JP2001286807A - Coating device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は基材に対して塗工液
を塗布する塗工装置に係り、とりわけ基材に対して間欠
的に塗工液を塗布することができる塗工装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus for applying a coating liquid to a substrate, and more particularly to a coating apparatus capable of intermittently applying a coating liquid to a substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】循環ラインの塗工装置について、図４お
よび図６により説明する。図５に示すように、塗工装置
１０は塗工液１１ａを収納した塗工液タンク１１と、塗
工液タンク１１に連結ライン３０を介して順次接続され
たポンプ２１およびノズル１２とを有している。2. Description of the Related Art A coating apparatus for a circulation line will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 5, the coating apparatus 10 includes a coating liquid tank 11 that stores a coating liquid 11a, and a pump 21 and a nozzle 12 that are sequentially connected to the coating liquid tank 11 via a connection line 30. are doing.
【０００３】図５および図６において、ポンプ２１を作
動させ、ノズルに吐出口１３から塗工液１１ａを基材Ｗ
に塗布する。また、基材Ｗに対して塗工液１２ａを間欠
的に塗布する場合は、ポンプ２１を間欠運転し、基材Ｗ
上に塗工液１１ａからなる塗工膜Ｓを塗工方向Ｌに沿っ
て間欠的に形成している。In FIG. 5 and FIG. 6, a pump 21 is operated to apply a coating liquid 11a to a nozzle from a discharge port 13 to a substrate W.
Apply to. When the coating liquid 12a is intermittently applied to the substrate W, the pump 21 is operated intermittently to
A coating film S made of the coating liquid 11a is intermittently formed on the upper surface along the coating direction L.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、基材Ｗ
上に塗工液１１ａを間欠的に塗布する場合、ポンプ２１
を間欠運転している。しかしながらこのようにポンプ２
１を間欠運転すると、ノズル１２の吐出口１３から吐出
される塗工液１１ａの量を安定化させるまでに所定時間
を必要とし、このため塗工作業開始段階で塗工膜Ｓの端
部に、膜厚が薄くなる膜厚不良部分Ａが形成されてしま
う。As described above, the substrate W
When the coating liquid 11a is applied intermittently on the
The intermittent operation. However, this way pump 2
When 1 is intermittently operated, a predetermined time is required until the amount of the coating liquid 11a discharged from the discharge port 13 of the nozzle 12 is stabilized. As a result, a portion A having a film thickness defect where the film thickness is reduced is formed.
【０００５】またポンプ２１を間欠運転することによ
り、連結ライン中で塗工液１１ａが滞留し、塗工液１１
ａ内の固形分が沈降して、ノズル１２の吐出口１３から
吐出される塗工液１１ａの成分比が変化することがあ
る。When the pump 21 is operated intermittently, the coating liquid 11a stays in the connection line,
The solid content in a may settle, and the component ratio of the coating liquid 11a discharged from the discharge port 13 of the nozzle 12 may change.
【０００６】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、基材に対して塗工液を精度良く塗布するこ
とができるとともに、基材に塗布された塗工液の成分比
を安定化させることができる塗工装置を提供することを
目的とする。[0006] The present invention has been made in view of such a point, it is possible to apply the coating liquid to the substrate with high accuracy, and at the same time the component ratio of the coating liquid applied to the substrate It is an object of the present invention to provide a coating device capable of stabilizing the coating.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、塗工液を収納
した塗工液タンクと、塗工液を基材に対して塗布する吐
出口と、この吐出口に連通する入口および出口とを有す
るノズルと、塗工液タンクとノズルの入口との間、およ
びノズルの出口と塗工液タンクとの間を連結する循環ラ
インと、ノズルの入口側の循環ラインに設けられたポン
プと、ノズルの出口側の循環ラインに設けられた自動弁
と、を備えたことを特徴とする塗工装置である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a coating liquid tank containing a coating liquid, a discharge port for applying the coating liquid to a substrate, and an inlet and an outlet communicating with the discharge port. Nozzle having, between the coating liquid tank and the inlet of the nozzle, and a circulation line connecting the outlet of the nozzle and the coating liquid tank, and a pump provided in the circulation line on the inlet side of the nozzle, An automatic valve provided in a circulation line on the outlet side of the nozzle.
