JP2001208479A - 加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フープを支持するレールの熱容量を低減し、
短時間に効率よく高精度で電子部品素子を加熱あるいは
乾燥することができる加熱装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】 電子部品素子２を搭載してその長手方向
に移送されるフープ１の長手方向と同方向に配置し、前
記フープ１をすべり搬送可能に支持する少なくとも一対
の線材状のレール５ａ〜５ｃと、前記レール５ａ〜５ｃ
を一平面内に配置するように、前記レール５ａ〜５ｃの
両端を基台７に支持させるプーリー（支持手段）９とを
備えた加熱装置であり、短時間で効率よく加熱すること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の製造工
程において、フープ上に構成された電子部品素子を、加
熱あるいは乾燥する加熱装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、フープ上に構成された電子部品素
子を加熱あるいは乾燥させる場合には、トンネル型の加
熱装置を使用していた。

【０００３】図１２は、従来の加熱装置の要部構成斜視
図である。

【０００４】図１２において、５５は、電子部品素子２
を搭載して搬送する耐熱性のフープである。５１は、加
熱装置本体であり、電子部品素子２を搭載したフープを
通過させるため、トンネル型の構造をしている。５２
は、加熱装置本体５１に内蔵されているヒーターで、ト
ンネル内部５１ａを加熱するように上下に配置してあ
る。５３は、加熱装置本体５１のトンネル内部５１ａを
通るフープ５５を支持するプレート状のレールであり、
その両端は、支持台５４に固定してある。

【０００５】以上の構成により、フープ５５に搭載され
た電子部品素子２は、レール５３上をフープ搬送装置
（図示せず）によりすべり搬送し、加熱装置本体５１の
トンネル内部５１ａを通過するときに、ヒーター５２に
より、加熱あるいは乾燥される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の加熱装置においては、加熱されるトンネル内部５１
ａを通っているレール５３がプレート状であるため、電
子部品素子２にくらべ、非常に大きな熱容量をもってお
り、ヒーター５２が加熱動作を開始してからレール５３
およびトンネル内部５１ａが所定の温度に達するまで相
当の時間を要し、電子部品素子２の加熱あるいは乾燥に
多くの熱量を要するという課題を有していた。

【０００７】本発明は前記従来の課題を解決しようとす
るもので、短時間に効率よくレール５３およびトンネル
内部５１ａを所定の温度に到達させ、電子部品素子２を
加熱あるいは乾燥する加熱装置を提供することを目的と
するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の加熱装置は、電子部品素子を搭載したフープ
の長手方向と同方向に配置し、前記フープをすべり搬送
可能に支持する少なくとも一対の線材状のレールと、前
記レールを一平面内に配置するように、前記レールの両
端を基台に支持させる支持手段とを備えた構成としたも
のである。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、電子部品素子を搭載してその長手方向に移送される
フープの長手方向と同方向に配置し、前記フープをすべ
り搬送可能に支持する少なくとも一対の線材状のレール
と、前記レールを一平面内に配置するように、前記レー
ルの両端を基台に支持させる支持手段と、前記レールの
両端の間に位置するように設けられ、前記レール上をす
べり搬送されるフープの当該電子部品素子を加熱する加
熱手段とを備えた加熱装置であり、加熱されるレールの
熱容量を小さくでき、加熱装置内を短時間で効率よく、
かつ、高精度に所定の雰囲気温度にするという作用を有
する。

【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、レール
が、曲げ変形自在なワイヤーであることを特徴とする請
求項１記載の加熱装置であり、請求項１に記載の作用に
加えて、移送経路の構成を自在かつ小型化できるという
作用を有する。

【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、ワイヤ
ーの長手方向に張力を与える付勢手段を付加したことを
特徴とする請求項２記載の加熱装置であり、ワイヤーを
直線的に張り、フープもワイヤーの長手方向に直線的に
支持するという作用を有する。

【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、付勢手
段は、一端をワイヤーに、他端を基台に接続する弾性部
材であることを特徴とする請求項３記載の加熱装置であ
り、単純な構造で確実にワイヤーを直線的に張るという
作用を有する。

【００１３】本発明の請求項５に記載の発明は、ワイヤ
ーの両端の少なくとも一端に、基台または付勢手段に係
合させるフックを備えたことを特徴とする請求項３記載
の加熱装置であり、ワイヤー取付け部の構造を単純に
し、ワイヤーの取付け及び交換作業を容易にするという
作用を有する。

