JP2001272603A - Optical device - Google Patents

Optical device

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JP2001272603A
JP2001272603A JP2000088580A JP2000088580A JP2001272603A JP 2001272603 A JP2001272603 A JP 2001272603A JP 2000088580 A JP2000088580 A JP 2000088580A JP 2000088580 A JP2000088580 A JP 2000088580A JP 2001272603 A JP2001272603 A JP 2001272603A
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Yutaka Ishiwatari
Masahide Ito
Toyohiko Yatagai
雅英 伊藤
裕 石渡
豊彦 谷田貝
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Olympus Optical Co Ltd
オリンパス光学工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical device capable of reproducing phase information in the specified area of an object to be observed without being affected by the scattering of light.
SOLUTION: This optical device is equipped with illumination optical systems 30, 31, 32, 33, 34 and 35 guiding light from a light source 29 to the object to be observed 36, a beam splitter 34 dividing and guiding the light from the light source 29 to the object 36 and a reference mirror 42, an image-formation lens 39 guiding an interference image formed by the interference of the light from the object 36 and the mirror 42 to a photodetector 40, the photodetector 40 receiving the interference image, an arithmetic unit arithmetically operating image information from the photodetector 40, and a stepping motor 38 and a piezoelectric element 43 changing the relative phase amount of the light from the object 36 and the light from the mirror 42. By correcting the attenuation of the phase information of the object 36 by using the light scattering coefficient of the object 36 from the obtained interference image, the phase information at a specified position in the object 36 is obtained.
COPYRIGHT: (C)2001,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、生体組織に代表される光学的散乱体(被観察物体)の内部構造や、半導体基板上に形成された積層パターンの構造情報を得る為の光学装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to the internal structure of and optical scattering bodies represented by the living tissue (the observed object), an optical device for obtaining structural information of a laminated pattern formed on a semiconductor substrate .

【0002】 [0002]

【従来の技術】生物・医療分野では、生体の生理機能の観察や病理診断を行う場合、観察用の標本を作成すること無しに、生体の状態で非侵襲に内部組織等の観察を行うことが望まれている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Biological and medical care, the case of performing the observation and pathological diagnosis of the biological physiology, without creating a sample for observation, performing the observation of an internal tissue, such as in non-invasive in vivo state it has been desired. 生体組織は光学的には光散乱体であり、生体の内部を観察する場合には、観察すべき領域の前後の組織により観察光が散乱の影響を受け、被観察領域を識別することが難しい。 Biological tissue is light scatterers optically, in the case of observing the inside of the living body observation light affected by scattered by the front and rear of the tissue to be observed region, it is difficult to identify the area to be observed . この問題を解決する為に、特公平6−35946号公報や米国特許第5321 To solve this problem, Kokoku 6-35946 Patent Publication and US Patent No. 5321
501号等で提案されている低コヒーレンス干渉技術を用いて観察する方法が使われるようになっている。 Method for observing using a low coherence interference technique proposed in 501 No. or the like so is used. 低コヒーレンス干渉技術を用いて生体を観察すると、生体内で特定の領域の信号のみを検出することが出来る。 Observing the living body using a low-coherence interferometric techniques, it is possible to detect only a signal of a specific region in the living body. 更に、観察している領域の前後の媒質による光の散乱の影響を低減することも出来る。 Furthermore, it is possible to reduce the influence of the scattering of light by the front and rear of the medium in the region being observed. また、半導体分野においても、ICの高密度集積化を実現する為に、シリコンウエハー上に形成する回路パターンを積層して3次元的に形成することが進められている。 Further, in the semiconductor field, in order to realize high-density integration of the IC, and circuit patterns formed on a silicon wafer by stacking to be three-dimensionally formed it is underway. このような回路パターンの3次元化に伴い、シリコンウエハー上に積層された特定の回路パターン層の構造や欠陥を検査する方法も必要になっている。 With the three-dimensional of such a circuit pattern, a method for inspecting a structure or defect of a particular circuit pattern layer stacked on a silicon wafer it is also needed. 従来、ICの回路パターンを検査する方法として、赤外光をシリコン基板に透過させて回路パターンを観察する方法があるが、この方法の採用により、 As a method of inspecting a circuit pattern of the IC, there is a method of observing a circuit pattern by transmitting infrared light to a silicon substrate, by adopting this method,
シリコンウエハーの表面から観察することの出来ない部分についても、観察が可能になった。 For even can not part of that observed from the surface of the silicon wafer it became possible to observe.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、現状の低コヒーレンス干渉技術は、光源の可干渉距離の短さを利用して被観察物体の特定の領域からの信号を検出し、これにより被観察領域の座標と反射率を求めるようにしているが、被観察領域の前後の媒質での光の散乱による干渉信号の低下についての考慮がなされていないので、散乱光と干渉信号を分離することは可能であるが、被観察領域の位相変化を検出して位相情報を再生することが難しく、そのため、被観察領域の構造や密度の変化を検出することが難しいと云う問題があった。 [0007] Meanwhile, the low coherence interference technology currently utilizes coherence length short of the light source to detect a signal from a particular region of the observed object, thereby the observation area Although the coordinates are to obtain the reflectance, because it is not made considering for reduction of the interference signal due to scattering of light before and after the medium of the observed area, to separate the interference signal and the scattered light is possible although, it is difficult to reproduce the phase information by detecting the phase change of the observation area, therefore, there is a problem that it difficult to detect changes in the structure and density of the observed region. また、生体の生理機能の観察や病理診断を行う場合には、被観察領域の構造や密度の変化を検出する必要もあり、被観察領域の座標や光の反射率を求める以外に、位相変化を検出することも重要である。 Further, when the observation and pathological diagnosis of biological physiology is also necessary to detect changes in the structure and density of the observation area, in addition to obtaining the reflectance of the coordinates and the light of the observed region, the phase change it is also important to detect. また、シリコン基板上に3次元的に形成された回路パターンを、赤外光を用いて透過観察し、 Further, the three-dimensionally formed circuit pattern on a silicon substrate, permeation was observed using infrared light,
特定の領域の構造や欠陥を検査する場合にも、被観察領域の前後の回路パターンにより散乱光及び回折光が発生する。 When examining the structure and defects of a particular region, the scattered light and diffracted light is generated by the front and rear of a circuit pattern of the observed region. また、回路パターンを形成する段差情報等も段差の前後の領域での光の散乱の影響により、その検出信号に減衰が生じる。 Further, due to the influence of the scattering of light in the regions preceding and following the level information such as to form a circuit pattern is also stepped, attenuation occurs in the detection signal. なお、各層の回路パターンの構造や欠陥を観察する場合には、被観察領域以外で発生する散乱光と検出光を分離する必要があるが、赤外光源と低コヒーレンス干渉技術を組合せることにより、散乱光と検出光を分離することは出来る。 In the case of observing the structure or a defect of a circuit pattern of each layer, it is necessary to separate the detected light and scattered light generated outside the observation area, by combining the infrared light source and the low coherence interference technology , to separate the scattered light and the detection light can. しかし、被観察領域以外の領域での光の散乱により、検出信号の減衰が生じるので、生体内部の観察の場合と同様に、光の散乱による検出信号の減衰を考慮しなくては、段差等の構造情報を再生することは難しい。 However, the scattering of light in the region other than the region to be observed, since the attenuation of the detection signal is generated, as in the case of a living body observation, be taken into account the attenuation of the detection signal due to scattering of light, step or the like it is difficult to reproduce the structure of information.