【０００８】本発明によれば、ポンプを連続運転するこ
とにより、塗工液タンク内の塗工液を循環ラインを経て
入口からノズル内へ送り、その後ノズル内の塗工液を出
口から塗工液タンク内へ戻すことができる。この間、自
動弁が開閉することにより、ノズル内の塗工液を吐出口
から基材に対して間欠的に塗布することができる。According to the present invention, by continuously operating the pump, the coating liquid in the coating liquid tank is sent from the inlet to the nozzle through the circulation line, and then the coating liquid in the nozzle is coated from the outlet. It can be returned into the liquid tank. During this time, by opening and closing the automatic valve, the coating liquid in the nozzle can be intermittently applied to the base material from the discharge port.
【０００９】[0009]
【発明の実施の態様】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図３は本発明によ
る塗工装置の一実施の形態を示す図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are views showing an embodiment of a coating apparatus according to the present invention.
【００１０】図１に示すように、塗工装置１０は塗工液
１１ａを収納した塗工液タンク１１と、塗工液１１ａを
基材Ｗに対して塗布するノズル１２とを備えている。ま
たノズル１２は基材Ｗに対して塗工液を吐出する吐出口
１３と、この吐出口１３に内部通路１２ａを介して連通
された入口１４および一対の出口１５ａ，１５ｂとを有
している。As shown in FIG. 1, a coating apparatus 10 includes a coating liquid tank 11 containing a coating liquid 11a and a nozzle 12 for applying the coating liquid 11a to a substrate W. The nozzle 12 has a discharge port 13 for discharging the coating liquid to the base material W, an inlet 14 connected to the discharge port 13 via an internal passage 12a, and a pair of outlets 15a and 15b. .
【００１１】このうちノズル１２の吐出口１３は基材Ｗ
側に配置され、入口１４はノズル１２の中央に配置され
ている。また一対の出口１５ａ，１５ｂはノズル１２の
両端に各々設けられている。また吐出口１３は一対の出
口１５ａ，１５ｂ間に渡って延びている。The discharge port 13 of the nozzle 12 has a base material W
The inlet 14 is located at the center of the nozzle 12. A pair of outlets 15a and 15b are provided at both ends of the nozzle 12, respectively. The discharge port 13 extends between the pair of outlets 15a and 15b.
【００１２】塗工液タンク１１とノズル１２の入口１４
との間は入口ライン２２により連結され、この入口ライ
ン２２にはポンプ２１および圧力計２５が順次設けられ
ている。またノズル１２の出口１５ａ，１５ｂと塗工液
タンク１１との間は、出口ライン２３により連結されて
いる。このうち出口１５ａ側の出口ライン２３には、自
動弁１６ａ、圧力計１７ａおよび圧力調整弁１９ａが順
次設けられ、出口１５ｂ側の出口ライン２３には自動弁
１６ｂ、圧力計１７ｂおよび圧力調整弁１９ｂが順次設
けられている。また自動弁１６ａ，１６ｂは、各々駆動
部１８ａ，１８ｂを有し、各駆動部１８ａ，１８ｂは制
御装置２０により制御されるようになっている。The coating liquid tank 11 and the inlet 14 of the nozzle 12
Is connected by an inlet line 22, and a pump 21 and a pressure gauge 25 are sequentially provided in the inlet line 22. An outlet line 23 connects the outlets 15 a and 15 b of the nozzle 12 to the coating liquid tank 11. An automatic valve 16a, a pressure gauge 17a, and a pressure regulating valve 19a are sequentially provided in an outlet line 23 on the outlet 15a side, and an automatic valve 16b, a pressure gauge 17b, and a pressure regulating valve 19b are provided in the outlet line 23 on the outlet 15b side. Are sequentially provided. The automatic valves 16a and 16b have driving units 18a and 18b, respectively, and the driving units 18a and 18b are controlled by the control device 20.
【００１３】なお、上記入口ライン２２と出口ライン２
３とによって塗工液の循環ラインは構成されている。The above-mentioned inlet line 22 and outlet line 2
3 forms a circulation line for the coating liquid.
【００１４】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。Next, the operation of the present embodiment having the above configuration will be described.
【００１５】まず、ポンプ２１を作動させ、塗工液タン
ク１１内の塗工液１１ａを入口ライン２２に設けられた
ポンプ２１および圧力計２５を経て入口１４からノズル
１２の内部通路１２ａ内へ供給する。ノズル１２の内部
通路１２ａ内の塗工液１１ａは、その後出口１５ａ，１
５ｂから２方向に分かれて出口ライン２３に入り、自動
弁１６ａ，１６ｂ、圧力計１７ａ，１７ｂおよび圧力調
整弁１９ａ，１９ｂを経て塗工液タンク１１へ戻され
る。この場合、自動弁１６ａ，１６ｂは開となってい
る。First, the pump 21 is operated to supply the coating liquid 11a in the coating liquid tank 11 from the inlet 14 into the internal passage 12a of the nozzle 12 through the pump 21 and the pressure gauge 25 provided in the inlet line 22. I do. The coating liquid 11a in the internal passage 12a of the nozzle 12 is then discharged to the outlets 15a, 1a.
