JP2001281336A - 距離画像撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、従来の電荷振分け方式による課題を
解決して、信号のＳＮの向上および測定精度の向上化を
図った距離画像撮像装置を提供する。 【解決手段】本発明の一態様によると、輝度変調が可能
な光源と、上記光源よりの光が対象物で反射された反射
光を受光し、電荷に変換する光電変換部と、上記光電変
換部によって変換された電荷を転送する転送ゲートと、
上記転送ゲートによって転送された電荷を蓄積する電荷
蓄積部と、上記転送ゲートに、上記輝度変調に同期した
転送パルスを印加する転送ゲート駆動部とを有する距離
画像撮像装置において、上記転送パルスに所定の遅延ま
たはパルス幅の変更を加えることが可能な転送パルス生
成部を、さらに具備することを特徴とする距離画像撮像
装置が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、距離画像撮像装置
に係り、特に、アクティブな照明光を用いて、対象物で
ある被写体までの距離情報をリアルタイムに記録する距
離画像撮像装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】物体の距離情報を把握するアクティブな
手段として、Ｔｉｍｅ Ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ法（略して
ＴＯＦ法という）が知られている。

【０００３】このＴＯＦ法は、光パルスを対象物に送っ
て、この光パルスが対象物から反射して戻ってくるまで
の往復に要する時間を計り、これを距離に換算する方式
である。

【０００４】なかでも、Ｒ．Ｍｉｙａｇａｗａらが、１
９９５ ＩＥＥＥ Ｗｏｒｋｓｈｏｐ ｏｎ Ｃｈａｒ
ｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ ａｎｄ Ａｄ
ｖａｎｃｅｄ Ｉｍａｇｅ Ｓｅｎｓｏｒｓ，“Ａｐｒ
ｉｌ ２０−２２；Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ−Ｔｉｍｅ
Ｂａｓｅｄ Ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎａｌ Ｉｍａｇ
ｅ Ｓｅｎｓｏｒｓ”に発表した方法は、半導体基板上
に設けられた二次元撮像素子により、対象物の距離画像
を得ることを可能とする方法である。

【０００５】ここに、距離画像というのは、二次元撮像
素子の各画素が、対象物の濃淡画像の代わりに、対象物
の三次元形状に対応した距離情報を各画素における電荷
の濃淡画像として有していることを意味する。

【０００６】図４は、Ｒ．Ｍｉｙａｇａｗａらが提案し
ている対象物の距離画像を得ることを可能とする方式の
概念的構成を示している。

【０００７】また、図５は、Ｒ．Ｍｉｙａｇａｗａらが
提案している対象物の距離画像を得ることを可能とする
方式による動作を説明するためのタイムチャートを示し
ている。

【０００８】図４において、参照符号４０１，４０２
は、それぞれ、第１の転送ゲートと第２の転送ゲートを
示している。

【０００９】また、参照符号４０３は、ｐｎ接合による
光電変換部を示している。

【００１０】また、参照符号４０４，４０５は、それぞ
れ、第１の電荷蓄積部と第２の電荷蓄積部を示してい
る。

【００１１】また、参照符号４０６は、入射光パルス信
号を表わしている。

【００１２】図５の（ａ）は、被写体に向けて送出され
たパルス幅Ｔの送出光パルスを示している。

【００１３】図５の（ｂ）は、被写体で反射されて距離
画像撮像装置に入射する入射光パルス信号を示してお
り、図中のΔｔは光パルスが被写体までの距離を往復す
る時間に対応する時間ずれを示している。

【００１４】図５の（ｃ）は、例えば、第１の転送ゲー
ト４０１のＯＮ，ＯＦＦタイミングを表わしており、こ
の第１の転送ゲート４０１のＯＮ，ＯＦＦタイミングは
図５の（ａ）と同相である。

【００１５】図５の（ｄ）は、例えば、第２の転送ゲー
ト４０２のＯＮ，ＯＦＦを表わしており、この第２の転
送ゲート４０２のＯＮ，ＯＦＦタイミングは図５の
（ｃ）と位相が１８０度ずれている。

