JP2001300881A - チップマウンタのチップ搭載用ヘッド - Google Patents
チップマウンタのチップ搭載用ヘッドInfo
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- JP2001300881A JP2001300881A JP2000119858A JP2000119858A JP2001300881A JP 2001300881 A JP2001300881 A JP 2001300881A JP 2000119858 A JP2000119858 A JP 2000119858A JP 2000119858 A JP2000119858 A JP 2000119858A JP 2001300881 A JP2001300881 A JP 2001300881A
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Abstract
ドシャフトの大きなストロークを有し、又、スライドシ
ャフトの精密な制御を容易に行うことができるチップ搭
載用ヘッドを提供する。 【解決手段】 リニア型モータ24の可動子24AのZ
モータマグネット24Cを、スライドシャフト12に直
接取り付け、前記可動子24Aに対してZ固定子24B
の軸線20方向の長さを約15倍とする。又、チップ搭
載用ヘッド10への電力の供給が停止すると、圧縮空気
供給手段38の電磁弁38Bが非励磁状態とされ、コン
プレッサ38Aからの圧縮空気を下部吸排気孔36Dか
らシリンダ様の前記Z固定子24Bの内部へ供給し、ピ
ストン様の前記可動子24Aと共に、前記スライドシャ
フト12を自動的に引込ませ、通常のチップ搭載作業時
は、前記Z固定子24B内の空気を吸排気自在とする。
Description
備えられ、真空吸着したチップ(電子部品)をZ方向へ
移動させ、又、Z方向の軸線回りに回転させて、基板上
の所定の位置に搭載するチップ搭載用ヘッドに関する。
上の所定の位置に搭載するために、X−Y方向に移動自
在のヘッドユニットと、このヘッドユニットに支持さ
れ、チップを真空吸着してZ方向に移動させ、又、Z方
向の軸線回りに回転させるチップ搭載用ヘッドと、を有
している。
載を行うために、通常、複数のチップ搭載用ヘッドを並
列して支持している。
60は、中空の棒状体でZ方向に配置され、下端である
先端において吸着ノズル62を着脱自在に支持するスラ
イドシャフト64と、可動子66A、及びZ固定子66
Bを有し、前記スライドシャフト64が最も下方に突出
する突出位置と、最も上方に引込む引込み位置との間に
おいて、該スライドシャフト64をその軸線68の方向
に直線駆動するリニア型モータ66と、前記スライドシ
ャフト64を、前記軸線68の回りに回転駆動する回転
型モータ70と、前記スライドシャフト64を前記引込
み位置方向へ付勢するコイルばね72と、略円筒形の外
形形状を有するケース74と、を有して構成されてい
る。
ズル62の下端に真空吸着されるチップ76を前記軸線
68の方向に移動させ、又、前記軸線68の回りに回転
させて基板上の所定の位置に搭載し、又、電源系の故障
等により、前記リニア型モータ66への電力の供給が停
止した場合、前記コイルばね72により前記引込み位置
まで自動的に引込むようにされている。
用ヘッド60を並列して設置するためには、該チップ搭
載用ヘッド60の前記ケース74の外径はできる限り小
さいことが望ましく、又、チップマウンタ全体をコンパ
クトにするためには、前記ケース74の上下方向の長さ
についてもできる限り短いことが望ましい。
ア型モータ66の前記可動子66Aは前記コイルばね7
2の設置スペースを確保するために逆向き冠形状とされ
たブロック66Cと、このブロック66Cの円筒形の側
壁の下端に支持される永久磁石66Dとからなり、前記
ブロック66Cが前記スライドシャフト64に対して径
方向に張り出しているので、この張り出し量の分、前記
ケース74の外径が大きくなっていた。
置において前記固定子66Bの上端よりも上方に突出
し、この突出量を吸収するスペースを確保するため、前
記ケース74の上下方向の長さが長くなっていた。
すると、前記ケース74の上下方向の長さも短縮するこ
とができるが、前記スライドシャフト64の十分なスト
ロークを確保することができない。
