JP2001246770A - Thermal print head and method of making the same - Google Patents

Thermal print head and method of making the same

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JP2001246770A
JP2001246770A JP2000107356A JP2000107356A JP2001246770A JP 2001246770 A JP2001246770 A JP 2001246770A JP 2000107356 A JP2000107356 A JP 2000107356A JP 2000107356 A JP2000107356 A JP 2000107356A JP 2001246770 A JP2001246770 A JP 2001246770A
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Heiji Imai
平治 今井
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Heiji Imai
Nippon Denki Kagaku Co Ltd
Takao Manufacture Co Ltd
平治 今井
日本電気化学株式会社
株式会社高尾製作所
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low-cost thermal print head capable of achieving low-cost and superior printing quality by using both of a thin-film technology and a thick-film technology.
SOLUTION: In a first process, a tantalum series of thin-film resistor is adhered on a surface of a glass 42 by spattering in order to form a heating element 51 thereon. After that, patterning is applied thereto to shape it in a group of heating resistors. In a second process, a conductor paste is applied on the top of each of the heating elements 51 on the glass 42 by screen printing. After a pattern is formed by a photo-etching method, it is baked to form a wiring electrode 52. In a third process, a glass paste is applied on the tops of the heating element and the wiring pattern by screen printing to be baked and then a protection film having a thickness of approximately 5 μ is formed. As a result, it is possible to achieve a good flatness of the surface of the print head and the uniform thermal conductivity to a printing medium, thereby performing the high quality printing.
COPYRIGHT: (C)2001,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明はサーマルプリントヘッドに関する。 The present invention relates to a relates to a thermal print head.

【0002】 [0002]

【従来の技術】サーマルプリントヘッドを使用したプリンターは機構が簡単で騒音が無く、また記録素子である発熱素子を多数有するものが簡単に製造できることから、一度の記録範囲が大きくすることが可能なため、高速印字を可能とし、業務用に広く用いられている。 Printers using BACKGROUND ART Thermal printheads mechanism no simple noise, and from that can be easily manufactured to have a large number of heating elements is a recording device, which can once recording range is greatly Therefore, to enable high-speed printing, it has been widely used for business. さらにプリンターを小型・軽量にすることが可能なため携帯用にもその用途が広がっている。 Its use is spreading to portable because it is possible to further the printer compact and lightweight.

【0003】サーマルプリントヘッドは、一般的に、板厚1mm程度のセラミック基板の一方の面の全面あるいは発熱体近傍部に、厚さ0.05mm程度のガラスをグレーズしたものを基板として使用している。 [0003] The thermal print head is generally used on the entire surface or heating elements vicinity of one surface of the ceramic substrate of about thickness 1 mm, a material obtained by glaze thickness 0.05mm about the glass as the substrate there. この基板に発熱素子、電極及び保護膜を形成してサーマルプリントヘッドを構成する。 Heating element on the substrate, forming the thermal print head to form the electrodes and the protective film. 発熱素子、電極及び保護膜の形成技術には2つの方法があり、その1つが厚膜技術によるもので、他の1つは薄膜技術によるものである。 Heating elements, the technique of forming the electrode and the protective film in two ways, due Part 1 Toga thick-film technology, the other one is by thin film technology.

【0004】近年、プリンターの需要が増え、特に個人向けのカラープリンターの市場の伸びが著しい。 [0004] In recent years, increasing demand for printers, especially the remarkable growth of the market of color printer for individuals. この分野の特徴として、印字品質の要求が高くかつ低価格の製品がが要求される。 As a feature of this area, print quality product requirements is high and the low cost of is required. デジタルカメラの普及に伴って、デジタル写真のハードコピー用のプリンターとして、より小型低価格でかつ高印字品質のカラープリンターの開発が望まれている。 With the spread of digital cameras, as a printer for a hard copy of the digital photograph, the development of a more compact, low cost and high print quality color printer has been desired.