【００１６】図５の（ｅ）は、第１の転送ゲート４０１
を介して第１の電荷蓄積部４０４に転送される電荷量
（時間ｔに対応）を表わしている。

【００１７】図５の（ｆ）は、第２の転送ゲート４０２
を介して第２の電荷蓄積部４０５に転送される電荷量
（時間ｔ２に対応）を表わしている。

【００１８】すなわち、入射光パルス信号４０６に対応
して光電変換部４０３で発生した電荷は、それぞれ、第
１の転送ゲート４０１と第２の転送ゲート４０２を介し
て第１の電荷蓄積部４０４と第２の電荷蓄積部４０５と
に振り分けられる（電荷振分け方式と呼ぶ）。

【００１９】ここで、振り分けられる電荷の量は、時間
ずれΔｔに対応して変化することによって、被写体まで
の距離情報が得られる。

【００２０】いま、送出光パルスのパルス幅をＴ、第１
の電荷蓄積部４０４に蓄えられた電荷量をＱ１、第２の
電荷蓄積部４０５に蓄えられた電荷量をＱ２とすれば、
被写体までの距離Ｒは、Ｒ＝ｃΔｔ／２で与えられるか
ら、送出光パルスのパルス幅Ｔの半分Ｔ／２を基準とし
て時間軸を規格化すると、

【００２１】

【数１】 で与えられる。

【００２２】ただし、この（１）式中のｐは、

【数２】 で与えられる。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】上記の電荷振分け方式
は、被写体までの距離Ｒが第１の電荷蓄積部４０４と第
２の電荷蓄積部４０５に蓄えられた電荷量の比Ｑ１／Ｑ
２により定められるから、入射光パルス信号の強度に影
響されにくいという利点がある一方で、第１の転送ゲー
ト４０１、第２の転送ゲート４０２をＯＦＦとしても洩
れてくる漏洩電荷がある。

【００２４】これを考慮すると、

【数３】

【００２５】ここに、Ｑ１Ｌ、Ｑ２Ｌは、それぞれ、 Ｑ１Ｌ：第１の転送ゲート４０１がＯＦＦのときに光電
変換部４０３から第１の電荷蓄積部４０４に漏洩する電
荷量、 Ｑ２Ｌ：第２の転送ゲート４０２がＯＦＦのときに光電
変換部４０３から第２の電荷蓄積部４０５に漏洩する電
荷量である。

【００２６】一般に、漏洩する電荷量は、信号のクロス
トークを引き起こし、信号のＳＮの低下あるいは測定誤
差の増大につながる。

【００２７】ここに、上記電荷振分け方式の一つの課題
がある。

【００２８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、従来の電荷振分け方式による課題を解決して、信
号のＳＮの向上および測定精度の向上化を図った距離画
像撮像装置を提供することを目的とする。

【００２９】

【課題を解決するための手段】本発明によると、上記課
題を解決するために、（１） 輝度変調が可能な光源
と、上記光源よりの光が対象物で反射された反射光を受
光し、電荷に変換する光電変換部と、上記光電変換部に
よって変換された電荷を転送する転送ゲートと、上記転
送ゲートによって転送された電荷を蓄積する電荷蓄積部
と、上記転送ゲートに、上記輝度変調に同期した転送パ
ルスを印加する転送ゲート駆動部とを有する距離画像撮
像装置において、上記転送パルスに所定の遅延またはパ
ルス幅の変更を加えることが可能な転送パルス生成部
を、さらに具備することを特徴とする距離画像撮像装置
が提供される。

【００３０】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、（２） 上記光電変換部は、一次元または二
次元のアレイ状に配列されていることを特徴とする
（１）記載の距離画像撮像装置が提供される。

【００３１】

【発明の実施の形態】まず、本発明の概要として、電荷
振分け方式におけるクロストークの軽減方法の考え方を
次に示す。

【００３２】上述したような第１の電荷蓄積部、第２の
電荷蓄積部に蓄積される電荷量をそれぞれＱ１、Ｑ２と
し、次式で表わされるとする。

【００３３】

【数４】

【００３４】ここに、Ｐ：入力光信号のパワー、 η：光電変換効率、 ｋ１１：第１の転送ゲートがＯＮのとき第１の電荷蓄積
部に電荷転送される割合、 ｋ２１：第１の転送ゲートがＯＦＦのとき第１の電荷蓄
積部に電荷転送される割合、 ｋ１２：第２の転送ゲートがＯＦＦのとき第２の電荷蓄
積部に電荷転送される割合、 ｋ２２：第２の転送ケートがＯＮのとき第２の電荷蓄積
部に電荷転送される割合である。

