JP2001272356A - Workpiece appearance inspecting apparatus - Google Patents

Workpiece appearance inspecting apparatus

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Publication number
JP2001272356A
JP2001272356A JP2000083411A JP2000083411A JP2001272356A JP 2001272356 A JP2001272356 A JP 2001272356A JP 2000083411 A JP2000083411 A JP 2000083411A JP 2000083411 A JP2000083411 A JP 2000083411A JP 2001272356 A JP2001272356 A JP 2001272356A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
work
observation
personal computer
substrate tape
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2000083411A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Akiyama
周次 秋山
Satoshi Arai
敏 荒井
Yamato Kanda
大和 神田
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
オリンパス光学工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd, オリンパス光学工業株式会社 filed Critical Olympus Optical Co Ltd
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Publication of JP2001272356A publication Critical patent/JP2001272356A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently observe a test result, without having to replace a step. SOLUTION: A workpiece appearance inspecting apparatus is provided with a first and second inspection heads 26, 27, which take an image of a workpiece 2 and automatically inspect an appearance of the workpiece 2 with high precision and low precision, and a third inspection head 28 performing verifying observation on an aimed part such as a defective part in the workpiece 2 from the inspection results of the workpiece by means of the first and second inspection head 26, 27.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のワークが形
成された帯状体、例えば複数の回路基板が所定のピッチ
で形成されたTAB(テープ・オート・ボンディング)
を送り制御しながら各回路基板に対する欠陥等の外観検
査を行うワーク外観検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a TAB (Tape Auto Bonding) in which a plurality of workpieces are formed, for example, a plurality of circuit boards are formed at a predetermined pitch.
The present invention relates to a work appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of each circuit board for defects and the like while controlling the feed of the workpiece.
【0002】[0002]
【従来の技術】図10はTABのような基板テープ1上
に所定のピッチで形成された複数の回路基板(以下、ワ
ークと称する)2を検査する外観検査装置の概略構成図
である。基板テープ1上に形成された各ワーク2に対し
ては、各種方法で検査が行われている。これら検査は、
例えばボンディングパット部等の微細領域を高倍率で撮
像してその画像データからワーク2を高分解能で検査す
る方法や、この微細領域に比べて大きなダイパット部等
を低倍率で撮像してその画像データからワーク2を広視
野で検査する方法、ワーク2に対する照明を落射照明又
はライン照明などにして検査する方法などがある。この
ような各検査方法にするために上記装置では、複数の検
査ヘッド、例えば高分解能検査用の第1の検査ヘッド
3、広視野検査用の第2の検査ヘッド4などが設けられ
ている。
2. Description of the Related Art FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a visual inspection apparatus for inspecting a plurality of circuit boards (hereinafter, referred to as works) 2 formed at a predetermined pitch on a substrate tape 1 such as TAB. Each work 2 formed on the substrate tape 1 is inspected by various methods. These tests are
For example, a method for imaging a fine area such as a bonding pad portion at a high magnification and inspecting the work 2 at a high resolution from the image data, or a method for imaging a die pad portion or the like larger than the fine area at a low magnification and obtaining the image data To inspect the work 2 in a wide field of view, and a method of inspecting the work 2 using epi-illumination or line illumination. In order to make each of these inspection methods, the above-described apparatus includes a plurality of inspection heads, for example, a first inspection head 3 for high-resolution inspection, a second inspection head 4 for wide-field inspection, and the like.
【0003】又、上記装置とは別に、これら検査ヘッド
3、4によりワーク2上に欠陥等が検出された場合、こ
れら欠陥等を目視観察するための実体顕微鏡を搭載する
ベリファイ用の観察装置が設置されている。
In addition to the above apparatus, when a defect or the like is detected on the work 2 by the inspection heads 3 and 4, a verification observation device equipped with a stereoscopic microscope for visually observing the defect or the like is provided. is set up.
【0004】このような構成であれば、基板テープ1
は、巻き付けられた供給リールが搬送機構に取り付けら
れ、各ワーク2のピッチ間隔に応じて矢印(イ)方向に
ピッチ送り制御される。この1ピッチ毎に送り制御され
る毎に、第1の検査ヘッド3は、その下方に配置される
ワーク2を高倍率で撮像し、これと同時に第2の検査ヘ
ッド4もその下方に配置されるワーク2を低倍率で撮像
する。これにより、第1の検査ヘッド3の撮像により得
られる画像データによりワーク2に対する高分解能な検
査が行われると共に、第2の検査ヘッド4の撮像により
得られる画像データによりワーク2に対する広視野な検
査が行われる。
With such a configuration, the substrate tape 1
The supply reel wound around is attached to the transport mechanism, and pitch feed is controlled in the direction of the arrow (a) according to the pitch interval of each work 2. Each time the feed control is performed for each pitch, the first inspection head 3 images the work 2 disposed therebelow at a high magnification, and at the same time, the second inspection head 4 is also disposed therebelow. The work 2 is imaged at a low magnification. Thus, a high-resolution inspection of the work 2 is performed by the image data obtained by the imaging of the first inspection head 3, and a wide-field inspection of the work 2 is performed by the image data obtained by the imaging of the second inspection head 4. Is performed.
【0005】これら検査が終了し、検査の結果からワー
ク2上に欠陥が検出されると、基板テープ1が巻き取ら
れた巻取りリールを上記装置から取り外し、別途設けら
れたベリファイ用観察装置の供給側リール回転軸に取り
付けられる。そして、基板テープ1は、このベリファイ
用観察装置において送り制御され、上記第1及び第2の
検査ヘッド3、4で検出された欠陥等の部分がベリファ
イ観察用の実体顕微鏡の下方に到達すると、接岸レンズ
を覗いて欠陥部位が目視観察される。
When these inspections are completed and a defect is detected on the work 2 based on the inspection result, the take-up reel on which the substrate tape 1 has been wound is removed from the above-described device, and a separately provided verification observation device is used. Attached to the supply reel rotation shaft. Then, the substrate tape 1 is fed and controlled by the verifying observation device, and when a portion such as a defect detected by the first and second inspection heads 3 and 4 reaches below the stereoscopic microscope for verifying observation, The defect site is visually observed by looking through the berthing lens.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ワ
ーク2に対する検査では、ワーク2上に欠陥が1個所で
も検出されると、高分解能検査及び広視野検査が終了し
た基板テープ1をリールごと上記外観検査装置から取り
外し、別途設けられたベリファイ用観察装置の供給側リ
ール回転軸に取り付けて、再び基板テープ1を送り制御
し、実体顕微鏡を用いて欠陥等を目視観察するという段
取り替えをしなければならない。
However, in the inspection of the work 2, if at least one defect is detected on the work 2, the substrate tape 1 which has been subjected to the high-resolution inspection and the wide-field inspection is reeled together with the external appearance. It must be removed from the inspection device, attached to the supply-side reel rotation shaft of the separately provided verification observation device, fed back and controlled, and visually inspected for defects and the like using a stereoscopic microscope. No.
【0007】そこで本発明は、段取り替えすることなく
効率的に検査結果に対する観察を行なうことができるワ
ーク外観検査装置を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a work appearance inspection apparatus capable of efficiently observing an inspection result without changing the setup.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1記載による本発
明は、複数のワークが形成された帯状体を送り制御しな
がら前記各ワークに対する検査を行うワーク外観検査装
置において、前記ワークの画像を取得して前記ワークの
外観を検査する検査手段と、この検査手段の検査結果か
ら前記ワークにおける注目部分について目視観察を行な
うための目視観察手段とを具備したことを特徴とするワ
ーク外観検査装置である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a work appearance inspection apparatus for inspecting each work while controlling a belt-like body having a plurality of works formed thereon by feeding the work. A work appearance inspection apparatus characterized by comprising inspection means for acquiring and inspecting the appearance of the work, and visual observation means for visually observing a noted portion of the work from the inspection result of the inspection means. is there.