【0004】本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被観察物体の特定の領域における位相情報を光の散乱の影響を受けることなしに再生することの出来る光学装置を提供しようとするものである。 [0004] The present invention has been made in view of such problems of the prior art, it is an object affected by the scattering of light phase information in a particular region of the observed object it is intended to provide an optical device that can be played without.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明による光学装置は、光源と、該光源からの光を被観察物体に導く照明光学系と、該照明光学系内に配置されていて前記光源からの光を被観察物体と被観察物体の干渉像を形成する為の参照物体とにそれぞれ分割して導光する部材と、被観察物体からの光と参照物体からの光の干渉により形成された干渉像を撮像素子に導く結像光学系と、干渉像を撮像する撮像素子と、該撮像素子からの画像情報を演算する演算装置と、前記照明光学系内または結像光学系内に配置されていて干渉像を形成する被観察物体からの光と参照物体からの光の相対的な位相差量を変化させる手段を有する光学装置であって、得られた干渉画像から被観察物体の光散乱係数を用いて被観察物体の位相情 To achieve the above object, according to the Invention The optical device according to the present invention includes a light source, an illumination optical system that guides the observation target object light from the light source, disposed in the illumination optical system a member for light guide is divided respectively into a reference object for forming an interference image of the observed object and the observation object with light from the light source is, the light from the reference object and the light from the observed object an imaging optical system for guiding to the imaging device an interference image formed by the interference of an imaging device for imaging the interference image, an arithmetic unit for calculating the image information from the image sensor, said illumination optical system or imaging an optical apparatus having a means for varying the relative phase difference of the light from the light and the reference object from the observed object to form an interference image be disposed in the optical system, from the obtained interference image phase information of the observed object by using a light scattering coefficient of the observed object の減衰を補正することにより、被観察物体内の特定の位置における位相情報を得るようにしている。 By correcting the attenuation, so as to obtain the phase information at a particular location of the observed the object.

【0006】一般に、光散乱媒質中を透過して来た光は、図1及び図2に模式的に示したように、光学特性上散乱光と非散乱光とに分類されるが、散乱光は、媒質中の光散乱物質と衝突を繰り返し、統計的に散乱角度内で分布する。 [0006] In general, light coming through the in the light scattering medium, as schematically shown in FIG. 1 and FIG. 2 is classified into optical properties on scattered light and non-scattered light, the scattered light , repeat collision and light-scattering materials in the medium are distributed statistically scattered within an angle. そして、散乱光は光散乱物質と衝突を繰り返すことにより相対的に光路長がランダムになり、光源のコヒーレンスが低い場合には、インコヒーレントな状態になると考えられている。 Then, the scattered light is relatively light path length by repeating collisions with light scattering material is randomly if the coherence of the light source is low is considered to be incoherent state. また、非散乱光は、媒質中の光散乱物質に衝突することなく透過する光、若しくは光散乱物質に衝突してもその光路長が光源のコヒーレンス長以内の光であり、特定の領域の密度分布や凹凸等の位相情報を伝達する光である。 Further, non-scattered light is light of the transmitted light, or even collide with the light scattering material is the optical path length within the coherence length of the light source without colliding with the light scattering material in the medium, the density of a particular area a light transmitting phase information of distribution or unevenness or the like.

【0007】従って、光源と、光源からの光を被観察物体に導く照明光学系と、照明光学系内に配置されていて光源からの光を被観察物体と被観察物体の干渉像を形成する為の参照物体とにそれぞれ分割して導光する部材と、被観察物体からの光と参照物体からの光の干渉により形成された干渉像を撮像素子に導く結像光学系と、干渉像を撮像する撮像素子と、撮像素子からの画像情報を演算する演算装置と、照明光学系内または結像光学系内に配置されていて干渉像を形成する被観察物体からの光と参照物体からの光の相対的な位相差量を変化させる手段を有する光学装置を構成することで、光散乱媒質中の特定の領域からの非散乱光を干渉像として検出することが出来る。 Accordingly, to form a light source, an illumination optical system that guides the observation target object light from the light source, an interference image of the observed object and the observation object with light from a light source is arranged in the illumination optical system a member for light guide is divided respectively into a reference object for the imaging optical system for guiding to the imaging device an interference image formed by the interference of light from the reference object and the light from the observation object, an interference image an imaging element for imaging, an arithmetic unit for calculating image information from the imaging device, from an optical and a reference object from the observed object be disposed within the illumination optical system or an imaging optical system for forming an interference image by configuring the optical system having a means for varying the relative phase difference of light, it is possible to detect non-scattered light from a particular region in the light scattering medium as an interference image.

