JP2001281673A - Production method and device for liquid crystal display panel - Google Patents

Production method and device for liquid crystal display panel

Info

Publication number
JP2001281673A
JP2001281673A JP2000096676A JP2000096676A JP2001281673A JP 2001281673 A JP2001281673 A JP 2001281673A JP 2000096676 A JP2000096676 A JP 2000096676A JP 2000096676 A JP2000096676 A JP 2000096676A JP 2001281673 A JP2001281673 A JP 2001281673A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
stage
liquid crystal
substrates
crystal material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000096676A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Furukawa
Akira Matsuoka
Masakazu Okada
Tatsuo Taniguchi
Masahide Ueda
Jun Yamada
慶一 古川
潤 山田
真和 岡田
顕 松岡
昌秀 植田
辰雄 谷口
Original Assignee
Minolta Co Ltd
ミノルタ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd, ミノルタ株式会社 filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP2000096676A priority Critical patent/JP2001281673A/en
Priority claimed from US09/821,941 external-priority patent/US20010026349A1/en
Publication of JP2001281673A publication Critical patent/JP2001281673A/en
Application status is Withdrawn legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device which manufacture a liquid crystal display panel which can perform an image display well. SOLUTION: A resin pillar RC is formed on a substrate S1, and a spacer SP and a sealing wall SL are provided in a substrate S2. The substrate S1 and S2 are held by positioning on stages 100 and 200. The prescribed ends of the substrates S1 and S2 are superposed, while holding liquid crystal material L in-between. Both the substrates are bonded temporarily by a pressing roller 610. Both the substrates are succeedingly bonded finally by the heating pressing roller 70. The clamping start of the both substrates is performed by the sealing wall SL or a substrate region, with a wall part SL' adjoining it.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルの製造方法及び装置に関する。 The present invention relates to relates to method and apparatus for producing the liquid crystal display panel.

【0002】 [0002]

【従来の技術】液晶表示パネルは一対の基板間に液晶材料層を挟持させたものが一般的である。 A liquid crystal display panel is generally one obtained by sandwiching a liquid crystal material layer between a pair of substrates. また通常、液晶材料層を囲繞するシール壁が両基板間に形成される。 Also typically, the sealing wall surrounding the liquid crystal material layer is formed between the substrates.

【0003】基板には通常液晶材料層を駆動して画像を表示させるための電極が設けられており、必要に応じて配向膜や絶縁膜等が形成される。 [0003] The substrate typically is provided with electrodes for displaying an image by driving the liquid crystal material layer, orientation film and the insulating film or the like is formed as necessary. 該電極の配置により画素が形成される。 Pixels are formed by the arrangement of the electrodes.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】このような液晶表示パネルの製造においては、良好な画像表示のために両基板を精度良く位置合わせして貼り合わさなければならない。 BRIEF Problem to be Solved] In the production of such a liquid crystal display panel should bonded by combined two substrates accurately positioned for a good image display. また、両基板は内部に外気が入り込んだり、基板に皺がよる等の不都合のない状態で貼り合わさなければならない。 In addition, both substrates intrude outside air to the inside, must be bonded to each other in the absence of problems such as wrinkles is due to the substrate.

【0005】本発明はかかる要請に応えることができる液晶表示パネルの製造方法及び装置を提供することを課題とする。 [0005] The present invention aims to provide a method and apparatus for producing the liquid crystal display panel that can meet such demands.

【0006】特に本発明は、第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルを、両基板を精度良く位置合わせして、また両基板間から脱気して、 [0006] In particular, the present invention, a liquid crystal display panel sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer between the first and second substrates including spacers and resin columns, precisely position the two substrates and together, also it was degassed from between the two substrates,
基板に皺よりのない状態で貼り合わせて、良好に画像表示できる液晶表示パネルを製造する方法及び装置を提供することを課題とする。 Bonded in the absence than wrinkles on the substrate, and to provide a method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel can be satisfactorily image display.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため本発明は大別して次の二つのタイプの液晶表示パネルの製造方法を提供する。 Means for Solving the Problems] To solve the above problems the present invention is roughly provides a process for the preparation of the next two types liquid crystal display panel. (1)第1タイプの液晶表示パネルの製造方法 第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造方法であり、第1基板に樹脂柱を形成し、第2基板にスペーサを散布付着させるとともにシール壁を形成する工程と、第1基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で第1ステージに位置合わせして保持させる工程と、第2基板をスペーサ及びシール壁を設けた面とは反対側の面で、第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持させる工程と、第1及び第2の基板をそれぞれの予備加熱温度に加熱する予備加熱工程と、第1ステージに位置合わせして保持された第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、 (1) A method of manufacturing a liquid crystal display panel sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the first type of liquid crystal display panel manufacturing method the first and second substrates , and the first substrate to form a resin columns, forming a sealing wall causes sprayed attaching the spacer to the second substrate, the first at the surface opposite to the first substrate provided with the resin pillar surface a step of holding in alignment to the stage, a second substrate surface opposite to the surface provided with the spacer and the sealing wall, aligned with the second stage to the first stage are arranged in a predetermined positional relationship a step of holding in a pre-heating step of heating the first and second substrates to each preheating temperature, the liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage and a liquid crystal material coating step of coating, 予備加熱温度に到達し、位置合わせされた第1基板を保持した第1ステージと予備加熱温度に到達し、位置合わせされた第2基板を保持した第2ステージのうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる工程と、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、両基板の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、前記予備加熱温度より高い本貼り合わせ温度下に挟着しつつ It reaches the preheating temperature, to reach the first stage and the preheating temperature which holds the first substrate in alignment, two substrates by moving at least one of the second stage holding the second substrate in alignment predetermined pressure between the causes face the step of superimposing and to each other a predetermined end portion of the both substrates between the liquid crystal material, a first stage by the pressing member to the substrates to each other a predetermined end portion is superimposed with by bonding the two substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material between the substrates by relatively moving with respect to the pressing member the first stage while sandwiched under temporary a step combined temporary attachment to go, under a predetermined pressure between the first stage by heating the pressing member provisionally bonded portions of both substrates, and, clamping to a temperature bonding present higher than the preheating temperature while wearing 1ステージを該加熱押圧部材に対して相対的に移動させることで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含む液晶表示パネルの製造方法。 Method of manufacturing a liquid crystal display panel including a present bonding step the two substrates bonded book by relatively moving the first stage relative to the heating pressing member.

【0008】この液晶表示パネルの製造方法によると、 [0008] According to the method of manufacturing the liquid crystal display panel,
第1基板は第1ステージの所定位置に位置合わせして保持され、第2基板は第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージの所定位置に位置合わせして保持され、その後に貼り合わされるので、両基板が精度よく位置合わせされた液晶表示パネルが得られる。 The first substrate is held in alignment with the predetermined position of the first stage, the second substrate is held in alignment with the predetermined position of the second stage which is arranged in a predetermined positional relationship to the first stage, then since the bonded together, the liquid crystal display panel which both substrates are accurately aligned to obtain.

【0009】また、両基板は貼り合わせに先立って所定端部同士が重ね合わされるのであるが、この端部重ね合わせに際して、もしいずれか一方の基板のみ加熱され、 [0009] Although both substrates are to each other a predetermined end are superimposed prior to bonding, in the end superposition, is heated only one substrate or if,
他方の基板については加熱されていない状態で端部同士の重ね合わせがなされるならば、加熱されていない方の基板端部はその重ね合わせにより速やかに加熱されるが該端部以外の部分の加熱は遅れ、そのために該基板において熱膨張差のある部分が生じて基板に皺が発生したり、基板間液晶材料中に気泡が生じる恐れがある。 If the other substrate overlapping end portions in a state of not being heated is made, although the substrate end portion of which is not heated is heated rapidly by the superposition of a portion other than the end portion heating delayed, therefore wrinkles on the substrate occurs some portion of the thermal expansion difference is or, possibly air bubbles appeared in the liquid crystal material between the substrates occurs in the substrate to. しかし、本発明に係るこのパネル製造方法では、両基板がそれぞれ予備加熱されてから、両基板の所定端部同士が重ね合わされるので、そのような皺の発生や気泡の発生が抑制され、両基板の仮貼り合わせが良好になされる。 However, in this panel manufacturing method according to the present invention, since the two substrates preheating each, the predetermined end portions of the two substrates are superimposed, such wrinkles or bubbles generation is suppressed and both temporary bonding of the substrate is made good.

【0010】第1、第2の基板のそれぞれの予備加熱温度は同一又は略同一とすることができるが、基板に前記の皺が発生する等の支障のない範囲ならば、第1、第2 [0010] First, although each of the preheating temperature of the second substrate may be the same or substantially the same, if the range does not hinder such that the wrinkles in the substrate occurs, first, second
の基板の予備加熱温度に差があってもよい。 The difference in the preheating temperature of the substrate may be a.

【0011】また、両基板の仮貼り合わせは、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていくことでなされるので、両基板間から脱気されつつ、また、液晶材料中への外気の入り込みが抑制されつつ両基板が貼り合わされていく。 Further, the provisional bonding of the substrates, said first stage while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage the two substrates to each other a predetermined end portion is superimposed by the pressing member since it is made by going to bonding the two substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material provisional between both substrates by relatively moving with respect to the pressing member, from between the substrates while being degassed, also, outside air enters is gradually bonded are both substrates being suppressed in the liquid crystal material. この点でも基板の皺よりや気泡の発生を抑制することができる。 In this respect it is possible to suppress the occurrence of more wrinkles of the substrate and air bubbles.

【0012】また両基板は本貼り合わせに先立って予備加熱されるので、本貼り合わせ工程では熱衝撃少なく、 [0012] Since both substrates are preheated prior to registration the bonding, thermal shock less in this bonding process,
より高い本貼り合わせ温度のもとに円滑に本貼り合わせがなされる。 Smoothly this bonding is made on the basis of the higher the bonding temperature. (2)第2タイプの液晶表示パネルの製造方法 第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造方法であり、第1基板に樹脂柱を形成し、第2基板にスペーサを散布付着させるとともにシール壁(或いはさらに該シール壁に隣り合うように第1 (2) A method of manufacturing a liquid crystal display panel sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the second type of liquid crystal display panel manufacturing method the first and second substrates , and the first substrate to form a resin column, first causes the spacers sprayed attached to the second substrate so as to be adjacent to the sealing wall (or even the sealing wall
又は第2の基板に壁部)を形成する工程と、第1基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で第1ステージに位置合わせして保持させる工程と、第2基板をスペーサ及びシール壁を設けた面とは反対側の面で、第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持させる工程と、第1ステージに位置合わせして保持された第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、位置合わせされた第1基板を保持した第1ステージと、位置合わせされた第2基板を保持した第2ステージのうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる工程と、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧 Or forming a wall portion) on the second substrate, a step of holding in alignment in the first stage at the surface opposite to the first substrate provided with the resin pillar surface, a second substrate spacer and in the surface opposite to the surface provided with the sealing wall, a step of holding in alignment with the second stage to the first stage are arranged in a predetermined positional relationship, held in alignment in the first stage a liquid crystal material application step of applying a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate that is, a first stage holding the first substrate in alignment, the second stage holding the second substrate in alignment among the steps of superimposing and between the liquid crystal material to each other a predetermined end portion of the both substrates together to face the two substrates by moving at least one first stage by the pressing member to the substrates to predetermined end portions is superimposed predetermined pressure between the 下に挟着しつつ第1ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、両基板の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージを該加熱押圧部材に対して相対的に移動させることで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含み、前記本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を前記シール壁(或いは該シール壁に隣り合う壁部)のある基板部位で行う液晶表示パネルの製造方法。 By bonding the two substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material between the substrates by relatively moving with respect to the pressing member the first stage while sandwiched under temporary go and provisional bonding step, under a predetermined pressure between the first stage by heating the pressing member provisionally bonded portions of both substrates, and, the first stage while sandwiched under temperature combined the bonding the and a present bonding process to fit the bond the two substrates by relatively moving with respect to the heating pressing member, wherein the bonding heat pressing member and clamping the two substrates according to the first stage in the process method of manufacturing a liquid crystal display panel for starting the substrate site of said sealing wall (or wall portion adjacent to the sealing wall).

