JP2001305532A - 反射型液晶表示装置の製造方法及びそれを用いた反射型ｌｃｄ表示装置、携帯機器 - Google Patents
反射型液晶表示装置の製造方法及びそれを用いた反射型ｌｃｄ表示装置、携帯機器Info
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- JP2001305532A JP2001305532A JP2000126556A JP2000126556A JP2001305532A JP 2001305532 A JP2001305532 A JP 2001305532A JP 2000126556 A JP2000126556 A JP 2000126556A JP 2000126556 A JP2000126556 A JP 2000126556A JP 2001305532 A JP2001305532 A JP 2001305532A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 凸凹形状形成工程が簡略で、かつ制御がしや
すく、再現性のよい反射特性を有する反射板を備えた反
射型液晶表示装置を提供することである。 【解決手段】 光感光性樹脂への露光量を連続的に変化
させて露光し、露光量の変化により凸凹曲面の角度等を
制御して形成する。
すく、再現性のよい反射特性を有する反射板を備えた反
射型液晶表示装置を提供することである。 【解決手段】 光感光性樹脂への露光量を連続的に変化
させて露光し、露光量の変化により凸凹曲面の角度等を
制御して形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、不規則な凸凹形状
を備えた反射板とこれを用いたバックライトを使用ない
反射型液晶表示装置の製造方法に関するものである。ま
た携帯電話機、携帯情報端末や電子手帳など携帯機器に
搭載する反射型ＬＣＤ表示装置、携帯機器に関するもの
である。
を備えた反射板とこれを用いたバックライトを使用ない
反射型液晶表示装置の製造方法に関するものである。ま
た携帯電話機、携帯情報端末や電子手帳など携帯機器に
搭載する反射型ＬＣＤ表示装置、携帯機器に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、例えば特開平４−２４３２２
６号に示された従来の反射型ＬＣＤ表示装置の反射板形
状を示す概略図である。図１０において、３７はガラス
基板、３８は光感光性樹脂、３９はホトマスク、４０は
光感光性樹脂でできた凸部、４１は反射膜である。
６号に示された従来の反射型ＬＣＤ表示装置の反射板形
状を示す概略図である。図１０において、３７はガラス
基板、３８は光感光性樹脂、３９はホトマスク、４０は
光感光性樹脂でできた凸部、４１は反射膜である。
【０００３】次に動作について説明する。基板３７の一
方の面に光感光性樹脂３８を塗布し、ホトマスク３９を
用いてパターニングし、光感光性樹脂でできた凸部４０
を形成する。次に熱処理を施すことにより形状に丸みを
つけ、その上に反射膜４１を形成して光感光性樹脂でで
きた凸部４０の形状を反映した凸部形状をもつ反射板を
形成することができる。
方の面に光感光性樹脂３８を塗布し、ホトマスク３９を
用いてパターニングし、光感光性樹脂でできた凸部４０
を形成する。次に熱処理を施すことにより形状に丸みを
つけ、その上に反射膜４１を形成して光感光性樹脂でで
きた凸部４０の形状を反映した凸部形状をもつ反射板を
形成することができる。
【０００４】図１１は、例えば特開平６−７５２３７号
公報で示された従来の反射型ＬＣＤ表示装置の反射板形
成過程を示す概略図である。図１１において、４２はガ
ラス基板、４３は光感光性樹脂、４４はホトマスク、４
５は光感光性樹脂でできた凸部、４６は光感光性樹脂、
４７は光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹、４８は反射
膜である。
公報で示された従来の反射型ＬＣＤ表示装置の反射板形
成過程を示す概略図である。図１１において、４２はガ
ラス基板、４３は光感光性樹脂、４４はホトマスク、４
５は光感光性樹脂でできた凸部、４６は光感光性樹脂、
４７は光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹、４８は反射
膜である。