ドシャフト64と共に前記コイルばね72により付勢し
て押し上げられるので、前記コイルばね72の付勢力は
前記ブロック66Cの重量に対応した強い付勢力とされ
ている。
フト64を駆動するために、前記リニア型モータ66は
十分な駆動力を有している必要がある。
リニア型モータ66の小型化には限界があり、この結
果、前記ケース74をコンパクトにすることが困難であ
った。
ライドシャフト64の上下方向の位置を精密に制御する
ためには、前記スライドシャフト64の上下方向の負荷
が安定していることが望ましい。
ドシャフト64を上方へ付勢する付勢力は、前記スライ
ドシャフト64の上下方向の移動量に比例して変動し、
この変動する付勢力に対応して、前記リニア型モータ6
6を制御する必要があり、前記リニア型モータ66の制
御は複雑なものとなっていた。
示すような、リニア型ステップモータ80を有してなる
チップ搭載用ヘッド82が知られている。
筒形で、スライドシャフト84に同軸的に直接嵌着し、
母材86Aの円筒面上に円周方向の可動子歯86Bをひ
だ状に複数設けた可動子86と、この可動子86を取り
囲むように配置される略円筒形状の固定子88と、から
なり、前記可動子86は前記固定子88に対しての長さ
が軸線90の方向のストローク量の分だけ長くなってい
る。
ク66Cが存在せず、ケース92の外径を小さくするこ
とができるが、前記可動子86が前記固定子88に対し
て上下に突出するためのスペースを確保する必要があ
り、前記ケース92の上下方向の長さを短くすることが
できず、更に、前記可動子歯86Bを有する前記可動子
86は製作が容易ではなく、コスト高である。
子86を介してコイルばね94により付勢され、該付勢
力が前記スライドシャフト84の上下方向の移動に伴い
変動する問題は解消されていない。
れたものであり、コンパクトで低コストであり、且つ、
スライドシャフトの大きなストロークを有し、又、スラ
イドシャフトの精密な制御を容易に行うことができるチ
ップ搭載用ヘッドを提供することを目的とする。
うに、中空の棒状体で、先端近傍において電子部品の真
空吸着のための吸着ノズルを着脱自在に支持するスライ
ドシャフトと、このスライドシャフトを軸線回りに回転
自在、且つ、該軸線方向に移動自在に支持する支持部材
と、前記スライドシャフトと同軸的に配置され、該スラ
イドシャフトを回転駆動する回転型モータと、可動子が
前記スライドシャフト側に支持され、固定子が前記支持
部材側に支持されて、前記スライドシャフトを前記軸線
方向に駆動するリニア型モータと、を有してなるチップ
マウンタの電子部品搭載ヘッドにおいて、前記回転型モ
ータの回転子は前記軸線回りに回転自在、且つ、前記軸
線方向移動不能であるように、前記支持部材側に支持さ
れ、前記スライドシャフトは、前記回転型モータの前記
回転子に嵌入して、該回転子により前記軸線方向摺動自
在に支持され、前記リニア型モータの前記可動子は前記
スライドシャフトに、これと同軸的に設けられた略円板
状の板状体で、且つ永久磁石を備えたことを特徴とする
チップマウンタの電子部品搭載用ヘッドにより、上記目
的を達成するものである。
棒状体で、先端近傍において電子部品の真空吸着のため
の吸着ノズルを着脱自在に支持するスライドシャフト
と、このスライドシャフトの前記先端が最も突出する突
出位置と、最も引込む引込み位置との範囲内で、前記ス
ライドシャフトを軸線方向に移動自在、且つ、前記軸線
回りに回転自在に支持する支持部材と、可動子が前記ス
ライドシャフト側に支持され、固定子が前記支持部材側
に支持されて、前記スライドシャフトを前記軸線方向に
駆動するリニア型モータと、前記スライドシャフトを前
記引込み位置の方向へ付勢する付勢手段とを有してなる
チップマウンタのチップ搭載用ヘッドにおいて、前記付
勢手段は、シリンダと、ピストン様部材と、圧縮空気供
給手段とから構成され、前記シリンダは前記スライドシ
ャフトを取り囲むように該スライドシャフトと同軸的に
配置されると共に、前記支持部材側に支持され、前記ピ
ストン様部材は前記スライドシャフトに支持され、前記
シリンダ内側面との間に微小、且つ、適宜な隙間を有
し、前記スライドシャフトと一体で前記軸線方向に移動
自在とされ、前記圧縮空気供給手段は前記シリンダの前
記突出位置側の端部近傍から前記シリンダ内へ圧縮空気
を選択的に供給可能とされたことを特徴とするチップマ
