JP2001307899A5 - - Google Patents
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- Japan
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000116642A JP2001307899A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | プラズマ発生装置 |
| US09/829,191 US6401653B1 (en) | 2000-04-18 | 2001-04-09 | Microwave plasma generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000116642A JP2001307899A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | プラズマ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001307899A JP2001307899A (ja) | 2001-11-02 |
| JP2001307899A5 true JP2001307899A5 (sl) | 2007-06-07 |
Family
ID=18628080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000116642A Pending JP2001307899A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001307899A (sl) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4967107B2 (ja) * | 2006-02-20 | 2012-07-04 | 国立大学法人名古屋大学 | マイクロ波導入器、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6232703A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-12 | Rikagaku Kenkyusho | マイクロ波電力導入装置 |
| JPH0673318B2 (ja) * | 1986-09-02 | 1994-09-14 | 理化学研究所 | マイクロ波導入装置 |
| JP3233575B2 (ja) * | 1995-05-26 | 2001-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
| JPH0963793A (ja) * | 1995-08-25 | 1997-03-07 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
| JPH09148097A (ja) * | 1995-11-22 | 1997-06-06 | Hitachi Ltd | プラズマ生成装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法、半導体素子 |
| JP2875221B2 (ja) * | 1996-11-15 | 1999-03-31 | ニチメン電子工研株式会社 | プラズマ発生装置 |
| JP2959508B2 (ja) * | 1997-02-14 | 1999-10-06 | 日新電機株式会社 | プラズマ発生装置 |
| JP4089022B2 (ja) * | 1998-07-22 | 2008-05-21 | 日新イオン機器株式会社 | 自己電子放射型ｅｃｒイオンプラズマ源 |
| JP3437772B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2003-08-18 | 長崎県 | 管内面の表面処理方法及び装置 |
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2000
- 2000-04-18 JP JP2000116642A patent/JP2001307899A/ja active Pending