった。
般に、活性炭の量を多くすると、脱落の問題を発生する
と観念されていたために、従来例の場合、坪量が小さく
て活性炭の含有量が少なく、臭気成分などに対する吸着
性能が低い欠点があった。
【０００５】上述の従来観念に起因して、例えば、特開
昭５５−１３０８１１号公報や特開昭５４−６４１０５
号公報などに開示されるように、粉末状の活性炭に代え
て、活性炭素繊維を含有して抄紙するものがある。とこ
ろが、このような活性炭素繊維を含有するものでは、そ
の活性炭素繊維自体が粉末状活性炭に比べて極めて高価
であり、活性炭含有紙が高価になる欠点があった。
昭５５−１３０８１１号公報や特開昭５４−６４１０５
号公報などに開示されるように、粉末状の活性炭に代え
て、活性炭素繊維を含有して抄紙するものがある。とこ
ろが、このような活性炭素繊維を含有するものでは、そ
の活性炭素繊維自体が粉末状活性炭に比べて極めて高価
であり、活性炭含有紙が高価になる欠点があった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、粉末状活性炭を用いて安価に作製でき
るものでありながら、活性炭の脱落を防止して単位体積
当たりの吸着量を増大できるようにすることを目的とす
る。他の目的は所定の保形性を確保できるようにするこ
とにあり、更に他の目的は、活性炭の脱落をより良好に
防止できるようにすることにある。また、安価で吸着性
に優れた積層体ならびに段ボールを提供することを目的
とし、更には、安価で清浄度に優れたクリーンルームお
よび半導体製造装置を提供することを目的とする。
たものであって、粉末状活性炭を用いて安価に作製でき
るものでありながら、活性炭の脱落を防止して単位体積
当たりの吸着量を増大できるようにすることを目的とす
る。他の目的は所定の保形性を確保できるようにするこ
とにあり、更に他の目的は、活性炭の脱落をより良好に
防止できるようにすることにある。また、安価で吸着性
に優れた積層体ならびに段ボールを提供することを目的
とし、更には、安価で清浄度に優れたクリーンルームお
よび半導体製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の活
性炭含有紙は、上述のような目的を達成するために、細
孔容積として、窒素吸着量に基づくＢＥＴ法の理論によ
り求められる値が、 0.3〜1.3cm3/gの範囲内にあり、粒
径が 0.1〜 100μm の範囲内にある活性炭を30〜80重量
％の範囲内で含有してなり、かつ坪量が30〜 300g/m2に
なるように抄紙してなることを特徴としている。上記細
孔容積は、例えば、ユアサアイオニクス株式会社製「Ａ
ＵＴＯＳＯＲＢ−６」により求めることができる。
性炭含有紙は、上述のような目的を達成するために、細
孔容積として、窒素吸着量に基づくＢＥＴ法の理論によ
り求められる値が、 0.3〜1.3cm3/gの範囲内にあり、粒
径が 0.1〜 100μm の範囲内にある活性炭を30〜80重量
％の範囲内で含有してなり、かつ坪量が30〜 300g/m2に
なるように抄紙してなることを特徴としている。上記細
孔容積は、例えば、ユアサアイオニクス株式会社製「Ａ
ＵＴＯＳＯＲＢ−６」により求めることができる。
【０００８】上述の活性炭は、通常、粉末状または粒状
をしており、ヤシガラ、コークス、木炭などが用いら
れ、その細孔容積は 0.3〜1.3cm3/gである。0.3cm3/g未
満では、吸着性が低下し、一方、1.3cm3/gを越えると、
強度が低下して取り扱いにくくなるからである。また、
粒径は 0.1〜 100μm である。 0.1μm 未満では、飛散
しやすくなって抄紙時の取り扱い性が低下し、一方、 1
00μm を越えると、抄紙時にバインダーと分離しやすく
なって抄紙できず、また、抄紙後の紙から活性炭が脱落
するからである。そして、活性炭の含有量は30〜80重量
％である。30重量％未満では、吸着性が低下し、一方、
80重量％を越えると、抄紙後の紙から活性炭が脱落する
からである。坪量は、用途などに応じて適宜設定すれば
良いが、30〜 300g/m2になるように調整して抄紙する。
30g/m2未満では、吸着性が低下し、一方、 300g/m2を越
えると、硬くなって加工性が悪くなるからである。
をしており、ヤシガラ、コークス、木炭などが用いら
れ、その細孔容積は 0.3〜1.3cm3/gである。0.3cm3/g未
満では、吸着性が低下し、一方、1.3cm3/gを越えると、
強度が低下して取り扱いにくくなるからである。また、
粒径は 0.1〜 100μm である。 0.1μm 未満では、飛散
しやすくなって抄紙時の取り扱い性が低下し、一方、 1
00μm を越えると、抄紙時にバインダーと分離しやすく
なって抄紙できず、また、抄紙後の紙から活性炭が脱落
するからである。そして、活性炭の含有量は30〜80重量
％である。30重量％未満では、吸着性が低下し、一方、
80重量％を越えると、抄紙後の紙から活性炭が脱落する