ウンタの電子部品搭載用により、上記目的を達成するも
のである。
は、シリンダ様形状で、前記スライドシャフトを取り囲
むように該スライドシャフトと同軸的に配置され、前記
リニア型モータの前記可動子は前記固定子の内側面との
間に微小、且つ、適宜な隙間を有し、前記スライドシャ
フトと一体で、該スライドシャフトの先端が最も突出す
る突出位置と、最も引込む引込み位置との間において前
記軸線方向に移動自在とされ、前記圧縮空気供給手段
は、前記固定子の前記突出位置側の端部近傍から前記固
定子内へ圧縮空気を選択的に供給可能とされて、該圧縮
空気により、前記スライドシャフトを前記引込み方向へ
付勢可能としてもよい。
タの前記固定子は、シリンダ様形状で、前記スライドシ
ャフトを取り囲むように該スライドシャフトと同軸的に
配置され、前記リニア型モータの前記可動子は前記固定
子の内側面との間に微小、且つ、適宜な隙間を有し、前
記スライドシャフトと一体で、該スライドシャフトの先
端が最も突出する突出位置と、最も引込む引込み位置と
の間において前記軸線方向に移動自在とされ、前記開閉
弁は前記固定子の前記突出位置側の端部近傍からの排気
を選択的に遮断可能としてもよい。
図面を参照して詳細に説明する。
るチップ搭載用ヘッド10は、Z固定子24Bの軸線2
0方向の長さが、可動子24Aに対して約15倍であ
り、大きなストロークを有するリニア型モータ24と、
圧縮空気供給手段38とを有してなることを特徴として
いる。
ついて説明すると、該チップ搭載用ヘッド10は、中空
の丸棒状体で、上下方向に配置され、下端である先端1
2A近傍においてチップ(電子部品)14の真空吸着の
ための吸着ノズル16を着脱自在に支持するスライドシ
ャフト12と、上部支持部材18A及び下部支持部材1
8Bからなり、前記スライドシャフト12を前記軸線2
0(以下、単に軸線という)回りに回転自在、且つ、該
軸線方向に移動自在に支持する支持部材18と、回転子
22A及びθ固定子22Bからなり、前記スライドシャ
フト12と同軸的に配置され、該スライドシャフト12
を回転駆動する回転型モータ22と、前記可動子24A
及び前記Z固定子24Bからなり、前記スライドシャフ
ト12を軸線方向に駆動する前記リニア型モータ24
と、前記スライドシャフト12の軸線回りの回転位相角
を検出する回転検出器26と、前記スライドシャフト1
2の軸線方向の位置を検出するストローク検出器28
と、を有して構成されている。
スである上部カバー30、結合フランジ32、及び下部
チューブ34と、ベース部材36と、前記圧縮空気供給
手段38と、制御手段40と、を有している。
部に軸線方向の外歯スプライン12Bが形成され、この
外歯スプライン12Bにおいて、前記回転型モータ22
の前記回転子22Aとスプライン嵌合し、該回転子22
Aと回転方向に係合、且つ、軸線方向に移動自在とされ
ている。
下半部において、前記Z固定子24B下端近傍の前記下
部支持部材18Bにより、軸方向摺動自在、且つ、回転
自在に、貫通支持されている。
上端近傍に配置され、内歯スプライン22Cを有する円
筒状のスプライン部23A及びθモータマグネット23
Bとから構成されている。このスプライン部23Aは、
下端近傍において、軸受である前記上部支持部材18A
により、軸線回りに回転自在、且つ、軸線方向に移動不
能に支持されている。
である結合フランジ32により支持され、前記θモータ
マグネット23Bは、略円筒状で、前記上部支持部材1
8Aの上側近傍で、前記スプライン部23Aの外側面に
同軸的に嵌着されている。
で、前記θモータマグネット23Bの外側に、適宜な隙
間を有して同軸的に配置され、外側円筒面においてケー
スの一部である上部カバー30により支持されている。
外歯スプライン12Bの下端近傍において、前記リニア
型モータ24の前記可動子24Aが取り付けられてい
る。
状の永久磁石であるZモータマグネット24Cを、この
モータマグネット24Cと略同一形状の一対の挟持部材
24Dにより挟持して構成され、前記中心孔を、前記ス
ライドシャフト12が貫通して連結されている。
結合フランジ32の下端に当接する引込み位置と、下端
が前記下部支持部材18Bの上端に当接する突出位置と
の間において、前記スライドシャフト12と一体で、上
下方向に移動自在であり、前記引込み位置と前記突出位
置との間の距離が、即ち、前記スライドシャフト12の