【0005】図3は厚膜技術にて製作された従来のサーマルプリントヘッドの構造の一例を示す断面図である。 [0005] FIG. 3 is a sectional view showing an example of a structure of a conventional thermal printhead fabricated by thick film technology.
図3において、セラミック基板41の上面にガラス42 3, the glass on the upper surface of the ceramic substrate 41 42
をグレーズした2層構造の基板とし、ガラス42の上に導体ペーストをスクリーン印刷して焼成をおこなった後、フォトエッチング法によりパターニングをおこない配線電極43を形成している。 Was a substrate of the glaze the two-layer structure, after subjected to baking a conductive paste is screen-printed on a glass 42 to form a wiring electrode 43 was patterned by photoetching. さらに配線電極43の上に抵抗体ペーストをスクリーン印刷して焼成をおこない発熱体44を形成した後、発熱体44を覆うようにガラスペーストをスクリーン印刷して焼成を行い保護膜45 Further, after forming the heating element 44 a resistor paste and fired to screen printing on the wiring electrode 43, the protective film 45 a glass paste so as to cover the heating element 44 and fired by screen printing
を形成している。 To form a.

【0006】このようにして厚膜のサーマルプリントヘッドを製造しており、薄膜技術に比較して高額な着膜装置等を必要としないため、比較的安価にサーマルプリントヘッドを生産できるという利点がある。 [0006] Thus manufactures thermal printhead thick film requires no expensive film deposition apparatus or the like as compared to the thin film technology, the advantage of relatively low cost can be produced thermal printhead is there. しかしその反面、性能面で薄膜技術で製造されたものに比べていくつかの問題があり、高印字品質が要求される画像などの用途には採用されていない。 However, on the other hand, there are several problems as compared to those produced by thin-film technology in performance have not been adopted for applications such as image high print quality is required.

【0007】図4は、図3のサーマルプリントヘッドの配線電極と発熱体の配置を示す部分拡大平面図である。 [0007] Figure 4 is a partially enlarged plan view showing the arrangement of wiring electrodes and the heating elements of the thermal print head of FIG.
図4において、配線電極43は櫛状の共通電極43a 4, the wiring electrode 43 is comb-shaped common electrode 43a
と、共通電極の各櫛歯の間に1本ずつ配置された複数の個別電極43bから成り、発熱体44はこれらの各電極上に跨るように重ねて配置されている。 When, a plurality of individual electrodes 43b disposed one by one between each comb tooth of the common electrode, the heating element 44 is arranged to overlap so as to straddle on each of the electrodes. 発熱体44は、 Heating element 44,
共通電極43aの各櫛歯に挟まれた部分が1つの単位発熱素子に相当し、複数の単位発熱素子が直線状に連続して配置され、一体の発熱体44を構成している。 A portion held respective comb teeth of the common electrode 43a corresponds to one unit heater element, a plurality of unit heat generation elements are arranged in succession in a straight line, and constitutes a heating element 44 of the integral. 1つの個別電極に対し2つの共通電極が挟む形で配列されているので、各単位発熱素子も連続した2つの抵抗体から構成されることとなり、電気的に並列接続となっている。 Since for one individual electrode are two common electrodes are arranged in the form of sandwich, the unit heating elements also becomes to be composed of two resistors continuous, it has become electrically connected in parallel.
このため、1つの個別電極に通電して1つの単位発熱素子に電流を流すと、隣り合った2つの抵抗体が同時に発熱し、印字すると実際には隣接した2つのドットが発色する。 Therefore, when an electric current is applied to the one by energizing the individual electrodes one unit heater element, heat is generated two resistors adjacent simultaneously, actually when printing two dots adjacent to color.

【0008】このようなサーマルプリントヘッドでは、 [0008] In such a thermal print head,
発熱体の各単位発熱素子の抵抗値のばらつきが印字濃度のばらつきとなり、印字品質の低下の原因となっている。 Variations in the resistance value of each unit heat generation elements of the heating element becomes variation in print density, causing the deterioration in printing quality. この対策として、従来、発熱体である抵抗体のトリミングをおこない、各単位発熱素子の抵抗値を揃えることにより印字濃度の均一化を実現している。 As a countermeasure, conventionally, trims of a heating element resistor realizes a uniform printing density by aligning the resistance value of each unit heat generation elements. 厚膜サーマルプリントヘッドにおいては、一般的に、発熱素子に高電圧パルスを印加すると抵抗値が下がることを利用してトリミングをおこなっている。 In a thick film thermal printhead, generally it is performed trimming by utilizing the fact that the resistance value to apply a high voltage pulse decreases the heating element. しかしながら、各単位発熱素子は2つの抵抗体より構成されているため、トリミングをおこなった結果は2つの抵抗値の合計で調節されることになるため、各単位発熱素子の抵抗値は揃うが、 However, since it is composed of the unit heat generation elements of the two resistors, since the result was subjected to trimming will be adjusted by the sum of the two resistance values, the resistance value of each unit heat generation elements are aligned,
1つの発熱素子中の2つの抵抗体の抵抗値は不揃いになることがある。 Resistance values ​​of the two resistors in one heating element may become uneven. このため、1素子の印字で発色する2つのドットの大きさに差が出るという問題が生じている。 Therefore, a problem that a difference in the size of two dots that develops color by printing one element out has occurred.