【0008】光散乱媒質中を光が透過する時、光散乱物質に光が衝突して生じる散乱光と衝突せずに進む非散乱光とに分かれる。 [0008] When the light through the light scattering medium is transmitted divided into non-scattered light and the light to the light scattering material is advanced without colliding with the scattered light arising in a collision. 光散乱物質に衝突しないで進む非散乱光は、進む距離が長くなるにしたがって光散乱物質に衝突する確率が大きくなり、光散乱物質と衝突して散乱光に変わって行く。 Non-scattered light traveling not collide with the light scattering material, the process proceeds distance probability of colliding with the light scattering material is increased in accordance with becomes longer, collide with the light scattering material will change in the scattered light. 従って、非散乱光の散乱光または入射光に対する割合は、媒質中の光散乱物質の濃度等によって決まる光散乱係数や伝達距離に依存して小さくなる。 Therefore, the ratio scattered light or incident light non-scattering light is reduced depending on the light scattering coefficient and transmission distance determined by the concentration of the light scattering material in the medium.
光散乱係数を光が光散乱物質に衝突する確率と考えると、非散乱光は光散乱係数と伝達距離に依存してその存在する確率が低下し、散乱光及び入射光に対する割合が小さくなる。 Given the probability that the light scattering coefficient of light impinging on the light scattering material, non-scattered light depending on the transmission distance and the light scattering coefficient decreases the probability of its presence, the proportion is small relative to the scattered light and incident light.

【0009】被観察点の位相情報は非散乱光成分と散乱光成分の比の関数になる。 [0009] phase information of the observation point is a function of the ratio of the scattered light component and non-scattered light component. 光が光散乱媒質中を伝達すると、非散乱光成分の減衰率が散乱光成分の減衰率に対し大きくなることから、位相情報が減少して計測される。 When light is transmitted through the light scattering medium, since the attenuation rate of the non-scattered light component is large relative to the attenuation factor of the scattered light component, the phase information is measured decreases.
従って、上記構成の光学装置で取得した干渉画像は、媒質の光散乱係数と伝達距離とによって非散乱光成分が減衰した情報になっている。 Therefore, the interference image obtained by the optical device having the above structure, the non-scattered light component is in the attenuation information by the light scattering coefficient of the medium and transmission distance.

【0010】予め被観察物体と同種の物体から光散乱係数を測定するサンプルを作成して光散乱係数を計測し、 [0010] The light scattering coefficient is measured by creating a sample for measuring the light scattering coefficient from the object in advance the observed object and the same type,
伝達距離と減衰率の関係を計算機シミュレーション等により求め、レファレンスデータとして演算装置の内部に保持させて置く。 The relationship between transmission distance and the attenuation factor determined by computer simulation or the like, placed by retained within the computing device as a reference data. そして被観察物体中の観察点の座標を、その表面を基準に測定し、上記のレファレンスデータから観察点での非散乱光の減衰率を求める。 Then the coordinates of the observation point in the observed object, to measure the surface as a reference to determine the attenuation factor of the non-scattered light at the observation point from the above reference data. そして、 And,
取得した干渉画像を、この減衰率を用いて補正することにより、光散乱媒質中の位相分布を光の散乱の影響を受けることなく求めることが出来る。 The obtained interference image, by correcting using the attenuation factor, the phase distribution in the light-scattering medium can be obtained without being influenced by scattering of light.

【0011】また、本発明によれば、被観察物体内の深さ方向における複数の点で光強度情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の光強度情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求め、この光散乱係数を用いて位相情報の減衰を補正するようにしている。 Further, according to the present invention, obtains the light intensity information at multiple points in the depth direction of the observed the object, based on the attenuation characteristics of the light intensity information of at least two points of the plurality of points It obtains the light scattering coefficient of the observed object Te, and corrects the attenuation of the phase information using the light scattering coefficient. 光散乱媒質中の特定点の位相情報を求める場合には、非散乱光の減衰特性を推定することが重要になってくる。 When obtaining the phase information for a specific point in the light scattering medium is to estimate the attenuation characteristics of the non-scattered light is important. 減衰特性を推定する方法として、先ず被観察物質と同種の物質から光散乱係数を測定する為のサンプルを作成し、光散乱係数を計測し、Lambert−Bee As a method for estimating the attenuation characteristic, first create a sample for measuring the light scattering coefficient of a material of the observed substance and the like, the light scattering coefficient is measured, Lambert-Bee
rの式等を用いて非散乱光の被観察物体の厚さと減衰の関係を数値計算から求める事が考えられる。 It is conceivable to determine the thickness and attenuation of the relationship between the observed object unscattered light from the numerical calculation using the equation like the r. 光散乱係数を求める方法としては、被観察物体から計測用のサンプルを作成しなくても、被観察物体中の少なくとも2点以上の点からの散乱光を計測することにより、求めることが可能である。 As a method for obtaining a light scattering coefficient, without creating a sample for measurement from the observed object, by measuring the scattered light from the at least two or more points in the observed object, it can be determined is there.

【0012】従って、上記本発明のように、観察物体内の深さ方向における複数の点で光の強度情報を取得し、 Accordingly, as described above the present invention to acquire intensity information of light at a plurality of points in the depth direction of the object to be observed,
前記複数の点のうちの少なくとも2点の光強度情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求めることで、非散乱光の減衰特性を算出し、厚さ方向の減衰データをレファレンスデータとして保持し、光の強度情報を得た点もしくはそれ以外の点での非散乱光の減衰特性を算出し、位相情報の補正を行うことが可能となる。 By determining the light scattering coefficient of the observed object on the basis of the attenuation characteristic of the light intensity information of at least two points of the plurality of points, to calculate the attenuation characteristics of the non-scattered light, reference the thickness direction of the attenuation data held as data, the damping characteristics of the non-scattered light at other points or points to obtain the intensity information of light is calculated, it is possible to perform the correction of the phase information.