【００３５】また、時間ｔ１、ｔ２の意味は、図５に示
した（Ｔ＝ｔ１＋ｔ２）とする。

【００３６】このとき、次の比ｘを考える。

【００３７】

【数５】

【００３８】そして、画素ごとに第１の転送ゲートと第
２の転送ゲートあるいは電荷蓄積部の光電変換部に対す
る対称性は保たれていると仮定すると、この（５）式の
比ｘは、

【００３９】

【数６】 となる。

【００４０】この（６）式から入力光信号のパルス幅Ｔ
が既知で、ｋ＞＞ｋｃならば、測定値Ｑ１、Ｑ２から求
められるｘを用いて、 ｔ１−ｔ２＝Ｔｘ あるいはＴ＝ｔ１＋ｔ２を用いて、

【００４１】

【数７】 となる。

【００４２】しかし、上記の条件が満たされない場合に
は、既知の量Δτだけ時間軸の基準のパルスをずらして
測定することにより、たとえばｔ１→ｔ１＋Δτ、ｔ２
→ｔ２＋Δτと変換して、（６）式の比ｘは、

【００４３】

【数８】 となる。

【００４４】この比ｘとずらし量Δτは、図２の（ａ）
に示すように、線形関係（直線ａ）にあり、その傾きは
２αとなる。

【００４５】ここで、

【数９】 で与えられる。

【００４６】従って、ずらしを与えないΔτ＝０の場合
（図２の（ａ）の点Ａ）と、ずらしを与えたΔτ≠０の
場合（図２の（ａ）の点Ｂ）を測定し、線分ＡＢの傾き
からαを求め、これからΔτ＝０の場合に得られた比ｘ
の値を補正することにより、クロストークの影響を軽減
したｔ１−ｔ２を求めることができる。

【００４７】あるいは、Ｔ＝ｔ１＋ｔ２から、ｔ１また
はｔ２を求めることができる。

【００４８】次に、以上のような概要に基づく本発明の
実施の形態について図面を参照して説明する。

【００４９】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態による距離画像撮像装置ついて、図１、図２の
（ｂ）、図３および図５を用いて説明する。

【００５０】すなわち、本発明の第１の実施の形態によ
る距離画像撮像装置の構成を示す図１において、参照符
号１０１は輝度変調可能な光源、参照符号１０２は遅延
回路、参照符号１０３は転送ゲート駆動部、参照符号１
０４はコントローラ、参照符号１０５、１０６は端子、
参照符号１０７はスイッチ、参照符号１１０は送出光パ
ルス、参照符号１２０は転送パルス生成回路を表わして
いる。

【００５１】該転送パルス生成回路１２０は、端子１０
５、１０６、スイッチ１０７、遅延回路１０２から構成
される。

【００５２】また、図１において、参照符号４０１，４
０２は、それぞれ、第１の転送ゲートと第２の転送ゲー
トを示している。

【００５３】また、参照符号４０３は、ｐｎ接合による
光電変換部を示している。

【００５４】また、参照符号４０４，４０５は、それぞ
れ、第１の電荷蓄積部と第２の電荷蓄積部を示してい
る。

【００５５】また、参照符号４０６は、入射光パルス信
号を表わしている。

【００５６】次に、以上のように構成される本発明の第
１の実施の形態による距離画像撮像装置の動作を説明す
る。

【００５７】まず、コントローラ１０４から、例えば、
図５の（ａ）に示したようなパルス幅Ｔ、デューティ比
１：１のパルス列が出力される。

【００５８】この場合、コントローラ１０４から出力さ
れるパルス列のパルス幅Ｔとしては、例えば、１００ｎ
ｓが選ばれる。

【００５９】このパルス幅Ｔの値１００ｎｓは、距離画
像を得たい領域により異なり、光が往復することを考慮
すると、１５ｍぐらいの領域につき距離画像を得たい場
合に相当する。