からである。坪量は、用途などに応じて適宜設定すれば
良いが、30〜 300g/m2になるように調整して抄紙する。
30g/m2未満では、吸着性が低下し、一方、 300g/m2を越
えると、硬くなって加工性が悪くなるからである。
【０００９】活性炭含有紙のガーレー式剛軟度として
は、JIS-L-1096による値が、２×10-3〜35×10-3Ｎにな
るようにするのが好ましい（請求項２）。２×10-3Ｎ未
満では、剛性が低下し、一方、35×10-3Ｎを越えると、
剛性が高くなって加工しづらくなるからである。上述の
ガーレー式剛軟度は、例えば、テスター産業株式会社製
ガーレー式ステコネステスターにて求めることができ
る。
は、JIS-L-1096による値が、２×10-3〜35×10-3Ｎにな
るようにするのが好ましい（請求項２）。２×10-3Ｎ未
満では、剛性が低下し、一方、35×10-3Ｎを越えると、
剛性が高くなって加工しづらくなるからである。上述の
ガーレー式剛軟度は、例えば、テスター産業株式会社製
ガーレー式ステコネステスターにて求めることができ
る。
【００１０】保形性を高めるうえで、バインダーとして
パルプを30〜60重量％含有するのが好ましい（請求項
３）。30重量％未満では、活性炭を保持できなくなり、
一方、60重量％を越えると、吸着性が低下するからであ
る。
パルプを30〜60重量％含有するのが好ましい（請求項
３）。30重量％未満では、活性炭を保持できなくなり、
一方、60重量％を越えると、吸着性が低下するからであ
る。
【００１１】積層を良好に行うために、熱溶融性繊維を
１〜20重量％含有するのが好ましい（請求項４）。１重
量％未満では、積層体を作るときの接着性が無く、一
方、20重量％を越えると、吸着性が低下するからであ
る。
１〜20重量％含有するのが好ましい（請求項４）。１重
量％未満では、積層体を作るときの接着性が無く、一
方、20重量％を越えると、吸着性が低下するからであ
る。
【００１２】また、活性炭の脱落をより良好に防止する
ためにカレンダー処理および表面コーティング処理を施
しても良い（請求項５）。
ためにカレンダー処理および表面コーティング処理を施
しても良い（請求項５）。
【００１３】活性炭含有紙を波形に加工して波形状活性
炭含有紙としても良く（請求項６）、更に、その波形状
活性炭含有紙の複数枚を積層して積層体に構成しても良
い（請求項７）。例えば、波形山間隔 2.5mm、波形山高
さ 3mmに加工することにより、波形状活性炭含有紙とす
ることができる。また、この波形状活性炭含有紙（波形
シート）の複数枚を、頂部と底部とが互いに突き合わさ
れるように積層し、ハニカム状の積層体に形成するもの
でも良い。このようにして得られる積層体はフィルター
として使用し、優れた吸着性能を発揮させることができ
る。
炭含有紙としても良く（請求項６）、更に、その波形状
活性炭含有紙の複数枚を積層して積層体に構成しても良
い（請求項７）。例えば、波形山間隔 2.5mm、波形山高
さ 3mmに加工することにより、波形状活性炭含有紙とす
ることができる。また、この波形状活性炭含有紙（波形
シート）の複数枚を、頂部と底部とが互いに突き合わさ
れるように積層し、ハニカム状の積層体に形成するもの
でも良い。このようにして得られる積層体はフィルター
として使用し、優れた吸着性能を発揮させることができ
る。
【００１４】また、活性炭含有紙によって、平板シート
と波形に加工した波形シートとを作製し、波形シートの
片面または両面に平板シートを積層して段ボールを形成
しても良い（請求項８）。
と波形に加工した波形シートとを作製し、波形シートの
片面または両面に平板シートを積層して段ボールを形成
しても良い（請求項８）。
【００１５】また、用途によっては、活性炭含有紙に各
種の添着剤を加えて吸着性能を高めることも可能であ
る。更に、少量の活性炭素繊維を加えるようにしても良
い。吸着性能を高める添着剤としては、特に限定するも
のではなく、アルカリ性ガスを吸着したい場合は、酸性
薬剤である、リン酸、硫酸、有機酸が有望であり、酸性
ガスを吸着したい場合は、カリウム、ナトリウムの無機
塩が有望である。
種の添着剤を加えて吸着性能を高めることも可能であ
る。更に、少量の活性炭素繊維を加えるようにしても良
い。吸着性能を高める添着剤としては、特に限定するも
のではなく、アルカリ性ガスを吸着したい場合は、酸性
薬剤である、リン酸、硫酸、有機酸が有望であり、酸性
ガスを吸着したい場合は、カリウム、ナトリウムの無機
塩が有望である。
【００１６】また、活性炭含有紙によって形成した段ボ
ールに被処理エアを波形シートの波形屈曲方向に直交す
る方向でかつ紙面と平行な方向に通気させることにより
被処理エア中のガス状物質を除去するエアフィルターと
することができる（請求項９）。このとき、段ボールは
丸めて筒状に形成しても良いし、複数枚を重ねて立方形
状に形成しても良い。
ールに被処理エアを波形シートの波形屈曲方向に直交す
