JP2001298968A

JP2001298968A - 振動モータ

Info

Publication number: JP2001298968A
Application number: JP2001069079A
Authority: JP
Inventors: Jean Thierry Audren; ジャン・ティエリィ・オードラン; Daniel Bezanere; ダニエル・ブザヌール
Original assignee: Sagem SA
Current assignee: Sagem SA
Priority date: 2000-03-10
Filing date: 2001-03-12
Publication date: 2001-10-26
Also published as: US6628044B2; EP1134883A2; FR2806225A1; DE60140282D1; FR2806225B1; EP1134883B1; CA2340520C; CA2340520A1; ES2333198T3; EP1134883A3; US20010035722A1

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ロータとステータとの間のサイクル摩擦に伴う
エネルギーの散逸を最小限にするようにして、効率を改
善する。【解決手段】少なくとも１つの固定部材と、この固定部
材に対して移動するように駆動される少なくとも１つの
移動部材を備え、該固定部材および／または該移動部材
により提供された剛性接触セクタを移動させて、接線振
動と法線振動とを結合させる振動モードで該剛性セクタ
を振動させることにより移動部材の移動を駆動させる傾
向のある力を加えるのに適した励振手段を一緒に備える
振動モータであって、接線振動または法線振動に対し
て、主共振モードと少なくとも１つの二次共振モードと
を与え、二次共振モードを主共振モードの調波周波数に
実質的に等しい周波数とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の一般分野】本発明は振動(vibration) モータに
関する。振動モータは、その好ましい動作周波数をとっ
て「超音波」モータとしても知られ、またその好ましい
励振材料をとって「圧電作用(piezoactive) 」モータと
しても知られる。

【０００２】本発明は特に回転振動モータへの適用が有
利であるが、リニアアクチュエータに適用することもで
きる。本明細書において「振動モータ」なる用語は、回
転モータとリニアアクチュエータの両方を包含する。

【０００３】

【振動モータの１つの可能な構造の概説】従来の回転振
動モータは、少なくとも１つのステータ (固定子) とロ
ータ (回転子) とを備え、これと一緒に、ロータを連続
回転状態で駆動させるのに適した接線 (方向) 振動(tan
gential vibrations) と法線 (方向) 振動(normal vibr
ations) とを結合させて合成する振動モードで、該ステ
ータおよび／または該ロータを変形させるための実行手
段をさらに備えている。

【０００４】特に有利な振動モータの構造は、特許出願
EP 0 907 213 および FR 98/10391に提案されており、
これらを有利に参照することができる。これらの構造の
一般原理を図１および２に模式的に示す。

【０００５】このモータは、外部ケーシング２を備え、
その中に、シャフト３に装着された２つのロータディス
ク１が、これらのディスク１を間に挟んでいるステータ
プレート４と一緒に収容されている。

【０００６】各ステータプレート４は、角度方向 (放射
状) に分布している複数の接触セクタ (扇型部材) ６
(ステータ「ペタル」(petal、花弁状部材) とも呼ばれ
る) により構成され、これらのセクタの対 (隣接セク
タ) の間は、接線 (方向) 変形を付与する能動素子７
(圧電素子または他の素子) により離間されている。２
つの内側プレート４の接触セクタ６は互いに同位置に整
合している。法線力(normalforce)を発生させるための
能動素子８ (圧電素子または他の素子) が、これらの２
つの内側プレート４のセクタ６同士の間に挟持されてい
る。バネ形成手段９が、ケーシング２と、外側プレート
４の接触セクタ６との間に挟持されている。

【０００７】能動素子８が伸長すると、これと整合して
いる接触セクタ６がロータディスク１を締め付ける。こ
の素子が収縮すると、対応する接触セクタ６がディスク
１を緩める。

【０００８】同じセクタ６の両側の２つの能動素子７
は、反対向きの位相で(in phase opposition) 励振され
る。同様に、隣接する２つの能動素子８もまた、反対向
きの位相で励振される。法線力を発生させるための能動
素子８と、接線変形のための能動素子７は、ロータ１を
回転駆動させるような同期状態に制御される。

