JP2001260359A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

Info

Publication number
JP2001260359A
JP2001260359A JP2000070684A JP2000070684A JP2001260359A JP 2001260359 A JP2001260359 A JP 2001260359A JP 2000070684 A JP2000070684 A JP 2000070684A JP 2000070684 A JP2000070684 A JP 2000070684A JP 2001260359 A JP2001260359 A JP 2001260359A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
heating
heating resistor
jet head
heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000070684A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Koshiro
良章 小城
Original Assignee
Sharp Corp
シャープ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp, シャープ株式会社 filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2000070684A priority Critical patent/JP2001260359A/en
Publication of JP2001260359A publication Critical patent/JP2001260359A/en
Application status is Pending legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head having a more correct control performance for a quantity of ink to be discharged. SOLUTION: At a heater part 3 of this ink jet head 1, a plurality of insulating layers and heating resistors of a predetermined thickness are alternately stacked on a silicon wafer 11 and then an ink chamber 7 is provided. A protecting film 18 is set to surfaces of the heating resistors and the insulating layers facing the ink chamber 7. Conventionally, a distance between an upper face of a protecting film 118 as a heat-acting face and an upper face of each heating resistor has a relationship of L1>L2>L3 and therefore, a heat transfer efficiency decreases more at the heating resistor of a lower layer far from an ink channel 119. However, since the ink chamber 7 is provided, the distance from each heating resistor to the protecting film 18 as the heat-acting face is made equal and a relationship of L1=L2=L3 is held. The heat transfer efficiency to ink is prevented from differing for each heating resistor. In comparison with the prior art, a calorific value of the first heating resistor 13 and the second heating resistor 15 can be reduced itself, so that the ink jet head 1 can be driven while power consumption is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクを加熱・発泡させて吐出させるサーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドに関するものである。 The present invention relates to relates to an ink jet head of a thermal ink jet system of ejecting ink by heating and foaming. より詳細には、 In more detail,
インクの吐出量を制御できるインクジェットヘッドに関する。 An inkjet head which can control the amount of ink discharged.

【0002】 [0002]

【従来の技術】インク滴を用紙などの記録材上に吐出して画像形成するインクジェットヘッドを用いた画像形成装置においては、印字・画像品位をさらに向上させるために、記録画像画素に階調性を持たせ、中間調(ハーフトーン)の情報を含む画像データを記録したいという要求がある。 In the image forming apparatus using the ink jet head to form an image by ejecting the Related Art Ink droplets onto a recording material such as the paper, in order to further improve the print-image quality, gradation in the recorded image pixel was given, there is a demand for recording image data including information of halftone (halftone). そこで、サーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドでは、画像に応じてインクの吐出量を調整する方法が提案されている。 Therefore, in the ink jet head of a thermal inkjet system, a method of adjusting the amount of ink discharged in accordance with the image it has been proposed.

【0003】例えば、特開昭63−118261号公報では、ヒータの上方へインクを吐出させるトップシュート方式において複数のヒータを積層構造にすることで、 For example, in JP-A-63-118261, by a plurality of heaters in the laminated structure in the top shoot method of ejecting ink above the heater,
常に安定した吐出性能により階調記録をできる液体噴射記録ヘッドに関する技術が開示されている。 It discloses a technique related to a liquid jet recording head capable of gradation recording by always stable ejection performance.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭63−118261号公報に開示された液体噴射記録ヘッドにおいては、ヒータを積層しただけの構造であるため、下層のヒータほどインクまでの距離が遠くなり、選択通電したヒータより上方にあるヒータや絶縁層の熱容量のために、インクへの熱伝達効率が低下するという問題ある。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the liquid jet recording head disclosed in JP-A-63-118261, since the structure of only laminating heater, the distance to the ink as the lower layer of the heater becomes far for the heat capacity of the heater and the insulating layer located above the heater selected energization, heat transfer efficiency to the ink is lowered.

【0005】本発明の目的は、上記の問題を解消するとともに、より正確なインク吐出量の制御性能を有するインクヘッドを提供することである。 An object of the present invention is to solve the above problems, it is to provide an ink head having a more accurate ink discharge amount control performance.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題を解決するための手段として、以下の構成を備えている。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention, as means for solving the above problems, has the following configuration.

【0007】(1) 複数の発熱抵抗体を積層したヒータを発熱させてインクを発泡させ、該ヒータに対向して設けた吐出口からインクを吐出するサーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドにおいて、該ヒータを構成する複数の発熱抵抗体の積層方向に、上面に開口部を有する凹型のインク室を設けたことを特徴とする。 [0007] (1) a plurality of heat generation resistor exothermed laminated heater foamed ink, in the ink jet head of a thermal inkjet method of discharging ink from a discharge port provided in opposition to the heater, the heater the stacking direction of the plurality of heating resistors constituting, characterized in that a concave ink chamber having an opening on the top surface.

【0008】この構成においては、サーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドを構成するインクを発泡させるための複数の発熱抵抗体を積層したヒータに対して発熱抵抗体の積層方向に、上面に開口部を有する凹型のインク室を設けている。 [0008] In this arrangement, the stacking direction of the heat generating resistor to the heater formed by laminating a plurality of heating resistors for foaming ink constituting the ink jet head of a thermal ink jet system, concave having an opening on the upper surface It is provided in the ink chamber. したがって、インク室に流入するインクと、各発熱抵抗体との距離にほとんど差がなくなるため、発熱抵抗体の熱効率が向上する。 Therefore, the ink flowing into the ink chamber, since most differences are eliminated with the distance between the heating resistors, thus improving the thermal efficiency of the heating resistor.

【0009】(2) 前記インク室の側面には、複数の発熱抵抗体の側面が保護膜を介して露出していることを特徴とする。 [0009] (2) on a side surface of the ink chamber, characterized in that the side surfaces of the plurality of heating resistors is exposed through the protective film.

【0010】この構成においては、複数の発熱抵抗体の側面が保護膜を介してインク室の側面に露出している。 [0010] In this configuration, the side surfaces of the plurality of heating resistors is exposed to the side of the ink chamber through the protective film.
したがって、発熱抵抗体の側面によってインク室のインクが加熱されるので、インクとの距離が下層の発熱抵抗体であっても最上層の発熱抵抗体と同じであるため、熱伝達効率を向上させることが可能である。 Therefore, since the ink in the ink chamber is heated by the side of the heating resistor, the distance between the ink is the same as the heat generating resistor of the uppermost layer be a heat-generating resistor of the lower layer, to improve the heat transfer efficiency It is possible.