【0009】図5は図3のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。 [0009] FIG. 5 is a sectional view showing the structure of a thermal print head of FIG. 従来、厚膜技術により製造されたサーマルプリントヘッドは、電極用厚膜ペーストをスクリーン印刷した後、焼成をおこない配線電極43を形成する。 Conventionally, a thermal print head manufactured by thick film technology, after the electrode thick film paste by screen printing, to form the wiring electrodes 43 and fired. そして、配線電極の上に熱的に安定した抵抗体の厚膜ペーストを印刷し、約800℃で焼成して発熱体44を形成している。 The thermally stable resistor thick film paste was printed on the wiring electrode, it is formed a heating element 44 and fired at about 800 ° C.. 通常、配線電極43の厚さは1μ Usually, the thickness of the wiring electrode 43 is 1μ
弱に対し、発熱体44の厚さは10μ程度と厚く、焼成時に発熱体44の表面に数μ程度の凹凸状のばらつきが生じる。 Weak contrast, the thickness of the heating element 44 is as thick as about 10 [mu], uneven dispersion of about several μ on the surface of the heating element 44 occurs during firing. この影響によって、発熱体の上に厚膜技術で形成した保護膜45の表面にも凹凸状のばらつきが生じることとなる。 This effect also becomes the uneven variation in the surface of the protective film 45 formed by the thick film technology on the heating element. このため熱伝導にばらつきが生じ、印字濃度のムラとなり印字品質の低下をもたらしている。 Therefore variations occur in the thermal conductivity, it has led to deterioration in printing quality becomes uneven print density.

【0010】 [0010]

【発明が解決しようとする課題】薄膜技術によるサーマルプリントヘッドでは、単位発熱素子は1つの抵抗体で構成されているため、トリミングされたものはすべての発熱素子の抵抗値が均一化されている。 The thermal printhead according to thin-film technique INVENTION Problems to Solved], since the unit heater element is constituted by a single resistor, which was trimmed resistance values ​​of all of the heating element is uniform . また、薄膜であるため発熱素子の厚みも小さく、発熱体表面の平坦性に優れるので、印字媒体への熱伝導にばらつきが無く高品位の印字が可能である。 The thickness of the heating element for a thin film is small, is excellent in flatness of the heating surface, it is possible to print variation without a high-quality thermal conduction to the print medium. しかし、薄膜技術によるプリントヘッドは製造費用が高くなるため、プリンター自体の価格も高価なものとなるので、民生用・家庭用プリンターとしては普及が進んでいない。 However, since the print head according to thin-film technology production cost is high, because the price of the printer itself also becomes expensive, spread not progressed as consumer, household printer.

【0011】本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、民生用・家庭用カラープリンターに使用するサーマルプリントヘッドであって、薄膜技術と厚膜技術を併用することによって、低価格を維持しかつ印字品質に優れたサーマルプリントヘッドを提供することを技術的課題とする。 [0011] The present invention has been made in view of such conventional problems, a thermal print head for use in consumer-home color printers, by a combination of thin-film technology and thick film technology , the technical problem to provide a maintaining a low cost and a thermal print head which is excellent in print quality.