【０００９】

【従来技術の問題点と発明の目的】振動モータに見られ
る問題の１つは、その効率の問題である。ロータとステ
ータとの間のサイクル摩擦に伴うエネルギーの散逸を最
小限にするように、ロータとステータとの間の往復接触
ゾーンにレジリエンス性を有する材料を使用することが
既に提案されている。

【００１０】具体的には、仏国特許出願公開 FR 2 742
011 は、非線形超弾性を有し、従来の材料に比べて、少
量の材料で多量の変形に適合するという利点のある形状
記憶合金を使用することを提案している。

【００１１】「超弾性」なる用語は、本明細書を通し
て、材料が１％以上の可逆的な伸びを許容することがで
きる特性を意味するために使用する。超弾性が示す非線
形性の特徴は、牽引力に対してプロットした変形曲線に
おいて位相変化プラトーの存在を生じさせることも想起
されたい。

【００１２】上記仏国特許出願 FR 2 742 011 では、こ
の構造には、印加された法線力のピークを制限し、接線
方向の摩擦力を滑り閾値より低い値に保持するという利
点があることを示している。

【００１３】本発明の目的は、振動モータの効率をさら
に高めることである。欧州出願公開 EP 0 543 114 に
は、摩擦によるエネルギー損失が最小限となるのを確実
にするように固定部材と移動部材との支承接触を最小限
にしたアクチュエータが開示されている。そこに提案さ
れている解決手段では、ステータにより構成される固定
部材の接触面は剛性ではなく、ロータを構成する移動部
材を駆動させる進行波の伝搬によって変形する。その結
果、連続変形のピークだけが駆動された部材と接触す
る。

【００１４】この解決手段では、図１および２を参照し
て、上に説明した振動モータの構造と、連続的変形によ
る移動ではなく、それ全体が動かされる剛性セクタ (ri
gidsectors)を振動に組み込む原理での動作、とから得
ることができるような種類の高い駆動力を得ることは不
可能であることは理解されよう。

【００１５】

【発明の要約】本発明は、少なくとも１つの固定部材と
この固定部材に対して移動するように駆動される少なく
とも１つの移動部材を備え、こられと一緒に、該固定部
材および／または該移動部材により提供された剛性接触
セクタを移動させて、接線振動と法線振動とを結合させ
る振動モードで該剛性セクタを振動させることにより移
動部材の移動を駆動させる傾向がある力を加えるのに適
した励振手段を備えるタイプの振動モータの効率を高め
るための解決手段を提案する。

【００１６】接線振動または法線振動に対して、該モー
タは、主共振 (一次共振) モードと少なくとも１つの二
次共振(secondary resonance) モードとを与えるが、こ
こに提案された解決手段は、二次共振モードを、主共振
モードの調波周波数に実質的に等しい周波数とすること
にある。

【００１７】具体的には、移動部材は、剛性ディスクロ
ータとすることができ、この振動モータは、少なくとも
一対のステータプレートを有するステータを備え、各ス
テータプレートは複数の剛性ペタル (花弁状部分) を有
し、これが該剛性ペタルを接線方向および法線方向に変
位させるための受容手段として好適である。

【００１８】変更例にあっては、モータはリニアアクチ
ュエータとすることができる。第一の有利な変更例で
は、弾性変形特性を有する少なくとも１つの素子が移動
部材および／または固定部材に設けられており、この素
子が、シュー形成(shoe-forming)部分によって該移動部
材および／または該固定部材の接触面から離間されてお
り、かつ弾性変形素子が設けられている部材が、シュー
形成部分と該部材の残りの部分とが反対向きの位相で発
振(oscillation) する共振モードである二次接線共振モ
ードの周波数が、シュー形成部分と該部材の残りの部分
とが同じ位相で発振する主接線共振モードの調波周波数
である周波数に実質的に等しくなるように、形態決定さ
れている。