5b, the fluid enters the outlet line 23 in two directions, and is returned to the coating liquid tank 11 via the automatic valves 16a and 16b, the pressure gauges 17a and 17b, and the pressure regulating valves 19a and 19b. In this case, the automatic valves 16a and 16b are open.
【００１６】次に基材Ｗに対してノズル１２の吐出口１
３から塗工液１１ａを塗布する場合、基材Ｗをノズル１
２の吐出口１３に対して相対的に移動させ、制御装置２
０により駆動部１８ａ，１８ｂを制御して自動弁１６
ａ，１６ｂを切り換えて閉とする。この間ポンプ２１は
連続的に運転している。自動弁１６ａ，１６ｂの閉によ
り、ノズル１２の内部通路１２ａ内の塗工液は吐出口１
３から基材Ｗ側へ吐出され、基材Ｗ上に塗布される。Next, the discharge port 1 of the nozzle 12 is
When applying the coating liquid 11a from Step 3, the base material W is
2 relative to the discharge port 13 of the
0 controls the drive units 18a and 18b to control the automatic valve 16
a and 16b are switched to be closed. During this time, the pump 21 is operating continuously. By closing the automatic valves 16a and 16b, the coating liquid in the internal passage 12a of the nozzle 12 is discharged from the discharge port 1
3, is discharged to the substrate W side, and is applied on the substrate W.
【００１７】このように自動弁１６ａ，１６ｂの駆動部
１８ａ，１８ｂを制御装置２０により制御して自動弁１
６ａ，１６ｂを開閉することにより、基材Ｗに対して塗
工液１１ａを間欠的に塗布することができる。As described above, the driving units 18a and 18b of the automatic valves 16a and 16b are controlled by the control device 20 to control the automatic valves 1a and 1b.
By opening and closing 6a and 16b, the coating liquid 11a can be intermittently applied to the base material W.
【００１８】なお、出口ライン２３の一対の圧力調整弁
１９ａ，１９ｂを圧力計１７ａ，１７ｂを確認しながら
調整することにより、ノズル１２の内部通路１２ａ内に
おける圧力を一対の出口１５ａ，１５ｂ間で一定するよ
う調整することができる。このため、ノズル１２の吐出
口１３から塗工液を塗布する際、一対の出口１５ａ，１
５ｂ間に延びる吐出口１３全長からバランス良く塗工液
を塗布することができる。The pressure in the internal passage 12a of the nozzle 12 is adjusted between the pair of outlets 15a and 15b by adjusting the pair of pressure regulating valves 19a and 19b of the outlet line 23 while checking the pressure gauges 17a and 17b. It can be adjusted to be constant. For this reason, when applying the coating liquid from the discharge port 13 of the nozzle 12, a pair of outlets 15a, 1
The coating liquid can be applied in a well-balanced manner from the entire length of the discharge port 13 extending between 5b.
【００１９】以上のように、本実施の形態によれば、ポ
ンプ２１を連続的に運転させ、自動弁１６ａ，１６ｂの
開閉の切り換えだけで吐出口１３から基材Ｗに対して塗
工液を間欠的に塗布することができる。このためポンプ
２１を間欠運転する場合に比較して、吐出口１３から吐
出される塗工液の量を安定化させ、ノズル１２の吐出口
１３から精度良く塗工液を基材Ｗに対して塗布すること
ができる。また、ポンプ２１を連続運転するため、入口
ライン２２から出口ライン２３内に至る全経路にわたっ
て塗工液の固形物の沈降を未然に防止することができ
る。As described above, according to the present embodiment, the pump 21 is continuously operated, and the coating liquid is applied to the substrate W from the discharge port 13 only by switching between opening and closing the automatic valves 16a and 16b. It can be applied intermittently. Therefore, as compared with the case where the pump 21 is operated intermittently, the amount of the coating liquid discharged from the discharge port 13 is stabilized, and the coating liquid is precisely transferred from the discharge port 13 of the nozzle 12 to the base material W. Can be applied. In addition, since the pump 21 is operated continuously, the solidification of the coating liquid can be prevented from settling over the entire path from the inlet line 22 to the outlet line 23.