ストロークとなっている。
子24Aに対して約15倍の軸線方向の長さを有し、こ
れにより、前記スライドシャフト12のストロークは、
前記可動子24Aの軸線方向長さの約14倍となり、大
きなストロークである。
である下部チューブ34の内周面に取付け配置された略
円筒状のコイルで、その内側に前記可動子24Aが微
小、且つ適宜な隙間を有して同軸的な状態で軸線方向移
動自在に配置され、これにより、前記可動子24Aと前
記Z固定子24Bとはピストンとシリンダとの関係を構
成している。
グ状のZ単位コイル24Eを軸線方向に積層して構成さ
れ、これらZ単位コイル24Eに対して各々独立に電圧
を印加することができるようにされている。
であり、スリット板26Aとθセンサ26Bとから構成
され、前記スリット板26Aは前記回転型モータ22の
前記回転子22Aの上端近傍にフランジ状に取り付けら
れ、外周部に放射状の複数のスリットを有し、このスリ
ットを検知可能であるように、前記θセンサ26Bは前
記上部カバー30の内側に取り付けられている。
28AとZセンサ28Bとから構成され、前記スケール
軸28Aは丸棒状体で上下方向に配置され、連結部材2
8Cを介して、前記スライドシャフト12と共に上下動
するようにされている。
線方向にスケール28Dが設けられ、このスケール28
Dを検知可能であるように前記Zセンサ28Bは、前記
下部チューブ34に取り付けられている。
と、前記下部チューブ34とは、この順序で結合され
て、前記チップ搭載用ヘッド10の有底円筒状のケース
をなし、その内部を前記スライドシャフト12が同軸的
に貫通している。
面中央部に孔を有し、この孔を前記スライドシャフト1
2が貫通している。
材で、中心において上方から嵌入された前記上部支持部
材18Aを支持する段付孔を有すると共に、下面から側
面(円筒面)に通じる上部吸排気孔32Aを有してい
る。
記ベース部材36により支持され、このベース部材36
は、略水平に配置されるベースプレート36Aと、この
ベースプレート36Aの一端に形成され、略鉛直の取付
面を有する取付部36Bとから構成されている。
部材18Bと嵌着する嵌着孔36Cを有し、上面におい
て前記チューブ34を支持し、又、この支持部と前記嵌
着孔36Cとの略中間位置で、上下方向に貫通する下部
吸排気孔36Dを有している。
サ38Aと、電磁弁38Bと、配管38Cとを有して構
成されていて、前記コンプレッサ38Aは、前記電磁弁
38Bを介して前記配管38Cへ圧縮空気を供給するよ
うにされている。
6Dの近傍に配置され、励磁状態において前記コンプレ
ッサ38Aから供給される圧縮空気を遮断すると共に、
前記配管38Cを大気へ解放して吸排気自在とし、非励
磁状態において圧縮空気を前記配管38Cへ供給するよ
うにされている。
B、前記Z固定子24B、前記θセンサ26B、前記Z
センサ28B、及び前記電磁弁38Bに結線されてい
る。
ップ搭載用ヘッド10が前記スライドシャフト12を駆
動する作用について説明する。
記スライドシャフト12を軸線回りに回転させるとき
は、前記制御手段40が前記回転型モータ22の前記θ
固定子22Bに電圧を印加し、前記回転子22Aを回転
させて、この回転子22Aとスプライン嵌合している前
記スライドシャフト12を回転させる。
記θセンサ26Bによる実際の回転角度の検出結果を確
認しながら、フィードバック制御により行われる。
12とは、他の部材を介することなく直接係合されてい
るので、前記スライドシャフト12の回転角度の精密な
制御を行うことができる。
線方向に移動)させるときは、前記制御手段40が前記
リニア型モータ24の前記Z固定子24Bに電圧を印加
し、前記可動子24Aと共に前記スライドシャフト12
を上下動させる。
給手段38の前記電磁弁38Bを励磁し、前記コンプレ
ッサ38Aから供給される圧縮空気は、前記電磁弁38
Bにおいて遮断され、又、前記下部吸排気孔36Dは前
記配管38Cを介して大気に解放されて、吸排気自在と
されている。
孔36Dとが大気に解放され、吸排気自在とされている
ので、前記可動子24Aの軸線方向の移動に伴い、前記
Z軸固定子24B内の空気が圧縮されて前記可動子24
Aの移動の抵抗となることはない。
記Zセンサ28Bによる実際の移動量の検出結果を確認
しながらフィードバック制御により行われ、電圧を印加
する前記Z単位コイル24Eを適宜選択し、又、必要に