【００１４】本発明の請求項６に記載の発明は、支持手
段が、曲率面を有し、曲げ変形自在なワイヤーであるレ
ールを当該曲率面で支持することを特徴とする請求項１
記載の加熱装置であり、支持部でのレールの応力集中を
抑制し、より大きな張力をレールに付与させるという作
用を有する。

【００１５】本発明の請求項７に記載の発明は、支持手
段が、曲率面の曲率中心を中心に回動可能に支持する軸
受けを介して基台に固定されている請求項１記載の加熱
装置であり、レールと支持手段とのレール長手方向の摩
擦を低減し、レールと支持手段との係合部におけるレー
ルの移動を容易にするという作用を有する。

【００１６】本発明の請求項８に記載の発明は、支持手
段が、レールを係止する溝を有することを特徴とする請
求項１記載の加熱装置であり、少なくとも一対のレール
を平行に配置し、フープを安定に支持及び搬送するとい
う作用を有する。

【００１７】本発明の請求項９に記載の発明は、レール
が、ステンレス合金であることを特徴とする請求項１記
載の加熱装置であり、レール表面の耐食性を向上させ、
高温雰囲気でも滑らかにフープを滑り搬送させるという
作用を有する。

【００１８】本発明の請求項１０に記載の発明は、レー
ルが、銅線であることを特徴とする請求項１記載の加熱
装置であり、レールの昇温速度を向上させ、加熱装置内
をさらに短時間で所定の雰囲気温度にするという作用を
有する。

【００１９】本発明の請求項１１に記載の発明は、レー
ルが、セラミックコーティング層を有することを特徴と
する請求項１記載の加熱装置であり、耐食性及び耐磨耗
性を向上させ、安定した滑り搬送を長時間維持するとい
う作用を有する。

【００２０】本発明の請求項１２に記載の発明は、レー
ルが、断面の外形が円形であることを特徴とする請求項
１記載の加熱装置であり、曲面でフープを支持すること
により摩擦面積を小さくし、より滑らかな滑り搬送を維
持するという作用を有する。

【００２１】本発明の請求項１３に記載の発明は、フー
プが、当該フープの厚みより大なる厚みを有し、かつ、
当該フープの幅方向に少なくとも一対の電子部品素子を
配してなり、前記幅方向の前記電子部品素子の間に少な
くとも一対のレールのうちのひとつを配置したことを特
徴とする請求項１記載の加熱装置であり、フープ幅方向
のたわみを抑制し、フープを一平面内に位置するように
支持するという作用を有する。

【００２２】本発明の請求項１４に記載の発明は、加熱
手段が、フープを加熱しない位置に退避可能であること
を特徴とする請求項１記載の加熱装置であり、電子部品
素子を加熱中であっても、加熱装置内の雰囲気温度を維
持したまま加熱手段を一時退避するという作用を有す
る。

【００２３】以下、本発明の実施の形態における加熱装
置について、図面を参照にしながら詳細に説明する。

【００２４】図１（ａ）は本発明の実施の形態における
加熱装置の要部構成斜視図である。図１（ｂ）は本発明
の実施の形態における加熱装置本体の要部構成正面図で
ある。

【００２５】図１（ａ），（ｂ）において、１は、幅方
向に一対（２個）の電子部品素子２を搭載してリードフ
レームとなし、かつ搬送するフープであり、例えば幅３
５×厚み０．１ｍｍの銅材で形成されている。電子部品
素子２の寸法は、例えば幅３×長さ５×高さ１ｍｍであ
り、電極材料である銀ペースト（図示せず）が、表面所
定個所に塗布されている。３は加熱手段であり、電子部
品素子２を搭載したフープ１を通過させるため、トンネ
ル型の構造をしている加熱装置本体（加熱手段）３ａ
と、熱を発生するヒーター（加熱手段）４とから構成さ
れている。ヒーター（加熱手段）４は、加熱装置本体
（加熱手段）３ａに内蔵しており、トンネル内部３ｂを
加熱するように上下に配置してある。５ａ〜５ｃは、ト
ンネル型の加熱装置本体（加熱手段）３ａのトンネル内
部３ｂを挿通してフープ１を支持する３本の線材状のレ
ールであり、ステンレス合金製のワイヤーで構成されて
いる。ワイヤーよりなるレール５ａ〜５ｃは、例えば線
径が１ｍｍで、曲げ変形自在なものである。６ａ，６ｂ
は、レール５ａ〜５ｃの両端に固定してあるフックで、
レール５ａ〜５ｃに張力を付勢する付勢手段である引張
りコイルバネ（弾性部材）８の一端に接続してある。引
張コイルバネ（弾性部材）８の他端は、基台７の一面に
接続してある。９は、トンネル型の加熱装置本体（加熱
手段）３ａのトンネル内部３ｂ出入口近傍にてレール５
ａ〜５ｃを支持するプーリー（支持手段）である。この
プーリー（支持手段）９は、回動可能に軸受け１０を介
してブラケット１１に支持されており、当該ブラケット
１１は、基台７の一面に固定してある。