【０００５】次に動作について説明する。基板４２の一
方の面に光感光性樹脂４３を塗布し、ホトマスク４４を
用いてパターニングし、光感光性樹脂でできた凸部４５
を形成する。次に熱処理を施すことにより形状に丸みを
つけ、さらにその上に光感光性樹脂４６を塗布して滑ら
かなな凸凹４７を形成する。その上に反射膜４８を形成
して光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹４７の形状を反
映した凸凹形状を有する反射板を形成することができ
る。
方の面に光感光性樹脂４３を塗布し、ホトマスク４４を
用いてパターニングし、光感光性樹脂でできた凸部４５
を形成する。次に熱処理を施すことにより形状に丸みを
つけ、さらにその上に光感光性樹脂４６を塗布して滑ら
かなな凸凹４７を形成する。その上に反射膜４８を形成
して光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹４７の形状を反
映した凸凹形状を有する反射板を形成することができ
る。
【０００６】携帯電話機、携帯情報端末や電子手帳など
携帯機器の表示装置として、上記のような形状をした反
射板を有する反射型ＬＣＤ表示装置が搭載されている。
携帯機器の表示装置として、上記のような形状をした反
射板を有する反射型ＬＣＤ表示装置が搭載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の反射型ＬＣＤ表
示装置の反射板は、凸部を形成する歳に露光光が透過す
る透過部と露光光が透過しない遮光部で成るホトマスク
を用いてパターン化しているので、パターン化した光感
光性樹脂をさらに丸みを帯びた形状にしなくてはなら
ず、そのために熱処理を施す必要があり、また熱処理に
よる形状の変化は制御し難いなどの問題点があった。
示装置の反射板は、凸部を形成する歳に露光光が透過す
る透過部と露光光が透過しない遮光部で成るホトマスク
を用いてパターン化しているので、パターン化した光感
光性樹脂をさらに丸みを帯びた形状にしなくてはなら
ず、そのために熱処理を施す必要があり、また熱処理に
よる形状の変化は制御し難いなどの問題点があった。
【０００８】また、従来の反射型ＬＣＤ表示装置の反射
板は、透過部と遮光部からなるホトマスクを用いてパタ
ーン化して熱処理を施した後、さらに滑らかな曲面を有
した凸凹形状にしなければならず、そのためにさらに光
感光性樹脂を塗布する必要がある。また、凸凹形成に複
数の光感光性樹脂を用いた工程が必要であるなどの問題
点があった。
板は、透過部と遮光部からなるホトマスクを用いてパタ
ーン化して熱処理を施した後、さらに滑らかな曲面を有
した凸凹形状にしなければならず、そのためにさらに光
感光性樹脂を塗布する必要がある。また、凸凹形成に複
数の光感光性樹脂を用いた工程が必要であるなどの問題
点があった。
【０００９】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、１回のホトリソ工程で光
感光性樹脂でできた滑らかな凸凹部を得ることを目的と
しており、さらに光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹部
を有するＬＣＤ表示装置に適した製造方法及びそれを用
いた反射型ＬＣＤ表示装置、携帯機器を提供することを
目的とするものである。
るためになされたものであり、１回のホトリソ工程で光
感光性樹脂でできた滑らかな凸凹部を得ることを目的と
しており、さらに光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹部
を有するＬＣＤ表示装置に適した製造方法及びそれを用
いた反射型ＬＣＤ表示装置、携帯機器を提供することを
目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る反射型液
晶表示装置の製造方法は、ホトマスクを透過する露光光
が連続的に変化するようなマスクを用いて、光感光性樹
脂でできた絶縁膜表面に照射される露光量を連続的に変
化させ、１回のホトリソ工程のみで光感光性樹脂に滑ら
かかつ連続した形状を形成するものである。
晶表示装置の製造方法は、ホトマスクを透過する露光光
が連続的に変化するようなマスクを用いて、光感光性樹
脂でできた絶縁膜表面に照射される露光量を連続的に変
化させ、１回のホトリソ工程のみで光感光性樹脂に滑ら