る方向でかつ紙面と平行な方向に通気させることにより
被処理エア中のガス状物質を除去するエアフィルターと
することができる（請求項９）。このとき、段ボールは
丸めて筒状に形成しても良いし、複数枚を重ねて立方形
状に形成しても良い。
【００１７】また、上記エアフィルターを清浄用処理空
間との間の通気部に装着することにより、空気中の汚染
ガス濃度が極めて低いクリーンルームを形成することが
できる（請求項１０）。特に、半導体製造工程において
は、ｐｐｂオーダーの空気中の微量なガス状汚染物質が
問題となっており、半導体製造用のクリーンルームに好
適に適用できる。
間との間の通気部に装着することにより、空気中の汚染
ガス濃度が極めて低いクリーンルームを形成することが
できる（請求項１０）。特に、半導体製造工程において
は、ｐｐｂオーダーの空気中の微量なガス状汚染物質が
問題となっており、半導体製造用のクリーンルームに好
適に適用できる。
【００１８】また、上記エアフィルターを半導体基板の
処理部を覆うカバー体の通気部に装着することにより、
汚染ガス濃度が極めて低い半導体製造装置を形成するこ
とができる（請求項１１）。半導体製造時に問題となる
ガスの種類としては、Ｎ−メチル−２ピロリドン（ＮＭ
Ｐ）やトルエンなどの有機溶剤、フタル酸ジオクチル
（ＤＯＰ）やフタル酸ジブチル（ＤＢＰ）などのフタル
酸エステル、リン酸トリエチル（ＴＥＰ）やリン酸トリ
クロロエチル（ＴＣＥＰ）などのリン酸エステル、アジ
ピン酸ジオクチル（ＤＯＡ）やアジピン酸ジブチルなど
のアジピン酸エステル、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭ
ＤＳ）やトリメチルシラノール、ヘキサメチルジシロキ
サン、Ｄ３からＤ６の低分子環状シロキサンなどの有機
シリコン化合物、アンモニアや各種アミンなどのアルカ
リ性物質、フッ酸などの酸性物質などが挙げられる。本
発明のエアフィルターを装着することにより、前記物質
が一般大気中もしくは一般クリーンルーム中での濃度に
対し、著しく低減されたクリーンルームもしくは半導体
製造装置を構成することができる。また、本発明のエア
フィルターは、ガラス繊維などの無機繊維、ポリプロピ
レンなどの有機繊維あるいはフッ素膜などからなる粒子
除去フィルターと組み合わせることによりガス状汚染物
質と粒子状汚染物質を同時に除去・低減できるので、粒
子除去フィルターと組み合わせて使用することが特に好
ましい。
処理部を覆うカバー体の通気部に装着することにより、
汚染ガス濃度が極めて低い半導体製造装置を形成するこ
とができる（請求項１１）。半導体製造時に問題となる
ガスの種類としては、Ｎ−メチル−２ピロリドン（ＮＭ
Ｐ）やトルエンなどの有機溶剤、フタル酸ジオクチル
（ＤＯＰ）やフタル酸ジブチル（ＤＢＰ）などのフタル
酸エステル、リン酸トリエチル（ＴＥＰ）やリン酸トリ
クロロエチル（ＴＣＥＰ）などのリン酸エステル、アジ
ピン酸ジオクチル（ＤＯＡ）やアジピン酸ジブチルなど
のアジピン酸エステル、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭ
ＤＳ）やトリメチルシラノール、ヘキサメチルジシロキ
サン、Ｄ３からＤ６の低分子環状シロキサンなどの有機
シリコン化合物、アンモニアや各種アミンなどのアルカ
リ性物質、フッ酸などの酸性物質などが挙げられる。本
発明のエアフィルターを装着することにより、前記物質
が一般大気中もしくは一般クリーンルーム中での濃度に
対し、著しく低減されたクリーンルームもしくは半導体
製造装置を構成することができる。また、本発明のエア
フィルターは、ガラス繊維などの無機繊維、ポリプロピ
レンなどの有機繊維あるいはフッ素膜などからなる粒子
除去フィルターと組み合わせることによりガス状汚染物
質と粒子状汚染物質を同時に除去・低減できるので、粒
子除去フィルターと組み合わせて使用することが特に好
ましい。
【００１９】
【作用】請求項１に係る発明の活性炭含有紙の構成によ
れば、細孔容積が 0.3〜1.3cm3/gの範囲内にあり、粒径
が 0.1〜 100μm の範囲内にある活性炭を30〜80重量％
の範囲内で含有することにより活性炭を均一に分散で
き、また、坪量が30〜 300g/m2の範囲内になるように抄
紙することにより、吸着性と強度とを確保できる。
れば、細孔容積が 0.3〜1.3cm3/gの範囲内にあり、粒径
が 0.1〜 100μm の範囲内にある活性炭を30〜80重量％
の範囲内で含有することにより活性炭を均一に分散で
き、また、坪量が30〜 300g/m2の範囲内になるように抄
紙することにより、吸着性と強度とを確保できる。
【００２０】また、請求項２に係る発明の活性炭含有紙
の構成によれば、ＪＩＳ（Ｌ１０９６）によるガーレー
式剛軟度を２×10-3〜35×10-3Ｎにすることにより適度
な剛性を持たせることができる。
の構成によれば、ＪＩＳ（Ｌ１０９６）によるガーレー