【００２６】以上のように構成された加熱装置につい
て、以下にその動作を、図面を参照しながら説明する。

【００２７】図１（ａ），（ｂ）において、ヒーター
（加熱手段）４が加熱動作を開始し、トンネル内部３ｂ
が所定の雰囲気温度（例えば１６０℃）を維持する状態
になった後に、フープ搬送装置（図示せず）によりフー
プ１は３本のレール５ａ〜５ｃ上をフープ１の長手方向
にすべり搬送する。そして、フープ１に搭載された電子
部品素子２は、順次、加熱装置本体（加熱手段）３ａの
トンネル内部３ｂに所定の速度で搬送され、電子部品素
子２の表面所定個所に塗布された銀ペースト（図示せ
ず）が、加熱される。それにより電子部品素子２をフー
プ１に電気的に接合する。

【００２８】前記のように、トンネル内部３ｂでフープ
１を支持するレール５ａ〜５ｃは、被搬送物（被加熱
物）である薄板状のフープ１、及び、銀ペーストを塗布
した電子部品素子２の熱容量と同等またはそれ以下の細
い線材であり熱容量は小さい。したがって、ヒーター
（加熱手段）４が加熱動作を開始してから、トンネル内
部３ｂが所定の雰囲気温度を維持する状態へは、短時間
で達することができる。さらに、トンネル内部３ｂから
レール５ａ〜５ｃを経由して加熱装置本体（加熱手段）
３ａの外に放熱される熱量も小さいため、トンネル内部
３ｂの雰囲気温度は、少ない熱量で効率よく、かつ精度
よく維持することができる。

【００２９】また、レール５ａ〜５ｃはステンレス合金
製なので、前記で説明したトンネル内部３ｂの温度１６
０℃で長時間加熱し続けても、表面の耐食性に優れ、滑
らかにフープ１をすべり搬送し続けることができる。

【００３０】なお、鉄材の熱伝導率０．１ｃａｌ／（ｃ
ｍ・ｓｅｃ・ｄｅｇ）に対して、銅材の熱伝導率は０．
９ｃａｌ／（ｃｍ・ｓｅｃ・ｄｅｇ）であり、レール５
ａ〜５ｃを熱伝導率の高い銅線にすることにより、レー
ル５ａ〜５ｃの昇温速度を向上させることができ、トン
ネル内部３ｂをより短時間に所定の雰囲気温度に昇温設
定することができる。

【００３１】図２は、セラミックコーティング層を有す
るレールの要部拡大斜視図である。図２に示すように、
レール５ａ〜５ｃを形成する銅線５ｉの表面にセラミッ
クコーティング層５ｊを形成することで、耐食性が得ら
れ、さらにフープ１と接触する摩擦部に耐磨耗性が付与
されることで、長時間の使用に対しても安定したすべり
搬送を行うことができる。

【００３２】図３は、角棒状のレールの要部構成斜視図
である。前記の実施の形態の説明では、曲げ変形自在な
レール５ａ〜５ｃでフープ１を支持したが、図３に示す
線材状の細い角棒状のレール５ｈの両端を、支持ブロッ
ク（支持手段）９ａに固定し、フープ１を支持する構成
としても、トンネル内部３ｂを短時間で所定の雰囲気温
度に昇温設定し、精度よく維持するという同様な効果を
奏する。

【００３３】しかしながら、図２に示すように、レール
５ａ〜５ｃの外形が円形の場合、角棒と同等のレール５
ａ〜５ｃ長手方向の引張り強さとしながらも、角が無い
ため熱容量が小さく、曲面でフープ１を支持するため、
摩擦面積も小さくなり、より滑らかなすべり搬送を可能
とすることができる。