【0011】(3) 前記発熱低抗体は加熱部と電極部とを備え、該加熱部の断面積は該電極部の断面積より小さいことを特徴とする。 [0011] (3) the heating resistance elements includes a heating portion and the electrode portion, the cross-sectional area of ​​the heating section being smaller than the cross-sectional area of ​​the electrode portion.

【0012】この構成においては、発熱抵抗体は加熱部と電極部とを備え、電極部の断面積より加熱部の断面積は小さい。 [0012] In this configuration, the heating resistor and a heating portion and the electrode portion, the cross-sectional area of ​​the heating section than the cross-sectional area of ​​the electrode portion is small. したがって、発熱抵抗体の加熱部は発熱効率が高くなるように断面積を小さくし、電極部は通電性がよくなるように加熱部より断面積を大きくすることで、 Thus, the heating portion of the heating resistor to reduce the cross-sectional area so that heating efficiency is higher, the electrode portion by increasing the cross-sectional area than the heating portion so as electrical conductivity is improved,
別に電極を設けることなく、ヒータの製造工程を簡素化できる。 Without providing a separate electrode, the manufacturing process can be simplified heater.

【0013】(4) 前記インク室の底面には、前記ヒータの最下層の発熱抵抗体の加熱部が保護膜を介して露出し、該加熱部の厚みは電極部の厚みより薄く、発熱抵抗体の断面は凹であることを特徴とする。 [0013] (4) on the bottom surface of the ink chamber, heating section of the lowermost heating resistor of the heater is exposed through the protective film, the thickness of the heating portion is thinner than the thickness of the electrode portions, the heating resistor body section is characterized by a concave.

【0014】この構成においては、インク室の底面はヒータの最下層の発熱抵抗体の加熱部に構成され、加熱部の厚みは電極の厚みよりも薄く発熱抵抗体の断面は凹形状である。 [0014] In this configuration, the bottom surface of the ink chamber is configured to heat portion of the heating resistor of the lowermost heater, the cross section of the thin heating resistor than the thickness of the thickness of the heating section electrode is concave. したがって、ヒータの加熱部の断面積をさらに小さくすることができ、発熱効率が向上する。 Therefore, it is possible to further reduce the cross-sectional area of ​​the heating portion of the heater, heating efficiency is improved. また、 Also,
ヒータと絶縁層界面を底面とした場合より、キャビテーションに対する耐性が向上する。 Than when the insulating layer interface heater and bottom resistance is improved with respect to cavitation.

【0015】(5) 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体を選択的に加熱可能であることを特徴とする。 [0015] (5), characterized in that a plurality of heating resistance elements constituting the heater can be selectively heated.

【0016】この構成においては、ヒータを構成する複数の発熱抵抗体が選択的に加熱可能である。 [0016] In this arrangement, a plurality of heating resistors constituting the heater can be selectively heated. したがって、選択された発熱抵抗体より上部のインクのみを吐出させることができるので、インクの吐出量を正確に制御することができ、階調性のある画像を形成することができる。 Therefore, it is possible to discharge only the ink above the selected heating resistors, it is possible to accurately control the discharge amount of the ink can form an image having a gradation property. また、ヒータも発熱抵抗体毎に発泡箇所が異なるため、キャビテーションによる損傷が分散され、ヘッドの長寿命化が図れる。 Further, since the heater is also different foam portions for each heating resistor, cavitation damage is dispersed, long life of the head can be achieved.

【0017】(6) 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体は、それぞれ積層方向の間隔が等しいことを特徴とする。 [0017] (6) a plurality of heat generating resistance elements constituting the heater, the interval of each stacking direction is equal to or equal.

【0018】この構成においては、複数の発熱抵抗体はそれぞれ積層方向の距離が等しい。 [0018] In this arrangement, a plurality of heating resistors are equal distances respectively stacking direction. したがって、インク室内のインクは発熱抵抗体の側面で加熱され、発熱抵抗体の高さ位置より上方のインクが吐出されるので、複数の発熱抵抗体の間隔が等しい場合、その間隔に正比例したインク吐出量の組み合わせにより、直線的なγ特性をえることができる。 Therefore, the ink in the ink chamber is heated by the side surface of the heating resistor, since the upper ink is ejected from the height position of the heat generating resistor, when the interval between the plurality of heating resistors are equal, directly proportional to the distance the ink the combination of the ejection amount, it is possible to obtain a linear γ characteristics.

【0019】(7) 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体は、それぞれ積層方向の間隔が異なることを特徴とする。 [0019] (7) a plurality of heat generating resistance elements constituting the heater, the interval of each stacking direction are different from each other.

【0020】この構成においては、複数の発熱抵抗体のそれぞれの積層方向の間隔が異なる。 [0020] In this arrangement, each interval in the stacking direction of the plurality of heating resistors are different. したがって、インク室内のインクは発熱抵抗体の側面で加熱され、発熱抵抗体の高さ位置より上方のインクが吐出されるので、複数の発熱抵抗体の間隔が異なることによって、加熱する発熱抵抗体の位置によってインクの吐出量が異なることから、所望のγ特性(インク吐出量の組み合わせ)を得ることができる。 Therefore, the ink in the ink chamber is heated by the side surface of the heating resistor, since the upper ink is ejected from the height position of the heat generating resistor, by spacing a plurality of heating resistors are different, the heating resistor for heating from vary the amount of ink discharged by the position of, it is possible to obtain a desired γ characteristic (combinations of the ink ejection amount).

【0021】(8) 前記インク室は、上部開口面積が底面積より大きく、前記インク室の側面は、所定の角度で傾斜した傾斜面、階段状に傾斜した傾斜面、または曲率を有する凹曲面であることを特徴とする。 [0021] (8) the ink chamber is greater than a bottom area upper opening area, the side surface of the ink chamber is concavely curved surface having an inclined surface, the inclined surface is inclined stepwise or curvature, which is inclined at a predetermined angle and characterized in that.