【0009】請求項2記載による本発明は、請求項1記
載のワーク外観検査装置において、前記目視観察手段に
より前記ワークの観察を行なうときに、前記検査手段へ
の前記帯状体の送り制御を継続すると共に、前記観察手
段への前記帯状体の送り制御を一時停止する機能を有す
る観察用送り制御手段を備えたものである。
According to a second aspect of the present invention, in the work appearance inspection apparatus according to the first aspect, when the visual observation means observes the work, the feeding control of the strip to the inspection means is continued. And an observation feeding control means having a function of temporarily stopping the feeding control of the strip to the observation means.
【0010】請求項3記載による本発明は、請求項2記
載のワーク外観検査装置において、前記観察用送り制御
手段は、前記検査手段と前記観察手段との間に設けら
れ、前記ワークの目視観察を行なうときに前記検査手段
から送られてくる前記帯状体をストックする機能を有す
るものである。
According to a third aspect of the present invention, in the apparatus for inspecting the appearance of a workpiece according to the second aspect, the feeding control means for observation is provided between the inspection means and the observation means, and the visual observation of the workpiece is performed. And a function of stocking the strip sent from the inspection means when performing the inspection.
【0011】請求項4記載による本発明は、請求項1記
載のワーク外観検査装置において、前記検査手段と前記
観察手段との間の相互間でデータ通信を行なって前記ワ
ークに関するデータを一元管理するデータ通信手段を備
えたものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the work appearance inspection apparatus according to the first aspect, data communication is performed between the inspection means and the observation means to integrally manage data relating to the work. It has data communication means.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1はワーク外観検査装置の構成図であ
る。筐体10には、リール回転軸11、12が設けられ
ている。一方の供給側リール回転軸11には、供給リー
ル13が取り付けられている。このリール13には、例
えば上記図10に示すようなTABの基板テープ1が巻
き付けられている。他方の巻取りリール回転軸12に
は、例えば基板テープ1を巻き取るための巻取りリール
14が取り付けられている。
FIG. 1 is a configuration diagram of a work appearance inspection apparatus. The housing 10 is provided with reel rotation shafts 11 and 12. A supply reel 13 is attached to one supply-side reel rotation shaft 11. For example, a TAB substrate tape 1 as shown in FIG. 10 is wound around the reel 13. A take-up reel 14 for taking up, for example, the substrate tape 1 is attached to the other take-up reel rotating shaft 12.
【0014】これらリール回転軸11、12の間には、
基板テープ1を所定ピッチで送るスプロケット(ギヤ付
きローラ)16と、基板テープ1を供給リール13から
巻取りリール14に送り導くための各ローラ15,17
〜22が回転自在に設けられている。これらローラ1
5,17〜22は、直線上に配置されている。
Between these reel rotating shafts 11 and 12,
Sprockets (rollers with gears) 16 for feeding the substrate tape 1 at a predetermined pitch, and rollers 15, 17 for feeding and guiding the substrate tape 1 from the supply reel 13 to the take-up reel 14.
To 22 are provided rotatably. These rollers 1
5, 17 to 22 are arranged on a straight line.
【0015】基板テープ1をリール13から巻き取って
リール14に巻き付ける場合、自身の基板テープ1同士
が接触して貼り合わないように、自身の基板テープ1間
にはテープ状の保護スペーサ23が共に巻き付けられて
いる。この保護スペーサ23は、リール13から基板テ
ープ1を引き出すと共に分離され、各ローラ24、25
によりリール14に送り導かれるようになっている。こ
の保護スペーサ23をリール14に巻き付ける場合にも
自身の基板テープ1同士間に入り込むように巻き付けら
れる。
When the substrate tape 1 is taken up from the reel 13 and wound around the reel 14, a tape-shaped protective spacer 23 is provided between the substrate tapes 1 so that the substrate tapes 1 do not come into contact with each other. They are wound together. The protective spacer 23 is pulled out of the substrate tape 1 from the reel 13 and separated therefrom.
, And is guided to the reel 14. When the protective spacer 23 is wound around the reel 14, the protective spacer 23 is wound so as to enter between the substrate tapes 1.
【0016】基板テープ1が送られるライン上の各ロー
ラ16〜21の間には、自動検査用の第1及び第2の検
査ヘッド26、27、オペレータによるベリファイ観察
用の実体顕微鏡(以下、第3の検査ヘッドと称する)2
8及びパンチ29が設けられている。
Between the rollers 16 to 21 on the line to which the substrate tape 1 is fed, there are first and second inspection heads 26 and 27 for automatic inspection, and a stereoscopic microscope for verify observation by an operator (hereinafter referred to as a first microscope). 3)
8 and a punch 29 are provided.
【0017】第1の検査ヘッド26は、基板テープ1上
に形成されているワーク2の微細なボンディンブパット
部を高倍率で撮像してその画像データからワーク2を高
分解能で検査するためのものである。この第1の検査ヘ
ッド26には、例えば落射照明が取り付けられている。
The first inspection head 26 is for imaging a fine bond pad portion of the work 2 formed on the substrate tape 1 at a high magnification and inspecting the work 2 at a high resolution from the image data. Things. For example, epi-illumination is attached to the first inspection head 26.
【0018】第2の検査ヘッド27は、ボンディングパ
ッド部に比べて大きなパターン形状を有するダイパッド
部、レジスト部を低倍率で撮像してその画像データから
基板テープ1のワーク2を広視野で検査するためのもの
である。この第2の検査ヘッド27には、ワーク2全体
をカバーできる長さのライン照明が取り付けられてい
る。
The second inspection head 27 images the die pad portion and the resist portion having a larger pattern shape than the bonding pad portion at a low magnification, and inspects the work 2 of the substrate tape 1 from the image data in a wide field of view. It is for. The second inspection head 27 is provided with a line illumination long enough to cover the entire work 2.
【0019】第3の検査ヘッド28は、第1又は第2の
検査ヘッド26、27の各自動検査により検出されたワ
ーク2上の欠陥等の注目部位を目視観察するためのもの
である。この第3の検査ヘッド28には、例えばCCD
カメラ等の撮像装置が取り付けられ、この撮像装置によ
り第3の検査ヘッド28を通して観察されたワーク2の
拡大画像がベリファイ用モニタテレビジョン30の画面
上に表示されると共に、さらに双眼レンズを介して詳細
な目視観察ができるようになっている。
The third inspection head 28 is for visually observing a target area such as a defect on the work 2 detected by the automatic inspection of the first or second inspection head 26, 27. The third inspection head 28 includes, for example, a CCD
An imaging device such as a camera is attached, and an enlarged image of the work 2 observed through the third inspection head 28 is displayed on the screen of the verifying monitor television 30 by the imaging device, and further through a binocular lens. Detailed visual observation is possible.
【0020】不良パンチ29は、例えば第1又は第2の
検査ヘッド26、27の各検査によりワーク2上に欠陥
が検出され、かつ第3の検査ヘッド28によりその欠陥
がオペレータによる目視観察で不良と判断されたワーク
2に対してパンチを行うためのものである。
The defective punch 29 has a defect detected on the work 2 by, for example, each inspection of the first or second inspection heads 26 and 27, and the third inspection head 28 detects the defect by visual observation by an operator. This is for performing punching on the work 2 determined to be.
【0021】又、基板テープ1の供給側ライン上には、
この基板テープ1の送り量を検出するためのカウンタ3
1が設けられている。
On the supply side line of the substrate tape 1,
Counter 3 for detecting the feed amount of the substrate tape 1
1 is provided.