【0013】また、本発明によれば、被観察物体内の深さ方向における複数の点で類似した構造の位相情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の位相情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求め、 Further, according to the present invention, obtains the phase information of similar structure at a plurality of points in the depth direction of the observed in the object, the attenuation characteristic of the phase information of at least two points of the plurality of points It obtains the light scattering coefficient of the observed object on the basis of,
特定の位置の位相情報を得るようにしている。 So as to obtain the phase information of a particular location. シリコンウエハー上に形成された回路パターンなどは、各層の回路パターンの厚さはほぼ均等であることから、被観察物体中の2点の位相情報を取得し、その信号比を求めることにより、位相情報の部分的な減衰率を求めることが出来る。 Such as a circuit pattern formed on a silicon wafer, since the thickness of the circuit pattern of each layer is substantially uniform, obtains the phase information of two points in the observed object, by obtaining the signal ratio, phase it is possible to obtain the partial decay of the information. 積層回路パターンのように同様な構造が周期的に積層されている物の場合は、全体として均一と考えられ、部分的な減衰率から深さ方向の減衰特性を推定することが可能である。 For those of similar structure as the layered circuit pattern is periodically laminated is considered uniform as a whole, it is possible to estimate the attenuation characteristic in the depth direction from the partial attenuation. 従って上記発明のように、被観察物体内の深さ方向における複数の点で類似した構造の位相情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の位相情報の減衰特性から被観察物体の光散乱係数を求め、位相情報の減衰を補正することが出来る。 Thus, as the above-described invention, obtains the phase information of similar structure at a plurality of points in the depth direction of the observed in the object, the observation object from the attenuation characteristics of the phase information of at least two points of the plurality of points Determination of light scattering coefficients, it is possible to correct the attenuation of the phase information.

【0014】また、本発明によれば、結像光学系が顕微鏡光学系であるように構成されている。 Further, according to the present invention, the imaging optical system is configured to a microscopic optical system. これにより、生体の生理機能やシリコンウエハー上の回路パターンを拡大することができ、より詳細な情報を得ることが出来る。 Thus, it is possible to enlarge the circuit pattern of the living body physiology or silicon wafer, it is possible to obtain more detailed information.

【0015】また、本発明によれば、照明光学系及び結像光学系が共焦点光学系となるように構成されている。 Further, according to the present invention, the illumination optical system and the imaging optical system is constructed so that a confocal optical system.
これにより、非散乱光については深さ方向の情報の分解能が向上して、被観察点の位置を正確に特定することができ、位相情報の減衰を補正する精度を向上させることが出来る。 Thus, for non-scattered light to improve the resolution of the depth direction information, it is possible to accurately identify the position of the observation point, it is possible to improve the accuracy of correcting the attenuation of the phase information. また、位相情報を取得するための干渉画像に散乱光の漏れ込みを減らすことができ、位相情報の取得精度を向上させることも出来る。 Further, it is possible to reduce the leakage of scattered light interference images to obtain the phase information, it is also possible to improve the acquisition accuracy of the phase information. そして、散乱光については被観察点以外からの光の影響を少なくすることができ、被観察点に独立した点光源が存在することと等価に扱うことができる。 Then, the scattered light can reduce the influence of light from outside the observation point, can be treated equivalent to independent point source in the observation point is present. 被観察物体中で観察点を移動させ複数の観察点で散乱光を計測することにより、被観察物体の散乱光の減衰特性を求めることが出来る。 By measuring the scattered light at a plurality of observation points to move the observation point in the observed object, it is possible to determine the attenuation properties of the scattered light of the observed object. この減衰特性から光散乱係数を求めることが出来、更に位相情報の減衰特性を求めることが出来る。 Can determine the light scattering coefficient of the damping characteristics can be further determine the damping characteristics of the phase information.

【0016】また、本発明によれば、光源が低コヒーレンス光源となるように構成されている。 Further, according to the present invention, the light source is configured to be low-coherence light source. これにより、干渉画像から被観察物体の位相情報を取得する際、非散乱光を散乱光から分離することができるばかりか、散乱光と非散乱光の分離の精度を上げることが出来る。 Thus, interference when obtaining the phase information of the observed object from the image, not only it is possible to separate the non-scattered light from the scattered light, it is possible to improve the accuracy of separation of the scattered light and the non-scattered light.

【0017】また、本発明によれば、被観察物体内の深さ方向における複数の点で光強度情報及び位相情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の光強度情報及び位相情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求め、特定の位置の位相情報を得るように構成されている。 Further, according to the present invention, it obtains the light intensity and phase information at multiple points in the depth direction of the observed in the object, at least two points of said plurality of points of light intensity information and phase obtaining the light scattering coefficient of the observed object on the basis of the attenuation characteristics of the information, and is configured to obtain the phase information of a particular location. これにより、位相情報の補正を行うことが出来る。 As a result, it is possible to perform the correction of the phase information. また、本発明を適用するに当り、共焦点顕微鏡を構成することにより、散乱光強度及び位相情報を計測する際のセクショニング効果を得ることが出来るので、 Also, per the application of the present invention, by configuring the confocal microscope, it is possible to obtain a sectioning effect when measuring the scattered light intensity and phase information,
光の減衰率の計測をより正確に行うことが出来る。 It is possible to perform the measurement of the decay rate of the light more accurately.