応じて供給電流を制御して、前記スライドシャフト12
を所定の移動量上下動させる。
イドシャフト12に直接取り付けられるので、図4に示
されるブロック66Cのような他の部材を介して支持さ
れる場合と比較して、前記可動子24Aの外径は小さ
く、又、軸線方向の長さが短く、且つ軽量である。この
結果、前記スライドシャフト12のストロークは大き
く、且つ、前記チップ搭載用ヘッド10はコンパクトで
ある。
転型モータ22の回転子22Aとはスプライン嵌合し、
前記スライドシャフトの上下動に伴い、前記回転子22
Aは上下動することなく、一定の高さに保持されるの
で、前記回転子22Aが上下動するためのスペースを設
ける必要がない。
の長さは、前記スライドシャフト12のストロークに拘
らず一定に保持され、該ストロークの増加に伴い前記上
部カバー30が上方に延長されて、前記チップ搭載用ヘ
ッド10が大型化することはない。
転子22Aと独立して上下動し、又、該スライドシャフ
ト12と共に上下動する前記可動子24Aが軽量である
ので、前記スライドシャフト12を上下方向に移動させ
るために大きな駆動力を必要とせず、前記リニア型モー
タ24を小型化し、消費電力を低く抑えることができ
る。
ける、前記スライドシャフト12の自動引込みは、後述
するように圧縮空気により行われ、図4に示すチップ搭
載用ヘッド10のようにコイルばねが設けられていない
ので、前記スライドシャフト12の上下方向の移動に対
する抵抗が小さく、前記リニア型モータ24を更に小型
化し、更に消費電力を低く抑えることができる。
前記スライドシャフト12の負荷が上下方向の移動に伴
い変動することはなく、略一定の値に安定するので、前
記リニア型モータ24の制御を容易に行うことができ
る。
力の供給が停止した場合の前記スライドシャフト12の
自動引込み作用について説明する。
の故障等により停止すると、前記圧縮空気供給手段38
の前記電磁弁38Bへの電力の供給が停止されて前記電
磁弁38Bは非励磁状態とされ、前記コンプレッサ38
Aからの圧縮空気を前記配管38Cへ供給する。
れた、前記下部吸排気孔36Dからシリンダ様の前記Z
固定子24Bの内部に供給されてピストン様の前記可動
子24Aと共に前記スライドシャフト12を前記引込み
位置まで押し上げる。
の間には微小な隙間が存在し、この微小な隙間から圧縮
空気が少しずつ洩れ出すが、前記コンプレッサ38Aか
ら圧縮空気が継続して供給されるので、前記可動子24
Aと前記スライドシャフト12とを前記引込み位置に保
持することができる。
シャフト12が自動的に引込むので、前記スライドシャ
フト12が自重により突出して干渉、破損等の2次的な
故障を発生させることがない。
は、前記チップ搭載用ヘッド10への電力の供給が停止
したときに、前記Z固定子24Bの内部へ自動的に圧縮
空気を供給するようにされているが、本発明はこれに限
定されるものではなく、前記電磁弁38Bが非励磁状態
とされると、自動的に前記下部吸排気孔36Dからの排
気を遮断して、前記スライドシャフト12の急激な落下
を防止するようにしてもよい。
子24Bとの微小な隙間から空気が少しずつ洩れ出し
て、前記可動子24A及び前記スライドシャフト12が
徐々に下降するが、急激な落下による前記スライドシャ
フト12等の破損を防止することができると共に、前記
コンプレッサ38Aを設ける必要がなく、低コストであ
る。
は、前記可動子24Aと、前記Z固定子24Bとがピス
トンとシリンダとの関係を構成しているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、前記スライドシャフト1
2に別途ピストンを設けるようにしてもよく、又、前記
スライドシャフト12と連動するピストンと、シリンダ
とを別途設けるようにしてもよい。
は、前記リニア型モータ24は前記回転型モータ22の
下方に配置されているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、前記リニア型モータ24は前記回転型モー
タ22の上方に配置されるようにしてもよい。
示されるように、本発明の実施の形態の例における前記
リニア型モータ24を、その巻線抵抗42A及び巻線イ
ンダクタンス42Bが図2に示されるような回路を構成
する三相結線構造のACサーボモータとし、図3に示さ