かかつ連続した形状を形成するものである。
【００１１】この発明に係る反射型液晶表示装置の製造
方法は、反射型ＬＣＤ表示装置において、スイッチング
素子、配線が形成された基板上に感光性有機樹脂ででき
た層間絶縁膜を形成する工程、マスクを透過する露光光
が連続的に変化するホトマスクを用いて露光・現像して
感光性有機樹脂でできた絶縁膜表面に連続的な凸凹を形
成する工程、該凸凹上に入射光を反射する複数の画素電
極を形成する工程を備えたものである。
方法は、反射型ＬＣＤ表示装置において、スイッチング
素子、配線が形成された基板上に感光性有機樹脂ででき
た層間絶縁膜を形成する工程、マスクを透過する露光光
が連続的に変化するホトマスクを用いて露光・現像して
感光性有機樹脂でできた絶縁膜表面に連続的な凸凹を形
成する工程、該凸凹上に入射光を反射する複数の画素電
極を形成する工程を備えたものである。
【００１２】この発明に係る反射型ＬＣＤ表示装置は、
請求項１記載の方法で製造された該反射板と透明電極を
形成した絶縁基板との間に封入された液晶層とを備えた
ものである。
請求項１記載の方法で製造された該反射板と透明電極を
形成した絶縁基板との間に封入された液晶層とを備えた
ものである。
【００１３】この発明に係る携帯機器は、請求項３に記
載の表示装置を備えたものである。
載の表示装置を備えたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態１による光感光性樹脂でできた滑らかな凸
凹部を説明するための図であり、より具体的には光感光
性樹脂でできた滑らかな凸凹部を形成している過程を示
した断面図である。
の実施の形態１による光感光性樹脂でできた滑らかな凸
凹部を説明するための図であり、より具体的には光感光
性樹脂でできた滑らかな凸凹部を形成している過程を示
した断面図である。
【００１５】図１において、１は透過する露光光が連続
的に変化するホトマスク、２はガラス基板、３は光感光
性樹脂膜、４は光感光性樹脂２の感光部、５は光感光性
樹脂２の未感光部、６は光感光性樹脂でできた滑らかな
凸凹部である。
的に変化するホトマスク、２はガラス基板、３は光感光
性樹脂膜、４は光感光性樹脂２の感光部、５は光感光性
樹脂２の未感光部、６は光感光性樹脂でできた滑らかな
凸凹部である。
【００１６】光感光性樹脂でできた滑らかな凸凹部６を
設けるには例えば透過する露光光が連続的に変化するホ
トマスク１を用いて露光量を連続的に変化させ、１回の
ホトリソ工程のみで形成することができる。
設けるには例えば透過する露光光が連続的に変化するホ
トマスク１を用いて露光量を連続的に変化させ、１回の
ホトリソ工程のみで形成することができる。
【００１７】図２は、この発明の実施の形態１による反
射型ＬＣＤ表示装置を説明するための図であり、より具
体的にはガラス基板上にスイッチング素子を形成し、配
線、反射板を形成している部分の断面図である。
射型ＬＣＤ表示装置を説明するための図であり、より具
体的にはガラス基板上にスイッチング素子を形成し、配
線、反射板を形成している部分の断面図である。
【００１８】図２において、７は反射型液晶表示装置、
８はガラス基板、９は多結晶シリコン、１０はゲート絶
縁膜、１１はゲート電極、１２は保持電極、１３は絶縁
膜、１４はソース電極、１５はドレイン電極、１６は薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）、１７は絶縁膜、１８は光感
光性樹脂膜、１９はコンタクトホール、２０は光感光性
樹脂でできた凸凹部、２１は反射膜、２２は配向膜、２
３はガラス基板、２４はカラーフィルタ、２５はブラッ
クマトリックス、２６は透明電極、２７は配向膜、２８
は液晶である。
８はガラス基板、９は多結晶シリコン、１０はゲート絶
縁膜、１１はゲート電極、１２は保持電極、１３は絶縁
膜、１４はソース電極、１５はドレイン電極、１６は薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）、１７は絶縁膜、１８は光感
光性樹脂膜、１９はコンタクトホール、２０は光感光性
樹脂でできた凸凹部、２１は反射膜、２２は配向膜、２
３はガラス基板、２４はカラーフィルタ、２５はブラッ
クマトリックス、２６は透明電極、２７は配向膜、２８
は液晶である。
【００１９】多結晶シリコンから成る半導体層９を覆っ
て基板８上の全面に、窒化シリコン（ＳｉＮｘ）、酸化