【0022】この構成においては、インク室の側面が所定の角度で傾斜した傾斜面、階段状に傾斜した傾斜面、 [0022] In this arrangement, the inclined surface, the inclined surface inclined in a stepped shape in which the side surface of the ink chamber is inclined at a predetermined angle,
または曲率を有する凹曲面であり、インク室の上部開口面積が底面積より大きい。 Or a concave curved surface having a curvature, is greater than the bottom area upper opening area of ​​the ink chamber. したがって、発熱抵抗体の側面において熱作用面積が増加するため、熱伝達効率を向上することができる。 Therefore, since thermal action area increases in the side of the heating resistor, it is possible to improve the heat transfer efficiency. また、発熱抵抗体の発熱によって得られるインクの吐出圧を吐出方向に向けられるので、 Also, since directed ejection pressure of the ink obtained by heating of the heating resistor in the discharge direction,
吐出効率を向上させることができる。 It is possible to improve the ejection efficiency.

【0023】 [0023]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド(以下、本ヘッドと称する。)は、例えば一般的なインクジェットプリンタに使用されるサーマルインクジェット方式の記録ヘッドである。 The ink-jet head according to the embodiment of the embodiment of the present invention (hereinafter, referred to as the head.) Is a recording head of a thermal ink jet system which is used, for example, in general ink jet printer.

【0024】まず、本ヘッドの概略の構成について説明する。 [0024] First, the configuration of outline of the head. 図1は、本ヘッドの構成を示す斜視図である。 Figure 1 is a perspective view showing the configuration of the head. 本ヘッド1は、基板2とスペーサ6とノズルプレート4とによって構成される。 This head 1 is constituted by the substrate 2 and the spacer 6 and the nozzle plate 4. ノズルプレート4は、スペーサ6 The nozzle plate 4, a spacer 6
を介して基板2との距離が一定に保たれるように配置されている。 Distance is arranged to be kept constant and the substrate 2 through the. ノズルプレート4にはインクの吐出口であるノズルが設けられており、それに対向するように基板2 The nozzle plate 4 has a nozzle is provided a discharge port of the ink, substrate so as to face 2
の上面にヒータが設けてある。 Heater is provided on the top surface. また、ノズルプレート4 In addition, the nozzle plate 4
には、複数のインク吐出口が所定の配列パターンを繰り返して配置されている。 The plurality of ink discharge ports are arranged repeatedly a predetermined arrangement pattern. スペーサ6は、隣接した各ノズルにインクを供給するインクの流路を区切るために存在し、ヒータ部3とインクの流路とする所は、スペーサ6 The spacer 6 is present to separate the ink flow path for supplying ink to each adjacent nozzle, where the flow path of the heater unit 3 and the ink, the spacer 6
は設けていない。 It is not provided.

【0025】次に、本ヘッドの特徴的な構成であるヒータ部の構成について説明する。 [0025] Next, the configuration of the heater unit, which is a characteristic configuration of the present head. 図2はヒータ部の構成を示す断面図である。 Figure 2 is a sectional view showing a configuration of a heater unit. また、図3は、ヒータ部の上面透視図である。 3 is a top perspective view of the heater unit. 図1のA−A断面図である図2に示すように、本ヘッド1のヒータ部3は、所定の厚みを有する複数の絶縁層及び発熱抵抗体をシリコンウェハ11上に交互に積層し、発熱抵抗体の平面的なパターン形成をした後に、孔加工などを行ってインク室7を設ける。 As shown in FIG. 2 is an A-A sectional view of FIG. 1, the heater portion 3 of the head 1, by alternately laminating a plurality of insulating layers and a heating resistor having a predetermined thickness on a silicon wafer 11, after a planar patterning of the heating resistor is provided an ink chamber 7 performs like hole processing. そして、インク室7に面する発熱抵抗体及び絶縁層の表面に、保護膜18を設けたものである。 Then, the surface of the heating resistor and the insulating layer facing the ink chamber 7, is provided with a protective film 18. ここで、保護膜は、インクがヒータに接触することを防止するためのものである。 Here, the protective film is for preventing the ink from contacting the heater.

【0026】ヒータ部3は、例えば、図2(A)に示すように、シリコンウェハ11の上部に第1絶縁層12、 The heater unit 3 is, for example, as shown in FIG. 2 (A), the first insulating layer 12 on the silicon wafer 11,
第1発熱抵抗体13、第2絶縁層14、第2発熱抵抗体15、第3絶縁層16及び第3発熱抵抗体17が順次積層され、インク室7に面する面に保護膜18が施された構成である。 First heating resistor 13, the second insulating layer 14, the second heating resistor 15, the third insulating layer 16 and the third heat generating resistor 17 are sequentially stacked, protection surface film 18 facing the ink chamber 7 facilities a configuration. また、インク室7の側面に、ヒータ部3を構成する各発熱抵抗体の側面を、保護膜18を介して露出させて、インクへの熱作用面となるようにしている。 Further, the side surface of the ink chamber 7, so that the side surfaces of the heating resistor constituting a heater portion 3, is exposed through the protective film 18, a heating portion of the ink.

【0027】ヒータ部3の平面的なパターン形成については、例えば図3に示すように、インク室7の側面が熱作用面となり、且つ発熱効率が向上するように、加熱部における発熱抵抗体の幅W H1 、W H2 、W H3を狭くして、 [0027] For planar patterning of the heater unit 3, for example, as shown in FIG. 3, the side surface of the ink chamber 7 becomes the heat acting surface, and so heating efficiency is improved, the heating resistor in the heating unit by narrowing the width W H1, W H2, W H3 ,
加熱部の断面積を小さくした形状にする。 To reduce shape the cross-sectional area of ​​the heating unit. また、発熱抵抗体が均一に発熱するように、インク室の中心に対して発熱抵抗体を対称形とする。 Further, as the heating resistor is uniformly heating, the heating resistor and symmetrical with respect to the center of the ink chamber.

【0028】これに対して、電極部における発熱抵抗体の幅W E1 、W E2 、W E3を広くして、断面積を加熱部よりも十分大きくした形状にする。 [0028] On the contrary, by increasing the width W E1, W E2, W E3 of the heating resistor in the electrode unit, a sufficiently large shape than the heating section the cross-sectional area. そのため、電極部には加熱部が均一に発熱するための電流が流れ、且つ電極部は発熱しない。 Therefore, current for the heating unit is uniformly heating flows through the electrode portion, and the electrode portion does not heat. よって、従来のようにヒータ部3に別の電極層を設けることなく加熱部に通電することができる。 Therefore, it is possible to energize the heating unit without providing a separate electrode layer to the heater unit 3 as in the prior art.
また、これにより、製造工程の簡素化が可能になる。 This also makes it possible to simplify the manufacturing process.