【００２０】次に図２および図３を用いて、本発明によ
る作用を従来技術との比較により説明する。図２に示す
ように、従来技術によれば、塗工作業開始段階では、ポ
ンプ２１を作動させるため吐出口１３から吐出される塗
工液１１ａの圧力を安定化させるために所定時間を必要
とし、これにより塗工膜Ｓの端部に膜厚不良部分Ａ（図
６）が生じてしまう。Next, the operation of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3 in comparison with the prior art. As shown in FIG. 2, according to the prior art, at the start of the coating operation, a predetermined time is required to stabilize the pressure of the coating liquid 11a discharged from the discharge port 13 in order to operate the pump 21. As a result, a defective film thickness portion A (FIG. 6) occurs at the end of the coating film S.
【００２１】これに対して本発明によれば、図２に示す
ように、自動弁１６ａ，１６ｂの切り換えにより塗工液
１１ａを塗布するので、塗工作業開始段階で直ちに吐出
口１３から吐出される塗工液１１ａの圧力を短時間で安
定化させることができる。このため塗工膜Ｓの端部に膜
厚不良部分Ａを極力小さくすることが可能となり、精度
良く塗工液を塗布することができる。On the other hand, according to the present invention, as shown in FIG. 2, the coating liquid 11a is applied by switching the automatic valves 16a and 16b. The pressure of the coating liquid 11a can be stabilized in a short time. For this reason, it is possible to minimize the portion A having a poor film thickness at the end of the coating film S, and it is possible to apply the coating liquid with high accuracy.
【００２２】また、自動弁１６ａ，１６ｂを閉とした場
合に水撃現象発生部Ｂにおいて水撃現象が発生するが
（図３）、この場合水撃現象発生部Ｂからの水撃波はノ
ズル１２の中央部Ｃに向って進行して緩和されていく。
この際、ノズル１２は配管ラインに比較して剛性がある
ので、水撃波は高周波となり比較的容易に減衰される。
このため、自動弁１６ａ，１６ｂを開閉しても、ノズル
１２の内部通路１２ａ内の圧力変動を小さく抑えること
ができる。When the automatic valves 16a and 16b are closed, a water hammer phenomenon occurs in the water hammer occurrence section B (FIG. 3). 12 toward the central part C, and is relaxed.
At this time, since the nozzle 12 has rigidity as compared with the pipe line, the water hammer wave has a high frequency and is relatively easily attenuated.
For this reason, even if the automatic valves 16a and 16b are opened and closed, the pressure fluctuation in the internal passage 12a of the nozzle 12 can be suppressed to be small.
【００２３】次に、図４により本発明の他の実施の形態
について説明する。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００２４】図１乃至図３に示す実施の形態において、
ノズル１２の中央に入口１４を設け、両端に一対の出口
１５ａ，１５ｂを設けた例を示したが、これに限らず、
図４に示すようにノズル１２の両端に入口１４と出口１
５を設けてもよい。In the embodiment shown in FIGS. 1 to 3,
An example in which the inlet 14 is provided at the center of the nozzle 12 and a pair of outlets 15a and 15b are provided at both ends has been described.
As shown in FIG. 4, the inlet 14 and the outlet 1
5 may be provided.
【００２５】図４において、塗工液タンク１１とノズル
１２の入口１４との間に入口ライン２２が設けられ、こ
の入口ライン２２にポンプ２１と、圧力計２５が設けら
れている。また、ノズル１２の出口１５と塗工液タンク
１１との間に出口ライン２３が設けられ、この出口ライ
ン２３に駆動部１８を有する自動弁１６と、圧力計１７
と、圧力調整弁１９が設置されている。In FIG. 4, an inlet line 22 is provided between the coating liquid tank 11 and the inlet 14 of the nozzle 12, and a pump 21 and a pressure gauge 25 are provided in the inlet line 22. Further, an outlet line 23 is provided between the outlet 15 of the nozzle 12 and the coating liquid tank 11, and the outlet line 23 has an automatic valve 16 having a drive unit 18 and a pressure gauge 17
And a pressure regulating valve 19.
【００２６】なお図４において、図１乃至図３に示す実
施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は
省略する。In FIG. 4, the same parts as those in the embodiment shown in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.