【００１９】このモータは有利には下記の各種の特徴を
さらに備える：・二次接線共振モードの周波数は、主接線共振モードの
周波数の２倍に実質的に等しい。

【００２０】・モータが、シュー形成部分と固定部材お
よび／または移動部材の残りの部分との間に挟持された
１列の弾性素子を備える。および・弾性素子が超弾性の性質を付与する材料から作製され
る。

【００２１】第１の変更例に加えて、またはこれとは別
個に実施することができる別の同様に有利な変更例にお
いては、モータは実質的に主法線共振周波数の調波周波
数である二次法線共振周波数を与え、励振手段はこれら
２つの共振周波数の両方で法線振動を発生させる手段を
備える。

【００２２】かかるモータは、下記の各種の特徴を単独
で、または可能に任意の組合わせでさらに備えることが
有利である：・モータが、接線変形能動素子を有する少なくとも２対
のステータプレートと、該２対の各対のプレート間に配
置された２つのロータディスクとを収容するケーシング
を備え、法線変形能動素子が、特に２つの向かい合う対
の両方のプレートの間に配置され、バネ形成手段がプレ
ート対とケーシングとの間に挟持されており、そしてモ
ータが、ステータプレートとバネ形成手段との間に、質
量体と弾性変形素子とを含む少なくとも一つのアセンブ
リを備えており、該アセンブリは、ステータプレートと
該質量体とが反対向きの位相で発振する二次共振モード
の周波数が、ステータプレートと該質量体とが同じ位相
で発振する主共振周波数の整数倍に実質的に等しくなる
ように形態決定されており、励振手段は、二次共振周波
数に実質的に等しい周波数で法線変形能動素子を励振さ
せる手段を含んでいる。

【００２３】・弾性変形素子が、二次共振周波数に実質
的に等しい周波数で励振される法線変形能動素子であ
る。・主共振モードのための法線変形能動素子が、（主共振
周波数でのシグナル）＋（二次共振周波数でのシグナ
ル）の総和であるシグナルにより励振される。

【００２４】・二次共振周波数が主共振周波数の奇数倍
に実質的に等しい。・二次共振周波数が主共振周波数の３または５倍に実質
的に等しい。・二次共振モードの周波数が主共振周波数の整数倍に、
１／２Ｑ (Ｑは、この２つの共振のＱ因子 <Ｑ値> のう
ちの低い方の値である) のオーダーの精度で等しい。

【００２５】・モータが、ステータプレートとバネ形成
手段との間に挟持された、１つの質量体と複数の弾性変
形素子とを備えた少なくとも一つのアセンブリを備え、
この複数の弾性変形素子が、これらの素子が複数の調波
共振周波数に対応するようなスティフネスをもつもので
ある。

【００２６】本発明の他の特徴および利点は、添付図面
を参照しながら読むべきである、純粋に例示を目的と
し、制限を意図しない以下の本発明の説明からさらに明
らかとなろう。

【００２７】

【発明の実施態様の説明】本発明を以下に回転モータに
ついて説明するが、本発明はリニアモータにも同様に適
用されることは当然である。

【００２８】接線振動モード図３は、図１および２に示したタイプの構造におけるペ
タル６の可能な構造の１例を示す。

【００２９】ペタル６は、主要部分12、接触シュー11、
および主要部分12と接触シュー11との間に挟持された１
列の中間素子10により構成される。１例として、中間素
子10は、円筒形または他の形状のペグ (釘状物) であ
り、特に曲げ変形を受容するのに適している。

【００３０】１変更例において、それらの素子は、静止
状態において主要部分12の全体平面(general plane) に
垂直な方向を向いた、ブレード、特に形状がほぼ平面状
のブレードにより構成されることができ、特に部分12の
該全体平面に平行に接触シュー11を部分12に対して移動
させる力の作用下で弾性的に曲げ変形させるのに適して
いる。

【００３１】シュー形成部分11とステータの残りの部分
(部分12) との間に挟持された弾性部分を構成している
中間素子10は、有利には半結晶質ポリマー、特にポリエ
ーテルエーテルケトン (ＰＥＥＫ) からなる。