【0022】さらに、筐体10には、第1乃至第3の検
査ヘッド26〜28及び不良パンチ29の設けられてい
る前方側には、キーボード32が設けられている。この
キーボード32は、例えば検査を行う各基板テープ1に
形成されたワーク2のピッチ間隔やテープ幅、又は各ワ
ーク2のピッチ間隔に応じた第1乃至第3の検査ヘッド
26〜28の相互間の間隔を操作入力するためのもので
ある。
Further, a keyboard 32 is provided on the front side of the housing 10 where the first to third inspection heads 26 to 28 and the defective punch 29 are provided. The keyboard 32 is provided, for example, between the first to third inspection heads 26 to 28 according to the pitch interval and tape width of the work 2 formed on each substrate tape 1 to be inspected, or the pitch interval of each work 2. Is used to input the interval of the operation.
【0023】又、第1乃至第3の検査ヘッド26〜28
及び不良パンチ29の設けられている上方側には、操作
画面用のモニタテレビジョン33が設けられている。こ
のモニタテレビジョン33は、キーボード32から操作
入力された操作内容、又は第1及び第2の検査ヘッド2
6、27に取り付けられた各撮像装置により撮像された
ワーク2等の画像を表示するためのものである。
The first to third inspection heads 26 to 28
On the upper side where the defective punch 29 is provided, a monitor television 33 for an operation screen is provided. The monitor television 33 includes an operation content input from the keyboard 32 or the first and second inspection heads 2.
It is for displaying an image of the work 2 or the like captured by each of the imaging devices attached to 6, 27.
【0024】上記第2の検査ヘッド27とベリファイ観
察用の第3の検査ヘッド28との間には、観察用送り制
御手段としてのバッファ部BFが設けられている。この
バッファ部BFは、第1又は第2の検査ヘッド26、2
7を用いた検査の結果からワーク2上に欠陥等が検出さ
れてベリファイ観察用の第3の検査ヘッド28を用いて
目視観察を行うときに、第1及び第2の検査ヘッド2
6、27への基板テープ1の送り制御を継続すると共
に、ベリファイ観察用の第3の検査ヘッド28への基板
テープ1の送り制御を一時停止してストックするための
ものである。
A buffer section BF is provided between the second inspection head 27 and the third inspection head 28 for verify observation, as an observation feed control means. The buffer unit BF includes the first or second inspection head 26, 2
When a defect or the like is detected on the work 2 from the result of the inspection using the third inspection head 7 and the visual inspection is performed using the third inspection head 28 for verify observation, the first and second inspection heads 2 are used.
This is for continuing the control of feeding the substrate tape 1 to the third and sixth inspection heads and temporarily stopping the control for feeding the substrate tape 1 to the third inspection head 28 for verification observation and stocking.
【0025】このバッファ部BFは、図2に示すように
2組のローラ34、35と矢印(ロ)方向に昇降自在な
昇降用ローラ36とから構成されている。このうち昇降
用ローラ36の径は、各固定用ローラ34、35の径よ
りも大きく形成され、テープ1への負荷を軽減するよう
になっている。
As shown in FIG. 2, the buffer section BF is composed of two sets of rollers 34 and 35 and a lifting roller 36 which can be raised and lowered in the direction of the arrow (b). Among them, the diameter of the elevating roller 36 is formed to be larger than the diameter of each of the fixing rollers 34 and 35, so that the load on the tape 1 is reduced.
【0026】このバッファ部BFは、ベリファイ観察時
に、例えば、スプロケット16の回転を継続すると共
に、巻取り側のリール回転軸12の回転を停止し、一対
のローラ35をロックし、基板テープ1の巻取りを一時
停止させ、かつ昇降用ローラ36を下降させることによ
り基板テープ1をストックするものとなる。
During the verify observation, the buffer unit BF keeps rotating the sprocket 16, stops the rotation of the reel rotating shaft 12 on the winding side, locks the pair of rollers 35, and locks the substrate tape 1. By temporarily stopping the winding and lowering the elevating roller 36, the substrate tape 1 is stocked.
【0027】この基板テープ1のストック量は、昇降用
ローラ36の下方に配置された各基板検出センサー3
7、38を用いて制御される。これら基板検出センサー
37、38は、例えば光センサを用いたもので、昇降用
ローラ36の下降位置を検出してその位置検出信号を出
力するものとなっている。
The stock amount of the substrate tape 1 is determined by the amount of each substrate detection sensor 3 disposed below the elevating roller 36.
7 and 38. Each of the substrate detection sensors 37 and 38 uses, for example, an optical sensor, and detects a lowering position of the lifting roller 36 and outputs a position detection signal.
【0028】従って、昇降用ローラ36の下降位置が基
板テープ1のストック量に比例することから、各基板検
出センサー37、38から出力される位置検出信号に基
づいて後述する搬送用パーソナルコンピュータ39によ
ってスプロケット16の回転動作のタイミングを制御
し、ベリファイ観察時の基板テープ1のストック量を制
御するものとなっている。この場合、オペレータが1つ
のワークを十分に目視観察できる時間に相当する分量が
ストックできればよい。
Therefore, since the lowering position of the lifting roller 36 is proportional to the stock amount of the substrate tape 1, the transport personal computer 39, which will be described later, based on the position detection signals output from the substrate detection sensors 37 and 38. The timing of the rotation operation of the sprocket 16 is controlled to control the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation. In this case, it suffices if the operator can stock an amount corresponding to the time during which one operator can sufficiently visually observe one work.
【0029】このバッファ部BFは、上記図2に示す構
成に限らず、以下に説明する各構成を採ることが出来
る。図3に示すバッファ部BFは、2組のローラ34、
35のそれぞれに各回転数センサ40、41を取り付け
たものである。これら回転数センサ40、41は、それ
ぞれローラ34、35の回転数を検出してその回転数検
出信号を出力するものとなっている。従って、各ローラ
34、35の回転数の差が基板テープ1のストック量に
比例することから、各回転数センサ40、41から出力
される各回転数検出信号に基づいて後述する搬送用パー
ソナルコンピュータ39によってテープ送り用回転軸1
2の回転動作のタイミングを制御し、ベリファイ観察時
の基板テープ1のストック量を制御するものとなってい
る。
The buffer section BF is not limited to the configuration shown in FIG. 2, but may have the following configurations. The buffer unit BF shown in FIG.
Each of the rotation speed sensors 40 and 41 is attached to each of the 35 rotation speed sensors. These rotation speed sensors 40 and 41 detect the rotation speeds of the rollers 34 and 35, respectively, and output the rotation speed detection signals. Therefore, since the difference between the rotation speeds of the rollers 34 and 35 is proportional to the stock amount of the substrate tape 1, a transport personal computer (described later) is generated based on the rotation speed detection signals output from the rotation speed sensors 40 and 41. Rotating shaft 1 for tape feed by 39
The timing of the rotation operation 2 is controlled to control the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation.
【0030】図4に示すバッファ部BFは、昇降用ロー
ラ36の下方に光センサー42を設けたものである。こ
の光センサー42は、昇降用ローラ36の位置を検出し
てその位置検出信号を出力するものとなっている。従っ
て、昇降用ローラ36の位置が基板テープ1のストック
量に比例することから、光センサー42から出力される
位置検出信号に基づいて後述する搬送用パーソナルコン
ピュータ39によってスプロケット16の回転動作のタ
イミングを制御し、ベリファイ観察時の基板テープ1の
ストック量を制御するものとなっている。
The buffer section BF shown in FIG. 4 is provided with an optical sensor 42 below the lifting roller 36. The optical sensor 42 detects the position of the lifting roller 36 and outputs a position detection signal. Accordingly, since the position of the elevating roller 36 is proportional to the stock amount of the substrate tape 1, the timing of the rotation operation of the sprocket 16 is determined by the transport personal computer 39 based on the position detection signal output from the optical sensor 42. This controls the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation.