【0013】この液晶表示パネルの製造方法においても、第1基板は第1ステージに位置合わせして保持され、第2基板は第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持され、その後に貼り合わせされるので、両基板が精度よく位置合わせされた液晶表示パネルが得られる。 [0013] Also in the manufacturing method of the liquid crystal display panel, the first substrate is held in alignment with the first stage, the second substrate is positioned on the second stage which is arranged in a predetermined positional relationship to the first stage held in register, since it is then combined into the adhesion, the liquid crystal display panel which both substrates are accurately aligned to obtain.

【0014】また、両基板は加熱押圧部材による加圧下に本貼り合わせがなされるのであるが、この本貼り合わせに際して、もし加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始が前記シール壁(或いは該シール壁に隣り合う壁部)のある基板部位以外の部位でなされるならば、加熱押圧部材の接触にて基板が自由に熱膨張でき、基板に皺が生じたり、またそのために両基板間に気泡が発生したりする恐れがある。 [0014] Although both substrates are of the bonding is done under pressure by heating the pressing member, when bonding the book, if heating the pressing member and the pinching start the sealing of both substrates by a first stage if done at a site other than the substrate site of the wall (or wall portion adjacent to the sealing wall), the substrate is free to thermal expansion at the contact of the heating pressing member, or cause wrinkles in the substrate, and in order that bubbles between the two substrates is likely to or generated. しかし本発明に係るこの表示パネル製造方法では、本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を前記シール壁(或いは該シール壁に隣り合う壁部)のある基板部位で行うので、基板の自由な膨張が該シール壁或いは壁部と基板との加圧下の接触により妨げられ、 However, in this display panel manufacturing method according to the present invention, a heated pressing member and the sealing wall clamping start of the substrates according to a first stage in the bonding step (or wall portion adjacent to the sealing wall) substrate is performed at the site, the free expansion of the substrate is prevented by contact under pressure with the sealing wall or walls and the substrate,
それだけ皺の発生、それに伴う液晶材料中の気泡の発生が抑制され、本貼り合わせが良好になされる。 Correspondingly occurrence of wrinkles, air bubbles in the liquid crystal material associated therewith can be suppressed, the bonding is performed satisfactorily.

【0015】またこの製造方法においても、両基板の仮貼り合わせは、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていくことでなされるので、両基板間から脱気されつつ、また、液晶材料中への外気の入り込みが抑制されつつ両基板が貼り合わされていく。 [0015] Also in this manufacturing method, the temporary bonding of the substrates, while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage by the pressing member to the substrates to each other a predetermined end portion is superimposed since it is made by going to fit temporarily attached to the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material between the substrates by relatively moving the first stage relative to the pressing member while being degassed from between the substrate and, outside air enters is gradually bonded are both substrates being suppressed in the liquid crystal material. この点でも基板の皺よりや気泡の発生を抑制することができる。 In this respect it is possible to suppress the occurrence of more wrinkles of the substrate and air bubbles.

【0016】なお、前記第1、第2のタイプの方法を組み合わせ、両者の利点を備えさせた液晶表示パネルの製造方法も本発明に係る液晶表示パネルの製造方法であり、そのような製造方法は一層好ましいものである。 [0016] Incidentally, the first to combine the second type of process, a manufacturing method of a liquid crystal display panel was allowed with the advantages of both is also a method of manufacturing the liquid crystal display panel according to the present invention, such a production method it is even more preferable.

【0017】前記第1、第2の基板のそれぞれの予備加熱温度への加熱は、例えば、該両基板周囲雰囲気の温度を該両基板を予備加熱温度に加熱する雰囲気温度に設定して行ってもよいし、第1、第2のステージにそれぞれ設けた加熱装置により行ってもよい。 [0017] The first, heat to each of the preheating temperature of the second substrate, for example, be performed by setting the temperature of both said substrate surrounding atmosphere to an atmosphere temperature of heating the both said substrate preheating temperature it may be, first, may be performed by a heating device provided respectively in the second stage.

【0018】予備加熱は行うのであれば、両基板の所定端部同士を重ね合わせる前に行う。 [0018] If the preliminary heating is carried out, it carried out prior to superimpose predetermined end portions of the two substrates. また、第1ステージ上の第1基板への液晶材料の塗布も該重ね合わせ前に行う。 Also, performed before the coating is also superposed said liquid crystal material to the first substrate on the first stage.

【0019】また本発明にかかる前記いずれの液晶表示パネルの製造方法においても、前記押圧部材及び加熱押圧部材のうち少なくとも押圧部材は、基板に圧接転動可能のローラ型部材であり、且つ、両端部径より中央部径がやや小径に形成された所謂逆クラウン型のローラ型部材であってもよい。 [0019] Also in the method of any of the liquid crystal display panel according to the present invention, at least the pressing member of the pressing member and heating the pressing member is a roller-type member capable pressed and rolled on the substrate, and both ends central diameter may be a roller type member slightly called reverse crown formed smaller in diameter than Bu径. このような部材を採用すると、押圧ローラによる基板押圧に際して基板の皺発生が抑制される。 By adopting such a member, wrinkling of the substrate is suppressed when the substrate pressing by the pressing roller.

【0020】また、より一層両基板間から脱気したり、 [0020] In addition, or degassed from between the more the two substrates,
液晶材料中の気泡の発生を抑制するために、前記貼り合わせ工程(仮貼り合わせ工程、或いは仮貼り合わせ工程及び本貼り合わせ工程)を所定の減圧雰囲気下で行ってもよい。 In order to suppress the generation of air bubbles in the liquid crystal material, the bonding step (temporary bonding step, or temporary bonding step and the laminating step) may be performed under a depressurized atmosphere. その場合、該減圧雰囲気圧として13Pa〜4 In that case, 13Pa~4 as the reduced pressure atmosphere pressure
0Pa(0.1Torr〜0.3 Torr)程度を例示できる。 0Pa can be exemplified (0.1Torr~0.3 Torr) degree.

【0021】また、第1及び第2のステージによる第1 [0021] In addition, the first by the first and second stage
及び第2の基板の保持は、それには限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸気孔を介して基板を吸引保持する場合を挙げることができる。 And the second substrate holding is not limited to, as a typical example, mention may be made of a case of sucking and holding the substrate through an intake hole formed in the stage.

【0022】また、前記のいずれの製造方法においても、第1及び第2の基板の位置合わせは各種手法で行える。 [0022] In any of the manufacturing method of the alignment of the first and second substrates can be performed by various techniques. 例えばそれ自体すでに知られている基板やパネルの位置合わせ手法を用いて行える。 For example performed using a registration method of the substrate and panels are known per se already.

【0023】位置合わせの方法として次の方法を例示できる。 [0023] can be exemplified the following methods as a method for alignment.

【0024】先ず、第1、第2の基板が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両基板の所定端部同士の重ね合わせ、それに続く仮貼り合わせ工程等が実施されるように位置決めされた合わせマークを第1、第2のそれぞれのステージに予め設けておくとともに、第1基板に第1ステージの合わせマークに合致させるべき合わせマークを、第2基板に第2ステージの合わせマークに合致させるべき合わせマークを予め設けておく。 [0024] First, first, superposition of predetermined end portions of both the substrate later in a state where the second substrate is accurately aligned, the temporary bonding process or the like followed is positioned to be carried out the first mark combined with advance provided in the second respective stages, the alignment mark should match the alignment marks of the first stage to the first substrate, to meet the alignment marks of the second stage to the second substrate It provided in advance and the combined mark should. そして、 And,
(a)各ステージ上に対応する基板を配置し、該ステージと基板の合わせマークを目視観察又はカメラ観察しながら該基板を手作業で動かして位置合わせする。 (A) placing the substrate corresponding to the respective stages, aligns move manually the substrate while the alignment mark of the stage and the substrate was visually observed or camera observation. 或いは、(b)各ステージ上又はその上方に対応する基板を配置し、該ステージと基板の合わせマークをカメラ観察しながら基板をX−Y−θ駆動装置で動かして位置合わせする。 Alternatively, (b) placing the substrate corresponding on or above the respective stages, aligns by moving the alignment mark of the stage and the substrate of the substrate while the camera observed by X-Y-θ drive device. ステージ上方に基板を配置して位置合わせするときは、位置合わせ後に該基板をステージに載置すればよい。 When aligned by placing the substrate above the stage may be placed on the substrate on the stage after alignment.

【0025】或いは次の方法も例示できる。 [0025] or even the following methods can be exemplified. すなわち、 That is,
ステージにX−Y−θ駆動が可能である基板保持部を設けておき、該保持部に予め位置合わせマークを設けた基板を保持させ、該基板の合わせマークをカメラで観察しながら該保持部をX−Y−θ駆動装置で動かすことでパネル素子の位置合わせを行う。 May be provided a substrate holder is capable of X-Y-θ drive to the stage, to hold a substrate provided with a pre-alignment mark on the holding portion, the holding portion while observing the alignment mark of the substrate in the camera the aligning of the panel element by moving in X-Y-θ drive device. この場合基板の位置合わせは、第1、第2の基板が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの工程が実施されるように行う。 Alignment of this substrate is carried out as the first, later step in a state where the second substrate is accurately aligned is performed.

【0026】いずれにしても、X−Y−θ駆動装置による位置合わせは、X−Y−θ駆動装置を手動操作して行ってもよいが、カメラで検出されるマーク情報(例えばその位置情報等)に基づいて基板を位置合わせするようにX−Y−θ駆動装置動作を制御することで行ってもよい。 [0026] In any case, positioning by X-Y-θ drive device, the X-Y-θ drive device may be performed by manual operation, but the mark information (such as its position information detected by the camera it may be performed by controlling the X-Y-θ drive device operable to align the substrate based on etc). 後者の場合には基板、パネル等の位置合わせのための画像処理法を利用できる。 In the latter case it may use the image processing method for a substrate, alignment of such panels.

【0027】なおX−Y−θ駆動装置は、言うまでもなく、物体を方向X、これに垂直な方向Yに動かすとともにX−Y平面に垂直な軸の周りに回動させることができる装置である。 It should be noted X-Y-theta drive, of course, is a device which can be rotated about an axis perpendicular to the X-Y plane with moving the object direction X, the perpendicular direction Y which .

【0028】前記位置合わせマークは液晶マーク、エレクトロルミネッセンスマーク等として通電により発光するものとしてもよい。 [0028] The alignment marks may be one that emits light by energizing the liquid crystal marks, electroluminescence marks and the like.