シリコン（ＳｉＯｘ）などから成るゲート絶縁膜１０が
形成されている。ゲート絶縁膜１０の上には、クロム、
タンタルなどから成るゲートバス配線とゲートバス配線
から分岐しているゲート電極１１、保持電極１２が形成
されている。ゲートバス配線は走査線として機能してお
り、保持電極１２は半導層９の一部と反射膜２１の電位
を保持するための容量を保持する。ゲート電極１１を挟
むようにゲート絶縁膜にコンタクトホールが形成され、
一方のコンタクトホール上には、チタン、モリブデン、
アルミニウム、クロムなどから成るソース電極１４形成
され、もう一方のコンタクトホール上には、ソース電極
と同様にチタン、モリブデン、アルミニウム、クロムな
どから成るドレイン電極１５が形成されている。ソース
電極１４には、前述のゲートバス配線に前述のゲート絶
縁膜を挟んで交差するソース配線が接続されている。ソ
ース配線は、信号線として機能している。ソースバス配
線もソース電極と同様の金属で形成されている。半導体
層９、ゲート絶縁膜１０、ゲート電極１１、ソース電極
１４、ドレイン電極１５は、薄膜トランジスタ（以下Ｔ
ＦＴと記す１６を構成し、該ＴＦＴ１６は、スイッチン
グ素子の機能を有する。
て基板８上の全面に、窒化シリコン（ＳｉＮｘ）、酸化
シリコン（ＳｉＯｘ）などから成るゲート絶縁膜１０が
形成されている。ゲート絶縁膜１０の上には、クロム、
タンタルなどから成るゲートバス配線とゲートバス配線
から分岐しているゲート電極１１、保持電極１２が形成
されている。ゲートバス配線は走査線として機能してお
り、保持電極１２は半導層９の一部と反射膜２１の電位
を保持するための容量を保持する。ゲート電極１１を挟
むようにゲート絶縁膜にコンタクトホールが形成され、
一方のコンタクトホール上には、チタン、モリブデン、
アルミニウム、クロムなどから成るソース電極１４形成
され、もう一方のコンタクトホール上には、ソース電極
と同様にチタン、モリブデン、アルミニウム、クロムな
どから成るドレイン電極１５が形成されている。ソース
電極１４には、前述のゲートバス配線に前述のゲート絶
縁膜を挟んで交差するソース配線が接続されている。ソ
ース配線は、信号線として機能している。ソースバス配
線もソース電極と同様の金属で形成されている。半導体
層９、ゲート絶縁膜１０、ゲート電極１１、ソース電極
１４、ドレイン電極１５は、薄膜トランジスタ（以下Ｔ
ＦＴと記す１６を構成し、該ＴＦＴ１６は、スイッチン
グ素子の機能を有する。
【００２０】ＴＦＴ１６が形成された基板８の上に窒化
シリコン（ＳｉＮｘ）、酸化シリコン（ＳｉＯｘ）など
から成る絶縁膜１７を全面に形成した上にさらに光感光
性樹脂膜１８を全面に形成し、その光感光性樹脂膜１８
上にコンタクトホール１９が形成される領域以外に凹部
２０が不規則的に形成されている。ドレイン電極１５部
分には、コンタクトホール１９が形成されている。光感
光性樹脂膜１８上にアルミニウム、銀などから成る反射
膜２１が形成され、反射膜２１はコンタクトホール１９
においてドレイン電極と接続される。反射膜２１は、そ
の上には、配向膜２２が形成される。
シリコン（ＳｉＮｘ）、酸化シリコン（ＳｉＯｘ）など
から成る絶縁膜１７を全面に形成した上にさらに光感光
性樹脂膜１８を全面に形成し、その光感光性樹脂膜１８
上にコンタクトホール１９が形成される領域以外に凹部
２０が不規則的に形成されている。ドレイン電極１５部
分には、コンタクトホール１９が形成されている。光感
光性樹脂膜１８上にアルミニウム、銀などから成る反射
膜２１が形成され、反射膜２１はコンタクトホール１９
においてドレイン電極と接続される。反射膜２１は、そ
の上には、配向膜２２が形成される。
【００２１】基板２３上には、カラーフィルタ２４が形
成される。カラーフィルタ２４の反射電極に対向しない
位置にブラックマトリックス２５が形成される。カラー
フィルタ上の全面には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）な
どから成る透明電極２６、さらにその上には配向膜２７
が形成される。
成される。カラーフィルタ２４の反射電極に対向しない
位置にブラックマトリックス２５が形成される。カラー
フィルタ上の全面には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）な
どから成る透明電極２６、さらにその上には配向膜２７