【0031】図5に示すバッファ部BFは、昇降用ロー
ラ36に代えてテンションローラ43を用いたものであ
る。このテンションローラ43は、ベリファイ観察時
に、後述する搬送用パーソナルコンピュータ39によっ
てテンション駆動部44にテンション指令を発し、この
テンション駆動部44によってテンションローラ43を
下方(矢印ロ方向)に引っ張ることによって基板テープ
1にテンションを加え、ベリファイ観察時の基板テープ
1のストック量を制御するものとなっている。なお、基
板テープ1のストック量は、テンションローラ43の下
降位置に比例することから制御される。
The buffer section BF shown in FIG. 5 uses a tension roller 43 in place of the lifting roller 36. The tension roller 43 issues a tension command to the tension drive unit 44 by the transport personal computer 39 described below during the verify observation, and pulls the tension roller 43 downward (in the direction of arrow B) by the tension drive unit 44, thereby removing the substrate tape. 1 to control the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation. The stock amount of the substrate tape 1 is controlled because it is proportional to the lowering position of the tension roller 43.
【0032】図6に示すバッファ部BFは、このバッフ
ァ部BFの上流側と下流側とにそれぞれローラ45、4
6を設け、各ローラ45、34、35及び46の各回転
数を後述する搬送用パーソナルコンピュータ39によっ
て制御して基板テープ1にテンションを加えるものとな
っている。例えば、ベリファイ観察時に、ローラ45の
回転数よりもローラ34の回転数を大きくすると共に、
ローラ35の回転数よりもローラ46の回転数を大きく
し、かつ昇降用ローラ36を降下させるものとなる。
The buffer section BF shown in FIG. 6 has rollers 45, 4 on the upstream and downstream sides of the buffer section BF, respectively.
6, the number of rotations of each of the rollers 45, 34, 35, and 46 is controlled by a transport personal computer 39 described later to apply tension to the substrate tape 1. For example, at the time of verify observation, while making the rotation speed of the roller 34 larger than the rotation speed of the roller 45,
The rotation speed of the roller 46 is made higher than the rotation speed of the roller 35, and the lifting roller 36 is lowered.
【0033】なお、バッファ部BFは、上記図2乃至図
6に示す各構成に限ることはなく、図7に示すように各
ローラ34、35との間隔を所定距離に広げ、テープル
1の走行ラインがV字形状を描くようにしてもよい。こ
のような構成であれば、ベリファイ観察時において基板
テープ1をストックするときに、基板テープ1に対する
負荷を減少することができる。
The buffer section BF is not limited to the configuration shown in FIG. 2 to FIG. 6, but the distance between the rollers 34 and 35 is increased to a predetermined distance as shown in FIG. The line may draw a V-shape. With such a configuration, when stocking the substrate tape 1 during the verify observation, the load on the substrate tape 1 can be reduced.
【0034】又、図8に示すように2つの拡張ローラ4
7、48を設けてもよい。これら拡張ローラ47、48
は、互いに離れる方向又は接近する方向(矢印ハ方向)
に移動することによって基板テープ1のストック量を制
御するものとなっている。
Further, as shown in FIG.
7, 48 may be provided. These extension rollers 47, 48
Is the direction away from or approaching each other (direction of arrow C)
, The stock amount of the substrate tape 1 is controlled.
【0035】一方、筐体10の下部には、主制御用パー
ソナルコンピュータ50、上記搬送用パーソナルコンピ
ュータ39、第1の検査用パーソナルコンピュータ5
1、第2の検査用パーソナルコンピュータ52及びベリ
ファイ用パーソナルコンピュータ53が設けられてい
る。
On the other hand, the main control personal computer 50, the transport personal computer 39, the first inspection personal computer 5
A first personal computer 52 for inspection and a personal computer 53 for verification are provided.
【0036】図9は制御系の機能ブロック図である。主
制御用パーソナルコンピュータ50には、カウンタ31
及びキーボード32が接続されると共に、主制御用パー
ソナルコンピュータ50から発せられる各指令により搬
送用パーソナルコンピュータ39、第1の検査用パーソ
ナルコンピュータ51、第2の検査用パーソナルコンピ
ュータ52及びベリファイ用パーソナルコンピュータ5
3が作動するものとなっている。
FIG. 9 is a functional block diagram of the control system. The main control personal computer 50 includes a counter 31.
And the keyboard 32 are connected, and the transport personal computer 39, the first inspection personal computer 51, the second inspection personal computer 52, and the verifying personal computer 5 are operated according to commands issued from the main control personal computer 50.
3 is activated.
【0037】搬送用パーソナルコンピュータ39は、リ
ール及びスプロケット駆動部54を駆動して各リール回
転軸12を駆動制御すると共に、スプロケット16を所
定の時間毎にステップ駆動し、このステップ駆動により
基板テープ1をピッチ送り制御する機能を有している。
この場合、搬送用パーソナルコンピュータ39は、キー
ボード32から予め操作入力された基板テープ1に形成
されたワーク2のピッチ間隔に応じたピッチでスプロケ
ット16をステップ駆動する機能を有している。
The transport personal computer 39 drives the reel and sprocket drive unit 54 to control the drive of each reel rotating shaft 12, and drives the sprocket 16 step by step at predetermined time intervals. Has a function of controlling pitch feed.
In this case, the transport personal computer 39 has a function of step-driving the sprocket 16 at a pitch corresponding to the pitch interval of the work 2 formed on the substrate tape 1 previously input from the keyboard 32.
【0038】又、この搬送用パーソナルコンピュータ3
8は、ベリファイ観察時に、バッファ部BFにおける昇
降ローラ36を下降させ、かつ一方のスプロケット16
の回転を継続すると共に、他方のリール回転軸12の回
転を停止し、一対のローラ35をロックし、基板テープ
1の送りを一時停止させて基板テープ1をバッファ部B
Fにストックさせる機能を有している。
The transport personal computer 3
8 lowers the lifting roller 36 in the buffer section BF during the verification observation, and
, The rotation of the other reel rotation shaft 12 is stopped, the pair of rollers 35 is locked, the feed of the substrate tape 1 is temporarily stopped, and the substrate tape 1 is buffered.
F has the function of stocking.
【0039】なお、この搬送用パーソナルコンピュータ
39は、バッファ部BFの構成に応じて以下の機能を有
する。搬送用パーソナルコンピュータ39は、上記図2
に示すバッファ部BFであれば、各基板検出センサー3
7、38から出力される位置検出信号を入力し、これら
位置検出信号に基づいて各スプロケット16の回転動作
のタイミングを制御し、ベリファイ観察時の基板テープ
1のストック量を制御する機能を有している。
The transfer personal computer 39 has the following functions according to the configuration of the buffer section BF. The transfer personal computer 39 is the same as that shown in FIG.
In the buffer section BF shown in FIG.
7 and 38, a function of inputting the position detection signals output from the control signals 38 and 38, controlling the timing of the rotation operation of each sprocket 16 based on these position detection signals, and controlling the stock amount of the substrate tape 1 during the verify observation. ing.
【0040】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図3に示すバッファ部BFであれば、各回転数センサ
40、41から出力される各回転数検出信号に基づいて
各テープ送り用回転軸11、12の回転動作のタイミン
グを制御し、ベリファイ観察時の基板テープ1のストッ
ク量を制御する機能を有している。
In the case of the buffer unit BF shown in FIG. 3, the transport personal computer 39 uses the respective tape feed rotary shafts 11, 12 based on the respective rotational speed detection signals output from the respective rotational speed sensors 40, 41. Has a function of controlling the timing of the rotation operation of the substrate tape 1 and controlling the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation.
【0041】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図4に示すバッファ部BFであれば、光センサー42
から出力される位置検出信号に基づいて各テープ送り用
回転軸11、12の回転動作のタイミングを制御し、ベ
リファイ観察時の基板テープ1のストック量を制御する
機能を有している。
The personal computer 39 for transporting is the optical sensor 42 if it is the buffer unit BF shown in FIG.
Has a function of controlling the timing of the rotation operation of each of the tape feed rotary shafts 11 and 12 based on the position detection signal output from the CPU, and controlling the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation.