【0012】 [0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明のサーマルプリントヘッドは、セラミック基板の一方の面にガラスをグレーズした2層構造の薄板基板であって、その製造の第1工程において前記ガラス層の上面に薄膜技術によって複数の発熱素子を形成し、第2工程において前記発熱素子の上部に厚膜技術によって配線電極を形成し、さらに第3工程において前記発熱素子と前記配線電極の上部に厚膜技術によって保護膜を形成する手段を講じたものである。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The thermal print head of the present invention is a thin substrate having a two-layer structure in which glaze the glass on one surface of the ceramic substrate, first of its manufacturing in one step to form a plurality of heat-generating elements by a thin film technology on the upper surface of the glass layer, by thick-film technology on top of the heating element in the second step to form the wiring electrodes, further wherein said heating element in the third step on top of the wiring electrode is obtained taking steps to form a protective film by thick-film technology.

【0013】 [0013]

【発明の実施の形態】本発明のサーマルプリントヘッドは、セラミック基板の一方の面の全面あるいは発熱素子を形成する部位のみガラスをグレーズして2層構造とした薄板基板を使用し、ガラス層の上面に薄膜技術により複数の発熱素子を設け、さらに、発熱素子の上に厚膜技術により配線電極として共通端子及び個別端子を配設し、さらに、厚膜技術により発熱素子及び配線電極を覆うように保護膜を形成したものである。 Thermal print head of the embodiment of the present invention is to glaze the glass only site is formed on the entire surface or heating element on one surface of the ceramic substrate using a thin substrate having a two-layer structure, the glass layer a plurality of heating elements by thin film technology on the upper surface, and further, by thick film technology arranged a common terminal and the individual terminal as the wiring electrode on the heat generating element, further, to cover the heating element and the wiring electrodes by thick film technology it is obtained by forming a protective film on.

【0014】サーマルプリントヘッド製造の第1工程として、まずガラス層の上面に薄膜技術により発熱素子を形成すると、発熱素子を薄い抵抗膜とすることができ、 [0014] As a first step in the thermal print head manufacturing, first, when forming the heating element by thin film technology on the upper surface of the glass layer, it is possible to make the heating element and the thin resistive film,
かつ各単位発熱素子を分離して高密度に配置することができる。 And it can be densely arranged to separate each unit heating elements. 次に第2工程として、発熱素子の上部に厚膜技術によって配線電極を形成すると、発熱素子は薄い抵抗膜であるので、容易に発熱素子の上に配線電極を配設することができる。 Next, as a second step, to form a wiring electrode on top of the heating element by thick-film technology, heating elements since it is a thin resistive film, it is possible to dispose the wiring electrode on the readily heat-generating elements. 配線電極は導体ペーストを使用してスクリーン印刷することから、厚膜といえども比較的厚さを薄くすることができるので、配線電極の表面は平坦なものとなる。 Wiring electrodes from screen printing using a conductive paste, it is possible to reduce the relatively thick even the thick film, the surface of the wiring electrode becomes flat. 次に第3工程として、発熱体と配線電極の上部に発熱体を覆うように厚膜技術によって保護膜を形成すると、保護膜の表面も平坦なものとなる。 Next, as a third step, to form a protective film to cover the heating element on top of the heating element and the wiring electrode by thick film techniques, the surface of the protective film also becomes flat.

【0015】 [0015]

【実施例】本発明の代表的な実施例について、図面を参照して説明する。 For representative examples of the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 図1は、セラミック基板にガラスをグレーズして2層構造とした薄板基板のガラスの上面に、 1, the upper surface of the glass sheet substrate having a two-layer structure with glaze the glass ceramic substrate,
発熱体として薄膜技術により抵抗膜を形成し、その後配線電極及び保護膜を厚膜技術により形成して製作したサーマルプリントヘッドの構造の一例を示す断面図である。 The thin-film technology as a heating element to form a resistive film is a cross-sectional view showing an example of the structure of a subsequent thermal printhead wiring electrodes and the protective film was manufactured by forming a thick film technology. 本実施例のサーマルプリントヘッドは、文字と比較的簡単な画像を印刷することを目的とした携帯用小型プリンターに使用されるものであり、サーマルプリントヘッドの印字長が2インチで、発熱素子密度が256dp Thermal print head of this embodiment is intended to be used in small portable printer for the purpose of printing a relatively simple image with characters, printing length of the thermal print head 2 inches, heating element density There 256dp
i、発熱素子数が512である。 i, the number of heat generating elements is 512.