【0029】インク室7の底面に保護膜18を介して露出する第1発熱抵抗体は、インク室7の底面のみで露出した場合、底面及び側面で露出した場合、または側面で露出した場合のいずれであってもよい。 The first heating resistor is exposed through the protection bottom layer 18 of the ink chamber 7, when exposed only at the bottom surface of the ink chamber 7, when exposed when exposed at the bottom and side surfaces, or side it may be either. 図2(A)に示した第1発熱抵抗体13がインク室7の底面のみで露出した場合は、図3に示したヒータ部3の上面透視図のように、第2発熱抵抗体や第3発熱抵抗体とは異なる平面的なパターン形状を施すか、予め第1発熱抵抗体の電極部上に低抵抗の電極材を積層してパターン形成し電極を設けるなどの熱作用面である加熱部の発熱効率を高める手法をとる必要がある。 If the first heating resistor 13 shown in FIG. 2 (A) is exposed only on the bottom surface of the ink chamber 7, as top perspective view of a heater portion 3 shown in FIG. 3, the second heating resistor and the 3 heating resistor or applying a different planar pattern shape as a pre-heat acting surface, such as by laminating a low resistance of the electrode material patterned form electrodes on the first heating resistor of the electrode portion on the heating it is necessary to take an approach to improve the heating efficiency of the parts.

【0030】図2(B)に示した第1発熱抵抗体13b The first heating resistor 13b that shown in FIG. 2 (B)
がインク室7の底面及び側面で露出した場合は、第1発熱抵抗体13bの加熱部において層厚が薄くなるように加工しているので、第1発熱抵抗体13bの電極部に比べてさらに断面積が小さくなり、加熱部での発熱がしやすいという利点がある。 If There exposed at the bottom and side surfaces of the ink chamber 7, since the layer thickness in the heating portion of the first heating resistor 13b is processed to be thinner, yet in comparison with the electrode portion of the first heating resistor 13b sectional area is reduced, there is an advantage that heat generation is likely in the heating unit. また、インク室の底面と側面とのコーナ部(角部)が第1発熱抵抗体13bとなるため、図2(A)に示した第1発熱抵抗体13と第2絶縁層14との界面がコーナ部となる場合に比べて、インク発泡や消滅によるキャビテーション損傷に対して耐性が向上する。 Further, since the corner portion between the bottom surface and the side surface of the ink chamber (corner) is the first heating resistor 13b, the interface between the first heating resistor 13 shown in FIG. 2 (A) and the second insulating layer 14 There as compared with the case where the corner portion, resistance is improved against cavitation damage from ink foam or disappearance.

【0031】図2(C)に示した第1発熱抵抗体13c The first heating resistor 13c that shown in FIG. 2 (C)
が、インク室7の側面で露出した場合は、第1発熱抵抗体13cを第2発熱抵抗体15cや第3発熱抵抗体17 But, when exposed at the side surface of the ink chamber 7, the first heating resistor 13c the second heating resistor 15c and a third heating resistor 17
cと同じパターンで形成することによって、第2発熱抵抗体15cや第3発熱抵抗体17cと同様に側面が発熱するため、熱作用面での発熱を効率的且つ均一にすることができる。 By forming the same pattern is c, since the side surface similarly to the second heating resistor 15c and a third heating resistor 17c is exothermic, it is possible to heat generation in the heat acting surface efficiently and uniformly.

【0032】なお、図2には、ヒータ部3において発熱抵抗体を3層積層した場合を示しているが、これに限るものではなく、必要に応じて発熱抵抗体の層数を増減することは可能である。 [0032] Incidentally, in FIG. 2, but shows the case of three-layer heating resistors in the heater unit 3 is not limited to this, increasing or decreasing the number of layers of heat-generating resistors as required it is possible.

【0033】次に、従来技術と対比して、本ヘッドの利点を説明する。 Next, in contrast to the prior art, illustrating the advantages of the present head. 図4(A)は本ヘッドのヒータ部3の断面構造であり、図4(B)は従来のヘッドのヒータ断面図である。 4 (A) is a cross-sectional structure of the heater section 3 of the head, FIG. 4 (B) is a heater sectional view of a conventional head. また、図5は、本ヘッドの発泡位置を示す断面図である。 Further, FIG. 5 is a sectional view showing a foaming position of the head. 図4(B)に示すように、従来のヘッドのヒータ部103は、所定の厚みの複数の発熱抵抗体及び絶縁層を交互に積層した構成である。 As shown in FIG. 4 (B), the heater portion 103 of a conventional head is formed by laminating alternately a plurality of heat-generating resistor and the insulating layer having a predetermined thickness. 即ち、図外のシリコンウェハの上部に図外の第1絶縁層、第1発熱抵抗体113、第2絶縁層114、第2発熱抵抗体115、第3絶縁層116及び第3発熱抵抗体117が順次積層され、インク流路119に面する面に保護膜118が設けられた構成である。 That is, the first insulating layer, not shown in the upper part of FIG outside of the silicon wafer, the first heating resistor 113, the second insulating layer 114, the second heating resistor 115, the third insulating layer 116 and the third heat generating resistor 117 There are sequentially laminated, a configuration in which protection surface film 118 facing the ink flow path 119 is provided. また、各発熱抵抗体に上面には電極層113a、115a、117aが形成されている。 The electrode layer 113a on the upper surface to the heating resistors, 115a, 117a are formed. よって、インク流路119と各発熱抵抗体との距離はそれぞれ異なっている。 Therefore, the distance between the ink flow path 119 and the heating resistors are different from each other. つまり、熱作用面である保護膜11 That is, the protective film 11 is a heat acting surface
8の上面と第1発熱抵抗体113の上面との距離をL The distance between the 8 upper surfaces of the first heating resistor 113 L
1、保護膜118の上面と第2発熱抵抗体115の上面との距離をL2、保護膜118の上面と第3発熱抵抗体117の上面との距離をL3とすると、L1>L2>L 1, when the distance between the upper surface and the upper surface of the second heating resistor 115 of the protective film 118 L2, the distance between the upper surface and the upper surface of the third heating resistor 117 of the protective film 118 and L3, L1> L2> L
3の関係となる。 The 3 of relationship. したがって、保護膜118と各発熱抵抗体との間の熱容量を考慮すれば、インク流路119から離れた下層の発熱抵抗体ほど熱の伝達効率が低下することは容易に理解できる。 Therefore, considering the heat capacity between the protective film 118 and the heating resistors, it is decreased lower transmission efficiency as heating resistors heat away from the ink passage 119 can be easily understood.