【0018】 [0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示した実施例に基づき説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be explained based on the embodiments shown an embodiment of the present invention. 実施例1図3は、本発明に係る光学装置を微分干渉顕微鏡に適用した場合の概略構成図である。 Example 1 FIG. 3 is a schematic diagram of a case where the optical device according to the present invention is applied to a differential interference microscope. ここでは、結像光学系として物体からの光を対物レンズで平行光束にし、結像レンズによって被観察物体の像を形成する無限遠補正光学系を用いた正立型顕微鏡の構成で説明する。 Here, the parallel beam of light by the objective lens from the object as an imaging optical system is described in an upright microscope configuration with infinity-corrected optical system for forming an image of the observed object by the imaging lens. なお、微分干渉顕微鏡はシァーリング干渉法を応用した干渉顕微鏡であり、光路中にノマルスキープリズムを配置させることによって横ずれした2つの光束を発生させ、この2つの光束を干渉させて干渉像を生成するものである。 Incidentally, a differential interference microscope is an interference microscope which applies the Shiaringu interferometry, which generates two light beams lateral by placing a Nomarski prism in the optical path, to produce an interference image by interfering the two light beams it is. よって、シァーリング干渉法ではノマルスキープリズムによって発生した2つの光束が、それぞれ交互に被観察光と参照光の役目を果たすことになる。 Thus, in Shiaringu interferometry two light beams generated by the Nomarski prism, would serve the reference light and the observation light to each alternately. 図中、1はステージ2上に抑止された被観察物体である標本、3は対物レンズ、4はピエゾ素子、5はノマルスキープリズム、6はハーフミラー、7は結像レンズ、8は開口パターンディスク、9はモーター、10はリレーレンズ、11はハーフミラー、12はリレーレンズ、13は検光子、14は撮像素子、15は記憶・演算装置、16は表示装置、1 In the figure, the specimen is to be observed an object which is suppressed on the stage 2 1, the objective lens 3, the piezoelectric element 4, the Nomarski prism 5, the half mirror 6, the imaging lens 7, 8 opening pattern disc , the motor 9, the relay lens 10, half mirror 11, 12 is a relay lens, 13 analyzer, the imaging device 14, 15 is a storage and computing unit, 16 display device, 1
7は光源、18は集光レンズ、19は位相変化装置、2 7 denotes a light source, 18 is a condenser lens, 19 is a phase change device, 2
0は光源、21は集光レンズ、22は位相変化装置、2 0 denotes a light source, 21 is a condenser lens, 22 is a phase change device, 2
3は光源、24は集光レンズ、25は位相変化装置、2 3 a light source, 24 is a condenser lens, 25 is a phase change device, 2
6はミラー、27はノマルスキープリズム、28はコンデンサーレンズである。 The mirror 6, 27 Nomarski prism, 28 is a condenser lens. なお、開口パターンディスク8 The opening pattern disk 8
とモーター9は開口部材を、リレーレンズ10,12とハーフミラー11と検光子13はリレー光学系を、光源17と集光レンズ18と位相変化装置19は共焦点照明光学系を、光源20と集光レンズ21と位相変化装置2 The motor 9 the opening member, a relay lens 10 and 12 and the half mirror 11 and the analyzer 13 is a relay optical system, the light source 17 and the condenser lens 18 and a phase change device 19 the confocal illumination optical system, a light source 20 a condenser lens 21 and a phase change device 2
2は落射照明光学系を、光源23と集光レンズ24と位相変化装置25とミラー26とノマルスキープリズム2 2 the reflecting illumination optical system, the light source 23 and the condenser lens 24 and a phase change device 25 and the mirror 26 and the Nomarski prism 2
7とコンデンサーレンズ28は透過照明光学系を、夫々構成している。 7 and the condenser lens 28 is a transmission illumination optical system, and each configuration.

【0019】開口パターンディスク(ニポウディスク(Nipkow Disk))8は結像レンズ7の焦点位置に配置されており、上記リレー光学系は開口パターンディスク8を透過した光が撮像素子14の受光面上に結像するように配置されている。 The opening pattern disk (Nipkow disk (Nipkow Disk)) 8 is arranged at the focal position of the imaging lens 7, the relay optical system on the light receiving surface of the light transmitted through the aperture pattern disc 8 is the image pickup device 14 It is arranged to image. また、リレー光学系内にはハーフミラー11が設けられていて、共焦点照明光学系によりハーフミラー11と開口パターンディスク8を介して被観察物体1の表面を共焦点照明するように構成されている。 Further, in the relay optical system has a half mirror 11 is provided, formed of a confocal illumination optical system through a half mirror 11 and the aperture pattern disc 8 to confocal illuminate the surface of the observed object 1 there. さらに、結像光学系内にノマルスキープリズム5を配置し、リレー光学系内に検光子13を配置して、落射微分干渉観察可能なニポウディスク走査型共焦点微分干渉顕微鏡を構成している。 Furthermore, a Nomarski prism 5 disposed in the imaging optical system, by placing the analyzer 13 in the relay optical system, constitutes a incident differential interference observable Nipkow disk confocal scanning differential interference microscope. 共焦点照明光学系内には位相変化装置19が配置されており、撮像素子14によって撮像された被観察物体の画像を記憶・演算するための装置15と、演算した画像を表示するための表示装置16 The confocal illumination optical system is disposed a phase change device 19, the device 15 for storing and computing the image of the observed object captured by the imaging device 14, the display for displaying the operation image 16
が付加されている。 There has been added. また、対物レンズ3はピエゾ素子4 The objective lens 3 is the piezoelectric element 4
に取り付けられていて、被観察物体1を載置しているステージ2との協働により、対物レンズ3と被観察物体1 Attached to the, by the stage 2 in cooperation with that placed on the observed object 1, the object to be observed and the objective lens 3 object 1
の間隔が正確に制御され得るようになっている。 Spacing is adapted to be precisely controlled. この実施例では、位相変化装置19によりリターデーション量を変化させて複数の微分干渉画像を撮像し、これを記憶・演算装置15で演算して位相情報を抽出することが出来るようになっている。 In this embodiment, the varying the retardation amount by imaging a plurality of differential interference image by the phase change device 19, so it is possible to extract the phase information is calculated by the storage and calculation unit 15 so .

【0020】次に共焦点光学系を用いて生体内部の構造を観察する場合について説明する。 It will be described for viewing the internal body structure with [0020] Next confocal optical system. 先ず、被観察物体である生体標本1をステージ2上に載せて、これを深さ方向即ち上下方向に移動可能にする。 First, it puts the biological specimen 1 on stage 2 which is an object to be observed object, to allow move it in the depth direction i.e. the vertical direction. 生体標本1の表面近傍から内部に向かってステージ2とピエソ素子4の両方を用いて観察点を移動させながら、共焦点観察により光の強度情報と位相情報を取得し、これらを夫々記憶・演算装置15にデータとして保持させて行く。 While from the vicinity of the surface of the biological specimen 1 using both stage 2 and Pieso element 4 towards the interior to move the observation point, it acquires intensity information and phase information of light by confocal observation, they respectively storing and computing go is held by the device 15 as data. そして、取得したデータから光強度情報の観察点の移動による変化を求め、散乱光の減衰特性に変換する。 Then, a change due to the movement of the observation point of the light intensity information from the acquired data, and converts the attenuation characteristics of the scattered light. そして、散乱光の減衰特性から光散乱係数を算出し、更に位相情報の減衰特性を求める。 Then, to calculate the light scattering coefficient of the damping characteristics of the scattered light, further obtains the attenuation characteristics of the phase information. かくして算出した位相情報の減衰特性と各観察点で計測した位相情報を用いて、生体内部の3 Thus using the phase information measured by the attenuation characteristic and each observation point of the calculated phase information, of a living body 3
次元的な位相分布を再生する。 Play-dimensional phase distribution. 位相再生に関する上記の処理は、一連のプログラムで記憶・演算装置15により行われる。 Additional processing related to phase recovery is performed by the storage and calculation unit 15 in a series of programs. なお、本実施例によれば、透過照明光学系と落射照明光学系を有しているので、共焦点観察以外の観察も可能である。 Incidentally, according to this embodiment, since a transmission illumination optical system and the incident-light illumination optical system, it is possible observing a non confocal observation.