【0029】本発明は次の液晶表示パネルの製造装置も提供する。 [0029] The present invention also provides apparatus for manufacturing a next liquid crystal display panel. すなわち、第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造装置であり、 That is, an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel sandwiched the liquid crystal material layer and seal wall surrounding the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the first and second substrates,
一方の面に樹脂柱を形成した第1基板を他方の面側で保持する第1ステージと、第1基板を第1ステージ上に位置合わせするための手段と、一方の面にスペーサを散布付着させるとともにシール壁を形成した第2基板を他方の面側で保持する第2ステージであって第1ステージに対し所定の位置関係に配置された第2ステージと、第2 A first stage for holding one surface of the first substrate formed with the resin columns on the other side, and means for aligning the first substrate on the first stage, sprayed attaching spacers on one side a second stage disposed in a predetermined positional relationship with respect to the first stage and a second stage for holding a second substrate formed with the sealing wall on the other side causes the second
基板を第2ステージ上に位置合わせするための手段と、 And means for aligning the substrate on the second stage,
第1及び第2の基板をそれぞれの予備加熱に加熱する予備加熱装置と、第1ステージに位置合わせして保持される第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布装置と、第1及び第2のステージ上にそれぞれ位置合わせされて保持される第1及び第2の基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を前記液晶材料塗布装置により塗布された液晶材料を間にして重ね合わせるように第1及び第2のステージを相対的に移動させる第1 A preheating device for heating the first and second substrates to each preheating, the liquid crystal material application device for applying the liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage, during the liquid crystal material applied to each other a predetermined end portion of both said substrate by said liquid crystal material application device causes the opposite first and second substrate to be held by being respectively aligned with the first and the second stage the is the first and second stage so as to superimpose it relatively moves to one
駆動装置と、所定端部同士が重ね合わされた両基板を第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着する押圧部材と、両基板が押圧部材により第1ステージとの間に挟着された状態で第1ステージを、両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていくように該押圧部材に対し相対的に移動させる第2駆動装置と、両基板の仮貼り合わせされた部分を第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、前記予備加熱温度より高い本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージに対して相対的に移動可能の加熱押圧部材とを備えている液晶表示パネルの製造装置である。 A driving device, sandwiched between a pressing member for clamped under a predetermined pressure between the first stage the two substrates to each other a predetermined end are superimposed, the two substrates of the first stage by the pressing member the first stage in a state of being, moved relatively to the pressing member so as gradually aligned provisionally bond the two substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material between the substrates a second driving device, the temporary bonding portion of the two substrates under a predetermined pressure between the first stage and, first while sandwiched under temperature bonding higher the than the preheating temperature an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel and a heated pressure member movable relative to the stage.

【0030】この装置においても、第1、第2の基板をそれぞれの予備加熱温度へ加熱する予備加熱装置は、例えば、第1、第2のステージにそれぞれ設けられた予備加熱装置であっても、或いは第1、第2の基板が保持される第1、第2のステージの周囲雰囲気温度を加熱することで第1、第2の基板を予備加熱する加熱装置であってもよい。 [0030] In this apparatus, first, preheating device for heating the second substrate to each of the preheating temperature is, for example, first, even preheating device provided respectively in the second stage or first, first second substrate is held, first by heating the surrounding atmosphere temperature of the second stage, the second substrate may be a heating device for preheating.

【0031】また、押圧部材及び加熱押圧部材のうち少なくとも押圧部材は、基板に圧接転動可能のローラ型部材であり、且つ、両端部径より中央部径がやや小径に形成されたローラ型部材であってもよい。 Further, at least a pressing member of the pressing member and heating the pressing member is a roller-type member capable pressed and rolled on the substrate, and the central portion diameter than both end portion diameter is slightly smaller in diameter roller type member it may be.

【0032】さらに、両基板の貼り合わせを所定の減圧雰囲気下で行うための減圧室を備えていてもよい。 Furthermore, it may be provided with a vacuum chamber for performing bonding of the two substrates under predetermined reduced pressure atmosphere. その場合、該減圧雰囲気圧として13Pa〜40Pa(0. In that case, 13Pa~40Pa (0 as the reduced pressure atmosphere pressure.
1Torr〜0.3 Torr)程度を例示できる。 1Torr~0.3 Torr) can be exemplified extent.

【0033】この製造装置によると、第1基板を第1ステージに、第2基板を第2ステージに位置合わせ手段により位置合わせして保持させる。 [0033] According to this manufacturing apparatus, the first substrate to the first stage, is held by the second substrate aligning the alignment means in the second stage.

【0034】また予備加熱装置により第1及び第2の基板をそれぞれの予備加熱温度に予備加熱する。 Further preheating the first and second substrates by the preliminary heating device in each of the preheating temperature.

【0035】液晶材料塗布装置により第1ステージに位置合わせして保持される第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する。 [0035] applying a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage by the liquid crystal material application device.

【0036】しかるのち、第1駆動装置により第1及び第2のステージを相対的に移動させて第1及び第2のステージ上にそれぞれ位置合わせされて保持された第1及び第2の基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる。 [0036] accordingly Thereafter, the first and second substrate held are respectively aligned with the first and the second stage by relatively moving the first and second stage by the first drive unit to each other a predetermined end portion of the both substrates superimposed by between the liquid crystal material causes the counter to.

【0037】さらに、所定端部同士が重ね合わされた両基板を押圧部材と第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着する。 Furthermore, the sandwiched under a predetermined pressure between the pressing member and the first stage of the two substrates to each other a predetermined end are overlapped.

【0038】次いで、第2駆動装置により第1ステージを押圧部材に対し相対的に移動させて両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく。 [0038] Then, the second drive device by the temporary bonding of the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material of the first stage between the substrates are relatively moved with respect to the pressing member going to.

【0039】そして加熱押圧部材により、仮貼り合わせされた部分を第1ステージとの間に所定の加圧力下に、 [0039] Then by heating the pressing member, the temporary bonding portion under a predetermined pressure between the first stage,
且つ、前記予備加熱温度より高い本貼り合わせ温度下に挟着しつつ、該加熱押圧部材を第1ステージに対して相対的に移動させて(換言すれば第1ステージを加熱押圧部材に対し相対的に移動させて)両基板を本貼り合わせする。 And, the preliminary while heating sandwiched higher the bonding under temperature than the heating pressing member is relatively moved with respect to the first stage (relative to the heating pressing member first stage in other words manner moved) to align the bonded two substrates.

【0040】第1及び第2のステージは基板保持のための装置を含んでいる。 The first and second stages includes a device for the substrate holding. かかる保持装置としては、それには限定されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接続される基板吸着のための吸気孔を挙げることができる。 Such holding devices include, but are not limited to, for example, provided on the stage, it can be mentioned suction hole for a substrate adsorption which is connected to an exhaust device.

【0041】各基板を対応するステージに位置合わせする手段としては次のものを例示できる。 [0041] can be exemplified include: as a means for aligning the corresponding stage of each substrate. (a')第1、第2の基板が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両基板の端部重ね合わせ、仮貼り合わせ及び本貼り合わせがなされるように位置決めされて設けられた第1、第2の各ステージ上の合わせマーク。 (A ') first, first the second substrate is provided to be positioned so accurately overlay the ends of the both substrates in a later aligned state, the temporary bonding and the bonding is performed , the second of the alignment mark on each stage.

【0042】かかる合わせマークを利用して前記表示パネル製造方法の位置合わせ方法例(a)で述べたように各ステージに基板を位置合わせできる。 The possible alignment of the substrate in each stage as described in alignment method example of the display panel manufacturing method using such alignment marks (a). (b')(a')で述べた各ステージ上の合わせマークと、ステージ上又はその上方で該ステージで保持されるべき基板を前記表示パネル製造方法の位置合わせ方法例(b)で述べたように位置合わせするための合わせマーク検出カメラ及びX−Y−θ駆動装置、或いはさらにカメラからの合わせマーク情報(例えばその位置情報)に基づき基板を位置合わせするようにX−Y−θ駆動装置動作を制御する制御部とを含む位置合わせ装置。 (B ') (a' and alignment marks on each stage as described in), it said substrate to be held by the stage the stage on or above in alignment method example of the display panel manufacturing method (b) X-Y-θ drive device to position the substrate on the basis of the aligning mark detecting cameras and X-Y-θ drive device combined for, or further alignment mark information from the camera (e.g., the position information) as alignment device and a control unit for controlling the operation.

【0043】また次の位置合わせ装置も例示できる。 [0043] Also exemplified next alignment device. すなわち、ステージに設けられたパネル素子保持部、該保持部を駆動するX−Y−θ駆動装置、保持部に保持された基板の合わせマークを検出するカメラ、及び該カメラからの合わせマーク情報に基づいて基板を位置合わせするようにX−Y−θ駆動装置動作を制御する制御部を含む位置合わせ装置である。 In other words, the panel element holding portion provided on the stage, X-Y-θ drive device for driving the holding portion, the camera detects the alignment mark of the substrate held by the holding portion, and the alignment mark information from the camera a positioning device comprising a control unit for controlling the X-Y-θ drive device operable to align the substrate based.

【0044】前記の第1駆動装置と第2駆動装置は一部が共通に構成されていてもよい。 The first drive and the second drive of the may be commonly configured part. 一方が他方の一部であってもよい。 One may be a part of the other.

【0045】なお、本発明において第1、第2の基板の仮貼り合わせは、例えば液晶材料と基板との相互付着性を利用して行ってもよい。 [0045] The first in the present invention, the temporary bonding of the second substrate, for example may be performed using the mutual adhesion between the liquid crystal material and the substrate. また例えば、シール壁を加熱下に硬化する樹脂で形成し、樹脂柱を加熱下に軟化、溶融する樹脂で形成し、予備加熱温度でシール壁を若干硬化させるとともに樹脂柱を軟化させて基板への付着性を生じさせ、本貼り合わせでは、該シール壁を硬化させるとともに基板に接着させ、樹脂柱を基板に融着させてもよい。 Further, for example, the sealing wall is formed of a resin which is cured under heating, softening the resin column under heating to form a resin melt, the resin column is softened with cure slightly sealing wall at the preheating temperature to the substrate causing adherent, in this bonding, adhered to a substrate with curing the sealing wall may be fused resin columns on the substrate.

【0046】 [0046]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について説明する。 Embodiment of the embodiment of the invention] Hereinafter the present invention will be described.

【0047】図1(A)は製造しようとする反射型液晶表示パネルの1例の概略断面図である。 [0047] FIG. 1 (A) is a schematic cross-sectional view of one example of the reflection type liquid crystal display panel to be produced.

【0048】この液晶表示パネルAは対向する一対の透明基板S1、S2間に定められた色で画像表示するための液晶材料層LCを挟着したものである。 [0048] is intended the liquid crystal display panel A was sandwiched a liquid crystal material layer LC for image display in a color defined between a pair of transparent substrates S1, S2 facing.

【0049】各基板S1、S2には液晶材料層LCに対向する面にそれぞれ電極T1、T2が形成されている。 [0049] and the electrodes T1, T2 respectively are formed on a surface facing the liquid crystal material layer LC in each substrate S1, S2.
電極T1は細い帯状の電極であり、基板S1にその長手方向α(図1(B)参照)に平行に複数本形成されている。 Electrode T1 is strip-like electrodes and are parallelly formed in parallel in the longitudinal direction α in the substrate S1 (see FIG. 1 (B)). 電極T2も細い帯状の電極であり、基板S2にその短手方向βに、従って電極T1に直交する方向に平行に複数本形成されている。 Electrode T2 is also a strip-like electrodes and are parallelly formed in parallel that the transverse direction beta, thus in a direction perpendicular to the electrode T1 of the substrate S2.

【0050】各基板S1、S2にはさらに、絶縁膜IS [0050] Further to the substrates S1, S2, insulating film IS
及び配向膜Fも形成されている。 And an alignment film F is also formed.

【0051】液晶材料層LCにはスペーサSP及び樹脂柱RCが存在している。 The spacers SP and the resin columns RC are present in the liquid crystal material layer LC. スペーサSPは両基板間隙を所定のものに維持するためのものであり、樹脂柱RCは、 The spacer SP is for maintaining a gap between the substrates in a predetermined one, the resin columns RC are
それには限定されないがここでは、両基板間隙を所定のものに維持するとともに両基板を互いに結合するものである。 Here it is not limited to, those which bind together the two substrates while maintaining the gap between the substrates in a predetermined one.

【0052】また液晶材料層LCを囲繞して両基板周縁部間隙を閉じるシール壁SLも設けられている。 [0052] Also provided seal wall SL closing both substrate edge gap surrounds the liquid crystal material layer LC.