【0042】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図5に示すバッファ部BFであれば、テンション駆動
部44にテンション指令を発し、このテンション駆動部
44によってテンションローラ43を下方(矢印ロ方
向)に引っ張ることによって基板テープ1にテンション
を加え、ベリファイ観察時の基板テープ1のストック量
を制御する機能を有している。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 5, the transport personal computer 39 issues a tension command to the tension drive section 44, and pulls the tension roller 43 downward (in the direction of arrow B) by the tension drive section 44. This has a function of adding tension to the substrate tape 1 and controlling the stock amount of the substrate tape 1 during verification observation.
【0043】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図6に示すバッファ部BFであれば、各ローラ45、
34、35及び46の各回転数を制御して基板テープ1
にテンションを加える、例えばローラ45の回転数より
もローラ34の回転数を大きくすると共に、ローラ35
の回転数よりもローラ46の回転数を大きくし、かつ昇
降用ローラ36を降下させる機能を有している。
The transporting personal computer 39 includes the respective rollers 45, as long as the buffer section BF shown in FIG.
34, 35, and 46 to control the number of rotations of the substrate tape 1
For example, the rotation speed of the roller 34 is made higher than the rotation speed of the roller 45,
It has a function to make the number of rotations of the roller 46 higher than the number of rotations, and to lower the elevating roller 36.
【0044】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図7に示すバッファ部BFであれば、テープル1の走
行ラインがV字形状を描くように昇降ローラ36を昇降
させる機能を有している。
The transport personal computer 39 has a function of moving the elevating roller 36 up and down so that the running line of the staple 1 draws a V-shape in the buffer section BF shown in FIG.
【0045】搬送用パーソナルコンピュータ39は、上
記図8に示すバッファ部BFであれば、2つの拡張ロー
ラ47、48を、互いに離れる方向又は接近する方向
(矢印ハ方向)に移動することによって基板テープ1の
ストック量を制御する機能を有している。
In the case of the buffer unit BF shown in FIG. 8, the transport personal computer 39 moves the two extension rollers 47 and 48 in a direction away from each other or in a direction approaching each other (in the direction indicated by the arrow C). 1 has a function of controlling the stock amount.
【0046】なお、この搬送用パーソナルコンピュータ
39は、基板テープ1の検査時に、例えばベリファイ観
察の時間が長くなり、バッファ部BFにおける基板テー
プ1のストック量すなわち基板テープ1の弛み量が所定
量よりも多くなった場合に、各スプロケット16の駆動
を停止して基板テープ1のワーク2が各検査位置に待機
した状態でステップ送りを緊急停止する機能を有してい
る。
In the transfer personal computer 39, when inspecting the substrate tape 1, for example, the verification observation time becomes longer, and the stock amount of the substrate tape 1 in the buffer section BF, that is, the slack amount of the substrate tape 1 becomes larger than a predetermined amount. In the case where the number of sprockets increases, the sprocket 16 is stopped, and the step feed is stopped urgently in a state where the work 2 of the substrate tape 1 is waiting at each inspection position.
【0047】第1の検査用パーソナルコンピュータ51
は、高分解能検査用の第1の検査ヘッド26に取り付け
られた撮像装置から出力された画像信号を入力し、この
画像信号からワーク2の画像データを取得して欠陥抽出
等の検査処理を行う機能を有している。なお、この画像
データは、操作画面用モニタテレビジョン33に表示す
る。
First inspection personal computer 51
Inputs an image signal output from an imaging device attached to the first inspection head 26 for high-resolution inspection, acquires image data of the work 2 from the image signal, and performs inspection processing such as defect extraction. Has a function. The image data is displayed on the operation screen monitor television 33.
【0048】第2の検査用パーソナルコンピュータ52
は、広視野検査用の第2の検査ヘッド27に取り付けら
れた撮像装置から出力された画像信号を入力し、この画
像信号からワーク2の画像データを取得して欠陥抽出等
の検査処理を行う機能を有している。なお、この画像デ
ータは、操作画面用モニタテレビジョン33に表示す
る。
Second personal computer for inspection 52
Inputs an image signal output from an imaging device attached to the second inspection head 27 for wide-field inspection, acquires image data of the work 2 from the image signal, and performs inspection processing such as defect extraction. Has a function. The image data is displayed on the operation screen monitor television 33.
【0049】ベリファイ用パーソナルコンピュータ53
は、ベリファイ観察用の第3の検査ヘッド28に取り付
けられた撮像装置から出力された画像信号を入力し、こ
の画像信号からワーク2の画像データを取得してその画
像をベリファイ用モニタテレビジョン30に表示する機
能を有している。
Verification personal computer 53
Receives an image signal output from an imaging device attached to the third inspection head 28 for verify observation, acquires image data of the work 2 from the image signal, and displays the image on the monitor television 30 for verification. Has the function of displaying the information.
【0050】上記主制御用パーソナルコンピュータ50
は、第1の検査用パーソナルコンピュータ51、第2の
検査用パーソナルコンピュータ52及びベリファイ用パ
ーソナルコンピュータ53の相互間でデータ通信するデ
ータ通信手段50aと、これらパーソナルコンピュータ
51〜53で取得された基板テープ1の検査結果(欠陥
等を含む)のデータを一元管理するデータ管理手段50
bとの各機能を有している。
The main control personal computer 50
Is a data communication means 50a for performing data communication between the first inspection personal computer 51, the second inspection personal computer 52, and the verification personal computer 53, and the substrate tape obtained by these personal computers 51 to 53. Data management means 50 for centrally managing the data of the first inspection result (including the defect etc.)
b.
【0051】例えば、主制御用パーソナルコンピュータ
50は、第1の検査用パーソナルコンピュータ51及び
第2の検査用パーソナルコンピュータ52により得られ
た欠陥の座標や種類等の各検査結果データをベリファイ
用パーソナルコンピュータ53に送信し、かつベリファ
イ用パーソナルコンピュータ53で取得された目視観察
の結果のデータ等を第1の検査用パーソナルコンピュー
タ51及び第2の検査用パーソナルコンピュータ52に
送信する機能を有している。
For example, the main control personal computer 50 converts each inspection result data such as the coordinates and type of a defect obtained by the first inspection personal computer 51 and the second inspection personal computer 52 into a verification personal computer. And a function of transmitting data and the like of the result of visual observation acquired by the verification personal computer 53 to the first inspection personal computer 51 and the second inspection personal computer 52.
【0052】又、主制御用パーソナルコンピュータ50
は、基板テープ1の検査結果を一元管理し、基板テープ
1に欠陥が検出されたときに、ベリファイ観察を行うた
めに、搬送用パーソナルコンピュータ39に対してベリ
ファイ観察の指令を発する機能を有している。
The main control personal computer 50
Has a function of centrally managing the inspection results of the substrate tape 1 and issuing a verify observation command to the transport personal computer 39 in order to perform a verify observation when a defect is detected in the substrate tape 1. ing.
【0053】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。
Next, the operation of the device configured as described above will be described.
【0054】TABの基板テープ1が巻き付けられた供
給リール13がリール回転軸11に取り付けられ、巻取
りリール14がリール回転軸12に取り付けら、搬送用
パーソナルコンピュータ50から発せられる指令により
リール駆動部54が動作すると、リール14が回転する
と共にギヤ付きローラ(スプロケット)16が基板テー
プ1に形成されたワーク2のピッチ間隔に応じたピッチ
でステップ回転する。これにより、基板テープ1は、基
板テープ1に形成されたワーク2のピッチ間隔でピッチ
送りされ、リール14により巻き取られる。
When the supply reel 13 around which the TAB substrate tape 1 is wound is attached to the reel rotating shaft 11, and the take-up reel 14 is attached to the reel rotating shaft 12, the reel driving unit is driven by a command issued from the personal computer 50 for conveyance. As the reel 54 operates, the reel 14 rotates and the geared roller (sprocket) 16 rotates stepwise at a pitch corresponding to the pitch interval of the work 2 formed on the substrate tape 1. As a result, the substrate tape 1 is pitch-fed at the pitch interval of the work 2 formed on the substrate tape 1 and wound up by the reel 14.