【0034】これに対して、本ヘッド1では、ヒータ部3にインク室7を設けたことによって、各発熱抵抗体からの熱作用面である保護膜18までの距離が等しく、熱作用面である保護膜18の上面と第1発熱抵抗体13の側面との距離をL1、保護膜18の上面と第2発熱抵抗体15の側面との距離をL2、保護膜18の上面と第3 [0034] In contrast, in the head 1, by providing the ink chamber 7 to the heater unit 3, it is equal to the distance to the protective film 18 is a heat acting surface of the respective heating resistors, at the heat acting surface the distance between the upper surface and the side surface of the first heating resistor 13 of a protective film 18 L1, the distance between the upper surface and the side surface of the second heating resistor 15 of the protective film 18 L2, top and third protective film 18
発熱抵抗体17の側面との距離をL3とすると、L1= When the distance between the side surface of the heat generating resistor 17 and L3, L1 =
L2=L3の関係となる。 A relationship of L2 = L3. そのため、発熱抵抗体毎にインクへの熱の伝達効率が異なるということはない。 Therefore, heat transfer efficiency to the ink is not that different for each heating resistor. よって、従来技術に比べて第1発熱抵抗体及び第2発熱抵抗体の発熱量自体を少なくできるので、消費電力を抑えてヘッドを駆動することができるという利点がある。 Therefore, since the prior art the first heating resistor and can second reduced calorific value itself of the heating resistor as compared with, there is the advantage that it is possible to suppress the power consumption for driving the head.

【0035】また、従来技術では、いずれの発熱抵抗体を選択して発熱させても、熱作用面は同じであるため、 Further, in the prior art, even if heat is generated by selecting one of the heating resistors, the thermal action surface are the same,
インクの発泡箇所や泡の消滅箇所が同じである。 Annihilation point of foaming location and bubbles of ink are the same. これに対して、本ヘッド1では選択する発熱抵抗体によって熱作用面が異なるため、インクの発泡・消滅時に生じる保護膜の損傷(キャビテーションによる浸食作用)を分散することができ、ヘッド自体の寿命を長くすることができる。 In contrast, since the heat acting surface by the heating resistor to select in this head 1 are different, can be distributed damage of the protective film produced during the foaming and extinction of ink (erosion due to cavitation), the life of the head itself it can be lengthened.

【0036】さらに、吐出させるインク量を調整して画像に階調性を持たせるために、従来技術ではインクヘッドに設けた発熱抵抗体の1つまたは複数を同時に通電して、熱作用面に供給されるトータルの熱量によってインク吐出量の制御を行う方法であった。 Furthermore, in order to provide a gradation in an image by adjusting the amount of ink ejected, in the prior art by energizing one or more heating resistors provided on the ink head simultaneously on the heat acting surface and a method for controlling the ink discharge amount by heat total supplied. それに対して、本ヘッド1では図5に示すように、選択した発熱抵抗体の位置でインクが発泡することでインクが分断される。 In contrast, as shown in FIG. 5, the head 1, the ink is divided by the ink foams at the position of the heating resistor selected. そして、インクが発泡した位置よりも高い所に存在するインクはノズル方向へ加圧されて外部へ吐出される。 The ink present at higher than ink is foamed position is discharged under pressure to the nozzle direction to the outside. 一方、インクが発泡した位置よりも低い所に存在するインクは、ノズルと逆方向のインク室7の底面方向に加圧される。 Meanwhile, ink ink is present at less than position foaming is pressurized toward the bottom of the ink chamber 7 of the nozzle and the opposite direction. そのため、インク室7内には、このインクが残留する。 Therefore, the ink chamber 7, the ink remains. 以上のようにしてインクが吐出されるので、インクの吐出量を正確に制御することができる。 Since the ink is ejected as described above, it is possible to accurately control the discharge amount of ink.

【0037】 [0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】表1は発熱抵抗体の加熱状態とインクの吐出量との関係を示す表である。 [0038] Table 1 is a table showing the relationship between the discharge amount of the heating state and the ink of the heating resistor. 表1に示すように、第1 As shown in Table 1, the first
発熱抵抗体のみを加熱した場合は、インク室7の底面で発泡してインク室内全体のインク吐出されるため、インクの吐出量は最大となる。 When heated only heating resistor, since the foamed at the bottom of the ink chamber 7 is discharged ink in the entire ink chamber, the ink discharge amount becomes maximum. また、第2発熱抵抗体のみを加熱した場合は、図5に示したようにインク室7のほぼ中程においてインクが発泡して、インク室7のインクが分断されるため、インクの吐出量は中程度となる。 Also, the case of heating only the second heating resistor, substantially ink is foamed in the middle, since the ink in the ink chamber 7 is divided, the discharge amount of ink in the ink chamber 7 as shown in FIG. 5 a moderate. さらに、第3発熱抵抗体のみを加熱した場合、第3発熱抵抗体の位置でインクが発泡して、この位置より上部のインクのみが吐出されるため、インクの吐出量は最小となる。 Furthermore, when heated only the third heating resistor, foamed ink is at the position of the third heating resistor, only the upper portion of the ink is ejected from this position, the discharge amount of ink is minimized. このように、インクの吐出量は選択されたヒータの位置によって比例することがわかる。 Thus, the ink discharge amount is proportional with the position of the selected heater. よって、式1のように表すことができる。 Therefore, it can be expressed as Equation 1. (インク吐出量)∝(選択されたヒータの高さ位置)‥‥‥(式1) 図6は、ヒータ部の断面を示す図である。 (Ink ejection amount) alpha (height position of the selected heater) ‥‥‥ (Equation 1) FIG. 6 is a diagram showing a cross section of a heater portion. 図7は、加熱するヒータとインク吐出量との関係を示す図である。 Figure 7 is a diagram showing the relationship between the heater and the ink discharge amount of heating. 式1に示したように、吐出されるインク量は選択した発熱抵抗体の高さ位置に比例する。 As shown in Equation 1, the amount of ink discharged is proportional to the height position of the selected heating resistors. そのため、図6に示すように絶縁層の厚さを変更して、各発熱抵抗体のインク室7における底面からの高さを変更することで、容易に所望のインク吐出量を調整することができる。 Therefore, by changing the thickness of the insulating layer as shown in FIG. 6, by changing the height from the bottom surface in the ink chamber 7 of the heating resistors, it is possible to easily adjust the desired ink ejection amount it can.