【００６０】最初に、スイッチ１０７が端子１０５に接
続されている場合を説明する。

【００６１】コントローラ１０４からの出力信号は、遅
延回路１０２を介して光源１０１に供給される。

【００６２】これにより、光源１０１からは、図５の
（ａ）に示した波形の送出光パルス１１０を送出する。

【００６３】該送出光パルス１１０の一部は光電変換さ
れ、端子１０５、スイッチ１０７を経て転送ゲート駆動
部１０３に供給される。

【００６４】該転送ゲ一卜駆動部１０３から、例えば、
第１の転送ゲート４０１には、図５の（ｃ）に示した波
形の電圧が供給される。

【００６５】これは図５の（ａ）に示した送出光パルス
１１０と同期した、同じ矩形波形を示す。

【００６６】この矩形波形の山では第１転送ゲート４０
１はＯＮとなり、谷ではＯＦＦとなるものとする。

【００６７】また、第２の転送ゲート４０２には、図５
の（ｄ）に示した波形の電圧が供給される。

【００６８】これは第１転送ゲート４０１に供給した図
５の（ｃ）に示した波形の電圧と位相が１８０度異な
る。

【００６９】これによって、第２の転送ゲート４０２
は、第１の転送ゲート４０１がＯＮのときにＯＦＦとな
り、第１の転送ゲート４０１がＯＦＦのときにＯＮとな
る。

【００７０】このように構成された撮像部に、入射光パ
ルス信号４０６が図５の（ｂ）に示したタイミングで入
射する。

【００７１】ここに、Δｔは送出された光パルスが不図
示の被写体までの距離を往復する時間に対応する。

【００７２】第１の転送ゲート４０１は、時間ｔ１＝Ｔ
−Δｔに発生した光電子を第１の電荷蓄積部４０４に通
過させ、該第１の電荷蓄積部４０４に電荷量Ｑ１を蓄え
させる。

【００７３】また、第２の転送ゲート４０２は、時間ｔ
２＝Δｔに発生した光電子を第２の電荷蓄積部４０５に
通過させ、該第２の電荷蓄積部４０５に電荷量Ｑ２を蓄
えさせる。

【００７４】ここで、電荷の漏洩がなければ、これらの
蓄積された電荷量Ｑ１、Ｑ２から前述の式（１）、
（２）に基づいて、被写体までの距離Ｒが求められる。

【００７５】次に、電荷の漏洩が無視できない場合を説
明する。

【００７６】このときには、図１において、スイッチ１
０７は、端子１０６に接続する。

【００７７】こうすると、遅延回路１０２により与えら
れる遅延時間をΔτとすれば、コントローラ１０４から
端子１０６、スイッチ１０７を介して第１転送ゲート４
０１および第２の転送ゲート４０２に供給される信号
は、遅延回路１０２を介していないから、遅延時間Δτ
の影響を受けない。

【００７８】このときのタイミング関係を図３に示す。

【００７９】図３の（ａ）〜（ｄ）は、図５の（ａ）〜
（ｄ）に対応するが、これらの相違は、図３では
（ｃ）、（ｄ）が（ａ）、（ｂ）に対してΔτだけ先に
きていることにある。

【００８０】このため、図５のｔ１に相当する時間がｔ
１−Δτとなり、ｔ２に相当する時間がｔ２＋Δτとな
る。

【００８１】これは前述の（８）式でΔτの代わりに−
Δτとしたことに相当する。

【００８２】以上から、スイッチ１０７が端子１０５に
接続されている場合の測定とスイッチ１０７が端子１０
６に接続されている場合の測定とから、図２の（ａ）で
示した考え方より、直線ａの傾き２αを求め、前述のよ
うにクロストークの影響を軽減した時間ｔ１−ｔ２、あ
るいはＴ＝ｔ１＋ｔ２を用いて、時間ｔ１またはｔ２を
求めることができる。

【００８３】本実施形態の特徴は、パルス転送回路１２
０で表わされる簡単な遅延回路とスイッチによる切替え
で、電荷の漏洩による影響を軽減できることにある。

【００８４】また、本実施形態は、種々の変更が可能で
ある。

【００８５】例えば、図１において、遅延回路１０２は
光源１０１と端子１０５との間に移すことができる。

【００８６】こうすると、スイッチ１０７を端子１０６
に接続した場合に遅延回路１０２の影響を受けない測定
がなされ、スイッチ１０７を端子１０５に接続した場合
に遅延回路１０２の影響を受ける測定とすることができ
る。