【００３２】半結晶質ポリマー、特にＰＥＥＫには、弾
性率が低く、伸びが大きく、耐疲労性に優れ、温度挙動
が良好であるという利点がある。弾性中間層をこのよう
な材料から製作すると、これを固体層により構成するこ
とができるため、製作がより容易となる。

【００３３】主要部分12、接触シュー11、および素子10
は、素子10に弾性を与えることができる材料 (例えば、
鋼) の単一ピースとして型成形することもできる。図３
に示した構造から、素子10はロータ1aまたは1bと直接接
触しておらず、ペタル６が接触シューを構成する部分
(シュー形成部分) 11を有していて、この部分により該
素子10がロータ1aまたは1bから離間され、該ペタル６て
このロータに支承されるようになることが理解される。

【００３４】このような構造は、ペグまたはブレード10
がロータと直接接触する構造より好ましい。この直接接
触は摩擦の問題を生じ、接触面積を減少させることがあ
るからである。

【００３５】ただし、シュー形成部分11の存在は、その
質量のためにモータの動的挙動を変化させる。しかし、
このように構成された構造、特にシュー形成部分11を適
切に形態決定することにより、この構造の効率を改善で
きることが判明した。

【００３６】図４に示すように、このような構造は、下
記を備える発振システムとして能動素子７で発生させた
振動によりシュー11で発生させた接線発振の検査につい
てモデル化することができる：・第一の質量体 (ペタル６の主要部を構成する部分12)
；・第一弾性変形素子 (素子10の列) ；・第二の質量体 (シュー形成部分11) ；および・第二の弾性変形素子 (能動素子７) 、これは２つの続
いた (隣接した) ペタル６の間の素子７の中間に位置す
る帯域に対応する固定ノードＮ (図１) に接続されてい
る。

【００３７】２つの質量体と２つのスティフネスを有す
るこのようなシステムは、下記の２つの発振モードを与
える：・第一のモード (周波数Ｆ１) は、シュー形成部分11と
ペタル６の残りの部分(部分12) とが同じ位相で発振す
る主接線共振モードであり、この接線主共振モードの周
波数は、モータを運転する励振周波数であるとして選択
される。

【００３８】・第二のモード (周波数Ｆ２) は、シュー
形成部分11とペタル６の残りの部分(部分12) とが反対
向きの位相で発振する二次接線共振モードであり、この
モードでは、ペタルの部分12の発振の振幅は、シュー形
成部分11の質量が小さいので、シュー形成部分11の発振
の振幅よりずっと小さい。

【００３９】本発明者らは、周波数Ｆ２が周波数Ｆ１の
調波に対応する (Ｆ２＝Ｎ×Ｆ１、Ｎは整数) ように、
特にＦ２＝２×Ｆ１になるように、ステータのペタルを
形態決定すると、周波数振動を連続移動に変換させる変
換効率が著しく改善されることを見出した。

【００４０】特に、このＦ２＝２×Ｆ１の条件に対し
て、10％より良好な範囲内で従わせることが望ましい。
形態決定は、ペタルの各部分の形状および質量、それら
の分布 (配置) 、特に素子10の分布等の選択を包含す
る。

【００４１】図５ａ〜５ｃに示した曲線は、このような
状況下で、サイクルのより長い割合の間、シューの速度
がロータの速度に近い速度にとどまり、摩擦損失が減少
することを示している。

【００４２】図５ａにおいて、曲線Ｘｔ₁₂はペタル６の
部分12の接線 (方向) 変位を示し、曲線Ｘｔ₁₁は対応す
るシュー11の接線変位を示す。図５ｂの曲線は、シュー
11とこれが駆動するとの間の滑り速度を示す。

【００４３】駆動位相中では、素子10とシュー形成部分
11が条件Ｆ２＝２×Ｆ１の満足度を増大させるように形
態決定すると、滑り速度が低下し、この駆動位相の大き
な割合にわたってスティッキング(sticking)が起こる。