【0039】図6(A)に示すように各発熱抵抗体の熱作用面を等間隔に配置して、例えば、第1発熱抵抗体1 [0039] As shown in FIG. 6 (A) the heat acting surface of the heating resistors arranged at regular intervals, for example, the first heating resistor 1
3と第2発熱抵抗体15との熱作用面の距離H2と、第2発熱抵抗体15と第3発熱抵抗体17との熱作用面の距離H3とを、H2=H3とした場合は、図7(A)に示すように直線的なγ特性となる。 3 and the distance H2 heat acting surface of the second heating resistor 15, if the second heating resistor 15 and the distance H3 of the heat acting surface of the third heating resistor 17, and a H2 = H3, the linear γ characteristic as shown in FIG. 7 (a). また、図6(B)に示すように、H2>H3とした場合は、図7(B)に示すように曲線的なγ特性を得ることができる。 Further, as shown in FIG. 6 (B), the case of the H2> H3, it is possible to obtain a rounded γ characteristic as shown in Figure 7 (B). なお、γ In addition, γ
特性とは、一般的には記録時の入力エネルギーと記録濃度との関係を示す特性であるが、この場合、発熱抵抗体の選択状態(入力)と吐出インク量(出力)の関係を示すものである。 The characteristics, as it is generally a characteristic showing the relationship between the input energy and the recording density of the recording, indicating this case, the relationship between the selected state (input) and the discharge amount of ink heating resistors (output) it is.

【0040】また、図6(B)では第2発熱抵抗体15 [0040] FIG. 6 (B) In the second heating resistor 15
の高さ位置のみを変化させたが、それ以外の発熱抵抗体の高さ位置を変更することも可能である。 Changing the height position of the only, but it is also possible to change the height position of the heating resistor otherwise. したがって、 Therefore,
それぞれの発熱抵抗体の高さ位置を調整することにより、所望のγ特性でインクの吐出量を制御できる。 By adjusting the height position of each of the heating resistors can be controlled discharge amount of ink in the desired γ characteristic.

【0041】次に、インクの吐出能力の向上方法について説明する。 Next, a description will be given improved method of discharge performance of the ink. 図8はインク室の断面形状を示す断面図である。 Figure 8 is a sectional view showing a sectional shape of the ink chamber. 本ヘッド1のヒータ部3にインク室7を設ける際に、インク室7の開口部の面積を底面の面積よりも大きくし、インク室7の側面を、図8(A)に示したように所定の角度で傾斜した傾斜面、図8(B)に示したように階段状の傾斜面、または図8(C)に示したように曲率を有する凹曲面にする。 In providing the ink chamber 7 to the heater section 3 of the head 1, the area of ​​the opening portion of the ink chamber 7 is larger than the area of ​​the bottom surface, a side surface of the ink chamber 7, as shown in FIG. 8 (A) inclined surface inclined at a predetermined angle, to the concave curved surface with a curvature as shown in a step-like inclined surface or FIG 8, (C) as shown in FIG. 8 (B). このような形状のインク室7 The ink chamber 7 having such a shape
を設けることによって、インク室7の側面においてインクの吐出方向(インク室7の上方)に平行な面を形成した場合よりも、各発熱抵抗体の熱作用面の面積を増加することができる。 By providing, than the case of forming a plane parallel to the ink ejection direction (upward in the ink chamber 7) in the side of the ink chamber 7, it is possible to increase the area of ​​the heat acting surface of the heating resistors. よって、熱の伝達効率をさらに向上させることができる。 Therefore, it is possible to further improve the heat transfer efficiency.

【0042】また、発熱抵抗体によってインクを加熱した際に、インクの吐出圧をノズル5の方向に向けることができるため、より高い吐出効率を得ることができる。 Further, upon heating the ink by the heating resistor, it is possible to direct the discharge pressure of the ink in the direction of the nozzle 5, it is possible to obtain a higher discharge efficiency.
さらに、インク室7の側面と底面とが成すコーナ部の角度を緩和できることから、コーナ部におけるキャビテーションによる損傷を抑えることができる。 Moreover, because it can relax the angle of the corner portion formed by the side surface and the bottom surface of the ink chamber 7, it is possible to suppress the damage due to cavitation at the corners.

【0043】 [0043]

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られる。 According to the present invention, the following effects are obtained.

【0044】(1) サーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドを構成するインクを発泡させるための複数の発熱抵抗体を積層したヒータに対して、発熱抵抗体の積層方向に、上面に開口部を有する凹型のインク室を設けているので、インク室に流入するインクと、各発熱抵抗体との距離にほとんど差がなくなるため、発熱抵抗体の熱効率が向上させることができる。 [0044] (1) to the heater formed by laminating a plurality of heating resistors for foaming ink constituting the ink jet head of a thermal ink jet system, the stacking direction of the heat generating resistor, a concave having an opening on the upper surface since an ink chamber, an ink flowing into the ink chamber, since most differences are eliminated with the distance between the heating resistors can heat efficiency of the heating resistor improves.

【0045】(2) 複数の発熱抵抗体の側面を保護膜を介してインク室の側面に露出させることによって、発熱抵抗体の側面によってインク室のインクが加熱されるので、インクとの距離が下層の発熱抵抗体であっても最上層の発熱抵抗体と同じであるため、熱伝達効率を向上させることができる。 [0045] (2) by exposing the side surfaces of the plurality of heating resistors on the side surface of the ink chamber through the protective film, the ink in the ink chamber is heated by the side of the heating resistor, the distance between the ink for even heating resistor of the lower layer is the same as the top layer of the heating resistor, it is possible to improve the heat transfer efficiency.