【0053】それには限定されないが、例えば樹脂柱R [0053] are not limited to, for example, a resin pillar R
Cは熱可塑性樹脂で形成し、シール壁SLは熱硬化性樹脂で形成する。 C is formed of a thermoplastic resin, the sealing wall SL is formed with a thermosetting resin.

【0054】より具体的には、それには限定されないがここでは、樹脂柱RCはポリウレタン樹脂で形成され、 More specifically, [0054], in this case, but are not limited to, resin columns RC is made of polyurethane resin,
シール壁SLはエポキシ樹脂で形成される。 Seal wall SL is formed of epoxy resin. この樹脂柱RCは70℃程度の予備加熱で軟化し、このシール壁S The resin column RC is softened in the preliminary heating at about 70 ° C., the sealing wall S
Lは70℃程度の予備加熱で若干硬化する。 L is hardened slightly preheating of approximately 70 ° C.. そして14 And 14
0℃程度の加熱で樹脂柱RCは基板に融着でき、シール壁SLは硬化して基板に接着する。 0 resin columns RC at ℃ about heating can fuse to the substrate, the sealing wall SL is adhered to the substrate and cured.

【0055】この反射型液晶表示パネルAは例えば次のように製造できる。 [0055] The reflection type liquid crystal display panel A can be prepared, for example, as follows. ・予め電極T1、絶縁膜IS及び配向膜Fを形成した、 - pre-electrodes T1, to form an insulating film IS and the alignment film F,
140℃程度の加熱に対しては耐熱性のあるポリカーボネート製の透明基板S1の片面に前記の樹脂柱RCを形成する一方、同じく予め電極T2、絶縁膜IS及び配向膜Fを形成した、140℃程度の加熱に対しては耐熱性のあるポリカーボネート製の透明基板S2の片面に前記のシール壁SLを形成するとともにスペーサSPを散布付着させる。 For about 140 ° C. heating while forming the resin columns RC on one surface of the polycarbonate transparent substrate S1, a heat-resistant, well in advance electrodes T2, to form an insulating film IS and the alignment film F, 140 ° C. for the degree of heating the spacer SP is sprayed deposited to form the said seal wall SL on one surface of the polycarbonate transparent substrate S2, which is heat-resistant. このとき樹脂柱RCやシール壁SLは所定の高さより若干高く形成しておく。 At this time the resin columns RC and seal wall SL is kept slightly higher form than a predetermined height. シール壁SLにもスペーサSPを混入しておいてもよい。 A spacer SP may have been mixed to seal wall SL. また基板S1の反対側の外面には黒色の光吸収層BKを形成しておく。 Also on the opposite side of the outer surface of the substrate S1 previously formed a light absorbing layer BK of the black.

【0056】樹脂柱RCは個々に独立形成されていてもよいが、部分的あるいは全体的に連続していてもよい。 [0056] Resin column RC is may be individually and independently forming, in part or may be entirely continuous.
樹脂柱RCの形状としては断面円形、多角形等の柱や、 Sectional circular shape of the resin pillar RC, pillars or polygonal,
壁状に延在する柱等種々採用できる。 Can pillars etc. Various employed extending like a wall.

【0057】図1(B)は基板S2におけるシール壁S [0057] FIG. 1 (B) sealing wall S in the substrate S2
Lを平面から見た状態を示している。 It shows the state as seen from the plane L. 図1(B)に示す壁部SL'については後述する。 It will be described later wall SL 'shown in FIG. 1 (B). ・基板S1の予め樹脂柱RCを設けた面の端部に液晶材料Lを塗布する。 An end of a surface provided with a pre-resin columns RC of-substrate S1 to apply the liquid crystal material L to. ・基板S2をそのシール壁SLを設けた面を基板S1に向けて両基板S1、S2の端部同士を液晶材料Lを間にして重ね合わせる。 - a substrate S2 surface provided with the seal wall SL toward the substrate S1 two substrates S1, S2 the ends of the superimposed and between the liquid crystal material L. ・両基板S1、S2を両側から順次挟着しつつ、両基板間に液晶材料Lを押し広げながら両基板を仮貼り合わせしていく。 · Sequentially while pinched the substrates S1, S2 from both sides, continue to fit temporarily attached to both substrates while push the liquid crystal material L between the substrates. ・仮貼り合わせされた部分を本貼り合わせ温度に加熱しながら両側から加圧下に順次挟着していき、両基板を本貼り合わせする。 - continue to successively pinched from both sides under pressure while heating the temporary bonding portion to the bonding temperature, aligning the bonding of both substrates. この本貼り合わせではシール壁SLは硬化するとともに基板に接着し、樹脂柱RCは基板に融着し、且つ、シール壁及び樹脂柱は両基板間隔を所定の間隔とする高さに押圧調整される。 Seal wall SL in the book lamination is adhered to the substrate with cured resin columns RC are fused to the substrate, and the seal wall and the resin column is pressed adjusted to the height of the both substrates spacing a predetermined distance that.

【0058】このようにして反射型液晶表示パネルAが得られる。 [0058] In this way the reflective-type liquid crystal display panel A is obtained.

【0059】図2はかかる液晶表示パネルAの製造に用いることができる液晶表示パネル製造装置例の概略構成を示している。 [0059] Figure 2 shows a schematic configuration of a liquid crystal display panel manufacturing apparatus example that can be used for the manufacture of such liquid crystal display panel A.

【0060】図2に示す装置は、第1基板S1を保持するための第1ステージ100、第2基板S2を保持するための、第1ステージ100に対し所定の位置関係を維持している第2ステージ200、第1ステージ100に第1基板S1を位置合わせする位置合わせ装置400、 [0060] apparatus shown in FIG. 2, for holding the first stage 100, a second substrate S2 for holding a first substrate S1, first to the first stage 100 maintains a predetermined positional relationship 2 stage 200, positioning device 400 for aligning a first substrate S1 to the first stage 100,
第2ステージ200に第2基板S2を位置合わせする位置合わせ装置500、第1ステージ100に保持される第1基板S1に液晶材料Lを配置する液晶材料塗布装置1000、第1及び第2ステージ100、200に保持される第1及び第2の基板S1、S2を対向させるとともに両基板S1、S2の所定端部同士を重ね合わせるように第1及び第2ステージ100、200を相対的に移動させる第1駆動装置(ステージ100の駆動装置31 Alignment device 500 to align the second substrate S2 to the second stage 200, the liquid crystal material application device 1000 to the first substrate S1, which is held on the first stage 100 to place the liquid crystal material L, the first and second stages 100 , relatively moving the first and second substrates S1, S2 the first and second stages 100 and 200 so as to together to face overlapping the predetermined end portions of the substrates S1, S2 and held in the 200 drive device 31 of the first driving apparatus (stage 100
0とステージ200の駆動装置320の組み合わせ)、 The combination of the driving device 320 of 0 and the stage 200),
該重ね合わされる第1及び第2の基板S1、S2の端部を第1ステージ100へ所定の加圧力下に押圧する押圧部材610、押圧部材610にて両基板S1、S2が押圧される第1ステージ100を、該押圧部材による基板加圧状態を維持しつつ、且つ、第2基板S2を第2ステージ200から引出しつつ第1ステージ100上で両基板S1、S2を順次仮貼り合わせしていくように、押圧部材610及び第2ステージ200に対し相対的に移動させる第2駆動装置310、両基板の仮貼り合わせされた部分を第1ステージ100の移動に伴って加熱しつつ加圧する加熱押圧部材70、ステージ100、200に保持される基板S1、S2の周囲気雰囲気圧を所定の減圧状態に設定するための減圧室8及びこれに接続された排気装置9、及び The pressing member 610, two substrates S1 at the pressing member 610, S2 of pressing the ends of the first and second substrates S1, S2 to the first stage 100 under the predetermined pressure is superimposed the is pressed the first stage 100, while maintaining the substrate under pressure by the pressing member, and, with a second substrate S2 sequentially provisionally bonded to the substrates S1, S2 on the first stage 100 while the drawer from the second stage 200 go way, heat pressurize the second drive device 310 for relatively moving with respect to the pressing member 610 and the second stage 200, the temporary bonding portion of the two substrates while heating with the movement of the first stage 100 the pressing member 70, vacuum chamber 8 and the exhaust device 9 connected thereto for setting the ambient air atmosphere pressure of the substrate S1, S2 in a predetermined vacuum state held on the stage 100, 200 and, 圧室8内を両基板S1、S2を所定温度へ予備加熱できるように加熱する予備加熱装置Hを備えている。 And a pre-heating device H for heating the pressure chamber 8 so as to be able to preheat the two substrates S1, S2 to a predetermined temperature.

【0061】第2駆動装置310は第1駆動装置(第1 [0061] The second driving device 310 first driving unit (the first
ステージの駆動装置310及び第2ステージの駆動装置320)の一部でもある。 It is also part of the stage driving device 310 and the second stage of the driving device 320).

【0062】第1及び第2ステージ100、200は第1及び第2吸着テーブル101、201、基板保持のための基板保持装置110、210をそれぞれ含んでいる。 [0062] The first and second stages 100 and 200 include first and second suction tables 101, 201, the substrate holding apparatus 110 and 210 for the substrate holding respectively.

【0063】第1及び第2吸着テーブル101、201 [0063] The first and second suction tables 101, 201
には基板S1、S2を保持する領域に基板吸着のための吸気孔101a、201aがそれぞれ所定の間隔をおいて複数設けられている。 It provided with a plurality at an air inlet 101a, 201a of a predetermined respective intervals for regions to the substrate suction for holding the substrate S1, S2 in.

【0064】基板保持装置110、210はかかる吸気孔101a、201aのほか、吸着テーブルにおける排気室111、211、フレキシブルチューブ112、2 [0064] The substrate holding apparatus 110 and 210 according suction holes 101a, addition of 201a, the exhaust chamber in the suction table 111, 211, flexible tubes 112,
12、排気装置113、213を含んでおり、排気装置113、213はチューブ112、212の一端部に、 12, includes an exhaust device 113, 213, exhaust system 113, 213 at one end of the tube 112, 212,
チューブ112、212の他端部は排気室111、21 The other end of the tube 112, 212 is an exhaust chamber 111,21
1にそれぞれ接続されており、排気室111、211は吸着テーブル101、201の吸気孔101a、201 1 are respectively connected to the exhaust chamber 111, 211 suction holes 101a of the suction table 101, 201, 201
aにそれぞれ連通している。 And it communicates with each in a. かくして排気装置113、 Thus, exhaust system 113,
213の運転により、空気が吸気孔101a、201a The 213 operation, the air intake holes 101a, 201a
から排気室111、211、チューブ112、212を通ってそれぞれ排気される。 Exhaust chamber from 111, 211, and is exhausted respectively through the tube 112, 212.

【0065】第1ステージ100の駆動装置310は、 [0065] drive 310 of the first stage 100,
それには限定されないが、ガイドレール311に沿って設けたラックギア311aに第1ステージ100に設けたピニオンギア313を噛み合わさせ、このピニオンギア313を第1ステージ100に搭載したモータ312 But are not limited to, let engage the pinion gear 313 provided on the first stage 100 to the rack gear 311a provided along the guide rail 311, a motor 312 equipped with the pinion gear 313 to the first stage 100
で往復回転させるものである。 In those reciprocally rotate. 第1ステージ100は駆動装置310によりガイドレール311に沿って移動し、基板位置合わせ位置Q1、液晶材料塗布位置Q2、 The first stage 100 is moved along the guide rail 311 by a driving device 310, the substrate alignment position Q1, the liquid crystal material application position Q2,
基板仮貼り合わせ開始位置Q3又は基板本貼り合わせ開始位置Q4等に配置される。 It is arranged on the substrate temporary bonding start position Q3 or substrate present bonding start position Q4 and the like. この移動にあたっては、第1ステージ100に設けたスライダ102がガイドレール311に沿って摺動する。 In this movement, slider 102 provided on the first stage 100 slides along the guide rail 311.