【００２７】図４において、ポンプ２１を連続運転し、
制御装置２０により駆動部１８を制御して自動弁１６を
開閉することにより、ノズル１２の吐出口１３から塗工
液１１ａを間欠的に基材Ｗに塗布することができる。In FIG. 4, the pump 21 is operated continuously,
By controlling the drive unit 18 by the control device 20 to open and close the automatic valve 16, the coating liquid 11 a can be intermittently applied to the base material W from the discharge port 13 of the nozzle 12.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ポンプを
連続運転させながら、自動弁の開閉によりノズル内の塗
工液を基材に間欠的に塗布することができるので、ポン
プを間欠運転する場合に比べてノズル内の圧力を安定化
させ、精度良く塗工液を塗布することができる。また、
ポンプを連続運転させることにより、塗工液内の固形物
の沈降およびこれに伴なう成分比の変化を未然に防止す
ることができる。As described above, according to the present invention, the coating liquid in the nozzle can be intermittently applied to the substrate by opening and closing the automatic valve while the pump is continuously operated. The pressure in the nozzle is stabilized as compared with the case of operation, and the coating liquid can be applied with high accuracy. Also,
By operating the pump continuously, it is possible to prevent sedimentation of solids in the coating liquid and change of the component ratio accompanying the sedimentation.
【図１】本発明による塗工装置の一実施の形態を示す図FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a coating apparatus according to the present invention.
【図２】本発明の作用を示す図FIG. 2 is a diagram showing the operation of the present invention.
【図３】本発明の作用を示す図FIG. 3 shows the operation of the present invention.
【図４】本発明による塗工装置の他の実施の形態を示す
図FIG. 4 is a view showing another embodiment of the coating apparatus according to the present invention.
【図５】従来の塗工装置を示す図FIG. 5 is a diagram showing a conventional coating apparatus.
【図６】従来の塗工装置により形成された塗工膜を示す
図FIG. 6 is a view showing a coating film formed by a conventional coating apparatus.
１０ 塗工装置 １１ 塗工液タンク １１ａ 塗工液 １２ ノズル １３ 吐出口 １４ 入口 １５，１５ａ，１５ｂ 出口 １６，１６ａ，１６ｂ 自動弁 １７，１７ａ，１７ｂ 圧力計 １８，１８ａ，１８ｂ 駆動部 １９，１９ａ，１９ｂ 圧力調整弁 ２０ 制御装置 ２１ ポンプ ２２ 入口ライン ２３ 出口ライン DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Coating apparatus 11 Coating liquid tank 11a Coating liquid 12 Nozzle 13 Discharge port 14 Inlet 15,15a, 15b Outlet 16,16a, 16b Automatic valve 17,17a, 17b Pressure gauge 18,18a, 18b Driver 19,19a , 19b Pressure regulating valve 20 Controller 21 Pump 22 Inlet line 23 Outlet line
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青 木 孝 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA02 AB02 BA05 BA35 BA59 CA02 CA12 CA17 CA22 CA28 4F042 AA22 CB02 CB08 CB20 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Takashi Aoki Inventor F-term in Dai Nippon Printing Co., Ltd. 1-1-1, Ichigaya-Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo 4F041 AA02 AB02 BA05 BA35 BA59 CA02 CA12 CA17 CA22 CA28 4F042 AA22 CB02 CB08 CB20
Claims (3)
連通する入口および出口とを有するノズルと、 塗工液タンクとノズルの入口との間、およびノズルの出
口と塗工液タンクとの間を連結する循環ラインと、 ノズルの入口側の循環ラインに設けられたポンプと、 ノズルの出口側の循環ラインに設けられた自動弁と、を
備えたことを特徴とする塗工装置。A coating liquid tank containing a coating liquid, a nozzle having a discharge port for applying the coating liquid to a substrate, and an inlet and an outlet communicating with the discharge port; A circulation line connecting between the tank and the nozzle inlet, and between the nozzle outlet and the coating liquid tank; a pump provided in the nozzle inlet-side circulation line; and a nozzle outlet-side circulation line. A coating device, comprising: a provided automatic valve.
との間を連結する入口ラインと、ノズルの出口と塗工液
タンクとの間を連結する出口ラインとからなり、 ポンプを入口ラインに設け、自動弁を出口ラインに設け
たことを特徴とする請求項１記載の塗工装置。The circulation line includes an inlet line connecting the coating liquid tank and the inlet of the nozzle, and an outlet line connecting the outlet of the nozzle and the coating liquid tank. The coating apparatus according to claim 1, wherein an automatic valve is provided in the outlet line.
ともに、ノズルの出口はノズル両端に各々設けられてい
ることを特徴とする請求項２記載の塗工装置。3. The coating apparatus according to claim 2, wherein the inlet of the nozzle is provided at the center of the nozzle, and the outlets of the nozzle are provided at both ends of the nozzle.
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