式剛軟度を２×10-3〜35×10-3Ｎにすることにより適度
な剛性を持たせることができる。
【００２１】また、請求項３に係る発明の活性炭含有紙
の構成によれば、パルプを30〜60重量％含有することに
より、吸着性を損なわずに、活性炭を良好に保持して保
形性を高くできる。
の構成によれば、パルプを30〜60重量％含有することに
より、吸着性を損なわずに、活性炭を良好に保持して保
形性を高くできる。
【００２２】また、請求項４に係る発明の活性炭含有紙
の構成によれば、熱溶融性繊維を１〜20重量％含有する
ことにより、吸着性を損なわずに、積層体を作るときの
接着性を高くできて積層を良好に行える。
の構成によれば、熱溶融性繊維を１〜20重量％含有する
ことにより、吸着性を損なわずに、積層体を作るときの
接着性を高くできて積層を良好に行える。
【００２３】また、請求項５に係る発明の活性炭含有紙
の構成によれば、カレンダー処理および表面コーティン
グ処理することにより、活性炭が表面から離脱すること
を防止できる。
の構成によれば、カレンダー処理および表面コーティン
グ処理することにより、活性炭が表面から離脱すること
を防止できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を図面を用
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【００２５】（実施例）細孔容積 0.3〜1.3cm3/gで平均
細孔容積が1.0cm3/g、かつ、粒径が 0.1〜 100μm で平
均粒径が５μm の粉末状の活性炭50重量％、パルプ40重
量％、熱溶融性繊維としてのポリアクリロニトリル繊維
10重量％によって、坪量が 190g/m2、充填密度0.38g/cm
3 、紙厚 0.5mmの活性炭含有紙を作製した。
細孔容積が1.0cm3/g、かつ、粒径が 0.1〜 100μm で平
均粒径が５μm の粉末状の活性炭50重量％、パルプ40重
量％、熱溶融性繊維としてのポリアクリロニトリル繊維
10重量％によって、坪量が 190g/m2、充填密度0.38g/cm
3 、紙厚 0.5mmの活性炭含有紙を作製した。
【００２６】この活性炭含有紙のガーレー式剛軟度は17
×10-3Ｎであった。ガーレー式剛軟度Ｎ（ｍｇｆ）は、
ＪＩＳ（L1096 6.20.1）に基づき、 Ｎ＝ＲＧ×（ａＷa ＋ｂＷb ＋ｃＷ c）×（Ｌ2 ／ｄ）
×０．３０６ として求められる。
×10-3Ｎであった。ガーレー式剛軟度Ｎ（ｍｇｆ）は、
ＪＩＳ（L1096 6.20.1）に基づき、 Ｎ＝ＲＧ×（ａＷa ＋ｂＷb ＋ｃＷ c）×（Ｌ2 ／ｄ）
×０．３０６ として求められる。
【００２７】上記活性炭含有紙による平板シートと、そ
の平板シートを波形加工した、山高さ 2.4mmでピッチ
4.4mmの波形シートとによって段ボールを作製し、その
段ボールを積層して、 610mm角で処理流体の流動方向の
厚みが 150mmのフィルターを作製した。使用した活性炭
の重量は 5.1kgで、単位体積当たりの活性炭の重量は90
kg/m3であった。
の平板シートを波形加工した、山高さ 2.4mmでピッチ
4.4mmの波形シートとによって段ボールを作製し、その
段ボールを積層して、 610mm角で処理流体の流動方向の
厚みが 150mmのフィルターを作製した。使用した活性炭
の重量は 5.1kgで、単位体積当たりの活性炭の重量は90
kg/m3であった。
【００２８】また、上記段ボールをすりつぶして比表面
積を測定したところ、 490m2/gであった。計算上の比表
面積は 600m2/gであり、その低下率は20％以下であっ
た。
積を測定したところ、 490m2/gであった。計算上の比表
面積は 600m2/gであり、その低下率は20％以下であっ
た。
【００２９】（比較例）ピッチ系活性炭素繊維70重量
％、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）20重量％、ポリビ
ニルアルコール（ＰＶＡ）10重量％によって、坪量が50
g/m2の活性炭素繊維紙を作製した。この活性炭素繊維紙
のガーレー式剛軟度は 2.5×10-3Ｎであった。
％、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）20重量％、ポリビ
ニルアルコール（ＰＶＡ）10重量％によって、坪量が50
g/m2の活性炭素繊維紙を作製した。この活性炭素繊維紙
のガーレー式剛軟度は 2.5×10-3Ｎであった。
【００３０】上記活性炭素繊維紙による平板シートと、
その平板シートを波形加工した、山高さ 1.4mmでピッチ
3.3mmの波形シートを頂部のり付けにより直径 200mmの
中実芯棒に巻き上げて行き、外径 600mm、長さ 120mmの
円柱体のフィルターを作製した。のり成分はコーンスタ
ーチ＋合成のり（ライフボンドＡｖ−６５０ 日栄化工
株式会社製）である。使用した活性炭の重量は 0.6kg