が形成される。
【００２２】両基板８，２３は、反射膜２１とカラーフ
ィルタ２４が一致するように対向して貼り合わされ、そ
の間に液晶２８が注入されて液晶表示装置７が完成す
る。
ィルタ２４が一致するように対向して貼り合わされ、そ
の間に液晶２８が注入されて液晶表示装置７が完成す
る。
【００２３】本実施の形態の凹部形成では、図３のよう
な遮光領域２９の中に円形の透過領域３０を有するマス
クを用いた。この円形は、１種類でもそれ以上の種類で
もよい。透過領域に露光・現像後に光感光性樹脂が０．
２μｍ以上１μｍ以下除去されるような露光量になるよ
うにする。その際、透過領域に配置するパターン形状
は、使用する露光機の解像度以下のパターンルールでス
トライプ、格子、円形などなんでもよい。円形の透過領
域内の透過する露光光にグラデーションをつけるには、
図４のような半径の異なる同心円形にするのが最も望ま
しい。グラデーションは、透過領域の中心が最も透過光
強度が強く、外周に近くなるほど弱くなるように透過部
３１の幅を変化させる。
な遮光領域２９の中に円形の透過領域３０を有するマス
クを用いた。この円形は、１種類でもそれ以上の種類で
もよい。透過領域に露光・現像後に光感光性樹脂が０．
２μｍ以上１μｍ以下除去されるような露光量になるよ
うにする。その際、透過領域に配置するパターン形状
は、使用する露光機の解像度以下のパターンルールでス
トライプ、格子、円形などなんでもよい。円形の透過領
域内の透過する露光光にグラデーションをつけるには、
図４のような半径の異なる同心円形にするのが最も望ま
しい。グラデーションは、透過領域の中心が最も透過光
強度が強く、外周に近くなるほど弱くなるように透過部
３１の幅を変化させる。
【００２４】例えば、感光性有機保護膜に光源がｇ線の
露光機で０．５μｍライン／０．７５μｍスペースのマ
スクでグラデーション露光をした場合、約０．７５μｍ
除去され、０．７５μｍライン／０．５μｍスペースの
マスクでグラデーション露光をした場合、約０．２８μ
ｍ除去される。
露光機で０．５μｍライン／０．７５μｍスペースのマ
スクでグラデーション露光をした場合、約０．７５μｍ
除去され、０．７５μｍライン／０．５μｍスペースの
マスクでグラデーション露光をした場合、約０．２８μ
ｍ除去される。
【００２５】本実施例の凹部は、最大傾斜角度θ１が約
５．５ｄｅｇ．、凹部の深さｄが約０．４５μｍ、凹部
間距離Ｌ１が６μｍになるように形成したものである。
本実施の形態の反射板に直接平行光を照射したときの反
射率を図５に示す。入射光の角度−１５ｄｅｇ．に対し
１５ｄｅｇ．の反射光が正反射成分であり、他の角度の
反射光が凹部の影響で散乱した反射光の散乱成分であ
る。反射率は、Ｌ１を大きくすると散乱成分が増加し、
θやｄを小さくすると正反射成分が増加する傾向にあ
る。このようにθ１、ｄ、Ｌ１を変えることで、反射特
性を制御することができる。
５．５ｄｅｇ．、凹部の深さｄが約０．４５μｍ、凹部
間距離Ｌ１が６μｍになるように形成したものである。
本実施の形態の反射板に直接平行光を照射したときの反
射率を図５に示す。入射光の角度−１５ｄｅｇ．に対し
１５ｄｅｇ．の反射光が正反射成分であり、他の角度の
反射光が凹部の影響で散乱した反射光の散乱成分であ
る。反射率は、Ｌ１を大きくすると散乱成分が増加し、
θやｄを小さくすると正反射成分が増加する傾向にあ
る。このようにθ１、ｄ、Ｌ１を変えることで、反射特
性を制御することができる。
【００２６】反射光を散乱させるために反射型ＬＣＤ表
面に張り合わせる散乱フィルムは、透過効率を低下させ
る要因の１つでもある。反射板に凹部を形成して反射光
の散乱成分を発生させることにより散乱フィルムが不要
となり、反射型ＬＣＤの輝度を確保することができる。
実際にパネルに組み立てて液晶を注入した後のＬＣＤパ
ネルの反射率は、散乱フィルム付き反射型ＬＣＤパネル
の２．３％に対し、凹部を形成した散乱反射板を適用し
た反射型ＬＣＤパネルは４８．３％と２０倍輝度が向上
した。
面に張り合わせる散乱フィルムは、透過効率を低下させ
る要因の１つでもある。反射板に凹部を形成して反射光
の散乱成分を発生させることにより散乱フィルムが不要
となり、反射型ＬＣＤの輝度を確保することができる。
実際にパネルに組み立てて液晶を注入した後のＬＣＤパ
ネルの反射率は、散乱フィルム付き反射型ＬＣＤパネル