【００３４】図１の引張りコイルバネ（弾性部材）８
は、レール５ａ〜５ｃの長手方向に張力を付勢し、プー
リー（支持手段）９の両端間をたわむことなく直線的に
支持することができ、トンネル内部３ｂの電子部品素子
２を、均一に加熱あるいは乾燥することができる。ま
た、レール５ａ〜５ｃの両端に設けてあるフック６ａ，
６ｂは、取付け部の構造を簡単にし、レール５ａ〜５ｃ
の取付け、または、劣化した際の交換を容易にするので
ある。

【００３５】図４は、おもりで張力を付勢する構成の模
式図である。図５は、プーリーを介して張力を付与する
構成の模式図である。図４に示すように、レール５ａ〜
５ｃの一端または両端（図示せず）におもり（付勢手
段）８ａを設けて長手方向に張力を付勢しても、同様な
効果を奏する。また、図５に示すように、フープ１長手
方向に移動可能に支持されたプーリー（支持手段）９ｂ
に、引張り力を発生する引張りコイルバネ（付勢手段）
８ｂを係合して張力を付勢しても、同様な効果を奏す
る。

【００３６】図１（ａ）に示すプーリー（支持手段）９
は、レール５ａ〜５ｃの端部を曲率面に沿って支持して
いるので、プーリー（支持手段）９の支持部において応
力集中が緩和でき、より大きな張力を付与することで、
さらにプーリー１を直線的に支持することができ、よっ
て、均一な加熱あるいは乾燥することができる。また、
プーリー（支持手段）９は、軸受け１０により回動可能
に支持されているので、ヒーター（加熱手段）４の加熱
によりレール５ａ〜５ｃが熱膨張しても、前記張力をレ
ール５ａ〜５ｃの両端に効率よく伝えることができる。
したがって、より確実にレール５ａ〜５ｃを直線的に張
り、フープ１を直線的に支持することができ、均一な加
熱あるいは乾燥をすることができる。

【００３７】図６は、プーリー部の要部構成断面図であ
る。図７は、フープの支持状態を示す要部拡大斜視図で
ある。図８は、他のプーリーにおける溝形状を示す断面
図である。図９は、フープの他の支持状態を示す要部構
成断面図である。

【００３８】図６に示すように、プーリー（支持手段）
９の円周端には、レール５ａ〜５ｃを係止する断面が矩
形の溝９ｃを備えている。レール５ａ〜５ｃが溝９ｃに
係止されていることによって、図７に示すように、フー
プ１の搬送中において常にレール５ａ〜５ｃを互いに平
行に配置しフープ１を安定に支持することができる。な
お、図８に示すように、断面が円形のワイヤーよりなる
レール５を溝部に案内し規制するＶ字形状の溝９ｄにし
ても、同様な効果を奏する。さらに、図７に示すよう
に、３本のレール５ａ〜５ｃのうち、一対の電子部品素
子２の間に設けたレール５ｂにより、フープ１の幅方向
における中央部のたわみを抑制することができ、フープ
１を一平面内に位置するように安定に支持し、トンネル
内部３ｂで均一に、各電子部品素子２を加熱あるいは乾
燥することができる。なお、図９に示すように、４本の
ワイヤーよりなるレール５ｄ〜５ｇで、そのうちレール
５ｅ，５ｆを一対の電子部品素子２の間に配置しても、
同様な効果を奏する。さらに、レール５ｄ，５ｅおよび
レール５ｆ，５ｇによりそれぞれフープ１より厚み寸法
の大きい電子部品素子２の近傍で支持することで、電子
部品素子２の自重によるたわみを抑制してフープ１をさ
らに平面的に支持でき、均一な加熱あるいは乾燥を行う
ことができる。さらに、電子部品素子２を、長手方向に
直線的に張られたレール５ｄ〜５ｇに沿って直線的に安
定に案内することができ、加熱むらの少ない高精度な加
熱あるいは乾燥を行うことができる。また、図７に示す
ように、打抜きにより形成したフープ１の端子部１ａ〜
１ｄ部を図９に示すように支持することで、フープ１支
持部の摩擦面積を低減でき、より滑らかにすべり搬送す
ることができる。