で、単位体積当たりの活性炭の重量は 19.9kg/m3であっ
た。
その平板シートを波形加工した、山高さ 1.4mmでピッチ
3.3mmの波形シートを頂部のり付けにより直径 200mmの
中実芯棒に巻き上げて行き、外径 600mm、長さ 120mmの
円柱体のフィルターを作製した。のり成分はコーンスタ
ーチ＋合成のり（ライフボンドＡｖ−６５０ 日栄化工
株式会社製）である。使用した活性炭の重量は 0.6kg
で、単位体積当たりの活性炭の重量は 19.9kg/m3であっ
た。
【００３１】また、上記段ボールをすりつぶして比表面
積を測定したところ、 410m2/gであった。計算上の比表
面積は 700m2/gであり、その低下率は40％以上であっ
た。
積を測定したところ、 410m2/gであった。計算上の比表
面積は 700m2/gであり、その低下率は40％以上であっ
た。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に係る発明の活性炭含有紙によれば、特定の細孔容積
と粒径の活性炭を特定の割合で含有し、坪量を調整する
ことによって活性炭を均一に分散するとともに吸着性と
強度とを確保するから、従来観念を打破して適度な坪量
で活性炭の含有量を増加でき、活性炭を用いて安価に作
製できるものでありながら、活性炭の脱落を防止して単
位体積当たりの吸着量を増大できる。
１に係る発明の活性炭含有紙によれば、特定の細孔容積
と粒径の活性炭を特定の割合で含有し、坪量を調整する
ことによって活性炭を均一に分散するとともに吸着性と
強度とを確保するから、従来観念を打破して適度な坪量
で活性炭の含有量を増加でき、活性炭を用いて安価に作
製できるものでありながら、活性炭の脱落を防止して単
位体積当たりの吸着量を増大できる。
【００３３】また、請求項２に係る発明の活性炭含有紙
によれば、特定のガーレー式剛軟度に設定することによ
り適度な剛性を持たせるから、所定の保形性を確保でき
る。特に、波形に加工したり円形に曲げたりして使用す
る際にその強度を高めて耐久性を向上できる。
によれば、特定のガーレー式剛軟度に設定することによ
り適度な剛性を持たせるから、所定の保形性を確保でき
る。特に、波形に加工したり円形に曲げたりして使用す
る際にその強度を高めて耐久性を向上できる。
【００３４】また、請求項３に係る発明の活性炭含有紙
によれば、パルプを30〜60重量％含有することにより、
吸着性を損なわずに、活性炭を良好に保持して保形性を
高くできる。
によれば、パルプを30〜60重量％含有することにより、
吸着性を損なわずに、活性炭を良好に保持して保形性を
高くできる。
【００３５】また、請求項４に係る発明の活性炭含有紙
によれば、熱溶融性繊維を１〜20重量％含有することに
より、吸着性を損なわずに、積層体を作るときの接着性
を高くできて積層を良好に行える。
によれば、熱溶融性繊維を１〜20重量％含有することに
より、吸着性を損なわずに、積層体を作るときの接着性
を高くできて積層を良好に行える。
【００３６】また、請求項５に係る発明の活性炭含有紙
によれば、カレンダー処理および表面コーティング処理
により、活性炭が表面から離脱することを防止するか
ら、活性炭の脱落をより良好に防止できる。
によれば、カレンダー処理および表面コーティング処理
により、活性炭が表面から離脱することを防止するか
ら、活性炭の脱落をより良好に防止できる。
【００３７】また、請求項６に係る発明の活性炭含有紙
によれば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有
紙が安価にして得られる。
によれば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有
紙が安価にして得られる。
【００３８】また、請求項７に係る発明の積層体によれ
ば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有紙を積
層することにより、吸着性に優れた積層体が安価にして
得られるから、フィルターなどに有効に適用できる。
ば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有紙を積
層することにより、吸着性に優れた積層体が安価にして
得られるから、フィルターなどに有効に適用できる。
【００３９】また、請求項８に係る発明の段ボールによ
れば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有紙で
加工した波形シートと平板シートとを用い、波形シート
の片面または両面に平板シートを積層し、吸着性に優れ
た段ボールが得られるから、フィルターなどに有効に適
用できる。
れば、吸着性と強度とを備えた波形状の活性炭含有紙で
加工した波形シートと平板シートとを用い、波形シート
の片面または両面に平板シートを積層し、吸着性に優れ