れるような120°矩形波により通電駆動して、同時に
通電される巻線を常に二相とし、三相に同時に通電され
る場合に対して、前記リニア型モータ24における発熱
が2/3であるようにしてもよい。
のチップ搭載用ヘッドにおいて、スライドシャフトの大
きなストロークを実現し、又、スライドシャフトの精密
な制御を容易に行うことが可能となるという優れた効果
がもたらされる。
ッドの概要を示す断面斜視図
図
Claims (4)
- 【請求項1】中空の棒状体で、先端近傍において電子部
品の真空吸着のための吸着ノズルを着脱自在に支持する
スライドシャフトと、このスライドシャフトを軸線回り
に回転自在、且つ、該軸線方向に移動自在に支持する支
持部材と、前記スライドシャフトと同軸的に配置され、
該スライドシャフトを回転駆動する回転型モータと、可
動子が前記スライドシャフト側に支持され、固定子が前
記支持部材側に支持されて、前記スライドシャフトを前
記軸線方向に駆動するリニア型モータと、を有してなる
チップマウンタの電子部品搭載ヘッドにおいて、前記回
転型モータの回転子は前記軸線回りに回転自在、且つ、
前記軸線方向移動不能であるように、前記支持部材側に
支持され、前記スライドシャフトは、前記回転型モータ
の前記回転子に嵌入して、該回転子により前記軸線方向
摺動自在に支持され、前記リニア型モータの前記可動子
は前記スライドシャフトに、これと同軸的に設けられた
略円板状の板状体で、且つ永久磁石を備えたことを特徴
とするチップマウンタの電子部品搭載用ヘッド。 - 【請求項2】中空の棒状体で、先端近傍において電子部
品の真空吸着のための吸着ノズルを着脱自在に支持する
スライドシャフトと、このスライドシャフトの前記先端
が最も突出する突出位置と、最も引込む引込み位置との
範囲内で、前記スライドシャフトを軸線方向に移動自
在、且つ、前記軸線回りに回転自在に支持する支持部材
と、可動子が前記スライドシャフト側に支持され、固定
子が前記支持部材側に支持されて、前記スライドシャフ
トを前記軸線方向に駆動するリニア型モータと、前記ス
ライドシャフトを前記引込み位置の方向へ付勢する付勢
手段とを有してなるチップマウンタのチップ搭載用ヘッ
ドにおいて、前記付勢手段は、シリンダと、ピストン様
部材と、圧縮空気供給手段とから構成され、前記シリン
ダは前記スライドシャフトを取り囲むように該スライド
シャフトと同軸的に配置されると共に、前記支持部材側
に支持され、前記ピストン様部材は前記スライドシャフ
トに支持され、前記シリンダ内側面との間に微小、且
つ、適宜な隙間を有し、前記スライドシャフトと一体で
前記軸線方向に移動自在とされ、前記圧縮空気供給手段
は前記シリンダの前記突出位置側の端部近傍から前記シ
リンダ内へ圧縮空気を選択的に供給可能とされたことを
特徴とするチップマウンタの電子部品搭載用ヘッド。 - 【請求項3】請求項1において、圧縮空気供給手段を設
け、前記リニア型モータの前記固定子は、シリンダ様形
状で、前記スライドシャフトを取り囲むように該スライ
ドシャフトと同軸的に配置され、前記リニア型モータの
前記可動子は前記固定子の内側面との間に微小、且つ、
適宜な隙間を有し、前記スライドシャフトと一体で、該
スライドシャフトの先端が最も突出する突出位置と、最
も引込む引込み位置との間において前記軸線方向に移動
自在とされ、前記圧縮空気供給手段は、前記固定子の前
記突出位置側の端部近傍から前記固定子内へ圧縮空気を
選択的に供給可能とされて、該圧縮空気により、前記ス
ライドシャフトを前記引込み方向へ付勢可能とされたこ
とを特徴とするチップマウンタの電子部品搭載用ヘッ
ド。 - 【請求項4】請求項1において、開閉弁を設け、前記リ
ニア型モータの前記固定子は、シリンダ様形状で、前記
スライドシャフトを取り囲むように該スライドシャフト
と同軸的に配置され、前記リニア型モータの前記可動子
は前記固定子の内側面との間に微小、且つ、適宜な隙間
を有し、前記スライドシャフトと一体で、該スライドシ
ャフトの先端が最も突出する突出位置と、最も引込む引
込み位置との間において前記軸線方向に移動自在とさ
れ、前記開閉弁は前記固定子の前記突出位置側の端部近
傍からの排気を選択的に遮断可能とされたことを特徴と
するチップマウンタの電子部品搭載用ヘッド。
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