【0016】図1において、板厚約1mmのセラミック基板41の上面にガラス42を厚さ約0.05mmにグレーズしたものをプリントヘッドの基板としている。 [0016] In FIG. 1, is a substrate of the print head that glazed glass 42 to a thickness of about 0.05mm on the upper surface of the ceramic substrate 41 having a thickness of about 1 mm. 以下、このプリントヘッドの製造方法を第1工程から順を追って説明する。 Will be sequentially explaining a method of manufacturing the print head from the first step. 第1工程では、ガラス42の表面に5 In the first step, 5 on the surface of the glass 42
12個の発熱素子51を形成するためにタンタル系の薄膜抵抗をスパッタにて着膜する。 To-deposit a thin film resistor of tantalum-based by sputtering to form a twelve heating elements 51. 本実施例では、抵抗膜の厚さはおよそ0.01μであり、面積抵抗率は約10 In this embodiment, the thickness of the resistive film is approximately 0.01 micron, the sheet resistivity of about 10
00Ω/m である。 It is a 00Ω / m 2. 着膜後、フォトレジスト法にてパターニングし、512個の単位発熱素子群に整形する。 Chakumakugo, and patterned by a photoresist method, and shaped into 512 units heating element groups.
第2工程では、ガラス42上の各発熱素子51の上部に導体ペーストをスクリーン印刷により塗布し、フォトエッチング法にてパターンを作成した後約800℃で焼結して配線電極(共通端子52a及び個別端子52b)を形成する。 In the second step, the upper to the conductor paste of the heating elements 51 on the glass 42 is coated by screen printing, photo sintering at about 800 ° C. After creating a pattern by etching to the wiring electrode (the common terminal 52a and to form individual terminals 52 b). 本実施例では配線電極用の導体ペーストとしてAuペーストを使用し、電極形成後の厚さは約1μ弱で面積抵抗率は10mΩ/m 程度である。 In this embodiment using the Au paste as a conductor paste for wiring electrodes, the thickness of the electrodes after forming the sheet resistivity of about 1μ weak is approximately 10mΩ / m 2. 第3工程では、発熱素子及び配線電極の上部にガラスペーストをスクリーン印刷し、約600℃で燒結して厚み約5μの保護膜を形成する。 In the third step, a glass paste is screen printed on the top of the heating element and the wiring electrodes, and sintered at about 600 ° C. to form a protective film having a thickness of about 5 [mu].

【0017】図2Aは、図1のサーマルプリントヘッドの発熱体及び配線電極の配置パターンを上から見た一部拡大平面図である。 [0017] Figure 2A is a partially enlarged top plan view of the arrangement pattern of the heating element and the wiring electrodes of the thermal printhead of FIG. 厚膜技術にて作成された従来のサーマルプリントヘッドにおける、櫛歯状の共通端子と各櫛歯の間に個別端子を配置して成る配線電極上に連続して一体として設けた発熱体の配置パターン(図4A参照) In the conventional thermal print head that is created by a thick film technique, the arrangement of the heat generating body provided integrally in succession on the wiring electrodes formed by arranging the individual terminals during a comb-shaped common terminal and the comb teeth pattern (see FIG. 4A)
と異なり、本実施例の発熱体は1素子づつ分離しており、また、配線電極の共通端子と個別端子は単位発熱素子毎に一対の対向電極となっているため、1ドットの発熱体(単位発熱素子)は1つの抵抗体から成っている。 Unlike, the heating element of the present embodiment are separate 1 element at a time, also, since the common terminal and the individual terminals of the wiring electrodes has a pair of opposed electrodes for each unit heat generation elements, one dot heating element ( unit heating elements) consists of one resistor.
このため、各発熱素子の発熱量を揃えるため抵抗体のトリミングを行うと、各発熱素子の抵抗値は一様となり、 When Accordingly, trimming of the resistor to align the heating value of the heating elements, the resistance value of the heating elements become uniform,
印字された発熱ドットの大きさも一様なものが得られることとなる。 The size of the printed the heating dots also becomes possible to be uniform is obtained. 図2Bは、図2Aの発熱素子及び配線電極の電気接続を示す回路図である。 Figure 2B is a circuit diagram showing the electrical connection of the heating elements and the wiring electrodes of Figure 2A. 図2Bの回路図と、従来の厚膜技術によるサーマルプリントヘッドにおける発熱素子及び配線電極の電気接続を示す回路図(図4B) Circuit diagram showing the circuit diagram of FIG. 2B, the electrical connection of the heating elements and the wiring electrodes in a thermal printhead according to conventional thick film technology (FIG. 4B)
とを比較すれば、本実施例のサーマルプリントヘッドにおいては個別電極毎に1個の抵抗体(単位発熱素子)から成り、従来の厚膜技術によるサーマルプリントヘッドにおいては個別電極毎に2個の抵抗体(単位発熱素子) By comparing the door, in the thermal print head of the present embodiment it consists of a single resistor for each individual electrode (the unit heater element), in the thermal print head according to the prior thick film technology two per individual electrodes resistor (unit heating element)
から成ることが一目瞭然である。 It consists of is quite obvious.