【００８７】これは前述の−Δτの代わりにΔτの遅延
を与えたことに相当する。

【００８８】あるいは、一般に、複数の遅延回路を図１
の遅延回路１０２の箇所に設けて、これをコントローラ
１０４からの信号により電子的に切り替えることも可能
である。

【００８９】さらには、上述のように、光源１０１と端
子１０５との間にも複数の遅延回路を設け、スイッチ１
０７を機械的に切り替える代わりに、これらをコントロ
ーラ１０４からの信号により電子的に切り替えることも
可能である。

【００９０】図２の（ｂ）を用いて、この概念を説明す
る。

【００９１】図２の（ｂ）において、符号Ａは遅延を与
えない場合を示し、符号Ｂ，ＣはΔτ、２Δτの遅延を
与えた測定の場合を示す。

【００９２】また、符号Ｄ，Ｅは、−Δτ、−２Δτの
遅延を与えた測定の場合を示す。

【００９３】これらの測定結果に基づいて、直線ａの傾
き２αを、より正確に求めることができる。

【００９４】この場合の電荷量Ｑ１は、前述の（３）式
で与えられるものとなる。

【００９５】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態による距離画像撮像装置ついて、図６を用いて説
明する。

【００９６】これは図４において、第２の転送ゲート４
０２および第２の電荷蓄積部４０５を取り除いたもので
ある。

【００９７】この場合には、前述の（３）式が成立す
る。

【００９８】このままでは、蓄積された電荷量Ｑ１は、
入力光信号のパワーＰおよび前述の（３）式の右辺第２
項の漏洩電荷量の影響を受け、時刻ｔ１の正確な情報を
得ることができない。

【００９９】そこで、この場合には、パルス幅Ｔおよび
時間ｔ１、ｔ２の幅を変えた二つの測定を行い、これら
を用いて、蓄積された電荷量Ｑ１を補正することが可能
である。

【０１００】最初は、光パルス幅ＴをＴ＋ΔＴとして同
じ測定を行う。

【０１０１】このときには、第１の転送ゲート４０１に
加える転送パルスの幅もＴ＋ΔＴとなる。

【０１０２】こうすると、図５からわかるように、時間
ｔ２は光パルスが被写体までの距離を往復するに要する
時間Δｔに等しく、時間ｔ１のみがｔ１＋ΔＴとなる。

【０１０３】このとき蓄積された電荷量はＱ２は、

【数１０】 となる。

【０１０４】次に、パルス幅ＴをＴ＋ΔＴとして、転送
パルス幅はＴのままとすると、

【数１１】 となる。

【０１０５】ここで、前述の（３）式、（１０）式およ
び（１１）式を用いて時間ｔ１を求めると、

【数１２】 となる。

【０１０６】このようにして正しい時間ｔ１を求めるこ
とができる。

【０１０７】本実施形態の特徴は、画素の構成を簡単に
して、光電変換部の開口率を高くしたところにある。

【０１０８】以上の説明では、蓄積される電荷量の統計
的ゆらぎには触れなかったが、実際にはこれを考慮し
て、それぞれの測定を複数回繰返し、それらの平均値に
対して上述の取扱いを行うことが必要となる。

【０１０９】なお、以上説明した図１および図６では、
画素構成として単一の光電変換部による単位画素のみを
示したが、実用上では、上記光電変換部を複数用いて、
一次元または二次元のアレイ状に配列した距離画像撮像
装置に適用することが可能である。

【０１１０】すなわち、対象物に輝度変調可能な光源ま
たはパルス光源よりの光を照射し、帰還した反射光を光
学系により一次元または二次元画素アレイ上に結像させ
て、各画素ごとに上記対象物までの距離を求める距離画
像撮像装置であつて、各画素が、光電変換部と、上記光
電変換部で発生した電荷を第１の電荷蓄積部に転送する
第１のゲートと、上記光電変換部で発生した電荷を第２
の電荷蓄積部に転送する第２のゲートとを有しており、
各画素の上記第１のゲートと上記第２のゲートの制御端
子は各々共通に接続されている、一次元または二次元画
素アレイを備えている。