の２．３％に対し、凹部を形成した散乱反射板を適用し
た反射型ＬＣＤパネルは４８．３％と２０倍輝度が向上
した。
【００２７】実施の形態２．図６は、この発明の実施の
形態２による光感光性樹脂で形成した非対称な反射面を
説明するための図であり、より具体的には光感光性樹脂
で形成した非対称な反射面を説明するためのモデル図で
ある。
形態２による光感光性樹脂で形成した非対称な反射面を
説明するための図であり、より具体的には光感光性樹脂
で形成した非対称な反射面を説明するためのモデル図で
ある。
【００２８】図６において、３２はガラス基板、３３は
光感光性樹脂、３４は光感光性樹脂でできた非対称形状
の斜面である。本実施例の傾斜面は、傾斜角度θ２が約
７ｄｅｇ．、傾斜面の繰り返しピッチＬ２が１０μｍに
なるように形成したものである。本実施例の反射板に直
接平行光を照射したときの反射率を図７に示す。入射光
の角度−１５ｄｅｇ．に対し２〜３ｄｅｇ．の反射光が
傾斜面により変角された正反射成分である。このように
反射光の正反射成分を意図する方向に変角する反射面を
簡便に形成することが可能である。
光感光性樹脂、３４は光感光性樹脂でできた非対称形状
の斜面である。本実施例の傾斜面は、傾斜角度θ２が約
７ｄｅｇ．、傾斜面の繰り返しピッチＬ２が１０μｍに
なるように形成したものである。本実施例の反射板に直
接平行光を照射したときの反射率を図７に示す。入射光
の角度−１５ｄｅｇ．に対し２〜３ｄｅｇ．の反射光が
傾斜面により変角された正反射成分である。このように
反射光の正反射成分を意図する方向に変角する反射面を
簡便に形成することが可能である。
【００２９】実施の形態３．図７は、この発明の実施の
形態３による光感光性樹脂で形成した非対称な反射面を
説明するための図であり、より具体的には光感光性樹脂
で形成した非対称な反射面を説明するためのモデル図で
ある。
形態３による光感光性樹脂で形成した非対称な反射面を
説明するための図であり、より具体的には光感光性樹脂
で形成した非対称な反射面を説明するためのモデル図で
ある。
【００３０】図８において、３５はガラス基板、３６は
光感光性樹脂、３７は光感光性樹脂でできた非対称形状
の凹曲面、３８は光感光性樹脂でできた非対称形状の凸
曲面である。これらの形状もマスクのグラデーションを
変えることにより、上記の実施の形態１，２と同様に形
成することができる。
光感光性樹脂、３７は光感光性樹脂でできた非対称形状
の凹曲面、３８は光感光性樹脂でできた非対称形状の凸
曲面である。これらの形状もマスクのグラデーションを
変えることにより、上記の実施の形態１，２と同様に形
成することができる。
【００３１】実施の形態４．図９は、この発明の実施の
形態４による携帯電話機の正面図である。図９において
この携帯電話機３９は、テンキー４０を備えるととも
に、電源、保留、リダイアルといった各種の機能キー４
１を備えており、機能キー４１よりも上方位置には、番
号やメッセージ等を表示する液晶表示部４２が設けられ
ている。
形態４による携帯電話機の正面図である。図９において
この携帯電話機３９は、テンキー４０を備えるととも
に、電源、保留、リダイアルといった各種の機能キー４
１を備えており、機能キー４１よりも上方位置には、番
号やメッセージ等を表示する液晶表示部４２が設けられ
ている。
【００３２】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、反射
型ＴＦＴＬＣＤ製造過程において、拡散反射板形成の際
に光感光性樹脂への露光量を連続的に変化させて露光し
たので、凸凹曲面の角度等を意図的に形成することがで
き、また反射板の反射特性を制御するものが得られる効
果がある。
型ＴＦＴＬＣＤ製造過程において、拡散反射板形成の際
に光感光性樹脂への露光量を連続的に変化させて露光し
たので、凸凹曲面の角度等を意図的に形成することがで
き、また反射板の反射特性を制御するものが得られる効
果がある。
【００３３】この発明によれば、露光量を連続的に変化
させて露光して凸凹形状を得たので、熱処理による形状
変化や光感光性樹脂の多層化といった工程を省くことが
でき、工程の省略化が図れる効果がある。
させて露光して凸凹形状を得たので、熱処理による形状
変化や光感光性樹脂の多層化といった工程を省くことが
でき、工程の省略化が図れる効果がある。
【００３４】この発明によれば、形成した反射型ＴＦＴ