【0018】発熱素子の抵抗膜は、薄膜技術により製造されるため、厚さは0.01μ程度と薄くまた表面は平坦である。 The resistive film of the heat generating element, because it is produced by thin film technology, thick is thin and the surface of about 0.01μ is flat. また、発熱素子の上部に厚膜技術により形成した配線電極の厚さは約1μ弱で平坦性がよい。 The thickness of the wiring electrodes formed by thick-film technology on top of the heating element is good flatness of about 1μ weak. 従って、発熱体を覆う厚さ約5μ程度の保護膜を形成しても、厚膜技術により発熱体を形成した従来のサーマルプリントヘッドの発熱体表面の凹凸差が数μ程度あるのに比較して、極めて表面の平坦性の良いプリントヘッドを実現している。 Therefore, even when forming a thickness of approximately 5μ about protective film covering the heating body, unevenness difference of the heating element of the conventional thermal print head forming a heating member by thick film technology compared to some of the order of several μ Te, and realize a printhead flatness very surface.

【0019】上記実施例では、保護膜として厚膜技術によるガラスのみとしたが、印字媒体として紙以外のカード用途等に使用する場合、保護膜の強度が要求される分野用として、ガラスの上に薄膜技術にて窒化珪素等の硬い膜を積層することにより保護膜の強度を上げることが可能である。 [0019] In the above embodiment, although the only the glass by thick-film technology as a protective film, if used for other card applications such as paper as the print medium, as for the field strength of the protective film is required, on a glass it is possible to increase the strength of the protective film by laminating a hard films such as silicon nitride in thin film technology.

【0020】また、上記実施例では2層構造の薄板基板としてガラスグレーズ基板を使用したものを説明したが、第2工程において500℃程度の焼結温度の厚膜材料を選定すれば1層のガラス基板でも実現が可能である。 [0020] In the above embodiment has been described that using a glass glaze substrate as thin substrate having a two-layer structure, one layer of be selected a thick film material of a sintering temperature of about 500 ° C. In a second step realized by a glass substrate is possible.

【0021】 [0021]

【発明の効果】本発明のサーマルプリントヘッドの製造方法によれば、発熱素子を薄膜技術により形成するので、各発熱素子を高密度に配置することができ、かつ、 According to the method of manufacturing the thermal print head of the present invention, since the heating element is formed by a thin film technique, it can be arranged the heating elements in high density, and,
1つの発熱素子が1ドットを印字することとなるので、 Since one heating element is to be printed one dot,
高精細な印字が可能である。 High-resolution printing is possible. また、第1工程で発熱素子を薄膜技術により形成することにより、第2〜3工程において薄膜の発熱体の上に厚膜技術による配線電極及び保護膜の形成が容易となり、その結果、プリントヘッド表面の平坦性がよく、印字媒体への熱伝導が一様になるため、印字濃度のばらつきが無い高品位の印字が可能である。 Further, by the heat generating element in a first step of forming a thin film technology, the formation of the wiring electrode and the protective film by the thick film technique is facilitated on top of the heating element of the thin film in the first 2-3 step, as a result, the print head flatness of the surface well, since the heat transfer to the print medium is uniform, it is possible variations in print density is high quality printing without. 本発明によれば、薄膜技術の性能面での優位性と、厚膜技術のコスト面での優位性を両立させることができるため、高精細高品位の印字を低価格のサーマルプリントヘッドで実現でき、このサーマルプリントヘッドを搭載した低価格な高印字品質のプリンターを提供できる。 According to the present invention, the superiority in performance of the thin film technology, it is possible to achieve both the advantages in cost of thick film technology, realizing printing of high-resolution and high-quality low-cost thermal print head It can be provided an inexpensive high print quality printer equipped with the thermal print head.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。 1 is a cross-sectional view showing the structure of a thermal print head of the present invention.