【０１１１】そして、一次元画素アレイを備えている距
離画像撮像装置の場合には、アレイ上の光電変換部（画
素）を選択する選択回路と、選択された画素について、
上記第１の電荷蓄積部に蓄積された電荷に基づく第１の
信号と、上記第２の電荷蓄積部に蓄積された電荷に基づ
く第２の信号を、順次に読み出す読み出し手段と、上記
第１のゲートに上記光源の発光のタイミングに同期した
転送パルスを印加する手段と、上記第２のゲートに上記
第１のゲートに印加されるパルスと相補的な転送パルス
を印加する手段とを備えるようにして構成される。

【０１１２】また、二次元画素アレイを備えている距離
画像撮像装置の場合には、上記二次元画素アレイの行を
選択する行選択回路と、上記行選択回路で選択された行
の画素について、上記第１の電荷蓄積部に蓄積された電
荷に基づく第１の信号と、上記第２の電荷蓄積部に蓄積
された電荷に基づく第２の信号を、並列に読み出す行並
列読み出し手段と、上記第１のゲートに上記光源の発光
のタイミングに同期した転送パルスを印加する手段と、
上記第２のゲートに上記第１のゲートに印加されるパル
スと相補的な転送パルスを印加する手段とを備えるよう
にして構成される。

【０１１３】

【発明の効果】従って、以上説明したように、本発明に
よれば、従来の電荷振分け方式による課題を解決して、
信号のＳＮの向上および測定精度の向上化を図った距離
画像撮像装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による距離
画像撮像装置の構成を示す図である。

【図２】図２の（ａ）は、従来方式の課題を説明するた
めの図であり、図２の（ｂ）は、本発明の第１の実施の
形態による距離画像撮像装置の概要および動作を説明す
るための図である。

【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態による距離
画像撮像装置の動作を説明するためのタイムチャートで
ある。

【図４】図４は、Ｒ．Ｍｉｙａｇａｗａらが提案してい
る対象物の距離画像を得ることを可能とする従来方式の
概念的構成を示す図である。

【図５】図５は、Ｒ．Ｍｉｙａｇａｗａらが提案してい
る対象物の距離画像を得ることを可能とする従来方式に
よる動作を説明するためのタイムチャートである。

【図６】図６は、本発明の第２の実施の形態による距離
画像撮像装置の要部の構成を示す図である。

【符号の説明】

１０１…光源、 １０２…遅延回路、 １０３…転送ゲート駆動部、 １０４…コントローラ、 １０５、１０６…端子、 １０７…スイッチ、 １１０…送出光パルス、 １２０…転送パルス生成回路、 ４０１…第１の転送ゲート、 ４０２…第２の転送ゲート、 ４０３…光電変換部、 ４０４…第１の電荷蓄積部、 ４０５…第２の電荷蓄積部、 ４０６…入射光パルス信号。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 DD04 FF12 FF31 HH13 JJ02 JJ03 JJ25 JJ26 NN08 NN12 PP22 QQ11 QQ47 UU05 2F112 AD01 BA06 BA07 CA12 EA03 EA05 FA43 FA50 5J084 AA05 AD01 AD05 BA39 BA40 CA03 CA55 CA65 EA04

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 輝度変調が可能な光源と、 上記光源よりの光が対象物で反射された反射光を受光
   し、電荷に変換する光電変換部と、 上記光電変換部によって変換された電荷を転送する転送
   ゲートと、 上記転送ゲートによって転送された電荷を蓄積する電荷
   蓄積部と、 上記転送ゲートに、上記輝度変調に同期した転送パルス
   を印加する転送ゲート駆動部とを有する距離画像撮像装
   置において、 上記転送パルスに所定の遅延またはパルス幅の変更を加
   えることが可能な転送パルス生成部を、さらに具備する
   ことを特徴とする距離画像撮像装置。
2. 【請求項２】 上記光電変換部は、一次元または二次元
   のアレイ状に配列されていることを特徴とする請求項１
   記載の距離画像撮像装置。