ＬＣＤ表示装置にいずれかの接続構造を備えることによ
り、明るい表示装置を搭載した携帯電話などの携帯機器
が実現できる効果がある。
ＬＣＤ表示装置にいずれかの接続構造を備えることによ
り、明るい表示装置を搭載した携帯電話などの携帯機器
が実現できる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１による反射型液晶表
示装置を構成する反射板の製造工程を示す工程図であ
る。
示装置を構成する反射板の製造工程を示す工程図であ
る。
【図２】 図１で示した反射板を使用した本発明の反射
型液晶表示パネルの断面図である。
型液晶表示パネルの断面図である。
【図３】 図１で示した反射板を形成する際に用いるホ
トマスクの概略図である。
トマスクの概略図である。
【図４】 図３で示したホトマスクのパターンの詳細図
である。
である。
【図５】 この発明の実施の形態１による反射板の反射
率を示す図である。
率を示す図である。
【図６】 この発明の実施の形態２による反射面を説明
するための図である。
するための図である。
【図７】 この発明の実施の形態３による反射面を説明
するための図である。
するための図である。
【図８】 この発明の実施の形態３による反射板断面図
である。
である。
【図９】 この発明の実施の形態４による携帯電話機の
正面図である。
正面図である。
【図１０】 従来の反射板の一例を示す概略図である。
【図１１】 従来の反射板の他の例を示す概略図であ
る。
る。
１ 透過する露光光が連続的に変化するホトマスク、２
ガラス基板、３ 光感光性樹脂膜、４ 光感光性樹脂
の感光部、５ 光感光性樹脂の未感光部、６光感光性樹
脂でできた滑らかな凸凹部、７ 反射型液晶表示装置、
８ ガラス基板、９ 多結晶シリコン、１０ ゲート絶
縁膜、１１ ゲート電極、１２ 保持電極、１３ 絶縁
膜、１４ ソース電極、１５ ドレイン電極、１６ 薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）、１７ 絶縁膜、１８ 光感
光性樹脂膜、１９ コンタクトホール、２０ 光感光性
樹脂でできた凸凹部、２１ 反射膜、２２ 配向膜、２
３ ガラス基板、２４ カラーフィルタ、２５ ブラッ
クマトリックス、２６透明電極、２７ 配向膜、２８
液晶、２９ 遮光領域、３０ 透過領域、３１透過部、
３２ ガラス基板、３３ 光感光性樹脂膜、３４ 光感
光性樹脂でできた非対称な形状の斜面、３５ ガラス基
板、３６ 光感光性樹脂、３７ 光感光性樹脂でできた
非対称な形状の凹曲面、３８ 光感光性樹脂でできた非
対称な形状の凸曲面、３９ 携帯電話機、４０ テンキ
ー、４１ 機能キー、４２ 液晶表示部。
ガラス基板、３ 光感光性樹脂膜、４ 光感光性樹脂
の感光部、５ 光感光性樹脂の未感光部、６光感光性樹
脂でできた滑らかな凸凹部、７ 反射型液晶表示装置、
８ ガラス基板、９ 多結晶シリコン、１０ ゲート絶
縁膜、１１ ゲート電極、１２ 保持電極、１３ 絶縁
膜、１４ ソース電極、１５ ドレイン電極、１６ 薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）、１７ 絶縁膜、１８ 光感
光性樹脂膜、１９ コンタクトホール、２０ 光感光性
樹脂でできた凸凹部、２１ 反射膜、２２ 配向膜、２
３ ガラス基板、２４ カラーフィルタ、２５ ブラッ
クマトリックス、２６透明電極、２７ 配向膜、２８
液晶、２９ 遮光領域、３０ 透過領域、３１透過部、
３２ ガラス基板、３３ 光感光性樹脂膜、３４ 光感
光性樹脂でできた非対称な形状の斜面、３５ ガラス基
板、３６ 光感光性樹脂、３７ 光感光性樹脂でできた
非対称な形状の凹曲面、３８ 光感光性樹脂でできた非
対称な形状の凸曲面、３９ 携帯電話機、４０ テンキ
ー、４１ 機能キー、４２ 液晶表示部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４８ Ｇ０２Ｆ 1/136 ５００ (72)発明者 川渕 真嗣 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 坂本 孝雄 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H042 BA04 BA15 BA20 2H091 FA02Y FA07X FA14Y FA35Y FB08 FC10 GA02 GA06 GA13 LA12 LA19 2H092 GA13 HA05 JA24 JA46 JB07 KA04 KB04 KB11 KB25 KB26 MA14 MA17 NA25 PA12 5C094 AA07 AA43 BA03 BA43 CA19 CA24 DA14 DA15 EA04 EA07 EB02 ED03 ED11 FB12 FB15 HA10 5G435 AA03 AA17 BB12 BB16 EE33 FF03 FF13 KK05