た段ボールが得られるから、フィルターなどに有効に適
用できる。
【００４０】また、請求項９に係る発明のエアフィルタ
ーによれば、前述した活性炭含有紙を利用して形成した
吸着性に優れた段ボールによってエアフィルターを構成
するから、安価で吸着性に優れたエアフィルターを得る
ことができる。
ーによれば、前述した活性炭含有紙を利用して形成した
吸着性に優れた段ボールによってエアフィルターを構成
するから、安価で吸着性に優れたエアフィルターを得る
ことができる。
【００４１】また、請求項１０に係る発明のクリーンル
ームによれば、前述したエアフィルターを清浄用処理空
間との間の通気部に装着するから、安価で清浄度に優れ
たクリーンルームを提供できる。
ームによれば、前述したエアフィルターを清浄用処理空
間との間の通気部に装着するから、安価で清浄度に優れ
たクリーンルームを提供できる。
【００４２】また、請求項１１に係る発明の半導体製造
装置によれば、前述したエアフィルターを半導体基板の
処理部を覆うカバー体の通気部に装着するから、安価で
清浄度に優れた半導体製造装置を提供できる。
装置によれば、前述したエアフィルターを半導体基板の
処理部を覆うカバー体の通気部に装着するから、安価で
清浄度に優れた半導体製造装置を提供できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ０１Ｊ 20/20 Ｂ０１Ｊ 20/20 Ｆ (72)発明者 上野 拓哉 大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪 瓦斯株式会社内 (72)発明者 天野 雅貴 東京都中央区日本橋室町２丁目２番２号 東レ株式会社東京事業所内 (72)発明者 藤村 洋一 滋賀県大津市大江１丁目１号 東レ株式会 社瀬田工場内 (72)発明者 浅田 康裕 滋賀県大津市大江１丁目１号 東レ株式会 社瀬田工場内 Ｆターム(参考） 3L058 BG03 4D012 CA09 CA10 CA12 CB01 CB02 CB03 CB06 CG01 CG03 CG05 CH01 4G066 AA05B AC02C AC17D AE19C BA05 BA07 BA09 BA20 BA25 CA02 CA04 CA07 CA23 CA28 CA29 CA31 CA51 CA56 DA02 DA03 EA11 FA03 FA25 FA28 FA37 4L055 AA01 AF29 AG02 AH50 AJ01 AJ02 BE02 BE08 BE14 EA08 EA16 EA18 FA11 FA23 GA31
Claims (11)
- 【請求項１】 細孔容積が 0.3〜1.3cm3/gの範囲内にあ
り、粒径が 0.1〜 100μm の範囲内にある活性炭を30〜
80重量％の範囲内で含有してなり、かつ坪量が30〜 300
g/m2の範囲内になるように抄紙してなることを特徴とす
る活性炭含有紙。 - 【請求項２】 請求項１に記載の活性炭含有紙であっ
て、JIS(L1096)によるガーレー式剛軟度が２×10-3〜35
×10-3Ｎである活性炭含有紙。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２のいずれかに記
載の活性炭含有紙であって、バインダーとしてパルプを
30〜60重量％含有してある活性炭含有紙。 - 【請求項４】 請求項１、請求項２、請求項３のいずれ
かに記載の活性炭含有紙であって、熱溶融性繊維を１〜
20重量％含有してある活性炭含有紙。 - 【請求項５】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
４のいずれかに記載の活性炭含有紙であって、カレンダ
ー処理および表面コーティング処理を施してある活性炭
含有紙。 - 【請求項６】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
４、請求項５のいずれかに記載の活性炭含有紙を波形に
加工してある波形状活性炭含有紙。 - 【請求項７】 請求項６に記載の波形状活性炭含有紙の
複数枚を積層してある積層体。 - 【請求項８】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
４、請求項５のいずれかに記載の活性炭含有紙を波形に
加工した波形シートの片面または両面に、請求項１、請
求項２、請求項３、請求項４、請求項５のいずれかに記
載の活性炭含有紙から成る平板シートを積層してある段
ボール。 - 【請求項９】 請求項８に記載の段ボールに被処理エア
を、波形シートの波形屈曲方向に直交する方向でかつ紙
面と平行な方向に通気させることにより被処理エア中の
ガス状物質を除去するエアフィルター。 - 【請求項１０】 請求項９に記載のエアフィルターを清
浄用処理空間との間の通気部に装着したクリーンルー
ム。 - 【請求項１１】 請求項９に記載のエアフィルターを半
導体基板の処理部を覆うカバー体の通気部に装着した半