【図2】A…図1の発熱体と配線電極の配置パターンを示す部分拡大平面図である。 2 is a partially enlarged plan view showing an arrangement pattern of the heating element and the wiring electrodes of A ... Fig. B…図2Aの発熱素子と配線電極の電気接続を示す回路図である。 B ... is a circuit diagram showing the electrical connection of the heating element and the wiring electrode of Figure 2A.

【図3】従来のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。 3 is a sectional view showing the structure of a conventional thermal printhead.

【図4】A…図3の発熱体と配線電極の配置パターンを示す部分拡大平面図である。 4 is a partially enlarged plan view showing an arrangement pattern of the heating element and the wiring electrodes of A ... Fig. B…図4Aの発熱素子と配線電極の電気接続を示す回路図である。 B ... is a circuit diagram showing the electrical connection of the heating element and the wiring electrode of Figure 4A.

【図5】従来のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。 5 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional thermal printhead.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

41…セラミック基板 42…ガラス 43…配線電極 43a…共通電極 43b…個別電極 44…発熱体 45…保護膜 51…発熱素子(薄膜) 52…配線電極 52a…共通電極(厚膜) 52b…個別電極(厚膜) 53…保護膜(厚膜) 41 ... ceramic substrate 42 ... glass 43 ... wiring electrode 43a ... common electrode 43 b ... individual electrodes 44 ... heating element 45 ... protective film 51 ... heating element (thin film) 52 ... wiring electrode 52a ... common electrode (thick film) 52 b ... individual electrodes (thick film) 53 ... the protective film (thick)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 セラミック基板(41)にガラス(4 1. A glass ceramic substrate (41) (4
    2)をグレーズした2層構造の薄板状のサーマルプリントヘッド基板において、ガラス(42)の上面に薄膜技術によって複数の発熱素子(51)を形成する第1工程と、第1工程の後に発熱素子(51)の上部に厚膜技術によって配線電極(52)を形成する第2工程と、第2 In lamellar thermal printhead board having a two-layer structure 2) and glaze, a first step of forming a plurality of heating elements (51) on the upper surface by a thin film technology of the glass (42), heating element after the first step a second step of forming a wiring electrode (52) by thick-film technology on top of the (51), second
    工程の後に発熱素子(51)と配線電極(52)の上部に厚膜技術によって保護膜(53)を形成する第3工程とから成ることを特徴とするサーマルプリントヘッドの製造方法。 Method of manufacturing the thermal print head is characterized in that it consists of a third step of forming an upper protective by thick-film technology on the membrane of the heating element (51) and the wiring electrode (52) (53) after the step.
  2. 【請求項2】 セラミック基板(41)にガラス(4 2. A glass ceramic substrate (41) (4
    2)をグレーズした2層構造の薄板状のサーマルプリントヘッド基板であって、請求項1記載の製造方法によって、ガラス(42)の上面に複数の発熱素子(51)を形成し、かつ、発熱素子(51)の上部に配線電極(5 A 2) a thin plate-shaped thermal print head substrate having a two-layer structure in which the glaze, by the manufacturing method according to claim 1, wherein, to form a glass (plurality of heating elements on the top surface of 42) (51), and heating upper wiring electrode of the element (51) (5
    2)及び保護膜(53)を形成したことを特徴とするサーマルプリントヘッド。 2) and the thermal print head is characterized in that the formed protective layer (53).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7843475B2 (en) 2006-08-28 2010-11-30 Rohm Co., Ltd. Thermal print head and method for manufacturing the same
KR101179335B1 (en) 2006-02-17 2012-09-03 삼성전기주식회사 Method for forming thick layer by screen printing and method for forming piezoelectric actuator of inkjet head

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