【００４４】サイクルの残りの位相中では、滑り速度は
負になる。図５ｃは、ステータとロータとの間の摩擦力
が、時間と共にいかに変動するかを示す。

【００４５】本発明は、発振素子をステータに設けるの
ではなく、図６に示すようにロータに設ける場合にも同
様に適用されることは当然である。この場合には、ロー
タをＦ２＝２×Ｆ１を可能にするように形態決定する。

【００４６】もちろん、全ての状況下で、ペグまたはブ
レード10は超弾性、特に線形超弾性を与える材料から作
製することが有利である。形状記憶合金のような非線形
超弾性を与える材料も考慮することができる。

【００４７】上記の説明はＮ＝２の好ましい態様の場合
に当てはまることは認められよう。ただし、他の調波値
も、強度は小さくなるが、同様の効果を生ずる。また、
奇数調波は、ピーク制限効果を、滑り速度の右側部分
(図５ｂに示したものに似た曲線) だけでなく、その左
側部分でも生ずるが、これには有用性がない。

【００４８】法線振動モード図７に示した振動モータは、図１および２に示したもの
と構造が似ており、図７に示した構造要素のうち、図１
および２に示した要素と同じものを指すのに、同じ参照
番号に100 をプラスした番号を用いている。

【００４９】即ち、図７に示した構造物は、それぞれ２
つのステータプレート104 の間に挟持されている２つの
ロータプレート101 を収容したケーシング102 を備え
る。ステータプレート104 は、能動接線変形素子107 に
より離間されている金属ペタル106 により構成される。

【００５０】ペタル106 は、有利には、その中に少なく
とも１つの弾性変形性素子を設けた金属ペタルである。
１例として、ペタル106 は、その表面付近に、ペグまた
はブレードのような１列の素子122 を備え、これらの素
子122 は、好ましくはそのシュー形成部分によりペタル
の接触面から離間されている。

【００５１】法線変形能動素子108 は、内側の２つのス
テータプレート104 [即ち、残り２つのステータプレー
ト (これらは「外側」ステータプレートと呼ばれる) の
間に位置する２つのステータプレート] のペタル106 の
間に挟持される。

【００５２】バネ形成手段109 が、モータのケーシング
102 と２つの外側ステータプレート104 のペタル106 と
の間に挟持されている。より正確には、外側ステータプ
レート104 の各ペタル106 は、法線変形能動素子121
(例、圧電材料から作製された) を介して該ペタルに装
着された補完的質量体120 を有し、バネ形成手段109 は
この質量体120 に支承される。

【００５３】このような構造は、下記を備える発振シス
テムとしてモデル化することができる：・第一の質量体 (質量体120)；・第一弾性変形素子 (能動素子121)；・番号123 で示される第二の質量体 (それに対応するロ
ータ101 の部分の両側の２つのペタル106 に対応) ；お
よび・第二の弾性変形素子 (素子108 のうち、該質量体123
と素子108 の中間面 <midplane> Ｎとの間に位置する部
分、この中間面は本システムの固定ノードと考えられ
る) 。

【００５４】２つの質量体と２つのスティフネスを有す
るこのようなシステムは、下記の２つの発振モードを与
える：・第一のモード (周波数Ｆ１) は、質量体120 および12
3 が同じ位相で発振する主法線共振モードである；この
共振モードの周波数は、接線および法線変形能動素子10
7 および108 に対する励振周波数であるとして選択され
る。モータはこのための励振手段を有する。

【００５５】・第二のモード (周波数Ｆ２) は、質量体
120 および123 が反対向きの位相で発振する二次法線共
振モードである。質量体120 と能動素子121 を、周波数
Ｆ２がＮ×Ｆ１ (ここで、Ｎは整数) に等しくなるよう
に形態決定 (形状、質量、材料など) し、モータが、こ
の周波数Ｆ２で該能動素子121 を励振させる手段を有す
る。