【0021】 実施例2図3に示された微分干渉顕微鏡を用いて実施例1とは異なる性質の被観察物体を観察した場合を実施例2として以下に説明する。 [0021] will be described below a case of observing an observed object different properties as in Example 1 by using the differential interference microscope described in Example 2 Figure 3 as a second embodiment. 先ず、内部特性が予め分かっているシリコン基盤上に形成された回路パターンを基準サンプルとし、この基準サンプルをステージ2上に乗せて光源2 First, a circuit pattern formed on a silicon substrate in which internal characteristics are known beforehand as a reference sample, light source 2 put the reference sample on the stage 2
3を赤外光源とした透過照明光学系を用い、結像光学系中のニポウディスク8を回転させながら、照明光学系内に配置された位相変化装置19によりリターデーション量を変化させて複数枚の微分干渉画像を撮像し、記憶・ 3 using a transmission illumination optical system and the infrared light source, while rotating the Nipkow disc 8 in the imaging optical system, the phase change device 19 disposed in the illumination optical system retardation amount by changing a plurality of sheets capturing a differential interference image, storing and
演算装置15で演算して位相情報を抽出する。 And computed by the computing unit 15 extracts the phase information. 次に、積層された回路パターン中で構造が等しい表面近傍の1点と内部の1点を選び、その位相情報を比較し、その2点の座標と位相情報の比較値から2点間の位相情報の減衰率を求める。 Next, select a point and one point inside of the structure is equal surface vicinity in the laminated circuit pattern in compares the phase information, the phase from the comparison value of the coordinates and the phase information of the two points between two points determine the rate of decay of information. 更に、表面近傍の点の位相構造を、落射照明光学系又は共焦点光学系を用いてその位相情報を計測する。 Furthermore, the phase structure of points in the vicinity of the surface, to measure the phase information using the epi-illumination optical system or confocal optical system. 次に、落射照明光学系を用いて計測した位相情報と透過照明光学系を用いて計測した位相の減衰特性と1 Next, the attenuation characteristics of the phase measured by using phase information and transmission-illumination optical system measured using the epi-illumination optical system and the 1
点の座標から、基準サンプル内部の位相の減衰特性を推定する。 From the point of coordinates, it estimates the attenuation characteristic of the reference sample internal phase. この減衰特性をレファレンスデータとして記憶・演算装置15内に保持させる。 Is held in the storage and calculation unit 15. The attenuation characteristic as a reference data. 次に、基準サンプルと同種のサンプルをステージ2に載せ、落射照明光学系又は共焦点光学系を用いて表面近傍の構造を計測する。 Next, place the sample of the reference sample of the same kind on the stage 2, to measure the structure near the surface by using the epi-illumination optical system or confocal optical system. 照明光学系を切り替えて、透過照明光学系を用いて回路パターン内部の位相情報を計測する。 Switching the illumination optical system, measuring the phase information of the internal circuit pattern using a transmission illumination optical system. 記憶・演算装置内部に保持されていた位相の減衰特性のレファレンスデータを用いて、位相情報の減衰を補正して位相情報を再生する。 By using the reference data of the attenuation characteristics of the storage and computing unit has been internally holding phase, to reproduce the phase information by correcting the attenuation of the phase information.

【0022】 実施例3図4は、本発明に係る光学装置をマイケルソン型干渉計に適用した場合の概略構成図である。 [0022] EXAMPLE 3 FIG. 4 is a schematic diagram of a case where the optical device according to the present invention is applied to a Michelson interferometer. 図中、29はSL In the figure, 29 is SL
D等を用いた低コヒーレンス光源、30は集光レンズ、 Low coherence light source using a D or the like, 30 a condenser lens,
31,32,33はミラー、34はビームスプリッタ、 31, 32 mirror, 34 denotes a beam splitter,
35は対物レンズ、36は被観察物体、37はステージ、38はステッピングモーター、39は結像レンズ、 35 denotes an objective lens, the observed object 36, 37 is a stage, 38 is a stepping motor, an imaging lens 39,
40はCCD等から成る光ディテクター、41は集光レンズ、42は参照ミラー、43はピエゾ素子である。 40 light detector comprising a CCD or the like, 41 a condenser lens, 42 is a reference mirror, 43 is a piezoelectric element. ステージ37はステッピングモーター38により光軸方向に正確に位置を移動できるように構成されており、また、参照ミラー42もピエゾ素子43により光軸方向に位置を変えられるように構成されている。 Stage 37 is configured to be changed precisely position is configured for movement, also the reference mirror 42 is also positioned in the optical axis direction by the piezoelectric element 43 in the optical axis direction by the stepping motor 38. また、図示されていないが、ディテクター40には実施例1に示した如き記憶・演算装置15及び表示装置16が接続されている。 Further, although not shown, the storage-arithmetic unit 15, and a display device 16 such as shown in Example 1 is connected to the detector 40. 本実施例は上記のように構成されているから、集光レンズ30及びミラー31,32,33を介してビームスプリッタ34に達した光源29からの光は、ビームスプリッタ34により被観察物体36と参照ミラー42 Since this embodiment is constructed as described above, light from the light source 29 reaches the beam splitter 34 via the condenser lens 30 and the mirror 31, 32, and the observed object 36 by the beam splitter 34 reference mirror 42
への2つに分割される。 It is divided into two to. そして、被観察物体36と参照ミラー42で反射した光はビームスプリッタ34により合成され、光ディテクター40上に被観察点での干渉縞を形成せしめる。 The light reflected by the reference mirror 42 and the observed object 36 are synthesized by the beam splitter 34, allowed to form interference fringes at the observation point on the optical detector 40. 本実施例の如く光源29として低コヒーレンス光源を用いると、被観察物体36と参照ミラー42からの各反射光の光路長が一致した位置でのみ干渉信号が発生するので、被観察物体36上の特定点を観察する場合は、ピエゾ素子43により参照ミラー42を移動させて上記光路長を一致させる。 With low coherence light source as the light source 29 as in the present embodiment, since only the interference signal is generated at a position where the optical path length match each reflected light from the reference mirror 42 and the observed object 36, on the observed object 36 when observing a certain point, by moving the reference mirror 42 by the piezoelectric element 43 to match the optical path length. 参照ミラー42を移動させた時の光ディテクター40からの信号は、横軸に参照ミラー42の移動距離を、縦軸に光ディテクターの信号強度をとると、概略図5に示すような形になる。 Signal from the optical detector 40 when moving the reference mirror 42, the moving distance of the reference to the horizontal-axis mirror 42, taking the signal intensity of the light detector on the vertical axis, the shape as shown in schematic Figure 5 . ここで信号強度は負の電圧値で表示されている。 Here the signal strength is indicated by a negative voltage value.