【0055】この基板テープ1のピッチ送りと共に保護
スペーサ22が基板テープ1とは別のルートを通ってリ
ール14に送られる。このリール14側では、基板テー
プ1の巻き取りと共に、基板テープ1自身の間に保護ス
ペーサ22を入れ込むように巻き取られる。
With the pitch feed of the substrate tape 1, the protective spacer 22 is sent to the reel 14 through a route different from that of the substrate tape 1. On the reel 14 side, the substrate tape 1 is wound so that the protection spacer 22 is inserted between the substrate tape 1 and itself.
【0056】この状態に、高分解能検査用の第1の検査
ヘッド26は、ワーク2に対して落射照明を行い、例え
ばワーク2のボンディングパット部を高倍率で撮像し
て、その画像信号を出力する。第1の検査用パーソナル
コンピュータ51は、第1の検査ヘッド26から出力さ
れた画像信号を入力し、この画像信号からワーク2の画
像データを取得して欠陥抽出等の自動検査処理を行う。
なお、この画像データは、操作画面用モニタテレビジョ
ン33に表示される。
In this state, the first inspection head 26 for high-resolution inspection illuminates the work 2 with epi-illumination, for example, images the bonding pad portion of the work 2 at a high magnification, and outputs the image signal. I do. The first inspection personal computer 51 receives an image signal output from the first inspection head 26, acquires image data of the work 2 from the image signal, and performs automatic inspection processing such as defect extraction.
This image data is displayed on the operation screen monitor television 33.
【0057】これと同時に、広視野検査用の第2の検査
ヘッド27は、ワーク2に対してライン照明を行い、ワ
ーク2の全体を撮像して、その画像信号を出力する。第
2の検査用パーソナルコンピュータ52は、第2の検査
ヘッド27から出力された画像信号を入力し、この画像
信号からワーク2の全体の画像データを取得して欠陥抽
出等の自動検査処理を行う。なお、この画像データは、
操作画面用モニタテレビジョン33に表示される。
At the same time, the second inspection head 27 for wide-field inspection illuminates the work 2 with a line, captures an image of the entire work 2 and outputs the image signal. The second inspection personal computer 52 receives an image signal output from the second inspection head 27, acquires image data of the entire work 2 from the image signal, and performs automatic inspection processing such as defect extraction. . This image data is
It is displayed on the operation screen monitor television 33.
【0058】これら第1及び第2の検査ヘッド26、2
7を用いて得られた各ワーク2に対する自動検査結果の
各データ、すなわち高分解能の検査結果及び広視野の検
査結果は、主制御用パーソナルコンピュータ50にデー
タ通信される。この主制御用パーソナルコンピュータ5
0は、順次ステップ送りされる各ワーク2の順序で高分
解能の検査結果及び広視野の検査結果を一元管理する。
なお、各ワーク2の順序は、カウンタ31のカウント数
によって対応付けられる。
The first and second inspection heads 26, 2
The data of the automatic inspection result for each workpiece 2 obtained by using the data 7, that is, the inspection result of high resolution and the inspection result of wide field of view are transmitted to the main control personal computer 50 by data communication. This main control personal computer 5
0 unifiedly manages the high-resolution inspection results and the wide-field inspection results in the order of each workpiece 2 sequentially step-feeded.
The order of each work 2 is associated with the count number of the counter 31.
【0059】ここで、高分解能による自動検査又は広視
野による自動検査からワーク2に欠陥が検出されると、
主制御用パーソナルコンピュータ50は、搬送用パーソ
ナルコンピュータ39に対してベリファイ観察指令を発
する。このとき、欠陥が検出されたワーク2が基板テー
プ1上で何番目のワークであるかのデータが搬送用パー
ソナルコンピュータ39にデータ通信されると共に、ワ
ーク2上での欠陥の座標等のデータがベリファイ用パー
ソナルコンピュータ53にデータ通信される。
Here, when a defect is detected in the work 2 from an automatic inspection with a high resolution or an automatic inspection with a wide field of view,
The main control personal computer 50 issues a verify observation command to the transport personal computer 39. At this time, data indicating the number of the work 2 on the substrate tape 1 where the work 2 in which the defect is detected is transmitted to the personal computer 39 for conveyance, and data such as coordinates of the defect on the work 2 is also transmitted. The data is communicated to the verification personal computer 53.
【0060】搬送用パーソナルコンピュータ39は、搬
送用パーソナルコンピュータ39からベリファイ観察指
令を受けると、不良として登録されたワーク2がベリフ
ァイ観察用の第3の検査ヘッド28に送られたときにリ
ール回転軸が停止すると同時に、一対のローラ35がロ
ックされ、検査ヘッド28へのテープ送りが一時停止さ
れる。この状態でバッファ部BFにおける昇降ローラ3
6を下降させ、かつスプロケット16の回転を継続する
ことで、基板テープ1をバッファ部BFにストックさせ
る。
The transfer personal computer 39 receives the verify observation command from the transfer personal computer 39, and when the work 2 registered as defective is sent to the third inspection head 28 for verify observation, the reel rotating shaft Is stopped, the pair of rollers 35 are locked, and the tape feed to the inspection head 28 is temporarily stopped. In this state, the lifting roller 3 in the buffer section BF is
6 is lowered and the rotation of the sprocket 16 is continued, so that the substrate tape 1 is stocked in the buffer section BF.
【0061】なお、ベリファイ観察指令を発するタイミ
ングは、カウンタ31のカウント数に基づいて欠陥が存
在するワーク2がベリファイ観察用の第3の検査ヘッド
28の下方に到達したときである。
The timing at which the verify observation command is issued is when the workpiece 2 having a defect reaches below the third inspection head 28 for verify observation based on the count number of the counter 31.
【0062】バッファ部BFは、上記の如く各種構成の
ものが適用されるが、図2に示すバッファ部BFであれ
ば、ベリファイ観察時に、スプロケット16の回転を継
続すると共に、リール回転軸12の回転を停止し、かつ
昇降用ローラ36を下降させることにより基板テープ1
をストックする。このとき基板テープ1のストック量
は、昇降用ローラ36の下降位置が基板テープ1のスト
ック量に比例することから、昇降用ローラ36の下方に
配置された各基板検出センサー37、38を用いて制御
される。
As the buffer unit BF, those having various configurations as described above are applied. If the buffer unit BF shown in FIG. 2 is used, the rotation of the sprocket 16 is continued and the reel rotating shaft 12 is rotated during the verify observation. The rotation of the substrate tape 1 is stopped by stopping the rotation and lowering the lifting roller 36.
Stock. At this time, since the lowering position of the elevating roller 36 is proportional to the stock amount of the substrate tape 1, the stock amount of the substrate tape 1 is determined by using the substrate detection sensors 37 and 38 arranged below the elevating roller 36. Controlled.
【0063】図3に示すバッファ部BFであれば、各回
転数センサ40、41から出力される各回転数検出信号
に基づいてスプロケット16の回転動作のタイミングを
制御し、ベリファイ観察時の基板テープ1のストック量
を制御する。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 3, the timing of the rotation operation of the sprocket 16 is controlled based on each rotation speed detection signal output from each of the rotation speed sensors 40 and 41, so that the substrate tape at the time of verify observation is obtained. 1 is controlled.
【0064】図4に示すバッファ部BFであれば、光セ
ンサー42から出力される位置検出信号に基づいてスプ
ロケット16の回転動作のタイミングを制御し、ベリフ
ァイ観察時の基板テープ1のストック量を制御する。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 4, the timing of the rotation of the sprocket 16 is controlled based on the position detection signal output from the optical sensor 42, and the stock amount of the substrate tape 1 during the verify observation is controlled. I do.