【0066】第2ステージ200の駆動装置320は、 [0066] drive system 320 of the second stage 200,
第2ステージ支持アーム321とこれを駆動する回転駆動部322を含んでいる。 A second stage support arm 321 includes a rotation driving unit 322 for driving the same.

【0067】第2ステージ支持アーム321は、一端部で回転駆動部322の軸322aに支持されており、他端部で第2ステージ200に連結されている。 [0067] The second stage support arm 321 is supported by a shaft 322a of the rotary drive portion 322 at one end, is connected to the second stage 200 at the other end. 回転駆動部322は定位置に配置されており、軸322aを所定のタイミングで所定方向(図中A方向)又は該所定方向とは反対方向(図中B方向)に回動できる。 Rotation driving unit 322 is disposed in a fixed position, the predetermined direction (in the drawing direction A) or the predetermined direction with the axis 322a predetermined timing can be rotated in the opposite direction (in the drawing direction B). かくして、 Thus,
回転駆動部322の駆動による軸322aの回動により支持アーム321及び第2ステージ200が所定のタイミングでA方向又はB方向に旋回される。 Support arm 321 and the second stage 200 by the rotation of the shaft 322a by the driving of the rotation drive unit 322 is pivoted in the A direction or the B direction at a predetermined timing.

【0068】押圧部材610はここでは断面円形の回転自在の押圧ローラであり、しかも両端部径より中央部径が若干小径に形成された押圧ローラである。 [0068] pressing member 610 is a pressing roller rotatable circular cross section here, moreover a pressing roller central portion diameter than both end portion diameter is formed slightly smaller in diameter. この押圧ローラ610は図示を省略した昇降駆動装置により昇降可能である。 The pressing roller 610 can be moved up and down by a not shown lifting drive. かくして押圧ローラ610が所定のタイミングで基板仮貼り合わせ開始位置Q3に位置する第1及び第2基板S1、S2を第1ステージ100へ所定加圧力下に押圧する押圧位置P1又は位置P1から上方へ退避する退避位置P2に配置される。 Thus the pressing roller 610 upward from the pressing position P1 or position P1 for pressing the first and second substrates S1, S2 under a predetermined pressure to the first stage 100 is located in the mating start position Q3 stick temporary substrate at a predetermined timing It is placed at the retracted position P2 to be saved.

【0069】加熱押圧部材70は直径が一様な断面円形の回転自在の押圧ローラである。 [0069] heating the pressing member 70 is a press roller rotatable diameter of uniform circular cross-section. さらにこの加熱押圧ローラ70は加熱装置71を内蔵している。 Furthermore this heat pressing roller 70 has a built-in heating device 71. 加熱押圧ローラ70は図示を省略した昇降駆動装置により昇降可能である。 Heat pressing roller 70 can be moved up and down by a not shown lifting drive. かくして加熱押圧ローラ70が所定のタイミングで基板本貼り合わせ開始位置Q4に位置する第1及び第2基板S1、S2を第1ステージ100へ所定加圧力下に、所定温度に加熱しつつ押圧する押圧位置P5又は位置P5から上方へ退避する退避位置P6に配置される。 Thus the first and second substrates S1, S2 the heating pressure roller 70 is positioned at the starting position Q4 bonded substrate present at a predetermined timing under a predetermined pressure to the first stage 100, the pressing of pressing while heating to a predetermined temperature It is arranged from the position P5 or position P5 to the retracted position P6 for saving upward.

【0070】液晶材料塗布装置1000は、液晶材料塗布位置Q2の上方に配置されており、図示を省略した昇降駆動装置により昇降可能である。 [0070] The liquid crystal material application device 1000 is disposed above the liquid crystal material application position Q2, which is vertically movable by not shown lifting drive. 所定のタイミングで第1基板S1に液晶材料Lを供給するための液晶材料供給位置P3又は位置P3から上方へ退避する退避位置P Retracted position P to save the first substrate S1 is a predetermined timing upward from the liquid crystal material supply position P3 or the position P3 for supplying liquid material L
4に配置される。 It is arranged in four.

【0071】この液晶材料塗布装置1000によると、 [0071] According to the liquid crystal material coating apparatus 1000,
図示を省略した昇降駆動装置にて所定のタイミングで液晶材料供給位置P3に配置して液晶材料Lを放出することで、液晶材料塗布位置Q2に位置する基板S1の所定一端部に液晶材料Lを配置できる。 By releasing the liquid crystal material L arranged at a predetermined timing at the omitted lifting drive device shown in the liquid crystal material supply position P3, the liquid crystal material L to a predetermined end portion of the substrate S1, which is located in the liquid crystal material coating position Q2 It can be arranged.

【0072】位置合わせ装置400は、基板位置合わせ位置Q1の上方に配置されている。 [0072] alignment device 400 is disposed above the substrate alignment position Q1.

【0073】この位置合わせ装置400は2台のカメラ410(ここではCCDカメラ)、ステージ100に組み込まれたX−Y−θ駆動装置D1及び制御部430を含んでいる。 [0073] The alignment device 400 (in this case CCD camera) of two cameras 410 includes, X-Y-θ drive devices D1 and the control unit 430 is incorporated in the stage 100. ステージ100における吸着テーブル10 Suction table in stage 100 10
1はX−Y−θ駆動装置D1によりX−Y−θ駆動可能である。 1 is a X-Y-θ drivable by X-Y-θ drive device D1.

【0074】図2に示すCCDカメラ410は制御部4 [0074] CCD camera 410 shown in FIG. 2 is a control unit 4
30に接続されており、ステージ100の吸着テーブル101に保持された基板S1に予め形成された合わせマークを観察し、そのマーク情報を制御部430に送ることができる。 Is connected to the 30, to observe the alignment mark previously formed on the substrate S1, which is held by the suction table 101 of the stage 100, it can send the mark information to the controller 430.

【0075】制御部430はカメラ410からのマーク情報に基づき、基板S1を所定位置に位置合わせするようにX−Y−θ駆動装置D1の動作を制御する。 [0075] The control unit 430 based on the mark information from the camera 410, controls the operation of the X-Y-θ drive devices D1 to align the substrate S1 to the predetermined position.

【0076】位置合わせ装置500は、第2ステージ2 [0076] alignment device 500, the second stage 2
00の上方に配置されている。 00 is arranged above.

【0077】この位置合わせ装置500も2台のカメラ510(ここではCCDカメラ)、ステージ200に組み込まれたX−Y−θ駆動装置D2及び制御部530を含んでいる。 [0077] The positioning device 500 also two cameras 510 (CCD cameras in this case), and includes a X-Y-θ drive device D2 and the control unit 530 is incorporated in the stage 200. ステージ200における吸着テーブル20 Suction table at stage 200 20
1はX−Y−θ駆動装置D2によりX−Y−θ駆動可能である。 1 is a X-Y-θ drivable by X-Y-θ drive device D2.

【0078】図2に示すCCDカメラ510は制御部5 [0078] CCD camera 510 shown in FIG. 2 is a control unit 5
30に接続されており、ステージ200の吸着テーブル201に保持された基板S2に予め形成された合わせマークを観察し、そのマーク情報を制御部530に送ることができる。 Is connected to the 30, to observe the alignment mark previously formed on the substrate S2, which is held by the suction table 201 of the stage 200, it can send the mark information to the controller 530.

【0079】制御部530はカメラ510からのマーク情報に基づき、基板S2を所定位置に位置合わせするようにX−Y−θ駆動装置D2の動作を制御する。 [0079] The control unit 530 based on the mark information from the camera 510, controls the operation of the X-Y-θ drive device D2 to align the substrate S2 to the predetermined position.

【0080】位置合わせ装置500におけるカメラ51 [0080] The camera 51 in the alignment device 500
0は、基板S2の位置合わせ時以外は第2ステージ20 0, except when the alignment of the substrate S2 second stage 20
0の旋回を許すように図示を省略した装置により上昇退避している。 It has risen retracted by omitting the apparatus shown to permit pivoting of 0.

【0081】ステージ100、200上での基板S1、 [0081] substrate S1 of on the stage 100, 200,
S2の位置合わせは、後ほどの両基板S1、S2の所定端部同士の重ね合わせ、押圧ローラ610による両基板の仮貼り合わせ及び加熱押圧ローラ70による両基板の本貼り合わせが、両基板が精度よく位置合わせされた状態でなされるように行われる。 S2 alignment is overlay predetermined end portions of the substrates S1, S2 of the later, the temporary bonding of the substrates by the pressing roller 610 and the bonding of the substrates by heating the pressing roller 70, both substrates accuracy It may be performed as is done in the aligned state.

【0082】なお、減圧室8は基板S1、S2を出入するための図示を省略した気密ドアを有している。 [0082] Incidentally, the decompression chamber 8 has an airtight door (not shown) for entering and exiting the substrate S1, S2.

【0083】次にかかる装置による図1(A)に示すタイプの反射型液晶表示パネルAの製造の一例を図3及び図4を参照しながら説明する。 [0083] by then such a device an example of the production of reflection type liquid crystal display panel A of the type shown in FIG. 1 (A) with reference to FIGS. 3 and 4 will be described.

【0084】図3は図2に示す液晶表示パネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例の一部(1)から(4)を説明するための図であり、図4は図3に示す工程の続きの工程(5)から(8)を説明するための図である。 [0084] Figure 3 is a diagram for explaining the (4) from a part of one example of the liquid crystal display panel production process (1) by the liquid crystal display panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2, step 4 is shown in FIG. 3 is a view from the continuation of step (5) for explaining an (8).

【0085】なお、図3及び図4では、簡略化のため一部の部品については図示を省略してある。 [0085] In FIG. 3 and FIG. 4, for some parts for simplification are not shown.

【0086】図1に示す液晶表示パネルAを製造するにあたり、電極T1、絶縁膜IS及び配向膜Fを予め形成した基板S1を準備するとともに、電極T2、絶縁膜I [0086] In producing a liquid crystal display panel A shown in FIG. 1, the electrodes T1, with providing a substrate S1, which has been previously formed insulating film IS and the alignment film F, electrodes T2, the insulating film I
S及び配向膜Fを予め形成した基板S2を準備する。 Providing a substrate S2 a preformed S and the alignment film F.

【0087】さらに、第1基板S1に前記の樹脂柱RC [0087] Further, the resin columns RC to the first substrate S1
を形成し、第2基板S2にスペーサSPを散布付着させるとともに前記のシール壁SLを形成する。 It is formed and to form the sealing wall SL causes the spacer SP is sprayed attached to a second substrate S2. そして、 (1)第1基板S1を樹脂柱RCを設けた面とは反対側の面で第1ステージ100に吸着保持させる。 Then, (1) adsorption is held by the first stage 100 at the surface opposite to the first surface of the substrate S1 is provided a resin columns RC. また第2 The second
基板S2をスペーサSP及びシール壁SLを設けた面とは反対側の面で第2ステージ200に吸着保持させる。 The substrate S2 is a surface provided with a spacer SP and the sealing wall SL is attracted and held by the second stage 200 at the surface opposite.

【0088】さらに第1ステージ100に保持された基板S1を位置合わせ装置400にて位置合わせするとともに第2ステージ200に保持された基板S2を位置合わせ装置500にて位置合わせする。 [0088] registering further position the substrate S2, which is held by the second stage 200 with the substrate S1, which is held to align with the alignment device 400 by positioning device 500 to the first stage 100. 位置合わせ後、装置500におけるカメラ510は上昇させておく。 After the positioning, it keeps the camera 510 is raised in the device 500.