【００５６】有利には、Ｎは奇数となるように選択す
る。こうすると、得られる推進力が図９に示されるもの
(実線曲線Ｃ１) となり、これは、周波数Ｆ１で能動素
子107 および108 だけを励振させることにより得られる
曲線 (破線曲線Ｃ２) に比べて実質的にピーク制限され
ている。

【００５７】Ｎが偶数でもピーク制限効果は得られる
が、サイクルの片側だけであり、上側の部分だけがピー
ク制限されることは認められよう。特に、Ｎ＝３または
Ｎ＝５とすることが好ましく、低次調波の方がより大き
な効果を与える。

【００５８】ただし、Ｎは、Ｎ＝３またはＮ＝５以外の
値をとることも可能である。法線モードは接線モードよ
り減衰がずっと小さいので、Ｆ２＝Ｎ×Ｆ１の関係を好
ましくは大きな精度で達成すべきである。必要な精度
は、約１／２Ｑであると推定され、ここでＱは、この２
つの共振のＱ因子のうちの低い方の値を意味する。

【００５９】上記解決手段の１変更例は、能動素子また
はブロック121 を等価の受動スティフネスで置換し、主
アクチュエータに、その周波数Ｆ１での基本励振に加え
て、周波数Ｎ×Ｆ１での励振を供給することからなる。

【００６０】さらに、別の有利な変更例では、質量体12
0 とペタル106 の残りの部分との間に複数の弾性変形素
子109 を設けることができる。これらの素子は、スティ
フネスが異なり、従って異なる二次共振モードに対応
し、それらの周波数が主周波数の調波に対応するように
選択される。

【００６１】これらの異なる調波に対応する励振周波数
を結合させる (合成する) ことにより、図９に示したも
のよりさらに一層ピーク制限された法線支承力(bearing
force) を得ることができる。

【００６２】それらのそれぞれの共振周波数がＦ２＝Ｎ
×Ｆ１を満たすように少なくとも１つの二次共振モード
で主共振モードを与えることができる他の多くの変更実
施態様を考えることも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の可能な１態様を構成する振動モータの
部分断面図である。

【図２】図１に示す振動モータの軸方向断面図である。

【図３】振動モータの移動部材と固定部材との間の帯域
を示す図である。

【図４】図３に示した構造に等価の発振システムの図で
ある。

【図５】図５ａないし５ｃは、図３の各層の変形 (図５
ａ) 、各層間の滑り速度 (図５ｂ) および各層間に作用
する摩擦力 (図５ｃ) の時間による変動を示すグラフで
ある。

【図６】本発明の別の可能な態様を示す図３と同様の図
である。

【図７】本発明の可能な態様を構成する振動モータ構造
を示す図である。

【図８】図７に示した振動モータのステータペタルとケ
ーシングとのリンクに等価の発振システムを示す図であ
る。

【図９】まず従来技術に従って制御した時 (破線曲線)
と次に本発明の１態様に従って制御した時 (実線曲線)
の、ロータとステータとの間の支承力の時間による変動
を示すグラフである。