【0023】被観察物体36の内部を観察する場合には、光散乱物質の存在により光ディテクター40からの受信信号強度は低下する。 [0023] When observing the interior of the observed object 36, the received signal strength from the light detector 40 by the presence of the light scattering material is lowered. これを図5を参照して説明すると、図中のPは参照ミラー42の移動によって変化する干渉信号であり、Sは光ディテクター40に到達する光の強度の総和である。 To explain this with reference to FIG. 5, an interference signal P in the figure changed by the movement of the reference mirror 42, S is the sum of the intensity of light reaching the light detector 40. 従って、Pは非散乱光成分、S Therefore, P is a non-scattered light component, S
は散乱光成分と考えることができる。 It can be considered that the scattered light component. 観察点を被観察物体36の表面から内部へ移動させると、非散乱光成分P The observation point is moved from the surface to the interior of the observed object 36, the non-scattered light component P
と散乱光成分Sは共に減衰して行く。 And the scattered light component S is attenuated together. この減衰量を観察点の座標に対応させると、散乱光成分と非散乱光成分の減衰特性を知ることが出来る。 Made to correspond to the attenuation of the coordinates of the observation point, the attenuation characteristics of the scattered light component and unscattered light component can be known. 更に、特定の観察点で参照ミラー42を走査させて縞走査法等の位相検出法を用いることにより、その観察点での位相情報を得ることが出来るので、得られた位相情報と非散乱光及び散乱光の減衰特性とを用いて、位相情報の補正を行えばその観察点での位相を再生することが出来る。 Further, by using the phase detection method of fringe scanning method by scanning the reference mirror 42 at a specific observation point, it is possible to obtain the phase information at the observation point, the phase information obtained with unscattered light and by using the damping characteristics of the scattered light can play the phase at the observation point by performing the correction of the phase information.

【0024】なお、図4には示されていないが、被観察物体36を光軸に対し垂直な面内でも移動させるか、或いは観察光をその面内で走査させるようにすれば、被観察物体内部の3次元的な位相情報を再生することも出来る。 [0024] Although not shown in FIG. 4, if in such a manner as to scan the object under observation object 36 or even moved in a plane perpendicular to the optical axis, or the observation light within that plane, the observed it is also possible to reproduce a three-dimensional phase information inside an object. また、散乱光成分と非散乱光成分の各減衰特性から観察点近傍の局所的な光散乱係数を検出することが出来るので、この局所的な光散乱係数を比較することにより、被観察物体の内部構造の変化または基準となる物体との差異を検出することも出来る。 Further, since is possible to detect the local light scattering coefficient of the observation points near the respective attenuation characteristics of the scattered light component and unscattered light component can, by comparing the local light scattering coefficient, of the observed object it is also possible to detect a difference between the change or serving as a reference object of the internal structure. 本実施例を含む各実施例では、深さ方向における光強度情報や位相情報の取得は2点としているが、2点以上の複数の点で光強度情報や位相情報を取得しても構わない。 In the embodiments including this embodiment, the acquisition of the optical intensity information and phase information in the depth direction but are at two points, it is also possible to acquire the optical intensity information and phase information at a plurality of points of two or more points . また、減衰特性を求めるにあたっては、取得した複数の情報を全て使っても良いし、取得した複数の情報の一部を使用しても構わない。 Further, when the determined attenuation characteristics, may be used all of the plurality of information obtained, it may be used a part of a plurality of information obtained.

【0025】以上説明したように、本発明は、特許請求の範囲に記載した特徴の他に下記の特徴を有している。 [0025] As described above, the present invention has in addition to the following features of the features set forth in the appended claims. (1) 結像光学系が顕微鏡光学系であることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 (1) The optical device of claim 1, the imaging optical system is characterized in that it is a microscope optical system. (2) 照明光学系及び結像光学系が共焦点光学系であることを特徴とする請求項1または上記(1)に記載の光学装置。 (2) The optical device of claim 1 or the above (1) illuminating optical system and the imaging optical system is characterized in that a confocal optical system. (3) 光源が低コヒーレンス光源であることを特徴とする請求項1または上記(1)または(2)に記載の光学装置。 (3) a light source optical system according to claim 1 or above, wherein the low coherence light source (1) or (2). (4) 被観察物体内の深さ方向の少なくとも2点で光の信号強度情報及び位相情報を取得し、前記2点間での前記強度情報及び位相情報の減衰特性から被観察物体の光散乱係数を求めて、特定位置の位相情報を得るようにしたことを特徴とする請求項1または上記(1)乃至(3)の何れかに記載の光学装置。 (4) obtaining an optical signal intensity information and phase information of the at least two points in the depth direction of the observed in the object, the light scattering of the observed object from the attenuation characteristics of the intensity and phase information between the two points seeking coefficient, optical device according to claim 1 or above, wherein in that to obtain the phase information of the specific position (1) to (3).