【0089】また減圧室8内を排気装置9の運転にて減圧し、それには限定されないが、ここでは13Pa〜4 [0089] Further reducing the pressure in vacuum chamber 8 at the operation of the exhaust device 9, but are not limited to, here 13Pa~4
0Pa(略0.1Torr〜0.3Torr)に設定するとともに予備加熱装置Hを運転して減圧室内雰囲気温度を上げ、これによりステージ100、200に位置合わせされて保持された基板S1、S2を共に70℃程度まで予備加熱する。 0Pa raised vacuum chamber ambient temperature by driving the pre-heater H and sets the (substantially 0.1Torr~0.3Torr), thereby both substrates S1, S2 held aligned with the stage 100, 200 preheated to about 70 ° C.. (2)ステージ100の駆動装置310により第1基板S1を吸着保持している第1ステージ100を基板S1 (2) substrate first stage 100 by the drive unit 310 of the stage 100 has a first substrate S1 and held suction S1
の所定端部が液晶材料塗布装置510の下方に来る位置、すなわち液晶材料塗布位置Q2まで移動させ、液晶材料塗布装置1000を材料供給位置P3に降下させる。 Position predetermined end comes below the liquid crystal material application device 510, i.e., it is moved to the liquid crystal material application position Q2, lowering the liquid crystal material application device 1000 in the material supply position P3. そして基板S1の所定一端部に液晶材料Lを所定量配置する。 And a predetermined amount placed a liquid crystal material L to a predetermined end portion of the substrate S1. このとき、塗布装置510は液晶材料Lを基板S1の端部に基板幅方向にわたりライン状に塗布する。 At this time, the coating device 510 for coating the liquid crystal material L linearly across the substrate width direction on an end portion of the substrate S1. (3)液晶材料塗布装置1000を上昇させて位置P3 (3) by raising the liquid crystal material application device 1000 position P3
から退避位置P4に退避させ、ステージ駆動装置310 It is retracted to the retracted position P4 from the stage driving device 310
により第1基板S1を吸着保持している第1ステージ1 The first stage of the first substrate S1 is held by suction by 1
00を、基板S1の液晶材料が塗布された端部が押圧ローラ610の下方に来る位置、すなわち基板仮貼り合わせ開始位置Q3に移動させる。 00, an end portion in which a liquid crystal material is coated substrate S1 is positioned to come below the pressing roller 610, i.e. moved to the start position Q3 bonding the temporary substrate. (4)第2基板S2を吸着保持している第2ステージ2 (4) the second stage is sucking and holding the second substrate S2 2
00をステージ駆動装置320にてA方向に旋回させ、 00 pivoted in the A direction by the stage driving device 320,
両基板S1、S2の所定端部が押圧ローラ610の下方に来る位置まで移動させることで、両基板S1、S2を対向させるとともに両基板S1、S2の所定端部同士を重ね合わせる。 By predetermined end portions of the two substrates S1, S2 are moved to a position that comes below the pressing roller 610, the substrates S1, S2 causes face overlapping the predetermined end portions of the substrates S1, S2. なお、この時点では、基板S2の端部は必ずしも基板S1上の液晶材料Lに接触する必要はない。 In this time, the edge of the substrate S2 are not necessarily in contact with the liquid crystal material L on the substrate S1. 該液晶材料Lの直近上方にあってもよい。 It may be in the immediate vicinity above the liquid crystal material L. (5)押圧ローラ610を基板押圧位置P1に降下させ、両基板S1、S2の重ね合わされた端部を第1ステージ100へ所定の加圧力下に押圧する。 (5) the pressing roller 610 is lowered to the substrate pressing position P1, to press the overlapped ends under predetermined pressure to the first stage 100 of the substrates S1, S2. (6)そのあと、ステージ駆動装置310により第1ステージ100を第2ステージ200及び押圧ローラ61 (6) Then, the first stage 100 second stage 200 and the pressing roller by the stage driving device 310 61
0に対し相対的に移動させることで、すなわち押圧ローラ610を第1及び第2基板S1、S2介在状態で第1 0 to by relatively moving, i.e. first the pressing roller 610 in the first and second substrates S1, S2 mediated conditions
ステージ100に対し相対的に従動転動させることで、 Be to relatively driven rolls with respect to the stage 100,
押圧ローラ610による基板加圧状態を維持しつつ、且つ、第2基板S2を第2ステージ200から引出しつつ、さらに両基板間に液晶材料Lを押し広げつつ、第1 While maintaining the substrate under pressure by the pressing roller 610, and, while withdrawing the second substrate S2 from the second stage 200, while further push the liquid crystal material L between the substrates, first
ステージ100上で両基板を順次仮貼り合わせしていく。 Going to the two substrates together sequentially temporarily attached on the stage 100. (7)引き続き、両基板S1、S2の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧ローラ70下に通過させる。 (7) Subsequently, the temporary bonding portion of the two substrates S1, S2 to pass under heat pressing roller 70. 加熱押圧ローラ70は基板到来に先立って内蔵ヒータ71で加熱されている。 Heat pressing roller 70 is heated by the internal heater 71 prior to the substrate arrives. そして仮貼り合わせされた基板の前記シール壁SLのうち基板進行方向γにおいて最下流側の部分SLa(図1(B)参照)が設けられている基板部位が到来するタイミングで押圧位置P5へ下降せしめられ、 And falling at a timing when the substrate portion arrives in the substrate traveling direction γ of the most downstream portion SLa (that see FIG. 1 (B)) is provided within the sealing wall SL provisional bonding has been the substrate to the pressing position P5 It is allowed,
これにより該基板部位で加熱押圧ローラ70と第1ステージ100による所定の加圧力下の挟着が開始される。 Thereby the heat pressing roller 70 in the substrate region clipping under predetermined pressure by the first stage 100 is started.
ステージ100の移動に伴い引き続き基板が進行することで、該基板S1、S2は140℃程度に加熱されながら本貼り合わせされていく。 By substrate continue with the movement of the stage 100 proceeds, the substrate S1, S2 goes is bonded the while being heated to about 140 ° C.. この本貼り合わせ温度による加熱によりシール壁SL及び樹脂柱RCが基板に接着するとともに、それらの高さが両基板間隔を所定のものにするように押圧調整される。 With seal wall SL and the resin columns RC by heating according to the present bonding temperature to adhere to the substrate, their height is pressed adjusted to those of the substrates interval given. (8)両基板S1、S2の終端部まで仮貼り合わせが終了すると押圧ローラ610は退避位置P2へ退避し、本貼り合わせが終了すると加熱押圧ローラ70が退避位置P6へ退避する。 (8) When the temporary bonding to the end portion of the substrates S1, S2 is terminated pressing roller 610 is retracted to the retracted position P2, the heating press roller 70 and the bonding is completed retreats to the retracted position P6.

【0090】その後は第1ステージ100、200による基板保持を解除する。 [0090] and then releases the substrate holding of the first stage 100, 200.

【0091】また、第2ステージ200をB方向に旋回させ、当初位置へ復帰させる。 [0091] Also, to pivot the second stage 200 in the B direction to return to the initial position.

【0092】かくして樹脂柱RCが冷やされて硬化したところで反射型液晶表示パネルAが得られる。 [0092] Thus the reflection type liquid crystal display panel A is obtained where the resin columns RC has hardened Refrigerated.

【0093】以上説明した液晶表示パネルAの製造では、第1基板S1は第1ステージ100に位置合わせして保持され、第2基板S2は第1ステージ100に対し所定の位置関係で配置された第2ステージ200に位置合わせして保持され、その後に貼り合わせされるので、 [0093] In the manufacture of the liquid crystal display panel A described above, the first substrate S1 is held in alignment with the first stage 100, the second substrate S2 is disposed in a predetermined positional relationship to the first stage 100 held in alignment with the second stage 200, since it is then combined into the adhesion,
両基板S1、S2が精度よく位置合わせされた液晶表示パネルAが得られる。 The liquid crystal display panel A that both substrates S1, S2 are accurately aligned to obtain.

【0094】また、両基板S1、S2は貼り合わせに先立って所定端部同士が重ね合わされるのであるが、この端部重ね合わせに際して、もしいずれか一方の基板のみ加熱され、他方の基板については加熱されていない状態で端部同士の重ね合わせがなされるならば、加熱されていない方の基板端部はその重ね合わせにより速やかに加熱されるが該端部以外の部分の加熱は遅れ、そのために該基板において熱膨張差のある部分が生じて基板に皺が発生したり、基板間液晶材料中に気泡が生じる恐れがある。 [0094] Moreover, the substrates S1, S2 are at the between predetermined end are superimposed prior to bonding, in the end superposition, if heated only one substrate or for other substrate if superposition between the ends is performed in a state of not being heated, the substrate end portion of which is not heated but is heated rapidly heating the portions other than the end portion delayed by the superposition, therefore there is a possibility that wrinkles are generated in the substrate occurs some portion of the thermal expansion difference in the substrate, air bubbles in the liquid crystal material between the substrates occurs.

【0095】しかしここでは、両基板S1、S2がそれぞれの予備加熱温度に加熱されてから、両基板S1、S [0095] Here, however, the two substrates S1, S2 is heated to each of the preheating temperature, the substrates S1, S
2の所定端部同士が重ね合わされるので、そのような皺の発生や気泡の発生が抑制され、両基板の仮貼り合わせが良好になされる。 Since the predetermined end portions of 2 are overlapped, such wrinkles or generation of bubbles is suppressed, the provisional bonding of the substrates is made good.

【0096】また、両基板S1、S2の仮貼り合わせは、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧ローラ610により第1ステージ100との間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1ステージ100を該押圧ローラ61 [0096] Also, the temporary bonding of the substrates S1, S2, while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage 100 by a pressing roller 610 both substrates to each other a predetermined end portion is superimposed pressing pressure roller 61 of the first stage 100
0に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料Lを押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていくことでなされるので、両基板S1、S2間から脱気されつつ、また、液晶材料L中への外気の入り込みが抑制されつつ両基板S1、S2が貼り合わされていく。 Since 0 to be done by going to fit temporarily attached to the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material L between the two substrates by relatively moving both the substrate S1, while being degassed from between S2, also, outside air enters the substrates S1 while being suppressed, S2 is gradually adhered to the liquid crystal material L in. この点でも基板の皺よりや気泡の発生を抑制することができる。 In this respect it is possible to suppress the occurrence of more wrinkles of the substrate and air bubbles. また両基板S1、S2 The two substrates S1, S2
は本貼り合わせに先立って予備加熱されるので、本貼り合わせ工程では熱衝撃少なく、より高い本貼り合わせ温度のもとに円滑に本貼り合わせがなされる。 Since is preheated prior to registration the bonding, thermal shock less in this bonding process, smooth the bonding is made on the basis of the higher the bonding temperature.

【0097】また、両基板S1、S2は加熱押圧ローラ70による加圧下に本貼り合わせがなされるのであるが、この本貼り合わせに際して、もし加熱押圧ローラ7 [0097] Further, although the substrates S1, S2 is the present bonding is performed under pressure by heated pressure roller 70, when bonding the book, if the heating press roller 7
0と第1ステージ100とによる両基板の挟着開始がシール壁SLのある基板部位以外の部位でなされるならば、加熱押圧ローラ70の接触にて基板、特に基板S2 0 If clamping of the substrates according to the first stage 100 starts is made at a site other than the substrate site of the seal wall SL, the substrate in contact with the heating pressure roller 70, in particular a substrate S2
が自由に熱膨張でき、基板に皺が生じたり、またそのために両基板間の液晶材料層LCに気泡が発生したりする恐れがあるところ、ここでは、本貼り合わせ工程における加熱押圧ローラ70と第1ステージ100とによる両基板の挟着開始をシール壁SLのある基板部位で行うので、基板S1、S2の自由な膨張がシール壁SLと基板S1 、S2との加圧下の接触により妨げられ、それだけ皺の発生、気泡の発生が抑制され、本貼り合わせが良好になされる。 Can be freely thermal expansion, where or cause wrinkles in the substrate, also air bubbles in the liquid crystal material layer LC between the substrates Therefore there is a risk of or generated, in this case, a heated pressure roller 70 in the bonding step since the clamping start of the substrates according to the first stage 100 performed by the substrate site of the seal wall SL, a free expansion of the substrate S1, S2 is prevented by the contact under pressure between the seal wall SL and the substrate S1, S2 , generation of much wrinkles, generation of bubbles is suppressed, the bonding is performed satisfactorily.