【0046】(3) 発熱抵抗体は加熱部と電極部とを備え、電極部の断面積より加熱部の断面積は小さいため、 [0046] (3) the heating resistor and a heating portion and the electrode portion, because the cross-sectional area of ​​the heating portion than the cross-sectional area of ​​the electrode portion is small,
発熱抵抗体の加熱部は発熱効率が高くなるように断面積を小さくし、電極部は通電性がよくなるように加熱部より断面積を大きくすることで、別に電極を設けることなく、ヒータの製造工程を簡素化できる。 Heating portion of the heating resistor to reduce the cross-sectional area so that heating efficiency is higher, the electrode portion by increasing the cross-sectional area than the heating portion so as electrical conductivity is improved without providing a separate electrode, the production of heaters step can be simplified.

【0047】(4) インク室の底面はヒータの最下層の発熱抵抗体の加熱部に構成され、加熱部の厚みは電極の厚みよりも薄く発熱抵抗体の断面は凹形状であるので、ヒータの加熱部の断面積をさらに小さくすることができ、 [0047] (4) of the ink chamber bottom is configured in the heating portion of the heating resistor of the lowermost heater, since the thickness of the heating section the cross section of the thin heating resistor than the thickness of the electrode is concave, the heater sectional area of ​​the heating portion of the can to be further reduced,
発熱効率を向上させることができる。 Thereby improving the heating efficiency. また、ヒータと絶縁層界面を底面とした場合より、キャビテーションに対する耐性を向上させることができる。 Further, the heater and the insulating layer interface than when the bottom surface, it is possible to improve the resistance to cavitation.

【0048】(5) ヒータを構成する複数の発熱抵抗体を選択的に加熱可能であることによって、選択された発熱抵抗体より上部のインクのみを吐出させることができるので、インクの吐出量を正確に制御することができ、階調性のある画像を形成することができる。 [0048] (5) by a plurality of heating resistors constituting the heater can be selectively heated, it is possible to discharge only the ink above the selected heating resistors, the discharge amount of ink can be accurately controlled, it is possible to form an image having a gradation property. また、ヒータも発熱抵抗体毎に発泡箇所が異なるため、キャビテーションによる損傷が分散され、ヘッドを長寿命にすることができる。 Further, since the heater is also different foam portions for each heating resistor, can be damaged by cavitation is dispersed, the head life.

【0049】(6) 複数の発熱抵抗体はそれぞれ積層方向の距離が等しいので、インク室内のインクは発熱抵抗体の側面で加熱され、発熱抵抗体の高さ位置より上方のインクが吐出されるので、複数の発熱抵抗体の間隔が等しい場合、その間隔に比例したインク吐出量の組み合わせにより直線的なγ特性を得ることができる。 Since [0049] (6) a plurality of heating resistors are equal distances in each stacking direction, the ink in the ink chamber is heated by the side surface of the heating resistor, the upper ink is ejected from the height position of the heating resistor because, if the distance between the plurality of heating resistors are equal, it is possible to obtain a linear γ characteristic by the combination of the ink ejection amount in proportion to the distance.

【0050】(7) 複数の発熱抵抗体のそれぞれの積層方向の間隔が異なるので、インク室内のインクは発熱抵抗体の側面で加熱され、発熱抵抗体の高さ位置より上方のインクが吐出されるので、複数の発熱抵抗体の間隔が異なることによって、加熱する発熱抵抗体の位置によってインクの吐出量が異なることから、所望のγ特性(インク吐出量の組み合わせ)を得ることができる。 [0050] (7) Since each interval in the stacking direction of the plurality of heating resistors are different, the ink in the ink chamber is heated by the side surface of the heating resistor, the upper ink is ejected from the height position of the heating resistor Runode by intervals of the plurality of heating resistors are different from differ discharge amount of ink depending on the position of the heating resistor for heating, it is possible to obtain a desired γ characteristic (combinations of the ink ejection amount).

【0051】(8) インク室の側面が所定の角度で傾斜した傾斜面、階段状に傾斜した傾斜面、または曲率を有する凹曲面であり、インク室の上部開口面積が底面積より大きいため、発熱抵抗体の側面において熱作用面積が増加するため、熱伝達効率を向上することができる。 [0051] (8) inclined surfaces sides of the ink chamber is inclined at a predetermined angle, a concave curved surface having an inclined surface or curvature, inclined stepwise, since the upper opening area of ​​the ink chamber is larger than the bottom area, the heat acting area in the side of the heating resistor is increased, it is possible to improve the heat transfer efficiency. また、発熱抵抗体の発熱によって得られるインクの吐出圧を吐出方向に向けられるので、吐出効率を向上させることができる。 Further, the discharge pressure of the ink obtained by heating of the heating resistor because it is directed to the discharge direction, thereby improving the discharge efficiency.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本ヘッドの構成を示す斜視図である。 1 is a perspective view showing the configuration of the head.

【図2】ヒータ部の構成を示す断面図である。 2 is a sectional view showing a configuration of a heater unit.

【図3】ヒータ部の上面透視図である。 3 is a top perspective view of the heater unit.

【図4】(A)は、本ヘッドのヒータ部3の断面構造であり、(B)は、従来のヘッドのヒータ断面図である。 [4] (A) is a cross-sectional structure of the heater section 3 of the head, (B) is a heater sectional view of a conventional head.

【図5】本ヘッドの発泡位置を示す断面図である。 5 is a cross-sectional view showing a foaming position of the head.

【図6】ヒータ部の断面を示す図である。 6 is a diagram showing a cross section of a heater portion.

【図7】加熱するヒータとインク吐出量との関係を示す図である。 7 is a diagram showing the relationship between the heater and the ink discharge amount of heating.