導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000134694A JP2001317000A (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | 活性炭含有紙およびエアフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000134694A JP2001317000A (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | 活性炭含有紙およびエアフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001317000A true JP2001317000A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18642928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000134694A Pending JP2001317000A (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | 活性炭含有紙およびエアフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001317000A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004294052A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-10-21 | Takenaka Komuten Co Ltd | 全熱交換器用素子 |
| JP2009543678A (ja) * | 2006-07-13 | 2009-12-10 | インテグリス・インコーポレーテッド | 半導体処理ツールのためのフィルタリングシステム |
| DE102008029079A1 (de) * | 2008-06-19 | 2009-12-24 | Mahle International Gmbh | Mit Kohlenstoff angereicherter Werkstoff |
| JP2012055807A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Kureha Corp | トリメチルシラノール用吸着剤、及びそれを担持したケミカルフィルタ |
| JP2012166137A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Tanaka Seishi Kogyo Kk | 脱臭用シート |
| CN102704325A (zh) * | 2012-06-06 | 2012-10-03 | 云南瑞升烟草技术（集团）有限公司 | 一种可选择吸附卷烟滤嘴棒用干法纸质滤材及其制备方法 |
| USRE44536E1 (en) | 2000-05-05 | 2013-10-15 | Entegris, Inc. | Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media |
| JP2014136178A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Kuraray Chemical Co Ltd | ガスフィルター |
| CN110820424A (zh) * | 2019-10-16 | 2020-02-21 | 陕西科技大学 | 一种新型过滤纸及其制备方法 |
| CN112709097A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-27 | 山东龙德复合材料科技股份有限公司 | 一种高膨松汽车滤纸原纸及其制备方法 |
-
2000
- 2000-05-08 JP JP2000134694A patent/JP2001317000A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE44536E1 (en) | 2000-05-05 | 2013-10-15 | Entegris, Inc. | Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media |
| JP2004294052A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-10-21 | Takenaka Komuten Co Ltd | 全熱交換器用素子 |
| JP2009543678A (ja) * | 2006-07-13 | 2009-12-10 | インテグリス・インコーポレーテッド | 半導体処理ツールのためのフィルタリングシステム |