【００３９】図１０は、退避可能とした加熱手段の要部
構成斜視図である。図１１（ａ）〜（ｃ）は、退避可能
な加熱手段の退避動作を示す要部構成側面図であり、図
１１（ａ）は、通常の加熱状態を示す加熱手段の要部構
成側面図、図１１（ｂ）は、退避中の状態を示す加熱手
段の要部構成側面図、図１１（ｃ）は、退避完了時の状
態を示す加熱手段の要部構成側面図である。

【００４０】図１０において、３４は、加熱装置本体
（加熱手段）３ａを、加熱装置本体回転軸３３を回転中
心にして退避動作させる駆動用のエアシリンダーであ
る。同時に、エアシリンダー３４は、加熱装置本体回転
軸３３の片先端に結合したレバー３８の一端に取付けら
れたカムフォロア３７とカム３９との係合により、加熱
装置扉回転軸３５を回転中心にして、加熱装置扉３２を
開閉動作させる。４０はカム３９を保持するブラケッ
ト、４１，４２は加熱装置本体回転軸３５を支持する取
付板、４３，４４は加熱装置本体回転軸３５の軸受け、
４５は加熱装置本体回転軸３３の軸受け、４６は加熱装
置入口、そして４７はシリンダー３４の取付部と加熱装
置本体回転軸３３を連結するレバーである。図１１
（ａ）は、通常のフープ１を加熱しているときの状態を
示している。図１１（ｂ）は、エアシリンダー３４によ
って加熱装置本体（加熱手段）３ａが回動し、同時に、
カム３９によって、加熱装置扉３２が開いている状態を
示している。図１１（ｃ）は、加熱装置扉３２を閉じ、
加熱装置本体（加熱手段）３ａが退避動作を完了した状
態を示している。以上、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すよ
うに、加熱装置本体（加熱手段）３ａは、フープ１と加
熱装置本体（加熱手段）３ａを干渉させることなく退避
することができ、退避後も、加熱装置本体（加熱手段）
３ａ内の所定の雰囲気温度を維持することができる。

【００４１】すなわち、加熱装置本体（加熱手段）３ａ
が退避可能なことで、レール（図示せず）およびフープ
１の取付け及び交換作業が容易に短時間で行うことがで
きる。たとえば、すべり搬送の不具合が原因で、電子部
品素子２を加熱しているときにレール（図示せず）を交
換しなければいけないときでも、加熱装置本体（加熱手
段）３ａを退避させることで、交換作業が容易に行え
る。また、退避中でも加熱装置本体（加熱手段）３ａは
所定の雰囲気温度に維持されており、かつ、被加熱物で
あるレール（図示せず）も前記で説明したように熱容量
が小さいため、復帰する場合も短時間に行える。さら
に、交換作業時には、前記のような加熱装置本体（加熱
手段）３ａの退避動作により、電子部品素子２に不要な
加熱をすることがないので、製品の歩留りも向上させる
ことができる。

【００４２】以上のように、本実施の形態における加熱
装置は、加熱装置におけるレールを、電子部品素子を搭
載してその長手方向に移送されるフープの長手方向と同
方向に配置し、前記フープをすべり搬送可能に支持する
少なくとも一対の線材状とした構成により、被加熱物で
あるレールの熱容量を小さくでき、加熱装置内を短時間
で効率よく、かつ高精度に所定の雰囲気温度にし、電子
部品素子を加熱あるいは乾燥することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明は、加熱装置におけ
るレールを、電子部品素子を搭載してその長手方向に移
送されるフープの長手方向と同方向に配置し、前記フー
プをすべり搬送可能に支持する少なくとも一対の線材状
とした構成により、被加熱物であるレールの熱容量を小
さくでき、加熱装置内を短時間で効率よく、かつ高精度
に所定の雰囲気温度にし、電子部品素子を加熱あるいは
乾燥することができるという効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施の形態における加熱装置の
要部構成斜視図 （ｂ）本発明の実施の形態における加熱装置本体の要部
構成正面図

【図２】セラミックコーティング層を有するレールの要
部拡大斜視図

【図３】角棒状のレールの要部構成斜視図

【図４】おもりでレールに張力を付与する構成の模式図

【図５】プーリーを介してレールに張力を付勢する構成
の模式図

【図６】プーリー部の要部構成断面図

【図７】レールによるフープの支持状態を示す要部拡大
斜視図

【図８】プーリーにおける他の溝形状を示す要部断面図

【図９】レールによるフープの他の支持状態を示す要部
構成断面図

【図１０】退避可能な加熱手段の要部構成斜視図

【図１１】（ａ）通常の加熱状態を示す加熱手段の要部
構成側面図 （ｂ）退避中の状態を示す加熱手段の要部構成側面図 （ｃ）退避完了時の状態を示す加熱手段の要部構成側面
図