【0065】図5に示すバッファ部BFであれば、テン
ション駆動部44によってテンションローラ43を下方
(矢印ロ方向)に引っ張ることによって基板テープ1に
テンションを加え、ベリファイ観察時の基板テープ1の
ストック量を制御する。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 5, tension is applied to the substrate tape 1 by pulling the tension roller 43 downward (in the direction of arrow B) by the tension driving section 44, and the stock of the substrate tape 1 at the time of verify observation is obtained. Control the amount.
【0066】図6に示すバッファ部BFであれば、バッ
ファ部BFの上流側と下流側とにそれぞれ設けられた各
ローラ45、34、35及び46の各回転数を制御して
基板テープ1にテンションを加えて、ベリファイ観察時
の基板テープ1のストック量を制御する。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 6, the number of rotations of each of the rollers 45, 34, 35 and 46 provided on the upstream side and the downstream side of the buffer section BF is controlled so that the substrate tape 1 The tension is added to control the stock amount of the substrate tape 1 during the verify observation.
【0067】図7に示すバッファ部BFであれば、各固
定用ローラ34、35との間隔を所定距離に広げ、テー
プル1の走行ラインがV字形状を描くように昇降用ロー
ラ36の下降位置を制御して、ベリファイ観察時の基板
テープ1のストック量を制御する。
In the case of the buffer unit BF shown in FIG. 7, the distance between the fixing rollers 34 and 35 is increased to a predetermined distance, and the lowering position of the lifting roller 36 is set so that the running line of the staple 1 draws a V-shape. To control the stock amount of the substrate tape 1 at the time of verify observation.
【0068】図8に示すバッファ部BFであれば、各拡
張ローラ47、48を互いに離れる方向又は接近する方
向(矢印ハ方向)に移動することによって基板テープ1
のストック量を制御する。
In the case of the buffer section BF shown in FIG. 8, the substrate tape 1 is moved by moving each of the extension rollers 47 and 48 in a direction away from each other or in an approaching direction (direction of arrow C).
To control the amount of stock.
【0069】このように基板テープ1をバッファ部BF
にストックしている状態に、ベリファイ観察用の第3の
検査ヘッド28の下方で基板テープ1のステップ送りが
停止して欠陥の存在するワーク2に対するベリファイ観
察が行われ、かつ第1及び第2の検査ヘッド26、27
の下方で基板テープ1のステップ送りが継続されて基板
テープ1上の各ワーク2に対する自動検査が続けられ
る。
As described above, the substrate tape 1 is
In the state of stock, the step feed of the substrate tape 1 is stopped below the third inspection head 28 for verify observation, the verify observation is performed on the work 2 having the defect, and the first and second inspection heads are checked. Inspection heads 26 and 27
, The step feed of the substrate tape 1 is continued, and the automatic inspection of each work 2 on the substrate tape 1 is continued.
【0070】すなわち、ベリファイ観察用の第3の検査
ヘッド28は、欠陥が存在するワーク2をオペレータに
より目視観察するものとなり、この目視観察により得ら
れた欠陥等のデータは、ベリファイ観察のデータとして
キーボード32等から操作入力される。
That is, the third inspection head 28 for verify observation is for visually observing the workpiece 2 having a defect by an operator, and the data of the defect and the like obtained by this visual observation is used as the data for the verify observation. Operation is input from the keyboard 32 or the like.
【0071】これと共に、ベリファイ用パーソナルコン
ピュータ53は、ベリファイ観察用の第3の検査ヘッド
28に取り付けられた撮像装置から出力された画像信号
を入力し、この画像信号からワーク2の画像データを取
得してその画像をベリファイ用モニタテレビジョン30
に表示する。
At the same time, the verifying personal computer 53 receives an image signal output from an image pickup device attached to the third inspection head 28 for verify observation, and obtains image data of the work 2 from the image signal. Monitor image 30 for verification.
To be displayed.
【0072】しかるに、主制御用パーソナルコンピュー
タ50のデータ管理手段50bは、第1の検査用パーソ
ナルコンピュータ51及び第2の検査用パーソナルコン
ピュータ52により得られた欠陥の座標や種類等の各自
動検査結果データと、ベリファイ用パーソナルコンピュ
ータ53により得られたベリファイ観察のデータとを対
応させて基板テープ1の検査結果(欠陥等を含む)のデ
ータを一元管理する。
However, the data management means 50b of the main control personal computer 50 stores the automatic inspection results such as the coordinates and types of the defects obtained by the first inspection personal computer 51 and the second inspection personal computer 52. The data of the inspection result (including defects and the like) of the substrate tape 1 is centrally managed by associating the data with the data of the verification observation obtained by the verification personal computer 53.
【0073】この後、ベリファイ観察が終了すると、主
制御用パーソナルコンピュータ50は、搬送用パーソナ
ルコンピュータ39に対して検査再開の指令を発する。
これにより、搬送用パーソナルコンピュータ39は、バ
ッファ部BFにおける昇降ローラ36を上昇させ、かつ
一対のローラのロックを解除すると共に、リール回転軸
12の回転を再開する。
Thereafter, when the verify observation is completed, the main control personal computer 50 issues a command to the transport personal computer 39 to restart the inspection.
Thus, the transport personal computer 39 raises the elevating roller 36 in the buffer unit BF, releases the lock of the pair of rollers, and restarts the rotation of the reel rotation shaft 12.
【0074】このように上記一実施の形態においては、
ワーク2の画像を取得してワーク2の外観を高分解能又
は広視野などで自動検査するための第1及び第2の検査
ヘッド26、27と、これら第1及び第2の検査ヘッド
26、27を用いたワーク2の検査結果からワーク2に
おける欠陥部分等の注目部分についてベリファイ観察を
行なうための第3の検査ヘッド28とを備えたので、ワ
ーク2の外観を高分解能又は広視野などで自動検査する
と共に、この自動検査により検出されたワーク2上の欠
陥等のベリファイ観察を、リール13及び14を取り外
して別の装置に取り付けるという段取り作業を行わずに
連続して行うことができる。例えば、1本の基板テープ
1に1ヵ所でも欠陥等があると、リールを架け替える段
取り作業を行わなければならないが、その段取り作業を
行わなくてもよい。
As described above, in one embodiment,
First and second inspection heads 26 and 27 for acquiring an image of the work 2 and automatically inspecting the appearance of the work 2 with high resolution or a wide field of view, and the first and second inspection heads 26 and 27 And a third inspection head 28 for performing a verify observation of a noticed portion such as a defective portion in the work 2 based on the inspection result of the work 2 using the inspection method. In addition to the inspection, the verification observation of the defect or the like on the work 2 detected by the automatic inspection can be continuously performed without performing the setup operation of removing the reels 13 and 14 and attaching them to another device. For example, if there is a defect or the like even in one place in one substrate tape 1, a setup work for changing reels must be performed, but the setup work need not be performed.
【0075】又、自動検査用の第1及び第2の検査ヘッ
ド26、27と、ベリファイ観察用の第3の検査ヘッド
28とを一体化したので、従来のように別々に2台の装
置を設置することなく、装置全体を小型化できる。この
ような基板テープ1のワーク外観検査装置は、クリーン
ルーム内に設置されるので、出来るだけスペースを広く
取らずに小型化したい要求があり、この要求を満足でき
る。さらに、小型化により装置にかかるコストを安価に
できる。
Further, since the first and second inspection heads 26 and 27 for automatic inspection and the third inspection head 28 for verify observation are integrated, two devices are separately provided as in the prior art. The entire device can be miniaturized without installation. Since such a work appearance inspection apparatus for the substrate tape 1 is installed in a clean room, there is a demand for miniaturization without taking up as much space as possible, and this demand can be satisfied. Furthermore, the cost of the apparatus can be reduced by miniaturization.