【図8】インク室の断面形状を示す断面図である。 8 is a sectional view showing an ink chamber cross-sectional shape.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1−インクジェットヘッド 3−ヒータ部 7−インク室 11−シリコンウェハ 13−第1発熱抵抗体 15−第2発熱抵抗体 18、118−保護膜 119−インク流路 1- inkjet head 3 heater unit 7 ink chamber 11 a silicon wafer 13 the first heating resistor 15 second heating resistor 18,118- protective film 119- ink flow path

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 複数の発熱抵抗体を積層したヒータを発熱させてインクを発泡させ、該ヒータに対向して設けた吐出口からインクを吐出するサーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドにおいて、 該ヒータを構成する複数の発熱抵抗体の積層方向に、上面に開口部を有する凹型のインク室を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。 1. A heat is generated more heaters heating resistors laminated ink by foaming, in the ink jet head of a thermal inkjet method of discharging ink from a discharge port provided in opposition to the heater, constituting the heater the stacking direction of the plurality of heating resistors for ink jet head is characterized in that a concave ink chamber having an opening on the top surface.
  2. 【請求項2】 前記インク室の側面には、複数の発熱抵抗体の側面が保護膜を介して露出していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 Wherein a side surface of the ink chamber, the ink-jet head according to claim 1, wherein a side surface of the plurality of heating resistors is exposed through the protective film.
  3. 【請求項3】 前記発熱低抗体は加熱部と電極部とを備え、該加熱部の断面積は該電極部の断面積より小さいことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。 Wherein the heat generating resistance elements are provided with a heating portion and the electrode portion, the ink-jet head according to claim 1 or 2 cross-sectional area of ​​the heating section being smaller than the cross-sectional area of ​​the electrode portion.
  4. 【請求項4】 前記インク室の底面には、前記ヒータの最下層の発熱抵抗体の加熱部が保護膜を介して露出し、 The bottom of claim 4, wherein the ink chamber, heating section of the lowermost heating resistor of the heater is exposed through the protective film,
    該加熱部の厚みは電極部の厚みより薄く、発熱抵抗体の断面は凹であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 The thickness of the heating portion is thinner than the thickness of the electrode portion, the ink-jet head according to any one of claims 1 to 3 cross-section of the heating resistor is characterized by a concave.
  5. 【請求項5】 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体を選択的に加熱可能であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 5. The ink jet head according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it is possible selectively heating a plurality of heating resistance elements constituting the heater.
  6. 【請求項6】 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体は、それぞれ積層方向の間隔が等しいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 6. plurality of heating resistance elements constituting the heaters, the ink jet head according to any one of claims 1 to 5, wherein the intervals of the stacking direction is equal.
  7. 【請求項7】 前記ヒータを構成する複数の発熱低抗体は、それぞれ積層方向の間隔が異なることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 7. A plurality of heat generating resistance elements constituting the heaters, the ink jet head according to any one of claims 1 to 5 intervals of the stacking direction are different from each other.
  8. 【請求項8】 前記インク室は、上部開口面積が底面積より大きく、前記インク室の側面は、所定の角度で傾斜した傾斜面、階段状に傾斜した傾斜面、または曲率を有する凹曲面であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 Wherein said ink chamber is greater than a bottom area upper opening area, the side surface of the ink chamber is inclined surface inclined at a predetermined angle, the inclined surface is inclined stepwise, or concave curved surface having a curvature the inkjet head according to any one of claims 1 to 7, characterized in that.
JP2000070684A 2000-03-14 2000-03-14 Ink jet head Pending JP2001260359A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000070684A JP2001260359A (en) 2000-03-14 2000-03-14 Ink jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000070684A JP2001260359A (en) 2000-03-14 2000-03-14 Ink jet head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001260359A true JP2001260359A (en) 2001-09-25

Family

ID=18589385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000070684A Pending JP2001260359A (en) 2000-03-14 2000-03-14 Ink jet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001260359A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7465034B2 (en) 2002-11-23 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal ink jet printhead with cavitation gap
US7533963B2 (en) 2002-11-23 2009-05-19 Silverbrook Research Pty Ltd High nozzle density printhead
JP2009234264A (en) * 2002-11-23 2009-10-15 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal inkjet print head equipped with heater formed from low atomic number element
US7669980B2 (en) 2002-11-23 2010-03-02 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead having low energy heater elements
US7832844B2 (en) 2002-11-23 2010-11-16 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead having efficient heater elements for small drop ejection

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7465034B2 (en) 2002-11-23 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal ink jet printhead with cavitation gap
US7533963B2 (en) 2002-11-23 2009-05-19 Silverbrook Research Pty Ltd High nozzle density printhead
JP2009234264A (en) * 2002-11-23 2009-10-15 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal inkjet print head equipped with heater formed from low atomic number element
US7669980B2 (en) 2002-11-23 2010-03-02 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead having low energy heater elements
US7695106B2 (en) 2002-11-23 2010-04-13 Silverbrook Research Pty Ltd Thin nozzle layer printhead
US7744191B2 (en) 2002-11-23 2010-06-29 Silverbrook Research Pty Ltd Flexible printhead module incorporating staggered rows of ink ejection nozzles
US7832844B2 (en) 2002-11-23 2010-11-16 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead having efficient heater elements for small drop ejection
US7976125B2 (en) 2002-11-23 2011-07-12 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead with low drag nozzles apertures
US8376514B2 (en) 2002-11-23 2013-02-19 Zamtec Ltd Flexible printhead module incorporating staggered rows of ink ejection nozzles

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2208225T3 (en) Generator of ink jet drops with segmented resistors, with reduction of current growth.
US6491377B1 (en) High print quality printhead
DE4400094B4 (en) Inkjet printhead for halftone and text printing
US6474789B1 (en) Recording apparatus, recording head and substrate therefor
US5731828A (en) Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet apparatus
CA2041544C (en) Thermal edge jet drop-on-demand ink jet print head
CN1328053C (en) Liquid jet device and liquid jet method
JP2832576B2 (en) Temperature holding device and method
CN1213868C (en) Small and high performance and density ink jet printing head
JP4006256B2 (en) Recording head and recording device having the same
US6074043A (en) Spray device for ink-jet printer having a multilayer membrane for ejecting ink
CN100335289C (en) Thermal head, method for manufacturing the same, and method for adjusting dot aspect ratio of thermal head
JP3452111B2 (en) An ink jet recording head
US7150514B2 (en) Print head, manufacturing method therefor, and printer
JP3588459B2 (en) Thermal ink jet printing apparatus and its operation method
US6227640B1 (en) Variable drop mass inkjet drop generator
CN1321818C (en) Ink supply system for a portable ink jet printer
CN1307053C (en) Inkjet printhead having electrical-isolation thermal bend actuator heating element
US7628472B2 (en) Ink-jet recording head
JPH0717063B2 (en) Image recording head
EP1403053B1 (en) Ink-jet head
US7172264B2 (en) Ink jet recording heat and ink discharge method
EP1894727A2 (en) Liquid jet head
EP0855277A2 (en) Ink jet printhead for dropsize modulation
JP5362090B2 (en) Liquid discharge head