【図１２】従来における加熱装置の要部構成斜視図

【符号の説明】

１ フープ １ａ〜１ｄ 端子部 ２ 電子部品素子 ３ 加熱手段 ３ａ 加熱装置本体（加熱手段） ３ｂ トンネル内部 ４ ヒーター（加熱手段） ５ レール ５ａ〜５ｃ レール ５ｄ〜５ｇ レール ５ｈ 角棒状のレール ５ｉ 銅線（レール） ５ｊ セラミックコーティング層 ６ａ，６ｂ フック ７ 基台 ８ 引張りコイルバネ（弾性部材） ８ａ おもり（付勢手段） ８ｂ 引張りコイルバネ（付勢手段） ９ プーリー（支持手段） ９ａ 支持ブロック（支持手段） ９ｂ プーリー（支持手段） ９ｃ，９ｄ 溝 １０ 軸受け １１ ブラケット ３２ 加熱装置扉 ３３ 加熱装置本体回転軸 ３４ エアシリンダー ３５ 加熱装置扉回転軸 ３７ カムフォロア ３８ レバー ３９ カム ４０ ブラケット ４１ 取付板 ４２ 取付板 ４３ 軸受け ４４ 軸受け ４５ 軸受け ４６ 加熱装置入口 ４７ レバー ５１ 加熱装置本体 ５１ａ トンネル内部 ５２ ヒーター ５３ レール ５４ 支持台 ５５ フープ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 始 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K050 AA01 BA16 CD05 CG00 CG01

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品素子を搭載してその長手方向に
   移送されるフープの長手方向と同方向に配置し、前記フ
   ープをすべり搬送可能に支持する少なくとも一対の線材
   状のレールと、前記レールを一平面内に配置するよう
   に、前記レールの両端を基台に支持させる支持手段と、
   前記レールの両端の間に位置するように設けられ、前記
   レール上をすべり搬送されるフープの当該電子部品素子
   を加熱する加熱手段とを備えた加熱装置。
2. 【請求項２】 レールは、曲げ変形自在なワイヤーであ
   ることを特徴とする請求項１記載の加熱装置。
3. 【請求項３】 ワイヤーの長手方向に張力を与える付勢
   手段を付加したことを特徴とする請求項２記載の加熱装
   置。
4. 【請求項４】 付勢手段は、一端をワイヤーに、他端を
   基台に接続する弾性部材であることを特徴とする請求項
   ３記載の加熱装置。
5. 【請求項５】 ワイヤーの両端の少なくとも一端に、基
   台または付勢手段に係合させるフックを備えたことを特
   徴とする請求項３記載の加熱装置。
6. 【請求項６】 支持手段は、曲率面を有し、曲げ変形自
   在なワイヤーであるレールを当該曲率面で支持すること
   を特徴とする請求項１記載の加熱装置。
7. 【請求項７】 支持手段は、曲率面の曲率中心を中心に
   回動可能に支持する軸受けを介して基台に固定されてい
   る請求項１記載の加熱装置。
8. 【請求項８】 支持手段は、レールを係止する溝を有す
   ることを特徴とする請求項１記載の加熱装置。
9. 【請求項９】 レールは、ステンレス合金であることを
   特徴とする請求項１記載の加熱装置。
10. 【請求項１０】 レールは、銅線であることを特徴とす
    る請求項１記載の加熱装置。
11. 【請求項１１】 レールは、セラミックコーティング層
    を有することを特徴とする請求項１記載の加熱装置。
12. 【請求項１２】 レールは、断面の外形が円形であるこ
    とを特徴とする請求項１記載の加熱装置。
13. 【請求項１３】 フープは、当該フープの厚みより大な
    る厚みを有し、かつ、当該フープの幅方向に少なくとも
    一対の電子部品素子を配してなり、前記幅方向の前記電
    子部品素子の間に少なくとも一対のレールのうちのひと
    つを配置したことを特徴とする請求項１記載の加熱装
    置。
14. 【請求項１４】 加熱手段は、フープを加熱しない位置
    に退避可能であることを特徴とする請求項１記載の加熱
    装置。