| DE102008029079A1 (de) * | 2008-06-19 | 2009-12-24 | Mahle International Gmbh | Mit Kohlenstoff angereicherter Werkstoff |
| JP2012055807A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Kureha Corp | トリメチルシラノール用吸着剤、及びそれを担持したケミカルフィルタ |
| JP2012166137A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Tanaka Seishi Kogyo Kk | 脱臭用シート |
| CN102704325A (zh) * | 2012-06-06 | 2012-10-03 | 云南瑞升烟草技术（集团）有限公司 | 一种可选择吸附卷烟滤嘴棒用干法纸质滤材及其制备方法 |
| CN102704325B (zh) * | 2012-06-06 | 2014-06-25 | 云南瑞升烟草技术（集团）有限公司 | 一种可选择吸附卷烟滤嘴棒用干法纸质滤材及其制备方法 |
| JP2014136178A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Kuraray Chemical Co Ltd | ガスフィルター |
| CN110820424A (zh) * | 2019-10-16 | 2020-02-21 | 陕西科技大学 | 一种新型过滤纸及其制备方法 |
| CN112709097A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-27 | 山东龙德复合材料科技股份有限公司 | 一种高膨松汽车滤纸原纸及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5277534B2 (ja) | 繊維シートおよびその製造方法ならびにエアフィルター | |
| WO2009122975A1 (ja) | 脱臭性繊維構造物およびエアフィルター | |
| JPWO2003066193A1 (ja) | 流体清浄フィルター及びフィルター装置 | |
| JP2008138300A (ja) | 繊維シートおよびその製造方法、脱臭剤ならびにエアフィルター | |
| JP2925625B2 (ja) | 空気浄化フィルター | |
| JP2001317000A (ja) | 活性炭含有紙およびエアフィルター | |
| DE102018114351A1 (de) | Filtermedium | |
| US20110315922A1 (en) | Custom water adsorption material | |
| US20020177520A1 (en) | Chemical filter | |
| JP2010253409A (ja) | ガス吸着剤、それを用いた濾材及びエアフィルター | |
| WO2019188923A1 (ja) | フィルター用湿式不織布、フィルター用濾材、およびフィルター | |
| JP2002177717A (ja) | 除塵脱臭フィルター | |
| JP2007097944A (ja) | 空気浄化用フィルタおよびその製造方法 | |
| JP4819367B2 (ja) | エアフィルタ用シートの製造方法 | |
| JP7322700B2 (ja) | 多層濾材 | |
| KR102288117B1 (ko) | 공기청정기의 활성탄 흡착제 및 상기 공기청정기의 활성탄 흡착제가 적용된 공기청정기의 콜게이트 필터 | |
| JP2007136029A (ja) | 繊維シートおよびその製造方法ならびにエアフィルター | |
| JPH04104813A (ja) | ガス吸着処理用吸着体 | |
| JP3407748B2 (ja) | 吸着性シート | |
| JPH06104350B2 (ja) | 吸着体 | |
| JP2009028207A (ja) | 脱臭シートおよびその製造方法、脱臭剤ならびにエアフィルター | |
| CN113795323A (zh) | 过滤器用滤材及过滤器 | |
| KR20210025382A (ko) | 다층 여과 시스템 및 이를 포함하는 필터 유닛 | |
| JP4389341B2 (ja) | ガス吸着用シートおよび空気浄化用フィルタ | |
| JP3674750B2 (ja) | ガス吸着用シート及び空気清浄用フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070308 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090623 |