【0098】なお、加熱押圧ローラ70と第1ステージ100とによる基板の挟着開始は、図1(B)に示すように第1及び第2の基板S1、S2を貼り合わせていく方向においてシール壁SLの部分SLaより上流側に、 [0098] Incidentally, the heat pressing roller 70 sandwiching the start of the substrate by the first stage 100, the seal in the direction going bonding the first and second substrates S1, S2 as shown in FIG. 1 (B) on the upstream side of the part SLa of the wall SL,
換言すれば基板の進行方向γにおいて最下流側の部分S In other words part of the most downstream side in the traveling direction γ of the substrate if S
Laに隣り合わせてシール壁SLと同様の材料からなる壁部SL'を予め基板S2に設けておき、本貼り合わせ工程における加熱押圧ローラ70とステージ100とによる両基板の挟着開始を該壁部SL'のある基板部位で行うようにしても同様の効果が得られる。 Wall portion may be provided in the wall portion SL 'pre substrate S2, composed of the same material as the seal wall SL, a heated pressure roller 70 and the stage 100 in the bonding step due to the clamping start of the substrates side by side in La similar effects also be performed by the substrate site of SL 'is obtained.

【0099】 [0099]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る液晶表示パネルの製造方法及び装置によると、第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルを、両基板を精度良く位置合わせして、また両基板間から脱気して、基板に皺よりのない状態で貼り合わせて、 According to the manufacturing method and apparatus for a liquid crystal display panel according to the present invention as described in the foregoing, surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the first and second substrate the liquid crystal display panel where the sealing wall is sandwiched, the substrates by combined accurately position and degassed from between the substrates, by bonding with no more wrinkle substrate,
良好に画像表示できる液晶表示パネルを提供することができる。 It is possible to provide a liquid crystal display panel can be satisfactorily image display.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】図(A)は製造しようとする液晶表示パネルの1例の概略断面図であり、図(B)は基板に設けられるシール壁やそれに隣り合う壁部の位置を例示する図である。 [1] Figure (A) is a schematic cross-sectional view of one example of a liquid crystal display panel to be produced, FIG. (B) is a diagram illustrating the position of the wall portion adjacent to the sealing wall and it provided on the substrate is there.

【図2】図1に示す液晶表示パネルを製造するための製造装置例の概略構成を示す図である。 It is a diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus embodiment for manufacturing the liquid crystal display panel shown in FIG. 1. FIG.

【図3】図2に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例の一部(1)から(4)を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the portion of an exemplary liquid crystal display panel production process (1) (4) by the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 3 FIG.

【図4】図3に示す工程の続きの工程(5)から(8) [4] the step shown in FIG. 3 continues from step (5) (8)
を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

100 第1ステージ 101 第1吸着テーブル 101a 吸気孔 102 スライダ 110 基板保持装置 111 排気室 112 フレキシブルチューブ 113 排気装置 200 第2ステージ 201 第2吸着テーブル 201a 吸気孔 210 基板保持装置 211 排気室 212 フレキシブルチューブ 213 排気装置 310 第1ステージ100の駆動装置 311 ガイドレール 311a ラックギア 312 モータ 313 ピニオンギア 320 第2ステージ200の駆動装置 321 第2ステージ支持アーム 322 回転駆動部 322a 軸 400、500 位置合わせ装置 410、510 カメラ D1、D2 X−Y−θ駆動装置 430、530 制御部 1000 液晶材料配置(塗布)装置 610 押圧部材(押圧ローラ) 70 加熱押圧部材(加 100 first stage 101 first suction table 101a suction holes 102 a slider 110 substrate holding apparatus 111 exhaust chamber 112 flexible tubing 113 exhaust device 200 second stage 201 second suction table 201a suction holes 210 substrate holding apparatus 211 exhaust chamber 212 flexible tubing 213 exhaust device 310 first drives the stage 100 311 guide rail 311a rack gear 312 motor 313 pinion gear 320 second stage 200 of the drive unit 321 second stage support arm 322 rotation driving section 322a shaft 400, 500 alignment device 410, 510 camera D1, D2 X-Y-θ drive device 430 and 530 the control unit 1000 a liquid crystal material disposed (applied) device 610 pressing member (pressing roller) 70 heating the pressing member (pressing 押圧ローラ) 71 加熱装置 8 減圧室 9 排気装置 H 予備加熱装置 A 液晶表示パネル S1 第1基板 S2 第2基板 LC 液晶材料層 SP スペーサ SL シール壁 SL' 壁部 RC 樹脂柱 IS 絶縁膜 F 配向膜 BK 光吸収層 L 液晶材料 P1 押圧位置 P2 退避位置 P3 液晶材料供給位置 P4 退避位置 P5 加熱押圧位置 P6 退避位置 Q1 基板位置合わせ位置 Q2 液晶材料配置位置 Q3 基板仮貼り合わせ開始位置 Q4 基板本貼り合わせ開始位置 Pressing roller) 71 heating device 8 decompression chamber 9 exhauster H preheater A liquid crystal display panel S1 first substrate S2 second substrate LC liquid crystal material layer SP spacer SL seal wall SL 'wall RC resin columns IS insulating film F alignment film BK light absorbing layer L crystal material P1 pressing position P2 retracted position P3 crystal material supplying position P4 retreat position P5 heated pressing position P6 retracted position Q1 substrate alignment position Q2 liquid crystal material disposed position Q3 temporary substrate bonding start position Q4 substrate present bonding starting position

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 潤 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 松岡 顕 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 谷口 辰雄 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 植田 昌秀 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 2H088 EA03 FA09 FA11 FA16 FA17 FA18 FA26 FA28 FA30 HA04 MA04 MA16 MA17 2H089 KA15 LA09 LA10 LA19 MA04X NA22 NA60 QA11 QA12 QA14 5C094 AA02 AA48 BA43 CA19 EC02 HA08 5G435 AA00 BB12 BB16 EE13 KK05 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Jun Yamada, Chuo-ku, Osaka-shi Azuchi-chome No. 3 No. 13 Osaka International building Minolta within Co., Ltd. (72) inventor Matsuoka sensible, Chuo-ku, Osaka-shi Azuchi chome No. 3 No. 13 Osaka International building Minolta within Co., Ltd. (72) inventor Tatsuo Taniguchi Chuo-ku, Osaka-shi, Azuchi-chome No. 3 No. 13 Osaka International building Minolta within Co., Ltd. (72) inventor Masahide Ueda Osaka Chuo-ku, Osaka Azuchi-chome No. 3 No. 13 Osaka International building Minolta Co., Ltd. in the F-term (reference) 2H088 EA03 FA09 FA11 FA16 FA17 FA18 FA26 FA28 FA30 HA04 MA04 MA16 MA17 2H089 KA15 LA09 LA10 LA19 MA04X NA22 NA60 QA11 QA12 QA14 5C094 AA02 AA48 BA43 CA19 EC02 HA08 5G435 AA00 BB12 BB16 EE13 KK05