【0076】又、ベリファイ観察時には、バッファ部B
Fに基板テープ1をストックすると共に、自動検査用の
第1及び第2の検査ヘッド26、27側の基板テープ1
のステップ送りは継続するので、ベリファイ観察時でも
基板テープ1に対する高分解能又は広視野などの自動検
査を継続でき、自動検査の効率を下げることはない。
At the time of verify observation, the buffer B
F, and the substrate tape 1 on the side of the first and second inspection heads 26 and 27 for automatic inspection.
Since the step feed is continued, the automatic inspection of the substrate tape 1 such as a high resolution or a wide field of view can be continued even during the verify observation, and the efficiency of the automatic inspection is not reduced.
【0077】又、第1及び第2のパーソナルコンピュー
タ51、52とベリファイ用パーソナルコンピュータ5
3との間でデータ通信するようにしたので、ワーク2に
関する欠陥等の検査結果のデータを一元管理することが
できる。
The first and second personal computers 51 and 52 and the verifying personal computer 5
Since the data communication is performed with the work 3, the data of the inspection result of the work 2 such as a defect can be centrally managed.
【0078】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通りに変形してもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment, but may be modified as follows.
【0079】例えば、TAB等のテープに限らず、帯状
体上に形成された複数のワークに対する検査であれば適
用できる。
For example, the present invention is not limited to tape such as TAB, but can be applied to any inspection on a plurality of works formed on a belt-like body.
【0080】又、不良パンチ28だけでなく、例えばス
タンプ、レーザマーキング装置などを設けてワークに対
して処理を施すようにしてもよい。
Further, in addition to the defective punch 28, for example, a stamp, a laser marking device or the like may be provided to perform processing on the work.
【0081】[0081]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、段
取り替えすることなく効率的に検査結果に対する観察を
行なうことができるワーク外観検査装置を提供できる。
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a work appearance inspection apparatus capable of efficiently observing an inspection result without changing the setup.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a work appearance inspection apparatus according to the present invention.
【図2】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram of a buffer unit in one embodiment of the work appearance inspection device according to the present invention.
【図3】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 3 is another configuration diagram of the buffer unit in the embodiment of the work appearance inspection apparatus according to the present invention.
【図4】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 4 is another configuration diagram of the buffer unit in the embodiment of the work appearance inspection apparatus according to the present invention.
【図5】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 5 is another configuration diagram of the buffer unit in the embodiment of the work appearance inspection apparatus according to the present invention.
【図6】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 6 is another configuration diagram of the buffer unit in the embodiment of the work appearance inspection apparatus according to the present invention.
【図7】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 7 is another configuration diagram of the buffer unit in one embodiment of the work appearance inspection device according to the present invention.
【図8】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態におけるバッファ部の他の構成図。
FIG. 8 is another configuration diagram of the buffer unit in one embodiment of the work appearance inspection device according to the present invention.
【図9】本発明に係わるワーク外観検査装置の一実施の
形態における制御系の機能ブロック図。
FIG. 9 is a functional block diagram of a control system in one embodiment of the work appearance inspection device according to the present invention.
【図10】従来における外観検査装置の概略構成図。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a conventional visual inspection device.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1:基板テープ 10:筐体 11,12:テープ送り用回転軸 13,14:リール 15,17〜22,24,25:ローラ 16:スプロケット 23:保護スペーサ 26:第1の検査ヘッド 27:第2の検査ヘッド 28:第3の検査ヘッド 29:パンチ 30:ベリファイ用モニタテレビジョン 31:カウンタ 32:キーボード 33:操作画面用モニタテレビジョン BF:バッファ部 34,35:固定用ローラ 36:昇降用ローラ 37,38:基板検出センサー 39:搬送用パーソナルコンピュータ 40,41:回転数センサ 42:光センサー 43:テンションローラ 44:テンション駆動部 45,46:ローラ 47,48:拡張ローラ 50:主制御用パーソナルコンピュータ 51:第1の検査用パーソナルコンピュータ 52:第2の検査用パーソナルコンピュータ 53:ベリファイ用パーソナルコンピュータ 54:リール駆動部 50a:データ通信手段 50b:データ管理手段 1: substrate tape 10: housing 11, 12: rotating shaft for tape feed 13, 14: reel 15, 17 to 22, 24, 25: roller 16: sprocket 23: protective spacer 26: first inspection head 27: first No. 2 inspection head 28: Third inspection head 29: Punch 30: Verification monitor television 31: Counter 32: Keyboard 33: Operation screen monitor television BF: Buffer unit 34, 35: Fixing roller 36: Elevating Rollers 37, 38: Substrate detection sensor 39: Transport personal computer 40, 41: Rotation speed sensor 42: Optical sensor 43: Tension roller 44: Tension drive unit 45, 46: Roller 47, 48: Extension roller 50: Main control Personal computer 51: First inspection personal computer 52: Second personal computer for inspection 53: Personal computer for verification 54: Reel drive unit 50a: Data communication unit 50b: Data management unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 大和 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA02 AA06 AA49 AA56 CC01 DD06 FF26 FF66 GG01 JJ03 JJ26 MM02 PP15 PP24 QQ51 SS02 SS04 SS13 TT01 TT08 2G051 AA61 AA62 AA65 AB02 AC02 BA01 CA03 CA04 CA07 CA11 DA01 DA06 DA15 EA14 FA10 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yamato Kanda 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo F-term in Olympus Optical Co., Ltd. 2F065 AA02 AA06 AA49 AA56 CC01 DD06 FF26 FF66 GG01 JJ03 JJ26 MM02 PP15 PP24 QQ51 SS02 SS04 SS13 TT01 TT08 2G051 AA61 AA62 AA65 AB02 AC02 BA01 CA03 CA04 CA07 CA11 DA01 DA06 DA15 EA14 FA10

Claims (4)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 複数のワークが形成された帯状体を送り
    制御しながら前記各ワークに対する検査を行うワーク外
    観検査装置において、 前記ワークの画像を取得して前記ワークの外観を検査す
    る検査手段と、 この検査手段の検査結果から前記ワークにおける注目部
    分について目視観察を行なうための目視観察手段と、を
    具備したことを特徴とするワーク外観検査装置。
    An inspection means for acquiring an image of the work and inspecting the appearance of the work, wherein the work appearance inspection apparatus performs an inspection for each of the works while feeding and controlling a belt-shaped body having a plurality of works formed thereon; A work appearance inspection apparatus comprising: a visual observation unit for visually observing a target portion of the work based on an inspection result of the inspection unit.
  2. 【請求項2】 前記目視観察手段により前記ワークの観
    察を行なうときに、前記検査手段への前記帯状体の送り
    制御を継続すると共に、前記観察手段への前記帯状体の
    送り制御を一時停止する機能を有する観察用送り制御手
    段を備えたことを特徴とする請求項1記載のワーク外観
    検査装置。
    2. When the visual observation means observes the work, the control of feeding the strip to the inspection means is continued, and the control of feeding the strip to the observation means is temporarily stopped. The work appearance inspection apparatus according to claim 1, further comprising an observation feed control unit having a function.
  3. 【請求項3】 前記観察用送り制御手段は、前記検査手
    段と前記観察手段との間に設けられ、前記ワークの目視
    観察を行なうときに前記検出手段から送られてくる前記
    帯状体をストックする機能を有することを特徴とする請
    求項2記載のワーク外観検査装置。
    3. The observation feed control means is provided between the inspection means and the observation means, and stocks the strip sent from the detection means when performing visual observation of the work. The work appearance inspection apparatus according to claim 2, wherein the work appearance inspection apparatus has a function.
  4. 【請求項4】 前記検査手段と前記観察手段との間の相
    互間でデータ通信を行なって前記ワークに関するデータ
    を一元管理するデータ通信手段を備えたことを特徴とす
    る請求項1記載のワーク外観検査装置。
    4. The external appearance of a work according to claim 1, further comprising a data communication unit that performs data communication between the inspection unit and the observation unit to centrally manage data on the work. Inspection equipment.
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