【0026】 [0026]

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、生体内部のように光の散乱を伴う物質中の2点以上の観察点で位相情報と散乱光情報を検出し、夫々の変化を求めることによりその物質内部で散乱されない光と散乱された光の減衰特性を求め、この減衰特性を用いて位相情報を補正することにより上記物質内部の3次元的な構造情報を得ることの出来る光学装置を提供することが出来る。 Effects of the Invention According to the present invention as described above, the observation point of more than two points in the material with the scattering of light as a living body to detect the scattered light information and the phase information, obtaining the change in the respective by asking the attenuation characteristics of the unscattered a substance inside the light and the scattered light, an optical device capable of obtaining a three-dimensional structural information of the internal the substance by correcting the phase information using the attenuation characteristic it can be provided. また、 Also,
本発明によれば、上記物質の内部で散乱されない光と散乱する光の減衰特性からその内部の局所的な光散乱係数を算出することができ、局所的な光散乱係数から物質内部の構造変化を知ることの可能な光学装置を提供することが出来る。 According to the present invention, it is possible to calculate the local light scattering coefficient inside the damping characteristics of the light-scattering light that is not scattered in the interior of the material, local from light scattering coefficient of the material inside structural change it is possible to provide an optical device capable of knowing. 同様にして、本発明によれば、シリコン基板上に形成された積層回路パターンの3次元的な構造情報や内部構造の変化を知ることの出来る光学装置を提供することが出来る。 Similarly, according to the present invention, it is possible to provide an optical device capable of knowing the change in the three-dimensional structural information and the internal structure of a multilayer circuit pattern formed on a silicon substrate.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】光を透過する物質内での散乱光と非散乱光の進行状態を模式的に示した説明図である。 1 is an explanatory view of the progress of the scattered light and unscattered light within the material shown schematically which transmits light.

【図2】図1に示した散乱光と非散乱光のコヒーレンスを示す図である。 2 is a diagram showing the coherence of the scattered light and unscattered light shown in FIG.

【図3】本発明に係る光学装置を微分干渉顕微鏡に適用した実施例の概略構成図である。 The optical device according to the present invention; FIG is a schematic configuration diagram of an embodiment applied to a differential interference microscope.

【図4】本発明に係る光学装置をマイケルソン型干渉計に適用した実施例の概略構成図である。 4 is a schematic diagram of the embodiment of the optical device according to the present invention is applied to a Michelson interferometer.

【図5】図4に示した実施例における参照ミラー42の移動距離とディテクター40における信号強度との関係を示す概略図である。 5 is a schematic diagram showing the relationship between the signal strength at the mobile distance and the detector 40 of the reference mirror 42 in the embodiment shown in FIG.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,36 被観察物体(標本) 2,37 ステージ 3,35 対物レンズ 4,43 ピエゾ素子 5,27 ノマルスキープリズム 6,11 ハーフミラー 7,39 結像レンズ 8 開口パターンディスク(ニポウディスク) 9 モーター 10,12 リレーレンズ 13 検光子 14 撮像素子 15 記憶・演算装置 16 表示装置 17,20,23,29 光源 18,21,24,30,41 集光レンズ 19,22,25 位相変化装置 26,31,32,33 ミラー 28 コンデンサーレンズ 34 ビームスプリッタ 38 ステッピングモーター 40 光ディテクター 42 参照ミラー 1,36 the observed object (sample) 2, 37 stage 3,35 objective lens 4,43 piezoelectric element 5, 27 Nomarski prism 6, 11 a half mirror 7,39 imaging lens 8 opening pattern disk (Nipkow disk) 9 motor 10, 12 a relay lens 13 analyzer 14 imaging device 15 storage and computing device 16 display device 17,20,23,29 source 18,21,24,30,41 condenser lens 19,22,25 phase change device 26,31,32 , 33 mirror 28 the condenser lens 34 the beam splitter 38 a stepping motor 40 optical detector 42 the reference mirror

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G059 AA05 BB16 DD13 EE02 EE09 FF01 JJ06 JJ11 JJ13 JJ19 JJ22 KK04 MM01 MM05 PP10 2H052 AA05 AA07 AA08 AC04 AC05 AC14 AC15 AC27 AF04 AF14 AF21 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of continued F-term (reference) 2G059 AA05 BB16 DD13 EE02 EE09 FF01 JJ06 JJ11 JJ13 JJ19 JJ22 KK04 MM01 MM05 PP10 2H052 AA05 AA07 AA08 AC04 AC05 AC14 AC15 AC27 AF04 AF14 AF21

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 光源と、該光源からの光を被観察物体に導く照明光学系と、該照明光学系内に配置されていて前記光源からの光を被観察物体と被観察物体の干渉像を形成する為の参照物体とにそれぞれ分割して導光する部材と、被観察物体からの光と参照物体からの光の干渉により形成された干渉像を撮像素子に導く結像光学系と、干渉像を撮像する撮像素子と、該撮像素子からの画像情報を演算する演算装置と、前記照明光学系内または結像光学系内に配置されていて干渉像を形成する被観察物体からの光と参照物体からの光の相対的な位相差量を変化させる手段を有する光学装置であって、得られた干渉画像から被観察物体の光散乱係数を用いて被観察物体の位相情報の減衰を補正することにより、被観察物体内の特定の位置における位相 1. A light source, an illumination optical system for guiding light to the observed object from the light source and the interference image of the observed object and the observation object with light from the light source is disposed in the illumination optical system a member for light guide is divided respectively into a reference object for forming a imaging optical system for guiding to the imaging device an interference image formed by the interference of light from the reference object and the light from the observed object, an imaging element for imaging an interference image, the light from the observation object to form an arithmetic unit for calculating the image information from the image sensor, the interference image is disposed within the illumination optical system or the image-forming optical in system an optical apparatus having a means for varying the relative phase difference of the light from the reference object and the attenuation of the phase information of the observed object by using a light scattering coefficient of the observed object from the obtained interference image by correcting the phase at a specific position of the observed in the object 情報を得るようにした光学装置。 Optical device to obtain the information.
  2. 【請求項2】 被観察物体内の深さ方向における複数の点で光強度情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の光強度情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求め、該光散乱係数を用いて位相情報の減衰を補正するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 2. A acquires the light intensity information at multiple points in the depth direction of the observed in the object, the light of the observed object on the basis of the attenuation characteristic of the light intensity information of at least two points of the plurality of points seeking scattering coefficient, optical device according to claim 1, characterized in that so as to correct the attenuation of the phase information using the light scattering coefficient.
  3. 【請求項3】 被観察物体内の深さ方向における複数の点で類似した構造の位相情報を取得し、前記複数の点のうちの少なくとも2点の位相情報の減衰特性に基づいて被観察物体の光散乱係数を求め、特定の位置の位相情報を得るようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 3. acquires phase information of similar structure at a plurality of points in the depth direction of the observed in the object, the observation object based on the attenuation characteristics of the phase information of at least two points of the plurality of points of obtaining the light scattering coefficient, optical device according to claim 1, characterized in that to obtain the phase information of a particular location.
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