Claims (14)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造方法であり、 第1基板に樹脂柱を形成し、第2基板にスペーサを散布付着させるとともにシール壁を形成する工程と、 第1基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で第1ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第2基板をスペーサ及びシール壁を設けた面とは反対側の面で、第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第1及び第2の基板をそれぞれの予備加熱温度に加熱する予備加熱工程と、 第1ステージに位置合わせして保持された第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、 予備加熱温度に到達し、位置 1. A is a first and a liquid crystal display panel manufacturing method that sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the second substrate, the resin on the first substrate forming a pillar to be held in alignment with the first stage at the surface opposite to the the steps of causes sprayed attaching the spacer to the second substrate to form a seal wall, the surface of the first substrate provided with the resin columns a step, a second substrate surface opposite to the surface provided with the spacer and sealing walls, and a step of holding in alignment with the second stage to the first stage are arranged in a predetermined positional relationship, the a preheating step of heating the first and second substrates to each preheating temperature, the liquid crystal material application step of applying a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage, It reaches the preheating temperature, location わせされた第1基板を保持した第1ステージと予備加熱温度に到達し、位置合わせされた第2基板を保持した第2ステージのうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1 Reached Align to the first stage and the preheating temperature which holds the first substrate, the both said substrate causes face the two substrates by moving at least one of the second stage holding the second substrate in alignment a step of superposing to the predetermined end portions between the liquid crystal material, first while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage the two substrates to each other a predetermined end portion is superimposed by the pressing member 1
    ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、 両基板の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、前記予備加熱温度より高い本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージを該加熱押圧部材に対して相対的に移動させることで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含むことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。 A bonding step tentatively continue to between both substrates by relatively moving with respect to the pressing member combined temporarily attached to the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material stage, both under a predetermined pressure between the first stage the temporary bonding portion of the substrate by heating the pressing member, and, the first stage while sandwiched temperatures bonding the higher the preheating temperature method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that by relatively moving to the heating pressing member and a present bonding step both substrates to bonding the.
  2. 【請求項2】前記本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を前記シール壁のある基板部位で行う請求項1記載の液晶表示パネルの製造方法。 2. A method for producing a liquid crystal display panel of claim 1, wherein performing the bonding of the clamping start of the substrates by heating the pressing member and the first stage in the process at the substrate site of the sealing wall.
  3. 【請求項3】第1又は第2の基板に、第1及び第2の基板を貼り合わせていく方向において前記シール壁より上流側に該シール壁に隣り合うように壁部を予め形成しておき、前記本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を該壁部のある基板部位で行う請求項1記載の液晶表示パネルの製造方法。 To 3. A first or second substrate, and preformed wall so as to be adjacent to the sealing wall on the upstream side of the sealing wall in the direction going bonding the first and second substrate Place the manufacturing method of heating the pressing member and the liquid crystal display panel of claim 1, wherein the clipping start of the substrates according to a first stage carried out at a substrate site of the wall portion in the bonding step.
  4. 【請求項4】前記第1、第2の基板のそれぞれの予備加熱温度への加熱は、該両基板周囲雰囲気の温度を該両基板を予備加熱温度に加熱する雰囲気温度に設定して行う請求項1、2又は3記載の液晶表示パネルの製造方法。 Wherein said first, heat to each of the preheating temperature of the second substrate, wherein done by setting the temperature of both said substrate surrounding atmosphere to an atmosphere temperature of heating the both said substrate preheating temperature method of manufacturing a liquid crystal display panel of claim 1, 2 or 3 wherein.
  5. 【請求項5】前記第1、第2の基板のそれぞれの予備加熱温度への加熱は、第1、第2のステージにそれぞれ設けた加熱装置により行う請求項1、2又は3記載の液晶表示パネルの製造方法。 Wherein said first, heat to each of the preheating temperature of the second substrate, first, a liquid crystal display according to claim 1, wherein performing the heating device respectively in the second stage method of manufacturing a panel.
  6. 【請求項6】第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造方法であり、 第1基板に樹脂柱を形成し、第2基板にスペーサを散布付着させるとともにシール壁を形成する工程と、 第1基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で第1ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第2基板をスペーサ及びシール壁を設けた面とは反対側の面で、第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第1ステージに位置合わせして保持された第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、 位置合わせされた第1基板を保持した第1ステージと、 6. a liquid crystal display panel manufacturing method of the sandwiched seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the first and second substrates, the resin on the first substrate forming a pillar to be held in alignment with the first stage at the surface opposite to the the steps of causes sprayed attaching the spacer to the second substrate to form a seal wall, the surface of the first substrate provided with the resin columns a step, a second substrate surface opposite to the surface provided with the spacer and sealing walls, and a step of holding in alignment with the second stage to the first stage are arranged in a predetermined positional relationship, the a liquid crystal material application step of applying a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in one stage, a first stage holding the first substrate in alignment,
    位置合わせされた第2基板を保持した第2ステージのうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1 A step of superimposing a predetermined end portion of the both substrates together with to face the two substrates by moving at least one of the second stage holding the second substrate in alignment with between the liquid crystal material, a predetermined end portions first while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage by the pressing member both substrates which is superimposed
    ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、 両基板の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージを該加熱押圧部材に対して相対的に移動させることで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含み、 前記本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を前記シール壁のある基板部位で行うことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。 A bonding step tentatively continue to between both substrates by relatively moving with respect to the pressing member combined temporarily attached to the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material stage, both under a predetermined pressure between the first stage the temporary bonding portion of the substrate by heating the pressing member, and the first stage while sandwiched under temperature combined the bonding against the heating pressing member both substrates by relatively moving and a present bonding process to bonding the said substrate a clipping start of the substrates by heating the pressing member and the first stage in the bonding step of the sealing wall method of manufacturing a liquid crystal display panel, which comprises carrying out at the site.
  7. 【請求項7】第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造方法であり、 第1基板に樹脂柱を形成し、第2基板にスペーサを散布付着させるとともにシール壁及び該シール壁に隣り合う壁部を形成する工程と、 第1基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で第1ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第2基板をスペーサ及びシール壁を設けた面とは反対側の面で、第1ステージに対し所定の位置関係で配置された第2ステージに位置合わせして保持させる工程と、 第1ステージに位置合わせして保持された第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、 位置合わせされた第1基板を保持した第1ステージと、 7. A first and second manufacturing method of the liquid crystal display panel sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the substrates, the resin on the first substrate forming a pillar, and forming a wall adjacent to the sealing wall and the sealing wall causes sprayed attaching the spacer to the second substrate, the first substrate provided with the resin columns face first at the surface opposite a step of holding in alignment in one stage, a second substrate surface opposite to the surface provided with the spacer and the sealing wall, positioned in the second stage to the first stage are arranged in a predetermined positional relationship a step of holding in register, and the liquid crystal material application step of applying a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage, the holding the first substrate in alignment 1 and the stage,
    位置合わせされた第2基板を保持した第2ステージのうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせる工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着しつつ第1 A step of superimposing a predetermined end portion of the both substrates together with to face the two substrates by moving at least one of the second stage holding the second substrate in alignment with between the liquid crystal material, a predetermined end portions first while sandwiched under a predetermined pressure between the first stage by the pressing member both substrates which is superimposed
    ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、 両基板の仮貼り合わせされた部分を加熱押圧部材により第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージを該加熱押圧部材に対して相対的に移動させることで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含み、 前記本貼り合わせ工程における加熱押圧部材と第1ステージとによる両基板の挟着開始を前記シール壁に隣り合う壁部のある基板部位で行うことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。 A bonding step tentatively continue to between both substrates by relatively moving with respect to the pressing member combined temporarily attached to the substrates from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material stage, both under a predetermined pressure between the first stage the temporary bonding portion of the substrate by heating the pressing member, and the first stage while sandwiched under temperature combined the bonding against the heating pressing member both substrates by relatively moving and a present bonding process to bonding the, adjacent the present bonding the clamping start of the substrates by heating the pressing member and the first stage in the process to the sealing wall method of manufacturing a liquid crystal display panel, which comprises carrying out the substrate site of the wall portion.
  8. 【請求項8】前記押圧部材及び加熱押圧部材のうち少なくとも押圧部材は、基板に圧接転動可能のローラ型部材であり、且つ、両端部径より中央部径がやや小径に形成されたローラ型部材である請求項1から7のいずれかに記載の液晶表示パネルの製造方法。 8. At least a pressing member of the pressing member and heating the pressing member is a roller-type member capable pressed and rolled on the substrate, and a roller-type central section diameter than both end portion diameter is slightly smaller in diameter method of manufacturing a liquid crystal display panel according to any one of claims 1 to 7, a member.
  9. 【請求項9】前記貼り合わせ工程を所定の減圧雰囲気下で行う請求項1から8のいずれかに記載の液晶表示パネルの製造方法。 9. A method for manufacturing a liquid crystal display panel according to any one of claims 1 to 8 for performing the bonding step under a predetermined reduced pressure atmosphere.
  10. 【請求項10】第1及び第2の基板間にスペーサ及び樹脂柱を含む液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造装置であり、 一方の面に樹脂柱を形成した第1基板を他方の面側で保持する第1ステージと、 第1基板を第1ステージ上に位置合わせするための手段と、 一方の面にスペーサを散布付着させるとともにシール壁を形成した第2基板を他方の面側で保持する第2ステージであって第1ステージに対し所定の位置関係に配置された第2ステージと、 第2基板を第2ステージ上に位置合わせするための手段と、 第1及び第2の基板をそれぞれの予備加熱温度に加熱する予備加熱装置と、 第1ステージに位置合わせして保持される第1基板の所定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布装置と、 第1 10. A manufacturing apparatus for a liquid crystal display panel sandwiched a seal wall surrounding the liquid crystal material layer and the liquid crystal material layer comprising a spacer and a resin pillar between the first and second substrate, a resin on one surface a first stage for holding a first substrate formed with pillars on the other side, and means for aligning the first substrate on the first stage, the sealing wall causes the spacer to one side sprayed deposited a second stage to the first stage and a second stage disposed in a predetermined positional relationship which holds the second substrate at the other surface side formed, to align the second substrate on the second stage means, and preliminary heating device for heating the first and second substrates to each of the preheating temperature, the liquid crystal to apply a liquid crystal material to a predetermined end portion of the first substrate held in alignment in the first stage a material application device, the first 及び第2のステージ上にそれぞれ位置合わせされて保持される第1及び第2の基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を前記液晶材料塗布装置により塗布された液晶材料を間にして重ね合わせるように第1及び第2のステージを相対的に移動させる第1駆動装置と、 所定端部同士が重ね合わされた両基板を第1ステージとの間に所定の加圧力下に挟着する押圧部材と、 両基板が押圧部材により第1ステージとの間に挟着された状態で第1ステージを、両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしていくように該押圧部材に対し相対的に移動させる第2駆動装置と、 両基板の仮貼り合わせされた部分を第1ステージとの間に所定の加圧力下に、且つ、前記予備加熱温度より高い本 And causes the opposite first and second substrates to each other a predetermined end portion of both said substrate held second are respectively aligned on the stage in between the liquid crystal material coated by the liquid crystal material application device to sandwiched under a predetermined pressure between the first and second first driving device and the first stage of the substrates to each other a predetermined end are overlapped to staged relatively moved so as to superimpose and the pressing member, the substrates of the first stage in a state of being sandwiched between the first stage the two substrates by the pressing member, from the superimposed end of the two substrates while push the liquid crystal material between the substrates and a second driving unit for relatively moving with respect to the pressing member so as gradually to suit temporary attachment, under a predetermined pressure between the temporary bonding portion of the two substrates the first stage, and , the higher the preheating temperature り合わせ温度下に挟着しつつ第1ステージに対して相対的に移動可能の加熱押圧部材とを備えていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。 Ri combined apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that a heating pressing member movable relative to the first stage while sandwiched under temperature.
  11. 【請求項11】前記第1、第2の基板を予備加熱温度へ加熱する予備加熱装置は、第1、第2のステージにそれぞれ設けられた予備加熱装置である請求項10記載の液晶表示パネルの製造装置。 Wherein said first, preheating device for heating the second substrate to the preheating temperature, the first liquid crystal display panel of claim 10, wherein the preheating device provided respectively in the second stage of manufacturing equipment.
  12. 【請求項12】前記第1、第2の基板を予備加熱温度へ加熱する予備加熱装置は、第1、第2の基板が保持される第1、第2のステージの周囲雰囲気温度を加熱することで第1、第2の基板を予備加熱する加熱装置である請求項10記載の液晶表示パネルの製造装置。 Wherein said first, preheating device for heating the second substrate to the pre-heating temperature, heating the first, the ambient atmosphere temperature of the second stage first, a second substrate is held first by apparatus for producing a liquid crystal display panel of the second claim 10, wherein the substrate is a heating apparatus for preheating the.
  13. 【請求項13】前記押圧部材及び加熱押圧部材のうち少なくとも押圧部材は、基板に圧接転動可能のローラ型部材であり、且つ、両端部径より中央部径がやや小径に形成されたローラ型部材である請求項10、11又は12 13. At least the pressing member of the pressing member and heating the pressing member is a roller-type member capable pressed and rolled on the substrate, and a roller-type central section diameter than both end portion diameter is slightly smaller in diameter claim a member 10, 11 or 12
    記載の液晶表示パネルの製造装置。 Apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according.
  14. 【請求項14】前記両基板の貼り合わせを所定の減圧雰囲気下で行うための減圧室を備えている請求項10から13のいずれかに記載の液晶表示パネルの製造装置。 14. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 10 which the bonding of two substrates comprises a vacuum chamber for performing under a depressurized atmosphere 13.
JP2000096676A 2000-03-31 2000-03-31 Production method and device for liquid crystal display panel Withdrawn JP2001281673A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000096676A JP2001281673A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Production method and device for liquid crystal display panel

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000096676A JP2001281673A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Production method and device for liquid crystal display panel
US09/821,941 US20010026349A1 (en) 2000-03-31 2001-03-30 Method and apparatus for manufacturing liquid crystal panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001281673A true JP2001281673A (en) 2001-10-10

Family

ID=18611409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000096676A Withdrawn JP2001281673A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Production method and device for liquid crystal display panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001281673A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3545076B2 (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
JP3358606B2 (en) A method of manufacturing a liquid crystal display panel
JP4689797B2 (en) Liquid crystal display device manufacturing apparatus and manufacturing method thereof
CN100378548C (en) Method for producing LCD
US8582074B2 (en) In-line system and a method for manufacturing a liquid crystal display
JP3978241B2 (en) Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
JP2010522354A (en) Enhancement Liquid Crystal Display system and method
JP2957385B2 (en) Method for producing a ferroelectric liquid crystal
JP3828670B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display element
JP3658604B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal panel
JPH05107533A (en) Method and device for sticking glass substrate for liquid crystal display plate
WO2003006391A1 (en) Flat display panel and method of dividing the flat display panel
JPH08190078A (en) Production of liquid crystal cell and apparatus for production of liquid crystal cell
CN102067017B (en) Method of manufacturing display panel
JP3483809B2 (en) Substrate bonding method and bonding apparatus, and liquid crystal display device manufacturing method
JP2001042340A (en) Production of liquid crystal display device
JP2003216059A (en) Indicating element and method of manufacturing the same
US8206547B2 (en) Method of manufacturing a display
CN101563643B (en) Apparatus and method for manufacturing display panel, and display panel manufactured by the method
JP2004212444A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device and device for bonding substrate
CN101241258A (en) Apparatus for fabricating bonded substrate
JP2001264782A (en) Method of filling gap of flat panel substrate with viscous liquid material
JP2001133745A (en) Method of assembling substrate and device therefor
JP2003270646A (en) Bonding apparatus for liquid crystal display device
US20040207797A1 (en) Electrooptical manufacturing apparatus, electrooptical apparatus, and electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20050613

A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070605