Claims (4)
- 【請求項１】 ホトマスクを透過する露光光が連続的に
変化するようなマスクを用いて、光感光性樹脂でできた
絶縁膜表面に照射される露光量を連続的に変化させ、１
回のホトリソ工程のみで光感光性樹脂に滑らかかつ連続
した形状を形成することを特徴とする反射型液晶表示装
置の製造方法。 - 【請求項２】 反射型ＬＣＤ表示装置において、スイッ
チング素子、配線が形成された基板上に感光性有機樹脂
でできた層間絶縁膜を形成する工程、マスクを透過する
露光光が連続的に変化するホトマスクを用いて露光・現
像して感光性有機樹脂でできた絶縁膜表面に連続的な凸
凹を形成する工程、該凸凹上に入射光を反射する複数の
画素電極を形成する工程を備えたことを特徴とする請求
項１記載の反射型液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の方法で製造された該反射
板と透明電極を形成した絶縁基板との間に封入された液
晶層とを備えた反射型ＬＣＤ表示装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の表示装置を備えること
を特徴とする携帯機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000126556A JP2001305532A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 反射型液晶表示装置の製造方法及びそれを用いた反射型ｌｃｄ表示装置、携帯機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000126556A JP2001305532A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 反射型液晶表示装置の製造方法及びそれを用いた反射型ｌｃｄ表示装置、携帯機器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001305532A true JP2001305532A (ja) | 2001-10-31 |
Family
ID=18636322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000126556A Pending JP2001305532A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 反射型液晶表示装置の製造方法及びそれを用いた反射型ｌｃｄ表示装置、携帯機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001305532A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309056A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 多階調光書込み装置 |
-
2000
- 2000-04-26 JP JP2000126556A patent/JP2001305532A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309056A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 多階調光書込み装置 |
| JP4735028B2 (ja) * | 2005-05-02 | 2011-07-27 | 富士ゼロックス株式会社 | 多階調光書込み装置 |
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|
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