【符号の説明】

1, 101: ディスクロータ、2, 102: 外部ケーシング、3:
シャフト、4, 104: ステータプレート、6, 106: 接触セ
クタまたはペタル、7, 107: 接線変形能動素子、8, 10
8, 121:法線変形能動素子、9, 109: バネ形成手段、10,
122:素子の列、11: 接触シュー、12: ペタル主要部、1
20, 123: 質量体、N:固定ノード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１つの固定部材と、この固定
部材に対して移動するように駆動される少なくとも１つ
の移動部材とを備え、これらと一緒に、該固定部材およ
び／または該移動部材により提供された剛性接触セクタ
を移動させて、接線振動と法線振動とを結合させる振動
モードで該剛性セクタを振動させることにより移動部材
の移動を駆動させる傾向のある力を加えるのに適した励
振手段をさらに備え、接線振動または法線振動に対し
て、主共振モードと少なくとも１つの二次共振モードと
を与える振動モータであって、二次共振モードの周波数が、主共振モードの調波周波数
に実質的に等しいことを特徴とする振動モータ。
【請求項２】移動部材が剛性ディスクロータであり、
該モータが、少なくとも一対のステータプレートを有す
るステータを備え、各ステータプレートは剛性ペタルを
有し、これが該剛性ペタルを接線方向および法線方向に
変位させるための受容手段として好適であることを特徴
とする、請求項１記載のモータ。
【請求項３】弾性変形特性を有する少なくとも１つの
素子が移動部材および／または固定部材に設けられ、こ
の素子が、シュー形成部分によって該移動部材および／
または該固定部材の接触面から離間されており、かつ弾
性変形素子が設けられている部材が、シュー形成部分と
該部材の残りの部分とが反対向きの位相で発振する共振
モードである二次接線共振モードの周波数が、シュー形
成部分と該部材の残りの部分とが同じ位相で発振する主
接線共振モードの調波周波数である周波数に実質的に等
しくなるように、形態決定されていることを特徴とす
る、請求項１記載のモータ。
【請求項４】二次接線共振モードの周波数が、主接線
共振モードの周波数の２倍に実質的に等しいことを特徴
とする、請求項３記載のモータ。
【請求項５】シュー形成部分と固定部材および／また
は移動部材の残りの部分との間に挟持された１列の弾性
素子を備えることを特徴とする、請求項３または４記載
のモータ。
【請求項６】弾性素子が超弾性の特性を付与する材料
から作製されることを特徴とする、請求項３〜５のいず
れか１項に記載のモータ。
【請求項７】実質的に主法線共振周波数の調波周波数
である二次法線共振周波数を与え、励振手段がこれら２
つの共振周波数の両方で法線振動を発生させる手段を含
んでいることを特徴とする、請求項１記載のモータ。
【請求項８】接線変形能動素子を有する少なくとも２
対のステータプレートと、該２対の各対のプレート間に
位置する２つのロータディスクとを収容するケーシング
を備え、法線変形能動素子が、特に向かい合う２対の両
方のプレートの間に配置され、バネ形成手段がプレート
対とケーシングとの間に挟持されており、かつステータ
プレートとバネ形成手段との間に、質量体と弾性変形素
子とを含む少なくとも１つのアセンブリを備え、該アセ
ンブリは、ステータプレートと該質量体とが反対向きの
位相で発振する二次共振モードの周波数が、ステータプ
レートと該質量体とが同じ位相で発振する主共振周波数
の整数倍に実質的に等しくなるように形態決定され、励
振手段は、二次共振周波数に実質的に等しい周波数で法
線変形能動素子を励振させる手段を含んでいることを特
徴とする、請求項２または７記載のモータ。
【請求項９】弾性変形素子が二次共振周波数に実質的
に等しい周波数で励振される法線変形能動素子であるこ
とを特徴とする、請求項８記載のモータ。
【請求項１０】主共振モードのための法線変形能動素
子が、（主共振周波数でのシグナル）＋（二次共振周波
数でのシグナル）の総和であるシグナルにより励振され
ることを特徴とする請求項８記載のモータ。
【請求項１１】二次共振周波数が主共振周波数の奇数
倍に実質的に等しいことを特徴とする、請求項７〜１０
のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項１２】二次共振周波数が主共振周波数の３ま
たは５倍に実質的に等しいことを特徴とする、請求項７
記載のモータ。
【請求項１３】二次共振モードの周波数が主共振周波
数の整数倍に、１／２Ｑ (Ｑは、この２つの共振のＱ因
子うちの低い方である) のオーダーの精度で等しいこと
を特徴とする、請求項７〜１２のいずれか１項に記載の
モータ。
【請求項１４】ステータプレートとバネ形成手段との
間に挟持された、１つの質量体と複数の弾性変形素子と
を含む少なくとも一つのアセンブリを備え、この複数の
弾性変形素子が、これらの素子が複数の調波共振周波数
に対応するようなスティフネスをもつことを特徴とす
る、請求項８記載のモータ。
【請求項１５】弾性変形素子が半結晶質ポリマーから
作製されることを特徴とする、請求項３記載のモータ。